DE1472146A1

DE1472146A1 - Method and device for the production of a template for taking into account the self-absorption in spectrophotometers

Info

Publication number: DE1472146A1
Application number: DE19651472146
Authority: DE
Inventors: Juergen Tappert
Original assignee: Jenoptik Jena GmbH
Current assignee: Jenoptik AG
Priority date: 1965-10-26
Filing date: 1965-10-26
Publication date: 1969-07-10

Description

Verfahren und Vorrichtung sur Heratellung einer Schablone zur Berücksichtigung der Bigenabsorption in Spektralfotometern Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung einer Schablone, die in einem Spektralfotometer Uber ein im Strahlengang befindliches Kompensationsglied die durch das elektrooptische Fotometersystem bedingte Absorption in Abhängigkeit von der im Monochromator eingestellten Wellenlänge steuert, wobei das Spektralfotometer einen fotoelektrischen Empfänger aufweist, der Aber einen Regelkreis das Kompensationsglied selbsttAtig steuert. Method and device for the preparation of a template for consideration the Bigen absorption in spectrophotometers The invention relates to a method and a device for making a stencil in a spectrophotometer Via a compensation element located in the beam path, through the electro-optical Absorption due to the photometer system depending on the one set in the monochromator Wavelength controls, with the spectrophotometer having a photoelectric receiver has, but a control loop controls the compensation element automatically.

Bei der objektiven Fotomet@ie von Spektrent, insbesonders der Mikrospektralfotometrie unter Verwendung von Zweistrahlfotometern, kommt es auf die völlige optische Gleichheit von MeB-und Vergleichsetrahlengang an, wenn das fotometrische Ergebnis nicht fehlerhaft sein soll. Wird beispielsweise im MeB-strahlengang ein Objektivwechsel vorgenommen, der in der Mikrospektralfotometrie oft vorkommt, eo muE im Vergleichstrahlengang die gleiche optische Verinderung durch Binsetzen < des gleichen Objektivs vorgenommen werden. Eine auf diese Weise erreichte optische Symmetrie der Strahlengänge ist sehr kostspielig und umständlich. Man verzichtet daher meist auf eine völlige Gleichheit und benutzt zur Korrektor der optischen Unsymmetrie Kompenaatoren in Form von mit dem Wellenlgngenantrieb des Monochromatore gekoppelten sogenannten Multipotentiometern oder im Fotometerstrahlengang nach Matsgabe einer mit dem WellenlXngenantrieb gekoppelten Schablone quer werßchiebbaren Blende. Das Einstellen der aus einzelnen Potentiometern bestehenden Multipotentiometer. erfolgt von einer Wellenlinge zur anderen durch Veratellen der einz-elnen Potentiometer. Der aus einem Blechstreifen mit Korrektur-, schrauben bestehenden Schablone wird ihre erforderliche Form dadurch gegeben, daß die Schrauben beim Drehen den Blechstreifen in der gewünschten Weise verbiegen. Abgesehen davon, daß sawohl mit den Potentiometern als auch mit den Korrekturschrauben nur bestimmte, in Abständen getrennt voneinander liegende Wellenlängen exakt. erfaßt und die dazwischen liegenden interpoliert werden, sind diese Möglichkeiten der Korrektureinstellung sehr zeitraubend und bei oftmaligen Xnderungen der Kampensation aufwendig. With the objective Fotomet @ ie from Spektrent, especially the microspectrophotometry using two-beam photometers, there is complete optical equality from the measurement and comparison beam path if the photometric result is not faulty should be. For example, if a lens change is made in the MeB beam path, which often occurs in microspectrophotometry, eo muE in the comparison beam path the same optical reduction is made by inserting <the same lens will. An optical symmetry of the beam paths achieved in this way is very expensive and cumbersome. One therefore mostly foregoes complete equality and uses compensators in the form of with to correct the optical asymmetry so-called coupled to the wavelength drive of the monochromator Multipotentiometers or in the photometer beam path according to the specification of one coupled to the wavelength drive Template crosswise sliding panel. Adjusting the off individual potentiometers existing multipotentiometer. is carried out from one wave to the other Veratellen the individual potentiometers. The one made of a sheet metal strip with correction, screw existing template is given its required shape in that When turning the screws, bend the sheet metal strip in the desired way. Apart from the fact that with the potentiometers as well as with the correction screws only specific, spaced apart wavelengths exactly. recorded and those in between are interpolated, these are correction options very time-consuming and costly when the campaign changes frequently.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung einer Schablone zur. The invention is based on the object of a method and a Device for producing a template for.

