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Die
Erfindung betrifft eine Sensoreinrichtung zum Erfassen eines Füllstandes
eines Fluids in einem Behälter
und ein Verfahren zum Betreiben der Sensoreinrichtung. Eine derartige
Sensoreinrichtung wird insbesondere eingesetzt zum Erfassen des
Füllstandes
eines Motoröls
in einer Brennkraftmaschine. So wird der Füllstand des Motoröls in einer
Brennkraftmaschine überwacht,
um sicherzustellen, dass die Brennkraftmaschine ausreichend mit Öl versorgt wird.
Eine mangelnde Versorgung der Brennkraftmaschine mit Öl kann zu
deren Überhitzung
und letztlich deren Zerstörung
führen.
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Aus
der
DE 43 28 792 C1 ist
eine Detektoreinrichtung zum Detektieren von Flüssigkeitsfüllständen mit einem als Sende/Empfangswandler
dienenden Ultraschallwandler und einem Schallreflektor, der die
von dem Ultraschallwandler ausgesandte Schallenergie auf den Ultraschallwandler
zurückreflektiert.
Der Ultraschallwandler ist als piezoelektrisches Element ausgebildet.
Die Detektoreinrichtung umfasst ferner eine U-förmige Gabel nach dem Prinzip
einer Gabelschranke. Der Ultraschallsender ist auf einer Gabel angeordnet
und der Reflektor ist auf der gegenüberliegenden Gabel angeordnet.
Je nachdem, ob sich Fluid zwischen den beiden Gabeln befindet oder
ob sich z.B. Gas zwischen den beiden Gabeln befindet, ergeben sich
unterschiedliche Laufzeiten für
die zwischen dem Sender und Empfänger
laufende Schallwelle, welche dann zur Beurteilung des Füllstandes
elektrisch auswertbar sind. Eine derartige Detektoreinrichtung ist
jedoch darauf beschränkt, Messsignale
zu liefern, die eine Aussage darüber
erlauben, ob sich Flüssigkeit
zwischen den beiden Gabeln befindet, oder ob sich lediglich ein
gasförmiges Medium
zwischen ihnen befindet.
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Bei
verschiedenen Anwendungsfällen
ist es notwendig, den Füllstand
absolut zu bestimmen und nicht lediglich eine Aussage zu erhalten,
ob der Füllstand
ein gewisses Niveau überschritten
oder unterschritten hat.
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Aus
der
DE 101 12 433
A1 ist eine Messanordnung für eine Viskositätsmessung
von Flüssigkeiten
bekannt. Die Anordnung umfasst einen Behälter, der sich vollständig in
der zu messenden Flüssigkeit befindet
und über Öffnungen
mit der Flüssigkeit
kommuniziert. In dem Behälter
ist ein scheibenförmiges piezoelektrisches
Element angeordnet. Das Piezoelement hat zwei elektrische Kontaktstellen,
die mit elektrischen Zuführleitungen
kontaktiert sind, die als Federelemente ausgebildet sind. Das Piezoelement ist
durch entsprechende elektrische Ansteuerung zu Scherschwingungen
anregbar. Die Viskosität
des Fluids, das sich in dem Behälter
befindet, wird anhand einer geänderten
Resonanzfrequenz des Piezoelements ermittelt.
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Die
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Sensoreinrichtung zu schaffen,
die geeignet ist, zu einem präzisen
Erfassen des Füllstands
von unterschiedlichen Fluiden bei unterschiedlichen Umgebungsbedingungen.
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Ferner
ist die Aufgabe der Erfindung ein Verfahren zum Betreiben der Sensoreinrichtung
zu schaffen, das ein präzises
Erfassen des Füllstandes von
unterschiedlichen Fluiden bei unterschiedlichen Umgebungsbedingungen
gewährleistet.
