DE1464998C3 - Device for illuminating a specimen in a corpuscular beam microscope to increase imaging contrast - Google Patents

Device for illuminating a specimen in a corpuscular beam microscope to increase imaging contrast

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DE1464998C3
DE1464998C3 DE19641464998 DE1464998A DE1464998C3 DE 1464998 C3 DE1464998 C3 DE 1464998C3 DE 19641464998 DE19641464998 DE 19641464998 DE 1464998 A DE1464998 A DE 1464998A DE 1464998 C3 DE1464998 C3 DE 1464998C3
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Description

gedachten magnetischen Linscnfeldern und umgekehrt gedachter Strahlrichtung in der Bcjeuchtungsblendenebene erzeugte Bild 1 der Zonenblende ist in den F i g. 1 bis 4 ebenfalls, und zwar von rechts unten 5 nach links oben gestrichelt, eingezeichnet. Strahlenundurchlässige Felder der Zonenblende, weiche keine beleuchtende Strahlung erhalten, werden nach dieser Darstellungsart von beiden Strichlierungen überkreuzt. Man überblickt so leicht, welcher Bruchteilimaginary magnetic lens fields and vice versa imaginary beam direction in the illumination aperture plane The image 1 of the zone diaphragm generated is shown in FIGS. 1 to 4 also, from the bottom right 5 dashed to the top left, drawn. Radiopaque fields of the zone diaphragm, don't give up any Illuminating radiation received, are crossed over by both lines according to this type of representation. It's so easy to see what fraction

Kondensorsystems) erreicht werden kann. Abbildungsfehler verschiedenster Art können bewirken,
daß zwar ein wesentlicher Teil der Strahlung auf die
Felder einer Strahlendurchlässigkeit fällt, daß aber
ein kleiner Teil der Strahlung auch die Felder der
anderen Strahlendurchlässigkeit beleuchtet. Nach der
Erfindung ist es ferner möglich, daß die Apertur von
Beleuchtungssystem und von abbildendem Objektiv
verschieden sind, so daß — z. B. bei kleinerer Beleuchtungsapertur — nur ein Teil der Felder gleicher io der ungestreüten Strahlung durch die freien Öffnun-Strahlendurchlässigkeit des Objektivs mit Strahlung gen der Zonenblende hindurchtritt. Dieser Bruchteil beaufschlagt wird. . ist nämlich gleich dem Quotienten aus demjenigen : Condenser system) can be achieved. Different types of imaging errors can cause
that although a substantial part of the radiation on the
Fields of a radiation permeability falls that but
a small part of the radiation also covers the fields of the
other radiolucency illuminated. After
Invention it is also possible that the aperture of
Lighting system and from imaging lens
are different so that - z. B. with a smaller illumination aperture - only a part of the fields of the same io of the unscattered radiation passes through the free opening radiation permeability of the lens with radiation gene of the zone diaphragm. This fraction is applied. . is namely equal to the quotient of the one :

Am einfachsten verständlich ist die Wirkungsweise Teil der freien Öffnungen der Beleuchtungsblcnde,The easiest way to understand how it works is part of the free openings in the lighting panels,

der Erfindung bei der Gruppe von Ausführungs- die auf freie Öffnungen des Bildes der Zonenblendeof the invention in the group of embodiments, those on free openings of the image of the zone diaphragm

formen, bei welcher die im Präparat nicht gestreuten 15 fallen, dividiert durch die gesamte Fläche der freienshapes in which the 15 not scattered in the specimen fall, divided by the total area of the free

Strahlen auf die strahlenundurchlässigen Felder der Öffnungen der Beleuchtungsblende. Fig. 1 zeigt eineRays on the radio-opaque fields of the openings of the illumination diaphragm. Fig. 1 shows a

