DE1951760A1 - Infinitely adjustable electroacoustic delay device - Google Patents

Infinitely adjustable electroacoustic delay device

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DE1951760A1
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electrically charged
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DE19691951760
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Soule William J
Whitney David J
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Lockheed Martin Corp
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Sanders Associates Inc
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/30Time-delay networks
    • H03H9/38Time-delay networks with adjustable delay time

Description

Patentanwalt ^^ ROBERT MÜNZHIJBERPatent attorney ^^ ROBERT MÜNZHIJBER

WIDEKMiTIKSTE. ί · J (OS 11) IX »β ΙΟ, se Bl geWIDEKMITICS. ί · J (OS 11) IX »β ΙΟ, se Bl ge

A 39769A 39769

14. Oktober 1969 Ml/He/ ScOctober 14, 1969 Ml / He / Sc

Firma SANDERS ASSOCIATES, INC., Daniel Webster Highway South, Nashua, New Hampshire /USASANDERS ASSOCIATES, INC., Daniel Webster Highway South, Nashua , New Hampshire / USA

Stufenlos verstellbare elektroakustische VerzögerungseinrichtungInfinitely adjustable electroacoustic delay device

Die Erfindung betrifft eine elektrische Verzögerungseinrichtung, insbesondere eine kontinuierlich verstellbare elektroakustische Verzögerungseinrichtung.The invention relates to an electrical delay device, in particular a continuously adjustable electroacoustic delay device.

Man hat bisher auf zwei Arten versucht, dem Problem kontinuierlich verstellbarer, elektrischer Verzögerungsstrecken beizukommen. Der eine Weg ging über die Schaffung von Verzögerungsstrecken von zwei oder mehreren Elementen aus nicht-piezoelektrischem Material. Die Verzögerung wurde in solch einem Apparat damit erreicht, daß die einzelnen Verzögerungselemente aufeinander verschoben wurden, so daß dadurch die W-eglängen zwischen dem Eingangs- und Ausgangswandler vergrößert oder verkleinert werden. Dieser Weg enthält mehrere Nachteile:Attempts have hitherto been made in two ways to overcome the problem of continuously adjustable electrical delay lines. One way was through creation of delay lines of two or more elements made of non-piezoelectric material. The delay was achieved in such an apparatus by shifting the individual delay elements onto one another, so that thereby the W-lengths between the input and Output converter can be enlarged or reduced. There are several disadvantages to this route:

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rambtrg 51 £M Bonkriau» Mara, Finde & Co., MOnchtn, Nr. 25 444 I Bankhaus H. Aufhaut», MOndien, Nr. 261300 Posiidiedt. MOndian 1536rambtrg £ 51 M Bonkriau "Mara, Finde & Co., Munich, No. 25 444 I Bankhaus H. Aufhaut", MOndien, No. 261300 Posiidiedt. Indian 1536

München 308 04Munich 308 04

_2_ 1351760_ 2 _ 1351760

Besonders die Berührungsfläche zwischen den einzelnen Verzögerungselementen kann zu unerwünschten Reflexionen der akustischen Wellen führen, worunter die Genauigkeit, mit der ein Eingangssignal verzögert wird, leidet. Außerdem ist immer, wenn Körper aneinander reiben, mit Abnutzung zu rechnen, wodurch die Brauchbarkeit des Gerätes nochmals vermindert wird. Diese mechanisch verstellbaren Verzögerungsstrekken reagieren nicht schnell und haben nur begrenzte Bandbreite. Especially the contact area between the individual delay elements can lead to unwanted reflections of the acoustic waves, including the accuracy with that an input signal is delayed suffers. In addition, wear and tear is always to be expected when bodies rub against each other. whereby the usability of the device is further reduced. These mechanically adjustable delay lines do not respond quickly and have limited bandwidth.

Der zweite Lösungsweg sind die elektro-optischen Verzögerungsstrecken, in denen die Verlängerung der Verzögerungszeit durch räumliche Verstellung eines optischen Systems gegenüber einer akustischen Verzögerungsstrecke erzielt wird. Derartige Verzögerungsstrecken sind generell sehr teuer und müssen auch bei der Verstellung der Verzögerungszeit mechanisch manipuliert werden. Die Ansprechzeit solcher Vorrichtungen ist unerwünscht lang und der Stellbereich der Verzögerungszeit ziemlich begrenzt. The second solution are the electro-optical delay lines, in which the extension of the delay time through spatial adjustment of an optical system compared to an acoustic delay line is achieved. Such delay lines are generally very expensive and must also be mechanically manipulated when adjusting the delay time. The response time of such devices is undesirably long and the setting range of the delay time is rather limited.

Es ist deshalb Hauptaufgabe der Erfindung, eine elektroakustische Verzögerungseinrichtung zu schaffen, in der die Verzögerungszeit mit elektronischen Mitteln kontinuierlich verstellbar ist.It is therefore the main object of the invention to provide an electroacoustic delay device in which the Delay time is continuously adjustable by electronic means.

Weiter besteht die Aufgabe darin, eine Vorrichtung der oben beschriebenen Art zu schaffen, in der die Verzögerungs-Another object is to create a device of the type described above in which the delay

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zeit durch Ablenkung eines aus geladenen Teilchen gebildeten Strahls verändert wird, der 'auf ein Verzogerungselement an Stellen einwirkt, die von der Abnahmeeinrichtung verschiedene Abstände haben.time is changed by deflecting a beam formed from charged particles, which 'on a delay element Acts that have different distances from the acceptance device.

Des v/eiteren soll mit der Erfindung ein Gerät der oben beschriebenen Art geschaffen werden, das nur einen einzigen elektroakustischen Wandler als Verzögerungselement aufweist.The further aim of the invention is to provide a device as described above described type are created, which has only a single electroacoustic transducer as a delay element.

Das Gerät gemäß der Erfindung soll außerdem eine sehr kurze Ansprechzeit aufweisen.The device according to the invention should also have a very short response time.

Eine weitere Unteraufgabe der Erfindung besteht darin, ein Gerät vorstehend beschriebener Art zu schaffen, dessen Stellbereich für die Verzögerungszeit sehr groß ist.Another sub-object of the invention is to provide a device of the type described above, the Setting range for the delay time is very large.

Da? erfindungsgemäße Gerät soll überdies in der Lage sein, lange Signalketten hervorzubringen.There? The device according to the invention should also be able to be to produce long signal chains.

Weiter besteht die Aufgabe der Erfindung darin, einen neuen Verzögerungsspeicher zu schaffen.Another object of the invention is to create a new delay memory.

Eine zusätzliche Aufgabe der Erfindung kann darin gesehen werden, neuartige Mittel zu schaffen, mit denen die Computerbandbreite zusammengedrückt wird.An additional object of the invention can be seen therein to create novel means of squeezing computer bandwidth.

Es ist außerdem Aufgabe der Erfindung, Mittel zu schaffe:;, um unbegrenzte Verzögerungszeiten von am Eingang einge-_It is also an object of the invention to provide means:;, by unlimited delay times from the input

ÜU9S19/1276ÜU9S19 / 1276

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gegebenen Signalen zu erzielen durch Anwendung der Echotechnik. to achieve given signals by using echo technology.

Weiter besteht die Aufgabe der Erfindung darin, eine kontinuierlich verstellbare elektrische Verzögerungseinrichtung zu schaffen, in der ein piezoelektrischer Wandler Mittel zur Erzeugung von Sekundärelektronenimmission enthält, um auf diese Weise das durch die Einwirkung des elektrisch geladenen Partikelstrahls erzeugte Signal zu verstärken.Another object of the invention is to provide a continuously adjustable electrical delay device to create, in which a piezoelectric transducer contains means for generating secondary electron immission, in order to amplify the signal generated by the action of the electrically charged particle beam.

Es ist außerdem Aufgabe der Erfindung, ein Gerät der beschriebenen Art zu schaffen, in welchem mehrere Quellen für geladene Teilchen und mehrere Abnahmeeinrichtungen verwendet werden, um gleichzeitig bei mehreren Eingangssignalen eine Verzögerung hervorzurufen.It is also an object of the invention to provide an apparatus of the type described in which multiple sources for charged particles and multiple sampling devices can be used to simultaneously measure multiple input signals cause a delay.

Zur Lösung der Aufgabe wird erfindungsgemäß eine kontinuierlich verstellbare elektrische Verzögerungseinrichtung geschaffen, die ein elektroakustisches Verzögerungselement mit beispielsweise einem piezoelektrischen Wandler enthält, eine Quelle für elektrisch geladene Teilehen wie etwa eine Elektronenstrahlkanone, Mittel, wie etwa elektrostatische Ablenkplatten für die Ablenkung der geladenen Teilchen und Ausgangsklemmen, die mit dem Verzögerungselement verbunden sind. Diese gesamte Einrichtung ist in einer Schutzumhüllung enthalten, die entweder evakuiert oder mit einem geeigneten Schutzgas gefüllt sein kann. Die Quelle für die geladenenAccording to the invention, a continuously adjustable electrical delay device is used to achieve the object created which contains an electroacoustic delay element with, for example, a piezoelectric transducer, a source of electrically charged parts such as an electron beam gun; means such as electrostatic ones Deflector plates for deflecting the charged particles and output terminals connected to the retardation element are. This entire facility is contained in a protective enclosure that is either evacuated or covered with a suitable one Protective gas can be filled. The source for the loaded

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Teilchen, die durch ein Eingangssignal angeregt wird, erzeugt einen gebündelten Strahl der geladenen Teilchen, der so abgelenkt wird, daß er auf einem Punkt auf dem elektroakustischen Verzögerungselement auftritt, der von der Ausgangsklemme einen bestimmten Abstand hat. Das Auftreffen der geladenen Teilchen auf dem Verzögerungselement erzeugt in ihm eine akustische Welle, die mit einer bekannten und festen Geschwindigkeit durch das Verzögerungselement zu einem Abgriffpunkt wandert, wo sie in ein elektrisches Signal zurückverwandelt wird. Es ist daraus verständlich, daß mit dem durch die Erfindung geschaffenen Gerät die Verzögerungszeit auf einfache Weise durch bestimmte Ablenkung des Teilchenstrahls auf einen gewünschten Wer^t eingestellt werden kann, da die Geschwindigkeit der Schallausbreitung inParticle that is excited by an input signal creates a focused beam of charged particles, the is deflected so that it occurs at a point on the electroacoustic delay element that is from the output terminal has a certain distance. The impact of the charged particles on the retardation element generates an acoustic wave in it, which has a known and fixed speed travels through the delay element to a tap point where it is converted into an electrical signal is converted back. It can be understood from this that with the apparatus provided by the invention, the delay time can be set to a desired value in a simple manner by a certain deflection of the particle beam can, since the speed of sound propagation in

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einem bestimmten Verzögerungselement genau bekannt ist, dem für den Teilchenstrahl der durch das Produkt aus der gewünschten Verzögerungszeit und der akustischen Schallgeschwindigkeit gegebene Abstand für das Auftreffen des Strahl gewählt wird. Die Verzögerungszeit ist somit kontinuierlich und genau lediglich mit Hilfe elektronischer Steuermittel einstellbar.a particular delay element is known exactly to the for the particle beam through the product of the desired delay time and the acoustic speed of sound given distance for the impingement of the beam is chosen. The delay time can thus be set continuously and precisely only with the aid of electronic control means.

