DE10355497B3 - Positional sensor for linear stepper motor, uses remenance stabilizer to stabilize remenance value on stator of linear stepper motor - Google Patents

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Abstract

A position sensor for a linear stepper motor, has a magnetic sensor (20) which detects the change of magnetic flux density of the stator (30) by the magnetic induction principal and provides a location feed-back value. A remenance stabilizer (10) encloses the magnetic sensor (20) and serves to stabilize the remenance value on the stator (30) of the linear stepper motor, and in which the magnetic sensor (20) determines the position of the stator (30) of the stepper motor by the change in amount of magnetic flux.

Description

Die Erfindung betrifft einen Positionsgeber für einen linearen Schrittmotor. Unter Verwendung des Abstoßungsprinzips der beiden Pole der Magnetschwebung kann der lineare Schrittmotor Werkstücke direkt antreiben, um die komplizierte Bewegung durchzuführen. Der Positionsgeber ist eine Vorrichtung, die beim Bewegen des Schrittmotors die erfassten Bewegungssignale an eine Steuereinrichtung sendet, was eine Positionsrückkopplung der Bewegung des linearen Schrittmotors bewirkt.The The invention relates to a position sensor for a linear stepper motor. Using the repulsion principle The two poles of magnetic levitation can be the linear stepper motor workpieces drive directly to perform the complicated movement. Of the Magnetic encoder is a device used when moving the stepper motor sends the detected motion signals to a controller, what a position feedback causes the movement of the linear stepping motor.

Der Schrittmotor (Steppermotor) ist ein Elektromotor für schrittweise Bewegung. Sein Läufer ist gezahnt, wodurch er den Stromimpulsen schrittweise folgt.Of the Stepper motor (Stepper motor) is an electric motor for step by step Move. His runner is toothed, whereby it gradually follows the current pulses.

Mit der Weiterentwicklung der Technologie werden immer höhere Anforderungen an die Positioniergenauigkeit gestellt. Dafür wird ein magnetischer Positionsgeber am linearen Schrittmotor angebracht. Der magnetische Positionsgeber besteht normalerweise aus Zähnen und magnetischen Erfassungselementen, wobei er selbst ein magnetisches Feld erzeugt. Bei der Positionsveränderung des Läufers werden die ermittelten Positionssignale unter Verwendung der Veränderung des Magnetwiderstands des zwischen dem Ständer und dem Positionsgeber befindlichen Luftspalts an eine Steuereinrichtung gesendet, was einen geschlossenen Regelkreis bewirkt, wodurch eine hochpräzise Positionssteuerung stattfindet.With The advancement of technology is becoming ever more demanding placed on the positioning accuracy. This is a magnetic position sensor attached to the linear stepper motor. The magnetic position sensor usually consists of teeth and magnetic detection elements, wherein he himself a magnetic Field generated. At the position change of the runner will be the detected position signals using the change the magnetoresistance of the stator located between the stator and the position sensor Air gap sent to a control device, resulting in a closed Control circuit causes, whereby a high-precision position control takes place.

Bei der Bewegung des Läufers des herkömmlichen linearen Schrittmotors auf dem Ständer werden Nord- und Südpol abwechselnd erzeugt. Außerdem ist die Größe der magnetischen Felder mit der Bewegungsgeschwindigkeit veränderlich, wodurch die magnetischen Felder dann durcheinander auf der Oberfläche der Ständerzähne zurückbleibend sind. Verläuft der Positionsgeber nach dem Läufer durch den Ständer hindurch, wird er von den auf dem Ständer durcheinander zurückbleibenden Magnetfeldern beeinflusst, was eine unberechenbare Abweichung bewirken könnte, wodurch der geschlossene Regelkreis die Anforderung an die Stabilität der Positionssteuerung nicht erfüllen kann.at the movement of the runner of the conventional linear stepper motor on the stand become north and south pole alternately generated. Furthermore is the size of the magnetic Fields variable with the speed of movement, causing the magnetic Fields are then confused by remaining on the surface of the stator teeth. Does the Position sensor after the runner by the stand Through, he will be left behind by those on the stand Magnetic fields influence what causes an unpredictable deviation could, whereby the closed loop the requirement for the stability of the position control do not fulfill can.

Die DE 100 24 850 A1 offenbart einen Positionsgeber für periodische Strukturen, der magnetoresistive Elemente als Sensoren verwendet, um die Bewegung der periodischen Struktur auszuwerten.The DE 100 24 850 A1 discloses a position detector for periodic structures that uses magnetoresistive elements as sensors to evaluate the motion of the periodic structure.

