DE1280988B - Mechanical flexural oscillator - Google Patents

Mechanical flexural oscillator

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DE1280988B
DE1280988B DE1963S0085316 DES0085316A DE1280988B DE 1280988 B DE1280988 B DE 1280988B DE 1963S0085316 DE1963S0085316 DE 1963S0085316 DE S0085316 A DES0085316 A DE S0085316A DE 1280988 B DE1280988 B DE 1280988B
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mechanical
flexural oscillator
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Josef Adamietz
Dr-Ing Dietwalt Thierbach
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Siemens AG
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Siemens AG
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    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/15Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
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Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLANDFEDERAL REPUBLIC OF GERMANY

DEUTSCHESGERMAN

PATENTAMTPATENT OFFICE

AUSLEGESCHRIFTEDITORIAL

Int. α.:Int. α .:

H03hH03h

Deutsche Kl.: 21 a4 -10German class: 21 a4 -10

Nummer: 1280988 Number: 1280988

Aktenzeichen: P 12 80 988.0-35 (S 85316)File number: P 12 80 988.0-35 (S 85316)

Anmeldetag: 21. Mai 1963 Filing date: May 21, 1963

Auslegetag: 24. Oktober 1968Opening day: October 24, 1968

Mechanischer BiegeschwingerMechanical flexural oscillator

Die Erfindung betrifft einen mechanischen Biegeschwinger, der durch Plättchen aus elektrostriktivem Material zu einem Wandler für den Übergang von elektrischen Schwingungen auf mechanische Biegeschwingungen und umgekehrt ausgebildet und vorzugsweise als Wandler eines mehrteiligen elektromechanischen Filters vorgesehen ist, und bei dem Plättchen aus elektrostriktivem Material vorwiegend innerhalb des durch zwei benachbarte Schwingungsknoten begrenzten Bereiches im Zuge des Biegeschwingers angeordnet sind.The invention relates to a mechanical flexural oscillator, which by platelets made of electrostrictive Material for a transducer for the transition from electrical vibrations to mechanical flexural vibrations and vice versa and preferably designed as a converter of a multi-part electromechanical Filter is provided, and in the case of the plate made of electrostrictive material predominantly within the area delimited by two neighboring vibration nodes in the course of the flexural vibrator are arranged.

Es ist durch die österreichische Patentschrift 224 163 unter anderem bereits ein Biegeschwinger bekanntgeworden, der als Doppelplatten-Biegekristall ausgebildet ist und der im wesentlichen aus einem Einkristall aus Zinkoxyd besteht, wobei an zwei Flächen des Kristalls Anregungselektroden vorgesehen sind. Für diese Anordnung ist es jedoch wesentlich, daß der gesamte Biegeschwinger aus einem elektrostriktiven Material besteht.According to the Austrian patent specification 224 163, it is already a flexural transducer, among other things become known, which is designed as a double-plate bending crystal and which consists essentially of a Single crystal consists of zinc oxide, with excitation electrodes being provided on two surfaces of the crystal are. For this arrangement, however, it is essential that the entire flexural oscillator from one electrostrictive material.

Ferner ist eine stimmgabelförmige Anordnung bekannt, bei der die Schwingungsanregung durch im Stimmgabelfuß angeordnete elektrostriktiv aktive Elemente erfolgt. Für die einwandfreie Funktion dieser Anordnung ist es jedoch zwingend erforderlich, ein als Stimmgabel ausgebildetes schwingendes Element zu verwenden.Furthermore, a tuning fork-shaped arrangement is known in which the vibration excitation by im Tuning fork foot arranged electrostrictively active elements takes place. For the perfect function In this arrangement, however, it is imperative to use an oscillating one designed as a tuning fork Element to use.

Weiterhin ist bereits ein mechanischer Biegeschwinger vorgeschlagen worden, der durch Plättchen aus elektrostritivem Material zu einem Wandler für den Übergang von elektrischen Schwingungen auf mechanische Biegeschwingungen und umgekehrt ausgebildet und vorzugsweise als Wandler eines mehrteiligen elektromechanischen Filters vorgesehen ist und für den es wesentlich ist, daß wenigstens je ein Plättchen mit zumindest näherungsweise senkrecht zur Längsachse des Biegeschwingers orientierter Plättchenebene und vorzugsweise innerhalb des durch zwei benachbarte Schwingungsknoten begrenzten Bereiches zu beiden Seiten der neutralen Faser des Biegeschwingers angeordnet ist, und daß diese vorzugsweise in einer Querschnittsebene des Biegungsschwingers liegenden Plättchen in einer zur Plättchenebene senkrechten Richtung entgegengesetzt polarisiert sind. Bei diesem älteren Vorschlag wird davon ausgegangen, beispielsweise bei stabförmigen Biegeschwingern Biegeschwingungen durch Ausnutzung des sogenannten longitudinalen Piezoeffektes anzuregen, wozu wenigstens zwei Plättchen elektrostriktiven Materials unmittelbar im Zuge eines Biegeschwingers angeordnet sind und die Schwingungsanregung in der Weise erfolgt, daß das eine Plätt- Anmelder:Furthermore, a mechanical flexural oscillator has already been proposed, which by platelets made of electro-sensitive material to a transducer for the transition of electrical vibrations on mechanical flexural vibrations and vice versa and preferably designed as a converter multi-part electromechanical filter is provided and for which it is essential that at least each a plate with at least approximately perpendicular to the longitudinal axis of the flexural oscillator Platelet level and preferably within that bounded by two neighboring nodes of vibration Area is arranged on both sides of the neutral fiber of the flexural oscillator, and that this preferably lying in a cross-sectional plane of the flexural oscillator platelets in a to Platelet plane perpendicular direction are polarized in opposite directions. With this older proposal, assumed, for example, in the case of rod-shaped flexural oscillators, flexural oscillations due to utilization to stimulate the so-called longitudinal piezo effect, including at least two electrostrictive plates Material are arranged directly in the course of a flexural oscillator and the vibration excitation takes place in such a way that the one plate Applicant:

