DE1541957C

DE1541957C - Ultrasonic delay line and method of making it

Info

Publication number: DE1541957C
Authority: DE
Inventors: Franx; Gammel Manfred Franz Karl; Eindhoven Cornells (Niederlande)
Original assignee: Philips Gloeilampenfabrieken NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Publication date: 1972-02-17

Description

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Die Erfindung betrifft eine Ultraschall-Verzöge- für die Ultraschallschwingungen besteht, daß zwi-The invention relates to an ultrasonic delay for the ultrasonic vibrations that between

rungsleitung mit einem Glaskörper, der zwei Flächen sehen dem dem Eingangswandler zugeführten elek-supply line with a glass body, the two surfaces face the electrical supplied to the input transducer

mit einem piezoelektrischen Eingangs- bzw. Aus- trischen Signal und dem am Ausgangswandler er-with a piezoelectric input or output signal and the output transducer

gangswandler, die parallel zu ihren Berührungsflä- zeugten elektrischen Signal die gewünschte Verzöge-output transducers that generate the desired delay in parallel to their contact surfaces.

chen mit dem Glaskörper polarisiert sind, und wenig- 5 rungszeit erreicht wird. Die Verzögerungsleitung nachsurfaces are polarized with the vitreous, and a little time is reached. The delay line after

stens eine dritte Fläche parallel zur Hauptfortpflan- der Erfindung ermöglicht auch ein praktisches Ver-at least a third surface parallel to the main propagator of the invention also enables a practical

zungsrichtung der Ultraschallschwingungen aufweist. fahren zur Herstellung derartiger Verzögeruhgslei-having direction of ultrasonic vibrations. drive for the production of such delay lines

Die Erfindung betrifft weiter ein Verfahren zur tungen.. ....The invention also relates to a method for lines .. ....

Herstellung derartiger Ultraschall-Verzögerungslei- Das Verfahren nach der Erfindung zur gleichzeititungen. io gen Herstellung mehrerer Ultraschall-Verzögerungs-. Es ist an sich bekannt, Ultraschall-Verzögerungs- leitungen aus einem gläsernen Grundkörper, der vorleitungen an jenen Flächen oder Flächenteilen, an zugsweise aus Preßglas besteht und zwei flach gedenen eine Reflexion von Ultraschallschwingungen, schliffene, mit piezoelektrischen Eingangs- bzw. Ausz. B. Ultraschall-Streustrahlung, verhütet werden soll, gangswandler versehene Flächen aufweist, wobei die mit einem Dämpfungsmaterial zu versehen bzw. auf- 15 Eingangs- und Ausgangswandler parallel zu ihren zurauhen, z. B. durch Sandstrahlen oder Einschleifen Berührungsflächen mit dem Glaskörper polarisiert von Nuten oder indem gleichzeitig mit einem Preß- sind, weist das Kennzeichen auf, daß der Grundkörvorgang darin Nuten geformt werden, per zusammen mit dem aufgebrachten piezoelektri-Manufacture of such ultrasonic delay lines. The method according to the invention for simultaneous. io gen producing multiple ultrasonic delay. It is known per se, ultrasonic delay lines from a glass base body, the pre-lines on those surfaces or surface parts, preferably made of pressed glass and two are flat a reflection of ultrasonic vibrations, ground, with piezoelectric input or output. B. ultrasonic scattered radiation is to be prevented, has input transducer provided surfaces, the to be provided with a damping material or to 15 input and output transducers parallel to theirs zuauhen, z. B. polarized by sandblasting or grinding contact surfaces with the glass body of grooves or by being pressed at the same time, has the characteristic that the basic body process grooves are formed in it, together with the applied piezoelectric

Aus der USA.-Patentschrift 2 781 494 ist ein Ver- sehen Wandler praktisch parallel zur Hauptfortfahren zur Herstellung von Ultraschall-Verzögerungs- ao pflanzungsrichtung der Ultraschallschwingungen und leitungen bekannt, bei dem eine einzige Verzöge- senkrecht zu den Wandlerflächen sowie parallel zur rungsleitung in zwei Hälften zerschnitten wird, die Polarisationsrichtung der Wandler, vorzugsweise durch ein Prisma zusammengehalten werden. Die durch Sägen, in mehrere scheibenförmige Stücke gebeiden Leitungsstücke bilden zusammen mit dem teilt wird.From US Pat. No. 2,781,494 a converter is provided practically parallel to the main continuation for the production of ultrasonic delay ao planting direction of the ultrasonic vibrations and lines known in which a single delay perpendicular to the transducer surfaces and parallel to the is cut in half, the polarization direction of the transducer, preferably are held together by a prism. The cut, by sawing, into several disc-shaped pieces Line pieces form together with which is divided.

