DE1590963A1 - Tool for fastening microwire - Google Patents

Tool for fastening microwire

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DE1590963A1
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DE
Germany
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wire
tool
microwire
guide
chisel
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Application number
DE19661590963
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German (de)
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Peter Strauss
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Elektromat VEB
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Elektromat VEB
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
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Description

"Werlvzeug zum Befestigen von T:Tiltrodraht" Die lriindung betrifft ein Werkzeug zum Befestigen von r:ikrodraht auf Kontaktflächen bei der Herstellung von elektrischen Bauelementen, insbesondere von Transistoren, bei dem der Mikrodraht über eine Drahtführung der Druck-Fläche eines in einE:r Halterung aufnelbaren A2eißels zu-.Uhrbar@ ist,.."Tools for attaching T: tiltro wire" The connection concerns a tool for attaching micro-wire to contact surfaces during manufacture of electrical components, in particular of transistors, in which the microwire Via a wire guide of the pressure surface of a chisel that can be shrunk into a holder to-.Watchable @ is, ..

Zum: Befestigen sehr dünner Drähte auf sehr kleinen. Kontaktflächen wird das Prinzip des Thermohompressions- oder das Ultra Schallschweißens angewandt. Mittels einem speziellen Werkzeug wird der Mikrodraht unter Einrluhnahme von. Druck .und erhöhter Temperatur oder Druck und Ultraschall mit der Kontaktfläche mechanisch und elektrisch leitend verbunden" Derartige spezielle @;derxLz@uge, im. folgenden Bondmeißel genannt, unterliegen unterschiedlichen. Beanspruchungen. Der Mikrodraht darf z. B, am Bondmeißel nicht haften bleiben und, die Drahtführung muß so ausgeführt yer@an, daß ein Längenbleiben des T_Sikrod.r@;htes vsrmieaen Druck- und Temperaturbeständigkeit sowie eine Gas t.e-ltung der Bondmeißelforiii, die eine möglichst ungehinderte- Beobacll-tung des Kontaktiervorganges ermöglicht, sind tere Forderungen an ein derartiges qerkzeug, Bekannt sind BonJ:mpißel in der Norm eines I_niles ol-üne jegliche Führung für den T.Iil@ro,,draht, Die Fii'jrung des T"_ikrodrahtes kann hierbei z.B. durch ein getrennt _.ngeordnetes Führungsrohr realisiert werden. Getrennte Justuge von Bondmeißel und Führungsrohr sowie eine schlechte Kontrolle über: die tage d-3 o F.Iikrodrihte s nach :'a-7s @,-ltustritt aus dem fizhrungsrohr sind dabei die ::@ptL? t I_i:chs ten Nachteile. tleiterhin sind Dondmeißel mit zentraler Bohrung #;M Drahtführung bekannt. Da die Bonhzeirel wegen der hohen Be«n-= spruchung und zur Vermeidung des Anhaftens des @@il-@ro@;rlztes aus synthetischem Stein oder Hartmetall .'gefertigt werden, ist das Einbringen der P,:likrobohrnng Jur-ihrün des Iaikrodrahtes sehr kostenaufwendig,. zumal die Bohrurigeine hohe Oberflächengifte aufweisen muß, um ein Verliäken des 1:I(ikrodrahtea ""u vermeiden, Derartige Fon ci_cißel teerden jedoch sehr schnell unbrauchbar, da die T`.ilzrobolirung leicht verstopft und danäch nicht mehr zu reinigen ist, Eine weitere Schwierigkeit ergibt sich beint Einlegen des Mikrodrahtes in die Aihrungsbohrunü' was of t; trotz "uhilfenahme eines Gasstromes mißlingt. Bel"arlnt sind auch Bondne.ßel, ;die zur VereinfzichunL- de-r Tiers tellung der Riürungsbohrung und Zur Verbesserung der i-;inlegetectu-lix- für den Mikrodraht entlang Jer Führungsbohreng geteilt ausgeführt sind. Erhöhter Aufwand beim .?erstellen der TIeißelteile, insbesondere der Paßflächen zum. Zusammenfügen der h#eißelhälften, sot;iie erhöhter instieraufwand beim Einsetzen des Boncbncißels in den :erkzeug@xg;er stellen den genannten Vorteil in Frage,-n:-eck der Erfindung ist es q- die Herstellungskosten für d^r#2rf ? ge Dondmeißel zu senken 1u13 die Handhabung durch -ine ,innvolle 1,'.onstrul°"-Gion Zu vereinfachen. Per -fihiutig liegt die Aufgabe zugrunde, ein Werkzeug zu i B£'?7.n11 von T.IiI#:rodrallt, insbesondere einen Bond.-i @cl zu en tr@cl@eln@ der eine einfach herzustellende zu rn in i@eizde Drahtführung aufweist, in die der I Tihroaa@i oa?