DE1906310A1

DE1906310A1 - Sealed manipulator

Info

Publication number: DE1906310A1
Application number: DE19691906310
Authority: DE
Inventors: Chesley Frank Gunsaulus
Original assignee: CENTRAL RES LAB Inc
Current assignee: CENTRAL RES LAB Inc
Priority date: 1969-02-08
Filing date: 1969-02-08
Publication date: 1970-09-03

Description

Abgedichteter Manipulator Die Erfindung betrifft einen abgedichteten-Manipulator für eine geschlossene Vakuumkammer, der von eine-r Bedienungsperson außerhalb dieser Kammer betätigt werden kann. Sealed Manipulator The invention relates to a sealed manipulator for a closed vacuum chamber that is operated by an operator outside of it Chamber can be operated.

Es sind bereits mechanisch betätigte Fernbediçnungsmanipulatoren bekannt, mit denen eine Bedienungsperson in einer Kammer unter verschiedenen Umweltbedingungen Arbeiten durchführen kann. Derartige Manipulatoren sind jedoch für eine Verwendung unter hohem Vakuum nicht geeignet. Der Grund dafür liegt darin, daß die Betätigunsbewegung durch Dic-htungen, hauptsächlich durch-Drehdichtungen übertragen werden muß, wobei diese Drehdichtungen, wenn sie zu großen Druckunterschieden ausgesetzt sind, leck werden und ausfallen können.Mechanically operated remote control manipulators are already known with which an operator is in a chamber under different environmental conditions Can perform work. However, such manipulators are for one use not suitable under high vacuum. The reason for this is that the actuation movement must be transmitted through seals, mainly through rotary seals, whereby these rotary seals, when exposed to large pressure differentials, leak and can fail.

Es ist das Hauptziel der Erfindung, einen abgedichteten Manipulator für einen Vakuumbetrieb mit einem Weitenbereich von Bewegungsfreiheitsgraden innerhalb der Vakuumkammer zu schaffen, ohne daß es erforderlich ist, die Schutzwandung, die das Vakuum abschließt, mit Bewegungsübertragungsteilen zu durchdringen. Ganz allgemein mein gesagt, eist der erfindungsgemäße Manipulator einen starren langgestreckten Arm auf, der sich durch die Wandung einer Kammer erstreckt, die ein Vakuum einschließt und der in einem Universalgelenk drehbar und in Längsrichtung gleitbar gelagert ist. Ein Ende'des Armes weist Zangen auf und am anderen Ende ist ein Handgriff vorgesehen, um den Arm zu bewegen und um die Zangen zu betätigen. Die Zangen sind mit dem langgestreckten Arm derart gekuppelt, daß sie sich mit diesen drehen und mit-diesen in Längsrichtung bewegen. Mittels einer Gleitkupplung können die Zangen durch die Betätigung eines Hebels im Handgriff geöffnet und geschlossen werden.'Eine Reihe von vakuumsdichten Balgen umgibt den Arm und zwar in seinem Verlauf von der Innenseite der Vakuumkammerwandung bis zu den Zangen um eine vakuumdichte Schutzwandung zu schaffen, die es ermöglicht, daß der Manipulator in Richtung seiner Längsachse verschoben wird und gedreht werden kann und daß die Zangen gedreht und geöffnet und geschlossen werden kpnnen, ohne daß.It is the main object of the invention to provide a sealed manipulator for vacuum operation with a wide range of degrees of freedom of movement within to create the vacuum chamber without the need for the protective wall, the the vacuum completes penetrating with motion transmission parts. In general my stated, the manipulator according to the invention is a rigid elongated arm which extends through the wall of a chamber which encloses a vacuum and which is rotatably mounted in a universal joint and is slidable in the longitudinal direction is. One end of the arm has pliers and a handle is provided at the other end, to move the arm and to operate the pincers. The pliers are elongated with the Arm coupled in such a way that they rotate with them and with them in the longitudinal direction move. By means of a sliding coupling, the pliers can be operated by actuating a The lever in the handle can be opened and closed. 'A series of vacuum-tight Bellows surrounds the arm in its course from the inside of the vacuum chamber wall up to the pliers to create a vacuum-tight protective wall that allows that the manipulator is moved in the direction of its longitudinal axis and rotated and that the pliers can be rotated and opened and closed without that.

