DE1922265C3 - Piezoelectric ceramics - Google Patents

Piezoelectric ceramics

Info

Publication number
DE1922265C3
DE1922265C3 DE19691922265 DE1922265A DE1922265C3 DE 1922265 C3 DE1922265 C3 DE 1922265C3 DE 19691922265 DE19691922265 DE 19691922265 DE 1922265 A DE1922265 A DE 1922265A DE 1922265 C3 DE1922265 C3 DE 1922265C3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
piezoelectric
ceramics
ceramic
mno
quality factor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19691922265
Other languages
German (de)
Other versions
DE1922265B2 (en
DE1922265A1 (en
Inventor
Masamitsu Nishida
Hiromu Ouchi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to DE19691922265 priority Critical patent/DE1922265C3/en
Publication of DE1922265A1 publication Critical patent/DE1922265A1/en
Publication of DE1922265B2 publication Critical patent/DE1922265B2/en
Application granted granted Critical
Publication of DE1922265C3 publication Critical patent/DE1922265C3/en
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/50Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on rare-earth compounds
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/46Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/48Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/51Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on compounds of actinides

Description

Pb(Li114Nb^)1Ti1-Zr2O3
mit Werten für χ von 0,0IO bis 0,375, für y von
Pb (Li 114 Nb ^) 1 Ti 1 -Zr 2 O 3
with values for χ from 0.0IO to 0.375, for y from

5 Gewichtsprozent MnO., enthält.5 percent by weight MnO., Contains.

2. Piezoelektrische Keramik, dadurch gekennzeichnet, daß sie aus einer festen Lösung der Formel2. Piezoelectric ceramic, characterized in that it consists of a solid solution of the formula

festen 5 jeweils modifiziert mit einem Zusatz an MnO2 zwischen 0,1 und 5 Gewichtsprozent, enthält.solid 5 each modified with an addition of MnO 2 between 0.1 and 5 percent by weight.

Die Verwendung von piezoelektrischen Materialien für zahlreiche Wandleranwendungen bei der Herstellung, Messung und Richtungssinnbpstimmung vonThe use of piezoelectric materials for numerous transducer applications in manufacturing, Measurement and sense of direction of

O bis 0,750 und für ζ von O bis 0,875, wobei 10 Tönen, Erschütterungen, Vibrationen, Drücken usw. + y + ζ — 1 ist, besteht und daß sie 0,1 bis hat in den letzten Jahren stark zugenommen. SowohlO to 0.750 and for ζ from O to 0.875, where 10 tones, shocks, vibrations, pressures, etc. + y + ζ - 1, and that it is 0.1 to has increased sharply in recent years. As well as

Wandler vom Kristall- als auch vom Keramik-Typ sind verbreitet verwendet worden. Auf Grund der möglichen niedrigeren Kosten und leichten Herstell-15 barkeit von Keramiken mit verschiedenen Formen und Abmessungen sowie wegen ihrer größeren Beständigkeit gegenüber hoher Temperatur und/oder Feuchtigkeit im Vergleich zu kristaüir.en Substanzen, wie z. B. Rochelle-Salz, haben jedoch die piezowobei x+y-rz-= I ist, besteht und daß sie 0,2 20 elektrischen Keramikmaterialien in letzter Zeit für bis 3 Gewichtsprozent MnO2 enthält. zahlreiche Wandleranwendungen Bedeutung erlangt.Crystal as well as ceramic type transducers have been widely used. Due to the possible lower costs and ease of manufacture of ceramics with different shapes and dimensions and because of their greater resistance to high temperature and / or moisture compared to crystalline substances, such as. B. Rochelle salt, but have the piezowith x + y-rz- = I, and that it contains 0.2 20 electrical ceramic materials recently for up to 3 weight percent MnO 2 . numerous converter applications gained importance.

Die erforderlichen piezoelektrischen Eigenschaften der Keramiken variieren offensichtlich mit der Art der Anwendung. Für elektromechanische Wandler, 25 wie z. B. Grammophon-Tonabnehmer und Mikrophone, werden beispielsweise piezoelekrische Keramiken benötigt, die durch einen sehr hohen elektromechanischen Kopplungskoeffizienten und eine sehr hohe dielektrische Konstante charakterisiert sind. 30 Andererseits ist es bei iramischen Filtern und piezoelektrischen Transformatoranwendungen von piezoelektrischen Keramiken erwünscht, daß die Materialien einen höheren Wert des mechanischen Qualitätsfaktors und einen hohen elektromechanischen Koppgekennzeichnet, daß er eine Keramik gemäß An- 35 lungskoeffizien· .n aufweisen. Weiterhin sollen die sprach 2 aufweist. Keramikmateriaüen eine hohe Stabilität gegenüberThe required piezoelectric properties of the ceramics obviously vary with the species the application. For electromechanical converters, 25 such. B. gramophone pickups and microphones, for example piezoelectric ceramics needed by a very high electromechanical coupling coefficient and a very high dielectric constant are characterized. 30 On the other hand, it is with Iranian filters and piezoelectric filters Transformer applications of piezoelectric ceramics are desirable for the materials a higher value of the mechanical quality factor and a high electromechanical coupling indicates that it has a ceramic according to application coefficients · .n. Furthermore, the spoke 2. Ceramic materials have a high degree of stability

Temperatur und Zeit hinsichtlich der Resonanzfrequenz und anderen el'ktrischen Eigenschaften aufweisen.Temperature and time in terms of resonance frequency and other electrical properties exhibit.

