DE1564718C

DE1564718C - Corpuscular beam device, in particular an electron microscope, with a freezer

Info

Publication number: DE1564718C
Authority: DE
Inventors: Alexander; Schomburg Wilhelm; 1000 Berlin Asmus
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Publication date: 1972-11-16

Description

Wirksamkeit der Kühleinrichtung werden dabei erhalten, ohne daß man das Kühlmittel innerhalb des Vakuumraumes des Korpuskularstrahlgerätes unterbringen muß. Das Vorsehen eines Kühlmittelbehälters innerhalb des Vakuumraumes ist schon deshalb in der Regel unerwünscht, weil man den Vakuumraum so klein wie möglich halten will. Auch bietet es Schwierigkeiten, in den Kühlmittelbehälter eingefülltes Kühlmittel wieder aus diesem Behälter zu entfernen. Man muß daher stets den gesamten Kühlmittelvorrat aufbrauchen. Diese Schwierigkeiten sind bei der Erfindung dadurch vermieden, daß das Prinzip des außerhalb des Vakuumraumes des Korpuskularstrahlgerätes angeordneten Kühlmittelbehälters Anwendung findet. Dieser Behälter kann lösbar entweder beispielsweise an der Säule eines Elektronenmikroskops befestigt sein, oder es können Verbindungselemente an dem als Deckel ausgebildeten Fortsatz und dem Kühlmittelbehälter vorgesehen sein.The effectiveness of the cooling device is preserved without accommodating the coolant within the vacuum space of the corpuscular beam device got to. The provision of a coolant container within the vacuum space is therefore already in usually undesirable because you want to keep the vacuum space as small as possible. It also offers Difficulty getting the coolant filled into the coolant tank out of this tank again remove. You must therefore always use up the entire coolant supply. These difficulties are avoided in the invention that the principle of the outside of the vacuum space of the corpuscular beam device arranged coolant tank is used. This container can be detachable either, for example, on the column of an electron microscope be attached, or there can be connecting elements on the designed as a cover Extension and the coolant tank may be provided.

Der Wandfortsatz bildet also praktisch eine Erweiterung des Vakuumraumes des Korpuskularstrahlgerätes, die eine wärmeisolierende Abdeckung des Kühlmittelbehälters darstellt. Dabei verläuft die Kühlstange praktisch bis auf ihre in dem Kühlmittel bzw. in dessen unmittelbarer Nähe befindlichen Bereiche innerhalb der Hohlräume, so daß die Wärmeaufnahme der Kühlstange aus der Umgebung vernachlässigbar klein ist. Während bei der eingangs beschriebenen, bekannten Konstruktion die Vakuumdichtung die Kühlstange in ihrem zumindest ungefähr horizontal verlaufenden Bereich umgibt, ist diese Vakuumdichtung bei der zuletzt beschriebenen Ausführungsform der Erfindung erst auf dem zumindest ungefähr senkrecht verlaufenden Bereich der Kühlstange angeordnet.The wall extension thus practically forms an extension of the vacuum space of the corpuscular beam device, which represents a heat-insulating cover of the coolant tank. The Cooling rod practically except for its located in the coolant or in its immediate vicinity Areas within the cavities, so that the heat absorption of the cooling rod from the environment is negligibly small. While in the known construction described above, the vacuum seal surrounds the cooling rod in its at least approximately horizontally extending area, this is Vacuum seal in the last-described embodiment of the invention only on the at least arranged approximately perpendicular region of the cooling rod.