BerUcksichtigung der Eigenabsorption, insbesondere in Mikrospektralfotometern au schaffen, die diese-Eigenabsorption bei jeder beliebigen Wellenlinge exakt und ohne großen Aufwand an Zeit und Material in einfacher Weise zu berUckaichtigen gestatten, Das Verfahren gem§ß der-Erfindung zeichnet sich dadurch eue, daB synchron mit dem Wellenlingenantrieb des Monochromatora eine Scheibe maximal einmal um sich selbst gedreht und die Stellung des Kompensationaglledea im Strahlengang auf der ^8oh markiert wird, während alch kein Objekt im Strahlengang des Fotometers befindet.Consideration of self-absorption, especially in microspectrophotometers au create that this self-absorption in any wave flute exactly and allow to take into account in a simple manner without great expenditure of time and material, The method according to the invention is characterized in that it is synchronous with the Wavy drive of the Monochromatora a disk a maximum of once around itself rotated and the position of the Kompensationaglledea marked in the beam path on the ^ 8oh while there is no object in the beam path of the photometer.

Von Vorteil ist es, wenn die Scheibe nicht nur eine Markierung, sondern eine gleichzeitige Beschneidung entsprechend der Stellung des Kompeneationegliedes erfuhrt, weil dann eine Nachbearbeitung der Scheibe entfällt. Auf diese Weise ist es mdglich, eine bei allen Wellenldngen exakt der Eigensbsorption des Gerätes entsprechende Schablone herzustellen. It is advantageous if the disc is not just a mark, but a a simultaneous circumcision according to the position of the competence member found out because then there is no need for post-processing of the disc. That way is it is possible to have a corresponding exactly to the self-absorption of the device for all wavelengths Making stencil.

Zur Heretellung der Schablone hat ein 8pektralfotameter miqeinem Monochromator zum Abfahren eines Wellenlängenbereichs und einem fotoelektrisohen Empfänger, der über einan Regelkreis die Querverschiebung eines im Strahlengang angeordneten optischen Gliedes in AbhEngXgkelt von der Eigenabsorption des Fotometers eteuert, erfindungsgemäß eine synchron mit dem Wellenlängenantrieb drehbar gelagerte Scheibe und ein mit dem Kompensationaglied verbundenes Markierungsmittel, das mit der Scheibe in Kontakt gebracht werden kann, PUr das Verfahren der Heratellung der Schablonen set 8 von Vorteil, wenn die Scheibe aus Kunststoff besteht und dae Markierungamittel ein glthender Draht ist, der die Schablone aus der Scheibe herausschneidet. An 8-spectrophotometer has a miqeinem to produce the template Monochromator for scanning a wavelength range and a photoelectrisohen Receiver that controls the transverse displacement of one in the beam path via a control circuit arranged optical element as a function of the self-absorption of the photometer controlled, according to the invention a rotatably mounted synchronously with the shaft drive Washer and a marking means connected to the compensation element, which with the disc can be brought into contact by the process of making the Stencil set 8 is advantageous if the disc is made of plastic and the marking means is a glowing wire that cuts the template out of the disk.

Der Gegenstand der Erfindung let sowohl bei Einstrahlals auch bei Zwoistrahl-Spektralfotometern zur Ausschaltung der durch das optische System bedingten Eigenabsorption anwendbar. Er ist insbesondere fUr Mikrospektralfotometer geeignet, bei denen ein dfteres Wechseln der Vergrdßerung und damit der Optik erforderlich ist. In Einstrahlspektralfotometern kann der Gegenstand der Erfindung insbesondere ale sogenanntes Memory-System Verwendung finden. The subject matter of the invention allows both single-jet and Two-beam spectrophotometers to eliminate those caused by the optical system Self-absorption applicable. It is particularly suitable for microspectrophotometers, where a more frequent change of the magnification and thus the optics is required is. In single-beam spectrophotometers, the subject matter of the invention can in particular ale so-called memory system use.