Als im Sinne dieser Anforderungen recht geeignete Keramik ist Bleititanat-Bleizirkonat bisher verbreitet verwendet worden. Es ist jedoch schwierig, mit den Bieititanai-Bieizirkonai-Kerafniken einen sehn hohen mechanischen Qualitätsfakior /usammim mit einemLead titanate-lead zirconate has so far been widespread as a ceramic that is quite suitable in terms of these requirements been used. However, it is difficult to achieve a very high level with the Bieititanai-Bieizirkonai-Kerafniken mechanical quality factor / usammim with one

mit Werten iür χ von 0,010 bis 0,350, für y von 0,250 bis 0,650 und für ζ von 0,250 bis 0,650,with values i for χ from 0.010 to 0.350, for y from 0.250 to 0.650 and for ζ from 0.250 to 0.650,

3. Piezoelektrische Keramik, dadurch gekennzeichnet, daß sie aus einer festen Lösung der Formel3. Piezoelectric ceramic, characterized in that it consists of a solid solution of the formula

Pb(Li14Nb^)xTi1Zr2O3 Pb (Li 14 Nb ^) x Ti 1 Zr 2 O 3

mit Werten für χ von 0,030 bis 0,250, für y von 0,375 bis 0,490 und für ζ von 0,375 bis 0,540, wobei χ + y + ζ = 1 ist, besteht und daß sie 0,2 bis 3 jewichtsprozeni MnO., enthält.with values for χ from 0.030 to 0.250, for y from 0.375 to 0.490 and for ζ from 0.375 to 0.540, where χ + y + ζ = 1, and that it contains 0.2 to 3 per cent of MnO.

4. Elektromechanisches \Vandlerelernent, dadurch gekennzeichnet, du<i es eine Keramik gemäß Anspruch 2 aufweist.4. Electromechanical \ Vandlerelernent, thereby marked, you <i it's a ceramic according to Claim 2 has.

5. Piezoelektrischer Transformator, dadurch5. Piezoelectric transformer, thereby

6. Piezoelektrisches Keramikmaterial, dadurch gekennzeichnet, daß es aus einer festen Lösung mit der folgenden Formel besteht:6. Piezoelectric ceramic material, characterized in that it consists of a solid solution with the following formula:

Pb(Li14Nb3/4)0,I25Ti0 ^5Zr0440O3 Pb (Li 14 Nb 3/4 ) 0 , I25 Ti 0 ^ 5 Zr 0440 O 3

und daß es weiterhin 1,0 Gewichtsprozent Manganoxid (MnO2) enthält.and that it further contains 1.0 weight percent manganese oxide (MnO 2 ).

7. Piezoelektrisches Keramikmaterial, dadurch
gekennzeichnet, daß es aus einer festen Lösung 45 hohen planaren Kopplungskoeffizienten zu erzielen, mit der folgenden Formel besteht: Außerdem verändern sich die dielektrischen und
7. Piezoelectric ceramic material, thereby
characterized in that it consists of a solid solution 45 to achieve high planar coupling coefficients, with the following formula: In addition, the dielectric and change

Pb(Li14Nb3,4)o.0G()Ti0.4eo:Pb (Li 14 Nb 3 , 4 ) or similar 0G () Ti 0 . 4eo :

und daß es weiterhin 0,5 Gewichtsprozent Manganoxid (MnO2) enthält.and that it further contains 0.5 weight percent manganese oxide (MnO 2 ).

piezoelektrischen Eigenschaften der BUititanat-Bieizirkonat-Keramiken weitgehend mit der Brenntech nik, was auf das Verdampfen von PbO zurück/uführen ist.Piezoelectric properties of the Titanate-Bieizirconate ceramics largely with the combustion technology, which can be attributed to the evaporation of PbO is.

Durch verschiedene Zusätze, wie MnOJ, modifizierteModified by various additives such as MnO J

Keramiken des lernären Systems Pb(Mg13Nb^3)O,-Ceramics of the learning system Pb (Mg 13 Nb ^ 3 ) O, -

PbTiO.-PbZrO. sind im J. Am. Ceram. Soc, 49 (11),PbTiO.-PbZrO. are in J. Am. Ceram. Soc, 49 (11),

Die Erfindung betrifft eine piezoelektrische Kera- 577 (1966), beschrieben. Diese mil MnO2 modifiziermik und daraus hergestellte Gegenstände. Insbeson- 55 ten piezoelektrischen Keramiken der Zusammensetiere betrifft die Erfindung neuartige ferroelektrische zung Pb(Mg13Nb23)O3-PbTiO3-PbZrO3 zeigen eine Keramiken, die polykristalline Aggregate von bestimmten Bestandteilen sind. Diese piezoelektrischen
Massen werden gemäß üblichen Keramikarbeitsweisen zu Keramiken gesintert, und danach werden 60
die Keramiken durch Anlegen einer GHc <mspannung zwischen den Elektroden polarisiert, um ihnen
elektromechanische Wandlereigenschaften ähnlich
dem bekannten piezoelektrischen Fffeki zu verleihen.
The invention relates to a piezoelectric Kera 577 (1966), described. These MnO 2 modifiers and articles made from them. In particular, the invention relates to piezoelectric ceramics of the composition. Novel ferroelectric tongues Pb (Mg 13 Nb 23 ) O 3 -PbTiO 3 -PbZrO 3 show ceramics which are polycrystalline aggregates of certain components. These piezoelectric
Masses are sintered into ceramics according to standard ceramic procedures, and then 60
the ceramics are polarized by applying a GHc <m voltage between the electrodes to them
electromechanical converter properties similar
to give to the well-known piezoelectric Fffeki.

Die Erfindung betriff: außerdem das cal.inierte Pro- 65 zeigen zwar eine »tarke Piezoelektrizität, haben jedukt der Rohmaterialien sowie Herstdlungsgegen- doch einen sehr kleiner, mechanischen Gutefaktor,
stände, wie elektromc hanische Wandler, die aus der In der deutschen Auslegeschrift 11 Io 742 sind durch
The invention relates to: in addition, the cal.
stands, such as electromechanical converters, which are derived from the German Auslegeschrift 11 Io 742

gesinterten Keramik hergestellt sind. verschiedene Zusät/e modifizierte PbTiO3-PbZrO.,-sintered ceramics are made. various additives modified PbTiO 3 -PbZrO., -

starke Piezoelektrizität und einen relativ hoher, mechanischen Gütefaktor. Der mechanische Gütefaktor ist jedoch stark temperaturabhängig.strong piezoelectricity and a relatively high, mechanical one Figure of merit. The mechanical quality factor is, however, strongly dependent on temperature.