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Die
Erfindung zeichnet sich gemäß des Aspekts
der Sensoreinrichtung aus durch eine Sensoreinrichtung zum Erfassen
eines Füllstands
eines Fluids in einem Behälter
mit einem scheibenförmigen
Piezoelement, das so angeordnet ist, dass seine Achse im wesentlichen
senkrecht zu einer Trennfläche
verläuft
zwischen dem Fluid, in dem das Piezoelement anordenbar ist, und
einem weiteren Fluid oder Gas. Die Sensoreinrichtung umfasst ferner
einen Reflektor, der im wesentlichen senkrecht zu der Achse des Piezoelements
zugewandt zu der Scheibenober fläche
des Piezoelements angeordnet ist, die abgewandt ist von der Trennfläche, und
der so zu dem Piezoelement beabstandet ist, dass innerhalb des Füllstandsbereichs,
der von der Sensoreinrichtung zu erfassen ist, das Echo eines Wellenpakets,
das für
eine vorgegebene Zeitdauer durch die axiale Resonanzschwingung des
Piezoelements erzeugt wird und an dem Reflektor reflektiert wird,
vollständig
wieder bei dem Piezoelement eingetroffen ist und danach eine Abklingzeit
abgelaufen ist, bevor das Echo des gleichzeitig ausgesandten Wellenpakets,
das an der Trennfläche
reflektiert wird, bei dem Piezoelement eintrifft. Die axiale Resonanzschwingung
des Piezoelements, die auch als Dickenschwingungsmodus bezeichnet
wird, kann einfach durch Anregen des Piezoelements mit einer vorgegebenen
Resonanzfrequenz erzeugt werden.
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Die
Sensoreinrichtung zeichnet sich dadurch aus, dass die Schallgeschwindigkeit
beim Betrieb der Sensoreinrichtung einfach mittels Auswertens des Echos
des Wellenpakets ermittelt werden kann, das an dem Reflektor reflektiert
wird. Sie zeichnet sich ferner dadurch aus, dass die beiden Echos
zeitlich nacheinander auf das Piezoelement auftreffen und so eine
eindeutige Signaltrennung ermöglicht
ist.
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Der
Abstand des Reflektors ist zu wählen
abhängig
von dem in den zu messenden Fluiden möglicherweise vorkommenden Schallgeschwindigkeiten, von
dem zu erfassenden Füllstandsbereich
und von der Zeitdauer der Anregung des Wellenpakets. Die Zeitdauer
der Anregung des Wellenpakets hängt
ab von der Frequenz der axialen Resonanzschwingung und der Anzahl
der erzeugten Wellen. Die Abklingzeit ist für die Frequenz der axialen
Resonanzschwingung, die Zeitdauer der Anregung des Wellenpakets und
die unterschiedlichen in dem Behälter
befindlichen Fluide gegeben und vorzugsweise durch Versuche ermittelt.
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In
einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist ein Beruhigungskörper vorgesehen,
der mit dem Fluid in dem Behäl ter
kommuniziert, und in dem das Piezoelement angeordnet ist. Dies hat
den Vorteil, dass insbesondere bei stark zeitlich schwankenden Füllständen, also
bei einem hin und her Schwappen des Fluids, ein präziseres
Erfassen des tatsächlichen
Füllstandes
des Behälters
ermöglicht ist.
Der Beruhigungskörper
ist vorzugsweise rohrförmig
ausgebildet und sein Querschnitt parallel zu der Scheibenebene des
Piezoelements ist deutlich kleiner als der entsprechende Querschnitt
des Behälters.
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In
einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist der
Beruhigungskörper
mit mindestens einer Drossel versehen, über die er mit dem Fluid in
dem Behälter
kommuniziert und die so ausgebildet ist, dass zeitlich schnelle
Schwankungen des Füllstands
in dem Behälter
gedämpft
werden. Dadurch kann einfach bei einem sehr ausgeprägten hin und
her Schwappen des Fluids ein präzises
Erfassen des Füllstands
erfolgen.
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In
einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Sensoreinrichtung
ist der Beruhigungskörper doppelwandig
ausgebildet und zwischen seinen Wänden ist ein gasförmiges Medium
eingebracht. Dies hat den Vorteil, dass die von dem Piezoelement erzeugten
Schallwellen an den Wänden
sehr gut reproduzierbar reflektiert werden unabhängig von dem aktuellen Füllstand
des Fluids an der Außenwand des
Beruhigungskörpers.
Dadurch ist das jeweilige Echo wesentlich unabhängiger von dem aktuellen Füllstand
des Fluids außerhalb
des Beruhigungskörpers.
Dies ist somit dann von besonderem Vorteil, wenn das Fluid in dem
Behälter
stark hin und her schwappt und die Amplitude der dadurch zeitlich
resultierenden Füllstandsschwingung
an der äußeren Wand
des Beruhigungskörpers
wesentlich höher
ist als die an der Innenwand des Beruhigungskörpers.
