DE10355990A1 - Differential etching technique for plate shaped components e.g. electronic circuit board, comprises using an etching unit with a horizontal or vertical transport system - Google Patents
Differential etching technique for plate shaped components e.g. electronic circuit board, comprises using an etching unit with a horizontal or vertical transport system Download PDFInfo
- Publication number
- DE10355990A1 DE10355990A1 DE2003155990 DE10355990A DE10355990A1 DE 10355990 A1 DE10355990 A1 DE 10355990A1 DE 2003155990 DE2003155990 DE 2003155990 DE 10355990 A DE10355990 A DE 10355990A DE 10355990 A1 DE10355990 A1 DE 10355990A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- etching
- edge
- etched
- goods
- rollers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims abstract description 83
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 28
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 16
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 14
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 13
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 12
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 8
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 7
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 5
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 2
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000005246 galvanizing Methods 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000003518 caustics Substances 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000003685 thermal hair damage Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000010792 warming Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/02—Local etching
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/08—Apparatus, e.g. for photomechanical printing surfaces
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
- H05K3/06—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
- H05K3/068—Apparatus for etching printed circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/24—Reinforcing the conductive pattern
- H05K3/241—Reinforcing the conductive pattern characterised by the electroplating method; means therefor, e.g. baths or apparatus
- H05K3/242—Reinforcing the conductive pattern characterised by the electroplating method; means therefor, e.g. baths or apparatus characterised by using temporary conductors on the printed circuit for electrically connecting areas which are to be electroplated
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/09—Shape and layout
- H05K2201/09209—Shape and layout details of conductors
- H05K2201/09654—Shape and layout details of conductors covering at least two types of conductors provided for in H05K2201/09218 - H05K2201/095
- H05K2201/09736—Varying thickness of a single conductor; Conductors in the same plane having different thicknesses
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/03—Metal processing
- H05K2203/0353—Making conductive layer thin, e.g. by etching
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/108—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern by semi-additive methods; masks therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
Description
Die Erfindung betrifft das chemische Ätzen der Oberfläche von großflächigem, ebenem Gut, das mindestens an einer Seite mit einer Metallfolie laminiert ist. Die Metallfolie soll durch das Ätzen in der Dicke verringert werden. Dieser Prozeß wird als Differenzätzen oder Rückdünnen bezeichnet. Bevorzugtes Anwendungsgebiet ist das Ätzen von kaschiertem Basiswerkstoff für die Leiterplattentechnik mittels einer Ätzflüssigkeit.The The invention relates to the chemical etching of the surface of large area, flat good, at least on one side with a metal foil is laminated. The metal foil is supposed to be reduced in thickness by the etching become. This process will as difference sentences or thinning. Preferred field of application is the etching of laminated base material for the Printed circuit board technology by means of an etching liquid.
Zur Herstellung von Leiterplatten und Leiterfolien in Feinleitertechnik soll die Dicke der auf einem elektrisch nicht leitenden Kern kaschierten Kupferfolie nicht mehr als 5 μm betragen. Dickere kaschierte Folien als Grundschicht können beim späteren Fertigstellen des Leiterbildes der Leiterplatten, insbesondere beim Ätzen dieser Grundschicht zu ungenauen Strukturen und zu nicht akzeptablen Ätzfehlern führen. Basiswerkstoffe mit derart dünnen Kupferkaschierungen sind handelsüblich erhältlich. Wegen des Aufwandes, der zur Herstellung dieser dünnen Falien zu erbringen ist, fallen jedoch hohe Herstellungskosten an. Basiswerkstoffe mit 17 μm oder 35 μm Kupferkaschierungen sind erheblich kostengünstiger erhältlich. Deshalb werden bevorzugt diese Basiswerkstoffe verwendet. Durch Differenzätzen wird die Kupferkaschierung auf die erforderliche Dicke rückgedünnt.to Production of printed circuit boards and conductor foils in fine conductor technology the thickness of the laminated on an electrically non-conductive core Copper foil not more than 5 μm be. Thicker laminated films can be used as the base layer later Completing the circuit diagram of the circuit boards, especially during the etching of these Base layer to inaccurate structures and unacceptable etching errors to lead. Base materials with such thin Copper laminations are commercially available available. Because of the effort involved in making these thin felts is to be provided, however, incur high production costs. Based materials with 17 μm or 35 μm Copper laminates are available at considerably lower cost. That's why they are preferred used these base materials. By differential etching the Kupferkaschierung thinned back to the required thickness.
