DE1552492A1

DE1552492A1 - Device for the exact circular rotation of a part

Info

Publication number: DE1552492A1
Application number: DE19661552492
Authority: DE
Inventors: Heidenhain Dr Johannes
Original assignee: Firma Wenczler and Heidenhain
Current assignee: Firma Wenczler and Heidenhain
Priority date: 1966-04-14
Filing date: 1966-04-14
Publication date: 1970-01-08

Description

Einrichtung zur exakten kreisfbrmigen~Drehun eines Teiles Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur exakten kreisförmigen Drehung eines in einem spielfreien Lager aufgenommenen Teiles, z. B. eines Tisches. Bekanntlich ist es schwierig, eine exakt kreisförmige Bewegung zu bewerkstelligen. Unter gewissen Bedingungen (geringe bewegte Massen, geringe und gleichbleibende Kräfte, langsame Bewegung) mag die Annäherung an die exakt kreisförmige Bewegung besser gelingen als dort, wo diese erleichternden Bedingungen nicht gegeben sind. Es tritt jedoch zunehmend das Bedürfnis auf, auch unter erschwerten Bedingungen eine exakt kreisförmige Bewegung auszuführen. Bekannte Einrichtungen sind dazu nicht oder nur schlecht geeignet und bergen überdies die Gefahr in sich, nach längerer Benutzung eine fortlaufende Verschlechterung zu erfahren.Device for the exact circular rotation of a part The invention relates to a device for the exact circular rotation of a backlash-free Bearing recorded part, z. B. a table. It is well known that it is difficult to get one to accomplish exactly circular movement. Under certain conditions (low moving masses, small and constant forces, slow movement) likes the approach the exact circular movement succeeds better than where it makes it easier Conditions are not given. Increasingly, however, the need arises, too perform an exactly circular movement under difficult conditions. Acquaintance Facilities are not or only poorly suited for this and also contain the There is a risk that it will deteriorate continuously after prolonged use.

Die Erfindung hat sich die Aufgabe gestellt, einen einwandfreien Rundlauf drehbarer Teile auch unter erschwerten Bedingungen sicherzustellen, dies insbesondere auch nach längerem Gebraucn.The invention has set itself the task of a perfect concentricity to ensure rotatable parts even under difficult conditions, this in particular even after prolonged use.

Die Erfindung ist dort von besonderer Bedeutung, wo es auf die Herstellung oder Prüfung von Rundheitsnormalien ankommt, z. B. bei Rundheitsprüfgeräten oder Teilmaschinen, ferner dort, wo Bearbeitungskräfte unterschiedlicher Größe auftreten, z. B. bei Bearbeitungsmaschinen.The invention is of particular importance where it relates to manufacture or checking of roundness standards, z. B. with roundness testers or Sub-machines, also where machining forces of different sizes occur, z. B. in processing machines.

Die Erfindung ist nachfolgend anhand einiger jiusfuhrun-sbeispiele erläutert. Es zeigt Figur 1 einen Schnitt durch eine Einrichtung in schematischer Darstellung, Figur 2 die Draufsicht auf die Einrichtung der Fig. 1, ebenfalls in schematischer Darstellung, Figur 3 eine andere Ausführungsform der Erfindung, Figur 4 die Draufsicht auf die Einrichtung der Fig. 3, wobei aber der Tisch weggelassen ist, Figur 5 eine Schemazeichnung zur Wirkungsweise der Einrichtung nach Fig. 3 und 4, Figur 6 das Prinzip einer möglichen Schaltungsanordnung für die Einrichtung nach Fig. 3 und 4 Figur 7, 8, 10 und 11 je ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung, Figur 9 die Draufsicht auf das Ausfsungsbeispiel der Fig. 8.The invention is illustrated below with the aid of a few examples explained. FIG. 1 shows a schematic section through a device Depiction, FIG. 2 shows the top view of the device of FIG. 1, also in a schematic representation, Figure 3 shows another embodiment of the Invention, Figure 4 is a plan view of the device of FIG. 3, but the Table is omitted, Figure 5 is a schematic drawing of the operation of the device 3 and 4, Figure 6 shows the principle of a possible circuit arrangement for the Device according to FIGS. 3 and 4, FIGS. 7, 8, 10 and 11 each have a further exemplary embodiment of the invention, FIG. 9 the top view of the exemplary embodiment of FIG. 8.