Die voranstehend bezeichneten Merkmale, Eigenschaften und Vorteile der Erfindung werden durch die nun folgende Beschreibung von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen noch deutlicher offenbar. Es zeigen: The features and properties described above and advantages of the invention will be provided by what follows Description of the embodiments shown in the drawing even more clearly apparent. Show it:

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Fig. 1 eine schematisierte Darstellung einer kontinuierlich verstellbaren Verzögerungseinrichtung gemäß der Erfindung;Fig. 1 is a schematic representation of a continuously adjustable delay device according to the invention;

Fig". 2 ein weiteres· Ausführungsbeispiel einer Verzögerungseinrichtung gemäß der Erfindung mit einer SekundärelektronenverStärkungseinrichtung; FIG. 2 shows a further exemplary embodiment of a Delay device according to the invention with a secondary electron amplification device;

Fig. 3 in schematischer Darstellung ein drittes Ausführungsbeispiel des Verzögerungselementes gemäß der Erfindung mit einer sehr langen Verzögerungszeit; Fig. 3 in a schematic representation third embodiment of the delay element according to the invention with a very long delay time;

Fig; 4 ein anderes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Einrichtung mit Mitteln zur Stellungsveränderung des Strahls geladener Teilchen;Fig; 4 shows another embodiment of the device according to the invention Means for changing the position of the charged particle beam;

Fig. 5 eine schematische DarstellungpinesFig. 5 is a schematic representation of pins

Ausführungsbeispiels nach der Erfindung mit mehreren Verzögerungselementen; Embodiment according to the invention with a plurality of delay elements;

Fig. 6 schematisch dargestellt ein AusfUhrungsbeispiel der erfindungsgemäßen Einrichtung, in der mehrere Eingangssignale gleichzeitig verzögert werden können;6 shows a schematic representation of an exemplary embodiment the device according to the invention, in which several input signals are delayed simultaneously can;

Fig. 7 eine Echostrahlabienkungsvorrichtung, die nach den Grundsätzen der Erfindung aufgebaut ist.7 shows an echo beam deflection device, which is constructed according to the principles of the invention.

C In Fig. 1 ist eine schematische Ansicht einer kontinuierlich C In Fig. 1 is a schematic view of a continuous

verstellbaren elektrischen Verzögerungseinrichtung gezeigt, die nach den Wesensmerkmalen der Erfindung aufgebaut ist. Die Vorrichtung weist eine Quelle für geladene Teilchen auf, die insgesamt mit 10 bezeichnet ist, ein Ablenksystem für diese Teilchen und ein Verzögerungselement 14. Die Cuelle für diese geladenen Teilchen ist als gewöhnliche Elektro- · nenstrahlkanone mit einer Kathode 16, einem Gitter 18 undadjustable electrical delay device shown, which is constructed according to the characteristics of the invention. The device comprises a source of charged particles, indicated generally at 10, a deflection system for these particles and a retardation element 14. The source for these charged particles is as ordinary electrical · nenstrahlkanone with a cathode 16, a grid 18 and

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einer Anodenanordnung 20 dargestellt. Zwischen Kathode 16 und Anodenaiiordnung 20 wird eine von einer Spannungszuführvorrichtung 22 herrührende Beschleunigungsspannung angelegt. Ein Geber für die Eingangssignale 24 liegt zwischen Kathode 16 und Gitter 18, so daß damit der Strahl geladener Teilchen 26 intensitäts- oder amplitudenmoduliert werden kann.an anode assembly 20 is shown. Between cathode 16 and anode assembly 20 becomes one of a power supply device 22 resulting acceleration voltage applied. A transmitter for the input signals 24 lies between Cathode 16 and grid 18, so that the beam is more charged Particles 26 can be intensity or amplitude modulated.

Das Ablenksystem 12 kann in herkömmlicher V/eise aus in Längs- und .'uerrichtung wirkenden elektrostatischen Ablenkplatten 28 und JO und 52 und 54 aufgebaut sein, die an entsprechende Spannungsquellen j6 und J>Q angeschlossen sind. Es sind jedoch auch magnetische Ablenkjoche der bekannten Art bei der Erfindung verwendbar.The deflection system 12 can be constructed in the conventional manner from electrostatic deflection plates 28 and JO and 52 and 54 which act in the longitudinal and vertical directions and which are connected to corresponding voltage sources j6 and J> Q. However, magnetic deflection yokes of the known type can also be used with the invention.

Das Verzögerungselement 14 weist einen elektro^akustischen V/andler 15 auf, der später noch genauer beschrieben wird und der auf einer Grundplatte 40 ruht und mit Ausgangsklemmen 42 und J\h an seinen, beiden Enden versehen ist. Akustische Abschlußelemente 46 und 48 aus Blei, Zinn, Quarz oder einem sonstigen geeigneten Werkstoff, deren Funktion später noch genauer beschrieben wird, sind an den Enden des Wandlers im Anschluß an die Anschlußklemmen angeordnet. Alle diese beschriebenen Elemente sind innerhalb eines Gehäuses 50 untergebracht, von dem lediglich ein kleiner Teil gezeigt ist und in dem bestimmte Umgebungsbedingungen herrschen. Bei demThe delay element 14 has an electro-acoustic converter 15, which will be described in more detail later and which rests on a base plate 40 and is provided with output terminals 42 and J \ h at its two ends. Acoustic termination elements 46 and 48 made of lead, tin, quartz or some other suitable material, the function of which will be described in more detail later, are arranged at the ends of the transducer in connection with the connection terminals. All of these elements described are accommodated within a housing 50, only a small part of which is shown and in which certain ambient conditions prevail. In which

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gezeigten Ausführungsbeispiel ist diese Umgebung imviesentliehen ein Vakuum. Das Gehäuse 50 besteht vorzugsweise aus Glas, jedoch können auch keramische Materialien oder Metall verwendet werden. Die Verzögerungsvorrichtung hat somit etwa den Aufbau einer Kathodenstrahlröhre.shown embodiment, this environment is inherently borrowed a vacuum. The housing 50 is preferably made of Glass, but ceramic materials or metal can also be used. The delay device thus has about the structure of a cathode ray tube.

Im Betrieb wird zwischen 16 und Gitter 18 ein zu verzögerndes Signal von der Signalzuführung 24 angelegt. Eine Gleichspannung, die von der Leistungszuführung 22 zwischen Kathode 16 und Anodenanordnung 22 angelegt ist, beschleunigt die geladenen Teilchen, die von der Kathode 16 ausgehen, so daß sie durch die Anodenanordnung 20 hindurchtreten und zu einem Teilchenstrahl gebündelt werden und dabei zum Ablenksystem 12 gelangen. Das Eingangssignal moduliert die Intensität des Teilchenstrahles 26. During operation, a signal to be delayed is applied from the signal feed 24 between 16 and grid 18. One DC voltage from the power supply 22 between Cathode 16 and anode assembly 22 is applied, accelerated the charged particles emanating from the cathode 16 so that they pass through the anode arrangement 20 and are bundled to a particle beam and thereby to the deflection system 12 arrive. The input signal modulates the intensity of the particle beam 26.

Die Ablenkplatten 28 und 30, 32 und 34 sind mit Spannungsqullen 36 und 38 variabler Spannung verbunden. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel dienen die Platten 32 und 34 für die Querablenkung des Strahles 26 und sorgen dafür, daß der Strahl auf den Wandler 15 auftrifft. Die Ablenkplatten 28 und 30 besorgen die Ablenkung des Strahles 26 in Richtung der Längsachse des Wandlers 15 und bewirken, daß der Strahl auf den Wandler' in bestimmtem Abstand von den Entnahmeanschlüssen 42 und auftrifft. Die Größe der Verzögerung, die ein Eingangssignal auf diese Weise erhält, wird durch das Maß der Längsablenkung des Teilchenstrahls 26 bestimmt und ist direkt abhängig von derThe baffles 28 and 30, 32 and 34 are voltage sources 36 and 38 variable voltage connected. In the illustrated embodiment, the plates 32 and 34 are used for the transverse deflection of the beam 26 and ensure that the Beam impinges on the transducer 15. The baffles 28 and 30 take care of the deflection of the beam 26 in the direction of the longitudinal axis of the transducer 15 and cause the beam to hit the transducer ' at a certain distance from the extraction connections 42 and hits. The amount of delay that an input signal takes on obtained in this way is determined by the degree of longitudinal deflection of the Particle beam 26 is determined and is directly dependent on the

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an den Ablenkplatten 28 und J5O anliegenden Spannung, die aus der Spannungsquelle 36 kommt.voltage across the deflectors 28 and J50, which comes from the voltage source 36 .

