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Facettenspiegel für eine projektionsbelichtungsanlage und projektionsbelichtungsanlage mit entsprechendem facettenspiegel sowie verfahren zum betrieb derselben
System zum ausgleichen einer durch thermische belastung einhergehende abmessungsänderung an einer stellarmatur, stellungsregelungssystem, verfahren zum ausgleichen einer durch thermische belastung einhergehende abmessungsänderung an einer stellarmatur und stellarmatur