DE1213059B - Supply cathode or ion source and process for their manufacture - Google Patents

Supply cathode or ion source and process for their manufacture

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DE1213059B
DE1213059B DEN25602A DEN0025602A DE1213059B DE 1213059 B DE1213059 B DE 1213059B DE N25602 A DEN25602 A DE N25602A DE N0025602 A DEN0025602 A DE N0025602A DE 1213059 B DE1213059 B DE 1213059B
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Roberto Levi
Gary C Irons
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Koninklijke Philips NV
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Philips Gloeilampenfabrieken NV
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    • HELECTRICITY
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Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLANDFEDERAL REPUBLIC OF GERMANY

DEUTSCHESGERMAN

PATENTAMTPATENT OFFICE

AUSLEGESCHRIFTEDITORIAL

Int. Cl.:Int. Cl .:

HOIjHOIj

Deutsche KL: 21g-13/04German KL: 21g-13/04

Nummer: 1213 059Number: 1213 059

Aktenzeichen: N 25602 VIII c/21 gFile number: N 25602 VIII c / 21 g

Anmeldetag: 30. September 1964Filing date: September 30, 1964

Auslegetag: 24. März 1966Opening day: March 24, 1966

Die Erfindung betrifft eine Vorratskathode oder Ionenquelle, deren emittierender Teil aus einem porösen Metallkörper besteht.The invention relates to a supply cathode or ion source, the emitting part of which consists of a porous Metal body is made.

In einer Ionenquelle, die unter anderem in einem Ionenvortriebsmotor benutzt wird, strömt Cäsiumdampf oder ein anderes Material niedriger Ionisationsspannung durc hein poröses Metall hohen Schmelzpunktes, z. B. Wolfram, das ein verhältnismäßig hohes Austrittspotential hat und auf hoher Temperatur gehalten wird, um auf diese Weise eine Kontaktionisation des durchfließenden Dampfes zu bewirken. Die an der Ionisationsfläche verdampfenden Ionen werden durch ein elektrostatisches Feld nach außen beschleunigt. Die resultierende Reaktionskraft kann bekanntlich zum Vortreiben des Ionisators in der entgegengesetzten Richtung benutzt werden. Sowohl eine Erhöhung des Prozentsatzes das Dampfes, der im ionisierten Zustand die Oberfläche verläßt, als auch eine gleichmäßige Verteilung des herausströmenden Dampfes über die ionisierende Oberfläche liefern einen besseren Wirkungsgrad. Beide Anforderungen werden am besten durch sehr Meine Poren erfüllt, die regelmäßig über die Oberfläche verteilt sind. Aus Berechnungen erfolgt, daß eine ideale ionisierende Oberfläche Poren mit einem Durchmesser von etwa Ιμΐη (0,5 bis 2μΐη) haben müßte, die in einem Abstand von 1 bis einigen μπι (1,0 bis 4,0 μηι) voneinander entfernt sein sollten. Dies bedeutet eine Porendichte an der Oberfläche von 107 Poren cm2. Zur Forderung nach einer feinen Porosität steht die Forderung nach konstanten Abmessungen in Widerspruch. Ionenquellen müssen während längerer Zeit, z. B. einiger hundert Stunden oder mehr, auf hoher Temperatur, z. B. 1100 bis 1200° C, betrieben werden, während welcher Zeit sich die Abmessungen der Poren und ihr gegenseitiger Abstand nicht ändern dürfen. Außerdem müssen auch die makroskopischen Abmessungen des porösen Körpers unverändert bleiben, da diese auch die Geometrie des Ionenbeschleunigungssystems bedingen. Zudem bildet der poröse Körper den Verschluß des Raumes, in dem der Dampf erzeugt wird und in dem keine Undichtigkeiten auftreten dürfen, die unter anderem durch Schrumpfen oder Verzichten des porösen Körpers entstehen könnten.In an ion source, which is used, among other things, in an ion propulsion motor, cesium vapor or another material of low ionization voltage flows through porous metal with a high melting point, e.g. B. tungsten, which has a relatively high exit potential and is kept at a high temperature in order to bring about a contact ionization of the vapor flowing through in this way. The ions evaporating on the ionization surface are accelerated outwards by an electrostatic field. As is known, the resulting reaction force can be used to propel the ionizer in the opposite direction. Both an increase in the percentage of steam that leaves the surface in the ionized state and a uniform distribution of the steam flowing out over the ionizing surface provide a better degree of efficiency. Both requirements are best met by very my pores, which are regularly distributed over the surface. Calculations show that an ideal ionizing surface would have pores with a diameter of about Ιμΐη (0.5 to 2μΐη), which should be spaced from one another at a distance of 1 to a few μm (1.0 to 4.0 μm). This means a pore density on the surface of 10 7 pores cm 2 . The requirement for constant dimensions contradicts the requirement for fine porosity. Ion sources must be used for a long time, e.g. B. a few hundred hours or more, at high temperature, e.g. B. 1100 to 1200 ° C, during which time the dimensions of the pores and their mutual distance must not change. In addition, the macroscopic dimensions of the porous body must also remain unchanged, since these also determine the geometry of the ion acceleration system. In addition, the porous body forms the closure of the space in which the steam is generated and in which no leaks are allowed to occur, which could arise, among other things, from shrinking or abandonment of the porous body.

Poröse Körper mit sehr feinen Poren neigen im allgemeinen, wenn sie während längerer Zeit auf hoher Temperatur gehalten werden, dazu, stark nachzusintern, wobei nicht nur ein starkes Kornwachstum auftritt und die Anzahl der Poren kleiner und deren Abmessung größer wird, sondern auch gleichzeitig makroskopische Verformungen der Gestalt auftreten Vorratskathode oder Ionenquelle und Verfahren
zu ihrer Herstellung
Porous bodies with very fine pores generally tend, if they are kept at a high temperature for a long time, to strongly re-sinter, whereby not only a strong grain growth occurs and the number of pores becomes smaller and their dimensions larger, but also macroscopic deformations at the same time the shape occur supply cathode or ion source and process
for their manufacture

Anmelder:Applicant:

N. V. Philips' Gloeilampenfabrieken,N. V. Philips' Gloeilampenfabrieken,

Eindhoven (Niederlande)Eindhoven (Netherlands)

Vertreter:Representative:

Dipl.-Ing. E. E. Walther, Patentanwalt,Dipl.-Ing. E. E. Walther, patent attorney,

Hamburg 1, Mönckebergstr. 7Hamburg 1, Mönckebergstr. 7th

Als Erfinder benannt:Named as inventor:

Roberto Levi, New York, N. Y.;Roberto Levi, New York, N. Y .;

Gary C. Irons, Stamford, Conn. (V. St. A.)Gary C. Irons, Stamford, Conn. (V. St. A.)

Beanspruchte Priorität:Claimed priority:

V. St. ν. Amerika vom 4. Oktober 1963 (313 859)V. St. ν. America October 4, 1963 (313 859)

können. Dotierungen, mit denen das Kornwachstum verhindert werden könnte, können mit Rücksicht auf eine Vergiftung der Ionenemission nicht benutzt werden. Außerdem ist es notwendig, daß das Ausgangsmaterial für den porösen Körper aus sehr feinem Pulver mit sphärischen Körnern nicht zu stark verschiedener Abmessungen besteht; dieses Material ist jedoch verhältnismäßig teuer. Auch ist die Bearbeitung von Körpern mit sehr feinen Poren nach dem Imprägnieren mit Kupfer od. dgl. erheblich schwieriger als die Bearbeitung grob poröser Körper; weiter können sich Körper mit sehr feinen Poren bei den erforderlichen Behandlungstemperaturen verformen. can. Dopings, with which the grain growth could be prevented, can be made with regard to ion emission poisoning cannot be used. It is also necessary that the starting material not too strong for the porous body made of very fine powder with spherical grains consists of different dimensions; however, this material is relatively expensive. Editing is too of bodies with very fine pores after impregnation with copper or the like. Considerably more difficult than machining coarsely porous bodies; Furthermore, bodies with very fine pores can also contribute deform the required treatment temperatures.

Die vorerwähnten Nachteile poröser Körper feiner Porosität für Ionenquellen gelten im allgemeinen auch für poröse Körper, die einen Teil der Kathode einer Entladungsröhre bilden.The aforementioned disadvantages of porous bodies of fine porosity for ion sources apply in general also for porous bodies that form part of the cathode of a discharge tube.

Die Erfindung zielt darauf ab, einen porösen Körper anzugeben, der günstigere Eigenschaften als die bekannten Körper hat.The invention aims to provide a porous body that has more favorable properties than the known body.

Das geschieht dadurch, daß bei einer Vorratskathode oder Ionenquelle, deren emittierender Teil aus einem porösen Metallkörper besteht, erfindungsgemäß der poröse Metallkörper größere Poren aufweist, damit bei der Betriebstemperatur keine Strukturänderungen mehr auftreten, und mit einer dünnen,This is done by the fact that in the case of a supply cathode or ion source, its emitting part consists of a porous metal body, according to the invention the porous metal body has larger pores, so that no structural changes occur at the operating temperature, and with a thin,

609 539/329609 539/329

an ihrer Oberfläche emittierenden Schicht bedeckt ist, deren Porosität so fein ist, daß sich eine gleichmäßige Emission ergibt.is covered on its surface emitting layer, the porosity of which is so fine that a uniform Emission results.

Die Schicht feiner Porosität kann gemäß einer Weiterbildung der Erfindung dadurch auf die Oberfläche aufgebracht werden, daß ein feines Metallpulver auf den grob porösen Körper-aufgespritzt und die so erhaltene Schicht während kurzer Zeit bei verhältnismäßig niedriger Temperatur festgesintert wird. Während für die Sinterung eines ganzen Körpers Temperaturen von mehr als 2100° C einige Stunden lang erforderlich sind, genügt bei der dünnen Schicht eine Sinterung bei etwa 1800° C etwa eine Viertel-Stunde lang. Ein Kornwachstum kann dabei kaum auftreten. Um eine gute Haftung zu erzielen, kann der grob poröse Körper an der Oberfläche etwas oxydiert werden; es ist auch möglich, ein Oxyd des Metalls aufzubringen und in einer reduzierenden Atmosphäre festzusintern, wobei das Oxyd in das Metall umgewandelt wird. Das Material kann nicht nur gespritzt, sondern auch aufgestrichen oder aufgebürstet werden; auch kann die Bedeckung kataphoretisch aufgebracht werden ,in diesem Fall erhält man außerordentlich glatte Schichten.According to a development of the invention, the layer of fine porosity can thereby be applied to the surface be applied that a fine metal powder is sprayed onto the coarsely porous body and the layer obtained in this way is firmly sintered for a short time at a relatively low temperature. Whereas for the sintering of a whole body temperatures of more than 2100 ° C for a few hours are required for a long time, sintering at about 1800 ° C for about a quarter of an hour is sufficient for the thin layer long. Grain growth can hardly occur. In order to achieve good adhesion, can the coarsely porous body is slightly oxidized on the surface; it is also possible to use an oxide of To apply metal and sinter it in a reducing atmosphere, with the oxide in the Metal is converted. The material can not only be sprayed, but also painted or brushed on will; the covering can also be applied cataphoretically, in this case one obtains extremely smooth layers.

Es ist nicht notwendig, daß der grob poröse Körper und seine fein poröse emittierende Oberflächenschicht aus dem gleichen Metall bestehen. Für die poröse Oberfläche kann z. B. ein Metall mit dem günstigsten Austrittspotential gewählt werden; die. Wahl des grob porösen Metalls kann dadurch bestimmt sein, daß es möglich sein soll, dieses Teil festzulöten oder festzuschweißen.It is not necessary that the coarsely porous body and its finely porous emitting surface layer consist of the same metal. For the porous surface, for. B. a metal with the the most favorable exit potential can be selected; the. Choice of the coarsely porous metal can be determined by this be that it should be possible to solder or weld this part.

Wenn der poröse Körper einen Teil einer Kathode einer Entladungsröhre bildet, kann die fein poröse Schicht aufgebracht werden, nachdem der grob poröse Teil mit Erdalkälimetallverbindungen imprägniert worden ist.When the porous body forms part of a cathode of a discharge tube, the finely porous Layer are applied after the coarsely porous part is impregnated with alkaline earth metal compounds has been.

Die Erfindung wird an Hand der Zeichnung näher erläutert, in derThe invention is explained in more detail with reference to the drawing, in which

F i g. 1 schematisch einen einfachen Ionenmotor undF i g. 1 schematically shows a simple ion motor and

F i g. 2 eine Vergrößerung eines Teiles der emittierenden Oberfläche darstellt.F i g. 2 an enlargement of part of the emitting Surface represents.

In F i g, 1 bezeichnet 1 die Kammer mit einem Vorriat des zu ionisierenden Stoffes, z. B, flüssigen Cäsiums, die durch das Heizelement 2 auf der erforderlichen Temperatur gehalten wird. 3 bezeichnet ein Steuerglied für den Dampfström nach dem Dampfraum 4, dessen Hülle 5 dampf dicht ist und der durch einen porösen lomsationskörper 6 mit einer emittierenden Oberfläche 8 verschlossen ist; der lonisationskÖrper und der-Dämpfraum 4 werden mit der Heizwendel 7 auf der erforderlichen hohen Temperatur gehalten. Die Elektroden 9 bilden die Beschleunigungsanordnung für die Ionen. Fig. 2 zeigt,, daß der Ionisationskörper 6 aus einem grob porösen IhnenteiliO und einer fein porösen Oberflächenschicht 11 mit einer Oberfläche 8 besteht. Der grob poröse Teil 10 besteht aus Wolfram mit einer Dichte von 60 bis 88%, der Dichte kompakten Wolframs. Dieser grob poröse Körper ist aus Wolffamteilchen mit Abmessungen von 1 bis 6 mm hergestellt, die nach Zusammenpressen mit einem Drück von etwa 2,5 t/cm2 während etwa 4 Stunden in einer neutralen oder einer reduzierenden Atmosphäre gesintert wurden. Der so erhaltene Körper hat Körner mit Abmessungen zwischen 3 und 20 μπι,, Zwischen denen Poren von 1 bis- 12 μπι, durchschnittlich Poren Von 5μη1 mit einem mittleren'Abstand von 15 μην vorhanden sind. An der Oberfläche hat der Körper 2 · 105 Poren/cm2. Gewünschtenfalls kann dieser - grob poröse Körper in eine bestimmte. Form, z.B.In Fig. 1, 1 denotes the chamber with a supply of the substance to be ionized, e.g. B, liquid cesium, which is kept at the required temperature by the heating element 2. 3 denotes a control element for the steam flow to the steam space 4, the envelope 5 of which is steam-tight and which is closed by a porous lomsation body 6 with an emitting surface 8; the ionization body and the damping space 4 are kept at the required high temperature with the heating coil 7. The electrodes 9 form the acceleration arrangement for the ions. 2 shows that the ionization body 6 consists of a coarsely porous part of it and a finely porous surface layer 11 with a surface 8. The coarsely porous part 10 consists of tungsten with a density of 60 to 88%, the density of compact tungsten. This coarsely porous body is made of tungsten particles with dimensions of 1 to 6 mm which, after being compressed , were sintered at a pressure of about 2.5 t / cm 2 for about 4 hours in a neutral or a reducing atmosphere. The body obtained in this way has grains with dimensions between 3 and 20 μm, between which there are pores of 1 to 12 μm, on average pores of 5 μm with an average spacing of 15 μm. The body has 2 · 10 5 pores / cm 2 on the surface. If desired, this - coarsely porous body in a certain. Shape, e.g.

'mit einer hohlen Oberfläche, gebrächt werden, indem der Körper mit z. B. Kupfer imprägniert und mechä= nisch bearbeitet wird, wonach das Kupfer ausgedampft wird. Dieses Verfahren ist bekannt. Es wird auf diese Weise z. B. ein poröser Metallkörper mit'with a hollow surface, can be used by the body with z. B. Impregnated copper and mechä = nisch is processed, after which the copper is evaporated. This procedure is well known. It will in this way z. B. a porous metal body with

ίο einer hohlen Oberfläche von etwa 5 · 10 cm und einer Dicke von gut 1 mm erhalten.ίο a hollow surface of about 5 · 10 cm and a thickness of a good 1 mm.

Auf diesen grob porösen Körper wird eine Schicht feiner Wolframteilchen· mit einem mittleren Durchmesser von 0j8 μηι (von 0,5 bis 1,0 μπι) aufgebracht.A layer of fine tungsten particles with a mean diameter is placed on this coarsely porous body of 0j8 μηι (from 0.5 to 1.0 μπι) applied.

Es wird von diesem Pulver eine Suspension hergestellt, die 70 g Pulver in 10Ö cm3 Amylacetat enthält und.der eine kleine Menge Kollodium zugesetzt wird. Die Suspension wird -mittels einer üblichen Färb= spritze in einer Schichtdicke angebracht, die minde-*A suspension is made from this powder which contains 70 g of powder in 100 cm 3 of amyl acetate and to which a small amount of collodion is added. The suspension is applied using a conventional syringe in a layer that is at least *

ao stem gleich.der Dicke einesTeilöhen& ist und deren obere Grenze durch die Haftung und die Festigkeit bedingt wird. Nach dem Verdampfen des Amylacetat wird das Ganze in Wasserstoff während einer Viertel* stünde bei 1800°C reduziert, wobei das feine1 Pulver zusammensintert und an dem Träger haftet, während gleichzeitig das Bindemittel verbrennt. In einem bestimmten Fall ist die so hefgestellte fein poröse Schicht 20 μηι dick; sie hat ent© Dichter von 6h, wobei die Körner eine Abmessung von" 0,5 bis 6 μπϊ, durchschnittlich 3 μηι, haben. Der Durchmesser der . Poren schwankt .zwischen. 1 Und 3 μίη und beträgt durchschnittlich 2 μπι; der mittlere Abstand beträgt 3,5 μπι- Auf einem Quadratzentimetef der Oberfläche befinden sich 4 · 106 Poren. Aus diesen Angaben gehtao stem equal to the thickness of a part and the upper limit of which is determined by the adhesion and the strength. After evaporation of the amyl acetate in the whole hydrogen during a quarter is * would be reduced at 1800 ° C, wherein the fine powder sinters together 1 and adheres to the carrier while simultaneously burns the binder. In a certain case, the finely porous layer produced in this way is 20 μm thick; it has ent © density of 8Ö 6 h, with the grains having a dimension of "0.5 to 6 μm, on average 3 μm. The diameter of the pores fluctuates between. 1 and 3 μm and averages 2 μm; the The mean distance is 3.5 μm. There are 4 · 10 6 pores on one square centimeter of the surface

hervor, daß die Struktur der fein porösen Oberfläche dem Idealfall ziemlich nahekömmt, was auf die Sinterung der fernen Oberflächenschicht während vet* hältnismäßig kurzer Zeit bei nicht zu hoher Temperatur zurückzuführen ist. Infolge der gföb porösen shows that the structure of the finely porous surface comes pretty close to the ideal case, what the Sintering of the distant surface layer during vet * relatively short time at not too high a temperature. As a result of the gföb porous

Unterlage behält der gesamte Körper im Betrieb seine Abmessungen.Underlay, the entire body retains its dimensions during operation.

Um die Haftung der fein porösen Schicht zu verbessern, kann der grob poröse Körper vorher leicht oxydiert werden, z.B. durch Erhitzung in Luft bei 500° C Während einer halben Stunde.- Die Oberfläche nimmt dann eine dunkle Farbe aö. Das Oxydieren und Erhitzen sollen nicht so lange fortgesetzt werden, daß die Färbe gelblich wird, da die fehl poröse Schicht dann nicht haftet. Das Oxyd Wird beim Festsintern der fein porösen Schicht reduziert. Statt einer Oxydation kann auch die Oberfläche durch Sandstrahlen aufgerauht werden.To improve the adhesion of the finely porous layer, the coarsely porous body can be slightly oxidized beforehand, e.g. by heating in air 500 ° C for half an hour.- The surface then takes on a dark color aö. The oxidizing and heating should not be continued for so long that the color becomes yellowish, since the incorrectly porous layer then does not adhere. The oxide becomes during solid sintering the finely porous layer is reduced. Instead of one Oxidation can also be done by sandblasting the surface be roughened.

Bei einem anderen Verfahren wird Wolframtfiöxyd aufgebracht und reduziert,Another method is tungsten oxide applied and reduced,

In allen Fällen kann zur Verringerung der thermischen Strahlung die Oberfläche poliert oder geschliffen Werden.In all cases it can reduce the thermal Radiation the surface can be polished or sanded.

Claims (4)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Vorratskathode öder Ionenquelle, deren emittierender Teil aus einem porösen Metallkörper besteht, dadurch gekennzeichnet, daß der poröse Metallkörper (10) größere Poren aufweist, damit bei der Betriebstemperatur kerne Strukturänderuagen mehr auftreten, und mit eittef dünnen, an ihrer Oberfläche emittierenden Schicht (11) bedeckt ist, deren Porosität so fein ist, daß sich eine gleichmäßige Emission ergibt.1. Storage cathode or ion source, whose emitting part made of a porous metal body consists, characterized in that the porous metal body (10) has larger pores has, so that no structural changes occur more at the operating temperature, and with eittef thin, emitting on its surface layer (11) is covered, the porosity of which is so fine that an even emission results. 2. Verfahren zur Herstellung eines porösen Metallkörpers für eine Vorratskathode oder Ionenquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Oberfläche eines grob porösen Körpers ein feines Pulver eines Metalls oder einer reduzierbaren Verbindung desselben angebracht wird, das in kurzer Zeit bei verhältnismäßig niedriger Temperatur festgesintert wird.2. A method for producing a porous metal body for a supply cathode or Ion source according to claim 1, characterized in that on the surface of a coarsely porous Body is a fine powder of a metal or a reducible compound thereof is attached, which is sintered in a short time at a relatively low temperature. 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der grob poröse Körper auf der Oberfläche vorher oxydiert oder aufgerauht wird.3. The method according to claim 2, characterized in that the coarsely porous body the surface is oxidized or roughened beforehand. 4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die fein poröse Schicht aufgebracht wird, nachdem der grob poröse Körper imprägniert worden ist.4. The method according to claim 2, characterized in that the finely porous layer is applied after the roughly porous body has been impregnated. Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings
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