DE1934135C2

DE1934135C2 - Planar gas discharge display device and method for making the same

Info

Publication number: DE1934135C2
Application number: DE19691934135
Authority: DE
Inventors: James Burroughs Armstrong; Dan Jerry Schott; Leland Alayton Phoenix Ariz. Warne
Original assignee: Beckman Instruments Inc
Current assignee: Beckman Coulter Inc
Priority date: 1968-07-05
Filing date: 1969-07-04
Publication date: 1982-05-27
Also published as: FR2012364A1; SE368877B; NL6910316A; NL163664C; DE1934135A1; GB1272674A; NL163664B

Description

Die Erfindung betrifft eine planare Gasentladungs-Anzeigevorrichtung nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 sowie ein Verfahren zu ihrer Herstellung.The invention relates to a planar gas discharge display device according to the preamble of claim 1 and a method for their production.

Aus der belgischen Patentschrift 7 05 643 ist bereits f>o eine Gasentladungs-Anzeigevorrichtung bekannt. Hierbei sind in einen Glassockel als Stromzuführungen dienende Stifte eingeschmolzen, die in Form der darzustellenden Ziffern ausgebildete Kathoden tragen. Die Kathoden sind mit den Stiften in einem Glasrohr untergebracht, das mit einem ionisierbaren Gas gefüllt ist. Derartige Gasentladungs-Anzeigevorrichtungen sind jedoch recht voluminös.From the Belgian patent 7 05 643 is already f> o a gas discharge display device is known. Here are in a glass base as power supplies Serving pins are melted down, which have cathodes in the form of the digits to be displayed. The cathodes are housed with the pins in a glass tube that is filled with an ionizable gas is. However, such gas discharge display devices are quite bulky.

Es sind daher auch schon weniger Platz beanspruchende planare Gasentladungs-Anzeigevorrichtungen bekannt, der Art, wie sie beispielsweise in der US-Patentschrift 33 27 153 beschrieben sind. Hierbei ist ein die Kathodensegmente tragendes Substratteil vorgesehen, sowie eine mit dem Substratteil dicht schließend verbundene durchsichtige Abdeckung, die eine ebenfalls durchsichtige Anode trägt, durch die hindurch die Kathodenglimmlichter für den Betrachter sichtbar sind. Durch das Substratteil hindurch sind Stifte zur Kontaktierung der Kathodensegmente und der transparenten Anode geführt Solche bekannten planaren Gasentladungs-Anzeigevorrichtungen haben normalerweise nur eine verhältnismäßig kurze Betriebslebensdauer. Für diesen frühen Ausfall ist in erster Linie die Kathodenzerstäubung verantwortlich, da das zerstäubte bzw. versprühte Kathodenmaterial widerstandsarme Leiterwege zwischen benachbarten Kathodensegmenten bildet Man hat versucht, durch die Zumischung eines Gases mit hohem Molekulargewicht, beispielsweise Quecksilber, zu dem ionisierbaren Gas die Betriebslebensdauer zu verlängern. Diese Maßnahme hat zu einer Verlängerung der Lebensdauer bei bestimmten Gasentladungsröhren geführt, jedoch erbringt diese Maßnahme allein bei planaren ebenen Anzeigevorrichtungen kein zufriedenstellendes Verhalten, bei welchem die Kathodensegmente durch Abscheidung, Verbund oder anderweitige Anbringung auf einem gemeinsamen Substrat eng benachbart miteinander angeordnet sind.There are therefore also planar gas discharge display devices that take up less space known, the way they are for example in the US Pat. No. 3,327,153. Here is a substrate part carrying the cathode segments provided, as well as a with the substrate part tightly connected transparent cover, the also carries a transparent anode through which the cathode glow lights for the viewer are visible. Pins for contacting the cathode segments and the are through the substrate part transparent anode such known planar gas discharge display devices normally have only a relatively short service life. For this early failure is in the first place the cathode sputtering is responsible, since the sputtered or sprayed cathode material has low resistance Conductor paths between adjacent cathode segments has been attempted through the Admixture of a gas with a high molecular weight, for example mercury, to the ionizable gas to extend the service life. This measure contributes to an extension of the service life out certain gas discharge tubes, but only provides this measure for planar planes Display devices do not behave satisfactorily, in which the cathode segments are separated by deposition, Composite or otherwise attached to a common substrate in close proximity to one another are arranged.

