DE1802768B2 - PIEZOELECTRIC CERAMIC FABRIC - Google Patents

PIEZOELECTRIC CERAMIC FABRIC

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DE1802768B2 DE19681802768 DE1802768A DE1802768B2 DE 1802768 B2 DE1802768 B2 DE 1802768B2 DE 19681802768 DE19681802768 DE 19681802768 DE 1802768 A DE1802768 A DE 1802768A DE 1802768 B2 DE1802768 B2 DE 1802768B2
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Description

Die Erfindung bezieht sich auf piezoelektrische Keramikstoffe, die Für bestimmte Anwendungsgebiete hervorragende Eigenschaften aufweisen.The invention relates to piezoelectric ceramics, which for certain areas of application have excellent properties.

Eines der typischen Anwendungsgebiete für piezoelektrische Stoffe ist die Herstellung von Wandlern für das Senden und Empfangen von Ultraschallwellen. In diesem Falle stellt der elektromechanische Kopplungsfaktor die wichtigste Größe zur praktischen Bewertung der zu verwendenden piezoelektrischen Stoffe dar. Der elektromechanische Kopplungsfaktor ist ein Maß für den Wirkungsgrad der Umwandlung elektrischer Schwingungen in mechanische Schwingungen und umgekehrt; ein größerer Wert des elektromechanischen Kopplungsfaktors entspricht einem besseren Umwandlungswirkungsgrad, was bei piezoelektrischen Stoffen für Wandler erwünscht ist. Piezoelektrische Stoffe besitzen weitere Kenngrößen, z. B. den dielektrischen Verlust, die Dielektrizitätskonstante und den mechanischen Gütewert, die zu ihrer Bewertung herangezogen werden. Piezoelektrische Stoffe für Wandler sollen einen möglichst kleinen dielektrischen Verlust und je nach der elektrischen Belastung einen großen oder einen kleinen Wert der Dielektrizitätskonstante haben. Der mechanische Gütewert, der das reziproke Maß für die in dem Stoff während der Energieumwandlung verbrauchte Energie darstellt, ist in diesem Falle nicht so bedeutsam.One of the typical areas of application for piezoelectric materials is the manufacture of transducers for the sending and receiving of ultrasonic waves. In this case, the electromechanical coupling factor the most important variable for the practical evaluation of the piezoelectric materials to be used The electromechanical coupling factor is a measure of the efficiency of the conversion of electrical Vibrations into mechanical vibrations and vice versa; a greater value of the electromechanical Coupling factor corresponds to a better conversion efficiency, what with piezoelectric Substances for transducers is desirable. Piezoelectric substances have other parameters, e.g. B. the dielectric loss, the dielectric constant and the mechanical quality value that are used to evaluate them can be used. Piezoelectric materials for converters should have a dielectric that is as small as possible Loss and, depending on the electrical load, a large or a small value of the dielectric constant to have. The mechanical quality value, which is the reciprocal measure of the in the substance during the Energy conversion represents energy consumed, is not so significant in this case.

Die genannten Zusammenhänge sind z. B. in folgenden Arbeiten beschrieben: D. B e r 1 i η c ο u r t u. a., »Transducer Properties of Lead Titanate Zirconate Ceramics«, in Ire Transactions on Ultrasonic Engineering, Februar 1960, S. 1 bis 6, und R. C. V. M a c a r i ο, »Design Data for Band-Pass Ladder Filters Employing Ceramic Resonators«, Electronic Engineering, Bd. 33, Nr. 3 (1916), S. 171 bis 177. Es hat sich oft gezeigt, daß herkömmliche piezoelektrische Keramikstoffe, z. B. Bariumtitanat (BaTiO3) und Blei-Titanat-Zirkonat Pb(Ti ■ Zr)O3, einen kleinen elektromechanischen Kopplungsfaktor haben und für eine praktische Anwendung ungeeignet sind. Verbesserungen der Kenngrößen sind nur durch Einbau verschiedener Zusatzstoffe vorgenommen worden.The relationships mentioned are z. B. described in the following works: D. B er 1 i η c ο urt et al., "Transducer Properties of Lead Titanate Zirconate Ceramics", in Ire Transactions on Ultrasonic Engineering, February 1960, pp. 1 to 6, and RCV M acari ο , "Design Data for Band-Pass Ladder Filters Employing Ceramic Resonators," Electronic Engineering, Vol. 33, No. 3 (1916), pp. 171-177. It has often been found that conventional piezoelectric ceramics, e.g. B. barium titanate (BaTiO 3 ) and lead titanate zirconate Pb (Ti ■ Zr) O 3 , have a small electromechanical coupling factor and are unsuitable for practical use. Improvements in the parameters have only been made by incorporating various additives.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen piezoelektrischen Keramikstoff zu schaffen, der einen großen elektromechanischen Kopplungsfaktor aufweist.The invention is therefore based on the object to provide a piezoelectric ceramic material that has a large electromechanical coupling factor.

Dieser neue Stoff soll für spezielle Anwendungsfälle wie die Herstellung von Wandlern für Ultraschallsender und -empfänger besonders geeignet sein.This new substance is intended for special applications such as the manufacture of transducers for ultrasonic transmitters and receivers are particularly suitable.

Der piezoelektrische Keramikstoff nach der Erfindung besteht im wesentlichen aus einer festen Lösung des quaternärenThe piezoelectric ceramic according to the invention consists essentially of a solid solution of the quaternary

(Ag|/2Bi1/2)TiO3-(Agl/2Bi1/2)ZrO3-PbTiO3-(A g | / 2 Bi 1/2 ) TiO 3 - (A gl / 2 Bi 1/2 ) ZrO 3 -PbTiO 3 -

PbZrO3-SystemsPbZrO 3 system

in ihm sind bis zu 25 Atomprozent Blei durch mindestens ein Element aus der Gruppe Barium, Strontium und Kalzium ersetzbar bzw. ersetzt.it contains up to 25 atomic percent lead through at least one element from the group barium, strontium and calcium replaceable or replaced.

