Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Zentrier- und Aufnahmeeinheit
mit einem Zentrierstift für ein
Innenloch aufweisende Substrate, insbesondere optische Datenträger, wie
beispielsweise CDs oder DVDs.The
The present invention relates to a centering and receiving unit
with a centering pin for one
Inner hole substrates, in particular optical data carriers, such as
for example, CDs or DVDs.
Bei
der Herstellung derartiger optischer Datenträger ist es in unterschiedlichen
Verfahrensschritten notwendig, die den optischen Datenträger bildenden
Substrate zentriert und sicher in einer Behandlungsstation zu halten.
Eine derartige Behandlungsstation ist beispielsweise eine UV-Aushärtungsstation,
in der beispielsweise eine zwischen zwei Substrathälften befindliche
Kleberschicht mit UV-Licht ausgehärtet wird.at
The production of such optical data carriers is in different
Steps necessary to form the optical disk
To keep substrates centered and secure in a treatment station.
Such a treatment station is, for example, a UV curing station,
in the example, a located between two substrate halves
Adhesive layer is cured with UV light.
Insbesondere
bei dieser Station ergibt sich das Problem, dass ein in der Vorrichtung
befindlicher Zentrierstift mit dem Kleber in Kontakt kommen kann und
dieser an dem Stift aushärten
kann, wodurch die nachfolgende Aufnahme und Halterung eines weiteren
Substrats beeinträchtigt
wird, da sich der Außenumfang
des Zentrierstifts durch den Kleber verändern kann.Especially
At this station, the problem arises that one in the device
located centering pin can come into contact with the adhesive and
cure this on the pin
can, allowing subsequent recording and holding another
Substrate impaired
will, as is the outer circumference
of the centering pin can change by the adhesive.
Aus
der nicht vorveröffentlichten
auf dieselbe Anmelderin zurückgehenden
DE-A-102 36 456 ist eine Zentrier- und Aufnahmeeinheit bekannt,
bei der ein aufweitbarer Zentrierstift vorgesehen ist, der aus einem
elastischen, eine Kammer bildenden Material, gebildet wird. Durch
Erzeugen einer Druckdifferenz zwischen dem Druck in der Kammer und
der Umgebung, wird der Zentrierstift mit dem Innenumfang eines Innenlochs
eines optischen Datenträgers
in Kontakt gebracht. Das Vorsehen derartiger elastischer Materialien
in einer UV-Aushärtungsstation
besitzt jedoch den Nachteil, dass die meisten elastischen Materialien
durch die in der Station auftretende UV-Strahlung rasch altern und
beschädigt
werden können.Out
the not previously published
attributed to the same Applicant
DE-A-102 36 456 discloses a centering and receiving unit,
in which an expandable centering pin is provided which consists of a
elastic, a chamber-forming material is formed. By
Generating a pressure difference between the pressure in the chamber and
the environment, the centering pin with the inner circumference of an inner hole
an optical disk
brought into contact. The provision of such elastic materials
in a UV curing station
However, it has the disadvantage that most elastic materials
Aging rapidly due to the UV radiation occurring in the station
damaged
can be.
Aufgrund
des oben genannten Stands der Technik liegt der vorliegenden Erfindung
daher die Aufgabe zugrunde, eine Zentrier- und Aufnahmeeinheit mit
einem Zentrierstift für
ein Innenloch aufweisende Substrate, insbesondere op tische Datenträger zu bilden,
die selbst bei Verschmutzungen eine gute Aufnahme der Substrate
und Zentrierung derselben ermöglichen.by virtue of
of the above-mentioned prior art is the present invention
Therefore, the object of a centering and recording unit with
a centering pin for
an inner hole having substrates, in particular op tables to form data carriers,
even when it comes to soiling, the substrates are well absorbed
and centering enable the same.
Erfindungsgemäß wird diese
Aufgabe durch eine Zentrier- und Aufnahmeeinheit mit einem Zentrierstift
für ein
Innenloch aufweisende Substrate, insbesondere optische Datenträger dadurch
gelöst, dass
der Zentrierstift einen stationären
Hauptkörper, der
eine Längsachse
des Zentrierstift definiert, wenigstens drei relativ zum Hauptkörper bewegbare Zentrierelemente
und eine Einrichtung zum Bewegen der Zentrierelemente in Richtung
der Längsachse aufweist,
wobei der Hauptkörper
oder jedes Zentrierelement wenigstens ein Führungselement besitzt, das
in wenigstens einer entsprechenden Führungsbahn des anderen Teils,
d.h. dem Zentrierelement oder dem Hauptkörper aufgenommen und dort entlang
bewegbar ist, wobei die Führungsbahn
bezüglich
der Längsachse
des Zentrierstifts geneigt ist. Durch eine Zentrier- und Aufnahmeeinheit
mit dem obigen Aufbau ist ein aufweitbarer Zentrierstift vorgesehen,
der ein einfaches Aufsetzen von Substraten in einem zusammengezogenen
Zustand ermöglicht, und
anschließend
aufgeweitet werden kann, um eine Zentrierung der Substrate vorzusehen.
Dabei ist der Stift so aufgebaut, dass eine relative Längsbewegung
zwischen dem Hauptkörper
und dem Zentrierelement eine radiale Aufweitung bewirkt, so dass
eine einfache Betätigung
des Zentrierstifts gegeben ist.According to the invention this
Task by a centering and receiving unit with a centering pin
for a
Inner hole having substrates, in particular optical disk thereby
solved that
the centering pin a stationary
Main body, the
a longitudinal axis
the centering defined at least three relative to the main body movable centering
and means for moving the centering members in the direction
the longitudinal axis has,
the main body
or each centering element has at least one guide element, the
in at least one corresponding track of the other part,
i.e. taken up the centering element or the main body and along there
is movable, the guideway
in terms of
the longitudinal axis
of the centering pin is inclined. Through a centering and receiving unit
with the above construction, an expandable centering pin is provided,
the simple placing of substrates in a contracted
State allows, and
subsequently
can be expanded to provide a centering of the substrates.
The pin is constructed so that a relative longitudinal movement
between the main body
and the centering causes a radial expansion, so that
a simple operation
given the centering pin.
Selbst
wenn die Zentrierelemente, die nur mit einem Teilbereich des Innenlochs
der Substrate in Eingriff kommen, verschmutzt sind, können die
Substrate aufgenommen und anschließend zentriert werden, da die
Verschmutzung die Aufnahme im zusammengezogenen Zustand nicht beeinträchtigt.Even
if the centering elements, with only a portion of the inner hole
the substrates are engaged, dirty, the
Substrates are recorded and then centered, as the
Contamination does not affect the absorption in the contracted state.
Für einen
einfachen Aufbau des Zentrierstifts ist das Führungselement vorzugsweise
am Hauptkörper
und die Führungsbahn
jeweils am Zentrierelement ausgebildet. Bei einer Ausführungsform
der Erfindung sind für
jedes Zentrierelement zwei Führungselemente
und zwei Führungsbahnen
vorgesehen, die in Richtung der Längsachse beabstandet zueinander
angeordnet sind, um ein Verkippen der Zentrierelement zu vermeiden,
und eine sichere Führung und
radiale Aufweitung derselben sicherzustellen.For one
simple construction of the centering pin, the guide element is preferably
at the main body
and the guideway
each formed on the centering element. In one embodiment
of the invention are for
each centering two guide elements
and two guideways
provided, spaced in the direction of the longitudinal axis to each other
are arranged to prevent tilting of the centering element,
and a safe leadership and
ensure radial expansion of the same.