Die DE 196 43 519 A1 offenbart einen Positionsgeber für einen Schrittmotor, der mit Hilfe von mehreren magnetischen Sensoren in Form von Hall-Sensoren arbeitet. In der Nähe dieser Sensoren angeordnete Permanentmagnete erzeugen einen permanenten Magnetfluss, der durch die Relativbewegung einer periodischen Struktur verändert wird. Diese Magnetfeldänderungen werden durch die Hall-Sensoren erfasst.The DE 196 43 519 A1 discloses a position sensor for a stepper motor, which operates by means of several magnetic sensors in the form of Hall sensors. Permanent magnets arranged in the vicinity of these sensors generate a permanent magnetic flux which is changed by the relative movement of a periodic structure. These magnetic field changes are detected by the Hall sensors.

Aus diesem Grund hat der Erfinder in Anbetracht der Nachteile herkömmlicher Lösungen, basierend auf langjähriger Erfahrung in diesem Bereich, nach langem Studium, zahlreichen Versuchen und unentwegten Verbesserungen die vorliegende Erfindung entwickelt.Out For this reason, in view of the disadvantages of the present inventor Solutions, based on longtime Experience in this area, after a long study, numerous experiments and unceasing improvements to the present invention.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Positionsgeber für einen linearen Schrittmotor zu schaffen, der durch einfache Maßnahmen die oben genannten Nachteile nicht aufweist.Of the Invention is therefore the object of a position sensor for one to create linear stepper motor by simple measures does not have the above-mentioned disadvantages.

Gelöst wird diese Aufgabe mit den Merkmalen des Anspruchs 1. Weitere vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor. Is solved This object with the features of claim 1. Further advantageous Further developments of the invention will become apparent from the dependent claims.

Der Ständer des linearen Schrittmotors ist gezahnt. Bei der Bewegung des Läufers auf den Ständer wird der Positionsgeber mitbewegt. Unter Verwendung des magnetischen Induktionsprinzips ist es möglich, die Veränderung der Magnetflussdichte auf dem Ständer zu ermitteln. Daraus ergibt sich ein genauer Positionsrückkopplungswert, wodurch eine hochpräzise Positionssteuerung stattfindet.Of the stand of the linear stepper motor is toothed. At the movement of the runner up the stand the position transmitter is moved along. Using the magnetic Induction principle it is possible the change the magnetic flux density on the stator to investigate. This results in a precise position feedback value, making a high-precision Position control takes place.

Bei der Bewegung des Läufers des herkömmlichen linearen Schrittmotors auf dem Ständer werden Nord- und Südpol abwechselnd erzeugt. Außerdem ist die Größe der magnetischen Felder mit der Bewegungsgeschwindigkeit veränderlich, wodurch die magnetischen Felder dann durcheinander auf der Oberfläche der Ständerzähne zurückbleibend sind. Verläuft der Positionsgeber nach dem Läufer durch den Ständer hindurch, wird er von den auf dem Ständer durcheinander zurückbleibenden Feldern in negativer Weise beeinflusst, was zu einer unberechenbaren Abweichung des Erfassungswerts führen könnte. Dagegen ist es möglich, einen Remanenz-Stabilisator vorzusehen, der bewirken soll, dass die auf dem Ständer durcheinander zurückbleibenden Magnetfelder in remanente Magnetfelder mit konstantem Wert umgewandelt werden. Unter Verwendung von Kompensation ergibt sich ein genauer Positionsrückkopplungswert.at the movement of the runner of the conventional linear stepper motor on the stand become north and south pole alternately generated. Furthermore is the size of the magnetic Fields variable with the speed of movement, causing the magnetic Fields are then confused by remaining on the surface of the stator teeth. Does the Position sensor after the runner by the stand Through, he will be left behind by those on the stand Fields influenced in a negative way, resulting in an unpredictable Deviation of the detection value. On the other hand Is it possible, to provide a remanence stabilizer, which is intended to cause those on the stand remaining confused Magnetic fields converted into remanent magnetic fields with constant value become. Using compensation results in an accurate position feedback value.

Vorteilhaft ist es auch, den Remanenz-Stabilisator um den magnetischen Sensor herum anzuordnen. Ganz egal, dass sich der magnetischen Sensor in irgendwelcher Richtung bewegt, bietet diese Vorrichtung dem Ständer des linearen Schrittmotors ein remanentes Magnetfeld mit konstantem Wert an, das dann leichter korrigierbar und ausgleichbar ist, woraus sich auch ein genauer Positionsrückkopplungswert ergibt.It is also advantageous to arrange the remanence stabilizer around the magnetic sensor. No matter that the magnetic sensor moves in any direction, this device offers the stator of the linear stepping motor Remanentes magnetic field with constant value, which is then easier to correct and compensated, which also results in a precise position feedback value.

