DE112012002509A5 - Verfahren zur Bereitstellung eines Vorhersagemodells für eine Rissdetektion und Verfahren zur Rissdetektion an einer Halbleiterstruktur - Google Patents

Verfahren zur Bereitstellung eines Vorhersagemodells für eine Rissdetektion und Verfahren zur Rissdetektion an einer Halbleiterstruktur Download PDF

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