Die Dichtung zum vakuumdichten Hindurchführen der Kühlstange kann beispielsweise durch einen vakuumdicht auf der Kühlstange und an der dem Kühlmittelbehälter zugekehrten Wand des Fortsatzes befestigten Federbalg gebildet sein. In dieser Weise ausgebildete Dichtungen besitzen gegenüber aus Gummi oder gummiähnlichem Material gefertigten Dichtungen, wie Nutringmanschetten, den Vorteil, daß sie auch über längere Zeit und bei großen Temperaturdifferenzen dicht sind. Man kann für den Federbalg oder auch für eine ebenfalls vakuumdicht auf der Kühlstange und an der Wand befestigte Membran ein Metall, beispielsweise Bronze, verwenden und dann die vakuumdichten Verbindüngen mit der Kühlstange und der Wand des deckeiförmigen Fortsatzes durch Hartlötung erzielen. Im Prinzip ist es jedoch auch möglich, hierfür Kunststoffe zu verwenden, die in vorteilhafter Weise einen kleinen Wärmeleitwert besitzen.The seal for the vacuum-tight passage of the cooling rod can, for example, through one vacuum-tight on the cooling rod and on the wall of the extension facing the coolant container attached bellows be formed. Seals formed in this way have opposite Seals made of rubber or rubber-like material, such as U-ring sleeves, the The advantage is that they are tight even over long periods of time and with large temperature differences. One can for the bellows or also for a vacuum-tight one on the cooling rod and on the wall attached membrane use a metal, for example bronze, and then the vacuum-tight connections achieve with the cooling rod and the wall of the cover-shaped extension by brazing. In principle, however, it is also possible to use plastics for this purpose, which advantageously have a have a small thermal conductivity.

Aber auch bei Verwendung eines Metalls für die Dichtungen treten keine nachteiligen Wärmeableitungen auf, da man die Federbälge bzw. Membranen aus dünnem Blech herstellen und mit Sicken versehen kann, die senkrecht zu der Richtung des Temperaturgefälles liegen und den Wärmewiderstand daher erheblich erhöhen.But even if a metal is used for the seals, there are no disadvantageous heat dissipations because the bellows or membranes are made from thin sheet metal and provided with beads can that is perpendicular to the direction of the temperature gradient and therefore increase the thermal resistance considerably.

Die Verwendung einer Membran als Vakuumdichtung für die Kühlstange gestattet, diese Membran zugleich die dem Kühlmittelbehälter zugekehrte Wand des hohlen Deckels bilden zu lassen. Im Prinzip kann man sich diesen hohlen Deckel dann als einen umgekehrten Topf vorstellen, der an seiner dem Kühlmittelbehälter zugekehrten Seite mit der Membran vakuumdicht abgeschlossen ist und seitlich mit dem Vakuumraum des Korpuskularstrahlgerätes in vakuumdichter Verbindung steht.The use of a membrane as a vacuum seal for the cooling rod allows this membrane at the same time to form the wall of the hollow cover facing the coolant container. In principle it can think of this hollow lid as an inverted pot attached to the coolant tank facing side is sealed vacuum-tight with the membrane and the side with the Vacuum space of the corpuscular beam device is in vacuum-tight connection.

Infolge des auf die als Federbalg oder Membran ausgebildete Dichtung einwirkenden äußeren Druckes wird die Kühlstange hochgedrückt, so daß man zweckmäßigerweise innerhalb des hohlen Deckels wärmeisolierende Abstützungen vorsieht, um der Kühlstange im Betrieb eine definierte Lage zu geben. Dies ist beispielsweise deshalb erforderlich, weil die Kühlstange mit ihrem innerhalb des Vakuumraumes des Korpuskularstrahlgerätes befindlichen Ende in gut wärmeleitender Verbindung mit dem zu kühlenden Teil, beispielsweise einer Objektpatrone, einer Blende od. dgl., stehen muß. Diese wärmeleitende Verbindung wird bekanntlich z. B. dadurch erzielt, daß sich die Kühlstange mit ihrem erwähnten Ende unter der Wirkung von Federn auf das zu kühlende Teil auflegt. Um hier einen einwandfreien Kontakt zu schaffen, ist es zweckmäßig, in der beschriebenen Weise Auflageflächen für die Kühlstange vorzusehen.As a result of the external pressure acting on the bellows or membrane seal the cooling rod is pushed up, so that one expediently inside the hollow lid Provides heat-insulating supports in order to give the cooling rod a defined position during operation. This is necessary, for example, because the cooling rod with its inside the vacuum space of the corpuscular beam device located in a good heat-conducting connection with the to be cooled Part, for example an object cartridge, a diaphragm or the like. Must be. This thermally conductive Connection is known z. B. achieved in that the cooling rod with its mentioned end under the action of springs on the part to be cooled. To get a perfect contact here To create, it is useful to provide support surfaces for the cooling rod in the manner described.

