DE19532674C1 - Drehwinkelgeber unter Verwendung von Giant Magnetowiderstandsmaterialien - Google Patents
Drehwinkelgeber unter Verwendung von Giant MagnetowiderstandsmaterialienInfo
- Publication number
- DE19532674C1 DE19532674C1 DE1995132674 DE19532674A DE19532674C1 DE 19532674 C1 DE19532674 C1 DE 19532674C1 DE 1995132674 DE1995132674 DE 1995132674 DE 19532674 A DE19532674 A DE 19532674A DE 19532674 C1 DE19532674 C1 DE 19532674C1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- angle
- encoder according
- strip conductors
- gmr strip
- gmr
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y25/00—Nanomagnetism, e.g. magnetoimpedance, anisotropic magnetoresistance, giant magnetoresistance or tunneling magnetoresistance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
- G01R33/093—Magnetoresistive devices using multilayer structures, e.g. giant magnetoresistance sensors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen Drehwinkelgeber unter Verwendung von
Giant Magnetowiderstandsmaterialien, die bezüglich ihres
magnetoresistiven Effektes isotrope Eigenschaften und einen sehr großen
magnetoresistiven Effekt aufweisen, zur berührungslosen Messung und
eindeutigen Bestimmung von Winkeln bis zu einem Drehwinkelbereich
von 180°.
Zur betrags- und richtungsmäßigen Messung von Magnetfeldern werden
nach dem Stand der Technik magnetoresistive Streifenleiter eingesetzt,
die anisotrop bzgl. ihrer magnetoresistiven Eigenschaften und i.a. als
Wheatstonebrücke verschaltet sind (vgl. z. B. DD 2 56 628,
DE 43 17 512). Die dabei zum Einsatz gelangenden magnetoresistiven
Streifenleiter weisen bzgl. eines äußeren Magnetfeldes anisotrope
Widerstandsänderungen auf, was für den Verwendungszweck z. B. als
Drehwinkelgeber eine wünschenswerte Eigenschaft ist. Solche
Streifenleiter, z. B. auf der Basis von Permalloy, zeigen jedoch nur
maximale Widerstandsänderungen von ca. 2 - 3%, weswegen ein relativ
hoher elektronischer und herstellungsmäßiger Aufwand betrieben werden
muß.
Desweiteren sind auch Materialien bzw. Bauformen mit einem
sogenannten Giant Magnetowiderstand bekannt geworden (vgl. z. B. R.
von Helmolt et al, Giant Negative Magnetoresistance in Perovskitelike
La2/3Ba1/3MnOx Ferromagnetic Films, Phys. Rev. Lett., Vol. 71, No. 14,
S. 2331 ff., 1993). Diese Klasse von Materialien bzw. Bauformen weisen
magnetoresistive Widerstandseffekte aufs die die üblicherweise
verwendeter magnetoresistiver Materialien um ein bis mehrere
Größenordnungen übersteigen.
Von diesen Materialien sind zwei Grundtypen bekannt, deren erster
dadurch charakterisiert ist, daß dünne ferromagnetische Schichten über
metallische Zwischenschichten antiferromagnetisch aneinander gekoppelt
sind. Diese antiferromagnetische Kopplung wird durch ein hinreichend
starkes Magnetfeld überwunden und die Magnetisierungen parallel
ausgerichtet. Diese Umorientierung der Magnetisierungen hat zur Folge,
daß der elektrische Widerstand des Schichtpaketes abnimmt und somit ein
Maß für die Stärke des äußeren Magnetfeldes ist. Der Nachteil dieser
Materialien für den angestrebten Verwendungszweck besteht jedoch
darin, daß der Widerstandseffekt, den sie aufweisen, isotrop ist und daß
große Magnetfelder notwendig sind, so daß sie für die Detektion von
Winkeln bislang nicht in Betracht kamen.
