DE1270612B - Process for making thin film magnetic data storage devices - Google Patents

Process for making thin film magnetic data storage devices

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DE1270612B DE19661270612 DE1270612A DE1270612B DE 1270612 B DE1270612 B DE 1270612B DE 19661270612 DE19661270612 DE 19661270612 DE 1270612 A DE1270612 A DE 1270612A DE 1270612 B DE1270612 B DE 1270612B
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Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND DEUTSCHES -007JW PATENTAMTFEDERAL REPUBLIC OF GERMANY GERMAN -007JW PATENT OFFICE

AUSLEGESCHRIFTEDITORIAL

Int. Cl.:Int. Cl .:

GilbGilb

Deutsche Kl.: 21 al-37/30 German class: 21 al -37/30

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1270 612
P 12 70 612.6-53
10. Juni 1966
20. Juni 1968
1270 612
P 12 70 612.6-53
June 10, 1966
June 20, 1968

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung magnetischer Dünnfilm-Datenspeichervorrichtungen, wie Trommeln, Platten, Bänder oder Streifen, zur Verwendung in Elektronenrechnern, und insbesondere die Herstellung magnetischer Datenspeichervorrichtungen durch chemische bzw. nichtgalvanische Ablagerung. The invention relates to a method of manufacturing magnetic thin film data storage devices, such as drums, plates, tapes or strips, for use in electronic computers, and in particular the manufacture of magnetic data storage devices by chemical or non-galvanic deposition.

Die chemische oder nichtgalvanische Ablagerung von Kobalt und Nickel und deren Legierungen ist allgemein bekannt und ist im wesentlichen eine ge- ίο steuerte autokatalytische Reduktion von Kobalt- und/ oder Nickelionen durch Hypophosphitionen. Die hierzu verwendete Lösung enthält im allgemeinen Hypophosphitionen, Kobalt- und/oder Nickelionen, organische Komplexbildner, wie z. B. Zitrate, und einen Pufferstoff, beispielsweise Ammoniumchlorid. Der pH-Wert der Lösung kann für die Ablagerung von Nickel im sauren oder alkalischen Bereich liegen, doch werden Kobalt- und Kobalt-Nickel-Legierungen im allgemeinen aus einer alkalischen Lösung abgelagert. Typische Katalysatoren für das Verfahren sind Kobalt, Nickel, Aluminium und Palladium. Die chemische Ablagerung von Kobalt und Kobalt— Nickel auf einen katalytisch aktiven Träger ist z. B. in der britischen Patentschrift 953 987 und in der deutschen Patentschrift 1160 263 beschrieben.The chemical or non-galvanic deposition of cobalt and nickel and their alloys is generally known and is essentially a controlled autocatalytic reduction of cobalt and / or nickel ions by hypophosphite ions. The solution used for this purpose generally contains Hypophosphite ions, cobalt and / or nickel ions, organic complexing agents, such as. B. Citrates, and a buffering agent such as ammonium chloride. The pH of the solution can allow for deposition of nickel are in the acidic or alkaline range, but cobalt and cobalt-nickel alloys are used generally deposited from an alkaline solution. Typical catalysts for the process are cobalt, nickel, aluminum and palladium. The chemical deposition of cobalt and cobalt— Nickel on a catalytically active support is z. B. in British patent specification 953,987 and in German patent specification 1160 263.

Eine wichtige Eigenschaft magnetischer Datenspeichervorrichtungen ist die Koerzitivkraft des magnetischen Datenspeichermediums. Im allgemeinen soll die Koerzitivkraft hoch sein, um Entmagnetisierungs-Wirkungen zu verringern.An important property of magnetic data storage devices is the coercive force of the magnetic Data storage medium. In general, the coercive force should be high for demagnetizing effects to reduce.

Versuche haben gezeigt, daß die Koerzitivkraft von chemisch abgelagertem Kobalt in erster Linie durch die Kristallgröße bestimmt wird, zumindest dann, wenn die c-Achse der hexagonalen Struktur parallel zur Ebene der Ablagerung verläuft. Die Kristallgröße hängt jedoch von den Keimbildungs- und Wachstumseigenschaften des reduzierten Kobaltions ab. Experiments have shown that the coercive force of chemically deposited cobalt is primarily due to the crystal size is determined, at least when the c-axis of the hexagonal structure is parallel runs to the level of the deposit. However, the crystal size depends on the nucleation and growth properties of the reduced cobalt ion.

Bisher ergaben sich bei der Herstellung magnetischer Datenspeichervorrichtungen dadurch Schwierigkeiten, daß die Koerzitivkraft eines magnetischen Überzuges einer solchen Vorrichtung mit der Erhöhung seiner Dicke abnimmt. Da es jedoch auf Grund anderer Gesichtspunkte zweckmäßig ist, die Dicke des magnetischen Überzuges der Vorrichtung zu erhöhen, um beispielsweise eine Erhöhung des magnetischen Flusses und eine größere Widerstandsfähigkeit gegenüber Abnutzungserscheinungen zu erreichen, mußte in bezug auf die Dicke des magnetischen Überzuges bisher ein Kompromiß gemacht werden.Heretofore, difficulties have arisen in the manufacture of magnetic data storage devices by that the coercive force of a magnetic coating of such a device with the increase of its Decreasing thickness. However, since it is appropriate from other points of view, the thickness of the magnetic To increase the coating of the device, for example, to increase the magnetic flux and to achieve greater resistance to wear and tear, had to be in relation a compromise has been made on the thickness of the magnetic coating.

Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung eines Verfahrens zur Herstellung magnetischer Datenspeicher-Verfahren zur Herstellung magnetischer
Dünnfilm-Datenspeicher-Vorrichtungen
The object of the invention is to create a method for producing magnetic data storage methods for producing magnetic ones
Thin film data storage devices

Anmelder:Applicant:

The National Cash Register Company,The National Cash Register Company,

Dayton, Ohio (V. St. A.)Dayton, Ohio (V. St. A.)

Vertreter:Representative:

Dr. A. Stappert, Rechtsanwalt,Dr. A. Stappert, lawyer,

4000 Düsseldorf, Feldstr. 804000 Düsseldorf, Feldstr. 80

Beanspruchte Priorität:Claimed priority:

V. St. v. Amerika vom 11. Juni 1965 (463 143)V. St. v. America June 11, 1965 (463 143)

Vorrichtungen, durch das die vorgenannten Schwierigkeiten beseitigt werden.Devices by which the aforementioned difficulties are eliminated.

Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, daß bei der chemischen Ablagerung mehrerer magnetischer Schichten, zwischen denen jeweils eine Schicht gleicher Dicke eines katalytisch aktiven, jedoch nichtmagnetischen Materials, beispielsweise nichtmagnetisches Nickel, mit Palladium aktiviertes Kupfer, oder Palladium abgelagert ist, eine einwandfreie Keimbildung und ein einwandfreies Aufwachsen mit sich daraus ergebender günstiger Korngrößenentwicklung stattfindet, wodurch eine Vorrichtung geschaffen wird, bei der die Koerzitivkraft gleich oder größer ist als bei einer einzelnen Schicht aus magnetischem Material, während der gesamte Fluß gleich der Summe der magnetischen Flüsse in den einzelnen magnetischen Schichten ist.The invention is based on the knowledge that in the chemical deposition of several magnetic Layers between which a layer of the same thickness of a catalytically active, but non-magnetic Material, such as non-magnetic nickel, palladium activated copper, or palladium is deposited, a perfect nucleation and a perfect growth with it resulting favorable grain size development takes place, whereby a device is provided at which the coercive force is equal to or greater than that of a single layer of magnetic material, while the total flux is equal to the sum of the magnetic fluxes in each magnetic Layers is.

Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung einer magnetischen Dünnfilm-Datenspeichervorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß man abwechselnd auf einen nichtmagnetischen Träger eine erste Schicht aus für die Ablagerung von Nickel und Kobalt katalytisch wirkendem nichtmagnetischem Metall und auf diese erste Schicht chemisch eine zweite Schicht aus magnetischem Nickel, Kobalt oder deren Verbindungen ablagert.The method of the present invention for manufacturing a thin film magnetic data storage device is characterized in that a first layer is alternately applied to a non-magnetic carrier made of non-magnetic metal catalytically active for the deposition of nickel and cobalt and on this first layer chemically a second layer of magnetic nickel, cobalt or their compounds deposits.

Ein wichtiges weiteres Merkmal der Erfindung beruht auf der Erkenntnis, daß bei Verwendung von Palladium als katalytisch aktiver metallischer Stoff bei obigem Verfahren die resultierende Koerzitivkraft der Vorrichtung größer ist als die Koerzitivkraft der genannten zweiten Schicht.Another important feature of the invention is based on the finding that when using Palladium as a catalytically active metallic substance in the above process is the resulting coercive force of the device is greater than the coercive force of said second layer.

Die Erfindung wird im folgenden an Hand der Zeichnungen beschrieben. In diesen zeigtThe invention is described below with reference to the drawings. In these shows

809 560/350809 560/350

3 43 4

F i g. 1 eine graphische Darstellung, in der die (B) Nickel-Hypophospbitlösung (nichtrnagneti-Koerzitivkraft (gemessen in Oersted) von chemisch sches Nickel);F i g. 1 is a graph showing the (B) nickel hypophosphite solution (non-magnetic coercive force (measured in Oersted from chemical nickel);

abgelagerten Kobaltschichten als Funktion der Ab- η ^ * (0 0315MoI) NiCl · 6H Odeposited cobalt layers as a function of the ab- η ^ * (0 0315MoI) NiCl · 6HO

lagerungszeit auf verschiedenen Trägern veranschau- -tJc *^i. m'2338 MoD NH Cl 2 'storage time on different carriers illustrated- -tJc * ^ i. m'2338 MoD NH Cl 2 '