Hierbei ist es von Vorteil, wenn der erfindungsgemäße Remanenz-Stabilisator mit Nord- und Südpol versehen ist. Auf diese Weise wird ein geschlossener Regelkreis gebildet, um ein magnetisches Feld zu erzeugen. Um das auf dem Ständer zurückbleibende, ursprüngliche Feld zu beseitigen und somit eine konstante Größe zu erhalten, muss das vom Remanenz-Stabilisator erzeugte Feld die Ständerzähne in nahezu gesättigtem Maße magnetisieren, nämlich die Ständeroberfläche, durch die hindurch der magnetische Sensor verläuft, bis zu einem remanenten Magnetfeld mit konstantem Wert magnetisieren. Dadurch ist die Auswirkung des remanenten Magnetfelds auf den magnetischen Sensor kontrollierbar, um eine erforderliche Kompensierung vorzunehmen. Auf diese Weise ergibt sich wieder ein genauer Positionsrückkopplungswert.in this connection it is advantageous if the remanent stabilizer according to the invention with North and South Pole is provided. In this way, a closed loop formed to generate a magnetic field. To stay on the stand, original To eliminate field and thus to obtain a constant size, that of the Remanence stabilizer produced field the stator teeth in nearly saturated Magnetize dimensions, namely the stand surface, through which passes through the magnetic sensor, to a remanent Magnetize magnetic field with constant value. This is the impact of the remanent magnetic field controllable on the magnetic sensor, to make a required compensation. In this way again results in a precise position feedback value.

Diese und weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden beim Lesen der folgenden Beschreibung der Ausführungsform deutlich, welche auf die beigefügten Zeichnungen Bezug nimmt; es zeigen:These and other features and advantages of the present invention in reading the following description of the embodiment, which on the attached Drawings reference; show it:

1 eine schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Positionsgebers für einen linearen Schrittmotor; und 1 a schematic representation of the position sensor according to the invention for a linear stepper motor; and

2 einen Schnitt entlang der Linie A-A gemäß 1. 2 a section along the line AA according to 1 ,

Bezugnehmend auf 1 umfasst der erfindungsgemäße Positionsgeber für einen linearen Schrittmotor einen magnetischen Sensor 20 und einen Remanenz-Stabilisator 10, wobei der magnetische Sensor 20 völlig von dem Remanenz-Stabilisator 10 umschlossen ist. Ganz egal, in welcher Richtung sich ein Ständer 30 des linearen Schrittmotors bewegt, kann der erfindungsgemäße Positionsgeber unter Verwendung des magnetischen Induktionsprinzips die Veränderung der Magnetflussdichte zwischen dem Ständer 30 und dem magnetischen Sensor 20 und somit die Positionsveränderung eines nicht näher dargestellten Läufers ermitteln.Referring to 1 The position sensor according to the invention for a linear stepping motor comprises a magnetic sensor 20 and a remanence stabilizer 10 , where the magnetic sensor 20 completely from the remanence stabilizer 10 is enclosed. No matter in which direction a stand 30 of the linear stepping motor, the position detector according to the present invention can use the magnetic induction principle to change the magnetic flux density between the stator 30 and the magnetic sensor 20 and thus determine the change in position of a runner, not shown.

Wie aus 2 zu ersehen, besteht der Remanenz-Stabilisator 10 aus einem Innendeckel 11, einem Außendeckel 12 und einem Magneten 13. Der Innendeckel 11 umschließt die Außenseite des magnetischen Sensors 20, während der Außendeckel 12 die Außenseite des Innendeckels 11 bedeckt. Der Magnet befindet sich zwischen dem Innendeckel 11 und dem Außendeckel 12. Außerdem kann der Magnet 13 als Dauermagnet oder Elektromagnet mit Nord- und Südpol realisiert sein. Auf diese Weise wird im Innen- und Außendeckel 11, 12 eine Süd-Nord-Pol-Schleife oder Nord-Süd-Pol-Schleife gebildet. Die magnetische Kraftlinie, wie in 2 gezeigt, verläuft vom Nordpol des Magneten 13 und gelangt über den Außendeckel 12 in den Ständer 30. Darauf kehrt sie über den Innendeckel 11 in den Südpol des Magneten 13 zurück. Daraus ergibt sich eine komplette Schleife. Auf diese Weise werden die Zähne 31 des Ständers 30 magnetisiert, bis die remanenten Magnetfelder einen konstanten Wert erreichen. Dadurch kann der magnetische Sensor 20 die Veränderungsmenge des Magnetflusses in präziser Weise erfassen. Daraus ergibt sich ein genauer Ortungswert, durch den eine hoch präzise Positionssteuerung zustande kommt.How out 2 to see, there is the remanence stabilizer 10 from an inner lid 11 , an outer cover 12 and a magnet 13 , The inner lid 11 encloses the outside of the magnetic sensor 20 while the outer cover 12 the outside of the inner lid 11 covered. The magnet is located between the inner lid 11 and the outer lid 12 , In addition, the magnet 13 be realized as a permanent magnet or electromagnet with north and south pole. This way, inside and outside covers 11 . 12 formed a south-north pole loop or north-south pole loop. The magnetic force line, as in 2 shown, runs from the north pole of the magnet 13 and gets over the outer lid 12 in the stand 30 , Then she turns over the inside lid 11 in the south pole of the magnet 13 back. This results in a complete loop. That's how the teeth are made 31 of the stand 30 magnetized until the remanent magnetic fields reach a constant value. This allows the magnetic sensor 20 detect the amount of change of the magnetic flux in a precise manner. This results in a precise location value, through which a highly precise position control is achieved.