_n zusätzliche IIilf rmittel. werden .P,rfindui?Gsgemäß viird die Aufgabe dadurch gelöst, daß am ;=erkzeug zur? Befestigen von 1lilz-rodral-iü eine Drahtführung -inc@rn einer Nut an der Oberfläche des konisch verlaufenaen. Teiles des -"'ierkzeugschaftes in Richtung der Druckfläche angeordnet und mittels einer mit dem Schaft fest verbundenen Drahtschlaufe abgedeckt ist.. Die zur Drahtführung vorgesehene Nut kann in die T1antelfläche des konisch vorlaufenden Teiles des F7erlrzeugschaftes oder aber in die Drahtschlaufe eingearbeitet @uerzen,. Bei diesen ",;=derkzeug- °:rird -der -ITikrodraht nicht mehr ",#Jie bisher iiblich durch eine lange BoLu@ung oder Kanüle zugefülirty sondern er wird nur -durch eine kurze Föhrungsstrekhe gellten, Dadurch ist das Einfädeln selbst dünnster Drähte von ca , 1O/um ohne Schwierigkeiten und großen Zeitaufwand . möglich. Ein Verstopfen der Drahtführung durch Staub oder abgerissenen Draht ist unmöglich. Es ist außerdem nicht rsehr notwendig den Ein- und Ausgang der Drahtführung zeit glatten Radien zu versehen.For: attaching very thin wires to very small ones. The principle of thermo-compression or ultra sonic welding is used on contact surfaces. Using a special tool, the microwire is removed using. Pressure. And increased temperature or pressure and ultrasound mechanically and electrically conductively connected to the contact surface "Such special @; derxLz @ uge, hereinafter referred to as bonding chisels, are subject to different. Stresses. The microwire must not stick to the bonding chisel, for example The wire routing must be designed in such a way that the length of the T_Sikrod.r @; htes against pressure and temperature resistance as well as a gassing of the bonding chisel shape, which enables the contacting process to be observed as unhindered as possible, are additional requirements Such a tool, known are BonJ: pißel in the standard of an I_niles ol-üne any guide for the T "_ro ,, wire, The fixing of the T" _ _ ro wire can be realized here, for example, by a separate guide tube . Separate alignment of bond chisel and guide tube as well as poor control over: the days d-3 o F.Iikrodrihte s after: 'a-7s @, - the exit from the guide tube are the :: @ ptL? t I_i: the greatest disadvantages. Dond chisels with a central bore #; M wire guide are also known. Since the bonhzeirel are made of synthetic stone or hard metal because of the high stress and to avoid the sticking of the resin, the introduction of the p,: likrobohrnng Jur-ihrün of the Iaikro wire very expensive. Especially since the drill hole must have a high level of surface toxicity in order to avoid leakage of the 1: I (ikrodrahtea "" u, but such hairdryers become unusable very quickly, as the T`.ilzrobolirung easily clogged and then can no longer be cleaned, another difficulty results when the microwire is inserted into the guide hole, which often fails in spite of the use of a gas flow. Bel "arlnt are also bonds, which simplify the positioning of the guide hole and improve the insertion area -lix- for the microwire are designed to be narrowly divided along the guide bore. Increased effort when creating the chisel parts, especially the mating surfaces for joining the chisel halves, so there is increased instincting effort when inserting the boncbnci into the: tool @ xg; er question the mentioned advantage, -n: -eck of the invention it is q- to reduce the manufacturing costs for the d ^ r # 2rf? ge Dond chisels 1u13 the handling by -ine, intimate 1, '.onstrul ° "-Gion To simplify. The basic task is to create a tool i B £ '? 7.n11 by T.IiI #: rodrallt, in particular a Bond.-i @cl to en tr @ cl @ eln @ the one that is easy to manufacture i @ eizde wire guide, in which the I Tihroaa @ i oa? _n additional IIilf rmittel. be .P, rfindui? According to viird the task is solved by the fact that on the; = tool for? Attach 1lilz-rodral-iü a wire guide -inc @ rn a groove on the surface of the conical. Part of the - "'ierkzeugschaftes is arranged in the direction of the pressure surface and covered by means of a wire loop firmly connected to the shaft this ",; = derkzeug- °: rird -the -ITikrodraht no longer", # Up to now it was usually filled through a long tube or cannula, but it is only yelled through a short guide line Approx. 10 / um possible without difficulty and a great deal of time. It is impossible to clog the wire guide with dust or torn wire. Furthermore, it is not very necessary to provide the entry and exit of the wire guide with smooth radii.