Der vorliegenden Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, eine planare Gasentladungs-Anzeigevorrichtung derart zu gestalten, daß ein früher Ausfall durch Zerstäuben von Kathodenmaterial vermieden wird.The present invention is therefore based on the object of a planar gas discharge display device designed so that early failure by sputtering of cathode material is avoided.

Die vorliegende Erfindung löst diese Aufgabe ausgehend von einer planaren Gasentladungs-Anzeigevorrichtung der eingangs genannten Art durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruchs 1.The present invention achieves this object on the basis of a planar gas discharge display device of the type mentioned by the characterizing features of claim 1.

Beispielsweise gewährleisten bei einem Gasdruck von 6666 Pa Neon ein Anoden-Kathoden-Abstand von 0,75 mm und ein Kathodensubstratabstand von 0,125 mm, daß nur derartige anodenseitige Glimnierscheinungen auftreten. Zur weiteren Herabsetzung der Auswirkungen der Kathodenzerstäubung kann jeweils um die Grundfläche der einzelnen Kathodenhalterungsstifte herum eine becherförmige Einkerbung vorgesehen sein. Ein weiterer zusätzlicher Vorteil der Anodenkathoden- und Kathoden-Substratabstände besteht darin, daß die zur Erzielurg einer bestimmten Leuchtkraft der Glimmentladung erforderliche Leistung sich etwa um 50% verringert.For example, at a gas pressure of 6666 Pa, neon ensures an anode-cathode distance of 0.75 mm and a cathode substrate spacing of 0.125 mm that only such anode-side glowing phenomena appear. To further reduce the effects of sputtering, each a cup-shaped notch is provided around the base of the individual cathode support pins be. There is another additional benefit of the anode-cathode and cathode-substrate spacings in that the power required to achieve a certain luminosity of the glow discharge decreased by about 50%.

Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung einer derartigen Gasentladungs-Anzeigevorrichtung, wonach man in einem Glassiibstratteil mehrere Kathodenhalterungsstifte so anordnet, daß die Stirnflächen der Stifte mit der dem Betrachter zugewandten Oberfläche des Substratteils fluchten und die gegenüberliegenden Enden der Stifte an der gegenüberliegenden Oberfläche des Substratteils überstehen, und daß man sodann die dem Betrachter zugewandte Oberfläche des Substratteils ätzt, um die einzelnen Stifte jeweils mit einem bestimmten Teil ihrer Länge freizulegen, derart, daß sie aus der nach der Ätzung verbleibenden Subslratobertläche hervorstehen. The invention also relates to a method for producing such a gas discharge display device, after which a plurality of cathode mounting pins are arranged in a glass substrate part so that the End faces of the pins are aligned with the surface of the substrate part facing the viewer and the opposite ends of the pins protrude from the opposite surface of the substrate part, and that then the viewer facing surface of the substrate part is etched to the to expose individual pins each with a certain part of their length, so that they are from the after Etching remaining subsurface surface protrude.

Im Verlauf der Ätzung bildet sich in dem Substrat um die Grundfläche der einzelnen Stifte herum eine becherförmige Einkerbung bzw. Mulde. Die Muldenbil-In the course of the etching, it forms in the substrate the base of the individual pins around a cup-shaped notch or depression. The depression

dung im Verlauf der Ätzung des Substrates rührt von der Anwendung einer bestimmten Subsiratstift-Verbindung her, welche zu hermetischen Abdichtungen mit Druck- bzw. Zugspannungen führt; diese Glas-Versiegelungsbereiche mit inneren Spannungen werden schneiler geätzt als die spannungsfreien Bereiche des Substratteils.Development in the course of the etching of the substrate results from the application of a certain subsirate pin compound forth, which leads to hermetic seals with compressive or tensile stresses; these glass sealing areas with internal stresses are etched faster than the stress-free areas of the Substrate part.