die vakuumdichte Schutzwandung- durch eine Dichtung von aufeinande-rpassenden jedoch beweglichen Oberflächen unterbrochen wird.the vacuum-tight protective wall through a seal of mutually fitting however moving surfaces is interrupted.

Die Erfindung sollin der folgenden Beschreibung unter Bezugnahme auf die Figuren der Zeichnung erläutert werden. Es zeigen: Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform eines Vakuumgefäßes, bei welchem der erfindungsgemäße Manipulator verwendet werden kann, wobei eine Anzahl von derartigen Manipulatoren eingebaut ist und Fig. 2 Fig. 2 eine teila:eise gesclunittene Seitenansicht, die den inneren Aufbau eines der Manipulatorarme darstellt.The invention is intended in the following description with reference to FIG the figures of the drawing are explained. They show: FIG. 1 a perspective View of an embodiment of a vacuum vessel in which the inventive Manipulator can be used, with a number of such manipulators is installed and Fig. 2 2 shows a partially split side view, which represents the internal structure of one of the manipulator arms.

In Fig. 1 ist ein Vakuumgefäß 10 in Form eines zylindrischen Tanks dargestellt und dieses Gefäß weist Sittinge auf, damit das Gefäß mit einer nicht dargestellten.Vakuumpumpe verbunden werden kann, um in der Kammer durch Pumpen ein hohes Vakuum, zu erzeugen. Eine Anzahl von abgedichteten Manipulatoren 11 erstreckt sich durch die Wandungen der Kammer 10. Zwei derartige Manipulatoren sind in der zylindriscben Seitenwandung angeordnet und einer in der Deckelwandung. Es sei bemerkt, daß die Manipulatoren, die in der Seitenwandung angeordnet sind, einen Winkelabstand-von etwa 120° voneinander haben.In Fig. 1 there is a vacuum vessel 10 in the form of a cylindrical tank shown and this vessel has Sittinge, so that the vessel with a not Vacuum pump can be connected to inside the chamber by pumping a high vacuum. A number of sealed manipulators 11 extend through the walls of the chamber 10. Two such manipulators are in the arranged cylindrical side wall and one in the top wall. It should be noted that the manipulators, which are arranged in the side wall, an angular distance from about 120 ° from each other.

Es sind ferner Betrachtungsöffnungen vorgesehen. Dadurch daß man drei l'lanipulatoren in der Seitenwandung vorsieht und einen in der Deckelwandung sind alle Teile des eingeschlossenen Raumes zugänglich.Viewing openings are also provided. By having three l'lanipulatoren is provided in the side wall and one is in the top wall all parts of the enclosed space accessible.

Jede Öffnung 12 in das Vakuumgefäß 10 ist mit einer Abdeckplatte 13 versehen und es ist ein Dichtungsring 14 vorgesehen und die Abdeckplatte svird mittels Schraubenbolzen 15 oder ähnlichen Halterungen befestigt. Der Flansch 16 eines Balgens 17, der noch beschrieben werden soll, gilt ebenfalls als Teil der Vakuumdichtung bei jeder Öffnung 12. Die Abdeckplatte 13 trägt ein Paar Buchsenplatten 18 und 19 und zsar je eine auf jeder Seite, die mittels Schraubenbolzen 20 oder entsprechenden Halterungen befestigt sind und die zusammen die Hülse eines Kugelgelenkes bilden, die einen Rugelbauteil 21 einschließt.Each opening 12 in the vacuum vessel 10 is provided with a cover plate 13 provided and a sealing ring 14 is provided and the cover plate svird by means Screw bolts 15 or similar brackets attached. The flange 16 of a bellows 17, which will be described later, is also considered part of the vacuum seal at each opening 12. The cover plate 13 carries a pair of socket plates 18 and 19 and zsar one on each side, which by means of screw bolts 20 or equivalent Brackets are attached and which together form the sleeve of a ball joint, which includes a locking member 21.