Die Erfindung wird nachstehend an zwei Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen in schematischer Darstellung Fig. 1 ein Zweistrahl-Mikrospektralfotometer, , Fig. 2 ein die Schablonenherstellung betreffendes Detail und Fig. 3 ein Einstrahl-Mikrospektralfotometer. The invention is explained in more detail below using two exemplary embodiments explained. It shows in a schematic representation Fig. 1 a two-beam microspectrophotometer, FIG. 2 shows a detail relating to the production of stencils, and FIG. 3 shows a single-beam microspectrophotometer.

In Fig. 1 ist mit 1 eine Lichtquelle bezeichnet, aus deren Spektrum ein drei Spiegel 2 ; 3 und 4, eine Sammellinse 5, ein Reflexionsgitter 6 sowie einen Eintrittsspalt 7 und einen Austrittsspalt 8 besitzender Monochromator 9 kontinuierlich Wellenlängenintervalle auszusondern gestattet. Das Reflexionsgitter 6 ist um eine Achse 10 schwenkbar angeordnet. Der aus dem Austrittsspalt 8 austretende Strahlengang 11 wird durch eine doppelbrechende Kalkspatplatte 12 in zwei TeilstrahlengGnge, den Vergleichsstrahlengang 13 und den MeBstrahlengang 14 geteilt. Im Vergleichsstrahlengang 13 befinden sich ein Berek'sches Prisma 15, eine Blende 16 mit veränderbarer Öffnung 17, ein Kompensationsglied 18, zwei abbildende optische Glieder 19 und 20, ein blebpolarisator 21, ein fester Polarisator 22 und zwei Umlenkspiegel 23 und 24. Die abbildenden optischen Glieder 19 und 20 bilden den Austrittsspalt 8 auf einen lichtelektrischen Empfänger 37 ab. In Fig. 1, 1 denotes a light source from its spectrum a three mirror 2; 3 and 4, a converging lens 5, a reflection grating 6 and one Entry slit 7 and an exit slit 8 having monochromator 9 continuously Allowing wavelength intervals to be singled out. The reflection grating 6 is around one Axis 10 pivotably arranged. The beam path emerging from the exit gap 8 11 is divided into two partial beam paths by a birefringent calcite plate 12, the comparison beam path 13 and the measuring beam path 14 are divided. In the comparison beam path 13 there is a Berek prism 15, a diaphragm 16 with a variable opening 17, a compensation element 18, two imaging optical elements 19 and 20, a bleb polarizer 21, a fixed polarizer 22 and two deflecting mirrors 23 and 24. The imaging optical members 19 and 20 form the exit slit 8 on a photoelectric Receiver 37.

Zwischen den beiden optischen Gliedern 19 und 20 ist der Meßpolarisator 21 im parallelen Strahlengang angeordnet.Between the two optical members 19 and 20 is the measuring polarizer 21 arranged in the parallel beam path.

Die Blende 16 dient zur Angleichung der IntensitGten von Vergleichs-und MeBstrahlengang 13 und 14 bei der Justierung des Spektralfotjbmeters. Damit das Licht des Vergleichsstrahlenganges trotz Drehung des MeBpolarisators 21 stets die gleiche Schwingungsrichtung hat, ist der feste Polarisator 22 dem MeBpolarisator 21 nachgeordnet, Der MeBstrahlengang 14 enthält ebenfalls ein Berek'sches Prisma 25, drei abbildende optische Glieder 26 ? 27 und 28, einen Objektträger 29 und eine MeBblende 30 mit einer Öffnung 31. Das optische Glied 26 bildet den Austrittsspalt 8 des Monochromators 9 auf den Objektträger 29 ab. Der Objektträger 29 ist so angeordnet, daB sich ein auf ihm zu liegen kommendes Objekt in der gemeinsamen Brennebene der beiden optischen Glieder 26 und 27 befindet. Die beiden im MeBstrahlengang 14 befindlichen optischen Glieder 27 und 28 bilden ihrerseits die Ebene des Objekttrdgers 29 in die Ebene der MeBblende 30 ab.The diaphragm 16 is used to adjust the intensities of comparison and Measuring beam path 13 and 14 when adjusting the spectrophotometer. So that Light of the comparison beam path, despite the rotation of the measuring polarizer 21, is always the has the same direction of oscillation, the fixed polarizer 22 is the measuring polarizer 21 downstream, the measuring beam path 14 also contains a Berek prism 25, three imaging optical members 26? 27 and 28, a slide 29 and a Measuring diaphragm 30 with an opening 31. The optical element 26 forms the exit slit 8 of the monochromator 9 onto the slide 29. The slide 29 is arranged so that an object coming to rest on it is in the common focal plane of the two optical members 26 and 27 is located. The two located in the measuring beam path 14 Optical members 27 and 28 in turn form the plane of the slide 29 in FIG the level of the measuring aperture 30.