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Besonders
vorteilhaft ist, wenn das gasförmige
Medium Luft ist.
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In
einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist der
Beruhigungskörper
konisch ausgebildet und zwar so, dass sich der Durchmesser des Beruhigungskörpers weg
von dem Piezoelement und hin zu der Trennfläche verjüngt. Dies hat den Vorteil, dass
bei niedrigem Füllstand
das Piezoelement in eine große
Fläche
seine Schallenergie einkoppeln kann und damit die Güte des Messsignals
des Echos steigt, da bei einem niedrigen Pegelstand der Anteil der
Reflexion an den Wänden
des Beruhigungskörpers
geringer ist. Mit steigendem Füllstand
nimmt jedoch auch die Dämpfung
des ausgesandten Wellenpakets zu und die somit dann kleinere zur
Verfügung stehende
Trennfläche
wirkt fokussierend im Zusammenhang mit den konisch zusammen laufenden Wänden des
Beruhigungskörpers
und führt
so zu einer Verbesserung der Messsignalgüte, also des Echos.
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Besonders
vorteilhaft ist, wenn der Beruhigungskörper so konisch zuläuft, dass
sein freier Durchmesser bei dem maximal zu erfassenden Füllstand
in etwa dem des scheibenförmigen
Piezoelements entspricht.
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Gemäß des weiteren
Aspekts der Erfindung betreffend das Verfahren zum Betreiben der
Sensoreinrichtung zeichnet sich die Erfindung durch ein Verfahren
aus, bei dem das scheibenförmige
Piezoelement für
eine vorgegebene Anzahl an axialen Resonanzschwingungen mit diesen
angeregt wird und so Schallwellen in dem Fluid erzeugt werden. Anschließend wird
das Piezoelement als Empfänger
der reflektierten Schallwellen betrieben. Die Laufzeit der Welle
hin zu der Trennfläche
und zurück
wird abhängig
von dem Aussenden der Schallwelle und dem Eintreffen der reflektierten
Schallwelle ermittelt. Die Laufzeit der Schallwelle hin zu dem Reflektor
und zurück
wird abhängig
von dem Aussenden der Schallwelle und dem Eintreffen der reflektierten
Schallwelle ermittelt. Abhängig
von den ermittelten Laufzeiten wird der Füllstand des Fluids ermittelt.
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So
kann einfach auch bei unterschiedlicher Dichte des Fluids der Füllstand
präzise
erfast werden.
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In
einer vorteilhaften Ausgestaltung des Verfahrens wird die Temperatur
des Fluids erfasst. Abhängig
von der Laufzeit der Schallwelle hin zu dem Reflektor und zurück und der
Temperatur des Fluids wird dann die Viskosität des Fluids ermittelt. Dies
ermöglicht
ein einfaches Ermitteln der Viskosität des Fluids.
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In
einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung wird das
Piezoelement zu Radialschwingungen angeregt in einem vorgegebenen
Frequenzbereich. Die Resonanzfrequenz einer radialen Resonanzschwingung
des Piezoelements wird ermittelt, die Amplitude der radialen Resonanzschwingung wird
ermittelt und abhängig
von der Amplitude der radialen Resonanzschwingung wird die Viskosität des Fluids
ermittelt. Dadurch kann die Viskosität des Fluids auf einfache und
sehr präzise
Art und Weise neben dem Füllstand
mit ein und derselben Sensoreinrichtung ermittelt werden.
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In
einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung wird das
Piezoelement zu Radialschwingungen angeregt in einem vorgegebenen
Frequenzbereich. Die Resonanzfrequenz einer radialen Resonanzschwingung
des Piezoelements wird ermittelt, die Schwinggüte der radialen Resonanzschwingung
wird ermittelt und abhängig
von der Schwinggüte
wird die Viskosität
des Fluids ermittelt. Dadurch kann die Viskosität des Fluids auf einfache und
sehr präzise
Art und Weise neben dem Füllstand
mit ein und derselben Sensoreinrichtung ermittelt werden.
