DE1596906B2 - Vapor deposition process for covering curved surfaces with several thin, optically effective layers that have a uniform thickness or a controlled course of the thickness over the entire surface - Google Patents

Vapor deposition process for covering curved surfaces with several thin, optically effective layers that have a uniform thickness or a controlled course of the thickness over the entire surface

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DE1596906B2 DE19661596906 DE1596906A DE1596906B2 DE 1596906 B2 DE1596906 B2 DE 1596906B2 DE 19661596906 DE19661596906 DE 19661596906 DE 1596906 A DE1596906 A DE 1596906A DE 1596906 B2 DE1596906 B2 DE 1596906B2
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Description

Bei parabolischen Spiegeln fällt bei Anordnung der Lichtquelle im Brennpunkt nur das längs der Achse der Parabel einfallende Licht senkrecht ein. Die Schichten müssen; somit zum Rand des Spiegels hin gleichmäßig dicker werden.In the case of parabolic mirrors, when the light source is arranged in the focal point, only that falls along the Axis of the parabola incident light is perpendicular. The layers must; thus to the edge of the mirror become evenly thicker.

Im vorstehenden wurde angenommen, daß die Lichtquelle als punktförmig betrachtet werden kann, was in vielen praktischen Fällen in erster Annäherung zulässig ist.In the foregoing it was assumed that the light source can be viewed as point-like, which in many practical cases is admissible as a first approximation.

In der Praxis stellte es sich als möglich heraus, nach dem erfindungsgemäßen Verfahren 60 kugelförmige Spiegel mit je einem vom kreisförmigen Rand umschlossenen Flächeninhalt von etwa 15,9 cm2 und einer größten Tiefe bis zu dieser Fläche von 1,5 cm oder z. B. 4 parabolische Spiegel mit je einem vom kreisförmigen Rand umschlossenen Flächeninhalt von etwa 213,7 cm2 senkrecht zur Achse und einer größten Tiefe, gemessen bis zu dieser Fläche von 6,5 cm, gleichzeitig zu bedampfen. Dabei wurden auf jedem der Spiegel 21 Schichten aufgedampft. Die so erhaltenen Spiegel wiesen eine einheitliche Farbe auf der ganzen Fläche und keine farbigen Ringe auf. Der anzuwendende Restgasdruck ist unter anderem von der Art des Restgases., von der Form und den Abmessungen der zu bedampfenden Flächen, vom Abstand zwischen diesen Flächen und der Dampfquelle und von der Temperatur, der Form und den Abmessungen der Dampfquelle abhängig. Sie läßt sich jedoch von Fall zu Fall experimentell durch einige wenige einfache Versuche bestimmen.In practice, it turned out to be possible, according to the method according to the invention, to use 60 spherical mirrors, each with an area of approximately 15.9 cm 2 enclosed by the circular edge and a maximum depth up to this area of 1.5 cm or e.g. B. 4 parabolic mirrors each with an area enclosed by the circular edge of about 213.7 cm 2 perpendicular to the axis and a greatest depth, measured up to this area of 6.5 cm, to vaporize at the same time. In doing so, 21 layers were vapor-deposited on each of the mirrors. The mirrors obtained in this way had a uniform color over the entire surface and no colored rings. The residual gas pressure to be used depends, among other things, on the type of residual gas, on the shape and dimensions of the surfaces to be steamed, on the distance between these surfaces and the steam source and on the temperature, shape and dimensions of the steam source. However, it can be determined experimentally on a case-by-case basis by means of a few simple experiments.

Im allgemeinen gilt, daß der Druck des Edelgases um so größer sein muß, je kleiner der Krümmungshalbmesser des zu bedampfenden Gegenstandes ist. Gute Ergebnisse wurden bei Drücken zwischen 0,5 und 1,5 · 10-3 Torr erreicht.In general, the smaller the radius of curvature, the greater the pressure of the noble gas must be of the object to be steamed. Good results have been obtained at pressures between 0.5 and reached 1.5 x 10-3 Torr.

