DE1804912A1 - Slide and electrode for changeable thin-layer slide resistance - Google Patents

Slide and electrode for changeable thin-layer slide resistance

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DE1804912A1
DE1804912A1 DE19681804912 DE1804912A DE1804912A1 DE 1804912 A1 DE1804912 A1 DE 1804912A1 DE 19681804912 DE19681804912 DE 19681804912 DE 1804912 A DE1804912 A DE 1804912A DE 1804912 A1 DE1804912 A1 DE 1804912A1
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electrodes
resistance
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DE19681804912
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Tatsuo Fujii
Yutaka Watano
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Nikon Corp
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Nippon Kogaku KK
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C10/00Adjustable resistors
    • H01C10/46Arrangements of fixed resistors with intervening connectors, e.g. taps

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Adjustable Resistors (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)

Description

Case 72Case 72

Mippon Xogaku ICK.Mippon Xogaku ICK.

7, 1-chome Nihonbashi-dohri, Chuo-lcu7, 1-chome Nihonbashi-dohri, Chuo-lcu

Tokyo / JapanTokyo / Japan

Schieber und Elektrode für veränderbaren Dünnschicht· SchiebewiderstandSlider and electrode for changeable thin film Sliding resistance

Die Erfindung bezieht sich auf einen veränderbaren Schiebewiderstand für Meßinstrumente, insbesondere betrifft die Erfindung den Aufbau eines Schiebers und von Abzapfelektroden, aus denen sich der Widerstand zusammensetzt und die die Schicht für niedrige Widerstandswerte eines veränderbaren Dünnschichtwiderstands für Meßinstrumente bilden, wobei die Änderungen des Widerstandswerts als ideal stufenweise verlaufende Änderungen ausgeführt sind und die stetige Änderung der Widerstandswerte in Stufen beibehalten werden kann, wenn die Anzahl der Gleitbewegungen erhöht wird·The invention relates to a variable sliding resistor for measuring instruments, in particular the invention relates to the construction of a slide and tapping electrodes, from which the resistance is composed and which the layer for low resistance values of a changeable Forming thin-film resistance for measuring instruments, the changes in the resistance value as ideally gradual Changes have been made and the steady change in the resistance values in steps can be maintained if the Number of sliding movements is increased

Entsprechend den üblichen Anzapfelektroden und dem Schieber bei einem Dünnschicht-Schiebewiderstand für Meßinstrumente ändert sich der Widerstandswert vorübergehend, wenn der Schieber die Elektrode an der Seite hohen Widerstands berührt oder sich von ihr abhebt.Corresponding to the usual tap electrodes and the slide in the case of a thin-film slide resistor for measuring instruments, the resistance value changes temporarily when the slide touches or contrasts with the electrode on the high resistance side.

Die Erfindung beseitigt diese Nachteile und gestattet dieThe invention eliminates these disadvantages and allows

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Einstellung eines stabilen Widerstandswerts,Setting a stable resistance value,

Die Erfindung wird in ihren Einzelheiten nachstehend an Hand eines Ausführungsbeispiels beschrieben und durch Zeichnungen erläutert, in denen folgendes dargestellt ist:The invention is described in detail below using an exemplary embodiment and through drawings in which the following is shown:

in Fig. leine Draufsicht auf eine Ausftihrungsform der Erfindung mit der Darstellung einer Elektrode;in Fig. L is a plan view of an embodiment of the invention with the representation of an electrode;

in Fig·2 Draufsicht und Seitenansicht einer Ausführung»form der Erfindung ait finer Darstellung tints Schieber» teilt;in Fig. 2 top and side views of an embodiment »form the invention ait finer representation tints slide »divides;

in Pig.J bis 7 Bilde? von Schnitten durch Schieberteile üblicher Bauart.in Pig. J to 7 pictures? of cuts through slide parts more common Design type.

Mit im Fig. 3 bis 7 sollen zunächst konventionelle Ausführungen von Anzapfelektroden und Schiebern eines veränderbaren Dünnschicht-Schiebewiderstands für Meßinstrumente gezeigt v/erden.With the Figs. 3 to 7 first conventional versions are shown of a variable thin-film slide resistance for measuring instruments of Anzapfelektroden and slides v / ground.