Die elektrochemischen Eigenschaften von durch verschiedene Zusätze modifizierten Bleititanat-Bleizirkonat-Keramiken sind im J. Am. Ceram. Soc, 42 (7), 344 (1959), beschrieben. Die durch verschiedene Zusätze modifizierten PbTiO3-PbZrO.,-KeramikenThe electrochemical properties of lead titanate-lead zirconate ceramics modified by various additives are described in J. Am. Ceram. Soc, 42 (7), 344 (1959). The PbTiO 3 -PbZrO., - ceramics modified by various additives

pbSnO3-Keramiken besehrieben. Die Keramiken nach der deutschen Auslegeschrift 11 16 742 zeigen ebenfalls eine hohe Piezoelektrizität, besitzen jedoch einen kleinen mechanischen Gütefaktor.pbSnO 3 ceramics described. The ceramics according to German Auslegeschrift 11 16 742 also show a high level of piezoelectricity, but have a small mechanical quality factor.

Im Gegensatz dazu zeigen die erfindungsgemäßen mit MnO2 modifizierten Pb(Li111Nb314)O3-PbTiO3-PbZrO.,-Keramiken eine hohe Piezoelektrizität, einen großen mechanischen Gütefaktor und eine große Tenrreraturstabiütät der Resonanzfrequen und des mechanischen Gütefaktors.In contrast to this, the Pb (Li 111 Nb 314 ) O 3 -PbTiO 3 -PbZrO., - ceramics according to the invention, modified with MnO 2 , show a high piezoelectricity, a large mechanical quality factor and a high temperature stability of the resonance frequencies and the mechanical quality factor.

Ziel der vorliegenden Erfindung sind daher neuartige und verbesserte piezoelekth .ehe Keramikmaterialien, mit denen zumindest eines der ~!>en erörterten Probleme ausgeschaltet werden ku..... Ein besonderes Ziel der Erfindung sinü verheerte pclykristallinc Keramiken, die durch ei&cr· cir hohen mechanischen Qualitätifaktrr !" ν prumdung mit einem hohen piezoelektrischen K.or-r;u-.gskQefuzienteri charakterisiert sind.The aim of the present invention is therefore novel and improved piezoelectric .ehe ceramic materials with which at least one of the ~ ! u-.gskQefuzienteri characterized;> s discussed problems are eliminated ku ..... A particular object of the invention Sinii ravaged pclykristallinc ceramics high by ei cr · cir mechanical Qualitätifaktrr "ν prumdung r with a high piezoelectric K.or-! .

Ein weiteres Ziei der Erfindung sind neuartige piezoelektrische Keramiken, die einen, sehr hohen mechanischen Qualitätsfaktor, einen hohen elektromechanischen Kopplungskoeffizienten sowie eine hohe Stabilität gegenüber der Temperatur hinsiehtlieh der Resonanzfrequenz und des mechanischen QualitätsfaKtors aufweisen.Another object of the invention are novel piezoelectric ceramics, which have a very high mechanical quality factor, a high electromechanical Coupling coefficients as well as high stability with respect to temperature the resonance frequency and the mechanical quality factor.

Ein weiteres Ziel der Erfindung sind neuartige piezoelektrische Keramiken, bei denen bestimmte Eigenschaften verschiedenen Anwendungszwecken angepaßt werden können.Another object of the invention is novel piezoelectric ceramics in which certain Properties can be adapted to different applications.

Ein weiteres Ziel der Erfindung sind verbesserte elektromechanische Wandler, für die ein elektrostatisch polarisierter Körper aus den neuartigen Keramiken als aktives Element verwendet wird.Another object of the invention are improved electromechanical converters for which an electrostatic polarized body from the novel ceramics is used as the active element.

Diese Ziele der Erfindung sowie die praktische Durchführung gehen aus dei folgenden Beschreibung und der Zeichnung hervor.These objects of the invention, as well as how it can be practiced, will be apparent from the following description and the drawing.

In der Abbildung ist eine Querschnittsansicht eines elektromechanischen Wandlers gemäß der Erfindung dargestellt.The figure shows a cross-sectional view of an electromechanical transducer according to the invention shown.

Vor der Beschreibung der piezoelektrischen Materialien gemäß der Erfindung im einzelnen wird ihre Anwendung für elektromechanische Wandler mit Be7ug auf die Abbildung der Zeichnung erläutert, in Jer die Bezugsriffer 7 ^inen elektromechanischen Wandler als Ganzes bezeichnet, der als aktives EIement einen vorzugsweise scheibenförmigen Körper 1 aus einem piezoelektrischen Ktramikmaterial gemäß der Erfindung aufweist.Before describing the piezoelectric materials according to the invention in detail, their Application for electromechanical converters with Be7ug on the figure of the drawing explained in Jer the reference number 7 ^ inen electromechanical The transducer is referred to as a whole, the active element a preferably disk-shaped body 1 made of a piezoelectric Ktramikmaterial according to of the invention.