Die Wärmebehandlung wird angewandt, nachdem sämtliche Schichten auf die Spiegel aufgebracht worden sind, indem die Gegenstände während einer bestimmten Zeit in einem Ofen erhitzt werden, z. B. während 1 Stunde auf 400° C.The heat treatment is applied after all of the layers have been applied to the mirrors are by heating the objects in an oven for a certain time, e.g. B. for 1 hour at 400 ° C.

Auf diese Weise sind eine Haftung der Schichten an der Oberfläche und aneinander und eine Beständigkeit gegen chemische und physikalische Einflüsse erzielbar, die gleich denjenigen von Gegenständen sind, die durch Aufdampfen in einem Vakuum von mindestens 10~6 Torr hergestellt, aber optisch weniger gut sind.In this way, adhesion of the layers to the surface and to each other, and a resistance to chemical and physical influences can be achieved which are equal to those of articles produced by vapor deposition in a vacuum of at least 10 -6 Torr, but are less visually good.

An Hand der Zeichnung wird das erfindungsgemäße Verfahren in bezug auf die Herstellung von Kaltspiegeln nachstehend näher erläutert.With reference to the drawing, the inventive method with respect to the production of Cold mirrors explained in more detail below.

Fig. 1 ist im Schnitt eine kugelförmige Schüssel.Fig. 1 is a spherical bowl in section.

F i g. 2 ist im Schnitt eine parabolische Schüssel.F i g. 2 is a parabolic bowl in section.

F i g. 3 zeigt schematisch im Schnitt eine Aufdampfvorrichtung. F i g. 3 shows schematically in section a vapor deposition device.

Ein Kaltlichtspiegel ist ein Spiegel, der das sichtbare Licht reflektiert und die Ultrarotstrahlung durchläßt. Durch Verwendung eines solchen Spiegels bei einem Projektionssystem wird die Wärmemenge im Bildfenster geringer als bei einem üblichen Spiegel, so daß die Gefahr einer Beschädigung des Filmes oder Diapositives durch Übererhitzung oder Verbrennung geringer ist.A cold light mirror is a mirror that reflects visible light and ultra-red radiation lets through. By using such a mirror in a projection system, the amount of heat less in the picture window than with a conventional mirror, so that there is a risk of damage to the film or slides are less due to overheating or burning.

Die Wirkung eines solchen Spiegels beruht auf einer Interferenzerscheinung, die dadurch herbeigeführt wird, daß mehrere Schichten mit abwechselnd hoher und niedriger Brechzahl und je einer derartigen optischen Dicke, daß die erwünschte Interferenz auftritt, aufeinander angebracht werden.The effect of such a mirror is based on an interference phenomenon that is brought about by it is that several layers with alternating high and low refractive index and each such optical thickness that the desired interference occurs, are attached to each other.

Schichten mit niedriger Brechzahl können z. B. mit Hilfe von Kryolith (n = 1,36), Magnesiumfluoride (n = 1,39) und Siliziumdioxid (n = 1,5), Schichten mit hoher Brechzahl mit Hilfe ν,ρη Zinksulfide (n = 2,2) und Titanoxid (n = 2,2 — 2>6) hergestellt werden.Layers with a low refractive index can e.g. B. with the help of cryolite (n = 1.36), magnesium fluoride (n = 1.39) and silicon dioxide (n = 1.5), layers with a high refractive index with the help of ν, ρη zinc sulfide (n = 2.2) and Titanium oxide (n = 2.2 - 2> 6) can be produced.

Fig. 1 zeigt im Schnitt eine kugelförmige Schüssel 1 aus Glas, bei der a = 4,5 cm und b = 1,5 cm ist. Auf sechzig dieser Schüsseln wurde gleichzeitig ίο an der Innenseite nach dem erfindungsgemäßen Verfahren je ein Filter angebracht, das aus abwechselnden ZnS- und MgF2-Schichten bestand. Insgesamt wurden 19 Schichten aufgebracht.Fig. 1 shows in section a spherical bowl 1 made of glass, in which a = 4.5 cm and b = 1.5 cm. On sixty of these bowls at the same time a filter was attached to the inside according to the method according to the invention, which consisted of alternating ZnS and MgF 2 layers. A total of 19 layers were applied.