Prisma aber nur eine einzige Verzögerungsleitung, as Hierdurch werden die Herstellungskosten und diePrism but only a single delay line, as this reduces the manufacturing costs and the

die sehr viel Raum beansprucht und in ihrer Her- Nachbearbeitungskosten beträchtlich herabgesetzt,which takes up a lot of space and considerably reduces its post-processing costs,

stellung kostspielig ist. da eine Anzahl von Bearbeitungen, wie das Schmel-position is costly. since a number of processes, such as the Schmel

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, mög- zen, das Pressen mit gleichzeitiger Erzeugung von liehst dünne Verzögerungsleitungen zu schaffen und Dämpfungsriffeln oder Nuten, das Schleifen von Begleichzeitig ein Verfahren zu ihrer Herstellung zu 3° zugsfiächen, das Schleifen der beiden Flächen für den ermöglichen mit weitgehend herabgesetzten Bearbei- Eingangs- bzw. den Ausgangswandler unter einem tungskosten. gegenüber diesen Bezugsflächen genau bestimmtenThe invention is based on the object, possibly the pressing with the simultaneous generation of lent to create thin delay lines and damping corrugations or grooves, the grinding of the same time a process for their production to 3 ° tensile surfaces, the grinding of the two surfaces for the allow with largely reduced processing input or output converter under one management costs. with respect to these reference areas

Die Ultraschall-Verzögerungsleitung nach der Er- Winkel, das Aufbringen von Elektroden auf diese findung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Abmes- Flächen, das Anlöten der Umwandler auf diesen sung des Glaskörpers senkrecht zur die Ultraschall- 35 Elektroden bzw. das Nachschleifen auf die richtige Streustrahlung reflektierenden dritten Fläche kleiner Verzögerungszeit für sämtliche nach dem Durchist als alle Abmessungen dieser dritten Fläche, daß sägen erhaltenen Verzögerungsleitungen, gleichzeitig die Polarisationsrichtungen der Wandler parallel zu in nur einem Vorgang erfolgen kann. Bereits aus dem dieser dritten Fläche gewählt sind und daß die dieser Gesichtspunkt mechanischer Festigkeit bzw. Homodritten Fläche gegenüberliegende Fläche des Glas- 40 genität des Glases innerhalb jeder dieser Verzögekörpers für die Streustrahlung als Dämpfungs- und/ rungsleitungen ist das Verfahren nach der Erfindung oder Streufläche ausgebildet ist. wesentlich günstiger als bei-einer getrennten Her-The ultrasonic delay line after the Er angle, the application of electrodes to this Finding is characterized in that the dimensional surfaces, the soldering of the transducers on these solution of the glass body perpendicular to the ultrasonic 35 electrodes or regrinding to the correct one Scattered radiation reflecting third surface small delay time for all after passing through than all the dimensions of this third area that saw delay lines obtained, simultaneously the polarization directions of the transducers can be done in parallel in just one process. Already from the this third area are chosen and that this aspect of mechanical strength or homodridges Face Opposite face of the glass genus within each of these retarded bodies the method according to the invention is used for the scattered radiation as attenuation and / or attenuation lines or spreading surface is formed. much cheaper than with a separate company

Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß . stellung einzelner Verzögerungsleitungen,
dank der gewählten Polarisationsrichtung des Wand- Das Verfahren ist besonders vorteilhaft bei der lers die dritte "Fläche als praktisch verlustfreie Re- 45 Herstellung von Verzögerungsleitungen nach der Erflexionsfläche für die Ultraschallwellen wirksam ist, findung, Weil dank der kleinen Abmessung senkrecht so daß sich der Körper so verhält, als ob er doppelt zur dritten Fläche möglichst viele Verzögerungsieiso stark wäre (senkrecht zu dieser Fläche gemessen), tungen aus einem einzigen Grundkörper hergestellt wodurch die Dämpfung für das gewünschte Signal werden können. Außerdem ist dank der gewählten herabgesetzt wird. Die unerwünschte Streustrahlung 50 Polarisationsrichtung der Wandler ein Nachschleifen der Ultraschallwellen wird vor dem Auftreffen auf der Sägeflächen meistens überflüssig,
den Ausgangswandler eine Dämpf ungs- und/oder Zur gleichzeitigen Herstellung zweier Ultraschall-Streufläche desi Verzögerungskörpers treffen und da- Verzögerungsleitungen wird vorzugsweise ein Verdurch unschädlich gemacht werden. Die Verzöge- fahren angewendet, bei dem der Grundkörper rungsleitung weist also den Vorteil auf, daß die Ab- 55 vor dem Unterteilen mit zwei senkrecht zu den messung des Glaskörpers senkrecht zur dritten Fläche Wandlerflächen und parallel zur Polarisationsrichverringert werden kann, ohne daß die Verluste un- tung der Wandler stehenden Flächen zur Dämpfung erwünschte Größen annehmen. Ein weiterer Vorteil und/oder Streuung der Ultraschallschwingungen verist, daß die erwähnte dritte Fläche durch eine Säge- sehen wird. Die so hergestellten Ultraschall-Verbearbeitung erhalten werden kann, ohne eine Nach-_6o zögerungsleitungen bedürfen praktisch keiner Nachbearbeitung zu benötigen. bearbeitung mehr.The invention is based on the knowledge that. setting of individual delay lines,
Thanks to the selected direction of polarization of the wall, the method is particularly advantageous when the third "surface is effective as a practically loss-free re-creation of delay lines after the reflection surface for the ultrasonic waves, because thanks to the small dimension perpendicular so that the body behaves as if it were twice as much delay as possible to the third surface (measured perpendicular to this surface), lines made from a single base body, which means that the attenuation for the desired signal can be reduced 50 Polarization direction of the transducer regrinding of the ultrasonic waves is usually superfluous before they hit the saw surface,
The output transducer has a damping and / or For the simultaneous production of two ultrasound scattering surfaces of the delay body hit and the delay lines will preferably be rendered harmless. The deceleration method used, in which the base body approximation line, has the advantage that the conversion can be reduced before dividing with two transducer surfaces perpendicular to the measurement of the glass body perpendicular to the third surface and parallel to the polarization direction, without the losses un - Adoption of the transducers standing surfaces for damping take on the desired sizes. Another advantage and / or scattering of the ultrasonic vibrations is that the third surface mentioned is seen through a saw. The ultrasonic processing produced in this way can be obtained without requiring any post-processing delay lines, practically no post-processing. machining more.

Bei der Herstellung von Ultraschall-Verzögerungs- Die Erfindung wird an Hand der Zeichnung näherIn the manufacture of ultrasonic delay The invention will be explained in more detail with reference to the drawing

leitungen, bei der zwei Flächen geschliffen und mit erläutert. Es zeigtlines, in which two surfaces are ground and explained with. It shows

einem Eingangs- bzw. einem Ausgangswandler ver- Fig. 1 eine Ultraschall-Verzögerungsleitung, inFIG. 1 shows an ultrasonic delay line, in

sehen werden, werden schon beträchtliche Herstel- 65 der das Prinzip nach der Erfindung noch nicht ver-will see, considerable manufacturers who have not yet implemented the principle according to the invention

lungskosten aufgewendet, bevor mit der Nachbear- wirklicht ist,costs incurred before the post-processing is done,

beitung angefangen werden kann, die z. B. in einem Fig. 2 dient zur Veranschaulichung der Maßderartigen Nachschleifen einer der Reflexionsflächen nähme nach der Erfindung,processing can be started, the z. B. in a Fig. 2 serves to illustrate the extent of such Regrinding of one of the reflective surfaces would take according to the invention,