Es wurde gefunden, daß die hervorstehende Anbringung der Kathodensegmente und die Einkerbungen die Auswirkung der Kathodenzerstäubung erheblich verringern und die Betriebslebensdauer der Anzeigevorrichtung ganz erheblich verlängern. Man darf annehmen, daß die Zerstäubungsprodukte keine Tendenz zeigen, die steile Wand der becherförmigen Ausnehmung zu überziehen, so daß um jeden Stift herum eine im wesentlichen von Zerstäubungsprodukten freie Ringfläche gebildet wird, die daher eine isolierende Barriere zwischen der mit den Zerstäubungsprodukten besprühten, und daher geringfügig leitfähigen, Substratoberfläche und dem Stift bildet. 2"It has been found that the protruding attachment of the cathode segments and the indentations the Significantly reduce the impact of sputtering and the service life of the display device extend quite considerably. One can assume that the atomization products have no tendency show to cover the steep wall of the cup-shaped recess, so that one around each pin substantially free of atomization products ring surface is formed, which is therefore an insulating Barrier between the substrate surface which is sprayed with the atomization products and is therefore slightly conductive and the pen forms. 2 "

Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel einer Gasentladungs-Anzeigevorrichtung gemäß der Erfindung anhand der Zeichnung beschrieben; die Zeichnungsfigur zeigt die Vorrichtung in vereinfachter, auseinandergezogener perspektivischer Ansicht.The following is an embodiment of a gas discharge display device according to the invention described with reference to the drawing; the drawing shows the device in a simplified, exploded perspective view.

Die gezeigte Vorrichtung weist ein Glassubstrat 1 mit Öffnungen für eine Anzahl elektrischer Kontaktstifte 2 auf, die hermetisch dichtschließend mit dem Substrat verbunden sind. Auf der dem Betrachter zugewandten Seite des Substrats t stehen die Enden der Stifte 2 aus m der Substratoberfläche ein bestimmtes Stück frei heraus, bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel um etwa 0,125 mm. Auf der gegenüberliegenden Oberfläche des Substrats 1 stehen die Stifte ausreichend zum Eingriff mit (nicht dargestellten) entsprechenden Buchsenoff- S5 nungen über, mittels welcher die elektrischen Betriebsspannungen angelegt werden. Auf den dem Betrachter zugewandten Enden der Stifte 2 sind einzelne Kathodensegmente 3 angebracht, die mehrere herkömmliche alphanumerische Konfigurationen bilden, ίο Zusätzlich zu den alphanumerischen Kathodensegmen ten 3 ist ein Kathodensegment 4 als Dezimalpunkt vorgesehen; des weiteren Kathodensegmente 5 und 6 zur Wiedergabe des Buchstaben L, sowie Kathodensegmente 7,8 und 9 zur Wiedergabe des Buchstaben R. Die gezeigte Segmentanordnung dient nur zur Erläuterung einer Ausführungsform der Erfindung für ein Flugzeuginstrument. The device shown has a glass substrate 1 with openings for a number of electrical contact pins 2, which are hermetically sealed to the substrate. On the side facing the observer side of the substrate t are the ends of the pins 2 from the substrate surface m a particular piece freely out mm in the illustrated embodiment is about 0.125. On the opposite surface of the substrate 1, the pins protrude sufficiently to engage with corresponding socket openings (not shown) by means of which the electrical operating voltages are applied. On the ends of the pins 2 facing the viewer, individual cathode segments 3 are attached, which form several conventional alphanumeric configurations, ίο In addition to the alphanumeric cathode segments 3, a cathode segment 4 is provided as a decimal point; furthermore cathode segments 5 and 6 to reproduce the letter L, and cathode segments 7, 8 and 9 to reproduce the letter R. The segment arrangement shown serves only to explain an embodiment of the invention for an aircraft instrument.

Sämtliche Kathodensegmente liegen annähernd in der gleichen Ebene in im wesentlichen dem gleichen ^o Abstand von dem Substrat 1; das Substrat ist außerdem mit einer Öffnung 11 versehen, mit welcher auf der den Kathodensegmenten gegenüberliegenden Seite des Substrats eine Gasfüllröhre 12 hermetisch dichtschließend verbunden ist. In der Röhre 12 ist eine Quecksilberampulle 13 eingesetzt. Die Substratplatte 1 ist ferner mit zwei hermetisch dicht durchgeführten Stiften 14 und 15 zur elektrischen Kontaktierung des Anodenteils 16 der Gasentladungs-Anzeigevorrichtung versehen.All cathode segments lie approximately in the same plane in essentially the same ^ o Distance from the substrate 1; the substrate is also provided with an opening 11, with which on the Cathode segments opposite side of the substrate a gas filling tube 12 hermetically sealed connected is. A mercury ampoule 13 is inserted in the tube 12. The substrate plate 1 is also with two hermetically sealed pins 14 and 15 for electrical contacting of the Provided anode part 16 of the gas discharge display device.

