DE1665384A1 - Electrical thin-film circuit - Google Patents
Electrical thin-film circuitInfo
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Description
TEE PEESSBT GOMPAHY LIMITED TEA PEESSBT GOMPAHY LIMITED
56 Vicarage Lane56 Vicarage Lane
Ilford, Essex / GroßbritaTml enIlford, Essex / United Kingdom
unser Zeichen; P 1930our sign; P 1930
Elektrische DünnschichtschaltungThin-film electrical circuit
Die Erfindung bezieht sieh auf elektrische Dünnschichtschaltungen. The invention relates to thin film electrical circuits.
Bei der Herstellung iron Dünnschichtschaltungen ist es manchmal notwendig, den Wert einiger der verwendeten Schaltungselemente, wie Widerstandselemente, einzustellen, und dies kann zweckmäßigerweise dadurch erreicht werden, daß ein !Seil eines solchen Widerstandes mit Hilfe eines Diamanten weggeschnitten oder weggeschabt wird. Dieser Vorgang kann automatisch durch eine Einrichtung gesteuert werden, die in Abhängigkeit vom Ausgangssignal einer Haßschaltung arbeitet, die den Wert des fragWhen making iron thin film circuits it is sometimes necessary, the value of some of the circuit elements used, such as resistance elements, adjust, and this can expediently be achieved in that a! rope of such a resistance with the help of a Cutting or scraping away a diamond. This process can be controlled automatically by a device which works as a function of the output signal of a hating circuit that determines the value of the frag
lichenlichen
009807/0428009807/0428
lichen Widerstandes oder seine Wirkung auf einen anderen Teil der Schaltung mißt.measuring resistance or its effect on another part of the circuit.
Manchmal ist es jedoch notwendig, einen Widerstandswert mit größerer Genauigkeit einzustellen, als es durch solch einen Routinearbeitsgang möglich ist, und es ist Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren und eine Dünnschichtschaltungsanordnung vorzusehen, wodurch eine solche Einstellung in den erforderlichen Toleranzen vorgenommen werden kann, wobei der bekannte Routinearbeitsgang verwendet wird.However, sometimes it is necessary to set a resistance value with greater accuracy than it is through such a routine operation is possible, and it is an object of the invention to provide a method and a thin film circuit arrangement to provide, whereby such a setting can be made within the required tolerances, the known routine operation is used.
Gemäß der Erfindung enthält ein Verfahren zum Einstellen des Wertes eines Schaltungselementes, das einen Teil einer Dünnschicht scha It ung bildet, auf einen bestimmten Wert, die Schritte, daß das Bauelement aus zwei Teilen gebildet wird, daß der Wert eines dieser Teile genau bestimmt wird und daß dann der Wert des anderen Teiles bestimmt wird, so daß sie zusammen den gewünschten Wert ergeben und daß dann der Wert des anderen Teiles eingestellt wird, bis es den gewünschten Wert hat.According to the invention includes a method of adjustment the value of a circuit element forming part of a thin film circuit a certain value, the steps that the component is formed from two parts, that the value one of these parts is precisely determined and that then the value of the other part is determined so that they together give the desired value and that the value of the other part is then adjusted until it has the desired value.
Gemäß der Erfindung enthält dieses Verfahren zumAccording to the invention, this method includes
EinstellenTo adjust 009887/0428009887/0428
Einstellen des Widerstandswertes auf einen gewünschten Wert die Schritte, daß der Widerstand aus zwei Teilen gebildet wird, daß einer der Teile einen Wert hat, der sich von dem geforderten Wert um einen Betrag unterscheidet, der mindestens gleich der maximalen Abweichung ist, die bei der Herstellung erwartet wird, daß der Wert des einen Teiles genau gemessen wird und daß dann der Wert des anderen Teiles bestimmt wird, so daß sie beide zusammen in einer Kombination den gewünschten Wert ergeben, und daß dann der Wert des anderen Teiles eingestellt wird, bis es den gewünschten Wert aufweist. Der eine Teil des Widerstandes kann so ausgebildet sein, daß er den von dem gewünschten Wert verschiedenen Wert hat oder daß er so eingestellt werden kann, daß er diesen verschiedenen Wert aufweist.Adjusting the resistance value to a desired value following the steps that the resistance is made up of two Divide is formed that one of the parts has a value that differs from the required value by an amount differs, which is at least equal to the maximum deviation that occurs during manufacture it is expected that the value of one part will be measured accurately and then the value of the other part is determined so that they both together in a combination give the desired value, and that then the value of the other part is adjusted until it has the desired value. The one Part of the resistor can be designed to have the value different from the desired value or that it can be set to have that different value.