****}**>- . w · i. a · ι.* · λ 5 19^84 g/l (0^0945 Mol) H3CeH8O7-H2O, ****} **> -. w i. a · ι. * λ 5 19 ^ 84 g / l (0 ^ 0945 mol) H 3 CeH 8 O 7 -H 2 O,

F ι g. 2 erne perspektivische Ansicht eines Aus- ? Q2 χ (QQm Mol Nai| po . H Q_Fig. 2 erne perspective view of an exit ? Q2 χ (QQm Mol Nai | po . HQ _

fuhrungsbeispiels einer durch das ernndungsgemaße . «< *example of execution one by the appointment according to. «< *

Verfahren hergestellten magnetischen Speichervor- Der pH-Wert der Lösung wird auf 8,2 und dieProcess produced magnetic storage pre- The pH of the solution is adjusted to 8.2 and the

richtung, Temperatur auf 80° C gebracht.direction, temperature brought to 80 ° C.

F i g. 3 bis 7 graphische Darstellungen von die io Der zu beschichtende Träger ist in diesem Beispiel Koerzitivkraft in Abhängigkeit von der Ablägerüngs- eine Messingplatte, die zunächst durch Eintauchen in zeit (gemessen in Minuten) veranschaulichenden Aceton gereinigt, dann abgespült und in 20°/oige Kurven. Salzsäure getaucht und wieder abgespült wird. Danach Aus F i g. 1 geht hervor, daß die Koerzitivkraft wird sie durch Eintauchen in eine Lösung aus Pallaeines auf verschiedenartigen Trägern chemisch ab- 15 diumchlorid (0,5 g PdCl2 pro Liter und 5 ecm kongelagerten Kobaltüberzuges mit zunehmender Dicke zentrierte HCl pro Liter) katalysiert. Der katalysierte desselben, d. h. mit dem Ansteigen der Ablagerungs- Träger wird danach 15 bis 300 Sekunden in die Nickelzeit, abnimmt. Das Kobalt wurde aus folgender lösung (B) getaucht, wobei die Zeit des Eintauchens Lösung abgelagert: nicht kritisch ist, jedoch vorzugsweise 60. SekundenF i g. 3 to 7 graphical representations of the io The carrier to be coated is in this example coercive force depending on the Ablagüngs- a brass plate, which is first cleaned by immersion in acetone, which is illustrative of time (measured in minutes), then rinsed and converted into 20% curves . Hydrochloric acid is immersed and rinsed off again. Then from Fig. 1 shows that the coercive force is catalyzed by immersion in a solution of palladium on various types of carriers chemically ab- 15 dium chloride (0.5 g PdCl 2 per liter and 5 ecm of congested cobalt coating with increasing thickness of centered HCl per liter). The catalyzed level of the same, ie with the increase in the deposit carrier, is then reduced to 15 to 300 seconds in the nickel time. The cobalt was immersed in the following solution (B), the time of immersion solution deposited: not critical, but preferably 60 seconds

20 beträgt, um eine Schicht aus nichtmagnetischem20 to a layer of non-magnetic

7,5 g/l (0,0315MoI) CoCl2 · 6H2O, Nickel auf dem Träger abzulagern. Der Träger wird7.5 g / l (0.0315MoI) CoCl 2 · 6H 2 O, nickel to deposit on the support. The carrier will

3,51 g/l (0,0332 Mol) NaH2PO2 · H2O, dann aus der Nickellösung herausgenommen und in3.51 g / l (0.0332 mol) of NaH 2 PO 2 .H 2 O, then taken out of the nickel solution and placed in

12,5 g/l (0,2338 Mol) NH4Cl, Abhängigkeit von der gewünschten Koerzitivkraft12.5 g / l (0.2338 mol) NH 4 Cl, depending on the desired coercive force

19,84 g/l (0,0945 Mol) H3C6H8O? · H2O. 2,5 bis 30 Minuten in die Kobaltlösung (A) getaucht,19.84 g / L (0.0945 mol) H 3 C 6 H 8 O? · H 2 O. immersed in the cobalt solution (A) for 2.5 to 30 minutes,

25 so daß auf der Nickelschicht eine magnetische Kobalt-25 so that a magnetic cobalt