Dieser Stoff enthält Blei (Pb) als zweiwertiges metallisches Element, Titan (Ti) und Zirkon (Zr) als vierwertige metallische Elemente und auch Silber (Ag) und Wismut (Bi) in solchen Anteilen, daß er, als ganzes, als einem zweiwertigen metallischen Element äquivalent angesehen werden kann.This substance contains lead (Pb) as a divalent metallic element, titanium (Ti) and zirconium (Zr) as a tetravalent metallic elements and also silver (Ag) and bismuth (Bi) in such proportions that it, as a whole, as can be regarded as equivalent to a divalent metallic element.

In Weiterbildung der Erfindung ist der oben gekennzeichnete piezoelektrische Keramikstoff im wesentlichen nach der FormelIn a further development of the invention, the piezoelectric ceramic material identified above is essentially according to the formula

[(Ag1Z2Bi1Z2)TiO3], [(Ag1Z2Bi1Z2) ZrO3],, [PbTiO3], [PbZrO3]M [(Ag 1 Z 2 Bi 1 Z 2 ) TiO 3 ], [(Ag 1 Z 2 Bi 1 Z 2 ) ZrO 3 ] ,, [PbTiO 3 ], [PbZrO 3 ] M

in der t, u, ν und w die Molverhältnisse angeben und der Bedingungin which t, u, ν and w indicate the molar ratios and the condition

t + u + υ + w = 1,00 t + u + υ + w = 1.00

genügen, zusammengesetzt, und seine spezifischen Koordinaten liegen in einem Diagramm mit den Koordinatensuffice, composed, and its specific coordinates are in a diagram with the Coordinates

α = t/(t + v) = ul(u + w) β = t/{t + u) = v/(v + w), α = t / (t + v) = ul (u + w) β = t / {t + u) = v / (v + w),

die also das Verhältnis von (Ag1/2Bi1/2) zu (Ag1/2Bi1/2) + Pb bzw. von Ti zu Ti + Zr darstellen, innerhalb eines Vieleckeswhich represent the ratio of (Ag 1/2 Bi 1/2 ) to (Ag 1/2 Bi 1/2 ) + Pb or from Ti to Ti + Zr, within a polygon

Die ausgezeichneten piezoelektrischen Eigenschaften des nach der Erfindung zusammengesetzten Keramikstoffes gehen aus der nachfolgenden, genaueren Beschreibung von bevorzugten Ausführungsbeispielen für einen Keramikstoff nach der Erfindung hervor, die durch die Zeichnungen unterstützt wird.The excellent piezoelectric properties of the composite ceramic according to the invention proceed from the following, more detailed description of preferred exemplary embodiments for a ceramic material according to the invention, which is supported by the drawings.

F i g. 1 ist ein Zusammensetzungsdiagramm, das den wirksamen Gesamtbereich von Zusammensetzungen für den Keramikstoff nach der Erfindung und den Bereich der besonderen Zusammensetzungen nach den Beispielen zeigt;F i g. 1 is a composition diagram showing the total effective range of compositions for the ceramic according to the invention and the range of particular compositions according to shows the examples;

F i g. 2 ist ein Diagramm, das den elektromechanischen Koppelungsfaktor des üblichen Blei-Titanat-Zirkonat-Keramikstoffes und des Keramikstoffes nach der Erfindung als Funktion von β zeigt;F i g. Fig. 2 is a graph showing the electromechanical coupling factor of the conventional lead-titanate-zirconate ceramic and the ceramic of the invention as a function of β ;

F i g. 3 ist ein Phasendiagramm von Zusammensetzungen für einen Keramikstoff nach der Erfindung.F i g. Figure 3 is a phase diagram of compositions for a ceramic according to the invention.

A-B-C-D-E-F-G-HA-B-C-D-E-F-G-H 0,550.55 lenlen EckpunktskoordinatenCorner point coordinates 0,100.10 AA. ... 0,01... 0.01 0,050.05 BB. ... 0,01... 0.01 0,050.05 CC. ... 0,05... 0.05 0,300.30 DD. ... 0,10... 0.10 0,480.48 EE. ... 0,20... 0.20 0,700.70 FF. ... 0,20... 0.20 0,700.70 GG ... 0,10... 0.10 HH ... 0,05... 0.05

BeispieleExamples

Soweit es nicht anders angegeben ist, dienten als Ausgangsmaterialien für den Keramikstoff nach der Erfindung gepulvertes Silberoxyd (Ag2O), Wismutsesquioxyd (Bi2O3), Bleimonoxyd (PbO), Titandioxyd (TiO2) und Zirkondioxyd (ZrO2). Diese gepulverten Materialien wurden so eingewogen, daß die daraus hervorgehenden Stoffproben die in der Tabelle 1 aufgeführten Zusammensetzungen haben. WeiterhinUnless otherwise stated, the starting materials used for the ceramic according to the invention were powdered silver oxide (Ag 2 O), bismuth sesquioxide (Bi 2 O 3 ), lead monoxide (PbO), titanium dioxide (TiO 2 ) and zirconium dioxide (ZrO 2 ). These powdered materials were weighed in such that the fabric samples obtained therefrom have the compositions listed in Table 1. Farther

wurde Bleimonoxydpulver, Titandioxydpulver und Zirkondioxydpulvcr so eingewogen, daß sich übliche Blei-Titan-Zirkon-Keramikstoffe von Zusammensetzungen ergaben, die aus der Tabelle 2 hervorgehen.lead monoxide powder, titanium dioxide powder and zirconium dioxide powder were weighed in so that the usual Lead-Titanium-Zirconia Ceramics of Compositions resulted, which emerge from Table 2.