Um
die Zentrierelemente üblicherweise
in einer zusammengezogenen, d.h. nicht radial aufgeweiteten Position
zu halten, ist vorzugsweise wenigstens ein Vorspannelement, insbesondere
eine Feder zum Vorspannen der Zentrierelemente in eine Richtung entlang
der Längsachse
vorgesehen. Für
eine einfache Betätigung
der Zentrierelemente ist vorzugsweise wenigstens ein Zugelement
für jedes
Zentrierelement zum Bewegen desselben in eine Richtung entlang der
Längsachse
vorgesehen. Für
eine gleichmäßige Betätigung der
Zugelemente sind diese vorzugsweise an eine gemeinsame Bewegungseinheit gekoppelt.
Vorteilhafterweise wirken das Vorspannelement und das Zugelement
im Wesentlichen in entgegengesetzte Richtung, wobei das Zugelement
vorzugsweise im Wesentlichen konzentrisch bezüglich des Vorspannelements
angeordnet ist.Around
the centering usually
in a contracted, i. not radially expanded position
is preferably at least one biasing element, in particular
a spring for biasing the centering elements in one direction
the longitudinal axis
intended. For
a simple operation
the centering elements is preferably at least one tension element
for each
Centering element for moving it in a direction along the
longitudinal axis
intended. For
a uniform actuation of
Tensile elements are preferably coupled to a common movement unit.
Advantageously, the biasing element and the tension element act
essentially in the opposite direction, the tension element
preferably substantially concentric with respect to the biasing element
is arranged.
Bei
einer bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung ist das Zugelement ein flexibler Zugstab, der durch
die Flexibilität
gut eine Radialbewegung der Zentrierelemente bezüglich der Längsachse des Zentrierstifts
ermöglicht.
Um ein Kippen der Zentrierelemente während der Aufweitbewegung zu
vermeiden, greift das Zugelement vorzugsweise jeweils entlang einer
Längsmittelachse
des Zentrierelements an.In a preferred embodiment of Invention, the tension element is a flexible tension rod, which allows the radial good flexibility of a radial movement of the centering with respect to the longitudinal axis of the centering pin. In order to avoid tilting of the centering elements during the expansion movement, the pulling element preferably acts in each case along a longitudinal central axis of the centering element.
Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform der
Erfindung weist die Einrichtung zum Bewegen der Zentrierelemente
einen mit Magnetkraft betätigten
Bewegungsmechanismus auf, der beispielsweise die üblicherweise
in einer UV-Station vorhandenen Magnete nutzen kann. Bei einer alternativen
Ausführungsform
weist die Einrichtung zum Bewegen des Zentrierelements einen mit
Druckluft betätigten
Bewegungsmechanismus auf.According to one
preferred embodiment of
Invention has the means for moving the centering elements
a solenoid operated
Movement mechanism on, for example, the usual
in a UV station existing magnets can use. In an alternative
embodiment
has the means for moving the centering with a
Pressed compressed air
Movement mechanism on.
Vorteilhafterweise
weist die Zentrier- und Aufnahmeeinheit eine Substratauflage auf,
wobei die Einrichtung zum Bewegen der Zentrierelemente, das wenigstens
eine Führungselement
und die wenigstens eine Führungsbahn
un terhalb der Substratauflage angeordnet sind, um sicherzustellen,
dass gegebenenfalls auftretende Abriebteilchen nicht auf das Substrat
gelangen.advantageously,
the centering and receiving unit has a substrate support,
wherein the means for moving the centering, the at least
a guide element
and the at least one guideway
are arranged below the substrate support to ensure
that any occurring debris does not affect the substrate
reach.
Die
der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe wird auch durch einen Zentrier- und Aufnahmeeinheit
mit einem Zentrierstift für
ein Innenloch aufweisende Substrate, insbesondere optische Datenträger dadurch
gelöst,
dass die Zentrier- und Aufnahmeeinheit einen stationären Hauptkörper, der
eine Längsachse
des Zentrierstifts definiert, wenigstens drei relativ zum Hauptkörper bewegbare
Zentrierelemente und eine Bewegungseinrichtung zum Bewegen der Zentrierelemente
in einer Richtung, im Wesentlichen senkrecht zur Längsachse
des Zentrierstifts aufweist, wobei die Bewegungseinrichtung ein
Nadelelement aufweist, das sich wenigstens teilweise in den Zentrierstift
hinein erstreckt, zentrisch zwischen den Zentrierelementen angeordnet
ist und entlang der Längsachse
des Zentrierstifts bewegbar ist, wobei das Nadelelement und/oder
jede der Zentrierelemente wenigstens eine zur Längsachse des Zentrierstifts schräge Führungsfläche aufweist,
die mit dem anderen Element in Kontakt steht. Durch diese Anordnung kann
wiederum auf einfache und kostengünstige Weise ein aufweitbarer
Zentrierstift vorgesehen werden, der auch die oben genannten Vorteile
besitzt. Durch die Verwendung eines zentrischen Nadelelements, das
auf die bewegbaren Zentrierelemente wirkt, ergibt sich eine einfache
Betätigung
derselben. Dabei ermöglicht
die schräge
Führungsfläche am Nadelelement
und/oder den Zentrierelementen auf einfache Weise eine Umwandlung
der Längsbewegung
des Nadelelements in eine Radialbewegung der Zentrierelemente senkrecht
zur Längsachse
des Zentrierstifts. Dabei ist es von besonderem Vorteil, dass die
Zentrierelemente ausschließlich
eine Radialbewegung und keine kombinierte Längs- und Radialbewegung durchführen, die
zu einer Reibung zwischen den Zentrierelementen und dem Innenloch
der Substrate führen
kann.The
The object underlying the invention is also achieved by a centering and receiving unit
with a centering pin for
an inner hole having substrates, in particular optical disk thereby
solved,
in that the centering and receiving unit comprises a stationary main body, the
a longitudinal axis
of the centering pin, at least three movable relative to the main body
Centering elements and a movement device for moving the centering elements
in one direction, substantially perpendicular to the longitudinal axis
of the centering pin, wherein the movement means a
Has needle element, at least partially in the centering pin
extends, arranged centrally between the centering
is and along the longitudinal axis
the centering pin is movable, wherein the needle element and / or
each of the centering elements has at least one guide surface inclined to the longitudinal axis of the centering pin,
which is in contact with the other element. By this arrangement can
again in a simple and inexpensive way an expandable
Centering pin to be provided, which also has the above advantages
has. By using a centric needle element, the
acts on the movable centering, results in a simple
activity
the same. It allows
the slope
Guide surface on the needle element
and / or the centering easily a conversion
the longitudinal movement
of the needle element in a radial movement of the centering vertically
to the longitudinal axis
of the centering pin. It is of particular advantage that the
Centering elements exclusively
perform a radial movement and no combined longitudinal and radial movement, the
to a friction between the centering and the inner hole
lead the substrates
can.
Vorzugsweise
ist die Führungsfläche am Nadelelement
zur Längsachse
des Zentrierstifts schräg, da
sich an dem Nadelelement auf kostengünstige Weise eine für alle Zentrierelemente
gleiche schräge Führungsfläche ausbilden
lässt.