Beim zweiten Typ von Giant Magnetowiderstandsmaterialien sind die
ferromagnetischen Schichten durch dia- oder paramagnetische metallische
Zwischenschichten voneinander getrennt, wobei die Zwischenschichten
so gewählt werden müssen, daß die magnetische Austauschkopplung
zwischen den Magnetisierungen der ferromagnetischen Schichten
möglichst gering ist. An einem derartigen System mit magnetisch
"weicheren" Meßschichten und von den Meßschichten getrennten
"härteren" Biasschichten folgen nur die Magnetisierungen der
Meßschichten der Richtung eines äußeren Magnetfeldes, wenn die Stärke
dieses Magnetfeldes entsprechend gewählt wird. Infolge dessen ist der
elektrische Widerstand des beschriebenen Schichtsystems eine eindeutige
Funktion des Winkels des wirkenden Magnetfeldes, wie in
DE 43 01 704 A1 offenbart. Mit der dort beschriebenen Vorrichtung sind
jedoch keine Brückenschaltungen problemlos ausbildbar.
Materialien des ersten genannten Typs zur Detektion von
Magnetfeldkomponenten zum Einsatz zu bringen und damit einen
Magnetfeldsensor zu schaffen, ist bereits von Daughton, J. et al
(Magnetic Field Sensors Using GMR Multilayer, IEEE Trans. on Magn.,
Vol. 30, No. 6, S. 4608 ff., 1994) vorgeschlagen worden. Dort werden
streifenförmige Vielfachschichten aus genannten Materialien in Form
einer Wheatstonebrücke verschaltet, wobei jeweils zwei Streifenleiter
einem durch Polschuhe erzeugten konzentrierten Magnetfeld ausgesetzt
sind, während die anderen beiden Streifenleiter durch die Polschuhe vom
einwirkenden äußeren Magnetfeld abgeschirmt werden. Eine derartige
Anordnung ermöglicht jedoch nur die Bestimmung einer
Magnetfeldkomponente in einer Richtung.
Vorliegender Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen
Drehwinkelgeber unter Verwendung von Giant Magnetowiderstands
materialien mit isotropen magnetoresistivem Effekt anzugeben.
Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des ersten
Patentanspruchs gelöst.
Die Erfindung soll nachstehend anhand schematischer Zeichnungen näher
erläutert werden. Es zeigen:
Fig. 1a eine Darstellung einer Ausführungsform mit einer
Wheatstone-Vollbrücke,
Fig. 1b einen seitlichen Schnitt entlang einer Linie A-A durch
einen Spalt nach Fig. 1,
Fig. 2 eine detailliertere Darstellung von möglichen
Verhältnissen in einem Spalt gemäß Fig. 1b,
Fig. 3 eine Anordnung einer Vollbrücke beschränkt auf ein
90°-Kreissegment und
Fig. 4 a), b) weitere mögliche, von um 135° (a) bzw. um 120°
sowie um 240° (b) verdreht ausgeführte Brücken
anordnungen.
In Fig. 1a,b ist auf einem Substrat 1, welches durch ein thermisch
oxydiertes Si-Substrat o. ä. gebildet ist, eine dicke kreisförmige Schicht 2,
bestehend aus einem weichmagnetischen Material, wie z. B. NiFe 50 : 50,
17 : 83, 19 : 81 aufgebracht. Diese dicke Schicht 2 ist durch zwei senkrecht
aufeinanderstehende Spalte 3 im Beispiel in vier Viertelkreissegmente 4
unterteilt; jeweils benachbarte Segmente schließen einen schmalen Spalt 3
ein . . In jedem dieser Spalte 3 ist ein magnetoresistiver Streifenleiter 51,
52, 53, 54, bestehend aus einem isotropen GMR-Material, eingebettet. Je
zwei senkrecht zueinander liegende Streifenleiter 51-52 bzw. 53-54 sind
zu einer Halbbrücke einer Wheatstonebrücke verschaltet; die gesamte
Anordnung der Streifenleiter 51, 52, 53, 54 bildet eine magnetoresistive
Vollbrücke. Jeder Streifenleiter 51, 52, 53, 54 ist so ausgebildet, daß er
einen möglichst geringen Abstand in der Größenordnung von 0,1 µm zum
benachbarten weichmagnetischen Polsegment 4 aufweist, ohne im Spalt 3
zu diesen in elektrischem Kontakt zu stehen. Die Dicke a der
weichmagnetischen Schicht 2 ist erfindungsgemäß so gewählt, daß das
Verhältnis Spaltbreite b zu Schichtdicke a zwischen 1 und 10 liegt. Die
Herstellung der weichmagnetischen Schicht und genannter Spalte kann
vorteilhaft durch elektrolytische Verstärkung einer mittels physikalischer
Dampfabscheidung aufgebrachten und strukturierten Schicht erfolgen.