Da der Öffnungswinkel des MeBstrahlenbündels 14 hinter dem optischen Glied 28 verhältnismäßig klein ist und der Abstand des fotoelektrischen Empfängers 37 von der Blende 30 genügend klein gewdthlt werden kann, ist die Differenz der , Abstände der optischen Glieder 20 und 28 vom fotoelektrischen Empfänger 37 ohne Bedeutung.Since the opening angle of the measuring beam 14 is behind the optical Member 28 is relatively small and the distance between the photoelectric receiver 37 can be chosen sufficiently small by the diaphragm 30, the difference is the , Distances of the optical members 20 and 28 from the photoelectric receiver 37 without Meaning.

Zur visuellen Einstellung des Spektralfotometers ist in den MeBstrahlengang 14 ein aus einem Okular 32, einer Ringblende 33 und einem Umlenkprisma 34 bestehendes Okularteil so einschiebbar vorgesehen, daB die Ringblende 33 und die MeBblende 30 sich bezilglich des optische. Gliedes 28 in konjugierten Ebenen befinden. For visual adjustment of the spectrophotometer is in the measuring beam path 14 one consisting of an eyepiece 32, an annular diaphragm 33 and a deflecting prism 34 The eyepiece part is provided so that it can be pushed in such that the annular diaphragm 33 and the measuring diaphragm 30 regarding the optical. Link 28 in conjugate planes are located.

Zwischen der Kalkspatplatte-12 einerseits und den Berek'schen Prismen 15 und 25 andererseits ist eine Blendenscheibe 35 um eine zur Zeichenebene parallele Achse 36 drehbar angeordnet, die die Teilstrahlengänge 13 und 14 abwechselnd sperrt, so daß jeweils nur einer auf den lichtelektrischen Empfänger 37 trifft. Haben die e auf den lichtelektrischen Empfänger 37 auftreffenden Teilstrahlengänge 13 und 14 unterschiedliche Intensitäten, so werden in diesem Wechselstromsignale erzeugt, die tuber einen Verstärker 38 und einen Umschalter 39 jeweils einen von zwei Motoren 40 und 41 in Gang setzen. Der Motor 40 dreht eine Kurvenscheibe 42, auf der mit einem Ende ein Verbindungsglied 43 gleitet, das mit dem anderen Ende den Meßpolarisator 21 verdreht und dadurch die intensität des Vergleichsstrahlenganges 13 in erforderlicher Weise ändert. Die Xnderung der Intensität ist an der Stellung eines am Verbindungsglied 43 vorgesehenen Zeigers 44 gegenüber einer Skala 45 ablesbar. Der Motor 41 ist tuber Verbindungsglieder 46 und 47 kinematisch mit dem Kompensationsglied 18, das beispielsweise ein Graukeil sein kann, verbunden und verändert dessen Lage im Vergleichsstrahlengang 13 in direkter Abhängigkeit von der Differenz der Eigenabsorptionen von MeBstrahlengang 14 und Vergleichsstrahlengang 130 Ein weiterer Motor 48 bewirkt einerseits liber mechanische Mittel 49 die zur kontinuierlichen Wellenlängenabtastung erforderliche Schwenkung des Gitters 6 um die Achse 10 und, . andererseits über andere mechanische Mittel 50 die Drehung des Trägers 51 einer Scheibe 52 mit der das Verbindungsglied 47 in gleitender Verbindung steht. Between the calcareous plate-12 on the one hand and the Berek prisms 15 and 25, on the other hand, is a diaphragm disk 35 around a plane parallel to the plane of the drawing Axis 36 rotatably arranged, which blocks the partial beam paths 13 and 14 alternately, so that only one hits the photoelectric receiver 37 at a time. Do the e partial beam paths 13 impinging on the photoelectric receiver 37 and 14 different intensities, in this way alternating current signals are generated, via an amplifier 38 and a changeover switch 39 each one of two motors 40 and 41 start. The motor 40 rotates a cam disk 42 on which a connecting member 43 slides at one end and the measuring polarizer at the other end 21 rotated and thereby the intensity of the comparison beam path 13 in required Way changes. The change in intensity is due to the position of one on the link 43 provided pointer 44 relative to a scale 45 readable. The engine 41 is tuber Links 46 and 47 kinematically with the compensation member 18, which for example can be a gray wedge connected and changes its position in the comparison beam path 13 in direct dependence on the difference in the self-absorptions of the measuring beam path 14 and comparison beam path 130 Another motor 48 causes on the one hand liber mechanical means 49 necessary for continuous wavelength scanning Pivoting of the grid 6 about the axis 10 and, . on the other hand about other mechanical means 50 the rotation of the support 51 of a disk 52 with the the link 47 is in sliding connection.