Gemäß einer anderen Ausbildung der Erfindung enthält eine Dünnschichtschaltung eine Unterlage, wobei eine Anordnung von Leitern auf der Unterlage elektrische Schaltungselemente bildet, von denen wenigstens eines aus zwei Teilen zusammengesetzt ist, die so ausgebildet sind, daß sie zusammen ein Bauelement des erforderlichen Wertes bilden, wobei eines dieser Teile einen von dem erforderlichen Wert ver-According to another embodiment of the invention, a thin film circuit includes a base, wherein an array of conductors on the base forms electrical circuit elements, one of which at least one is composed of two parts which are designed so that they together form a component of the required value, whereby one of these parts differs from the required value
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schiedenen Wert aufweist und das andere dieser Teile so ausgebildet ist, daß es auf den komplementären Wert eingestellt werden kann, wodurch, es den erforderlichen Wert ergibt, wenn die beiden Teile miteinander verbunden werden.Has different value and the other of these parts is designed so that it is on the complementary Value can be adjusted, whereby, it gives the required value when the two parts are together get connected.
Gemäß dieser Ausfuhrungsform der Erfindung kann das Schaltungselement, das aus zwei Teilen zusammengesetzt ist, als Widerstand ausgebildet sein, wobei ein Teil dieses Widerstandes so ausgebildet ist, daß sein Wert von dem erforderlichen Wert um einen Betrag verschieden ist, der mindestens gleich der maximalen Abweidung ist, die bei der Herstellung auftritt, und wobei der andere Teil des Widerstandes so ausgebildet sein kann, daß er auf einen komplementären Wert eingestellt werden kann, damit der gewünschte Wert entsteht, wenn beide Teile miteinander verbunden werden.According to this embodiment of the invention, the Circuit element, which is composed of two parts, be designed as a resistor, wherein a part of this resistor is designed so that its value of the required value by one Amount is different, which is at least equal to the maximum grazing, which in the production occurs, and wherein the other part of the resistor can be designed so that it can be set to a complementary value so that the desired Value arises when both parts are connected together.
In einer besonderen Ausführungsform kann der eine Teil des Widerstandes so ausgebildet sein, daß er diesen verschiedenen Wert hat, oder er kann so ausgebildet sein, daß er auf diesen verschiedenen Wert eingestellt wird. Die beiden Teile des Widerstandes können in Reihe geschaltet werden, damit ein hochohmigerIn a particular embodiment, the one Part of the resistor can be designed to have this different value, or it can be designed so be that it is set to this different value. The two parts of the resistance can be connected in series so that a high resistance
0098 87/(K 2 8 0098 87 / (K 2 8
Widerstand entsteht oder sie können parallel geschaltet werden, damit ein niederohmiger Widerstand entsteht. Resistance arises or they can be connected in parallel so that a low resistance is created.
Zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nun anhand der Zeichnung beispielshalber besehrieben. Dabei zeigen:Two exemplary embodiments of the invention will now be described by way of example with reference to the drawing. Show:
Pig* 1 eine Draufsicht auf eine Unterlage, auf der sich eine Dünnschichtschaltung befindet, die zwei hochohmige Widerstände enthält,Pig * 1 is a plan view of a pad on which there is a thin-film circuit that contains two high-value resistors,
Fig. 2 eine Draufsicht auf eine Unterlage, auf der sich eine Dünnschichtschaltung befindet, die zwei niederohmige Widerstände enthält, undFig. 2 is a plan view of a base on which a thin-film circuit is located, the contains two low-value resistors, and
Fig» 3 eine schematische Darstellung eines Gerätes zum Einstellen der Werte dieser Widerstände.3 shows a schematic representation of a device to set the values of these resistors.