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Besonders
vorteilhaft ist es, wenn der Füllstand
und die Viskosität
alternierend ermittelt werden. Das Verhältnis von Radial- zu Axialresonanz liegt
bevorzugt zwischen 1:5 bis 1:20, was durch entsprechendes Dimensionieren
des Durchmessers und der Dicke des scheibenförmigen Piezoelements erreicht
werden kann.
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Ausführungsbeispiele
der Erfindung sind im folgenden anhand der schematischen Zeichnungen erläutert. Es
zeigen:
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1 eine
Sensoreinrichtung in einem Behälter 1,
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2 eine
erste Ausführungsform
der Sensoreinrichtung,
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3 eine
zweite Ausführungsform
der Sensoreinrichtung,
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4 eine
dritte Ausführungsform
der Sensoreinrichtung und
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5 ein
Ablaufdiagramm eines Programms zum Betreiben der Sensoreinrichtung.
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Elemente
gleicher Konstruktion und Funktion sind figurenübergreifend mit den gleichen
Bezugszeichen gekennzeichnet.
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Eine
Sensoreinrichtung ist in einem Behälter 1 (1)
angeordnet, in dem sich ein Fluid 2 befindet. Das Fluid
ist bevorzugt Öl
und Kraftstoff. Die Sensoreinrichtung umfasst einen Beruhigungskörper 5,
in dem ein scheibenförmiges
Piezoelement in einem vorgegebenen Abstand zu einem Reflektor 9 angeordnet
ist. Das Piezoelement 7 und auch der Reflektor 9 befinden
sich vollständig
in dem Fluid 2, dessen Trennschicht zu einem gasförmigen Medium
mit 10 bezeichnet ist. Alternativ kann die Trennschicht auch
hin zu einem anderen Fluid sein.
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Der
Beruhigungskörper 5 kommuniziert
mit dem Behälter 1 mittels
erster und zweiter Ausnehmungen 12, 13, die bevorzugt
als Drosseln ausgebildet sind. Der Reflektor 9 ist im wesentlichen
senkrecht zu der Achse des Piezoelements zugewandt zu der Scheibenoberfläche des
Piezoelements 7 angeordnet, die abgewandt ist von der Trennfläche 10. Der
Reflektor 9 ist so zu dem Piezoelement 7 beabstandet,
dass innerhalb des Füllstandsbereichs,
der von der Sensoreinrichtung zu erfassen ist, das Echo des Wellenpakets,
das für
eine vorgegebene Zeitdauer durch die axiale Resonanzschwingung des
Piezoelements erzeugt wird und an dem Reflektor 9 reflektiert
wird, vollständig
wieder bei dem Piezoelement 7 eingetroffen ist und danach
eine Abklingzeit abgelaufen ist, bevor das Echo des gleichzeitig
ausgesandten Wellenpakets, das an der Trennfläche 10 reflektiert
wird, bei dem Piezoelement 7 eintrifft. Werden pro Wellenpaket
beispielsweise zwischen 5 und 10 Schallwellen bei einer Frequenz
von 2 MHz erzeugt und betragen die möglichen Schallgeschwindigkeiten
zwischen 1.300 m/s und 1.600 m/s, so beträgt beispielsweise der Abstand
in etwa 10 mm. Die axiale Eigenfrequenz des Piezoelements 7 hängt ab von
dessen Dicke.
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Durch
den Beruhigungskörper
wird die Amplitude eines möglichen
Hin- und Herschwappens des Fluids 2 im Vergleich zu der
Amplitude in dem Behälter 1 entsprechend
dem Verhältnis
des Durchmessers des Beruhigungskörpers 5 und des Behälters 1 verringert.
Darüber
hinaus bewirken auch die gegebenenfalls mit Drosseln versehenen
Ausnehmungen 12 und 13 eine Beruhigung des Füllstandes.
Dies führt
dazu, dass der Füllstand
des Fluids auch bei stark hin und her schwappendem Fluid präzise bestimmt
werden kann. Das genaue Vorgehen zum Ermitteln des Füllstandes
wird weiter unten anhand des Ablaufdiagramms der 5 beschrieben.
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Eine
zweite Ausführungsform
der Sensoreinrichtung (3) hat gegebenenfalls einen
Zusatzreflektor 11. Dadurch ist eine zweite Referenzstrecke neben
der von dem Piezoelement 7 hin zu dem Reflektor 9 geschaffen
mit der Folge, dass auf zwei unabhängige Arten gegebenenfalls
die Schallgeschwindigkeit in dem Fluid ermittelt werden kann. In
dem zweiten Ausführungsbeispiel
ist der Reflektor 9 beabstandet zu dem Boden des Beruhigungskörpers 5 angeordnet.