Der Gasdruck betrug 0,8 · 10~3 mm, das Restgas war Argon.The gas pressure was 0.8 x 10 -3 mm, the residual gas was argon.

Die Filter, die sichtbares Licht reflektieren und Wärmestrahlung hindurchlassen, weisen kein Ringsystem auf. The filters, which reflect visible light and allow thermal radiation to pass through, do not have a ring system.

Die Haftung der Schichten aneinander und an der Unterlage 1 war nach einer Wärmebehandlung ebenso gut wie bei Filtern, die im Hochvakuum hergestellt worden waren.The adhesion of the layers to one another and to the substrate 1 was the same after a heat treatment as well as filters made in a high vacuum.

Die im Hochvakuum hergestellten Filter weisen jedoch unter diesen Umständen alle ein Ringsystem auf, was darauf hinweist daß die Schichtdicken nicht richtig verlaufen.The filters produced in a high vacuum, however, all have a ring system under these circumstances on, which indicates that the layer thicknesses are not running properly.

F i g. 2 zeigt im Schnitt eine parabolische Schüssel aus Glas, bei der a =,16,5 cm und b = 6,5 cm ist.F i g. 2 shows in section a parabolic bowl made of glass, in which a = 16.5 cm and b = 6.5 cm.

Auf vier dieser Schüsseln wurde gleichzeitig an der Innenseite je ein Filter aufgebracht, das aus abwechselnden Zinksulfid- und Magnesiumfluoridschichten bestand. Insgesamt wurden 19 Schichten aufgebracht. Der Glasdruck betrug 0,7 · 10~3 mm, das Restgas bestand aus Argon.A filter consisting of alternating layers of zinc sulfide and magnesium fluoride was placed on the inside of four of these bowls at the same time. A total of 19 layers were applied. The glass pressure was 0.7 x 10 -3 mm, the residual gas consisted of argon.

Das Filter wurde in einem Ofen einer Wärmebehandlung unterworfen, Zeit: 1 Stunde, Temperatur: 400° C.The filter was subjected to a heat treatment in an oven, time: 1 hour, temperature: 400 ° C.

Die Haftung der Schichten war nunmehr ebenso gut wie bei einem Filter, das im Hochvakuum hergestellt worden war.The adhesion of the layers was now just as good as with a filter made in a high vacuum had been.

Im Gegensatz zu' einem im Hochvakuum hergestellten Filter weist ein erfindungsgemäß hergestelltes Filter jedoch keine Ringstruktur bei durchtretendem Licht auf. Hieraus folgt, daß die Schichtdicken auf der ganzen Fläche richtig verlaufen.In contrast to 'one produced in a high vacuum However, a filter produced according to the invention does not have a ring structure when it passes through the filter Light up. It follows from this that the layer thicknesses are correct over the entire surface.

F i g. 3 zeigt schematisch im Schnitt eine Aufdampfvorrichtung, die bei der Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens benutzt werden kann.F i g. 3 shows schematically in section a vapor deposition device which is used when the inventive Procedure can be used.

In einer Vakuumglocke 2, die auf einer Grundplatte 3 steht, befindet sich eine Halterung, die um die Zentralachse der Glocke drehbar ist, zwei Aufdampftiegel 4 und 5, ein System, das aus einer Lichtquelle 6 und einer flachen Glasplatte 7 besteht, eine Photozelle 17 (außerhalb der Glocke), ein Gerät, mit dem der von dieser Zelle gelieferte Photostrom gemessen und somit die Bedampfung photoelektrisch verfolgt und überwacht werden kann und eine Glimmentladungsspirale 8 zum Reinigen der zu bedampfenden Schüsseln 1.In a bell jar 2, which stands on a base plate 3, there is a holder that is around the central axis of the bell is rotatable, two vapor deposition crucibles 4 and 5, a system that consists of a light source 6 and a flat glass plate 7 consists of a photocell 17 (outside the bell), a device with which the photocurrent supplied by this cell is measured and thus the vapor deposition photoelectrically can be tracked and monitored and a glow discharge spiral 8 for cleaning the to be vaporized Bowls 1.