In den Fig» 3-7 ist eine Grundplatte IO mit Anzapfelektroden 9 und einem Schieber 8 gezeichnet. Die Anzapfelektrode 9 ist auf der Grundplatte 10 durch Zerstäuben oder mit anderen Techniken erzeugt. Der Schieber 8 wird längs einer nicht gezeichneten Führung über die Anzapfelektroden 9 geführt. Die Breite der gleitenden Fläche des Schiebers ist so bemessen, daß sie in jeder Stellung mit mehr als zwei benachbarten Anzapfelektroden Kontakt hat· Mit zunehmender Zahl von* Gleitbewegungen zeigen die Gleitfläche des Schiebers und die Gleitflächen der Anzapfelektroden Vlrschleißerscheinungen,, und die ursprünglich rechteckige Form der Elektroden wird zu der in Fig. 4 gezeich-V neten Form abgerundet* Dauer erhalten die Gleitfläche des Schiebers und die Gleitfläch© der Anzapfelektrode Kontakt über zwei Anzapfelektroden in der in Fig. 4 gezeichneten Stellung^ wenn jedoch der Verschleiß an den Gleitflächen zunimmt (Fig.5), entstehen Kontaktberührungen mit nur einer Anzapf elektrode,,In FIGS. 3-7 there is a base plate IO with tap electrodes 9 and a slide 8 drawn. The tapping electrode 9 is generated on the base plate 10 by sputtering or other techniques. The slide 8 is along a not shown Lead over the tap electrodes 9 out. The width the sliding surface of the slide is dimensioned so that it can be used in any position with more than two adjacent tapping electrodes Has contact · Show sliding movements as the number of * increases the sliding surface of the slide and the sliding surfaces of the Tapping electrodes wear and tear, and the original The rectangular shape of the electrodes is rounded off to the shape shown in FIG. 4 * Duration preserves the sliding surface of the slide and the sliding surface © of the tapping electrode make contact two tapping electrodes in the position shown in Fig. 4 ^ However, if the wear on the sliding surfaces increases (Fig. 5), there is contact with only one tapping electrode,

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oder der durch Verschleiß konvex geformte Teil des Schiebers berührt die Grundplatte und erhält keinen Kontakt mit den Anzapfelektroden (Fig. 6), wodurch relativ bald üngleichmässigkeiten bei der Änderung der Widerstandswerte eintreten. Insbesondere falls der Schieber mehr als drei Anzapfelektroden berührt (Fig. 7), werden die oben erwähnte Stellung und die Zwischenräume frühzeitiger hervorgerufen. Wenn andererseits die Elektrode einen Widerstand hat, ist es erforderlich, einen derartigen Aufbau zu wählen, daß mehr als zwei oder so viele Elektroden wie möglich, nämlich mehr als drei Elektroden gleichzeitig von dem Schieber berührt werden. Andernfalls treten Erscheinungen auf wie die, daß der Widerstandswert sich zeitweise erhöht, wenn der Schieber in Richtung abnehmenden Widerstandsvrerts bewegt wird, und der Widers tandswert sich zeitweise vermindert, wenn der Schieber in Richtung zunehmenden Widerstandswerts bewegt wird, wenn der Schieber die Elektrode an der Seite höheren Widerstands berührt oder sich von ihr abhebt. ·or the part of the slide, which is convexly shaped due to wear, touches the base plate and does not come into contact with the tapping electrodes (Fig. 6), as a result of which irregularities occur relatively soon in the change in the resistance values. In particular if the slide has more than three tap electrodes touched (Fig. 7), the above-mentioned position and the spaces are created earlier. On the other hand, if the Electrode has a resistance, it is necessary to choose such a structure that more than two or as many electrodes as possible, namely more than three electrodes are touched by the slide at the same time. Otherwise, appearances occur on how that the resistance value increases temporarily when the slide in the direction of decreasing resistance value is moved, and the resistance value is temporarily reduced when the slide in the direction of increasing resistance value is moved when the slide touches or lifts off the electrode on the side of higher resistance. ·

Das Ziel der Erfindung ist darin zu sehen, daß für den Schieber und die Elektrode für Heßinstrumente ein Aufbau angegeben wird, mit dem es möglich ist, die gleichmässige stufenweise Änderung des Widerstandswerts beizubehalten, unabhängig von dem Anwachsen der Zahl der Gleitbewegungen, und der geeignet ist zur Herbeiführung der ideal stufenartigen Änderung im Hinblick auf die Änderung des WiderStandswerts, so daß ein besserer Aufbau eines Widerstands erreichbar ist.The aim of the invention is to be seen in the fact that a structure is provided for the slide and the electrode for heßinstruments with which it is possible to maintain the smooth, gradual change in the resistance value, regardless of the increase in the number of sliding movements, and which is suitable for bringing about the ideal step-like change in view on changing the resistance value, so that a better one Building a resistance is achievable.