Siemens Aktiengesellschaft, Berlin und München, 8000 München 2, Witteisbacherplatz 2Siemens Aktiengesellschaft, Berlin and Munich, 8000 Munich 2, Witteisbacherplatz 2

Als Erfinder benannt:Named as inventor:

Dr.-Ing. Dietwalt Thierbach, 8000 München;Dr.-Ing. Dietwalt Thierbach, 8000 Munich;

Josef Adamietz, 8131 TraubingJosef Adamietz, 8131 Traubing

chen einer Dehnung unterworfen wird, während sich das andere Plättchen gleichzeitig verkürzt. Wie sich zeigt, werden derartige Biegeschwinger dann gegenüber mechanischer Erschütterung verhältnismäßig empfindlich, wenn die in Schwingungsrichtung liegende Abmessung beispielsweise auf Grund der geforderten Eigenresonanzfrequenz verhältnismäßig klein wird; darüber hinaus erschwert diese Forderung wegen der verhältnismäßig geringen noch zur Verfügung stehenden Lötfläche auch die Herstellung solcher Biegeschwinger.Chen is subjected to stretching, while the other plate is shortened at the same time. How yourself shows, such flexural vibrators are then relative to mechanical vibration sensitive if the dimension lying in the direction of oscillation, for example due to the required natural resonance frequency is relatively small; it also complicates this requirement because of the relatively small soldering area still available, so is the manufacture such flexural oscillator.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den vorerwähnten Schwierigkeiten in verhältnismäßig einfacher Weise zu begegnen und Biegeschwinger mit verhältnismäßig großer mechanischer Stabilität zu schaffen.The invention is based on the problem of the aforementioned difficulties in proportion easy way to counter and flexural oscillators with relatively high mechanical stability create.

Ausgehend von einem mechanischen Biegeschwinger, der durch Plättchen aus elektrostriktivem Material zu einem Wandler für den Übergang von elektrischen Schwingungen auf mechanische Biegeschwingungen und umgekehrt ausgebildet und vorzugsweise als Wandler eines mehrteiligen elektromechanischen Filters vorgesehen ist, und bei dem Plättchen aus elektrostriktivem Material vorwiegend innerhalb des durch zwei benachbarte Schwingungsknoten begrenzten Bereiches im Zuge des Biegeschwingers angeordnet sind, wird diese Aufgabe gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß im Biegeschwinger ein Schlitz vorgesehen ist, der sich von der äußeren Begrenzung bis etwa in den Bereich der hinsichtlich Biegeschwingungen auftretenden neutralen Faser erstreckt, daß in diesen Schlitz wenigstens ein mit Anregungselektroden versehenes Plättchen elektrostriktiven Materials eingebracht ist, das in an sich bekannter Weise mit einer senkrecht zu den Anregungselektroden verlaufenden Vorpolarisation versehen ist, und daß wenigstens zwischen einer der Anregungselektroden und dem Biegeschwinger eine elektrisch isolierende Zwischenschicht liegt.Based on a mechanical flexural oscillator, which is made by electrostrictive plates Material for a transducer for the transition from electrical vibrations to mechanical flexural vibrations and vice versa and preferably designed as a converter of a multi-part electromechanical Filter is provided, and in the case of the plate made of electrostrictive material predominantly within the area delimited by two neighboring vibration nodes in the course of the flexural vibrator are arranged, this object is achieved according to the invention in that in the flexural oscillator a slot is provided which extends from the outer limit to approximately in the area of the with respect to bending vibrations occurring neutral fiber that extends into this slot at least a plate provided with excitation electrodes of electrostrictive material is introduced, which in a manner known per se with a pre-polarization running perpendicular to the excitation electrodes is provided, and that at least between one of the excitation electrodes and the flexural oscillator an electrically insulating intermediate layer lies.

Nachstehend wird die Erfindung an Hand von Ausführungsbeispielen näher erläutert.The invention is explained in more detail below on the basis of exemplary embodiments.

809 628/1374809 628/1374

3 43 4

Die Fig. 1 zeigt einen mechanischen Biege- fahren stehen dann die Plättchen 6 und 10 wegen der schwinger, der aus einem durchgehenden Stahlteil 5 bei der Abkühlung des Stahlteils 5 auftretenden besteht, das mit einem Schlitz 7 versehen ist. Im Längenverkürzung unter einer mechanischen Vor-Schlitz 7 ist ein Plättchen 6 aus einer elektrostrik- spannung, die zweckmäßig so gewählt ist, daß eine tiven Keramik (wie z. B. Bleizirkonat) eingebracht. 5 innige Verbindung der Plättchen 6 und 10 mit dem Das elektrostriktive Plättchen 6 ist auf den dem Stahlteil zustande kommt.Fig. 1 shows a mechanical bending process then the platelets 6 and 10 because of the Schwinger, which occurs from a continuous steel part 5 when the steel part 5 cools consists, which is provided with a slot 7. Shortened in length under a mechanical pre-slit 7 is a plate 6 from an electrostric voltage, which is expediently chosen so that a tive ceramic (such as lead zirconate). 5 intimate connection of the platelets 6 and 10 with the The electrostrictive plate 6 is on which the steel part comes about.