Dieser Dieser Kugelbauteil 21 weist eine axiale Öffnung 22 auf; in der ein langgestreckter, starrer, stabartiger Arm 2-3'' sitzt, der relativ zum Kugelbauteil in Längsrichtung gleitbar ist. Der Arm 23 weist am äußeren Ende einen Handgriff~24 auf0 In dem Handgriff ist ein Hebel 25 angeordnet, der am Handgriff bei 26 angelenkt ist und auf den durch die Hand ein Druck ausgeübt werden kann, damit die Bedienungsperson die Zangen am anderen Ende des Armes schließen kann. Der Hebel 25 wird gegen die Wirkung einer Kompressionsfeder 27 gedrückt, deren Spannung mittels eines Einstellknopfes 28 eingestellt werden kann. Ein Kabel oder eine Stange 29 ist am Hebel 25 befestigt und erstreckt sich durch einen Längskanal 30 im Arm 23, wie es noch-beschrieben werden soll. This This spherical component 21 has an axial opening 22 on; in which an elongated, rigid, rod-like arm sits 2-3 ″, which is relatively is slidable to the spherical component in the longitudinal direction. The arm 23 points at the outer end a handle ~ 24 on 0 A lever 25 is arranged in the handle, which is on the handle is hinged at 26 and on which a pressure can be exerted by the hand, so that the operator can close the pliers at the other end of the arm. The lever 25 is pressed against the action of a compression spring 27, the tension can be set by means of an adjusting knob 28. A cable or a rod 29 is attached to the lever 25 and extends through a longitudinal channel 30 in the arm 23, as it is still to be described.

Der Arm 23 wird teilweise von einem vakuumdichten Metallbalgen 17 umgeben, dessen Flansch 16 einen Teil der vakuumd-ichten Abdichtung der Öffnung 12 in die Vakuumkammer bildet. Das andere Ende des Balgens 17 ist an eine ringförmige Stufenplatte 31 anges-chweißt oder in entsprechender Weise befestigt, um eine vakuumdichte Abdichtung zu ergeben. Der Balgen 17 ist auf einer Seite dieser Stufenplatte 31 neben deren äußeren Rand befestigt, Ein vakuumdichter Metallbalgen 32 mit kleinerem Durchmesser ist an die gegenüberliegende Oberfläche der Ringplatte 31 angescfrieißt oder in entsprechender Weise befestigt, um eine vakuumdichte Abdichtung zu ergeben, wobei die Befestigungsstelle am inneren Umfang der Platte liegt.-Das andere Ende des Balgens 32 ist am äußeren Umfang einer weiteren Ringplatte 33 befestigt. Die Oberfläche der Ringfläche 33 innerhalb des Balgens 32 weist einen Ringflansch 34 auf, dessen Innendurchmesser etwa dem der Öffnung Öffnung in der Platte 33 entspricht und dessen Außendurchmesser etwas größer ist. Der Flansch 34 ist derart im Abstand'von der Platte 33 angeordnet, daß dieser einen Ringkanal 35 begrenzt, in dem der äußere Umfang einer Ringplatte 36 sitzt. Die Ringplatte 36 ist am Arm 23 in der Nähe von dessen innen Ende im Abstand vom Handgriff befestigt. Die Platte 36 ist im Ringkanal 35 drehbar, wenn der Arm im Kugelbauteil 21 gedreht wird. Die Platte 36 ist ferner in den Kanal 35 eingehängt, so daß, wenn der Arm 23 in Längsrichtung bewegt wird, die Platte 33 sich mit dem Arm bewegt, wodurch die Balgen 32 und 17 zusammengedrückt und ausgezogen werden.The arm 23 is partially supported by a vacuum-tight metal bellows 17 surrounded, the flange 16 of which forms part of the vacuum-tight sealing of the opening 12 forms in the vacuum chamber. The other end of the bellows 17 is an annular one Step plate 31 welded on or fastened in a corresponding manner to ensure a vacuum-tight Provide sealing. The bellows 17 is on one side of this step plate 31 attached next to its outer edge, a vacuum-tight metal bellows 32 with a smaller one Diameter is friezed on the opposite surface of the ring plate 31 or attached in a corresponding manner to provide a vacuum-tight seal, the attachment point being on the inner periphery of the plate - the other end of the bellows 32 is attached to the outer circumference of a further ring plate 33. the The surface of the annular surface 33 within the bellows 32 has an annular flange 34 on, the inside diameter of which is about that of the opening Opening in the Plate 33 corresponds and whose outer diameter is slightly larger. The flange 34 is arranged at a distance from the plate 33 in such a way that it has an annular channel 35 limited, in which the outer periphery of an annular plate 36 is seated. The ring plate 36 is attached to the arm 23 near its inner end at a distance from the handle. The plate 36 is rotatable in the annular channel 35 when the arm rotates in the ball component 21 will. The plate 36 is also hung in the channel 35 so that when the arm 23 is moved in the longitudinal direction, the plate 33 moves with the arm, whereby the bellows 32 and 17 are compressed and extended.