Der Zusatzreflektor kann sich um einen Teil des Umfangs des Beruhigungskörpers 5 oder
auch um den gesamten Umfang erstrecken.
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3 zeigt
eine dritte Ausführungsform
der Sensoreinrichtung. Der Beruhigungskörper 5 ist bei dieser
Ausführungsform
doppelwandig ausgeführt.
In dem Zwischenraum 15 zwischen den Wänden ist ein gasförmiges Medium,
bevorzugt Luft, eingebracht. Dies hat zur Folge, dass von dem Piezoelement 7 ausgesandte
Schallwellen unabhängig
von dem aktuellen Füllstand
außerhalb
des Beruhigungskörpers reflektiert
werden. So kann insbesondere bei starkem Schwappen des Fluids 2 in
dem Behälter 1 die
Genauigkeit des Erfassens des Füllstands
deutlich verbessert werden.
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In
der Ausführungsform
der Sensoreinrichtung gemäß 4 ist
der Beruhigungskörper 5 konisch
ausgebildet und zwar so, dass sich der freie Durchmesser des Beruhigungskörper 5 weg
von dem Piezoelement 7 und hin zu der Trennfläche verjüngt. Vorzugsweise
ist der freie Durchmesser des Beruhigungskörpers bei dem maximal zu erfassenden
Füllstand 16 in
etwa entsprechend dem des Piezoelements 7.
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Die
Erfindung ist nicht beschränkt
auf die hier dargestellten Ausführungsbeispiele.
So können
die verschiedenen Ausführungsformen
miteinander kombiniert werden. Zum Beispiel kann der konusförmige Beruhigungskörper 5 auch
doppelwandig ausgebildet sein oder in allen Ausführungsformen der Zusatzreflektor
vorhanden sein oder auch der Reflektor 9 beabstandet sein
zu dem Boden des Beruhigungskörpers 5.
Ferner kann der jeweilige Beruhigungskörper 5 auch ohne Boden
und ohne Deckel ausgebildet sein.
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Ein
Verfahren zum Betreiben der Sensoreinrichtung wird im folgenden
anhand des Ablaufdiagramms der 5 beschrieben.
Das Programm wird in einem Schritt S1 gestartet. In einem Schritt
S2 wird das Piezoelement 7 zu axialen Resonanzschwingungen
angeregt durch eine Anregung mit seiner axialen Resonanzfrequenz
F_RES_A. Die Anregung erfolgt für
eine angegebene Anzahl an Schwingungen. Die vorgegebene Anzahl an
Schwin gungen liegt bevorzugt zwischen 5 und 10, kann aber auch bis
etwa 100 betragen.
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In
dem Schritt S3 wird das Piezoelement als Empfänger des reflektierten Schallwellenpakets
betrieben, das in dem Schritt S2 von dem Piezoelement zum einen
hin zu dem Reflektor 9 und zum anderen hin zu der Trennfläche 10 emittiert
worden ist.
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Anschließend wird
in einem Schritt S4 eine zweite Laufzeit T_ECHO_2 ermittelt, die
die Laufzeit des Schallwellenpakets von dem Piezoelement 7 hin zu
der Trennfläche 10 und
zurück
zu dem Piezoelement 7 ist.
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In
einem Schritt S5 wird dann die Schallgeschwindigkeit C_S in dem
Fluid 2 abhängig
von der ersten Laufzeit T_ECHO_1 und dem bekannten Abstand DIST_REFL
des Reflektors 9 von dem Piezoelement 7 ermittelt.
In einem Schritt S7 wird dann der Füllstand FS abhängig von
der Schallgeschwindigkeit C_S in dem Fluid 2 und der zweiten
Laufzeit T_ECHO_2 ermittelt. Das Programm wird dann in einem Schritt
S9 beendet.