Der Korper 1 ist wit nachstehend beschrieben elcKtrosiatisch polarisiert und m.t einem Paar von Elektruden 2 und 3 versehen worden, die in geeigneter Weise auf die entgegengesetzten Oberflächen auf- :ebractit sind. Die Drahtleitungen 5 ozw. 6 sind mittels der Lötstellen 4 leitend mit den Elektroden 2 bzw. 3 verbunden. Wenn di<- Keramik einer Erschütterung, Vibration oder anderen mechanischen Belastungen ausgesetzt wir«), ί;3ππ em r/fiipler Au*- gangsstrom nittcls der Draht kt.in jjen 5 und 6 ;il>genommen werden. Umgekehrt i;ilvi wie hei .linieren piezoelektrischen Wandlern ci;i- Anlegen emei elek-Irischen Spannungan die F-.lck'.»nlc:i 2 lv» Λ /u einer mechanischen Verformung ■!.■■. Keramikkörper Es wird darauf hingewiesen, .l,i!> die Hc/iR-hm:: ■»eleklromechan'scherWandler«, v.icstehier\ raimk' wird, im weitesten Sinne auf/in.issen μ urut ich .n:i piczocfcktris ue Filter. pie/->eli-kiriM ■ I rnisinrm.i toren, Frequen/reGelungseinrit'i'iingen 1 tlgl he/u I)' und daß die Erfindung auch für zahlreiche andere Anwendungen benmziund diesen angepaßt werden kann, für die Materialien mit dielektrischen, pietoelektrischen und oder elektrostriktiven Eigenschaften benötigt werden.The body 1 is electrically polarized as described below and has been provided with a pair of electrodes 2 and 3, which are fractured in a suitable manner on the opposite surfaces. The wire lines 5 ozw. 6 are conductively connected to electrodes 2 and 3 by means of soldering points 4. If di <- ceramic to a shock, vibration or other mechanical loads subjected we "), ί; 3ππ em r / fiipler Au * - output current nittcls the wire kt.in jjen 5 and 6; il> are taken. Conversely, i; ilvi as hot-line piezoelectric transducers ci; i- applying an electrical voltage to the F-.lck '. »Nlc: i 2 lv» Λ / u of a mechanical deformation ■!. ■■. Ceramic body It is pointed out that .l, i!> Die Hc / iR-hm :: ■ »eleklromechan'scherWandler«, v.icstehier \ raimk ', in the broadest sense on / in.issen μ urut i .n: i piczocfcktris u e filter. pie / -> eli-kiriM ■ I rnisinrm.i toren, Frequen / Regelungseinrit'i'iingen 1 tlgl he / u I) 'and that the invention can also be used for numerous other applications and these can be adapted, for materials with dielectric, pietoelectric and / or electrostrictive properties are required.

Gemäß der Erfindung ist der Keramikkörper 1 in der Abbildung aus neuartigen piezoelektrischen Massen hergestellt, die polykristallin Keramiken bind, weiche sich aus Pb(Li14Nb, JO3-PbTiO3-PbZrO3,According to the invention, the ceramic body 1 in the figure is made of novel piezoelectric masses, which bind polycrystalline ceramics, soft from Pb (Li 14 Nb, JO 3 -PbTiO 3 -PbZrO 3 ,

lv Pb(Li14Nb34)O3-PbTiO3 oder Pb(Li1^Nb314)O3-PbZrO.,, jewels modifiziert durch einen Zusatz an MnO.,, zusammensetzen. lv Pb (Li 14 Nb 34 ) O 3 -PbTiO 3 or Pb (Li 1 ^ Nb 314 ) O 3 -PbZrO. ,, jewels modified by an addition of MnO. ,,.

Die vorliegende Erfindung beruht darauf, daß innerhalb bestimmter Bereiche dieser Systeme diejenigen Proben, die durch MnO2-Zusatz modifiziert worden sind, einen sehr hohen mechanischen Qualitätsfaktor und einen hohen elektromechanischen Kopptung?koeffizienien zusammen mit einer hohen Stabilität gegenüber der Temperatur hinsichtlich der Resonanzfrequenz und des mechanischen Qualitätsfaktors (QM) aufweisen.The present invention is based on the fact that, within certain ranges of these systems, those samples which have been modified by the addition of MnO 2 have a very high mechanical quality factor and a high electromechanical coupling coefficient together with a high stability with respect to temperature with regard to the resonance frequency and the mechanical quality factor (Q M ) .

Die vorliegende Erfinduni, besitzt zahlreiche Vorteile hinsichtlich des Herstellungsverfahrens und der Anwendung von keramischen Wandlern. Es ist bereits bekannt, daß die Verdampfung von PbO während des Brennens ein Problem beim Sintern % π Bleiverbindungen, wie z. B. Bleititanatzirkonat, darstellt. Die erfindungsgemäße Masse zeigt jedoch eine geringere Menge an verdampftem PbO, als es üblicherweise bei Bleititanatzirkonat der Fail ist. Das ternäre System kann ohne besondere Regelung der PbO-Atmosphäre gebrannt werden. Ein gut gesinterter Körper aus der erfindungsgemäßen Masse wird durch Brennen in einem Keramiktiegel mit Keramikdeckel, hergestellt aus Al2O3-Keramiken, erhalten. Eine hohe Sinterdichte ist für die Feuchtigkeitsbeständigkeit und für eine hohe piezoelektrische Ansprechbarkeit erwünscht, wenn der gesinterte Körper für einen Resonaior oder andere Vorrichtungen verwendet wird.The present invention has numerous advantages in terms of the manufacturing process and application of ceramic transducers. It is already known that the evaporation of PbO during firing is a problem in sintering. B. lead titanate zirconate represents. However, the composition according to the invention shows a smaller amount of evaporated PbO than is usually the case with lead titanate zirconate. The ternary system can be fired without any special regulation of the PbO atmosphere. A well-sintered body made from the composition according to the invention is obtained by firing in a ceramic crucible with a ceramic lid made from Al 2 O 3 ceramics. A high sintered density is desirable for moisture resistance and high piezoelectric responsiveness when the sintered body is used for a resonator or other devices.

