DE1089557B - Process for the production of scales - Google Patents

Process for the production of scales

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DE1089557B
DE1089557B DEZ5060A DEZ0005060A DE1089557B DE 1089557 B DE1089557 B DE 1089557B DE Z5060 A DEZ5060 A DE Z5060A DE Z0005060 A DEZ0005060 A DE Z0005060A DE 1089557 B DE1089557 B DE 1089557B
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DE
Germany
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scale
basic
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basic scale
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Pending
Application number
DEZ5060A
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German (de)
Inventor
Dr-Ing Kurt Raentsch
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Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2002Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
    • G03F7/201Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image characterised by an oblique exposure; characterised by the use of plural sources; characterised by the rotation of the optical device; characterised by a relative movement of the optical device, the light source, the sensitive system or the mask
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B21/00Projectors or projection-type viewers; Accessories therefor

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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Description

DEUTSCHESGERMAN

Zum Herstellen von Maßstäben sind mechanische Verfahren bekannt, bei denen die Maßstabstriche in den Maßstabkörper eingeritzt, eingesägt od. dgl. werden. Es sind aber auch andererseits photochemische Verfahren bekannt, bei denen eine Maßstabvorlage auf eine lichtempfindliche Schicht des Maßstabkörpers kopiert wird. Die letzten Verfahren lassen sich wesentlich schneller durchführen als die erstgenannten mechanischen, und sie sind nicht so sehr von den Fehlern der Teilmaschine abhängig.For the production of scales, mechanical methods are known in which the scale lines in the scale body is scored, sawn in or the like. On the other hand, they are also photochemical Process known in which a scale original is applied to a light-sensitive layer of the scale body is copied. The latter procedures can be carried out much faster than the former mechanical, and they are not so dependent on the faults of the submachine.

Trotzdem befriedigen sie noch nicht, weil es äußerst schwierig ist, einen genauen Grundmaßstab herzustellen. Dies wird um so schwieriger, je feiner der herzustellende Maßstab unterteilt sein soll, weil dann nach dem bisherigen Verfahren der Grundmaßstab dieselbe Strichzahl aufweisen muß wie der fertige Maßstab und die Wahrscheinlichkeit, daß etliche der Striche des Grundmaßstabes bereits an einer falschen Stelle sitzen, um so größer ist.Nevertheless, they are still unsatisfactory because it is extremely difficult to establish an exact basic scale. This becomes all the more difficult, the finer the scale to be produced is to be subdivided, because then According to the previous method, the basic scale must have the same number of lines as the finished one Scale and the probability that some of the lines of the basic scale are already at a wrong Sit in place, the bigger it is.

Die Erfindung betrifft eine Verbesserung dieses bekannten Kopierverfahrens. Sie zeichnet sich dadurch aus, daß der Grundmaßstab und der herzustellende Maßstab relativ zu einer Abbildungsoptik verschiebbar in einer gemeinsamen Ebene angeordnet werden, daß für den Grundmaßstab größere Maßstabintervalle gewählt werden, als sie der herzustellende Maßstab aufweisen soll, daß die Teilung der Grundmaßstäbe durch die relativ zum Grundmaßstab und zum herzustellenden Maßstab verschiebbare Abbildungsoptik auf eine lichtempfindliche Schicht des herzustellenden Maßstabes abgebildet wird, daß anschließend der Grundmaßstab relativ zum herzustellenden Maßstab um einen Teil der Intervallänge des Grundmaßstabes versetzt wird, wonach der Grundmaßstab erneut auf den lichtempfindlichen Maßstab abgebildet wird und diese Verfahrensschritte so lange wiederholt werden, bis das Grundmaßstabintervall vollständig unterteilt ist. Wird also eine Unterteilung in mm gewünscht, dann weist der Grundmaßstab vorteilhaft eine Zentimeter-Teilung auf, und man versetzt die Maßstäbe nach jeder Abbildung aufeinander und 1 mm gegeneinander. Die Verfahrensschritte sind dann genau zehnmal anzuwenden. Wird eine Unterteilung in 1Ao mm gewünscht, dann werden die Maßstäbe jeweils um 1Ao mm gegeneinander versetzt. Auch hierbei kann man von einer Zentimeter-Teilung ausgehen.The invention relates to an improvement of this known copying process. It is characterized in that the basic scale and the scale to be produced are arranged in a common plane so that they can be displaced relative to an imaging optics, that larger scale intervals are selected for the basic scale than the scale to be produced should have, that the division of the basic scales by the relative The imaging optics, which can be shifted to the basic scale and to the scale to be produced, are mapped onto a light-sensitive layer of the scale to be produced, so that the base scale is then offset relative to the scale to be produced by part of the interval length of the base scale, after which the base scale is again mapped onto the light-sensitive scale and these process steps as such be repeated long until the basic scale interval is completely divided. If a subdivision in mm is desired, then the basic scale advantageously has a centimeter division, and the scales are offset after each illustration on top of one another and 1 mm on one another. The procedural steps are then to be applied exactly ten times. If a subdivision into 1 Ao mm is desired, the scales are offset by 1 Ao mm from one another. Here, too, one can assume a centimeter division.

