DE1908633C

DE1908633C - Pressure measuring device

Info

Publication number: DE1908633C
Authority: DE
Inventors: Auf Nichtnennung Antrag
Original assignee: Fa. Crouzet, Paris
Publication date: 1972-05-18

Description

Die Erfindung betrifft eine Druckmeßvorrichtung Hilfsmeßgerät zur Kompensierung des Einflusses der mit einem Druckmeßgerät, das eine Membran ent- Temperatur angeordnet ist, dessen Spule einen zweihält, die an ihrem Rand an einer Halterung einge- ten Zweig der Brücke bildet, und daß die beiden spannt ist, mit der sie zwei voneinander getrennte Meßgeräte und die Meßbrücke zu einer austausch-Kammern bildet, von denen eine unter einem Bezugs- 5 baren Drucksonde baulich vereinigt sind,
druck steht, während die andere dazu dient, das Gas Vorteilhaft ist es dabei, nach einer weiteren Ausaufzunehmen, dessen Druck gemessen werden soll, führungsform des Gegenstandes der Frfindung, daß wobei zur Messung der Membrandurchbiegung in mindestens ein Teil eines Zweiges der Meßbrücke aus der Kammer, die für das fragliche Gas unzugänglich Kupfer besteht.The invention relates to a pressure measuring device auxiliary measuring device to compensate for the influence of a pressure measuring device which has a membrane ent- Temperature is arranged, the coil of which holds a two, which forms a branch of the bridge at its edge on a bracket, and that the two are tensioned with which it forms two separate measuring devices and the measuring bridge to form an exchange chamber, one of which is structurally combined under a reference pressure probe,
pressure is, while the other is used to take the gas, it is advantageous after a further Ausauf, whose pressure is to be measured, guide form of the subject of the invention that for measuring the diaphragm deflection in at least a part of a branch of the measuring bridge from the chamber , which is made of copper inaccessible to the gas in question.

ist, ein elektromagnetisches Anzeigegerät vorgesehen io Um die Vorrichtung möglichst vielseitig einsetzenan electromagnetic display device is provided. In order to use the device as versatile as possible

ist, dessen Spule Zweig einer Meßbrücke ist. zu können, ist es weiterhin vorteilhaft, daß, umwhose coil is a branch of a measuring bridge. to be able to, it is furthermore advantageous that, in order to

Es gibt zahlreiche Ausführungsformen von Druck- beim Einbau bzw. gegenseitigen AustauschenThere are numerous forms of pressure-mounting or interchangeability

meßvorrichtungen. So ist es z. B. bekannt (deutsches der Meßgeräte die Brückenaüsgangsspannung ohnemeasuring devices. So it is B. known (German of the measuring devices the bridge output voltage without

Gebrauchsmuster 1 799 573), bei einem Membran- Nacheichung auf einen gleichmäßigen Wert einzu-Utility model 1 799 573), with a membrane re-calibration to a uniform value.

Vakuummanometer die Membran, deren Durchbie- 15 stellen, die beiden den Speisungsscheitelpunkten ge-Vacuum manometer the membrane, the sagging of which is 15, the two of which are at the apex

gung ein Maß für den zu messenden Druck darstellt, genüberliegenden Meßknoten der Brücke an einention represents a measure for the pressure to be measured, opposite measuring node of the bridge to one

mit einem Hall-Generator starr zu verbinden, welcher Spannungsteiler angeschlossen sind, der aus einemto be rigidly connected to a Hall generator, which voltage dividers are connected, which consists of a

im Feld euus feststehenden Magneten beweglich an- festen Widerstand und einem damit in Reihe liegen-in the field euus fixed magnet moveable at - fixed resistance and with it in series -

geordnet ist. den einstellbaren Widerstand besteht, der wiederumis ordered. the adjustable resistance, which in turn

Weiterhin sind z. B. Meßfühler bekannt, bei denen ao aus einem festen Widerstand und einem damit inFurthermore, z. B. sensors known in which ao from a fixed resistance and thus in

eine Membran aus magnetischem Material in einem ' Reihe liegenden weiteren Widerstand besteht, dema membrane made of magnetic material in a 'series is further resistance, the

umschlossenen Raum untergebracht ist, den sie in ein einstellbarer Widerstand mit negativem Tempe-enclosed space is housed, which they in an adjustable resistor with negative temperature

zwei getrennte Kammern unterteilt, wobei in einer raturkoeffizienten parallel geschaltet ist.divided into two separate chambers, one being connected in parallel to a temperature coefficient.