Vorzugsweise steht die zur Längsachse
des Zentrierstifts schräge
Führungs fläche an dem
Nadelelement und/oder dem Zentrierelement mit einem Führungsvorsprung
des anderen Elements in Kontakt, um eine entsprechende Führung derselben
sowie einen guten Eingriff der Führungsflächen vorzusehen.Preferably
is the guide surface on the needle element
to the longitudinal axis
of the centering pin diagonally, there
on the needle element in a cost effective manner one for all centering
form the same oblique guide surface
leaves.
Preferably, the stands to the longitudinal axis
of the centering pin diagonally
Guide surface on the
Needle element and / or the centering element with a guide projection
of the other element in contact to a corresponding leadership of the same
and to provide a good engagement of the guide surfaces.
Um
die Zentrierelemente automatisch in eine nicht aufgeweitete Ruheposition
zu bringen, ist vorzugsweise wenigstens ein Vorspannelement zum Vorspannen
der Zentrierelemente in Richtung des Nadelelements vorgesehen. Dabei
ist das Vorspannelement vorzugsweise ein elastischer O-Ring und/oder
eine Feder. Ein elastischer O-Ring kann um alle Zentrierelemente
herumgelegt werden und somit gleichmäßig auf die Zentrierelemente
wirken.Around
the centering automatically in a non-expanded resting position
is preferably at least one biasing element for biasing
the centering provided in the direction of the needle element. there
the biasing element is preferably an elastic O-ring and / or
a feather. An elastic O-ring can be used around all centering elements
be laid around and thus evenly on the centering
Act.
Bei
einer bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung ist eine Einrichtung zum Bewegen des Nadelelements
entlang der Längsachse
des Zentrierstifts vorgesehen, die einen mit Magnetkraft betätigten Bewegungsmechanismus
aufweist, der beispielsweise von den in einer UV-Station üblicherweise
vorhandenen Magnetbetätigungssystemen
Gebrauch machen kann.at
a preferred embodiment
The invention is a device for moving the needle element
along the longitudinal axis
the centering pin provided, which is a magnetic force actuated movement mechanism
which, for example, of those in a UV station usually
existing magnetic actuation systems
Can make use of.
Bei
einer alternativen Ausführungsform
der Erfindung ist eine Einrichtung zum Bewegen des Nadelelements
entlang der Längsachse
des Zentrierstifts vorgesehen, die einen mit Druckluft betätigten Bewegungsmechanismus
aufweist.at
an alternative embodiment
The invention is a device for moving the needle element
along the longitudinal axis
provided the centering pin, which is a driven by compressed air movement mechanism
having.
Bei
einer besonders bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung sind die Zentrierelemente in dem Hauptkörper des
Zentrierstifts geführt,
um ein Verkippen derselben und eine gleichmäßige radiale Aufweitung des
Zentrierstifts vorzusehen. Vorzugsweise weist die Zentrier- und
Aufnahmeeinheit ferner eine Substratauflage auf, wobei wenigstens
eines der folgenden Elemente unterhalb der Substratauflage angeordnet
ist: die zur Längsachse
des Zentrierstifts schräge
Führungsfläche, ein
Vorspannelement für
die Zentrierelemente, ein Bewegungsmechanismus für das Nadelelement und eine
Führung
der Zentrierelemente in dem Hauptkörper des Zentrierstifts, um
zu verhindern, dass gegebenenfalls durch Relativbewegung zwischen
unterschiedlichen Elementen auftretende Partikel auf das Substrat
bzw. zwischen aufeinanderliegende Substrathälften gelangt.In a particularly preferred embodiment of the invention, the centering elements are guided in the main body of the centering pin to provide a tilting thereof and a uniform radial expansion of the centering pin. Preferably, the centering and receiving unit further comprises a substrate support, wherein at least one of the following elements is arranged below the substrate support: the oblique to the longitudinal axis of the centering guide surface, a biasing element for the centering, a movement mechanism for the needle element and a guide of the centering in the Main body of the centering pin to prevent any occurring by relative movement between different elements particles on the substrate or between superimposed substrate halves ge reached.
Die
Erfindung wird nachfolgend anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele
der Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert; in den
Zeichnungen zeigt:The
Invention will be described below with reference to preferred embodiments
the invention with reference to the drawings explained in more detail; in the
Drawings shows:
1 eine
schematische Funktionsdarstellung einer Zentrier- und Aufnahmeeinheit
gemäß einem
ersten Ausführungsbeispiel
der Erfindung in einer ersten Position; 1 a schematic functional representation of a centering and receiving unit according to a first embodiment of the invention in a first position;
2 eine
schematische Darstellung gemäß 1,
wobei die Zentrier- und Aufnahmeeinheit in einer zweiten Position
dargestellt ist; 2 a schematic representation according to 1 wherein the centering and receiving unit is shown in a second position;
3 eine
schematische Draufsicht auf eine Zentrier- und Aufnahmeeinheit in
der in 1 dargestellten Position; 3 a schematic plan view of a centering and receiving unit in the in 1 position shown;
4 eine
schematische Draufsicht auf eine Zentrier- und Aufnahmeeinheit in
der in 2 dargestellten Position; 4 a schematic plan view of a centering and receiving unit in the in 2 position shown;
5 eine
schematische Seitenansicht der Zentrier- und Aufnahmeeinheit gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel; 5 a schematic side view of the centering and receiving unit according to the first embodiment;
6A und B eine schematische Schnittdarstellung
bzw. eine Draufsicht auf eine Zentrier- und Aufnahmeeinheit gemäß einem
zweiten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung in einer ersten Position; 6A and B is a schematic sectional view and a plan view of a centering and receiving unit according to a second embodiment of the present invention in a first position;
7A und B eine schematische Schnittdarstellung
bzw. eine Draufsicht auf eine Zentrier- und Aufnahmeeinheit gemäß 6 in
einer zweiten Position; 7A and B is a schematic sectional view and a top view of a centering and receiving unit according to 6 in a second position;
8A und B eine Schnittdarstellung einer Zentrier-
und Aufnahmeeinheit gemäß einer
weiteren Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung. 8A and FIG. B is a sectional view of a centering and receiving unit according to another embodiment of the present invention.
Die 1 und 2 zeigen
schematisch die Funktionsweise einer Zentrier- und Aufnahmeeinheit 1, wie
sie beispielsweise in den 3 bis 5 dargestellt
ist. In der folgenden Beschreibung beziehen sich die Richtungsangaben
auf die konkret dargestellten Figuren. Bei der Beschreibung einzelner
Elemente in Kombination mit Richtungsangaben wird von ihrer ordnungsgemäß installierten
Anordnung ausgegangen.The 1 and 2 show schematically the operation of a centering and receiving unit 1 , as in the example 3 to 5 is shown. In the following description, the directions are based on the figures shown concretely. The description of individual elements in combination with directional information is based on their properly installed arrangement.
Dabei
zeigen die 1, 3 und 5 die Zentrier-
und Aufnahmeeinheit 1 jeweils in einer inaktiven Position
und die 2 und 4 zeigen
die Einheit 1 in einer aktivierten Position.The show 1 . 3 and 5 the centering and receiving unit 1 each in an inactive position and the 2 and 4 show the unit 1 in an activated position.