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Vorteilhaft
ist nach dem schritt S7 ein Schritt S11 vorgesehen, in dem die Viskosität VISC des
Fluids 2 abhängig
von der durch den Temperatursensor 4 erfassten Temperatur
TEMP und der ersten Laufzeit T_ECHO_1 ermittelt. Dies kann bevorzugt
mittels eines Kennfeldes erfolgen, in dem entsprechende Viskositätswerte
abhängig
von der Temperatur TEMP und der ersten Laufzeit T_ECHO_1 abgelegt sind.
Die Schallgeschwindigkeit C_S hängt
der Mediendichte ab, die wiederum abhängt von dem Kraftstoffeintrag,
dem Rußpartikelgehalt
und auch von dem Wassergehalt beeinflusst wird. Die Viskositätswerte
sind bevorzugt vorab durch entsprechende Versuche oder Simulationen
ermittelt.
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Alternativ
oder zusätzlich
können
zu dem Schritt S11 auch noch die Schritte S13 bis S17 abgearbeitet
werden. In einem Schritt S13 wird das Piezoelement 7 zu
Schwingungen in einem vorgegebenen Frequenzbereich angeregt. Es
wird dazu ein sogenannter Frequenzsweep durchgeführt. Der Frequenzbereich ist
so vorgegeben, dass für
alle möglichen
zu erfassenden Viskositäten
eine Radial-Resonanzfrequenz F_RES_R des Piezoelements 7 innerhalb
dieses Frequenzbereichs liegt.
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Durch
ein entsprechendes Auswerten der Impedanz des Piezoelements 7 über den
gesamten getesteten Frequenzbereich wird dann in dem Schritt S15
die Radial-Resonanzfrequenz F_RES_R des Piezoelements 7 und
die Amplitude AMP_R der radialen Resonanzschwingung ermittelt. Die
Radial-Resonanzfrequenz F_RES_R des Piezoelements 7 ist
die Frequenz, bei der das Piezoelement 7 zu radialen Resonanzschwingungen
angeregt wird.
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In
einem Schritt S17 wird dann die Viskosität VISC des Fluids 2 abhängig von
der Amplitude AMP_R der radialen Resonanzschwingung und ggf. der
Radial-Resonanzfrequenz F_RES_R ermittelt. Dies erfolgt bevorzugt
mittels eines Kennfelds und Kennfeldinterpolation. Es wird dabei
die Erkenntnis genutzt, dass sich die Radial-Resonanzfrequenz F_RES_R
des Piezoelements und auch die Amplitude der radialen Resonanzschwingung
in Abhängigkeit
von der Viskosität
des Fluids ändern.
Dadurch kann dann insbesondere beim Einsatz der Sensoreinrichtung
in einem Kraftfahrzeug zum Erfassen des Füllstands des Öls auch
eine Ölalterung
erfasst werden, die mit einem Viskositätsanstieg verbunden ist. Bevorzugt
wird zum Ermitteln der Viskosität
VISC die mechanische Güte,
auch als Schwinggüte
bezeichnet, ermittelt und zwar abhängig von der Radial-Resonanzfrequenz
F_RES_R und der Amplitude AMP_R oder der Impedanz.
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Die
Sensoreinrichtung zeichnet sich dadurch aus, dass sie raumsparend
ausgeführt
werden kann und sehr robust gegenüber schädlichen Einflüssen des
Fluids ist. So ist die Sensoreinrichtung deutlich unempfindlicher
gegenüber
Verschmutzungen als bekannte Füllstandssensoren
auf kapazitiver Basis. Es gibt ferner keine Kapillar- und Benetzungseffekte, die
die Messungen verfälschen
könnten.
Darüber
hinaus lässt
sich der Füllstand
sehr schnell erfassen. In Verbindung mit einer Permitivitäts- und/oder
Leitfähigkeitsmessung
sowie der Temperaturmessung liegen alle notwendigen Größen für eine hinreichende Beschreibung
des Ölzustandes
vor. Gegenüber
Viskositätsmessungen
mit Oberflächenwellen-Bauelementen
ist die erfindungsgemäße Sensorvorrichtung deutlich
unempfindlicher gegen Anlagerungen von Schichten und hat weniger
Packagingaufwand. Dies hat zur Folge, dass der Bereich, in dem das
Piezoelement 7 angeordnet ist, nicht zwangsläufig von
dem Fluid durchströmt
werden muss, um Ablagerungen zu verhindern. Die Schwingung des Piezoelements 7 schützt gegen
derartige Ablagerungen.