Darüber hinaus können durch geeignete Wahl von Kreuzungspunkten die
Kreissegmente 4, wie in Fig. 1a dargestellt, selbst als Kontaktpunkte 81
für die Streifenleiter 51, 52, 53, 54 oder Leitbahnen dienen.
Fig. 1b zeigt einen seitlichen Schnitt entlang einer Linie A-A gemäß Fig.
1a, wobei hier noch ein Permanentmagnet 10 als Signalgeber angedeutet
und dessen Drehachse mit Z bezeichnet ist. Die in Fig. 1b sehr
schematisch dargestellten Verhältnisse im Spalt 3 sind in Fig. 2
detaillierter dargestellt. Fig. 2 zeigt zur Verdeutlichung der
Geometrieverhältnisse einen Querschnitt eines Spaltes 3 entlang der
Schnittlinie A-A gemäß Fig. 1a. Hier ist zur Herstellung des
Schichtsystems eine Strukturierung des Substrates 1 mit einer Si₃N₄-
Hilfsschicht 11 derart vorgenommen worden, daß ein Teil des
thermischen Oxides abgeätzt wurde. Auf diese Struktur erfolgt eine
ganzflächige Abscheidung einer GMR-Schicht. Steile Ätzkanten
vorausgesetzt, wie sie leicht durch Trockenätzen erreichbar sind, ergibt
dies eine elektrische Trennung der als Streifenleiter 51 bis 54
verwendeten GMR-Schicht von der auf dem Substratboden befindlichen
GMR-Schicht 55, wie sie in Fig. 2 ersichtlich ist. Nach Aufbringung und
Strukturierung einer Fotoresistschicht 6, die etwas breiter als der MR-
Streifenleiter ausgeführt ist, kann die weichmagnetische Polschuhschicht
2 auf der als Kontaktunterlage dienenden GMR-Schicht 55 elektrolytisch
abgeschieden werden.
Eine vorteilhafte Dimensionierung entsprechend der Erfindung kann dabei
bspw. sein: a = 1 µm, b = 2 µm und c = 0.2 µm.
Es ist vorteilhaft, zur Realisierung einer zumindest im inneren Bereich der
weichmagnetischen dicken Polschuhschicht 2 kreuzungsfreien Anordnung
der GMR-Streifenleiter 51 bis 54 in ihrer Verschaltung zu einer
Wheatstonebrücke 7 eine geometrische Anordnung beschränkt auf einen
Viertelkreis, wie in Fig. 3 gezeigt, zu wählen und eine Verschaltung, wie
durch Leiterbahnen 8 schematisch angedeutet, vorzusehen. Im Falle der
Verwendung nur einer Halbbrücke, wie sie auch bei einer Ausbildung
nach Fig. 1a möglich ist, erlaubt die innere Verschaltung eine völlig
kreuzungsfreie Ausführung. Ein derartiger Drehwinkelgeber verfügt
ebenso, wie ein gemäß Fig. 1 ausgebildeter, über einen
Eindeutigkeitsbereich des Nachweises von 90°.
Zur Erweiterung des Eindeutigkeitsbereiches des Winkelgebers von 90°
auf 180° kann um einen definierten Winkel α: verdreht (z. B. 135° oder
120° und 240°) eine zweite Wheatstone- bzw. Halbbrücke 71 angeordnet
werden, wie in Fig. 4a dargestellt. Diese Anordnung läßt sich, wie in
Fig. 4b dargestellt, um eine weitere Wheatstone- bzw. Halbbrücke 72
erweitern, so daß ein Drehwinkelgeber mit einem Eindeutigkeitsbereich
von 180° geschaffen ist.