Wie
am Besten in den 3 bis 5 zu erkennen
ist, besitzt die Zentrier- und
Aufnahmeeinheit 1 einen Zentrierstift 3 mit einem
Hauptkörper 5 und drei
in dem Hauptkörper 5 aufgenommene
Zentrierelemente. Der Hauptkörper 5 ist
fest an einem entsprechenden Element einer Behandlungsstation vorgesehen,
wobei das Element beispielsweise Teil eines Drehtischs sein kann, über den
die zu behandelnden Substrate in einen Behandlungsbereich gefördert werden.
Der Hauptkörper 5 besitzt,
wie in der Draufsicht in 3 zu erkennen ist, eine runde
Umfangsform, obwohl auch andere Formen möglich sind. In dem Hauptkörper 5 sind
drei sich radial zu einem Mittelpunkt 9 erstreckende Ausschnitte 1 vorgesehen,
die jeweils eine im Wesentlichen rechteckige Form aufweisen. Die
Ausschnitte 11 erstrecken sich, wie in 5 zu
erkennen ist, in Längsrichtung
des Hauptkörpers 5 vollständig durch
diesen hindurch. Jedoch ist es auch möglich, dass die Ausschnitte
sich nicht vollständig
durch den Hauptkörper 5 hindurch erstrecken,
und der Hauptkörper 5 einen
Boden aufweist. In gegenüberliegenden
Seitenwänden
der Ausschnitte 11 sind Aufnahmeöffnungen für die stationäre Aufnahme
eines Führungselements,
wie beispielsweise eines runden Stiftes 13 vorgesehen.
Das Führungselement 13 kann
beispielsweise ein federvorgespannter, sich aufweitender Stift sein,
der zur Installation zunächst
zusammengedrückt
und in die Ausschnitte 11 eingeführt wird und im Bereich der Öffnungen
in den Seitenwänden
der Ausschnitte 11 auseinander schnappt. Natürlich könnte das
Führungselement 13 auch
in anderer Weise in den Ausschnitten 11 installiert werden.How best in the 3 to 5 can be seen, has the centering and receiving unit 1 a centering pin 3 with a main body 5 and three in the main body 5 recorded centering elements. The main body 5 is fixedly provided on a corresponding element of a treatment station, wherein the element may for example be part of a turntable over which the substrates to be treated are conveyed into a treatment area. The main body 5 owns, as in the plan view in 3 It can be seen, a round peripheral shape, although other shapes are possible. In the main body 5 three are radially centered 9 extending cutouts 1 provided, each having a substantially rectangular shape. The cutouts 11 extend as in 5 can be seen, in the longitudinal direction of the main body 5 completely through it. However, it is also possible that the cutouts are not completely through the main body 5 pass through, and the main body 5 having a bottom. In opposite side walls of the cutouts 11 are receiving openings for the stationary recording of a guide element, such as a round pin 13 intended. The guide element 13 may be, for example, a spring-loaded, expanding pin, which initially compressed for installation and in the cutouts 11 is introduced and in the area of the openings in the side walls of the cutouts 11 snaps apart. Of course, the guiding element could 13 also in other ways in the cut-outs 11 be installed.
In
den Ausschnitten 11 des Hauptkörpers 5 ist jeweils
ein Zentrierelement 7 angeordnet, das in der Draufsicht
gemäß 3 eine
im Wesentlichen rechteckige, der Form der Ausschnitte 11 angepasste
Form besitzt. Die radial bezüglich
des Zentrierstifts 3 nach außen weisenden Kanten 15 der
Zentrierelemente 7 sind jeweils abgerundet.In the cutouts 11 of the main body 5 is each a centering element 7 arranged in accordance with the plan view 3 a substantially rectangular, the shape of the cutouts 11 has adapted form. The radial with respect to the centering pin 3 outward facing edges 15 the centering elements 7 are each rounded off.
Wie
am Besten in 1 zu erkennen ist, die zwei
Zentrierelemente 7 in einer Seitenansicht darstellt, weisen
diese jeweils eine sich quer durch das Zentrierelement 7 erstreckende
Führungsbahn 17 auf.
Die Führungsbahn 17 erstreckt
sich schräg
zur Längsmittelachse 9 des
Hauptkörpers 5,
wenn die Zentrierelemente 7 in dem Hauptkörper 5 aufgenommen
sind. Zur Vereinfachung der Darstellung wurde der Hauptkörper 5 in
den 1 und 2 weggelassen und nur dessen
Längsmittelachse 9 eingezeichnet.
Die Führungsbahn 17 erstreckt
sich mit einem Winkel von ungefähr
45° zu der
Längsmittelachse 9 des
Hauptkörpers 5.
Natürlich
könnte
sie sich auch mit einem anderen Winkel zu der Längsmittelachse 9 des
Hauptkörpers 5 erstrecken,
wobei ein Winkel zwischen 30° und
60° bevorzugt
wird.How best in 1 it can be seen, the two centering elements 7 in a side view, these each have one across the centering element 7 extending guideway 17 on. The guideway 17 extends obliquely to the longitudinal central axis 9 of the main body 5 when the centering elements 7 in the main body 5 are included. For ease of illustration, the main body 5 in the 1 and 2 omitted and only the longitudinal center axis 9 located. The guideway 17 extends at an angle of about 45 ° to the longitudinal central axis 9 of the main body 5 , Of course, it could also be at a different angle to the longitudinal centerline 9 of the main body 5 extend, with an angle between 30 ° and 60 ° is preferred.
Die
Führungsbahn 17 ist
derart bemessen und ausgeführt,
dass sich das Führungselement 13 vollständig dort
hindurch erstrecken kann. Obwohl eine einzelne Führungsbahn 17 für jedes
der Zentrierelemente 7 ausreichen kann, ist in 1 schematisch
eine zweite Führungsbahn 17' in dem linken Zentrierelement 7 angedeutet.
Diese zweite Führungsbahn 17' könnte zur
Aufnahme eines zweiten Führungselements 13' dienen, um
eine noch gleichmäßigere Führung der
Zentrierelemente 7, und insbesondere ein Verkippen der
Zentrierelement 7 bezüglich
der Längsmittelachse 9 zu
verhindern.The guideway 17 is so sized and executed that the guide element 13 can extend completely therethrough. Although a single guideway 17 for each of the centering elements 7 is sufficient in 1 schematically a second guideway 17 ' in the left centering element 7 indicated. This second guideway 17 ' could be for receiving a second guide element 13 ' serve to even more even guidance of the centering 7 , and in particular a tilting of the centering element 7 with respect to the longitudinal central axis 9 to prevent.
Eine
Oberseite 19 der jeweiligen Zentrierelemente 7 ist
schräg
bezüglich
der Längsmittelachse 9 des
Zentrierstifts 3 ausgebildet. Somit bilden die Oberseiten 19 der
Zentrierelemente 7 im eingebauten Zustand Teilbereiche
eines imaginären,
nach oben zulaufenden Konus.A top 19 the respective centering elements 7 is oblique with respect to the longitudinal central axis 9 of the centering pin 3 educated. Thus, the tops form 19 the centering elements 7 in the installed state, subregions of an imaginary cone tapering upwards.
Wie
in 1 zu erkennen ist, sind unterhalb jedes Zentrierelements 7 Federn 21 vorgesehen, welche
die Zentrierelemente 7 nach oben entlang der Längsmittelachse 9 des
Zentrierstifts 3 vorspannen. Die Federn 21 stützen sich
an der jeweiligen Unterseite der Zentrierelemente 7 einerseits
und an einer schematisch angedeuteten Auflage 23 andererseits ab.