Beim Leiterbildaufbau wird das Leiterbild einseitig oder beidseitig negativ auf die Kupferkaschierung des Basiswerkstoffes mittels eines elektrisch nicht leitenden Galvanoresistes aufgebracht. Die Leiterzüge und die Löcher werden dann elektrolytisch z. B. um 25 μm verstärkt und anschließend mit einem Ätzresist versehen. Dies kann z. B. eine 4 μm dicke Zinnnschicht als Metallresist sein.At the Conductor image structure, the conductor pattern is one-sided or negative on both sides on the Kupferkaschierung the base material by means of an electrically not conductive galvanoresist applied. The conductor tracks and the holes are then electrolytically z. B. reinforced by 25 microns and then with an etch resist Mistake. This can be z. B. a 4 microns thick tin layer as a metal resist.
Nach Entfernung des Galvanoresistes wird zur Herstellung der Strukturen die Kupferkaschierung chemisch geätzt, die nicht vom Metallresist geschützt ist. Wenn die Dicke dieser Kaschierung in der Größenordnung der verstärkend aufgebrachten Leiterzüge liegt, dann ist eine entsprechend lange Ätzzeit erforderlich, um bis zur isolierenden Grundschicht zu gelangen. Bei der Feinleitertechnik mit Abständen der Leiterzüge in der Größenordnung der Dicke dieser Leiter, kann es bei langen Ätzzeiten zu Ätzfehlern sowie zu unerwünschten Unterätzungen kommen. Diese Probleme nehmen mit zunehmender Dicke der Kaschierungen des Basiswerkstoffes zu. Deshalb verwendet man bei der Feinleitertechnik Kaschierungsdicken von 4 bis 5 um Kupfer.To Removal of the Galvanoresistes is used to produce the structures chemically etched the copper lining, which is not metal resistant is protected. When the thickness of this lamination on the order of reinforcing applied conductor runs is, then a correspondingly long etching time is required to to get to the insulating base layer. In the fine conductor technology with intervals of conductor runs in the order of magnitude the thickness of these conductors, it can cause etching defects as well as with long etching times too unwanted underetchings come. These problems increase as the thickness of the laminations increases of the base material too. Therefore one uses with the Feinleitertechnik Lamination thicknesses of 4 to 5 μm copper.
In der Praxis hat es sich gezeigt, dass es trotz eines zusätzlichen Ätzprozesses kostengünstiger ist, von einem Basiswerkstoff mit 17 μm oder 35 μm dicken Kaschierungen auszugehen und diese großflächig durch chemisches Ätzen auf z. B. 4 μm in der Dicke zu verringern. Für dieses Differenzätzen sind die handelsüblich verfügbaren Sprühätzanlagen oder Schwallätzanlagen verwendbar. Moderne horizontale arbeitende Durchlaufsprühätzanlagen sind in der Lage die Kupferschicht relativ gleichmäßig abzuätzen.In In practice, it has been shown that despite an additional etching process cost-effective is based on a base material with 17 microns or 35 micron thick laminations and this over a large area chemical etching on z. B. 4 microns to decrease in thickness. For this difference sentences are the commercially available available Spray etching equipment or Schwallätzanlagen usable. Modern horizontal running spray spraying plants are able to etch the copper layer relatively evenly.
Zum Ätzen von
Leiterplatten im horizontalen Durchlauf eignet sich auch zum Beispiel
die in der Druckschrift
Eine
größere Ätzrate erzielt
die Vorrichtung gemäß der Druckschrift
Die
Druckschrift
Die
elektrische Kontaktierung von Gut im Durchlauf entlang einer Randspur
beschreibt auch die Druckschrift
Auch
die Druckschrift
Die
Druckschrift
Ähnliche Klammern werden bei Tauchbadanlagen an Warenträgern oder an Transportmitteln in Durchlaufanlagen mit vertikalem Transport des Gutes verwendet. Auch hier wird das Gut am Rand gegriffen. Der Badstrom wird über diese Klammern in den Randbereich des Gutes eingeleitet und von dort über die Oberflächen verteilt.Similar Clamps are used in immersion baths on goods carriers or on means of transport used in continuous systems with vertical transport of the goods. Again, the good is seized on the edge. The bath stream is over this Staples introduced into the edge area of the goods and from there over the surfaces distributed.