Die Pulver wurden in einer Kugelmühle mit destilliertem Wasser gemischt. Die Pulvermischung wurde gefiltert, getrocknet, zermahlen, dann 1 Stunde lang bei 900° C vorgesintert und schließlich erneut zermahlen. Daraufhin wurden die Mischungen unter Zusatz einer kleinen Menge destillierten Wassers bei einem Druck von 700 kg/cm2 zu Scheiben von 20 mm Durchmesser gepreßt und 1 Stunde lang bei Temperaturen von 1,250 bis 1,3000C in einer Atmosphäre von Bleioxyd (PbO) gesintert.The powders were mixed with distilled water in a ball mill. The powder mixture was filtered, dried, ground, then presintered for 1 hour at 900 ° C and finally ground again. Subsequently, the mixtures were the addition of a small amount of distilled water at a pressure of 700 kg / cm 2 pressed into disks of 20 mm in diameter and sintered at temperatures from 1.250 to 1.300 0 C in an atmosphere of lead oxide (PbO) for 1 hour.

Die so entstandenen Keramikscheiben wurden beidseitig auf eine Dicke von 1 mm abgeschliffen, an beiden Oberflächen mit Silberelektroden versehen und darauf durch 1 stündige Polarisationsbehandlung bei 100°C oder bei Zimmertemperatur unter Anlegung eines elektrischen Glcichfcldes von 40 bis 30 kV/cm piezoelektrisch aktiviert.The ceramic disks produced in this way were ground to a thickness of 1 mm on both sides, on both Surfaces provided with silver electrodes and then polarized for 1 hour at 100 ° C or at room temperature with the application of an electrical equilibrium of 40 to 30 kV / cm piezoelectric activated.

Nach einer Standzeit von 24 Stunden wurden der elektromechanischc Kopplungsfaktor^,) für den radialen Schwingungsmodus und der mechanische Gütefaktor (Qm) zur Bestimmung der piezoelektrischen Aktivität gemessen. Die Messung dieser piezoelektrischen Kenngrößen erfolgte in der Ire-Standardschaltung. Der fcr-Wert wurde auf Grund der Resonanz-Antiresonanz-Frequenzmcthode ermittelt. Bei einer Frequenz von 1 KHz wurden auch die Dielektrizitätskonstante und die dielektrischen Verluste (tan Λ) gemessen. After a standing time of 24 hours, the electromechanical coupling factor ^,) for the radial vibration mode and the mechanical quality factor (Q m ) to determine the piezoelectric activity were measured. These piezoelectric parameters were measured in the Ire standard circuit. The fc r value was determined on the basis of the resonance-antiresonance frequency method. At a frequency of 1 KHz, the dielectric constant and the dielectric losses (tan Λ) were also measured.

Die Tabellen 1 und 2 zeigen typische McßresulUite. Die Proben sind in den Tabellen nach abfallenden Werten für β geordnet. In einigen Fällen ist die Curietemperatur angegeben, die durch Messung des Temperaturganges der Dielektrizitätskonstanten (/) bestimmt wurde. Die neuen Zusammensetzungen nach Tabelle 1 sind in der F i g. 1 durch Punkte markiert, die üblichen Zusammensetzungen nach Tabelle 2 durch Kreuze.Tables 1 and 2 show typical results. The samples are arranged in the tables according to decreasing values for β . In some cases the Curie temperature is given, which was determined by measuring the temperature profile of the dielectric constant (/). The new compositions according to Table 1 are shown in FIG. 1 marked by dots, the usual compositions according to Table 2 by crosses.

Ein Vergleich der Meßwerte für die Proben 5 und 6 der Tabelle 1 mit denen für die Probe 4 nach Tabelle 2 zeigt, daß die größten /cr-Werte der neuen Keramik-Stoffe nach dieser Erfindung weit über dem maximalen /cr-Werte für die üblichen Blci-Titan-Zirkon-Keramikstoffe liegen, die bisher als die besten piezoelektrischen Keramikstoffe angesehen wurden. Auch ein Vergleich der Meßwerte für die Proben der Tabelle 1 mit denjenigen für die Proben der Tabelle 2, insbesondere zwischen dem neuen und den bekannten Keramikstoffen, bei denen die //-Werte gleich oder doch einander ähnlich sind, zeigt, daß die Keramikstoffe nach der Erfindung eine erhebliche Verbesserung des /cr-Wertes aufweisen. Dies ist noch deutlicher aus F i g. 2 erkennbar, wo die dick ausgezogene Kurve die /cr-Werte der Keramikstoffe nach der Erfindung mit einem festen α-Wert von 0,05 in Abhängigkeit von dem //-Wert angibt, wohingegen die dünn ausgezogene Kurve die kr-Werte bekannter Blei-Titanat-Zirkonat-Keramikstoffe in Abhängigkeit von den //-Werten darstellt. A comparison of the measured values for samples 5 and 6 in Table 1 with those for sample 4 in Table 2 shows that the largest / c r values of the new ceramic materials according to this invention are well above the maximum / c r values for the usual Blci-titanium-zirconium ceramics, which were previously considered to be the best piezoelectric ceramics. A comparison of the measured values for the samples in Table 1 with those for the samples in Table 2, in particular between the new and the known ceramic materials in which the // values are the same or similar to one another, shows that the ceramic materials according to the Invention have a significant improvement in the / c r value. This is even clearer from FIG. 2, where the bold curve indicates the / c r values of the ceramic materials according to the invention with a fixed α value of 0.05 as a function of the // value, whereas the thin curve indicates the k r values more known Lead titanate zirconate ceramic materials depending on the // values.