Dabei greifen die Federn 21 mittig an einer Unterseite
der Zentrierelemente 7 an und sind in geeigneter Weise
fest damit verbunden. Ferner ist an den Zentrierelementen 7 jeweils
ein Zugstab 25 angebracht, der sich, wie in den 1 und 2 dargestellt
ist, durch die Feder 21 hindurch erstrecken kann und mittig
im Bereich der Unterseite des Zentrierelements 7 daran
befestigt ist. Die Zugelemente 25 erstrecken sich jeweils
durch die Auflage 23 für
die Feder 21 hindurch und sind an ihrem unteren freien Ende
mit einer entsprechenden, nicht dargestellten, Zugeinrichtung verbunden.
Dabei sind die freien Enden der Zugelemente 25 beispielsweise
an ein gemeinsames Element gekoppelt, das beispielsweise über ein
zentrales Betätigungselement
entlang der Längsmittelachse 9 des
Zentrierstifts 3 bewegbar ist. Die Zugstange 25 ist
vorzugsweise flexibel ausgelegt, um eine gewisse Radialauslenkung
bezüglich der
Längsmittelachse 9 des
Zentrierstifts 3 zu erlauben.As in 1 it can be seen below each centering element 7 feathers 21 provided, which are the centering elements 7 upwards along the longitudinal central axis 9 of the centering pin 3 Pretension. The feathers 21 are supported on the respective underside of the centering elements 7 on the one hand and on a schematically indicated edition 23 on the other hand. The springs grip 21 centered on an underside of the centering elements 7 and are suitably tied to it. Furthermore, on the centering elements 7 one tie rod each 25 attached, which, as in the 1 and 2 is shown by the spring 21 can extend through and centered in the bottom of the centering 7 attached to it. The tension elements 25 each extend through the edition 23 for the spring 21 through and are connected at its lower free end with a corresponding, not shown, traction device. Here are the free ends of the tension elements 25 For example, coupled to a common element, for example, via a central actuator along the longitudinal central axis 9 of the centering pin 3 is movable. The drawbar 25 is preferably designed to be flexible to a certain radial deflection with respect to the longitudinal central axis 9 of the centering pin 3 to allow.
Die
Zentrier- und Aufnahmeeinheit 1 weist ferner eine Auflage 28 auf,
die schematisch in den 1 und 2 dargestellt
ist. Die Aufnahme 28 dient zur Auflage eines Substrats 30 darauf,
wie ebenfalls schematisch in den 1 und 2 dargestellt
ist. Die Funktionsweise der Zentrier- und Aufnahmeeinheit 1 wird
nun anhand der 1 und 2 näher erläutert.The centering and receiving unit 1 also has an edition 28 on, which is schematically in the 1 and 2 is shown. The recording 28 serves to support a substrate 30 on it, as also schematically in the 1 and 2 is shown. The operation of the centering and receiving unit 1 will now be based on the 1 and 2 explained in more detail.
Die
Zentrier- und Aufnahmeeinheit 1 befindet sich zunächst in
einer Ausgangsposition, wie sie in 1 dargestellt
ist. Die Zentrierelemente 7 sind jeweils durch die Federn 21 nach
oben vorgespannt. Die Führungsstifte 13 sind
jeweils an einem unteren Ende der Führungsbahnen 17 der
Führungselemente 7 angeordnet.
Durch die Schräge
der Führungsbahnen 17 befinden
sich die Zentrierelemente 7 in einer bezüglich des
Hauptkörpers 5 des
Zentrierstifts 1 radial nach innen bewegten Position, in
der sie mit einem Abstand D1 zu der Längsmittelachse 9 des
Zentrierstifts 3 beabstandet sind. Wie in der Draufsicht gemäß 3 zu
erkennen ist, stehen die Außenkanten 15 der
Zentrierelemente 7 leicht über den Außenumfang des Hauptkörpers 5 hervor.
Dabei liegen die Außenkanten 15 der
Zentrierelemente 7 auf einem nicht dargestellten Kreis,
der einen Durchmesser besitzt, der kleiner ist als der Durchmesser
des Innenlochs eines aufzunehmenden Substrats 30. In dieser Position
kann das Substrat 30 im Wesentlichen frei auf der Auflage 28 abgelegt
werden. Dabei handelt es sich bei dem Substrat 30 vorzugsweise
um einen optischen Datenträger,
bestehend aus zwei durch eine noch nicht ausgehärtete Kleberschicht miteinander
verbundene Substrathälften.
Wenn das Substrat 30 im Wesentlichen zentriert auf der
Auflage 28 abgelegt wird, kommt es weder mit dem Hauptkörper 5 noch
mit den Zentrierelementen 7 in Berührung. Wenn das Substrat jedoch
fehlausgerichtet ist, kann es an den oberen Schrägen 19 der Zentrierelemente 7 an
diesen nach unten gleiten, um eine Vorzentrierung zu ermöglichen.
Wenn ein Substrat 30 auf der Auflage 28 abgelegt
ist, werden nun die Zentrierelemente 7 über das Zugelement 25 entgegen
der Vorspannung der Federn 21 in die in 2 bzw. 4 gezeigte
Position in Richtung der Längsmittelachse 9 nach
unten gezogen. Dadurch bewegen sich die Führungselemente 13,
die in dem Hauptkörper 5 des Zentrierstifts 3 angebracht
sind, in den Führungsbahnen 17 der
Zentrierelemente 7 nach oben. Durch die schräge Ausbildung
der Führungsbahnen 17 bezüglich der
Längsmittelachse 9 des
Zentrierstifts 3 werden die Zentrierelemente 7 radial
bezüglich
der Längsmittelachse 9 nach
außen
bewegt. Hierdurch kommen die Außenkanten 15 der
Zentrierelemente 7 mit dem Innenloch des Substrats 30 in
Kontakt und zentrieren dadurch die Substrathälften zueinander und bezüglich des
Zentrierstifts.The centering and receiving unit 1 is initially in a starting position, as in 1 is shown. The centering elements 7 are each by the springs 21 biased upward. The guide pins 13 are each at a lower end of the guideways 17 the guide elements 7 arranged. Due to the slope of the guideways 17 are the centering elements 7 in a respect to the main body 5 of the centering pin 1 radially inwardly moved position in which they at a distance D 1 to the longitudinal central axis 9 of the centering pin 3 are spaced. As in the plan view according to 3 it can be seen, are the outer edges 15 the centering elements 7 slightly above the outer circumference of the main body 5 out. Here are the outer edges 15 the centering elements 7 on a circle, not shown, which has a diameter which is smaller than the diameter of the inner hole of a male substrate 30 , In this position, the substrate can 30 essentially free on the pad 28 be filed. This is the substrate 30 preferably to an optical disk, consisting of two interconnected by a not yet cured adhesive layer substrate halves. If the substrate 30 essentially centered on the overlay 28 is discarded, it comes neither with the main body 5 still with the centering elements 7 in touch. However, if the substrate is misaligned, it may be on the top slopes 19 the centering elements 7 slide down on them to allow pre-centering. If a substrate 30 on the pad 28 is stored, now the centering elements 7 over the tension element 25 against the bias of the springs 21 in the in 2 respectively. 4 shown position in the direction of the longitudinal central axis 9 pulled down. As a result, the guide elements move 13 that are in the main body 5 of the centering pin 3 are mounted in the guideways 17 the centering elements 7 up. Due to the oblique formation of the guideways 17 with respect to the longitudinal central axis 9 of the centering pin 3 become the centering elements 7 radially with respect to the longitudinal central axis 9 moved outward. This gives the outer edges 15 the centering elements 7 with the inner hole of the substrate 30 in contact and thereby center the substrate halves to each other and with respect to the centering pin.