Alle möglichen Zusammensetzungen des ternären Systems aus den erfindungsgemäßen Grundkomponent ;n werden durch das Dreistofisystem mit den Eckpunkten Pb(Li1)PbTiO- und PbZrO- wiedergegeben. Einige der durch das Diagramm dargestellten Massen zeigen jedoch keine hohe Piezoelektrizität, und viele sind nur in geringem Maße elektromechanisch aktiv. Die vorliegende Erfindung betrifft nur diejenigen Keramiken, die eine erhöhte piezoelektrische Ansprechbarkeit zeigen. Aus Gründen der Bequemlichkeit wird der pianare Kopplungskoeffizient (Kp.) von Testscheiben als Maß für die piezoelektrische Aktivität verwendet.
Alir durch die Formel
All possible compositions of the ternary system from the basic components according to the invention are represented by the three-component system with the vertices Pb (Li 1 ) PbTiO- and PbZrO-. However, some of the masses represented by the diagram do not show high piezoelectricity, and many are only slightly electromechanically active. The present invention relates only to those ceramics which exhibit enhanced piezoelectric responsiveness. For convenience, the piano coupling coefficient (Kp.) Of test disks is used as a measure of piezoelectric activity.
Alir by the formula

Pb(Li14Nb3 JPb (Li 14 Nb 3 J

mit Werten für χ von 0,010 bis 0,375, für y von O bis 0,750 und für ζ von O bis 0,875, wobei x + y + 7 1 ist. wiedergegebenen und nach dem Polarisiert getesteten Keramiken zeigten einer, planaren Kopplungskoeffizienten von annänernd 0.1 i.uer einen höhere-i planaren Kopplung'koetlizientcn.
Die durch die Formel
with values for χ from 0.010 to 0.375, for y from 0 to 0.750 and for ζ from 0 to 0.875, where x + y + 7 is 1. The ceramics reproduced and tested after polarization showed a planar coupling coefficient of approximately 0.1 and a higher planar coupling coefficient.
The by the formula

fir, Pb(Li1 ,Nb11)JTi1Zr2O3 fi r , Pb (Li 1 , Nb 11 ) JTi 1 Zr 2 O 3

mn Werten f;ir χ von 0,030 bis 0,25< >. fur y von 0,375 bis 0,490 und für ζ von 0,375 bis υ,540, wobeimn values f ; ir χ from 0.030 to 0.25 <>. for y from 0.375 to 0.490 and for ζ from 0.375 to υ.540, where

x+y+z— 1 ist, wiedergegebenen Keramiken zeigten einen planaren Kopplungskoeffizienien von annähernd 0,5 oder einen höheren planaren Kopplungskoeffizienten. x + y + z- 1, ceramics shown exhibited a planar coupling coefficient of approximately 0.5 or greater planar coupling coefficient.

Die erfindungsgemäßen Keramiken enthalten die oben angegebenen Komponenten und einen Zusatz von MnO2-The ceramics according to the invention contain the components specified above and an addition of MnO 2 -

Die hier beschriebene Masse kann gemäß verschiedenen bekannten Keramikarbeitsweisen hergestellt werden. Ein bevorzugtes, nachstehend genauer beschriebenes Verfahren besteht jedoch in der Anwendung von PbO oder Pb1O4 LiCO1 odei LiOH-H4O. Nb2O5, TiO2, ZrO2 und MnO2.The composition described herein can be made in accordance with various known ceramic techniques. A preferred method, described in more detail below, however, consists in the use of PbO or Pb 1 O 4 LiCO 1 or LiOH-H 4 O. Nb 2 O 5 , TiO 2 , ZrO 2 and MnO 2 .

Die Ausgangsmaterialien, d. h. Bleioxid (PbO). Lithiumcarbonat (Li2CO3), Niobpentoxid (Nb2O,). Titandioxid(Ti02),Zirkoniumdioxid(Zr02)undMn02. sämtlich von relativ hoher Reinheit (z. B. chemisch rein), werden in einer gummiverkleidetfin Kugelmühle zusammen mit destilliertem Wasser innig vermischt Beim Mahlen des Gern sches sollte dafür gesorgt wtrden, daß die Verunreinigung durch Abtragen der Mahlkugeln oder -steine vermieden wird, oder die Mengenanteile der Bestandteile müssen variiert werden, um eine solche Verunreinigung zu kompensieren. The starting materials, i.e. lead oxide (PbO). Lithium carbonate (Li 2 CO 3 ), niobium pentoxide (Nb 2 O,). Titanium dioxide (Ti0 2 ), zirconium dioxide (Zr0 2 ) and Mn0 2 . all of relatively high purity (e.g. chemically pure), are intimately mixed with distilled water in a rubber-clad ball mill The proportions of the constituents must be varied in order to compensate for such contamination.

Im Anschluß an das Naß-Vermahlen wird das Gemisch getrocknet und erneut gemischt, um ein möglichst homogenes Gemisch zu gewährleisten. Danach wird die Mischung in geeigneter Weise bei einem Druck von 400 kg/cm2 in die gewünschte Form gebracht. Die Preßlinge werden durch Calcinierung bei einer Temperatur von etwa 850° C 2 Stunden lang vorreagieren gelassen.Following the wet grinding, the mixture is dried and mixed again in order to ensure that the mixture is as homogeneous as possible. The mixture is then brought into the desired shape in a suitable manner at a pressure of 400 kg / cm 2. The compacts are allowed to prereact by calcination at a temperature of about 850 ° C. for 2 hours.