der beiden Kammern ein Lezugsdruck und in der In einer weiteren vorzugsweiien Ausführungsformof the two chambers a draft pressure and in a further preferred embodiment

anderen Kammer der zu messende Druck herrscht 35 kann die neue Druckmeßvorrichtung noch dadurchthe pressure to be measured prevails in the other chamber, the new pressure measuring device can still thereby be used

und wobei die Membranverschiebung bzw. Durch- gekennzeichnet sein, daß das Hilfsmeßgerät über denand wherein the membrane displacement or by- be characterized that the auxiliary measuring device over the

biegung mit Geräten gemessen werden, die das elektromagnetische Anzeigegerät enthaltenendeflection can be measured with devices that contain the electromagnetic indicator

aus zwei m~'>netischen Kreisen mit je einer Spule Hohlraum in Verbindung steht mit einer Leitung, dieof two magnetic circles, each with a coil, cavity is in connection with a line that

bestehen. Dabei ist auf der einen und auf der anderen zeitweilig an eine Druckquelle angeschlossen werdenexist. It is connected to a pressure source on the one hand and on the other temporarily

Seite der Membran e,n sehi kleiner Luftspalt vorge- 30 kann, um die Nachprüfung der FunktionsfähigkeitSide of the membrane e, n can be provided with a small air gap in order to check the functionality

sehen, dessen Veränderungen die Selbstinduktion des Meßgerätes zu gestatten.see whose changes allow the self-induction of the measuring device.

lind die magnetische Streuung verändern. Die beiden Schließlich ist es auch noch vorteilhaft, daß die Spulen werden im allgemeinen in einer elektrischen Membran des oder jedes Druckmeßgerätes sich an Brückenschaltung verwendet. Das Gas, dessen Druck ihrer Peripherie auf eine ebene Fläche einer ringman messen will, wird in den Meßraum geleitet, um- 35 förmigen Halterung stützt, die diejenige der beiden spült einen der magnetischen Kreise und füllt also Hohlräume oder Kämmen: in der der schwächste den Luftspalt aus. Ein besonderer Nachteil dieser Druck herrschen soll, begrenzt, wobei der Rand der Meßgeräte besteht allerdings darin, daß man mit Membran und der abgeschrägte gegenüberliegende ihnen Gase mit festen Verunreinigungen, insleson- Rand der ringförmigen Halterung in abdichtender dere magnetischen Verunreinigungen, sowie den 40 Weise miteinander verschweißt sind, wobei die Druck von Gasen bei erhöhter temperatur nicht Schweißnaht in radialer Richtung weit genug von dem fehlerfrei messen kann. Eine solche Druckmeßvor- nützlichen Mittelteil beziehungsweise Meßteil der richtung eignet sich also z. B. nicht für das Messen Membran entfernt ist, um diesen Teil von inneren von Drücken von Gasen, die aus der Verbrennung Belastungen und Spannungen frei zu halten,
einer Treibladung stammen und die aus diesem 45 Die Erfindung wird nachstehend an Hand der Grunde feste Verunreinigungen sowie eine erhöhte Zeichnung näher erläutert. Es zeigt
Temperatur aufweisen. Fig. 1 eine Ansicht der Druckmeßvorrichtur.g imlind change the magnetic scattering. Finally, it is also advantageous that the coils are generally used in an electrical membrane of the or each pressure measuring device attached to a bridge circuit. The gas, the pressure of which a ringman wants to measure on a flat surface, is led into the measuring chamber, supported by an um-shaped holder that flushes one of the magnetic circuits and thus fills cavities or combs: in which the weakest is the one Air gap off. A particular disadvantage of this pressure is to prevail, limited, the edge of the measuring devices, however, consists in the fact that one with the membrane and the beveled opposite them gases with solid impurities, insleson- edge of the annular holder in sealing their magnetic impurities, as well as the 40 ways with each other are welded, whereby the pressure of gases at increased temperature cannot measure the weld seam in the radial direction far enough from the error-free. Such a Druckmeßvor- useful middle part or measuring part of the direction is therefore suitable, for. B. is not removed for the measuring membrane, in order to keep this part free from internal pressures of gases resulting from the combustion loads and tensions,
A propellant charge originate and from this 45 The invention is explained in more detail below on the basis of the basic solid impurities and an elevated drawing. It shows
Have temperature. Fig. 1 is a view of the Druckmeßvorrichtur.g im

