DE10355990A1 - Differential etching technique for plate shaped components e.g. electronic circuit board, comprises using an etching unit with a horizontal or vertical transport system - Google Patents

Differential etching technique for plate shaped components e.g. electronic circuit board, comprises using an etching unit with a horizontal or vertical transport system Download PDF

Info

Publication number
DE10355990A1
DE10355990A1 DE2003155990 DE10355990A DE10355990A1 DE 10355990 A1 DE10355990 A1 DE 10355990A1 DE 2003155990 DE2003155990 DE 2003155990 DE 10355990 A DE10355990 A DE 10355990A DE 10355990 A1 DE10355990 A1 DE 10355990A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
etching
edge
etched
goods
rollers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE2003155990
Other languages
German (de)
Inventor
Thomas Dipl.-Ing. Kosikowski
Dirk Bräunlich
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
HOELLMOELLER MASCHB GmbH
Hollmoller Maschinenbau GmbH
Original Assignee
HOELLMOELLER MASCHB GmbH
Hollmoller Maschinenbau GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by HOELLMOELLER MASCHB GmbH, Hollmoller Maschinenbau GmbH filed Critical HOELLMOELLER MASCHB GmbH
Priority to DE2003155990 priority Critical patent/DE10355990A1/en
Publication of DE10355990A1 publication Critical patent/DE10355990A1/en
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/02Local etching
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/08Apparatus, e.g. for photomechanical printing surfaces
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • H05K3/06Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
    • H05K3/068Apparatus for etching printed circuits
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/24Reinforcing the conductive pattern
    • H05K3/241Reinforcing the conductive pattern characterised by the electroplating method; means therefor, e.g. baths or apparatus
    • H05K3/242Reinforcing the conductive pattern characterised by the electroplating method; means therefor, e.g. baths or apparatus characterised by using temporary conductors on the printed circuit for electrically connecting areas which are to be electroplated
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/09Shape and layout
    • H05K2201/09209Shape and layout details of conductors
    • H05K2201/09654Shape and layout details of conductors covering at least two types of conductors provided for in H05K2201/09218 - H05K2201/095
    • H05K2201/09736Varying thickness of a single conductor; Conductors in the same plane having different thicknesses
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/03Metal processing
    • H05K2203/0353Making conductive layer thin, e.g. by etching
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/108Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern by semi-additive methods; masks therefor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

A process for differentially etching plate shaped components with laminated metal films on one or both sides, comprises using an etching unit with a horizontal or vertical transport system. The etch rate is reduced over the edge region, so it remains thicker than the rest of the plate. An injector is used to feed gas into the etching fluid.

Description

Die Erfindung betrifft das chemische Ätzen der Oberfläche von großflächigem, ebenem Gut, das mindestens an einer Seite mit einer Metallfolie laminiert ist. Die Metallfolie soll durch das Ätzen in der Dicke verringert werden. Dieser Prozeß wird als Differenzätzen oder Rückdünnen bezeichnet. Bevorzugtes Anwendungsgebiet ist das Ätzen von kaschiertem Basiswerkstoff für die Leiterplattentechnik mittels einer Ätzflüssigkeit.The The invention relates to the chemical etching of the surface of large area, flat good, at least on one side with a metal foil is laminated. The metal foil is supposed to be reduced in thickness by the etching become. This process will as difference sentences or thinning. Preferred field of application is the etching of laminated base material for the Printed circuit board technology by means of an etching liquid.

Zur Herstellung von Leiterplatten und Leiterfolien in Feinleitertechnik soll die Dicke der auf einem elektrisch nicht leitenden Kern kaschierten Kupferfolie nicht mehr als 5 μm betragen. Dickere kaschierte Folien als Grundschicht können beim späteren Fertigstellen des Leiterbildes der Leiterplatten, insbesondere beim Ätzen dieser Grundschicht zu ungenauen Strukturen und zu nicht akzeptablen Ätzfehlern führen. Basiswerkstoffe mit derart dünnen Kupferkaschierungen sind handelsüblich erhältlich. Wegen des Aufwandes, der zur Herstellung dieser dünnen Falien zu erbringen ist, fallen jedoch hohe Herstellungskosten an. Basiswerkstoffe mit 17 μm oder 35 μm Kupferkaschierungen sind erheblich kostengünstiger erhältlich. Deshalb werden bevorzugt diese Basiswerkstoffe verwendet. Durch Differenzätzen wird die Kupferkaschierung auf die erforderliche Dicke rückgedünnt.to Production of printed circuit boards and conductor foils in fine conductor technology the thickness of the laminated on an electrically non-conductive core Copper foil not more than 5 μm be. Thicker laminated films can be used as the base layer later Completing the circuit diagram of the circuit boards, especially during the etching of these Base layer to inaccurate structures and unacceptable etching errors to lead. Base materials with such thin Copper laminations are commercially available available. Because of the effort involved in making these thin felts is to be provided, however, incur high production costs. Based materials with 17 μm or 35 μm Copper laminates are available at considerably lower cost. That's why they are preferred used these base materials. By differential etching the Kupferkaschierung thinned back to the required thickness.

Beim Leiterbildaufbau wird das Leiterbild einseitig oder beidseitig negativ auf die Kupferkaschierung des Basiswerkstoffes mittels eines elektrisch nicht leitenden Galvanoresistes aufgebracht. Die Leiterzüge und die Löcher werden dann elektrolytisch z. B. um 25 μm verstärkt und anschließend mit einem Ätzresist versehen. Dies kann z. B. eine 4 μm dicke Zinnnschicht als Metallresist sein.At the Conductor image structure, the conductor pattern is one-sided or negative on both sides on the Kupferkaschierung the base material by means of an electrically not conductive galvanoresist applied. The conductor tracks and the holes are then electrolytically z. B. reinforced by 25 microns and then with an etch resist Mistake. This can be z. B. a 4 microns thick tin layer as a metal resist.