In
der in 2 dargestellten Position sind die Zentrierelemente 7 mit
einem Abstand D2 bezüglich der Längsmittelachse 9 beabstandet
und stehen, wie in 4 zu erkennen ist, deutliche über den
Außenumfang
des Hauptkörpers 5 des
Zentrierstifts 7 hinweg. In dieser Position kann das Substrat
nun behandelt werden. Bei der derzeit bevorzugten Anwendung wird
das Substrat mit UV-Licht bestrahlt, um einen zwischen zwei Hälften des
Substrats befindlichen Kleber auszuhärtenIn the in 2 shown position are the centering elements 7 with a distance D 2 with respect to the longitudinal central axis 9 spaced and standing, as in 4 It can be seen clearly over the outer circumference of the main body 5 of the centering pin 7 time. In this position, the substrate can now be treated. In the presently preferred application, the substrate is irradiated with UV light to cure an adhesive sandwiched between two halves of the substrate
Die 6 und 7 zeigen
eine alternative Ausführungsform
einer Zentrier- und
Aufnahmeeinheit 1. In den 6 und 7 werden
dieselben Bezugszeichen verwendet, sofern dieselben oder ähnliche
Elemente beschrieben werden.The 6 and 7 show an alternative embodiment of a centering and receiving unit 1 , In the 6 and 7 the same reference numerals are used, provided they are the same or similar che elements are described.
Die
Zentrier- und Aufnahmeeinheit weist wiederum einen Zentrierstift 3 auf,
der in Draufsicht schematisch in den 6B und 7B dargestellt ist. Der Zentrierstift 3 weist
wiederum einen Hauptkörper 5 auf,
der stationär
an einem entsprechenden Halteelement 50, das beispielsweise
Teil eines Drehtischs sein kann, angebracht ist. In dem Hauptkörper 5 sind wiederum
drei Zentrierelemente 7 vorgesehen, die sich bezüglich einer
Längsmittelachse 9 des
Zentrierstifts 3 radial erstrecken. Der Hauptkörper 5 weist eine
sich in Axialrichtung erstreckende Mittelöffnung 52 auf, sowie
drei sich radial hierzu erstreckende Schlitze 53, welche
sich vollständig
von der Mittelöffnung 52 zum
Außenumfang
des Hauptkörpers 5 erstrecken.
Die Schlitze 53 erstrecken sich jedoch nicht über die
gesamte Höhe
des Hauptkörpers 5.
Vielmehr weist der Hauptkörper 5 im
Bereich der Schlitze 53 einen Boden 55 auf, wie
in 6A zu erkennen ist. Die Schlitze 53 sind
derart bemessen, dass sie die Zentrierelemente 7 derart
darinnen aufnehmen können,
dass sie sich in Radialrichtung bezüglich der Längsmittelachse 9 des
Zentrierstifts 3 bewegen können, wobei sie hierbei seitlich
geführt
sind und auf dem Boden 55 des Hauptkörpers 5 aufliegen.
Obwohl dies in den 6 und 7 nicht
dargestellt ist, könnten
die Schlitze 53 wiederum Öffnungen zur Aufnahme eines
Führungselements
aufweisen, das in einer Führungsbahn
des Zentrierelements 7 aufgenommen ist, wobei sich die
Führungsbahn
in dem Zentrierelement 7 bei dem Ausführungsbeispiel gemäß den 6 und 7 senkrecht
zur Längsmittelachse 9 des
Zentrierstifts 3 erstrecken würde.The centering and receiving unit in turn has a centering pin 3 on, in plan view schematically in the 6B and 7B is shown. The centering pin 3 again has a main body 5 on, the stationary on a corresponding holding element 50 , which may be part of a turntable, for example, is attached. In the main body 5 again three centering elements 7 provided, which relate to a longitudinal central axis 9 of the centering pin 3 extend radially. The main body 5 has an axially extending central opening 52 on, and three radially extending slots 53 which extends completely from the central opening 52 to the outer periphery of the main body 5 extend. The slots 53 however, do not extend over the entire height of the main body 5 , Rather, the main body points 5 in the area of the slots 53 a floor 55 on, like in 6A can be seen. The slots 53 are sized so that they are the centering elements 7 can absorb such in that they are in the radial direction with respect to the longitudinal center axis 9 of the centering pin 3 can move, whereby they are guided sideways and on the ground 55 of the main body 5 rest. Although this in the 6 and 7 not shown, the slots could 53 in turn have openings for receiving a guide element, which in a guideway of the centering 7 is received, wherein the guideway in the centering 7 in the embodiment according to the 6 and 7 perpendicular to the longitudinal central axis 9 of the centering pin 3 would extend.
Die
Zentrierelemente 7 weisen jeweils einen schmalen oberen
Bereich 57, sowie einen verbreiterten unteren Bereich 59 auf.
Der schmale obere Bereich 57 dient als Anlage und Zentrierteil
des Zentrierelements 7, während der untere verbreiterte
Teil 59 des Zentrierelements zur Führung in dem Hauptkörper 5 dient.
Dabei weist der obere Teil 57 eine abgerundete, radial
nach außen
weisende Kante 62 auf, wenn er in dem Zentrierstift 3 installiert
ist. In dem verbreiterten Teil 59 des Zentrierelements 7 ist eine
radial nach außen
weisende Ausnehmung zur Aufnahme eines Vorspannelements 64,
wie beispielsweise einer Feder, vorgesehen. Die Feder 64 stützt sich
an ihrem freien, von dem Zentrierelement 7 beabstandeten
Ende beispielsweise an dem Ele ment 50, in dem auch der
Hauptkörper 5 angebracht ist,
ab und spannt das Zentrierelement 7 in Radialrichtung zu
der Längsmittelachse 9 des
Zentrierstifts 3 vor.The centering elements 7 each have a narrow upper area 57 , as well as a widened lower area 59 on. The narrow upper area 57 serves as an attachment and centering part of the centering element 7 while the lower widened part 59 the centering element for guiding in the main body 5 serves. In this case, the upper part 57 a rounded, radially outwardly facing edge 62 when he is in the centering pin 3 is installed. In the widened part 59 of the centering element 7 is a radially outwardly facing recess for receiving a biasing member 64 , such as a spring. The feather 64 relies on its free, from the centering element 7 spaced end, for example, on the ele ment 50 in which also the main body 5 is attached, and spans the centering element 7 in the radial direction to the longitudinal central axis 9 of the centering pin 3 in front.
Der
Teil 59 weist ferner einen radial nach innen weisenden
spitz zulaufenden Vorsprung 66 auf.The part 59 also has a radially inwardly pointing tapered projection 66 on.
Die
Zentrier- und Aufnahmeeinheit 1 weist wiederum eine Auflage 28 auf,
die beispielsweise ebenfalls an dem Element 50 angebracht
ist. Die Auflage 28 besitzt eine Mittelöffnung 68, durch die
sich wenigstens der obere Teil 57 der Zentrierelemente 7 hindurch
erstreckt.The centering and receiving unit 1 again has a circulation 28 on, for example, also on the element 50 is appropriate. The edition 28 has a central opening 68 through which at least the upper part 57 the centering elements 7 extends through.