Ein zylindrisches Gehäuse 37 ist an der anderen Oberfläche der Platte 33 befestigt, so daß dieses Gehäuse mit dieser Platte beweglich ist, wenn der Arm verschoben wird0 Zangen oder Greifbacken 38 werden vom anderen Ende des Gehäuses derart getragen, daß sich diese relativ zum Gehäuse drehen können. Die Greifbacken, die beim erfindungsgemäßen Manipulator verwendet werden, können von der Form sein, wie sie in der US-Patentschrift 2 695 715 oder in der US-Patentschrift 2 764 301 oder in der US-Patentschrift 3 139 990 beschrieben werden, Alle diese Zangen haben gemeinsam ein Paar Greifbacken, von denen Jede über ein federbelastetes Parallelgestänge mit einem Gehäuse verbunden ist, welches hier mit 42 bezeichnet ist, wobei jede Greifbacke mittels einer Kraft betätigt werden kann, die auf ein Kabel 43 ausgeübt wird0 Diese Kraft wird durch ein Kabel 29 bei einem Zudrücken des Hebels 25 übertragen und zwar über ein Paar Gleitkupplungen, die noch beschrieben werden sollen.A cylindrical housing 37 is on the other surface of the plate 33 fixed so that this housing is movable with this plate when the arm The forceps or jaws 38 are moved from the other end of the housing carried so that they can rotate relative to the housing. The gripping jaws, which are used in the manipulator according to the invention can be of the form as described in U.S. Patent 2,695,715 or U.S. Patent 2,764,301 or in U.S. Patent 3,139,990, all of these have pliers together a pair of gripping jaws, each of which has a spring-loaded parallel linkage is connected to a housing, which is designated here by 42, each Gripping jaw can be actuated by means of a force exerted on a cable 43 wird0 This force is transmitted through a cable 29 when the lever 25 is pressed through a pair of sliding couplings which will be described later.