Nach Entfernung des Galvanoresistes wird zur Herstellung der Strukturen die Kupferkaschierung chemisch geätzt, die nicht vom Metallresist geschützt ist. Wenn die Dicke dieser Kaschierung in der Größenordnung der verstärkend aufgebrachten Leiterzüge liegt, dann ist eine entsprechend lange Ätzzeit erforderlich, um bis zur isolierenden Grundschicht zu gelangen. Bei der Feinleitertechnik mit Abständen der Leiterzüge in der Größenordnung der Dicke dieser Leiter, kann es bei langen Ätzzeiten zu Ätzfehlern sowie zu unerwünschten Unterätzungen kommen. Diese Probleme nehmen mit zunehmender Dicke der Kaschierungen des Basiswerkstoffes zu. Deshalb verwendet man bei der Feinleitertechnik Kaschierungsdicken von 4 bis 5 um Kupfer.To Removal of the Galvanoresistes is used to produce the structures chemically etched the copper lining, which is not metal resistant is protected. When the thickness of this lamination on the order of reinforcing applied conductor runs is, then a correspondingly long etching time is required to to get to the insulating base layer. In the fine conductor technology with intervals of conductor runs in the order of magnitude the thickness of these conductors, it can cause etching defects as well as with long etching times too unwanted underetchings come. These problems increase as the thickness of the laminations increases of the base material too. Therefore one uses with the Feinleitertechnik Lamination thicknesses of 4 to 5 μm copper.

In der Praxis hat es sich gezeigt, dass es trotz eines zusätzlichen Ätzprozesses kostengünstiger ist, von einem Basiswerkstoff mit 17 μm oder 35 μm dicken Kaschierungen auszugehen und diese großflächig durch chemisches Ätzen auf z. B. 4 μm in der Dicke zu verringern. Für dieses Differenzätzen sind die handelsüblich verfügbaren Sprühätzanlagen oder Schwallätzanlagen verwendbar. Moderne horizontale arbeitende Durchlaufsprühätzanlagen sind in der Lage die Kupferschicht relativ gleichmäßig abzuätzen.In In practice, it has been shown that despite an additional etching process cost-effective is based on a base material with 17 microns or 35 micron thick laminations and this over a large area chemical etching on z. B. 4 microns to decrease in thickness. For this difference sentences are the commercially available available Spray etching equipment or Schwallätzanlagen usable. Modern horizontal running spray spraying plants are able to etch the copper layer relatively evenly.

Zum Ätzen von Leiterplatten im horizontalen Durchlauf eignet sich auch zum Beispiel die in der Druckschrift DE 30 01 726 C2 beschriebene Vorrichtung. Die Ätzflüssigkeit wird als „Stehende Welle" zwischen Stauwalzen angestaut. Durch diesen gefluteten Behandlungsraum werden die Leiterplatten transportiert und geätzt. Die im Kreislauf geförderte Ätzflüssigkeit, die aus Schwallrohren oder Flutungsrohren in den Behandlungsraum gelangt und dort für Turbulenz sorgt, ätzt die großflächigen Oberflächen der Leiterplatten. Ziel ist es, die Dicke der metallischen Oberflächen möglichst gleichmäßig zu reduzieren. Allerdings ist die Ätzrate beim Schwallverfahren kleiner als beim Sprühätzen.For etching printed circuit boards in the horizontal pass is also suitable for example in the document DE 30 01 726 C2 described device. The etching liquid is dammed up as a "standing wave" between accumulation rollers.Through this flooded treatment room, the circuit boards are transported and etched.The circulation-promoted etching liquid, which flows from surge pipes or flooding pipes into the treatment room and causes turbulence there, etches the large surfaces of the printed circuit boards The aim is to reduce the thickness of the metallic surfaces as evenly as possible, but the etch rate during the wave process is smaller than in the case of spray etching.

Eine größere Ätzrate erzielt die Vorrichtung gemäß der Druckschrift DE 197 18 769 A1 . Es handelt sich um ein Sprühätzverfahren. Die Ätzflüssigkeit wird mittels Düsensystemen an die Oberfläche des Gutes gesprüht. Mit zunehmender Geschwindigkeit und Menge der auf die Oberflächen auftreffenden Ätzflüssigkeiten steigt die Ätzrate. Zur Vermeidung einer Pfützenbildung sind Transportwalzen mit schraubenförmigen Nuten vorgesehen, die die Ätzflüssigkeit zur Seite hin abführen. Bereiche, auf denen Pfützen stehen bleiben, würden zu einer geringeren Ätzrate führen, das heißt die Dicke der geätzten Folien wäre ungleichmäßig. Dies muß zumindest im Nutzbereich der Leiterplatten vermieden werden. Die Ränder werden zum Schluß der Leiterplattenherstellung abgeschnitten und verworfen. Trotzdem ist die Dicke der geätzten Oberfläche im Randbereich für weitere Prozesse kritisch. Bedingt durch den Abfluss des Mediums über die Ränder, ist in der Praxis die Schicht in den Randbereichen oft um ca. 1 bis 2 μm dünner, als im Nutzbereich. Dieser Randbereich wird bei der späteren elektrolytischen Behandlung der Leiterplatten zur elektrischen Kontaktierung, das heißt zur Stromeinleitung benötigt. Der Rand muß den Behandlungsstrom aufnehmen und verteilen können, ohne dass es zu Überlastungen durch den Strom kommt.A larger etch rate achieves the device according to the document DE 197 18 769 A1 , It is a spray etching process. The etching liquid is sprayed by means of nozzle systems to the surface of the goods. As the speed and amount of etching liquids impinging on the surfaces increase, the etch rate increases. To prevent puddling transport rollers are provided with helical grooves, which dissipate the etching liquid to the side. Areas where puddles remain would result in a lower etch rate, that is, the thickness of the etched films would be uneven. This must be avoided, at least in the useful range of the circuit boards. The edges are cut off and discarded at the end of the circuit board production. Nevertheless, the thickness of the etched surface in the edge region is critical for further processes. Due to the outflow of the medium over the edges, in practice the layer in the edge areas is often thinner by approx. 1 to 2 μm than in the working area. This edge region is required in the subsequent electrolytic treatment of the printed circuit boards for electrical contacting, that is to say for the introduction of current. The edge must be able to absorb and distribute the treatment stream without overloading the stream.

Die Druckschrift DE 43 01 742 C2 beschreibt die Übertragung des Behandlungsstromes von einer Badstromquelle auf das Gut mittels drehbarer Kontaktrollen in einer Durchlaufanlage mit horizontalem Transport des Gutes. Die Kontaktrollen bilden eine Spur am Rand des Gutes, auf dem sie abrollen.The publication DE 43 01 742 C2 describes the transfer of the treatment stream from a bath source to the estate by means of rotating contact rollers in a continuous system with horizontal transport of the goods. The contact rollers form a track on the edge of the goods on which they roll.