Darüber hinaus
weist die Zentrier- und Aufnahmeeinheit 1 ein Betätigungselement 70,
das nachfolgend als eine Nadel bezeichnet wird, auf. Die Nadel 70 weist
eine runde Stangenform auf und besitzt im Bereich ihres oberen Endes
eine umlaufende, im Schnitt dreieckige, Ausnehmung 72,
welche schräge
Führungsflächen definiert,
deren Funktion nachfolgende noch näher erläutert wird. Oberhalb der Ausnehmung 72 besitzt
die Nadel 70 ein Kopfteil 74. Die Nadel 70 ist
derart bemessen, dass sie in das Innenloch 52 des Hauptkörpers 5 passt
und entlang der Längsmittelachse 9 des
Zentrierstifts 3 geführt ist.
Die Nadel 70 ist entlang der Längsmittelachse 9 über einen
nicht näher
dargestellten Betätigungsmechanismus
bewegbar.In addition, the centering and receiving unit has 1 an actuator 70 hereafter referred to as a needle. The needle 70 has a round bar shape and has in the region of its upper end a circumferential, triangular in section, recess 72 , which defines inclined guide surfaces whose function will be explained in more detail below. Above the recess 72 owns the needle 70 a headboard 74 , The needle 70 is sized to fit into the inner hole 52 of the main body 5 fits and along the longitudinal center axis 9 of the centering pin 3 is guided. The needle 70 is along the longitudinal central axis 9 movable via an actuating mechanism, not shown.
Die
Funktion der Zentrier- und Aufnahmeeinheit 1 wird nachfolgend
anhand der 6 und 7 näher erläutert.The function of the centering and receiving unit 1 is described below on the basis of 6 and 7 explained in more detail.
Die
Zentrier- und Aufnahmeeinheit 1 befindet sich zunächst in
der in 1 dargestellten Position, in der die Nadel 70 derart
positioniert ist, dass die Ausnehmung 72 auf der Höhe des Vorsprungs 66 der Zentrierelemente 7 liegt.
Durch die Vorspannung der Feder 64 ist das Zentrierelement 7 radial
nach innen vorgespannt und die Vorsprünge 66 werden in die Ausnehmung 72 der
Nadel 70 hineingedrückt.
In dieser Position kann, wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel, ein nicht näher dargestelltes
Substrat auf der Auflage 28 abgelegt werden.The centering and receiving unit 1 is located first in the 1 illustrated position in which the needle 70 is positioned such that the recess 72 at the height of the projection 66 the centering elements 7 lies. By the bias of the spring 64 is the centering element 7 biased radially inward and the projections 66 be in the recess 72 the needle 70 pushed. In this position, as in the first embodiment, a substrate not shown in detail on the support 28 be filed.
Wenn
das Substrat auf der Auflage 28 abgelegt ist, wird die
Nadel 70 nach unten bewegt. Dabei gleitet eine Führungsfläche des
Vorsprungs 66 entlang einer Führungsfläche der Ausnehmung 72,
wodurch die Zentrierelemente 7 radial bezüglich der Längsmittelachse 9 des
Zentrierstifts 3 nach außen bewegt werden, wie in den 7A und 7B zu
erkennen ist. Dabei wird die Längsbewegung
der Nadel 70 in eine Radialbewegung der Zentrierelemente 7 umgewandelt.
Die abgerundeten Außenkanten 62 des oberen
Teils 57 der Zentrierelemente 7 kommen mit dem
Innenloch des nicht dargestellten Substrats in Eingriff und zentrieren
dieses bezüglich
der Längsmittelachse 9 des
Zentrierstifts 3. Das Substrat wird nun zentriert gehalten
und kann in gewünschter
Weise behandelt werden, wie beispielsweise mit UV-Licht bestrahlt
werden, um beispielsweise einen zwischen zwei Substrathälften befindlichen
Kleber auszuhärten.
Nach Beendigung der Substratbehandlung wird die Nadel 70 wieder
nach oben bewegt, und durch die Vorspannung der Federn 74 werden
die Zentrierelemente 7 wiederum radial nach innen bewegt.
Anschließend
kann das Substrat frei entnommen werden.When the substrate is on the pad 28 is dropped, the needle is 70 moved down. In this case slides a guide surface of the projection 66 along a guide surface of the recess 72 , whereby the centering elements 7 radially with respect to the longitudinal central axis 9 of the centering pin 3 to be moved outward, as in the 7A and 7B can be seen. In this case, the longitudinal movement of the needle 70 in a radial movement of the centering 7 transformed. The rounded outer edges 62 of the upper part 57 the centering elements 7 come into engagement with the inner hole of the substrate, not shown, and center it with respect to the longitudinal central axis 9 of the centering pin 3 , The substrate is now kept centered and can be treated as desired, such as by exposure to UV light, for example, to cure an adhesive between two substrate halves. After completion of the substrate treatment, the needle becomes 70 moved back up, and by the bias of the springs 74 become the centering elements 7 in turn moved radially inward. Subsequently, the substrate can be removed freely be men.
8 zeigt
eine schematische Schnittdarstellung einer Zentrier- und Halteeinrichtung 1,
gemäß einem
weiteren Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung. Dabei gleicht das Ausführungsbeispiel
gemäß 8 im
Wesentlichen dem Ausführungsbeispiel
gemäß den 6 und 7 hinsichtlich
des Zentrierstifts. Daher werden auch dieselben Bezugszeichen verwendet,
sofern dieselben oder ähnliche
Elemente beschrieben werden. 8th shows a schematic sectional view of a centering and holding device 1 , according to another embodiment of the present invention. In this case, the embodiment is similar to 8th essentially the embodiment according to the 6 and 7 with regard to the centering pin. Therefore, the same reference numerals will be used as long as the same or similar elements are described.
Die
Zentrier- und Aufnahmeeinheit 1 weist einen Zentrierstift
mit einem stationären
Teil 5 und in Radialrichtung bezüglich einer Längsmittelachse
des Zentrierstifts radial beweglichen Zentrierelementen 7 auf.
Die Zentrierelemente 7 sind in geeigneter Weise in dem
stationären
Teil 5 des Zentrierstifts geführt. Der stationäre Hauptkörper 5 weist
wiederum eine Mittelöffnung
auf, in dem ein Nadelelement 70 wenigstens teilweise aufgenommen
und geführt
ist. Die Zentrierelemente 7 besitzen im Wesentlichen denselben
Aufbau wie bei dem Ausführungsbeispiel
gemäß 6 und 7.
Insbesondere ist wiederum ein Vorsprung 66 vorgesehen,
der radial nach innen zu einer Längsmittelachse
des Zentrierstifts weist. Die Nadel 70 weist wiederum eine
umlaufende Ausnehmung 72 auf, die wie am Besten in 8B zu erkennen ist, rund ausgebildet ist.