Da jetzt der Grundmaßstab nur groß, z. B. in Zentimeter- oder Millimeter-Intervalle geteilt ist, weist er verhältnismäßig wenig Teilstriche auf, etwa ein Zehntel der Teilstriche, wie sie früher erforderlich waren. Solche Maßstäbe lassen sich entsprechend leichter herstellen, weil die Wahrscheinlichkeit, daß etliche der Teilstriche an falscher Stelle liegen, wesentlich geringer geworden ist.Since now the basic scale is only large, e.g. B. is divided into centimeter or millimeter intervals, if it has relatively few tick marks, about a tenth of the tick marks that were previously required was. Such scales are correspondingly easier to produce because the probability that some of the tick marks are in the wrong place, has become much smaller.

Verfahren zum Herstellen von MaßstäbenMethod of making rules

Anmelder;
Fa. Carl Zeiss, Heidenheim/Brenz
Applicant;
Carl Zeiss, Heidenheim / Brenz

Dr.-Ing. Kurt Räntsch, Wetzlar,
ist als Erfinder genannt worden
Dr.-Ing. Kurt Räntsch, Wetzlar,
has been named as the inventor

Darüber hinaus kann die Versetzung des Grundmaßstabes zum Unterteilen der Intervalle durch Endmaße bewirkt werden, so daß auch das Einhalten einer exakten Verschiebungsgröße gewährleistet ist. Die nach dem genannten Verfahren hergestellten Maßstäbe werden deshalb sehr genau, und sie sind trotzdem leicht herstellbar.In addition, the offset of the basic scale can be used to subdivide the intervals with gauge blocks be effected, so that compliance with an exact amount of displacement is guaranteed. The gauges produced by the process mentioned are therefore very accurate, and they are nevertheless easy to manufacture.

Das Nebeneinanderprojizieren einer Vorlage auf eine Platte ist zur Herstellung von Druckplatten bereits bekannt. Es wird hier die Abbildungsoptik zusammen mit der Vorlage um bestimmte Strecken verschoben, so daß sich die nächstfolgende Abbildung der Vorlage an das Bild der vorhergehenden anschließt. Dieses Verfahren ist für die erfindungsgemäße Maßstabherstellung nicht vorteilhaft, weil hier einerseits wieder der Grundmaßstab entsprechend dem herzustellenden Maßstab unterteilt sein muß und der Grundmaßstab andererseits nicht zu lange gewählt werden kann, weil sonst einmal die oben beschriebenen Nachteile auftreten und andererseits zu große Anforderungen an die Abbildungsoptik gestellt werden müssen; macht man den Grundmaßstab dagegen kurz, dann müssen die A'Orlage und die Abbildungsoptik sehr oft versetzt werden, um einen langen Maßstab zu erhalten. Dieses häufige Versetzen kompliziert das Verfahren wiederum.The side-by-side projecting of an original onto a plate is already part of the production of printing plates known. Here the imaging optics are shifted along with the template by certain distances, so that the next image of the original follows the image of the previous one. This method is not advantageous for the production of the scale according to the invention, because here on the one hand again the basic scale must be subdivided according to the scale to be produced and the On the other hand, the basic scale cannot be chosen for too long, because otherwise the ones described above Disadvantages occur and, on the other hand, too great demands are placed on the imaging optics have to; If, on the other hand, the basic scale is made short, then the A'Orlage and the imaging optics have to be be moved very often in order to obtain a long scale. This frequent relocation complicates it Procedure in turn.

Außerdem wird bei dem Verfahren zur Herstellung von Druckplatten das Abbesche Komparatorprinzip nicht eingehalten, weil Vorlage und lichtempfindliche Platte in parallelen Ebenen zueinander angeordnet sind.In addition, the Abbe comparator principle is used in the method of manufacturing printing plates not complied with because the original and photosensitive plate are arranged in planes parallel to one another are.

Die Einhaltung des Abbeschen Komparatorprinzips wird durch die Erfindung dadurch garantiert, daß Grundmaßstab und herzustellender Maßstab in einer gemeinsamen Ebene vorzugsweise hintereinanderliegend angeordnet sind.Compliance with the Abbe comparator principle is guaranteed by the invention in that Basic scale and scale to be produced in a common plane, preferably one behind the other are arranged.

Die Abbildungsoptik bildet hierbei den Grundmaßstab zweckmäßig mit der Vergrößerung 1:1 auf denThe imaging optics in this case form the basic scale expediently with a magnification of 1: 1 to the

009 608/167009 608/167

lichtempfindlichen Maßstab ab, indem sie sowohl am Grundmaßstab als auch am herzustellenden Maßstab für jede Übertragung der Teilstriche des Grundmaßstabes kontinuierlich entlanggeführt wird.light-sensitive scale by using both the basic scale and the scale to be produced is continuously moved along for each transfer of the graduation marks of the basic scale.

