DE1614270C3 - Electron beam device - Google Patents
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Elektronenstrahlgerät, wie beispielsweise ein Elektronenmikroskop oder ein Elektronendiffraktionsgerät, mit einer Öffnung in seinem Fuß, die durch einen in der Strahlrichtung verschiebbaren und in seiner senkrecht zur Strahlrichtung verlaufenden Ebene drehbaren mit einem Leuchtschirm versehenen Träger abschließbar ist, bei dem neben dieser Öffnung ein durch diese mit dem Innern des Geräts in Verbindung zu bringendes Magazin für photographisches Plattenmaterial angeordnet ist und bei dem Mittel vorhanden sind, um durch Drehung des Trägers eine photographische Platte vom Magazin herThe invention relates to an electron beam device such as an electron microscope or an electron diffraction device, with an opening in its foot opening through one in the direction of the beam displaceable and rotatable in its plane running perpendicular to the beam direction with a fluorescent screen provided carrier is lockable, in which in addition to this opening a through this with the interior of the Device to be brought into connection magazine for photographic plate material is arranged and at the means are available to rotate the carrier a photographic plate from the magazine
bis unter die Öffnung im Fuß des Geräts zu bringen.to be brought under the opening in the base of the device.
Bei einem bekannten Gerät dieser Art ist der Träger eine zentrisch mit einem Leuchtschirm versehene
Scheibe, die um eine durch die Mitte der kreisförmigen Öffnung im Fuß gehende Achse drehbar ist. Der Träger
ist mit einem exzentrisch angeordneten Stift versehen, der mit einem Spalt in einem mit einer photographischen
Platte versehenen Halter in einem auf der Seite liegenden Raum zusammenwirken kann.
Nachdem durch Ziehen an der Spindel des Trägers dieser vom Fuß wegbewegt ist, kann der Stift durch
Drehung des Trägers den Halter mit der photographischen Platte über den Träger und damit unter die Öffnung
im Fuß ziehen. Nachdem eine photographische Aufnahme gemacht worden ist, kann der Halter mit der
Platte durch abermaliges Drehen des Trägers in den Raum zurückgedrückt werden.In a known device of this type, the carrier is a disc centrally provided with a fluorescent screen, which is rotatable about an axis passing through the center of the circular opening in the base. The support is provided with an eccentrically arranged pin which can cooperate with a gap in a holder provided with a photographic plate in a space lying on its side.
After the carrier has been moved away from the foot by pulling on the spindle of the carrier, the pin can pull the holder with the photographic plate over the carrier and thus under the opening in the foot by rotating the carrier. After a photograph has been taken, the holder with the plate can be pushed back into space by turning the carrier again.
Es ist auch eine Vorrichtung zum Einbringen von photographischem Material in Elektronenstrahlgeräte bekannt, bei der ein um eine exzentrisch zur Öffnung im Fuß der Geräte angeordnete Achse drehbarer Träger vorgesehen ist, auf dem eine Photoplatte angeordnet und durch Drehen der Träger um 180° unter die Öffnung im Gerätefuß gebracht wird (DT-PS 9 61 369). Es kann bei diesen Geräten jeweils nur eine Aufnahme gemacht werden, und dann muß die Platte im Halter durch eine neue ersetzt werden, wozu der Raum von außen her geöffnet werden muß. Das bedeutet Arbeit und Zeitverlust, da nach dem Anordnen einer neuen Platte in dem Halter der Raum zunächst wieder evakuiert werden muß. Ein anderer Nachteil des erstgenannten Geräts besteht darin, daß der Leuchtschirm von dem jeweils über ihn schiebenden Halter beschädigt werden kann. Ein anderer Nachteil dieser bekannten Geräte ist, daß sie kaum geeignet sind für die immer mehr Eingang findende Bildwiedergabetechnik mittels einer Fernsehröhre, wozu hinter einem den Elektronenstrahl auffangenden Leuchtschirm eine optisch mit demselben gekoppelte Fernsehaufnahmeröhre angeordnet wird. Bei den bekannten Geräten erlaubt der Träger eine derartige Anordnung nicht.It is also a device for loading photographic material into electron beam devices known, in which a carrier rotatable about an axis arranged eccentrically to the opening in the base of the devices is provided on which a photo plate is arranged and by rotating the carrier by 180 ° under the Opening in the device base is made (DT-PS 9 61 369). These devices can only have one recording at a time must be made, and then the plate in the holder must be replaced with a new one, for which the space must be opened from the outside. That means work and loss of time, since after arranging one new plate in the holder of the space must first be evacuated again. Another disadvantage of the former Device is that the fluorescent screen is damaged by the holder sliding over it can be. Another disadvantage of these known devices is that they are hardly suitable for ever Image reproduction technology using a television tube, which is behind one of the Electron beam intercepting fluorescent screen a television pickup tube optically coupled to the same is arranged. In the known devices, the carrier does not allow such an arrangement.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Elektronenstrahlgerät der eingangs erwähnten Art zu schaffen, bei dem die erwähnten Nachteile vermiedenThe invention is based on the object of an electron beam device of the type mentioned in the opening paragraph, in which the disadvantages mentioned are avoided
sind, ohne daß dies zu einer nennenswerten verwickelten Bauart geführt hat.without this having resulted in a noticeably intricate design.