Treffen die geladenen Teilchen des Strahls 26 auf den Wandler 15 auf, so wird an der Stelle 52 eine elektrische Ladung aufgebaut, und ein elektrische Feld durchzieht den Wandler 15· Unter dem Einfluß des elektrischen Feldes kommt der Wandler I5 in. akustische Resonanz, wodurch eine akustische Welle sich in beiden Richtungen von der Stelle 52 in Richtung der Längsachse des Wandlers entfernt. Wenn die akustische Welle durch den Wandler läuft, wird eine elektrische Ladung an der Oberfläche des Wandlers erzeugt, die mit der akustischen Welle läuft. Err-eicht nun die Welle die Entnahmeanschlüsse 42 und 44, so kann die Ladung, die auf der Oberfläche des Wandlers durch die akustische Welle erzeugt worden ist, über die Leitungen und 56 abgenommen werden. Die akustischen AbSchlußstücke 46 und 48 absorbieren die Welle, wenn sie über die Entnahmeanschlüsse 42 und 44 hinweggelaufen ist, wodurch Reflektion der akustischen Welle zurück in den Wandler 15 verhindert wird. Es wird damit verhindert, daß falsche Verzögerungszeiten auftreten, die dann möglich wären, wenn Reflektionen vorhanden wären. Die akustischen AbSchlußstücke 46 und 48 verhindern auch, daß sich die gewünschten akustischen Wellen mit den reflektierten überschneiden und sie sich gegenseitig beeinflussen, wodurch das eigentliche Signal verfälscht werden würde.If the charged particles of the beam 26 strike the transducer 15, then at the point 52 an electrical Charge built up, and an electric field pervades the transducer 15 · Under the influence of the electric field comes the transducer I5 in. acoustic resonance, creating an acoustic Wave in both directions from point 52 towards removed from the longitudinal axis of the transducer. When the acoustic wave passes through the transducer, an electrical charge is attached to the Surface of the transducer generated, which runs with the acoustic wave. If the shaft now reaches the extraction ports 42 and 44, so the charge that has been generated on the surface of the transducer by the acoustic wave can pass through the lines and 56 are removed. The acoustic terminations 46 and 48 absorb the wave as it has passed over the extraction ports 42 and 44, thereby causing reflection of the acoustic wave back into the transducer 15 is prevented. This prevents incorrect delay times from occurring, which would be possible if there were reflections. The acoustic terminations 46 and 48 also prevent that the desired acoustic waves intersect with the reflected and they influence each other, whereby the actual signal would be corrupted.

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Da die erforderliche Zeit, die die akustische Welle zum Durchlaufen des Wandlermediums benötigt, bekannt ist und ein fester Wert ist, und da die Längsablenkung des Strahles stufenlos steuerbar ist übjfer die Ablenkspannung an den Längsablenkplatten, kann dem Strahl (und damit dem ankommenden Signal) eine bestimmte Verzögerung zuteil werden, die durch Verändern der an die Längsablenkplatten angelegten Spannung beliebig variiert werden kann. Es versteht sich, daß das verzögerte Signal sowohl von dem Entnahmeanschluß 42 als auch von dem Anschluß 44 oder von beiden Anschlüssen abgenommen werden kann, wenn mehr als ein verzögertes Signal benötigt wird.Since the time required for the acoustic wave to pass through the transducer medium is known and a is a fixed value, and since the longitudinal deflection of the beam is continuously controllable via the deflection voltage on the longitudinal deflection plates, the beam (and thus the incoming signal) can be given a certain delay by changing the voltage applied to the longitudinal baffles can be varied as desired. It goes without saying that this delayed The signal can be tapped from both the extraction connection 42 and the connection 44 or from both connections, when more than one delayed signal is required.

Die Elektronenstrahlkathode 16 kann eine direkt oder indirekt beheizte Kathode mit einem oxydischen Kathodenmaterial sein, wozu sich z.B. Bariumoxyd, Kalziumox^yd oder Strontiumoxyd eignet. Es können auch beheizte, mit Thorium behandelte Wolfram-Kathoden verwendet werden wie überhaupt jedes Material, das infolge seiner Temperatur bei seiner thermischen Austrittsarbeit in der Lage ist, genügend Elektronen zu emittieren. Es können aber auch Elektronenquellen verwendet werden, die allgemein als Kaltkathoden bezeichnet werden und deren elektronische Eigenschaften in Verbindung mit einem geeigneten elektrischen Feld, das angelegt wird, ohne Erhitzung die gewünschte Elektronenemission ermöglichen. Zu dieser Kategorie The electron beam cathode 16 can be a directly or indirectly heated cathode with an oxide cathode material for which e.g. barium oxide, calcium oxide or strontium oxide are suitable. It can also be heated, treated with thorium Tungsten cathodes are used like any other material that has its thermal work function as a result of its temperature is able to emit enough electrons. But electron sources can also be used, which are generally referred to as cold cathodes and their electronic properties in conjunction with a suitable one electric field, which is applied, allow the desired electron emission without heating. To this category

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der Kaltkathodeh gehören auch die Materialien, die durch äußere oder innere Strahlung wie etwa Isotopenstrahlung oder Ultraviolettbestrahlung zur Elektronenabgabe angeregt werden. Als Elektronenquellen ebenfalls verwendbare Werkstoffe sind photoelektrische, deren Elektronenemission nicht durch Anwendung von hohen Temperaturen oder elektrischen Feldern sondern durch Energieübertragung zwischen elektromagnetischen Quanten und einem freien oder gebundenen Elektron im photoelektrischen Material selbst erzeugt x^ird. Außerdem gibt es einige Werkstoffe, die bereits aufgrund ihrer geometrischen Gestaltung eine brauchbare Elektronenemission haben, wenn sie in ein geeignetes elektrisches oder magnetisches Feld gelangen.The cold cathode also includes the materials made by external or internal radiation such as isotope radiation or ultraviolet radiation can be excited to donate electrons. as Electron sources also usable materials are photoelectric, their electron emission not through the application of high temperatures or electric fields but through Energy transfer between electromagnetic quanta and a free or bound electron in the photoelectric Material itself produced x ^ ird. There are also some materials which already have a usable electron emission due to their geometric design when they are in a suitable electric or magnetic field.

Die Verzögerungsvorrichtung kann auch so aufgebaut sein, daß Ionenquellen verwendet werden können, die ähnlich wie die vorstehend beschriebenen Elektronenquellen aufgebaut sind und wirken. Die Vakuumumgebung wird dann durch eine entsprechende Schutzgasumgebung ersetzt. Wenn die Polarität der Ablenk-und der Deschleunigungsspannungen dieselbe bleibt, werden negative Ionen auf den Wandler aufgestrahlt. Bei Spannungsumkehr sind es dann die positiven Ionen, die auf den Wandler gelangen. In jedem Fall sind jedoch die Wirkungsweise und die benötigten Elemente dieselben wie vorstehend in Verbindung mit einemThe delay device can also be constructed so that ion sources can be used which are similar to the electron sources described above are constructed and act. The vacuum environment is then created by an appropriate Replaced protective gas environment. If the polarity of the deflection and acceleration voltages remain the same, they become negative Ions radiated onto the transducer. When the voltage is reversed, it is the positive ions that reach the converter. In either case, however, the operation and required elements are the same as above in connection with one

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Elektronenstrahl besehreiben. -Describe electron beam. -

Wie erwähnt ist der Wanüler 15 ein elektroakustischer Wandler und besteht aus einem Material, das unter dem Einfluß elektrischer Impulse in akustische Resonanz gelangt und eine akustische Welle erzeugt, die von dem Auftreffpunkt des Impulses zu anderen Punkten im Wandler läuft. Zu diesen Materialien gehören auch solche, die durch Erhitzen oder magnetische Einwirkung eine akustische oder "langsame Welle" erzeugen. Ganz allgemein gesagt haben Materialien, die als akustische Wandler verwendbar sind, eine oder mehrere der folgenden Eigenschaften: Sie sind piezoelektrisch, pyroelektrisch, thermoelastisch, piezomagnetisch, magnetoelastisch, thermomagnetisch, elektrostatisch oder ferroelektrisch. Als Beispiel für Materialien, die" piezo- elektrisch, pyroelektrisch und thermoelastische Eigenschaften haben, sei fein kristalliner Quarz und Cadmium-SulfId genannt. Beispiele für Materialien mit ferroelektrischen Eigenschaften sind Bleizirkonat, Bariumtitanat und Natrium-Kalium-Niobat. Ein Beispiel für ein Material mit magnetoelastischen EiHgen schäften ist Yttrium-Eisengranat, das Allgemeinals"YIG"bekannt ist. .::-■■■ As mentioned, the Wanüler 15 is an electroacoustic transducer and consists of a material that under the influence of electrical Impulse gets into acoustic resonance and creates an acoustic wave passing from the point of impact of the impulse to another Points in the converter is running. These materials also include those that cause a generate acoustic or "slow wave". Generally speaking Materials that are useful as acoustic transducers have one or more of the following properties: They are piezoelectric, pyroelectric, thermoelastic, piezomagnetic, magnetoelastic, thermomagnetic, electrostatic or ferroelectric. As an example of materials that are "piezo-electric, Have pyroelectric and thermoelastic properties, fine crystalline quartz and cadmium sulfide may be mentioned. Examples of materials with ferroelectric properties are lead zirconate, barium titanate and sodium-potassium niobate. An example of a material with magnetoelastic shafts is yttrium iron garnet, commonly known as "YIG". . :: - ■■■

Es ist für den Fachmann verständlich, daß obgleich dieIt will be understood by those skilled in the art that although the

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Verzögerungsvorrichtung der beschriebenen Art kontinuierlich einstellbar ist, auch eine Röhre möglich ist mit einer fest eingestellten Verzögerung, indem eine konstante Spannung an das Ablenksystem gelegt wird oder ein Ablenksystem geschaffen wird, dem eine feste Gleichspannung zugeführt wird. Es versteht sich auch, daß die Erfindung als Rückkopplungsverzögerungseinrichtung oder solche mit Echoeffekt verwendet werden kann. Es braucht dann nur das Ausgangssignal von den Ausgangsanschlüssen 42 und 44 dem Eingang für die Quelle der geladenen Teilchen über eine Rückkopplungsleitung 4j5 wieder zugeführt werden, wie dies gestrichelt in der Fig. 1 dargestellt ist, um eine Rückführung des Signals zu erhalten.Delay device of the type described is continuously adjustable, and a tube is also possible with a fixed set delay by applying a constant voltage to the deflection system or by creating a deflection system to which a fixed DC voltage is fed. It will also be understood that the invention can be used as a feedback delay device or those with an echo effect can be used. It then only needs the output signal from the output terminals 42 and 44 are fed back to the input for the source of the charged particles via a feedback line 4j5, as this is shown in dashed lines in Fig. 1 to a return of the signal.