Die Erfindung liefert somit hervorragend brauchbare piezoelektrische Keramikstoffe mit hoher piezoelektrischer Aktivität. Nach der Erfindung ist die hohe piezoelektrische Aktivität vorhanden, wenn die Zusammensetzungen innerhalb des durch die Punkte A, B, C, D, E, F, G, H markierten vieleckigen Flächenbereiches der F i g. 1 liegen.The invention thus provides extremely useful piezoelectric ceramics with high piezoelectric activity. According to the invention, the high piezoelectric activity is present when the compositions g within the area marked by points A, B, C, D, E, F, G, H polygonal surface area of F i. 1 lie.

Die genannten Eckpunkte des Vielecks haben folgende Wcrlepaare für « und ß: The above-mentioned corner points of the polygon have the following pairs for and :

A ...A ... 0,010.01 0,550.55 B ...B ... 0,010.01 0,100.10 C ...C ... 0,050.05 0,050.05 D ...D ... 0,100.10 0,050.05 E ...E ... 0,200.20 0,300.30 F ...F ... 0,200.20 0,480.48 G ...G ... 0,100.10 0,700.70 H ...H ... 0,050.05 0,700.70

Wenn α kleiner ist, als es dem angegebenen Bereich entspricht, so sind die piezoelektrischen Eigenschaften der erhaltenen Keramikstoffe weniger ausgeprägt oder nur nahezu gleich denjenigen von üblichen BIci-Titan-Zirkon-Keramikstoffen. 1st α größer als es dem bezeichneten Bereich entspricht, dann ist die Ausführung der Sinterung schwierig, und die piezoelektrische Aktivität der KcramikstolTc wird so gestört, daß die praktische Ausnutzung nahezu unmöglich ist. Liegt der ß-Wert nicht innerhalb des genannten Bereiches, so ergeben sich Keramikstoffe, die eine erheblich niedrigere piezoelektrische Aktivität besitzen.If α is smaller than it corresponds to the specified range, the piezoelectric properties of the ceramic materials obtained are less pronounced or only almost the same as those of conventional BIci-titanium-zirconium ceramic materials. If α is larger than the specified range, the sintering is difficult to carry out and the piezoelectric activity of the ceramic plug is so disturbed that practical use is almost impossible. If the β value is not within the stated range, then ceramic materials result which have a considerably lower piezoelectric activity.

Somit müssen die Zusammensetzungen der Keramikstoffe nach der Erfindung, wenn sie für eine praktische Verwendung brauchbar sein sollen, in den Flächenbereich A, B, C, D, £, F, G, H nach F i g. 1 fallen. Keramikstoffe dieser Zusammensetzungen haben hervorragende piezoelektrische Eigenschaften und eine hohe Curietemperatur (vgl. Tabelle 1), so daß die piezoelektrische Aktivität auch bei erhöhter Temperatur nicht verlorengeht.Thus, if the compositions of the ceramics according to the invention are to be useful for practical use, they must be classified in the area A, B, C, D, £, F, G, H of FIG. 1 fall. Ceramic materials of these compositions have excellent piezoelectric properties and a high Curie temperature (see Table 1), so that the piezoelectric activity is not lost even at an elevated temperature.

Das quaternäre SystemThe quaternary system

(Ag1/2Bi,/2)TiO3—(Agl/2Bi1/2)(Ag 1/2 Bi, / 2 ) TiO 3 - (Ag l / 2 Bi 1/2 )

ZrO3- PbTiO3- PbZrO3 ZrO 3 - PbTiO 3 - PbZrO 3

nach der Erfindung liegt in Form einer festen Lösung in größeren Bestandteilen vor. Solch eine feste Lösung hat eine perowskitartige Kristallstruktur. F i g. 3 zeigt die kristallinen Phasen der Zusammensetzungen der Keramikstoffe, die innerhalb der Fläche A-B-C-D-E- F-G-H der F i g. 1 liegen. Die Bestimmung der Phasen erfolgt bei Zimmertemperatur durch die Röntgenstrahl-Pulvertechnik. Diese Zusammensetzungen haben eine perowskitartige Kristallstruktur und gehören entweder zur tetragonalen Phase (in F i g. 3 mit T bezeichnet) oder zur rhomboedrischen Phase (mit R bezeichnet). Die morphotropische Phasengrenze ist in der F i g. 3 durch eine dicke Linie eingetragen. Der Wert für kr ist in der Nachbarschaft dieser Phasengrenze im allgemeinen sehr groß.according to the invention is in the form of a solid solution in larger components. Such a solid solution has a perovskite-like crystal structure. F i g. FIG. 3 shows the crystalline phases of the compositions of the ceramic materials which are contained within the area ABCDE-FGH of FIG. 1 lie. The phases are determined at room temperature using the X-ray powder technique. These compositions have a perovskite-like crystal structure and belong either to the tetragonal phase ( denoted by T in FIG. 3) or to the rhombohedral phase ( denoted by R ). The morphotropic phase boundary is shown in FIG. 3 entered by a thick line. The value for k r is generally very large in the vicinity of this phase boundary.