Erfindungsgemäß kann die Änderung des Widerstandswerts des veränderbaren Dünnschicht-Schiebewiderstands für Meßinstrumente, insbesondere die Änderung des Widerstandswerts des Schiebers und der Anzapfelektrode, die Widerstandsschicht mit niedrigerem Widerstandswert bildet, ideal stufenweise verlaufen, ohne daß der Widerstandswert sich vorübergehend erhöht, wenn der Schieber in Richtung verminderten Widerstandswerts läuft, oder sich vorübergehend erniedrigt, wenn der Schieber in Richtung erhöhten Widerstandswerts bewegt wird; gleichzeitig ist es mög-According to the invention, the change in the resistance value of the changeable Thin-film slide resistor for measuring instruments, especially the change in the resistance value of the slide and the tapping electrode, the lower resistance layer Resistance value forms, ideally run in steps without the resistance value increasing temporarily when the slide runs in the direction of the decreased resistance value, or decreases temporarily when the slide increased in the direction Resistance value is moved; at the same time it is possible

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BADORiGiNAl.BADORiGiNAl.

tuch bei stmthiMnder Aniahl von Schieberbewegungen die stabil· Stufenweise Änderung des Widerstandswerts für «ine lang· Zeltspanne aufrechtzuerhalten, und die erfindungsgemässen Elektroden lassen sich ohne Erhöhung der Herstellungskosten fabrizieren« It is possible to maintain the stable, gradual change in the resistance value for a long period of time when the slide movements are constant, and the electrodes according to the invention can be manufactured without increasing the manufacturing costs.

Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß in einem Schieber und einer Anzapfelektrode aus der Widerstandsschicht zur Bildung einer Schicht mit geringem Widerstand in einem veränderbaren Dünnschichtwiderstand für Meßinstrumente, wobei der Kontakt des Schiebers als schmaler Kontakt ausgebildet ist und eine grosse Zahl von Schieberkontakten parallel zueinander ausgerichtet sind, die Anzapfelektroden parallel innerhalb der Bahn des Schiebers angeordnet sind, daß mindestens eine der beiden Richtungen der Kontaktreihe, die von federn Kontakt des kleinen Kontaktes des Schiebers und der Richtung der Elektrodenreihe gebildet wird, gegen die Senkrechte zur Bewegungsrich-tung des Schiebers geneigt sind, und daß die Richtung der Kontaktreihe und die Richtung der Elektrodenreihe relativ zueinander geneigt sind, so daß jeder der parallel angeordneten kleinen Kontakte 4es Schiebers immer mit mehr als zwei benachbarten Elektroden in Kontakt steht.The invention is characterized in that in a slide and a tapping electrode from the resistance layer for formation a layer of low resistance in a variable thin film resistor for measuring instruments, the contact of the slide is designed as a narrow contact and a large number of slide contacts aligned parallel to one another are, the tapping electrodes are arranged in parallel within the path of the slide that at least one of the both directions of the row of contacts, that of the spring contact of the small contact of the slide and the direction of the row of electrodes is formed, are inclined against the perpendicular to the direction of movement of the slide, and that the direction of the row of contacts and the direction of the electrode row are inclined relative to each other so that each of the arranged in parallel small contacts of 4th slide always with more than two adjacent ones Electrodes is in contact.

Fig. 1 zeigt eine Ausführungsform der Erfindung mit einer Reihe 1 von Kontakten 11 bis 17; 4 und 2 sind Elektrodenteile aus einer Schicht Mit niedrigem Widerstand, und 2 besteht aus den Anzapfelektrodenteilen a bis k; 3 ist eine Schicht mit höherem Widerstand und verbindet alle Elektroden mit einer Schicht höheren Widerstands; 5 ist eine Grundplatte für die Aufnahme der Elektrode und der Widerstandsschicht; die strichpunktierte ■ Linie zeigt die Bahn jedes Kontakts· Bei dieser Ausführungsform wird der Schieber um den Mittelpunkt der Grundplatte herumbewegt} der Schieber besteht aus dem Federmaterial 6, das gemäß Fig» 2 von dem Halteorgan 7 gehalten wird; ein Kreisbogenstück 1 am Ende dar Feder 6 bildet die Reihe der Kontakte 11 bis 17. Die Richtung der Elektroden des Anzapfelektrodenteils von a bis k des Elektrodenteils 2 ist gemäß Fig. 1 schräg zu derFig. 1 shows an embodiment of the invention with one row 1 from contacts 11 to 17; 4 and 2 are electrode members made of a low resistance layer, and 2 is made of the Tapping electrode parts a to k; 3 is a layer with higher resistance and connects all electrodes with one layer higher resistance; 5 is a base plate for receiving the electrode and the resistive layer; the dash-dotted ■ Line shows the trajectory of each contact · In this embodiment the slide is moved around the center of the base plate} the slide consists of the spring material 6 according to FIG Figure 2 is held by the holding member 7; a circular arc 1 at the end of the spring 6 forms the row of contacts 11 to 17. The direction of the electrodes of the tapping electrode part from a to k of the electrode part 2 is, as shown in FIG. 1, oblique to the