Bei der elektrolytischen Behandlung von Leiterplatten muß aus Gründen der Wirtschaftlichkeit mit einer möglichst hohen Stromdichte gearbeitet werden. So kommen z. B. beim Reverse Pulse Plating Stromdichten für den Vorwärtsstrom von bis zu 15 A/dm2 und für den Rückwärtsstrom von bis zu 50 A/dm2 vor. Dies hat besonders bei Leiterplatten mit einer großen Abmessung quer zur Transportrichtung einen entsprechend hohen Strom je Kontaktmittel zur Folge. Effektive Ströme von 100 Ampere je Kontakt kommen in der Praxis vor. Dieser Strom gelangt zunächst auf einen Randbereich der Leiterplatte und von dort in den Nutzbereich derselben. Ist die Metallfolie im Randbereich dünn, so hat sie einen entsprechend hohen elektrischen Widerstand. Dies auch dann, wenn es sich um eine elektrisch gut leitende Kupferfolie handelt. Durch Joulsche Wärme kann der Rand erwärmt werden bis hin zu Anbrennungen, die das Gut und möglicherweise auch die Kontaktmittel beschädigen. Dies ist insbesondere dann der Fall, wenn bei Anwendung einer hohen Stromdichte nur wenige Kontaktmittel zur Stromübertragung auf das Gut verwendet werden. In der Praxis kommen Abstände der Kontaktmittel in Transportrichtung des Gutes von 50 mm bis zu 200 mm vor. Große Abstände und die dadurch erforderlichen hohen Ströme durch die einzelnen Kontakte können, insbesondere bei Anwendung der Pulstechnik, zu den genannten Fehlern führen.In the electrolytic treatment of printed circuit boards must be worked for reasons of economy with the highest possible current density. So come z. For reverse pulse plating current densities for the forward current of up to 15 A / dm 2 and for the reverse current of up to 50 A / dm 2 before. This results in a correspondingly high current per contact means, in particular with printed circuit boards with a large dimension transverse to the transport direction. Effective currents of 100 amps per contact occur in practice. This current first reaches an edge region of the printed circuit board and from there into the useful region thereof. If the metal foil in the edge region is thin, then it has a correspondingly high electrical resistance. This even if it is an electrically good conductive copper foil. Joule heat can be used to heat the brim to burns that damage the material and possibly also the contact materials. This is the case, in particular, when using a high current density only a few contact means are used for power transmission to the estate. In practice, distances of the contact means in the transport direction of the goods from 50 mm to 200 mm before. Large distances and the resulting high currents through the individual contacts can, especially when using the Pulstechnik, lead to the aforementioned errors.
Weil die Kontaktmittel selbst als Blenden und als so genannte Stromfänger wirken, wird das Gut an diesem Kontaktierungsrand deutlich weniger galvanisiert. Deshalb läßt sich auch die Stromdichte mit fortschreitender Behandlung in einer Durchlauf-Galvanisieranlage nicht wesentlich steigern. In der Praxis der Feinleiterplattentechnik begrenzt die Dicke der Kupferkaschierung die Höhe der maximal anwendbaren Stromdichte. Dies ist ein großer wirtschaftlicher Nachteil. Aus Gründen der Qualität kann jedoch die Dicke der Kupferkaschierung nicht erhöht werden. Nach dem Stand der Technik ist hier nur ein Kompromiß möglich.Because the contact means themselves act as diaphragms and as so-called current catchers, the material is much less galvanized at this contacting edge. That's why also the current density as treatment progresses in a continuous plating plant do not increase significantly. In the practice of fine circuit board technology The thickness of the copper cladding limits the height of the maximum applicable current density. This is a big one economic disadvantage. For reasons of quality, however the thickness of the copper lining can not be increased. According to the state of Technology is only a compromise possible here.