Bei dem in Fig. 1 gezeigten Aus-führungsbeispiel ist der Tisch 1 im Lager 2 drehbar gelagert. Vom Lager 2 aus erstrecken sich vier Arme nach dem tragenden Grundgestell 4 zu. Zwei dieser Arme sind in Figur 1 zu sehen, zwei davon stehen senkrecht zur Zeichenebene und sind deshalb nicht dargestellt. Die Arme3 sind an dem Grundgestell 4 über piezoelektrische Stellglieder 5 bekannter Bauart befestigt. Diese arbeiten so, da# sie if æe Länge in der eingezeichneten Pfeilrichtung vergröBern oder verkleinern je nach der elektrischen Spannung, die ihnen über die Leitungen 6 und 7 zugeführt wird. Sie besitzen eine ausreichende Biegeelastizität, damit sie den Bewegungen des jeweils senkrecht dazustehenden Paares von Stellgliedern nachzugeben vermögen. Es ist vorausgesetzt, da# die Stellglieder 5 so geschaltet sind, daB ein bestimmtes dieser Stellglieder sich verkurzt, wenn das gegenüberliegende sich verlängert. Mit Hilfe der vier Stellglieder 5 läßt sich also das Lager 2 in samtlichen Richtungen senkrecht zu seiner Drehachse beliebig verstellen.In the embodiment shown in FIG. 1, the table 1 is in Bearing 2 rotatably mounted. Four arms extend from the bearing 2 to the supporting one Base frame 4 to. Two of these arms can be seen in Figure 1, two of which are standing perpendicular to the plane of the drawing and are therefore not shown. The arms3 are on attached to the base frame 4 via piezoelectric actuators 5 of known design. These work in such a way that if their length increases in the direction of the arrow or decrease in size depending on the voltage applied to them via the cables 6 and 7 is fed. They have sufficient flexural elasticity to allow them to give way to the movements of the pair of actuators standing vertically capital. It is assumed that the actuators 5 are switched in such a way that they switch on certain of these actuators are shortened when the opposite one is elongated. With the help of the four actuators 5, the bearing 2 can be moved in all directions Adjust as desired perpendicular to its axis of rotation.

An dem Grundgestell 4 sind außerdem vier photoelektrische Mikroskope 8 bis 11 befestigt. Die Ziellinien 12 und 13 der der Mikroskope 10 und 8 sind in Figur 1 eingezeichnet. Sie richten sich, ebenso wie die Ziellinien der anderen beiden Mikroskope auf eine kreisförmige Markierung 14 auf dem Tisch 1.There are also four photoelectric microscopes on the base frame 4 8 to 11 attached. The finish lines 12 and 13 of the the microscope 10 and 8 are shown in FIG. They align themselves, as do the finish lines the other two microscopes on a circular mark 14 on the table 1.

Die Markierung 14 kann mit äusserster Sorgfalt so gut kreisförmig wie möglich hergestellt worden sein, geringe noch verbleibende Fehler können durch exakte Ausmessung ermittelt werden. Die Markierung 14 dient als Normal für die Kreisförmigkeit der Bewegung. Sie hat gegenüber den bisher benutzten Normalien (Rundheit der mechanischen Lagerteile selbst) den Vorteil, viel besser mit der nötigen Genauigkeit herstellbar bzw. meßbar zu sein und sich auch durch langer Benützung nicht zu verschlechtern.The marker 14 can be circular as well with the utmost care as possible, minor remaining errors can be caused by exact measurements can be determined. The marking 14 serves as a normal for the circularity the movement. Compared to the standard parts previously used (roundness of the mechanical Bearing parts themselves) have the advantage of being much easier to manufacture with the necessary accuracy or to be measurable and not to deteriorate even after long use.

