DE1208042B

DE1208042B - Device for observing processes in high vacuum equipment, especially the melting process in high vacuum furnaces

Info

Publication number: DE1208042B
Application number: DEV22024A
Authority: DE
Inventors: Dipl-Phys Dr Siegfrie Schiller; Dr Hans Westmeyer
Original assignee: LOKOMOTIVBAU ELEKTROTECH
Current assignee: LOKOMOTIVBAU ELEKTROTECH
Priority date: 1962-02-10
Filing date: 1962-02-10
Publication date: 1965-12-30

Description

Einrichtung zur Beobachtung von Prozessen in Hochvakuumapparaturen, insbesondere des Schmelzprozesses in Hochvakuumschmelzöfen Die Erfindung hat eine Einrichtung zum Inhalt, die der Beobachtung von Prozessen in Hochvakuumapparaturen dient und insbesondere in Elektronenstrahlschmelzöfen, bei denen zur Beobachtung dienende durchsichtige Teile bedampfen und dabei eine undurchsichtige Schicht bilden, zur Anwendung kommt.Equipment for the observation of processes in high vacuum equipment, in particular of the melting process in high vacuum melting furnaces. The invention has one Facility for content, the observation of processes in high vacuum apparatus is used and especially in electron beam melting furnaces, where for observation steam serving transparent parts and thereby form an opaque layer, is used.

Das Schmelzen mittels Elektronenstrahl gewinnt mehr und mehr an Bedeutung. Es wird dabei die kinetische Energie von beschleunigten Elektronen zur Metallerhitzung verwendet. Dieses Verfahren hat im Gegensatz zum Hochvakuumlichtbogenofen den Vorteil, daß prinzipiell bei beliebig gutem Vakuum geschmolzen werden kann. Während der Druck im Schmelzraum bei Hochvakuumlichtbogenöfen größer als 10-a Torr ist, liegt er beim Elektronenstrahlschmelzofen zwischen 10-3 und 10-5 Torr.Melting by means of electron beams is becoming more and more important. It uses the kinetic energy of accelerated electrons to heat the metal used. In contrast to the high vacuum arc furnace, this process has the advantage of that in principle can be melted at any good vacuum. During the printing in the melting chamber of high vacuum arc furnaces is greater than 10-a Torr, it is with Electron beam melting furnace between 10-3 and 10-5 Torr.

Bekanntlich gilt für die mittlere freie Weglänge wobei c z. B. für Luft einen Wert um 0,05 hat. Die mittlere freie Weglänge liegt also beim Hochvakuumlichtbogen bei -5 mm, während sie beim Elektronenstrahlschmelzofen Werte zwischen 50 und 5000 mm annimmt. Dieses große 2 wirkt sich nachteilig für die Beobachtungsmöglichkeiten bei Elektronenstrahlschmelzöfen aus. Während bei Hochvakuumlichtbogenöfen die verdampfenden Metallatome auf ihrem Weg zum Beobachtungsfenster, welches oft einen Abstand um 500 bis 1000 mm von der Schmelze besitzt, viele Male zusammenstoßen und gestreut werden, gelangen beim Elektronenstrahlschmelzofen die verdampften Metallatome bei Drücken um 10-4 Torr zum Ofen fast ohne Zusammenstoß zum Beobachtungsfenster. Dies hat ein viel stärkeres Bedampfen der Beobachtungsfenster zur Folge. Bei Metallen, welche bei Aufdampfen auf Glas oder Metallflächen wiederum eine spiegelnde Fläche ergeben, ist versucht worden, die Metallschmelze über den immer wieder sich erneuernden Spiegel zu beobachten. Diese Methode hat den Nachteil, daß sie nur für spezielle Materialien zur Anwendung kommen kann. Ferner wurden ebenso wie beim Lichtbogenofen die Fenster so konstruiert, daß sie sich im allgemeinen hinter einer Metallschutzplatte befinden und nur während des Beobachtens ins Gesichtsfeld gedreht werden. Diese Methode führt wohl bei Lichtbogenöfen, jedoch nicht bei Elektronenstrahlschmelzöfen zu einem befriedigenden Erfolg. Denn eine fast ununterbrochene Beobachtung ist während des oft sich über Stunden erstreckenden Schmelzprozesses unbedingt erforderlich. Durch immer größer werdende Einheiten der Elektronenstrahlschmelzöfen tritt infolge der damit verbundenen größer werdenden Kokillendurchmesser ein so starkes Bedampfen der Beobachtungsfenster auf, daß auch kaum ein zeitweilige Beobachtung des Schmelzprozesses möglich ist.As is well known, the following applies to the mean free path where c z. B. for air has a value around 0.05. The mean free path for a high vacuum arc is therefore -5 mm, while for an electron beam melting furnace it assumes values between 50 and 5000 mm. This large 2 has a disadvantageous effect on the observation possibilities in electron beam melting furnaces. While in high vacuum arc furnaces the evaporating metal atoms on their way to the observation window, which is often 500 to 1000 mm away from the melt, collide and are scattered many times, in electron beam melting furnaces the evaporated metal atoms reach the furnace with almost no pressure at pressures of 10-4 Torr Collision to the observation window. This results in a much stronger vaporization of the observation window. In the case of metals, which in turn produce a reflective surface when vapor deposited on glass or metal surfaces, attempts have been made to observe the molten metal via the mirror, which is constantly renewed. This method has the disadvantage that it can only be used for special materials. Furthermore, just as in the case of the electric arc furnace, the windows were designed in such a way that they are generally located behind a metal protective plate and are only turned into the field of view during observation. This method leads to satisfactory results in electric arc furnaces, but not in electron beam melting furnaces. This is because almost uninterrupted observation is essential during the melting process, which often takes hours. As the units of the electron beam melting furnace become larger and larger, the resulting larger mold diameter causes so much vaporization of the observation window that it is hardly possible to observe the melting process temporarily.

Weiterhin ist es bekannt, Anordnungen zu verwenden, welche nach dem Prinzip des Fizeauschen Rades einen Molekül- oder Atomstrahl den Durchtritt durch einen bestimmten Raum verwehren. Dazu sind im Abstand voneinander zwei Schlitzscheiben auf einer gemeinsamen Welle angeordnet, die von einem geeigneten Motor angetrieben wird. Dabei wird der Effekt ausgenutzt, daß ein Molekül oder Atom, das durch den Schlitz in der ersten Scheibe gelangte, auf die zweite Scheibe aufprallt, da infolge der Laufzeitdifferenz zwischen beiden Scheiben die letztere um einen bestimmten Betrag, der größer als die Schlitzbreite sein muß, weiterbewegt wurde.Furthermore, it is known to use arrangements which after the Principle of the Fizeauschen wheel a beam of molecules or atoms passing through it deny a certain room. For this purpose, there are two slotted disks at a distance from one another arranged on a common shaft driven by a suitable motor will. The effect is exploited that a molecule or atom that is through the Slit in the first disc hit the second disc as a result the difference in transit time between the two slices decreases the latter by a certain amount Amount that must be larger than the slot width was moved on.

Diese Einrichtung hat jedoch den Nachteil, daß die Schlitzscheiben mit so hohen Drehzahlen rotieren müssen, die nur mit den sehr aufwendigen Hilfsmitteln der Ultrazentrifugentechnik möglich sind, wenn die Molekular- bzw. Atomgeschwindigkeit berücksichtigt wird.However, this device has the disadvantage that the slotted disks Have to rotate at such high speeds that only with the very costly aids ultracentrifuge technology are possible if the molecular or atomic speed is taken into account.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zu schaffen, die ein Bedampfen des Beobachtungsfensters durch Einschalten von Schlitzscheiben mit niedriger Drehzahl, durch vakuumtechnische Maßnahmen und durch Reduzierung der Aufdampfrate auf dem Beobachtungsfenster weitestgehend verhindert.The invention is based on the object of creating a device the steaming of the observation window by switching on slotted disks with low speed, through vacuum-technical measures and by reducing the Evaporation rate largely prevented on the observation window.

Dabei soll es nicht darauf ankommen, jedes einzelne Dampfteilchen abzufangen, sondern eine unter Berücksichtigung der nichtlinearen Beziehungen zwischen Transparenz und Schichtdicke entsprechende Beobachtungsdauer in industriellen Vakuumanlagen, die besonders zu Schmelz- und Bedampfungszwecken dienen, zu erzielen, wobei es vor allem darauf ankommt, einen großen Blickwinkel zu erhalten und magroskopische Schritzer aus der Schmelze abzufangen.It shouldn't matter, every single vapor particle intercept but one taking into account the non-linear Relationship between transparency and layer thickness corresponding observation time in industrial vacuum systems, especially for melting and vapor deposition purposes serve to achieve, where it is important to have a broad perspective and to catch magroscopic scratches from the melt.

Die Aufgabe wird dadurch gelöst, daß erfindungsgemäß zwischen der Dampfquelle und dem Beobachtungsfenster eine oder mehrere mit einem oder mehreren Schlitzen versehene Scheiben drehbar angeordnet sind. Dabei ist die Drehgeschwindigkeit der Scheiben derart zu wählen, daß die Unterbrechungsfrequenz des Lichtstrahles oberhalb der Flimmergrenze liegt. Ein weiteres Merkmal der Erfindung besteht darin, daß zwischen der Dampfquelle und dem Beobachtungsfenster ein Rohr angebracht ist, in welchem ein derart hoher Gasdruck herrscht, daß die verdampfenden Metallatome sehr stark streuen und nicht an das Beobachtungsfenster gelangen. Die Seitenwände dieses Rohres sind wassergekühlt, und die Abmessungen sind so gewählt, daß ein hohes Druckgefälle zwischen Beobachtungsfenster und Dampfquelle auftritt und die Metallatome infolge der Streuung zum großen Teil an den Wänden des Rohres niederschlagen. Die erfindungsgemäße Scheibe ist drehbar im vorgenannten Rohr angeordnet, und es können auf derselben Achse bei Bedarf mehrere Scheiben vorgesehen sein, bei denen die Schlitzbreite der der Dampfquelle zugewandten Scheibe so zu bemessen ist, daß keine Einengung des Gesichtsfeldes auftritt. Zwischen den rotierenden Scheiben ist zur Erhöhung des Druckgefälles eine Vakuumpumpe angeordnet. Vermittels der erfindungsgemäß zwischen dem Beobachtungsfenster und dem Schmelzraum angebrachten drehbaren Scheibe bzw. den drehbaren Scheiben, welche mit einem oder mehreren radialen Schlitzen versehen sind, kann man die pro Zeiteinheit aus dem Schmelzraum auf das Fenster aufgedampfte Substanzmenge im Verhältnis der Gesamtschlitzbreite zum Kreisumfang vermindern. Wählt man die Drehgeschwindigkeit so hoch, daß die Flimmergrenze überschritten wird, so ist eine ungestörte Beobachtung durch das Fenster mit ebenfalls im Verhältnis Schlitzbreite zum Umfang reduzierter Helligkeit möglich. Da die Durchlässigkeit einer reflektierenden und absorbierenden Aufdampfschicht stärker als linear mit der Dicke der Aufdampfschicht verringert wird, kann man mit dieser Anordnung eine Verlängerung der Beobachtungsdauer erzielen, ehe eine bestimmte Helligkeitsgrenze unterschritten wird. Auch die Belastung des Beobachtungsfensters durch Wärmestrahlung wird durch diese Einrichtung stark verringert.The object is achieved in that according to the invention between the Steam source and the observation window one or more with one or more Slotted disks are rotatably arranged. Where is the speed of rotation to choose the discs so that the interruption frequency of the light beam is above the flicker limit. Another feature of the invention is that a pipe is attached between the steam source and the observation window, in which there is such a high gas pressure that the evaporating metal atoms scatter very strongly and do not get to the observation window. The side walls this tube are water-cooled, and the dimensions are chosen so that a high Pressure gradient occurs between the observation window and the steam source and the metal atoms due to the scattering, to a large extent, precipitate on the walls of the pipe. the Disc according to the invention is rotatably arranged in the aforementioned tube, and it can If necessary, several disks can be provided on the same axis, in which the slot width of the pane facing the steam source is to be dimensioned so that there is no constriction of the visual field occurs. Between the rotating disks is to increase of the pressure gradient a vacuum pump is arranged. By means of the invention between rotatable disk attached to the observation window and the melting chamber or the rotatable disks, which are provided with one or more radial slots are, you can see the vapor deposited per unit of time from the melting chamber onto the window Reduce the amount of substance in the ratio of the total slot width to the circumference. If you choose the rotation speed so high that the flicker limit is exceeded, so an undisturbed observation through the window is also in proportion Slit width possible to the extent of reduced brightness. Because the permeability a reflective and absorbent vapor deposition layer stronger than linear with the thickness of the vapor deposition layer is reduced, one can with this arrangement a Achieve extension of the observation period before a certain brightness limit is fallen below. Also the exposure of the observation window to thermal radiation is greatly reduced by this facility.

Zur Abschätzung der Wirkung der Drehblende sei angenommen, daß die Dicke der Aufdampfschicht linear mit der Zeit t anwächst und das durch das Beobachtungsfenster hindurchgelassene Licht exponentiell mit steigender Dicke der Aufdampfschicht verringert wird. Das Verhältnis Schlitzbreite zum Umfang sei mit I bezeichnet. Dann ist n dl=a-t, wobei dl und dz die während der Zeit ohne und mit rotierendem Sektor aufgedampften Schichtdicken bezeichnen.To estimate the effect of the rotary diaphragm, it is assumed that the thickness of the vapor deposition layer increases linearly with time t and the light transmitted through the observation window is reduced exponentially with increasing thickness of the vapor deposition layer. The ratio of the slot width to the circumference is denoted by I. Then n dl = at, where dl and dz denote the layer thicknesses evaporated during the time with and without the rotating sector.

Der Betrag des durchgelassenen Lichtes ist für die beiden Fälle ohne und mit rotierendem Sektor. Bezeichnet man mit J9 die Grenzintensität des Lichtes, welches gerade noch zur Beobachtung ausreicht, so ergibt sich für die Zeiten tl (ohne Sektorscheibe) und t2 (mit rotierendem Sektor), während welcher die Helligkeit bis zur Grenzhelligkeit abgesunken ist, oder Der optimale Wert für n ergibt sich aus zu und damit eine maximal mögliche Verlängerung der Beobachtungszeit Erfahrungsgemäß kann man einsetzen J9 = 10-g damit wird nopt = 370 und Man erhält also eine 50fache Verlängerung der Beobachtungsdauer durch das Fenster bei Verwendung des passenden rotierenden Sektors.The amount of light transmitted is for the two cases with and without a rotating sector. If J9 is used to denote the limit intensity of the light, which is just sufficient for observation, then for the times tl (without sector disk) and t2 (with rotating sector), during which the brightness has decreased to the limit brightness, or The optimal value for n results from to and thus a maximum possible extension of the observation time Experience has shown that one can insert J9 = 10-g so that nopt = 370 and So you get a 50-fold extension of the observation time through the window when using the appropriate rotating sector.

Der technische Fortschritt der Erfindung ist insbesondere darin zu sehen, daß mit einfachen technischen Mitteln eine industriell verwertbare Einrichtung realisierbar ist, die die Beobachtung von Vakuumprozessen, insbesondere von Schmelz-, Schweiß- und Bedampfungsprozessen, mit im wesentlichen nur einer relativ langsam drehenden Schlitzscheibe über mehrere hundert Stunden ermöglicht.The technical progress of the invention is particularly therein see that with simple technical means an industrially usable facility can be implemented, which enables the observation of vacuum processes, in particular of melting, Welding and vapor deposition processes, with essentially only one being relatively slow rotating slotted disc for several hundred hours.

Die Zeichnung gibt zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung wieder. Es zeigt F i g. 1 die rotierende undurchsichtige Scheibe, F i g. 2 eine Anordnung mit einer rotierenden Scheibe, F i g. 3 eine Anordnung mit zwei rotierenden Scheiben und zusätzlicher Vakuumpumpe.The drawing shows two exemplary embodiments of the invention. It shows F i g. 1 the rotating opaque disk, FIG. 2 shows an arrangement with a rotating disc, F i g. 3 an arrangement with two rotating discs and additional vacuum pump.

Die Scheibe 1 ist mit einem Schlitz 2 mit dem Winkel a° = 360°/n und der Drehachse 3 versehen. 4 gibt die Drehrichtung der Scheibe an. Mit 5 ist das am Ende des wassergekühlten Metallrohres 7 angebrachte Beobachtungsfenster bezeichnet. Das Gaseinlaßventil6 sorgt für den entsprechenden Druckunterschied. Gekühlt wird das Metallrohr 7 durch eine Wasserkühlung B. Im Schmelzraum 9 ist der abzuschmelzende Stab 10 und die wassergekühlte Kupferkokille 11 angeordnet. An der Absaugeinrichtung 12 ist eine Diffusionspumpe zur Evakuierung des Schmelzraumes angeschlossen. Die Zwischenpumpe 13 sorgt für das entsprechend notwendige Druckgefälle.The disk 1 is provided with a slot 2 with the angle α ° = 360 ° / n and the axis of rotation 3. 4 indicates the direction of rotation of the disc. The observation window attached to the end of the water-cooled metal pipe 7 is designated by 5. The gas inlet valve 6 ensures the corresponding pressure difference. The metal pipe 7 is cooled by a water cooling system B. The rod 10 to be melted and the water-cooled copper mold 11 are arranged in the melting chamber 9. A diffusion pump for evacuating the melting space is connected to the suction device 12. The intermediate pump 13 ensures the pressure gradient required accordingly.

Nachstehend soll nun das Zusammenwirken der einzelnen Teile der Einrichtung beschrieben werden: Eine starkeVerminderungderBedampfungsgeschwindigkeit kann man erreichen, indem man erfindungsgemäß zwischen dem flüssigen Metall und der Schmelze einen Raum anbringt, der für Lichtstrahlen durchlässig, für die verdampften Atome praktisch undurchdringlich ist. Ein solcher Raum ist gegeben, wenn darin ein genügend hoher Gasdruck herrscht, so daß die Teilchen gestreut werden, und die Wände dieses Raumes wassergekühlt sind, so daß sich die gestreuten Metallatome dort niederschlagen. Man kann dieses in der folgenden Weise verwirklichen: Werden die Länge und der Durchmesser des Raumes, beim Ausführungsbeispiel des Rohres 7, entsprechend dimensioniert, so kann in dem Rohr ein hohes Druckgefälle auftreten. Für das Druckgefälle in einem Rohr gilt bekanntlich die Beziehung wobei p1 = Druck am Beobachtungsfenster 5, p, = Druck am Ort der Pumpe 12 bzw. im Schmelzraum 9, S, = Saugvermögen der Pumpe im Schmelzraum (IS-1), L = Leitwert des Rohres (1s-1).The interaction of the individual parts of the device will now be described below: A strong reduction in the vaporization rate can be achieved by creating a space between the liquid metal and the melt according to the invention which is permeable to light rays and practically impermeable to the vaporized atoms. Such a space exists when there is a sufficiently high gas pressure in it that the particles are scattered and the walls of this space are water-cooled so that the scattered metal atoms are deposited there. This can be achieved in the following way: If the length and the diameter of the space, in the embodiment of the pipe 7, are dimensioned accordingly, a high pressure gradient can occur in the pipe. As is well known, the relationship applies to the pressure drop in a pipe where p1 = pressure at the observation window 5, p, = pressure at the location of the pump 12 or in the melting chamber 9, S, = pumping speed of the pump in the melting chamber (IS-1), L = conductivity of the pipe (1s-1).

Für den Leitwert eines Rohres gilt bei Luft von 20'C wobei r = Radius des Rohres, 1= Länge des Rohres bedeuten. Um ein großes Verhältnis von zu erhalten, ist es also erforderlich, L klein zu halten. p2 ist durch den erforderlichen Schmelzdruck vorgegeben, ebenso ist der Saugleistung der Pumpe eine praktische Grenze gesetzt. Auch bei genügend hohem p1 sollte die dadurch hervorgerufene Belastung der Pumpe klein sein gegenüber der Belastung durch den eigentlichen Schmelzprozeß. Um dies noch besser zu gewährleisten, wird die erfindungsgemäß zuvor beschriebene Scheibe 1 so angebracht, daß der darin vorhandene kleine Schlitz 2 als Strömungswiderstand ausgenutzt werden kann. Durch diese erfindungsgemäße Anordnung wird eine größenordnungsmäßige Erhöhung des Strömungswiderstandes erreicht, womit nach Formell eine größenordnungsmäßige Erhöhung des Druckgefälles verbunden ist. Ein numerisches Beispiel möge das erläutern: Für ein praktisch vorkommendes r . 1,5 cm, 1.., 20 cm ergibt sich für L etwa 171s-1.For the conductance of a pipe, 20'C applies to air where r = radius of the pipe, 1 = length of the pipe. To get a large ratio of it is therefore necessary to keep L small. p2 is specified by the required melt pressure, and there is also a practical limit to the suction capacity of the pump. Even with a sufficiently high p1, the resulting load on the pump should be small compared to the load caused by the actual melting process. In order to ensure this even better, the disk 1 described above according to the invention is attached in such a way that the small slot 2 present therein can be used as a flow resistance. This arrangement according to the invention achieves an increase in the flow resistance of the order of magnitude, which, according to the formula, is associated with an increase in the pressure gradient of the order of magnitude. Let a numerical example explain this: For a practically occurring r. 1.5 cm, 1 .., 20 cm results in about 171s-1 for L.

Für den Leitwert einer Blende erhält man L .., 12 F[ar,,1 (1s-1), (4) wobei F die Fläche der Blende ist.For the conductance of an aperture one obtains L .., 12 F [ar ,, 1 (1s-1), (4) where F is the area of the diaphragm.

Für F ergibt sich bei r 1,5 cm praktisch ein Wert um 2 - 10-2. cma. Daraus folgt L 0,241s-1.For F at r 1.5 cm there is practically a value of around 2 - 10-2. cma. From this it follows L 0.241s-1.

Eine weitere Verbesserung der Einrichtung erhält man erfindungsgemäß dadurch, daß man auf dieselbe Achse zwei sich drehende Scheiben 1, 1' anbringt (F i g. 3), wobei der Spalt in der zweiten dem Schmelzraum 9 zugewandten Scheibe 1' so groß ist, daß bei vorgegebenem Abstand der beiden Scheiben voneinander dadurch keine Begrenzung des Gesichtsfeldes eintritt. Man kann noch zwischen den beiden Scheiben eine Pumpe 13 anbringen, um ein noch höheres Druckgefälle zu erzeugen. Dabei genügt in den meisten Fällen eine Vorvakuumpumpe. Verwendet man z. B. eine Pumpe mit einem Saugvermögen von 101s-1, so ergibt sich an der Scheibe ein Druckgefälle von über 40. Der Leitwert in Scheibe 1' wird praktisch weniger als der dreifache Wert von dem in Scheibe 1 sein. Es tritt also an Scheibe L wiederum ein hohes Druckgefälle auf, wobei dann das gesamte Druckgefälle das Produkt des Druckabfalles an den beiden Scheiben ist. Bei geeigneter Winkelgeschwindigkeit der Scheiben wird dadurch ferner erreicht, daß insbesondere auch kleine Metallspritzer, wenn sie durch den Schlitz der Scheibe 1' gelangt sind, auf Scheibe 1 auftreffen und dort haftenbleiben. Denn Metallspritzer werden durch das Gas nicht gestreut.A further improvement of the device is obtained according to the invention in that two rotating disks 1, 1 'are attached to the same axis (FIG. 3), the gap in the second disk 1' facing the melting chamber 9 being so large that With a given distance between the two panes, there is no limitation of the field of view. A pump 13 can also be attached between the two discs in order to generate an even higher pressure gradient. In most cases, a backing pump is sufficient. If you use z. For example, a pump with a pumping speed of 101s-1 results in a pressure gradient of more than 40 at the disk. The conductance in disk 1 ' will practically be less than three times the value in disk 1 . So there is again a high pressure gradient at disk L, the total pressure gradient then being the product of the pressure drop across the two disks. With a suitable angular velocity of the disks, it is further achieved that, in particular, even small metal splashes, when they have passed through the slot in disk 1 ' , strike disk 1 and adhere there. Because metal splashes are not scattered by the gas.

Eine Erhöhung des Restdruckes im Schmelzraum wird bei Anwendung der beschriebenen Einrichtung praktisch nicht mehr bewirkt. Außerdem ist es zweckmäßig, ein inaktives Gas, z. B. Argon, einzulassen. Dies bewirkt infolge des hohen Atomgewichtes außerdem eine große Streuung der Metallatome.An increase in the residual pressure in the melting chamber is achieved when using the described device practically no longer causes. It is also useful an inactive gas, e.g. B. argon to admit. This is due to the high atomic weight also a large scattering of the metal atoms.

Die hier beschriebene Einrichtung ist natürlich nicht auf Elektronenstrahlschmelzöfen beschränkt, sondern vorteilhaft auch für alle anderen Hochvakuumschmelzöfen zu verwenden sowie z. B. für Schweißen mittels Elektronenstrahlen.The facility described here is of course not limited to electron beam furnaces limited, but can also be used advantageously for all other high-vacuum melting furnaces as well as z. B. for welding by means of electron beams.

Claims

Claims: 1. Device for observing processes in high vacuum apparatus, especially for observing the melting process in high vacuum melting furnaces, thereby characterized in that between the steam source (11) and the observation window (5) one or more disks (1) provided with one or more slots (2) are rotatable are arranged.

2. Device according to claim 1, characterized in that the rotational speed of the disc or discs (1) is to be selected such that the interruption frequency of the light path is above the flicker limit.

3. Device according to claims 1 and 2, characterized in that the disc (1) is rotatably arranged in a tube (7).

4. Device according to claims 1 to 3, characterized in that two slotted disks (1; 1 ') rotating on the same axis are arranged, the slot width of the disk (1') facing the steam source being dimensioned so that none Narrowing of the field of view occurs.

5. Device according to claims 1 to 4, characterized in that a vacuum pump (13) is arranged between the rotating disks (1; 1 ') to increase the pressure gradient. Considered publications: German Patent Specifications No. 866 230, 716 705; French patent specification No. 1179 430.