Die Halterung besteht aus einer Metallplatte 9, in der Öffnungen für die zu bedampfenden Schüsseln 1 und die flache Glasplatte 7 angebracht sind. Die Schüsseln werden mit Hilfe von Stützkörpern 10 in der entsprechenden öffnung der Metallplatte 9 befestigt. The holder consists of a metal plate 9 in which openings for the bowls 1 to be steamed and the flat glass plate 7 are attached. The bowls are supported with the help of 10 in attached to the corresponding opening of the metal plate 9.

Die Platte 9 ruht in einem Metallring 11, der durch mehrere Stäbe 12 an einem Metallring 13 befestigt ist.The plate 9 rests in a metal ring 11 which is fastened to a metal ring 13 by a plurality of rods 12 is.

Der Metallring 13 kann mit Hilfe eines Antriebsrades 14, das von einem nicht dargestellten Elektromotor angetrieben wird, in eine drehende Bewegung gebracht werden. Der Ring 13 wird an drei Stellen durch ein aus zwei Rädern 15 und 16 bestehendes Führungssystem abgestützt.The metal ring 13 can with the help of a drive wheel 14, which is from an electric motor, not shown is driven, are brought into a rotating motion. The ring 13 is in three places supported by a guide system consisting of two wheels 15 and 16.

Nachdem die Schüsseln 1 in der Metallplatte 9 montiert sind und die Glasplatte 7 angebracht ist, wird die Glocke auf einen Druck von 10~5mm Quecksilbersäule entlüftet, wonach das Ventil zwischen Diffusionspumpe und Glocke geschlossen wird. Dann wird in die entlüftete Glocke durch ein Nadelventil soviel Argon gegeben, daß in der Glocke eine Glimmentladung von etwa 2200 Volt und etwa 60 mA entstehen kann. Während der Glimmentladung läuft das Halterungssystem um.After the bowls 1 are mounted in the metal plate 9 and the glass plate 7 is attached, the bell is vented to a pressure of 10 ~ 5 mm of mercury, after which the valve between the diffusion pump and bell is closed. Then enough argon is introduced into the vented bell through a needle valve that a glow discharge of about 2200 volts and about 60 mA can arise in the bell. The mounting system rotates during the glow discharge.

Die Glimmentladung wird eine V2 Stunde aufrechterhalten. Dann wird die Glocke wieder auf etwa 10~5mm Quecksilbersäule entlüftet. Danach wird durch ein Nadelventil ein kontinuierlicher Argonstrom derart zugelassen, daß der Druck in der Glocke auf 0,7-1O-3 mm Quecksilbersäule gehalten wird. Während des ganzen Aufdampfungsvorganges wird dieser Druck durch Regelung des Argonstromes durch das Nadelventil und durch Drosselung der Pumpgeschwindigkeit möglichst konstant gehalten.
Während die Halterung umläuft, wird jetzt abwechselnd aus dem Tiegel 4 und aus dem Tiegel 5 Material aufgedampft.The glow discharge is maintained for two and a half hours. Then the bell is deflated again to about 10 ~ 5 mm of mercury. Thereafter, a continuous stream of argon is admitted so that the pressure is maintained in the bell on 0,7-1O -3 mm of mercury by a needle valve. During the entire evaporation process, this pressure is kept as constant as possible by regulating the argon flow through the needle valve and by reducing the pumping speed.
While the holder is rotating, material is now alternately evaporated from the crucible 4 and from the crucible 5.