Die Ablagen dieser kreisförmigen Markierung 14 von den Zielachsen der photoelektrischen Mikroskope 8 bis 11 werden in diesen photoelektrischen Mikroskopen in elektrische Signale umgewandelt, die einem Kontrollgerät 15 zugeführt werden. Das Kontrollgerät vergleicht die gemessenen Ablagen jeweils gegenüberliegender Kreisstellen miteinander und gibt Steuerspannungen an die Stellglieder 5 in einer solchen Größe ab, daß über das Lager 2 der Tisch 1 in eine Lage verschoben wird, in der die Differenz der Ablagen gegenüberliegender Kreisstellen Null wird. Das Vorzeichen der Ablagen bemißt sich dabei an n sämtlichen Ablesestellen einheitlich je nachdem, ob die kreisförmige Markierung 14 nach innen oder nach außen verschoben ist.The shelves of this circular marker 14 from the target axes of the photoelectric microscopes 8 to 11 are used in these photoelectric microscopes converted into electrical signals which are fed to a control device 15. The control device compares the measured positions of opposing circle points with each other and gives control voltages to the actuators 5 in such a size from that on the bearing 2 of the table 1 is moved into a position in which the difference the filing of opposing circle points becomes zero. The sign of the shelves is measured uniformly at n all reading points depending on whether the circular Mark 14 is shifted inwards or outwards.

Vorstehendes gilt für den Fall, daB die Markierung 14 die Sollform mit bereits ausreichender Genauigkeit aufweist. Liegen dagegen durch vorherige Messung bestimmte geringe Restfehler der kreisförmigen Markierung vor, so gibt das Kontrollgerät 15 Steuerspannungen an die Stellglieder 5 in einer solchen Große ab, daß über das Lager 2 der Tisch 1 in eine Lage verschoben wird, in der die Differenz der ablagen diametral gegenüberliegender Kreisstellen einen aufgrund der vorangegangenen Kessung errechneten Wert ergibt. Dieser Korrekturwart ist selbstverständlich von der Winkellage des Tisches 1 abhängig. Sine nicht gezeigte bekannte Einrichtung zur selbsttätigen Bestimmung dieser Winkellage beeinflusst das Kontrollgerät 15 in der Weise, daß der zum jeweiligen Winkelwert gehörende Korrekturwert an den piezoelektrischen Stellgliedern eingestellt wird. iuf diese Weise ist es sogar möglich, durch wiederholte Anwendung zur Herstellung der kreisfbrmigen Markierung 14 diese immer weitergehend z. u verbessern.The above applies in the event that the marking 14 has the desired shape already has sufficient accuracy. On the other hand, they are due to previous measurements certain minor residual errors the circular mark before, so is the control device 15 control voltages to the actuators 5 in such Great from that on the bearing 2 of the table 1 is moved into a position in which the difference between the shelves of diametrically opposed circular points is a result the previous boiler results in the calculated value. This correction warden is a matter of course depends on the angular position of table 1. Its known device, not shown the control device 15 influences the automatic determination of this angular position in such a way that the correction value belonging to the respective angle value is applied to the piezoelectric Actuators is set. In this way it is even possible through repeated Use for the production of the circular marking 14 this ever more extensive z. u improve.

In Fig. 1 und 2 ist die Anwendung der Einrichtung zur PrUfung der Rundheit eines Zylinders 16 gezeigt. Hierzu ist an dem Grundgestell 4 ein Tastgerät 17 befestigt (Figur 2), das den zu prU-fenden Zylinder 16 antastet. Die Einrichtung eignet sich aber z. B. ebenso gut dazu, den drehbaren Fühler einer Rundheitsprüfmaschine, den Aufspanntisch einer Bearbeitungsmaachine, insbesondere einer Schleifmaschine oder den Aufspanntiach einer Teilmaschine exakt kreisförmig zu steuern. In Fig. 1 and 2 is the application of the device for testing the Roundness of a cylinder 16 is shown. For this purpose, a sensing device is on the base frame 4 17 attached (Figure 2), which touches the cylinder 16 to be tested. The establishment but is suitable for. B. just as good to use the rotatable probe of a roundness testing machine, the clamping table of a processing machine, in particular a grinding machine or to control the clamping of a sub-machine exactly in a circle.