Bei der Verwendung eines flächenhaften Gegenste.ndes als .libdeckung "müPten, um einen Drahtabrieb zu vermeiden, die Tanten, welche mit dem. T@likrodraht- in Berührung kommen, erst abgerundet werden.When using a flat object as a cover "In order to avoid wire abrasion, the aunts who use the. T @ likrodraht- come into contact, only to be rounded off.

Bei Anwendung von Draht als Abde chun g über die Draht-Führung entsteht zwangsläufig eine abgerundote Form. Dadurch wird ein Beschädigen-des Llikrodrahtes beim Einfädeln und während des Nachziehens beim Bondvorgang vermieden. Die Erfindung wird anhand von in einer Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert, Es zeigen: Fig. 1 einen TTeißel mit eingearbeiteter Nut, Fig. 2 einen Meißel mit einer Nut in der Drahtschlaufe. Das in Fig. 1 dargestellte Werkzeug besteht aus einem Meißel 1' in welchem eine, am Umfang längs der 1i-ttelachse in Richtung Druckfläche 4 verlaufende Nut 3 eingearbeitet ist. IYTit dem Meißel 1 ist als Abdeckung der Nut 3 eine Drahtschlaufe 2 fest verbunden. In der Fig. 2 ist ein Giierkzet.gdargestellt t das ebenfalls aus dem Meißel 1 mit der daran festangeordneten Drahtschlaufe 2 . besteht, Bei diesem ist die Nut 3 in die Drahtschlaufe 2 eingearbeitet.When using wire as a cover over the wire guide, a rounded shape is inevitably created. This avoids damaging the Llicro wire when threading it in and while it is being retightened during the bonding process. The invention will be explained with reference to a drawing shown in embodiments, the drawings: Fig. 1 is a TTeißel with incorporated groove, Figure 2 shows a bit with a groove in the wire loop.. The tool shown in FIG. 1 consists of a chisel 1 'in which a groove 3 running on the circumference along the axis in the direction of the pressure surface 4 is incorporated. A wire loop 2 is firmly connected to the chisel 1 to cover the groove 3. In Fig. 2 a Giierkzet.g is shown t that also from the chisel 1 with the wire loop 2 fixedly arranged on it. In this case, the groove 3 is incorporated into the wire loop 2.

Die in der Zeichnung dargestellten Lleißel sind sehr. klein! der Durchmesser der Druckfläche 4 hat eine Größe von cm, 40/um.The Lleißel shown in the drawing are very. small! the diameter the printing area 4 has a size of cm, 40 / µm.

Claims (1)

P a t e n t a n s p r ü @c h e : -'1. "'Ierkzeug zum Befestigen von Mikrodraht auf Kontaktflächen bei der Herstellung von elektrischen Bauelementen, insbesondere von Transistoren mit einem eine Drahtführung aufweisenden zu einer Druckfläche hin konisch verlaufenden @TerlLzeugschafty dadurch gekennzeichnet, daß die Drahtfiihrung in Form einer Nut an der Oberfläche des konisch verlaufenden feiles des Werkzeugschaftes in Richtun- der Druckfläche angeordnet ist und mittels einer mit dera Schaft fest verbundenen Drahtschlaufe abgedeckt ist, 2. 'Merkzeug nach .Anspruch 19 dadurch gekennzeichnet' daß die Nut in die 1."lantelfläche des konisch verlaufenden Teilas ,-los @Jerkzeugschaftes eingearbeitet ist, - . :@erl--zeug nach Anspruch 'I ,t dadurch gekennzeichnet, daß die Nut in die vruhtschlaufo eingearbeitet ist. 1 1.1e i.ß e l 2 Drahtschlaufe 3 Mit 4 DruckflächePatent claims: -'1. "'Ierkzeug for attaching microwire to contact surfaces in the production of electrical components, in particular of transistors with a wire guide having a conical shape towards a pressure surface, characterized in that the wire guide in the form of a groove on the surface of the conical file of the Tool shank is arranged in the direction of the pressure surface and is covered by means of a wire loop firmly connected to the shank, 2. 'tool according to is, - . : @. 1 1.1e i.ß el 2 Wire loop 3 With 4 pressure area
DE19661590963 1966-12-19 1966-12-19 Tool for fastening microwire Pending DE1590963A1 (en)

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