Die elektrische Kontaktierung von Gut im Durchlauf entlang einer Randspur beschreibt auch die Druckschrift DE 196 28 784 A1 . Kontaktscheiben mit Kontaktsektoren bilden die Kontaktmittel, die auf dem Gut abrollen.The electrical contacting of good in the pass along an edge track also describes the publication DE 196 28 784 A1 , Contact discs with contact sectors form the contact means that roll on the estate.

Auch die Druckschrift EP 0 578 699 B1 beschreibt Kontakträder, die auf der Oberfläche im Randbereich des Gutes abrollen.Also the publication EP 0 578 699 B1 describes contact wheels that roll on the surface in the edge region of the goods.

Die Druckschrift DE 36 24 481 C2 beschreibt eine weitere elektrische Kontaktierung von Gut in einer Durchlaufanlage. Mittels umlaufender Klammern, die in elektrischer Verbindung mit einer Badstromquelle stehen, wird das Gut am Rand gegriffen. In diesem Falle wird der Strom an jeder Klammer punktförmig in den Rand der Leiterplatte eingespeist. Der Abstand von Klammer zu Klammer in Transportrichtung bestimmt die Anzahl der Kontaktpunkte über die der Strom auf das Gut gelangt.The publication DE 36 24 481 C2 describes a further electrical contact of goods in a continuous system. By means of circulating brackets, which are in electrical connection with a Badstromquelle, the good is seized on the edge. In this case, the current at each clip is punctiform fed into the edge of the circuit board. The distance from clamp to clamp in the transport direction determines the number of contact points over which the current reaches the material.

Ähnliche Klammern werden bei Tauchbadanlagen an Warenträgern oder an Transportmitteln in Durchlaufanlagen mit vertikalem Transport des Gutes verwendet. Auch hier wird das Gut am Rand gegriffen. Der Badstrom wird über diese Klammern in den Randbereich des Gutes eingeleitet und von dort über die Oberflächen verteilt.Similar Clamps are used in immersion baths on goods carriers or on means of transport used in continuous systems with vertical transport of the goods. Again, the good is seized on the edge. The bath stream is over this Staples introduced into the edge area of the goods and from there over the surfaces distributed.

Bei der elektrolytischen Behandlung von Leiterplatten muß aus Gründen der Wirtschaftlichkeit mit einer möglichst hohen Stromdichte gearbeitet werden. So kommen z. B. beim Reverse Pulse Plating Stromdichten für den Vorwärtsstrom von bis zu 15 A/dm2 und für den Rückwärtsstrom von bis zu 50 A/dm2 vor. Dies hat besonders bei Leiterplatten mit einer großen Abmessung quer zur Transportrichtung einen entsprechend hohen Strom je Kontaktmittel zur Folge. Effektive Ströme von 100 Ampere je Kontakt kommen in der Praxis vor. Dieser Strom gelangt zunächst auf einen Randbereich der Leiterplatte und von dort in den Nutzbereich derselben. Ist die Metallfolie im Randbereich dünn, so hat sie einen entsprechend hohen elektrischen Widerstand. Dies auch dann, wenn es sich um eine elektrisch gut leitende Kupferfolie handelt. Durch Joulsche Wärme kann der Rand erwärmt werden bis hin zu Anbrennungen, die das Gut und möglicherweise auch die Kontaktmittel beschädigen. Dies ist insbesondere dann der Fall, wenn bei Anwendung einer hohen Stromdichte nur wenige Kontaktmittel zur Stromübertragung auf das Gut verwendet werden. In der Praxis kommen Abstände der Kontaktmittel in Transportrichtung des Gutes von 50 mm bis zu 200 mm vor. Große Abstände und die dadurch erforderlichen hohen Ströme durch die einzelnen Kontakte können, insbesondere bei Anwendung der Pulstechnik, zu den genannten Fehlern führen.In the electrolytic treatment of printed circuit boards must be worked for reasons of economy with the highest possible current density. So come z. For reverse pulse plating current densities for the forward current of up to 15 A / dm 2 and for the reverse current of up to 50 A / dm 2 before. This results in a correspondingly high current per contact means, in particular with printed circuit boards with a large dimension transverse to the transport direction. Effective currents of 100 amps per contact occur in practice. This current first reaches an edge region of the printed circuit board and from there into the useful region thereof. If the metal foil in the edge region is thin, then it has a correspondingly high electrical resistance. This even if it is an electrically good conductive copper foil. Joule heat can be used to heat the brim to burns that damage the material and possibly also the contact materials. This is the case, in particular, when using a high current density only a few contact means are used for power transmission to the estate. In practice, distances of the contact means in the transport direction of the goods from 50 mm to 200 mm before. Large distances and the resulting high currents through the individual contacts can, especially when using the Pulstechnik, lead to the aforementioned errors.

Weil die Kontaktmittel selbst als Blenden und als so genannte Stromfänger wirken, wird das Gut an diesem Kontaktierungsrand deutlich weniger galvanisiert. Deshalb läßt sich auch die Stromdichte mit fortschreitender Behandlung in einer Durchlauf-Galvanisieranlage nicht wesentlich steigern. In der Praxis der Feinleiterplattentechnik begrenzt die Dicke der Kupferkaschierung die Höhe der maximal anwendbaren Stromdichte. Dies ist ein großer wirtschaftlicher Nachteil. Aus Gründen der Qualität kann jedoch die Dicke der Kupferkaschierung nicht erhöht werden. Nach dem Stand der Technik ist hier nur ein Kompromiß möglich.Because the contact means themselves act as diaphragms and as so-called current catchers, the material is much less galvanized at this contacting edge. That's why also the current density as treatment progresses in a continuous plating plant do not increase significantly. In the practice of fine circuit board technology The thickness of the copper cladding limits the height of the maximum applicable current density. This is a big one economic disadvantage. For reasons of quality, however the thickness of the copper lining can not be increased. According to the state of Technology is only a compromise possible here.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung anzugeben, die es ermöglichen, die Oberflächen von ebenem Gut, insbesondere von Leiterplatten, so zu ätzen, dass es bei der anschließenden elektrolytischen Behandlung auch bei Anwendung von hohen Stromdichten und bei einer hohen Strombelastung der Kontaktmittel zu keinen Beschädigungen des Gutes und der Kontaktmittel kommt. Gelöst wird die Aufgabe durch das Verfahren gemäß der Patentansprüche 1 bis 9 und durch die Vorrichtung gemäß der Patentansprüche 10 bis 18.The object of the present invention is to provide a method and a device which make it possible to etch the surfaces of planar material, in particular of printed circuit boards, in such a way that it is also used when using high current densities and high current load in the subsequent electrolytic treatment the contact means to no damage to the goods and the contact means comes. The problem is solved by the method according to claims 1 to 9 and by the device according to claims 10 to 18.

