DE10254452A1 - Method of making a ceramic stack-up - Google Patents

Method of making a ceramic stack-up

Info

Publication number
DE10254452A1
DE10254452A1 DE2002154452 DE10254452A DE10254452A1 DE 10254452 A1 DE10254452 A1 DE 10254452A1 DE 2002154452 DE2002154452 DE 2002154452 DE 10254452 A DE10254452 A DE 10254452A DE 10254452 A1 DE10254452 A1 DE 10254452A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
stack
ceramic
stack structure
making
separation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE2002154452
Other languages
German (de)
Other versions
DE10254452B4 (en
Inventor
Kazuhide Sato
Michio Kameyama
Rikiya Kamimura
Hidekazu Hattori
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Publication of DE10254452A1 publication Critical patent/DE10254452A1/en
Application granted granted Critical
Publication of DE10254452B4 publication Critical patent/DE10254452B4/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01—Manufacture or treatment
    • H10N30/05—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes
    • H10N30/053—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes by integrally sintering piezoelectric or electrostrictive bodies and electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01—Manufacture or treatment
    • H10N30/08—Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies
    • H10N30/085—Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies by machining
    • H10N30/088—Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies by machining by cutting or dicing
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)

Abstract

Ein Verfahren zum Herstellen eines keramischen Stapelaufbaus ist offenbart, das eine Delamination verhindern kann, während gleichzeitig die Größe geringer ist und eine hohe Zuverlässigkeit erzielt wird. Das Verfahren zum Herstellen eines keramischen Stapelaufbaus (1) mit keramischen Lagen und Innenelektrodenlagen, die abwechselnd zueinander gestapelt sind, weist die folgenden Schritte auf: Ausbilden von Rohblättern (10), die zumindest keramische Partikel und ein Thermoplastharz enthalten, Drucken eines Elektrodenpastenmaterials (2) auf die Oberfläche der Rohblätter (10), Erwärmen eines Stapelaufbaus (100) mit einem Stapel der Rohblätter (10), während gleichzeitig ein Druck auf diesen für das Thermokompressionsverbinden aus der Stapelrichtung ausgeübt wird, Abtrennen des Stapelaufbaus (100) in Querrichtung und Sintern von Stapelaufbaueinheiten (105). Bei dem Thermokompressionsverbindungsschritt hat der Stapelaufbau (100) eine Stapelhöhe B von nicht weniger als 3 mm und ein Seitenverhältnis B/A von nicht mehr als 2, wobei A die Breite und B die Stapelhöhe des Stapelaufbaus entlang der Stapelrichtung ist.A method of making a ceramic stack structure is disclosed that can prevent delamination while being smaller in size and achieving high reliability. The method for producing a ceramic stack structure (1) with ceramic layers and inner electrode layers, which are alternately stacked, has the following steps: forming raw sheets (10) which contain at least ceramic particles and a thermoplastic resin, printing an electrode paste material (2) on the surface of the raw sheets (10), heating a stack structure (100) with a stack of the raw sheets (10) while at the same time exerting pressure thereon for thermocompression bonding from the stack direction, separating the stack structure (100) in the transverse direction and sintering Stack assembly units (105). In the thermocompression joining step, the stack structure (100) has a stack height B of not less than 3 mm and an aspect ratio B / A of not more than 2, where A is the width and B is the stack height of the stack structure along the stacking direction.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen eines keramischen Stapelaufbaus, der für ein piezoelektrisches Betätigungsglied oder dergleichen verwendbar ist. The present invention relates to a method for Manufacture of a ceramic stack structure for a piezoelectric actuator or the like can be used is.

In der Vergangenheit ist ein keramischer Stapelaufbau bei einem piezoelektrischen Betätigungsglied verwendet worden, um eine hohe Verschiebung bei einer geringen Spannung zu erzielen und er ist so aufgebaut worden, dass eine Vielzahl an piezoelektrischen keramischen dünnen Platten, die jeweils im Allgemeinen 20 bis 200 µm dick sind, und eine Vielzahl an Innenelektrodenlagen aus Metall in 20-700 abwechselnden Lagen gestapelt wurden. Des weiteren ist es bei dem in einer Einspritzeinrichtung oder dergleichen einzubauenden piezoelektrischen Betätigungsglied von hoher Bedeutung, dass es eine geringe Größe hat, und daher ist es erforderlich, die Fläche der piezoelektrischen Keramik zu verringern. In the past, a ceramic stackup was one piezoelectric actuator has been used to create a to achieve high displacement at a low voltage and he has been designed so that a large number of piezoelectric ceramic thin plates, each generally 20 to 200 µm thick, and a variety of inner electrode layers Metal was stacked in 20-700 alternate layers. Of further it is in the in an injection device or the like to be installed piezoelectric actuator of high importance that it is small in size and therefore it is necessary to increase the area of the piezoelectric ceramic reduce.

Ein keramischer Stapelaufbau wird ausgebildet, indem Rohblätter gestapelt werden, von denen jedes ein Gemisch aus keramischen Partikeln und Thermoplastharz ist, wobei danach Prozesse zum Thermokompressionsverbinden, Entfetten und Sintern folgen. In dem Fall, bei dem die Fläche der piezoelektrischen Keramik wie vorstehend beschrieben verringert wird, wird das Seitenverhältnis des Stapelaufbaus (das Verhältnis der Dicke des Stapels entlang der Stapelrichtung zu der Breite des Stapelaufbaus entlang der senkrecht zu der Stapelrichtung stehenden Richtung) erhöht. In dem Fall, bei dem der Stapelaufbau unter Druck verbunden wird, der von den beiden Enden entlang der Stapelrichtung aufgebracht wird, während die Seitenflächen des Stapelaufbaus mit einer Einspanneinrichtung geführt werden, ist daher der Druck an dem mittleren Abschnitt entlang der Stapelrichtung unzureichend. Als ein Ergebnis ergibt sich ein Problem im Hinblick auf die Delamination (Trennung der Lagen) von der Anfangsstufe nach dem Sintern. Dieses Phänomen wird insbesondere in dem Fall bedeutsam, bei dem das Seitenverhältnis des Stapelaufbaus den Wert 2 überschreitet. Das piezoelektrische Betätigungsglied, das einen keramischen Stapelaufbau mit einer Delamination hat, entwickelt einen Betriebsfehler wie beispielsweise ein Kurzschluß oder eine verringerte Verschiebung. A ceramic stack structure is formed by raw sheets are stacked, each of which is a mixture of ceramic Particles and thermoplastic resin is, after which processes for Thermocompression bonding, degreasing and sintering follow. In the case where the area of the piezoelectric ceramic like described above is reduced Stacking aspect ratio (the ratio of the thickness of the Stack along the stacking direction to the width of the Stack construction along the perpendicular to the stack direction standing direction) increased. In the case where the Stacking under pressure is connected by the two Ends along the stacking direction while the Side surfaces of the stack structure with a clamping device is therefore the pressure at the middle section insufficient along the stacking direction. As a result a problem with delamination (separation of the Layers) from the initial stage after sintering. This phenomenon becomes particularly significant in the case where the Stacking aspect ratio exceeds 2. The piezoelectric actuator which is a ceramic Stack build with a delamination developed one Operating errors such as a short circuit or a reduced displacement.

Der Aufbau der Innenelektrode hat andererseits einen Gesamtelektrodenaufbau oder einen Teilelektrodenaufbau. Der Gesamtelektrodenaufbau erfordert einen Prozess zum Isolieren der Elektrodenabschnitte, die zu den Seitenflächen des Stapelaufbaus hin freigelegt sind, und bringt höhere Kosten als der Teilelektrodenaufbau mit sich. Daher wird der Teilelektrodenaufbau weitgehend angewendet. The structure of the inner electrode, on the other hand, has one Entire electrode structure or a partial electrode structure. The Overall electrode construction requires a process to isolate the Electrode sections leading to the side surfaces of the stack structure are exposed and brings higher costs than that Partial electrode structure with itself. Hence the Partial electrode structure largely used.

Dennoch entwickelt der Teilelektrodenaufbau häufig eine Delamination. Dies ist der Fall aufgrund des Effektes des Elektrodenaufbaus an sich und auch aufgrund eines zu geringen Drucks, der für das Thermokompressionsverbinden angewendet wird. Der Effekt des Elektrodenaufbaus ist von dem Umstand abgeleitet, dass die Gesamtelektrodendicke des keramischen Stapelaufbaus zwischen dem Hilfselektrodenabschnitt (dem Abschnitt ohne Elektrodenmuster) und dem Elektrodenabschnitt (dem Abschnitt mit einem Elektrodenmuster) verschieden ist, und daher im Wesentlichen kein Druck an dem Hilfselektrodenabschnitt ausgeübt wird, der eine geringe Gesamtdicke hat. Somit ist es wahrscheinlich, dass der Teilelektrodenaufbau eine Delamination häufiger als der Gesamtelektrodenaufbau entwickelt. Nevertheless, the partial electrode structure often develops one Delamination. This is the case due to the effect of the Electrode construction itself and also due to a too small Pressure applied for thermocompression bonding. The effect of the electrode structure is derived from the fact that the total electrode thickness of the ceramic stackup between the auxiliary electrode section (the section without Electrode pattern) and the electrode section (the section with an electrode pattern) is different, and therefore in Substantially no pressure is applied to the auxiliary electrode section that has a small overall thickness. So it is likely that the partial electrode assembly is delamination developed more frequently than the overall electrode structure.

Die vorliegende Erfindung ist auf die vorstehend beschriebenen Probleme des Standes der Technik gerichtet und die Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zum Herstellen eines keramischen Stapelaufbaus zu schaffen, bei dem eine Delamination verhindert ist, während gleichzeitig die Größe verringert ist und eine hohe Zuverlässigkeit erzielt wird. The present invention is based on those described above Problems of the prior art addressed and the task of Invention is a method of making a ceramic To create a stack structure that prevents delamination while the size is reduced and high Reliability is achieved.