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Längsschnitt,The object of the present invention is to provide a longitudinal section,

Druckmeßvorrichtung zu schaffen, die zuverlässig Fig. 2 eine Tcilansicht eines aber in einer anderenTo provide pressure measuring device which reliably shows FIG. 2 a partial view of one but in another

arbeitet, unempfindlich gegen Schwankungen der 50 Ebene liegenden Längsschnitts der gleichen Meßvor-works, insensitive to fluctuations in the 50 plane longitudinal section of the same measuring device.

Umgebungstemperatur und fähig ist, den Druck von richtung,Ambient temperature and is able to control the pressure of the direction,

Gas bei erhöhter Temperatur und bei Belastung mit Fig. 3 ein Schema der Meßbrücke,Gas at elevated temperature and under load with Fig. 3 is a diagram of the measuring bridge,

iesten sogar magnetischen Verunreinigungen zu Gemäß Fig. 1 trennt eine kreisförmige Membran 1In accordance with FIG. 1, a circular membrane 1 separates them

tncsscn bzw. zu überwachen, die eine voll- eine Meßkammer 2 von einer Kammer 3, die untertncsscn or to monitor which a full a measuring chamber 2 from a chamber 3, which is below

kommuic Betriebssicherheit gewährleistet und die 55 einem Bezugsdruck steht. Die Membran 1 ist mitKommuic operational safety is guaranteed and the 55 is a reference pressure. The membrane 1 is with

Cs gestattet, das Vorhandensein eines Druckes zu einer ihrer Oberflächen gegen eine kreisringförmigeCs allows the presence of a pressure to one of its surfaces against an annular one

simulieren, um nicht allein das Funktionieren der ebene Fläche 4a, die Teil einer Zwischenstütze 4 ist,simulate not only the functioning of the flat surface 4a, which is part of an intermediate support 4,

Druckmeßvorrichtung, sondern auch der Einrichtung, abgestützt. Innerhalb der Stütze 4 ist ein Elektiro-Pressure measuring device, but also the device supported. Inside the support 4 is an electrical

die sie steuern soll, nachzuprüfen. Weiterhin soll die magnet S untergebracht, der aus einem zentralenwhich it is supposed to control. Furthermore, the magnet S is to be accommodated, which consists of a central

Vorrichtung ohne Gefahr Spitzendriicke aushalten 60 Kern Sa und einem Spulenkopf oder einer Seiten-Device without risk withstand tip pressures 60 core Sa and a coil head or a side

könnuii, die ein Vielfaches des Druckes bei normalem wand Sb besteht; der magnetische Kreis zwischen Sa kannnuii, which consists of a multiple of the pressure at normal wall Sb; the magnetic circuit between Sa

Bctriubsublauf betragen, wobei sie doch so empfind- und Sb ist mit einem sehr kleinen Luftspalt6 überBctriubsublauf amount, whereby it is so sensitive and Sb is with a very small air gap6 over

lieh sein soll, daß sie Signal gibt, sobald der Druck die Membran 1 geschlossen,should be borrowed that it gives a signal as soon as the pressure closes the diaphragm 1,

einen Wert erreicht, der nur einen winzigen Bruchteil Eine öffnung Sc verbindet den Raum oberhalbreaches a value which is only a tiny fraction. An opening Sc connects the space above

des Normaldruckes ausmacht. 65 der Innenfläche der Membran 1 mit der Bezugs-of normal pressure. 65 of the inner surface of the membrane 1 with the reference

Diese Aufgabe wird bei Vorrichtungen der ein- kammer 3. Eine Spule 7 umgibt den Kern Se. Bin*,This task is performed in devices of the single chamber 3. A coil 7 surrounds the core Se. Am*,

gangs genannten Art crflndungsgemäß dadurch ge- gang und Ausgang der Wicklung 7 sind an Klein-In accordance with the aforementioned type, the gear and output of the winding 7 are connected to small

löst, daß ein zweites identisches Dmckmußgera't als men 8 angeschlossen, die von einer Isolierplatte 9 ge-solves that a second identical pressure must be connected as men 8, which is from an insulating plate 9