Die Erfindung geht von einem Ätzverfahren aus, das die zu ätzenden Oberflächen mit zwei verschieden großen Ätzraten, das heißt mit unterschiedlich großer Ätzgeschwindigkeit behandelt. Der Rand des Gutes, der bei nachfolgenden elektrolyti schen Prozessen zur elektrischen Kontaktierung verwendet werden soll, wird durch Einschränkung der Ätzrate weniger geätzt, als die übrige Fläche des Gutes. Diese größere verbleibende Schichtdicke des Kontaktierungsrandes kann beim Galvanisieren einen wesentlich größeren Strom aufnehmen und verteilen im Vergleich zur Schichtdicke der übrigen Fläche. Es kommt zu keinen thermischen Beschädigungen des Gutes und/oder der Kontaktmittel. Die unterschiedlichen Ätzraten werden in der Ätzanlage mittels eingefügter Blenden oder Abdeckwalzen eingestellt. Dies wird nachfolgend an Hand der schematischen und nicht maßstäblich dargestellten 1 bis 5 detailliert beschrieben.The invention is based on an etching process which treats the surfaces to be etched with two different etching rates, that is to say with a different etching rate. The edge of the material to be used in subsequent elektrolyti rule processes for making electrical contact, is etched by restricting the etching rate less than the remaining surface of the material. This larger remaining layer thickness of the Kontaktierungsrandes can absorb a significantly larger current in galvanizing and distribute in comparison to the layer thickness of the remaining surface. There is no thermal damage to the goods and / or the contact means. The different etching rates are set in the etching system by means of inserted diaphragms or covering rollers. This will be described below with reference to the schematic and not to scale 1 to 5 described in detail.

1a zeigt im Querschnitt eine beidseitig mit einer Metallfolie beschichtete Leiterplatte vor dem Differenzätzen. 1a shows in cross section a coated on both sides with a metal foil printed circuit board before the Differenzätzen.

1b zeigt im Querschnitt eine fertig geätzte Leiterplatte nach dem Stand der Technik. 1b shows in cross section a finished etched circuit board according to the prior art.

1c zeigt eine elektrische Kontaktierung der geätzten Leiterplatte nach dem Stand der Technik. 1c shows an electrical contact of the etched circuit board according to the prior art.

2a zeigt im Querschnitt eine Leiterplatte vor dem Differenzätzen. 2a shows in cross section a circuit board before the Differenzätzen.

2b zeigt die fertig geätzte Leiterplatte gemäß der Erfindung. 2 B shows the finished etched circuit board according to the invention.

2c & 2d zeigen die elektrische Kontaktierung der erfindungsgemäß geätzten Leiterplatte. 2c & 2d show the electrical contact of the inventively etched circuit board.

3 zeigt Leiterplatten in einer Sprühätzanlage im Querschnitt und in der Draufsicht. 3 shows printed circuit boards in a spray etching in cross-section and in plan view.

4 zeigt Leiterplatten in einer Schwallätzanlage im Querschnitt und in der Draufsicht. 4 shows printed circuit boards in a Schwallätzanlage in cross-section and in plan view.

5 zeigt eine Schwallätzanlage in der Seitenansicht. 5 shows a Schwallätzanlage in the side view.

In 1a besteht die Leiterplatte 1 aus einem Grundkörper 3, auf dem beidseitig eine Metallfolie 2 laminiert ist. Der Grundkörper, der auch als Kern bezeichnet wird, besteht aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff, z. B. aus einem Epoxid das mit Glasfasern verstärkt ist. Die Metallfolien bestehen in der Leiterplattentechnik in der Regel aus Kupfer. Die am meisten verwendete und kostengünstigste Dicke der Folien beträgt 17 μm. Auch 35 μm dicke Folien kommen vor.In 1a is the circuit board 1 from a basic body 3 , on both sides of a metal foil 2 is laminated. The main body, which is also referred to as core, consists of an electrically insulating material, for. B. from an epoxy reinforced with glass fibers. The metal foils are usually made of copper in printed circuit board technology. The most used and most cost effective thickness of the films is 17 μm. Also 35 micron thick films occur.

Diese Metallfolien werden nach dem Stand der Technik auf die Dicke geätzt, die für die Feinleitertechnik erforderlich ist. Dies zeigt die 1b . Die Dicke der geätzten Folie 4 beträgt in der Praxis 4 bis 5 μm. Auch andere Dicken kommen vor. Zum Ätzen im Durchlauf werden Präzisionsätzanlagen verwendet. Der mit der Bezugsziffer 5 bezeichnete Kontaktierungsrand hat die Breite a. Über diesen Rand wird bei der späteren elektrolytischen Behandlung der erforderliche Strom 1 in das Gut eingeleitet. Dies zeigt die 1c am Beispiel von beidseitig angeordneten Kontaktrollen 6, die auf dem Kontaktierungsrand 5 abrollen. An Stelle der Kontaktrollen 6 können auch Klammern verwendet werden, die das Gut am Kontaktierungsrand 5 ergreifen und den Strom 1 einleiten. Weil die geätzte Folie 4 dünn ist, kommt es bei einer punktförmigen beziehungsweise linienförmigen Stromeinleitung über die Kontaktmittel an den Kontaktstellen in Folge des erhöhten elektrischen Widerstandes zu örtlichen Erwärmungen. Dies begrenzt die Höhe des fehlerfrei zu übertragenden Stromes 1. Aus konstruktiven Gründen oder aus Kostengründen läßt sich die Anzahl der Kontaktmittel, bezogen auf eine Längeneinheit in Transportrichtung nicht wesentlich erhöhen. In der Praxis sind Folien mit einer Dicke von ca. 8 μm oder größer erforderlich, um mit wirtschaftlichen Strömen das Gut zu galvanisieren. Dies ist jedoch für die Feinleitertechnik zu dick.These metal foils are etched in the prior art to the thickness required for the fine conductor technique. This shows the 1b , The thickness of the etched foil 4 is in practice 4 up to 5 μm. Other thicknesses occur. In-line etching uses precision etching equipment. The one with the reference number 5 designated contact edge has the width a. About this edge is in the subsequent electrolytic treatment of the required power 1 initiated into the estate. This shows the 1c using the example of double-sided contact rollers 6 that are on the contacting edge 5 roll. In place of the contact rolls 6 It is also possible to use clamps which hold the goods at the contacting edge 5 take and the electricity 1 initiate. Because the etched foil 4 is thin, it comes in a punctiform or linear current introduction via the contact means at the contact points in consequence of the increased electrical resistance to local warming. This limits the amount of current to be transmitted without error 1 , For structural reasons or cost reasons, the number of contact means, based on a unit length in the transport direction can not be increased significantly. In practice, films with a thickness of about 8 microns or larger are required to galvanize the estate with economic flows. However, this is too thick for the fine conductor technology.