Zonenblende fallen. In diesem Betriebszustand kön- als Ringblende ausgebildete Beleuchtungsblende, dieZone aperture fall. In this operating state, the illumination diaphragm, which is designed as an annular diaphragm, can

nen nur am Präparat gestreute Strahlen das Objektiv man wegen ihrer verhältnismäßig einfachen undIf rays are only scattered on the specimen, the objective can be seen because of their relatively simple and

durchsetzen, und man erhält eine Dunkelfeldabbil- technisch leicht herzustellenden Form in Verbindungenforce, and one obtains a dark field mapping which is technically easy to produce in connection

dung, die bekanntlich optimalen Kontrastbestimmun- 20 mit solchen Zonenblenden verwenden kann, beiapplication, which is known to be able to use optimal contrast determination 20 with such zone diaphragms

gen entspricht Diese Abbildung ist der bisher im denen auf der Linsenachse ein strahlendurehlässigesThis image is the one previously permeable to radiation in those on the lens axis

Elektronenmikroskop üblichen Dunkelfeldabbildung Feld liegt. Benutzt man eine Zonenblende mit einemElectron microscope usual dark field imaging field lies. If you use a zone stop with a

mit Verschwenkung des Kondensorsystems auch an strahlenundurchlässigen scheibenförmigen Zentralbe-with pivoting of the condenser system also on radiopaque, disc-shaped central

Lichtstärke sehr überlegen, da, entsprechend der gc- reich, so kann man· als Beleuchtungsblende eine ein-Light intensity is very superior, since, according to the gc- rich, one can use an

ringen Breite der als Ringzonen ausgebildeten hellen 25 fache runde Blende nach Fig. 2 verwenden. DieUse the width of the bright 25-fold round aperture according to FIG. 2, designed as ring zones. the

und dunklen Felder der Zonenblende, gestreute Fig. 3 bis 5 zeigen Mehrfeldblenden. Fig. 3 stelltand dark fields of the zone diaphragm, scattered FIGS. 3 to 5 show multi-field diaphragms. Fig. 3 represents

Strahlen im wesentlichen Maß zürn Bildaufbau bei- eine Beleuchtungsblende dar, deren Felder so ange^Rays essentially measure the image structure with an illumination diaphragm, the fields of which are so arranged

tragen, die unter geringem Streuwinkel abgelenkt ordnet sind, daß die beleuchtende Strahlung aufwear, which are deflected at a small scattering angle assigns that the illuminating radiation

werden. strahlendurchlässige Felder der Zonenblende (HeIl-will. radiolucent fields of the zone diaphragm (healing

Die Wirkungsweise im anderen Fall (Auffallen der 30 feldbeleuchtung) fallen (in den F i g. 1 und 2 war dieThe mode of action in the other case (detection of the field lighting) fall (in Figs. 1 and 2 was the

beleuchtenden, im Präparat nicht gestreuten Strahlen Ausblendung so vorgenommen worden, daß die be-illuminating rays not scattered in the specimen have been masked out in such a way that the

auf strahlendurchlässige der Zonenblende) wird ver- leuchtende Strahlung auf strahlenundurchlässigeon radiolucent of the zone diaphragm) illuminating radiation becomes radiolucent

ständlich, wenn man überlegt, daß bei der idealen Felder der Zonenblende fiel. Sie lassen sich durchOf course, if you consider that the zone diaphragm fell at the ideal fields. You let yourself through

Hellfeldabbildung der Bildkontrast durch die im Vertauschen der Strahlendurchlässigkeit der FelderBright field mapping of the image contrast by interchanging the radiation permeability of the fields

Präparat absorbierte oder gestreute Strahlung (die 35 der Beleuchtungsblendc aber auch auf Hellfeld-Specimen absorbed or scattered radiation (the 35 of the illumination diaphragm but also on brightfield

beim Aufbau des Bildpunktes fehlt) hervorgerufen " beleuchtung umstellen).when building up the image point is missing) caused "change lighting".

wird. Im Falle eines reinen Absorptionspräparates Wichtige spezielle Formen der Beleuchtungsblen-will. In the case of a pure absorption preparation, important special forms of the illumination panel

wird der Hellfeldkontrast bei Anwendung der er- den für Dunkelfeldabbildung, deren freie Felder ganzIf the bright field contrast is used for dark field imaging, the free fields of the earth are completely

findungsgemäßen Blendenanordnung unverändert auf diejenigen Bereiche der zur Objektiv-Zorien-according to the invention aperture arrangement unchanged on those areas of the objective Zorien-

bleiben. Es ist gleichgültig, ob er schon vor dem 4° blende konjugierten Kondensorebene fallen, die denremain. It does not matter whether the conjugate condenser plane falls before the 4 ° diaphragm, which the