Stahlteil zugekehrten Seiten mit metallischen Schich- In den Fig. 3 und 4 sind AusführungsbeispieleSteel part facing sides with metallic layers In Figs. 3 and 4 are exemplary embodiments

ten 8 und 9, vorzugsweise Silberschichten versehen, dargestellt, bei denen zur Trennung der Anregungsdie beispielsweise durch Aufdampfen im Vakuum elektroden nicht ein elektrostriktiv inaktives, sondern auf das Keramikplättchen aufgebracht sind. Zwi- io ein elektrostriktiv aktives Material verwendet ist. sehen der Silberschicht 9 und dem Stahlteil 5 liegt Der Schwinger gemäß der Fig. 3 besteht austh 8 and 9, preferably provided with silver layers, in which the excitation die For example, by vapor deposition in a vacuum, electrodes are not electrostrictively inactive, but rather are applied to the ceramic plate. Between an electrostrictively active material is used. see the silver layer 9 and the steel part 5 is located. The transducer according to FIG. 3 consists of

ein Plättchen 10 aus einem elektrisch nicht leitenden einem durchgehenden Stahlteil 5, in das ein Schlitz 7 Material, das im Ausführungsbeispiel aus Quarzglas eingefräst ist. In den Schwingungsknoten 11 und 12 besteht. In den Schwingungsknoten 11 und 12 sind sind wiederum Drähte befestigt, die der Halterung metallische Drähte 14 und 15 befestigt, die der Kopp- 15 des Schwingers in einem Gehäuse dienen. Zur besselung mit weiteren Biegeschwingern eines mehrteiligen seren Übersicht sind diese Drähte sowie das GeFilters oder der Verankerung des Schwingers in häuse in der Zeichnung nicht dargestellt. Im Schlitz 7 einem nicht näher dargestellten Gehäuse dienen. Auf sind zwei durch eine Silberschicht 28 getrennte die Silberschicht^ ist ein Zuführungsdraht 16 aufge- Plättchen 20 und 21 aus einem elektrostriktiven Malötet, der zu einer Anschlußklemme 1 führt. Im ao terial eingelötet. Mit der Silberschicht 28 ist ein Zu-Schwingungsknoten 12 ist ein weiterer Zuführungs- führungsdraht 31 verbunden, der zu einer Klemme 1 draht 17 befestigt, der zu einer Anschlußklemme 3 führt. Im Schwingungsknoten 12 ist am Stahlteil ein führt. Um die Güte des Schwingers nicht nachteilig zu einer Anschlußklemme 3 führender Zuführungszu beeinflussen, werden die Zuführungsdrähte 16 draht 30 befestigt. Die Polarisation des Plättchens und 17 vorteilhafterweise aus einem möglichst leich- 35 20 ist zu der des Plättchens 21 entgegengesetzt geten und flexiblen Material gebildet. Durch die strich- richtet, wie es durch die Pfeile 24 und 25 angedeutet punktierte Linie 13 ist noch die sogenannte neutrale ist. Wird an die Klemmen 1 und 3 eine Wechsel-Faser des Schwingers angedeutet, worunter diejenige spannung U angelegt, dann dehnen sich beispiels-Ebene zu verstehen ist, in der die bei der Schwingung weise in der positiven Halbwelle beide Plättchen 20 auftretenden Zug- und Druckkräfte ihr Vorzeichen 30 und 21 unter dem Einfluß des elektrischen Feldes umkehren. aus, während sie sich in der negativen Halbwelle zu-a plate 10 made of an electrically non-conductive one continuous steel part 5, in which a slot 7 is made of material which is milled from quartz glass in the exemplary embodiment. In the oscillation nodes 11 and 12 there is. In the oscillation nodes 11 and 12, wires are in turn fastened, which fasten metallic wires 14 and 15 to the holder, which are used for coupling 15 of the oscillator in a housing. These wires and the GeFilters or the anchoring of the oscillator in the housing are not shown in the drawing for the purpose of tying up with further flexural transducers of a multi-part seren overview. In the slot 7 a housing, not shown in detail, is used. On two are separated by a silver layer 28 the silver layer ^ is a lead wire 16 on plates 20 and 21 made of an electrostrictive solder, which leads to a terminal 1. Soldered in ao terial. A further supply guide wire 31 is connected to the silver layer 28 and is attached to a terminal 1 wire 17 which leads to a connection terminal 3. In the vibration node 12 is a leads on the steel part. In order not to adversely affect the quality of the oscillator to a terminal 3 leading lead, the lead wires 16 wire 30 are attached. The polarization of the platelets 16 and 17 is advantageously formed from a material that is as light as possible and is opposite to that of the platelet 21 and is flexible. Through the dashed line 13, as indicated by the arrows 24 and 25, the dotted line 13 is still what is known as the neutral one. If an interchangeable fiber of the oscillator is indicated at the terminals 1 and 3, under which the voltage U is applied, then stretching is to be understood as an example plane in which the tensile and compressive forces occurring during the oscillation in the positive half-wave of both platelets 20 reverse their sign 30 and 21 under the influence of the electric field. while they increase in the negative half-wave

In der Fig.2 ist eine Ansicht in Längsrichtung sammenziehen, wodurch der Schwinger zu Biegedes in der Fig. 1 dargestellten Schwingers gezeich- schwingungen angeregt wird, net, und zwar für den Fall, daß an die Klemmen 1 Das Ausführungsbeispiel gemäß der Fig. 4 istIn Fig.2 is a view in the longitudinal direction pull together, causing the oscillator to bend it vibrations shown in FIG. 1 are excited, net, in the event that the terminals 1 The embodiment according to FIG. 4 is