Die 2 zeigt gemäß der vorliegenden Erfindung eine sehr kostengünstige Lösung der oben beschriebenen Anforderungen. 2a zeigt wieder die beidseitig zu ätzende Leiterplatte 1. Die 2b zeigt die fertig geätzte Leiterplatte. Zu erkennen ist, dass der Kontaktierungsrand 5 wesentlich weniger geätzt wurde, als die übrige Folie 4. Dieser dickere Kontaktierungsrand kann beim Galvanisieren einen größeren Strom von den meist nur punktförmig wirkenden Kontaktmitteln aufnehmen und in Transportrichtung des Gutes gesehen verteilen. Die Dicke des Kontaktierungsrandes sollte zur Anwendung von hohen Stromdichten beim Galvanisieren mindestens 6 μm betragen, bevorzugt 10 μm oder mehr. Die 2e zeigt als Beispiel eine Kontaktkammer 7, die den Strom 1 im Bereich des Kontaktierungsrandes 5 über die Kontaktpunkte 8 beidseitig in das Gut einleitet. Durch den dickeren Kontaktierungsrand treten auch bei Anwendung von hohen Stromdichten keine Beschädigungen des Gutes und der Kontaktmittel auf. Die obere Grenze für den maximal zu übertragenden Strom 1 bestimmt hier nicht mehr die Dicke der Folie 4, sondern die chemischen und hydrodynamischen Parameter der elektrolytischen Zelle.The 2 shows according to the present invention, a very cost-effective solution of the requirements described above. 2a again shows the both sides to be etched circuit board 1 , The 2 B shows the finished etched circuit board. It can be seen that the contacting edge 5 was etched much less than the rest of the film 4 , During galvanizing, this thicker contacting edge can absorb a larger current from the contact elements, which are usually punctiform, and distribute them in the transport direction of the material. The thickness of the Kontaktierungsrandes should be at least 6 microns, preferably 10 microns or more to apply high current densities during plating. The 2e shows as an example a contact chamber 7 that the stream 1 in the region of the contacting edge 5 about the contact points 8th initiates both sides of the estate. Due to the thicker contacting edge, no damage to the material and the contact means occurs even when high current densities are used. The upper limit for the maximum current to be transmitted 1 no longer determines the thickness of the film here 4 but the chemical and hydrodynamic parameters of the electrolytic cell.

Weil gemäß der Erfindung keine zusätzlichen Verfahren oder Werkstoffe zum Ätzen erforderlich sind, erweist sich das Differenzätzen mit unterschiedlicher Ätzrate als ein sehr wirtschaftliches Verfahren für den gesamten Prozeß der Leiterplattenherstellung. Auch die erforderlichen konstruktiven Ergänzungen der bestehenden Ätzanlagen erfordern nur einen geringen Aufwand. Dies wird an Hand der nachfolgenden Figuren beschrieben.Because according to the invention No additional Process or materials for etching are required, the difference etching with different etching rate proves to be a very economical process for the entire process of PCB manufacturing. Also the necessary structural additions of existing etching equipment require only a little effort. This will be on the basis of the following Figures described.

Die 3 zeigt eine Sprühätzanlage zum beidseitigen Ätzen der Oberflächen. Quer zur Transportrichtung der Durchlaufanlage sind Sprühregister 9 angeordnet. Diese können aus Rohren mit Löchern oder Düsen bestehen. Sie können stationär angeordnet sein oder oszillierend bewegt werden. Die Ätzflüssigkeit wird im Kreislauf mittels nicht dargestellter Pumpen durch die Sprühregister 9 an die Oberflächen des Gutes gesprüht. Dabei wird das Gut geätzt. Im Bereich des später benötigten Kontaktierungsrandes 5 befinden sich Blenden 10. Sie decken den Rand so ab, dass die Ätzflüssigkeit auf direktem Weg nicht die Oberfläche des Gutes erreicht. Dies verringert die Ätzrate. Wenn während des gesamten Durchlaufes des Gutes durch die Ätzanlage dieser Kontaktierungsrand 5 abgedeckt ist, dann geht die Ätzrate gegen Null. Mit der Länge c der Blenden in Transportrichtung in Bezug zur gesamten aktiven Länge der Ätzanlage kann die Dicke des verbleibenden Kontaktierungsrandes 5 bestimmt werden. Die Länge der Abdeckungen 10 wird in der Ätzanlage stationär vorgegeben oder sie wird verstellbar ausgeführt, um die Ätzrate in Abhängigkeit vom jeweiligen Gut variieren zu können. Mit abnehmendem Abstand b der Blende vom Gut wird der Übergangsbereich vom Kontaktierungsrand zum Nutzbereich des Gutes kleiner. Der Rand wird schärfer abgebildet und die Ätzrate nimmt in diesem abgedeckten Bereich ab.The 3 shows a Sprühätzanlage for two-sided etching of the surfaces. Transverse to the transport direction of the continuous system are spray registers 9 arranged. These can consist of tubes with holes or nozzles. They can be arranged stationary or moved in an oscillating manner. The etching liquid is circulated by means not shown pumps through the spray registers 9 sprayed on the surfaces of the goods. The estate is etched. In the area of the later required Kontaktierungsrandes 5 there are diaphragms 10 , They cover the edge so that the etching liquid does not directly reach the surface of the material. This reduces the etching rate. If during the entire passage of the goods through the etching of this contacting edge 5 is covered, then the etching rate goes to zero. With the length c of the apertures in the transport direction in relation to the total active length of the etching system, the thickness of the remaining contacting edge 5 be determined. The length of the covers 10 is set stationarily in the etching system or it is made adjustable so that the etching rate can be varied depending on the respective material. With decreasing distance b of the diaphragm from the material, the transition region from the contacting edge to the useful region of the material becomes smaller. The edge is sharper and the etch rate decreases in this covered area.