In Fig. 3 und 4 ist wiederum in einem Grundgestell 104 Uber piezoelektrische Stellglieder 1051 bis 1054, Arme 1031 bis 1034 und ein Lager 102 ein Tisch 101 drehbar gelagert. Die photoelektrischen Mikroskope 1081 bis 1084 liegen hier aber nicht auf den gleichen Fahrstrahlen von der Drehachse aus wie die piezoelektrischen Stellglieder 105 bis 1054. Das gedrängten mechanischen Aufbaues wegen greifen sie zwischen den rmen 1031 bis 1034 durch. Dies bedingt im Vergleich zum vorhergehenden Ausführungsbeispiel eine abweichende Auswertung der Signale der photoelektrischen Miskroskope. In Fig. 5 ist gezeigt, wie die Ablagen a1 bis a4 an den einzelnen Kreisstellen gemessen werden. In Fig. 3 and 4 again in a base frame 104 is piezoelectric Actuators 1051 to 1054, arms 1031 to 1034 and a bearing 102 a table 101 rotatable stored. The photoelectric microscopes 1081 to 1084 are not here on the same driving beams from the axis of rotation as the piezoelectric actuators 105 to 1054. The crowded one because of the mechanical structure between rms 1031 to 1034. This is conditional in comparison to the previous one Embodiment a different evaluation of the signals of the photoelectric Microscopes. In Fig. 5 it is shown how the shelves a1 to a4 at the individual circle locations be measured.

Ablagen einer Stelle der kreisförmigen Markierung 114 von einem photoelektrischen Mikroskop zählen positiv, wenn die Markierung 114 in Richtung auf das gegenüberliegende Mikroskop zu verschoben ist, negativ im entgegengesetzten Sinn. Dementsprechend sind in dem in Fig. 5 angenommenen Fall die Ablagen a2 und a3 negativ, die Ablagen a1 und a4 positiv. In Fig. 6 it nun eine mögliche Auswertung der von den photoelektrischen Mikroskopen gelieferten Signale im Prinzip gezeigt. Von den photoelektrischen Mikroskopen 1081 bis 1084 werden den Ablagen a1 bis a4 proportionale elektrische Signale ma bis ma4 geliefert und Rontrollgeräten 118 und 119 zugeführt. Von diesen werden Signale der in Fig. o angeschriebenen Größe erzeugt, wobei die Kontrollgeräte 118 und 119 zugleich als Verstärker wirken, das Verhältnis #k/m# also sehr viel gröBer als 1 ist. Die so jeweils von allen vier Islikroskopen 1081 bis 1084 beeinflussten Signale k [(a1 + a2) = (a3 + a4)] resp. k [(a2 + a3) - (a1 + a4)] resp. k [(a3 + a4) - (a1 + a2)] resp, k/7a1 + a4)- (a2 + a3)] steuern die piezoelektrischen Stellglieder 1051 resp. 1052 resp. 1053 resp. 1054 im Sinne einer Verkleinerung der Grö#en #a1 + a2 - a3 - a4 # und #a1 + a4 - a2 - a3#.Filing a location of the circular marker 114 from a photoelectric Microscope will count positive if the mark 114 is facing towards the opposite Microscope is too shifted, negative in the opposite sense. Accordingly If in the case assumed in FIG. 5, the shelves a2 and a3 are negative, the shelves a1 and a4 positive. In Fig. 6 it is now a possible evaluation of the photoelectric Microscopes delivered signals shown in principle. From photoelectric microscopes 1081 to 1084, electrical signals ma up to ma4 and control devices 118 and 119 supplied. From these are signals the size written in Fig. o is generated, the control devices 118 and 119 at the same time act as an amplifier, the ratio # k / m # therefore much greater than 1 is. The signals thus influenced by all four isiccopes 1081 to 1084 k [(a1 + a2) = (a3 + a4)] resp. k [(a2 + a3) - (a1 + a4)] resp. k [(a3 + a4) - (a1 + a2)] resp, k / 7a1 + a4) - (a2 + a3)] control the piezoelectric actuators 1051 resp. 1052 resp. 1053 resp. 1054 in the sense of reducing the sizes # a1 + a2 - a3 - a4 # and # a1 + a4 - a2 - a3 #.