Weiterhin wird man im Deckel, unabhängig davon, ob dieser in der zuletzt beschriebenen Weise ausgebildet ist oder nicht, Einrichtungen zum Einstellen der Lage des zumindest ungefähr horizontalen Bereiches der Kühlstange vorsehen. Dabei kann es sich um Einrichtungen handeln, die eine Verstellung der Kühlstange in Richtung der Achse ihres zumindest ungefähr horizontalen Bereiches ermöglichen, um den wärmeleitenden Kontakt zwischen Kühlstange und zu kühlendem Teil wahlweise aufheben und herstellen zu können; es können aber auch gesonderte oder kombinierte Einrichtungen verwendet werden, die eine Winkeljustierung der Richtung des zumindest ungefähr horizontalen Bereiches der Kühlstange vorzunehmen gestatten. Für den letztgenannten Fall kann eine an ihrem einen Ende einen Antriebsknopf od. dgl. tragende Welle vorgesehen sein, die mit ihrem anderen Ende die Kühlstange gabelartig umgreift. Verständlicherweise bietet sich gerade hinsichtlich dieser Einstellvorrichtungen eine Vielzahl von konstruktiven Ausbildungen an.Furthermore, you will be in the lid, regardless of whether this is formed in the manner described last is or not, means for adjusting the position of the at least approximately horizontal area the cooling rod. These can be facilities that allow adjustment of the Allow cooling rod in the direction of the axis of its at least approximately horizontal area to Optionally, cancel and establish the heat-conducting contact between the cooling rod and the part to be cooled to be able to; however, separate or combined devices can also be used, an angular adjustment of the direction of the at least approximately horizontal region of the cooling rod allow to make. For the latter case, one can have a drive button at one end Od. The like. Bearing shaft can be provided, the other end of which engages around the cooling rod like a fork. Understandably, there are a large number of these adjustment devices available from constructive training.

Eine solche Einstellvorrichtung wird sich häufig erübrigen, wenn der Fortsatz über einen Federbalg oder eine verschiebbare Ringdichtung als Vakuumdichtung bewegbar mit der öffnung in der Wand des Korpuskularstrahlgerätes vakuumdicht verbunden ist. Dann kann die Einstellung der Kühlstange bezüglich des zu kühlenden Teils durch Bewegen der gesamten Anordnung erfolgen, ohne daß Relativbewegungen der einzelnen Teile zueinander nötig sind. Diese Lösung läßt sich im Prinzip auch dann anwenden, wenn der Fortsatz nicht deckelartig ausgebildet ist.Such an adjusting device is often unnecessary if the extension has a bellows or a sliding ring seal as a vacuum seal movable with the opening in the wall of the Corpuscular beam device is connected in a vacuum-tight manner. Then the adjustment of the cooling rod regarding of the part to be cooled by moving the entire arrangement without any relative movements of the individual parts are necessary to each other. In principle, this solution can also be used if the extension is not designed like a cover.