Fig. 2 zeigt ein abgewandeltes Ausführungsbeispiel des akustischen Verzögerungselementes 14, das bei einer Verzögerungseinrichtung der in der Fig. 1 beschriebenen Type verwendet werden kann. Der elektroakustisch^ Wandler 15 ist auch hier auf einer Grundplatte 40 angeordnet. Die Entnahme-Anschlußstreifen 42 und 44 und die akustischen Endstücke 46 und 48 haben denselben Aufbau und dieselbe Wirkungsweise wie die in Fig. 1 beschriebenen. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist jedoch eine dünne Schicht isolierenden Materials 58 mit hoher Sekuaäremission auf der Strahleinfallsseite des Wandlers 15 aufgelegt. DieseFig. 2 shows a modified embodiment of the acoustic delay element 14, which is used in a delay device of the type described in FIG. 1 can be used. The electroacoustic converter 15 is also on here a base plate 40 is arranged. The removal connector strips 42 and 44 and the acoustic end pieces 46 and 48 have the same Construction and the same mode of operation as those described in FIG. In this embodiment, however, there is a thin layer of insulating material 58 with high secondary emission placed on the side of the beam incidence of the transducer 15. These

' - 14 -'- 14 -

QQÖ81Ö/1376QQÖ81Ö / 1376

BADBATH

Schicht besteht aus einem Material wie etwa Natrium-Chlorid, Barium-Fluorid, Magnesium-Oxyd oder Aluminium-Oxyd, um nur einige der möglichen Materialien zu nennen. Auf diese Weise wird die Amplitude der elektrischen Impulse, die durch das Auftreffen der geladenen Partikelchen erzeugt werden, verstärkt, so daß Signale hoher Intensität erstehen. Die Sekundärelektronen, die von der Schicht 58 in Richtung weg vom Wandler I5 emittiert werden, werden mit Hilfe eines Sekudärelektronen-Kollektorgitters 6O aufgefangen, an dem eine von einer Spannungsquelle 62 zugeführte positive Spannung liegt; bei tatsächlichen Ausführungsbeispielen kann diese Spannungsquelle dieselbe sein wie die für die Beschleunigungsspannung benötigte Spannungsquelle 22 in Fig. 1. Das Auffangen der Sekundärelektronen sorgt dafür, daß sie nicht auf den Wandler 15 zurückfallen und dann möglicherweise falsche akustische Wellen erzeugen, die die Vollkommenheit des Gerätes in derselben Weise stören würden wie reflektierte akustische -Wellen.Layer is made of a material such as sodium chloride, Barium fluoride, magnesium oxide or aluminum oxide, to name just a few of the possible materials. In this way the amplitude of the electrical impulses generated by the impact of the charged particles is increased, so that signals of high intensity arise. The secondary electrons emitted by layer 58 in the direction away from transducer I5 are emitted with the help of a secondary electron collector grid 6O picked up at which one from a voltage source 62 applied positive voltage is; in actual embodiments, this voltage source can be the same such as the voltage source 22 required for the acceleration voltage in FIG. 1. The secondary electrons are captured that they do not fall back on the transducer 15 and then may generate false acoustic waves that the Would interfere with the perfection of the device in the same way as reflected acoustic waves.

In Fig. 2 ist darüberhinaus noch ein weiteres Merkmal gezeigt, durch das mehrere Signale gleichzeitig verzögert und gemischt werden können. Eine zweite Quelle elektrischer Eingangssignale 63 kann an einen der Entnahmeanschlüsse 42 oder 44 In addition, another feature is shown in Fig. 2, by which several signals can be delayed and mixed at the same time. A second source of electrical input signals 63 may be provided to one of the extraction ports 42 or 44

- 15 -- 15 -

009810/1378009810/1378

BADORiGiNALBADORiGiNAL

angeschlossen werden, und die zwei Signale können so im Wandler 15 gemischt und das kombinierte Signal dann von dem anderen Entnahmeanschluß■42 oder 44 abgenommen werden.can be connected, and the two signals can be in the converter 15 mixed and the combined signal can then be removed from the other extraction port ■ 42 or 44.

Fig. 5 zeigt schematisch ein weiteres Ausführungsbeispiel des elektroakustischen Verzögerungselementes, das mit Vorteil bei der Erfindung angewandt werden kann. Bei diesem Ausführungsbeispiel liegt der eiktroakustische Wandler 15 in Form einer Spirale auf der Grundplatte 4O. Auf diese Weise ist es möglich, ein räumlich sehr langes Verzögerungselement in geringem Volumen unterzubringen. . ■ .Fig. 5 shows schematically a further embodiment of the electroacoustic delay element, which can be used with advantage in the invention. In this embodiment the eiktroacoustic transducer 15 is in the form of a Spiral on the base plate 4O. In this way it is possible to have a spatially very long delay element in a small volume accommodate. . ■.

Ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt die Fig. 4, bei der gleiche Teile auch mit denselben Bezugsziffern bezeichnet sind. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist eine Gleichspannungsquelle 22 mit der Kathode 16 und der Anode 20 angeschlossen, und eine Gleichspannung, die aus der Spannungsquelle 64 stammt, liegt zwischen der Kathode 16 und dem Gitter 18. Die Verzögerungsvorrichtung ist auf diese Viel se so mit Vorspannung versehen, daß sie ständig in leitendem Zustand ist. Die ,Opannungscuellen 22 und 64 sind hier zwar gesondert gezeichnet, in V/ahrheit können sie jedoch in einer einzigen Spannungs---A further exemplary embodiment of the invention is shown in FIG. 4, in which the same parts are also denoted by the same reference numerals. In this embodiment, a DC voltage source 22 is connected to the cathode 16 and the anode 20, and a DC voltage originating from the voltage source 64 is between the cathode 16 and the grid 18. The delay device is in this way provided with bias voltage, that it is constantly in a conductive state. The voltage sources 22 and 64 are drawn separately here, but in reality they can be used in a single voltage ---

- 16 -009819/137 6 ßAD original- 16 -009819/137 6 ßAD original

quelle bestehen. Eine weitere Spannungsquelle 36 mit variabler Spannung ist an die Q.uerablenkplatten J2 und 34 gelegt, so daß, wenn keine Spannung als Eingangssignal angelegt wird,der Partikelstrahl 26 auf einen Fleck 52a auftrifft, der zu einer Seite des 'Wandlers I5 liegt. Eine weitere Spannungsquelle 38 führt eine Spannung für die Längsablenkung an die Platten 28 und 30, wodurch der Partikelstrahl 26 mit bestimmtem Abstand zu den EntnahmeanSchlüssen 42 und 44 auf den Wandler trifft, wobei die Abstände der Verzögerung, die einem Eingangssignal mitgeteilt werden soll, direkt proportional sind.source exist. Another voltage source 36 with variable Voltage is applied to Q.uerablenkplatten J2 and 34, see above that, if no voltage is applied as an input signal, the particle beam 26 impinges on a spot 52a which leads to a Side of the 'converter I5 is. Another voltage source 38 leads a voltage for the longitudinal deflection to the plates 28 and 30, whereby the particle beam 26 with a certain distance meets the converter at the extraction connections 42 and 44, where are the distances of the delay imparted to an input signal should be communicated are directly proportional.

Im Betrieb ist die Spannungsquelle 24 der Eingangssignale mit den Querablenkplatten 32 und 34 verbunden. Ist kein Eingangssignal vorhanden, so trifft der Teilchenstrahl auf einem Fleck 52a auf,'der seitlich neben dem Wandler 15 liegt, und an den Entnahmeanschlüssen 42 und 44 kann kein Signal abgenommen werden« Die variable Spannung 38 dient für die Längsablenkung des Teilehenstrahls zu einer Position 52b, die den gewünschten Abstand von den Entnahmeanschlüssen 42. und 44 ergibt. Bei Vorhandensein eines Eingangssignals aus der Spannungsquelle 24 wird die Spannung an den Querablenkplatten 32 und so verändert, daß der Teilchenstrahl in Querrichtung abgelenkt wird und auf den Wandler 15 z.B. im Fleck 52 trifft. EineIn operation, the voltage source 24 is the input signals connected to the transverse baffles 32 and 34. Is not an input signal is present, the particle beam strikes a spot 52a, which lies laterally next to the transducer 15, and No signal can be picked up at the extraction connections 42 and 44 are «The variable voltage 38 is used for the longitudinal deflection of the partial beam to a position 52b, which the the desired distance from the extraction connections 42 and 44 results. When there is an input signal from the voltage source 24 is the tension on the transverse baffles 32 and changed so that the particle beam is deflected in the transverse direction and hits the transducer 15, for example in the spot 52. One

- 17 V 009819/1376- 17 V 009819/1376

ÖADÖAD

akustische VJeIle wird somit im Wandler 15 erzeugt, wie dies bereits oben beschrieben wurde, und das verzögerte Signal kann von den Entnahmeklemmen 42 und 44 abgenommen werden. Wird das Eingangssignal von den Querablenkplatten 32 und 34 wieder entfernt, so verläßt der Teilchenstrahl den Fleck 52 und kehrt in die Lage 52a seitlich neben dem Wandler 15 zurück.acoustic VJeIle is thus generated in the transducer 15, as has already been done has been described above, and the delayed signal can be taken from the take-out terminals 42 and 44. It will Input signal from the transverse deflection plates 32 and 34 removed again, so the particle beam leaves the spot 52 and returns to the layer 52a laterally next to the transducer 15 back.

Dieses Ausführungsbeispiel der Erfindung kann auch als Echo-Verzögerungsvorrichtung verwendet werden, wenn eine Rückkopplung 4j vorgesehen wird, indem dann das verzögerte Signal dem Eingang der Verzögerungseinrichtung wieder zugeführt wird.This embodiment of the invention can also be used as Echo delay device can be used when providing feedback 4j is provided by then adding the delayed signal is fed back to the input of the delay device.

