DE1862885U - ANASTIGMATIC FOCUSING SYSTEM. - Google Patents
ANASTIGMATIC FOCUSING SYSTEM.Info
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Description
F 20 399/2ig Gm ' 23. 10. 1962 F 20 399 / 2ig Gm 'October 23, 1962
PLI/Iii/MPLI / III / M
PERWSEH GMBH, Darmstadt, Am Alten Bannhof 6PERWSEH GMBH, Darmstadt, Am Alten Bannhof 6
Anastigmatisches FokussiersystemAnastigmatic focusing system
Um einen. Elektronenstrahl, der von einem Punkt einer Elektronen emittierenden Schicht ausgeht-und durch ein elektrostatisches Feld beschleunigt wird, an einer anderen Stelle wieder punktförmig zu vereinigen, verwendet man häufig ein Magnetfeld, dessen Feldlinien in S.trahlrichtung verlaufen.. Ist das Magnetfeld rotationssymmetrisch aufgebaut, so stören auch radial verlaufende Feldkomponenten die Elektronenoptik nicht. Als Fokussierfeld kann daher jede von Gleichstrom durchflogsene -Spule verwendet" werden, die den Elektronenstrahl rotationssymmetrisch umschlingt. Um mit einemmb'glichst -geringen Fokussierstrom auszukommen und um Fremdfelder aus dem Fokussierfeld-fernzuhalten,- kann die Spule auch auf ihrer Außenseite mit ferromagnetischem Material .z.B. "in Form eines-Eisenzylinders abgeschirmt werden.To one. Electron beam emanating from a point one Electron-emitting layer emanates - and is accelerated by an electrostatic field at another To unite point again point-like, one uses often a magnetic field whose field lines are in the direction of the beam run .. If the magnetic field is built up in a rotationally symmetrical manner, radially running fields will also interfere Electron optics do not have field components. Any direct current flown through can therefore be used as a focusing field Coil ", which loops around the electron beam in a rotationally symmetrical manner -low focusing current and to keep foreign fields away from the focusing field, -the coil can also on their outside with ferromagnetic material. "in the form of an iron cylinder.
Es hat sieh jedoch gezeigt, daß selbst bei einwandfreiem rotationssymmetrischem Aufbau der Abschirmung und auch der Kupferspule allein astigmatische Fehler in der elektronenoptischen Abbildung auftreten können. Diese Fehler sind vermutlich in der Inhomogenität des Materials, auch in dem Eisengehalt des-Kupferdrahtes "der Spule begründet. Selbst bei Spulen mit einem Eisengehalt von weniger als 0,8 % werden,-astigmatische Fehler beobachtet. ■ - -It has shown, however, that even when it is flawless rotationally symmetrical structure of the shield and also the Copper coil alone can cause astigmatic errors in the electron-optical imaging. These Defects are probably in the inhomogeneity of the material, also in the iron content of the copper wire Coil justified. Astigmatic defects are observed even with coils with an iron content of less than 0.8%. ■ - -
Kupferdraht-mit geringerem Eisengehalt ist aber nur mit extrem hohem Aufwand herstellbar und würde den Preis eines damit hergestellten Fokussiersystems um ein Vielfaches verteuern. Andererseits kann man bei hochwertigenCopper wire with lower iron content is only available with extremely expensive to manufacture and would increase the price of a focusing system manufactured with it many times over more expensive. On the other hand, you can with high quality
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F F. 20 39920 399
elektronenoptische!! Geräten auf einen absoluten Anastlgiaatismus nicht ."verzichten.. - " .-."-... .-...-..electron optical !! Devices to an absolute anastlgiaatism not. "renounce .. -" .-. "-....-...- ..