Wie bereits bemerkt, kann der Kühlmittelbehälter entweder an der Wand des Korpuskularstrahlgerätes oder an dem deckelartig ausgebildeten Fortsatz lösbar befestigt sein. Gegebenenfalls ist auch eine kombinierte Befestigung sowohl am Korpuskularstrahlgerät als auch an dem Deckel möglich. Eine besonders einfache Befestigungsmöglichkeit besteht darin, daß zwischen dem Kühlmittelbehälter und dem Deckel eine lösbare Verbindung nach Art eines Bajonettverschlusses besteht; durch einfaches Heben und Drehen bzw. Drehen und Senken des Kühlmittelbehälters kann dann dieser in seiner Betriebsstellung festgelegt bzw. zum Nachfüllen und Entfernen von Kühlmittel aus dem Bereich der Kühlstange entfernt werden.As already noted, the coolant container can either be on the wall of the particle beam device or be releasably attached to the lid-like extension. If necessary, a combined one is also possible Can be attached to both the corpuscular beam device and the cover. A particularly simple one The possibility of fastening is that between the coolant container and the cover there is a releasable connection in the manner of a bayonet lock; by simply lifting and turning or rotating and lowering the coolant tank can then set it in its operating position or to refill and remove coolant from the area of the cooling rod.

Für den Kühlmittelbehälter können an sich bekannte Dewargefäße aus Glas oder auch aus Metall Anwendung finden. Zumindest bei aus Glas bestehenden Dewargef äßen wird man zum mechanischen Schutz einen aus einem widerstandsfähigen Material, wie Metall, bestehenden Topf zur Aufnahme des Dewargefäßes vorsehen. Dann werden die Befestigungsmittel zweckmäßigerweise an diesem mechanisch robusten Topf angeordnet sein.For the coolant container, known Dewar vessels made of glass or also of metal can be used Find application. At least with Dewar flasks made of glass one becomes a mechanical one Protects a pot made of a resistant material, such as metal, to hold the Provide a dewar flask. Then the fastening means are expediently mechanical on this be arranged sturdy pot.

In den Figuren sind drei verschiedene Ausführungsbeispiele der Erfindung in ihren wesentlichen Teilen dargestellt. In allen Figuren sind gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen.There are three different exemplary embodiments in the figures the invention shown in its essential parts. There are identical parts in all figures provided with the same reference numerals.

Der als Deckel für den Kühlmittelbehälter 1, der aus dem Dewargefäß 2 und dem mechanisch robusten Topf 3 besteht, dienende Fortsatz 4 ist im Falle der Konstruktion nach Fig. 1 so ausgebildet, daß er den mit dem Vakuumraum des nicht dargestellten Korpuskularstrahlgerätes, beispielsweise eines Elektronenmikroskops, in Verbindung stehenden Innenraum 5 umschließt. Die Verbindung mit dem Korpuskularstrahlgerät geschieht über den Stutzen 6, der in bekannter und daher nicht dargestellter Weise unter Verwendung von Vakuumdichtungen vakuumdicht im Bereich einer öffnung in der Wand des Vakuumgehäuses des Korpuskularstrahlgehäuses mit der Wand verbunden ist. Da der Stutzen 6 sich zumindest ungefähr auf Raumtemperatur befindet, bestehen keine Schwierigkeiten bei der Verwendung üblicher Dichtungen, wie Nutringmanschetten, aus Gummi oder gummiartigem Material, denn eine Wärmebeanspruchung dieses Materials tritt hier nicht ein. Man kann hier also auch eine Bewegung des Deckels 4 zulassende Dichtungsanordnung verwenden. The one as a lid for the coolant container 1, the one from the Dewar vessel 2 and the mechanically robust one Pot 3 consists, serving extension 4 is formed in the case of the construction according to Fig. 1 so that he with the vacuum space of the particle beam device, not shown, for example one Electron microscope, connecting interior 5 encloses. The connection with the Corpuscular beam device happens via the nozzle 6, which is known and therefore not shown vacuum-tight using vacuum seals in the area of an opening in the wall of the Vacuum housing of the corpuscular beam housing is connected to the wall. Since the nozzle 6 is at least is around room temperature, there is no difficulty in using it common seals, such as U-ring sleeves, made of rubber or rubber-like material, because one There is no thermal stress on this material here. So you can also see a movement of the Use cover 4-approved sealing arrangement.