Fig. 5 ist eine weitere schematische Darstellung eines anderen Ausführungsbeispiels der Erfindung, durch das ein Eingangssignal mehrere verschiedene Verzögerungen erhalten kann. Bei diesem Ausführungsbeispiel weist das Verzögerungselement 14 mehrere Wandler JO, 72 und 74 auf, die sämtlich aus verschiedenem elektroakustischen Werkstoff bestehen und auf einer Grundplatte 40 angeordnet sind. Die akustischen Wellen, die in diesen Wandlern erzeugt werden, laufen von dem Punkt, an dem der Teilchenstrahl auf die Wandler auftrifft, mit einer Geschwindigkeit i die für die einzelnen Materialien der Wandler 70, 72 und 74 charakteristisch 1st. Bei den in Fig. 5 gezeigtenFigure 5 is a further schematic illustration of another embodiment of the invention by which an input signal can receive multiple different delays. In this exemplary embodiment, the delay element 14 has a plurality of transducers JO, 72 and 74, which all consist of different electroacoustic materials and are arranged on a base plate 40. The acoustic waves that are generated in these transducers travel from the point at which the particle beam strikes the transducers at a speed i which is characteristic of the individual materials of the transducers 70, 72 and 74. In those shown in FIG

-18--18-

009819/137 6 ßA0 009819/137 6 ßA0

drei Wandlern kann ein Eingangssignal aus der Quelle 24 sechs verschiedene Verzögerungszeiten erhalten. Die verzögerten Signale können von jedem einzelnen oder auch von allen Entnahmeanschlüssen 76 bis 86 abgenommen v/erden. Akustische Endstücke 88 und 90 sind auch hier vorgesehen, um unerwünschte Reflektionei zu vermeiden.three transducers, an input signal from the source 24 can receive six different delay times. The delayed signals can be from each individual or from all extraction connections 76 to 86 removed v / earth. Acoustic end pieces 88 and 90 are also provided here to prevent unwanted reflections to avoid.

Ein weiteres Ausführung^ eispiel der Erfindung zeigt die Fig. 6, bei welchem mehrere Eingangssignale gleichzeitig verzögert und gemiseht werden können. Gleiche Teile sind hier mit gleichen Bezugsziffern bezeichnet. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind mehrere Teilchenquellen 10 und 10' vorhanden, denen jeweils ein Ablenksystem 12 und 12' zugeordnet ist, so daß sie beide mit einem Verzögerungselement ~\h zusammenarbeiten. In vielen Fällen ist es wünschenswert, eine Mehrzahl von Signalen zu mischen. Um dies möglich zu machen, wird ein erstes Signal von einer ersten Signalquelle 24 der Kathode 16 und dem Gitter 18 zugeführt. Der intensitätsmodulierte erste Teilchenäbrahi 26 wird dann vom ersten Ablenksystem 12 auf einen bestimmten Punkt 52 auf den Wandler 15 abgelenkt. So wird eine erste akustische Welle erzeugt im Wandler, die darin in der beschriebenen Weise in Längsrichtung auf die EntnahmeanschlüsseA further embodiment of the invention is shown in FIG. 6, in which several input signals can be delayed and mixed at the same time. The same parts are denoted here with the same reference numerals. In this embodiment there are several particle sources 10 and 10 ', each of which is assigned a deflection system 12 and 12', so that they both work together with a delay element ~ \ h . In many cases it is desirable to mix a plurality of signals. To make this possible, a first signal from a first signal source 24 is fed to the cathode 16 and the grid 18. The intensity-modulated first particle beam 26 is then deflected by the first deflection system 12 to a specific point 52 on the transducer 15. In this way, a first acoustic wave is generated in the transducer, which is then transmitted in the described manner in the longitudinal direction to the extraction connections

- 19 -- 19 -

009019/1376009019/1376

k2 und 44 zuläuft. Die zweite Teilchenquelle 10' mit dem zugehörigen Ablenksystem 12' arbeitet in der gleichen Weise und erzeugt und lenkt einen zweiten Teilchenstrahl 26' ab, der ebenfalls intensitätsmoduliert wird durch ein zweites Signal aus der Signalquelle 24'. Der zweite Teilchenstrahl 26' trifft in der Zeichnung auf den Punkt 52' auf dem Wandler 15 auf, der einen gewissen Abstand vom Punkt 52 des ersten Teilchenstrahls 26 hat. Es ist natürlich auch möglich, daß die beiden Punkte 52 "und 52' zusammenfällen, wenn es gewünscht wird, daß die beiden Eingangssignale dieselbe Verzögerungszeit haben. Die durch das Auftreffen des ersten und zweiten Teilchenstrahls 26 und 26' im akustischen Wandler erzeugten Wellen erhalten nun die gewünschte Verzögerung, so daß die verzögerten Signale dann gemischt an den Entnahmeanschlüssen 42 und 44 abgenommen werden können. Die akustischen Endstücke 46 und 48 haben denselben Aufbau und dieselbe wirkungsweise, wie dies vorstehend anhand der Fig. 1 bereits beschrieben wurde. In der Pig. 6 Kind die beiden Teilchenquellen 10 und 10' mit ihren beiden Ablenksystemen 12 und 12' nur mit einem einfachen Verzögerungs-'element 14 gezeigt, jedoch ist es im Rahmen der Erfindung auch möglich, bei Vorhandensein von mehreren Teilchenquellen ge- <mäß Pig. 6 auch mehrere Verzogerungselemente zu verwenden, wie dies die Fig. 5 gezeigt hat. k2 and 44 is coming. The second particle source 10 'with the associated deflection system 12' works in the same way and generates and deflects a second particle beam 26 ', which is also intensity-modulated by a second signal from the signal source 24'. In the drawing, the second particle beam 26 ′ strikes the point 52 ′ on the transducer 15, which point is at a certain distance from the point 52 of the first particle beam 26. It is of course also possible for the two points 52 "and 52 'to coincide if it is desired that the two input signals have the same delay time. The waves generated by the impingement of the first and second particle beams 26 and 26' in the acoustic transducer are now received the desired delay so that the delayed signals can then be tapped mixed at the extraction connections 42 and 44. The acoustic end pieces 46 and 48 have the same structure and the same mode of operation as was already described above with reference to FIG. 6 Child shows the two particle sources 10 and 10 'with their two deflection systems 12 and 12' only with a simple delay element 14, but within the scope of the invention it is also possible, in the presence of several particle sources according to Pig also to use several delay elements, as shown in FIG.

- 20 -- 20 -

009819/137 6009819/137 6

Fig. 7 zeigt schematisch eine sogenannte Umkehrstrahl-Verzögerungsvorrichtung, die nach dem Grundgedanken der Erfindung arbeitet. Wiederum sind gleiche Teile mit den gleichen Bezugsziffern bezeichnet. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird ein Sehreibstrahl 26 aus geladenen Teilchen in einer .Teilchenquelle 10 erzeugt und durch Eingangs signale 24 einer Signalquelle moduliert sowie durch das Ablenksystem 108 abgelenkt, so daß der Schreibstrahl auf den elektroakustischen Wandler 15 auftrifft. Der Wandler 15 liegt auf einer Grundplatte 40, hat akustische Endstücke 46 und 48 an beiden Enden-und eine Beschichtung 58 aus Sekundär elektronen abgebendem Werkstoff. 'Wie bereits an früherer Stelle ausgeführt, werden durch da.s Auftreffen der geladenen Teilchen auf den Wandler 15 akustische Wellen erzeugt, die in Längsrichtung durch den "Wandler vom Auftreffpunkt des Teilchenstrahls 26 ausgehend wandern. In Verbindung mit dieser akustischen Welle.läuft ebenfalls eine elektrische Ladungswelle entläng der Oberfläche des Wandlers 15. Diese Ladung hat dieselbe Polarität wie die gelade'nen Teilchen des Strahls 26. Ist einemal eine akustische Welle im Wandler 15 erzeugt worden, so kann der Strahl von geladenen Teilchen so abgelenkt werden, daß er etwa den Verlauf 26a nimmt, der einem entsprechenden Abstand X in Längsrichtung vom Auftreffpunkt des Schreibstrahls 26 entspricht. Die akustische Welle im Wandler und die zugehörige elektrische LadungswelleFig. 7 shows schematically a so-called reverse beam retardation device, which works according to the basic idea of the invention. Again, like parts are the same Reference numerals denoted. In this embodiment, a visual writing beam 26 of charged particles in a .Teilchenquelle 10 and generated by input signals 24 of a signal source modulated and deflected by the deflection system 108, so that the write beam on the electroacoustic transducer 15 hits. The transducer 15 lies on a base plate 40 acoustic end pieces 46 and 48 on both ends and a coating 58 made of secondary electron donating material. 'As already explained earlier, the impact of the charged particles on the transducer 15 causes acoustic signals Waves generated which travel in the longitudinal direction through the "transducer starting from the point of impact of the particle beam 26. In Connection with this acoustic wave is also running electric charge wave along the surface of the transducer 15. This charge has the same polarity as the charged particles of the beam 26. If an acoustic wave has been generated in the transducer 15, the beam can be charged by Particles are deflected in such a way that it takes approximately the course 26a, a corresponding distance X in the longitudinal direction from the point of impact of the write beam 26 corresponds. The acoustic wave in the transducer and the associated electric charge wave

009819/1376009819/1376

BAD ORIGiNAt.BATH ORIGINAL.

durchläuft den Abstand X vom Auftreffpunkt des Schreibstrahls in einer genau bekannten Zeit. Wenn nun der geladene Lesestrahl 26a in der gezeichneten Weise abgelenkt wird und gerade in dem Augenblick am Wandler auftrifft, in dem die elektrische Ladungswelle an dieser Stelle entlangläuft, wird von der elektrischen Ladungswelle eine abstoßende elektrische Kraft auf die Teilchen des Strahls ausgeübt und der Strahl 26a im wesentlichen wieder auf die Teilchenquelle zurückreflektiert. Der rückkehrende Strahl 26b hat dann in der akustischen Welle eine Modulation hinterlassen, die ursprünglich im Eingangs- . signal vohanden war. Vor der Teilchenquelle 10 ist eine Art Blende 100 angebracht, um zu vermeiden, daß die geladenen Teilchen des rückkehrenden Strahls 26b unmittelbar wieder in die Teilchenquelle 10 gelangen können. Der rückkehrende Strahl 26b gelangt dann auf mehrere, die geladenen Teilchen vervielfältigende Dioden 102a bis 102e und dann auf eine Teilchen-Detektoranode 104, wo das entsprechende verzögerte Signal dann über eine Ausgangsleitung 106 abgenommen wird. In Fig. H- ist nur eine einfache Teilchenquelle gezeigt, jedoch können auch mehrere Teilchenquellen verwendet werden, wie sie in Fig. 6 gezeigt sind, so daß gleichzeitig mehrere Signale auf den Wandler aufgebracht und auch vom Wandler wieder abgenommen werden können.runs through the distance X from the point of impact of the write beam in a precisely known time. If now the charged reading beam 26a is deflected in the manner shown and hits the transducer at the moment when the electric charge wave passes this point, the electric charge wave exerts a repulsive electric force on the particles of the beam and the beam 26a essentially reflected back onto the particle source. The returning beam 26b then left a modulation in the acoustic wave that was originally in the input. signal was present. A type of screen 100 is attached in front of the particle source 10 in order to prevent the charged particles of the returning beam 26b from being able to directly enter the particle source 10 again. The returning beam 26b then reaches a plurality of diodes 102a to 102e, which multiply the charged particles, and then to a particle detector anode 104, where the corresponding delayed signal is then picked up via an output line 106. In Fig. H- only a simple particle source is shown, but several particle sources can also be used, as shown in Fig. 6, so that several signals can be applied to the transducer and also removed from the transducer at the same time.