Es ist klar, daß die zur Herstellung von Keramikstoffen nach der Erfindung zu benutzenden Ausgangsmaterialien nicht auf diejenigen begrenzt sind, die bei den oben besprochenen Beispielen verwendet sind. Im einzelnen sei gesagt, daß diejenigen Oxyde an Stelle von Ausgangsmaterialien nach den obigen Beispielen verwendet werden können, die bei erhöhter Temperatur leicht zerfallen und die erforderlichen Zusammensetzungen bilden, wie dies in den Beispielen U und 15 für PbO durch Pb3O4 belegt ist. Auch Salze wie Oxalate oder Karbonate, die bei erhöhter Temperatur leicht in ihre Oxyde zerfallen, können an Stelle der bei den Beispielen benutzen Oxyde verwendet werden. Auch Hydroxyde gleichen Charakters können an Stelle der Oxyde verwendet werden. Man kannIt will be understood that the starting materials to be used in the manufacture of ceramics according to the invention are not limited to those used in the examples discussed above. Specifically, it should be said that those oxides can be used instead of starting materials according to the above examples which decompose easily at elevated temperature and form the required compositions, as is demonstrated in Examples U and 15 for PbO by Pb 3 O 4 . Salts such as oxalates or carbonates, which easily break down into their oxides at elevated temperature, can also be used in place of the oxides used in the examples. Hydroxides of the same character can also be used in place of the oxides. One can

piezoelektrische Keramikstoffe mit gleichen Eigenschaften wie in den genannten Beispielen auch erhalten, indem man im vorausPiezoelectric ceramics with the same properties as in the examples mentioned are also obtained, by getting in advance

(Agl/2Bi1/2)TiO3, (Agl/2Bil/2)ZrO3,(A gl / 2 Bi 1/2 ) TiO 3 , (A gl / 2 Bi l / 2 ) ZrO 3 ,

PbTiO3 und PbZrO3 PbTiO 3 and PbZrO 3

pulverisiert getrennt bereitstellt und diese Pulverproben als anschließend zu mischende Ausgangsmaterialien benutzt.pulverized provides separately and these powder samples as starting materials to be mixed subsequently used.

Das Beispiel 8 der Tabelle 1 zeigt, daß die gute piezoelektrische Aktivität dieser Zusammensetzung erhalten bleibt, wenn ein Teil des Bleies durch Strontium ersetzt worden ist. Im allgemeinen geht die piezoelektrische Aktivität der Zusammensetzungen, in denen Bleititanat oder -zirkonat enthalten ist, auch dann nicht verloren, wenn bis zu 25 Atomprozent Blei der - Zusammensetzung durch mindestens ein Element aus der Reihe Barium, Strontium und Kalzium ersetzt wird. Dies geht aus einer Anzahl von Untersuchungen hervor, von denen beispielshalber in der USA.-Patentschrift 2 906 710 berichtet wird. Die erwähnte Substitution ist also auch bei Keramikzusammensetzungen nach der Erfindung zulässig. Das handelsübliche Zirkondioxyd (ZrO2) enthält für gewöhnlich einige Prozent Hafniumdioxyd (HfO2). Genauso können auch die Keramikzusammensetzungen nach dieser Erfindung kleine Beimengungen solcher Oxyde oder Elemente enthalten, wie sie in handelsüblichen Substanzen vorkommen. Außerdem kann das Hinzufügen einer geringen Menge irgendeiner zusätzlichen Agenzie zu den Keramikzusammensetzungen nach der Erfindung die piezoelektrischen Eigenschaften weiterhin verbessern, wie dies für die üblichen Blei-Titanat-Zirkonat-Keramikstoffe bekannt ist. Die Keramikzusammensetzungen nach der Erfindung können also derartige Zusätze enthalten.Example 8 of Table 1 shows that the good piezoelectric activity of this composition is retained when some of the lead has been replaced by strontium. In general, the piezoelectric activity of the compositions in which lead titanate or lead zirconate is contained is not lost even if up to 25 atomic percent lead of the composition is replaced by at least one element from the group consisting of barium, strontium and calcium. This is evident from a number of studies reported, for example, in U.S. Patent 2,906,710. The mentioned substitution is therefore also permissible in the case of ceramic compositions according to the invention. Commercially available zirconium dioxide (ZrO 2 ) usually contains a few percent hafnium dioxide (HfO 2 ). Likewise, the ceramic compositions according to this invention can also contain small admixtures of such oxides or elements as occur in commercially available substances. In addition, adding a small amount of any additional agent to the ceramic compositions of the invention can further improve the piezoelectric properties, as is known for common lead-titanate-zirconate ceramics. The ceramic compositions according to the invention can thus contain such additives.

Abschließend soll noch ein Vergleich zwischen dem piezoelektrischen Keramikstoff gemäß der Erfindung und den eingangs erwähnten, herkömmlichen Keramikstoffen auf der Basis von Blei—Titanat—Zirkonat mit eingebauten Zusatzstoffen gezogen werden, wie sie im »Journal of The American Society«, Bd. 42, Nr. 7 (Juli 1959), in dem Aufsatz von Frank K ulcsar, »Electromechanical Properties of Lead Titanate Zirconate Ceramics Modified with Certain Three- or Five-Valent Additions« auf den Seiten 343 bis 349 angegeben sind.Finally, a comparison should be made between the piezoelectric ceramic material according to the invention and the above-mentioned conventional ceramic materials based on lead-titanate-zirconate be drawn with built-in additives, as they are in the "Journal of The American Society", Vol. 42, No. 7 (July 1959), in the article by Frank K ulcsar, “Electromechanical Properties of Lead Titanate Zirconate Ceramics Modified with Certain Three- or Five-Valent Additions «on pages 343 to 349 are given.

Die Tabellen I und II auf S. 344 weisen als höchsten Kopplungsfaktor 0,57 oder 57% aus, und zwar für die Stoffprobe B-12.Tables I and II on p. 344 show the highest coupling factor 0.57 or 57% for the Swatch B-12.

Der maximale, nur theoretisch zu verstehende Kopplungsfaktor ist 100%. Es ist außerordentlich schwierig, einen Keramikstoff zu schaffen, der einen Kopplungsfaktor oberhalb 60% erreicht. Mit dem Keramikstoff gemäß der Erfindung läßt sich diese Grenze überschreiten. Die Tabelle 1 der vorliegenden Unterlagen zeigt unter Nr. 7 den Kopplungsfaktor 61%. Schon dies ist gegenüber dem Kopplungsfaktor 57% ein beachtlicher Fortschritt.The maximum coupling factor, which can only be understood theoretically, is 100%. It is extraordinary difficult to create a ceramic that achieves a coupling factor above 60%. With the Ceramic material according to the invention can exceed this limit. Table 1 of the present Documentation shows under no. 7 the coupling factor 61%. This alone is opposite to the coupling factor 57% a considerable step forward.