Der Aufdampfvorgang wird photoelektrisch ver-: folgt. Bei Verwendung solcher erfindungsgemäß hergestellter Kaltspiegel in Projektionsgeräten ,zeigte sich, daß die Temperatur im Bildfenster verhältnis-' mäßig niedrig blieb. Im allgemeinen wurde gefunden, daß diese Temperatur halb so hoch ist, wie sie bei Verwendung von Silberspiegeln auftritt.The vapor deposition process is followed photoelectrically. When using such manufactured according to the invention Cold mirrors in projection devices showed that the temperature in the picture window was remained moderately low. In general, this temperature has been found to be half that of Use of silver mirrors occurs.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims (2)

1 2 Haftung der aufgedampften Stoffe an der Unterlage Patentansprüche: nicht. Es wurde jedoch gefunden, daß sich bei diesem1 2 Adhesion of the vapor-deposited substances to the base Patent claims: not. However, it has been found that this 1. Verfahren zum Bedecken gekrümmter Flä- Verfahren auf gekrümmten Flächen, eine gleichchen mit mehreren dünnen, optisch wirksamen 5 mäßige Schichtdicke oder eine Schichtdicke mit ge-Schichten für die Herstellung von gekrümmten regeltem Verlauf nur schwierig erhalten lassen,
optischen Spiegeln, Reflexionsfiltern und Inter- Es wurden bereits Verfahren zum Bedecken von ferenzfiltern, bei dem die Schichten nacheinander Gegenständen durch Aufdampfen mit gleichmäßiger aufgedampft werden und auf der ganzen Fläche Schichtdicke vorgeschlagen; bei diesem Verfahren eine gleichmäßige Dicke oder einen geregelten io läßt man die zu bedampfenden Gegenstände eine Verlauf der Dicke aufweisen, dadurch ge- komplizierte, üblicherweise planetarische Bewegung kennzeichnet, daß während des Auf dampf- in bezug auf die Dampf quelle ausführen. Das Be-. Vorganges der Schichten ein Edelgas-Restgas- decken von Gegenständen mit einer Schicht, die'. druck in der Größenordnung von 10~3 mm An- einen geregelten Verlauf der Dicke aufweist, ist im wendung findet, bei dem eine Streuung des 15 Prinzip auch auf diese Weise möglich.
Dampfstrahles auftritt, und daß nach dem Auf- Die zu diesem Zweck zu treffenden Vorkehrungen dampfen aller Schichten der beschichtete Gegen- sind jedoch sehr kostspielig und kompliziert und stand einer Wärmebehandlung unterworfen wird. nicht gut brauchbar, wenn es sich darum handelt,1. Method for covering curved surfaces, methods on curved surfaces, a similar layer with several thin, optically effective 5 moderate layer thicknesses or a layer thickness with ge-layers for the production of curved regulated course can only be obtained with difficulty,
Optical mirrors, reflection filters and inter- There have already been proposed methods for covering reference filters, in which the layers are applied to objects one after the other by vapor deposition with a more uniform layer thickness over the entire surface; With this method, a uniform thickness or a regulated io, the objects to be steamed are allowed to have a profile of the thickness, characterized by a complicated, usually planetary movement, that during the steam run with respect to the steam source. The loading. The process of layers a noble gas residual gas cover objects with a layer that '. Pressure in the order of magnitude of 10 ~ 3 mm and a controlled course of the thickness is used, in which the principle can also be spread in this way.
The precautions to be taken for this purpose steam all layers of the coated object are very expensive and complicated and are subjected to a heat treatment. not very useful when it comes to 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- mehrere Gegenstände gleichzeitig in einem Raum kennzeichnet, daß als Edelgas Argon und/oder 20 durch Aufdampfen mit Schichten zu bedecken. Krypton und/oder Xenon verwendet werden. Außerdem wird ein großer Teil des im Vakuumgefäß2. The method according to claim 1, characterized in that several objects are in one room at the same time indicates that the noble gas argon and / or 20 should be covered with layers by vapor deposition. Krypton and / or Xenon can be used. In addition, a large part of the is in the vacuum vessel vorhandenen Raumes durch das eingebaute planetarische Bewegungssystem beansprucht, so daß derexisting space is claimed by the built-in planetary motion system, so