Die zu realisierende Breite a des Kontaktierungsrandes bestimmt die Transportbahn des Gutes in der Durchlaufanlage. Die quer zur Transportrichtung bevorzugt stationär angeordneten Blenden einerseits und Eintauchtiefe des Gutes in diese Blenden entlang der Transportbahn andererseits bestimmen die Breite a des Kontaktierungsrandes 5. Die Eintauchtiefe wird durch das Beschicken der Ätzanlage mit Gut an der entsprechenden Position quer zur Transportrichtung vorgegeben. Auch das Ausrichten des Gutes vor der Ätzanlage in die erforderliche Transportbahn mittels einer mechanischen Positioniereinheit ist möglich.The width a of the contacting edge to be realized determines the transport path of the goods in the continuous system. The transverse to the transport line tion preferably stationary arranged panels on the one hand and immersion depth of the goods in these panels along the transport path on the other hand, determine the width a of the contacting edge 5 , The immersion depth is specified by loading the etching system with good at the appropriate position transverse to the transport direction. Also, the alignment of the material in front of the etching in the required transport path by means of a mechanical positioning unit is possible.

Die 4 zeigt eine weitere Ätzanlage. Hier erfolgt das Ätzen in einer nicht dargestellten gefluteten Arbeitskammer unter dem Niveau 11 der Ätzflüssigkeit. Das Verringern der Ätzrate geschieht durch Abdeckwalzen 12, die auf dem weniger zu ätzenden Rand 5 abrollen. Mit abnehmendem Abstand d der Abdeckwalzen 12 voneinander nimmt die Ätzrate ab. Ebenso mit zunehmender Anzahl der Walzen je Längeneinheit in Transportrichtung des Gutes. Die Eintauchtiefe des Gutes in diese Walzen 12 bestimmt wieder die Breite a des Kontaktierungsrandes 5. Abdeckwalzen sind auch in Sprühätzanlagen zur Erzielung eines dickeren Randes 5 anwendbar.The 4 shows another etching system. Here, the etching takes place in a not shown flooded working chamber below the level 11 the etching liquid. The reduction of the etching rate is done by capping rollers 12 that are on the less caustic edge 5 roll. With decreasing distance d of the cover rollers 12 the etch rate decreases from each other. Likewise with increasing number of rollers per unit length in the transport direction of the goods. The immersion depth of the goods in these rolls 12 again determines the width a of the Kontaktierungsrandes 5 , Cover rollers are also used in spray etchers to achieve a thicker edge 5 applicable.

Die 5 zeigt in der Seitenansicht weitere Einzelheiten der Ätzanlage gemäß der 4. In einer Flutungswanne 13 wird die Ätzflüssigkeit 14 zu einer „Stehenden Welle" angestaut. Stauwalzen 15 verhindern ein Auslaufen der Flutungswanne 13 im Arbeitsbereich 18. In der Regel sind diese Stauwalzen 15 angetrieben und sie übernehmen auch die Funktion von Transportwalzen für das Gut 1. Die Ätzflüssigkeit 14 wird mittels einer Pumpe 16 durch Flutungsrohre 17 in den Arbeitsbereich 18 der Flutungswanne 13 im Kreislauf gefördert. Der Rücklauf in den Pumpensumpf 19 erfolgt über nicht dargestellte Überläufe. Die Abdeckwalzen 12 können angetrieben oder nicht angetrieben sein. Sie sind in diesem Beispiel zur Einstellung der erforderlichen Ätzrate mit unterschiedlichen Abständen voneinander angeordnet. Das Gut 1 wird im horizontalen Durchlauf durch den Arbeitsbereich 18 gefördert und beidseitig, das heißt oben und unten am Kontaktierungsrand weniger geätzt als im übrigen Bereich der Oberfläche.The 5 shows in side view further details of the etching system according to the 4 , In a flooding tub 13 becomes the etching liquid 14 accumulated to a "standing wave" 15 prevent leakage of the flooding trough 13 in the workspace 18 , As a rule, these are jam rollers 15 driven and they also take over the function of transport rollers for the good 1 , The etching liquid 14 is by means of a pump 16 through flood pipes 17 in the workspace 18 the flooding tub 13 promoted in the cycle. The return to the pump sump 19 takes place via overflows, not shown. The cover rollers 12 can be powered or not powered. They are arranged in this example to set the required etch rate at different distances from each other. The good 1 is in horizontal pass through the workspace 18 promoted and on both sides, that is etched less at the top and bottom of the contacting edge than in the remaining area of the surface.

Grundsätzlich ist auch eine Ätzanlage mit Abdeckwalzen in Kombination mit Blenden zur Verringerung der Ätzrate am Kontaktierungsrand möglich. Dies erweitert die Möglichkeiten zur Beeinflussung der Schichtdicke im Randbereich der Leiterplatten.Basically also an etching system with cover rollers in combination with apertures to reduce the etching rate at Contacting edge possible. This extends the possibilities for influencing the layer thickness in the edge region of the printed circuit boards.

Die Erfindung eignet sich auch zum Ätzen in Durchlaufanlagen mit vertikalem Transport des Gutes. In diesem Falle ist die Anordnung der 5 um 90 Grad gedreht zu sehen. Das Gut wird von Klammern am Rand gegriffen und durch die Ätzanlage gefördert. Der obere oder untere Rand wird durch Blenden so abgedeckt, dass er weniger geätzt wird, als der übrige Bereich des Gutes. Er wird später als Kontaktierungsrand bei der elektrolytischen Behandlung verwendet.The invention is also suitable for etching in continuous systems with vertical transport of the goods. In this case, the arrangement of 5 to see rotated 90 degrees. The estate is gripped by clips on the edge and conveyed by the etching plant. The upper or lower edge is covered by apertures so that it is etched less than the rest of the good. It is later used as a contacting edge in the electrolytic treatment.

Zur Erhöhung der Ätzrate sowohl im Bereich des Kontaktierungsrandes 5 als auch im übrigen Bereich des Gutes 1 kann ein Injektor 20 verwendet werden. Mittels dieses Injektors 20 wird unter Druck ein Gas, bevorzugt Luft, in die Druckleitung der Pumpe 16 und damit in die Ätzflüssigkeit eingebracht. Die Injektion von Gas in die Ätzflüssigkeit kann ebenso auch beim Sprühätzverfahren zur Erhöhung der Ätzrate angewendet werden.To increase the etching rate both in the region of the contacting edge 5 as well as in the rest of the estate 1 can be an injector 20 be used. By means of this injector 20 is pressurized a gas, preferably air, in the pressure line of the pump 16 and thus introduced into the etching liquid. The injection of gas into the etchant can also be used in the spray etch process to increase the etch rate.