und 3 eine Wechselspannung U angelegt ist. Durch 35 eine Weiterbildung des in der F i g. 3 dargestellten den Pfeil 18 ist eine dem elektrostriktiven Plättchen Schwingers in der Weise, daß der Schwinger außer aufgeprägte Polarisation angedeutet, die beispiels- dem durch die Keramikplättchen 20 und 21 gebilweise in der positiven Halbwelle der elektrischen deten Anregungssystem noch mit einem weiteren Wechselspannung mit der elektrischen Feldrichtung elektrostriktiv aktiven System versehen ist. Dieses übereinstimmt, in der negativen Halbwelle der elek- 40 besteht aus den Keramikplättchen 22 und 23, die in irischen Wechselspannung entgegengesetzt zur Feld- einen weiteren, im Stahlteil 5 angeordneten Schlitz T richtung orientiert ist. Entsprechend dieser Polarisa- eingebracht sind. Die Polarisation der Plättchen 22 tion dehnt sich das elektrostriktive Plättchen 6 unter und 23 ist wiederum entgegengesetzt gerichtet, wie dem Einfluß des elektrischen Feldes aus. Da der es durch die Pfeile 26 und 27 angedeutet ist. Zwi-Schwinger aus einem durchgehenden Stahlteil be- 45 sehen den Plättchen 22 und 23 liegt eine Silberschicht steht, werden durch die Ausdehnung des Plättchens 6 29, auf die ein zu einer Anschlußklemme 2' führen-Biegekräfte auf den Schwinger ausgeübt, der damit der Anschlußdraht 32 aufgelötet ist. Die die Plättentsprechend den für die elastische Linie gültigen chen 20 und 21 trennende Silberschicht 28 ist mit Gesetzen durchgebogen wird. Wenn sich die Polari- einem zu einer Klemme 1' führenden Anschlußdraht tat der an die Klememn 1 und 3 angelegten Wechsel- 50 31 versehen. Vom Schwingungsknoten 12 des Stahlspannung U umkehrt, zieht sich das Plättchen 6 zu- teiles führt ein weiterer Anschlußdraht 30 zu einer sammen, wodurch sich der Schwinger in der ent- Klemme 3'.and 3 an alternating voltage U is applied. By means of a further development of the FIG. 3 the arrow 18 shown is an electrostrictive plate oscillator in such a way that the oscillator is indicated in addition to impressed polarization, the example of the ceramic plate 20 and 21 formed in the positive half-wave of the electrical excitation system with a further alternating voltage with the electrical Field direction is provided electrostrictively active system. This agrees, in the negative half-wave of the elec- 40 consists of the ceramic platelets 22 and 23, which is oriented in Irish alternating voltage opposite to the field, a further slot T arranged in the steel part 5. According to this polarisa- are introduced. The polarization of the platelets 22 tion expands the electrostrictive platelets 6 and 23 is again directed in the opposite direction, as the influence of the electric field from. Since it is indicated by the arrows 26 and 27. Zwi-Schwinger made of a continuous steel part see 45 the platelets 22 and 23 is a silver layer, are exerted by the expansion of the platelet 6 29, on which a lead to a terminal 2 'bending forces on the oscillator, which thus the connecting wire 32 is soldered on. The silver layer 28 separating the plates in accordance with the surfaces 20 and 21 which are valid for the elastic line is bent according to laws. If the polar connection wire leading to a terminal 1 'did the interchangeable 50 31 applied to terminals 1 and 3 provided. Reversing from the oscillation node 12 of the steel voltage U , the plate 6 pulls itself together, and another connecting wire 30 leads to one, whereby the oscillator is in the disconnected terminal 3 '.

gegengesetzten Richtung durchbiegt. Dieser Schwin- Legt man an die Klemmen Γ und 3' eine Ein-opposite direction deflects. If you attach an input to terminals Γ and 3 '

gungszustand ist in der Fig. 2 nicht mehr dargestellt. gangswechselspannung Uc, dann führt der Schwinger Wenn die Frequenz der Wechselspannung U zumin- 55 in der bereits beschriebenen Weise Biegeschwingundest näherungsweise mit der Eigenfrequenz des gen aus. Auf Grund dieser Biegeschwingungen wer-Schwingers übereinstimmt, dann führt dieser ausge- den die Plättchen 22 und 23 Dehnungen und Zuprägte Biegeschwingungen im Takt der angelegten sammenziehungen unterworfen, so daß wegen des Wechselspannung aus, und zwar symmetrisch zu piezoelektrischen Effektes zwischen der Silberschicht einer durch die Schwingungsknoten 11 und 12 fest- 60 29 und dem Stahlteil 5 eine Wechselspannung entgelegten Ebene. steht, deren Frequenz mit der Frequenz der anregen-Das elektrostriktive Plättchen 6 sowie das aus den Spannung übereinstimmt und die an den Klem-Quarzglas bestehende Plättchen 10 können durch men 2' und 3' als Ausgangswechselspannung Ua ab-Lötung im Schwinger befestigt sein. Hierzu ist es genommen werden kann.supply state is no longer shown in FIG. AC input voltage U c , then the oscillator performs If the frequency of the AC voltage U at least 55 in the manner already described flexural oscillation at approximately the natural frequency of the gene. On the basis of these flexural vibrations, whoever-vibrator agrees, then the latter carries out the platelets 22 and 23 expansions and stamped flexural vibrations in the cycle of the applied contractions, so that because of the alternating voltage, symmetrically to the piezoelectric effect between the silver layer one through the Vibration nodes 11 and 12 fixed 60 29 and the steel part 5 an alternating voltage level. whose frequency corresponds to the frequency of the excite-The electrostrictive plate 6 as well as that from the voltage and the plate 10 existing on the Klem quartz glass can be fixed in the transducer by men 2 'and 3' as output alternating voltage U a ab-soldering. For this it can be taken.

allerdings erforderlich, auch das Quarzglasplättchen 65 Im Ausführungsbeispiel der Fig. 4 sind die beiden mit metallischen Belägen zu versehen. Es ist auch elektrostriktiv aktiven Systeme zu beiden Seiten der möglich, die Plättchen 6 und 10 durch Einschrump- neutralen Faser des Schwingers gegeneinander verfen im Stahlteil 5 zu befestigen. Bei diesem Ver- setzt angeordnet. Praktisch die gleichen elektrischenhowever, the quartz glass plate 65 is also required. In the exemplary embodiment of FIG to be provided with metallic coverings. It is also electrostrictively active on both sides of the system possible, the platelets 6 and 10 against each other by shrinking neutral fibers of the oscillator to be fixed in the steel part 5. Arranged at this offset. Practically the same electrical ones

Eigenschaften sind dann zu erreichen, wenn sich die elektrostriktiv aktiven Systeme genau gegenüberliegen, oder wenn sie nur auf einer Seite der neutralen Faser in einem geeigneten Abstand voneinander angeordnet sind.Properties can be achieved when the electrostrictively active systems are exactly opposite one another, or if they are only on one side of the neutral fiber at a suitable distance from each other are arranged.

Die F i g. 5 zeigt das elektrische Ersatzschaltbild für den Fall, das der Schwinger zweipolig (vgl. F i g. 1 bis 3) betrieben wird. Zwischen den Klemmen 1 und 3 ergibt sich ein Impedanzverhalten, daß sich durch einen Serienschwingkreis mit der Induktivität L, der Kapazität C und einem Verlustwiderstand R, denen eine Kapazität C11 parallel geschaltet ist, darstellen läßt.The F i g. 5 shows the electrical equivalent circuit diagram for the case that the oscillator is operated with two poles (cf. FIGS. 1 to 3). Between the terminals 1 and 3 there is an impedance behavior that can be represented by a series resonant circuit with the inductance L, the capacitance C and a loss resistance R, to which a capacitance C 11 is connected in parallel.

Das elektrische Ersatzschaltbild eines als Vierpol betriebenen Schwingers (entsprechend der F i g. 4) ist in der Fi g. 6 dargestellt. Den Eingangsklemmen Γ und 3' ist eine Querkapazität Cp t nachgeschaltet, im Längszweig liegt ein verlustbehafteter Serienschwingkreis mit der Induktivität L', der Kapazität C" und dem Verlustwiderstand R', und am Ausgang liegt im Querzweig eine Parallelkapazität Cn 2. Zwischen den Klemmen 2' und 3' tritt immer dann eine Ausgangswechselspannung TJa auf, wenn die Eigenfrequenz des Schwingers wenigstens näherungsweise mit der Frequenz der Eingangswechselspannung U0 übereinstimmt. The electrical equivalent circuit diagram of an oscillator operated as a quadrupole (corresponding to FIG. 4) is shown in FIG. 6 shown. A transverse capacitance C pt is connected downstream of the input terminals Γ and 3 ', in the series branch there is a lossy series resonant circuit with the inductance L', the capacitance C "and the loss resistance R ', and at the output there is a parallel capacitance C n 2 in the transverse branch. Between the terminals 2 'and 3' an output alternating voltage TJ a always occurs when the natural frequency of the oscillator at least approximately corresponds to the frequency of the input alternating voltage U 0.

In den F i g. 7 bis 9 sind stimmgabelförmige Biegeschwinger dargestellt, deren Verwendung vor allem bei verhältnismäßig niedrigen Frequenzen vorteilhaft ist, da dort die größere Baulänge eines gleichfrequenten Biegeschwingers unter Umständen störend wirkt.In the F i g. 7 to 9 are shown tuning fork-shaped flexural oscillators, their use primarily is advantageous at relatively low frequencies, since there the greater length of a constant frequency Flexural oscillator may have a disruptive effect.

Im Ausführungsbeispiel der F i g. 7 liegen zwischen den Gabelzinken eines stimmgabelförmigen Biegeschwingers 35 zwei Plättchen 36 und 37 aus einer elektrostriktiven Keramik, deren Polarisation im Sinne der Pfeile 39 und 40 entgegengesetzt gerichtet ist. Von einer die Plättchen 36 und 37 trennenden Silberschicht 38 führt ein Anschlußdraht 41 zu einer Klemme 1. Ein weiterer Anschlußdraht 44 ist direkt am Stahlteil der Stimmgabel befestigt und führt zu einer Klemme 3. Da im Stimmgabelfuß ein Punkt liegt, in dem praktisch keine Bewegungen auftreten, wird dort zweckmäßig ein Haltedraht 42 befestigt, der der Verankerung der Stimmgabel in einem nicht näher dargestellten Gehäuse dient. Beim Anlegen einer Wechselspannung an die Klemmen 1 und 3 werden die elektrostriktiv aktiven Plättchen 36 und 37 Dehnungen und Zusammenziehungen unterworfen, die wegen der festen Verbindung dieser Plättchen mit den Stimmgabelzinken auf die Stimmgabel übertragen werden. Die Stimmgabel wird immer dann zu Schwingungen angeregt, wenn ihre Eigenfrequenz mit der Frequenz der an den Klemmen 1 und 3 angelegten Wechselspannung wenigstens näherungsweise übereinstimmt.In the embodiment of FIG. 7 lie between the fork prongs of a tuning fork-shaped one Flexural oscillator 35 has two plates 36 and 37 made of an electrostrictive ceramic, the polarization of which in the direction of arrows 39 and 40 is directed in the opposite direction. One of the plates 36 and 37 separating them Silver layer 38 leads a connecting wire 41 to a terminal 1. Another connecting wire 44 is direct attached to the steel part of the tuning fork and leads to a clamp 3. There is a point in the tuning fork base is in which practically no movements occur, a retaining wire 42 is expediently attached there, which is used to anchor the tuning fork in a housing not shown in detail. When putting on an alternating voltage to the terminals 1 and 3, the electrostrictively active platelets 36 and 37 subjected to expansions and contractions because of the firm connection of these Plate with the tuning fork prongs are transferred to the tuning fork. The tuning fork will always stimulated to vibrations when their natural frequency matches the frequency of the terminals 1 and 3 applied alternating voltage at least approximately match.

Der in der F i g. 8 dargestellte Stimmgabelresonator stimmt im wesentlichen mit dem in der F i g. 7 dargestellten überein. Jedoch liegt das elektrostriktiv aktive System hierbei in einem im Verbindungsstück der beiden Gabelzinken vorgesehenen Schlitz 43. Bedingt durch den Aufbau können die in den F i g. 7 und 8 gezeigten Stimmgabelresonatoren nur zweipolig betrieben werden, so daß ihr Verhalten auf das elektrische Ersatzschaltbild der Fig.5 zurückzuführen ist.The one shown in FIG. The tuning fork resonator shown in FIG. 8 is essentially the same as that shown in FIG. 7th shown match. However, the electrostrictively active system is in one in the connector of the two fork prongs provided slot 43. Due to the structure, the in the F i g. 7 and 8 shown tuning fork resonators are only operated with two poles, so that their behavior can be traced back to the electrical equivalent circuit diagram of FIG.

Das Verhalten eines Vierpoles läßt sich mit dem in der F i g. 9 dargestellten Stimmgabelresonator erzielen. Hierbei ist im Verbindungsstück der beiden Gabelzinken einer Stimmgabel 45 ein Schlitz 5 vorgesehen, in den die Anregungssysteme eingebracht sind. Die Anregungssysteme bestehen aus zwei elektrostriktiv aktiven Plättchen 46 und 47, zwischen denen ein Abstandsstück 53 aus einem elektrisch nicht leitenden Material (z. B. Quarzglas) liegt, und deren Polarisation beispielsweise im Sinne der Pfeile 48 und 49 gewählt ist. Von der auf das PlättchenThe behavior of a four-pole can be compared with the one shown in FIG. 9 achieve tuning fork resonator shown. Here, a slot 5 is provided in the connecting piece of the two fork prongs of a tuning fork 45, in which the excitation systems are introduced. The excitation systems consist of two electrostrictive active platelets 46 and 47, between which a spacer 53 made of an electrically non-conductive material (e.g. quartz glass) and its polarization, for example in the direction of the arrows 48 and 49 is selected. From the to the plate

ίο 46 aufgebrachten Silberschicht 50 führt ein Anschlußdraht 54 zu einer Klemme 1', von der auf das Plättchen 47 aufgebrachten Silberschicht 51 führt ein Anschlußdraht 55 zu einer Anschlußklemme 2'. Ein weiterer Anschlußdraht 56 ist direkt mit dem Stahlteil verbunden und führt zu einer Anschlußklemme 3'. Im Ruhepunkt der Stimmgabel 45 ist wiederum ein Haltedraht 42 befestigt.ίο 46 applied silver layer 50 leads a connecting wire 54 leads to a clamp 1 'from the silver layer 51 applied to the plate 47 a connecting wire 55 to a connecting terminal 2 '. Another lead 56 is directly connected to the Steel part connected and leads to a connector 3 '. The tuning fork 45 is at rest in turn a retaining wire 42 is attached.

Wird an die Klemmen 1' und 3' eine Eingangswechselspannung Uc gelegt, deren Frequenz etwa mit If an input AC voltage U c is applied to terminals 1 'and 3', its frequency is approximately equal to

so der Eigenfrequenz der Stimmgabel übereinstimmt, dann führt diese Biegeschwingungen im Takt der angelegten Wechselspannung aus. Auf Grund dieser Schwingungen wird das elektrostriktive Plättchen 47 gedehnt und zusammengezogen, so daß zwischen der Silberschicht 51 und dem Stahlteil 45 eine Wechselspannung auftritt, die als Ausgangswechselspannung an den Klemmen 2' und 3' abgenommen werden kann. Damit läßt sich der in der F i g. 9 dargestellte Stimmgabelresonator auf das Ersatzschaltbild der F i g. 6 zurückführen. Praktisch die gleichen elektrischen Verhältnisse werden dann erreicht, wenn die elektrostriktiv aktiven Systeme und das Abstandsstück 53 zwischen den beiden Gabelzinken (ähnlich F i g. 7) angeordnet sind.so the natural frequency of the tuning fork coincides, then these flexural vibrations lead to the beat of the applied AC voltage. Due to these vibrations, the electrostrictive plate 47 becomes stretched and contracted, so that between the silver layer 51 and the steel part 45 an alternating voltage occurs, which are taken as output alternating voltage at terminals 2 'and 3' can. This can be used in FIG. 9 tuning fork resonator shown on the equivalent circuit of the F i g. 6 lead back. Practically the same electrical conditions are achieved when the electrostrictively active systems and the spacer 53 between the two fork prongs (similar to F i g. 7) are arranged.

Beim Ausführungsbeispiel der F i g. 10 ist in einem durchgehenden Stahlteil 5 ein Schlitz 7 vorgesehen, in den vier hintereinanderliegende elektrostriktive Plättchen 60, 61, 62 und 63 eingebracht sind. Die elektrostriktiven Plättchen sind durch Silberschichten 65, 66 und 67 voneinander getrennt. Von der Silberschicht 65 führt ein Anschlußdraht 68 zu einer Klemme 1', von der Silberschicht 67 führt ein Anschlußdraht 69 zu einer Anschlußklemme 2', und von der Silberschicht 66 führt ein Anschlußdraht 70 zu einer Klemme 3', die außerdem über einen weiteren Anschlußdraht 71 mit dem Stahlteil 5 in elektrisch leitender Verbindung steht. In der Regel wird der Anschlußdraht 71 in einen der Schwingungsknoten 11 oder 12 mit dem Stahlteil verlötet. Wegen der leitenden Verbindung über die Drähte 70 und 71 liegt die Silberschicht 66 auf dem gleichen elektrischen Potential wie der Schwinger 5. Die Polarisation der elektrostriktiven Plättchen ist so gewählt, daß jeweils zwei benachbarte Plättchen entgegengesetzt polarisiert sind, wie es beispielsweise durch die Pfeile 73 bis 76 angedeutet ist.In the embodiment of FIG. 10 a slot 7 is provided in a continuous steel part 5, in which four electrostrictive plates 60, 61, 62 and 63 are placed one behind the other are. The electrostrictive platelets are separated from one another by layers of silver 65, 66 and 67. A connecting wire 68 leads from the silver layer 65 to a terminal 1 ', from which the silver layer 67 leads a connecting wire 69 to a connecting terminal 2 ', and from the silver layer 66 a connecting wire leads 70 to a terminal 3 ', which also has a further connecting wire 71 with the steel part 5 in electrically conductive connection. As a rule, the connecting wire 71 is in one of the vibration nodes 11 or 12 soldered to the steel part. Because of the conductive connection via wires 70 and 71 the silver layer 66 is at the same electrical potential as the oscillator 5. The polarization the electrostrictive platelet is chosen so that two adjacent platelets are opposite are polarized, as indicated, for example, by arrows 73 to 76.

Eine an den Klemmen 1' und 3' anliegende Eingangswechselspannung erzeugt zwischen den Klemmen 2' und 3' in der bereits beschriebenen Weise immer dann eine Ausgangswechselspannung, wenn die Frequenz der Eingangswechselspannung mit der Eigenfrequenz des Biegeschwingers zumindest näherungsweise übereinstimmt. Ein gemäß der Fig. 10 aufgebauter Schwinger hat unter anderem den Vorteil, daß im Stahlstab nur ein Schlitz vorzusehen ist, wodurch sich die mechanische Festigkeit des Schwingers erhöht. Sein elektrisches Ersatzschaltbild entspricht der in der Fig. 6 dargestellten Schaltung.An AC input voltage applied to terminals 1 'and 3' generates an output alternating voltage between terminals 2 'and 3' in the manner already described whenever the frequency of the AC input voltage with the natural frequency of the flexural vibrator at least approximately matches. An oscillator constructed according to FIG. 10 has the advantage, among other things, of that only one slot has to be provided in the steel rod, which increases the mechanical strength of the transducer elevated. Its electrical equivalent circuit diagram corresponds to the circuit shown in FIG.

In Weiterbildung des in der Fig. 10 dargestellten Schwingers kann beispielsweise ein weiteres, durch eine metallische Zwischenschicht getrenntes Plättchenpaar im Schlitz 7 angebracht werden, dessen elektromechanischer Kopplungsfaktor von dem der übrigen Plättchen abweicht. Eine derartige Anordnung ermöglicht dann in einfacher Weise die Abnahme einer zusätzlichen Signalspannung, die zur Steuerung weiterer Geräte verwendet werden kann.In a further development of the one shown in FIG The oscillator can, for example, be a further pair of platelets separated by a metallic intermediate layer be mounted in the slot 7, the electromechanical coupling factor of that of the other platelets deviates. Such an arrangement then enables the acceptance in a simple manner an additional signal voltage that can be used to control other devices.

In der Fig. 11 ist ein Biegeschwinger dargestellt, dessen Schwingungsanregung über den sogenannten transversalen piezoelektrischen Effekt erfolgt. Im StahlteilS ist ein Schlitz 7 vorgesehen, in den ein elektrostriktiv aktives Plättchen 80 eingelötet ist. Auf das elektrostriktive Plättchen 80 sind Anregungselektroden 81 und 82 in Form von Silberschichten aufgebracht, die über Zuführungsdrähte 83 und 84 mit den Anschlußklemmen 1 und 3 in Verbindung stehen. Die Polarisation des elektrostriktiven Plättchens 80 ist durch den Pfeil 84 angedeutet. Beim ao Anlegen einer Wechselspannung an die Klemmen 1 und 3 wird das Plättchen 80 gedehnt und zusammengezogen. Diese Bewegung hat wegen des transversalen Effektes Dehnungen und Verkürzungen der elektrostriktiven Keramik 80 zur Folge, die in der Bewegungsrichtung der mechanischen Dehnung des Schwingers 5 liegen und diesen somit zu Biegeschwingungen anregen. Die in der Fig. 11 gewählte Darstellung entspricht einem zweipoligen Schwinger und kann durch ein weiteres gleichartiges System zu einem als elektrischer Vierpol arbeitenden Schwinger erweitert werden. Analog läßt sich dieses Anregungssystem auch bei den in den Fig. 7 bis 9 dargestellten stimmgabelförmigen Schwingern verwenden und wird vorzugsweise dann eingesetzt, wenn nur schmale Filterbandbreiten gefordert sind.In Fig. 11 a flexural oscillator is shown, whose vibration excitation takes place via the so-called transverse piezoelectric effect. in the Steel partS a slot 7 is provided into which an electrostrictively active plate 80 is soldered. On the electrostrictive plate 80 are excitation electrodes 81 and 82 in the form of silver layers applied, which via lead wires 83 and 84 with the terminals 1 and 3 in connection stand. The polarization of the electrostrictive plate 80 is indicated by the arrow 84. At ao Applying an alternating voltage to the terminals 1 and 3, the plate 80 is stretched and contracted. Because of the transversal effect, this movement has elongations and shortenings of the electrostrictive ceramic 80, which in the direction of movement of the mechanical expansion of the Oscillator 5 lie and thus stimulate this to flexural vibrations. The one selected in FIG Representation corresponds to a two-pole oscillator and can be increased by another system of the same type an oscillator working as an electric quadrupole. This excitation system can also be used analogously in the case of those shown in FIGS Use tuning fork-shaped transducers and is preferred when only narrow ones Filter bandwidths are required.

Claims (1)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Mechanischer Biegeschwinger, der durch Plättchen aus elektrostriktivem Material zu einem Wandler für den Übergang von elektrischen Schwingungen auf mechanische Biegeschwingungen und umgekehrt ausgebildet und vorzugsweise als Wandler eines mehrteiligen elektromechanisehen Filters vorgesehen ist, und bei dem Plättchen aus elektrostriktivem Material vorwiegend innerhalb des durch zwei benachbarte Schwingungsknoten begrenzten Bereiches im Zuge des Biegeschwingers angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß im Biegeschwinger (5) ein Schlitz (7) vorgesehen ist, der sich von der äußeren Begrenzung bis etwa in den Bereich der hinsichtlich Biegeschwingungen auftretenden neutralen Faser (13) erstreckt, daß in diesen Schlitz (7) wenigstens ein mit Anregungselektroden (8,1. Mechanical flexural oscillator, which is formed by platelets made of electrostrictive material Converter for the transition from electrical vibrations to mechanical flexural vibrations and vice versa and preferably designed as a converter of a multi-part electromechanical Filter is provided, and in the case of the plate made of electrostrictive material predominantly within the area bounded by two neighboring vibration nodes in the course of the Flexural vibrators are arranged, characterized in that in the flexural vibrator (5) a slot (7) is provided which extends from the outer limit to approximately in the area of the with regard to bending vibrations occurring neutral fiber (13) that extends into this slot (7) at least one with excitation electrodes (8, 9) versehenes Plättchen (6) elektrostriktiven Materials eingebracht ist, das in an sich bekannter Weise mit einer senkrecht zu den Anregungselektroden (8, 9) verlaufenden Vorpolarisation (18) versehen ist, und daß wenigstens zwischen einer der Anregungselektroden (9) und dem Biegeschwinger (5) eine elektrisch isolierende Zwischenschicht (10) liegt.9) provided plate (6) electrostrictive material is introduced, which is known per se Way with a pre-polarization running perpendicular to the excitation electrodes (8, 9) (18) is provided, and that at least between one of the excitation electrodes (9) and the Flexural oscillator (5) has an electrically insulating intermediate layer (10). 2. Mechanischer Biegeschwinger nach Ansprach 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei entgegengesetzt polarisierte, durch eine elektrisch leitende Schicht (28) getrennte Plättchen (20, 21) elektrostriktiven Materials in dem im Biegeschwinger (5) angeordneten Schlitz (7) eingebracht sind.2. Mechanical flexural oscillator according to spoke 1, characterized in that two opposite polarized platelets (20, 21) separated by an electrically conductive layer (28) electrostrictive material introduced into the slot (7) arranged in the flexural oscillator (5) are. 3. Mechanischer Biegeschwinger nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß im Biegeschwinger (5) zwei nur auf einer Seite der neutralen Faser (13) liegende Schlitze angeordnet sind, in die mit Anregungselektroden versehene Plättchen aus elektrostriktivem Material eingebracht sind.3. Mechanical flexural oscillator according to claim 1 or 2, characterized in that im Flexural oscillator (5) has two slots located only on one side of the neutral fiber (13) are, in the provided with excitation electrodes plates made of electrostrictive material are introduced. 4. Mechanischer Biegeschwinger nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß im Biegeschwinger (5) zu beiden Seiten der neutralen Faser (13) liegende Schlitze (7, 7') angeordnet sind, in die mit Anregungselektroden versehene Plättchen (22, 23, 24, 25) aus elektrostriktivem Material eingebracht sind.4. Mechanical flexural oscillator according to claim 1 or 2, characterized in that in the flexural oscillator (5) on both sides of the neutral fiber (13) lying slots (7, 7 ') are arranged, in the plate provided with excitation electrodes (22, 23, 24, 25) made of electrostrictive material are introduced. 5. Mechanischer Biegeschwinger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Biegeschwinger die Form eines Stimmgabelresonators (35) hat und daß die mit Anregungselektroden versehenen Plättchen (36, 37) aus elektrostriktivem Material zwischen den beiden Gabelzinken angeordnet sind (F i g. 7).5. Mechanical flexural oscillator according to one of the preceding claims, characterized in that that the flexural oscillator has the shape of a tuning fork resonator (35) and that the with Plates (36, 37) of electrostrictive material provided with excitation electrodes between the two forks are arranged (Fig. 7). 6. Mechanischer Biegeschwinger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Biegeschwinger die Form eines Stimmgabelresonators (35) hat und daß die mit Anregungselektroden versehenen Plättchen (36, 37) aus elektrostriktivem Material in einem im Verbindungsstück der beiden Gabelzinken liegenden Schlitz (43) eingebracht sind.6. Mechanical flexural oscillator according to one of the preceding claims, characterized in that that the flexural oscillator has the shape of a tuning fork resonator (35) and that the with Plates (36, 37) made of electrostrictive material and provided with excitation electrodes in an im Connecting piece of the two fork prongs lying slot (43) are introduced. 7. Mechanischer Biegeschwinger nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den elektrostriktiven Plättchen (46, 47) ein Abstandsstück (53) aus einem elektrisch isolierenden Material, vorzugsweise Quarzglas, angeordnet ist (F i g. 9).7. Mechanical flexural oscillator according to claim 5 or 6, characterized in that between the electrostrictive plates (46, 47) a spacer (53) made of an electrically insulating material, preferably quartz glass, is arranged (Fig. 9). 8. Mechanischer Biegeschwinger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in den im Biegeschwinger vorgesehenen Schlitz (7) ein mit Anregungselektroden (81, 82) versehene Plättchen (80) aus elektrostriktivem Material eingebracht ist, dessen Schwingungsanregung senkrecht zur gewünschten mechanischen Dehnung erfolgt.8. Mechanical flexural oscillator according to one of the preceding claims, characterized in that that in the slot (7) provided in the flexural oscillator with excitation electrodes (81, 82) provided plate (80) made of electrostrictive material is introduced, the Vibration excitation takes place perpendicular to the desired mechanical expansion. 9. Mechanischer Biegeschwinger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Plättchen (60, 61, 62, 63) aus elektrostriktivem Material mehrfach durch elektrisch leitende Zwischenschichten (65, 66, 67) unterteilt sind (F i g. 10).9. Mechanical flexural oscillator according to one of the preceding claims, characterized in that that the platelets (60, 61, 62, 63) made of electrostrictive material several times by electrical conductive intermediate layers (65, 66, 67) are divided (Fig. 10). 10. Mechanischer Biegeschwinger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die mit Anregungselektroden versehenen Plättchen (ζ. Β. 24, 25) aus elektrostriktivem Material derart in dem im Biegeschwinger (5) angeordneten Schlitz (7) eingebracht sind, daß sie unter einer mechanischen Vorspannung vorgegebener Größe stehen.10. Mechanical flexural oscillator according to one of the preceding claims, characterized in that that the plate provided with excitation electrodes (ζ. Β. 24, 25) from electrostrictive Material are introduced into the slot (7) arranged in the flexural oscillator (5) in such a way that they are under a mechanical preload of a given size. In Betracht gezogene Druckschriften:
Österreichische Patentschrift Nr. 224163;
USA.-Patentschrift Nr. 1781 513.
Considered publications:
Austrian Patent No. 224163;
U.S. Patent No. 1781,513.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen 1 sheet of drawings 809 628/1374 10.68 © Bundesdruckerei Berlin809 628/1374 10.68 © Bundesdruckerei Berlin
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