In der Einleitung wurde indes daraufhingewiesen, daß für die Qualität und Einsatzfähigkeit eines Keramikstoffes außer dem Kopplungsfaktor kr je nach Anwendungsfall auch andere Größen mitbestimmend sind, so vor allem die Dielektrizitätskonstante f. Zwei Anwendungsfälle sollen näher untersucht werden.In the introduction, however, it was pointed out that in addition to the coupling factor k r, depending on the application, other variables are also decisive for the quality and usability of a ceramic material, especially the dielectric constant f. Two applications are to be examined in more detail.

Bei mechanischen Filtern ist es wichtig, den Scheinwiderstand Rq klein zu halten, für den die BeziehungWith mechanical filters it is important to keep the impedance Rq small for which the relationship

mit W als der Bandbreite des Filters und Ln, als der Induktanz des piezoelektrischen Materials gilt. Da W durch die dem Filter zugewiesene Aufgabe bestimmt ist, muß man, um R0 herabzusetzen, die Induktanz Ln vermindern.with W being the bandwidth of the filter and L n being the inductance of the piezoelectric material. Since W is determined by the task assigned to the filter, in order to decrease R 0 one must decrease the inductance L n.

ίο Aus den Gleichungen (1), (2) und (4) der eingangs erwähnten Arbeit von R. C. V. M a c a r i ο in Electronic Engineering, Bd. 33, Nr. 3 (1961), S. 171 bis 177, läßt sich die Beziehungίο From equations (1), (2) and (4) of the initially mentioned work by R. C. V. M a c a r i ο in Electronic Engineering, Vol. 33, No. 3 (1961), pp. 171 to 177, lets the relationship

1-k?1-k?

ableiten. Es kommt als auf kleine Werte des Bruches auf der rechten Seite dieser Beziehung an.derive. It all comes down to small values of the fraction on the right hand side of this relationship.

In der Tabelle 3 sind charakteristische Werte für kn f und den eben erwähnten Ausdruck für Zusammensetzungen nach der Erfindung und nach dem Stande der Technik angegeben, nämlich für die Probe Nr. 7 (Tabelle 1) gemäß der Erfindung und. für die ProbenTable 3 shows characteristic values for k n f and the expression just mentioned for compositions according to the invention and according to the prior art, namely for sample no. 7 (Table 1) according to the invention and. for the rehearsals

A-IO und B-12 gemäß dem Aufsatz von F. K u 1 c s a r, Tabellen I und II.
—1_\ liegt bei der Zusammensetzung gemäß der Erfindung um rund 30% niedriger, also günstiger als bei den bekannten Zusammensetzungen.
A-IO and B-12 according to the essay by F. K u 1 csar, Tables I and II.
In the case of the composition according to the invention, it is around 30% lower, that is to say more favorable than in the case of the known compositions.

Für den Einsatz als Wandler für mechanische Filter, besonders für Breitbandwellenfilter, soll piezoelektrisches Keramikmaterial einen hohen Kopplungsfaktor kr mit hoher piezoelektrischer Stabilität S vereinen, damit sich eine hohe StabilitätFor use as a converter for mechanical filters, especially for broadband wave filters, piezoelectric ceramic material should combine a high coupling factor k r with high piezoelectric stability S , so that a high level of stability is achieved

des Wandlers mit seinem elektromechanischen Kopplungsfaktor Zc0 ergibt.of the converter with its electromechanical coupling factor Zc 0 results.

Die Kennwerte der zeitlichen Stabilität für die Resonanzfrequenz /r und die Dielektrizitätskonstante f seien mit k2 r ■ (-.-) bzw. k2 r Y—-^bezeichnet,The characteristic values of the stability over time for the resonance frequency / r and the dielectric constant f are denoted by k 2 r ■ (-.-) and k 2 r Y —- ^,

wobei die Konstanzkennzeichen -τ— und —τ- für S where the constancy indicators -τ- and -τ- for S

stehen.stand.

Zur Ermittlung der in der Tabelle 4 für die Zusammensetzungen Nr. 6, 7 und 8 der Tabelle 1 nach der Erfindung angegebenen Stabilitätskennwerte wurden zunächst die Werte der Resonanzfrequenz Jr und der Dielektrizitätskonstanten f der Proben wiederholt nach verschiedener Zahl von seit der Polarisierung vergangenen Tagen, und zwar, genauer gesagt, an den Tagen mit 2" (n = 0, 1, 2 ...) bis etwa zum 150. Tag gemessen. Dann wurde unter der Annahme, daß das Alterungsverhalten von fr und /■ durch den AlterungsverhaltensausdruckTo determine the stability characteristics given in Table 4 for compositions No. 6, 7 and 8 of Table 1 according to the invention, the values of the resonance frequency J r and the dielectric constant f of the samples were first repeated after various numbers of days that had passed since polarization, to be precise, on the days with 2 " (n = 0, 1, 2 ...) up to about the 150th day. Then, assuming that the aging behavior of f r and / ■ by the aging behavior expression

Φι-Φ\Φι-Φ \

gegeben ist, eine Proportionalitätskonstante A/r und Ac ermittelt. In obigem Ausdruck bedeutetis given, a proportionality constant A / r and A c are determined. In the above expression means

01 den 1 Tag nach der Polarisierung gemessenen Wert von /r oder *,01 the value of / r or * measured 1 day after polarization,

Φί den t Tage nach der Polarisierung gemessenen Wert von /r oder f, Φί the value of / r or f measured t days after polarization,

i, den Zeitablauf von 1 Tag nach der Polarisierung, ί den Zeitablauf in Tagen nach der Polarisierungi, the time lapse of 1 day after polarization, ί the lapse of time in days after polarization

und
A die Proportionalitätskonstante für fr oder f.
and
A is the constant of proportionality for f r or f.