In lig* 1 ist eine Unterlage 10, die aus einem Glasplättchen besteht, nach einem der normalen Verfahren aufbereitet, die bei der Herstellung von Dünnschichtschaltungen verwendet werden, beispielsweise durch Aufdampfen in Schritten durch verschiedene Masken, damitIn lig * 1 is a pad 10, which consists of a glass plate is prepared according to one of the normal methods used in the manufacture of thin-film circuits, for example by Vapor deposition in steps through different masks, with it
eine 009887/0428 a 009887/0428
eine Anordnung von leitern und Schaltungselementen, wie Widerständen und Kondensatoren, entsteht. Die Schaltungselemente sind nur insoweit dargestellt» wie sie hier von Bedeutung sind, und sie enthalten zwei Widerstandselemente 11 und 21. Die Widerstandselemente 11 und 21 sind aus einem geeigneten Widerstandswerkstoff aufgetragen, und es sind Anschlüsse 12, 13 und 22, 23, die sich zur Verbindung mit einer äußeren Prüfschaltung eignen, so aufgebracht, daß sie mit den Enden dieser Widerstandselemente Kontakt machen. Die Anschlüße 12, 13S 22 und 23 können aus rechteckförmigen Fiederschlägen aus Gold oder anderen Edelmetallen güter Leitfähigkeit bestehen.an arrangement of conductors and circuit elements such as resistors and capacitors is created. The circuit elements are shown only insofar as they are of importance here, and they contain two resistance elements 11 and 21. The resistance elements 11 and 21 are made of a suitable resistance material, and there are connections 12, 13 and 22, 23, which face the Suitable for connection to an external test circuit, applied so that they make contact with the ends of these resistance elements. The terminals 12, 13, S 22 and 23 may consist of goods conductivity rectangular Fiederschlägen of gold or other precious metals.
Der Wert der Widerstandselemente 11 und 21 ist so bemessen, daß er um einen Betrag geringer als der gewünschte Wert ist, so daß er jede mögliche Abweichung einschließt, die bei den Verfahren auftreten, die bei der Herstellung des Niederschlages aus dem Werkstoff verwendet werden, aus dem die niederschlage bestehen, und zwar in bezug auf die Endverbindungen, wobei die bekannte Genauigkeit der Meßgeräte berücksichtigt The value of the resistance elements 11 and 21 is such that it is less than that by an amount desired value is so that it has every possible deviation includes those occurring in the processes involved in the preparation of the precipitate from the Material used from which the precipitate is made exist in relation to the end connections, taking into account the known accuracy of the measuring devices
009887/0428009887/0428
sichtigt wird.is sighted.
Die Vfiderstandselemente werden dann dadurch eingestellt, daß eine gewöhnliche Prüfung und Einstellung in einer Anordnung erfolgt, die.schematisch in Fig. 3 dargestellt ist. Wie man aus Fig. 3 sieht,enthält eine Meßbrücke 31 Keßelektroden 32 und 33, wobei diese Elektroden bewegbar sind, so daß sie die Anschlüße 12 und 13 oder 22 und 23 eines der Widerstandselemente, die in Pig. 1 dargestellt sind, berühren können. Die Meßbrücke 31 ist mit einem Eingangsanschluß 34 versehen, der dazu verwendet werden kann, den Wert einzustellen, bei dem die Meßbrücke die Anzeige Hall aufweist» wobei diese Einstellung von Hand vorgenommen werden kann oder durch das Ausgangssignal eines Rechenautomaten. Der übrige Teil der Meßbrücke ist so aufgebaut, daß dann, wenn ein Wert an dem Eingangsanschluß 34 eingestellt worden ist, ein Ausgangssignal abgegeben wird, bis ein Ablesewert ITuIl erreicht wird, durch den beispielsweise ein Motor 35 erregt wird, der ein Schraubengewinde 36 antreibt, welches in einer Mutter 37 