that the für die zu bedeckenden Gegenstände verfügbareavailable for the objects to be covered 25 Raum stark eingeschränkt wird.25 space is severely restricted. Wenn der Druck im Auf dampf raum so herab-If the pressure in the steam room has decreased Bei der Herstellung von Interferenzfiltern durch gesetzt wird, daß der Abstand zwischen der Auf-Aufdampfen einer Vielzahl dünner Schichten über- dampfquelle und den zu bedeckenden Gegenständen einander mit je einer Dicke gleich einem Viertel während des Aufdampfvorganges größer als die mitt- oder der Hälfte der zu reflektierenden oder durch- 30 lere freie Weglänge der Moleküle der aufgedampften zulassenden Wellenlänge, ist es besonders schwierig, Stoffe ist, ergibt sich eine Streuung des Dampfstrahinsbesondere beim Bedecken gekrümmter Flächen,. . . les. Es wurde gefunden, daß es auf diese Weise zwar gleichmäßig dicke Schichten oder Schichten mit kon- möglich ist, auf gekrümmten Flächen gleichmäßig trolliertem Verlauf der Dicke zu erhalten. dicke Schichten oder Schichten mit geregeltem Ver-In the manufacture of interference filters it is set that the distance between the vapor deposition a multitude of thin layers over-steam source and the objects to be covered each other with a thickness equal to a quarter during the vapor deposition process greater than the average or half of the free path to be reflected or through the free path of the molecules of the vapor-deposited permissible wavelength, it is particularly difficult to identify substances, there is a scattering of the steam jet in particular when covering curved surfaces. . . les. It was found that way though evenly thick layers or layers with con- are possible evenly on curved surfaces to get a trolled course of the thickness. thick layers or layers with regulated Interferenzfilter sind Lichtfilter, bei denen die 35 lauf der Dicke zu erhalten, daß jedoch die Haftung Durchlässigkeit und der Reflexionsgrad für eine be- dieser Schichten an der Fläche und aneinander stimmte Wellenlänge des auffallenden Lichtes von schlecht ist. Diese Haftung läßt sich auch nicht durch dieser Wellenlänge abhängig sind. Ihre Wirkung be- eine Wärmebehandlung verbessern, wenn nicht geruht auf der Interferenz des Lichtes, das von den maß der Erfindung das Restgas aus einem Edelgas Grenzflächen zwischen übereinander angebrachten 4° besteht.Interference filters are light filters in which the 35 run of the thickness is obtained, but that the adhesion Transmission and the degree of reflection for one of these layers on the surface and on one another The correct wavelength of the incident light is bad. This liability also does not allow itself through depend on this wavelength. A heat treatment can improve its effect if it is not resting on the interference of the light, the measure of the invention the residual gas from a noble gas There are interfaces between 4 ° attached one above the other. Schichten aus durchsichtigen dielektrischen Stoffen Das erfindungsgemäße Verfahren zum BedeckenLayers of Transparent Dielectric Fabrics The method of covering according to the invention mit verschiedenen Brechzahlen hindurchgelassen bzw. gekrümmter Flächen mit dünnen, optisch wirksamen reflektiert wird. Für eine gute Wirkung des Filters ist Schichten für die Herstellung von gekrümmten opties notwendig, daß die Dicke der Schicht so groß ist, sehen Spiegeln, Reflexionsfiltern und Interferenzfildaß für eine bestimmte Wellenlänge die Phasendiffe- 45 tern, bei dem die Schichten nacheinander aufgerenz zwischen den Strahlen, die an der Oberseite bzw. dampft werden und auf der ganzen Fläche eine der Unterseite der Schicht reflektiert werden, bei gleichmäßige Dicke oder einen geregelten Verlauf der Verwendung einer Lichtquelle in dem Wellenlängen- Dicke aufweisen, ist deshalb dadurch gekennzeichnet, bereich, für den das Filter entworfen ist, unabhängig daß während des Aufdampfvorganges der Schichten von dem Flächenabschnitt ist, an dem diese Strah- 5° ein Edelgas-Restdruck in der Größenordnung von len auf das Filter fallen. Genügen die Schichten die- 10~3 mm Anwendung findet, bei dem eine Streuung ser Bedingung nicht, so macht sich dies durch Auf- des Dampfstrahles auftritt und daß nach dem Auftreten von Intensitäts- und Farbdifferenzen im durch- .. .. dampfen aller Schichten der