j Nach der Erfindung weist ein Gerät der eingangs er-j According to the invention, a device that initially
: wähnten Art das Kennzeichen auf, daß die Drehachse des Trägers außerhalb der öffnung im Fuß des Geräts liegt, daß der Träger in einem über den Magazinraum drehbaren Teil mit einer an einer anderen Stelle als der Leuchtschirm angeordneten durchgehenden fensterförmigen öffnung zum Aufnehmen einer photographischen Platte aus diesem Magazinraum versehen ist, wozu das photographische Material im Magazinraum durch Federdruck in Richtung des Trägers gedrückt werden kann, daß ebenfalls neben der öffnung im Fuß ein zweiter gleichartiger Magazinraum zum Aufnehmen des vom Träger transportierten Materials angebracht ist und daß sich der zweite Magazinraum im gleichen Abstand von der Drehachse des Trägers befindet wie das erstgenannte Magazin.: kind of mentioned the indicator that the axis of rotation of the carrier lies outside the opening in the foot of the device, that the carrier lies in one over the magazine space rotatable part with a continuous window-shaped arranged at a different point than the luminescent screen opening is provided for receiving a photographic plate from this magazine space, for which purpose the photographic material in the magazine space is pressed in the direction of the carrier by spring pressure can be that also next to the opening in the foot a second similar magazine space for receiving of the material transported by the carrier is attached and that the second magazine space is in the same distance from the axis of rotation of the carrier is as the first-mentioned magazine.
Bei einer günstigen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Geräts sind die Lagen beider Magazinräume einer des anderen Spiegelbild gegenüber der durch die Drehachse des Trägers und die Strahlrichtung gehenr, den Ebene und der Leuchtschirm und die fensterförmige öffnung liegen diametral gegenüber der Drehachse des Trägers.In a favorable embodiment of the device according to the invention, the positions of both magazine spaces are one of the other mirror image opposite the one going through the axis of rotation of the carrier and the beam direction, the plane and the luminescent screen and the window-shaped opening are diametrically opposite the axis of rotation of the wearer.
Um die Anwendung der obenerwähnten Fernsehtechnik in einfacher Weise zu ermöglichen, ist nach einer weiteren Ausarbeitung der Erfindung eine den Raum mit dem Träger auf der von dem Fuß abgewandten Seite abdichtende Schließplatte mit einer öffnung versehen, deren Zentrum in der Strahlrichtung der Elektronen im Gerät hinter dem Zentrum der öffnung im Fuß liegt und die vakuumdicht abschließbar ist. Diese öffnung läßt sich mit einem einfachen Hilfsteil abschließen, der ohne viel Mühe durch einen Halter mit einem Leuchtschirm und einer mit diesem optisch gekoppelten Fernsehaufnahmeröhre ersetzt werden kann. Dieser letztgenannte Schirm ist für den Elektronenstrahl erreichbar, wenn der Träger in eine derartige Lage gebracht wird, daß sich die fensterförmige öffnung ohne eine darin befindliche photographische Platte unter der öffnung im Fuß befindet.In order to enable the above-mentioned television technology to be used in a simple manner, according to Another elaboration of the invention is the space with the carrier on the facing away from the foot Side sealing closing plate provided with an opening, the center of which in the jet direction of the Electrons in the device lies behind the center of the opening in the foot and which can be locked in a vacuum-tight manner. This The opening can be closed with a simple accessory that can be easily attached to a holder a fluorescent screen and a television tube optically coupled with this can be replaced. This latter screen can be reached by the electron beam when the wearer is in such a screen It is brought into position that the window-shaped opening is without a photographic plate located therein located under the opening in the foot.