Das Anodenteil besteht aus einem Glassubstrat 16, auf welchem als Anode 17 ein Dünnfilm aus einem durchsichtigen, leitenden Material aufgebracht ist, derart, daß der Film die gesamte, den Kathodensegmenten und dem Substrat 1 zugewandte Oberfläche des Substrats 16 bedeckt. Das Substrat 1 ist von dem Anodenteil durch eine Glasabstandsplatte 18 in Abstand gehalten, deren Hauptöffnung 19 zusammen mit dem Substrat 1 und der Aiode 17 im zusammengebauten Zustand eine Kammer für ein ionisierbares Gas bildet, das bei Erregung der Anzeigevorrichtung Kathodenglimmentladungen erzeugt Durch zwei Öffnungen 20 und 21 der Abstandsplatte 18 führen Federkontakte 22 und 23, die im zusammengebauten Zustand der Vorrichtung den elektrischen Kontakt zwischen den Stiften 14 und 15 einerseits und dem leitenden Film der Anode 17 gewährleisten. Die Dicke der Abstandsplatte 18 ist durch den Anoden-Kathoden-Abstand und den Kathoden-Substratabstand bestimmt, die erforderlich sind, damit für einen gegebenen Gasdruck nur an der Anodenseite der Kathodenelemente Glimmlichter auftreten, wobei selbstverständlich die Dicke der Kathodenelemente selbst zu berücksichtigen isL In dem gezeigten Ausführungsbeispiel hat die Abstandsplatte eine Dicke von 1 mm, derart, daß unter Berücksichtigung der Dicke der Kathodensegmente der Anoden-Kathoden-Abstand 0,75 mm beträgtThe anode part consists of a glass substrate 16, on which a thin film of a transparent conductive material is applied in such a way that the film covers the entire, the cathode segments and the surface of the substrate 16 facing the substrate 1. The substrate 1 is of that Anode part held by a glass spacer plate 18, the main opening 19 together with the Substrate 1 and the Aiode 17 in the assembled State forms a chamber for an ionizable gas which, when the display device is excited, emits cathode glow discharges Spring contacts 22 lead through two openings 20 and 21 in spacer plate 18 and 23, which in the assembled state of the device, the electrical contact between the Pins 14 and 15 on the one hand and the conductive film of the anode 17 ensure. The thickness of the spacer plate 18 is determined by the anode-cathode distance and the cathode-substrate distance, which are required so that glowing lights occur only on the anode side of the cathode elements for a given gas pressure, naturally taking into account the thickness of the cathode elements themselves The embodiment shown, the spacer plate has a thickness of 1 mm, such that taking into account the thickness of the cathode segments, the anode-cathode distance is 0.75 mm

Nach einer Alternativausführung können das Anodenteil und das Abstandsteil 18, die im vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel als getrennte Teile ausgebildet sind, zu einem einzigen, einstückigen Formteil zusammengefaßt sein, dessen Seitenwandungen auf die Abmessung abgeschliffen sind, die erforderlich ist, daß sich der vorstehend erwähnte Abstand zwischen den Teilen ergibt Nach einer weiteren Abwandlungsmöglichkeit kann die durchsichtige Anode 17 als gesondertes, feinmaschiges Drahtnetz, beispielsweise aus rostfreiem Stahl, ausgebildet sein, das mit Stiften nach Art der Stifte 14 und 15 verschweißt ist, die aus dem Substrat 1 so weit hervorstehen, daß sich die genannten Anoden-Kathoden und Kathoden-Substratabstände ergeben.According to an alternative embodiment, the anode part and the spacer part 18, which are described in the above described embodiment are formed as separate parts, into a single, one-piece Be summarized molded part, the side walls are ground to the dimension that is required that the above-mentioned distance between the parts results After a The transparent anode 17 can also be modified as a separate, fine-meshed wire mesh, be made of stainless steel, for example, which is welded to pins in the manner of pins 14 and 15, which protrude from the substrate 1 so far that the anode-cathode and cathode-substrate distances mentioned result.