Erfindungsgemäß ist geschaffen ein Verfahren zum Herstellen eines keramischen Stapelaufbaus mit einer Vielzahl an keramischen Lagen und einer Vielzahl an Innenelektrodenlagen, die abwechselnd zueinander gestapelt sind, mit den folgenden Schritten:
einem Blattausbildungsschritt zum Ausbilden einer Vielzahl an Rohblättern, die zumindest keramische Partikel und ein Thermoplastharz enthalten;
einem Elektrodendruckschritt zum Drucken eines Elektrodenpastenmaterials an der Oberfläche der Rohblätter;
einem Thermokompressionsverbindungsschritt zum Erwärmen des Stapelaufbaus, der einen Stapel aus dem Rohblättern aufweist, und zum Aufbringen eines Drucks auf den Stapelaufbau aus der Stapelrichtung;
einem Abtrennschritt zum Abtrennen des Stapelaufbaus entlang dessen Breite; und
einem Sinterschritt zum Sintern des Stapelaufbaus;
wobei der Stapelaufbau bei dem Thermokompressionsverbindungsschritt eine Breite A, eine Stapelhöhe B von nicht weniger als 3 mm und ein Seitenverhältnis B/A von nicht mehr als 2 hat. According to the invention, a method has been created for producing a ceramic stack structure with a large number of ceramic layers and a large number of inner electrode layers, which are stacked alternately with one another, with the following steps:
a sheet forming step for forming a plurality of green sheets containing at least ceramic particles and a thermoplastic resin;
an electrode printing step for printing an electrode paste material on the surface of the green sheets;
a thermocompression joining step for heating the stack assembly having a stack from the green sheet and applying pressure to the stack assembly from the stacking direction;
a severing step for severing the stack structure along its width; and
a sintering step for sintering the stack structure;
wherein the stack structure in the thermocompression joining step has a width A, a stack height B of not less than 3 mm and an aspect ratio B / A of not more than 2.

Erfindungsgemäß ist in dem Fall, bei dem die Stapelhöhe B des Stapelaufbaus bei dem Thermokompressionsverbindungsschritt nicht geringer als 3 mm ist, das Seitenverhältnis B/A auf nicht mehr als 2 eingestellt, und die Breite A kann den kleinsten Wert einnehmen. Durch ein Steuern des Seitenverhältnisses kann der Druck bei dem Thermokompressionsverbindungsschritt vergleichsweise gleichförmig auf den mittleren Abschnitt des Stapelaufbaus entlang der Stapelrichtung übertragen werden. Der Stapelaufbau nimmt daher nach dem Thermokompressionsverbindungsschritt einen Zustand ein, bei dem die Rohblätter ausreichend nahe beieinander angebracht sind. Als ein Ergebnis kann die Delamination des keramischen Stapelaufbaus im Vergleich zum Stand der Technik bei den anschließenden Schritten des Abtrennens und Sinterns erheblich verringert werden. Erfindungsgemäß kann daher ein Verfahren zum Herstellen eines keramischen Stapelaufbaus geschaffen werden, bei dem die Delamination verhindert ist, während die Größe verringert ist und eine hohe Zuverlässigkeit gleichzeitig erzielt wird. According to the invention in the case where the stack height B of the Stacking in the thermocompression connection step is not is less than 3 mm, the aspect ratio B / A to no more set as 2, and the width A can be the smallest value take in. By controlling the aspect ratio, the Pressure in the thermocompression connection step comparatively uniform on the middle section of the Stack structure are transferred along the stack direction. The Stack build therefore takes after Thermocompression connecting step a state where the raw leaves are sufficiently close together. As One result can be the delamination of the ceramic stack compared to the prior art in the subsequent Separation and sintering steps significantly reduced become. According to the invention, a method for manufacturing can therefore a ceramic stack structure are created, in which the Delamination is prevented while the size is reduced and high reliability is achieved at the same time.

Fig. 1 zeigt eine Darstellung zur Erläuterung der Herstellschritte gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung. Fig. 1 shows an illustration for explaining the manufacturing steps according to a first embodiment of the invention.

Fig. 2 zeigt eine Darstellung zur Erläuterung der Form, die bei den Herstellschritten gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung geändert wird. Fig. 2 is an illustration for explaining the shape that is changed in the manufacturing steps according to the first embodiment of the invention.

Fig. 3 zeigt eine perspektivische Ansicht eines keramischen Stapelaufbaus gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung. Fig. 3 shows a perspective view of a ceramic stack structure according to the first embodiment of the invention.

Fig. 4 zeigt eine Entwicklungsdarstellung zur Erläuterung des keramischen Stapelaufbaus vor dem Sintern gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung. FIG. 4 shows a development diagram for explaining the ceramic stack structure before sintering according to the first exemplary embodiment of the invention.

Fig. 5 zeigt eine Darstellung zur Erläuterung der Herstellschritte gemäß einem ersten Vergleichsbeispiel. Fig. 5 is a view for explaining the manufacturing steps according to a first comparative example.

Fig. 6a bis 6f zeigen Darstellungen zur Erläuterung der Form, die mit den Herstellschritten gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel geändert wird. FIGS. 6a to 6f are diagrams for explaining the shape of which is changed with the manufacturing steps according to the first comparative example.

Fig. 7 zeigt eine Darstellung zur Erläuterung der Beziehung zwischen der Position des Stapels und der Änderung der Dicke der keramischen Lage aufgrund des Thermokompressionsverbindens gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung. Fig. 7 is a view for explaining the relationship between the position of the stack and the change in the thickness of the ceramic layer due to the thermo-compression bonding according to a second embodiment of the invention.

Fig. 8 zeigt eine Darstellung zur Erläuterung der Beziehung zwischen der Stapelhöhe (Seitenverhältnis), der Änderung der Dicke der keramischen Lage aufgrund des Thermokompressionsverbindens und der Anzahl an erzeugten Delaminationen. Fig. 8 is a view for explaining the relationship between the stack height (aspect ratio), the change in the thickness of the ceramic layer due to the thermo-compression bonding and the number of generated delamination.

Fig. 9 zeigt eine Darstellung zur Erläuterung der in dem Fall auftretenden Unannehmlichkeiten, bei dem der Stapelaufbau lediglich an einem Punkt mit einem Wasserstrahl unter Verwendung einer einzelnen Düse abgetrennt wird. Fig. 9 is an illustration for explaining the inconvenience in the case where the stack structure is separated at only one point with a water jet using a single nozzle.

Fig. 10 zeigt eine Darstellung zur Erläuterung des Zustandes, bei dem der Stapelaufbau bei einer Vielzahl an Punkten gleichzeitig mit einem Wasserstrahl unter Verwendung einer Vielzahl an Düsen abgetrennt wird. Fig. 10 is an illustration for explaining the state in which the stack structure is separated at a plurality of points simultaneously with a water jet using a plurality of nozzles.

Fig. 11 zeigt eine Darstellung zur Erläuterung der Form eines paralleleppipedförmigen keramischen Stapelaufbaus, der bei den Herstellschritten gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung abgetrennt wird. FIG. 11 shows a representation to explain the shape of a parallel-shaped ceramic stack structure, which is separated in the manufacturing steps according to a third exemplary embodiment of the invention.

Fig. 12 zeigt eine Darstellung zur Erläuterung der Form eines zylindrischen keramischen Stapelaufbaus, der bei den Herstellschritten gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung abgetrennt wird. FIG. 12 shows an illustration for explaining the shape of a cylindrical ceramic stack structure which is separated in the manufacturing steps according to the third exemplary embodiment of the invention.

Gemäß dieser Erfindung ist, wie dies vorstehend beschrieben ist, das Seitenverhältnis des Stapelaufbaus bei dem Thermokompressionsverbindungsschritt auf 2 oder weniger begrenzt. Zum spezifischen Ausführen ist es dabei erforderlich, eine Einrichtung anzuwenden, die eine ausreichend große Fläche des Rohblattes sicher stellt, um eine Vielzahl an keramischen Lagen des Enderzeugnisses zu erlangen und um das Seitenverhältnis zu verringern, indem die Breite des Stapelaufbaus erhöht wird. Die Anzahl an Lagen des Stapelaufbaus muss nicht unbedingt der Anzahl an Lagen gleich sein, die bei dem Enderzeugnis gestapelt sind, sondern eine Vielzahl an keramischen Stapelaufbauten, die nach dem Sinterschritt erhalten werden, können aneinander durch ein Haftmittel oder ein Lötmittel verbunden werden. According to this invention, as described above, the aspect ratio of the stack at the Thermocompression connection step to 2 or less limited. For specific execution it is necessary to use a facility that has a sufficiently large area of the raw sheet ensures a variety of ceramic To obtain layers of the finished product and around that Reduce aspect ratio by changing the width of the Stack build is increased. The number of layers in the stack does not necessarily have to be the same as the number of layers at the end product are stacked, but a variety ceramic stack structures that are obtained after the sintering step can be joined together by an adhesive or a Solder are connected.

Der vorstehend beschriebene Abtrennschritt wird vorzugsweise vor dem Sinterschritt ausgeführt. In diesem Fall kann der Stapelaufbau leichter als nach dem Sinterschritt abgetrennt werden. The separation step described above is preferably carried out before the sintering step. In this case, the Stack construction easier than separated after the sintering step become.

Alternativ kann der Abtrennschritt nach dem Sinterschritt ausgeführt werden. In diesem Fall kann die Abtrenntätigkeit ohne Berücksichtigung des Kontraktionsbetrages zum Zeitpunkt des Sinterns ausgeführt werden. Alternatively, the separation step after the sintering step be carried out. In this case, the separation activity can be done without Consideration of the contract amount at the time of Sintering.

Der überlegene Effekt des Begrenzens des Seitenverhältnisses auf 2 oder weniger gemäß der vorliegenden Erfindung wird als Ergebnis des nachstehend beschriebenen Grundes erachtet. The superior effect of limiting the aspect ratio on 2 or less according to the present invention is called Result considered for the reason described below.

Genauer gesagt wird bei dem Thermokompressionsverbindungsschritt ein Druck auf den Stapelaufbau normalerweise aus der Stapelrichtung ausgeübt, wobei die Seitenflächen durch eine Einspanneinrichtung gestützt sind, um die Form des gesamten Stapelaufbaus zu halten. Bei dem Prozess tritt eine Reibungskraft zwischen den Seitenflächen des Stapelaufbaus und der Einspanneinrichtung auf und erzeugt einen Widerstand gegenüber dem Aufbringen des Drucks. Dieser Widerstand hemmt die Übertragung des Drucks zu dem mittleren Abschnitt des Stapelaufbaus entlang der Stapelrichtung. Es wird angenommen, dass dieser Effekt mit der Zunahme des Seitenverhältnisses deutlicher sichtbar wird. More specifically, the thermocompression connecting step a pressure on the stack structure usually from the Exercised stacking direction, the side surfaces by a Jig are supported to the shape of the whole To keep stack construction. One occurs in the process Frictional force between the side surfaces of the stack structure and the jig and creates a resistance versus applying pressure. This resistance inhibits the Transfer of pressure to the middle section of the Stack construction along the stack direction. It is believed, that this effect with the increase in the aspect ratio becomes more clearly visible.