Als Ausführungsbeispiel der Erfindung wird ein Elektronenmikroskop an Hand der Zeichnung näher beschrieben. Es zeigtAn electron microscope is used as an embodiment of the invention described in more detail on the basis of the drawing. It shows
F i g. 1 eine Draufsicht des unteren Teils des Fußes, wobei die die Elektronen beeinflussenden Mikroskopteile fortgelassen sind,F i g. 1 is a plan view of the lower part of the foot, showing the microscope parts that affect the electrons are omitted
F i g. 2 einen Schnitt durch diesen Teil gemäß der Linie H-II,F i g. 2 shows a section through this part along the line H-II,
F i g. 3 einen Schnitt durch diesen Teil gemäß der Linie HI-III1 F i g. 3 shows a section through this part along the line HI-III 1
F i g. 4 eine detaillierte Darstellung einer Erweiterung des Mikroskopgebrauchs.F i g. 4 shows a detailed illustration of an extension of the microscope use.
Der Fuß des Mikroskops 1 enthält eine Grundplatte 2, auf der das Mikroskop angeordnet ist, und ein an der Grundplatte befestigtes Gehäuse 3, dessen Verbindung mit der Grundplatte durch Verwendung eines Gummistreifens 4 luftdicht istThe foot of the microscope 1 contains a base plate 2 on which the microscope is arranged, and one on the Base plate attached housing 3, its connection to the base plate by using a rubber strip 4 is airtight
In der Grundplatte 2 befindet sich eine öffnung 5 (F i g. 3). Diese dient zum Durchlaß der Elektronenstrahlen, mit denen ein Elektronenbild an einem im Gehäuse 3 vorhandenen Leuchtschirm 6 oder auf einer photographischen Platte 7 gebildet wird.In the base plate 2 there is an opening 5 (FIG. 3). This serves for the passage of the electron beams, with which an electron image on a luminescent screen 6 present in the housing 3 or on a photographic plate 7 is formed.
Der Leuchtschirm oder die photographische Platte können beliebig vor der öffnung 5 angeordnet werden.The luminescent screen or the photographic plate can be arranged in front of the opening 5 as desired.
Meistens wird eine photographische Aufnahme gemacht anläßlich des am Leuchtschirm erschienenen Bildes. Durch Beschädigung und Verformung oder einige andere Ursachen von Objektverformung ist ein schneller Übergang vom sichtbaren Bild zur photographischen Aufnahme oft notwendig, was zur gleichzeitigen Verschiebung des Leuchtstoffträgers und der Filmplatte geführt hat. Im dargestellten Mikroskopfuß befindet sich dazu im Gehäuse ein drehbarer Träger 8, auf dem eine mit Leuchtstoff bedeckte Platte 9 durch Federn 10 unterstützt wird. Da belichtete photographische Filmplatten aus dem Gehäuse entfernt werden können müssen, wird die Platte 9 zugleich dazu verwendet, die öffnung 5 luftdicht abzuschließen.Usually a photograph is taken of the image that appears on the luminescent screen. Damage and deformation or some other cause of object deformation is a quick one Transition from the visible image to the photographic recording is often necessary, leading to the simultaneous Has led to displacement of the fluorescent support and the film plate. Located in the microscope base shown For this purpose, a rotatable support 8 is located in the housing, on which a plate 9 covered with fluorescent material is supported by springs 10 is supported. Since exposed photographic film plates must be removable from the housing, the plate 9 is also used to close the opening 5 airtight.