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Richtung der Kontaktreihe 1 des Schiebers gestellt.Direction of the contact row 1 of the slide set.

.1.1

Der Neigungswinkel ist so eingestellt, daß jeder beliebige Kontakt 11 bis 17 Kontakt mit mehr als drei benachbarten Elektroden erhalten kann.The angle of inclination is set so that any contact 11 to 17 makes contact with more than three adjacent electrodes can get.

Mit anderen Worten: Wenn diese Kontakte mit den Elektroden zwischen dem Kontakt 17 in Berührung kommen, der am äussersten Ende auf der Seite höherer Widerstandswerte parallel angeordneter Kontakte des Schiebers angeordnet ist, und dem Kontakt 11, der am äussersten Ende auf der Seite niedriger T/iderstandswerte parallel angeordneter Kontakte des Schiebers angeordnet ist, sind drei oder vier Elektroden, einschließlich der von der Position abhängenden Elektroden, vorhanden, und mehr als zwei Kontakte sind immer vorhanden an den benachbarten beiden Elektroden und dem Intervall der genannten Elektroden zwischen den Elektroden 11 und 17, und mindestens ein Kontakt ist vorhanden und wird an jeder der Elektroden berührt.In other words, when these contacts come into contact with the electrodes between the contact 17, the outermost one End on the side of higher resistance values arranged in parallel Contacts of the slide is arranged, and the contact 11, which is at the extreme end on the side of low T / resistance values arranged in parallel contacts of the slide are three or four electrodes, including the position-dependent electrodes, are present, and more than two contacts are always present on the adjacent two Electrodes and the interval of said electrodes between electrodes 11 and 17, and at least one contact is is present and is touched on each of the electrodes.

Der Aufbau der Ausführungsform der Erfindung ist oben angegeben, und wenn daher die Reihe der Kontakte 1 sich in der durch den Pfeil in Fig. 1 angedeuteten Lage befindet, liegen vier Elektroden d, e, f und g bereit zwischen den Kontakten 11 und 17, und vier Kontakte 11, 12, 13 und 14 liegen zwischen den Elektroden d bis e, und die vier Kontakte 13, 14, 15 und 16 liegen zwischen den Elektroden e bis f, und die drei Kontakte 15, 16 und 17 liegen zwischen den Elektroden f bis g. Wie aus Oben·· gesagtem hervorgeht, steht jeder Kontakt 11 bis 17 in Berührung mit mindestens drei Elektroden, und mindestens zwei Kontakte sind an den benachbarten Elektroden vorhanden und in den Intervallen der genannten Elektroden in beliebiger Stellung des Schiebers, Was die Änderungen des Widerstandswerts zwischen der Elektrode 4 und dem Schieber betrifft, so wird dir Kontakt 17, wenn die Reihe der Kontakte die in Fig. 1 durch den Pfeil bezeicn· netc Stellung einnimmt, auf der Seite hoher WiderstandswerteThe structure of the embodiment of the invention is indicated above, and therefore when the row of contacts 1 is in the position indicated by the arrow in Fig. 1, four electrodes d, e, f and g are ready between the contacts 11 and 17, and four contacts 11, 12, 13 and 14 are between the electrodes d to e, and the four contacts 13, 14, 15 and 16 are between the electrodes e to f, and the three contacts 15, 16 and 17 are between the electrodes f to g. As can be seen from the above, each contact 11 to 17 is in contact with at least three electrodes, and at least two contacts are present on the adjacent electrodes and at the intervals of said electrodes in any position of the slide, as regards the changes in the resistance value between the electrode 4 and the slide concerned, you will contact 17 when the row of the contacts which occupies in Fig. 1 by the arrow bezeicn · netc position high on the side of the resistance values