Bei der hier gezeigten Umkehrstrahleinrichtung gemäß derIn the reverse jet device shown here according to FIG

009819/137$ ■" 22 ~009819/137 $ ■ " 22 ~

BAD ORIGINALBATH ORIGINAL

Erfindung ist das bevorzugte magnetische Ablenksystem 108 gezeigt, eine solche Anordnung hat den Vorteil, daß der rückkehrende Strahl 26b den Strahl 26a praktisch nicht beeinflußt.Invention is the preferred magnetic deflection system 108 shown, such an arrangement has the advantage that the returning Beam 26b practically does not affect beam 26a.

Die im EÜeitungsteil aufgeführten Ziele sind, wie die Beschreibung gezeigt hat, erreicht,und es sind zahlreiche Veränderungen möglich, ohne daß dabei der Gedanke der Erfindung verlassen wird,. Die Ausführungsbeispiele sind lediglich als Erläuterungen, keinesfalls jedoch als Begrenzung der Erfindung zu verstehen.The goals listed in the introductory section are like the Description has shown, achieved and numerous changes are possible without departing from the spirit of the invention is left. The exemplary embodiments are only available as Explanations, but in no way to be understood as a limitation of the invention.

■. - 23 - ■ • " " Patentansprüche ■. - 23 - ■ • "" Claims

009819/137 6009819/137 6

Ö*D ORfGlHAl Ö * D ORfGlHAl

Claims (1)