Der pH-Wert war 8,2, und die Temperatur der schicht abgelagert wird. Nach Herausnahme des Lösung betrug 8O0C. Wie ersichtlich, kann die Trägers aus der Kobaltlösung (A) wird er für eine Koerzitivkraft in auf einem Polyäthylenterephthalat- bereits für die Herstellung der ersten Nickelschicht träger hergestellten dünnen Schichten mit einer ersten gewählte Zeitdauer in die Lösung (B) getaucht, dann Schicht aus nichtmagnetischem Nickel (Kurve ä) bei 30 aus dieser entfernt und für eine bereits für die Hereiner Ablagerungszeit von 5 Minuten (entsprechend stellung der ersten Kobaltschicht gewählte Zeitdauer einer Dicke von etwa 1200 Ä) 600 Oersted betragen, wieder in die Lösung (A) eingebracht. Diese Schritte sinkt jedoch bei einer Äblagerungszeit von 40 Minuten werden so oft wiederholt, bis die gewünschte Gesamt-(eritsprechend einer Dicke von etwa 10 000 Ä) auf dicke des Kobalts erzielt worden ist. 340 Oersted ab. Die Kurve b stellt einen Messing- 35 Eine Prüfung der Koerzitivkraft der Ablagerung auf träger mit einer ersten Schicht aus nichtmagnetischem demMessingträger während des Herstellungsverfahrens Nickel dar, während die Kurce c einen mit Palladium zeigt, daß die Koerzitivkraft der Schichten von der aktivierten Messingträger betrifft Gesamtdicke des abgelagerten Kobalts, wie durch die F i g. 2 zeigt in perspektivischer Ansicht eine nach Kurven a, b und c in F i g. 3 gezeigt, praktisch undem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte magne- 40 abhängig ist.The pH was 8.2, and the temperature of the layer being deposited. After removal of the solvent 8O 0 C. As was seen, the carrier of the cobalt solution (A), is it for a coercive force in on a polyethylene terephthalate support previously for the formation of the first nickel layer produced thin films with a first selected time period in the solution (B) immersed, then layer of non-magnetic nickel (curve ä) removed from this at 30 and amounting to 600 Oersted for an already for the Hereiner deposition time of 5 minutes (corresponding to the position of the first cobalt layer selected time period of a thickness of about 1200 Å) incorporated into the solution (A). However, these steps decrease with a deposition time of 40 minutes and are repeated until the desired total (corresponding to a thickness of about 10,000 Å) to the thickness of the cobalt has been achieved. 340 Oersted exits. Curve b represents a brass substrate with a first layer of non-magnetic brass substrate during the nickel manufacturing process, while curve c shows one with palladium that the coercive force of the layers of the activated brass substrate affects the total thickness of the deposited cobalt, as shown by FIG. FIG. 2 shows a perspective view according to curves a, b and c in FIG. 3, it is practically dependent on the magnet produced by the method according to the invention.

tische Datenspeichervorrichtung mit einem Träger 21 Die graphische Darstellung dieser Figur zeigt dieTable data storage device with a carrier 21 The graphic representation of this figure shows the

aus nichtmagnetischem Material, z. B. einem nicht*· Koerzitivkraft des Kobalts in Oersted (Ordinate) alsmade of non-magnetic material, e.g. B. a non * · coercive force of cobalt in Oersted (ordinate) as

metallischen Werkstoff, wie Polyäthylenterephthalat, Funktion der Gesamtablagerungszeit in Minutenmetallic material, such as polyethylene terephthalate, function of the total deposition time in minutes

oder einem metallischen Steif, wie Phosphorbronze. (Abszisse). Die Kurven 0, b und c stellen jeweils einenor a metallic stiffener such as phosphor bronze. (Abscissa). Curves 0, b and c each represent one

Der Überzug auf dem Träger besteht aus abwechseln- 45 aus abwechselnden Kobalt- und nichtmagnetischenThe coating on the carrier consists of alternating cobalt and non-magnetic

den Ablagerungen katalytischer, jedoch nichtmagne- Nickelschichten bestehenden Überzug dar, wobei dasthe deposits of catalytic but non-magnetic nickel layers, the

tischer Schichten 22 aus katalytischem Nickel, Alu* letztgenannte Material die erste auf dem Träger ab-table layers 22 made of catalytic nickel, aluminum * the last-mentioned material the first on the carrier

miniüm oder Palladium oder anderen katalysierten gelagerte Schicht bildet. Die Kurve α entspricht einemminiüm or palladium or other catalyzed stored layer forms. The curve α corresponds to one

Metallen oder Legierungen und magöetischerSchichten aus mehreren Schichten bestehenden Überzug, beiMetals or alloys and magical layers of multi-layer coating

23 aus Kobalt, Nickel oder Legierungen hiervon. 50 dem die einzelnen Kobaltschichten jeweils durch ein23 made of cobalt, nickel or alloys thereof. 50 which the individual cobalt layers each through a

Es folgen Beispiele des erfintmngsgemäßen Vet- 2,5 Minuten dauerndes Eintauchen in die Kobalt-The following are examples of the invention according to the 2.5 minute immersion in the cobalt

fahrens zur Herstellung magnetischer Datenspeicher- HypöphosphitlÖsuög erhalten wird. Die Kurven b Fahrens for the production of magnetic data storage HypöphosphitlÖsuög is obtained. The curves b

Vorrichtungen. Bei diesen Beispielen versteht es sich, und c entsprechen den Überzügen, bei denen dieDevices. In these examples it is understood and c correspond to the coatings for which the

daß der aus mehreren Schichten bestehende Überzug Ablagerungszeit der einzelnen Kobaltschichten 5 bzw.that the coating consisting of several layers deposition time of the individual cobalt layers 5 or

jeweils auf einer Seite des Trägers gebildet wird> 55 10 Minuten beträgt. Die Kurve *d entspricht einemeach formed on one side of the carrier is> 55 10 minutes. The curve * d corresponds to a

während dessen andere Seite in geeigneter Weise ab* aus einer einzigen Schicht bestehenden Kobaltüberzugwhile its other side is suitably covered by a single layer of cobalt coating

gedeckt ist. und veranschaulicht das Abnehmen der Koerzitiv-is covered. and illustrates the decrease in coercive

Beispiell kraft mit ansteigender Dicke, wie dies bei homogenenFor example force with increasing thickness, as is the case with homogeneous ones

Es werden folgende wäßrige Lösungen bereitet: magnetischen Filmen der Fall ist.The following aqueous solutions are prepared: magnetic films is the case.

(A) Kobalt-Hypophosphitlösung: Beispiel 2(A) Cobalt-hypophosphite solution: Example 2

7,5 g/l (0,0315 Mol) CoCl2 · 6H2O, In ffeni BflsPM ?**** die gleichen Lösungen (A)7.5 g / l (0.0315 mol) CoCl 2 6H 2 O, In ff en i B f ls P M ? **** the same solutions (A)

12,5 Il (0,2338 Mol) KH4Cl, ^ ^) ™e m Ba^l beaateL Der mit emem12.5 Il (0.2338 mol) KH 4 Cl, ^ ^) ™ em Ba ^ l beaateL The with emem

1984g/l (00945MoI) HCHO -HO Überzug zu versehende Trager ist jedoch ein PoIy-1984g / l (00945MoI) HCHO -HO coating, however, the carrier is a poly-

3[51g/lK0332 Mol) NaH2PbJ-H2O.' 65 äthylenterephthalätbänd. Dieses wird zunächst in3 [51 g / lK0332 mol) NaH 2 PbJ-H 2 O. ' 6 5 Ethyleneterephthalätbänd. This is initially in

' J ζ a a Aceton gereinigt, dann 4urch Eintauchen in eine 'J ζ aa acetone cleaned, then 4urch immersion in a

Der pH-Wert der Lösung wird auf 8,2 und die Zinnchloridlösung (5 g SnGl8 pro liter und 10 ecmThe pH of the solution is adjusted to 8.2 and the tin chloride solution (5 g of SnGl 8 per liter and 10 ecm

Temperatur auf 8O0C gebracht. fconzentrierte HCl pro Liter) katalysiert und daraufhinTemperature brought to 8O 0 C. fconcentrated HCl per liter) catalyzed and then

abgespült und in eine Palladiumchloridlösung (0,5 g PdCl2 pro Liter und 5 ecm konzentrierte HCl pro Liter) getaucht. Der Rest des Verfahrens mit dem abwechselnden Eintauchen in die Lösungen (B) und (A) wird wie im Beispiel 1 durchgeführt.rinsed and immersed in a palladium chloride solution (0.5 g PdCl 2 per liter and 5 ecm concentrated HCl per liter). The rest of the procedure with alternating immersion in solutions (B) and (A) is carried out as in Example 1.

Die beim Beispiel 2 erzielten Ergebnisse sind in F i g. 4 gezeigt. Die Kurven α und c entsprechen Kobaltschichten mit Ablagerungszeiten von 2,5 bzw. 10 Minuten, während die Kurve d einem homogenen Kobaltüberzug entspricht.The results obtained in Example 2 are shown in FIG. 4 shown. Curves α and c correspond to cobalt layers with deposition times of 2.5 and 10 minutes, respectively, while curve d corresponds to a homogeneous cobalt coating.

Beispiel 3Example 3

Es werden folgende wäßrige Lösungen bereitet: (A) Kobalt-Hypophosphitlösung (s. Beispiel 1);The following aqueous solutions are prepared: (A) cobalt-hypophosphite solution (see Example 1);

(C) Palladiumchloridlösung: PdCl2 = 0,5 g/l,
konzentrierte HCl = 5 ccm/1.
(C) Palladium chloride solution: PdCl 2 = 0.5 g / l,
concentrated HCl = 5 cc / 1.

Der Träger wird in herkömmlicher Weise gereinigt, wobei die Reinigung von der Art des betreffenden Materials abhängt, d. h. davon, ob es ein Nichtleiter oder ein Leiter ist. Wird ein Nichtleiter verwendet, dann muß er in eine Zinnchloridlösung getaucht, abgespült und in die Palladiumchloridlösung (C) getaucht werden. Bei Verwendung eines Metallträgers ist es im allgemeinen lediglich erforderlich, ihn in die Palladiumchloridlösung (C) zu tauchen. Der Träger wird nach dem Katalysieren in Abhängigkeit von der gewünschten Koerzitivkraft 2 bis 20 Minuten in die Kobaltlösung (A) getaucht, so daß sich eine magnetische Kobaltschicht bildet. Er wird dann aus dieser Lösung entfernt und 1 Minute lang in die Lösung (C) getaucht, um auf der Kobaltschicht eine Schicht aus Palladium herzustellen. Danach wird der Träger wieder für eine der anfangs gewählten Zeitdauer entsprechende Zeit in die Lösung (A) zurückgebracht, aus dieser entfernt und 1 Minute in die Lösung (C) getaucht, dann aus dieser entfernt und wieder in die Lösung (A) zurückgebracht. Das Verfahren wird so lange fortgesetzt, bis die gewünschte Koerzitivkraft und Dicke erzielt wird.The carrier is cleaned in a conventional manner, the cleaning being dependent on the type of Material depends, d. H. of whether it is a non-conductor or a conductor. If a non-conductor is used, then it must be dipped in a tin chloride solution, rinsed and dipped in the palladium chloride solution (C) will. When using a metal support, it is generally only necessary to insert it into the Dip the palladium chloride solution (C). The carrier is after the catalyzing depending on the desired coercive force 2 to 20 minutes immersed in the cobalt solution (A), so that a magnetic Cobalt layer forms. It is then removed from this solution and placed in solution (C) for 1 minute dipped to create a layer of palladium on top of the cobalt layer. After that, the carrier will be back for a period corresponding to the initially selected period Time brought back into solution (A), removed from it and immersed in solution (C) for 1 minute, then removed from this and returned to solution (A). The proceedings will continue until until the desired coercive force and thickness is achieved.

Die beim Beispiel 3 unter Verwendung eines mit dem Palladium aktivierten Messingträgers erzielten Ergebnisse sind in F i g. 5 dargestellt. Ebenso wie in F i g. 3 entsprechen die Kurven a, b und c Kobaltschichten mit Ablagerungszeiten von 2,5 bzw. 5 bzw. 10 Minuten, während die Kurve d einem homogenen Kobaltüberzug entspricht.The results obtained in Example 3 using a brass support activated with the palladium are shown in FIG. 5 shown. As in FIG. 3, curves a, b and c correspond to cobalt layers with deposition times of 2.5, 5 and 10 minutes, respectively, while curve d corresponds to a homogeneous cobalt coating.

Beispiel 4Example 4

Es werden folgende wäßrige Lösungen bereitet: (A) Kobalt-Hypophosphitlösung (s. Beispiel 1);The following aqueous solutions are prepared: (A) cobalt-hypophosphite solution (see Example 1);

(C) Palladiumchloridlösung (s. Beispiel 2);(C) Palladium chloride solution (see Example 2);

(D) Alkalische Formaldehyd-Kupferkomplex-Lösung; (D) Alkaline formaldehyde-copper complex solution;

(E) Katalysator: eine wäßrige Lösung aus 1,7 g/l PdCl2, 500 ccm/1 HCl (konzentriert), 83 g/l SnCl2;(E) catalyst: an aqueous solution of 1.7 g / l PdCl 2 , 500 cc / l HCl (concentrated), 83 g / l SnCl 2 ;

(F) Beschleuniger: 10% Perchlorsäurelösung (HClO4).(F) Accelerator: 10% perchloric acid solution (HClO 4 ).

Der Messingträger wird gereinigt, 5 Minuten lang in den Katalysator (E) getaucht, danach abgespült und 5 Minuten lang in den Beschleuniger (F) getaucht. Er wird danach wieder abgespült und 10 Minuten lang in die auf einer Temperatur von 25 ° C gehaltene Kupferlösung (D) getaucht, so daß sich auf dem Träger eine Kupferschicht bildet. Dann wird der Träger 30 Sekünden bis 1 Minute lang in die Palladiumchloridlösung und danach in die Kobaltlösung (A) getaucht und dort 2 bis 20 Minuten lang belassen, so daß sich eine magnetische Schicht auf der mit Palladium katalysierten Kupferschicht bildet. Der Träger wird dann The brass support is cleaned, immersed in the catalyst (E) for 5 minutes, then rinsed off and immersed in the accelerator (F) for 5 minutes. It is then rinsed off again and for 10 minutes into the copper solution kept at a temperature of 25 ° C (D) immersed, so that a copper layer is formed on the carrier. Then the wearer will be 30 seconds Immersed in the palladium chloride solution for up to 1 minute and then in the cobalt solution (A) and left there for 2 to 20 minutes so that a magnetic layer is formed on the palladium-catalyzed copper layer. The carrier will then

ίο herausgenommen und etwa 10 Minuten in die Kupferlösung (D) getaucht, wonach er wieder für 30 Sekunden bis 1 Minute in die Palladiumchloridlösung (B) getaucht wird. Anschließend wird er wieder in die nichtgalvanische Kobaltlösung (A) getaucht, und zwar für eine Zeitspanne, die derjenigen des erstmaligen Eintauchens in diese Lösung entspricht. Dieses Vorgehen wird so lange wiederholt, bis die gewünschte Koerzitivkraft oder Gesamtdicke des Kobalts erreicht ist. Die Ergebnisse sind in F i g. 6 für einen aus mehreren Schichten bestehenden Kobaltüberzug gezeigt, wobei als Zwischenschicht mit Palladium katalysiertes Kupfer und als Trägermaterial Messing verwendet wurde. Für jede Kobaltschicht war eine Ablagerungszeit von 5 Minuten vorgesehen. Dieίο taken out and immersed in the copper solution for about 10 minutes (D), after which it was again immersed in the palladium chloride solution (B) for 30 seconds to 1 minute will. Then it is again immersed in the non-galvanic cobalt solution (A) for a period of time equal to that of the initial immersion in this solution. This procedure is repeated until the desired coercive force or total thickness of the cobalt is reached is. The results are shown in FIG. 6 shown for a multilayer cobalt coating, copper catalyzed with palladium is used as the intermediate layer and brass is used as the carrier material became. A deposition time of 5 minutes was planned for each cobalt layer. the

s5 Koerzitivkraft ist von der Gesamtdicke des magnetischen Materials unabhängig.s5 coercive force is of the total thickness of the magnetic Material independent.

Abwechselnde Schichten von chemisch abgelagertem Kobalt und chemisch reduziertem, nichtmagnetischem Nickel oder Kupfer, aktiviert mit Palladium, ergebenAlternating layers of chemically deposited cobalt and chemically reduced, non-magnetic Nickel or copper activated with palladium result

Überzüge, deren Koerzitivkraft unabhängig von der Gesamtdicke des magnetischen Materials ist. Abwechselnde Schichten von chemisch abgelagertem Kobalt und Palladium ergeben jedoch Überzüge, deren Koerzitivkraft mit der Gesamtdicke des magnetischen Materials ansteigt.Coatings whose coercive force is independent of the total thickness of the magnetic material. Alternating However, layers of chemically deposited cobalt and palladium result in coatings whose coercive force increases with the total thickness of the magnetic material.

Beispiel 5
Es werden folgende wäßrige Lösungen bereitet:
Example 5
The following aqueous solutions are prepared:

(B) Nichtmagnetische Nickel-Hypophosphitlösung
(s. Beispiel 1);
(B) Non-magnetic nickel hypophosphite solution
(see example 1);

(G) Nickel-Hypophosphitlösung (magnetisch):(G) Nickel hypophosphite solution (magnetic):

45. 7,5 g/l (0,0315MoI) NiCl2-OH2O,45.7.5 g / l (0.0315MoI) NiCl 2 -OH 2 O,

12,5 g/l (0,2338 Mol) NH4Cl,
19,84 g/l (0,0945MoI) H3C6H8O7-H2O,
1,75 g/l (0,0166 Mol) NaH2PO2- H2O.
12.5 g / l (0.2338 mol) NH 4 Cl,
19.84 g / l (0.0945MoI) H 3 C 6 H 8 O 7 -H 2 O,
1.75 g / L (0.0166 mol) NaH 2 PO 2 - H 2 O.

Der pH-Wert der Lösung wird auf 8,2 und die Temperatur auf 80° C gebracht.The pH of the solution is brought to 8.2 and the temperature to 80 ° C.

Ein Polyäthylenterephthalatträger wird gereinigt und durch Eintauchen in eine Zinnchloridlösung (5 g SnCl2 pro Liter und 10 ecm konzentrierte HCl pro Liter) katalysiert, dann abgespült und in eine Palladiumchloridlösung (0,5 g PdCl2 pro Liter und 5 ecm konzentrierte HCl pro Liter) getaucht. Eine erste Schicht aus nichtmagnetischem Nickel wird aus der Lösung (B) abgelagert, wobei die Ablagerungszeit etwa 1 Minute beträgt. Der Träger wird dann 5 Minuten lang in die Lösung (G) getaucht, so daß sich auf der nichtmagnetischen Schicht eine magnetische Nickelschicht bildet, wonach er herausgenommen und für 1 Minute in die Lösung (B) getaucht wird. Nach dem Eintauchen in die Lösung (B) wird der Träger so oft für die bereits angegebenen Zeiten abwechselnd in die beiden Lösungen getaucht, bis die gewünschte Gesamtdicke des magnetischen Materials erzielt ist. Die Ergebnisse sindA polyethylene terephthalate carrier is cleaned and catalyzed by immersion in a tin chloride solution (5 g SnCl 2 per liter and 10 ecm concentrated HCl per liter), then rinsed and in a palladium chloride solution (0.5 g PdCl 2 per liter and 5 ecm concentrated HCl per liter) submerged. A first layer of non-magnetic nickel is deposited from solution (B), the deposition time being about 1 minute. The support is then immersed in the solution (G) for 5 minutes so that a magnetic nickel layer is formed on the non-magnetic layer, after which it is taken out and immersed in the solution (B) for 1 minute. After immersion in solution (B), the carrier is alternately immersed in the two solutions for the times already specified until the desired total thickness of the magnetic material is achieved. The results are

in F i g. 7 gezeigt, wobei die Kurve b den magnetischen Nickelschichten entspricht, deren Ablagerungszeit jeweils 5 Minuten beträgt. Die Zwischenschichten sind dabei die nichtmagnetischen Nickelschichten. Die Koerzitivkraft des aus mehreren Nickelschichten bestehenden Überzuges ist unabhängig von der Gesamtdicke des magnetischen Materials. Die Kurve d entspricht einem homogenen magnetischen Nickelüberzug und zeigt, daß die Koerzitivkraft eines solchen Überzuges stark von seiner Dicke abhängt. Obwohl die Höhe der Koerzitivkraft von aus einzelnen Schichten bestehenden Nickelüberzügen für Datenspeichervorrichtungen mit hoher Speicherdichte nicht hoch genug istj zeigt dieses Beispiel, daß die Technik der Ablagerung mehrerer Schichten auch auf andere magnetische Materialien als Kobalt anwendbar ist.in Fig. 7, the curve b corresponding to the magnetic nickel layers, the deposition time of which is 5 minutes in each case. The intermediate layers are the non-magnetic nickel layers. The coercive force of the coating, which consists of several layers of nickel, is independent of the total thickness of the magnetic material. Curve d corresponds to a homogeneous magnetic nickel coating and shows that the coercive force of such a coating is strongly dependent on its thickness. Although the level of coercive force of single layer nickel coatings is not high enough for high density data storage devices, this example shows that the multilayer deposition technique is applicable to magnetic materials other than cobalt.

Es ist für den Fachmann ohne weiteres naheliegend, daß aus mehreren Schichten bestehende Überzüge verschiedener Co-Ni-, Co-Ni-Fe oder Ni-Fe-Legierungen an Stelle der in den vorangehenden Beispielen beschriebenen reinen Kobalt- oder Nickelschichten in gleicher Weise verwendet werden können.It is obvious to a person skilled in the art that several layers consisting of several layers Co-Ni, Co-Ni-Fe or Ni-Fe alloys instead of those described in the previous examples pure cobalt or nickel layers can be used in the same way.

Claims (7)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Verfahren zum Herstellen einer magnetischen Dünnfihn-Speichervorrichtungj dadurch gekennzeichnet, daß man abwechselnd auf einen nichtmagnetischen Träger eine erste Schicht aus für die Ablagerung von Nickel und Kobalt katalytisch wirkendem, nichtmagnetischem Metall und auf diese erste Schicht chemisch eine zweite Schicht aus magnetischem Nickel, Kobalt oder deren Verbindungen ablagert.1. A method of manufacturing a thin film magnetic storage device characterized in that that one alternates a first layer on a non-magnetic support Made of non-magnetic metal that catalyzes the deposition of nickel and cobalt and a second layer of magnetic nickel, cobalt, chemically on top of this first layer or their compounds are deposited. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Stoff der ersten Schicht aus einer Palladiumchloridlösung und der Stoff der zweiten Schicht aus einer Kobalthypophosphitlösung abgelagert wird.2. The method according to claim 1, characterized in that the fabric of the first layer consists of a Palladium chloride solution and the substance of the second layer deposited from a cobalt hypophosphite solution will. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Stoff der ersten Schicht aus einer nichtmagnetischen Nickelhypophosphitlösung und der Stoff der zweiten Schicht aus einer Kobalthypophosphitlösung abgelagert wird.3. The method according to claim 1, characterized in that that the fabric of the first layer consists of a non-magnetic nickel hypophosphite solution and the fabric of the second layer is deposited from a cobalt hypophosphite solution. 4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der katalytisch aktive metallische Stoff nichtmagnetisches Nickel ist.4. The method according to claim 1, characterized in that the catalytically active metallic Material is non-magnetic nickel. 5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Stoff der ersten Schicht aus einer nichtmagnetischenNickel-Hypophosphitlösungund der der zweiten Schicht aus einer Kobalt-Hypophosphitlösung abgelagert wird,5. The method according to claim 4, characterized in that the fabric of the first layer of a non-magnetic nickel-hypophosphite solution and that of the second layer of a cobalt-hypophosphite solution is deposited, 6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der katalytisch aktive metallische Stoff mit Palladium aktiviertes Kupfer ist,6. The method according to claim 1, characterized in that that the catalytically active metallic substance is copper activated with palladium, 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der magnetische Stoff aus Kobalt und/oder Nickel oder Legierungen hiervon besteht. 7. The method according to any one of claims 2 to 6, characterized in that the magnetic Substance made of cobalt and / or nickel or alloys thereof. In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschrift Nr. 1160 263;
britische Patentschrift Nr. 953 987.
Considered publications:
German Patent No. 1160 263;
British Patent No. 953,987.
Hierzu 2 Blatt ZeichnungenFor this purpose 2 sheets of drawings 809 560/350 6.68 © Bundesdruckerei Berlin809 560/350 6.68 © Bundesdruckerei Berlin
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB953987A (en) * 1961-09-14 1964-04-02 Ncr Co Aqueous bath solution

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB953987A (en) * 1961-09-14 1964-04-02 Ncr Co Aqueous bath solution

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SE322552B (en) 1970-04-13
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