Die Kreissegmente der Polschuhschicht 2 können bevorzugt als
Zuleitungen für die Versorgungsspannungen der Wheatstonebrücken
genutzt werden, wie in den Fig. 1a, 3 und 4 durch + und - angedeutet.
Eine Ausbildung der Polschuhe als Kreissegmente ist vorteilhaft, da sie
einen kleinen Entmagnetisierungsfaktor bedingen.
Es liegt im Rahmen der Erfindung, daß jeder einzelne der genannten
Streifenleiter 51, 52, 53, 54 seinerseits jeweils aus mehreren einzelnen
Teilstreifenleitern ausgebildet sein kann. Dies kann durch eine
schichtpaketartige Anordnung erfolgen, oder durch eine Verlängerung des
GMR-Streifenleiters durch Mäandrierung.
Die erfindungsgemäß gefertigten Drehwinkelgeber liefern
Signalamplituden, die um ein bis mehrere Größenordnungen höher sind,
als die mit bisherigen magnetoresistiven Materialien hergestellten
Drehwinkelgeber erreichbaren Amplituden, wodurch der
schaltungstechnische Aufwand deutlich reduziert wird und neue
Einsatzgebiete erschlossen werden können.
Bezugszeichenliste
1 Substrat
11 Si₃N₄-Hilfsschicht
2 Polschuhschicht
3 Spalte
4, 41 Kreissegmente
51, 52, 53, 54 GMR-Streifenleiter
55 als Kontaktunterlage dienende GMR-Schicht
6 Fotoresist
7, 71, 72 Wheatstonebrücken
8 Leiterbahnen
81 Kontaktpunkte
9 Unterlage
10 Permanentmagnet
a Dicke der Polschuhschicht 2
b Breite der Spalte 3
c Dicke der GMR-Schicht
A-A Schnittlinie
α Winkel
Z Drehachse
11 Si₃N₄-Hilfsschicht
2 Polschuhschicht
3 Spalte
4, 41 Kreissegmente
51, 52, 53, 54 GMR-Streifenleiter
55 als Kontaktunterlage dienende GMR-Schicht
6 Fotoresist
7, 71, 72 Wheatstonebrücken
8 Leiterbahnen
81 Kontaktpunkte
9 Unterlage
10 Permanentmagnet
a Dicke der Polschuhschicht 2
b Breite der Spalte 3
c Dicke der GMR-Schicht
A-A Schnittlinie
α Winkel
Z Drehachse
Claims (11)
1. Drehwinkelgeber unter Verwendung von Giant Magnetowiderstands
materialien, die in Streifenform vorliegen und zu wenigstens einer
Halbbrücke mit je zwei GMR-Streifenleitern (51, 52; 53, 54)
verschaltet sind, wobei die GMR-Streifenleiter (51, 52; 53, 54)
miteinander einen Winkel α, 30° α 150°, einschließen, und
innerhalb von Spalten (3) zwischen weichmagnetischen
Polschuhsegmenten in möglichst geringem Abstand angeordnet sind,
ohne die weichmagnetischen Polschuhsegmente (4, 41) elektrisch zu
kontaktieren, wobei das Verhältnis von Spaltbreite (b) zu Spalthöhe
(a), zumindest am Spaltrand, zwischen 1 und 10 beträgt und die
Spalthöhe (a) größer oder gleich der GMR-Streifenleiterschichtdicke
(c) ist.
2. Drehwinkelgeber gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
weichmagnetischen Polschuhsegmente als Kreissegmente (4, 41)
ausgebildet sind.
3. Drehwinkelgeber gemäß Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die eine Halbbrücke bildenden GMR-Streifenleiter (51, 52; 53, 54)
zueinander in einem Winkel α = 90° angeordnet sind und wenigstens
das durch die GMR-Streifenleiter (51, 52; 53, 54) eingeschlossene
Kreissegment (41) einen Zentriwinkel von 90° aufweist.
4. Drehwinkelgeber gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
genannte GMR-Streifenleiter (51, 52; 53, 54) parallel zum Spalt (3)
angeordnet sind.
