DE1539134C

DE1539134C - Ion vacuum pump or ionization manometer

Info

Publication number: DE1539134C
Application number: DE19651539134
Authority: DE
Inventors: Chikara Yokohama Hayashi (Japan)
Original assignee: Nihon Shinku Gijutsu KK
Current assignee: Nihon Shinku Gijutsu KK
Priority date: 1964-12-30
Filing date: 1965-12-29
Publication date: 1973-06-20

Description

Die Erfindung betrifft eine Ionenvakuumpumpe oder ein lonisationsmanometer, in deren Pumpenbzw, dessen Manometergefäß mindestens eine aus mindestens einer Anode und mindestens einer Kathode bestehende Glimmentladungsstrecke sowie eine Quelle radioaktiver Strahlen angeordnet ist und bei der bzw. dem der Raum, in dem die Glimmentladung stattfindet, von einem Magnetfeld durchsetzt ist.The invention relates to an ion vacuum pump or an ionization manometer, in whose pumps or whose manometer vessel has at least one of at least one anode and at least one cathode existing glow discharge path and a source of radioactive rays is arranged and in which the space in which the glow discharge takes place by a magnetic field is interspersed.

Bei Vorrichtungen der vorgenannten Art werden Gase im Innern des Gefäßes unter Verwendung einer radioaktiven Strahlungsquelle ionisiert, wobei die entstehenden positiven Ionen auf die Kathode auftreffen lind durch den Aufprall ein Teil des Kathodenmaterials zu kleinen Partikeln zerstäubt wird, die sich auf Teilen des Gehäuses niederschlagen und die Eigenschaft haben, die gasförmigen Moleküle einzu fangen, wodurch der Druck im Innern des Gehäuses reduziert wird. Die bei der Ionisierung entstehenden Elektronen dienen der fortwährenden Ionisierung weiterer neutraler Moleküle.In devices of the aforementioned type gases are inside the vessel using a ionized radioactive radiation source, with the resulting positive ions impinging on the cathode lind part of the cathode material is atomized into small particles by the impact, which are deposited on parts of the housing and have the property of being gaseous molecules to catch, which reduces the pressure inside the housing. The one in ionization The electrons generated serve the continuous ionization of further neutral molecules.

,Aus der USA.-Patentschrift 2 715 993 ist eine Ionenvakuumpumpe bekannt, bei der Gase im Innern eines Gehäuses unter Verwendung einer radioaktiven Strahlungsquelle ionisiert werden, die im Innern des Gehäuses zwischen der Anode und der Kathode der Vakuumpumpe angeordnet ist., Of U.S. Patent 2,715,993 is one Ion vacuum pump known in which gases inside a housing using a radioactive radiation source are ionized inside the housing between the anode and the cathode of the vacuum pump is arranged.

Aus der deutschen Patentanmeldung S 23 166 IX/ 42 k, bekanntgemacht am 28. 8. 52, ist ein lonisationsmanometer bekannt, bei welchem zur Verhinderung von Zündverzug im Gehäuse ein radioaktives Präparat angeordnet ist, um insbesondere bei niederen Drücken die Anlaufzeit des Manometers zu verkürzen.From the German patent application S 23 166 IX / 42 k, published on August 28, 52, there is an ionization manometer known in which to prevent ignition delay in the housing a radioactive Preparation is arranged in order to increase the start-up time of the manometer, especially at low pressures shorten.

Aus der Zeitschrift »The Review Of Scientific Instruments«, Band 17, Nr. 6, Seite 218 (1946), ist ebenfalls ein Vakuummanometer bekannt, das mit Hilfe einer radioaktiven Strahlungsquelle arbeitet.From the journal "The Review Of Scientific Instruments", Volume 17, No. 6, Page 218 (1946) is also known a vacuum manometer that works with the help of a radioactive radiation source.

Die vorstehend beschriebenen vorbekannten Vakuumpumpen verwenden zu Ionisierung die Strahlung der radioaktiven Präparate. Die Energie dieser Strahlung ist jedoch sehr hoch, weshalb diese Strahlung die zu ionisierenden Gase sehr schnell durcheilt, wodurch die Ionisierungswirkung gering bleibt. Die Anlaufzeit der bekannten Vakuumpumpen ist noch relativ groß, und es besteht ferner die Gefahr, daß die einmal eingeleitete Ionisierung aufhört oder instabil wird.The previously known vacuum pumps described above use radiation for ionization of radioactive preparations. However, the energy of this radiation is very high, which is why this radiation the gases to be ionized rush through very quickly, which means that the ionization effect remains low. The start-up time of the known vacuum pumps is still relatively long, and there is also the risk of that the ionization once initiated ceases or becomes unstable.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Ionenvakuumpumpe bzw. ein lonisationsmanometer der eingangs genannten Art zu schaffen, bei welchem die oben aufgeführten Nachteile vermieden werden und die Ionisierungswirkung gegenüber den bekannten Vorrichtungen verstärkt wird.The invention is therefore based on the object of an ion vacuum pump or an ionization manometer to create of the type mentioned, in which the disadvantages listed above are avoided and the ionizing effect is increased compared to the known devices.

Erundungssemäß wird dies erreicht durch eineIn accordance with the investigation, this is achieved by a

3 43 4

Hilfselektrode im Innern des Gefäßes, die aus ist über eine Klemme 31 und einen Draht mit einerAuxiliary electrode inside the vessel, which is made via a terminal 31 and a wire with a

einem bei Auftreffen der radioaktiven Strahlen Spannungsqüelle 32 verbunden, welche bei 33 ge-connected to a voltage source 32 when the radioactive rays strike, which is activated at 33

Sekundärelektronen emittierenden Material besteht erdet ist und gewöhnlich auf einem Potential zwi-Secondary electron-emitting material is grounded and usually at a potential between

und die derart angeordnet ist, daß sie von den von sehen 1 und 7 kV gegen Erde gehalten wird. Dieand which is arranged so that it is held by the 1 and 7 kV to earth. the

der radioaktiven Quelle ausgesandten Strahlen ge- 5 Kathode 15 / ist über eine Klemme 59 und einenThe radiation emitted from the radioactive source 5 cathode 15 / is via a terminal 59 and a

troffen wird. Draht mit einer anderen Spannungsquelle 57 ver-is hit. Connect the wire to another voltage source 57

Die Energie der Sekundärelektronen ist kleiner bunden, die bei 60 geerdet ist, so daß die KathodeThe energy of the secondary electrons is bound smaller, which is grounded at 60, so that the cathode

als die Energie der von der radioaktiven Strahlungs- auf einem Potential zwischen —10 und —200 Voltthan the energy of the radioactive radiation at a potential between -10 and -200 volts

quelle emittierten Strahlung, wodurch die Aufent- gegen Erde gehalten wird.source emitted radiation, whereby the presence is held against earth.

haltszeit der Elektronen in dem Raum zwischen io Es sind Permanentmagnete oder ElektromagneteHolding time of the electrons in the space between io They are permanent magnets or electromagnets

Anode und Kathode verlängert und damit die 35 vorgesehen, um ein magnetisches Feld parallelAnode and cathode are extended and thus the 35 is provided to parallel a magnetic field

Ionisierungswirkung erhöht wird. zur Achse der Anode 20/ in einem zylindrischen,Ionizing effect is increased. to the axis of the anode 20 / in a cylindrical,

Die Erfindung wird nachfolgend an Hand von von der Anode 20/ umgebenen Raum 36 zu erzeu-The invention is to be generated below on the basis of the space 36 surrounded by the anode 20 /

Beispielen und Zeichnungen im einzelnen erläutert. gen. Die Stärke des Magnetfeldes wird normaler-Examples and drawings explained in detail. gen. The strength of the magnetic field is normal-

Es zeigt 15 weise auf 500 G oder mehr gehalten.It shows 15 wise held at 500 G or more.

Fig. 1 im Schnitt eine Ionenvakuumpumpe, Während des Betriebes ist die AuslaßöffnungFig. 1 shows in section an ion vacuum pump, the outlet opening is during operation

Fig. 2 bis 8 weitere Ausführungsformen von durch eine T-Leitung 37 mit einem Ventil 38 einesFIGS. 2 to 8 show further embodiments of a T-line 37 with a valve 38

Ionenvakuumpumpen bzw. lonisationsmanometern. Rezipienten 39 und einem Ventil 40 einer Hilfs-Ion vacuum pumps or ionization manometers. Recipient 39 and a valve 40 of an auxiliary

In F i g. 1 ist eine lonenvakuumpumpe oder ein vakuumpumpe 41 verbunden. Die Hilfsvakuum-In Fig. 1, an ion vacuum pump or vacuum pump 41 is connected. The auxiliary vacuum

Ionisationsmanometer 10/ dargestellt. Ein Gefäß. 20 pumpe 41 evakuiert die Pumpkammer auf ein be-Ionization manometer 10 / shown. A vessel. 20 pump 41 evacuates the pumping chamber to a loaded

12/, das eine Pumpkammer 11 bildet, besteht z.B. stimmtes Vakuum, z.B. 10~³mmHg, dann werden12 /, which forms a pumping chamber 11, exists, for example, a correct vacuum, for example 10 ~ ³ mmHg, then become

aus nichtrostendem Stahl, der sehr leicht Sekundär- die Spannungserzeuger 32 und 57 erregt, um einemade of stainless steel, which very easily excites secondary voltage generators 32 and 57 to one

elektronen emittiert, und ist mit Montageöffnungen Spannung an Anode und Kathode zu legen, und dieelectrons, and voltage is to be applied to the anode and cathode with mounting openings, and the

13 und einer Verbindungsöffnung 14 versehen. In Magnete 35 erzeugen in dem zylindrischen Raum 3613 and a connection opening 14 is provided. In magnets 35 generate in the cylindrical space 36

dem Gefäß 12/ befindet sich eine zylinderförmige 25 ein magnetisches Feld. Die Platte 56 emittiert stän-the vessel 12 / is a cylindrical 25 a magnetic field. The plate 56 constantly emits

Anode 20/ und eine mit der Anode 20/ zu- dig eine Strahlung, die im folgenden als Primär-Anode 20 / and one with the anode 20 / to- dig a radiation, which in the following as primary

sammenwirkende Kathode 15/, die eine obere Platte elektronen bezeichnet wird.interacting cathode 15 /, which is called an upper plate electron.

21/, welche einer oberen Öffnung 22 der Anode 20/ Die meisten Primärelektronen wandern gegen ein im A.bstand gegenüberliegt und eine untere Platte eine Hilfselektrode bildendes Wandteil 58 des Ge-23/ enthält, die einer unteren Öffnung 24 der Anode 3° fäßes 12/, das der Platte 56 gegenüberliegt, und sie 20/ gegenüberliegt. Die Anode 20/ ist durch einen stoßen mit demselben zusammen, wodurch die HilfsStab 19 mit guter elektrischer Leitfähigkeit gehal- elektrode veranlaßt wird, Sekundärelektronen zu ten, der durch die obere Montageöffnung 13 ver- emittieren. Die Energie der Sekundärelektronen ist läuft und dort mittels eines Isolators 29 und einer geringer als die der Primärelektronen. Einige der Dichtung 30 befestigt ist. Die obere und untere 35 vpn der Hilfselektrode 58 emittierten Sekundärelek-Platte,21 / und 23 / der Kathode 15/ werden durch tronen durchlaufen die Bohrungen 55, 53 und 52 und einen Stab 50 von guter elektrischer Leitfähigkeit gelangen in den Raum 36, können jedoch die Kamiteinander verbunden. Die so zusammengesetzte , thode nicht erreichen, da sie nicht genügend AnKathode 15/ wird am Rand der unteren Platte 23/ fangsenergie besitzen, um das negative Potential, das durch einen Stab 51 gehalten der durch die untere 40 an die Kathode gelegt ist, zu überwinden. Wegen Montageöffnung verläuft und dort entsprechend be- des magnetischen Feldes können sie auch die Anode festigt ist. nicht erreichen. Damit oszillieren die Sekundärelek-21 /, which is an upper opening 22 of the anode 20 / most of the primary electrons migrate towards a spaced apart and a lower plate contains an auxiliary electrode forming wall part 58 of the Ge-23 / which a lower opening 24 of the anode 3 ° vessel 12 / facing plate 56 and facing 20 /. The anode 20 / is collided with the same, whereby the auxiliary rod 19 with good electrical conductivity holding electrode is caused to thesecondary electrons emitted through the upper mounting opening 13. The energy of the secondary electrons is running and there by means of an insulator 29 and one less than that of the primary electrons. Some of the seal 30 is attached. The upper and lower secondary electrode 35 emitted by the auxiliary electrode 58, 21 / and 23 / of the cathode 15 / are troned through the bores 55, 53 and 52 and a rod 50 of good electrical conductivity enters the space 36, but can the Kamit each other. The thus assembled, not Thode reach, since they are not sufficiently AnKathode 15 / is / have fang energy at the edge of the lower plate 23 to the negative potential which is defined by the bottom 40 of the cathode held by a rod 51 to overcome, . Because of the mounting opening and the anode is fixed there according to the magnetic field. not reach. The secondary elec-

Die Kathode 15 / ist aus Blech hergestellt, das eine tronen in dem Raum 36. Dies ergibt eine langeThe cathode 15 / is made of sheet metal that has a tronen in the space 36. This gives a long one

reaktive Substanz enthält oder aus einer solchen Flugbahn der Sekundärelektronen, wodurch die besteht, wie z. B. Mo, Cr, W, Ta, Nb, Fe, Ti, Zr, 45 Möglichkeit eines ionisierenden Zusammenstoßes mitreactive substance contains or from such a trajectory of secondary electrons, thereby reducing the exists, such as B. Mo, Cr, W, Ta, Nb, Fe, Ti, Zr, 45 possibility of an ionizing collision with

Ni, Ba, Al, Th, Mg, Ca, Sr und/oder einem Material, neutralen Molekülen in dem Raum 36 vergrößertNi, Ba, Al, Th, Mg, Ca, Sr and / or a material, neutral molecules in the space 36 is enlarged

das mit einer dieser Substanzen beschichtet ist, wird. Damit wird die Verzögerung verkürzt und diethat is coated with one of these substances. This shortens the delay and the

während für die Anode 20/ z.B. nichtrostender Pumpwirkung verbessert. Zweckmäßigerweise ist diewhile for the anode 20 / e.g. rustproof pumping effect is improved. Appropriately is the

Stahl verwendet wird. Platte 58 von der Achse der Anode 20/ entferntSteel is used. Plate 58 removed from the axis of the anode 20 /

In der unteren Platte 23/der Kathode 15/ist eine 5° angeordnet, um die Sekundärelektronen zu verkonisch verlaufende Öffnung 52 vorgesehen, die anlassen, diagonal in den Raum unter der Anode 20 / radial zum Mittelpunkt der Platte versetzt ist. An zu wandern und so die Möglichkeit eines Zusammender unteren Fläche ist um die Öffnung ein radio- Stoßes mit den neutralen Molekülen zu erhöhen,
aktives Element 28/ befestigt, das eine ringförmige Daß die Hilfselektrode auf einer höheren Span-Platte 54 aus einer nicht radioaktiven Substanz mit 55 nung als die Kathode 15/ gehalten wird, dient ebeneiner Bohrung 53, die im Durchmesser größer ist falls der Bahnverlängerung der Sekundärelektronen. als die untere Öffnung der konischen Öffnung 52, Durch Versuche wurde festgestellt, daß, wenn die und eine ringförmige radioaktive Platte 56 umfaßt, Spannung der Hilfselektrode 58 gleich oder kleiner die an der unteren Fläche der Platte 54 befestigt als die der Kathode 15 / ist, die Verbesserung in der ist und eine Bohrung 55 besitzt, deren Durchmesser 60 Pumpwirkung nicht so groß ist wie vorher,
größer ist als derjenige der Bohrung 53, wobei die In Fig. 2 ist eine Kathode 15g in der Form eines Bohrungen 53 und 55 koaxial mit der Öffnung 52 Hohlzylinders in einem Gefäß 10 g mit einer Verfluchten, bindungsöffnung 14 angeordnet, wobei die Hilfselek-In the lower plate 23 / the cathode 15 / a 5 ° is provided to the secondary electrons to tapered opening 52, which is offset diagonally into the space under the anode 20 / radially to the center of the plate. To wander and so the possibility of a collapse of the lower surface is around the opening to increase a radio collision with the neutral molecules,
Active element 28 / attached, the an annular that the auxiliary electrode is held on a higher chipboard 54 made of a non-radioactive substance with 55 voltage than the cathode 15 /, just serves a bore 53, which is larger in diameter if the path extension of the secondary electrons . as the lower opening of the conical opening 52, it has been found through experimentation that when the and an annular radioactive plate 56 comprises, the voltage of the auxiliary electrode 58 is equal to or less than that attached to the lower surface of the plate 54 than that of the cathode 15 /, the improvement in is and has a bore 55, the diameter of which is 60 pumping action is not as large as before,
is larger than that of the bore 53, whereby the

Die Platte 56 besteht aus einem Element, das trode 58 g aus zwei ringförmigen Platten besteht, einen ^-Zerfall bewirkt, z. B. Ni⁶³ oder Sr⁹⁰. Ein mit 65 die nahe den Kanten der offenen Enden der KathodeThe plate 56 consists of an element, the trode 58 g consists of two annular plates, causes a ^ decay, z. B. Ni ⁶³ or Sr ⁹⁰ . One with 65 the near the edges of the open ends of the cathode

Ni⁶³ oder Sr⁹⁰ beschichtetes Material kann ebenfalls angeordnet sind, wobei eine stabförmige Anode 20 gNi ⁶³ or Sr ⁹⁰ coated material can also be arranged, with a rod-shaped anode 20 g

als Platte 56 verwendet werden. auf der Achse der Kathode 15 g angeordnet ist. Einecan be used as plate 56. is arranged on the axis of the cathode 15 g. One

Das Gefäß 12/ ist bei 34 geerdet. Die Anode 20/ radioaktive Strahlungsquelle 28g befindet sich an derThe vessel 12 / is grounded at 34. The anode 20 / radioactive radiation source 28g is located at the

Innenseite der Kathode 15 g. Bei dieser Ausführungsform können Anode und Kathode vertauscht angeordnet werden.Inside of the cathode 15 g. In this embodiment, the anode and cathode can be arranged interchanged.

Fig. 3 zeigt eine Ausführungsform, bei welcher eine vertikale, hohlzylindrische Anode 20 h, die offene Enden besitzt, in einem Gefäß 10 h mit einer Verbindungsöffnung 14 angeordnet ist. Eine obere Platte 21 h einer Kathode 15 h und eine Hilfselektrode58/i sind horizontal innerhalb und benachbart zum oberen Rand der Anode 20 h angeordnet, währen innerhalb und benachbart zum unteren Rand der Anode 20 h eine untere Platte 23 h der Kathode und eine radioaktive Strahlungsquelle 28 h nebeneinander angeordnet sind.3 shows an embodiment in which a vertical, hollow cylindrical anode 20 h, which has open ends, is arranged in a vessel 10 h with a connection opening 14. A top plate 21 h of a cathode 15 h and a Hilfselektrode58 / i are horizontally disposed within and adjacent to the upper edge of the anode 20 h, During within and adjacent to the lower edge of the anode 20 hours a lower plate 23 h the cathode, and a radioactive radiation source 28 h are arranged side by side.

Als Hilfselektrode kann z.B. auch ein Oxyd, Karbid oder Borid der alkalischen Erdmetalle, die stark Elektronen ausstrahlen, verwendet werden.An oxide, carbide or boride of the alkaline earth metals, which strongly emit electrons.

Als Hilfselektrode kann ferner ein zusammengesetztes Element, bestehend aus einer radioaktiven Strahlungsquelle, wie z.B. Ni⁶³, und einem Film von Halbleitermaterial, wie z.B. Si oder Ge, verwendet werden.A composite element consisting of a radioactive radiation source such as Ni ⁶³ and a film of semiconductor material such as Si or Ge can also be used as the auxiliary electrode.

F i g. 4 zeigt eine weitere Ausführungsform. Ein Vakuummeter 110 enthält ein Vakuum-Meßglied 111, das ein vertikales, im wesentlichen geschlossenes aus Glas hergstelltes Gefäß 113 umfaßt und eine Verbindungsöffnung 112 aufweist. Eine stabformige Hilfselektrode 114 verläuft koaxial im Gefäß 113, eine hohlzylindrische Kathode 116, die mit mehreren Öffnungen 115 versehen ist, verläuft koaxial im Abstand um die Hilfselektrode 114, und eine hohlzylindrische Anode 117 verläuft im Abstand um die Kathode 116 und hat auch von dem Gefäß 113 einen Abstand. Die Kathode 116 und die Anode 117 werden durch Stäbe 119 und 120 von guter Leitfähigkeit gehalten. Auf der Innenfläche der Kathode 116 sind mehrere Strahlungsquellen 121 am Umfang der Öffnungen 115 angebracht. Mit dem' Vakuum-Meßglied 111 wirkt ein zylindrischer Magnet 122 zusammen, der das Gefäß 113 koaxial umgibt. Das äußere Ende 123 der Hilfselektrode 114 ist bei 124 über einen Draht geerdet. Das äußere Ende 125 des Stabes 119 ist mit einer Spannungsquelle 127, die ein Amperemeter 130 hat, über einen Draht verbunden und das äußere Ende 126 des Stabes 120 ist mit einer Spannungsquelle 128 verbunden. Die Spannungsquellen 127 und 128 sind durch einen Draht verbunden, welcher bei 129 geerdet ist. Die Spannungsquelle 128 erzeugt z.B. eine Gleichspannung von zwischen 1 und 7 kV. Die Spannungsquelle 127 erzeugt z. B. eine Gleichspannung zwischen —100 und·—5 Volt. Als Material für die Anode 117 und die Kathode 116 eignet sich z.B. Mo, Re, W, Ta, Fe, Ni, Pt, Au, Ir, Al, Cu und/oder deren entsprechende Verbindungen.F i g. 4 shows a further embodiment. A vacuum meter 110 includes a vacuum gauge 111, which comprises a vertical, essentially closed vessel 113 made of glass and has a connection opening 112. A rod-shaped one Auxiliary electrode 114 runs coaxially in the vessel 113, a hollow cylindrical cathode 116, which with a plurality of openings 115 is provided, extends coaxially at a distance around the auxiliary electrode 114, and a hollow cylindrical anode 117 runs at a distance around the cathode 116 and also has from the Vessel 113 a distance. The cathode 116 and the anode 117 are supported by rods 119 and 120 of good conductivity. A plurality of radiation sources 121 are located on the inner surface of the cathode 116 attached to the periphery of the openings 115. A cylindrical magnet acts with the vacuum measuring element 111 122 together, which surrounds the vessel 113 coaxially. The outer end 123 of the auxiliary electrode 114 is grounded at 124 through a wire. The outer end 125 of the rod 119 is connected to a voltage source 127, which has an ammeter 130, connected by a wire and the outer end 126 of the Rod 120 is connected to a voltage source 128. The voltage sources 127 and 128 are connected by a wire which is grounded at 129. The voltage source 128 generates, for example, a DC voltage between 1 and 7 kV. The voltage source 127 generates z. B. a DC voltage between -100 and · -5 volts. As material for the Anode 117 and cathode 116 are suitable e.g. Mo, Re, W, Ta, Fe, Ni, Pt, Au, Ir, Al, Cu and / or their corresponding connections.

Bevorzugt wird für die Anode 117 und die Kathode 116 mit Pt oder Au beschichtetes Mo verwendet, während mit ThO₂ überzogenes Wolfram für die Hilfselektrode 114 und Ni⁶³ für die Strahlungsquelle 121 verwendet wird.Mo coated with Pt or Au is preferably used for the anode 117 and the cathode 116, while Tungsten _{coated with ThO 2 is used} for the auxiliary electrode 114 and Ni ⁶³ for the radiation source 121.

Der Magnet 122 erzeugt ein Magnetfeld von etwa 500 bis 3000 kG, insbesondere in dem Raum 131 zwischen der Anode 117 und der Kathode 116.The magnet 122 generates a magnetic field of approximately 500 to 3000 kG, in particular in the space 131 between the anode 117 and the cathode 116.

Wie in F i g. 5 dargestellt, werden Strahlen 132 von den Strahlungsquellen 121 emittiert, die auf die i Hilfselektrode 114 stoßen, wodurch diese Sekundär- ! elektronen 133 emittiert. Der größere Teil dieser ' Elektronen 133 erreicht den Raum 131, nachdem er durch die Öffnungen 115 hindurchgegangen ist.As in Fig. 5, rays 132 are emitted from the radiation sources 121, which impinge on the auxiliary electrode 114, whereby these secondary! electrons 133 emitted. The greater part of this' 133 electrons reaches the chamber 131 after it has passed through the openings 115th

Bei der Ausführungsform nach Fig. 6 werden eine Stabanode 117 α, eine zylindrische perforierte Kathode 116 a, die koaxial zu der Anode 117 α im Abstand von ihr liegt und eine Hilfselektrode 114 α verwendet, die koaxial im Abstand die Kathode 116 a umgibt. Die Strahlen 132 a laufen von den an der äußeren Fläche der Kathode 116 α befestigten Strahlungsquellen 121 α nach außen und prallen auf die Hilfselektrode 114 α. Die durch diesen Aufprall von ^ der Hilfselektrode 114 α emittierten Sekundärelek- ^& tronen 133 α wandern nach innen, durchlaufen die Öffnungen 115 α und erreichen den Raum 131 α zwi- ! sehen Kathode und Anode. \ In the embodiment according to FIG. 6, a rod anode 117 a, a cylindrical perforated cathode 116 a, which is coaxial with the anode 117 a at a distance from it, and an auxiliary electrode 114 a, which surrounds the cathode 116 a coaxially at a distance, are used. The beams 132 a run from the outer to the surface of the cathode 116 α fixed radiation sources 121 α outwardly and impinge on the auxiliary electrode 114 α. The electrons emitted by this α Sekundärelek- impact of ^ the auxiliary electrode 114 ^ & neutrons 133 α migrate inwardly through the openings 115 α and reach the space 131 α be-! see cathode and anode. \

Die in F i g. 7 dargestellte Ausführungsform besteht aus einer behälterförmigen Hilfselektrode 114 b, die gleichzeitig das Gefäß bildet, mit einer Verbin- ' dungsöffnungll2ö. Die Stäbe 119 & und 120 & tra- j gen die Anode 117 b und die Kathode 116 b. Die Strahlungsquellen 121 b sind wie in F i g. 6 angeord- ; net und Strahlen 132 b sowie die Sekundärelektronen 133 b wandern in Richtung der Pfeile.
' Die Ausführungsform nach Fig. 8 enthält in einem Gefäß 113 c eine horizontale, rechteckige, rahmenförmige Anode 117 c, eine Kathode, die aus horizontalen oberen und unteren im Abstand von der Achse 117 c angeordneten Platten 116 c' und 116 c" besteht, eine horizontale plattenförmige Hilf selektrode 114 c, die in derselben Ebene wie die Kathodenplatte 116 c' liegt, jedoch von dieser einen Abstand besitzt, und eine Strahlungsquelle 112 c, .: die in derselben Ebene wie die untere Kathoden- (| platte 116 c" liegt, von dieser jedoch einen Abstand hat und die gegenüber der Hilfselektrode 114 c angeordnet ist. Die vorgenannten Teile sind durch Stäbe 120 c, 119 c, 118 c und 123 c gehalten. Ein ; Elektromagnet 122 c besteht aus einem oberen und einem unteren Polschuh 122 c' und 122 c", die den Kathodenplatten 116 c' und 116 c" gegenüberliegen. Wie durch Pfeile dargestellt, wandert die Strahlung 132 c in Richtung zur Hilfselektrode 114 c, während die Sekundärelektronen 133 c in eine Zone 131 c gelangen, die durch die Anode 117 c und die Kathodenplatten 116 c' und 116 c" gebildet wird. The in F i g. The embodiment shown in FIG. 7 consists of a container-shaped auxiliary electrode 114 b, which at the same time forms the vessel, with a connecting opening 11. The rods 119 and 120 tra- J Gen the anode and the cathode 117 b 116 b. The radiation sources 121 are as b i in F g. 6 arranged; net and rays 132 b as well as the secondary electrons 133 b migrate in the direction of the arrows.
The embodiment according to FIG. 8 contains in a vessel 113 c a horizontal, rectangular, frame-shaped anode 117 c, a cathode which consists of horizontal upper and lower plates 116 c 'and 116 c " arranged at a distance from the axis 117 c, a horizontal plate-shaped auxiliary electrode 114 c, which lies in the same plane as the cathode plate 116 c ', but is at a distance from it, and a radiation source 112 c,.: which is in the same plane as the lower cathode (| plate 116 c " but is at a distance from this and is arranged opposite the auxiliary electrode 114c. The aforementioned parts are held by rods 120c, 119c, 118c and 123c. An electromagnet 122c consists of an upper and a lower pole piece 122 c 'and 122 c ", which are opposite the cathode plates 116 c' and 116 c". As shown by arrows, the radiation 132 c travels in the direction of the auxiliary electrode 114 c, while the secondary electrons 133 c in a zone 131 c reach, which is formed by the anode 117 c and the cathode plates 116 c 'and 116 c " .