Bei dem Ausführungsbexspiel der Fig. 7 wird das Lager 202 und damit der ganze Tisch 201 nicht durch die piezoelektrischen Stellglieder getragen, sondern hängt tuber eine Mehrzahl biegsamer Stäbe 220, von denen nur zwei in der Zeichnung dargestellt sind, am Grundgestell 204. Diese rrt der Aufhängung ermöglicht die Beweglichkeit in zwei zueinander senkrechten Verschieberichtungen. Bine mit Spiel in einer Offnung des Grundgestelles 204 aufgenommener und unter der Kraft einer Druckfeder 221-stehender Stift 222 drückt seinerseits das Lager 202 über eine Kugel 223, ein Druckstück 224 und eine weitere Kugel 225 gegen das piezoelektrisches Stellglied 205, dessen jeweilige Lange maßgebend für die Position der. Achse des Lagers 202 in der durch den Doppelpfeil angedeuteten VerschieberichtungA. Die gleiche Anordnung mit Feder, Stift, durch Kugeln abgestütztem Druckstück und piezoelektrischem Stellglied wirkt senkrecht zur Zeichenebene der Fig. 7 und ist deshalb dort nicht sichtbar. Fur jede Verschieberichtung ist hier also nur noch ein piezoelektrisches Stellglied vorhanden. Diese Einrichtung gestattet es, von gewissen Voraussetzungen abzusehen, die in den vorangegangenen Bespielen stillschweigend gemacht wurden, nämlich, daß die Summe der Längen jeweils gegenüberliegender Stellglieder stets vollkommen konstant bleibt (was nur bei sehr kleinen Steuerbewegungen zutrifft) und daß die Belastung des Tisches gering ist, damit unzulässig hohe Querkräfte auf die Stellglieder vermieden werden. Die Arbeitsweise des Kontrollgerätes 215 ist analog der des Kontrollgerätes der Fig. 1, der Unterschied besteht nur darin, daß für eine Verschieberichtung nur ein piezoelektrisches Stellglied gesteuert wird.In the embodiment of FIG. 7, the bearing 202 and thus the whole table 201 is not supported by the piezoelectric actuators, but hangs over a plurality of flexible rods 220, only two of which are in the drawing are shown, on the base frame 204. This rrt of the suspension allows mobility in two mutually perpendicular displacement directions. Bine with game in an opening of the base frame 204 and 221-standing under the force of a compression spring Pin 222 in turn presses bearing 202 via a ball 223, a pressure piece 224 and another ball 225 against the piezoelectric actuator 205, its respective Long decisive for the position of. Axis of the bearing 202 in the direction indicated by the double arrow indicated displacement direction A. The same arrangement with nib, pen, through Balls supported pressure piece and piezoelectric actuator acts vertically 7 and is therefore not visible there. For every shift direction So there is only one piezoelectric actuator left here. This facility allows certain conditions to be dispensed with in the preceding Examples were tacitly made, namely that the sum of the lengths in each case opposing actuators always remains completely constant (which is only possible with very small steering movements applies) and that the load on the table is low, so that inadmissibly high transverse forces on the actuators are avoided. The way of working of the control device 215 is analogous to that of the control device of FIG. 1, the difference consists only in the fact that only one piezoelectric actuator for one direction of displacement is controlled.