Dazu ist am Rand der Platte ein Dichtungsring 11 in einer Rille angeordnet.For this purpose, a sealing ring 11 is arranged in a groove on the edge of the plate.
Der Abschluß der öffnung 5 erfolgt dadurch, daß der drehbare Träger 8 nach oben bewegt wird, wozu dessen Spindel 12 mit Führung durch Kugeln 13 hin und her bewegbar ist. Um die Spindel herum befindet sich eine Büchse 14, die durch in Rillen 15 der Spindel angeordnete Kugeln 16 unterstützt wird, deren Laufflächen in der Büchse 14 Verschiebung der letzteren gegenüber der Spindel verhindern, während die Büchse unbehindert um die Spindel herum drehbar ist. Ein auf der Außenseite des Gehäuses bedienbarer Knopf 17 ermöglicht es, eine Spindel 18 zu drehen, deren Ende mit einer Scheibe 19 mit einem exzentrisch darauf angebrachten Stift 20 versehen ist, der in eine Aussparung der Büchse greift. Durch Drehung der Spindel 18 bewegt sich die Büchse und dadurch der drehbare Träger 8 hin und her.The closure of the opening 5 takes place in that the rotatable carrier 8 is moved upwards, for which purpose Spindle 12 can be moved back and forth with guidance by balls 13. Around the spindle is a sleeve 14 which is supported by balls 16 arranged in grooves 15 of the spindle, the running surfaces of which in the sleeve 14 prevent displacement of the latter relative to the spindle while the sleeve is freely rotatable around the spindle. A button 17 that can be operated on the outside of the housing enables it to turn a spindle 18, the end of which with a disc 19 with an eccentric mounted on it Pin 20 is provided which engages in a recess in the sleeve. Moved by rotation of the spindle 18 the sleeve and thereby the rotatable carrier 8 to and fro.
F i g. 2 zeigt den Träger 8 in seiner unteren Lage, während in F i g. 3 der Träger 8 nach oben gebracht ist, und die Leuchtstoffplatte 9 schließt dann die öffnung 5 ab. In diesem Fall kann Luft in das Gehäuse 3 hineingelassen werden.F i g. 2 shows the carrier 8 in its lower position, while in FIG. 3 the carrier 8 is brought up, and the fluorescent plate 9 then closes off the opening 5. In this case, air can be let into the housing 3 will.
Bei normalem Gebrauch des Mikroskops ist das Gehäuse evakuiert und die öffnung 5 kann freigemacht werden. Dazu bringt man den Träger 8 in seine untere Lage, wonach dieser frei drehbar ist. Durch Einschaltung eines motorischen Antriebs, von dem nur das mit dem Träger zusammenwirkende Treibrad 21 in F i g. 1 dargestellt ist, wird der Träger um 180° gedreht. Diametral gegenüber der Stelle des Leuchtstoffschirms ist der Träger mit einer rechteckigen öffnung 22 versehen. An zwei Rändern 23 und 24 derselben sind Platten 25 und 26 mit Vorsprüngen 27 und 28 angeordnet, die über einen kurzen Abstand jenseits der Ränder 23 und 24 in die öffnung 22 hineinragen. In die öffnung wird ein in einem Rahmen gespannter Film oder eine Filmplatte 7 gebracht, der bzw. die in der dabei eingenommenen Lage gegen die Vorsprünge 27 und 28 drückt.During normal use of the microscope, the housing is evacuated and the opening 5 can be cleared will. To do this, the carrier 8 is brought into its lower position, after which it can be freely rotated. By switching on a motor drive, of which only the drive wheel 21 in FIG. 1 is shown, the carrier is rotated 180 °. Diametrically opposite the location of the phosphor screen the carrier is provided with a rectangular opening 22. On two edges 23 and 24 of the same are plates 25 and 26 arranged with projections 27 and 28, which over a short distance beyond the edges 23 and 24 protrude into the opening 22. In the opening will brought a film stretched in a frame or a film plate 7, the or those in the occupied thereby Position against the projections 27 and 28 presses.