Die Wirkungsweise der beschriebenen Vorrichtung zur Durchfthrurig des erfindungsgemäßen Verfahrens ist folgende : Im MeBstrahlengang 14 befindet sich kein Objekt. Der MeB-polarisator 21 wird durch Drehen der Kurvenscheibe 42 über das Verbindungsglied 43 so verdreht, daß die Intensität des Vergleichsstrahlenganges 13 durch ihn minimal geschwächt wird. (Größte Durchlassigkeit = 100 0). Einen entsprechenden Wert zeigt der Zeiger 44 an der Skala 45 an. Der Schalter 39 wird in eine in Figo 1 dargestellte Lage gebracht, in der die im fotoelektrischen Empfänger 37 erzeugten und im Verstärker 38 verstärkten Stromimpulse den Motor 41 -antreiben. The mode of operation of the device described for implementation of the method according to the invention is as follows: In the measurement beam path 14 is located no object. The MeB polarizer 21 is turned over by turning the cam disk 42 the connecting member 43 is rotated so that the intensity of the comparison beam path 13 is minimally weakened by it. (Greatest permeability = 100 0). A corresponding The pointer 44 shows the value on the scale 45. The switch 39 is in a in Figo 1 brought the position shown in which the generated in the photoelectric receiver 37 and current pulses amplified in amplifier 38 drive motor 41.

Der Motor 48 schwenkt'mit Hilfe der mechanischen Mittel 49 das Reflexionsgitter 6 des Monochromators 9 um die Achse 10 und dreht über die mechanischen Mittel 50 den Träger 51 de. r Scheibe 52. Demzufolge verläßt den Monochromator 9 der Strahlengang 11 mit kontinuierlich sich ändernder Wellenlänge. Die unterschiedlichen optischen Glieder in den beiden Teilstrahlengängen 13 und 14 beeinflussen deren Intensität in Abhängigkeit von der Wellenlänge voneinander abweichend, weil die Absorptionen der Folgen der optischen Glieder beider Teilstrahlengänge nicht gleich sind und die Absorption des MeBstrahlenganges 14 durch Auswechselung des optischen Gliedes 26 wellenlungenabhdngig variiert werden kann. The motor 48 pivots the reflection grating with the aid of the mechanical means 49 6 of the monochromator 9 about the axis 10 and rotates via the mechanical means 50 the carrier 51 de. r disk 52. As a result, the beam path leaves the monochromator 9 11 with continuously changing wavelength. The different optical Members in the two partial beam paths 13 and 14 influence their intensity depending on the wavelength differ from each other because the absorptions the consequences of the optical elements of both partial beam paths are not the same and the absorption of the measuring beam path 14 by replacing the optical element 26 can be varied depending on the wave length.