Präparat (durch die Beleuchtungsblende) oder erst strahlenundurchlässigen Feldern der Zonenblende ent-Specimen (through the illumination diaphragm) or radiation-opaque fields of the zone diaphragm.

hinter dem Präparat (durch die strahlenundurchläs- sprechen. Dann gelangt überhaupt keine ungestreutebehind the specimen (through the radio-opaque speak. Then no unscattered

sigen Felder der Zonenblende) abgefangen wird. In Strahlung auf den Endbildschirm, und man erhältsigen fields of the zone diaphragm) is intercepted. In radiation on the end screen, and you get

beiden Fällen trägt dieser Strahlungsanteil zum Bild- ein reines Dunkelfeldbild. Zwei derartige BlendenIn both cases this radiation component contributes to the image - a pure dark field image. Two such screens

aufbau überhaupt nicht bei. Anders ist es aber, wenn 45 sind als Beispiel in den F i g. 4 und 5 dargestellt,build not at all. It is different, however, if 45 are shown as an example in FIGS. 4 and 5 shown,

die Strahlung im Objekt gestreut wird. Die dem F i g. 5. kann (für Dunkelfeldabbildung) als Gegen-the radiation is scattered in the object. The F i g. 5. can (for dark field imaging) as a counter-

Bildpunkt benachbarten (hellen) Bildelemente wer- stück zur F i g. 3 (für Hellfeldabbildung) aufgefaßt(Bright) image elements adjacent to the image point are shown in FIG. 3 (for brightfield imaging)

den, wie beim Absorptionspräparat, in ihrer Hellig- werden. Von den an sich bereits bekannten Ring-which, as with the absorption preparation, become bright in their lightness. Of the already known ring

keit — da keine Streuung auftritt — durch Anwen- blenden zur Erzeugung von Dunkelfeldabbildungenspeed - since no scattering occurs - by applying to the generation of dark-field images

dung der erfindungsgemäßen Beleuchtungsblende 50 unterscheidet sich die Beleuchtungsblende nachThe lighting diaphragm differs according to the embodiment of the illumination diaphragm 50 according to the invention

nicht beeinflußt. Hingegen wird bei Weglassen der Fig. 4 vorteilhaft dadurch, daß Durchmesser undunaffected. On the other hand, if Fig. 4 is omitted, it is advantageous that diameter and

Beleuchtungsblende der Kontrast zwischen Bildpunkt Breite des strahlendurchlässigen Ringes der Beleuch-Illumination diaphragm the contrast between the pixel width of the radiolucent ring of the

und (heller) Umgebung geändert. Denn die bei Weg- tungsblende auf die Abmessungen eines entsprechen-and (brighter) surroundings changed. Because the directional screen on the dimensions of a corresponding

nahme der Blende zusätzlich auf das, Präparat auf- den strahlenundurchlässigen Feldes einer Objektivtreffende (von der Zonenblende nach Durchtreten 55 Zonenblende abgestimmt sind. Die . Beleuchtungs-took the diaphragm additionally on the specimen on the radio-opaque field of an objective hitting the target (are matched by the zone diaphragm after stepping through 55 zone diaphragm. The.

durch das Präparat abgeblendete) Strahlung erzeugt blenden wird man vorzugsweise als ebene BlendenThe radiation generated by the specimen masked off is preferably used as a flat mask

zusätzliche Streustrahlung, von der ein Teil durch die strahlendurchlässigen Felder der Zonenblende des Objektivs hindurchtritt und den Kontrast vermindert. additional scattered radiation, part of which passes through the radiolucent fields of the zone diaphragm of the lens passes through and reduces the contrast.