Um den möglicherweise mit der Atmosphäre in Berührung kommenden Bereich der in diesem Ausführungsbeispiel aus den beiden miteinander verschraubten Teilen 7 und 8 bestehenden Kühlstange möglichst klein zu halten, umgibt die als Federbalg 9 beispielsweise aus Bronze ausgebildete Vakuumdichtung die Kühlstange 7, 8 in ihrem in diesem Ausführungsbeispiel genau senkrecht verlaufenden Bereich 8, so daß der horizontale Bereich 7 einschließlich eines großen Teils des vertikalen Bereichs 8 infolge seiner Lage innerhalb des evakuierten Raumes 5 gegen Erwärmung durch Wärmeleitung und Konvektion geschützt ist.Around the area that may come into contact with the atmosphere in this exemplary embodiment To keep the cooling rod consisting of the two parts 7 and 8 screwed together as small as possible, surrounds the bellows 9 For example, made of bronze vacuum seal the cooling rod 7, 8 in its in this embodiment exactly perpendicular area 8, so that the horizontal area 7 including one large part of the vertical area 8 due to its location within the evacuated space 5 against heating is protected by conduction and convection.

Der Federbalg ist in diesem Ausführungsbeispiel bei 10 und 11 durch Hartlötung mit der dem Kühlmittelbehälter 1 zugekehrten Wand 12 des Deckels 4 bzw. auf dem vertikalen Bereich 8 der Kühlstange vakuumdicht befestigt.The bellows is in this embodiment at 10 and 11 by brazing with the coolant container 1 facing wall 12 of the cover 4 or on the vertical area 8 of the cooling rod attached vacuum-tight.

Die Befestigung des Kühlmittelbehälters 1 geschieht in dem dargestellten Ausführungsbeispiel über den mechanisch robusten Topf 3, der an seinem oberen Ende einen Teil einer Bajonettfassung trägt, der mit dem anderen, an dem Deckel 4 befestigten Teil 14 dieser Fassung zusammenwirkt. Wie F i g. 1 a erkennen läßt, weist der Teil 14 der Bajonettfassung in bekannter Weise geformte Ausnehmungen 15 auf, in die an dem Topf 3 befestigte Bolzen 16 eingreifen.The attachment of the coolant container 1 takes place in the illustrated embodiment via the mechanically robust pot 3, which carries part of a bayonet socket at its upper end, which cooperates with the other, attached to the cover 4 part 14 of this version. Like F i g. 1 a shows, the part 14 of the bayonet socket has recesses 15 shaped in a known manner, engage in the bolt 16 attached to the pot 3.

Für den Fall, daß das Spiel der Bajonettfassung keine ausreichende Verbindung zwischen dem Raum oberhalb des Kühlmittelspiegels 13 und der Atmo-Sphäre gewährleistet, können im Bereich des Bajonettverschlusses Belüftungsöffnungen 17 vorgesehen sein. Ferner können dem Bajonettverschluß Sicherüngsschrauben 18 zugeordnet sein, die ein unbeabsichtigtes Lösen der Verbindung zwischen dem Gefäß 1 und dem Deckel 4 ausschließen.In the event that the game of the bayonet socket does not provide a sufficient connection between the space Above the coolant level 13 and the atmosphere guaranteed, can in the area of the bayonet lock Ventilation openings 17 may be provided. Furthermore, the bayonet lock can secure screws 18 associated with an unintentional loosening of the connection between the vessel 1 and the cover 4 exclude.