3 4 3 4

tragen werden. Der Elektromagnet S, der in der das als Stöpsel dienen kann, um das Vakuum bzw.will wear. The electromagnet S, which can serve as a plug to release the vacuum or

Bohrung der Stütze 4 untergebracht bzw. justiert ist, einen Unterdruck in der Kammer 3 (Fall nachBore of the support 4 is housed or adjusted, a negative pressure in the chamber 3 (case after

ist mittels einer umlaufenden Schweißnaht (hergestellt Fig, 1) aufrechtzuerhalten. Die Ausführungsadernis to be maintained by means of a circumferential weld seam (produced in Fig. 1). The execution veins

unter Argon nach einem bekannten Verfahren), der Spulen 7 und 7', die an die Klemmen 8, 14 und 8'under argon according to a known method), the coils 7 and 7 'connected to the terminals 8, 14 and 8'

welche entlang der Peripherie der abgeschrägten 5 angeschlossen sind, verlassen die Kammer 3' durchwhich are connected along the periphery of the beveled 5, exit the chamber 3 'through

Ränder der flansohartigen Vorsprünge 5 d, 4 b des radiale öffnungen, etwa die öffnung 11 d, die mitEdges of the flange-like projections 5 d, 4 b of the radial openings, such as the opening 11 d, which with

Elektromagneten und der Stütze verläuft, an der Isolierschutzrohren 16 ausgerüstet sind und in einenElectromagnet and the support runs, are equipped on the insulating protection tubes 16 and in one

Stütze befestigt. äußeren Raum He münden, der radial durch einenSupport attached. Outer space He open, which radially through a

Die Membran 1 ist an der Stütze 4 mittels einer Aufsteckring 17 begrenzt wird. Der ZwischenraumThe membrane 1 is delimited on the support 4 by means of a slip-on ring 17. The gap

Schweißnaht befestigt, welche längs des Randes des io He ist mit einem kaltpolymerisierbarem Harz ausge-Welded seam, which along the edge of the io He is lined with a cold-curing resin.

abgeschrägten flanschartigen Vorsprungs 4 b verläuft, füllt, das. die Abdichtung gewährleistet. Eine anderebeveled flange-like projection 4 b runs, fills that. Ensures the seal. Another

wobei diese Schweißnaht in radialem Sinne genügend radiale öffnung 11/(Fi g. 2), die in einen Raum Hgthis weld seam in the radial sense has enough radial opening 11 / (Fig. 2), which in a space Hg

weit von dem nützlichen Mittelteil bzw. Meßabschnitt mündet, gestattet die Anbringung eines Rohres 18,opens far from the useful middle part or measuring section, allows the attachment of a tube 18,

der Membran entfernt ist, damit dieser Teil bzw. das mit einer Zwinge 18 a ausgerüstet ist, um diethe membrane is removed so that this part or that is equipped with a ferrule 18 a to the

Abschnitt von inneren Belastungen und Spannungen 15 Kammer 3' an eine Druckquelle anzuschließen. DerSection of internal loads and tensions 15 to connect chamber 3 'to a pressure source. the

freigehalten wird. Eine Gegenplatte 10 mit abge- durch den Ring 17 abgegrenzte Zwischenraum Ugis kept free. A counter plate 10 with an intermediate space Ug delimited by the ring 17

schrägtem Rand, deren Rolle nachfolgend noch be- ist ausgefüllt mit einem kaltpolymerisierbaren Harz,angled edge, the role of which is subsequently filled with a cold-curing resin,

schrieben wird, liegt gegen die Außenseite der Mem- das eine Abdichtung gewährleistet. Diese Art der Be-is written, lies against the outside of the mem- ber, which ensures a seal. This kind of

bran 1 an und wird gleichzeitig angeschweißt. festigung des Rohres 18 /·. t nötig, denn diese Befesti-bran 1 and is welded on at the same time. reinforcement of the pipe 18 / ·. t necessary, because this fastening