5. Drehwinkelgeber gemäß Anspruch 1, 3 oder 4, dadurch
gekennzeichnet, daß die GMR-Streifenleiter (51, 52; 53, 54) auf einer
Unterlage (9) angebracht sind.
6. Drehwinkelgeber gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die weichmagnetischen Polschuhsegmente
zugleich elektrische Anschlüsse für die GMR-Streifenleiter (51, 52; 53,
54) bilden.
7. Drehwinkelgeber gemäß Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß
- - mehrere Halbbrücken eingesetzt sind,
- - die Halbbrücken um eine durch den Schnittpunkt der die Halbbrücken bildenden GMR-Streifenleiter (51, 52, 53, 54) gehende gemeinsame Achse (Z) verdreht angeordnet sind.
8. Drehwinkelgeber gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß
zwei Halbbrücken eingesetzt sind, die zueinander um einen Winkel von
135° verdreht angeordnet sind.
9. Drehwinkelgeber gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß drei
Halbbrücken eingesetzt sind, die zueinander um einen Winkel von 120°
verdreht angeordnet sind.
10. Drehwinkelgeber gemäß Anspruch 7, 8 oder 9, dadurch
gekennzeichnet, daß zwei Halbbrücken zu einer Wheatstonevollbrücke
verschaltet sind, wobei die Halbbrücken zueinander parallel angeordnet
sind.
11. Drehwinkelgeber gemäß einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß die GMR-Streifenleiter (51, 52, 53, 54) jeweils in
schichtpaketartiger oder mäandrierter Anordnung vorliegen.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1995132674 DE19532674C1 (de) | 1995-09-05 | 1995-09-05 | Drehwinkelgeber unter Verwendung von Giant Magnetowiderstandsmaterialien |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1995132674 DE19532674C1 (de) | 1995-09-05 | 1995-09-05 | Drehwinkelgeber unter Verwendung von Giant Magnetowiderstandsmaterialien |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19532674C1 true DE19532674C1 (de) | 1996-11-07 |
Family
ID=7771267
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1995132674 Expired - Fee Related DE19532674C1 (de) | 1995-09-05 | 1995-09-05 | Drehwinkelgeber unter Verwendung von Giant Magnetowiderstandsmaterialien |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19532674C1 (de) |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19649265A1 (de) * | 1996-11-28 | 1998-06-04 | Inst Physikalische Hochtech Ev | GMR-Sensor mit neuartiger Wheatstonebrücke |
EP0905523A2 (de) * | 1997-09-24 | 1999-03-31 | Siemens Aktiengesellschaft | Sensoreinrichtung zur Richtungserfassung eines äusseren Magnetfeldes mittels eines magnetoresistiven Sensorelementes |
FR2773395A1 (fr) * | 1998-01-05 | 1999-07-09 | Commissariat Energie Atomique | Capteur angulaire lineaire a magnetoresistances |
EP1006341A1 (de) * | 1998-12-01 | 2000-06-07 | Ford Motor Company | Drehgeber mit redundanter Erfassung |
DE19953190A1 (de) * | 1999-11-05 | 2001-05-23 | Bosch Gmbh Robert | Sensoranordnung zur Erfassung eines Drehwinkels |
WO2002006845A1 (en) * | 2000-07-13 | 2002-01-24 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Magnetoresistive angle sensor having several sensing elements |
DE10127754A1 (de) * | 2001-06-07 | 2003-01-23 | Bosch Gmbh Robert | Magnetoresistive Schichtanordnung |
GB2379025A (en) * | 1998-12-01 | 2003-02-26 | Ford Motor Co | Rotary position sensor |
DE19956361C2 (de) * | 1998-12-01 | 2003-03-06 | Ford Motor Co | Drehwinkelsensor |
DE10222468A1 (de) * | 2002-05-22 | 2003-12-11 | A B Elektronik Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung von Ausgangsspannungen |