Die Erfindung ist nicht auf das beschriebene Ausführungsbeispiel beschränkt, vielmehr ergeben sich für den Fachmann im Rahmen der Erfindung vielfältige Abwandlungs- und Modifikationsmöglichkeiten. Insbesondere wird der Schutzumfang der Erfindung durch die Ansprüche festgelegt.The Invention is not limited to the described embodiment, but rather arise for the skilled person within the scope of the invention diverse modification and modification options. In particular, the scope of the invention is defined by the claims.

1010
Remanenz-StabilisatorRemanence stabilizer
1111
InnendeckelInnendeckel
1212
Außendeckelouter cover
1313
Magnetmagnet
2020
magnetischer Sensormagnetic sensor
3030
Ständerstand
3131
Zahntooth

Claims (5)

Positionsgeber für einen linearen Schrittmotor, der wenigstens aufweist: einen magnetischen Sensor (20), der unter Verwendung des magnetischen Induktionsprinzips die Veränderung der Magnetflussdichte des Ständers (30) des linearen Schrittmotors erfasst, woraus sich der Ortungs-Rückkopplungswert ergibt; und einen Remanenz-Stabilisator (10), der den magnetischen Sensor (20) umschließt und dazu dient, den Remanenzwert auf dem Ständer (30) des linearen Schrittmotors zu stabilisieren, wodurch der magnetische Sensor (20) mittels der Veränderungsmenge des Magnetflusses die Position des Ständers (30) des linearen Schrittmotors genau bestimmt.Position sensor for a linear stepping motor, comprising at least: a magnetic sensor ( 20 ) using the magnetic induction principle, the change in the magnetic flux density of the stator ( 30 ) of the linear stepping motor, resulting in the location feedback value; and a remanence stabilizer ( 10 ), the magnetic sensor ( 20 ) and serves the remanence value on the stand ( 30 ) of the linear stepping motor, whereby the magnetic sensor ( 20 ) by means of the amount of change of the magnetic flux, the position of the stator ( 30 ) of the linear stepping motor is accurately determined. Positionsgeber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Remanenz-Stabilisator (10) mit Nord- und Südpol versehen ist.Position transmitter according to claim 1, characterized in that the remanence stabilizer ( 10 ) is provided with north and south poles. Positionsgeber nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Nord- und Südpol des Remanenz-Stabilisators (10) von einem Dauermagneten, einem magnetisch durchlässigen Innen- und Außendeckel (11, 12) erzeugbar sind.Magnet according to claim 2, characterized in that the north and south pole of the remanence stabilizer ( 10 ) of a permanent magnet, a magnetically permeable inside and outside lid ( 11 . 12 ) are producible. Positionsgeber nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Nord- und Südpol des Remanenz-Stabilisators (10) von einem Elektromagneten, einem magnetisch durchlässigen Innen- und Außendeckel (11, 12) erzeugbar sind.Magnet according to claim 2, characterized in that the north and south pole of the remanence stabilizer ( 10 ) of an electromagnet, a magnetically permeable inner and outer cover ( 11 . 12 ) are producible. Positionsgeber nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Remanenzwert auf dem Ständer (30) des Schrittmotors bis zum gesättigten Maße magnetisierbar ist.Magnet according to claim 2, characterized in that the remanence value on the stator ( 30 ) of the stepping motor is magnetizable to the saturated degree.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE19643519A1 (en) * 1996-10-22 1998-04-23 Dreifke Guenter Dr Control unit for a multi-phase direct drive and method for controlling such a drive
DE10024850A1 (en) * 2000-05-19 2001-11-22 Dlr Ev Geometric dimension measuring arrangement for periodic structure such as gearwheels, has magnetoresistive elements and flux conducting elements arranged in each measurement heads

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19643519A1 (en) * 1996-10-22 1998-04-23 Dreifke Guenter Dr Control unit for a multi-phase direct drive and method for controlling such a drive
DE10024850A1 (en) * 2000-05-19 2001-11-22 Dlr Ev Geometric dimension measuring arrangement for periodic structure such as gearwheels, has magnetoresistive elements and flux conducting elements arranged in each measurement heads

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