Unter der Wirkung der Differenz zwischen dem von unten her auf den Faltenbalg 9 wirkenden Druck einerseits und dem sehr geringen Druck innerhalb des Raumes 5 andererseits wird die Kühlstange 7, 8 nach oben gedrückt. Um eine definierte Lage insbesondere des horizontal verlaufenden Teils 7 der Kühlstange zu erreichen, ist die Stützscheibe 19 aus wärmeisolierendem Material vorgesehen.Under the effect of the difference between the pressure acting on the bellows 9 from below on the one hand and the very low pressure within the space 5 on the other hand, the cooling rod 7, 8 according to pressed up. To a defined position in particular of the horizontally extending part 7 of the cooling rod To achieve, the support plate 19 is provided made of heat-insulating material.

Im rechten Teil der Anordnung ist ferner die mittels des Drehknopfes 20 oder eines anderen Betätigungsmittels verdrehbare Welle 21 vakuumdicht durch die Wand des Deckels 4 hindurchgeführt. Sie trägt an ihrem linken Ende die gabelartige Aufnahme 22 aus wärmeisolierendem Material, mit der sie die Kühlstange 7,8 im Bereich des Knickes umfaßt. Durch Verdrehen der Welle 21 mit der Gabel 22 kann eine Winkeljustierung der Kühlstange 7, 8 vorgenommen werden. Die Gabel 22 legt sich dabei unter der Wirkung der Feder 23 gegen die Kühlstange 7, 8.In the right part of the arrangement is also the means of the rotary knob 20 or some other actuating means rotatable shaft 21 passed through the wall of the cover 4 in a vacuum-tight manner. she carries at its left end the fork-like receptacle 22 made of heat-insulating material, with which it the Includes cooling rod 7,8 in the area of the kink. By turning the shaft 21 with the fork 22 an angle adjustment of the cooling rod 7, 8 can be made. The fork 22 lies down under the action of the spring 23 against the cooling rod 7, 8.

Zur Festlegung der Stellung der Welle 21 und damit der Winkelstellung der Kühlstange 7, 8 dient die Schraube 24 in dem Überwurf 25, der auf das buchsenartige Teil 26 aufgeschraubt ist. Die Nutringmanschette 27 gewährleistet die Vakuumdichtigkeit dieser Verbindung. Das buchsenartige Teil 26 ist seinerseits unter Zwischenlage der Dichtung 28 an der Wand des Deckels 4 verschraubt.To determine the position of the shaft 21 and thus the angular position of the cooling rod 7, 8 is used Screw 24 in the union 25 which is screwed onto the sleeve-like part 26. The U-ring collar 27 ensures the vacuum tightness of this connection. The socket-like part 26 is in turn screwed to the wall of the cover 4 with the interposition of the seal 28.

Verständlicherweise könnten auch zusätzliche Mittel zur Einstellung der Lage des horizontalen Bereichs 7 der Kühlstange in Richtung seiner Achse vorgesehen sein. Hier lassen sich viele konstruktive Ausführungen angeben. So kann im Prinzip für eine Verstellbarkeit der Welle 21 in Richtung ihrer Achse gesorgt werden, so daß der in Fig. 1 dargestellte Verstellmechanismus eine universelle Einstellung der Lage der Kühlstange 7, 8 ermöglichen kann.Understandably, additional means for adjusting the position of the horizontal area could also be used 7 the cooling rod can be provided in the direction of its axis. Here you can find a lot of constructive Specify versions. So can in principle for an adjustability of the shaft 21 in the direction of its axis be taken care of, so that the one shown in FIG Adjustment mechanism can enable universal adjustment of the position of the cooling rod 7, 8.

Die Ausführungsform nach F i g. 2 unterscheidet sich von der in Fig. 1 dargestellten im wesentlichen dadurch, daß der Federbalg 9 durch die Membran 30, die beispielsweise aus Teflon besteht, ersetzt ist. Diese Membran ist durch geeignete Verschraubung mittels Überwurfringen 31 und 32 an dem Deckel 4 bzw. dem Bereich 8 der Kühlstange 7, 8 dicht festgelegt. The embodiment according to FIG. 2 differs from that shown in FIG. 1 essentially in that the bellows 9 is replaced by the membrane 30, which consists for example of Teflon. This membrane is attached to the cover 4 by suitable screwing by means of coupling rings 31 and 32 or the area 8 of the cooling rod 7, 8 tightly set.