Das Zangengehäuse 42 ist im Ende des Gehäuses 37 drehbar bar. Das Ende des Gehäuses 37 weist einen nach innen sich erstreckenden Flansch 44 auf, der mit einem Lager oder einer Lagerbudse ausgestattet. ist. Das Zangengehäuse 42 erstreckt sich in das Lager hinein und wird durch ein Paar Halteringe 45, 46 gehalten. Das Gehäuse 37 weist ein Paar Schlitze 47 und 48 auf, die Keilnuten für Zapfen 49 und 50 bilden, die nach Art von Keilen in den Schlitzen gleiten.The tong housing 42 is rotatable in the end of the housing 37 bar. The end of the housing 37 has an inwardly extending flange 44, which is equipped with a warehouse or a camp budse. is. The pliers housing 42 extends into the bearing and is held in place by a pair of retaining rings 45,46. Housing 37 has a pair of slots 47 and 48 which are keyways for pins 49 and 50 which slide in the slots in the manner of wedges.

Die Zapfen 49 und 50 sind an einem Gehäuse 51 befestigt, über welches eine Drehbewegung auf die .Zangen übertragen wird, wie es noch beschrieben werden 80110 Ein weiterer Balgen 52 ist mit einem Ende an der Ringplatte 33 und zwar in der Nähe des inneren Umfangsrandes befestigt und das andere Ende ist an der Endwandung 53 des Ge-häuses 51 befestigt. Eine Eintrittskurbelwelle 54 ist drehbar in der Wandung 53 in einem Lager 55 gelagert. Ein Ende der Kurbelwelle -54 ist mit dem Arm 23 gekuppelt.The pins 49 and 50 are attached to a housing 51, via which a rotary movement is transmitted to the .zangen, as will be described later 80110 Another bellows 52 is at one end on the ring plate 33, namely in attached near the inner peripheral edge and the other end is on the end wall 53 of the housing 51 attached. An entry crankshaft 54 is rotatable in the wall 53 stored in a warehouse 55. One end of the crankshaft -54 is coupled to the arm 23.

Ein Zapfen 56, der von der Kurbelwelle 54 getragen wird, ist im Schlitz 57 im Ende des Armes 23 angeordnet und dadurch wird die Kurbelwelle mit dem Arm verkeilt, damit sich die Kurbelwelle mit dem Arm dreht. Gleichzeitig ist das Ende der Kurbelwelle 54 in'einer etwas verbreiterten Buchse 58 am Ende des Armes f gleitbar.A pin 56 carried by the crankshaft 54 is in the slot 57 arranged in the end of the arm 23 and thereby the crankshaft with the arm wedged so the crankshaft rotates with the arm. At the same time is the end of the crankshaft 54 in a somewhat widened socket 58 at the end of the arm f.

Das andere Ende der Kurbelwelle 54 trägt eine Kugel 59, die in einer Hülse 60 sitzt, die von einer Kreisplatte 61 getragen wi-rd. Diese Kreisplatte 61 wird ihrerseits von einem Ende des Balgens 62 getragen0. Das andere Ende dieses Balgens ist an der Innenseite der Wandung 53 des Gehäuses 51 vakuumdicht befestigt, Die Platte 61 ist in gleicher Weise am Balgen vakuumdicht befestigt*O Es ist zu erkennen, daß die ItuxbeX elle 54 durch eine Drehung des Armes 23 mittels des Handgriffes 24 gedreht wird wird, wodurch die. relative Bewegung zwischen der Kugel 59 und der Hülse 60 bewirkt, daß die Platte 51, ohne sich selbst zu drehen, verschwenkt wird0 Diese Schwenkbewegung wird verwendet, um die Zangen über das Zangengehäuse 42 zu drehen.The other end of the crankshaft 54 carries a ball 59 which is in a Sleeve 60 is seated, which is carried by a circular plate 61. This circular plate 61 is in turn carried by one end of the bellows 62. The other end of this The bellows is attached to the inside of the wall 53 of the housing 51 in a vacuum-tight manner, The plate 61 is attached in the same way to the bellows in a vacuum-tight manner * O It is closed recognize that the ItuxbeX elle 54 by rotating the arm 23 by means of the handle 24 is rotated becomes, whereby the. relative movement between the Ball 59 and the sleeve 60 causes the plate 51, without rotating itself, is pivoted0 This pivoting movement is used to move the pliers over the pliers housing 42 to turn.