Die Stütze 4 ist ihrerseits in ein-m Körper 11 ge- 20 gung kann nur nach dem Verschweißen der flanschlagert, mit dem sie in abdichtender Weise mittels artigen Vorsprünge4e, 11a stattfinden; zu diesem einer Schweißnaht zusammengebaut ist, die entlang Zeitpunkt erlaubt aber das Vorhandensein der Spuden abgeschrägten Rändern der flanschartigen Vor- len 7 und 7' nicht, das Rohr 18 r..ittels der üblichen sprünge 4e, Ha läuft. Der Körper 11 begrenzt die klassischen Schweißverfahren (oderHartlötverfahren) Bezugskammer 3 während eine mit einer Anschluß- 15 am Körper 11 zu befestigen.The support 4 is for its part in a body 11 can only be provided after the welding of the flange, with which they take place in a sealing manner by means of like projections 4e, 11a; to this a weld is assembled, which allows along time but the presence of the spuds beveled edges of the flange-like grooves 7 and 7 'not, the tube 18 r .. by means of the usual jumps 4e, Ha runs. The body 11 limits the classic welding processes (or brazing processes) Reference chamber 3 while one is to be attached to the body 11 with a connector 15.

zwinge I2n ausgerüstete Schraubkappe 12, die unter Pfeiler 19 tragen eine mit einer gedruckten Schal- ferrule I2n equipped screw cap 12, which carry under pillar 19 a with a printed scarf

Zwischenlegung einer Dichtung 13 auf den Körper 11 tung versehene Isolierscheibe 20, auf der andereInterposition of a seal 13 on the body 11 device provided insulating washer 20 on the other

geschraubt ist, die Meßkammer 2 abschließt. Brückenelemente als die Spulen 7 und T angebrachtis screwed, the measuring chamber 2 closes. Bridge elements as the coils 7 and T are attached

Infolge dieser auseinandernehmbaren Form der sind, und weitere Pfeiler 21 verlängern die Pfeiler 19, Apparatur kann die Meßkammer geöffnet und ge- 30 um eine Platte 22 abzustützen, auf der eine elekreinigt werden, wenn das eingeführte Gas sehr mit trische Anschluß-Dose 25 und die Zwinge 18a auffesten Verunreinigungen beladen ist. montiert sind. Eine dünnwandige Haube 23 schließtAs a result of this dismantlable shape of the, and further pillars 21 extend the pillars 19, Apparatus, the measuring chamber can be opened and used to support a plate 22 on which an electric cleaner is carried out if the gas introduced is very solid with tric connection box 25 and the ferrule 18a Is loaded with impurities. are mounted. A thin-walled hood 23 closes

Bei einer nicht auseinandernehmbaren Form isi die das Ganze ein.In the case of a form that cannot be dismantled, the whole becomes one.

Dichtung 13 weggelassen und die Abdichtung wird Die Kammer 2' wird von einem Deckel 24 be-Seal 13 is omitted and the seal is The chamber 2 'is loaded by a cover 24

dadurch erhalten, daß man die abgeschrägten, flansch- 35 grenzt, der auf der Gegenplatte 10' abgestützt ist, \vo-obtained by delimiting the beveled flange 35 which is supported on the counter plate 10 ', \ vo-

artigcn Vorsprünge Hb, 12b an der Peripherie zu- bei eine kleine Röhre 24a die Ka/nmer2' mit derlike projections Hb, 12b on the periphery with a small tube 24a connecting the chamber 2 'with the

saminenschweißt. Außenluft verbindet.lamellar welded. Outside air connects.

Das Auftreten eines Druckes in der Kammer 2 Int Der ganze Innenraum der Haube 23 ist nach einemThe occurrence of a pressure in the chamber 2 Int The entire interior of the hood 23 is after a

ein Durchbiegen der Membran 1 zur Folge, wodurch bekannten Verfahren mit einem Ummantelungs-a bending of the membrane 1 result, whereby known methods with a sheathing

sich der Luftspalt 6 verändert und einerseits die 40 material ausgefüllt.the air gap 6 changes and on the one hand the 40 material is filled.

Permeabilität des magnetischen Kreises und anderer- Die Brücke, die in bekannter Weise zwei Anschluß-Permeability of the magnetic circuit and other

seits die magnetische Streuung abgeändert werden; Scheitelpunkte 26 und 27, die zum Zuführen vonon the other hand, the magnetic scattering can be changed; Vertices 26 and 27 used for feeding

all dieses führt in der mit Wechselstrom gespeisten Wechselstrom 26a, 27a an zwei Klemmen ange-all of this is carried out in the alternating current 26a, 27a supplied with alternating current to two terminals.