EP1406068A1 (de) * | 2002-10-03 | 2004-04-07 | Alps Electric Co., Ltd. | Rotationswinkel-Detektor mit GMR-Sensor-Paaren, die über eine Wheatstone-Brücke miteinander verbunden sind |
DE10255327A1 (de) * | 2002-11-27 | 2004-06-24 | Robert Bosch Gmbh | Magnetoresistives Sensorelement und Verfahren zur Reduktion des Winkelfehlers eines magnetoresistiven Sensorelements |
US6882145B2 (en) | 2000-06-09 | 2005-04-19 | Institut Fuer Physikalische Hochtechnologie E.V. | Wheatstone bridge containing bridge elements, consisting of a spin-valve system and a method for producing the same |
US7141965B2 (en) | 2003-11-26 | 2006-11-28 | International Business Machines Corporation | Magnetic encoder system |
WO2007007130A1 (en) * | 2005-07-14 | 2007-01-18 | Evangelos Hristoforou | Weak magnetostatic field electronic sensor |
WO2010091846A3 (de) * | 2009-02-10 | 2010-10-14 | Sensitec Gmbh | Anordnung zur messung mindestens einer komponente eines magnetfeldes |
US7924534B2 (en) * | 2004-12-15 | 2011-04-12 | International Business Machines Corporation | Magnetic sensor |
US8274277B2 (en) | 2003-11-26 | 2012-09-25 | International Business Machines Corporation | High-resolution magnetic encoder |
EP3470863A1 (de) * | 2017-10-12 | 2019-04-17 | Melexis Technologies NV | Integrierte magnetische struktur |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD256628A3 (de) * | 1988-05-18 | Anordnung zur betrags- und richtungsmäßigen Messung von Magnetfeldern | ||
DE4301704A1 (de) * | 1993-01-22 | 1994-07-28 | Siemens Ag | Vorrichtung zum Erfassen einer Winkelposition eines Objektes |
DE4317512A1 (de) * | 1993-05-26 | 1994-12-01 | Univ Schiller Jena | Vorrichtung zur berührungslosen Nullpunkt-, Positions- und Drehwinkelmessung |
-
1995
- 1995-09-05 DE DE1995132674 patent/DE19532674C1/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD256628A3 (de) * | 1988-05-18 | Anordnung zur betrags- und richtungsmäßigen Messung von Magnetfeldern | ||
DE4301704A1 (de) * | 1993-01-22 | 1994-07-28 | Siemens Ag | Vorrichtung zum Erfassen einer Winkelposition eines Objektes |
DE4317512A1 (de) * | 1993-05-26 | 1994-12-01 | Univ Schiller Jena | Vorrichtung zur berührungslosen Nullpunkt-, Positions- und Drehwinkelmessung |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
J. Daughton et.al., Magnetic Field Sensors Using GMB Multilayer, in: IEEE Trans. on Magn., Vol. 30,No. 6 (1994), S. 4608-4610 * |
R. v. Helmolt et.al., Giant Negativ Magneto resistance in Perorshite like La ¶2/3¶ Ba ¶1/3¶ MnO¶x¶ Ferromagnetic Films, in: Phys. Ber. Lett., Vol. 71 No. 14 (1993) S. 2331-2333 * |
Cited By (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19649265C2 (de) * | 1996-11-28 | 2001-03-15 | Inst Physikalische Hochtech Ev | GMR-Sensor mit einer Wheatstonebrücke |
DE19649265A1 (de) * | 1996-11-28 | 1998-06-04 | Inst Physikalische Hochtech Ev | GMR-Sensor mit neuartiger Wheatstonebrücke |
US6313627B1 (en) | 1997-09-24 | 2001-11-06 | Siemens Aktiengesellschaft | Sensor device for detecting the direction of an external magnetic field using a magnetoresistive sensor element |
EP0905523A3 (de) * | 1997-09-24 | 2000-02-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Sensoreinrichtung zur Richtungserfassung eines äusseren Magnetfeldes mittels eines magnetoresistiven Sensorelementes |