Im Hinblick darauf ist erfindungsgemäß das Seitenverhältnis (B/A) auf 2 oder weniger begrenzt. Als ein Ergebnis kann der Reibungseffekt sogar in dem Fall verringert werden, bei dem die Einspanneinrichtung verwendet wird. Ein verringertes Seitenverhältnis erleichtert das Halten der Form des Stapelaufbaus unter Druck. Daher kann der Stapelaufbau vergleichbar leicht mit Druck beaufschlagt werden, ohne die Einspanneinrichtung zum Stützen der Seitenflächen zu verwenden oder bei im Wesentlichen von der Eingrenzung durch die Einspanneinrichtung freigegebenen Seitenflächen. Somit kann die Wirkung der Einspanneinrichtung sicher entfernt werden. In view of this, the aspect ratio according to the invention (B / A) limited to 2 or less. As a result, the Friction effect can be reduced even in the case where the Clamping device is used. A reduced one Aspect ratio makes it easier to keep the shape of the Stack construction under pressure. Therefore, the stack structure can be pressurized comparatively easily without the Clamping device to support the side surfaces or at essentially from the narrowing down by the Clamp released side surfaces. Thus, the Effect of the clamping device can be safely removed.

Diese Wirkung zeigt sich deutlich sichtbar insbesondere in dem Fall, bei dem das Seitenverhältnis (B/A) 0,5 oder weniger beträgt. This effect is particularly evident in the Case where the aspect ratio (B / A) is 0.5 or less is.

Der durch das Erfindungsgemäße Verfahren hergestellte keramische Stapelaufbau hat vorzugsweise einen Teilelektrodenaufbau mit Hilfsabschnitten ohne die Innenelektrodenlagen, wobei die keramischen Lagen miteinander so in Kontakt stehen, dass die Innenelektrodenlagen an ihren Positionen in dem Stapel nicht den Seitenflächen des keramischen Stapelaufbaus ausgesetzt sind und wobei die Hilfsabschnitte bei sich abwechselnd ändernden Positionen entlang der Stapelrichtung angeordnet sind. In dem Fall des Teilelektrodenaufbaus tritt wahrscheinlich die Delamination häufiger auf. Dennoch kann der Effekt des Unterdrückens einer Delamination erzielt werden, indem das Seitenverhältnis von 2 oder weniger gesichert wird, wie dies vorstehend beschrieben ist. The ceramic produced by the method according to the invention The stack structure preferably has a partial electrode structure Auxiliary sections without the inner electrode layers, the ceramic layers are in contact so that the Inner electrode layers at their positions in the stack are not that Side surfaces of the ceramic stack structure are exposed and the auxiliary sections alternating with each other Positions are arranged along the stacking direction. By doing The case of partial electrode construction is likely to occur Delamination occurs more often. Nevertheless, the effect of the Suppression of delamination can be achieved by using the Aspect ratio of 2 or less is secured like this is described above.

Bei dem vorstehend beschriebenen Abtrennschritt wird die Abtrenntätigkeit vorzugsweise gleichzeitig an 2 oder mehr Abtrennpunkten ausgeführt. Bei dem Abtrennschritt wird der Stapelaufbau mit einem geringen Seitenverhältnis nach dem Thermokompressionsverbindungsschritt quer in einer derartigen Weise abgetrennt, dass das Seitenverhältnis erhöht wird. Bei dem Prozess würde die durch die Abtrenntätigkeit aufgebrachte Spannung dem Stapelaufbau verformen oder sich verwerfen. Durch gleichzeitiges Abtrennen des Stapelaufbaus an 2 oder mehr Stellen kann jedoch die zum Zeitpunkt des Abtrennens aufgebrachte Spannung verteilt werden und die Verformung des Stapelaufbaus kann unterdrückt werden. In dieser Weise kann die Abtrenneffizienz ebenfalls verbessert werden. In the separation step described above, the Separation activity preferably at the same time on 2 or more Separation points carried out. In the separation step, the Stacking with a low aspect ratio after the Thermocompression connecting step across such Detached way that the aspect ratio is increased. In which Process would be the one brought up by the detachment activity Deform or warp the tension in the stack. By simultaneous disconnection of the stack structure on 2 or more However, the place can be at the time of disconnection applied stress can be distributed and the deformation of the Stack construction can be suppressed. In this way, the Separation efficiency can also be improved.

Der Abtrennschritt kann ausgeführt werden, indem ein beliebiger Abtrennschritt mit einer Scherkraft unter Verwendung einer Metallklinge, einem Schleifen oder Abtrennen unter Verwendung eines Drehschleifsteins, einem Schleifen oder Abtrennen unter Verwendung einer Drahtsäge oder eines Wasserstrahls, ein Heißdrahtabtrennverfahren oder ein Ultraschallabtrennverfahren angewendet wird. The separation step can be carried out by any Severing step using a shear force Using a metal blade, grinding or severing a rotary grindstone, grinding or cutting under Using a wire saw or water jet Hot wire cutting process or an ultrasonic cutting process is applied.

Die Abtrenntätigkeit mit der Drahtsäge wird vorzugsweise ausgeführt, während eine Schleifkörner enthaltende Flüssigkeit zu dem Abtrennpunkt in Kontakt mit der Drahtsäge geliefert wird. In diesem Fall kann der Schleif- oder Abtrenneffekt der Schleifkörner mit einer hohen Abtrenneffizienz erzielt werden, während gleichzeitig die Spannung verringert wird und die Verformung des Stapelaufbaus zum Zeitpunkt des Abtrennens unterdrückt wird. Cutting with a wire saw is preferred executed while a liquid containing abrasive grains delivered to the disconnect point in contact with the wire saw. In this case, the grinding or severing effect of the Abrasive grains with a high separation efficiency can be achieved while at the same time the tension is reduced and the Deformation of the stack structure at the time of separation is suppressed.

Bei der vorstehend beschriebenen Abtrenntätigkeit unter Verwendung der Drahtsäge wird die Drahtsäge vorzugsweise in Bezug auf den Stapelaufbau vorwärts gebracht, der an einen Arbeitstisch gesetzt worden ist, der beim Ändern der Abtrennstelle bewegt wird. Genauer gesagt ist die Bewegung der Drahtsäge vorzugsweise lediglich auf die Bewegung in der Vorwärtsrichtung und Rückwärtsrichtung für die Abtrenntätigkeit begrenzt, während der Abtrennpunkt durch die Bewegung wie beispielsweise eine Drehbewegung oder parallele Bewegungen des Arbeitstisches geändert wird. Als ein Ergebnis kann der Aufbau des Abtrenngerätes vergleichsweise einfach sein. In the separation activity described above Using the wire saw, the wire saw is preferably in Brought forward in terms of stacking up to one Working table has been set when changing the Disconnection point is moved. More specifically, the movement is the Wire saw preferably only on the movement in the Forward and backward direction for severing activity limited while the disconnect point by moving like for example a rotational movement or parallel movements of the Work table is changed. As a result, the construction the separator be comparatively simple.

Die Abtrenntätigkeit unter Verwendung eines Wasserstrahls wird vorzugsweise unter Verwendung von Schleifkörner enthaltendem Hochdruckwasser ausgeführt. Auch in diesem Fall kann eine effiziente Abtrenntätigkeit durch den Schleifeffekt oder Abtrenneffekt der Strömung einer die Schleifkörner enthaltenden Schleifflüssigkeit verwirklicht werden, während gleichzeitig die Verformung des abzutrennenden Stapelaufbaus unterdrückt wird. The separation activity using a water jet will preferably using abrasive grits High pressure water running. In this case too efficient cutting through the grinding effect or Separation effect of the flow of one containing the abrasive grains Grinding fluid can be realized while the Deformation of the stack structure to be separated is suppressed.

Die Abtrenntätigkeit wird vorzugsweise bei an einer Leerplatte unter Verwendung eines Haftmittels verbundenem Stapelaufbau ausgeführt, während die Leerplatte fixiert gehalten wird. Als ein Ergebnis kann jeder abgetrennte und separierte Stapelaufbau an der Leerplatte zum Zwecke einer verbesserten Effizienz und einer erhöhten Genauigkeit des Abtrennprozesses fixiert gehalten werden. The separation activity is preferably carried out on an empty plate stack assembly bonded using an adhesive executed while the blank plate is kept fixed. As any separated and separated stack structure can produce a result on the blank panel for the purpose of improved efficiency and an increased accuracy of the separation process become.

Das Haftmittel hat vorzugsweise einen geringeren Schmelzpunkt als das Thermoplastharz bei dem Rohblatt. In diesem Fall kann das Haftmittel bei dem anschließendem Sinterschritt oder Entfettungsschritt entfernt werden, wodurch erleichtert wird, die Leerplatte und den Stapelaufbau voneinander zu trennen. The adhesive preferably has a lower melting point than the thermoplastic resin on the raw sheet. In this case the adhesive in the subsequent sintering step or Degreasing step are removed, thereby facilitating separate the empty plate and the stack structure.

Der Abtrennschritt wird vorzugsweise ausgeführt, indem der Stapelaufbau an einer Einspannflüssigkeit angeordnet wird, die zum Fixieren des Stapelaufbaus gefroren wird. In diesem Fall kann der Stapelaufbau sehr leicht fixiert werden und in stabiler Weise fixiert gehalten werden, um dadurch ein Rationalisieren des Abtrennschrittes zum Zwecke einer verbesserten Abtrenngenauigkeit zu ermöglichen. Die Einspannflüssigkeit umfasst Wasser oder ein organisches Material wie beispielsweise Butylbenzylphtahalat, (BBP). The separation step is preferably carried out by the Stack structure is arranged on a clamping fluid, the is frozen to fix the stack structure. In this case the stack structure can be fixed very easily and in a more stable manner To be kept fixed in order to thereby rationalize the separation step for the purpose of improved To enable separation accuracy. The clamping fluid includes water or an organic material such as Butylbenzyl phthalate, (BBP).