Im Bespiel der Fig. 3 und 9 ist in einer Grundplatte 304 eine achse 326 befestigt. Starr zur Achse 326 wiederum ist ein Halter 32 ? für die photoelektrischen Mikroskope 308 bis 311.In the example of FIGS. 3 and 9, an axis is in a base plate 304 326 attached. In turn, a holder 32 is rigid with respect to the axis 326? for the photoelectric Microscopes 308 to 311.

Um die Achse 326 drehbar gelagert ist ein Ring 328, von dem aus die piezoelektrischen Stellglieder 305 am Tisch 301 angreifen.A ring 328 is rotatably mounted about the axis 326, from which the attack piezoelectric actuators 305 on table 301.

Um allenfalls auftretende Ungleichheiten in den Kennlinien eneinander gegenüberliegender Stellglieder 305 ausgleichen zu können, wirkt das eine eines Paares von Stellgliedern über ein Federelement 329 auf den Tisch 301. Dies erscheint bei dieser Ausführung, bei der die Stellglieder nicht am Drehlager, sondern an Tisch angreifen, deshalb angebracht, damit Deformationen des Tisches und damit der kreisförmigen Markierung 314 vermieden werden.Any inequalities in the characteristics To be able to compensate for opposite actuators 305 does one thing Pair of actuators via a spring element 329 on the table 301. This appears in this version, in which the actuators are not on the pivot bearing, but on the table attack, therefore appropriate, so that deformations of the table and thus the circular Marking 314 can be avoided.

Das Gewicht des Tisches 301 sowie gegebenenfalls darauf befestigter WerkstUcke 316 wird über eine Kugel 330 direkt von der Achse 326 getragen. Die Kugel 330 liegt mit genügend seitlichem Spiel in einer Ausnehmung des Tisches 301, sodaB sie geringe seitliche Bewegungen ohne Reibung zulässt. Die Zuleitungen zu den rotierenden Stellgliedern 305 sind über Schleifkontakte 331 geführt-"-Im Beispiel der Fig. 10 ist das erfindungsgemäße Prinzip zweimal, und zwar an axial auseinanderliegenden kreisförmigen Markierungen 4141 und 414 angewandt. Dementsprechend sind auch die Sätze von photoelektrischen Mikroskopen und Stellgliedern jeweils doppelt vorhanden. Es werden damit auch Taumelfehler des Tisches 401 ausgeschaltet. Der prinzipielle Aufbau'ist ahnlich dem vorhergehenden-Beispiel, die Bezugszeichen sind analog gewählt.The weight of the table 301 and any fastened thereon Workpieces 316 are carried directly by the axle 326 via a ball 330. The ball 330 lies with sufficient lateral play in a recess of the table 301, so that it is it allows slight lateral movements without friction. The supply lines to the rotating Actuators 305 are guided via sliding contacts 331 - "- In the example of FIG. 10 is the principle according to the invention twice, namely at axially spaced apart circular markings 4141 and 414 are applied. They are accordingly Sets of photoelectric microscopes and actuators are duplicated. This also eliminates wobble errors of the table 401. The principal one The structure is similar to the previous example, the reference symbols are chosen analogously.

Zur Vermeidung von Deformationen der Markierungen 4141 und 4142 sind diese auf einer Hülse 432 montiert, die unabhängig von den Haltestreben 433 für die piezoelektrischen Stellglieder 405 am Tisch 401 befestigt ist.To avoid deformation of the markings 4141 and 4142 are this mounted on a sleeve 432, which is independent of the support struts 433 for the piezoelectric actuators 405 are attached to the table 401.

Das Beispiel der Fig. 11 arbeitet im Prinzip ähnlich wie das vorhergehende Beispiel, die Bezugszeichen sind analog gewählt.The example of FIG. 11 works in principle similarly to the previous one Example, the reference symbols are chosen analogously.