läuft, die-eine Reißnadel 38 hält, die ein in geeigneter Weise geformter Diamant sein kann. Die Reißnadel 38 ist so angeordnet, daß sie einen vertikalen EinschnittThe resistance elements are then set by that an ordinary test and adjustment takes place in an arrangement which is shown schematically in Fig. 3 is shown. As can be seen from Fig. 3, contains a measuring bridge 31 Keßelectrodes 32 and 33, these electrodes being movable so that they make the connections 12 and 13 or 22 and 23 of one of the resistance elements, those in Pig. 1 are shown, can touch. The measuring bridge 31 has an input terminal 34, which can be used to set the value at which the measuring bridge shows the display Hall »whereby this setting can be done by hand or by the output signal of an automatic calculator. The rest Part of the measuring bridge is constructed so that if a value has been set at the input terminal 34, an output signal is given until a Reading ITuIl is achieved, by means of which, for example, a motor 35 is excited, which has a screw thread 36 drives, which runs in a nut 37, the -a scriber 38 holds the one in suitable Wise shaped diamond can be. The scriber 38 is arranged to make a vertical cut
009887/0428 ~009887/0428 ~
in dem Widerstandselement 11 in Pig. 1 macht. Wenn der Einschnitt H genügend lang ist, daß er das Ausgangssignal der Meßbrücke 31 auf Null herabsetzt, dann ist das Widerstandselement 11 innerhalb der Toleranzen auf den gewünschten Wert eingestellt, die durch den Routinearbeitsgang und das dabei verwendete Gerät gegeben sind.in the resistance element 11 in Pig. 1 makes. if the incision H is sufficiently long that it reduces the output signal of the measuring bridge 31 to zero, then the resistance element 11 is set to the desired value within the tolerances, the are given by the routine operation and the device used.
Beispielshalber sei angenommen, daß der Wert des Widerstandselementes 11 1000 Ohm sein soll und daß bei der Verwendung des Verfahrens und des oben beschriebenen Gerätes eine Genaufgkeit von - 0,1 ^ erreichbar ist. Es sei auch angenommen, daß für einen besonderen Verwendungszweck eine viel größere Genauigkeit als diese erforderlich ist. Gemäß der Erfindung wird dementsprechend das dem Eingangsanschluß 34 zugeführte Signal so gewählt, daß der Wert des Widerstandes auf 990 Ohm eingestellt wird. Entsprechend der oben erwähnten Genauigkeiten und loleranzen kann der wirkliche Wert des Widerstandselementes 11, der durch den erwähnten Routinearbeitsgang hergestellt wird, jede Größe zwischen 989 Ohm und 991 Ohm annehmen. Auf der Unterlage 10 befindet sich jedoch ein weiteres Widerstandselement 15, das so aufgebracht Ist, daß esAs an example, it is assumed that the value of the resistance element 11 should be 1000 ohms and that when using the method and the one described above Device an accuracy of - 0.1 ^ can be achieved. It is also assumed that for a particular application a much greater accuracy than this is required. According to the invention, the signal supplied to the input terminal 34 becomes accordingly chosen so that the value of the resistor is set to 990 ohms. According to the above Accuracies and tolerances can be the real value of the resistance element 11, which is determined by the routine operation mentioned, assume any size between 989 ohms and 991 ohms. on the base 10 is, however, a further resistance element 15, which is applied so that it
mit 0098 8 7/04 2 8 with 0098 8 7/04 2 8
mit dem Anschluß 13 und einem weiteren Anschluß 16 Kontakt macht und einen Wert von "beispielsweise 8 Ohm hat.makes contact with the connection 13 and a further connection 16 and has a value of "for example 8 ohms.