Das Einbringen des Films 7 in die Trägeröffnung 22 geschieht während sich der Träger 8 bewegt. Dadurch, daß dieser gedreht wird, verschiebt sich die Trägeröffnung 22 zunächst an einer Öffnung 29 im Boden 30 des Gehäuses 3 vorbei, auf dessen Unterseite ein Raum 31 zur Lagerung einer Anzahl Filmblätter oder Platten 7 angeordnet ist. Das Filmmaterial wird durch eine Feder 32 aufwärts gedrückt und sobald sich die öffnung 22 im Träger 8 über der öffnung 29 im Boden 30 des Gehäuses 3 befindet, springt ein Halter samt Film 7 in die Trägeröffnung 22 und kann daraus beim Weiterbewegen des Trägers 8 nicht entfernt werden. Der Antriebsmechanismus für den Träger 8 ist mit Mitteln, beispielsweise elektrischen Kontakten versehen, die den elektrischen Strom zur Motorerregung unterbrechen, wenn sich der Träger so weit gedreht hat, daß die öffnung 22 mit dem darin befindlichen Film 7 gegenüber der öff-The introduction of the film 7 into the carrier opening 22 occurs while the carrier 8 is moving. Through this, that this is rotated, the carrier opening 22 moves first at an opening 29 in the bottom 30 of the Housing 3, on the underside of which there is a space 31 for storing a number of film sheets or plates 7 is arranged. The film material is pressed upwards by a spring 32 and as soon as the opening 22 is in the Carrier 8 is located above the opening 29 in the bottom 30 of the housing 3, a holder including the film 7 jumps into the Carrier opening 22 and cannot be removed therefrom when the carrier 8 is moved further. The drive mechanism for the carrier 8 is provided with means, for example electrical contacts, the electrical Interrupt the current to excite the motor when the carrier has rotated so far that the opening 22 with the film 7 in it opposite the open
nung 5 in der Grundplatte 2 angelangt ist. Im dargestellten Beispiel hat sich der Träger dann um eine halbe Umdrehung gedreht. Nachdem die Bildaufnahme gemacht worden ist, führt der Träger 8 die nächste halbe Umdrehung durch. Dabei wird sich die öffnung 22 im Träger kurz über einer anderen öffnung 33 im Boden 30 des Gehäuses 3 befinden, auf dessen Unterseite ein Raum 34 zum Aufnehmen des der Strahlung ausgesetzten Filmmaterials 7 angeordnet ist. Dadurch, daß in diesem Augenblick jede Unterstützung fehlt, fällt der Filmhalter oder die Platte durch sein bzw. ihr Eigengewicht in diesen Raum 34. Die Umdrehung des Trägers 8 wird danach vollendet und das Getriebe aufs neue außer Betrieb gesetzt, wonach ein Leuchtstoffbild betrachtet oder eine nächste Filmplatte, durch das abermalige Drehen des Trägers 8, an die zur Herstellung einer Aufnahme bestimmte Stelle gebracht werden kann. Man kann die beiden Räume 31 und 34, der eine zum Füllen mit neuem Filmmaterial und der andere zum Leeren, leicht entfernen, nachdem die öffnung 5 in der Grundplatte durch die Leuchtstoffplatte 9 abgeschlossen und Luft in das Gehäuse 3 eingelassen worden ist. Die Räume sind über auf der Außenseite am Boden 30 des Gehäuses 3 angeordneten Profilleisten 35 verschiebbar und durch Ziehen beide in derselben Richtung entfernbar. Dazu ist jeder Raum mit einem Griff 36 versehen.tion 5 has arrived in the base plate 2. In the example shown, the carrier has then increased by half Rotation. After the image recording has been made, the carrier 8 guides the next half Rotation through. The opening 22 in the carrier will be located just above another opening 33 in the base 30 of the housing 3 are located, on the underside of which a space 34 for receiving the exposed to the radiation Film material 7 is arranged. Because there is no support at this moment, it falls Film holder or the plate by its own weight in this space 34. The rotation of the carrier 8 is then completed and the transmission is put out of operation again, after which a fluorescent image is viewed or a next film plate, by rotating the carrier 8 again, on the one for manufacture a certain point can be brought to a recording. You can use the two rooms 31 and 34, one to fill with new film material and the other to empty, easily remove after opening the 5 in the base plate has been closed by the fluorescent plate 9 and air has been let into the housing 3 is. The spaces are via profile strips 35 arranged on the outside on the floor 30 of the housing 3 slidable and both removable by pulling in the same direction. In addition, every room has one Handle 36 provided.