Spule 7 zu einer Veränderung der Selbstinduktion schlossen sind, und zwei Ausgangsscheitelpunkte oderCoil 7 are closed to a change in the self-induction, and two output vertices or

und der Impedanz, die eine Funktion des herrschen- 45 -knoten 28 und 29 aufweist, von denen der eineand the impedance, which is a function of the dominant 45 nodes 28 and 29, one of which

den Druckes is*. Scheitelpunkt 28 an Masse liegt, ist dadurch gekenn-the pressure is *. Vertex 28 is at ground, is characterized by

Das Messen der Impedanzveränderung geschieht in zeichnet, daß der eine Zweig zwischen 26 und 28The impedance change is measured in shows that one branch is between 26 and 28

bekannter Weise mittels einer Brückenschaltung, bei durch die Spule 7, und ein anderer Zweig zwischenknown way by means of a bridge circuit, at through the coil 7, and another branch between

der die Spule 7 einen ersten Brückenzweig bildet, 27 und 28 durch die identische Spule T gebildet ist,which the coil 7 forms a first branch of the bridge, 27 and 28 is formed by the identical coil T ,

wobei Mittel vorgesehen sind, um einerseits die djrci. 50 während ein dritter Zweig zwischen 26 und 28 inwherein means are provided to on the one hand the djrci. 50 while a third branch is between 26 and 28 in

die Drosselspule 7 erzeugte Phasenfolge, andererseits Reihe liegend einen Widerstand 30, einen Widerstandthe choke coil 7 generated phase sequence, on the other hand lying in series a resistor 30, a resistor

den Einfluß der Umgebungstemperatur üu kompen- 31 und den Teil 32a eines Widerstandes 32 enthält,the influence of the ambient temperature üu compens- 31 and the part 32a of a resistor 32 contains,

sieren, der nun entweder für die Veränderung des dessen anderer Teil 32b mit einem Widerstand 33 insieren, which is now either for changing its other part 32b with a resistor 33 in

Temperaturkoeffizienten des Kupfers oder für die Reihe liegt und damit den vierten Zweig zwischenTemperature coefficient of copper or for the series and thus the fourth branch between

Veränderung der magnetischen Permeabilität oder 55 27 und 29 bildet.Change in magnetic permeability or 55 27 and 29 forms.

die Veränderung des Luftspaltes von Bedeutung ist; Das Verhältnis der Widerstände32a, 32b, unab-the change in the air gap is important; The ratio of resistors 32a, 32b, independently

diesc Kompensierungsmittel bestehen aus einem hängig davon ob es veränderbar oder aus zwei festenThese compensating means consist of one, depending on whether it is changeable or of two fixed ones

Hilfsdruckmeßgerät mit den Bezugszeichen Γ bis 10', Widerstünden aufgebaut ist, gestattet es, den Gleich-Auxiliary pressure measuring device with the reference symbols Γ to 10 ', resistances, allows the equal

das mit dem Meßgerät mit den Bezugszeichen 1 bis gewichtspunkt der Brücke zu suchen, bei dem dieto look for that with the measuring device with the reference number 1 to weight point of the bridge, where the

10 identisch ist. Der Körper 11 ist beiden Einheiten 60 Ausgangsspannung bei Abwesenheit von Druck Null10 is identical. The body 11 is both units 60 output voltage in the absence of pressure zero

gemeinsam und die Spule T des Hilfsmeßgerätes ist. Die fempeiaturveriinderungen sind ohne Einflußcommon and the coil T of the auxiliary measuring device. The fempeiatur changes are without influence

bildet den zweiten Zweig der Brücke. auf den Gleichgewichtspunkt, da der Einfluß auf 7forms the second branch of the bridge. on the equilibrium point, since the influence on 7

Die Bezugikammern 3 und 3' sind voneinander durch den Einfluß auf T kompensiert wird,The reference chambers 3 and 3 'are mutually compensated by the influence on T,

durch eine Scheidewand Hc getrennt, die abgedich- Im Gegensatz dazu ist in Gegenwart eines cingc-separated by a partition Hc, which is sealed- In contrast, in the presence of a cingc-

tctc elektrische. Durchlässe 14 trägt, z. B. mit Glas- 65 führten Druckes die Ausgangsspannung eine linearetctc electrical. Passages 14 carries, e.g. B. with glass pressure 65 led the output voltage a linear one