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in F i g. 3 a ist das Verfahren nach der Erfindung des Körpers G in dieser Richtung, also senkrecht zur bei einem Grundkörper nach F i g. 3 b angewendet, Zeichenebene, sind dabei zum Durchlaß einer ausin Fig. 4 ist das Verfahren nach der Erfindung reichend großen Bandbreite beträchtlich größer als bei einem Grundkörper nach Fig. 4b angewendet. der größte Abstand zwischen den Flächen 3 und 5. Fig. 1 zeigt einen gläsernen GrundkörperG, der 5 Diese Wahl der Polarisationsrichtung ist besonders zwei ebene Flächen 1 und 2 zum Tragen eines Ein- bei den im nachfolgenden erwähnten Ultras'challgangswandlers ^₁ bzw. eines Ausgangswandlers t₂ be- Verzögerungsleitungen mit einer Reflexionsfläche sitzt. Für das Material des Glases wird vorzugsweise bzw. Reflexionsflächen für die gewünschten Ultraeine Zuammensetzung gewählt, die unter den vorlie- schallschwingungen an sich nicht üblich, da an diesen genden Verhältnissen zu einer konstanten Verzöge- io Reflexionsflächen ein geringer Verlust auftritt, der rungszeit zwischen den dem Wandler J₁ zugeführten im Falle einer Polarisation parallel zur Zeichenelektrischen Schwingungen und folglich vom Wand- ebene vermieden werden könnte. Die gewählte PoIaler t₂ erzeugten elektrischen Ausgangsschwingungen risationsrichtung bezweckt, den möglichst großen führt. Die Wandler Z₁ und t₂ sind vorzugsweise aus Nutzen aus der Spiegelwirkung der Fläche 5 zu zieeiner dünnen Platte*aus piezoelektrischem Material, 15 hen, ohne daß eine Energieumsetzung der transz. B. einem Blei- oder Erdalkalititanat, -zirkonat od. versalen Schwingungen in longitudinale Schwingundgl., hergestellt, deren Hauptflächen mit Elektroden gen bzw. in Schwingungen mit einer anderen Polarifür die Zuführung bzw. den Abgriff der elektrischen sationsrichtung sich als störend bemerkbar macht.
Signalschwingungen versehen sind. F i g. 3 b zeigt einen stabförmigen Grundkörper G, Die vom Wandler Z₁ erzeugten Ultraschallschwin- so dessen lange Flächen allseitig mit einer Riffelung gungen werden sich im wesentlichen senkrecht zur versehen sind, die z. B. durch einen Preßvorgang geFläche 1 in Richtung auf den Wandler t₂ fortpflanzen. formt sein kann. Das Glas kann dazu z. B. in einer Infolge der endlichen Abmessungen dieses Wandlers Matrize gepreßt werden, deren Wände die entspresowie durch Unregelmäßigkeiten im Wandlermaterial chende Riffelung aufweisen. Auch kann das warme und im Glas des Körpers G wird die vom Wandler 1 25 Glas in Stabform gezogen werden und zwischen ausgehende Ultraschallwelle aber auch von der Walzen durchlaufen, die mit einer solchen Riffelung Hauptfortpflanzungsrichtung abweichende Streustrah- versehen sind, daß die gewünschten Nuten oder lung aufweisen. Die Flächen 3 und 4 des Grundkör- Riffel an diesen langen Flächen entstehen. Auch persG weisen eine Riffelung auf, die z.B. beim können die WandlerJ₁ und t₂ zuvor angebracht sein, Pressen des Glases geformt sein kann, wodurch die 30 wobei die Polarisationsrichtung der Wandler in Richauffallenden Ultraschall-Streustrahlungen derart wei- tung P parallel zu den Berührungsflächen 1 bzw. 2 ter gestreut und gedämpft werden, daß sie nahezu gewählt ist. Indem der Glaskörper G nach F i g. 3 b nicht zu den auf den Ausgangswandler t₂ auftreffen- dann wieder im wesentlichen parallel zu zwei dieser den Ultraschallwellen beitragen. langen Flächen parallel zur Polarisationsrichtung P, Nach der Erfindung wird der Körper G gemäß 35 nämlich gemäß der strichpunktierten Linie 5 durcheiner senkrecht zur Zeichenfläche stehenden, durch gesägt wird, entstehen zwei Verzögerungsleitungen, die Linie 5 gehenden Ebene in zwei Hälften geteilt. von denen eine in Fig. 3a dargestellt ist. Durch die Dadurch entstehen zwei Ultraschall-Verzögerungs- vorherige Anbringung der Wandler/, und t₂, die leitungen G₁ und G_r wie: sie in Fig. 2 dargestellt dann beim Sägen gleichfalls in zwei Hälften gesägt sind. Aus den durch Pfeile angedeuteten Strahlengän- 40 werden, kann mit einer nahezu verschwindend kleigen der Ultraschallschwingungen in Fig. 1 bzw. nen Kostenerhöhung die doppelte Zahl von Ver-Fig.2 ist ersichtlich, daß die Streuung.und Absorp- , zögerungsleitungen erhalten werden,
tion der erwähnten unerwünschten Streustrahlung Fig.4 zeigt einen prismaförmigen Grundkörper unverändert geblieben sind, da die Teilfläche 5 als mit einer fünfeckigen Grundfläche, dessen ebene Spiegel wirksam ist und folglich die Streustrahlung 45 Flächenil und 12 den Eingangs- bzw. Ausgangszur geriffelten Fläche 3 zurückwirft, an der sie auf wandler t_t bzw. t₂ tragen und Winkel von etwa 45° chaotische Weise zerstreut wird und so viel Dämp- mit einer flachen Endfläche 13 einschließen, die prakfung erfährt, daß nur ein kleiner Teil den Wandler t₂ tisch senkrecht zu zwei flachen Seitenflächen 14 bzw. erreicht. Strahlen aber, welche auf die Fläche 5 unter 15 steht, deren Längen derart gewählt sind, daß eine einem sehr geringen Winkel auftreffen, werden an 50 Reflexion der Ultraschallschwingungen an diesen. dieser Fläche totalreflektiert und den Wandler t₂ mit Seitenflächen nur zweimalig erfolgt. Auch kann ein praktisch derselben Verzögerungszeit erreichen wie prismatischer Glaskörper mit einer fünfeckigen die parallel zur Fläche 5 vom Wandler f_} zum Wand- Grundfläche verwendet werden, bei dem der von den ler t₂ verlaufende Strahlung. Dadurch wird die Über- Flächen 11 und 12 eingeschlossene Winkel beträchttragung gewünschter Signale mit nur geringen Ver- 55 Hch größer ist, nämlich nahezu 180°, wobei an die lusten einhergehen. Flächen 14, 15 keine besonderen Anforderungen ge-Hierbei sei bemerkt, daß vorzugsweise transversal stellt werden. Zum Erzielen einer Riffelung auf den polarisierte Ultraschallschwingungen verwendet wer- Flächen 16 und 17 (und gegebenenfalls auf den Fladen, deren Polarisationsrichtung parallel zur Flä- chen 14 und 15) und zur richtigen Lagerung des ehe5 ist. Die Wandler*, und t₂ werden dazu nicht 60 Glaskörpers für das Schleifen der verschiedenen für nur parallel zu den Berührungsflächen 1 bzw. 2 mit die Ultraschallfortpflanzung wichtigen Flächen unter dem Grundkörper G, sondern auch parallel zur Flä- den richtigen Winkeln kann ein Verfahren benutzt ehe 5, d. h. senkrecht zur Zeichenebene, polarisiert. werden, bei dem beim Preßvorgang Nuten und an Bei den oben beschriebenen Umwandlermaterialien einigen Flächen Nocken gepreßt werden, welche bei kann dadurch eine remanente Polarisation im Mate- 65 der weiteren Bearbeitung der Verzögerungsleitung als rial herbeigeführt werden, daß es einige Zeit, vor- Bezugsflächen dienen. Da der mit den Wandlern t_i zugsweise bei