Infolge der in AbhNngigkeit von der Wellenlänge des vom Monochromator 9 ausgesendeten Lichtes auftretenden Absorptionsunterschiede wird der fotoelektrische Empfänger 37 mit unterschiedlichen Lichtintensitäten beaufschlagt, und es wird ein Wechselstromsignal erzeugt, das vom Verstärker 38 verstärkt den Motor 41 richtungsabhängig in Gang setzt. tuber das Verbindungsglied 46 wird das Verbindungsglied 47 so bewegt, daß einerseits das Kompensationsglied 18 an einem Ende des Verbindungsgliedes 47 bis zum Abgleich der beiden Teilstrahlengänge 13 und 14 quer zum Strahlengang und andererseits eine am anderen Ende des Verbindungsgliedes 47 befestigte, in Fig. 2 beispielhaft dargestellte Markierungsvorrichtung parallel zur Scheibe 52 verschoben wird. Da sowohl die Scheibe 52 als auch die Markierungsvorrichtung über einen gewünschten Wellenlängenbereich kontinuierlich bewegt werden, markiert die Markierungsvorrichtung auf der Scheibe 52 eine Kurve 53, der entsprechend die Scheibe 52 auf eine in Fig. 1 dargestellte Schablone 54 abzuarbeiten ist.As a result of the depending on the wavelength of the monochromator 9 emitted light occurring absorption differences is the photoelectric Receivers 37 exposed to different light intensities, and it becomes a Generated alternating current signal, which amplifies the motor 41 by the amplifier 38 depending on the direction sets in motion. Via the connecting link 46, the connecting link 47 is moved in such a way that that on the one hand the compensation member 18 at one end of the connecting member 47 until the two partial beam paths 13 and 14 are aligned transversely to the beam path and on the other hand, one attached to the other end of the connecting link 47, shown in FIG. 2, the marking device shown as an example is displaced parallel to the disk 52 will. Since both the disc 52 and the marking device have a desired The marking device marks the wavelength range continuously on the disk 52 a curve 53, which correspondingly the disk 52 to a curve shown in Fig. 1 shown template 54 is to be processed.

Zur spektralfotometrischen blesmng wird das Markierungsmittel vom Verbindungsglied 47 abgewognen und durch ein bekanntes Abtastmittel beispielsweise eine Rolle (nicht dargestellt) ersetzt, die Verbindung zwischen den Verbindungsgliedern 46 und 47 unterbrochen, der Schalter 39 so umgelegt, daß der Motor 40 mit dem fotometrischen Empfänger 37 elektrisch verbunden ist und das Objekt auf den Objektträger 29 gelegt. The marking agent is used for spectrophotometric reading Link 47 is weighed and by known scanning means, for example a role (not shown) replaces the connection between the connecting links 46 and 47 interrupted, the switch 39 thrown so that the motor 40 with the photometric Receiver 37 is electrically connected and the object is placed on slide 29.

Außerdem wird die Schablone 54 so auf dem Träger 51 befestigt, daB der der Absorptionsdifferenz zwischen den Teilstrahlengangen 13 und 14 am Anfang des zur Untersuchung zu benutzenden Wellenlängenbereichs entsprechende Punkt der Schablone 54 über das Verbindungsglied 47 auf das Kompensationsglied 18 wirkt, Im Verlauf der Messung dreht sich der Träger 51 mit der Schablone 54 synchron mit der Wellenlängeneinstellung des Monochromators 9 so daß das Kompensationsglied 18 quer zum Vergleichsstrahlengang 13 verschoben wird und die Absorptionsdifferenz vom Vergleichsstrahlengang 13 und MeBstrahlengang 14 kompensiert, während der MeBpolarisator 21 die durch das Objekt bedingte Intensitg änderung des MeBstrahlenganges 14 kompensiert und mit Hilfe des Zeigers 44 und der Skala 45 zur Anzeige bringt. An die Stelle der Anzeige kann auch eine Registrierung mit Bandschreiber o. dgl. treten.In addition, the template 54 is attached to the carrier 51, that that of the absorption difference between the partial beam paths 13 and 14 at the beginning corresponding point of the wavelength range to be used for the investigation Template 54 acts on the compensation member 18 via the connecting member 47, Im During the measurement, the carrier 51 rotates with the template 54 synchronously with the Wavelength adjustment of the monochromator 9 so that the compensation member 18 transversely is shifted to the comparison beam path 13 and the absorption difference from the comparison beam path 13 and measuring beam path 14 compensated, while the measuring polarizer 21 the Object-related change in intensity of the measuring beam path 14 is compensated and with Using the pointer 44 and the scale 45 brings the display. In place of the ad A registration with a tape recorder or the like can also occur.

