DE10310296A1 - Stroke setting method for piezoelectric or electrostrictive actuator e.g. for IC engine fuel injection valve, using adjustment of number of internal electrodes supplied with operating voltage - Google Patents

Stroke setting method for piezoelectric or electrostrictive actuator e.g. for IC engine fuel injection valve, using adjustment of number of internal electrodes supplied with operating voltage Download PDF

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Abstract

The stroke setting method has at least some of the internal electrodes (3,4) between the stacked ceramic elements (2) of the piezoelectric or electrostrictive actuator (1) provided with a given operating voltage (U), with measurement of the resulting stroke (h0) provided by the actuator and subsequent adjustment of the number of internal electrodes supplied with the voltage for obtaining a required stroke (h1). An independent claim for a device for setting the stroke of a piezoelectric or electrostrictive actuator is also included.

Description

Stand der TechnikState of technology

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Einstellen des Hubes eines piezoelektrischen oder elektrostriktiven Aktors sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens. Es sind schon piezoelektrische oder elektrostriktive Aktoren bekannt, die aus einem Stapel geschichteter Kermikelemente aufgebaut sind, welche sich beim Anlegen elektrischer Felder an die Keramikelemente ausdehnen bzw. zusammenziehen. Aufgrund des extrem schnellen und genau regelbaren Dehnungseffekts können derartige Keramiken zum Bau von Stellern verwendet werden. Da dabei die elektrischen Feldstärken im Bereich von mehreren Kilovolt pro Millimeter liegen und in der Regel moderate elektrische Spannungen zur Ansteuerung gewünscht sind, werden sogenannte Vielschichtaktoren hergestellt, deren Schichtdicke im Bereich von 100 μm liegt. Bei Verwendung der Aktoren als Steller, beispielsweise zur Betätigung eines Brennstoffeinspritzventils, sind sehr präzise Hubeinstellungen nötig. Je nach Chargen- oder Exemplarsteuung stellt sich aber bei einer fest vorgegebenen Sollspannung eine unerwünschte Hubstreuung unter gleichartigen Aktoren ein, die zu vermeiden bzw. zu verringern ist. Als möglichen Grund für eine derartige Hubstreuung können beispielsweise bei einem Piezoaktor herstellungsbedingte Unterschiede in der Dicke der Keramikschichten genannt werden, welche wegen der Feldstärkenabhängigkeit des piezoelektrischen Koeffizienten zu einer Hubvariation des Piezoaktors führen.The invention relates to a method to adjust the stroke of a piezoelectric or electrostrictive Actuator and a device for performing the method. There are already known piezoelectric or electrostrictive actuators that are constructed from a stack of layered ceramic elements, which expand when applying electrical fields to the ceramic elements or contract. Because of the extremely fast and precisely controllable Stretching effect can such ceramics are used for the construction of plates. Since there the electric field strengths are in the range of several kilovolts per millimeter and in the Usually moderate electrical voltages are required for control, So-called multi-layer actuators are manufactured, whose layer thickness in the range of 100 μm lies. When using the actuators as actuators, for example activity of a fuel injector, very precise stroke settings are necessary. ever after batch or copy control, however, is found in one predetermined target voltage an undesirable stroke spread under the same Actuators that should be avoided or reduced. As possible reason for such a stroke spread for example in the case of a piezo actuator, production-related differences in the thickness of the ceramic layers, which are due to the Field dependence of the piezoelectric coefficient to a stroke variation of the piezo actuator to lead.

Aus der DE 199 05 340 A1 ist ein Verfahren und Anordung zur Voreinstellung und dynamischen Nachführung piezoelektrischer Aktoren bekannt, bei dem eine Gleichspannung der den Aktor ansteuernden Steuerspannung überlagert wird, wodurch sich eine von der Steuerspannung unabhängige Längenänderung des Aktors ergibt. Diese Längenänderung wird dazu benutzt, ein Spiel zwischen Aktor und Stellelement optimal einzustellen. Dabei wird in Kauf genommen, dass der nutzbare Regelbereich des Aktors durch die separat aufschaltbare Gleichspannung zur Einstellung des Leerhubs eingeschränkt ist. Weiterhin ist eine den erforderlichen Gleichspannungsanteil liefernde zusätzliche Spannungsquelle erforderlich. Auch muss der Leerhub für jeden Aktor individuell eingestellt und gespeichert werden, da individuelle Streuungen der Hubeigenschaften zwischen den Aktoren nicht generell berücksichtigt werden können.From the DE 199 05 340 A1 A method and arrangement for presetting and dynamic tracking of piezoelectric actuators is known, in which a direct voltage is superimposed on the control voltage that drives the actuator, resulting in a change in length of the actuator that is independent of the control voltage. This change in length is used to optimally adjust the play between the actuator and the control element. It is accepted that the usable control range of the actuator is limited by the separately connectable DC voltage for setting the idle stroke. Furthermore, an additional voltage source that supplies the required DC voltage component is required. The idle stroke must also be set and saved individually for each actuator, since individual variations in the stroke properties between the actuators cannot be taken into account in general.

Vorteile der ErfindungAdvantages of invention

Das erfindungsgemäße Verfahren zum Einstellen des Hubes eines piezoelektrischen oder elektrostriktiven Aktors hat demgegenüber den Vorteil, dass für eine Mehrzahl an Aktoren die Exemplar- und Chargenstreuung hinsichtlich ihres Hubes minimiert werden kann. Damit kann eine Mehrzahl von Aktoren so eingestellt werden, dass ihre Hubcharakteristik bei vorgegebener Spannung bzw. Ladung eng spezifiziert vorliegt.The adjustment method according to the invention the stroke of a piezoelectric or electrostrictive actuator has against it the advantage that for a plurality of actuators with regard to specimen and batch scattering their stroke can be minimized. A plurality of Actuators are set so that their stroke characteristics at a given Voltage or charge is narrowly specified.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.Advantageous further developments of Invention are in the subclaims specified.

Zeichnungdrawing

Nachfolgend werden verschiedene Ausführungsbeispiele der Erfindung unter Bezugnahme auf die beiliegende Zeichnung im Detail erläutert. Gleiche oder gleichartige Teile werden durch gleiche Bezugszeichen gekennzeichnet. In der Zeichnung zeigen:Various embodiments are described below the invention with reference to the accompanying drawings in Explained in detail. The same or similar parts are identified by the same reference numerals characterized. The drawing shows:

1 eine schematische Darstellung eines Aktors gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel, 1 1 shows a schematic representation of an actuator according to a first exemplary embodiment,

2 eine schematische Darstellung eines Aktors gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel, 2 1 shows a schematic illustration of an actuator according to a second exemplary embodiment,

3 eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Einstellung des Hubes von Aktoren, 3 1 shows a schematic representation of a device according to the invention for adjusting the stroke of actuators,

4 ein beispielhaftes Ablaufschema eines erfindungsgemäßen Verfahrens zur Einstellung des Hubes von Aktoren. 4 an exemplary flow diagram of a method according to the invention for adjusting the stroke of actuators.

Beschreibung der Ausführungsbeispieledescription of the embodiments

In 1 ist schematisch ein piezoelektrischer Aktor 1 dargestellt, der aus einer Mehrzahl blockförmig aufeinander geschichteter Kermikelemente 2 zu einem sogenannten Multilayer-Stapel zusammengesetzt ist. Im Bereich der Kermikelemente 2 sind in bekannter Weise Innenelektroden 3, 4 in den Aktor 1 eingebettet. Die Innenelektroden 3, 4 erstrecken sich parallel zueinander jeweils senkrecht zu einer Längsachse des Aktors 1 wechselseitig zu einer Seitenfläche 5, 6 des Aktors 1 hin. Im Bereich der Seitenflächen 5, 6 werden sie von Bonddrähten 7 kontaktiert, die mit jeweils parallel zu den Seitenflächen 5, 6 verlaufenden Außenelektroden 8, 9 in elektrisch leitendem Kontakt stehen. Zwischen den Außenelektroden 8, 9 kann eine elektrische Spannung U angelegt werden, die bei Kontaktierung der Innenelektroden 3, 4 in bekannter Weise eine Längung des Aktors 1 um einen Hub h bewirkt.In 1 is a schematic of a piezoelectric actuator 1 shown, which consists of a plurality of block-shaped layered ceramic elements 2 is assembled into a so-called multilayer stack. In the area of ceramic elements 2 are internal electrodes in a known manner 3 . 4 in the actuator 1 embedded. The internal electrodes 3 . 4 extend parallel to each other perpendicular to a longitudinal axis of the actuator 1 alternately to a side surface 5 . 6 of the actuator 1 out. In the area of the side surfaces 5 . 6 they are made of bond wires 7 contacted, each with parallel to the side faces 5 . 6 trending outer electrodes 8th . 9 are in electrically conductive contact. Between the outer electrodes 8th . 9 an electrical voltage U can be applied when contacting the internal electrodes 3 . 4 an elongation of the actuator in a known manner 1 caused by a stroke h.

Der nach dem weiter unten beschriebenen, erfindungsgemäßen Verfahren eingestellte Aktor 1 weist wenigstens eine Unterbrechungsstelle 10 auf, an der die Kontaktierung wenigstens einer Innenelektrode 12 willentlich unterbrochen ist. Aus diesem Grund wird bei Beaufschlagung des Aktors 1 mit der Spannung U ein kleinerer Hub h1 < h erzielt. Die Aktorbereiche in der Nähe der wenigstens einen nicht kontaktierten Innenelektrode 12 leistet dann keinen oder nur einen geringen Beitrag zu einer Längung des Aktors 1.The actuator set according to the inventive method described below 1 has at least one interruption point 10 on which the contacting of at least one inner electrode 12 is deliberately interrupted. For this reason, when the actuator is loaded 1 with the voltage U a smaller stroke h1 <h is achieved. The actuator areas in the vicinity of the at least one non-contacted inner electrode 12 then does no or only a small contribution to an elongation of the actuator 1 ,

Wie in 2 dargestellt ist, können die Außenelektroden 8, 9 auch in Form einer elektrisch leitenden Schicht 13 auf die Seitenflächen 5, 6 des Aktors 1 aufgebracht sein, wobei sie mit den Innenelektroden 3, 4 elektrisch leitend in Verbindung stehen. Auch der Aktor 1 nach 2 weist eine Unterbrechungsstelle 10 auf, an der die Schicht 13 unterbrochen ist. In analoger Weise wird dadurch die Innenelektrode 12 nicht kontaktiert, so daß bei Beaufschlagung des Aktors 1 mit der Spannung U die an die Unterbrechungsstelle angrenzenden Keramikelemente 2 keinen oder nur einen geringen Beitrag zu der Längung des Aktors 1 leisten.As in 2 is shown, the outer electrodes 8th . 9 also in the form of an electrically conductive layer 13 on the side surfaces 5 . 6 of the actuator 1 be applied, with the inner electrodes 3 . 4 are electrically conductive. The actuator too 1 to 2 has an interruption point 10 on which the layer 13 is interrupted. In an analogous way, the inner electrode 12 not contacted, so that when the actuator is acted upon 1 with the voltage U the ceramic elements adjacent to the point of interruption 2 little or no contribution to the elongation of the actuator 1 Afford.

In 3 ist eine erfindungsgemäße Vorrichtung 20 zum Einstellen des Hubes h des Aktors 1 schematisch gezeigt. Ein klammerartiger Halter 21 belastet den Aktor 1 mit einer Vorspannkraft und hält damit die Keramikelemente 2 zusammen.In 3 is a device according to the invention 20 for setting the stroke h of the actuator 1 shown schematically. A bracket-like holder 21 loads the actuator 1 with a prestressing force and thus holds the ceramic elements 2 together.

An der Seitenfläche 6 ausmündende Innenelektroden 4 sind mittels Bonddrähten 7 kontaktiert. Auf der gegenüberliegenden Seite des Aktors 1 befindet sich eine Einrichtung 22 zur Kontaktierung der Innenelektroden 3. Die Einrichtung 22 hat einen bürstenartigen Kontaktierungskopf 23, der mit Hilfe eines Stellers 24 an die Seitenfläche 5 in Richtung eines Pfeiles 25 herangefahren werden kann. Aus dem Kontaktierungskopf 23 stehen dem Aktor 1 zugewandte Kontaktbürsten 28 vor, die nach dem Heranfahren an die Seitenfläche 5 die Innenelektroden 3 kontaktieren. Wird die Spannung U an den Aktor 1 angelegt, längt er sich um den Hub h, der über eine Meßvorrichtung 30 gemessen wird. Über eine den Kontaktierungskopf 23 parallel zu der Seitenfläche 5 bewegende Verstellvorrichtung 26 kann die Anzahl der kontaktierten Innenelektroden 3 verändert werden.On the side surface 6 emitting internal electrodes 4 are by means of bond wires 7 contacted. On the opposite side of the actuator 1 there is a facility 22 for contacting the internal electrodes 3 , The facility 22 has a brush-like contact head 23 with the help of an actuator 24 to the side surface 5 in the direction of an arrow 25 can be approached. From the contact head 23 stand by the actuator 1 facing contact brushes 28 before that after driving up to the side surface 5 the internal electrodes 3 to contact. The voltage U is applied to the actuator 1 applied, it extends around the stroke h, which is via a measuring device 30 is measured. Via the contact head 23 parallel to the side surface 5 moving adjustment device 26 can be the number of contacted internal electrodes 3 to be changed.

Die Vorrichtung 22 zum Einstellen des Hubes arbeitet beispielsweiser nach dem in 4 schematisch dargestellten Verfahren: Zunächst wird in einem ersten Verfahrensschritt 31 der Kontaktierungskopf 23 an die Seitenfläche 5 herangefahren, so dass die Innenelektroden 3, 4 mit einer vorgegebenen Spannung U beaufschlagt werden. Anschließend wird in einem zweiten Verfahrensschritt 32 der Hub h von der Messvorrichtung 30 erfasst. In einem dritten Verfahrensschritt 33 wird in einem Prozessor 27 der gemessene Hub h mit einem Sollwert h1 verglichen. In einem vierten Verfahrenschritt 34 wird die Anzahl kontaktierter Innenelektroden 3 derart verändert, bis sich der gewünschte Hub h1 einstellt. Die Einrichtung 22 zur Kontaktierung führt dann in einem fünften Verfahrensschritt 35 die endgültige Kontaktierung des Aktor 1 durch, wobei dann die Hubcharakteristik des Aktors 1 festgelegt ist. Diese endgültige Kontaktierung kann dann beispielsweise durch Bonden oder durch Schichtauftrag erfolgen.The device 22 for setting the stroke works, for example, according to in 4 schematically illustrated process: First, in a first process step 31 the contacting head 23 to the side surface 5 moved up so that the internal electrodes 3 . 4 are supplied with a predetermined voltage U. Then in a second step 32 the stroke h from the measuring device 30 detected. In a third step 33 is in a processor 27 the measured stroke h is compared with a target value h 1 . In a fourth step 34 is the number of contacted internal electrodes 3 changed until the desired stroke h1 is reached. The facility 22 contacting then leads in a fifth process step 35 the final contacting of the actuator 1 through, then the stroke characteristic of the actuator 1 is set. This final contact can then be made, for example, by bonding or by coating.

Je nach Art und Weise des verwendeten Aktors 1 kann dieses Verfahren auch modifiziert werden. So kann das Verfahren auch an bereits verdrahteten bzw. kontaktierten Aktoren durchgeführt werden, wobei dann zur Einstellung des gewünschten Hubes h1 eine bestimmte Anzahl von Kontaktierungen unterbrochen wird. In diesem Falle entfällt der erste Verfahrensschritt 31.Depending on the type of actuator used 1 this method can also be modified. In this way, the method can also be carried out on already wired or contacted actuators, in which case a certain number of contacts is interrupted to set the desired stroke h1. In this case, the first process step is omitted 31 ,

Die Wirkungsweise des erfindungsgemäßen Verfahrens ist wie folgt: Bei Spannungsbeaufschlagung des Aktors 1 ergibt sich in Folge der Dehnung der Kermikelemente 2 ein Hub h des Aktors 1, der sich wie folgt errechnen lässt: h = n * d33 * (E) * U,wobei
h = Hub
n = Anzahl aktiver Keramikelemente 2,
d33 = piezoelektrischer Koeffizient,
E = Chargen- bzw. Exemplarstreuung des piezoelektrischen Koeffizienten
U = die zwischen den Innenelektroden 3, 4 anliegende Spannung
ist.The method of operation of the method according to the invention is as follows: when the actuator is subjected to voltage 1 results from the expansion of the ceramic elements 2 a stroke h of the actuator 1 , which can be calculated as follows: h = n * d33 * (E) * U, in which
h = stroke
n = number of active ceramic elements 2 .
d33 = piezoelectric coefficient,
E = batch or specimen scatter of the piezoelectric coefficient
U = the one between the inner electrodes 3 . 4 applied voltage
is.

In Folge des Faktors E ergeben sich Unterschiede zwischen verschiedenen Aktoren 1 hinsichtlich des Hubes h, auch wenn die sonstigen Faktoren gleich gewählt sind. In der Praxis ist es jedoch gewünscht, dass die Streuung des Hubes h möglichst gering ist, um Toleranzen möglichst eng einhalten zu können.As a result of factor E, there are differences between different actuators 1 with regard to the stroke h, even if the other factors are chosen the same. In practice, however, it is desirable that the spread of the stroke h is as small as possible in order to be able to keep tolerances as tight as possible.

Da nach dem Aufbau des aus den Keramikelementen 2 zusammengesetzten Keramikpaketes die Anzahl n an Schichten festliegt, die einen Beitrag zur Gesamtlängenänderung leisten können, kann der gewünschte Hub h in Grenzen nach dem Aufbau des Aktors 1 eingestellt werden, indem die Anzahl aktivierter Keramikelemente 2 des Keramikpaketes verändert wird.Since after building the from the ceramic elements 2 composite ceramic package, the number n of layers is fixed, which can contribute to the change in overall length, the desired stroke h can be limited within the structure of the actuator 1 can be adjusted by the number of activated ceramic elements 2 of the ceramic package is changed.

Die Veränderung von Keramikschichten kann auf verschiedene Weise erreicht werden. So ist es denkbar, bereits elektrisch beaufschlagte, d.h. aktivierte Keramikelemente 2 durch eine gezielte Unterbrechung bzw. Behinderung der elektrischen Kontaktierung zu deaktivieren. Andererseits ist es auch denkbar, zunächst elektrisch nicht beaufschlagte, d.h. inaktive Keramikschichten durch nachträgliches Hinzufügen einer Kontaktierung zu aktivieren.The change of ceramic layers can be achieved in different ways. It is thus conceivable for ceramic elements that have already been acted upon electrically, ie activated 2 to deactivate by deliberately interrupting or obstructing the electrical contact. On the other hand, it is also conceivable to initially activate electrically inactive ceramic layers, ie inactive ceramic layers, by subsequently adding a contact.

Die Erfindung ist nicht auf die gezeigten Ausführungsbeispiele beschränkt. Sie kann gleichermaßen bei piezoelektrischen oder elektrostriktiven Aktoren angewandt werden.The invention is not shown on the embodiments limited. It can equally can be applied to piezoelectric or electrostrictive actuators.

Claims (8)