Ein kurzer Schaft 63 auf der der Hülse 60 gegenüberliegenden Seite der Platte 61 trägt eine Kugel 64, die in einem Sockel 6f, in einem Kurbelarm 66 sitzt. Dieser Kurbelarm ist drehbar in einem-lager 67 in der Wandung 68 des Gehäuses 51 gelagert. Das andere Ende 69 des Kurbelarms 66 ist mit der Endwandung 70 des Zangengehäuses 42 verkeilt. Eine Drehbewegung wird dem Kurbelarm 66 durch die Kugelgelenkverbindung 64-65 durch eine Drehverschwenkung der Platte 61 erteilt. Diese Bewegung wird übertragen, um die Zange zu drehen.A short shaft 63 on the opposite side of the sleeve 60 the plate 61 carries a ball 64, which is in a socket 6f, in a crank arm 66 sits. This crank arm is rotatable in a bearing 67 in the wall 68 of the housing 51 stored. The other end 69 of the crank arm 66 is connected to the end wall 70 of the Plier housing 42 wedged. Rotational movement is imparted to the crank arm 66 through the ball and socket joint 64-65 issued by pivoting the plate 61 in rotation. This movement is transmitted to turn the pliers.

Die Kupplung zwischen dem Kurbelwellenende 69 und der Endwandung 70 des Zangengehäuses 42 ermöglicht es der Kurbelwelle, relativ zum Zangengehäuse zu gleiten.The coupling between the crankshaft end 69 and the end wall 70 of the tong housing 42 allows the crankshaft to relative to the tong housing slide.

Die Enden des Kabels 43 sind am Ende 69 der Kurbelwelle 66 befestigt. Das Ende des Kabels 29 ist am Ende der Kurbelwelle 54 befestigt. Wenn die Bedienungsperson auf den Hebel 25 drückt, so bewirkt die Kraft, die vom Kabel 29 übertragen wird, daK die Kurbelwelle 54 weiter in die Buchse 59 am anderen Ende des Armes 23 hereingezogen wird. Dadurch wird das gesamte Gehäuse 51 zum Handgriff hingezogen, wobei das Gehäuse in den Führungsschlitzen 47 und 48 durch die Zapfen 49 und 50 geführt wird. Gleichzeitig gleitet das Ende 69 der Kurbelwelle 66 relativ in der Endwandung 70 des Zangengehäuses 42. Diese relative Bewegung der Kurbelwelle 60 erzeugt eine Kraft in den Kabeln 43, wodurch die Backen Backen der Zange zusarnmengezogen werden, um einen Gegenstand zu erfassen.The ends of the cable 43 are attached to the end 69 of the crankshaft 66. The end of the cable 29 is attached to the end of the crankshaft 54. When the operator presses on the lever 25, the force transmitted by the cable 29 causes daK the crankshaft 54 is drawn further into the socket 59 at the other end of the arm 23 will. As a result, the entire housing 51 is drawn towards the handle, the housing is guided in the guide slots 47 and 48 through the pins 49 and 50. Simultaneously The end 69 of the crankshaft 66 slides relatively in the end wall 70 of the tong housing 42. This relative movement of the crankshaft 60 creates a force in the cables 43, making the jaws The jaws of the pliers are tightened to capture an object.