Anstatt die Eigenabsorptionsdifferenz der beiden Teilstrahlenbündel des Spektralfotometers auf die Scheibe aufzuzeichnen, kann die Scheibe 52 auch sofort zur Schablone 54 abgearbeitet werden, wenn wie in Fig. 2 am Verbindungsglied 47 ein Bügel 55 mit einem glUhenden Draht 56 befestigt wird, der die Schablone aus der Scheibe herausschneidet. Zum Beheizen 56 des Drahtes/dient eine Stromquelle 57. Instead of the self-absorption difference of the two partial beams of the spectrophotometer on the disk, the disk 52 can also immediately to the template 54 if, as in FIG. 2, on the connecting link 47 a bracket 55 is attached with a glowing wire 56, which the template from cutting out the disc. A power source is used to heat 56 the wire / 57.

Fig. 3 zeigt ein Spektralfotometer mit einer Lichtquelle 60, deren Spannung sehr genau konstant gehalten wird, einem Monochromator 61, einem Kompensationsglied 62, einem Umlenkspiegel 63, drei abbildenden optischen Gliedern 64} 65 und 66 t einem Objektträger 67, einer Blende 68 mit einer Öffnung 69 und einem fotoelektrischen Empfgnger 70 + tS8 optische Glied 64 bildet den Austrittsspalt 71 des Monochromators 61 in die Ebene des Objektträgers 67 ab, und die beiden optischen Glieder 65 und 66 erzeugen ein Bild der Objektebene in der Ebene der Blende 68. Ein Motor 72 treibt sovwohl das nicht dargestellte, die Wellenlange kontinuierlich variierende Mittel des Monochromators 61 als auch eine Scheibe 73 an. Zwischen der Scheibe 73 und dem Absorptionsglied 62 besteht eine mechanische Verbindung 74, Ein weiterer Motor 75 kann durch die im fotoelektrischen Empfänger 70 bei Xnderung der StrahlungsintensitGt des durch seinen Achsstrahl verkörperten Lichtstrahlenbündels 76 erzeugten und in einem Verstärker 77 verstärkten Fotoströme in Gang gesetzt werden. Zwischen diesem Motor 75 und dem Absorptionsglied 62 besteht ebenfalls eine mechanische Verbindung 78. Fig. 3 shows a spectrophotometer with a light source 60, the Voltage is kept constant very precisely, a monochromator 61, a compensation element 62, a deflection mirror 63, three imaging optical members 64} 65 and 66 t a slide 67, a diaphragm 68 with an opening 69 and a photoelectric Receiver 70 + tS8 optical link 64 forms the exit gap 71 of the monochromator 61 in the plane of the slide 67, and the two optical Members 65 and 66 generate an image of the object plane in the plane of the diaphragm 68. A motor 72 drives the shaft length, which is not shown, continuously varying means of the monochromator 61 as well as a disk 73. Between the Disc 73 and the absorption member 62 is a mechanical connection 74, Ein further motor 75 can be controlled by the photoelectric receiver 70 when the Radiation intensity of the light beam embodied by its axial beam 76 generated and amplified in an amplifier 77 photocurrents are set in motion. Between this motor 75 and the absorption member 62 there is also a mechanical one Connection 78.

Durch einen Schalter 79 in der elektrischen Leitung 80 vom Verstärker 77 zum Motor 75 können die im fotoelektrischen Empfänger 71 erzeugten Fotoströme auch auf einen Kompensationsschreiber 81 zur Registrierung der Intensitdtsunterschiede des Lichtstrahlenbündels 76 in Abhängigkeit von der Wellenlänge gegeben werden.By a switch 79 in the electrical line 80 from the amplifier 77 to the motor 75, the photocurrents generated in the photoelectric receiver 71 can also to a compensation recorder 81 for registering the intensity differences of the light beam 76 are given depending on the wavelength.

Zur Herstellung einer durch eine Kurve 82 begrenzten Schablone zur Kompensation der Eigenabsorption des elektrooptischen Systems in Abhdngigkeit von der Wellenlänge des den Monochromator 61 durch den Austrittsspalt 71 verlassenden Lichtes wird das Spektralfotometer ohne Objekt benutzt. Der Rompensationsschreiber 81 wird auf 100% igen DurchlaB des Lichtatrahlenbündels 76 eingestellt. Der Motor 72 schwenkt das die Wellenlänge kontinuierlich variierende Mittel des Monochromators 61 und dreht gleichzeitig die Scheibe 73. To produce a template delimited by a curve 82 for Compensation of the self-absorption of the electro-optical system as a function of the wavelength of the one leaving the monochromator 61 through the exit slit 71 The spectrophotometer is used without an object. The compensation writer 81 is set to 100% passage of the light beam 76. The motor 72 pivots the means continuously varying the wavelength of the monochromator 61 and rotates the disk 73 at the same time.