Selbstverständlich müssen die Räume mit einem lichtdichten Abschluß versehen sein, wozu ein Schiebedeckel dienen kann, -der in übrigens bekannter Weise beim Einschieben eines Raumes in die Arbeitslage entfernt wird, und der sich schließt, wenn der Raum in entgegengesetzter Richtung verschoben wird.Of course, the rooms must be provided with a light-tight seal, including a sliding cover can serve, - removed in the way known by the way when inserting a room into the working position and which closes when the space is moved in the opposite direction.
Eine Sondervorkehrung, die das Mikroskop ohne weiteres zum Anschluß eines Fernsehkreises geeignet macht, ist mittels einer dritten im Boden (30) des Gehäuses 3 angeordneten öffnung 37 getroffen worden, deren Mitte mit der Achse des Mikroskops zusammenfällt An einer nach unten gerichteten Schnauze 38 ist ein Befestigungsrand 39 angebracht, gegen den eine Abdeckplatte 41 durch Knebel 40 luftdicht angedrückt wird. Die Abdeckplatte 41 ist ersetzbar durch einen Halter 42, der einen Übertragungsleuchtschirm 43, eine optische Linse 44 und eine Fernsehaufnahmeröhre 45 vom Vidikontyp enthält, und dessen Rand 46 durch die Knebel 40 gegen den Befestigungsrand 39 der Schnauze 38 geklemmt wird. Durch eine Umkehrbewegung der Drehrichtung des Antriebs des Trägers 8 kann dieser eine halbe Umdrehung in entgegengesetztem Sinne durchführen, wobei sich also die Öffnung 22 im Träger an der öffnung 33 im Boden 30 des Gehäuses 3 entlang bewegt, die mit dem Raum 34 zum Aufnehmen der belichteten Filmplatten in Verbindung steht. Dies ergibt, daß der Träger 8 nach der halben Umdrehung die Lage einnimmt, bei der die öffnung 22 gegenüber der öffnung 5 in der Grundplatte 2 liegt, und die Strahlung aus dem Mikroskop dann unbehindert den Übertragungsschirm 43 der Fernsehaufnahmevorrichtung erreichen kann. Die an sich einfache Umschaltung der Drehung des Antriebsmechanismus kann mit bekannten Mitteln erfolgen.A special precaution that makes the microscope easily suitable for connecting a television circuit makes, has been made by means of a third opening 37 arranged in the bottom (30) of the housing 3, the center of which coincides with the axis of the microscope a fastening edge 39 is attached, against which a cover plate 41 is pressed airtight by means of toggles 40 will. The cover plate 41 is replaceable by a holder 42, a transmission screen 43, a optical lens 44 and a television pickup tube 45 of the vidicon type, and its rim 46 through the Gag 40 is clamped against the fastening edge 39 of the snout 38. By a reverse movement the direction of rotation of the drive of the carrier 8 can be half a turn in the opposite direction carry out, so the opening 22 in the carrier along the opening 33 in the bottom 30 of the housing 3 moved, which is in communication with the space 34 for receiving the exposed film plates. This results in that after half a revolution the carrier 8 assumes the position in which the opening 22 is opposite the opening 5 lies in the base plate 2, and the radiation from the microscope can then reach the transmission screen 43 of the television recording device unimpeded can. The switching of the rotation of the drive mechanism, which is simple per se, can be carried out using known means respectively.
Hierzu 2 Blatt ZeichnungenFor this purpose 2 sheets of drawings
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DE1614270B2 DE1614270B2 (en) | 1976-02-12 |
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