Gemäß der Neuerung wird dieses Problem dadurch gelöst, daß an der Innenseite des Fakussiersystems,. vorzugsweise in der Zone mit axialem Feldverlauf ein von außen drehbarer, vorzugsweise zylinderförmiger Träger aus nicht ferroiaagne ti schein Material angeordnet ist, auf dem ein Körper aus ferromagnetische^ Material, vorzugsweise aus dünnen-Mu-Metallbleeh "befestigt . ist. Durch Veränderung der Lage des Körpers kann man das magnetische- Feld so beeinflussen, daß magnetische UnSymmetrien der rotationssymmetrisch aufgebauten Fokussierspule. kompensiert werden.■;According to the innovation, this problem is solved in that on the inside of the facsimile system. preferably in the zone with an axial field profile, an externally rotatable, preferably cylindrical carrier made of non-ferroiaagne ti apparent material is arranged on which a body of ferromagnetic ^ Material, preferably made of thin-Mu-Metallbleeh "attached. is. By changing the position of the body, one can influence the magnetic field in such a way that magnetic asymmetries the rotationally symmetrical focusing coil. be compensated. ■;
Bs ist zwar möglich, die Kompensation auch an einer anderen Stelle des Fokrjssiersy&tems vorzunehmen., z„B,. in den Randzonen des Fokuss'iersystems. Aber in. diesen Gebieten ist die Kompensation außerordentlich- kritisch, und es genügt bereits eine geringe -ParalIe!verschiebung-'"des Elektronenstrahls, um den Strahl wieder astigmatisch zu machen.Bs is possible, but the compensation can also be applied to another Position of the focus system, e.g. in the fringes of the focusing system. But in these areas it is Compensation extremely critical, and it is already enough a small -ParalIe! shift - '"of the electron beam, to make the beam astigmatic again.
Es ist vorteilhaft, den Träger des Kompensationsbleches leicht auswechselbar zu machen. -Die- Kompensation- wird dann zweckmäßigerweise so erreicht, daß man durch Drehen des Trägers bei gleichzeitiger Beobachtung des elektronisch abgebildeten Punktes in einer markierbaren Lage das Minimum des Astigmatismus feststellt. Durch Äusweciiselii des Trägers gegen eiaen solchen, mit einem größeren, oder kleineren Kompensationsblech läßt sich dann leicht absoluter' Anastigmata smus herstellen. - -It is advantageous to use the support of the compensation plate easy to make interchangeable. -The compensation- will then expediently achieved so that by turning the Carrier with simultaneous observation of the electronically mapped point in a markable position the minimum of astigmatism. By Äusweciiselii of the wearer against one such, with a larger or smaller one The compensation plate can then easily be 'anastigmata' make smus. - -
Diese Methode der Kompensation ist auch anwendbar, wenn, an Stelle einer stromdurchflossenen Spule axial oder radial magnetisierte Permanentmagnete benutzt werden. Sie ist außerdem auch dann, verwendbar, wenn auch noch außerhalb der Fokussierspule sich ferromagnetische Teile befinden," die- ....This compensation method can also be used if, instead of a coil through which current flows axially or radially magnetized permanent magnets are used. It can also be used, albeit outside of the Focussing coil there are ferromagnetic parts, "the- ....
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■ - 3 F 20 399 ■ - 3 F 20 399
"bei nicht vollkommener magnetischer- Symmetrie elektronenoptisciier Fehler verursachen können,-, wie es der Fall ist, wenn sich in Strahlrichtung an das Fokussiersystem die . Nachfokussierspule und an diese das Ablenkspulensysteni anreihen, die Nachfokussierspule zum Zwecke der Fokussierung des ausgelenkten Strahles und das Al)lenksystem zur Erzeugung der Strahlauslenkung."with imperfect magnetic symmetry electron-optical Can cause errors - as is the case, if the. Refocusing coil and to this the deflection coil system line up the refocusing coil for the purpose of focusing of the deflected beam and the Al) steering system for Generation of the beam deflection.