Oberhalb der Ausnehmung 72 wird wiederum ein Kopf 74 der
Nadel 70 gebildet. An dem, dem Kopf 74 entfernt
gelegenen Ende der Nadel 70, ist ein Permanentmagnet 80 angebracht, über den
eine Bewegung der Nadel entlang der Längsmittelachse 9 des
Zentrierstifts bewirkt wird. Unterhalb des Magneten 80 und
hiervon beabstandet ist ein weiterer Magnet 82 in 8A zu erkennen, welcher derart gepolt
ist, dass er den Magneten 80, wie in 8A gezeigt,
nach unten zieht.The centering and receiving unit 1 has a centering pin with a stationary part 5 and in the radial direction with respect to a longitudinal center axis of the centering pin radially movable centering 7 on. The centering elements 7 are suitably in the stationary part 5 led the centering pin. The stationary main body 5 again has a central opening in which a needle element 70 at least partially recorded and conducted. The centering elements 7 have substantially the same structure as in the embodiment according to 6 and 7 , In particular, again is a lead 66 provided, which points radially inwardly to a longitudinal center axis of the centering pin. The needle 70 again has a circumferential recess 72 on how best in 8B can be seen, is round. Above the recess 72 becomes a head again 74 the needle 70 educated. At that, the head 74 distant end of the needle 70 , is a permanent magnet 80 mounted over which a movement of the needle along the longitudinal central axis 9 of the centering pin is effected. Below the magnet 80 and spaced therefrom is another magnet 82 in 8A to recognize which is polarized such that it is the magnet 80 , as in 8A shown, pulls down.
Nachfolgend
wird nun die Funktion der Zentrier- und Aufnahmeeinheit 1 gemäß dem dritten
Ausführungsbeispiel
anhand der 8A und 8B näher erläutert. Die
Zentrier- und Aufnahmeeinheit befindet sich zunächst in der in 8A bzw.
B dargestellten Position, in der die Nadel 70 derart positioniert
ist, dass die Ausnehmung 62 auf Höhe des Vorsprungs 66 der
Zentrierelemente 7 liegen. Durch die radial nach innen
gerichtete Vorspannung der Zentrierelemente 7 erstrecken
sich die Vorsprünge 66 der
Zentrierelemente 7 in die Ausnehmung 72 der Nadel
hinein. Dadurch befinden sich die Zentrierelemente 7 in einer
bezüglich
der Längsmittelachse 9 radial
zurückgezogenen
Position. Nun kann ein Substrat 30 frei auf der Auflage 28 abgelegt
werden, wie zuvor unter Bezugnahme auf die ersten Ausführungsbeispiele beschrieben
wurde. Anschließend
wird die Nadel 70 nach oben bewegt, wodurch die Vorsprünge 66 aus den
Ausnehmungen 72 der Nadel 70 herausgedrückt werden.
Hierdurch werden die Zentrierelemente 7 bezüglich der
Längsmittelachse 9 radial
nach außen bewegt
und kommen mit dem Innenloch des Substrats in Eingriff, um das Substrat
zu zentrieren. Die Bewegung der Nadel 70 erfolgt dadurch,
dass die Polung des Magnets 82, der beispielsweise als
Elektromagnet ausgebildet sein kann, umgekehrt wird. Hierdurch wird
der Magnet 80, der mit der Nadel 70 verbunden
ist, vom Magneten 82 abgestoßen und die Nadel 70 nach
oben bewegt.Below is the function of the centering and recording unit 1 according to the third embodiment with reference to FIG 8A and 8B explained in more detail. The centering and receiving unit is initially in the in 8A or B shown position in which the needle 70 is positioned such that the recess 62 at the height of the projection 66 the centering elements 7 lie. By the radially inward bias of the centering 7 the projections extend 66 the centering elements 7 into the recess 72 the needle inside. As a result, the centering elements are located 7 in a respect to the longitudinal central axis 9 radially retracted position. Now a substrate 30 free on the pad 28 are stored, as previously described with reference to the first embodiments. Subsequently, the needle 70 moved upwards, causing the protrusions 66 from the recesses 72 the needle 70 be pushed out. As a result, the centering elements 7 with respect to the longitudinal central axis 9 moved radially outward and engage the inner hole of the substrate to center the substrate. The movement of the needle 70 takes place in that the polarity of the magnet 82 , which may be formed, for example, as an electromagnet, is reversed. This will cause the magnet 80 that with the needle 70 is connected, from the magnet 82 repelled and the needle 70 moved upwards.
Alternativ
ist es jedoch auch möglich,
dass die Substrat- und Aufnahmeeinheit 1 an einem Drehtisch
angebracht ist, und dass der an der Nadel 70 befestigte
Magnet 80 bei einer Drehung des Drehtischs gegenüber einem
weiteren Magneten angeordnet wird, der eine zu dem Magneten 82 umgekehrte
Polung besitzt. Auch hierdurch würde
der Magnet 80 von dem weiteren Magneten abgestoßen und die
Nadel 70 nach oben bewegt. In dieser Position, in der die
Zentrierelemente 7 mit dem Innenloch des Substrats in Eingriff
stehen, und diese zentrieren, kann das Substrat nunmehr behandelt
werden.Alternatively, however, it is also possible that the substrate and receiving unit 1 attached to a turntable, and that attached to the needle 70 attached magnet 80 is arranged with a rotation of the turntable against another magnet, the one to the magnet 82 has reverse polarity. This would also be the magnet 80 repelled by the other magnet and the needle 70 moved upwards. In this position, in which the centering elements 7 can engage and center the inner hole of the substrate, the substrate can now be treated.
Nach
der entsprechenden Behandlung wird wiederum die Polung des Magnets 82 umgekehrt bzw.
der Magnet 80 gegenüber
einem Magneten angeordnet, der den Magneten 80 anzieht.
Hierdurch wird die Nadel 70 nach unten bewegt, so dass
deren Ausnehmung 72 wieder auf Höhe des Vorsprungs 66 der
Zentrierelemente 7 liegt. Durch die Vorspannung der Zentrierelemente 7 bewegen
sich die Vorsprünge 66 in
die Ausnehmung 72 herein und das Substrat 30 wird
freigegeben.After the appropriate treatment, in turn, the polarity of the magnet 82 reversed or the magnet 80 placed opposite a magnet that holds the magnet 80 attracts. This will cause the needle 70 moved down so that its recess 72 again at the height of the projection 66 the centering elements 7 lies. By the bias of the centering 7 the projections move 66 into the recess 72 in and the substrate 30 will be released.
Die
vorliegende Erfindung wurde anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele
der Erfindung näher erläutert, ohne
auf die konkret dargestellten Ausführungsbeispiele beschränkt zu sein.
So ist es beispielsweise nicht notwendig, dass der jeweils runde Hauptkörper 5 des
Zentrierstifts 3 eine runde Umfangsform besitzt. Vielmehr
könnte
er jede geeignete Umfangsform besitzen, sofern eine ausreichende Führung für die Zentrierelemente 7 vorgesehen
ist. Neben einer Magnetbetätigung
der Zentrierelemente 7 ist es auch möglich, diese pneumatisch oder
beispielsweise auch elektrisch zu betätigen. Ferner ist es möglich, unterschiedliche
Merkmale der einzelnen Ausführungsbeispiele
frei miteinander zu kombinieren, sofern sie kompatibel sind.The present invention has been explained in more detail with reference to preferred embodiments of the invention, without being limited to the specific embodiments shown. For example, it is not necessary that the round main body 5 of the centering pin 3 has a round peripheral shape. Rather, it could have any suitable peripheral shape, provided that sufficient guidance for the centering 7 is provided. In addition to a magnetic actuation of the centering elements 7 It is also possible to operate them pneumatically or, for example, electrically. Furthermore, it is possible to freely combine different features of the individual embodiments, provided that they are compatible.