Nach der Calcinierung wird das umgesetzte Material abkühlen gelassen und dann naß bis zu einer geringen Teilchengröße vermählen. Der MnO2-Zusatzstoff kann zu dem umgesetzten Material nach der Calcinierung der Rohmaterialien, die MnO2 nicht enthalten, hinzugefügt werden, und das umgesetzte Material kann zusammen mit dem MnO2 bis zu einer geringen Teilchengröße vermählen werden. Wiederum sollte dafür gesorgt werden, daß die Verunreinigung durch Abnutzung der Mahlkugeln oder -steine vermieden wird, oder die Mengenanteile der Bestandteile müssen variiert werden, um eine solche Verunreinigung zu kompensieren. Abhängig von der jeweiligen Bevorzugung und der gewünschten Gestalt kann das Material zu einem Gemisch oder einem Schlamm verarbeitet werden, die — je nach dem vorliegenden Falle — geeignet zum Pressen. Schlammverguß oder Strangpressen sind, und zwar gemäßAfter calcination, the reacted material is allowed to cool and then wet milled to a small particle size. The MnO 2 additive can be added to the reacted material after the calcination of the raw materials not containing MnO 2 , and the reacted material can be ground together with the MnO 2 to a small particle size. Again, care should be taken to avoid contamination from wear of the grinding balls or stones, or the proportions of the ingredients must be varied to compensate for such contamination. Depending on the particular preference and the desired shape, the material can be processed into a mixture or a slurry, which - depending on the case at hand - is suitable for pressing. Sludge potting or extrusion are according to

Tabelle ITable I.

üblichen Keramikarbeitsweisen. Die Proben, deren Werte unten angegeben sind; wurden durch Vermischen von 100 g der vermahlenen vorgesinierten Gemische mit 5 ml destilliertem Wasser hergestellt.common ceramic work methods. The samples, the values of which are given below; were by mixing prepared from 100 g of the ground presinized mixtures with 5 ml of distilled water.

S Das Gemisch wurde dann zu Scheiben mit einem Durchmesser von 8 mm und einer Dicke von 1 mm bei einem Druck von 70GiCgZCm2 verpreßt. Die verpreßten Scheiben wurden bei 1200 bis 1280° C während einer Erhitzungszeit von 45 Minuten gebrannt.S The mixture was then pressed into disks with a diameter of 8 mm and a thickness of 1 mm at a pressure of 70GiCgZCm 2 . The pressed panes were fired at 1200 to 1280 ° C. for a heating time of 45 minutes.

ίο Gemäß der vorliegender: Erfindung besteht keine Notwendigkeit, die'Masse in einer PbO-Atmosphäre zu brennen, und c«T ist im Gegensatz zum' Stand der Technik keine besondere Sorgfalt hinsichtlich des Temperaturgradienten in dem Ofen ciiorderlich. So können erfindungsgemäß auf leichte Weise gleichmäßige und ausgezeichnete piezoelektrische Keramikprodukte erhalten werden, indem man die Proben während des Brennens einfach mit einem Aluminiumoxidticgel abdecktίο According to the present: Invention does not exist Need to put the'mass in a PbO atmosphere to burn, and c «T is contrary to the 'state of Technique does not require special care with regard to the temperature gradient in the furnace. So According to the present invention, uniform and excellent piezoelectric ceramic products can easily be obtained can be obtained by simply touching the samples with an alumina ticgel while firing covers

so Die gesinterten Keramiken wurden auf beiden Oberflächen bis zu einer Dicke von 0.5 mrn poliert. Die polierten Oberflächen der Scheiben können dann mit Silberfarbe überzogen und zur Ausbildung von Silberelektroden gebrannt werden. Schließlich wurden die Scheiben polarisiert, während sie in ein Siliconöt-Bad von JOO C eingetaucht waren. Ein Spannungsgradient von 4 kV/mm Gleichstrom wurde eine Stunde lang aufrechterhalten, und die Scheiben wurden ii.. Feld während 10 Minutwn auf Raumtemperaturso The sintered ceramics were polished on both surfaces to a thickness of 0.5 mm. The polished surfaces of the disks can then be coated with silver paint and fired to form silver electrodes. Finally, the disks were polarized while immersed in a JOO C silicon solder bath. A voltage gradient of 4 kV / mm DC was maintained for one hour and the disks were placed in the field for 10 minutes at room temperature

abkühlen gelassen. Die piezoelektrischen und dielektrischen Eigenschaften der polarisierten Proben wurden bei 20° C und einer relativen Feuchtigkeit von 50 °<ο sowie bei einer Frequenz von 1 kHz gemessen. Beispiele für spezielle Keramikmassen gemäß der Erfindung und verschiedene dazugehörige elektromechanische und dielektrische Eigenschaften sind in Tabelle I angegeben. Aus Tabelle I geht hervor, daß sämtliche als Beispiele aufgeführte Massen, die mit MnO2-Zusatz modifiziert worden waien, durch einen sehr hohen mechanischen Qualitätsfaktor und einen hohen planaren Kopplungskoeffizienten charakterisiert sind, wobei diese Eigenschaften für die V ;rwendung von piezoelektrischen Massen in keramischen Filtern, piezoelektrischen Transformatoren und Ultraschall-Wandlern wichtig sind. Es ist ersichtlich, daß die mit einem Zusatz von MnO2 modifizierten Massen eine erhebliche Verbesserung des mechanischen Oualitälsfaktors (QM) im Vergleich zu demjenigen der Grundmassen zeigen, d. h., die Grundmassen ohne Zusatz von MnO. zeig, η einen Wert Qm von etwa 200 oder weniger.let cool down. The piezoelectric and dielectric properties of the polarized samples were measured at 20 ° C and a relative humidity of 50 ° <ο and at a frequency of 1 kHz. Examples of specific ceramic compositions according to the invention and various associated electromechanical and dielectric properties are given in Table I. It can be seen from Table I that all of the examples given which have been modified with the addition of MnO 2 are characterized by a very high mechanical quality factor and a high planar coupling coefficient, these properties for the use of piezoelectric masses in ceramic Filters, piezoelectric transformers, and ultrasonic transducers are important. It can be seen that the compositions modified with the addition of MnO 2 show a considerable improvement in the mechanical quality factor (Q M ) compared to that of the base compositions, ie the base compositions without the addition of MnO. show η a value Qm of about 200 or less.