PATENTANSPRÜCHEPATENT CLAIMS ( 1J Einrichtung zur Verzögerung eiies elektrischen Eingangssignals, gekennzeichnet durch wenigstens eine Vorrichtung (10) zur Erzeugung eines Strahles (26) elektrisch geladener Teilchen in Abhängigkeit vom Eingangssignal, wenigstens einen Wandler (ΐ4) mit wenigstens einer mit ihm verbundenen Entnahmeausgangsleitung (42, 44), der in Abhängigkeit vom Auftreffen der elektrisch geladenen Teilchen ein Signal erzeugt, das vom Auftreffpunkt (52) zu der Eritnahmeausgangsleitung (42, 44) mit einer bestimmten Geschwindigkeit läuft, und Mittel (12), um den Strahl geladener Teilchen so zu lenken, daß er auf dem Wandler (14) auf jedem gevjünschten Punkt auf trifft, der einen Abstand von der Entnahmeausgangsklemme hat, so daß das Eingangssignal um eine Zeitspanne verzögert wird, die dem Abstand zwischen dem Auf troff puiikt und der Entnahme ausgang ski ernme proportional ist.(1J device for delaying an electrical input signal, characterized by at least one device (10) for generating a beam (26) of electrically charged particles as a function of the input signal, at least one converter (ΐ4) with at least one extraction outlet line connected to it (42, 44), which depends on the occurrence of the Electrically charged particles generated a signal from the point of impact (52) to the Eritnahmeausgangsleitung (42, 44) with running at a certain speed, and means (12) for directing the charged particle beam so that it hits the transducer (14) meets on any desired point that is a distance from the extraction output terminal, so that the input signal is delayed by a period equal to the distance between the On troff puiikt and the withdrawal of the output ski is proportional. 2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie in einem Gehäuse (50) mit bestimmten Gegebenheiten eingeschlossen ist.2. Device according to claim 1, characterized in that they are enclosed in a housing (50) with certain conditions is. 3· Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch f-oladenen Teilchen Elektronen und die Umgebungs-3 · Device according to claim 2, characterized in that the electrically charged particles electrons and the ambient 009819/1376009819/1376 - 24 -- 24 - bedingungen im wesentlichen ein Vakuum sind.conditions are essentially a vacuum. 4. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch geladenen Teilchen Ionen und die Umgebungsbedingungen ein Gas sind.4. Device according to claim 2, characterized in that the electrically charged particles are ions and the ambient conditions are a gas. 5. Einrichtung nach Anspruch 3> dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zu Erzeugung des Elektronenstrahls eine Elektronenquelle (16), Mittel zur Beschleunigung der Elektronen (20) und Mittel zur Pokusierung der Elektronen enthalten.5. Device according to claim 3> characterized in that the means for generating the electron beam is an electron source (16), means for accelerating the electrons (20) and means for focusing the electrons. 6. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,6. Device according to claim 1, characterized in that daß die Ablenkmittel (12) veränderbar sind, so daß .der. Auf tr ef JF-punkt (52) des Strahls auf dem Wandler (14) im Bezug auf die
Ausgangsklemme (42, 44) verändert werden kann, wodurch die Verzögerungszeit des Eingangssignals variabel ist.
that the deflection means (12) are changeable, so that .der. At the JF point (52) of the beam on the transducer (14) in relation to the
Output terminal (42, 44) can be changed, whereby the delay time of the input signal is variable.
7. Einrichtung nach Ans:|ruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlablenkeinrichtung (1.2) elektrostatische Ablenkplatten (28, 30) (32, 32O aufweist, die mit einer Spannungsquelle variabler Spannung (36, 38) verbunden sind. That the beam deflector comprises Ruch 6, characterized in that (1.2) electrostatic deflection plates (28, 30), (32, 3 2 O, the variable to a voltage source voltage (36, 38) are connected |: 7. Device according to Ans. 8. . Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die variable Ablenkeinrichtung eine elektromagnetische Ablenkspule (108) aufweist.8th. . Device according to claim 6, characterized in that the variable deflector comprises an electromagnetic deflection coil (108). 009019/137$009019 / $ 137 9. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler (14) mehrere Ausgangsabnahmeanschlüsse (42, 44) aufweist. -9. Device according to claim 1, characterized in that the converter (14) has a plurality of output tapping connections (42, 44). - 10. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, deß der Wandler ein elektroakustischer Wandler ist, in welchem durch Auftreffen des elektrisch geladenen Teilchenstrahls (26) eine akustische Welle erzeugt wird, die dann vom Auftreffpunkt (52) mit fester bekannter Geschwindigkeit den Abnahmeausgangsklemmen (42, 44) zuwandert und an diesen ein elektrisches Signal her-vorruft. 10. Device according to claim 1, characterized in that deß the transducer is an electroacoustic transducer in which a acoustic wave is generated, which then from the point of impact (52) migrates towards the pick-up output terminals (42, 44) at a fixed, known speed and produces an electrical signal at them. 11. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, gekennzeichnet durch akustische Endstücke (46, 48) an den Enden des Wandlers (15)> in denen die akustische Welle nach Durchlaufen des Wandlers bis zum Ende absorbiert wird, so daß keine Reflektion stattfindet.11. Device according to one of claims 1 to 10, characterized by acoustic end pieces (46, 48) at the ends of the Converter (15)> in which the acoustic wave after passing through of the transducer is absorbed to the end, so that no reflection takes place. 12. Einrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Rückkopplung (43) einer Entnahmeausgangsleitung (42, 54) mit der den Teilchenstrahl erzeugenden Vorrichtung (10), so daß das Signal erneut in die Einrichtung eingegeben wird.12. Device according to claim 1, characterized by a feedback (43) with a withdrawal output line (42, 54) the device (10) generating the particle beam, so that the signal is again input into the device. 13. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,13. Device according to one of the preceding claims, 00**10/137* -26-00 ** 10/137 * -26- dadurch gekennzeichnet, daß auf der Oberfläche des Wandlers (15) eine Schicht (58) angeordnet ist, die Sekundärelektronen emittiert. " ·characterized in that on the surface of the transducer (15) a layer (58) is arranged which emits secondary electrons. "· 14. Einrichtung nach Anspruch Ό, gekennzeichnet durch einen Sekudärelektronenkollektor (6O, 62), der von der Deckschicht emittierte geladene Teilchen, die vom Wandler fortgerichtet sind, auffängt und ihre Rückkehr zum Wandler verhindert.14. Device according to claim Ό, characterized by a Secondary electron collector (6O, 62), the charged particles emitted by the cover layer, which are directed away from the transducer, intercepts and prevents their return to the converter. 15· Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler (15) spiralförmig gestaltet ist, so daß eine große Wandlerlänge in geringem Volumen untergebracht werden15 · Device according to claim 1, characterized in that the transducer (15) is designed in a spiral shape, so that a large transducer length can be accommodated in a small volume kann (Fig. 3). . " -can (Fig. 3). . "- 16. Einrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch mehrere parallel liegende Wandler (70, 72, 7^), mit denen das Eingangssignal auf vielfache Weise verzögert werden kann.16. Device according to claim 1, characterized by several parallel transducers (70, 72, 7 ^) with which the input signal can be delayed in many ways. - ■■■■--. - ^- ■■■■ -. - ^ 17· Einrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Wandler (70, 72,. 74) aus einem anderen elektroakustisehen Material mit materialeigener Ausbreitungsgeschwindigkeit für die akustischen Wellen besteht.17 · Device according to claim 16, characterized in that that each transducer (70, 72, 74) from a different electroacoustic view Material with the material's own speed of propagation for the acoustic waves. 18, . Einrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine zusätzliche Signaleingabevorrichtung (101), die mit dem Wandler18,. Device according to Claim 1, characterized by an additional signal input device (10 1 ) connected to the converter 009819/137$009819 / $ 137 (14) in Verbindung steht und der ein zusätzliches Eingangssignal(14) is in connection and the an additional input signal zugführt wird, wodurch das erste Eingangssignal und das zusätzliche Eingangssignal im Wandler (14) miteinander kombiniert werden und das kombinierte Signal an den Entnahmeausgangsklemmen (l\?j 44) abnehmbar ist (Fig.6).is zugführt, whereby the first input signal and said additional input signal are combined in the converter (14), and the combined signal at the sampling output terminals (l \ j? 44) is removable (Figure 6). 19. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere strahlerzeugende Vorrichtungen (10, 10') vorgesehen sind, die jede einen Strahl elektrisch geladener Teilchen (26, 26') in Abhängigkeit eines von einer Mehrzahl von elektrischen Eingangssignalen (24, 24') erzeugen, und Mittel (1?., 12') zum Ablenken der Strahlen vorgesehen sind, so daß jeder1 Strahl (26, 26') auf den Wandler (14) an einem bestimmten Punkt (52, 52') mit Abstand von der Entnahmeausgangsklemme (42, ^2')- auf trifft, wodurch eine Mehrzahl von Eingangs signal en verzögert und im^Wandler (1^). kombiniert wird.19. Device according to claim 1, characterized in that a plurality of beam-generating devices (10, 10 ') are provided which each generate a beam of electrically charged particles (26, 26') as a function of one of a plurality of electrical input signals (24, 24 ') ), and means (1?., 12 ') are provided for deflecting the beams so that each 1 beam (26, 26') hits the transducer (14) at a certain point (52, 52 ') at a distance of the extraction output terminal (42, ^ 2 ') - hits, whereby a plurality of input signals are delayed and in the ^ converter (1 ^). is combined. 20. Einrichtung zur Verzögerung eines elektrischen Eingangssignal s, gekennzeichnet durch wenigstens eine Vorrichtung zur Erzeugung eines im wesentlichen gleichförmigen Strahls elektrisch geladener Teilchen, wenigstens einen Wandler mit wenigstens einer mit diesem verbundenen Entnahmeausgangsklemme, der in Abhängigkeit vom Auftreffen der elektrisch geladenen Teilchen20. Device for delaying an electrical input signal, characterized by at least one device for Generating a substantially uniform beam electrically charged particles, at least one transducer with at least one extraction output terminal connected to it, which in dependence from the impact of the electrically charged particles 00 9 819/1376 -^-00 9 819/1376 - ^ - BAD ORIGINALBATH ORIGINAL ein Signal erzeugt, das vom Auftreffpunkt in Richtung auf die Entnahmeausgangsklemme mit bestimmter Geschwindigkeit: läuft^. und Mittel (12) zur Ablenkung des Strahls elektrisch geladener, Teilchen, auf welche das Eingangssignal (24) geschaltet ist,a signal generated from the point of impact in the direction of the Withdrawal output terminal at a certain speed: running ^. and means (12) for deflecting the beam of electrically charged particles to which the input signal (24) is switched, i die die Teilchen bei NichtVorhandensein eines Engangssignals quer vom Wandler ablenken und die Teilchen bei Vorhandensein eines Eingangssignalssp lenken, daß sie in Jedem gewünschten Punkt mit Abstand von den Entnahmeausgangsklemmen auf den. ;,,'/■ ■{, Wandler auf treffen, wodurch das Eingangssignal um. eine Zelt,- ,..-'..-■·. spanne verzögert wird, die proportional dem Abstand zwischen dem Auftreffpunkt (52) und der Entnahmeausgangsklemme (42, 44) ist,(Fig, 4), . _ . ■ -i which deflect the particles across the transducer in the absence of an input signal and direct the particles in the presence of an input signal to be at any desired point at a distance from the extraction output terminals. ; ,, '/ ■ ■ {, converter hit, thereby converting the input signal. a tent, -, ..-'..- ■ ·. span is delayed, which is proportional to the distance between the point of impact (52) and the removal output terminal (42, 44), (Fig, 4),. _. ■ - 21. Einrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß sie in ein Gehäuse mit bestimmten Umgebungsbedingungen eingesetzt ist, , . . ■ .-- ' :.-■■-'" .... . .- 21. Device according to claim 20, characterized in that that it is inserted in a housing with certain environmental conditions,. . ■ .-- ': .- ■■ -' "..... .- 22, Einrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dä3 die elektrisch geladenen Teilchen Elektronen, und die Umgebungsbedingungen im wesentlichen ein Vakuum sind.,. , 22, device according to claim 21, characterized in that dä3 the electrically charged particles are electrons, and the ambient conditions are essentially a vacuum.,. , 25. Einrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet,, > daß die elektrisch geladenen Teilchen Ionen und die Umgebungsbedingungen ein Gas sind, . 25. Device according to claim 21, characterized in that ,,> that the electrically charged particles are ions and the ambient conditions are a gas,. ..-.".-.V.""-' 009810/137$ - 29■'-:...-. ".-. V." "- '009810/137 $ - 29 ■' - :. ^ ..■'.■ ßAD OHlGlNAL ^ .. ■ '. ■ ßAD OHlGlNAL 24. Einrichtung nach Anspruch 22, gekennzeichnet durch eine Elektronenquelle (16), Mittel (20) zum Beschleunigen der Elektronen und Mittel -zu deren Fokusierung.24. Device according to claim 22, characterized by a Electron source (16), means (20) for accelerating the electrons and means to focus on them. 25. Einrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablenkeinrichtung (12) veränderbar ist, um den Strahl (26) zu einem Auftreffpunkt (52) auf dem Wandler (15) zu leiten, der verschiedenen Abstand von der Entnahmeausgangsklemme (44) hat, wodurch die Verzögerungszeit des Eingängssignals veränderbar ist.25. Device according to claim 20, characterized in that the deflecting device (12) is variable in order to guide the beam (26) to an impingement point (52) on the transducer (15) which is at a different distance from the extraction output terminal (44) , whereby the delay time of the input signal can be changed. 26. Einrichtung nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablenkeinrichtung (12) quer und längs ablenkende elektrostatische Ablenkplatten (34, 32,30, 28) enthält, wobei den