Erfindungsgemäß wird die Abtrenntätigkeit nicht unbedingt gänzlich ausgeführt, sondern kann in der Mitte angehalten werden, und der verbleibende Abschnitt des Stapelaufbaus kann abgetrennt werden. According to the invention, the separation activity is not essential executed entirely, but can be stopped in the middle and the remaining portion of the stack can be separated.

Das Rohblatt enthält vorzugsweise keramische Partikel und Thermoplastharz in dem Gewichtsverhältnis von 100 : 3 bis 100 : 7. The raw sheet preferably contains ceramic particles and Thermoplastic resin in the weight ratio of 100: 3 to 100: 7.

In dem Fall, bei dem das Verhältnis des Thermoplastharzes geringer als 100 : 3 ist, ergibt sich ein Problem einer verringerten Blattfestigkeit oder einer verringerten Thermokompressionsverbindungsfähigkeit. In dem Fall, bei dem das Verhältnis des Thermoplastharzes größer als 100 : 7 ist, wird andererseits ein derartiges Problem bewirkt, wie eine Delamination durch die erhöhte Entgasungsmenge oder Gasabgabemenge bei dem Entfettungsschritt, oder die Maßgenauigkeit wird aufgrund eines zunehmenden Kontrahierens bei dem Sinterschritt verringert. In the case where the ratio of the thermoplastic resin is less than 100: 3, a problem arises reduced sheet strength or a reduced Thermocompression bonding capability. In the event that Ratio of the thermoplastic resin is greater than 100: 7 on the other hand causes such a problem as one Delamination due to the increased amount of degassing or Gas release amount in the degreasing step, or the Dimensional accuracy is due to increasing contracting the sintering step is reduced.

Ein Verfahren zum Herstellen eines keramischen Stapelaufbaus gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung ist nachstehend unter Bezugnahme auf die Fig. 1 bis 4 erläutert. A method for producing a ceramic stack structure according to an exemplary embodiment of the invention is explained below with reference to FIGS . 1 to 4.

Dieses Ausführungsbeispiel zeigt ein Verfahren zum Herstellen eines keramischen Stapelaufbaus 1, der keramischen Lagen 11 und Innenelektrodenlagen 21 und 22 abwechselnd zueinander gestapelt aufweist. This exemplary embodiment shows a method for producing a ceramic stack structure 1 which has ceramic layers 11 and inner electrode layers 21 and 22 alternately stacked with one another.

Das Herstellverfahren gemäß diesem Ausführungsbeispiel, das in den Fig. 1 und 2a bis 2f gezeigt ist, weist die folgenden Schritte auf: einen Blattausbildungsschritt S1 zum Erzeugen von Rohblättern 10, die zumindest keramische Partikel und ein Thermoplastharz enthalten, einen Elektrodendruckschritt S2 zum Drucken eines Elektrodenpastenmaterials an der Oberfläche der Rohblätter 10, einen Thermokompressionsverbindungsschritt S3 zum Erwärmen eines Stapelaufbaus 100 mit einem Stapel der Rohblätter 10, während gleichzeitig ein Druck auf den Stapelaufbau aus der Stapelrichtung ausgeübt wird, einen Abtrennschritt S4, bei dem der Stapelaufbau 100 quer abgetrennt wird, und einen Sinterschritt S5 (welcher als der Entfettungsschritt/Sinterschritt bei diesem Ausführungsbeispiel bezeichnet ist, wobei das Entfetten ebenfalls umfasst ist) zum Sintern des somit abgetrennten Stapelaufbaus 105. Bei dem Thermokompressionsverbindungsschritt S3 wird angenommen, dass die Breite des Stapelaufbaus 100A und seine Stapelhöhe entlang der Stapelrichtung B ist. Die Stapelhöhe 8 beträgt 3 mm oder mehr und das Seitenverhältnis (B/A) beträgt 2 oder weniger. The manufacturing method according to this exemplary embodiment, which is shown in FIGS. 1 and 2a to 2f, has the following steps: a sheet formation step S1 for producing raw sheets 10 which contain at least ceramic particles and a thermoplastic resin, an electrode printing step S2 for printing an electrode paste material on the surface of the green sheets 10 , a thermocompression connecting step S3 for heating a stack structure 100 with a stack of the green sheets 10 while simultaneously exerting pressure on the stack structure from the stacking direction, a separation step S4 in which the stack structure 100 is transversely separated, and one Sintering step S5 (which is referred to as the degreasing step / sintering step in this exemplary embodiment, wherein degreasing is also included) for sintering the stack structure 105 thus separated. In the thermocompression connection step S3, it is assumed that the width of the stack structure is 100 A and its stack height along the stack direction B. The stack height 8 is 3 mm or more and the aspect ratio (B / A) is 2 or less.

Dieses Ausführungsbeispiel ist nachstehend detailliert erläutert. This embodiment is detailed below explained.

Gemäß diesem Ausführungsbeispiel wird, wie dies in den Fig. 1 und 2a gezeigt ist, ein in einer Rolle ausgebildetes (nicht gezeigtes) Rohblatt zu Rohblättern 10 in einer leicht zu handhabenden Größe bei dem Blattausbildungsschritt S1 abgetrennt. Das Rohblatt in der Rolle kann durch ein beliebiges Verfahren von verschiedenen Verfahren ausgebildet werden, die das Rakelklingenverfahren und den Extrusionsformprozess umfassen. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird das aufgerollte lange keramische Blatt durch das Rakelklingenverfahren hergestellt, und viereckige Rohblätter 10 mit jeweils einer Dicke von T1 von ungefähr 0,1 mm und einer Breite W1 von 100 mm werden abgetrennt. According to this embodiment, as shown in FIGS . 1 and 2a, a green sheet formed in a roll (not shown) is cut into green sheets 10 in an easy-to-use size in the sheet forming step S1. The raw sheet in the roll can be formed by any of various methods including the doctor blade method and the extrusion molding process. In this embodiment, the rolled-up long ceramic sheet is produced by the doctor blade method, and square raw sheets 10 each having a thickness of T 1 of approximately 0.1 mm and a width W 1 of 100 mm are separated.

Die Rohblätter werden aus einem Material hergestellt, das so eingestellt ist, dass es die erwünschte piezoelektrische Keramik nach dem Sintern ausbildet. Genauer gesagt wendet von den verschiedenen Materialien, die verwendet werden können, dieses Ausführungsbeispiel ein Material an, das PZT (Bleizirkonattitanat) - Partikel, PVD als Thermoplastikharz und andere Additive enthält. The raw leaves are made from a material like this is set to be the desired piezoelectric ceramic after sintering. More specifically, apply from the different materials that can be used this Embodiment a material, the PZT (Lead zirconate titanate) - particles, PVD as thermoplastic resin and contains other additives.

Auch bei diesem Ausführungsbeispiel ist die Fläche von jedem Rohblatt 10 auf derartige Größe eingestellt, das 42 keramische Lager 11 des Keramikstapelaufbaus schließlich erhalten werden können. In this exemplary embodiment too, the area of each raw sheet 10 is set to such a size that 42 ceramic bearings 11 of the ceramic stack structure can finally be obtained.

Danach wird gemäß den Fig. 1 und 2b der Elektrodendruckschritt S2 ausgeführt. Bei diesem Schritt wird ein Elektrodenpastenmaterial (nachstehend ist dies als die Innenelektrodenlage 2 bezeichnet), das die Innenelektrodenlagen 21 und 22 bildet, in einem Muster an jedem Rohblatt 10 gedruckt. Bei dem Prozess wird das gedruckte Muster der Innenelektrodenlagen 2 so gesetzt, dass es einen Hilfsabschnitt 15 (siehe Fig. 4) an der keramischen Lage 11 ausbildet, um einen Teilelektrodenaufbau schließlich zu erzeugen. The electrode printing step S2 is then carried out according to FIGS. 1 and 2b. In this step, an electrode paste material (hereinafter referred to as the inner electrode layer 2 ), which forms the inner electrode layers 21 and 22, is printed in a pattern on each raw sheet 10 . In the process, the printed pattern of the inner electrode layers 2 is set so that it forms an auxiliary portion 15 (see FIG. 4) on the ceramic layer 11 to finally create a partial electrode structure.

Wie dies in den Fig. 1 und 2c, 2d gezeigt ist, wird der Thermokompressionsverbindungsschritt S3 ausgeführt. Zunächst wird bei diesem Thermokompressionsverbindungsschritt S3 ein Stapelaufbau 100 ausgebildet, in dem 270 mit der Innenelektrodenlage 2 bedruckte Rohblätter 10 gestapelt werden. Gleichzeitig wird, um zu verhindern, dass die Innenelektrodenlage 2 an den Endflächen entlang der Stapelrichtung freigelegt wird, ein Rohblatt 10, das nicht mit der Innenelektrodenlage bedruckt ist, für die oberste Lage verwendet. In dem Fall, bei dem eine Leerlage oder eine Pufferlage vorgesehen ist, wird eine Vielzahl an Rohblättern, die nicht mit der Innenelektrodenlage bedruckt sind, fortlaufend gestapelt. As shown in Figs. 1 and 2c, 2d, the thermocompression connecting step S3 is carried out. First, in this thermocompression connection step S3, a stack structure 100 is formed, in which 270 raw sheets 10 printed with the inner electrode layer 2 are stacked. At the same time, in order to prevent the inner electrode layer 2 from being exposed at the end faces along the stacking direction, a blank sheet 10 that is not printed with the inner electrode layer is used for the uppermost layer. In the case where an empty layer or a buffer layer is provided, a plurality of raw sheets that are not printed with the inner electrode layer are continuously stacked.

Bei dem Thermokompressionsverbindungsschritt S3 wird gemäß Fig. 2d ein Druck an dem Stapelaufbau 100 aus der Stapelrichtung ausgeübt, während gleichzeitig dieser erwärmt wird. Bei diesem Prozess hat der Stapelaufbau 100 eine Breite A von 100 mm und eine Stapelhöhe b von ungefähr 27 mm bei einem Seitenverhältnis von ungefähr 0,27. In the thermocompression connection step S3, pressure is exerted on the stack structure 100 from the stack direction as shown in FIG. 2d, while at the same time it is heated. In this process, the stack structure 100 has a width A of 100 mm and a stack height b of approximately 27 mm with an aspect ratio of approximately 0.27.

Die Bedingungen für den Thermokompressionsverbindungsprozess umfassen eine Erwärmungstemperatur von 120°C und einen Druck von 30 MPa. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird eine Spanneinrichtung zum Stützen des Seitenflächen des Stapelaufbaus 100 verwendet. The conditions for the thermocompression bonding process include a heating temperature of 120 ° C and a pressure of 30 MPa. In this embodiment, a tensioner is used to support the side surfaces of the stack structure 100 .

Danach wird gemäß den Fig. 1 und 2e der Abtrennschritt S4 ausgeführt. Bei dem Abtrennschritt S4 wird, wie dies vorstehend beschrieben ist, der durch das Thermokompressionsverbinden von 270 Rohblättern 10 ausgebildete Stapelaufbau 100 quer abgetrennt und in 42 Stapelaufbaueinheiten 105 getrennt. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird der Wasserstrahl als Abtrenneinrichtung verwendet. Thereafter, the separation step S4 is carried out according to FIGS. 1 and 2e. In the separation step S4, as described above, the stack structure 100 formed by the thermocompression bonding of 270 green sheets 10 is separated transversely and separated into 42 stack structure units 105 . In this embodiment, the water jet is used as a separation device.

Genauer gesagt wird zunächst der Stapelaufbau 100 mit einer Leerplatte unter Verwendung eines (nicht gezeigten) Haftmittels verbunden. Die Leerplatte ist aus Aluminiumoxid hergestellt und das Haftmittel ist aus einem Thermoplastharz mit einem geringeren Schmelzpunkt als das Gegenstück bei den Rohblättern 10 ausgebildet. More specifically, the stack assembly 100 is first connected to an empty plate using an adhesive (not shown). The blank plate is made of aluminum oxide and the adhesive is made of a thermoplastic resin with a lower melting point than the counterpart for the raw sheets 10 .

Sechs Düsen werden zum Ausspritzen des Hochdruckwassers verwendet. Das Wasser mit einem hohen Druck ungefähr 370 MPa, das ein Gemisch aus natürlichem Granat enthält, wird in dieser Weise ausgespritzt, um den Stapelaufbau 100 an sechs Stellen gleichzeitig abzutrennen. Dieser Prozess wird wiederholt. Als ein Ergebnis wird der mit der oberen Fläche der Leerplatte verbundene Stapelaufbau 100 in 42 Stapelaufbaueinheiten 105 getrennt. Da das Leerelement nicht abgetrennt wird, sondern einstückig gehalten wird, bleiben die 42 Stapelaufbaueinheiten 105 ordentlich an der Leerplatte angeordnet. Six nozzles are used to spray the high pressure water. The high pressure water, approximately 370 MPa, containing a mixture of natural garnet is jetted in this manner to separate the stack assembly 100 at six locations simultaneously. This process is repeated. As a result, the stack assembly 100 connected to the top surface of the blank panel is separated into 42 stack assembly units 105 . Since the empty element is not separated, but is held in one piece, the 42 stack assembly units 105 remain properly arranged on the empty plate.

Bei diesem Ausführungsbeispiel wird, wie dies in den Fig. 1 und 2f gezeigt ist, der Schritt S5 des Entfettens/Sinterns ausgeführt, bei dem der Entfettungsschritt vor dem Sinterschritt ausgeführt wird. Bei diesem Schritt S5 wird die Stapelaufbaueinheit 105 entfettet, indem sie bei 400°C fünf Stunden lang gehalten wird, wobei danach ein Ausführen des Sinterschrittes folgt, bei dem der Stapelaufbau 105 bei 1100°C zwei Stunden lang gehalten wird. Als Ergebnis des Erwärmens bei dem Schritt S5 zum Entfetten/Sintern sind die Stapelaufbaueinheiten 105 entfettet und gesintert, um einen einstückigen Keramikstapelaufbau 1 auszubilden. Das Haftmittel, das bislang die Stapelaufbaueinheiten 105 verbunden hat, wird durch die Wärme weggeschmolzen, so dass jeder Keramikstapelaufbau 1 von der Leerplatte getrennt ist. In this embodiment, as shown in Figs. 1 and 2f, the degreasing / sintering step S5 is carried out, in which the degreasing step is carried out before the sintering step. In this step S5, the stack assembly unit 105 is degreased by holding it at 400 ° C for five hours, followed by performing the sintering step in which the stack assembly 105 is held at 1100 ° C for two hours. As a result of the heating in the degreasing / sintering step S5, the stack assembly units 105 are degreased and sintered to form a one-piece ceramic stack assembly 1 . The adhesive, which has been connected to the stack forming units 105 is melted away by the heat so that each ceramic stack structure is separated from the dummy plate. 1

Bei dem Schleifschritt S6 werden, wie dies in Fig. 1 gezeigt ist, die Seitenflächen des Keramikstapelaufbaus 1 zu der erwünschten Form geschliffen. Der schließlich erhaltene keramische Stapelaufbau 1 hat ein Seitenverhältnis von ungefähr 2,7. In the grinding step S6, as shown in FIG. 1, the side surfaces of the ceramic stack assembly 1 are ground to the desired shape. The ceramic stack structure 1 finally obtained has an aspect ratio of approximately 2.7.

Der keramische Stapelaufbau 1 kann unverändert verwendet werden oder er kann zu einer anderen Art an keramischem Stapelaufbau mit einem hohen Seitenverhältnis verbessert werden, indem eine Vielzahl an keramischen Stapeleinheiten 1 entlang der Stapelrichtung unter Verwendung eines Haftmittels oder Lötmittels verbunden werden. The ceramic stack structure 1 can be used as it is, or it can be upgraded to another type of ceramic stack structure with a high aspect ratio by joining a plurality of ceramic stack units 1 along the stacking direction using an adhesive or solder.

In dem Fall, bei dem der keramische Stapelaufbau 1 für ein piezoelektrisches Betätigungsglied oder dergleichen verwendet wird, können die Seitenelektroden oder die (nicht gezeigten) externen Elektroden an den Seitenflächen 101 und 102 (siehe Fig. 3) von ihm vorgesehen sein. In the case where the ceramic stack structure 1 is used for a piezoelectric actuator or the like, the side electrodes or the external electrodes (not shown) may be provided on the side surfaces 101 and 102 (see FIG. 3) thereof.

Bei diesem Ausführungsbeispiel wurde der sich ergebende keramischen Stapelaufbau 1 beobachtet und er wurde im Hinblick auf Fehler wie beispielsweise eine Delamination untersucht. Als ein Ergebnis wurde herausgefunden, dass der keramische Stapelaufbau 1 gemäß diesem Ausführungsbeispiel keine Fehler wie beispielsweise eine Delamination hatte. In this embodiment, the resulting ceramic stack 1 was observed and examined for defects such as delamination. As a result, it was found that the ceramic stack structure 1 according to this embodiment had no defects such as delamination.

Insbesondere nimmt der keramischen Stapelaufbau 1 gemäß diesem Ausführungsbeispiel die Form eines Teilelektrodenaufbaus gemäß den Fig. 3 und 4 ein. Im Gegensatz zu dem Zustand vor dem Thermokompressionsverbinden ist daher die Dicke T1 der keramischen Lage 2 an dem Hilfsabschnitt 15, der die Innenelektrodenlage 2 nicht hat, ungefähr 100 µm und die Gesamtdicke T2 der Innenelektrodenlage 2 und der keramischen Lage 2 beträgt ungefähr 103 µm oder die Differenz beträgt 3 µm. In dem Fall von 270 Lagen führt der Umstand, dass die Hilfsabschnitte 15 sich zwischen der rechten und linken Seite abwechseln, zu der Stapelhöhendifferenz von ungefähr 405 µm (= 3 µm × 100 : 135 Lagen). In dem Fall des Teilelektrodenaufbaus kann daher der Zwischenraum von 405 µm nicht gefüllt werden, wenn nicht ein ausreichender Druck entlang der Stapelrichtung übertragen wird, was in unerwünschter Weise eine Delamination bei dem nachfolgenden Sinterschritt bewirkt. In particular, the ceramic stack structure 1 according to this exemplary embodiment takes the form of a partial electrode structure according to FIGS . 3 and 4. Therefore, in contrast to the state before the thermocompression bonding, the thickness T 1 of the ceramic base 2 to the auxiliary portion 15 which does not have the internal electrode layer 2 microns about 100 and the total thickness T 2 of the internal electrode layer 2 and the ceramic layer 2 is about 103 microns or the difference is 3 µm. In the case of 270 layers, the fact that the auxiliary sections 15 alternate between the right and left sides leads to the stack height difference of approximately 405 μm (= 3 μm × 100: 135 layers). In the case of the partial electrode structure, therefore, the gap of 405 μm cannot be filled unless sufficient pressure is transmitted along the stacking direction, which undesirably causes delamination in the subsequent sintering step.

Gemäß diesem Ausführungsbeispiel wird dieser Nachteil des Teilelektrodenaufbaus ebenfalls überwunden und die Delamination kann unterdrückt werden. According to this embodiment, this disadvantage of Partial electrode structure also overcome and delamination can be suppressed.

Nachstehend ist ein Vergleichsbeispiel 1 beschrieben. A comparative example 1 is described below.

Als ein Vergleichsbeispiel wird ein keramischer Stapelaufbau durch ein sich von dem vorstehend beschriebenen ersten Ausführungsbeispiel unterscheidendes Verfahren hergestellt und wird im Hinblick auf eine Delamination oder andere Fehler untersucht. A ceramic stack structure is used as a comparative example by a different from the first described above Manufacturing method differentiating and will with regard to delamination or other errors examined.

Das Herstellverfahren gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel ist demjenigen des ersten Ausführungsbeispiel bis zu dem Blattausbildungsschritt S21 und dem Elektrodendruckschritt S22 identisch, wie dies in den Fig. 5, 6a und 6b gezeigt ist. Bei dem ersten Vergleichsbeispiel wird jedoch, wie dies in den Fig. 5 und 6c bis 6e gezeigt ist, ein Rohblatt 10 abgetrennt, einen Stapelaufbau 900 auszubilden, der dem Thermokompressionsverbinden unterworfen wird. Bei diesem Prozess werden die Seitenumfangsflächen des Stapelaufbaus 900 mit einer Einspanneinrichtung gestützt. The manufacturing method according to the first comparative example is identical to that of the first embodiment up to the sheet forming step S21 and the electrode printing step S22, as shown in FIGS. 5, 6a and 6b. In the first comparative example, however, as shown in FIGS . 5 and 6c to 6e, a raw sheet 10 is cut off to form a stack structure 900 which is subjected to thermocompression bonding. In this process, the side peripheral surfaces of the stack assembly 900 are supported with a jig.

Der dem Thermokompressionsverbindungsschritt S24 unterworfene Stapelaufbau 900 hat eine Stapelhöhe B9 von ungefähr 27 mm und eine Breit A9 von ungefähr 10 mm bei einem Seitenverhältnis von ungefähr 2,7. The stack structure 900 subjected to the thermocompression connection step S24 has a stack height B 9 of approximately 27 mm and a width A 9 of approximately 10 mm with an aspect ratio of approximately 2.7.

Nach dem Thermokompressionsverbindungsschritt S24 werden der Schritt S25 zum Entfetten/Sintern und der Schleifschritt S26 unter gleichen Bedingungen wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel ausgeführt, um dadurch einen keramischen Stapelaufbau 9 herzustellen. After the thermocompression joining step S24, the degreasing / sintering step S25 and the grinding step S26 are carried out under the same conditions as in the first embodiment, to thereby produce a ceramic stack structure 9 .

Der somit erhaltene keramische Stapelaufbau 9 wurde untersucht im Hinblick auf Fehler wie beispielsweise Delaminationen. Als ein Ergebnis wurde bestätigt, dass der keramische Stapelaufbau 9 gemäß dem ersten Vergleichsbeispiel eine Vielzahl an Delaminationen entwickelte. Außerdem wurde herausgefunden, dass viele Delaminationen an dem mittleren Abschnitt des keramischen Stapelaufbaus 9 entlang der Stapelrichtung aufgetreten waren. The ceramic stack structure 9 thus obtained was examined with regard to defects such as delaminations. As a result, it was confirmed that the ceramic stack structure 9 according to the first comparative example developed a variety of delaminations. In addition, it was found that many delaminations occurred at the central portion of the ceramic stack 9 along the stack direction.

Das erste Ausführungsbeispiel und das erste Vergleichsbeispiel zeigen, dass die Delamination sehr effektiv unterdrückt werden kann, indem das Seitenverhältnis auf 2 oder weniger bei dem Thermokompressionsverbindungsschritt verringert wird. The first embodiment and the first comparative example show that delamination is suppressed very effectively can by changing the aspect ratio to 2 or less at the Thermocompression connection step is reduced.

Nachstehend ist ein Ausführungsbeispiel 2 beschrieben. An embodiment 2 is described below.

Bei diesem Ausführungsbeispiel wird der Umstand berücksichtigt, dass die Delamination bei dem ersten Vergleichsbeispiel häufig an dem mittleren Abschnitt des keramischen Stapelaufbaus entlang der Stapelrichtung auftrat, wobei ein Versuch unternommen wurde, um die Druckverteilung entlang der Stapelrichtung bei dem Thermokompressionsverbindungsschritt zu bestimmen. Genauer gesagt wurde die Änderung der Dicke von jedem Rohblatt 10 vor und nach dem Thermokompressionsverbinden als eine alternative Druckeigenschaft untersucht. In this embodiment, the fact that the delamination in the first comparative example frequently occurred at the central portion of the ceramic stack structure along the stack direction was taken into consideration, and an attempt was made to determine the pressure distribution along the stack direction in the thermocompression connection step. More specifically, the change in thickness of each blank sheet 10 before and after thermocompression bonding was examined as an alternative printing property.

Der für die Untersuchung verwendete Stapelaufbau war wie bei dem ersten Vergleichsbeispiel ungefähr 10 mm breit und ungefähr 27 mm hoch bei einem Seitenverhältnis von ungefähr 2,7. Das Thermokompressionsverbinden wurde wie bei dem ersten Vergleichsbeispiel ausgeführt, um die Dickenänderung von jedem Rohblatt vor und nach dem speziellen Thermokompressionsverbindungsschritt zu messen. Ein Teilelektrodenaufbau, der demjenigen des ersten Ausführungsbeispiels und des ersten Vergleichsbeispiels ähnlich war, wurde als ein Muster der Innenelektrodenlagen angewendet. The stack structure used for the investigation was the same as that first comparative example about 10 mm wide and about 27 mm high with an aspect ratio of approximately 2.7. The Thermocompression joining was like the first Comparative example performed to change the thickness of each Raw leaf before and after the special one Measure thermocompression connection step. On Partial electrode structure that that of the first Embodiment and the first comparative example similar was applied as a pattern of the inner electrode layers.

Das Ergebnis ist in Fig. 7 gezeigt. In Fig. 7 zeigt die Abszisse die Stapelposition entlang der Stapelrichtung und die Ordinate zeigt einen numerischen Wert der Dicke nach dem Kompressionsverbinden geteilt durch die Dicke vor dem Kompressionsverbinden. The result is shown in FIG. 7. In Fig. 7, the abscissa shows the stacking position along the stacking direction, and the ordinate shows a numerical value of the thickness after the compression bonding divided by the thickness before the compression bonding.

Wie dies aus Fig. 7 ersichtlich ist, ist in dem Fall, bei dem das Seitenverhältnis 2,7 ist, die Dicke des mittleren Abschnittes entlang der Stapelrichtung auf einen kleineren Grad verringert, was anzeigt, dass der Druck nicht ausreichend zum Zeitpunkt des Thermokompressionsverbindens übertragen worden ist. As can be seen from Fig. 7, in the case where the aspect ratio of 2, 7 is reduced, the thickness of the middle portion along the stacking direction to a smaller degree, which indicates that the pressure is not sufficiently transmitted at the time of thermocompression bonding has been.

Bei diesem Ausführungsbeispiel wurden die Dickenänderung des Rohblattes vor und nach dem Thermokompressionsverbinden in Bezug auf das Seitenverhältnis und die Delamination überprüft durch ein Ändern der Höhe des Stapelaufbaus d. h. der Anzahl der gestapelten Rohblätter und somit durch ein Ändern des Seitenverhältnisses. In this embodiment, the change in thickness of the Blank before and after thermocompression bonding in relation checked for aspect ratio and delamination by changing the height of the stack d. H. the number of stacked raw leaves and thus by changing the Aspect ratio.

Das Ergebnis ist in Fig. 8 gezeigt. In Fig. 8 zeigt die Abszisse die Stapelhöhe und das Seitenverhältnis, zeigt die linke Ordinate einen numerischen Wert, der gleich der Dicke nach dem Kompressionsverbinden geteilt durch die Dicke vor dem Kompressionsverbinden ist, und zeigt die rechte Ordinate die Anzahl an Delaminationen bei Umwandlung auf die Stapelhöhe von 50 mm. The result is shown in Fig. 8. In Fig. 8, the abscissa shows the stack height and the aspect ratio, the left ordinate shows a numerical value equal to the thickness after compression joining divided by the thickness before compression joining, and the right ordinate shows the number of delaminations when converted to that Stack height of 50 mm.

Es ist aus Fig. 7 ersichtlich, dass, je geringer das Seitenverhältnis ist, desto weniger Delaminationen auftreten. Insbesondere für das Seitenverhältnis von 2 oder weniger sind die Delaminationen erheblich verringert. Für das Seitenverhältnis von 0,5 oder weniger trat überhaupt keine Delamination auf. It can be seen from Fig. 7 that the lower the aspect ratio, the less delamination occurs. Especially for the aspect ratio of 2 or less, the delaminations are considerably reduced. No delamination occurred at all for the aspect ratio of 0.5 or less.

Dieses Ergebnis offenbart, dass eine Delamination wirksam verhindert werden kann, wenn das Seitenverhältnis 2 oder weniger oder vorzugsweise nur 0,5 oder weniger zum Zeitpunkt des Thermokompressionsverbindens beträgt. This result reveals that delamination can be effectively prevented if the aspect ratio is 2 or less, or preferably only 0.5 or less, at the time of thermocompression bonding.

Nachstehend ist ein Ausführungsbeispiel 3 beschrieben. An embodiment 3 is described below.

Bei diesem Ausführungsbeispiel ist die Abtrenngenauigkeit bei dem Abtrennverfahren unter Verwendung eines Wasserstrahls bei dem Abtrennschritt gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel verifiziert. In this embodiment, the separation accuracy is the separation process using a water jet the separation step according to the first embodiment Verified.

Zunächst wird zum Zwecke eines Vergleichs gemäß Fig. 9 ein Stapelaufbau 100, der demjenigen des ersten Ausführungsbeispiels ähnlich ist und der durch ein Haftmittel mit einer Lehrplatte 79 verbunden ist, durch einen von einer einzelnen Düse 71 ausgespritzten Wasserstreifen von 70 abgetrennt. Der Wasserstrahl wird auf einen Druck auf 370 MPa eingestellt und enthält keine Schleifkörner. Außerdem wird der Wasserstrahl bei einer Rate von 150 mm pro Minute zugeführt. First, for the purpose of comparison according to FIG. 9, a stack structure 100 , which is similar to that of the first exemplary embodiment and which is connected to a teaching plate 79 by an adhesive, is separated by a strip of water 70 sprayed from a single nozzle 71 . The water jet is set to a pressure of 370 MPa and contains no abrasive grains. In addition, the water jet is fed at a rate of 150 mm per minute.

In diesem Fall wird gemäß Fig. 9 ein Zwischenraum an der Abtrennposition 81 erzeugt. Beim Abtrennen an der zweiten Abtrennposition 82 wird daher der Stapelaufbau 100 durch die Abtrennspannung aufgrund des Wasserstrahls verformt. Als ein Ergebnis wird der geschnittene Stapelaufbau bei der Rate von 1 mm pro 27 mm entlang der Stapelrichtung verzogen. In this case, a space is created at the separation position 81 as shown in FIG. 9. When cutting off at the second cut-off position 82 , the stack structure 100 is therefore deformed by the cut-off voltage due to the water jet. As a result, the cut stack assembly is warped at the rate of 1 mm per 27 mm along the stack direction.

In dem Fall, bei dem Schleifkörner mit einem natürlichen Granat (#80) mit dem Wasserstrahl vermischt sind, wird andererseits das Verziehen auf 0,5 mm oder weniger pro 27 mm trotz der Anwendung der Gleichen einzelner Düsen 71 verringert. On the other hand, in the case where abrasive grains with a natural garnet (# 80) are mixed with the water jet, the warpage is reduced to 0.5 mm or less per 27 mm despite the use of the same individual nozzles 71 .

Des Weiteren wird gemäß Fig. 10 eine Vielzahl an Düsen 71 wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel zum Abtrennen des Stapelaufbaus an einer Vielzahl von Punkten unter Verwendung von Schleifkörnern verwendet. In diesem Fall tritt das vorstehend beschriebene Verziehen im Wesentlichen nicht auf. Furthermore, according to Fig. 10, a plurality of nozzles 71 as used in the first embodiment for separating the stack structure at a plurality of points using abrasive grains. In this case, the warping described above essentially does not occur.

Je weniger Delaminationen nach dem Sintern auftreten, desto geringer ist das Verziehen des Stapelaufbaus. Außerdem wurden keine Delaminationen bei dem Stapelaufbau beobachtet, der im Wesentlichen frei von Verzug war. The less delamination after sintering, the less less warping of the stack structure. Besides, were no delaminations were observed in the stack construction which occurred in the Was essentially free of delay.

Dieses Ergebnis zeigt, dass die Delamination noch wirksamer verhindert werden kann, indem das Verziehen zum Zeitpunkt des Abtrennens unterdrückt wird und außerdem das Seitenverhältnis zum Zeitpunkt des Thermokompressionsverbindens gesteuert wird. This result shows that the delamination is even more effective can be prevented by warping at the time of Separation is suppressed and also the aspect ratio is controlled at the time of thermocompression connection.

Das Fixieren des Stapelaufbaus, indem dieser mit der Leerplatte verbunden wird, wird ebenfalls als ein gewisser Beitrag im Hinblick auf das Unterdrücken der Fehler zum Zeitpunkt des Abtrennens erachtet. In dem Fall, bei dem eine einzelne Düse für den Wasserstrahl verwendet wird, ist es jedoch nicht ausreichend, lediglich den Stapelaufbau zu fixieren. Fixing the stack structure by placing it with the blank plate is also considered a certain contribution in the Regarding the suppression of errors at the time of Considered separating. In the case where a single nozzle for the water jet is used, however, it is not sufficient only to fix the stack structure.

Ein andere Antrenneinrichtung außer der Wasserstrahl, die das Scheren mit einem Metallblatt, das Drehabtrennen mit einem Schleifstein und das Abtrennen mit einer Drahtsäge umfassen, entwickelt ebenfalls einen Verzug in dem Fall, bei dem die Abtrenntätigkeit an lediglich einer Stelle ausgeführt wird. Die Abtrennspannung wird durch das Blattvolumen für das Abtrennen mit einem Metallblatt, durch das Drahtvolumen für das Abtrennen mit einer Drahtsäge und durch das Volumen des Schleifsteins für das Abtrennen mit einem Schleifstein erzeugt. Bei jedem dieser Fälle kann das Verziehen wahrscheinlich verhindert werden, indem der Abtrennvorgang bei einer Vielzahl an Punkten gleichzeitig ausgeführt wird. Another disconnect device other than the water jet that does that Scissors with a metal blade, the rotary cutting with a Grinding stone and cutting with a wire saw, also develops a delay in the case where the Separation work is carried out in only one place. The Cutoff voltage is determined by the sheet volume for the cutoff with a metal sheet, through the wire volume for severing with a wire saw and through the volume of the grindstone for separating with a grindstone. With each of these In such cases, warping can probably be prevented by the separation process for a large number of points at the same time is performed.

Wie dies vorstehend beschrieben ist, ist es erforderlich, dass die Breiten in beiden Richtungen (in der Stapelrichtung und in der senkrecht zu dieser stehenden Richtung) des Stapelaufbaus erhöht werden, um das Seitenverhältnis vor dem Kompressionsverbinden zu verringern. In dem Fall, bei dem der erwünschte keramische Stapelaufbau ein Parallelepiped ist, ist es erforderlich, dass die beiden Seiten entlang der Breite nach dem Thermokompressionsverbinden abgetrennt werden. Wie dies in Fig. 11 gezeigt ist, kann daher der Stapelaufbau in Stücke in einem tessellierten Muster oder Mosaikmuster abgetrennt werden. In dem Fall, bei dem jede keramische Lage kreisartig ist, kann andererseits gemäß Fig. 12 die Abtrenntätigkeit bei einer Vielzahl an Kreisabtrennpositionen 84 bei einer Vielzahl an Kombinationen ausgeführt werden. As described above, it is necessary that the widths be increased in both directions (in the stacking direction and in the direction perpendicular to this) of the stack structure in order to reduce the aspect ratio before compression bonding. In the case where the desired ceramic stack structure is a parallelepiped, it is necessary that the two sides be cut along the width after the thermocompression bonding. Therefore, as shown in Fig. 11, the stack structure can be separated into pieces in a tessellated pattern or mosaic pattern. In the case where each ceramic sheet is circular, on the other hand, as shown in FIG. 12, the cutting operation can be carried out in a plurality of circular cutting positions 84 in a variety of combinations.

Das Verfahren zum Herstellen des keramischen Stapelaufbaus ist geschaffen, das eine Delamination verhindern kann, während gleichzeitig die Größe verringert ist und eine hohe Zuverlässigkeit erzielt worden ist. Das Verfahren zum Herstellen eines keramischen Stapelaufbaus 1 mit keramischen Lagen und Innenelektrodenlagen, die abwechselnd zu einander gestapelt sind, weist die folgenden Schritte auf: Ausbilden von Rohblättern 10, die zumindest keramische Partikel und ein Thermoplastharz enthalten, Drucken eines Elektrodenpastenmaterials 2 auf die Oberfläche der Rohblätter 10, Erwärmen eines Stapelaufbaus 100 mit einem Stapel der Rohblätter 10, während gleichzeitig ein Druck auf diesen für das Thermokompressionsverbinden aus der Stapelrichtung ausgeübt wird, Abtrennen des Stapelaufbaus 100 in Querrichtung und Sintern von Stapelaufbaueinheiten 105. Bei dem Thermokompressionsverbindungsschritt hat der Stapelaufbau 100eine Stapelhöhe B von nicht weniger als 3 mm und ein Seitenverhältnis B/A von nicht mehr als 2, wobei A die Breite und B die Stapelhöhe des Stapelaufbaus entlang der Stapelrichtung ist. The method of manufacturing the ceramic stack structure is provided which can prevent delamination while at the same time reducing size and achieving high reliability. The method for producing a ceramic stack structure 1 with ceramic layers and inner electrode layers, which are stacked alternately to one another, has the following steps: forming raw sheets 10 which contain at least ceramic particles and a thermoplastic resin, printing an electrode paste material 2 onto the surface of the raw sheets 10 , heating a stack assembly 100 with a stack of the raw sheets 10 while at the same time exerting pressure thereon for thermocompression bonding from the stacking direction, separating the stack assembly 100 in the transverse direction and sintering the stack assembly units 105 . In the thermocompression joining step, the stack structure 100 has a stack height B of not less than 3 mm and an aspect ratio B / A of not more than 2, where A is the width and B is the stack height of the stack structure along the stacking direction.

Claims (11)

1. Verfahren zum Herstellen eines keramischen Stapelaufbaus mit einer Vielzahl an keramischen Lagen und einer Vielzahl an Innenelektrodenlagen, die abwechselnd zueinander gestapelt sind, mit den folgenden Schritten:
einem Blattausbildungsschritt zum Ausbilden einer Vielzahl an Rohblättern, die zumindest keramische Partikel und ein Thermoplastharz enthalten;
einem Elektrodendruckschritt zum Drucken eines Elektrodenpastenmaterials an der Oberfläche der Rohblätter;
einem Thermokompressionsverbindungsschritt zum Erwärmen des Stapelaufbaus, der einen Stapel aus dem Rohblättern aufweist, und zum Aufbringen eines Drucks auf den Stapelaufbau aus der Stapelrichtung;
einem Abtrennschritt zum Abtrennen des Stapelaufbaus entlang dessen Breite; und
einem Sinterschritt zum Sintern des Stapelaufbaus;
wobei der Stapelaufbau bei dem Thermokompressionsverbindungsschritt eine Stapelhöhe B von nicht weniger als 3 mm und ein Seitenverhältnis B/A von nicht mehr als 2 hat, wobei A die Breite und B die Höhe des Stapelaufbaus ist. 1. A method for producing a ceramic stack structure with a multiplicity of ceramic layers and a multiplicity of inner electrode layers which are stacked alternately with one another, with the following steps:
a sheet forming step for forming a plurality of green sheets containing at least ceramic particles and a thermoplastic resin;
an electrode printing step for printing an electrode paste material on the surface of the green sheets;
a thermocompression connection step for heating the stack assembly having a stack from the green sheet and applying pressure to the stack assembly from the stacking direction;
a severing step for severing the stack structure along its width; and
a sintering step for sintering the stack structure;
wherein the stack structure in the thermocompression joining step has a stack height B of not less than 3 mm and an aspect ratio B / A of not more than 2, where A is the width and B is the height of the stack structure. 2. Verfahren zum Herstellen eines keramischen Stapelaufbaus gemäß Anspruch 1, wobei der keramische Stapelaufbau eine Vielzahl an Hilfsabschnitten hat, die keine Innenelektrodenlagen haben, wobei die keramischen Lagen miteinander in Kontakt stehen, um zu verhindern, dass die keramischen Lagen zu den Seitenflächen des keramischen Stapelaufbaus an den Stapelpositionen der Innenelektrodenlagen freigesetzt sind, und wobei die Hilfsabschnitte so aufgebaut sind, dass sich ihre Positionen abwechselnd entlang der Stapelrichtung ändern. 2. Method of making a ceramic stack-up according to claim 1, wherein the ceramic stack structure offers a variety Has auxiliary sections that have no inner electrode layers, wherein the ceramic layers are in contact with each other to prevent the ceramic layers from going to the side surfaces of the ceramic stack construction at the stacking positions of the Inner electrode layers are released, and the Auxiliary sections are constructed so that their positions alternate along the stacking direction. 3. Verfahren zum Herstellen eines keramischen Stapelaufbaus gemäß Anspruch 1 oder 2, wobei der Stapelaufbau an nicht weniger als 2 Abtrennpositionen gleichzeitig bei dem Abtrennschritt abgetrennt wird. 3. Method of making a ceramic stack-up according to claim 1 or 2, wherein stacking at no less than 2 tear-off positions is separated at the same time in the separating step. 4. Verfahren zum Herstellen eines keramischen Stapelaufbaus gemäß Anspruch 3, wobei der Abtrennschritt durch ein ausgewähltes der folgenden Verfahren ausgeführt wird, d. h. ein Scheren unter Verwendung eines Metallblattes, ein Schleifen oder Abtrennen unter Verwendung eines Drehschleifsteins, ein Schleifen oder Abtrennen unter Verwendung einer Drahtsäge und eines Wasserstrahls, ein Heißdrahtabtrennverfahren bzw. ein Ultraschallabtrennverfahren. 4. Method of making a ceramic stack-up according to claim 3, wherein the separation step by a selected one of the following Procedure is carried out, d. H. using a shear a metal sheet, grinding or severing under Using a rotary grindstone, grinding or cutting off using a wire saw and a jet of water Hot wire cutting process or an ultrasonic cutting process. 5. Verfahren zum Herstellen eines keramischen Stapelaufbaus gemäß Anspruch 4, wobei das Abtrennverfahren unter Verwendung der Drahtsäge ausgeführt wird, indem eine Schleifkörner enthaltende Flüssigkeit an dem Abtrennpunkt in Kontakt mit der Drahtsäge geliefert wird. 5. Method of making a ceramic stack-up according to claim 4, wherein the separation process using the wire saw is carried out by using an abrasive grain Liquid at the separation point in contact with the wire saw is delivered. 6. Verfahren zum Herstellen eines keramischen Stapelaufbaus gemäß Anspruch 4 oder 5, wobei das Abtrennverfahren unter Verwendung der Drahtsäge ausgeführt wird, indem die Drahtsäge in Bezug auf den Stapelaufbau vorwärts gebracht wird, der an einem Arbeitstisch gesetzt ist, und der Abtrennpunkt durch ein Bewegen des Arbeitstisches verändert wird. 6. Method of making a ceramic stack-up according to claim 4 or 5, wherein the separation process using the wire saw is carried out by the wire saw in relation to the Stacking is brought forward at a work table is set, and the separation point by moving the Work table is changed. 7. Verfahren zum Herstellen eines keramischen Stapelaufbaus gemäß Anspruch 3, wobei das Abtrennverfahren unter Verwendung eines Wasserstrahls ausgeführt wird, indem Hochdruckwasser verwendet wird, das Schleifkörner enthält. 7. Method of making a ceramic stack-up according to claim 3, wherein the separation process using a water jet is carried out using high pressure water which Contains abrasive grains. 8. Verfahren zum Herstellen eines keramischen Stapelaufbaus gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei der Abtrennschritt ausgeführt wird, wobei der Stapelaufbau mit einer Leerplatte unter Verwendung eines Haftmittels verbunden ist, wobei die Leerplatte fixiert ist. 8. Method of making a ceramic stack-up according to any one of claims 1 to 7, wherein the detaching step is performed, the stack build with a blank plate using an adhesive is connected, the empty plate being fixed. 9. Verfahren zum Herstellen eines keramischen Stapelaufbaus gemäß Anspruch 8, wobei das Haftmittel einen geringeren Schmelzpunkt als das Thermoplastharz in den Rohblättern hat. 9. Method of making a ceramic stack-up according to claim 8, wherein the adhesive has a lower melting point than that Has thermoplastic resin in the raw sheets. 10. Verfahren zum Herstellen eines keramischen Stapelaufbaus gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei der Abtrennschritt in einer derartigen Weise ausgeführt wird, dass der Stapelaufbau in einer Einspannflüssigkeit angeordnet wird, die gefroren wird, um dadurch den Stapelaufbau zu fixieren. 10. Method of making a ceramic stack-up according to any one of claims 1 to 7, wherein the separation step is carried out in such a manner is that the stack build up in a clamping fluid is arranged, which is frozen, thereby the stack structure to fix. 11. Verfahren zum Herstellen eines keramischen Stapelaufbaus gemäß einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei die Rohblätter keramische Partikel und das Thermoplastharz in dem Gewichtsverhältnis von 100 : 3 bis 100 : 7 enthalten. 11. Method of making a ceramic stack-up according to any one of claims 1 to 10, wherein the raw sheets ceramic particles and the thermoplastic resin contained in the weight ratio of 100: 3 to 100: 7.
DE2002154452 2001-11-22 2002-11-21 Method for producing a ceramic stack construction Expired - Fee Related DE10254452B4 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001358310A JP4000835B2 (en) 2001-11-22 2001-11-22 Method for manufacturing ceramic laminate
JP2001/358310 2001-11-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10254452A1 true DE10254452A1 (en) 2003-07-17
DE10254452B4 DE10254452B4 (en) 2010-12-09

Family

ID=19169510

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2002154452 Expired - Fee Related DE10254452B4 (en) 2001-11-22 2002-11-21 Method for producing a ceramic stack construction

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP4000835B2 (en)
DE (1) DE10254452B4 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2267810A1 (en) * 2008-04-18 2010-12-29 Murata Manufacturing Co. Ltd. Laminated piezoelectric ceramic element fabrication method
DE102010044739A1 (en) * 2010-09-08 2012-03-08 Epcos Ag Method for producing piezoelectric actuators from a block of material

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4563866B2 (en) * 2005-05-17 2010-10-13 日本特殊陶業株式会社 Method for manufacturing ceramic laminate
JP2006321671A (en) * 2005-05-17 2006-11-30 Ngk Spark Plug Co Ltd Method for producing multilayer ceramic
KR101508840B1 (en) 2013-08-14 2015-04-06 삼성전기주식회사 Cutting sintered ceramic sheet and method for producing the same
KR102489780B1 (en) * 2018-09-27 2023-01-17 주식회사 엘지화학 Intermediate plate for ceramic support body, method for manufacturing same, ceramic support body comprising the intermediate plate and method for manufacturing same
CN112951604A (en) * 2021-01-25 2021-06-11 深圳市威尔达电子有限公司 Chip capacitor and performance detection method thereof

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2727336A (en) * 1953-08-24 1955-12-20 Clevite Corp Crystal machining apparatus
US4507330A (en) * 1983-08-22 1985-03-26 At&T Technologies, Inc. Plating method using expandable masking bed
JP3006355B2 (en) * 1993-07-06 2000-02-07 株式会社村田製作所 Manufacturing method of laminated piezoelectric element
JPH07106653A (en) * 1993-10-06 1995-04-21 Hitachi Metals Ltd Multilayer piezoelectric element
DE4439470C2 (en) * 1994-11-08 1999-05-20 Herrmann Ultraschalltechnik Device for ultrasound machining of a workpiece
DE69621004T2 (en) * 1995-08-17 2002-12-19 Yoshitaka Tarumizu FREEZE MACHINING PROCESS WITH WORKPIECE HOLDER
SG68035A1 (en) * 1997-03-27 1999-10-19 Canon Kk Method and apparatus for separating composite member using fluid
US6411012B2 (en) * 1999-12-08 2002-06-25 Tdk Corporation Multilayer piezoelectric element and method of producing the same

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2267810A1 (en) * 2008-04-18 2010-12-29 Murata Manufacturing Co. Ltd. Laminated piezoelectric ceramic element fabrication method
EP2267810A4 (en) * 2008-04-18 2014-03-05 Murata Manufacturing Co Laminated piezoelectric ceramic element fabrication method
DE102010044739A1 (en) * 2010-09-08 2012-03-08 Epcos Ag Method for producing piezoelectric actuators from a block of material

Also Published As

Publication number Publication date
JP4000835B2 (en) 2007-10-31
JP2003158310A (en) 2003-05-30
DE10254452B4 (en) 2010-12-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE10256980B4 (en) Manufacturing method for a stacked ceramic body
EP0894340B1 (en) Monolithic multilayer piezo actuator and process for its production
DE69931846T2 (en) Production method of a multi-layer substrate
DE3204231A1 (en) LAMINATE STRUCTURE MADE OF MATRIX-FIBER COMPOSITE LAYERS AND A METAL LAYER
DE19927046A1 (en) Ceramic-metal substrate, in particular multiple substrate
DE3613958A1 (en) CERAMIC CAPACITOR CONSTRUCTED IN LAYERS AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
EP1239525B1 (en) Piezoceramic multilayer actuators and method of manufacturing
DE102007016316A1 (en) Method and system for separating a plurality of ceramic devices from a device block
DE3335848A1 (en) METHOD FOR CONNECTING AN ALUMINUM WIRE
DE10217097A1 (en) Process for the production of a ceramic laminate
DE102008041061B4 (en) Piezoelectric layer element
DE102004026572A1 (en) Manufacturing method for piezoelectric layer element
DE10254452B4 (en) Method for producing a ceramic stack construction
DE3534886A1 (en) METHOD FOR PRODUCING ALUMINUM NITRIDE CERAMIC PLATES
DE4435914A1 (en) Piezoelectric drive for an ink jet print head and method for its production
DE10215993B4 (en) Process for producing a ceramic laminated body
EP2147469B1 (en) Piezoelectric multi-layer component
DE102008043651A1 (en) Piezoelectric layer element
DE10164314A1 (en) Manufacturing method for a layered dielectric device and an electrode paste material
DE10016429C2 (en) Method and device for producing multi-layer actuators
WO2021219538A1 (en) Assembly with an electronic component which is arranged on a printed circuit board, and method for producing such an assembly
WO2011015403A1 (en) Method for producing piezoelectric workpieces
WO2009156202A1 (en) Method for the production of a stacked piezoactuator and piezoactuator
DE2737509A1 (en) Multiple ceramic capacitor mfg. method - includes building up sandwich of several electrodes and ceramic for cutting into final multilayered capacitors
DE102013111121B4 (en) Process for the production of ceramic multilayer components

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8364 No opposition during term of opposition
R020 Patent grant now final

Effective date: 20110309

R084 Declaration of willingness to licence
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee
R079 Amendment of ipc main class

Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: H01L0041240000

Ipc: H01L0041470000