Die in Abhängigkeit von der Wellenlänge auf den fotoelektrischen Empfänger 70 auftreffende Lichtintensität erzeugt unterschiedliche Fotoströme, die im Verstärker 77 verstärkt bei dargestellter Schalterstellung über die Leitung 80 den Motor 75 in Gang setzen. Uber die mechanischen Verbindungen 74 und 78 bewirkt der Motor 75 eine quer zum Lichtstrahlenbündel 76 gerichtete Verschiebung des Kompensationßgliedes 62, so daB die ursprungliche Absorption des elektrooptischen Systems wieder hergestellt wird. Dieser Vorgang wiederholt sich kontinuierlich über einen gewünschten Wellenlängenbereich. An dem dem Kompensationsglied 62 abgewendeten Ende der mechanischen Verbindung 74 besitzt diese einen in Fig. 2 dargestellten. auswechselbaren. elektrisch beheizten Draht, der die Schablone aus der Scheibe 73 herausschneidet. Die Drehung der Scheibe 73 und der WellenlEngenbereich sind so aufeinander abgestimmt, daß bei der Abtastung eines Wellenlängenbereichs sich die Scheibe 73 höchstens einmal umdreht.Which depends on the wavelength on the photoelectric receiver 70 incident light intensity generates different photocurrents in the amplifier 77 amplifies the motor 75 via the line 80 in the switch position shown set in motion. The motor 75 operates via the mechanical connections 74 and 78 a displacement of the compensation element directed transversely to the light beam 76 62, so that the original absorption of the electro-optical system is restored will. This process repeats itself continuously over a desired wavelength range. At the end of the mechanical connection 74 facing away from the compensation element 62 this has one shown in FIG. interchangeable. electrically heated Wire that cuts the template out of disk 73. The rotation of the disc 73 and the wavelength range are matched to one another in such a way that during scanning of a wavelength range, the disk 73 rotates at most once.

Bei der anschließenden spektrofotometrischen Messung wird der Schalter 79 zum Kompensationsschreiber 81 umgelegt, so daß der Motor 75 suber Tätigkeit kommt, die Koppelung zwischen den mechanischen Verbindungen 74 und 78 gelöst und die elektrische Schneidvorrichtung an dem der Schablone zugekehrten Ende der mechanischen Verbindung 74 gegen ein allgemein übliches Tastelement ausgewechselt. During the subsequent spectrophotometric measurement, the switch 79 switched to the compensation recorder 81, so that the motor 75 comes into action, the coupling between the mechanical connections 74 and 78 released and the electrical Cutting device at the end of the mechanical connection facing the template 74 exchanged for a commonly used probe element.

Claims

Claims., 1. A method for producing a stencil, the 'in a spectrophotometer via a located in the beam path. "Lich compensation element the absorption caused by the electrooptical potentiometer system as a function controlled by the wavelength set in the monochromator, where * the spectrophotometer has a photoelectric receiver that controls the compensation element via a control circuit self-regulating, characterized in that it is synchronous with the wavelength drive of the monochromatora a disk rotated a maximum of once around itself and the 8tstellung of the compensation member is marked in the beam path on the disk.

2. The method according to claim 1, characterized in that the disc is circumcised according to the position of the compensation member.

3. Spectrophotometer for performing the method according to claim 1 and 2, a monochromator for scanning a wavelength range and a has photoelectric receiver that controls the transverse displacement via a control circuit a «arranged in the beam path compensation element depending on the Self-absorption of the spectrophotometer controls, characterized by a synchronous with the shaft length drive rotatably mounted disc and one with the compensation element associated marker which can be brought into contact with the disc.

4. Spectrophotometer according to claim 3, characterized in that the disc is made of plastic.

5. Spectrophotometer according to claim 4, characterized in that the marker is a glowing wire.

L e r s e) t e