Zum Zusammenbau der gezeigten Ausführungsform einer Anzeigevorrichtung werden die Teile 1, 16 und 18 in gegenseitiger Ausrichtung gegeneinar.dergelegt und sodann entlang den gesamten Randflächen der aneinanderliegenden Teile hermetisch dichtschließend miteinander verbunden. Mittels herkömmlicher Verfahren wird die Gasatmosphäre innerhalb der hermetisch abgedichteten Vorrichtung gereinigt und sodann die Vorrichtung mit einem geeigneten ionisierbaren Gas und einerp Quecksilbervorrat in der Ampulle 13 gefüllt und dicht verschlossen. Das Quecksilber wird in bekannter Weise zu einem gewünschten Zeitpunkt während des Herstellungsverfahrens in die abgeschlossene Gasatmosphäre freigegeben. Nach dieser Freigabe stellt das Quecksilber in der Gasfüllung einen Anteil an einem Gas von hohem Molekulargewicht dar, von dem angenommen wird, daß es die Kathodenzerstäubung inhibiert, und zwar dadurch, daß es einen wesentlichen Teil der kinetischen Energie der ionisierten Gaspartikel aufnimmt, bevor diese die Kathodensegmente bombardieren. To assemble the embodiment of a display device shown, parts 1, 16 and 18 against each other in mutual alignment and then along the entire edge surfaces of the adjacent Parts are hermetically sealed together. Using conventional methods the gas atmosphere inside the hermetically sealed device is cleaned and then the The device is filled with a suitable ionizable gas and a supply of mercury in the ampoule 13 and tightly closed. The mercury is added in a known manner at a desired time released into the enclosed gas atmosphere during the manufacturing process. After this release the mercury in the gas filling represents a proportion of a gas of high molecular weight, of which it is believed to inhibit sputtering by being a substantial Part of the kinetic energy of the ionized gas particles absorbs before they bomb the cathode segments.

Die einzelnen Kathodensegmente 3 bis 9 sind jeweils durch Schweißung oder anderweitig am Ende des betreffenden Stifts 2 befestigt, der aus der Oberfläche des Substrats 1 um den bestimmten Betrag heraussteht, der erforderlich ist, daß die oben erwähnten Abstandsbedingungen erfüllt sind; im gezeigten Ausführungsbeispie! stehen die Stifte, wie bereits erwähnt, etwa 0,125 mm aus der Oberfläche hervor. Es ist vorgesehen, daß die Enden der Stifte 2, an welchen die Kathodensegmente befestigt sind, im wesentlichen in ein und derselben, zur Oberfläche des Substrats 1 parallelen Ebene liegen, und zwar wird dies durch einen Ätzvorgang erreicht. Hierzu wird in der WeiseThe individual cathode segments 3 to 9 are each welded or otherwise at the end of the attached pin 2, which protrudes from the surface of the substrate 1 by the certain amount, which is required that the above-mentioned spacing conditions are met; in the example shown! As already mentioned, the pins protrude about 0.125 mm from the surface. It is intended that the ends of the pins 2 to which the cathode segments are attached, substantially in one and the same, to the surface of the substrate 1 parallel plane, and this is done by a Etching process achieved. This is done in the way

vorgegangen, daß die Durchführstifte 2 in den betreffenden öffnungen des Substratkörpers 1 eingesetzt werden, derart, daß ihre Enden mit der dem Betrachter zugewandten Oberfläche des Substrats fluchten. Sodann werden die Stifte 2 hermetisch dicht schließend mit dem Substratkörper verbunden, beispielsweise durch eine Glas-Metall-Versiegelung, welche auf Druck beanspruchte Bereiche um den jeweiligen Umfang der Stifte herum erzeugt. Sodann wird die dem Betrachter zugewandte Oberfläche des Substratkörpers auf chemischem Wege mit der erforderlichen Tiefe von 0,125 mm bezüglich der ursprünglichen Oberfläche geätzt, derart, daß jeweils die gewünschte Länge der einzelnen Stifte über der geätzten Oberfläche freigelegt werden.proceeded that the feed-through pins 2 are inserted into the relevant openings of the substrate body 1 are in such a way that their ends with the surface of the substrate facing the viewer cursing. The pins 2 are then connected to the substrate body in a hermetically sealed manner, for example by means of a glass-to-metal seal, which pressurized areas around the respective Around the circumference of the pins. Then the surface of the substrate body facing the viewer becomes chemically to the required depth of 0.125 mm with respect to the original surface etched in such a way that in each case the desired length of the individual pins is exposed above the etched surface will.