Die Zeitkonstanz Tür fr und t wurde als der Kehrwert der Proportionalitätskonstanten Af, und A1 bestimmt und entsprechend berechnet.The time constancy Door f r and t was determined as the reciprocal of the proportionality constants Af and A 1 and calculated accordingly.

Der erwähnte Aufsatz von F. K u 1 c s a r enthält Daten über die zeitliche Veränderung von kr, t (dort mit K bezeichnet) und fr für nur vier Zusammensetzungen, und zwar in Gestalt der Diagramme der F i g. 9, 10 auf S. 347.The above-mentioned article by F. K u 1 csar contains data on the change over time of k r , t (denoted there by K ) and f r for only four compositions, namely in the form of the diagrams in FIG. 9, 10 on p. 347.

Aus diesen Daten wurden die Kennwerte für die zeitliche Stabilität der vier aus diesem Aufsatz bekannten Zusammensetzungen ermittelt, obwohl eine genaue Rechnung wegen der nur grob ersichtlichen Daten nicht möglich war. Die Ergebnisse sind in Tabelle 5 wiedergegeben. A (A{r, Ac) wurde dabei zuThe characteristic values for the stability over time of the four compositions known from this article were determined from these data, although an exact calculation was not possible due to the only roughly apparent data. The results are shown in Table 5. A (A {r , A c ) became

Δ ΦΔ Φ

88th Nr.No. Zusan
setz
n
Zusan
set
n
imcn-
u ng
ft
imcn-
u ng
ft
<%)<%) 120120 270270 (an Λ
(%)
(at Λ
(%)
Curie-
Tempe
ratur
( C)
Curie-
Tempe
rature
(C)
1414th 0,200.20 0,300.30 77th 3737 290290 2,02.0 15*15 * 0,050.05 0,200.20 2121 480480 250250 2,62.6 1616 0,010.01 0,100.10 1616 260260 330330 4,14.1 ίο ΐ7ίο ΐ7 0,100.10 0.100.10 1818th 290290 180180 1,81.8 1818th 0,050.05 0,050.05 1111th 190190 160160 4,94.9 1919th 0,100.10 0,050.05 88th 2,52.5

'5 Anmerkung: Für die Herstellung der Proben, deren Nummern mit einem einfachen Stern (*) versehen sind, wurde an Stelle von Pb1O4 als einer der Ausgangsstoffe PbO verwendet.5 Note: For the production of the samples, the numbers of which are provided with a single asterisk (*), PbO 4 was used as one of the starting materials instead of Pb 1 O 4.

Bei der I lerstcllung der Probe, deren Nummer mit einem Doppelstern (**) versehen ist, wurde Strontiumkarbonat (SrCO,), bemessen auf der Basis von Strontiummonoxyd (SrO), dazu benutzt, 5 Atomprozent Blei (Pb) durch Strondium (Sr) zu ersetzen.When preparing the sample, its number with a double asterisk (**), strontium carbonate (SrCO,), measured on the basis of strontium monoxide (SrO), was used, 5 atomic percent Replace lead (Pb) with strondium (Sr).

Tabelle 2Table 2

definiert (mit ΑΦ als maximaler Abweichung von jr oder f und tmax als seit der Polarisierung maximal verstrichener Zeit in Tagen), weil in den F i g. 9 und 10 des Aufsatzes das Maß der zeitlichen Änderung nicht zum Logarithmus der vergangenen Zeit in Beziehung gesetzt ist.defined (with ΑΦ as the maximum deviation from j r or f and t max as the maximum time in days that has elapsed since polarization), because in FIGS. 9 and 10 of the article, the extent of the change over time is not related to the logarithm of the elapsed time.

Ein Vergleich zwischen den Tabellen 4 und 5 zeigt,A comparison between Tables 4 and 5 shows

daß die Werte k2(-j—) der Zusammensetzung nach der Erfindung etwa zweimal so groß oder noch größer sind als diejenigen der bekannten Stoffe und daß die that the values k 2 (-j—) of the composition according to the invention are about twice as large or even greater than those of the known substances and that the

Werte k;\-j-!dreimal so groß oder noch größer sind. Somit weisen die Zusammensetzungen gemäß der Erfindung erheblich verbesserte Kennwerte der Zeitkonstanz Tür die Resonanzfrequenz und die Dielektrizitätskonstante auf und eignen sich mithin hervorragend als Materialien für die Wandler von mechanischen Wcllcnfiltern, ganz besonders von Brcitbandliltern. Values k; \ - j- ! Are three times as large or even larger. Thus, the compositions according to the invention have significantly improved characteristics of the time constancy of the resonance frequency and the dielectric constant and are therefore outstandingly suitable as materials for the converters of mechanical air filters, especially broadband filters.