Weiterhin ist ein in spezieller Weise geformtes Dewargefäß 2 verwendet, dessen obere Kante in Richtung auf den senkrechten Bereich der Kühlstange 7,8 zu eingezogen ist, um auch hier bereits eine Deckelwirkung zu erzielen. Um bei einem aus Metall bestehenden Dewargefäß die Wärmeableitung noch weiter zu verringern, kann die Gefäßwand bei 33 mit den Wärmewiderstand vergrößernden Sicken versehen sein.Furthermore, a specially shaped Dewar vessel 2 is used, the upper edge of which faces towards is drawn in to the vertical area of the cooling rod 7, 8 to also have a lid effect here to achieve. To improve heat dissipation in a metal Dewar flask To reduce it further, the vessel wall at 33 can be provided with beads which increase the thermal resistance being.

Die Halterung für die Kühlstange 7, 8 wird hier allein durch die Isolierabstützung 34 gebildet. Selbstverständlich können auch Mittel zur Einstellung der Lage der Kühlstange, beispielsweise die Welle 21 nach F i g. 1 mit ihrem Antriebsmechanismus, vorgesehen sein.The holder for the cooling rod 7, 8 is formed here solely by the insulating support 34. Of course Means for adjusting the position of the cooling rod, for example the shaft 21, can also be used according to FIG. 1 with its drive mechanism.

Dieselbe einfache Abstützung der Kühlstange 7, 8 läßt sich verständlicherweise auch dann vornehmen, wenn ein Federbalg 9 verwendet wird. In F i g. 3 ist dieser Fall unter Verwendung der Abstützung 34 nach F i g. 2 dargestellt. Sowohl bei Ausbildung derThe same simple support for the cooling rod 7, 8 can of course also be carried out if when a bellows 9 is used. In Fig. 3 is this case using the support 34 according to FIG. 2 shown. Both in training the

Dichtung als Federbalg als auch bei Vorsehen einer infolge des verwendeten Materials und der Formgebung elastischen Membran bewirkt der auf die dem Kühlmittelgefäß zugekehrte Wand des Deckels 4 ausgeübte Druck, daß sich die Kühlstange 7, 8 gegen die isolierende Abstützung 34 legt.
Die Verbindung zwischen dem KühlmittelgefäßSealing as a bellows and when a membrane is provided which is elastic due to the material used and the shape, the pressure exerted on the wall of the cover 4 facing the coolant vessel causes the cooling rod 7, 8 to lie against the insulating support 34.
The connection between the coolant vessel

und dem Deckel 4 ist in den F i g. 2 und 3 durch einen Haltering 35 geschaffen, der beispielsweise auf die Außenmäntel des Kühlmittelgefäßes und eines Gewindestutzens 36 an dem Deckel 4 (Fig. 3) bzw. des Überwurfs 31 im Falle der F i g. 2 aufgeschraubt ist. Mit 37 sind wiederum Entlüftungsöffnungen bezeichnet. and the cover 4 is shown in FIGS. 2 and 3 created by a retaining ring 35, for example on the outer jackets of the coolant vessel and a threaded connector 36 on the cover 4 (Fig. 3) or of the cover 31 in the case of FIG. 2 is screwed on. With 37 ventilation openings are again referred to.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

209 519/200209 519/200

Claims

1 2 a drive button at its one end.