beschichtete.Gegenstand gelassenen und reflektierten Lichtbündel bemerkbar. einer Wärmebehandlung unterworfen wird.with different refractive indices is allowed through or curved surfaces are reflected with thin, optically effective. For the filter to work well, layers for the production of curved opties are necessary so that the thickness of the layer is so great; mirrors, reflection filters and interference fringes see the phase differences for a certain wavelength, in which the layers are one after the other between the rays that are vaporized on the top or and are reflected on the entire surface of one of the underside of the layer, with a uniform thickness or a regulated course of the use of a light source in the wavelength thickness, is therefore characterized by the range for which the The filter is designed independently of the fact that during the vapor deposition process of the layers there is a section of the surface at which this jet 5 ° a residual noble gas pressure in the order of magnitude of len on the filter. If the layers are sufficient for the 10 ~ 3 mm application in which there is no scattering of these conditions, then this occurs through the impact of the steam jet and that after the occurrence of intensity and color differences in the through ... .. vaporization of all layers the coated.object left and reflected light beam noticeable. is subjected to a heat treatment. Zum Erhalten einer guten Haftung der auf ge- 55 Als Edelgase eignen sich für diesen Zweck bedampfen Schichten aneinander und am Träger wird sonders Argon und/oder Krypton und/oder Xenon, es allgemein empfohlen, während des Aufdampfvor- Es erwies sich bei Anwendung des erfindungsge-In order to obtain good adhesion of the on 55 As noble gases are suitable for this purpose Layers on each other and on the carrier are separately argon and / or krypton and / or xenon, it is generally recommended during the vapor deposition. ganges einen Druck von höchstens 10~6 Torr auf- mäßen Verfahrens als möglich, sowohl auf konkaven rechtzuerhalten. In einem solchen Vakuum ist im als auch auf konvexen kugelförmigen, ellipsoidischen allgemeinen die mittlere freie Weglänge der aufzu- 6o und parabolischen Flächen Kaltlichtspiegel herzudampfenden Moleküle und Atome größer als der stellen, die aus z.B. 19 oder 21 Schichten mit ab-Abstand zwischen dem zu bedampfenden Gegenstand wechselnd hoher und niedrigerer Brechzahl bestehen und der Dampfquelle, und überdies ist die Zahl der und optisch bis zum Rand fehlerlos sind.
Moleküle oder Atome der aufzudampfenden Stoffe, Bei kugelförmigen Spiegeln fällt das zu spiegelndeganges a pressure of at most 10 ~ 6 Torr on the method as possible, on both concave right. In such a vacuum, both in and on convex spherical, ellipsoidal, generally the mean free path of the molecules and atoms evaporating on and parabolic surfaces is greater than that consisting of e.g. 19 or 21 layers with a distance between the ones to be steamed Subject matter of alternating high and lower refractive indices and the source of steam, and moreover the number of and optically flawless to the edge.
Molecules or atoms of the substances to be vaporized. In the case of spherical mirrors, what is to be reflected falls die die Oberfläche in der Zeiteinheit trifft, ein Viel- 65 Licht bei Anordnung der Lichtquelle im Mittelpunkt faches der Zahl der Restgasmoleküle. Die Zahl der nahezu senkrecht ein. Die Schichten, aus denen der beim Aufdampfen eingebauten Restgasmoleküle ist Spiegel besteht, müssen somit auf der ganzen Fläche dabei verhältnismäßig gering und beeinträchtigt die eine gleichmäßige Dicke aufweisen.which hits the surface in a unit of time, a multiple of 6 5 light when the light source is arranged in the center of the number of residual gas molecules. The number of the nearly perpendicular one. The layers, from which the residual gas molecules built in during vapor deposition is a mirror, must therefore be relatively small over the entire surface and have a uniform thickness.
DE19661596906 1965-04-06 1966-04-04 Vapor deposition process for covering curved surfaces with several thin, optically effective layers that have a uniform thickness or a controlled course of the thickness over the entire surface Pending DE1596906B2 (en)

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