hoher Temperatur, einem starken und t₂ versehene Grundkörper G wieder längs der elektrischen Feld ausgesetzt wird. Die Abmessungen durch die strichpunktierte Linie angedeuteten Flä-in Fig. 3 a is the method according to the invention of the body G in this direction, ie perpendicular to the case of a base body according to FIG. 3b applied, plane of the drawing, are used for the passage of an in Fig. 4, the method according to the invention reaching a large bandwidth is considerably larger than used in a base body according to Fig. 4b. the greatest distance between the surfaces 3 and 5. Fig. 1 shows a glass base body G, the 5 This choice of polarization direction is particularly two flat surfaces 1 and 2 for carrying a one in the below mentioned ultrasound path transducer ^ ₁ or one Output transducer t ₂ be delay lines with a reflective surface sits. For the material of the glass, preferably or for the reflection surfaces for the desired ultra, a composition is selected that is not usual in the presence of sound vibrations, since a slight loss occurs at these conditions for a constant delay in the reflection surfaces, the delay time between the Transducer J ₁ supplied in the case of a polarization parallel to the sign electrical oscillations and consequently from the wall plane could be avoided. The selected pole t ₂ generated electrical output oscillations risationsrichtung aims, the largest possible leads. The transducers Z ₁ and t ₂ are preferably from the use of the mirror effect of the surface 5 to zeeiner thin plate * made of piezoelectric material, 15 without an energy conversion of the transz. B. a lead or alkaline earth titanate, zirconate od. Versal vibrations in longitudinal Schwingundgl., Produced, the main surfaces of which with electrodes or in vibrations with a different polarity for the supply or the tapping of the electrical sationsrichtung makes itself noticeable as disturbing.
Signal oscillations are provided. F i g. 3 b shows a rod-shaped base body G, the ultrasonic vibration generated by the transducer Z ₁ so whose long surfaces are provided with a corrugation on all sides essentially perpendicular to the z. B. propagate geFläche 1 in the direction of the transducer t ₂ by a pressing process. can be shaped. The glass can, for. B. be pressed in a consequence of the finite dimensions of this transducer die, the walls of which have the corresponding corrugation and irregularities in the transducer material. Also the warm and in the glass of the body G is drawn from the transducer 1 25 glass in the form of a rod and between the outgoing ultrasonic waves but also from the rollers which are provided with such a corrugation, the main propagation direction deviating scattering radiation, that the desired grooves or lung exhibit. The surfaces 3 and 4 of the base corrugation arise on these long surfaces. PersG also have a corrugation, which, for example, can be formed when the transducers ₁ and t ₂ can be attached beforehand, pressing the glass, whereby the ultrasonic scattered radiation incident in the direction of the polarization direction of the transducers is so wide P parallel to the contact surfaces 1 or 2 ter are scattered and attenuated that it is almost chosen. By the glass body G according to FIG. 3 b does not impinge on the output transducer t ₂ - then again contribute the ultrasonic waves essentially parallel to two of these. long surfaces parallel to the polarization direction P, according to the invention, the body G according to 35 is divided into two halves according to the dash-dotted line 5 by a plane perpendicular to the drawing surface, by sawing, results in two delay lines, the line 5 going. one of which is shown in Fig. 3a. As a result, there are two ultrasonic delay prior attachment of the transducers /, and t ₂ , the lines G ₁ and G _r as shown in Fig. 2 are then also sawn in two halves during sawing. From the beam paths indicated by arrows, with an almost vanishingly small amount of the ultrasonic vibrations in Fig. 1 or an increase in costs, the double number of Fig. 2 can be seen that the scattering and absorption, delay lines are obtained,
tion of the mentioned undesired scattered radiation Fig. 4 shows a prism-shaped base body remained unchanged, since the partial surface 5 as having a pentagonal base surface, whose flat mirror is effective and consequently the scattered radiation 45 surface part and 12 throws back the entrance and exit corrugated surface 3, on which they wear transducers t _t or t ₂ and angles of about 45 ° are scattered chaotically and include so much damping with a flat end surface 13 that only a small part of the transducer t ₂ table is perpendicular to the test two flat side surfaces 14 and reached, respectively. However, rays which are on the surface 5 under 15, the lengths of which are chosen such that a very small angle impinge, are at 50 reflection of the ultrasonic vibrations at these. this surface is totally reflected and the transducer t ₂ with side surfaces only takes place twice. Practically the same delay time can also be achieved as a prismatic glass body with a pentagonal one that is parallel to the surface 5 from the transducer f _} to the wall base area, in which the radiation running from the ler t _2. As a result, the over-areas 11 and 12 included angles will carry desired signals with only a slight difference, namely almost 180 °, with the losses being associated. Surfaces 14, 15 do not have any special requirements. It should be noted that preferably transversal. To achieve corrugation on the polarized ultrasonic vibrations, surfaces 16 and 17 are used (and, if necessary, on the flatbreads, the direction of polarization of which is parallel to surfaces 14 and 15) and for correct positioning of the ehe5. The transducers *, and t ₂ are not 60 glass bodies for grinding the various surfaces under the base body G that are important for only parallel to the contact surfaces 1 or 2 with the ultrasound propagation, but a method can also be used parallel to the correct angles before 5, ie perpendicular to the plane of the drawing, polarized. in which grooves are pressed during the pressing process and cams are pressed on some surfaces in the converter materials described above, which in this way can cause a remanent polarization in the material of the further processing of the delay line as a rial that it serves some time before reference surfaces . Since the base body G provided with the transducers t _i, preferably at high temperature, is exposed to a strong and t ₂ again along the electric field. The dimensions indicated by the dash-dotted line