Zur gleichen Zeit, zu der die Zange geschlossen wird, kann diese durch eine Drehung des Armes 23.gedreht werden. Diese Bewegung wird durch die Kurbelarme 54 und 66 und durch die Kugelgelenkkupplungen übertragen. Gleichzeitig kann der Arm nach innen und nach außen verschoben werden und kann aufwärts und abwärts bewegt werden und zwar durch eine entsprechende Bewegung des Kugelbauteils 21 in der Hülse. Wenn der Hebel 25 losgelassen wird, so öffnen die federbelasteten Gestänge der Zange die Backen, wobei die Öffnungsbewegung durch die Federn 71 unterstützt wird, die sich zwischen dem Zangenvehäuse und dem Gehäuse 51 erstrecken. Der Kugelarm 54 wird teilweise aus der Buchse 58 im Ende des Armes 23 herausgezogen. Der Kurbelarm 66 wird weiter in das Zangengehäuse 42 hinein gezogen. Wenn sich das Gehäuse 51 im Gehäuse 37 und zwar durch eine Betätigung des Hebels 25 bewegt, so wird der Ballen 52 ausgedehnt oder zusammengedrückt.At the same time that the pliers are closed, they can pass through a rotation of the arm 23 can be rotated. This movement is made by the crank arms 54 and 66 and transmitted through the ball joint couplings. At the same time, the Arm can be moved in and out and can be moved up and down by a corresponding movement of the ball component 21 in the sleeve. When the lever 25 is released, the spring-loaded rods of the pliers open the jaws, the opening movement being assisted by the springs 71, the extend between the forceps housing and the housing 51. The ball arm 54 is partially withdrawn from the socket 58 in the end of the arm 23. The crank arm 66 is pulled further into the tong housing 42. When the housing 51 is in Housing 37 moved by actuating the lever 25, so the bale 52 expanded or compressed.

Es ist zu erkennen, daß um den Manipulatorarm herum eine vakuumdichte- Hüll-e gebildet wird,- und zwar durch die Balgen 17, 32, 52 und 62 und daß diese Va-kuumschutswand-ung, die durch die Balgen gebildet wird, an keiner Stelle durchbrochen oder durchdrungen wird. Die Drehbewegung wird durch die Endplatte 61 des Balgens 62 und zwar über ein Kugelgelenk, übertragen, wobei keine Durckbrechung der Vakuumschutzwandung erforderlich ist.It can be seen that around the manipulator arm a vacuum-tight Sheath-e is formed - by the bellows 17, 32, 52 and 62 and that these Va-kuumschutswand-ung, which is formed by the bellows, not broken at any point or is penetrated. The rotary movement is provided by the end plate 61 of the bellows 62 via a ball joint, with no breakage of the vacuum protection wall is required.

Die Zangen können innerhalb der Vakuumkammer.die üblichen Bewegungen durchführen und die Zanzen-können gedreht, geöffnet und geschlossen werden. Die Bedienungsperson kann zahlreiche und verschiedene Manipulationsfunktionen innerhalb der Vakuumkammer durchführen.The tongs can do the usual movements inside the vacuum chamber perform and the zanzen-can be rotated, opened and closed. the Operator can perform numerous and different manipulation functions within the vacuum chamber.

Wenn Wenn die Druckdifferenz zwischen der Innenseite und der Außenseite des Vakuumgefäßes groß ist, kann eine Sekundärleitung vorgesehen sein, um die Druckkräfte abzugleichen. Ein Anschluß 72 kann an der Abdeckplatte 13Vvorgesehen sein und dieser Anschluß kann mit einem Vakuumschlauch 7,3 verbunden werden, wobei dieser Vakuumschlauch mit einer Vakuumpumpe in Verbindung steht. if When the pressure difference between the inside and the outside of the vacuum vessel is large, a secondary line may be provided to balance the pressure forces. A connector 72 can be on the cover plate 13V be provided and this connection can be connected to a vacuum hose 7.3 , whereby this vacuum hose is connected to a vacuum pump.

Anstelle des Kugelgelenkes, welches den Arm am Vakuumgefäß trägt, kann ein Kardangelenk vorgesehen sein0 Wenn ein Kardangelenk vorgesehen ist, so wird vorzugsweise die Eintrittsöffnung durch einen äußeren Balgen eingeschlossen, wobei dieser äußere Balgen einen Anschluß aufweist, um diesen an eine Vakuumleitung anzuschließen.Instead of the ball joint that carries the arm on the vacuum vessel, a cardan joint can be provided 0 If a cardan joint is provided, see the inlet opening is preferably enclosed by an outer bellows, said outer bellows having a connection for connecting it to a vacuum line to connect.