Der Widerstand des Widerstandaslementes 11 wird nun , auf einer sehr genauen Meßbrücke gemessen, die "beispielsweise Widerstandswerte mit einer Genauigkeit von 0,01 i» anzeigen kann. Es sei angenommen, daß der Wert des Widerstandselementes 11, wenn er auf dieser Brücke gemessen wird, 990,1 Ohm beträgt. Der Wert des Widerstandselementes 15 wird dann so berechnet, daß sich ein G-esamtwiderstand von 1000 Ohm ergibt, wenn es mit dem auf diese Weise gemessenen Wert des Widerstandselementes 11 in Reihe geschaltet wird, und das Widerstands element 15 wird dann durch die in Pig. 3 dargestellte Anordnung einer ähnlichen Einstellung unterworfen, die bei dem Widerstandselement 11 beschrieben worden ist, die jedoch -jetzt zwischen den Anschlüßen 13 und 16 wirkt und einen Einschnitt 17 in das Widerstandselement 15 macht, um ihn auf den gewünschten Wert zu bringen. Bei dem dargestellten Beispiel muß das Widerstandselement 15 auf einen Wert von 9,9 0hm eingestellt werden.The resistance of the resistance element 11 is now measured on a very precise measuring bridge which "can, for example, display resistance values with an accuracy of 0.01 i» . It is assumed that the value of the resistance element 11, when it is measured on this bridge, The value of the resistance element 15 is then calculated so that a total resistance of 1000 ohms results when it is connected in series with the value of the resistance element 11 measured in this way, and the resistance element 15 becomes then subjected to a similar adjustment by the arrangement shown in Pig In the example shown, the resistance element 15 must be set to a value of 9.9 ohms.
Die endgültige Schaltungsverbindung wird dann zwischenThe final circuit connection is then made between
den 009887/0428 —the 009 887/0428 -
- ίο -- ίο -
den Anschlüssen 12 und 16 gemacht, damit die Widerstandselemente 11 und 15 in leihe geschaltet verwendet werden, wodurch sich der erforderliche Wert ergibt. Da der Wert des Widerstandselementes 15 nur 1,0 f des Nennwertes des Widerstands element es 11 ist und er mit einer Genauigkeit von — 0,1 fi eingestellt werden kann und da das Widerstandselement mit einer Genauigkeit von 0,01 $ gemessen worden ist, kann man annehmen, daß die Gesamtgenauigkeit innerhalb von i 0,011 fo liegt. In anderen. Worten wird die Genauigkeit der Messung durch die ungenaue Meßbrücke nicht durch nachfolgende Einstellung bedeutsam beeinflußt.the terminals 12 and 16 made so that the resistance elements 11 and 15 are used connected in lending, which results in the required value. Since the value of the resistance element 15 is only 1.0 f of the nominal value of the resistance element 11 and it can be set with an accuracy of -0.1 fi and since the resistance element has been measured with an accuracy of $ 0.01 the overall accuracy is assumed to be within i 0.011 fo. In other. Words, the accuracy of the measurement is not significantly affected by the inaccurate measuring bridge by the subsequent setting.
Bei dem Widerstandselement 21 ist ein weiterer Anschluß 26 und ein niederohmiges Wiederstandselement 25 vorgesehen und es werden ähnliche Einstellungen mit Hilfe von Einschnitten 24 t»sw. 27 vorgenommen.The resistance element 21 has a further connection 26 and a low resistance element 25 are provided and similar settings are made with the help of notches 24 t »sw. 27 made.
In Jig. 2 wird ein niederohiaiges Widerstands element 41 auf eine Unterlage 42 zwischen den Anschlüssen 43 und 44 aufgebracht. Es sei angenommen, daß das Widerstandselement 41 einen Wert von 10 Ohm habe. Bei diesem Fall wird der wirkliche Wert etwas höherIn jig. 2 becomes a low resistance element 41 applied to a base 42 between the connections 43 and 44. Assume that the Resistance element 41 have a value of 10 ohms. In this case, the real value will be a little higher
gewählt 009887/0428 elected 009 887/0428
gewählt, beispielsweise 10,1 Ohm, und es wird ihm ein weiterer Widerstand von einem höheren Wert parallel geschaltet, damit der Widerstandswert der Kombination auf einen korrigierten Wert von 10 Ohm gebracht wird.chosen, for example 10.1 ohms, and it will give him one Another resistor of a higher value is connected in parallel so that the resistance value of the combination is brought to a corrected value of 10 ohms.
Ein weiteres Widerstandselement 45 wird auf der Unterlage zwischen Verlängerungen 43a und 44a der Anschlüße 43 bzw* 44 aufgebracht.Another resistance element 45 is on the Pad between extensions 43a and 44a of the Connections 43 or * 44 applied.