Verfahren zum Einstellen des Hubes eines piezoelektrischen oder elektrostriktiven Aktors (1), der aus einer Mehrzahl zu einem Stapel geschichteter Keramikelemente (2) zusammengesetzt ist, die bei Beaufschlagung mit einer elektrischen Spannung (U) eine Änderung ihrer Abmessungen erfahren und dabei insgesamt einen Hub (h) des Aktors (1) bewirken, mit in den Aktor (1) eingelagerten Innenelektroden (3, 4), die etwa parallel zueinander liegen und sich wechselseitig jeweils zu einer Seitenfläche (5, 6) des Aktors (1) hin erstrecken, und mit wenigstens zwei Außenelektroden (8, 9) zur elektrischen Kontaktierung der Innenelektroden (3, 4), dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Teil der Innenelektroden (3, 4) mit einer vorgegebenen Spannung (U) beaufschlagt wird, dass ein sich bei Spannungsbeaufschlagung ergebender Hub (h) des Aktors (1) gemessen wird und dass die Anzahl (n) kontaktierter Innenelektroden (3, 4) in Abhängigkeit des gemessenen Hubes (h) derart verändert wird, dass sich ein gewünschter Hub (h1) des Aktors (1) ergibt.Method for adjusting the stroke of a piezoelectric or electrostrictive actuator ( 1 ) which consists of a plurality of ceramic elements layered into a stack ( 2 ) is composed, which experiences a change in its dimensions when subjected to an electrical voltage (U) and there with a total of one stroke (h) of the actuator ( 1 ) cause in the actuator ( 1 ) internal electrodes ( 3 . 4 ), which are approximately parallel to each other and mutually to one side surface ( 5 . 6 ) of the actuator ( 1 ) extend, and with at least two outer electrodes ( 8th . 9 ) for electrical contacting of the internal electrodes ( 3 . 4 ), characterized in that at least some of the internal electrodes ( 3 . 4 ) is subjected to a predetermined voltage (U) such that a stroke (h) of the actuator that results when voltage is applied ( 1 ) is measured and that the number (n) of contacted internal electrodes ( 3 . 4 ) is changed as a function of the measured stroke (h) such that a desired stroke (h1) of the actuator ( 1 ) results. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl (n) kontaktierter Innenelektroden (3, 4) verringert wird, so dass der Hub (h) des Aktors (1) verringert wird.A method according to claim 1, characterized in that the number (n) contacted internal electrodes ( 3 . 4 ) is reduced so that the stroke (h) of the actuator ( 1 ) is reduced. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktor (1) mittels Bonddrähten (7, 11) kontaktiert ist und der Hub (h) durch Trennen wenigstens eines Bonddrahtes (11) verringert wird.A method according to claim 2, characterized in that the actuator ( 1 ) by means of bond wires ( 7 . 11 ) is contacted and the stroke (h) by separating at least one bond wire ( 11 ) is reduced. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenelektroden (3, 4) mittels einer Schicht (13) kontaktiert sind und der Hub (h) durch bereichsweises Entfernen der Schicht (13) verringert wird.A method according to claim 2, characterized in that the inner electrodes ( 3 . 4 ) by means of a layer ( 13 ) and the stroke (h) by removing the layer in certain areas ( 13 ) is reduced. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht (13) thermisch, insbesondere durch Löt- oder Laserbehandlung, entfernt wird.A method according to claim 4, characterized in that the layer ( 13 ) is removed thermally, in particular by soldering or laser treatment. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl (n) kontaktierter Innenelektroden (3, 4) vergrößert wird, so dass der Hub (h) des Aktors (1) vergrößert wird.A method according to claim 1, characterized in that the number (n) contacted internal electrodes ( 3 . 4 ) is increased so that the stroke (h) of the actuator ( 1 ) is enlarged. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktor (1) lediglich bereichsweise mit der Spannung (U) beaufschlagt ist und der Hub (h) durch Hinzufügen von elektrisch leitenden Verbindungen mittels zusätzlicher Bonddrähte (7) oder durch Vergößerung der Schicht (13) erhöht wird.A method according to claim 4, characterized in that the actuator ( 1 ) the voltage (U) is only applied in some areas and the stroke (h) by adding electrically conductive connections by means of additional bonding wires ( 7 ) or by enlarging the layer ( 13 ) is increased. Vorrichtung zum Einstellen des Hubes eines piezoelektrischen oder elektrostriktiven Aktors, der aus einer Mehrzahl zu einem Stapel geschichteter Keramikelemente (2) zusammengesetzt ist, die bei Beaufschlagung mit einer elektrischen Spannung eine Änderung ihrer Abmessungen erfahren und dabei insgesamt einen Hub (h) des Aktors (1) bewirken, mit in den Aktor (1) eingelagerten Innenelektroden (3, 4), die etwa parallel zueinander angeordnet sind und sich wechselseitig jeweils zu einer Seitenfläche (5, 6) des Aktors (1) hin erstrecken, und mit wenigstens zwei Außenelektroden (8, 9) zur elektrischen Kontaktierung der Innenelektroden (3, 4), dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (20) eine Einrichtung (22) zur Beaufschlagung der Keramikelemente (2) mit einer vorgegebenen elektrischen Spannung (U) hat und daß eine Messvorrichtung (30) vorgesehen ist, mit der sich ein bei dieser Spannung (U) ergebender Hub (h) des Aktors (1) gemessen wird, und dass eine Verstellvorrichtung (26) vorgesehen ist, mittels der die Anzahl (n) mit elektrischer Spannung beaufschlagter Innenelektroden (3, 4) zur Einstellung eines gewünschten Hubes (h1) veränderbar ist.Device for adjusting the stroke of a piezoelectric or electrostrictive actuator which consists of a plurality of ceramic elements ( 2 ) which, when subjected to an electrical voltage, undergoes a change in its dimensions and thereby a total stroke (h) of the actuator ( 1 ) cause in the actuator ( 1 ) internal electrodes ( 3 . 4 ), which are arranged approximately parallel to each other and mutually to one side surface ( 5 . 6 ) of the actuator ( 1 ) extend, and with at least two outer electrodes ( 8th . 9 ) for electrical contacting of the internal electrodes ( 3 . 4 ), characterized in that the device ( 20 ) An institution ( 22 ) for loading the ceramic elements ( 2 ) with a predetermined electrical voltage (U) and that a measuring device ( 30 ) is provided with which a stroke (h) of the actuator (h) resulting at this voltage (U) 1 ) is measured and that an adjustment device ( 26 ) is provided, by means of which the number (n) of internal electrodes acted upon by electrical voltage ( 3 . 4 ) can be changed to set a desired stroke (h 1 ).
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