Pat entans prüche Pat ent claims

Claims

Claims Sealed manipulator for a vacuum chamber, characterized by A) a rigid elongated arm (23) extending through a Chamber wall (10) extending therethrough, which includes a vacuum chamber and the is rotatably mounted in a universal joint (21) and can be moved in the longitudinal direction, B) Pliers (38) which are connected to an Emde'des Armes, wherein a Handle (24) is provided, which is connected to the other end of the arm, C) a vacuum-tight rotary feedthrough (54, 66) between the arm and the pliers to to rotate the tongs by the arm (23), D) a sliding coupling (69, 70) between the arm and the pliers to open and close the pliers from the handle and E) vacuum-tight balls (11, 17) which enclose the arm and which extend from the Rotary feedthrough extend out towards the chamber wall.

2o manipulator according to claim 1, characterized in that the rotary leadthrough has an exit crank shaft (69) and that the pliers (38) with this crank shaft is coupled to rotate the pliers.

3. Manipulator according to claim 1, characterized in that «the rotary feedthrough comprises the following parts: A) a housing (51), B) a bellows (62) inside the housing, which is vacuum-tight with a wall (53) of the housing is connected, C) a plate (61) which is vacuum-tight-connected to the other end of the bellows is, D) a first crankshaft (54) which is rotatable in a wall (53) of the housing is mounted and which extends into the bellows, E) a universal coupling (59) between the first crankshaft and the plate (61) within the bellows (62), so that the plate is pivotable when the crankshaft (54) rotates, F) a second crankshaft (63) rotatable in the opposite wall (68) of the housing is mounted and G) a universal coupling (64) between the second crankshaft and the opposite side of the plate (61) so that the crankshaft (66) at a pivoting of the plate (61) is rotatable.

4 «Nanipulator according to claim 3, characterized in that each of the Universal couplings is a ball joint (59, 60; 64, 65).

5. Manipulator according to claim 2, characterized in that A) a flexible, elongated, linear movement-transmitting device (29) is provided which extends from the handle (2 *) to the other end of the arm, B) a Sliding coupling (56, 57) between the first crank arm Crank arm (54) and the other end of the manipulator arm is provided, C) the movement transmission device (29) is attached to the first crankshaft (54), D) the pliers a housing (42) further comprises a pair of jaws (38) and a linkage which the jaws with the Housing (42) connects, E) another flexible, linear movement transmitting, Device (43) is provided, which extends from the tong rod to the tong housing (42).

extends, F) a sliding coupling (69, 70) between the second crank arm and the tong housing is provided and G) the further movement transmission device (43) is attached to the second crank arm (66).

o. Manipulator according to claim 3, characterized in that A) a another housing (37) is attached to the end of the vacuum-tight bellows to deal with to move this, B) the rotary feedthrough housing (51) within this further Housing (37) is arranged, C) a relative rotation of the rotary leadthrough housing (51) is prevented relative to the housing (37) during a relative longitudinal movement between the sen housings is made possible and D) a rotary coupling between the Pliers and the further housing (37) is provided, which the pliers with the manipulator arm connects 7.

7o manipulator according to claim 1, characterized in that the Mani, pulatorarm (23) is equipped at one end with a swivel coupling that connects the arm with the bellows connects, whereby the arm is rotatable relative to the bellows (52) and. the bellows is expanded and compressed when the arm is moved.

8. Manipulator according to claim 1, characterized in that the vacuum-tight Bellows (11, 17) surround the universal joint (21) which the manipulator arm in the chamber wall (10), these bellows connected to the wall in a vacuum-tight manner are and that an external connection (13, 18, 19, 20) is provided, which with the room connected, which is enclosed by the bellows, to the space with a Vacuum pump connect to the pressure inside the bellows and the vacuum chamber balance.