Einige Beleuchtungsblendenformen sind in den Fig. 1 bis 4 dargestellt. In allen Abbildungen ist die Zonenplatte schematisch als System von durch Haltestege verbundenen Kreisringblcnden dargestellt,Some forms of illumination aperture are shown in FIGS. In all the pictures is that Zone plate shown schematically as a system of circular ring blinds connected by retaining bars,

und aus Metall herstellen. Freitragende Blendenfelder werden durch dünne Stege 2 gehalten, oder liegen auf dünnen korpuskularstrahlendurchlässigen 60 Folien. Wenn man die' Beleuchtungsblenden aus technischen Gründen besser aus nichtleitendem Material herstellt, kann man durch Aufdampfen einer Metall- oder KohlenstolTschicht dafür sorgen, daß die auf die Blende trelTende Ladung der Korpusand manufacture from metal. Cantilever panels are held by thin webs 2, or lie on thin film that is transparent to corpuscular radiation. When you turn off the 'lighting panels For technical reasons, it is better to make a non-conductive material using vapor deposition A layer of metal or carbon ensures that the charge that hits the panel is absorbed by the body

weiche diagonal von links unten nach rechts oben 65 kularstrahlen abgeleitet wird. L-s ist auch vorteilhaft, strichliert gezeichnet sind. Das von den zwischen die Beleuchtungsblende durch an sich bekannte Belcuchtungsblende und Zonenblende liegenden Maßnahmen gegen das Aufwachsen einer Vcrschnuitkorpuskularoptisch brechenden Feldern bei umgepolt zungsschicht zu schützen, die durch das CVacken dersoft diagonally from lower left to upper right 65 spherical rays is derived. L-s is also beneficial are drawn in dashed lines. That known from the between the lighting panel by per se Illumination diaphragm and zone diaphragm lying measures against the growth of a Vcrschnuitkorpuskularoptisch to protect refractive fields in the event of a polarity reversal layer caused by the cacking of the

aus dem Restgas des Mikroskoprohrs oberflächlich absorbierten Kohlcnwasserstoffmoieküle entsteht. Zum Verhindern der. Verschmutzung kann man beispielsweise' die Belcuchtungsblendc mit gekühlten Flächen umgeben oder sie (z. B. durch StromdurchT gang) erhitzen. ; . ·from the residual gas of the microscope tube superficially absorbed hydrocarbon molecules arise. To prevent the. Pollution can be, for example, 'the Belcuchtungsblendc with cooled surfaces surrounded or (z. B. gear by current T) heat. ; . ·

Es ist nicht erforderlich, daß die Bcleuchtungsblendeeinc materielle Blende ist. Es kann auch eine entsprechend geformte, in einer anderen Ebene des Mikroskops liegende Blende von einem korpuskularoptisch brechenden Abbildungssystem in die zur Objektiv-Zoncnblendc korpuskularoptisch konjugierten Ebene des Koridensorsystems abgebildet werden. Eine derartig erzeugte, nicht materielle Bcleuchtungsblende muß beispielsweise in solchen Fällen benutzt werden, wenn die Zoncnblendc noch im Linsenfeld eines magnetischen Objektivs angeordnet ist und die Brechkraft des vor der Zoncnblcnde liegenden Teiles des Linscnfeides zum Abbilden eines vor dem Objektiv liegenden Gegenstandes in die Ebene der Zoncnblendc nicht ausreicht. In diesem !"alle liegt nämlich die zur Zonenblendc konjugierte Beleuchlungsblendenebene hinter dem Objektiv, so daß die Beleuchtungsblendc virtuell ist und nur durch eine nicht materielle Blende dargestellt werden kann.It is not necessary that the lighting screen etc. material aperture is. It can also be a suitably shaped, in a different plane of the Microscope-lying diaphragm from a corpuscular-optical refractive imaging system into the for Objective-Zoncnblendc corpuscular-optical conjugate plane of the coridensor system are mapped. A non-material lighting screen produced in this way must, for example, in such cases can be used when the Zoncnblendc is still arranged in the lens field of a magnetic lens and the refractive power of the part of the lens in front of the zonal aperture for imaging a object lying in front of the objective in the plane of the zone blend is not sufficient. In this ! "all namely the lighting diaphragm plane conjugated to the zone diaphragm lies behind the lens, see above that the lighting screen is virtual and can only be represented by a non-material screen.