ehe 5 durchgesägt wird, werden wieder zwei Ultraschall-Verzögerungsleitungen erhalten, von denen eine in F i g. 4 a dargestellt ist. Die Wandler t_x und t₂ sind dabei wiederum nicht nur parallel zu den Berührungsflächen 11 und 12, sondern auch parallel 5 zur Trennfläche5 polarisiert, wie durch die Pfeile? angedeutet ist.Before 5 is sawed through, two ultrasonic delay lines are again obtained, one of which is shown in FIG. 4 a is shown. The transducers t _x and t ₂ are in turn polarized not only parallel to the contact surfaces 11 and 12, but also parallel 5 to the interface 5, as indicated by the arrows? is indicated.

Es ist vorteilhaft, dafür zu sorgen, daß die Wandler Z₁ bzw. /₂ direkt an der Sägefläche 5 anliegen. Dies wird bereits erreicht, wenn die Umwandler zuvor auf dem Grundkörper G angebracht und dann gleichzeitig mit dem Grundkörper durchgesägt werden. Die Oberflächen der Wandler I₁ und t₂ sind dann vorzugsweise beträchtlich kleiner als die der Berührungsflächen 1 und 2 bzw. 11 und 12 mit dem Grundkörper, so daß nach dem Durchsägen die Wandler Z₁ bzw. t₂ noch in einem beträchtlichen Abstand von den Dämpfungsflächen 3 (Fig. 2) bzw. 16 und 17 (Fig. 4a und 4b) entfernt bleiben.It is advantageous to ensure that the transducers Z ₁ or / _{2 are in} direct contact with the sawing surface 5. This is already achieved if the transducers are previously attached to the base body G and then sawn through at the same time as the base body. The surfaces of the transducers I ₁ and t ₂ are then preferably considerably smaller than those of the contact surfaces 1 and 2 or 11 and 12 with the base body, so that after sawing through the transducers Z ₁ and t _{2 are} still at a considerable distance from the Damping surfaces 3 (Fig. 2) or 16 and 17 (Fig. 4a and 4b) remain removed.