Der Ätzvorgang erzeugt gleichzeitig jeweils eine becherförmige Einkerbung 24 um die Grundfläche der einzelnen Stifte 2 herum, und zwar infolge des Umstandes, daß das Ätzmittel jeweils den unter inneren Spannungen stehenden Glas-Metall-Versiegelungsbereich um jeden Stift herum mit größerer Ätzgeschwindigkeit als das nicht in der Nachbarschaft der Glas-Metall-Versiegelungen befindliche Glassubstrat, d. h. den spannungsfreien Teil des Substrats, angreift. Als Ätzmittel eignet sich eine Lösung von Fluor-Wasserstoffsäure in destilliertem Wasser. Es wurde gefunden, daß die Geschwindigkeit, mit welcher sich Kathodenzerstäubungsmaterial auf der Oberfläche des Substrats 1 in ausreichender Menge abscheidet, um widerstandsarme Pfade zwischen den Kathodensegmenten zu ergeben, durch die Ätzmulden 24 erheblich herabgesetzt wird, im Vergleich zu der Geschwindigkeit ohne diese Ätzmulden. Man darf annehmen, daß diese Verringerung der Geschwindigkeit des Aufbaus widerstandsarmer Pfade darauf zurückzuführen ist, daß die freiliegende Oberfläche zwischen benachbarten Stiften 2 durch die Ätzmulden 24 um die Basis der Stifte herum vergrößert wird. Man darf ferner auch annehmen, daß die Zerstäubungsprodukte keine Tendenz zeigen, die verhältnismäßig steilen Wände der Ätzmulden 24 zu bedecken, wodurch um die Stifte herum jeweils ein isolierender Ringraum erzeugt wird. Somit wird für eine gegebene Zerstäubungsgeschwindigkeit die zur Abscheidung einer schädlichen Leiterschicht auf den freiliegenden Oberflächen erforderliche Zeitdauer ganz wesentlich erhöht. Dies hat eine erhebliche Verlängerung der Betriebslebensdauer der Gasentladungs-Anzeigevorrichtung gemäß der Erfindung zur Folge.The etching process simultaneously creates a cup-shaped notch 24 around the base of the individual pins 2 around, due to the fact that the etchant in each case under inner Tension-standing glass-to-metal sealing area around each pin at a faster rate of etch than that not in the vicinity of the glass-to-metal seals located glass substrate, d. H. the stress-free part of the substrate attacks. as A solution of hydrofluoric acid in distilled water is suitable for the etchant. It was found, that the rate at which sputtering material settles on the surface of the substrate 1 is deposited in sufficient quantity to create low-resistance paths between the cathode segments to result, is significantly reduced by the etching pits 24, compared to the speed without these etch hollows. It can be assumed that this reduction in the rate of construction is less drag Paths are due to the exposed surface between adjacent pins 2 is enlarged by the etch wells 24 around the base of the pins. One can also assume that the sputtering products show no tendency towards the relatively steep walls of the etching depressions 24 cover, whereby an insulating annulus is created around the pins. Thus, for a given sputtering speed that for the deposition of a harmful conductor layer on the exposed surfaces increases the amount of time required. This has a considerable extension the service life of the gas discharge display device according to the invention result.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims

Patent claims:

1. Planar gas discharge display device with a substrate part carrying the cathode segments and with one hermetically sealed with this to form a chamber for the ionizable gas finally connected transparent anode, through which the cathode glow »er are visible to the viewer, and with several hermetically sealed by the substrate part electrically conductive pins passed through, characterized in that the pins (2) on the surface of the substrate part (1) facing the viewer protrude and the protruding Wear the ends of the cathode segments (3—9) in such a way that all parts of the cathode segments (3—9) have approximately the same distance from the substrate part (1), and that the anode (16,17) at such a distance of the substrate part (1) and the cathode segments (3-9) is arranged that the anode-cathode distance and the cathode-substrate part distance for a given pressure of the in the enclosed space between the anode and the cathode segments contained ionizable gas ensure that the cathode segments (3-9) when excited only on the one facing the viewer Side glow.

2. Planar gas discharge display device according to claim 1, characterized in that each around the base of the individual pins (2) iri the surface of the facing the viewer Substrate part (1) a notch (24) is provided.

3. Planar gas discharge display device according to claim 2, characterized in that the Notch (24) around the base of the individual pins (2) is cup-shaped.

4. A method for manufacturing the planar gas discharge display device according to a or more of the preceding claims, characterized in that a glass substrate part (1) a plurality of cathode support pins (2) arranged so that the end faces of the pins (2) with the The surface of the substrate part (1) facing the viewer is aligned and the opposite Ends of the pins on the opposite "5 surface of the substrate part (1) protrude, and that then the surface of the substrate part facing the viewer is etched to reveal the individual To expose pins (2) each with a certain part of their length, so that they from the after the so Etching remaining substrate surface protrude.