Das Widerstandselement 41 kann beim Aufbringen einen Nennwert von 10 Ohm haben, es wird jedoch, wie es schon im Susammenhang mit Fig. 1 und 3 beschrieben worden ist, auf einen höheren Widerstandswert gebracht, dadurch daß ein Einschnitt 46 gemacht wird, wodurch der Wert des WiderstandseXeraentes 41 auf 10,1 Ohm gebracht wird. Damit dies geschehen feann, wird eine zeitweise Unterbrechung in einem der Anschlüße, beispielsweise dem Anschluß 48 vorgenommen, damit die beiden Widerstandselemente 41 und 45 elektrisch voneinander getrennt werden, während die Messung und die Peineinstellung ausgeführt wird.The resistance element 41 can when applied a Nominal value of 10 ohms, however, it will be like it has already been described in connection with Fig. 1 and 3, brought to a higher resistance value, by making an incision 46, whereby the value of the resistance Xeraentes 41 is brought to 10.1 ohms. For this to happen, feann will a temporary interruption in one of the connections, For example, the terminal 48 made so that the two resistance elements 41 and 45 electrically can be separated from each other while the measurement and the pin adjustment are being carried out.
Der Wert des Widerstandselementes 41 wird dann genau gemessen, und zwar entsprechend wie das Widerstandselement 11 in Fig. 1. Ss sei angenommen, daß der gemessene Wert genau 10,1 Ohm beträgt. Eine BerechnungThe value of the resistance element 41 then becomes accurate measured, in accordance with the resistance element 11 in Fig. 1. Ss it is assumed that the measured Value is exactly 10.1 ohms. A calculation
009887/0428009887/0428
. 2^ igt . 2 ^ igt
BAD ORIGINALBATH ORIGINAL
zeigt dann, daß der Wert des Nebenschlußwiderstandselementes 45 1,010 Ohm sein sollte, damit der zusammengesetzte Wert genau 10 Ohm beträgt. Auf der Unterlage wird dann eine weitere Einstellung mit Hilfe des Gerätes, das im Zusammenhang mit ]?ig. 3 t>e^· schrieben worden ist, vorgenommen, wobei die Reißnadel so angeordnet ist, daß sie einen Einschnitt 47 in dem Widerstandselement 45 macht, damit es auf einen Wert von 1,010 Ohm gebracht wird.then shows that the value of the shunt resistor element 45 should be 1.010 ohms for the composite Value is exactly 10 ohms. Another setting is then shown on the pad Help of the device related to]? Ig. 3 t> e ^ · has been written, with the scriber arranged to make an incision 47 in the resistance element 45 so that it is brought to a value of 1.010 ohms.
Bei diesem Ausführungsbeispiel wird die Frage der Genauigkeit nicht in. Einzelheiten erläutert, es ist jedoch verständlich, daß di^feelben Betrachtungen wie in dem Fall nach flg. 1 angestellt werten können, so daß die Genauigkeit wiederum beinahe genausogut . ist, wie sie mit einer eigenen genauen Meßbrücke erreicht werden kann. In this embodiment, the question of accuracy is not discussed in detail, it is but understandable that the same considerations as in the case according to flg. 1 can be evaluated, so that the accuracy again is almost as good. is how it can be achieved with your own precise measuring bridge.
Bei bestimmten Fällen kann anstelle einer Anfangseinstellung der Widerstandselemente- 11, 21 oder 41 der Herstellungswert dieser Widerstandselemente schon genügend nahe bei dem Wert liegen, den sie haben müssen, damit die erste Einstellung, die bei den oben erwähnten Beispielen erläutert wurde, nicht notwendig ist. In diesen Fällen werden diese WiderstandselementeIn certain cases, instead of an initial setting of the resistance elements 11, 21 or 41 of the The manufacturing value of these resistance elements is already sufficiently close to the value they must have, so the first setting, which was explained in the examples mentioned above, is not necessary is. In these cases, these resistive elements
zuerst 009887/0428 first 009 887/0428
zuerst genau gemessen und der Wert der Komplementärwiaerstandselemente wird so eingestellt, daß eine Kombination den gewünschten Wert ergibt.first measured accurately and the value of the complementary resistance elements is set so that a combination gives the desired value.