perlen; durch diese Scheidewand führt ein Rohr 15, Funktion des Druckes, deren Winkelkoeffizient oderpearls; a pipe 15, a function of the pressure, its angular coefficient, or

das zur Herstellung bzw. Erzeugung eines Bezugs- Spannungsgradient sich geringfügig mit der Tempe-that for the production or generation of a reference voltage gradient varies slightly with the temperature

druckes zur A-dßenseite der Vorrichtung führt oder ratur ändert. Diese Veränderung wird durch den Ein-pressure leads to the outside of the device or changes the temperature. This change is caused by the

fluß der Temperatur auf den Widerstand 31 kompensiert, der aus Kupfer besteht und einen bestimmten Teil des Zweiges 30-31-32α darstellt.Flow of the temperature compensated for the resistor 31, which consists of copper and a certain Represents part of branch 30-31-32α.

Damit verschiedene Meßgeräte eingebaut werden können, um sich gegenseitig ohne Nacheichung zu ersetzen, ist ein Spannungsteiler vorgesehen, der einen hohen Widerstand 34 in der Ordnung von 10 Kd und einen bei der Montage eingestellten Widerstand enthalt, der in Reihe einen Widerstand 33 und einen Widerstand 36, dem einen Widerstand 37 to mit negativem Temperaturkoeffizienten nebengeschaltet ist, enthält; der Spannungsteiler gestattet es, beim Einbau die Ausgangsspannung an der Klemme 3β zu regeln.So that different measuring devices can be built in to each other without recalibration replace, a voltage divider is provided which has a high resistance 34 on the order of 10 Kd and a resistor set during assembly, which is connected in series to a resistor 33 and a resistor 36 to which a resistor 37 to with a negative temperature coefficient is connected in addition; the voltage divider allows when Installation to regulate the output voltage at terminal 3β.

Die integrierten Testmittel werden durch das Kompensierungs-Meßgerät gebildet (Bezugszeichen 1' bis 10')- Es genügt, durch das Rohr 18 einen bekannten Druck in die Kammer 3' hineinzuleiten, um am Ausgang der Brücke die gleiche Wirkung zu erzeugen wie ein in die Kammer 2 hineingeleiteter zu messen- ·ο der Druck, was es erlaubt, die ganze Punktionsfähigkeit global zu überprüfen. Wenn die Zwinge 18a abgeschaltet wird, wird die gesamte Anordnung in Betrieb gesetzt, ohne daß etwas vergessen oder falsch gehandhabt werden kann. »5The integrated test means are formed by the compensation measuring device (reference number 1 ' to 10 ') - It is sufficient to pass a known pressure into the chamber 3' through the pipe 18 in order to Output of the bridge to produce the same effect as a measuring- · ο led into the chamber 2 the pressure, which allows the whole puncturing ability to be checked globally. When the ferrule 18a is turned off, the entire arrangement is put into operation without anything being forgotten or wrong can be handled. »5

Die Gegenplatte 10' ist nötig, um den nützlichen Teil bzw. Meßbereich der Membran 1 im Moment des Versuches abzugrenzen. Dieses zeigt die Notwendigkeit der Platte 10, um eine möglichst vollkommene Bausymmetrie zu sichern, die für eine ausgezeichnete thermische Kompensation bürgt.The counter plate 10 'is necessary to the useful part or measuring range of the membrane 1 at the moment of the attempt to delimit. This shows the need for the plate 10 to be as perfect as possible To ensure building symmetry, which guarantees excellent thermal compensation.

Schließlich besteht, wenn man die Kammer 3 evakuiert, die Gefahr, daß die Membran 1 beim Abstützen auf dem Stützkörper 4 zwischen den beiden Ebenen eine Störspannung verheimlicht, die erst anschließend wirksam würde; die radialen Riffelungen gemäß 4/ sind vorgesehen, um dem abzuhelfen.Finally, when the chamber 3 is evacuated, there is a risk that the membrane 1 when it is supported on the support body 4 between the two Levels conceal an interference voltage that would only take effect afterwards; the radial corrugations according to 4 / are provided to remedy this.