In der Zeichnung ist eine Einrichtung zur Ausübung des Verfahrens dargestellt. Ein Grundmaßstab 1 mit einer genauen Zentimeter-Teilung ist in einem Träger 2 gelagert. Der Träger 2 steht unter der Wirkung einer Feder 3, welche ihn gegen ein Endmaßstück 4 drückt. Das Endmaßstück 4 stützt sich an einem Grundkörper 5 ab. Der Grundkörper trägt fest mit ihm verbunden einen Maßstab 6 mit lichtempfindlicher Schicht. Der Grundkörper 5 ist in einer Führung 7 in Richtung des Pfeiles 8 verschiebbar. Die Abbildung der Teilung des Grundmaßstabes 1 auf die lichtempfindliche Schicht des Maßstabes 6 erfolgt mittels zweier Objektive 9 und 10, einer Umkehrlinse 11 sowie eines Winkelspiegels 12 und eines Planspiegels 13. Winkelspiegel 12 und Planspiegel 13 sind vorgesehen, um die Gleichsinnigkeit der Abbildung zu gewährleisten. Die Beleuchtung des Grundmaßstabes 1 erfolgt mittels einer fest angeordneten Lichtquelle 14 über Kondensorlinsen 15. Die Beleuchtungseinrichtung sowie die Projektionsoptik sind in einem Gehäuse 16 fest angeordnet.The drawing shows a device for carrying out the method. A basic standard 1 with an exact centimeter division is stored in a carrier 2. The carrier 2 is under the Effect of a spring 3 which presses it against a gauge block 4. The end gauge 4 is based on a base body 5. The base body carries a scale 6 with light-sensitive, firmly connected to it Layer. The base body 5 can be displaced in a guide 7 in the direction of the arrow 8. the The graduation of the basic scale 1 is mapped onto the light-sensitive layer of the scale 6 by means of two objectives 9 and 10, an erecting lens 11 and an angle mirror 12 and a plane mirror 13. Angular mirror 12 and plane mirror 13 are provided to ensure that the image is in the same direction to ensure. The basic scale 1 is illuminated by means of a fixed light source 14 via condenser lenses 15. The lighting device and the projection optics are in one Housing 16 fixedly arranged.

Claims (3)

PATENTANSPRÜCHE:PATENT CLAIMS: 1. Verfahren zum Herstellen von Maßstäben nach dem Kopierverfahren, dadurch gekennzeichnet, daß der Grundmaßstab und der herzustellende Maßstab in einer gemeinsamen Ebene relativ zu einer Abbildungsoptik verschiebbar angeordnet werden, daß für den Grundmaßstab größere Maßstabintervalle gewählt werden, als sie der herzustellende Maßstab aufweisen soll, daß die Teilung des Grundmaßstabes durch die relativ zum Grundmaßstab und zum herzustellenden Maßstab verschiebbare Abbildungsoptik auf eine lichtempfindliche Schicht des herzustellenden Maßstabes abgebildet wird, daß anschließend der Grundmaßstab relativ zum lichtempfindlichen Maßstab um einen Teil der Intervallänge des Grundmaßstabes versetzt wird, wonach der Grundmaßstab erneut auf den lichtempfindlichen Maßstab abgebildet wird, und daß diese Verfahrensschritte so lange wiederholt werden, bis das Grundmaßstabintervall vollständig unterteilt ist.1. A method for producing rules according to the copying process, characterized in that that the basic scale and the scale to be produced in a common plane relative to an imaging optics can be arranged so that larger scale intervals for the basic scale be chosen as it should have the scale to be produced that the division of the basic scale by the relative to the basic scale and to the scale to be produced shiftable imaging optics on a light-sensitive Layer of the scale to be produced is mapped that then the basic scale relative to the light-sensitive scale by part of the interval length of the basic scale is offset, after which the basic scale is mapped again on the photosensitive scale and that these process steps are repeated until the basic scale interval is completely subdivided. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Grundmaßstab und der herzustellende Maßstab hintereinanderliegend angeordnet sind und die relativ zum Grundmaßstab und zum herzustellenden Maßstab verschiebbare Abbildungsoptik die Maßstäbe im Verhältnis 1:1 aufeinander abbildet.2. The method according to claim 1, characterized in that the basic scale and the to be produced Scale are arranged one behind the other and which are relative to the basic scale and The imaging optics, which can be shifted to the scale to be produced, have a ratio of 1: 1 maps to each other. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die relative Versetzung der Maßstäbe gegeneinander durch Endmaße bewirkt wird.3. The method according to claim 1, characterized in that the relative displacement of the scales is effected against each other by gauge blocks. In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschrift Nr. 517 038;
britische Patentschrift Nr. 601 961;
Werkstattstechnik, 1921; Heft 7, S. 179 bis 181.
Considered publications:
German Patent No. 517 038;
British Patent No. 601,961;
Workshop technology, 1921; Issue 7, pp. 179 to 181.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings © 009 608/167 9.60© 009 608/167 9.60
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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DE1163035B (en) * 1959-08-11 1964-02-13 Zeiss Carl Fa Device for moving a workpiece by intervals of the same length

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GB601961A (en) * 1944-06-16 1948-05-18 Frank Button Meech Improvements in or relating to the production of engine-divided scales

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