Aufgabe
der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung
anzugeben, die es ermöglichen,
die Oberflächen
von ebenem Gut, insbesondere von Leiterplatten, so zu ätzen, dass
es bei der anschließenden
elektrolytischen Behandlung auch bei Anwendung von hohen Stromdichten
und bei einer hohen Strombelastung der Kontaktmittel zu keinen Beschädigungen
des Gutes und der Kontaktmittel kommt. Gelöst wird die Aufgabe durch das
Verfahren gemäß der Patentansprüche 1 bis
Die
Erfindung geht von einem Ätzverfahren aus,
das die zu ätzenden
Oberflächen
mit zwei verschieden großen Ätzraten,
das heißt
mit unterschiedlich großer Ätzgeschwindigkeit
behandelt. Der Rand des Gutes, der bei nachfolgenden elektrolyti schen Prozessen
zur elektrischen Kontaktierung verwendet werden soll, wird durch
Einschränkung
der Ätzrate weniger
geätzt,
als die übrige
Fläche
des Gutes. Diese größere verbleibende
Schichtdicke des Kontaktierungsrandes kann beim Galvanisieren einen
wesentlich größeren Strom
aufnehmen und verteilen im Vergleich zur Schichtdicke der übrigen Fläche. Es kommt
zu keinen thermischen Beschädigungen
des Gutes und/oder der Kontaktmittel. Die unterschiedlichen Ätzraten
werden in der Ätzanlage
mittels eingefügter
Blenden oder Abdeckwalzen eingestellt. Dies wird nachfolgend an
Hand der schematischen und nicht maßstäblich dargestellten
In
Diese
Metallfolien werden nach dem Stand der Technik auf die Dicke geätzt, die
für die
Feinleitertechnik erforderlich ist. Dies zeigt die
Die
Weil gemäß der Erfindung keine zusätzlichen Verfahren oder Werkstoffe zum Ätzen erforderlich sind, erweist sich das Differenzätzen mit unterschiedlicher Ätzrate als ein sehr wirtschaftliches Verfahren für den gesamten Prozeß der Leiterplattenherstellung. Auch die erforderlichen konstruktiven Ergänzungen der bestehenden Ätzanlagen erfordern nur einen geringen Aufwand. Dies wird an Hand der nachfolgenden Figuren beschrieben.Because according to the invention No additional Process or materials for etching are required, the difference etching with different etching rate proves to be a very economical process for the entire process of PCB manufacturing. Also the necessary structural additions of existing etching equipment require only a little effort. This will be on the basis of the following Figures described.
Die
Die
zu realisierende Breite a des Kontaktierungsrandes bestimmt die
Transportbahn des Gutes in der Durchlaufanlage. Die quer zur Transportrichtung
bevorzugt stationär
angeordneten Blenden einerseits und Eintauchtiefe des Gutes in diese
Blenden entlang der Transportbahn andererseits bestimmen die Breite
a des Kontaktierungsrandes
Die
Die
Grundsätzlich ist auch eine Ätzanlage mit Abdeckwalzen in Kombination mit Blenden zur Verringerung der Ätzrate am Kontaktierungsrand möglich. Dies erweitert die Möglichkeiten zur Beeinflussung der Schichtdicke im Randbereich der Leiterplatten.Basically also an etching system with cover rollers in combination with apertures to reduce the etching rate at Contacting edge possible. This extends the possibilities for influencing the layer thickness in the edge region of the printed circuit boards.