Claims

Patentansprüche:Patent claims:

I. Dnickmeßvorrichtung mit einem Druckmeßgerät, das eine Membran enthält, die an ihrem Rand an einer Halterung eingespannt ist, mit der sie zwei voneinander getrennte Kammern bildet, von denen eine unter einem Bezugsdruck steht, während die andere dazu dient, das Gas aufzunehmen, dessen Druck gemessen werden soll, wobei zur Messung der Membrandurchbiegung in der Kammer, die für das fragliche Gas unzugänglich ist, ein elektromagnetisches Anzeigegerät vorgesehen ist, dessen Spule Zweig einer Meßbrücke ist, dadurch gekennzeichnet, daß ein zweites identisches Druckmeßgerät als Hilfsgerät (l'-10') zur Kompensierung des Einflusses der Temperatur angeordnet ist, dessen Spule (7') einen zweiten Zweig der Brücke bildet, und daß die beiden Meßgeräte (1-10, Γ-10') und die MeßbrUcke zu einer austauschbaren Drucksonde baulich vereinigt sind.I. Thickness measuring device with a pressure measuring device that contains a membrane attached to its Edge is clamped to a bracket with which it forms two separate chambers, one of which is under a reference pressure, while the other serves to take up the gas, the pressure of which is to be measured, with in order to measure the diaphragm deflection the chamber inaccessible to the gas in question, an electromagnetic display device is provided, the coil branch of a measuring bridge is, characterized in that a second identical pressure measuring device as an auxiliary device (l'-10 ') is arranged to compensate for the influence of temperature, whose coil (7') forms a second branch of the bridge, and that the two measuring devices (1-10, Γ-10 ') and the measuring bridge are structurally combined to form an exchangeable pressure probe.

2. Druckmeßvorrichtung nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Teil eines Zweiges der Meßbrücke aus Kupfer besteht.2. Pressure measuring device according to claim I, characterized in that at least one part one branch of the measuring bridge is made of copper.

3. Druckmeßvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden den Speisungsscheitelpunkten (26, 27) gegenüberliegenden Meßknoten (28, 29) der Brücke an einen Spannungsteiler angeschlossen sind, der aus einem festen Widerstand (34) und einem damit in Reihe liegenden einstellbaren Widerstand besteht, der wiederum aus einem festen Widerstand (35) und einem damit in Reihe liegenden weiteren Widerstand (36) besteht, dem ein einstellbarer Widerstand (37) mit negativem Temperaturkoeffizienten parallelgeschaltet ist.3. Pressure measuring device according to claim 1 or 2, characterized in that the two the supply vertices (26, 27) opposite measuring nodes (28, 29) of the bridge a voltage divider are connected, which consists of a fixed resistor (34) and a so in Adjustable resistor, which in turn consists of a fixed resistor (35) and a further resistor (36) in series therewith, which is an adjustable one Resistor (37) with a negative temperature coefficient is connected in parallel.

4. Druckmeßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Hilfsmeßgerät {Y-W) über den das elektromagnetische Anzeigegerät enthaltenen Hohlraum (3') in Verbindung steht, mit einer Leitung (18), die zeitweilig an eine Druckquelle angeschlossen werden kann.4. Pressure measuring device according to claim 1, characterized in that the auxiliary measuring device {YW) via the cavity (3 ') contained in the electromagnetic display device is in communication with a line (18) which can be temporarily connected to a pressure source.

5. Druckmeßvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (1, 1') d«s oder jedes Druck meßgerätes (1-10, 1'-1C) sich an ihrer Peripherie auf eine ebene Fläche (4a, 4a') einer ringförmigen Halterung stützt, die diejenige der beiden Hohlräume oder Kammern, in der der schwächst·: Druck herrschen soll, begrenzt, wobei der Ran der Membran (1. Y) und der abgeschrägte gegei überliegende Rand der ringförmigen Halterung vabdichtender Weise miteinander verschweißt sin>^: wobei die Schweißnaht in radialer Richtung wi genug von dem nützlichen Mittelteil bzw. Men teil der Membran entfernt ist, um diesen Teil u· inneren Belastungen und Spannungen frei ' halten.5. Pressure measuring device according to one of the preceding claims, characterized in that the membrane (1, 1 ') d «s or each pressure measuring device (1-10, 1'-1C) extends at its periphery on a flat surface (4a, 4a ') an annular holder supports that of the two cavities or chambers in which the weakest pressure should prevail, the Ran of the membrane (1. Y) and the beveled Gegei overlying edge of the annular holder v sealingly with each other welded sin> ^: wherein the weld seam is far enough away in the radial direction from the useful central part or part of the membrane to keep this part free from internal loads and stresses.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings