DE1498983C

DE1498983C - Device for separating ions with different specific electrical charges

Info

Publication number: DE1498983C
Authority: DE
Inventors: Ulf von Dr rer nat 5300 Bonn Zahn
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Publication date: 1971-08-05

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Trennung von Ionen mit verschiedener spezifischer elektrischer Ladung mit Elektroden, die mit Spannungsversorgungseinrichtungen verbunden sind, zur Erzeugung eines zeitlich periodischen elektrischen Feldes, in welches die Ionen mit einer Anfangsgeschwindigkeit eintreten.The invention relates to a device for separating ions with different specific electrical charge with electrodes connected to voltage supply devices are connected, to generate a temporally periodic electric field, in which the ions with an initial velocity enter.

Aus den deutschen Patentschriften 944 900 und 1 071 376 sind ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Trennung von Ionen verschiedener elektrischer Ladung bekannt. Die Trennung der Ionen erfolgt hierbei in der Weise, daß sie in ein zwischen Elektroden befindliches elektrisches Hochfrequenzfeld eingeschlossen werden, so daß lediglich Ionen ganz bestimmter spezifischer Ladung oder Masse das Feld durchlaufen und zu einer Auffängerelektrode gelangen können, während andere Ionen von den felderzeugenden Elektroden, welche entlang der Flugachse verlaufen, eingefangen werden.From the German patents 944 900 and 1 071 376 are a method and a device for Separation of ions of different electrical charges is known. The ions are separated in the Way that they are enclosed in a high frequency electric field located between electrodes, so that only ions of a certain specific charge or mass pass through the field and become a Catcher electrode can get, while other ions from the field-generating electrodes, which run along the flight axis, are captured.

Die voneinander zu trennenden Ionen werden in ein periodisch veränderliches elektrisches Hochfrequenzfeld eingeschlossen, dessen Potential Φ eine quadratische Funktion der Koordinaten x, y und ζ von der allgemeinen FormThe ions to be separated from each other are enclosed in a periodically changing electrical high-frequency field, the potential Φ of which is a quadratic function of the coordinates x, y and ζ of the general form

ist, wobei /(/) eine periodische Funktion der Zeit t und κ, β und γ positive Konstanten darstellen, welche der Gleichung « + β = γ genügen, die aber im übrigen beliebig gewählt werden können. In der Praxis gelangt fast ausschließlich der Spezialfall γ = 0 zur Anwendung, was voraussetzt, daß α = —β ist. Die folgenden Ausführungen beziehen sich insbesondere auf eine Feldelektrodenanordnung, welche dieser letztgenannten Anforderung entspricht. In einem derartigen Feld schwingen die sich bewegenden Ionen unter dem Einfluß des elektrischen Hochfrequenzfeldes in Querrichtung zu ihrer vorwärts gerichteten Bewegung. Dabei lassen sich die beiden folgenden Bewegungsarten voneinander unterscheiden:is, where / (/) is a periodic function of time t and κ, β and γ represent positive constants which satisfy the equation «+ β = γ , but which can otherwise be chosen arbitrarily. In practice, the special case γ = 0 is used almost exclusively, which presupposes that α = -β . The following statements relate in particular to a field electrode arrangement which corresponds to this last-mentioned requirement. In such a field, the moving ions oscillate under the influence of the high-frequency electric field in a direction transverse to their forward movement. A distinction can be made between the following two types of movement:

1. Die Amplituden von aufeinanderfolgenden Schwi ngungen nehmen exponentiell mit der Zeit zu, so daß diese Ionen auf die das Feld begrenzenden Elektroden auftreffen und auf diese Weise zu einem früheren oder späteren Zeitpunkt während des Durchlaufens ihrer Bahn auf diesen Elektroden abgeschieden werden (instabile Bahnen). 1. The amplitudes of successive oscillations increase exponentially with time, so that these ions are limited to the field Electrodes impinge and in this way at an earlier or later time during of the passage of their path on these electrodes are deposited (unstable paths).

2. Die Amplituden aller Schwingungen überschreiten nicht einen bestimmten Maximalwert, der von den jeweiligen Ausgangsbedingungen abhängig ist, unter denen ein Ion seine Bewegung in dem mathematisch quadratischen Potentialfeld beginnt. Liegt dieser maximale Wert der Schwingungsamplituden innerhalb des von den felderzeugenden Elektroden umschlossenen Raumes, so können die Ionen das gesamte Spektrometer durchlaufen und schließlich eine Auffängerelektrode am Ende des Analysators erreichen, wo sie durch elektrische Meßverfahren festgestellt werden können (stabile Bahnen).2. The amplitudes of all vibrations do not exceed a certain maximum value that is determined by the respective starting conditions under which an ion its movement in the mathematically dependent square potential field begins. Is this maximum value of the oscillation amplitudes within the space enclosed by the field-generating electrodes, the ions can do that go through the entire spectrometer and finally a collection electrode at the end of the analyzer where they can be determined by electrical measuring methods (stable trajectories).

Ob ein sich in dem Trennfeld bewegendes Ion auf stabilen oder instabilen Bahnen läuft, hängt dabei von seiner spezifischen elektrischen Ladung e/m ab, wobei e die elektrische Ladung und m die Masse des Teilchens ist. Bei entsprechend gewählten Werten des elektrischen Feldes können diese Felder also zur Trennung von Ionen unterschiedlicher Masse verwendet werden.Whether an ion moving in the separating field runs on stable or unstable paths depends on its specific electrical charge e / m , where e is the electrical charge and m is the mass of the particle. With appropriately chosen values of the electric field, these fields can therefore be used to separate ions of different masses.

Analysatorfelder der vorbeschriebenen Art wurden bisher unter Zuhilfenahme einer aus vier Elektroden bestehenden Anordnung erzeugt, wobei die vier Elektroden in Idealfall jeweils einander zugewandte hyperbolische Oberflächen besitzen können, wie dies an Hand der Anordnung der Elektroden E in F i g. 1 dargestellt ist. Für die meisten praktischen Anwendungszwecke kommen jedoch auch vier zylindrische Stabelektroden mit kreisförmigem Querschnitt einerAnalyzer fields of the type described above have so far been generated with the aid of an arrangement consisting of four electrodes, with the four electrodes ideally each having mutually facing hyperbolic surfaces, as shown by the arrangement of the electrodes E in FIG. 1 is shown. For most practical purposes, however, there are also four cylindrical stick electrodes with a circular cross-section

ίο derartigen Anordnung mit hyperbolischen Elektroden hinreichend nahe. Eine solche aus vier zylindrischen Stabelektroden bestehende Anordnung ist bei F in F i g. 2 gezeigt. Jedoch können bei der genauen Justierung dieser Elektrodenstäbe zueinander möglicherweise Schwierigkeiten auftreten, da nämlich am Ende des Feldes in der Ionenbewegungsrichtung, die in F i g. 2 durch einen Pfeil Z angedeutet ist, der Abstand jedes einzelnen Stabes von der Feldachse sowie die Abstände der Stäbe untereinander gleich sein müssen.ίο such an arrangement with hyperbolic electrodes sufficiently close. Such an arrangement consisting of four cylindrical rod electrodes is shown at F in FIG. 2 shown. However, difficulties may arise in the precise alignment of these electrode rods with respect to one another, since at the end of the field in the direction of ion movement shown in FIG. 2 is indicated by an arrow Z, the distance of each individual rod from the field axis and the distances between the rods must be the same.

Außerdem sollen innerhalb der gesamten Stabanordnung keinerlei Verdrehungen oder Verwindungen vorliegen. Die Funktion /(/) kann einen Gleichstromteil und einen überlagerten Wechselstromteil enthalten. Dies wird dadurch erreicht, daß eine Hochfrequenzspannung und eine dieser überlagerte Gleichspannung verwendet wird. Beide Spannungen müssen dabei dem Elektrodensystem symmetrisch zum Erdpotential zugeführt werden. Zu diesem Zwecke muß die Gleichspannung jeweils gegenüber Erde gleiche positive und negative Anteile aufweisen, und die Hochfrequenzspannung muß genau symmetrisch gewählt werden, was vorzugsweise dadurch geschieht, daß ein Gegentaktgenerator Verwendung findet.In addition, there should not be any twisting or twisting within the entire rod arrangement. The function / (/) can contain a direct current part and a superimposed alternating current part. This is achieved in that a high-frequency voltage and a DC voltage superimposed thereon is used. Both voltages must be fed to the electrode system symmetrically to the earth potential will. For this purpose, the DC voltage must be positive and equal to earth have negative components, and the high-frequency voltage must be selected to be exactly symmetrical, which is preferably done by using a push-pull generator.

Der zur Erzielung einer optimalen Leistung in der Massenspektrometrie erforderliche Aufwand an Geräten und Einstellarbeiten ist bei Anwendung des vorbeschriebenen Prinzips beträchtlich.The amount of equipment required to achieve optimal performance in mass spectrometry and adjustment work is considerable when applying the principle described above.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zu schaffen, deren Aufbau gegenüber den bekannten Vorrichtungen vereinfacht und deren Wirkungsweise verbessert ist.The present invention is based on the object of creating a device, the structure of which compared to the known devices simplified and their mode of operation is improved.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Elektroden derart ausgebildet und angeordnet sind, daß das Potential des elektrischen Feldes eine Funktion der kartesischen Ortskoordinaten χ und y von der FormThis object is achieved according to the invention in that the electrodes are designed and arranged in such a way that the potential of the electric field is a function of the Cartesian spatial coordinates χ and y of the shape

ist, wobei Z₁(O eine periodische Funktion der Zeit t ist und wobei für die Koordinaten (x, y) lediglich ein Bereich verwendet wird, in dem y > j χ \ ist, und daß die Ionen mit einer überwiegenden Anfangsgeschwindigkeit in z-Richtung in das elektrische Feld eintreten.where Z ₁ (O is a periodic function of time t and where for the coordinates (x, y) only a range is used in which y > j χ \ , and that the ions with a predominant initial velocity in z- In the direction of the electric field.

Die Funktion /_x(i) ist im allgemeinen sinusförmig, jedoch können auch Schwingungen mit rechteckiger, sägezahnförmiger oder anderer periodischer Form Verwendung finden.The function / _x (i) is generally sinusoidal, but oscillations with a rectangular, sawtooth or other periodic shape can also be used.

Die Vorrichtung gemäß der Erfindung kann z. B.The device according to the invention can e.g. B.

derart aufgebaut sein, daß in einem evakuierbaren Hohlraum eine Elektrode zwei einen Winkel einschließende elektrisch leitende Flächen bildet, in deren Winkelhalbierender in einem Abstand eine zweite Elektrode in Form eines zylindrischen Stabes angeordnet ist. Die elektrisch leitenden Flächen können hierbei einen rechten Winkel einschließen und können durch Bleche, Metallnetze oder gespannte Drähte gebildet sein. Außerdem können diese Flächen aus einembe constructed in such a way that one electrode encloses two an angle in an evacuable cavity Forms electrically conductive surfaces, at the bisector of which a second one at a distance Electrode is arranged in the form of a cylindrical rod. The electrically conductive surfaces can Include a right angle and can be formed by sheet metal, metal mesh or tensioned wires being. In addition, these surfaces can consist of a

Stück hergestellt sein. Weiterhin können die elektrisch leitenden Flächen Teile der Wandung der Vorrichtung darstellen. Zwischen den beiden Elektroden liegt eine aus einem Gleichspannungs- und einem Hochfrequenzanteil zusammengesetzte Spannung. Die elektrisch leitenden Flächen der ersten Elektrode liegen vorteilhafterweise auf einem konstanten Potential, z. B. Erdpotential. Für die Ionenbahn ist mindestens je eine Eintritts- und Austrittsblende vorgesehen.Piece to be made. Furthermore, the electrical represent conductive surfaces parts of the wall of the device. There is one between the two electrodes A voltage composed of a direct voltage and a high frequency component. The electric conductive surfaces of the first electrode are advantageously at a constant potential, e.g. B. Earth potential. At least one entry and exit aperture is provided for the ion path.

Analog der vorgenannten Feldgleichung (1) werden die in ein elektrisches Feld in z-Richtung eingeschlossenen Ionen der Wirkung eines Feldpotentials (Φ) ausgesetzt, welches sich als Funktion der Ortskoordinaten (x, y) und der Zeit (t) entsprechend der GleichungAnalogous to the aforementioned field equation (1), the ions enclosed in an electric field in the z-direction are exposed to the effect of a field potential (Φ), which is a function of the spatial coordinates (x, y) and time (t) according to the equation

Φ = Φ =

(2)(2)

verändert, wobei Z₁(J) eine periodische Funktion der Zeit ist und lediglich der Bereich y > | χ | verwendet wird. Dies setzt voraus, daß sich die tatsächliche Achse der Bahn der Ionen in einem gewissen Abstand vom Nullpunkt des x-j-Koordiantensystems befindet. Die ein derartiges Feld durchlaufenden Ionen bewegen sich dann, je nachdem, welche spezifische elektrische Ladung sie besitzen, auf stabilen oder instabilen Bahnen und werden auf diese Weise getrennt und können getrennt nachgewiesen werden.where Z ₁ (J) is a periodic function of time and only the range y > | χ | is used. This presupposes that the actual axis of the orbit of the ions is at a certain distance from the zero point of the xj coordinate system. The ions passing through such a field then move on stable or unstable paths, depending on the specific electrical charge they have, and are thus separated and can be detected separately.

Die erfindungsgemäße Spektrometervorrichtung kann insgesamt kleiner ausgebildet werden als eine Vierpolvorrichtung der bekannten Art. Als geeignete Vergleichsbasis kann ein bestimmter Ionenstrom am Auffänger angesehen werden. Verglichen mit einem Vierpolspektrometer der bekannten Art mit vier zylindrischen Stäben mit dem Durchmesser 1, weist ein erfindungsgemäßes Spektrometer bei dem gleichen Durchmesser der einzigen stabförmigen Elektrode lediglich die Hälfte des Ionenstromes auf. Dies ist auf die ungünstigeren Bedingungen bezüglich des Einschießens der Ionen in das Trennfeld zurückzuführen. Der verwendbare Ionenstrom nimmt annähernd linear mit der Querschnittsfläche des Trennfeldes zu. Dadurch, daß der Stabdurchmesser der einzigen Feldelektrode auf den Wert 1 · ]/~2 erhöht wird, kann ein erfindungsgemäßes Spektrometer hergestellt werden, das für den gleichen Ionenstrom ausgelegt ist wie ein Vierpolspektrometer der bekannten Art mit Stäben mit einem Durchmesser 1. Dementsprechend ist in diesem Fall ein erfindungsgemäßes Spektrometer wesentlich kleiner als ein Apparat der bekannten Art. Dies wird noch weiter verdeutlicht durch den in F i g. 7 a und 7 b angegebenen Vergleich, bei dem F i g. 7 a die geometrischen Verhältnisse eines Vierpolgerätes und F i g. 7 b die entsprechenden Verhältnisse eines erfindungsgemäßen Gerätes zeigt. Die Erhöhung des Stabdurchmessers einerseits und der Wegfall von drei Stabelektroden andererseits gleicht sich hinsichtlich des Einflusses auf die Größe der erforderlichen Hochfrequenzleistung gerade aus. Das Verhältnis von erforderlicher Hochfrequenzleistung zu dem zu trennenden Ionenstrom ist deshalb im wesentlichen für beide Geräte das gleiche.The spectrometer device according to the invention can be made smaller than one overall Quadrupole device of the known type. A certain ion current at the Interceptors are viewed. Compared to a quadrupole spectrometer of the known type with four cylindrical rods with the diameter 1, a spectrometer according to the invention has the same Diameter of the single rod-shaped electrode is only half the ion current. This is on attributable to the more unfavorable conditions with regard to the injection of the ions into the separating field. The ion current that can be used increases approximately linearly with the cross-sectional area of the separation field. Through this, that the rod diameter of the single field electrode is increased to the value 1 ·] / ~ 2, a can be produced according to the invention spectrometer, which is designed for the same ion current as a Quadrupole spectrometer of the known type with rods with a diameter 1. Accordingly, in this If a spectrometer according to the invention is much smaller than an apparatus of the known type. This will further clarified by the in FIG. 7 a and 7 b given comparison, in which F i g. 7 a the geometric Conditions of a four-pole device and F i g. 7 b the corresponding ratios of an inventive Device shows. The increase in the rod diameter on the one hand and the elimination of three rod electrodes on the other hand, the influence on the size of the required high-frequency power is the same straight. The ratio of required high frequency power to the ion current to be separated is therefore essentially the same for both devices.

Das Feldpotential in dem Raum zwischen dem zylindrischen Stab 1 und einer rechtwinkelig ausgebildeten Gegenelektrode 23 läßt sich durch die Gleichung The field potential in the space between the cylindrical rod 1 and a rectangular one Counter electrode 23 can be expressed by the equation

flit) § an (4Y ^C0S (« Ψ + «») flit) § an (4Y ^C0S (« Ψ + « »)

ι VO /ι VO /

bestimmen; sie ist lediglich unter der Bedingungdetermine; it is only under the condition

π ππ π

< φ < —< φ < -

4 44 4

erfüllt.Fulfills.

In der vorstehend angegebenen Gleichung ebenso wie in den folgenden Ableitungen besitzen die einzelnen verwendeten Zeichen folgende Bedeutungen:In the equation given above, as well as in the following derivatives, the individual used symbols have the following meanings:

Lo Φ = Potential,Lo Φ = potential,

/i = Potential der Stabelektrode, bezogen auf die/ i = potential of the rod electrode, based on the

rechtwinkelig ausgebildete Gegenelektrode,right-angled counter-electrode,

/₂ = das zusätzliche Potential beider Elektroden, bezogen auf Erde,
t = Zeit,/ ₂ = the additional potential of both electrodes, related to earth,
t = time,

t₀ = Zeitpunkt, zu dem das Ion in das Trennfeld eintritt, t ₀ = time at which the ion enters the separating field,

a, q = Substitutionen in der Mathieuschen Diffeso rentialgleichung, a, q = substitutions in Mathieu's differential equation,

d, φ = Koordinaten eines Polarkoordinatensystems d, φ = coordinates of a polar coordinate system

(Fig. 8),
D = Abstand des Stabes vom Scheitelpunkt des(Fig. 8),
D = distance of the rod from the vertex of the

Winkels,Angle,

¹^ x, y, ζ = Koordinaten eines rechtwinkeligen Koordinatensystems (F i g. 8),
ε = Phasenkonstante,
n, s = Summenindizes, ¹ ^ x, y, ζ = coordinates of a right-angled coordinate system (F i g. 8),
ε = phase constant,
n, s = sum indices,

jo ξ = Variable der Mathieuschen Differentialjo ξ = variable of Mathieu's differential

gleichung,equation,

U = Gleichspannung,
V = Hochfrequenzamplitude,
ω — Kreisfrequenz, U = direct voltage,
V = high frequency amplitude,
ω - angular frequency,

ß' = Parameter der Mathieuschen Differentialgleichung,
m = Ionenmasse, ß ' = parameters of Mathieu's differential equation,
m = ion mass,

e = Elementarladung.
40 e = elementary charge.
40

F i g. 8 zeigt schematisch einen Schritt durch die beiden Elektroden, um auf diese Weise einige der vorerwähnten und für die nachfolgende Berechnung erforderlichen Größen zu verdeutlichen.F i g. 8 shows schematically a step through the two electrodes in order in this way to some of the aforementioned and to clarify the sizes required for the following calculation.

F i g. 9 ist eine graphische Darstellung, bei der die Parametergrößen q auf der Abszisse und die entsprechenden Parametergrößen α auf der Ordinate aufgetragen sind. Ein von den Parametern α und q abhängiger stabiler Bereich der Ionen ist durch Schraffierung angedeutet.F i g. 9 is a graph in which the parameter quantities q are plotted on the abscissa and the corresponding parameter quantities α are plotted on the ordinate. A stable region of the ions that depends on the parameters α and q is indicated by hatching.

F i g. 10 zeigt in schematischer Darstellung die Bahn eines Teilchens in dem System y relativ zu t oder z. Die wesentlichste Eigenschaft dieser Schwebungsbahn ist darin zu erblicken, daß die Bahn für die Bewegung der Ionen während einer verhältnismäßig langen Zeitdauer neben der ?-Achse oder der z-Achse liegt.F i g. 10 shows a schematic representation of the trajectory of a particle in the system y relative to t or z. The most important property of this orbit is to be seen in the fact that the path for the movement of the ions lies next to the? -Axis or the z-axis for a relatively long period of time.

Die analytische Behandlung der Gleichung für die Bewegung der Ionen in dem zwischen den Elektroden Bewegung der Ionen in dem zwischen den Elektroden 1 einerseits und 2 und 3 andererseits befindlichen Feld wird ganz besonders einfach, wenn der Koeffizient a₂ sämtliche anderen Koeffizienten weitaus übertrifft. Dies ist beispielsweise dann der Fall, wenn der Durchmesser D des Stabes gleich 2,3mal dem Felddurchmesser D ist (wie im einzelnen noch deutlicher aus der weiter unten näher beschriebenen F i g. 8 hervorgeht). Die erste Annäherung für das Potential Φ kann dannThe analytical treatment of the equation for the movement of the ions in the movement of the ions between the electrodes in the field between the electrodes 1 on the one hand and 2 and 3 on the other hand becomes particularly simple when the coefficient a _{2 by} far exceeds all other coefficients. This is the case, for example, when the diameter D of the rod is 2.3 times the field diameter D (as can be seen in more detail in FIG. 8, which is described in more detail below). The first approximation for the potential Φ can then

bei Vernachlässigung sämtlicher Werte von a_n (« φ 2) Die Lösungen dieser Differentialgleichungen er-if all values of a _n («φ 2) are neglected, the solutions of these differential equations

und ε_η — 0 wie folgt ausgedrückt werden geben die Ionenbahnen im Spektrometer. Sie bildenand ε _η - 0 are expressed as follows give the ion trajectories in the spectrometer. they form

/ d \² sowohl in der x-z-Ebene als auch in der j-z-Ebene / d \ ² both in the xz plane and in the jz plane

Φ = /i(0 · ^fl2 · I — I cos 2φ. komplizierte Schwingungen, welche im allgemeinen soΦ = / i (0 · ^fl 2 · I - I cos 2φ. Complicated oscillations, which are generally so

\D J 5 aufgebaut sind, daß die Ionen bereits während, der \ DJ 5 are built up so that the ions already exist during, the

Bei Anwendung rechtwinkeliger (kartesischer) Koor- ersten Schwingung auf eine der beiden ElektrodenWhen applying right-angled (Cartesian) coordinate oscillation to one of the two electrodes

dinaten ist: auftreffen und auf diese Weise ausgeschieden werden.dinaten is: meet and be eliminated in this way.

x ~ — d · sin 95 Um also zu erreichen, daß eine Ionenbahn durch das x ~ - d · sin 95 In order to achieve that an ion path through the

_ j . ^für ^y — ί *l' gesamte Trennfeld hindurchgeht, müssen die folgenden_ j. ^for ^y - ί * l 'entire separating field passes through, the following must be

y ~~ Φ' 10 drei Bedingungen erfüllt sein: y ~~ Φ '10 three conditions must be met:

wird dann das Potential ^ _{es ist stets notwe}ndig, daß y > 0 ist,then the potential becomes ^ _{it is always necessary} that y > 0,

Z₁ (t) — —(Fcosco t + U) (b) es ist stets notwendig, daß y > x\ ist,Z ₁ (t) - - (Fcosco t + U) (b) it is always necessary that y > x \ ,

(c) es sollte immer y < D sein,
eingesetzt, so führen die Gleichungen fur die lonen-(c) it should always be y <D ,
are used, the equations for the ionic

bewegung unter Verwendung der Substitutionen 15 Nun gibt es tatsächlich eine Kombination der Para-movement using the substitutions 15 Now there is actually a combination of the para-

o τι AV meter α und q, welche es gestattet, sämtliche dieser drei o τι AV meter α and q, which allows all of these three

a₂ = 1; ωί = 2ξ; a = ; q = Bedingungen gleichzeitig zu erfüllen. Wenn die Ionena ₂ = 1; ωί = 2ξ; a = ; q = conditions to be met at the same time. When the ions

m ω² D- m ω² D³ j_m wesentlichen parallel zur z-Achse in das Analysator- m ω ² D- m ω ² D ³ j _m essentially parallel to the z-axis into the analyzer

zu den Mathieuschen Differentialgleichungen ^feld eingeschlossen werden (innerhalb des in der grap-to the Mathieu differential equations ^field (within the

20 hischen Darstellung der F i g. 9 schraffierten Bereiches),20 hischen representation of the F i g. 9 hatched area),

x _|_ (μ + 2 q cos 2 £) χ — 0, ^s0 läßt sich die Bewegung der Ionen in der j-Richtung x _ | _ (μ + 2 q cos 2 £) χ - 0, ^s0 the movement of the ions in the j-direction

annäherungsweise durch die folgende Gleichung aus- y — (a + 2 qcos2i)y = 0. drücken:approximately from the following equation - y - (a + 2 qcos2i) press y = 0.:

ι 01 00 (ca ι 01 00 (approx

y (t₀ + t) — 2,38 -y(Q sin —-— 'T a_s · s · sin s ω t₀ J1 + V a_s cos s ■ ω (ί₀ + O y (t ₀ + t) - 2.38 -y (Q sin ---— 'T a _s · s · sin s ω t ₀ J1 + V a _s cos s ■ ω (ί ₀ + O

β' 2cot ^₁ IV β '2cot ^ ₁ IV

worin entspricht. Wandert der a, q-Wert in dem Stabilitätswhere corresponds. If the a, q value drifts in the stability

y{t₀) der Ausgangsort der Ionenbewegung zum ³° diagramm nach rechts, so werden die Schwebungen 7 ·+ w / immer kurzer, und bei einer bestimmten Ionenenergie y {t ₀ ) the starting point of the ion movement to the ³ ° diagram to the right, then the beats 7 · + w / become shorter and shorter, and at a certain ion energy

a_s de^er EntwickUgskoeffizient und ™^rd schließlich ein Punkt erreicht, andern sämtliche a _s ^e r de EntwickUgskoeffizient and finally ™ ^around a point is reached, all other

0, __ , ₂ Ionen auf der Winkelelektrode abgeschieden werden. 0, __, ₂ ions are deposited on the angle electrode.

Es ist also eine Massentrennung entlang der gesamtenSo there is a mass separation along the whole

ist, wobei k wiederum ein Maß für den Abstand des 35 J-Stabilitätsgrenze möglich, da die Ionenströme sehr α,ήτ-Wertes von der linken Stabilitätsgrenze (des in weitgehend von dem eingestellten Verhältnis a/q unab-F i g. 9 gezeigten schraffierten Bereiches) dargestellt. hängig sind. Dies stellt im Vergleich zu den bekannten Unabhängig von der Phase ω ί₀ der Hochfrequenz- Massenfiltern, bei denen ein konstantes a/q-Verhältnis spannung, mit der das Ion seine Bewegung im Analy- einen wesentlichen Einfluß auf das gemessene Intensisatorfeld beginnt, handelt es sich bei der Bewegungs- 40 tätsverhältnis ausübt, einen ganz wesentlichen Vorteil bahn wegen der Glieder dar.where k is in turn a measure for the distance of the 35 J stability limit possible, since the ion currents hatched very α, ήτ value from the left stability limit (the one shown in FIG. 9 largely independent of the set ratio a / q Area). are pending. This is in comparison to the known independent of the phase ω ί _{0 of} the high-frequency mass filters, in which a constant a / q ratio voltage with which the ion begins its movement in the analyzer has a significant influence on the measured intensifier field is exercised in the movement relationship, a very important advantage because of the limbs.

Der Voraussetzung (b), nämlich (y > \x\), kannThe assumption (b), namely (y> \ x \), can

_&[_ηΚ-_ωι und O < B' << 1 durchentsprechendeloneneinschußbedingungen j;_oent- _& [ _η Κ- _ω ι and O < B ' << 1 by corresponding elon injection conditions j; _o ent-

2 sprachen werden. Wenn ein Ion dieser Anforderung2 languages will be. If an ion of this requirement

45 nicht genügt, wird es automatisch in dem Analysatorum eine Schwebung, wie dies in der Darstellung der feld ausgeschieden.45 is not sufficient, it is automatically in the analyzer a beat as shown in the illustration of the field.

F i g. 10 schematisch angedeutet ist. Da a_x kleiner als 1 Die Bedingung (c) bestimmt die Lage des Arbeitsist, besteht die besondere Eigenschaft dieser Schwebung, bereiches in dem Stabilitätsdiagramm in der Nähe der auf der das gesamte Verfahren beruht, darin, daß die ^-Stabilitätsgrenze. Die Breite des Bereiches ist durch Ionenbewegungsbahnen während eines längeren Zeit- 5° die Bedingung (a) gegeben.F i g. 10 is indicated schematically. Since a _{x is} less than 1 The condition (c) determines the position of the work, the special property of this beating area in the stability diagram in the vicinity on which the entire method is based is that the -stability limit. The width of the area is given by ion trajectories over a longer period of time - 5 ° the condition (a).

raumes neben der i-Achse oder z-Achse liegen, Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird anspace next to the i-axis or z-axis, an embodiment of the invention is at

womit die vorgenannte Bedingung (a) erfüllt ist. Die Hand der Zeichnungen veranschaulicht.
Länge der Schwebung, gemessen an der Anzahl der F i g. 3 zeigt in perspektivischer Darstellung diewhereby the aforementioned condition (a) is met. The hand of drawings illustrates.
Length of the beat measured by the number of F i g. 3 shows a perspective illustration of the

Hochfrequenzperioden, hängt lediglich von dem a, q- Elektrodenanordnung. Die mit 1 bezeichnete Feld-Wert der Ionen ab, und es kann ihr theoretisch jede 55 elektrode besteht aus einem zylindrischen Stab. Die gewünschte Länge verliehen werden. Da die räumliche Winkelelektrode ist aus einem einzigen Stück (2, 3) Länge jedoch von der Geschwindigkeit der Ionen ab- hergestellt, z. B. aus Blech, Maschendraht, Drahtlagen hängig ist, kann die räumliche Länge der Schwebung od. dgl. Der durch die beiden Ebenen 2 und 3 eingedurch Veränderung der Ionengeschwindigkeit jeweils schlossene Winkel beträgt vorzugsweise 90°, so daß die mit einem optimalen Wert der Länge des Spektro- 60 Oberflächen die Koordinatenbahnen y = + χ unc meters angepaßt werden. Um ein Ion am Auffänger y = — x eines einzigen Quadranten darstellen. Es kön i nachzuweisen, muß der erste Knoten seiner Schwe- nen jedoch auch Winkel zwischen 60 und 120° bzwHigh frequency periods depends only on the a, q- electrode arrangement. The field value of the ions, denoted by 1, starts, and theoretically every electrode consists of a cylindrical rod. The desired length can be given. Since the three-dimensional angle electrode is made from a single piece (2, 3), its length depends on the speed of the ions, e.g. B. from sheet metal, wire mesh, wire layers, the spatial length of the beat can od of the spectro- 60 surfaces the coordinate trajectories y = + χ unc meters are adjusted. To represent an ion at the collector y = - x of a single quadrant. It can be proven that the first knot of its twists must also have angles between 60 and 120 ° or

' bung hinter dem Ende des Analysatorfeldes liegen. In- kleinere und größere Winkelwerte angewandt werden'exercise behind the end of the analyzer field. In- smaller and larger angle values are used

folgedessen werden sämtliche Ionen, deren Energie je nachdem, welcher Trennungsgrad, welche Ausbeuti unterhalb eines bestimmten Mindestwertes liegt, auf 65 oder welche Trennungsgenauigkeit gewünscht wird der Winkelelektrode abgeschieden. Diese Mindest- Die Winkelelektrode wird auf Erdpotential gehaltenconsequently all ions, their energy depending on which degree of separation, which yield is below a certain minimum value, to 65 or what separation accuracy is desired the angle electrode deposited. This minimum The angle electrode is kept at ground potential

energie ist proportional zu Δ q, was dem Abstand des Da eine derartige Elektrodenanordnung im Vergleicl a, q-Wertes von der linken Stabilitätsgrenze (F i g. 9) zu der bei der Achse Z der Vierpolanordnung der iienergy is proportional to Δ q, which is the distance of the As such an electrode arrangement in comparison a, q value from the left stability limit (Fig. 9) to that at the axis Z of the four-pole arrangement of ii

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F i g. 2 gezeigten bekannten symmetrischen Anordnung systems zeigt, ist die Ionenquelle 11 mit einem Stromnicht symmertisch ist, können mit ihr keine Ionenbah- Versorgungsgerät 21 verbunden, welches den Strom nen erhalten werden, bei denen Schwingungen um eine vorzugsweise aus dem Netz bezieht. Die Ionenbederartige Symmetrieachse vorliegen. Trotzdem können schleunigungsspannung, beispielsweise 92 V, wird die Ionen das periodische Feld durchlaufen, da durch 5 dann zwischen der Ionenquelle 11 und der Winkeldie Wahl geeigneter Werte des elektrischen Feldes elektrode 2 angelegt. Die Ionen selbst werden durch Ionenbahnen erhalten werden, welche für zahlreiche Elektronenstoß in der Ionenquelle 11 erzeugt. Zu Schwingungen vollständig neben der Symmetrieachse diesem Zweck werden Elektronen von einem Glühverlaufen. Das heißt also, daß diejenigen Ionen, welche faden K emittiert und in die Quelle 11 eingeschlossen, neben der Achse schwingen, von denjenigen Ionen ge- ίο Mit Hilfe von Linsen L werden die Ionen fokussiert, trennt werden, welche um die Achse schwingen. Zu Die Feldelektrode 1 ist über ihren Anschluß 15 und dieser neuartigen Wirkung kommt noch die Trenn- einen Kondensator 22 mit einem Hochfrequenzgenewirkung hinzu, welche durch die vorbeschriebene rator 23 und über eine Selbstinduktionsspule 24 mit unterschiedliche Zunahme in der Amplitude der Ionen- einer Gleichspannungsquelle 25 verbunden, die ihrerschwingungen bedingt ist. 15 seits aus einem Gleichrichter bestehen kann. Der Hoch-F i g. 2 shows the known symmetrical arrangement system shown, the ion source 11 is not symmetrical with a current, no ion path supply device 21 can be connected to it, which the currents can be obtained in which oscillations around a preferably from the network. The ionic symmetry axis exist. Nevertheless, acceleration voltage, for example 92 V, the ions will pass through the periodic field, since the choice of suitable values of the electric field electrode 2 is then applied between the ion source 11 and the angle. The ions themselves are obtained by ion trajectories which are generated in the ion source 11 for numerous electron impacts. For this purpose electrons become vibrations completely next to the axis of symmetry. This means that those ions which filamentary K emitted and included in the source 11 oscillate next to the axis are separated from those ions with the help of lenses L the ions are focused and separated which oscillate about the axis. The field electrode 1 is connected via its connection 15 and this novel effect is the separating capacitor 22 with a high frequency generating effect, which is connected to a DC voltage source 25 by the above-described generator 23 and via a self-induction coil 24 with different increases in the amplitude of the ions which is conditioned by their vibrations. 15 hand can consist of a rectifier. The high

Die in F i g. 4 beispielsweise dargestellte Ausfüh- frequenzgenerator 23 und die Gleichspannungsquelle 25 rungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung be- werden aus der vorbeschriebenen Stromzuführungssteht aus einem evakuierbaren langgestreckten und im leitung gespeist, an die auch das Gerät 21 angeschloswesentlichen rohrförmig ausgebildeten Gefäß 4, in dem sen ist. Die Auffängerelektrode 12 liegt an der Eineine zylindrische Stabelektrode 1 symmetrisch zu 20 gangsstufe eines Verstärkers 26, an dessen Ausgangseinem winkelförmig ausgebildeten Teil 2 angeordnet klemmen ein Schreiber 27 angeschlossen ist.
ist. Die Feldelektrode 1, die entweder massiv oder F i g. 6 zeigt nähere Einzelheiten einer geeigneten rohrförmig ausgebildet sein kann, ist gegenüber der Schaltung, mit deren Hilfe entsprechend der Funktion Winkelelektrode 2 isoliert; diese ist ihrerseits an der /i(0 eine Feldspannung aus der Hochfrequenzquelle23 Wand des Gefäßes 4 durch die Halterungen 5 befestigt. 25 und dem Gleichrichter 25 an die Feldelektrode 1 ange-Diese Halterungen 5 können aus Metall bestehen, wo- legt werden kann. Selbstverständlich können auch noch durch das Gebilde 2 an Erdpotential gelegt wird, da modifizierte Schaltungen verwendet werden, sofern das Gefäß 4 ebenfalls aus Metall besteht und geerdet dies für irgendwelche bestimmten Zweck gewünscht ist. wird.The in F i g. 4, for example, the execution frequency generator 23 and the DC voltage source 25 of a device according to the invention are fed from the above-described power supply is from an evacuable elongated and in the line, to which the device 21 is also connected, essentially tubular vessel 4, in which is sen. The collector electrode 12 lies on the one, a cylindrical rod electrode 1 symmetrical to the output stage of an amplifier 26, at the output of which an angularly formed part 2 clamps a writer 27 is connected.
is. The field electrode 1, which is either solid or F i g. 6 shows more details of a suitable tubular design, is opposite to the circuit, with the help of which, in accordance with the function, angle electrode 2 is insulated; this in turn is attached to the / i (0 a field voltage from the high-frequency source 23 wall of the vessel 4 through the brackets 5. 25 and the rectifier 25 to the field electrode 1. These brackets 5 can consist of metal, where applicable. Of course can also be connected to earth potential through the structure 2, since modified circuits are used, provided that the vessel 4 is also made of metal and this is desired for any specific purpose.

Der Analysatorteil des Gefäßes ist über einen seit- 30 Bei Prüfungen, welche mit einem erfindungsgemäßen liehen Abzweig 6 an eine Vakuumpumpe angeschlos- Massenspektrometer mit einem Trennfeld von etwa sen. Außerdem ist der Analysatorteil stirnseitig mit 27 cm Länge durchgeführt werden, wird eine Emp-Flanschen 7 und 8 versehen, an denen entsprechende findlichkeit von annähernd 3 · 10~⁴ A/mm Hg erzielt. Deckel 9 und 10 angeschlossen sind, an denen wieder- Das Auflösungsvermögen liegt annähernd bei 190, die um eine Ionenquelle 11 und eine Auffängerelektrode 12 35 Form der Spitzen im Spektrogramm ist gut ausgebildet, angebracht sind. Das von der Ionenquelle 11 emittierte Das in F i g. 11 gezeigte Spektrogramm ist ein Bei- und in das Analysatorfeld eintretende Ionenbündel spiel für die mit einem Gerät der in F i g. 3 bis 6 dargetritt durch die Öffnung einer Blende 12' hindurch. Eine stellten Art aufgenommenen Diagramme. Die waageentsprechende Blende 13 ist vor dem Auffänger 12 rechte Achse des Diagramms gibt Massenzahlen an, angebracht. Ein Ansatz 14 am Analysatorgefäß trägt 40 die senkrechten Amplituden entsprechen dem zum einen isolierten Leiter 15, welcher mit der Feld- Auffänger fließenden Ionenstrom, wie er durch den elektrode 1 Kontakt hat. Die Elektrode 1 wird gegen- Ausschlag des Schreibgerätes angezeigt wird. Das über der Gegenelektrode 2 unter Zuhilfenahme von Spektrogramm wird für einen Massenbereich zwischen vier Isolatoren gleicher Höhe in der richtigen Stellung 14 und 15 durchgeführt. Die verwendete Vorrichtung gehalten. Zwei dieser Isolatoren sind bei 17 und 18 dar- 45 besitzt ein Analysatorfeld mit einer Länge von 27 cm gestellt. Sie sind auf eine der Planflächen der Winkel- bei einem »Felddurchmesser« von 1,5 cm. Die Freelektrode 2 aufgebracht. Das andere Ende der Isola- quenz der Hochfrequenzerregung für die Abtrennung toren ist dabei jeweils in geeigneter Weise, beispiels- der Masse 28 beträgt 1,54 MHz. Die Winkelelektrode weise durch Ankleben, mit dem Stab 1 verbunden. Die liegt auf Erdpotential. Der Gesamtdruck des in das beiden anderen nicht sichtbaren isolierenden Halterun- 50 Innere der Vorrichtung eingeführten stickstoffhaltigen gen sind vorzugsweise in der gleichen Weise an der Gases beträgt 10,3 ■ 10~⁷ mm Hg. Es zeigt sich, daß anderen Planfläche der Winkelelektrode 2 befestigt. der Vollausschlag für die Massen im Bereich 14 bis 18 Die Zahl der möglichen Justierungsfehler wird auf bei 3 · 10~^x ° A liegt. Der entsprechende Ausschlag für diese Weise im Vergleich mit dem bekannten Vierpol- die Massen 19 bis 45 liegt bei 1 · 10^-1 ° A.
massenfilter wesentlich herabgesetzt. 55 Die (mit N₂ kalibrierte) Empfindlichkeit beträgtThe analyzer part of the vessel has a mass spectrometer with a separation field of about sen. Further, the analyzing part are frontally performed with 27 cm length, a Emp flanges is provided 7 and 8, where corresponding achieved sensitivity of approximately 3 x 10 ^-4 A / mm Hg. Lids 9 and 10 are connected, to which again the resolving power is approximately 190, which are attached around an ion source 11 and a collector electrode 12 35 The shape of the tips in the spectrogram is well formed. The Das emitted from the ion source 11 in FIG. The spectrogram shown in FIG. 11 is an example and an ion bundle entering the analyzer field for those with a device of the type shown in FIG. 3 to 6 shown through the opening of a diaphragm 12 '. A posed type of recorded diagrams. The corresponding diaphragm 13 is attached in front of the catcher 12 on the right axis of the diagram indicating mass numbers. An approach 14 on the analyzer vessel carries 40 the vertical amplitudes correspond to the one insulated conductor 15, which with the field interceptor flowing ion current, as it is through the electrode 1 contact. The electrode 1 is displayed against the deflection of the writing instrument. The above the counter electrode 2 with the aid of the spectrogram is carried out for a mass range between four insulators of the same height in the correct position 14 and 15. The device used kept. Two of these isolators are shown at 17 and 18. 45 has an analyzer field with a length of 27 cm. They are on one of the flat surfaces of the angled with a »field diameter« of 1.5 cm. The free electrode 2 is applied. The other end of the isolation of the high-frequency excitation for the separation gates is in each case in a suitable manner, for example the mass 28 is 1.54 MHz. The angle electrode is connected to the rod 1 by gluing it on. It is on earth potential. Introduced, the total pressure of the in the other two non-visible insulating Halterun- 50 inside of the apparatus nitrogen-containing gene are preferably in the same manner at the gas is 10.3 ■ 10 ^-7 mm Hg. It is found that the other plane surface of the angular electrode 2 attached . the full scale for the masses in the range 14 to 18 The number of possible adjustment errors is 3 · 10 ~ ^x ° A. The corresponding deflection for this way in comparison with the known quadrupole masses 19 to 45 is 1 · 10 ^-1 ° A.
mass filter significantly reduced. 55 The _{sensitivity (calibrated with N 2} ) is

Die Bahnen derjenigen Ionen, welche den Auffänger 3,0 · 10~⁴ A/mm Hg. Zur Aufnahme des gezeigten 12 erreichen, verlaufen derart, daß ein quasi optisches Diagramms wird eine Ionenbeschleunigungsspannung Bild der Eintrittsblende 12' auf die Austrittsblende 13 von 92 V zwischen der Ionenquelle 11 und der Winkelprojiziert wird. Auf Grund dieses Umstandes wird ein elektrode 2 angelegt. Die Elektronenemission der bestimmtes Auflösungsvermögen etwa mit der Hälfte 60 Ionenquelle beträgt 1,2 mA. Es wird eine Eintrittsderjenigen Ionenlaufzeit erreicht, wie sie normaler- blende (12 in Fig. 4) verwendet, deren Blendenweise bei vergleichbaren Vierpolmassenspektrometern Öffnung 2 mm² beträgt. Das Auflösungsvermögen beerforderlich ist. Damit wird also im Vergleich zu den trägt annähernd 190 und die Verweilzeit der Ionen im Vierpolgeräten je nach Wunsch ein stärkerer Ionen- Analysatorfeld 16,5 Hochfrequenzperioden,
strom, ein besseres Auflösungsvermögen oder ein 65 Wie das Diagramm deutlich macht, enthält das Gas kürzerer apparativer Aufbau erreicht. vorwiegend Ionen der Massen 18 und 28, gleichzeitigThe webs of those ions which reach the interceptor 3.0 x 10 ~ ⁴ A / mm Hg. To accommodate the shown 12, extend in such a way that a quasi-optical diagram, an ion acceleration voltage image of the entrance aperture 12 'to the exit aperture 13 of 92 V is projected between the ion source 11 and the angle. Due to this fact, an electrode 2 is applied. The electron emission of the specific resolving power with about half a 60 ion source is 1.2 mA. An entry of that ion transit time is achieved as is normally used (12 in FIG. 4), the aperture of which in comparable quadrupole mass spectrometers is 2 mm ² . The resolving power is required. This means that compared to the bears approximately 190 and the dwell time of the ions in the four-pole devices, a stronger ion analyzer field is 16.5 high-frequency periods, as required,
current, a better resolution or a 65 As the diagram makes clear, the gas contains a shorter apparatus structure. predominantly ions of masses 18 and 28, simultaneously

Wie in F i g. 5 dargestellt ist, die lediglich die jedoch auch merkliche Mengen der Masse 44. DerAs in Fig. 5 is shown, which only, however, also noticeable amounts of the mass 44. The

elektrischen Bestandteile des eigentlichen Analysator- besondere Wert dieses Diagramms sowie auch vielerelectrical components of the actual analyzer- special value of this diagram as well as also many

anderer für andere Gase und unter anderen Betriebsbedingungen aufgenommener Diagramme liegt unter anderem darin, daß es eine gute Form der Spektrallinien oder Spitzen (peaks) mit einer verhältnismäßig großen Empfindlichkeit in sich vereinigt.other diagrams recorded for other gases and under other operating conditions are subject to among other things, that there is a good shape of the spectral lines or peaks with a relatively great sensitivity united in itself.

Claims

Patent claims:

1. Device for separating ions with different specific electrical charges with electrodes which are connected to voltage supply devices for generating a temporally periodic electrical field in which the ions enter with an initial velocity, characterized in that the electrodes are designed and arranged in such a way that that the potential of the electric field is a function of the Cartasian spatial coordinates χ and y of the form

Φ = A(O (*² - y²) Φ = A (O (* ² - y ² )

where / _x (i) is a periodic function of time t and where only a range is used for the coordinates (x, y) in which y > | χ j, and that the ions enter the electrical field with a predominant initial velocity in the z-direction.

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that in an evacuable cavity an electrode forms two electrically conductive surfaces (2, 3) enclosing an angle, a second electrode in the form of a cylindrical one at a distance at its bisector Rod (1) is arranged.

3. Apparatus according to claim 2, characterized in that the surfaces (2, 3) of the first Include the electrode at a right angle.

4. Apparatus according to claim 2 or 3, characterized in that the conductive surfaces (2, 3) are formed by sheet metal, metal nets or tensioned wires.

5. Device according to one of claims 2 to 4, characterized in that the two form an angle mutually enclosing electrically conductive surfaces (2, 3) are made in one piece.

6. Apparatus according to claim 5, characterized in that the electrically conductive surfaces Represent parts of the wall of the device.

7. Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that between the two Electrodes a voltage composed of a direct voltage and a high frequency component located.

8. Apparatus according to claim 7, characterized in that the electrically conductive surfaces of the first electrode are at a constant potential.

9. Device according to one of claims 1 to 8, characterized in that at least one each Entry and exit diaphragm (12, 13) for the ion path is provided.

1 sheet of drawings