Der Unterschied zum Beispiel der Figur 10 besteht darin, daß die kreisförmigen Markierungen 5141 und 5142 an derselben Hülse 534 befestigt sind, an der auch die Stellglieder 505 angreifen.The difference to the example of Figure 10 is that the circular Markings 5141 and 5142 are attached to the same sleeve 534 that the Attack actuators 505.

Zur Vermeidung von Deformationen der Markierungen sind, ähnlich dem Beispiel der Fig. 8, Federelemente 529 zwischen die Ringe 528 und die Hülse 534 eingeschaltet. Ausserdem wird ein geschlossener Aufbau der ganzen Einrichtung dadurch erreicht, daB die Mikroskophalter 527 unmittelbar an der chose 526 befestigt sind.To avoid deformation the markings are similar to that Example of FIG. 8, spring elements 529 between the rings 528 and the sleeve 534 switched on. It also creates a closed structure for the entire facility achieves that the microscope holder 527 are attached directly to the socket 526.

Bei den Beispielen der Fig. 8 bis 11, bei denen die piezoelektrischen Stellglieder rotieren, die photoelektrischen Mikroskope aber feststehen, ergibt sich keine gleichbleibende Zuordnung zwischen Mikroskopen und Stellgliedern während der Drehung des Tisches. Die Kontrolleinrichtung muß in diesen Fällen die im Vergleich zu Fig. 6 abgewandelten elektrischen Signale [(k1(a1 - a3) + k2(a4 - a2)] bzw. [K2 (a1 - a3) + k1(a2 - a4)] bilden, wobei k1 und k2 wie Sinus und Kosinus vom Drehwinkel des Tisches abhängen.In the examples of FIGS. 8 to 11, in which the piezoelectric Rotating actuators, but the photoelectric microscopes are fixed, results no consistent assignment between microscopes and actuators during the rotation of the table. In these cases, the control device must compare the electrical signals modified from FIG. 6 [(k1 (a1 - a3) + k2 (a4 - a2)] or [K2 (a1 - a3) + k1 (a2 - a4)], where k1 and k2 are like sines and cosines of the angle of rotation depend on the table.

Claims

An pruche 'device for the exact circular rotation of an in a backlash-free bearing recorded part, z. B. a table, characterized in that that the table (1) has a movement exactly corresponding to the target movement or with known deviations from the target movement afflicted circular marking (14) carries their respective Storage of the fixed scanning means (8 to 11) continuously and automatically determined and control devices (15/5) are supplied, which an adjustment of the Bearing (2) bring about in such a way that the table (1) during its rotation Executes target movement.

2.) Device according to claim 1, characterized in that the Control devices (15/5) according to the previously determined deviations of the marking (14) on the ideal circular shape as a function of the rotation of the table (1) are programmed and thus automatically correct any existing circular shape errors cause.

Device according to Claims 1 and 2, characterized in that the Scanning devices (8/10; 9/11) are arranged in pairs with respect to one another and in pairs act together on the control device for a direction of movement of the bearing (2).

4.) Device according to claim 1 and 3, characterized in that as a marking (14) an optically perceptible circular line and as a scanning means (8 to is 11) photoelectric microscopes of known design are used.

5.) Device according to claim 1 to 4, characterized in that # attack the control devices (5) in the plane of the circular marking (14).

6.) Device according to claim 1 to 5, characterized in that the control devices (5) have piezoelectric actuators.

7.) The application of the device according to claim 1 to 6 for controlling the rotation of the clamping table (1) of a round machine.

8.) The application of the device according to claim 1 to 6 for controlling the rotation of the probe of a roundness testing machine.

9.) The application of the device according to claim 1 to 6 for controlling the rotation of the clamping table of a processing machine, in particular a grinding machine.

10.) The application of the device according to claim 1 to 6 for controlling the rotation of the clamping roof of a sub-machine.

11.) The repeated use of the device according to claim 1 to 5, in particular according to claim 2, for controlling a circular device during the production of a marking (14) for the purpose of gradual improvement of the marking (14).