Im folgenden wird die Neuerung anhand der Figuren 1 und 2 näher erläutert. Figur 1 zeigt schematisch ein "derartiges Ablenksystem, mit Fokus sier sy stein und der erfindungsgemäßen Korrektur des Anastigmat!smus im Querschnitt, Figur 2 ein derartiges System in der Aufsieht mit einer etwas anderen-Konstruktion. ■■ "The innovation is described below with reference to FIGS. 1 and 2 explained in more detail. Figure 1 shows schematically a "such a deflection system, with focus sier system stone and the inventive Correction of the anastigmatism in cross section, FIG. 2 such a system in the eye with a slightly different construction. ■■ "
In Figur i stellt I das-Ablenksystem mit den Ablenkspulen 1 und deia ringförmigen Exaftschluß 2 aus Ferrit dar. Mit II ist das Nachfokussiersystem "bezeichnet, durch.welches in bekannter Weise Auflösungsfehler am Rande des Bildes unterdruckt werden.- Es umfasst die Spule 3, den Kraftlinienschluß 5 aus Ferrit und die Abschirmscheibe 4 aus Aluminium zur- Verhinderung eines Übergriffs des Nachfokussierfeldes in das Ablenkfeld. . _ - .In Figure i, I represents the deflection system with the deflection coils 1 and the ring-shaped Exaftschluss 2 made of ferrite. With II the refocusing system "is designated by which in known way, resolution errors at the edge of the image are suppressed. It includes the coil 3, the power line closure 5 made of ferrite and the shielding disk 4 made of aluminum to prevent an encroachment of the refocusing field into the deflection field. . _ -.
III stellt das Hauptfokus-siersystem mit der Spule 6 und der Abschirmung 7 dar. Innerhalb der Spule 6 befindet sich der ferromagnetische -".Körper 9-, der auf dem nicht ferromagnetischen Träger 8 befestigt ist und sich von außen mittels der Seheibe 10-auf einem inneren Umfang der Fokussierspule bewegen läßt. Der Pfeil am unteren Ende der Spule 6 deutet die Elektronenstrahls ichtung an. - " . ■ "III represents the main focusing system with the coil 6 and the shield 7. Inside the coil 6 is the ferromagnetic body 9, which is attached to the non-ferromagnetic carrier 8 and is located from the outside by means of the viewing disk 10 an inner circumference of the focusing coil. The arrow at the lower end of the coil 6 indicates the electron beam direction. ■ "
Alle ferromagnetischen. Teile I bis XII sind rotationssymmetrisch aufgebaut» Unvermeidliche Unsymmetrien werden resultierend durch das bewegbare .ferromagnetische Teil 9 kompensiert.All ferromagnetic. Parts I to XII are rotationally symmetrical built up »Unavoidable asymmetries will result through the movable ferromagnetic part 9 compensated.
F 20 399F 20 399
In Figur 2 ist I wMerum das AIjlenksystem, II das Nachfokussiersystem bind III das Hauptfokussiersystem. Zum Unterschied gegenüber Figur 1-ist die Scheibe 10, mit Hilfe derer die. Lage des ferr©magnetischen Körpers im Innern der Fokussierspule verändert wird, am unteren Ende der Spule, welche dem Ablenksystem I abgewendet ist, angeordnet. ■ "In Figure 2, I wMerum is the steering system, II is the refocusing system bind III the main focusing system. To the The difference compared to FIG. 1 is the disk 10, with Help those who. Position of the ferr © magnetic body inside the focusing coil is changed, at the bottom The end of the coil which faces away from the deflection system I is arranged. ■ "
Die Kompensationsmetliode läßt sich auch anwenden, wenn Fokussierield und Ablenkfeld sich durchdringen, wie es z.B. bei Orthikon.- und Vidikonsystemen der Fall ist.The Kompensationsmetliode can also be used if Focusing field and deflection field interpenetrate like it E.g. this is the case with orthicon. and vidicon systems.
Claims (2)
Priority Applications (1)
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DE1862885U true DE1862885U (en) | 1962-11-29 |
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Family Applications (1)
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DEF20399U Expired DE1862885U (en) | 1961-06-13 | 1961-06-13 | ANASTIGMATIC FOCUSING SYSTEM. |
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DE (1) | DE1862885U (en) |
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1961
- 1961-06-13 DE DEF20399U patent/DE1862885U/en not_active Expired
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