Die Erfindung eignet sich besonders für Anwendungen, bei denen zwei Widerstände sehr genau angepaßt werden müssen, beispielsweise in Analog- und Digitalumsetzern. Bei diesen Fällen ist es erwünscht, daß die Widerstandselemente auf einer einzigen Unterlage aufgebracht werden, so daß die Wirkung von Temperatur-Schwankungen und anderen Änderungen, die die Stabilität der Widerstandselemente beeinflussen könnte, für beide oder alle gleich ist, so daß der ursprüngliche Abgleich erhalten bleibt.The invention is particularly suitable for applications where two resistors have to be matched very precisely, for example in analog and digital converters. In these cases, it is desirable that the Resistance elements applied to a single base be so that the effect of temperature fluctuations and other changes affecting the stability the resistance elements could affect, for both or all the same, so that the original Adjustment is retained.
Wenn auch die obige Beschreibung insbesondere auf die Herstellung von genau eingestellten Widers bänden gerichtet ist, kann eine ähnliche Methode dazu verwendet werden, den Wert von Dünnschichtkondenoatot-in einzustellen. In diesem Fall ist es notwendig, beim Einstellen des Viertes eines Kondensators einen 1J?eil einer oder beider Platten des Kondensators su entfernen, anstatt eine Linie einzuschneiden, wie es bsi den Widerständen, die oben beschrieben wurden, gemacht; wurde, und um einen«Kondensator mit großer KapazitätAlthough the above description is particularly directed to the production of precisely adjusted resistance bands, a similar method can be used to adjust the value of thin film condensation. In this case, when setting the fourth of a capacitor, it is necessary to remove a 1 piece of one or both plates of the capacitor instead of cutting a line as is done with the resistors described above; was, and about a «capacitor with large capacitance
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herzustellen, ist es notwendig, einen Kondensator vorzusehen, dessen Wert gerade unterhalb des gewünschten Wertes liegt, und außerdem einen Kondensator geringer Kapazität vorzusehen, der mit diesem parallel ge'-schaltet wird, damit der erforderliche Gesamtwert erreicht wird. TJm einen Kondensator mit "kleiner Kapazi-' tat zu schaffen, ist es notwendig, einen Kondensator zu haben, dessen Wert gerade oberhalb des erforderlichen Wertes liegb und einen weiteren Kondensator mit großer Kapazität vorzusehen, der mit diesem in Reihe geschaltet wird, damit der erforderliche G-esamtwert entsteht.to manufacture, it is necessary to provide a capacitor, whose value is just below the desired value, and also one capacitor less Provide capacity, which is connected in parallel with this, so that the required total value is achieved will. TJm a capacitor with "small capacitance" did to create it is necessary to use a capacitor to have, the value of which is just above the required value and another capacitor with to provide a large capacity, which is connected in series with this, so that the required total value arises.
PatentansprücheClaims
00 9 8 8 7/0428 BAD ORIGINAL00 9 8 8 7/0428 BAD ORIGINAL
Claims (2)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB41745/66A GB1191277A (en) | 1966-09-19 | 1966-09-19 | Improvements in or relating to Thin Film Electrical Circuits |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE1665384A1 true DE1665384A1 (en) | 1971-02-11 |
Family
ID=10421188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19671665384 Pending DE1665384A1 (en) | 1966-09-19 | 1967-09-16 | Electrical thin-film circuit |
Country Status (3)
| Country | Link |
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| GB (1) | GB1191277A (en) |
| NL (1) | NL6712745A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3340720A1 (en) * | 1983-06-27 | 1985-01-10 | Analogic Corp., Wakefield, Mass. | VOLTAGE DIVIDER WITH AT LEAST ONE TOLERINE TAP AND METHOD FOR PRODUCING SUCH A VOLTAGE DIVIDER |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS4961647A (en) * | 1972-10-18 | 1974-06-14 | ||
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-
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- 1967-09-18 NL NL6712745A patent/NL6712745A/xx unknown
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3340720A1 (en) * | 1983-06-27 | 1985-01-10 | Analogic Corp., Wakefield, Mass. | VOLTAGE DIVIDER WITH AT LEAST ONE TOLERINE TAP AND METHOD FOR PRODUCING SUCH A VOLTAGE DIVIDER |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB1191277A (en) | 1970-05-13 |
| NL6712745A (en) | 1968-03-20 |
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