Claims

Patent claims:

1. Ultrasonic delay line with a glass body which has two surfaces with a piezoelectric input or output transducer, as which are polarized parallel to their contact surfaces with the glass body, and at least a third surface parallel to the main direction of propagation of the ultrasonic vibrations, characterized in that the Dimension of the glass body (G ₁ or G ₂ ) perpendicular to the third surface (5) reflecting the ultrasound scattered radiation is smaller than all dimensions of this third surface so that the polarization directions of the transducers (Z ₁ and t ₂ ) are selected to be parallel to this third surface and that the surface (3 or 4 or 16 or 17) of the glass body opposite this third surface is designed as a damping and / or scattering surface for the scattered radiation.

2. Method. For the simultaneous production of several ultrasonic delay lines according to claim 1 from a glass base body, which is preferably made of pressed glass and two flat ground, with piezoelectric input or. Has output transducers provided surfaces, the input and output transducers .parallel to their contact surfaces with the glass body are polarized, characterized in that the base body (G) together with the applied piezoelectric transducers (Z ₁ and i _? ) Practically parallel to the main direction of propagation of the ultrasonic vibrations and perpendicular to the transducer surfaces (1, 2 or 11, 12) and parallel to the polarization direction of the transducer, preferably by sawing, is divided into several disk-shaped pieces.

3. The method according to claim 2 for the simultaneous production of two ultrasonic delay lines, characterized in that the base body (G) before dividing with two perpendicular to the transducer surfaces (1, 2 or 11,

, 12) and surfaces (3, 4 or 16, 17) standing parallel to the polarization direction of the transducers (J ₁ and t ₂ ) are provided for damping and / or scattering the ultrasonic vibrations.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings