DE112021000365T5

DE112021000365T5 - FLUID CONTROL DEVICE

Info

Publication number: DE112021000365T5
Application number: DE112021000365.8T
Authority: DE
Inventors: Yutoku KAWABATA; Nobuhira TANAKA
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2020-02-26
Filing date: 2021-02-01
Publication date: 2022-10-20
Also published as: WO2021171917A1; CN115210469A; JP7400939B2; US20220381361A1; JPWO2021171917A1

Abstract

Eine Fluidsteuervorrichtung (10) weist eine erste Hauptplatte (21), eine zweite Hauptplatte (40), einen Antriebskörper (30), einen Rahmenkörper (22), mehrere Trägerkörper (23), mehrere Spalte (230), ein Seitenwandelement (50), eine Ventilfolie (61) und ein Befestigungselement (62). Eine Pumpenkammer (100) wird von einem flachen Plattenteil, bestehend aus der ersten Hauptplatte (21), dem Rahmenkörper (22) und den mehreren Trägerkörpern (23), und der zweiten Hauptplatte (40) und dem Seitenwandelement (50) gebildet. Die Ventilfolie (61) ist an einer Hauptfläche (211) der ersten Hauptplatte 21 auf der Seite angeordnet, auf der die Pumpenkammer (100) liegt. Die Ventilfolie (61) ist ringförmig und ist mit dem Befestigungselement (62) an der ersten Hauptplatte (21) befestigt, so dass ein äußeres Ende (611) davon ein bewegbares Ende ist. Das äußere Ende (611) der Ventilfolie (61) überlappt in Draufsicht die zwischen den mehreren Stützabschnitten (23) liegenden mehreren Spalten (230) .

A fluid control device (10) has a first main plate (21), a second main plate (40), a drive body (30), a frame body (22), a plurality of support bodies (23), a plurality of gaps (230), a side wall element (50), a valve foil (61) and a fastening element (62). A pump chamber (100) is formed by a flat plate part consisting of the first main plate (21), the frame body (22) and the plurality of supporting bodies (23), and the second main plate (40) and the side wall member (50). The valve sheet (61) is arranged on a main surface (211) of the first main plate 21 on the side where the pump chamber (100) lies. The valve sheet (61) is ring-shaped and is fixed to the first main plate (21) with the fixing member (62) so that an outer end (611) thereof is a movable end. The outer end (611) of the valve film (61) overlaps the multiple gaps (230) lying between the multiple support sections (23) in plan view.

Description

Technisches Gebiettechnical field

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Fluidsteuervorrichtung, die ein piezoelektrisches Material nutzt.The present invention relates to a fluid control device using a piezoelectric material.

Technischer HintergrundTechnical background

Bisher wurden schon verschiedene Fluidsteuervorrichtungen vorgeschlagen, die ein Fluid unter Einsatz eines piezoelektrischen Materials befördern, wie in Patentdokument 1 beschrieben. Die im Patentdokument 1 beschriebene Fluidsteuervorrichtung befördert ein Fluid, indem sie die von einem piezoelektrischen Material erzeugte Schwingung nutzt.Heretofore, various fluid control devices that convey a fluid using a piezoelectric material as described in Patent Document 1 have been proposed. The fluid control device described in Patent Document 1 conveys a fluid by utilizing vibration generated by a piezoelectric material.

Die in Patentdokument 1 beschriebene Fluidsteuervorrichtung weist ein Folienventil im Inneren einer Pumpenkammer auf. Das Folienventil ist teilweise fixiert und hat ein bewegbares Ende. Das bewegbare Ende bewegt sich gemäß der Strömung eines Fluids im Inneren der Pumpenkammer, und im Ergebnis verwirklicht die Fluidsteuervorrichtung eine Gleichrichtung.The fluid control device described in Patent Document 1 has a film valve inside a pump chamber. The foil valve is partially fixed and has a moveable end. The movable end moves according to the flow of a fluid inside the pump chamber, and as a result, the fluid control device realizes rectification.

Beispielsweise bewegt sich in dem Fall, in dem das Folienventil an einer Schwingplatte befestigt ist, das bewegbare Ende des Folienventils während Vorwärtsströmung, um mit der Oberfläche der Schwingplatte in Kontakt zu kommen. Dagegen bewegt sich das bewegbare Ende des Folienventils, um während Rückwärtsströmung mit einer der Schwingplatte gegenüberliegenden oberen Platte in Kontakt zu kommen. Die Fluidsteuervorrichtung lässt also das Fluid während Vorwärtsströmung strömen und stoppt während Rückwärtsströmung den Durchfluss des Fluids.For example, in the case where the film valve is attached to a vibrating plate, the movable end of the film valve moves during forward flow to contact the surface of the vibrating plate. On the other hand, the movable end of the film valve moves to contact a top plate opposite to the vibrating plate during reverse flow. Thus, the fluid control device allows the fluid to flow during forward flow and stops the flow of fluid during reverse flow.

Bezugnahmenreferences

Patentdokumentpatent document

Patentdokument 1: Internationale Veröffentlichung Nr. 2019/230159Patent Document 1: International Publication No. 2019/230159

Kurzdarstellung der ErfindungSummary of the Invention

Technisches ProblemTechnical problem

Bei der in Patentdokument 1 beschriebenen Fluidsteuervorrichtung vom verwandten Stand der Technik wäre es aber vielleicht selbst während Vorwärtsströmung nicht möglich, eine ausreichende Verringerung des Widerstands im Strömungspfad zu erhalten.However, with the related art fluid control device described in Patent Document 1, it might not be possible to obtain a sufficient reduction in resistance in the flow path even during forward flow.

Daher ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Fluidsteuervorrichtung bereitzustellen, die den Widerstand im Strömungspfad, während Vorwärtsströmung zuverlässiger verringern kann.Therefore, an object of the present invention is to provide a fluid control device which can more reliably reduce the resistance in the flow path during forward flow.

Lösung des Problemsthe solution of the problem

Eine Fluidsteuervorrichtung der vorliegenden Erfindung weist eine erste Hauptplatte, eine zweite Hauptplatte, einen Antriebskörper, einen Rahmenkörper, Stützabschnitte, ein Seitenwandelement, ein Ventilelement und ein zweites Loch auf. Die erste Hauptplatte hat eine erste Hauptfläche und eine zweite Hauptfläche. Die zweite Hauptplatte hat eine dritte Hauptfläche, die der ersten Hauptfläche gegenüberliegt, eine vierte Hauptfläche auf einer der dritten Hauptfläche entgegengesetzten Seite und ein erstes Loch, das zwischen der dritten Hauptfläche und der vierten Hauptfläche durchdringt und durch das ein Fluid strömt. Der Antriebskörper ist an der zweiten Hauptfläche angeordnet und versetzt die erste Hauptplatte in Schwingung. Der Rahmenkörper ist näher an der Außenseite als ein Außenrand der ersten Hauptplatte bereitgestellt. Die Stützabschnitte verbinden den Rahmenkörper und die erste Hauptplatte miteinander und stützen die erste Hauptplatte, so dass die erste Hauptplatte relativ zum Rahmenkörper schwingen kann. Das Seitenwandelement ist mit der zweiten Hauptplatte und dem Rahmenkörper verbunden und bildet zwischen der ersten Hauptfläche und der dritten Hauptfläche eine Pumpenkammer. Das Ventilelement umfasst eine elastische Ventilfolie und ein Befestigungselement, das eine Seite des inneren Endes der Ventilfolie an der ersten Hauptfläche befestigt. Das Ventilelement weist ein inneres Ende, das ein befestigtes Ende ist, und ein äußeres Ende, das ein bewegbares Ende ist, auf. Das zweite Loch ist von einem Außenrand der ersten Hauptplatte, dem Rahmenkörper und zwei der Stützabschnitte, die nebeneinanderliegen, umgeben. Das zweite Loch ermöglicht die Kommunikation zwischen dem Inneren der Pumpenkammer und dem Äußeren und das Fluid wird gelangt durch dieses hindurch. Ein äußeres Ende des Ventilelements überlappt, in Draufsicht auf die erste Hauptfläche gesehen, das zweite Loch.A fluid control device of the present invention includes a first main plate, a second main plate, a drive body, a frame body, support portions, a side wall member, a valve member, and a second hole. The first main panel has a first main surface and a second main surface. The second main plate has a third main surface opposite to the first main surface, a fourth main surface on a side opposite to the third main surface, and a first hole penetrating between the third main surface and the fourth main surface and through which a fluid flows. The driving body is arranged on the second main surface and vibrates the first main plate. The frame body is provided closer to the outside than an outer edge of the first main panel. The support portions connect the frame body and the first main panel to each other and support the first main panel so that the first main panel can swing relative to the frame body. The side wall member is connected to the second main panel and the frame body and forms a pump chamber between the first main surface and the third main surface. The valve member includes an elastic valve sheet and a fastener that secures an inner end side of the valve sheet to the first major surface. The valve element has an inner end that is a fixed end and an outer end that is a movable end. The second hole is surrounded by an outer edge of the first main plate, the frame body, and two of the support portions that are adjacent to each other. The second hole allows communication between the inside of the pump chamber and the outside and the fluid is passed through it. An outer end of the valve member overlaps the second hole when viewed in plan of the first major surface.

Bei dieser Konfiguration, wenn ein Fluid in einer Vorwärtsrichtung strömt, d. h., wenn das Fluid über das erste Loch in das Innere der Pumpenkammer gesaugt wird, durch das Innere der Pumpenkammer von der Mitte zum Außenrand der Pumpenkammer strömt und über das zweite Loch aus der Umgebung des Außenrands der Pumpenkammer nach außen abgelassen wird, tritt das äußere Ende des Ventils in das Innere des zweiten Lochs ein. Daher kann die Querschnittsfläche des Strömungspfads in der Umgebung des äußeren Endes der Ventilfolie vergrößert werden.With this configuration, when fluid flows in a forward direction, i. That is, when the fluid is sucked into the inside of the pump chamber via the first hole, flows through the inside of the pump chamber from the center to the outer edge of the pump chamber, and is discharged from around the outer edge of the pump chamber to the outside via the second hole, this occurs outer end of the valve into the interior of the second hole. Therefore, the cross-sectional area of the flow path in the vicinity of the tip end of the valve sheet can be increased.

Vorteilhafte Wirkungen der ErfindungAdvantageous Effects of the Invention

Gemäß der vorliegenden Erfindung kann der Widerstand im Strömungspfad, während Vorwärtsströmung zuverlässiger reduziert werden.According to the present invention, the resistance in the flow path during forward flow can be reduced more reliably.

Figurenlistecharacter list

1 14 is an exploded perspective view of a fluid control device according to a first embodiment.
the 2(A) and 2 B) 12 are side views showing the configuration of the fluid control device according to the first embodiment.
3(A) Fig. 13 is a partially enlarged side cross-sectional view showing a deformation state of a valve sheet during forward flow, and 3(B) Fig. 12 is an enlarged partial side cross-sectional view showing the state of deformation of the valve sheet during reverse flow.
4(A) 12 is a side view showing the configuration of a fluid control device according to a second embodiment, and 4(B) is a partial enlarged view of 4(A) .
5(A) 12 is a side view showing the configuration of a fluid control device according to a third embodiment, and 5(B) is a partial enlarged view of 5(A) .
6 14 is a side view showing the configuration of a fluid control device according to a fourth embodiment.
7 14 is a side view showing the configuration of a fluid control device according to a fifth embodiment.
8th 12 is a side view showing the configuration of a fluid control device according to a sixth embodiment.
9 14 is a side view showing the configuration of a fluid control device according to a seventh embodiment.
10 14 is a side view showing the configuration of a fluid control device according to an eighth embodiment.
11 12 is a side view showing the configuration of a fluid control device according to a ninth embodiment.

Beschreibung der AusführungsformenDescription of the embodiments

(Erste Ausführungsform)(First embodiment)

Im Folgenden wird eine Fluidsteuervorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. 1 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung der Fluidsteuervorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform. Die 2(A) und 2(B) sind Seitenansichten, die die Konfiguration der Fluidsteuervorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform darstellen. Die 2(A) und 2(B) stellen die gleiche Konfiguration dar. 2(A) stellt die Konfiguration mit annähernd den gleichen Abmessungen dar wie die tatsächliche Form der Fluidsteuervorrichtung, während 2(B) zur Erleichterung der Verständlichkeit die Konfiguration der Fluidsteuervorrichtung mit einer besonderen Betonung der Höhenrichtung (Dickenrichtung) darstellt. Des Weiteren wird in 2(B) die Form einer in der Fluidsteuervorrichtung erzeugten Schwingung dargestellt. 3(A) ist eine vergrößerte Teilansicht eines seitlichen Querschnitts, die den Verformungszustand einer Ventilfolie, während Vorwärtsströmung darstellt, und 3(B) ist eine vergrößerte Teilansicht eines seitlichen Querschnitts, der den Verformungszustand der Ventilfolie während Rückwärtsströmung darstellt. In diesen Zeichnungen und in jeder der in den folgenden Ausführungsformen dargestellten Zeichnungen sind die Formen der einzelnen Bestandteile teilweise oder ganz übertrieben dargestellt, um die Beschreibung verständlicher zu machen.A fluid control device according to a first embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 14 is an exploded perspective view of the fluid control device according to the first embodiment. the 2(A) and 2 B) 12 are side views showing the configuration of the fluid control device according to the first embodiment. the 2(A) and 2 B) represent the same configuration. 2(A) Figure 12 represents the configuration with approximately the same dimensions as the actual shape of the fluid control device, while 2 B) Figure 12 illustrates the configuration of the fluid control device with particular emphasis on the height (thickness) direction for ease of understanding. Furthermore, in 2 B) the shape of a vibration generated in the fluid control device is shown. 3(A) Fig. 12 is an enlarged partial side cross-sectional view showing the deformation state of a valve sheet during forward flow, and 3(B) Fig. 12 is a partially enlarged side cross-sectional view showing the state of deformation of the valve sheet during reverse flow. In these drawings and in each of the drawings shown in the following embodiments, the shapes of the individual components are partially or entirely exaggerated to make the description easier to understand.

Wie in den 1, 2(A) und 2(B) dargestellt, sind eine erste Hauptplatte 21, ein Rahmenkörper 22, mehrere Trägerkörper 23, mehrere Spalte 230, ein Antriebskörper 30, eine zweite Hauptplatte 40, ein Seitenwandelement 50, eine Ventilfolie 61 und ein Befestigungselement 62 vorgesehen.As in the 1 , 2(A) and 2 B) shown, a first main plate 21, a frame body 22, a plurality of support bodies 23, a plurality of gaps 230, a drive body 30, a second main plate 40, a side wall member 50, a valve sheet 61 and a fastener 62 are provided.

Die erste Hauptplatte 21 ist eine flache Platte, die, in Draufsicht gesehen, eine Kreisform hat. Die erste Hauptplatte 21 weist kreisförmige Hauptflächen 211 und 212 auf. Die Hauptfläche 211 entspricht einer „ersten Hauptfläche“ der vorliegenden Erfindung und die Hauptfläche 212 entspricht einer „zweiten Hauptfläche“ der vorliegenden Erfindung. Die Hauptfläche 211 und die Hauptfläche 212 sind parallel zueinander. Die erste Hauptplatte 21 ist zum Beispiel aus einem Metall gebildet. Die erste Hauptplatte 21 ist zulässig, solange in ihr durch den Antriebskörper 30 eine Biegeschwingung ausgelöst werden kann. Wie von der Form der Schwingung in 2(B) dargestellt, ist eine Biegeschwingung eine Schwingung, in der die Hauptfläche 211 und die Hauptfläche 212 in einer, bei Betrachten der ersten Hauptplatte 21 von der Seite, wellenartigen Form verlagert werden.The first main plate 21 is a flat plate having a circular shape when viewed in plan. The first main plate 21 has circular main surfaces 211 and 212 . The main surface 211 corresponds to a “first main surface” of the present invention, and the main surface 212 corresponds to a “second main surface” of the present invention. The main surface 211 and the main surface 212 are parallel to each other. The first main plate 21 is formed of a metal, for example. The first main plate 21 is allowable as long as bending vibration can be induced therein by the driving body 30 . As from the shape of the vibration in 2 B) 1, a bending vibration is a vibration in which the main surface 211 and the main surface 212 are displaced in a wave-like shape when the first main plate 21 is viewed from the side.

Der Rahmenkörper 22 ist eine flache Platte und ist näher an der Außenseite als ein Außenrand der ersten Hauptplatte 21 angeordnet. Der Rahmenkörper 22 umgibt in Draufsicht die erste Hauptplatte 21. Das heißt, der Rahmenkörper 22 weist eine kreisförmige Öffnung in der Mitte der flachen Platte auf. Die Form der Öffnung ist ähnlich der äußeren Form der ersten Hauptplatte 21 und größer als sie. Die äußere Form des Rahmenkörpers 22 ist zum Beispiel eine rechteckige Form, wie in 1 dargestellt. Die äußere Form des Rahmenkörpers 22 ist nicht auf eine rechteckige Form beschränkt.The frame body 22 is a flat plate and is located closer to the outside than an outer edge of the first main plate 21 . The frame body 22 surrounds the first main plate 21 in plan view. That is, the frame body 22 has a circular opening at the center of the flat plate. The shape of the opening is similar to and larger than the outer shape of the first main plate 21 . The outer shape of the frame body 22 is, for example, a rectangular shape as shown in FIG. The outer shape of the frame body 22 is not limited to a rectangular shape.

Die mehreren Trägerkörper 23 haben balkenähnliche Formen. Die mehreren Trägerkörper 23 sind zwischen der ersten Hauptplatte 21 und dem Rahmenkörper 22 angeordnet. Die mehreren Trägerkörper 23 sind zwischen dem Außenrand der ersten Hauptplatte 21 und dem Innenrand des Rahmenkörpers 22 verbunden. Die mehreren Trägerkörper 23 sind so angeordnet, dass sie am Außenrand der ersten Hauptplatte 21 entlang voneinander beabstandet sind. Die Anzahl von Trägerkörpern 23 ist zulässig, solange die Anzahl drei oder mehr beträgt, und die mehreren Trägerkörper 23 sind vorzugsweise in regelmäßigen Abständen am äußeren Umfang der ersten Hauptplatte 21 entlang angeordnet.The multiple support bodies 23 have beam-like shapes. The plurality of support bodies 23 are arranged between the first main panel 21 and the frame body 22 . The multiple support bodies 23 are connected between the outer edge of the first main plate 21 and the inner edge of the frame body 22 . The plurality of supporting bodies 23 are arranged so as to be spaced apart from each other along the outer periphery of the first main plate 21 . The number of supporting bodies 23 is allowable as long as the number is three or more, and the plurality of supporting bodies 23 are preferably arranged at regular intervals along the outer periphery of the first main plate 21 .

Die mehreren Spalte 230 sind zwischen der ersten Hauptplatte 21 und dem Rahmenkörper 22 angeordnet. Die mehreren Spalte 230 sind von den mehreren Trägerkörpern 23 in dem Bereich zwischen der ersten Hauptplatte 21 und dem Rahmenkörper 22 gebildete Teile.The multiple gaps 230 are arranged between the first main panel 21 and the frame body 22 . The multiple gaps 230 are parts formed by the multiple support bodies 23 in the area between the first main panel 21 and the frame body 22 .

Bei dieser Konfiguration verbinden die mehreren Spalte 230 den Raum auf der Seite nahe der Hauptfläche 211 der ersten Hauptplatte 21 und den Raum auf der Seite nahe der Hauptfläche 212 der ersten Hauptplatte 21 miteinander. Daher entsprechen die mehreren Spalte 230 einem „zweiten Loch“ der vorliegenden Erfindung. Außerdem entsprechen die mehreren Spalte 230 einer „Aussparung“. Des Weiteren besitzen die mehreren Trägerkörper 23 aufgrund dessen, dass die mehreren Trägerkörper 23 mit den auf diese Weise zwischen ihnen positionierten, mehreren Spalten 230 ausgebildet sind, eine Elastizität. Das heißt, die mehreren Trägerkörper 23 stützen die erste Hauptplatte 21, so dass die erste Hauptplatte 21 relativ zum Rahmenkörper 22 schwingen kann. „Stützabschnitte“ der vorliegenden Erfindung werden von den mehreren Trägerkörpern 23 und den mehreren Spalten 230 gebildet.With this configuration, the multiple gaps 230 connect the space on the side close to the main surface 211 of the first main plate 21 and the space on the side close to the main surface 212 of the first main plate 21 to each other. Therefore, the multiple gaps 230 correspond to a “second hole” of the present invention. Also, the multiple gaps 230 correspond to a “notch”. Furthermore, since the plural support bodies 23 are formed with the plural gaps 230 thus positioned therebetween, the plural support bodies 23 have elasticity. That is, the plurality of support bodies 23 support the first main panel 21 so that the first main panel 21 can swing relative to the frame body 22 . “Support portions” of the present invention are formed by the multiple support bodies 23 and the multiple gaps 230 .

Die erste Hauptplatte 21, der Rahmenkörper 22 und die mehreren Trägerkörper 23 sind vorzugsweise so ausgebildet, dass sie miteinander einstückig sind. Das heißt, die erste Hauptplatte 21, der Rahmenkörper 22 und die mehreren Trägerkörper 23 werden vorzugsweise durch Bilden der mehreren Spalte 230 durch Stanzen einer einzelnen flachen Platte unter Verwendung eines vorgeschriebenen Verfahrens realisiert. Auf diese Weise kann eine Form, in der die erste Hauptplatte 21 und der Rahmenkörper 22 durch die mehreren Trägerkörper 23 miteinander verbunden sind und die die mehreren Spalte 230 umfasst, leicht und präzise realisiert werden. Die erste Hauptplatte 21, der Rahmenkörper 22 und die mehreren Trägerkörper 23 müssen nicht so gebildet sein, dass sie miteinander einstückig sind. Das heißt, die erste Hauptplatte 21, der Rahmenkörper 22 und die mehreren Trägerkörper 23 können durch Verbinden einzelner Elemente miteinander realisiert werden.The first main plate 21, the frame body 22, and the plurality of support bodies 23 are preferably formed to be integral with each other. That is, the first main plate 21, the frame body 22, and the plurality of support bodies 23 are preferably realized by forming the plurality of gaps 230 by punching a single flat plate using a prescribed method. In this way, a shape in which the first main panel 21 and the frame body 22 are connected to each other by the plurality of support bodies 23 and that includes the plurality of gaps 230 can be realized easily and precisely. The first main panel 21, the frame body 22, and the plurality of support bodies 23 need not be formed to be integral with each other. That is, the first main panel 21, the frame body 22, and the plurality of supporting bodies 23 can be realized by connecting individual members to each other.

Der Antriebskörper 30 wird beispielsweise unter Verwendung eines piezoelektrischen Elements realisiert. Das piezoelektrische Element weist einen scheibenförmigen piezoelektrischen Körper und Ansteuerelektroden. Die Ansteuerelektroden sind auf beiden Hauptflächen des scheibenförmigen piezoelektrischen Körpers gebildet.The drive body 30 is implemented using a piezoelectric element, for example. The piezoelectric element has a disk-shaped piezoelectric body and drive electrodes. The driving electrodes are formed on both main surfaces of the disk-shaped piezoelectric body.

Der Antriebskörper 30 ist an der Hauptfläche 212 der ersten Hauptplatte 21 angeordnet. Hier sind, im Wesentlichen, in Draufsicht gesehen, die Mitte des Antriebskörpers 30 und die Mitte der ersten Hauptplatte 21 deckungsgleich. Das piezoelektrische Element des Antriebskörpers 30 wird verformt, wenn ein Ansteuersignal an die Ansteuerelektroden angelegt wird. Wie oben beschrieben, schwingt die erste Hauptplatte 21 aufgrund dieser Verformung.The driving body 30 is arranged on the main surface 212 of the first main plate 21 . Here, the center of the drive body 30 and the center of the first main plate 21 are essentially congruent when viewed from above. The piezoelectric element of the drive body 30 is deformed when a drive signal is applied to the drive electrodes. As described above, the first main plate 21 vibrates due to this deformation.

Die zweite Hauptplatte 40 ist eine flache Platte, die, in Draufsicht gesehen, eine rechteckige Form hat. Die äußere Form der zweiten Hauptplatte 40 muss keine rechteckige Form sein. Die äußere Form der zweiten Hauptplatte 40 ist zulässig, solange die äußere Form mindestens die gleiche Größe wie die äußere Form des Rahmenkörpers 22 hat oder größer ist. Die zweite Hauptplatte 40 ist vorzugsweise aus einem Material gebildet, hat eine Dicke etc. was bedeutet, dass in der zweiten Hauptplatte 40 nur vernachlässigbare Biegeschwingungen erzeugt werden. Die zweite Hauptplatte 40 weist eine Hauptfläche 401 und eine Hauptfläche 402 auf. Die Hauptfläche 401 und die Hauptfläche 402 sind parallel zueinander. Die zweite Hauptplatte 40 ist so angeordnet, dass ihre Hauptfläche 401 der Hauptfläche 211 der ersten Hauptplatte 21 zugekehrt ist.The second main plate 40 is a flat plate having a rectangular shape when viewed in plan. The outer shape of the second main plate 40 does not have to be a rectangular shape. The outer shape of the second main panel 40 is allowable as long as the outer shape is at least the same size as the outer shape of the frame body 22 or larger. The second main plate 40 is preferably formed of a material, has a thickness, etc., which means that only negligible bending vibrations are generated in the second main plate 40 . The second main plate 40 has a main surface 401 and a main surface 402 . The main surface 401 and the main surface 402 are parallel to each other. The second main board 40 is arranged so that its main surface 401 faces the main surface 211 of the first main board 21 .

Die zweite Hauptplatte 40 hat mehrere Löcher 400. Die mehreren Löcher 400 durchdringen zwischen der Hauptfläche 401 und der Hauptfläche 402 der zweiten Hauptplatte 40. Die mehreren Löcher 400 entsprechen einem „ersten Loch“ der vorliegenden Erfindung. Die mehreren Löcher 400 sind, in Draufsicht auf die zweite Hauptplatte 40 gesehen, in einer Kreisform angeordnet. Die Mitte des Durchmessers der Kreisform überschneidet sich, in Draufsicht auf eine Fluidsteuervorrichtung 10 gesehen, im Wesentlichen mit der Mitte der ersten Hauptplatte 21.The second main plate 40 has multiple holes 400. The multiple holes 400 penetrate between the main surface 401 and the main surface 402 of the second main plate 40. The multiple holes 400 correspond to a “first hole” of the present invention. The plurality of holes 400 are arranged in a circular shape when viewed from the top of the second main plate 40 . The middle of the diameter of the circular shape essentially intersects with the center of the first main plate 21 when viewed in plan view of a fluid control device 10.

Das Seitenwandelement 50 ist eine Ringsäule. Das Seitenwandelement 50 ist vorzugsweise aus einem Material gebildet, hat eine Dicke etc., was bedeutet, dass in dem Seitenwandelement 50 nur vernachlässigbare Biegeschwingungen erzeugt werden.The side wall element 50 is an annular column. The side wall element 50 is preferably formed of a material, has a thickness etc., which means that only negligible bending vibrations are generated in the side wall element 50 .

Das Seitenwandelement 50 ist zwischen dem Rahmenkörper 22 und der zweiten Hauptplatte 40 angeordnet. Ein Ende des Seitenwandelements 50 in der Höhenrichtung ist mit dem Rahmenkörper 22 verbunden. Das andere Ende des Seitenwandelements 50 in der Höhenrichtung ist mit der zweiten Hauptplatte 40 verbunden.The side wall member 50 is interposed between the frame body 22 and the second main panel 40 . One end of the side wall member 50 in the height direction is connected to the frame body 22 . The other end of the side wall member 50 in the height direction is connected to the second main panel 40 .

Bei dieser Konfiguration ist die Fluidsteuervorrichtung 10 mit einem Raum versehen, der von einer flachen Platte, bestehend aus der ersten Hauptplatte 21, dem Rahmenkörper 22 und den mehreren Trägerkörpern 23, und der zweiten Hauptplatte 40 und dem Seitenwandelement 50 umgeben ist. Dieser Raum dient als eine Pumpenkammer 100 der Fluidsteuervorrichtung 10. Die Pumpenkammer 100 kommuniziert mit den mehreren Löchern 400 und den mehreren Spalten 230. Das heißt, die Pumpenkammer 100 kommuniziert auf der Seite nahe der zweiten Hauptplatte 40 der Fluidsteuervorrichtung 10 über die mehreren Löcher 400 mit dem Außenraum und kommuniziert auf der Seite nahe der ersten Hauptplatte 21 der Fluidsteuervorrichtung 10 über die mehreren Spalte 230 mit dem Außenraum.With this configuration, the fluid control device 10 is provided with a space surrounded by a flat plate composed of the first main plate 21 , the frame body 22 and the plurality of support bodies 23 , and the second main plate 40 and the side wall member 50 . This space serves as a pump chamber 100 of the fluid control device 10. The pump chamber 100 communicates with the plurality of holes 400 and the plurality of gaps 230. That is, the pump chamber 100 communicates on the side close to the second main plate 40 of the fluid control device 10 through the plurality of holes 400 and communicates with the outside space via the plurality of gaps 230 on the side close to the first main plate 21 of the fluid control device 10 .

Die Ventilfolie 61 ist aus flexiblem Material gebildet. Die Ventilfolie 61 ist zulässig, solange die Ventilfolie 61 einen Elastizitätsgrad aufweist, der es ermöglicht, dass die Ventilfolie 61 von einem durch die Pumpenkammer 100 fließenden Fluid verformt wird. Die Ventilfolie 61 hat eine Ringform und eine vorgeschriebene Breite (Länge in Radialrichtung). Der Innendurchmesser der Ventilfolie 61 ist größer als der Durchmesser des Kreises, entlang dessen die mehreren Löcher 400 angeordnet sind.The valve foil 61 is made of flexible material. The valve sheet 61 is permissible as long as the valve sheet 61 has a degree of elasticity that allows the valve sheet 61 to be deformed by a fluid flowing through the pump chamber 100 . The valve sheet 61 has an annular shape and a prescribed width (length in the radial direction). The inner diameter of the valve sheet 61 is larger than the diameter of the circle along which the plurality of holes 400 are arranged.

Das Befestigungselement 62 ist beispielsweise aus einem Material mit Haftklebung, wie etwa doppelseitigem Klebeband, gebildet. Das Befestigungselement 62 hat eine ringartige Form und hat eine vorgeschriebene Breite (Länge in Radialrichtung). Die Breite des Befestigungselements 62 ist kleiner als die Breite der Ventilfolie 61. Der Innendurchmesser des Befestigungselements 62 ist größer als der Durchmesser des Kreises, an dem entlang die mehreren Löcher 400 angeordnet sind, und ist der gleiche oder im Wesentlichen der gleiche wie der Innendurchmesser der Ventilfolie 61. Der Außendurchmesser des Befestigungselements 62 ist kleiner als der Außendurchmesser der Ventilfolie 61.The fastener 62 is formed of, for example, a pressure-sensitive adhesive material such as double-sided tape. The fixing member 62 has a ring-like shape and has a prescribed width (length in the radial direction). The width of the fastener 62 is smaller than the width of the valve sheet 61. The inner diameter of the fastener 62 is larger than the diameter of the circle along which the plurality of holes 400 are arranged and is the same or substantially the same as the inner diameter of the Valve foil 61. The outer diameter of the fastening element 62 is smaller than the outer diameter of the valve foil 61.

Das Befestigungselement 62 befestigt die Ventilfolie 61 an der Hauptfläche 211 der ersten Hauptplatte 21. Hier ist die Mitte des Befestigungselements 62 im Wesentlichen deckungsgleich mit der Mitte der Hauptfläche 211. Außerdem ist das innere Ende des Befestigungselements 62 im Wesentlichen deckungsgleich mit dem inneren Ende der Ventilfolie 61. Wie in den 2(A), 2(B), 3(A) und 3(B) dargestellt, wird also das innere Ende der Ventilfolie 61 von dem Befestigungselement 62 fixiert und ein äußeres Ende 611 der Ventilfolie 61 wird von dem Befestigungselement 62 nicht fixiert. Es wird angemerkt, dass das innere Ende der Ventilfolie 61 und das innere Ende des Befestigungselements 62 sich auf die Enden beziehen, die näher an der Mitte liegen, wenn in Draufsicht gesehen. Das heißt, die Ventilfolie 61 ist in einem Zustand an der ersten Hauptplatte 21 befestigt, in dem die Ventilfolie 61 sich verformen kann, wobei das innere Ende als ein befestigtes Ende dient und das äußere Ende 611 als ein bewegbares Ende dient. Das Befestigungselement 62 kann die Ventilfolie 61 an einer Position befestigen, die um einen vorgeschriebenen Abstand von dem inneren Ende der Ventilfolie 61 zu dem äußeren Ende der Ventilfolie 61 hin verschoben ist. Das heißt, das Befestigungselement 62 ist zulässig, solange das Befestigungselement 62 die Seite des inneren Endes der Ventilfolie 61 so befestigt, dass das äußere Ende 611 der Ventilfolie 61 als bewegbares Ende funktioniert.The fastener 62 attaches the valve sheet 61 to the major surface 211 of the first main plate 21. Here the center of the fastener 62 is substantially coincident with the center of the principal surface 211. Also, the inner end of the fastener 62 is substantially coincident with the inner end of the valve sheet 61. As in the 2(A) , 2 B) , 3(A) and 3(B) 1, the inner end of the valve film 61 is fixed by the fastening element 62 and an outer end 611 of the valve film 61 is not fixed by the fastening element 62. It is noted that the inner end of the valve sheet 61 and the inner end of the fastener 62 refer to the ends closer to the center when viewed in plan. That is, the valve sheet 61 is fixed to the first main plate 21 in a state in which the valve sheet 61 can deform, with the inner end serving as a fixed end and the outer end 611 serving as a movable end. The fixing member 62 can fix the valve sheet 61 at a position shifted by a prescribed distance from the inner end of the valve sheet 61 toward the outer end of the valve sheet 61 . That is, the fixing member 62 is allowable as long as the fixing member 62 fixes the inner end side of the valve sheet 61 so that the outer end 611 of the valve sheet 61 functions as a movable end.

Bei dieser Konfiguration wird gemäß dem Bernoulli-Effekt das Fluid aus den mehreren Löchern 400 in das Innere der Pumpenkammer 100 gesaugt (Vorwärtsströmungszustand) und das Fluid strömt im Inneren der Pumpenkammer 100 von der Mitte zum Außenrand hin. Infolgedessen wird das äußere Ende 611 der Ventilfolie 61 nach unten zur ersten Hauptplatte 21 hin gepresst. Dann wird Fluid aus den mehreren Spalten 230 nach außen abgelassen.With this configuration, according to the Bernoulli effect, the fluid is sucked from the plurality of holes 400 into the inside of the pump chamber 100 (forward flow state), and the fluid flows inside the pump chamber 100 from the center to the outer periphery. As a result, the outer end 611 of the valve sheet 61 is pressed down toward the first main plate 21 . Then, fluid is drained from the plurality of gaps 230 to the outside.

Dagegen versucht das Fluid vom Außenrand der Pumpenkammer 100 zur Mitte hinzufließen, wenn das Fluid aus den mehreren Spalten 230 in das Innere der Pumpenkammer 100 gesaugt wird (Rückwärtsströmungszustand). Infolgedessen wird das äußere Ende 611 der Ventilfolie 61 nach oben zur zweiten Hauptplatte 40 hin gedrückt und kommt mit der Hauptfläche 401 der zweiten Hauptplatte 40 in Kontakt. Daher wird die Einwärtsströmung des Fluids zur Mitte der Pumpenkammer 100 hin unterdrückt (siehe 3(B)).On the other hand, when the fluid is sucked into the inside of the pump chamber 100 from the plurality of gaps 230 (backflow state), the fluid tries to flow toward the center from the outer edge of the pump chamber 100 . As a result, the outer end 611 of the valve sheet 61 is pushed up toward the second main plate 40 and comes into contact with the main surface 401 of the second main plate 40 . Therefore, the inward flow of the fluid toward the center of the pump chamber 100 is suppressed (see FIG 3(B) ).

Bei der oben beschriebenen Konfiguration erstreckt sich in der Fluidsteuervorrichtung 10, wie in 2(A) und 2(B) dargestellt, das äußere Ende 611 der Ventilfolie 61 in die Spalte 230 hinein, wenn das äußere Ende 611 nicht verformt ist, d. h. in einem Zustand, in dem das Fluid nicht im Inneren der Pumpenkammer 100 strömt.In the configuration described above, in the fluid control device 10, as shown in FIG 2(A) and 2 B) shown, the outer end 611 of the valve film 61 into the column 230, when the outer end 611 is not deformed, that is, in a state where the fluid does not flow inside the pump chamber 100 .

Bei dieser Konfiguration wird, wenn das Fluid in der Vorwärtsrichtung strömt (in einem Vorwärtsströmungszustand), wie in 3(A) dargestellt, das äußere Ende 611 der Ventilfolie 61 durch das von der Mitte her fließende Fluid zum Außenrand der Pumpenkammer 100 hingeschoben und tritt in das Innere der Spalte 230 ein. Das trägt dazu bei, zu verhindern, dass die Querschnittsfläche des Strömungskanals in der Umgebung des Außenrands der ersten Hauptplatte 21 in der Pumpenkammer 100 durch die Ventilfolie 61 verkleinert wird. Auf diese Weise kann die Fluidsteuervorrichtung 10 den Widerstand im Strömungspfad während Vorwärtsströmung verringern.With this configuration, when the fluid flows in the forward direction (in a forward flow state) as in FIG 3(A) As shown, the outer end 611 of the valve sheet 61 is pushed toward the outer edge of the pump chamber 100 by the fluid flowing from the center and enters the interior of the gaps 230 . This contributes to preventing the cross-sectional area of the flow passage in the vicinity of the outer edge of the first main plate 21 in the pump chamber 100 from being reduced by the valve sheet 61 . In this way, the fluid control device 10 can reduce resistance in the flow path during forward flow.

In der oben beschriebenen Konfiguration überlappen die mehreren Löcher 400 einen Schwingungsknoten. Dieser unterdrückt das Entweichen des Fluids aus den mehreren Löchern 400 nach außen. Infolgedessen kann die Fluidsteuervorrichtung 10 die Effizienz Fluidförderung verbessern.In the configuration described above, the plurality of holes 400 overlap a node. This suppresses the leakage of the fluid from the multiple holes 400 to the outside. As a result, the fluid control device 10 can improve fluid delivery efficiency.

Des Weiteren wird in der obigen Beschreibung ein Beispiel beschrieben, in dem die erste Hauptplatte 21 eine Kreisform hat, die erste Hauptplatte 21 aber auch wie eine Ellipse oder eine andere Form, die kein vollkommener Kreis ist, oder ein Polygon, wie etwa ein regelmäßiges Polygon, geformt sein kann. Wenn die erste Hauptplatte 21 jedoch eine Kreisform hat, ist die Achsensymmetrie der ersten Hauptplatte 21 in Bezug auf eine durch die Mitte der Pumpenkammer 100 verlaufende Achse besser. Infolgedessen ist der Schwingungswirkungsgrad besser, die Länge der Strömungspfade in allen Richtungen von der Mitte zum Außenrand der Pumpenkammer 100 ist identisch und der Wirkungsgrad der Fluidförderung ist besser.Furthermore, in the above description, an example is described in which the first main plate 21 has a circular shape, but the first main plate 21 also has an ellipse or other shape that is not a perfect circle, or a polygon such as a regular polygon , can be shaped. However, when the first main plate 21 has a circular shape, the axial symmetry of the first main plate 21 with respect to an axis passing through the center of the pump chamber 100 is better. As a result, the vibration efficiency is better, the length of the flow paths in all directions from the center to the outer edge of the pump chamber 100 is identical, and the fluid delivery efficiency is better.

Außerdem wird in der obigen Beschreibung ein Beispiel beschrieben, in dem die äußere Form der Ventilfolie 61 eine Kreisform ist, die äußere Form der Ventilfolie 61 aber stattdessen wie eine Ellipse oder eine andere Form, die kein vollkommener Kreis ist, oder ein Polygon, wie etwa ein regelmäßiges Polygon, geformt sein kann. Wenn die Ventilfolie 61 eine Kreisform hat, ist aber die Absperrleistung der Ventilfolie 61 in allen Richtungen besser. Des Weiteren ist der Zustand der Strömungspfade in allen Richtungen von der Mitte zum Außenrand der Pumpenkammer 100 identisch und der Wirkungsgrad der Fluidförderung ist besser.Also, in the above description, an example is described in which the outer shape of the valve sheet 61 is a circular shape, but the outer shape of the valve sheet 61 is instead like an ellipse or another shape that is not a perfect circle, or a polygon, such as a regular polygon, can be shaped. However, when the valve sheet 61 has a circular shape, the shut-off performance of the valve sheet 61 in all directions is better. Furthermore, the state of the flow paths is identical in all directions from the center to the outer periphery of the pump chamber 100, and the fluid delivery efficiency is better.

Außerdem haben die Ventilfolie 61 und das Befestigungselement 62 in der oben beschriebenen Konfiguration eine ringartige Form. Infolgedessen ist es, wenn die Ventilfolie 61 zum Beispiel mit dem Befestigungselement 62 fixiert ist, leicht, zwischen dem Befestigungselement 62 und der ersten Hauptplatte 21 und zwischen dem Befestigungselement 62 und der Ventilfolie 61 erzeugte Luftblasen abzulassen. Daher ist die Haftung der Ventilfolie 61 an der ersten Hauptplatte 21 besser.In addition, in the configuration described above, the valve sheet 61 and the fixing member 62 have a ring-like shape. As a result, when the valve sheet 61 is fixed with the fixing member 62, for example, it is easy to discharge air bubbles generated between the fixing member 62 and the first main plate 21 and between the fixing member 62 and the valve sheet 61. Therefore, the adhesion of the valve sheet 61 to the first main plate 21 is better.

(Zweite Ausführungsform)(Second embodiment)

Im Folgenden wird eine Fluidsteuervorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. 4(A) ist eine Seitenansicht, die die Konfiguration der Fluidsteuervorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform darstellt, und 4(B) ist eine vergrößerte Teilansicht von 4(A).A fluid control device according to a second embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 4(A) 12 is a side view showing the configuration of the fluid control device according to the second embodiment, and 4(B) is a partial enlarged view of 4(A) .

Wie in 4(A) und 4(B) dargestellt, unterscheidet sich eine Fluidsteuervorrichtung 10A gemäß der zweiten Ausführungsform dadurch von der Fluidsteuervorrichtung 10 gemäß der ersten Ausführungsform, dass die Fluidsteuervorrichtung 10A einen vorstehenden Teil 41A aufweist. Die übrige Konfiguration der Fluidsteuervorrichtung 10A ist die gleiche wie die der Fluidsteuervorrichtung 10 und diese identischen Teile werden nicht beschrieben.As in 4(A) and 4(B) 1, a fluid control device 10A according to the second embodiment differs from the fluid control device 10 according to the first embodiment in that the fluid control device 10A has a protruding part 41A. The other configuration of the fluid control device 10A is the same as that of the fluid control device 10, and these identical parts will not be described.

Die Fluidsteuervorrichtung 10A weist den vorstehenden Teil 41A auf. Der vorstehende Teil 41A ist so geformt, dass er von der Hauptfläche 401 der zweiten Hauptplatte 40 vorsteht. Der vorstehende Teil 41A hat eine ringartige Form, die einen Außenrand 411 und einen Innenrand 412 aufweist.The fluid control device 10A has the protruding part 41A. The protruding part 41A is formed to protrude from the main surface 401 of the second main plate 40 . The protruding part 41A has a ring-like shape having an outer edge 411 and an inner edge 412 .

In Draufsicht liegt der Außenrand 411 des vorstehenden Teils 41A näher am Außenrand der Pumpenkammer 100 als das äußere Ende 611 der Ventilfolie 61. Das heißt, der Außenrand 411 des vorstehenden Teils 41A ist näher an einer Innenwandfläche des Seitenwandelements 50 als das äußere Ende 611 der Ventilfolie 61. In Draufsicht überlappt der Innenrand 412 des vorstehenden Teils 41A das Befestigungselement 62.In plan view, the outer edge 411 of the protruding part 41A is closer to the outer edge of the pump chamber 100 than the outer end 611 of the valve sheet 61. That is, the outer edge 411 of the protruding part 41A is closer to an inner wall surface of the side wall member 50 than the outer end 611 of the valve sheet 61. In plan view, inner edge 412 of protruding portion 41A overlaps fastener 62.

Bei dieser Konfiguration überlappt das äußere Ende 611 der Ventilfolie 61 in Draufsicht den vorstehenden Teil 41A. Wie in 4(B) dargestellt, ist der Abstand zwischen dem äußeren Ende 611 der Ventilfolie 61 und dem vorstehenden Teil 41A also kleiner als in der Fluidsteuervorrichtung 10 gemäß der ersten Ausführungsform. Daher kommt das äußere Ende 611 der Ventilfolie 61 während Rückwärtsströmung leicht mit dem vorstehenden Teil 41A in Kontakt und Rückwärtsströmung des Fluids wird zuverlässiger unterdrückt.With this configuration, the outer end 611 of the valve sheet 61 overlaps the protruding part 41A in plan view. As in 4(B) As shown, the distance between the outer end 611 of the valve sheet 61 and the protruding part 41A is smaller than that in the fluid control device 10 according to the first embodiment. Therefore, the tip end 611 of the valve sheet 61 easily comes into contact with the protruding part 41A during reverse flow, and reverse flow of the fluid is suppressed more reliably.

Die Dicke des vorstehenden Teils 41A ist vorzugsweise im Wesentlichen die gleiche wie die Dicke des Befestigungselements 62. Infolgedessen kann die Fluidsteuervorrichtung 10A die Rückwärtsströmung zuverlässig unterdrücken und unterdrückt gleichzeitig eine Erhöhung des Widerstands im Flussweg während der Vorwärtsströmung.The thickness of the protruding part 41A is preferably substantially the same as the thickness of the fastener 62. As a result the fluid control device 10A reliably suppresses the reverse flow and at the same time suppresses an increase in resistance in the flow path during the forward flow.

Des Weiteren überlappen in der Fluidsteuervorrichtung 10A in Draufsicht der vorstehende Teil 41A und das Befestigungselement 62. Bei dieser Konfiguration kommen das äußere Ende 611 der Ventilfolie 61 und der vorstehende Teil 41A zuverlässiger miteinander in Kontakt, selbst wenn das äußere Ende 611 der Ventilfolie 61 während Rückwärtsströmung in den Bereich über dem Befestigungselement 62 gedrückt wird. Die Fluidsteuervorrichtung 10A kann also Rückwärtsströmung zuverlässiger unterdrücken. Es wird angemerkt, dass in diesem Fall die Dicke von mindestens dem Teil des vorstehenden Teils 41A, der das Befestigungselement 62 überlappt, vorzugsweise klein ist und eine Erhöhung des Widerstands im Strömungspfad, während Vorwärtsströmung unterdrückt werden kann, wenn diese Dicke klein ist.Furthermore, in the fluid control device 10A, the protruding part 41A and the fixing member 62 overlap in plan view. With this configuration, the outer end 611 of the valve sheet 61 and the protruding part 41A come into contact with each other more reliably even when the outer end 611 of the valve sheet 61 during reverse flow is pushed into the area above the fastener 62. Thus, the fluid control device 10A can suppress reverse flow more reliably. It is noted that in this case, the thickness of at least the part of the protruding part 41A overlapping the fixing member 62 is preferably small, and an increase in resistance in the flow path during forward flow can be suppressed when this thickness is small.

(Dritte Ausführungsform)(Third embodiment)

Im Folgenden wird eine Fluidsteuervorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. 5(A) ist eine Seitenansicht, die die Konfiguration der Fluidsteuervorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform darstellt, und 5(B) ist eine vergrößerte Teilansicht von 5(A).A fluid control device according to a third embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 5(A) 13 is a side view showing the configuration of the fluid control device according to the third embodiment, and 5(B) is a partial enlarged view of 5(A) .

Wie in 5(A) und 5(B) dargestellt, unterscheidet sich eine Fluidsteuervorrichtung 10B gemäß der dritten Ausführungsform hinsichtlich der Form eines vorstehenden Teils 41B von der Fluidsteuervorrichtung 10A gemäß der zweiten Ausführungsform. Die übrige Konfiguration der Fluidsteuervorrichtung 10B ist die gleiche wie die der Fluidsteuervorrichtung 10A und diese identischen Teile werden nicht beschrieben.As in 5(A) and 5(B) 1, a fluid control device 10B according to the third embodiment differs in the shape of a protruding part 41B from the fluid control device 10A according to the second embodiment. The other configuration of the fluid control device 10B is the same as that of the fluid control device 10A, and these identical parts will not be described.

Ein Innenrand 412 des vorstehenden Teils 41B liegt näher am Außenrand der Pumpenkammer 100 als ein Außenrand 621 des Befestigungselements 62. Das heißt, die Innenrand 412 des vorstehenden Teils 41B ist näher an der Innenwand des Seitenwandelements 50 als der Außenrand 621 des Befestigungselements 62. Der vorstehende Teil 41B und das Befestigungselement 62 überlappen somit in Draufsicht nicht.An inner edge 412 of the protruding part 41B is closer to the outer edge of the pump chamber 100 than an outer edge 621 of the fastener 62. That is, the inner edge 412 of the protruding part 41B is closer to the inner wall of the side wall member 50 than the outer edge 621 of the fastener 62. The protruding Part 41B and the fastening element 62 thus do not overlap in plan view.

Daher kann eine Erhöhung des Widerstands im Strömungspfad in dem Teil der Pumpenkammer 100, in dem das Befestigungselement 62 angeordnet ist, weiter unterdrückt werden.Therefore, an increase in resistance in the flow path in the part of the pump chamber 100 where the fastener 62 is disposed can be further suppressed.

(Vierte Ausführungsform)(Fourth embodiment)

Im Folgenden wird eine Fluidsteuervorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. 6 ist eine Seitenansicht, die die Konfiguration der Fluidsteuervorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform darstellt.A fluid control device according to a fourth embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 6 12 is a side view showing the configuration of the fluid control device according to the fourth embodiment.

Wie in 6 dargestellt, unterscheidet sich eine Fluidsteuervorrichtung 10C gemäß der vierten Ausführungsform bezüglich der Positionen, an denen die mehreren Löcher 400 angeordnet sind, von der Fluidsteuervorrichtung 10 gemäß der ersten Ausführungsform. Die übrige Konfiguration der Fluidsteuervorrichtung 10C ist die gleiche wie die der Fluidsteuervorrichtung 10 und eine Beschreibung dieser identischen Teile entfällt an dieser Stelle.As in 6 1, a fluid control device 10C according to the fourth embodiment differs from the fluid control device 10 according to the first embodiment in positions where the plurality of holes 400 are arranged. The other configuration of the fluid control device 10C is the same as that of the fluid control device 10, and a description of those identical parts is omitted here.

Die mehreren Löcher 400 überlappen in Draufsicht das Befestigungselement 62. Diese Konfiguration trägt dazu bei, dass verhindert wird, dass aus den mehreren Löchern 400 in das Innere der Pumpenkammer 100 eingesaugtes Fluid auf die Wand des Innenrands des Befestigungselements 62 prallt. Folglich werden Strömungsturbulenzen im Inneren der Pumpenkammer 100 unterdrückt. Daher kann die Fluidsteuervorrichtung 10C den Förderwirkungsgrad weiter verbessern.The multiple holes 400 overlap the fastener 62 in a plan view. This configuration helps prevent fluid drawn into the interior of the pump chamber 100 from the multiple holes 400 from impinging on the wall of the inner periphery of the fastener 62 . Consequently, flow turbulence inside the pump chamber 100 is suppressed. Therefore, the fluid control device 10C can further improve the delivery efficiency.

(Fünfte Ausführungsform)(Fifth embodiment)

Im Folgenden wird eine Fluidsteuervorrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. 7 ist eine Seitenansicht, die die Konfiguration der Fluidsteuervorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform darstellt.A fluid control device according to a fifth embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 7 12 is a side view showing the configuration of the fluid control device according to the fifth embodiment.

Wie in 7 dargestellt, unterscheidet sich eine Fluidsteuervorrichtung 10D gemäß der fünften Ausführungsform dadurch von der Fluidsteuervorrichtung 10B gemäß der dritten Ausführungsform, dass die Fluidsteuervorrichtung 10D eine zweite Hauptplatte 40D umfasst. Die übrige Konfiguration der Fluidsteuervorrichtung 10D ist die gleiche wie die der Fluidsteuervorrichtung 10B und diese identischen Teile werden nicht beschrieben.As in 7 As illustrated, a fluid control device 10D according to the fifth embodiment differs from the fluid control device 10B according to the third embodiment in that the fluid control device 10D includes a second main plate 40D. The other configuration of the fluid control device 10D is the same as that of the fluid control device 10B, and these identical parts will not be described.

Die Fluidsteuervorrichtung 10D weist die zweite Hauptplatte 40D auf. Die zweite Hauptplatte 40D hat eine flache Hauptkörperplatte, einen vorstehenden Teil 41D und einen vorstehenden Seitenwand-Teil 42D. Die flache Platte des Hauptkörpers, der vorstehende Teil 41D und der vorstehende Seitenwand-Teil 42D sind so ausgebildet, dass sie miteinander einstückig sind. Das heißt, die flache Hauptkörperplatte, der vorstehende Teil 41D und der vorstehende Seitenwand-Teil 42D werden zum Beispiel durch Schneiden einer einzelnen flachen Platte hergestellt.The fluid control device 10D includes the second main plate 40D. The second main plate 40D has a flat main body plate, a protruding part 41D and a protruding side wall part 42D. The main body flat plate, the protruding part 41D and the side wall protruding part 42D are formed so as to be integral with each other. That is, the flat main body plate, the protruding part 41D and the protruding side wall part 42D become Example made by cutting a single flat plate.

Ähnlich dem vorstehenden Teil 41B der Fluidsteuervorrichtung 10B ist der vorstehende Teil 41D so gestaltet, dass er auf der Seite, auf der die erste Hauptplatte 21 liegt, von der Oberfläche der flachen Hauptkörperplatte der zweiten Hauptplatte 40D vorsteht. Der vorstehende Teil 41D überlappt das äußere Ende der Ventilfolie 61. [0056] Der vorstehende Seitenwand-Teil 42D ist so gestaltet, dass er an der Oberfläche der flachen Hauptkörperplatte der zweiten Hauptplatte 40D, die dem Seitenwandelement 50 zugewandt ist, zum Seitenwandelement 50 hin vorsteht.Similar to the protruding part 41B of the fluid control device 10B, the protruding part 41D is designed to protrude from the surface of the flat main body plate of the second main plate 40D on the side where the first main plate 21 lies. The protruding part 41D overlaps the outer end of the valve sheet 61. The side wall protruding part 42D is designed to protrude toward the side wall member 50 on the surface of the flat main body plate of the second main plate 40D that faces the side wall member 50 .

Eine Endfläche des vorstehenden Teils 41D (Oberfläche auf der der Hauptkörperfläche entgegengesetzten Seite) und eine Endfläche des vorstehenden Seitenwand-Teils 42D (Oberfläche auf der der Hauptkörperfläche entgegengesetzten Seite) liegen in der gleichen Ebene (die Endflächen liegen in einer einzelnen Ebene). Das heißt, die Endfläche des vorstehenden Teils 41D und die Verbindungsebene zwischen der zweiten Hauptplatte 40D und dem Seitenwandelement 50 liegen in der gleichen Ebene.An end face of the protruding part 41D (surface on the opposite side to the main body face) and an end face of the protruding sidewall part 42D (surface on the opposite side to the main body face) are on the same plane (the end faces are on a single plane). That is, the end surface of the protruding part 41D and the connecting plane between the second main plate 40D and the side wall member 50 are on the same plane.

Bei dieser Konfiguration kann der Abstand zwischen der Ventilfolie 61 und dem vorstehende Teil 41D stabil realisiert werden. Die Fluidsteuervorrichtung 10D kann also eine stabile Fluidfördercharakteristik realisieren.With this configuration, the clearance between the valve sheet 61 and the protruding part 41D can be stably realized. Thus, the fluid control device 10D can realize a stable fluid delivery characteristic.

Es wird angemerkt, dass die flache Hauptkörperplatte, der vorstehende Teil 41D und der vorstehende Seitenwand-Teil 42D vorzugsweise so ausgebildet sind, dass sie miteinander einstückig sind, aber stattdessen auch separate Elemente sein können. In diesem Fall reicht es aus, dass der vorstehende Teil 41D und der vorstehende Seitenwand-Teil 42D an die flache Hauptkörperplatte angefügt werden und dann beispielsweise die Endfläche des vorstehenden Teils 41D und die Endfläche des vorstehenden Seitenwand-Teils 42D gleichzeitig poliert werden. So kann sichergestellt werden, dass die Endfläche des vorstehenden Teils 41D und die Endfläche des vorstehenden Seitenwand-Teils 42D in der gleichen Ebene liegen.It is noted that the main body flat plate, the protruding portion 41D and the sidewall protruding portion 42D are preferably formed to be integral with each other, but may be separate members instead. In this case, it suffices that the protruding part 41D and the side wall protruding part 42D are joined to the flat main body plate and then, for example, the end face of the protruding part 41D and the end face of the side wall protruding part 42D are polished at the same time. Thus, it can be ensured that the end surface of the protruding part 41D and the end surface of the side wall protruding part 42D are on the same plane.

Es wird angemerkt, dass in dieser Konfiguration das Seitenwandelement 50 ein Bondmaterial sein kann. Infolgedessen wird die Höhe der Pumpenkammer 100 von dem vorstehenden Seitenwand-Teil 42D bestimmt und es kann eine stabilere Form für die Fluidsteuervorrichtung 10D realisiert werden.It is noted that in this configuration, the sidewall member 50 may be a bonding material. As a result, the height of the pump chamber 100 is determined by the protruding side wall part 42D, and a more stable shape for the fluid control device 10D can be realized.

(Sechste Ausführungsform)(Sixth embodiment)

Im Folgenden wird eine Fluidsteuervorrichtung gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. 8 ist eine Seitenansicht, die die Konfiguration der Fluidsteuervorrichtung gemäß der sechsten Ausführungsform darstellt.A fluid control device according to a sixth embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 8th 14 is a side view showing the configuration of the fluid control device according to the sixth embodiment.

Wie in 8 dargestellt, unterscheidet sich eine Fluidsteuervorrichtung 10E gemäß der sechsten Ausführungsform dadurch von der Fluidsteuervorrichtung 10D gemäß der fünften Ausführungsform, dass die Fluidsteuervorrichtung 10E eine zweite Hauptplatte 40E aufweist. Die übrige Konfiguration der Fluidsteuervorrichtung 10E ist die gleiche wie die der Fluidsteuervorrichtung 10D und die Beschreibung dieser identischen Teile entfällt.As in 8th 1, a fluid control device 10E according to the sixth embodiment differs from the fluid control device 10D according to the fifth embodiment in that the fluid control device 10E has a second main plate 40E. The other configuration of the fluid control device 10E is the same as that of the fluid control device 10D, and the description of those identical parts will be omitted.

Die Fluidsteuervorrichtung 10E weist die zweite Hauptplatte 40E auf. Die zweite Hauptplatte 40E weist eine flache Hauptkörperplatte und einen vorstehenden Teil 41E auf. Die flache Hauptkörperplatte und der vorstehende Teil 41E sind so ausgebildet, dass sie miteinander einstückig sind.The fluid control device 10E includes the second main plate 40E. The second main plate 40E has a flat main body plate and a protruding part 41E. The flat main body plate and the protruding part 41E are formed to be integral with each other.

Der vorstehende Teil 41E hat eine Form, die durch Verbinden des vorstehenden Teils 41D und des vorstehenden Seitenwand-Teils 42D gemäß der fünften Ausführungsform miteinander, damit sie miteinander einstückig sind, erhalten wird. Das heißt, dass in Draufsicht, der Innenrand des vorstehenden Teils 41E die Ventilfolie 61 überlappt und der Außenrand des vorstehenden Teils 41E sich im Wesentlichen mit dem Außenrand des Seitenwandelements 50 überschneidet.The protruding part 41E has a shape obtained by joining the protruding part 41D and the sidewall protruding part 42D according to the fifth embodiment together to be integral with each other. That is, in plan view, the inner edge of the protruding part 41E overlaps the valve sheet 61 and the outer edge of the protruding part 41E substantially overlaps the outer edge of the side wall member 50 .

In dieser Konfiguration ist die Oberfläche der zweiten Hauptplatte 40E in der Umgebung des Außenrands der Pumpenkammer 100 flach. Dadurch wird turbulente Strömung nahe dem Außenrand der Pumpenkammer 100 unterdrückt. Daher kann die Fluidsteuervorrichtung 10E den Wirkungsgrad der Fluidförderung verbessern.In this configuration, the surface of the second main plate 40E in the vicinity of the outer edge of the pump chamber 100 is flat. As a result, turbulent flow near the outer edge of the pump chamber 100 is suppressed. Therefore, the fluid control device 10E can improve fluid delivery efficiency.

(Siebte Ausführungsform)(Seventh embodiment)

Im Folgenden wird eine Fluidsteuervorrichtung gemäß einer siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. 9 ist eine Seitenansicht, die die Konfiguration der Fluidsteuervorrichtung gemäß der siebten Ausführungsform darstellt.A fluid control device according to a seventh embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 9 14 is a side view showing the configuration of the fluid control device according to the seventh embodiment.

Wie 9 dargestellt, unterscheidet sich eine Fluidsteuervorrichtung 10F gemäß der siebten Ausführungsform dadurch von der Fluidsteuervorrichtung 10E gemäß der sechsten Ausführungsform, dass die Fluidsteuervorrichtung 10F eine Ventilfolie 61F und ein Befestigungselement 62F umfasst. Die übrige Konfiguration der Fluidsteuervorrichtung 10F ist die gleiche wie die der Fluidsteuervorrichtung 10E und diese identischen Teile werden nicht beschrieben.As 9 1, a fluid control device 10F according to the seventh embodiment differs from the fluid control device 10E according to the sixth embodiment in that the fluid control device 10F comprises a valve sheet 61F and a fastening element 62F. The other configuration of the fluid control device 10F is the same as that of the fluid control device 10E, and these identical parts will not be described.

Die Ventilfolie 61F hat eine Kreisform. Das Befestigungselement 62F hat eine Kreisform. Das heißt, die Ventilfolie 61F und das Befestigungselement 62F sind so geformt, dass sie in ihrer Mitte keine Öffnungen aufweisen. Die Ventilfolie 61F ist mit Ausnahme eines Teils des äußeren Endes 611 der Ventilfolie 61F mit dem Befestigungselement 62F an der ersten Hauptplatte 21 befestigt.The valve sheet 61F has a circular shape. The fastener 62F has a circular shape. That is, the valve sheet 61F and the fixing member 62F are formed so as not to have any openings at their centers. The valve sheet 61F is fixed to the first main plate 21 with the fixing member 62F except for a part of the tip end 611 of the valve sheet 61F.

Bei dieser Konfiguration weist die Seite der ersten Hauptplatte 21 der Pumpenkammer 100 eine flache Oberfläche auf. Infolgedessen ist der Abstand zwischen der Hauptfläche 401 und der Ventilfolie 61F im Inneren der Pumpenkammer 100 gleichmäßig und Flussturbulenzen können unterdrückt werden. Daher kann die Fluidsteuervorrichtung 10F den Wirkungsgrad der Fluidförderung verbessern.With this configuration, the first main plate 21 side of the pump chamber 100 has a flat surface. As a result, the distance between the main surface 401 and the valve sheet 61F is uniform inside the pump chamber 100, and flow turbulence can be suppressed. Therefore, the fluid control device 10F can improve fluid delivery efficiency.

(Achte Ausführungsform)(Eighth embodiment)

Im Folgenden wird eine Fluidsteuervorrichtung gemäß einer achten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. 10 ist eine Seitenansicht, die die Konfiguration der Fluidsteuervorrichtung gemäß der achten Ausführungsform darstellt.A fluid control device according to an eighth embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 10 14 is a side view showing the configuration of the fluid control device according to the eighth embodiment.

Wie 10 dargestellt, unterscheidet sich eine Fluidsteuervorrichtung 10G gemäß der achten Ausführungsform dadurch von der Fluidsteuervorrichtung 10F gemäß der siebten Ausführungsform, dass die Fluidsteuervorrichtung 10G ein Loch 400G umfasst. Die übrige Konfiguration der Fluidsteuervorrichtung 10G ist die gleiche wie die der Fluidsteuervorrichtung 10F und diese identischen Teile werden nicht beschrieben.As 10 1, a fluid control device 10G according to the eighth embodiment differs from the fluid control device 10F according to the seventh embodiment in that the fluid control device 10G includes a hole 400G. The other configuration of the fluid control device 10G is the same as that of the fluid control device 10F, and these identical parts will not be described.

Die Fluidsteuervorrichtung 10G beinhaltet ein Loch 400G. Das Loch 400G durchdringt die zweite Hauptplatte 40E. Die Fläche der Öffnung des Lochs 400G ist größer als die Fläche der Öffnung der in den obigen Ausführungsformen dargestellten Löcher 400. Zum Beispiel hat der Durchmesser des Lochs 400G eine dem Durchmesser des Kreises, an dem entlang die mehreren Löchern 400 angeordnet sind, ähnliche Größe.The fluid control device 10G includes a hole 400G. The hole 400G penetrates the second main plate 40E. The opening area of the hole 400G is larger than the opening area of the holes 400 illustrated in the above embodiments. For example, the diameter of the hole 400G has a size similar to the diameter of the circle along which the plurality of holes 400 are arranged.

Auch bei dieser Konfiguration kann die Fluidsteuervorrichtung 10G eine ähnliche Betriebswirkung wie die Fluidsteuervorrichtung 10F aufweisen.Even with this configuration, the fluid control device 10G can have an operational effect similar to that of the fluid control device 10F.

(Neunte Ausführungsform)(Ninth embodiment)

Im Folgenden wird eine Fluidsteuervorrichtung gemäß einer neunten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. 11 ist eine Seitenansicht, die die Konfiguration der Fluidsteuervorrichtung gemäß der neunten Ausführungsform darstellt.A fluid control device according to a ninth embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 11 12 is a side view showing the configuration of the fluid control device according to the ninth embodiment.

Wie in 11 dargestellt, unterscheidet sich die Fluidsteuervorrichtung 10H gemäß der neunten Ausführungsform dadurch von der Fluidsteuervorrichtung 10 gemäß der ersten Ausführungsform, dass die Fluidsteuervorrichtung 10H eine Aussparung 210 beinhaltet. Die übrige Konfiguration der Fluidsteuervorrichtung 10H ist die gleiche wie die der Fluidsteuervorrichtung 10 und diese identischen Teile werden nicht beschrieben.As in 11 As illustrated, the fluid control device 10H according to the ninth embodiment differs from the fluid control device 10 according to the first embodiment in that the fluid control device 10H includes a recess 210 . The other configuration of the fluid control device 10H is the same as that of the fluid control device 10, and these identical parts will not be described.

Die Fluidsteuervorrichtung 10H beinhaltet die Aussparung 210. Die Aussparung 210 ist so gestaltet, dass sie aus der Oberfläche der ersten Hauptplatte 21 auf der Seite ausgenommen ist, auf der die Pumpenkammer 100 liegt (der oben beschriebenen Hauptfläche 211). Die Aussparung 210 überlappt in Draufsicht das äußere Ende 611 der Ventilfolie 61.The fluid control device 10H includes the recess 210. The recess 210 is designed to be recessed from the surface of the first main plate 21 on the side where the pump chamber 100 is located (the main surface 211 described above). The recess 210 overlaps the outer end 611 of the valve film 61 in plan view.

Bei dieser Konfiguration sitzt das äußere Ende 611 der Ventilfolie 61 während Vorwärtsströmung in der Aussparung 210. Dadurch kann der Widerstand im Strömungspfad in der Umgebung des äußeren Endes 611 der Ventilfolie 61 verringert werden. Vorausgesetzt, dass das äußere Ende 611 der Ventilfolie 61 während Vorwärtsströmung des Fluids in der Aussparung 210 sitzt, kann in diesem Fall eine ähnliche Betriebswirkung wie die von den oben beschriebenen Konfigurationen erzielte erzielt werden, selbst wenn die Aussparung 210 das äußere Ende 611 der Ventilfolie 61 in einem Zustand, in dem das Fluid nicht strömt, nicht überlappt.With this configuration, the tip end 611 of the valve sheet 61 is seated in the recess 210 during forward flow. Thereby, resistance in the flow path in the vicinity of the tip end 611 of the valve sheet 61 can be reduced. In this case, provided that the outer end 611 of the valve sheet 61 is seated in the recess 210 during forward flow of the fluid, an operational effect similar to that achieved by the configurations described above can be obtained even if the recess 210 the outer end 611 of the valve sheet 61 in a state where the fluid does not flow, does not overlap.

Außerdem können die Konfigurationen der oben beschriebenen Ausführungsformen beliebig miteinander kombiniert werden und Betriebswirkungen dieser Kombinationen erzielt werden.In addition, the configurations of the above-described embodiments can be arbitrarily combined with each other and operational effects of these combinations can be obtained.

BezugszeichenlisteReference List

10, 10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F, 10G, 10H10, 10A, 10B, 10C, 10D, 10E, 10F, 10G, 10H: Fluidsteuervorrichtungfluid control device
2121: erste Hauptplattefirst main plate
2222: Rahmenkörperframe body
2323: Trägerkörpercarrier body
3030: Antriebskörperdrive body
40, 40D, 40E40, 40D, 40E: zweite Hauptplattesecond main plate
41A, 41B, 41D, 41E41A, 41B, 41D, 41E: vorstehender Teilprotruding part
42D42D: vorstehender Seitenwand-Teilprotruding side wall part
5050: Seitenwandelementside panel
61, 61F61, 61F: Ventilfolievalve foil
62, 62F62, 62F: Befestigungselementfastener
100100: Pumpenkammerpump chamber
210210: Aussparungrecess
211, 212211, 212: Hauptflächemain surface
230230: Spaltgap
400400: LochHole
401, 402401, 402: Hauptflächemain surface
411411: Außenrandouter edge
412412: Innenrandinner edge
611611: äußeres Endeouter end
621621: Außenrandouter edge

Claims

Fluid control device comprising: a first main plate having a first main surface and a second main surface; a second main plate having a third main surface facing the first main surface and a fourth main surface on an opposite side of the third main surface and having a first hole penetrating between the third main surface and the fourth main surface and through which a fluid flows; a driving body which is arranged on the second main surface and vibrates the first main plate; a frame body provided closer to the outside than an outer edge of the first main panel; support portions that connect the frame body and the first main panel to each other and support the first main panel so that the first main panel can swing relative to the frame body; a side wall member connecting the second main panel and the frame body and forming a pump chamber between the first main surface and the third main surface; a valve element comprising an elastic valve sheet and a fastening element fastening one side of the inner end of the valve sheet to the first major surface, the valve element having an inner end which is a fixed end and an outer end which is a movable end , having; and a second hole surrounded by an outer edge of the first main plate, the frame body and two of the support portions which are adjacent to each other, which allows communication between the inside of the pump chamber and the outside and through which the fluid passes, wherein an outer end of the valve member overlaps the second hole as viewed in plan of the first major surface.

Fluid control device comprising: a first main plate having a first main surface and a second main surface; a second main plate having a third main surface opposite to the first main surface and a fourth main surface on a side opposite to the third main surface, and a first hole penetrating between the third main surface and the fourth main surface and through which a fluid flows; a driving body which is arranged on the second main surface and vibrates the first main plate; a frame body provided closer to the outside than an outer edge of the first main panel; support portions that connect the frame body and the first main panel to each other and support the first main panel so that the first main panel can swing relative to the frame body; a side wall member connecting the second main panel and the frame body and forming a pump chamber between the first main surface and the third main surface; a valve element comprising an elastic valve sheet and a fastening element fastening one side of the inner end of the valve sheet to the first major surface, the valve element having an inner end which is a fixed end and an outer end which is a movable end , having; and a second hole surrounded by an outer edge of the first main plate, the frame body and two of the support portions which are adjacent to each other, which allows communication between the inside of the pump chamber and the outside and through which the fluid passes, wherein a recess recessed from the first main surface is provided in a part of the first main surface overlapping an outer end of the valve member when viewed in plan of the first main surface.

fluid control device claim 1 or 2 wherein the second main plate has a protruding part protruding from the third main surface, and the protruding part overlaps an outer end of the valve sheet in a plan view.

fluid control device claim 3 , wherein the protruding part does not overlap the fastener in plan view.

fluid control device claim 3 , wherein the protruding part overlaps the fastener in plan view.

Fluid control device according to any one of claims 3 until 5 , wherein the protruding part is formed to be integral with the second main plate.

Fluid control device according to any one of claims 3 until 6 , wherein an end surface of the protruding part of the second main plate and a bonding surface where the second main plate is bonded to the side wall member are on the same plane.

Fluid control device according to any one of Claims 1 until 7 , wherein the first hole overlaps the fastener in plan view.

Fluid control device according to any one of Claims 1 until 8th , wherein the valve foil and the fastening element are ring-shaped.

Fluid control device according to any one of Claims 1 until 8th wherein the valve sheet and the fastener are shaped so that they have no opening(s) in their center.

Fluid control device according to any one of Claims 1 until 10 , wherein an outer shape of the valve sheet is a circular shape.