Beiat Molprozent der GrundmasseMole percent of the base mass 46,046.0 PbZrO^PbZrO ^ MnO2-MnO 2 - 24 Stunden nach der Polung24 hours after polarity 752752 planarermore planar mechanischermore mechanical spielgame 46,046.0 51,051.0 ZusaizZusaiz DielektriziDielectrics 12371237 Kopplungs-Coupling QualitätsQuality 50,050.0 48,048.0 tätskonstanteconstant 786786 koeffizientcoefficient faktorfactor 43,543.5 37,537.5 GewichtsWeight 14401440 KpKp G*G* 43,543.5 44,044.0 prozentpercent εε 995995 0,530.53 564564 11 43.543.5 44,044.0 0,50.5 576576 0,600.60 22302230 22 37,537.5 t4,0t4.0 0,50.5 743743 0,370.37 25402540 33 Pb(Lil/4Nb3,4O3 PbTiO3 Pb (Li l / 4 Nb 3, 4 O 3 PbTiO 3 37,537.5 50,050.0 0,50.5 15231523 0,450.45 14251425 44th 3,03.0 37,537.5 0.20.2 0,550.55 16261626 55 6,06.0 1010 0,500.50 .1402.1402 66th 12,512.5 3,03.0 0.520.52 13481348 77th 12,512.5 0,50.5 0,520.52 873873 SS. 12.512.5 0,50.5 12,512.5 12,512.5 25,025.0

Gemäß der vorliegenden Erfindung können piezoelektrische und dielektrische Eigenschaften der Keramiken verschiedenen Anwendungszwecken durch Auswaj ' der geeigneten Grundzusammensetzung und der Menge an MnO„-Zusatzstoff angepaßt werden.According to the present invention, piezoelectric and dielectric properties of the ceramics for various purposes Selection of the suitable basic composition and the amount of MnO "additive can be adjusted.

Aus Tabelle II geht hervor, daß die erfindungsgemäßen piezoelektrischen Keramiken eine hohe Resonanzfrequenz-Stabilität gegenüber der Temperatur aufweisen und daß diese Keramiken eine hohe StabiliiKt hinsichtlich des mechanischen Qualitätsfaktors (Qm) gegenüber der Temperatur innerhalb des Bereiches von 20 bis 80° C.Table II shows that the piezoelectric ceramics according to the invention have a high resonance frequency stability with respect to the temperature and that these ceramics have a high stability with regard to the mechanical quality factor (Qm) with respect to the temperature within the range from 20 to 80 ° C.

Tabelle IITable II Betspiel Gj1-T-C /,-TCBetspiel Gj 1 -TC /, - TC

toto

»5»5

11 13,313.3 0,1070.107 22 20,120.1 0,2160.216 33 5,75.7 0,0390.039 44th i0,3i0.3 0,0950.095 55 15,215.2 0,1220.122 66th 12,912.9 0,1540.154 77th 18,818.8 0,2050.205 88th 22,522.5 0,2610.261

»5»5

Qu — T · C ist die Veränderung des mechanischen Qualitätsfaktors (Qw) innerhalb des Bereiches von 20 bis 80° C. ir T · C ist die Veränderung der Resonanzfrequenz (/,) innerhalb des Bereiches von 20 bis 8O0C. Qu - T · C is the change in the mechanical quality factor (Q w ) within the range from 20 to 80 ° C. I r - T · C is the change in the resonance frequency (/,) within the range from 20 to 8O 0 C.

Diese Eigenschaften sind für die Verwendung von piezoelektrischen Massen in piezoelektrischen Transformatoren, Filteranwendungen usw. von Bedeutung. Die Bezeichnung »piezoelektrischer Transformator« wird hier für passive Übertragungsvorrichtungen für elektrische Energie oder für Wandler benutzt, bei denen die piezoelektrischen Eigenschaften eines Materials zur Erzielung einer Transformation von Spannung, Strom oder Impedanz verwendet werden. Bei diesen Anwendungsbereichen für die Keramiken ist es erwünscht, daß diese piezoelektrischen Keramiken eine hohe Stabilität der Resonanzfrequenz und des mechanischen Qualitätsfaktors gegenüber der Temperatur in Verbindung mit einem sehr hohen mechanischen Qualitätsfaktor und einem hohen elektromechanischen Kopplunt. oefitzienten aufweisen, damit die piezoelektrischen Transformatoren, wenn sie für einen Fernsehapparat od. dgl. verwendet werden, e^ine hohe Stabilität des Ausgangsstroms Und der Ausgangsspannung gegenüber der Temperatur zeigen.These properties are important for the use of piezoelectric masses in piezoelectric transformers, filter applications, etc. The term "piezoelectric transformer" is used here for passive transmission devices for electrical energy or for converters in which the piezoelectric properties of a material are used to achieve a transformation of voltage, current or impedance. In these fields of application for ceramics, it is desirable that these piezoelectric ceramics t a high stability of resonance frequency and the mechanical quality factor compared to the temperature in connection with a very high mechanical quality factor and a high electromechanical Kopplun. Have oefitzients so that the piezoelectric transformers, if they are used for a television set or the like. Show a high stability of the output current and the output voltage with respect to temperature.

Gemäß der vorliegenden Erfindung besitzen die piezoelektrischen Keramiken einen hohen elektromechanischen " Kopplungskoeffizientcn. Die erfindungsgemäßen Keramiken sind daher auch zur Anwendung für elektromcchanische Wandlerelemente, wie z. B. Grammophon-Tonabnehmer, Mikrophone und Spannungserzeuger in Zündsystemen, geeignet.According to the present invention, the piezoelectric ceramics have high electromechanical properties Coupling coefficients. The ceramics according to the invention can therefore also be used for electromechanical transducer elements such. B. gramophone pickups, microphones and voltage generators in ignition systems.