11
Leiterplatte, GutPCB, Well
22
Metallfolie vor dem Ätzenmetal foil before etching
33
Grundkörper, KernBasic body, core
44
geätzte Folieetched foil
55
KontaktierungsrandKontaktierungsrand
66
KontaktrolleContact role
77
Kontaktklammercontact clip
88th
KontaktpunkteContact points
99
SprühregisterSprühregister
1010
Blende, AbdeckungCover, cover
1111
Niveaulevel
1212
Abdeckwalzecovering roller
1313
Flutungswanneflooding tub
1414
Ätzflüssigkeitetchant
1515
Stauwalzejam roll
1616
Pumpepump
1717
Flutungsrohrflooding pipe
1818
ArbeitsbereichWorkspace
1919
Pumpensumpfsump
2020
Injektorinjector
2121
Transportrichtung des Gutestransport direction of the good

Claims (18)

Verfahren zum Differenzätzen von plattenförmigem Gut mit einseitig oder beidseitig laminierten Metallfolien, insbesondere von Leiterplatten und Leiterfolien, in Ätzanlagen mit horizontalem oder vertikalem Transport des Gutes im Durchlauf, dadurch gekennzeichnet, dass durch Mittel in der Ätzanlage die Ätzrate in einem Randbereich des zu ätzenden Gutes so verringert wird, dass dieser Bereich beim Ätzen in der Dicke größer bleibt als der übrige Bereich des Gutes.Process for the differential etching of plate-shaped material with metal foils laminated on one or both sides, in particular of printed circuit boards and conductor foils, in etching systems with horizontal or vertical transport of the material in the passage, characterized in that by means in the etching system, the etching rate in an edge region of the material to be etched so is reduced, that this area remains larger in etching than in the remaining area of the material during etching. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Verringerung der Ätzrate durch Einschränkung des Ätzangriffes der Ätzflüssigkeit auf das Gut mit Mitteln als Blenden, Abdeckungen, Abdeckwalzen oder Abdeckleisten nur in dem Randbereich erfolgt, der später zu elektrischen Kontaktierung des Gutes verwendet werden soll.Method according to claim 1, characterized in that that reducing the etching rate by restriction the etching attack the etching liquid on the estate with media as screens, covers, cover rollers or Cover strips only takes place in the edge area, which later becomes electrical Contacting the goods should be used. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke des weniger zu ätzenden Kontaktierungsrandes durch Blenden oder Abdeckungen mit einstellbarer Blendfläche gesteuert wird.A method according to claim 1 or 2, characterized characterized in that the thickness of the less to be etched Kontaktierungsrandes is controlled by screens or covers with adjustable aperture. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke des weniger zu ätzenden Kontaktierungsrandes durch die Anzahl von Abdeckwalzen pro Längeneinheit in Transportrichtung eingestellt wird.Method according to claim 1 or 2, characterized that the thickness of the less corrosive Contacting edge by the number of covering rollers per unit length is set in the transport direction. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Breite a des weniger zu ätzenden Kontaktierungsrandes durch die Wahl der Transportbahn des Gutes unter den installierten Abdeckungen und Abdeckwalzen eingestellt wird.Method according to one of claims 1 to 4, characterized that the width a of the less to be etched Kontaktierungsrandes by choosing the transport path of the goods among the installed Covers and cover rollers is set. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Differenzätzen mit einem in der Dicke abweichenden Kontaktierungsrand vom übrigen Bereich des Gutes durch die Anwendung eines Sprühätzverfahrens oder eines Schwallätzverfahrens erfolgt.Method according to one of claims 1 to 5, characterized that difference sentences with a deviating in the thickness contacting edge from the remaining area of the product by the application of a spray etch or a swell etch process he follows. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass beim Ätzen durch Injektion von Gas in die Druckleitung der Pumpe für die Ätzflüssigkeit das Ätzen sowohl am Kontaktierungsrand als auch im Nutzbereich beschleunigt wird.Method according to one of claims 1 to 6, characterized that during etching by injecting gas into the discharge line of the etching fluid pump the etching accelerated both at the contacting edge as well as in the working area becomes. Verfahren nach einem der Ansprüchen 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das eingeschränkte Ätzen mittels der Abdeckungen, Blenden und/oder Abdeckwalzen im Bereich des Kontaktierungsrandes an der Oberseite und an der Unterseite des Gutes erfolgt.Method according to one of claims 1 to 7, characterized that the limited etching means the covers, panels and / or covering rollers in the region of the contacting edge the top and bottom of the good. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Gut am Eingang der Ätzvorrichtung quer zur Transportrichtung so positioniert wird, dass der dickere Kontaktierungsrand mit der erforderlichen Breite a geätzt wird.Method according to one of claims 1 to 8, characterized that the estate at the entrance of the etching device Positioned transversely to the transport direction so that the thicker Contact edge is etched with the required width a. Vorrichtung zum Differenzätzen von plattenförmigem Gut mit einseitig oder beidseitig laminierten Metallfolien, insbesondere von Leiterplatten und Leiterfolien, in Ätzanlagen mit horizontalem oder vertikalem Transport des Gutes im Durchlauf und zur Anwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 9 gekennzeichnet durch Mittel zur Verringerung der Ätzrate in einem Randbereich des Gutes gegenüber dem übrigen Bereich des Gutes.Apparatus for differential etching of plate-shaped material with metal foils laminated on one or both sides, in particular of printed circuit boards and conductor foils, in horizontal etching systems or vertical transport of the good in the pass and to the application of the method according to any one of claims 1 to 9 by means for reducing the etching rate in an edge region of the good the rest Area of the good. Vorrichtung nach Anspruch 10, gekennzeichnet durch Mittel als Blenden oder Abdeckleisten, die in der Nähe der Oberflächen des Gutes dort angeordnet sind, wo das Gut weniger geätzt werden soll.Apparatus according to claim 10, characterized by Means as screens or cover strips, which are close to the surfaces of the Good are arranged where the goods are less etched should. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder 11, gekennzeichnet durch Blenden und Abdeckleisten, die in Transportrichtung des Gutes in der Länge verändert werden können.Apparatus according to claim 10 or 11, characterized by panels and cover strips, in the transport direction of the goods in length changed can be. Vorrichtung nach Anspruch 10, gekennzeichnet durch Mittel als Abdeckwalzen, die auf dem Rand des Gutes abrollen, der weniger geätzt werden soll.Apparatus according to claim 10, characterized by Means as cover rollers, which roll on the edge of the good, the less etched shall be. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder 13, gekennzeichnet durch Abdeckwalzen, die in der Anzahl und/oder im Abstand zueinander verändert werden können.Apparatus according to claim 10 or 13, characterized by covering rollers, which in number and / or at a distance from each other changed can be. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 14, gekennzeichnet durch eine Richtvorrichtung, die vor der Ätzvorrichtung angeordnet ist, zur Positionierung des Gutes in die von den Blenden oder Abdeckwalzen vorgegebene Transportbahn.Device according to one of claims 10 to 14, characterized by a straightening device, which is arranged in front of the etching device, for positioning the material in the of the panels or covering rollers predetermined transport path. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 15, gekennzeichnet durch eine Ätzanlage mit Flutungsrohren im Arbeitsbereich, die quer zur Transportrichtung angeordnet sind und mit Abdeckwalzen unter Badspiegel, die auf dem weniger zu ätzenden Rand des Gutes abrollen.Device according to one of claims 10 to 15, characterized through an etching system with flooding tubes in the working area, which are transverse to the transport direction are arranged and with cover rollers under bathroom mirror, which on the less too corrosive edge unroll the goods. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 16, gekennzeichnet durch eine Ätzanlage mit Sprühstöcken, die bevorzugt quer zur Transportrichtung des Gutes angeordnet sind und durch Blenden oder Abdeckleisten, die zwischen dem Gut und den Sprühstöcken in dem Bereich der Transportbahn angeordnet sind, in dem das Gut weniger geätzt werden soll.Device according to one of claims 10 to 16, characterized through an etching system with spray sticks that are preferably arranged transversely to the transport direction of the goods and through panels or cover strips, which are between the estate and the spray sticks in the area of the transport path are arranged, in which the good less etched shall be. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 17, gekennzeichnet durch einen Injektor zur Einleitung von Gas in die Ätzflüssigkeit.Device according to one of claims 10 to 17, characterized by an injector for introducing gas into the etching liquid.
DE2003155990 2003-11-27 2003-11-27 Differential etching technique for plate shaped components e.g. electronic circuit board, comprises using an etching unit with a horizontal or vertical transport system Ceased DE10355990A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2003155990 DE10355990A1 (en) 2003-11-27 2003-11-27 Differential etching technique for plate shaped components e.g. electronic circuit board, comprises using an etching unit with a horizontal or vertical transport system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2003155990 DE10355990A1 (en) 2003-11-27 2003-11-27 Differential etching technique for plate shaped components e.g. electronic circuit board, comprises using an etching unit with a horizontal or vertical transport system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE10355990A1 true DE10355990A1 (en) 2005-06-30