Das Verwenden einer nicht materiellen Beleuchtungsblende ist auch dann vorteilhaft, wenn sich eine materielle Blende in einer vor dem Objektiv liegenden und zur Objektiv-Zoncnblendc konjugierten BeleuchUingsblcndcnebenc aus mechanischen Gründen schlecht anbringen läßt.. In solchen Fällen ist die Herstellung einer Anordnung zur Kontraststeigerung bei der Abbildung durch Objektive und Zonenblcndon auch dadurch möglich, daß die nach den oben behandelten Grundsätzen beschaffene Belcuchtungsblendti nicht genau in der zur Objektiv-Zoncnblende konjugierten Ebene des Kondensorsystems angebracht wird, sondern in einer gewissen,. nicht zu großen Entfernung von dieser. Wegen der kleinen Apertur der im Korpuskularmikroskop benutzten Strahlenbündel entsteht dann in der zur Zoncnblcnde konjugierten Ebene ein Schattenprojektionsbild der ■materiellen Beleuchtungsblende, das dann die der Zonenblendc konjugierte nicht materielle Bcleuchtungsblende darstellt. Liegt in diesem Fall die materielle Beleuchtungsblende vor der zur Objektiv-Zonenblcnde konjugierten Ebene des Kondensors, so ist das . Schattenprojektionsbild reell, liegt sie dahinter, so entsteht ein virtuelles Schattenprojektionsbild. .Using a non-material lighting screen is also advantageous if there is a material aperture in a front of the lens and lighting blends conjugated to the objective zone blend for mechanical reasons it is difficult to attach .. In such cases the Manufacture of an arrangement for increasing the contrast in the imaging by means of objectives and zone blcndon also possible because the lighting blends created according to the principles discussed above not positioned exactly in the plane of the condenser system conjugated to the objective zone diaphragm will, but in a certain way. not too great a distance from this one. Because of the little ones The aperture of the bundle of rays used in the corpuscular microscope then arises in the area facing the zone conjugate plane a shadow projection image of the ■ material illumination screen, which is then that of the Zone masking conjugated non-material illumination mask represents. In this case, is the material illumination diaphragm in front of the objective zone diaphragm conjugate plane of the condenser, so it is. Real shadow projection image, is it behind it, this creates a virtual shadow projection image. .

Die erzielte Verstärkung des Kontrastes hängt,The gain in contrast achieved depends on

. abgesehen von den Eigenschaften des Präparates, vor allem davon ab, wie sich der ungestreute Korpuskularstrahl auf die Felder der Zonenblende verteilt und diese 'somit passieren kann. Es ist daher besonders vorteilhaft, auf einem an sich bekannten juslierbaren Blendenträger mehrere Beleuchtungsblenden verschiedener Abmessungen so anzubringen, daß die Blenden während des Betriebes des Korpuskularstrahlenmikroskops gegeneinander austauschbar sind und man sich jeweils für die untersuchte Präparat-Stelle eine zur Kontraststeigerung besonders gut' angepaßte Blende auswählen und. auf die Mikroskop-. apart from the properties of the preparation, above all it depends on how the unscattered corpuscular beam is distributed to the fields of the zone diaphragm and this' can thus pass. It is therefore special advantageous, several lighting screens on a known juslierbaren screen carrier different dimensions to be attached so that the diaphragms during operation of the corpuscular beam microscope are interchangeable and you choose the examined preparation site select an aperture that is particularly well adapted to increase the contrast and. on the microscope

achse justieren kann. ^ ■■-■:.. can adjust the axis. ^ ■■ - ■: ..

Fig. 6 zeigt als Beispiel die Anordnung einer Be-Icuchtungsblende in einem zweistufigen elektromagnetischen Elektronenmikroskop mit einstufigem Kondensor 3, das mittels einer hinter dem Objektiv 4 liegenden Zonenblende 5 zum Korrigieren des ÖfTnungsfehlers versehen ist. Das Präparat 6 liegt am Anfang des Linsenfeldes 7. Die Beleuchtungsblende 8 ist dicht hinter der Kondensorlinse 3 angeordnet und kann in an sich bekannter Weise mit Verstelltrieben 9 (nur einer der Verstell triebe ist angedeutet) kreuztischartig zur optischen Achse des Mikroskops justiert werden. Die hinter dem Objektiv liegende Zonenblendc 5 kann mit entsprechenden Verstelltriebcn 10 ebenfalls kreuztischartig justiert werden.6 shows the arrangement of an illumination diaphragm as an example in a two-stage electromagnetic electron microscope with a single-stage condenser 3, by means of a zone diaphragm 5 located behind the lens 4 for correcting the opening error is provided. The preparation 6 lies at the beginning of the lens field 7. The illumination diaphragm 8 is arranged closely behind the condenser lens 3 and can in a manner known per se with adjusting drives 9 (only one of the adjustment drives is indicated) like a cross table adjusted to the optical axis of the microscope. The one behind the lens Zone Blendc 5 can with appropriate Verstelltriebcn 10 can also be adjusted like a cross table.

Von der Kathode 11 ausgehende ungestreute Strahlen sind gestrichelt, im Präparat gestreute punktiert gezeichnet. Die Verschraubung der Strahlen im Magnetfeld der Linse wurde in der Abbildung nicht berücksichtigt, so daß die Elektrobahncn in bekannter Weise in dem sogenannten mitgedrehten Koordinatensystem gezeichnet sind. Das vom Objektiv 4 erzeugte einstufig vergrößerte Bild wird von der Projcktivlinse 12 stark vergrößert auf den Endbildschirm 13 oder eine Photoplatte.übertragen. . .: ■' ' ' ' ·Unscattered rays emanating from the cathode 11 are shown with dashed lines, and those that are scattered in the preparation are shown with dotted lines. The screwing of the rays in the magnetic field the lens was not taken into account in the figure, so that the Elektrobahncn in a known manner are drawn in the so-called co-rotated coordinate system. The one generated by the lens 4 in one stage enlarged image is greatly enlarged by the projection lens 12 on the final screen 13 or a Photo plate transferred. . .: ■ '' '' ·

Hierzu 2 Blatt ZeichnungenFor this purpose 2 sheets of drawings

Claims (1)

' - ι ■ ■' ■ ..·■ .; 2 '- ι ■ ■' ■ .. · ■ .; 2 ■ und 3 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß kor- ■ and 3 to 13, characterized in that cor- Patentansprüche: puskularoptisch brechende Linsen vorhandenClaims: puscular optic refractive lenses available sind, die in der zur Objektiv-Zonenplatte korpus-that are in the body of the lens zone plate 1. Einrichtung zur abbildungskontraststeigern- kularoptisch konjugierten Ebene ein korpusden Beleuchtung eines Präparates, das durch ein 5 kularoptisches Bild der Beleuchtungsblende er-Korpuskularstrahlmikroskop mit einem mittels zeugen.1. Device for imaging contrast-increasing nuclear optical conjugate plane a corpusden Illumination of a specimen, which is corpuscular beam microscope through a 5 kularoptical image of the illumination diaphragm with a means of witnessing. Zonenblende gegen Öffnungsfehler korrigierten 15. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1Zone diaphragm corrected against opening errors 15. Device according to one of Claims 1 Korpuskularstrahlobjektiv abgebildet wird, be- und 3 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß dieCorpuscular beam lens is imaged, loading and 3 to 12, characterized in that the stehend aus einer dem Kondensator zugeordneten Beleuchtungsblende vor oder hinter der zurstanding from an illumination panel assigned to the condenser in front of or behind the for .und vor dem Präparat angebrachten Beleuch- io Objektiv-Zonenblende korpuskularoptisch kontungsblende, dadurch gekennzeichnet, jugierten Ebene angebracht ist und in dieser.and lighting attached in front of the specimen. characterized in that jugged level is attached and in this daß die strahlenabschattenden Felder der Be- Ebene ein Korpuskularstrahl-Schattenbild dieserthat the radiation-shading fields of the loading plane form a corpuscular ray shadow image of this leuchtungsblende das auf das Präparat auffal- Blende erzeugt wird,luminous aperture that is generated on the specimen, lende Korpuskularstrahlenbündel so begrenzen,
daß die im Präparat nicht gestreuten Korpus- 15
kularstrahlen zu einem wesentlichen Teil oderdelimit the lumbar corpuscular rays so that
that the corpus 15
kularrays to a substantial part or zur Gänze auf Felder gleicher Strahlendurch- ~< entirely on fields of equal ray diameters- ~ < lässigkeit der Zonenblende fallen.of the zone diaphragm. 2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungsblende in der 20 . Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur abzur Objektiv-Zonenblende korpuskularoptisch bildungskontraststeigernden Beleuchtung eines Präkonjugierten Ebene des Kondensors angebracht parates, das durch ein Korpuskularstrahlmikroskop ist. mit einem mittels Zonenblende gegen Öffnungsfehler2. Device according to claim 1, characterized in that the illumination diaphragm in the 20th The invention relates to a device for abzur Objective zone diaphragm illuminating a pre-conjugate with a corpuscular-optical educational contrast-increasing illumination Plane of the condenser attached parates, which is viewed through a particle beam microscope is. with a zone diaphragm against opening errors 3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, da- korrigierten Korpuskularstrahlobjektiv abgebildet durch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungs- 25 wird, bestehend aus einer dem Kondensator zugeordblende als eine Ringblende ausgebildet ist. neten und vor dem Präparat angebrachten Beleuch-3. Device according to claim 1 or 2, shown corrected corpuscular beam lens characterized in that the lighting 25 consists of a diaphragm associated with the capacitor is designed as an annular diaphragm. and lighting fixtures placed in front of the specimen 4; Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, da- tungsblende. Sie bezweckt die Erhöhung des Kondurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungs- trastes bei der Abbildung sehr kleiner Präparateinzelblende als runde Blende ausgebildet ist. heiten durch solche, an sich bekannte Objektivlinsen,4; Device according to claim 1 or 2, data screen. Its purpose is to exalt the condurch characterized in that the illumination trastes when imaging very small individual specimen diaphragms is designed as a round aperture. through such well-known objective lenses, 5. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, da- 30 deren Öffnungsfehler durch eine Zonenplatte nach durch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungs- Hoppe (Optik 20 [1963], 599 bis 606) wenigstens blende als System mehrerer Ringblenden aus- teilweise korrigiert ist. Die Erhöhung des Kontrastes gebildet ist. ist dabei vor allem für solche Präparateinzelheiten5. Device according to claim 1 or 2, according to which the opening errors are caused by a zone plate characterized in that the lighting Hoppe (optics 20 [1963], 599 to 606) at least fade out as a system of several ring apertures - partially corrected. Increasing the contrast is formed. is mainly used for such preparation details 6. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 von Bedeutung, deren Durchmesser etwa gleich dem bis 3 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß frei 35 durch geometrisch-optische oder wellenoptische Abtragende Blendenfelder durch dünne Haltestege bildungsfehler des Korpuskularobjektivs bestimmten getragen werden. Grenzauflösungsvermögen ist.6. Device according to one of claims 1 of importance, the diameter of which is approximately equal to that to 3 and 5, characterized in that free 35 by geometrical-optical or wave-optical abrasive ends Aperture fields determined by thin retaining webs educational errors of the corpuscular lens be worn. Limit resolving power is. 7. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 Zur Lösung der gestellten Aufgabe ist erfinbis 3 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß die dungsgemäß vorgesehen, daß die strahlenabschatfrei tragenden Blendenfelder auf dünnen, für 40 tenden Felder der Beleuchtungsblende das auf das Korpuskularstrahlen gut durchlässigen Folien Präparat auffallende Korpuskularstrahlenbündel so liegen. begrenzen, daß die im Präparat nicht gestreu-7. Device according to one of claims 1 to solve the problem is invented 3 and 5, characterized in that the duly provided that the strahlenabschatfrei supporting aperture fields on thin, for 40 tend fields of the illumination aperture that on the Corpuscular rays well permeable foils, preparation of striking corpuscular rays so lie. limit that the 8. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, da- ten Korpuskularstrahlen zu einem wesentlichen durch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungs- Teil oder zur Gänze auf Felder gleicher Strahlenblende aus Metall hergestellt ist. . 45 durchlässigkeit der Zonenblende fallen. Die Zo-8. Device according to claim 1 or 2, data corpuscular rays to a substantial characterized in that the lighting part or entirely on fields of the same beam diaphragm is made of metal. . 45 permeability of the zone diaphragm. The zo- 9. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 nenblende enthält zwei Arten von Feldern: Felder bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuch- mit der Strahlendurchlässigkeit Null (strahlentungsblende ganz oder teilweise aus nichtleiten- undurchlässige Felder, dunkle Felder) und Felder mit dem Material hergestellt ist, das mit einer leiten- voller Strahlendurchlässigkeit (strahlendurchlässige den Oberfläche versehen ist. 5° Felder, helle Felder). Die Beleuchtungsblende blen-9. Device according to one of claims 1 nenblende contains two types of fields: fields to 7, characterized in that the lighting with the radiation permeability zero (radiation diaphragm completely or partially made up of non-conductive fields, dark fields) and fields with the material is made with a conductive radiation permeability (radiolucent the surface is provided. 5 ° fields, light fields). The lighting panel blind 10. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 det daher entweder die beleuchtenden (nicht gebis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuch- streuten) Strahlen ab, die auf strahlendurchlässige tungsblende mittels Stromdurchgang erhitzt wer- Felder der Zonenblende fallen, oder die beleuchtenden kann, den (nicht gestreuten) Strahlen, die auf strahlen-10. Device according to one of claims 1 det therefore either the illuminating (not bis 8, characterized in that the illuminating (scattered) rays that are radiolucent The aperture diaphragm is heated by means of the passage of electricity can, the (unscattered) rays that radiate on .11. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 55 undurchlässige Felder der Zonenblende fallen. Bei.11. Device according to one of Claims 1 to 55, impermeable fields of the zone diaphragm fall. at bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Blende beiden Anwendungsarten wird eine Kontraststeige-to 10, characterized in that the aperture for both types of application is a contrast increase von gekühlten Flächen umgeben ist. ' rung der Abbildung erzielt, wobei in der ersten An-is surrounded by cooled surfaces. 'tion of the figure is achieved, whereby in the first 12. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 Ordnung eine Dunkelfeld-, in der zweiten Anordnung bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere eine Hellfeldabbildung erreicht wird. Die Kontrast-Beleuchtungsblenden auf einem ,gemeinsamen So steigerung ist in beiden Fällen dann am größten, Träger angebracht sind und ohne Unterbrechen wenn die Strahlung zur Gänze auf Felder der gleichen des Vakuums gegeneinander ausgetauscht werden Strahlendurchlässigkeit fällt. Aus konstruktiven können. , Gründen läßt sich dieser Zustand nicht immer er-12. Device according to one of claims 1 order a dark field, in the second arrangement to 11, characterized in that several brightfield imaging is achieved. The contrast lighting panels on a common so increase is then greatest in both cases, Carriers are attached and without interruption when the radiation is entirely on fields of the same of the vacuum are exchanged for each other, radiation permeability drops. From constructive be able. , This condition cannot always be avoided for reasons 13. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 reichen. Denn Voraussetzung für die erfindungsbis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Be- 65 gemäße Bestrahlung der Zonenblende ist eine Ableuchtungsblenden krcuztischartig verstellt wer- bildung des Musters der Beleuchtungsblende auf. der den können. Zonenblende, die mit verschiedenen Hilfsmitteln13. Device according to one of claims 1 range. Because prerequisite for the erfindungsbis 12, characterized in that the exposure 65 of the zone diaphragm is an illumination diaphragm The pattern of the illumination diaphragm is adjusted in a circular manner. the the can. Zone diaphragm made with various aids 14. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 (Schattenwurf, Abbildung durch die Linsen des14. Device according to one of claims 1 (shadow, image through the lenses of the
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