Bei Keramikmassen, die einen Zusatz an MnO2 von mehr als 5 Gewichtsprozent enthalten, ist der mechanische Qualitätsfaktor relativ gering, und ihr planarer Kopplungskoeffizient ist niedrig. Keramikmassen, die einen Zusatz von MnO8 von weniger als 0,1 Gewichtsprozent enthalten, zeigen einen niedrigen mechanischen Qualitätsfaktor. Aus diesen Gründen tnllen sie nicht in den Geltungsbereich der Erfindung.In the case of ceramic masses which contain more than 5 percent by weight of MnO 2 added , the mechanical quality factor is relatively low and their planar coupling coefficient is low. Ceramic masses which contain an addition of MnO 8 of less than 0.1 percent by weight show a low mechanical quality factor. For these reasons, they do not fall within the scope of the invention.

Außer den oben angegebenen überlegenen Eigenschaften ergeben die erfindungsgemäßen Massen Keramiken mit ausgezeichneter physikalischer Qualität, die sich gut polarisieren lassen. Aus den vorstehenden Ausführungen geht hervor, daß die feste LösungIn addition to the superior properties indicated above, the compositions of the invention result Ceramics with excellent physical quality that can be polarized well. From the above It appears that the solid solution

PKLi1Z1Nb3Z4)Oj-PbTiO3-PbZrO3 PKLi 1 Z 1 Nb 3 Z 4 ) Oj-PbTiO 3 -PbZrO 3

modifiziert mit einem Zusatz an MnO2, einen ausgezeichneten piezoelektrischen Keramikkörper bildet.modified with an addition of MnO 2 , forms an excellent piezoelectric ceramic body.

Während die zur Zeit bevorzugten Ausführungsiormen der Erfindung beschrieben worden sind, ist es ersichtlich, daß Zahlreiche Veränderungen und Modifizierungen möglich sind, ohne vom Geltungsbereich der Erfindung abzuweichen; daher sollen alte solche Veränderungen und Modifizierungen gemäß der Patentansprüche in den Geltungsbereich der Erfindung fallen.While the presently preferred embodiments of the invention have been described, it is It can be seen that numerous changes and modifications are possible without departing from the scope deviate from the invention; therefore, old such changes and modifications should be made in accordance with the Claims fall within the scope of the invention.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims (1)

19 2? 265 Patentansprüche:19 2? 265 claims: 1. Piezoelektrische Keramik, dadurch gekennzeichnet, daß sie aus einer
Lösung der Formel
1. Piezoelectric ceramic, characterized in that it consists of a
Solution of the formula
Die erfindungsgemäßen Keramikkörper bestehen hauptsächlich aus einer festen Lösung, die die Systeme Pb(Lv4Nb374)O3-PbTiO3-PbZrO3, Pb(Li1/4Nb3/4)Oa-PbTiO3 oder Pb(Li14Nb3Z4)O3-PbZrO3, und zwarThe ceramic bodies according to the invention mainly consist of a solid solution, which the systems Pb (Lv 4 Nb 374 ) O 3 -PbTiO 3 -PbZrO 3 , Pb (Li 1/4 Nb 3/4 ) O a -PbTiO 3 or Pb (Li 14 Nb 3 Z 4 ) O 3 -PbZrO 3 , namely
DE19691922265 1969-04-29 1969-04-29 Piezoelectric ceramics Expired DE1922265C3 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19691922265 DE1922265C3 (en) 1969-04-29 1969-04-29 Piezoelectric ceramics

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19691922265 DE1922265C3 (en) 1969-04-29 1969-04-29 Piezoelectric ceramics

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE1922265A1 DE1922265A1 (en) 1970-11-19
DE1922265B2 DE1922265B2 (en) 1971-11-11
DE1922265C3 true DE1922265C3 (en) 1975-08-21

Family

ID=5732971

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19691922265 Expired DE1922265C3 (en) 1969-04-29 1969-04-29 Piezoelectric ceramics

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE1922265C3 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
DE1922265B2 (en) 1971-11-11
DE1922265A1 (en) 1970-11-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19906835C2 (en) Piezoelectric ceramic composition
DE69923635T2 (en) Piezoelectric ceramics
DE1646698B1 (en) PIEZOELECTRIC CERAMICS
DE1796233C2 (en) Piezoelectric ceramics
DE1940974C3 (en) Piezoelectric ceramics
DE1950317C3 (en) Piezoelectric ceramics
DE2507395A1 (en) METHOD OF MANUFACTURING FERROELECTRIC CERAMIC MATERIALS
DE1922265C3 (en) Piezoelectric ceramics
DE2200787C3 (en) Piezoelectric ceramics
DE1646699B1 (en) PIEZOELECTRIC CERAMICS
DE1802234C3 (en) Piezoelectric ceramics
DE1771697C2 (en) Piezoelectric ceramics
DE2206045C3 (en) Piezoelectric ceramics
DE2219558C3 (en) Piezoelectric ceramic materials and processes for their manufacture
DE1646691C2 (en) Piezoelectric ceramics
DE2121138B2 (en) PIEZOELECTRIC CERAMICS
DE1646675C2 (en) Piezoelectric ceramics
DE1646740A1 (en) Piezoelectric ceramic masses
DE1646690C2 (en) Improved Piezoelectric Ceramics and Methods for Making Them
DE1796146B1 (en) Use of a piezoelectric ceramic material for piezoelectric resonance filters
DE1796040B1 (en) PIEZOELECTRIC CERAMICS
DE2164403C3 (en) Ferroelectric ceramic compositions
DE2121689C3 (en) Piezoelectric ceramics
DE1646692C2 (en) Piezoelectric ceramics
DE2255143C3 (en) Ferroelectric ceramics and ceramic base materials therefor

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977