Die
Erfindung eignet sich auch zum Ätzen
in Durchlaufanlagen mit vertikalem Transport des Gutes. In diesem
Falle ist die Anordnung der
Zur
Erhöhung
der Ätzrate
sowohl im Bereich des Kontaktierungsrandes
- 11
- Leiterplatte, GutPCB, Well
- 22
- Metallfolie vor dem Ätzenmetal foil before etching
- 33
- Grundkörper, KernBasic body, core
- 44
- geätzte Folieetched foil
- 55
- KontaktierungsrandKontaktierungsrand
- 66
- KontaktrolleContact role
- 77
- Kontaktklammercontact clip
- 88th
- KontaktpunkteContact points
- 99
- SprühregisterSprühregister
- 1010
- Blende, AbdeckungCover, cover
- 1111
- Niveaulevel
- 1212
- Abdeckwalzecovering roller
- 1313
- Flutungswanneflooding tub
- 1414
- Ätzflüssigkeitetchant
- 1515
- Stauwalzejam roll
- 1616
- Pumpepump
- 1717
- Flutungsrohrflooding pipe
- 1818
- ArbeitsbereichWorkspace
- 1919
- Pumpensumpfsump
- 2020
- Injektorinjector
- 2121
- Transportrichtung des Gutestransport direction of the good
Claims (18)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2003155990 DE10355990A1 (en) | 2003-11-27 | 2003-11-27 | Differential etching technique for plate shaped components e.g. electronic circuit board, comprises using an etching unit with a horizontal or vertical transport system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2003155990 DE10355990A1 (en) | 2003-11-27 | 2003-11-27 | Differential etching technique for plate shaped components e.g. electronic circuit board, comprises using an etching unit with a horizontal or vertical transport system |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10355990A1 true DE10355990A1 (en) | 2005-06-30 |
Family
ID=34625437
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2003155990 Ceased DE10355990A1 (en) | 2003-11-27 | 2003-11-27 | Differential etching technique for plate shaped components e.g. electronic circuit board, comprises using an etching unit with a horizontal or vertical transport system |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE10355990A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN118676244A (en) * | 2024-04-18 | 2024-09-20 | 广州市巨龙印制板设备有限公司 | A PCB board spray film removal device |
-
2003
- 2003-11-27 DE DE2003155990 patent/DE10355990A1/en not_active Ceased
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN118676244A (en) * | 2024-04-18 | 2024-09-20 | 广州市巨龙印制板设备有限公司 | A PCB board spray film removal device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19717512C2 (en) | Device for electroplating printed circuit boards under constant conditions in continuous systems | |
EP1688518B1 (en) | Process and apparatus for continuous electrochemical treatment of pieces | |
DE102007026633B4 (en) | Apparatus and method for the electrolytic treatment of plate-shaped goods | |
DE102012018393B4 (en) | Serial electroplating system | |
DE4324330C2 (en) | Process for the electrolytic treatment of, in particular, flat items to be treated, and arrangement, in particular for carrying out this process | |
DE3228292C2 (en) | ||
EP1007766B1 (en) | Device and method for evening out the thickness of metal layers on electrical contact points on items that are to be treated | |
DE10141056A1 (en) | Method and device for the electrolytic treatment of electrically conductive layers in continuous systems | |
EP1741806A1 (en) | Apparatus and process for electroplating treatment of foils from roller to roller | |
EP0760873A1 (en) | Electrolytic method and device for the continuous and uniform metallization or etching of metal surfaces | |
EP0741804B1 (en) | Process and device for the electrolytic metal coating or etching of articles | |
DE3924263C2 (en) | Method and device for the electrolytic removal of protective layers from metal layers | |
WO2003038158A2 (en) | Electroplating device and electroplating system for coating already conductive structures | |
WO1998049375A2 (en) | Device for electrolytic treatment of plate-shaped articles and method for electronic shielding of edge areas of articles during electrolytic treatment | |
DE19633796B4 (en) | Device for electroplating electronic circuit boards | |
DE10355990A1 (en) | Differential etching technique for plate shaped components e.g. electronic circuit board, comprises using an etching unit with a horizontal or vertical transport system | |
EP0652982B1 (en) | Process for the electrolytic processing especially of flat items and arrangement for implementing the process | |
DE10358149B3 (en) | Process for contact-free transport and treatment of flat material by wet chemical and/or electrolytic processing useful in the transport and treatment, e.g. cleaning and etching, of conductive films and plates | |
DE4417551C2 (en) | Electrolytic method for the precise treatment of printed circuit boards and device for carrying out the method | |
DE10234705A1 (en) | Electroplating device used in the production of antenna coils, circuit boards and chip card modules comprises an electrolyte bath containing an anode unit and contact units each having electrically conducting regions | |
WO1994003655B1 (en) | Process for the electrolytic processing especially of flat items and arrangement for implementing the process | |
WO1998007903A1 (en) | Device for electroplating electronic printed circuit boards or the like | |
DE60302560T2 (en) | CONTINUOUS METALLIZATION PLANT AND METHOD FOR ELECTROLYTIC METALLIZING OF WORKPIECES | |
DE10358147B3 (en) | Transport and treatment method for circuit boards and conductor foils has electrolyte flow for electrolytic processing assisting transport of circuit boards or conductor foils in transport direction | |
EP0699781A1 (en) | Electrolytic process for treating, particularly continuously plating a substrate |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
R002 | Refusal decision in examination/registration proceedings | ||
R003 | Refusal decision now final |
Effective date: 20131210 |