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mit der Elektrode g verbunden oder von ihr getrennt, um die Änderungen des Widerstandswerts zu beeinflussen, aber der Widerstandswert der Elektrode 2 ist wesentlich niedriger als derjenige der Widerstandsschicht 3, und die Änderungen des Widerstandswerts bei dieser Ausbildung des Erfindungsgegenstandes können ausser acht gelassen werden, selbst wenn die Elektrode 2 aus einer Widerstandsschicht bestehen sollte, die vollständig unignorierbare Widerstandswerte aufweist.connected to or disconnected from electrode g to reflect the changes of the resistance value, but the resistance value of the electrode 2 is much lower than that of the resistance layer 3, and the changes in the resistance value in this embodiment of the subject invention can be disregarded even if the electrode 2 should consist of a resistive layer that is completely has unignantable resistance values.

Es braucht nicht gesondert erwähnt zu werden, daß der Aufbau, bei dem einige dieser Kontakte mindestens drei Elektroden berühren und mindestens zwei Kontakte an den benachbarten Elektroden und dem Intervall dieser Elektroden, beibehalten wird, auch vienn jeder der Kontakte 11 bis 17 der Einrichtung, wie sie in Fig. 1 gezeichnet ist, in Richtung der Elektroden bewegt werden und in dieser Stellung vorgesehen sind.Needless to say, the structure in which some of these contacts touch at least three electrodes and at least two contacts on the adjacent electrodes and the interval of these electrodes, is maintained, also vienn each of the contacts 11 to 17 of the facility, such as it is drawn in Fig. 1, are moved in the direction of the electrodes and are provided in this position.

Wird die Elektrode,» wiesle in der Aus führungs form der Erfindung angegeben ist, durch Vakuimaufdampfung, Zerstäuben oder litzen erzeugt, hat die Betriebsdauer keine Beziehung zu der Gestalt der zu formenden Elektrode, und es ist daher möglich, die Elektroden herzustellen, ohne di© Herstellungsmethode zu belasten.If the electrode, »wiesle in the embodiment of the invention is indicated by vacuum vapor deposition, sputtering or stranding generated, the service life has no relation to the shape of the electrode to be formed, and it is therefore possible to use the electrodes without burdening the manufacturing method.

P at©κt aasBruch: P at © κt aasBruch :

909628/1043 bad original909628/1043 bad original

Claims (1)

16049111604911 -y--y- Patentan spruch :Patent claim: Schieber und Elektrode für veränderbaren Dünnichicht-Schiebewiderstand für Meßinstrumente, mit Kontakten «wischen einem Schieber und einer Anzapfelektrode, gekennzeichnet durch eine Widerstandsschient (3), die eine Schicht mit geringerem Widerstand bilden kann, wobei die Kontaktgabe an den Schieber durch kleine Kontakte (11 - 17) erfolgt, die in grosser Zahl an dem Schieber parallel angeordnet sind, und wobei die Richtung der Kontaktreihe (1) und die Richtung der Elektrode der Elektrodenreihe, die parallel in der Bahn des Schiebers angeordnet ist, gegeneinander geneigt sind und wobei schließlich jeder beliebige der parallel angeordneten kleinen Kontakte des Schieber« ständig mit mehr als zwei Elektroden der benachbarten Elektroden in Berührung stehen kann. *Slider and electrode for changeable thin non-sliding resistance for measuring instruments, with contacts between a slide and a tapping electrode, indicated by a Resistance rail (3), which has a lower resistance layer can form, the contact being made to the slide by small contacts (11-17), which in large numbers on the Slides are arranged in parallel, and where the direction of the contact row (1) and the direction of the electrode of the electrode row, which is arranged parallel in the path of the slide, are inclined towards one another and finally any one the parallel arranged small contacts of the slide «constantly with more than two electrodes of the neighboring electrodes can be in contact. * 909825/1043909825/1043 BAD ORIGINALBATH ORIGINAL
DE19681804912 1967-10-24 1968-10-24 Slide and electrode for changeable thin-layer slide resistance Pending DE1804912A1 (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2539375A1 (en) * 1975-09-04 1977-03-10 Hannelore Burkart DEVICE FOR INTERCHANGEABLE HOLDING OF ORNAMENTAL OR USE OBJECTS OR THE DIGITAL. ON A PAD
DE2715475A1 (en) * 1976-04-08 1977-10-13 Canon Kk CHANGEABLE RESISTANCE
DE3905569A1 (en) * 1989-02-23 1990-08-30 Wolfgang Kuebler Measuring conductor

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