Hierzu 2 Blatt ZeichnungenFor this purpose 2 sheets of drawings

Claims

Patent claims:

1. Ion vacuum pump or ionization manometer in its pump or manometer vessel at least one consisting of at least one anode and at least one cathode Glow discharge path and a source of radioactive rays is arranged and at the or in which the room in which the glow discharge takes place is penetrated by a magnetic field, characterized by an auxiliary electrode (58) inside the vessel, emitted by secondary electrons when the radioactive rays hit it emitting material and which is arranged such that it is of the the radioactive source (28) emitted rays is hit.

2. ion vacuum pump or ionization manometer according to claim 1, characterized in that »2» that the auxiliary electrode (58) is formed by a part of the wall of the vessel (10 f) which is opposite to an opening (52) in the cathode (15 /).

3. ion vacuum pump or ionization manometer according to claim 1, wherein the cathode is cylindrical and the anode rod-shaped and the latter extends along the axis of the cathode, characterized in that the auxiliary electrode consists of two spaced apart annular plates (58 g) is formed, the inside diameter of which is larger than the outside diameter of the anode (20 g) and the outside diameter of which is smaller than the inside diameter of the cathode (15 g).

4 "ion vacuum pump or ionization gauge of claim 1, consists in or the switch the cathode of two spaced apart _r, ordered plates and the anode is in the form of a hollow cylinder, characterized in that the auxiliary electrode (58 h) at a distance is arranged from and in alignment with the cathode plate (21 Ii) .

5. ion vacuum pump or ionization manometer according to claim 1, in which the cathode is designed as a hollow cylinder and provided with openings in its wall and the anode is also designed as a hollow cylinder and surrounds the cathode coaxially at a distance, characterized in that the auxiliary electrode (114) Is rod-shaped and extends along the central axis of the cathode (116) .

6. ion vacuum pump or ionization manometer according to claim 1, wherein the cathode in the form of a hollow cylinder provided with openings and the anode is rod-shaped and extends along the central axis of the cathode, characterized in that the auxiliary electrode (114 d) in the form a hollow cylinder is formed which surrounds the cathode (116 a) at a distance coaxially.

7. ion vacuum pump or ionization manometer according to claim 6, characterized in that the auxiliary electrode is formed by the vessel (114 b) .

8. ion vacuum pump or ionization manometer according to claim 1, wherein the anode is designed in the form of an open frame which is surrounded by the cathode, which is designed in the form of two plates, one plate on each side the anode is arranged at a distance, characterized in that the auxiliary electrode (114 c) is plate-shaped and is arranged at a distance from and in alignment with the cathode plate (116 c ') .