Family

ID=34625437

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2003155990 Ceased DE10355990A1 (en) 2003-11-27 2003-11-27 Differential etching technique for plate shaped components e.g. electronic circuit board, comprises using an etching unit with a horizontal or vertical transport system

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE10355990A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN118676244A (en) * 2024-04-18 2024-09-20 广州市巨龙印制板设备有限公司 A PCB board spray film removal device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN118676244A (en) * 2024-04-18 2024-09-20 广州市巨龙印制板设备有限公司 A PCB board spray film removal device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19717512C2 (en) Device for electroplating printed circuit boards under constant conditions in continuous systems
EP1688518B1 (en) Process and apparatus for continuous electrochemical treatment of pieces
DE102007026633B4 (en) Apparatus and method for the electrolytic treatment of plate-shaped goods
DE102012018393B4 (en) Serial electroplating system
DE4324330C2 (en) Process for the electrolytic treatment of, in particular, flat items to be treated, and arrangement, in particular for carrying out this process
DE3228292C2 (en)
EP1007766B1 (en) Device and method for evening out the thickness of metal layers on electrical contact points on items that are to be treated
DE10141056A1 (en) Method and device for the electrolytic treatment of electrically conductive layers in continuous systems
EP1741806A1 (en) Apparatus and process for electroplating treatment of foils from roller to roller
EP0760873A1 (en) Electrolytic method and device for the continuous and uniform metallization or etching of metal surfaces
EP0741804B1 (en) Process and device for the electrolytic metal coating or etching of articles
DE3924263C2 (en) Method and device for the electrolytic removal of protective layers from metal layers
WO2003038158A2 (en) Electroplating device and electroplating system for coating already conductive structures
WO1998049375A2 (en) Device for electrolytic treatment of plate-shaped articles and method for electronic shielding of edge areas of articles during electrolytic treatment
DE19633796B4 (en) Device for electroplating electronic circuit boards
DE10355990A1 (en) Differential etching technique for plate shaped components e.g. electronic circuit board, comprises using an etching unit with a horizontal or vertical transport system
EP0652982B1 (en) Process for the electrolytic processing especially of flat items and arrangement for implementing the process
DE10358149B3 (en) Process for contact-free transport and treatment of flat material by wet chemical and/or electrolytic processing useful in the transport and treatment, e.g. cleaning and etching, of conductive films and plates
DE4417551C2 (en) Electrolytic method for the precise treatment of printed circuit boards and device for carrying out the method
DE10234705A1 (en) Electroplating device used in the production of antenna coils, circuit boards and chip card modules comprises an electrolyte bath containing an anode unit and contact units each having electrically conducting regions
WO1994003655B1 (en) Process for the electrolytic processing especially of flat items and arrangement for implementing the process
WO1998007903A1 (en) Device for electroplating electronic printed circuit boards or the like
DE60302560T2 (en) CONTINUOUS METALLIZATION PLANT AND METHOD FOR ELECTROLYTIC METALLIZING OF WORKPIECES
DE10358147B3 (en) Transport and treatment method for circuit boards and conductor foils has electrolyte flow for electrolytic processing assisting transport of circuit boards or conductor foils in transport direction
EP0699781A1 (en) Electrolytic process for treating, particularly continuously plating a substrate

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
R002 Refusal decision in examination/registration proceedings
R003 Refusal decision now final

Effective date: 20131210