EP0905523A2 (de) * | 1997-09-24 | 1999-03-31 | Siemens Aktiengesellschaft | Sensoreinrichtung zur Richtungserfassung eines äusseren Magnetfeldes mittels eines magnetoresistiven Sensorelementes |
WO1999035469A1 (fr) * | 1998-01-05 | 1999-07-15 | Commissariat A L'energie Atomique | Capteur angulaire lineaire a magnetoresistances |
FR2773395A1 (fr) * | 1998-01-05 | 1999-07-09 | Commissariat Energie Atomique | Capteur angulaire lineaire a magnetoresistances |
GB2379025A (en) * | 1998-12-01 | 2003-02-26 | Ford Motor Co | Rotary position sensor |
EP1006341A1 (de) * | 1998-12-01 | 2000-06-07 | Ford Motor Company | Drehgeber mit redundanter Erfassung |
DE19956361C2 (de) * | 1998-12-01 | 2003-03-06 | Ford Motor Co | Drehwinkelsensor |
GB2344424B (en) * | 1998-12-01 | 2003-09-10 | Ford Motor Co | Magnetic field concentrator array for rotary position sensors |
DE19953190C2 (de) * | 1999-11-05 | 2002-11-07 | Bosch Gmbh Robert | Sensoranordnung zur Erfassung eines Drehwinkels |
DE19953190A1 (de) * | 1999-11-05 | 2001-05-23 | Bosch Gmbh Robert | Sensoranordnung zur Erfassung eines Drehwinkels |
DE10028640B4 (de) * | 2000-06-09 | 2005-11-03 | Institut für Physikalische Hochtechnologie e.V. | Wheatstonebrücke, beinhaltend Brückenelemente, bestehend aus einem Spin-Valve-System, sowie ein Verfahren zu deren Herstellung |
US6882145B2 (en) | 2000-06-09 | 2005-04-19 | Institut Fuer Physikalische Hochtechnologie E.V. | Wheatstone bridge containing bridge elements, consisting of a spin-valve system and a method for producing the same |
WO2002006845A1 (en) * | 2000-07-13 | 2002-01-24 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Magnetoresistive angle sensor having several sensing elements |
DE10127754A1 (de) * | 2001-06-07 | 2003-01-23 | Bosch Gmbh Robert | Magnetoresistive Schichtanordnung |
DE10127754B4 (de) * | 2001-06-07 | 2014-11-20 | Robert Bosch Gmbh | Magnetoresistive Schichtanordnung |
DE10222468A1 (de) * | 2002-05-22 | 2003-12-11 | A B Elektronik Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung von Ausgangsspannungen |
EP1406068A1 (de) * | 2002-10-03 | 2004-04-07 | Alps Electric Co., Ltd. | Rotationswinkel-Detektor mit GMR-Sensor-Paaren, die über eine Wheatstone-Brücke miteinander verbunden sind |
US7064537B2 (en) | 2002-10-03 | 2006-06-20 | Alps Electric Co., Ltd. | Rotation angle detecting device |
DE10255327A1 (de) * | 2002-11-27 | 2004-06-24 | Robert Bosch Gmbh | Magnetoresistives Sensorelement und Verfahren zur Reduktion des Winkelfehlers eines magnetoresistiven Sensorelements |
US8274277B2 (en) | 2003-11-26 | 2012-09-25 | International Business Machines Corporation | High-resolution magnetic encoder |
US7141965B2 (en) | 2003-11-26 | 2006-11-28 | International Business Machines Corporation | Magnetic encoder system |
US7924534B2 (en) * | 2004-12-15 | 2011-04-12 | International Business Machines Corporation | Magnetic sensor |
WO2007007130A1 (en) * | 2005-07-14 | 2007-01-18 | Evangelos Hristoforou | Weak magnetostatic field electronic sensor |
GR20050100365A (el) * | 2005-07-14 | 2007-02-15 | Ευαγγελος Βασιλειου Χριστοφορου | Ηλεκτρονικος αισθητηρας ασθενους μαγνητοστατικου πεδιου |
CN102317804A (zh) * | 2009-02-10 | 2012-01-11 | 路斯特传感器技术有限公司 | 测量磁场的至少一个分量的装置 |
WO2010091846A3 (de) * | 2009-02-10 | 2010-10-14 | Sensitec Gmbh | Anordnung zur messung mindestens einer komponente eines magnetfeldes |
CN102317804B (zh) * | 2009-02-10 | 2015-01-07 | 路斯特传感器技术有限公司 | 测量磁场的至少一个分量的装置 |