Querablenkplatten (32, 34) das Eingangssignal (24) aufgeschaltet ist und die Längsablenkplatten (28, 30) an eine Spannungsquelle variabler Spannung (38) angeschlossen sind.
26. The device according to claim 25, characterized in that the deflection device (12) transversely and longitudinally deflecting electrostatic deflection plates (34, 32,30, 28), wherein the
Transverse deflection plates (32, 34) the input signal (24) is switched on and the longitudinal deflection plates (28, 30) are connected to a voltage source of variable voltage (38).
27. Einrichtung nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß die Ablenkeinrichtung ein elektromagnetisches Joch ist.27. Device according to claim 25, characterized in that that the deflector is an electromagnetic yoke. 28. Einrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler eine Vielzahl von AusgangsentnahmeanschlUssen aufweist. 28. Device according to claim 20, characterized in that the converter has a plurality of output extraction connections. 00981β/137g "■ " ir-.00981β / 137g "■" ir -. ORIGINALORIGINAL 29· Einrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet;, daß der Wandler ein elektroakustischer Wandler ist, in dem bei Auftreffen eines elektrisch geladenen Teilchens eine akustische Welle erzeugt wird, und die akustische Welle dann vom Auftreffpunkt zu den Ausgangsklemmen mit bestimmter bekannter Geschwindigkeit wandert und dort ein elektrisches Signal erzeugt.29 · Device according to claim 20, characterized in ;, that the transducer is an electroacoustic transducer in which when an electrically charged particle hits an acoustic Wave is generated, and the acoustic wave then from the point of impact migrates to the output terminals at a certain known speed and generates an electrical signal there. 30. Einrichtung nach Anspruch 29, gekennzeichnet durch akustische Endstücke (46, 48) an den Enden des "Wandlers (15), in denen die akustischen Wellen nach Durchlaufen des Wandlers· bis zum Ende absorbiert werden, so daß praktisch keine Reflektion stattfindet. 30. Device according to claim 29, characterized by acoustic End pieces (46, 48) at the ends of the "transducer (15) in which the acoustic waves are absorbed to the end after passing through the transducer, so that practically no reflection takes place. 31. Einrichtung nach Anspruch 20, gekennzeichnet durch eine' Rückkopplung 4j5 von den Entnahme ausgangs klemmen (42, 54) zum Signaleingang, wodurch das Signal wiederholt in die Eirichtung eingegeben wird.31. Device according to claim 20, characterized by a ' Feedback 4j5 from the extraction output terminals (42, 54) to Signal input, which causes the signal to be repeated in the device direction is entered. 32. Einrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche* des Wandlers (15) mit einer Sekundärelektronen emittierenden Schicht (58) belegt ist.32. Device according to claim 20, characterized in that the surface * of the transducer (15) is covered with a secondary electron-emitting layer (58). 33. Einrichtung nach Anspruch 32, gekennzeichnet durch einen Seködärelektronenkollektor (60, 62), der von der Emissionsschicht ausgehende, sich vom Wandler entferntnde geladene Teilchen auf- 33. A device according to claim 32, characterized by a Seködärelektronenkollektor (60, 62) emanating from the emission layer, from the transducer entferntnde charged particles - 009119/1378009119/1378 -•-*.;.M.\,<,«.i. . BADORlGfNAL -31-- • - *.;. M. \, <, «. I. . BADORlGfNAL -31- fängt, so daß diese nicht auf den Wandler zurückfallen.so that they do not fall back on the converter. 34·. Einrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler spiralförmig aufgebaut ist, so daß eine beträchtliche Länge in einem geringen Volumen untergebracht werden kann. ^ ·34 ·. Device according to claim 20, characterized in that that the transducer is constructed in a spiral, so that a considerable Length can be accommodated in a small volume. ^ · 35. Einrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Wandler (70, 72, 74) zueinander parallel angeordnet sind,, wodurch das Eingangssignal mehrere Verzögerungswerte erhalten kann. 35. Device according to claim 20, characterized in that that several transducers (70, 72, 74) are arranged parallel to one another are, which allows the input signal to have multiple delay values. 36. Einrichtung nach Anspruch 35, dadurch gekennzeichnet, daß die Wandler aus unterschiedlichem elektroakustisehem Material mit verschiedenen Wellenausbreitungsgeschwindigkeiten bestehen.36. Device according to claim 35, characterized in that that the transducers are made of different electroacoustic material exist with different wave propagation speeds. yj. Einrichtung nach Anspruch 20, gekennzeichnet durch eine weitere Signaleingangsvorrichtung (24*), die mit dem Wandler (14) zusammenarbeitet und der ein zusätzliches Eingangssignal zugeführt wird, wodurch das erste und das zweite Eingangssignal im Wandler miteinander kombiniert und das kombinierte Signal an den Entnahmeausgangsklemmen abgenommen wird.. yj . Device according to Claim 20, characterized by a further signal input device (24 *) which works together with the converter (14) and to which an additional input signal is fed, whereby the first and second input signals are combined with one another in the converter and the combined signal is picked up at the extraction output terminals will.. 009819/1376009819/1376 BAD ORIGINALBATH ORIGINAL j8. Einrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Strahlenerzeügungsvorrichtungen (10, 10') vorgesehen sind, diese sämtlich Strahlen (26, 26') elektrisch geladener Teilchen in Abhängigkeit von mehreren elektrischen Eingangssignal eri erzeugen und Ablenkeinrichtungen (12, 12') die Strahlen so ablenken, daß sie an bestimmten Stellen (52, 52') mit Abstand von den Entnahmeausgangsklemmen (42, 44) auf den Wandler (14) auftreffen, wodurch mehrere Eingangssignale verzögert und im Wandler miteinander kombiniert werden. j8. Device according to Claim 20, characterized in that several beam generating devices (10, 10 ') are provided, all of which generate beams (26, 26') of electrically charged particles as a function of several electrical input signals and deflection devices (12, 12 ') generate the beams so that they hit the transducer (14) at certain points (52, 52 ') at a distance from the extraction output terminals (42, 44), whereby several input signals are delayed and combined with one another in the transducer. 39· Einrichtung zur Verzögerung eines elektrischen Eingangssignals, gekennzeichnet durch Mittel (10) zur Erzeugung eines Strahls elektrisch geladener Teilchen (26) in Abhängigkeit von dem Eingangssignal, wenigstens einen Wandler (14), der wenigstens eine Entnahmeausgangsklemme (42, 44) aufweist und abhängig vom Auftreffen der elektrisch geladenen Teilchen ein Signal erzeugt,. das im wandler vom Auftreffpunkt gu der Entnahmeäusgangsklemme (42, 44) mit bestimmter Geschwindigkeit läuft, Mittel, um den Strahl elektrisch geladener Teilchen zu einem bestimmten ersten und zweiten Punkt mit Abstand von der' Entnahmeausgangskiemrrje und mit Abstand voneinander zu lenken, wodurch die elektrisch geladenen Teilchen am zweiten Punkt vom Signal^ das vorn ersten Punkt ausgehend durch den Wandler hindurchläuft, reflektiert39 · Device for delaying an electrical input signal, characterized by means (10) for generating a Beam of electrically charged particles (26) in dependence on the input signal, at least one transducer (14), the at least has a removal output terminal (42, 44) and depending on the The impact of the electrically charged particles generates a signal. that in the transducer from the point of impact gu of the removal outlet terminal (42, 44) runs at a certain speed, means to the Beam of electrically charged particles to a given first and second point at a distance from the 'Entnahmeausgangskiemrrje and steer at a distance from each other, making the electric charged particles at the second point of the signal ^ the one in front of the first Point running through the transducer, reflected 009819/1376009819/1376 werden, und Mittel (104) zum Aufspüren der reflektierten geladenen Tdlchen, so daß das Eingangssignal um eine Zeitspanne verzögert ist, die dem Abstand zwischen dem ersten und zweiten Punkt proportional ist.and means (104) for detecting the reflected charged Tdlchen so that the input signal by a period of time is delayed, which is proportional to the distance between the first and second points. 40. Einrichtung nach Anspruch j59/ dadurch gekennzeichnet, daß sie in-einem Gehäuse mit bestimmter Umgebungsbedingung untergebracht ist.40. Device according to claim j59 / characterized in that that they are housed in a housing with certain environmental conditions is. 41. Einrichtung nach Anspruch 40, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch geladenen Teilchen Elektronen und die Umgebungsbedingungen ein Vakuum sind.41. Device according to claim 40, characterized in that the electrically charged particles are electrons and the ambient conditions are a vacuum. 42. Einrichtung nach Anspruch 40, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch geladenen Teilchen Ionen und die Umgebungsbedingungen ein Gas sind. 42. Device according to claim 40, characterized in that the electrically charged particles are ions and the ambient conditions are a gas. 4;5. Einrichtung nach Anspruch 4.1-, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum Erzeugen eines Elektronenstrahls eine Elektronenquelle (16), Mittel zum Beschleunigen der Elektronen (20) und Mittel zum Pokusieren der Elektronen enthalten.4; 5. Device according to claim 4.1, characterized in that that the means for generating an electron beam is an electron source (16), means for accelerating the electrons (20) and means for focusing the electrons. 009819/1376009819/1376 BAD ORIGINALBATH ORIGINAL 44. Einrichtung nach Anspruch 39, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlablenkeinrichtung variabel einstellbar ist, um die Strahlrichtung auf die Punkte auf dem "'Wandler (14) lenken zu können, die zueinander und zu den Entnahmeausgangsklemraen (42, 44) einen variablen Abstand haben, so daß die Größe der Zeitverzögerung des Eingangssiftgnals variabel ist.44. Device according to claim 39, characterized in that that the beam deflector is variably adjustable to direct the beam direction onto the points on the transducer (14) to be able to each other and to the Entnahmeausgangsklemraen (42, 44) have a variable distance, so that the size of the Time delay of the input signal is variable. 45. Einrichtung nach Anspruch 44, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlablenkvorrichtungen elektrostatische Ablenkplatten aufweisen, die mit Spannungsquellen variabler Spannung'.verbunden sind. - *45. Device according to claim 44, characterized in that that the beam deflectors have electrostatic deflectors that are connected to voltage sources of variable voltage are. - * 46. Einrichtung nach Anspruch 44, dadurch gekennzeichnet, daß die variablen Äblenkeinrichtungen ein elektromagnetisches Ablenkjoch (108) enthalten.46. Device according to claim 44, characterized in that that the variable deflection devices include an electromagnetic deflection yoke (108). 47. 'Einrichtung nach Anspruch 41, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufspürmittel eine Vielzahl von Elektronen-Vervielfacherdioden (102) in der Umgebung der Elektronenstrar!erzeugungsvorrichtung (10) aufweisen sowie eine elektronensensitive Anode, die abhängig von den reflektierten elektrisch geladenen Teilchen ein Ausgangssignal erzeugt.47. 'Device according to claim 41, characterized in that that the detection means a plurality of electron multiplier diodes (102) in the vicinity of the electron generation device (10) and an electron-sensitive anode, which depends on the reflected electrically charged particles generates an output signal. • ■ '■'■'.. _■■■'■ -35 -• ■ '■' ■ '.. _ ■■■' ■ -35 - 0098197137800981971378 - ■ ■ .-.'- ■ ■ .-. ' BADBATH 48. . Einrichtung nach Anspruch 39* dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler ein elektroakustischer Wandler ist, in dem eine akustische Welle durch Auftreffen der elektrisch geladenen Teilchen erzeugt viird, und die akustische Welle im Wandler eine elektrische Ladung derselben Polarität der elektrische geladenen Teilchen erzeugt, so daß die Reflektion der elektrisch geladenen Teilchen durch Coulomb'sehe Kräfte erfolgt.48th. Device according to claim 39 * characterized in that that the transducer is an electroacoustic transducer in which one acoustic wave due to the impact of the electrically charged particles generated viird, and the acoustic wave in the transducer one electric charge of the same polarity of electrically charged particles is generated, so that the reflection of the electrically charged particles are effected by Coulomb's forces. 49· Einrichtung nach Anspruch 48, dadurch gekennzeichnet, daß akustische Endstücke (46, 48) an den Enden des Wandlers vorgesehen sind, welche die akustischen Wellen nach dem Durchlaufen des handlers absorbieren und somit Reflektionen vermeiden.49 · Device according to claim 48, characterized in that that acoustic end pieces (46, 48) are provided at the ends of the transducer, which the acoustic waves after passing through of the handler and thus avoid reflections. 50. Einrichtung nach Anspruch 39* gekennzeichnet durch eine rückkopplung (4j) der Auf spür einrichtung (104) mit der Strahlerzeugungseinrichtung (10), wodurch eine Rückeinspeisung des Signals in das Gerät möglich ist.50. Device according to claim 39 * characterized by a feedback (4j) of the sensing device (104) with the beam generating device (10), which enables the signal to be fed back into the device. 51. Einrichtung nach Anspruch 39, gekennzeichnet durch eine Sekundärelekferoneri emittierende 3elagschicht auf der dem ankommenden Elektronenstrahl zugewandten Wandlerseite.51. Device according to claim 39, characterized by a Secondary electrons emitting layer on the incoming one Electron beam facing transducer side. 52. Eini'ichturg nach Anspruch 51* gekennzeichnet durch einen ..vekuuärelektiOiienkollektor (60, 62), welcher die von der Belag-52. Eini'ichturg according to claim 51 * characterized by a ..vekuuärelektiOiienkollektor (60, 62), which the from the pavement ■ - 36 -■ - 36 - 009819/137 6009819/137 6 BAD ORIGINALBATH ORIGINAL - -36 -- -36 - schicht fortfliegenden geladenen Teilchen auffängt, so daß diese nicht auf den-Wandler zurückfallen können.layer catches charged particles flying away so that these cannot fall back on the converter. 0098 19/13 760098 19/13 76
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