Tabelle 1Table 1

ZusammenTogether UU IlIl kr k r Qn,Q n , FF. tan Λtan Λ Nr.No. setzungsettlement 0,000.00 0,700.70 </o)</ o) (/ο)(/ ο) 0,000.00 0,600.60 - - 340340 5,75.7 11 (),()()(), () () 0,550.55 - - 300300 2,42.4 22 0,000.00 0,480.48 88th 3030th 350350 1,31.3 33 0,000.00 0,450.45 4242 250250 10601060 1,61.6 44th 0,000.00 0.400.40 3838 290290 640640 3,03.0 55 0,000.00 0,300.30 3030th 320320 460460 3,13.1 66th 0,000.00 0,200.20 2424 380380 380380 3,33.3 77th 0,000.00 0,100.10 1515th 470470 350350 3,33.3 88th 1010 580580 280280 3,43.4 99

4545

Nr.No. Zusan
setz
a
Zusan
set
a
imcn-imcn-
ungung
ftft
*r
(%)
* r
(%)
Q,Q, 310310 Um Λ
(%)
At Λ
(%)
Curie-
Tempe
ratur
(0C)
Curie-
Tempe
rature
( 0 C)
11 0.050.05 0,700.70 1111th 260260 280280 2,12.1 22 0.100.10 0,700.70 1515th 8(X)8 (X) 420420 1,21.2 33 0,010.01 0,550.55 2121 9090 440440 2,92.9 44th 0,050.05 0,550.55 4242 130130 11101110 2,12.1 55 0,010.01 0,480.48 4444 KK)KK) 11801180 2,12.1 66th 0,020.02 0,480.48 5959 8080 15801580 2,32.3 385385 77th 0.050.05 0,480.48 6161 105105 16001600 2,42.4 8**8th** 0,050.05 0,480.48 5858 120120 11201120 2,12.1 99 0,100.10 0,480.48 4242 140140 620620 2,52.5 1010 0,200.20 0,480.48 1414th 170170 410410 2,32.3 350350 11*11 * 0,050.05 0,400.40 4747 120120 360360 2,52.5 1212th 0,050.05 0,300.30 3333 310310 330330 2,22.2 1313th 0,100.10 0,300.30 2424 2K02K0 2,12.1

Anmerkung: Bei den Proben I und 2 war eine Erfassung der piezoelektrischen Aktivität nicht möglich.Note: For samples I and 2, it was not possible to determine the piezoelectric activity.

Tabelle 3Table 3

Erfindung
Stand der
invention
State of

Zusammensetzung Nr. Ar Composition No. A r

7 (Tabelle 1)
A-10 (Tabelle I)
7 (table 1)
A-10 (Table I)

Technik \ B-12(Tabelle II) 0,57 1377 1,506 10Technique \ B-12 (Table II) 0.57 1377 1.506 10

0.61 0.510.61 0.51

1580 17921580 1792

1,066· 10"3 1,585· 10"3 1.066 x 10 " 3 1.585 x 10" 3

Tabelle 4Table 4

Zusammensetzungcomposition

Nr.gemäß Erfindung!No according to the invention!

(Tabelle I)(Table I)

7
8
7th
8th

435
536
481
435
536
481

9797

124 112124 112

109 531/301109 531/301

Zusammensetzung
Nr gemäß Stand
composition
No. according to status

der Technik
(Tabellen I und II)
of the technique
(Tables I and II)

A-4A-4

A-7
B-7
B-15
A-7
B-7
B-15

TabelleTabel

85 145 180 30085 145 180 300

25 25 40 2025 25 40 20

Claims (2)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Piezoelektrischer Keramikstoff, der im wesentlichen aus einer festen Lösung des quaternären1. Piezoelectric ceramic material, which consists essentially of a solid solution of the quaternary (Agl/2Bi1/2)TiO3-(Agl/2Bil/2)ZrO3-PbTiO3-PbZrO3-Systems (A gl / 2 Bi 1/2 ) TiO 3 - (A gl / 2 Bi l / 2 ) ZrO 3 -PbTiO 3 -PbZrO 3 system besteht und in dem bis zu 25 Atomprozent Blei durch mindestens ein Element aus der Gruppe Barium, Strontium und Kalzium ersetzbar bzw. ersetzt ist.consists and in which up to 25 atomic percent lead by at least one element from the group Barium, strontium and calcium can be replaced or replaced. 2. Piezoelektrischer Keramikstoff nach Anspruch 1, der im wesentlichen nach der Formel2. Piezoelectric ceramic according to claim 1, which is essentially according to the formula [(Ag1ABi1A)TiO3], [(Ag1Z2Bi1/,) ZrO3L [PbTiO3L [PbZrO3L[(Ag 1 ABi 1 A) TiO 3 ], [(Ag 1 Z 2 Bi 1 /,) ZrO 3 L [PbTiO 3 L [PbZrO 3 L in der i, u, υ und w die Molverhältnisse angeben und der Bedingung t + u + v + w= 1,00 genügen, zusammengesetzt ist und dessen spezifische Koordinaten in einem Diagramm mit den Koordinaten in which i, u, υ and w indicate the molar ratios and satisfy the condition t + u + v + w = 1.00, is composed and its specific coordinates in a diagram with the coordinates α = t/(t + v) = u/(u + w) β = t/(t + u) = v/(v + w) α = t / (t + v) = u / (u + w) β = t / (t + u) = v / (v + w) die also das Verhältnis von (Ag|/2Bi1/2) zu (Ag1/2Bi1/2) + Pb bzw. von Ti zu Ti + Zr darstellen, innerhalb eines Vielecks A-B-C-D-E-F-G-H mit den Eckpunktskoordinatenwhich represent the ratio of (Ag | / 2 Bi 1/2 ) to (Ag 1/2 Bi 1/2 ) + Pb or from Ti to Ti + Zr, within a polygon ABCDEFGH with the corner point coordinates A 0,01 0,55 A 0.01 0.55 B 0,01 0,10 B 0.01 0.10 C 0,05 0,05 C 0.05 0.05 D 0,10 0,05 D 0.10 0.05 E 0,20 0,30 E 0.20 0.30 F 0,20 0,48F 0.20 0.48 G 0,10 0,70 G 0.10 0.70 H 0,05 0,70 H 0.05 0.70 liegen.lie. Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings
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