1. Corpuscular beam device, in particular electronic 10. Corpuscular beam device according to one of the Electron microscope, with a vacuum 5 Claims 1 to 9, characterized in that pump connected vacuum chamber and the wall extension via a bellows or a with a freezer that has an outwardly displaceable ring seal as a vacuum seal half of the vacuum chamber of the device is arranged movable with the opening in the wall of the Neten coolant tank and a good heat vacuum chamber of the corpuscular beam device Contains conductive cooling rod, which is connected vacuum-tight via an IO.

horizontal section in thermally conductive connection with an object to be cooled in

the vacuum chamber and a vertical one

Section in thermally conductive connection with the
There is coolant in the coolant tank and the 15th
using a vacuum seal

an opening in the wall of the vacuum chamber The invention relates to a particle beam device Subsequently, the cooling rod under intermediate with a freezer, the one outside position of a vacuum seal surrounding wall of the vacuum chamber of the device arranged cooling extension vacuum-tight through the wall of the vacuum medium container and a cooling rod that conducts heat well kuumkammer is passed, thereby contains, which over a horizontal section in characterized in that the wall extension (4) has a thermally conductive connection with a to be cooled as a double-walled hollow cover for the cooling object, for example an object cartridge or Medium container (1) is formed, its between a diaphragm, in the vacuum chamber and a its walls lying cavity (5) with the 35 vertical section in a thermally conductive connection Vacuum space of the vacuum chamber is in connection with the coolant in the coolant tank and manure is and in the coolant tank which is made vacuum-tight using a facing wall (12) which has the cooling rod (7, 8) an opening in the wall of the vacuum chamber in its vertical section (8) surrounding the cooling rod with an intermediate layer Vacuum seal (9) is arranged, and that the wall extension surrounding a vacuum seal Coolant container (1) on the cover and / or vacuum-tight through the wall of the vacuum chamber is removably passed on the wall of the vacuum chamber. The cooling rod can be turned off is attached. a curved part or of several,

2. Corpuscular beam device according to claim 1, there are other parts connected with good thermal conductivity, characterized in that the seal is a vacuum seal on the cooling rod and on the wall structure of the cooling rod as its function rather than continuation is attached bellows. good thermal connection between the too

3. Corpuscular beam device according to claim 1, the cooling part within the vacuum space of the characterized in that the seal is a corpuscular beam device on the one hand and the extra-vacuum-tight on the cooling rod and on the coolant located halfway through the vacuum space, Wall process attached membrane is. for example liquid air, on the other hand. It will

4. corpuscular beam device according to claim 3, it is usually an electron microscope, characterized in that the membrane to act, but the invention is also formed when ions are the same as the microscope facing the coolant container, electron diffraction devices and wall of the hollow cover. ₄₅ applicable to other devices of this type.

5. Corpuscular beam device according to one of the types of such particle beam devices with cooling insights 1 to 4, characterized in that directions are known (German Auslegeschrift between the coolant tank and the cover 1202 915). About the temperature losses in these To reduce a releasable connection in the manner of a bayonet arrangement known is an inventive lock consists. 50 according to the wall extension as a double-walled

6. Corpuscular blasting device after one of the hollow lids for the coolant container 1 to 5, characterized in that in forms, its lying between its walls the connecting elements between the cooling cavity and the vacuum space of the vacuum medium container and the lid vent holes chamber is in communication and in which the are provided. 55 coolant tank facing the wall that allows the coolant

7. Corpuscular beam device according to one of the rods surrounding the vertical section Claims 2 to 6, characterized in that the vacuum seal is arranged and the container on Cooling rod as a result of acting on the seal on the cover and / or on the wall of the vacuum Air pressure on inside the hollow space removably attached. Through this structure is The heat-insulating support on the lid ensures that it is in contact with the outside air rests. . tion standing part of the cold finger as small as possible

8. Corpuscular beam device after one that has stopped because the cold finger is partially in the Claims 1 to 7, characterized in that in the vacuum and with its other part within the Lid means for adjusting the position by the coolant container on the one hand and the of the at least approximately horizontal area of the 65 covers formed on the other hand, practically likewise Cooling rod are provided. the space closed off from the atmosphere

9. corpuscular beam device according to claim 8, takes place.

characterized in that the facilities These favorable properties in terms of 'the