US8957679B2 (en) | 2009-02-10 | 2015-02-17 | Sensitec Gmbh | Assembly for measuring at least one component of a magnetic field |
EP3470863A1 (de) * | 2017-10-12 | 2019-04-17 | Melexis Technologies NV | Integrierte magnetische struktur |
US10883857B2 (en) | 2017-10-12 | 2021-01-05 | Melexis Technologies Nv | Integrated magnetic structure |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19532674C1 (de) | Drehwinkelgeber unter Verwendung von Giant Magnetowiderstandsmaterialien | |
DE69932800T2 (de) | Anordnung mit einer ersten und einer zweiten ferromagnetischen schicht getrennt durch eine nicht-magnetische abstandsschicht | |
EP0905523B1 (de) | Sensoreinrichtung zur Richtungserfassung eines äu eren Magnetfeldes mittels eines magnetoresistiven Sensorelementes | |
DE69818884T2 (de) | Magnetoresistiver Sensor | |
DE102007032867B4 (de) | Magnetoresistive Magnetfeldsensorstrukturen und Herstellungsverfahren | |
DE102009050427B4 (de) | Magnetsensorsystem und Verfahren | |
DE19649265C2 (de) | GMR-Sensor mit einer Wheatstonebrücke | |
DE60025146T2 (de) | Herstellungsverfahren für eine magnetische fühleranordnung | |
DE102005009390B3 (de) | Kraftsensor, Verfahren zur Ermittlung einer auf einen Kraftsensor wirkenden Kraft mittels eines Mehrschichtsystems aus magnetischen Schichten | |
DE10028640A1 (de) | Wheatstonebrücke, beinhaltend Brückenelemente, bestehend aus einem Spin-Valve-System, sowie ein Verfahren zu deren Herstellung | |
DE102009007479A1 (de) | Dünnfilm-Magnetsensor | |
DE112007003025T5 (de) | Magnetsensor und Magnetkodierer, der ihn nutzt | |
WO1997013120A1 (de) | Vorrichtung zur berührungslosen positionserfassung eines objektes und verwendung der vorrichtung | |
DE4434912A1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Sensoreinrichtung mit GMR-Sensorelementen | |
EP1567878B1 (de) | Magnetoresistives sensorelement und verfahren zur reduktion des winkelfehlers eines magnetoresistiven sensorelements | |
DE102006010652B4 (de) | Magnetfeldsensor | |
DE10128135A1 (de) | Magnetoresistive Schichtanordnung und Gradiometer mit einer derartigen Schichtanordnung | |
DE19949714A1 (de) | Magnetisch sensitives Bauteil, insbesondere Sensorelement, mit magnetoresistiven Schichtsystemen in Brückenschaltung | |
DE69617334T2 (de) | Spinventil-Magnetkopf mit magnetoresistivem Effekt und System | |
WO2002082111A1 (de) | Verfahren zur einstellung einer magnetisierung in einer schichtanordnung und dessen verwendung | |
DE19742366C1 (de) | Einrichtung mit magnetoresistivem Sensorelement und zugeordneter Magnetisierungsvorrichtung | |
DE102015100226A1 (de) | Magnetfeldsensor und Magnetfelderfassungsverfahren | |
EP0730162A2 (de) | Sensoreinrichtung mit einer Brückenschaltung von magnetoresistiven Sensorelementen | |
DE2701296C2 (de) | Dünnschicht-Magnetfeld-Sensor | |
EP0867692B1 (de) | Einrichtung zur berührungslosen Positionserfassung eines Objektes und Verwendung der Einrichtung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8100 | Publication of the examined application without publication of unexamined application | ||
D1 | Grant (no unexamined application published) patent law 81 | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8320 | Willingness to grant licenses declared (paragraph 23) | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: INSTITUT FUER PHOTONISCHE TECHNOLOGIEN E.V., 0, DE |
|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
Effective date: 20110401 |