DE10246408B4 - Einrichtung zum Ablesen einer linearen Skala - Google Patents

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Abstract

Einrichtung zum Ablesen einer linearen Skala, umfassend:
eine erste Längenmeßeinheit (31a) zur Bestimmung eines Meßlängenwertes, der einer Teilungsmarkierung einer linearen Skala entspricht, als Zweiphasensignale, die um 90° gegeneinander verschoben sind, wobei die Oberdaten der Skalenabstandsperiode der Teilungsmarkierung abgelesen werden;
eine zweite Längenmeßeinheit (31b), um zwei Zweiphasensignale mit Hilfe eines Analog-Digital-Umsetzers (36) zu messen und Unterdaten abzulesen, die durch Dividieren der Periode durch eine vorgegebene Zahl erhalten werden;
eine Einrichtung zum Ausgeben eines kombinierten Wertes als Lesewert der linearen Skala, wobei der kombinierte Wert durch Addieren der Oberdaten mit den Unterdaten erhalten wird; eine Speicherschaltung (35) zum Speichern der Polaritäten der Zweiphasensignale, die von der ersten Längenmeßeinheit (31a) ausgegeben werden;
eine Quadrantenbestimmungsschaltung (38), um die Unterdaten zu identifizieren, die von der zweiten Längenmeßeinheit (31b) abgegeben werden, basierend auf einem 90°-Phasenquadranten der Zweiphasensignale, und um die Unterdaten in vier Phasenbereiche auszugeben; und
einen Vergleicher (39), um einen...

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Ablesen einer linearen Skala.
  • Gegenwärtig sind einige Maschinenwerkzeuge beispielsweise mit einer linearen Skala auf Glas zum Ablesen der Position eines Werkstückes ausgerüstet. In der linearen Skala wird ein Lichtstrahl auf die lineare Skala projiziert, und eine relative Bewegungsdistanz eines Werkstückes kann unter Verwendung des reflektierten Lichtes gemessen werden. In einigen bekannten linearen Skalen werden magnetische Teilungsmarkierungen in einer Metallskala eingebracht, und die Bewegung der Skala kann mit Hilfe von Veränderungen in dem Magnetfeld abgelesen werden. Solch eine lineare Skala ist gewöhnlich mit einer Funktionsschaltung verbunden, die Untermeßwerte berechnet, die durch Unterteilung von einem Teilungsabstand der Skala erhalten werden, um eine höhere Genauigkeit als der Teilungsabstand zwischen den Teilungsmarkierungen zu erhalten.
  • 4 zeigt schematisch ein Verfahren zum Ablesen der oben erwähnten, linearen Skala. Eine lineare Skala 10 aus Glas ist mit einer Hauptskala 10a und einer Unterskala 10b versehen. Jede der Skalen 10a und 10b umfassen ein Gitter, welches Teilungsmarkierungen an vorgegebenen Intervallen aufweist. Eine Relativbewegung zwischen der Hauptskala 10a und der Unterskala 10b wird durch die Moire-Ränder des Lichtes detektiert, welches durch die Teilungsmarkierungen der zwei Skalen hindurchtritt.
  • Ein optisches System 20 beleuchtet die lineare Skala 10. Das optische System 20 umfaßt dazu im allgemeinen ein Licht emittierendes Element 21 und Licht empfangende Elemente 22a und 22b. Das Licht emittierende Element 21 wirft Licht auf die lineare Skala 10. Jedes der zwei Licht empfangenden Elemente 22a und 22b detektiert Moire-Ränder auf der Basis von durchtretendem Licht oder reflektiertem Licht und setzt das Licht in elektrische Signale 1a und 1b um. Wenn die Skala sich mit einer konstanten Geschwindigkeit bewegt, wird die Relativbewegung davon als sinuswellenförmige Lissajou-Figur ausgegeben.
  • In diesem Fall erzeugt das Licht empfangende Element 22a, in dem die Position des empfangenden Lichtpunktes verschoben wird, ein A-Phasensignal, während das Licht empfangende Element 22b ein B-Phasensignal erzeugt, wobei das A-Phasensignal und das B-Phasensignal um 90° gegeneinander verschoben sind. Auf diese Weise kann die Bewegungsrichtung der Skala detektiert werden.
  • Das A-Phasensignal wird an den Verstärker 23a geliefert, und das B-Phasensignal an den Ver stärker 23b. Die Verstärker 23a, 23b sind beispielsweise Differentialverstärker mit hohem Verstärkungsgrad. Der Verstärker 23a setzt das A-Phasensignal in ein Spannungssignalniveau von etwa 2 Vp-p, und der Verstärker 23b setzt das B-Phasensignal in ein Spannungssignalniveau von etwa 2 Vp-p um. Der Verstärker 23a liefert das umgesetzte Signal an einen Analog-Digital-Umsetzer 24a, der das analoge Signal in ein digitales Signal umsetzt. Der Verstärker 23b liefert das umgesetzte Signal an den Analog-Digital-Umsetzer 24b.
  • Ein Vergleichen 25 empfängt die Ausgangssignale der Verstärker 23a und 23b und setzt sie dann in Rechteckwellenformen um, die in Bezug auf das Nullniveau invertiert sind. Beispielsweise empfängt ein Oberzähler 26 das B-Phasensignal, dessen Phase um 90° verschoben ist, und er zählt dann beispielsweise die ansteigenden Flanken der Rechteckwellen.
  • Wenn sich die Hauptskala 10a gegenüber der Unterskala 10b um einen Teilungsabstand verschiebt, gibt der Oberzähler 26 die Daten N der gemessenen Länge der Hauptbits ab, wobei der Zählerstand um 1 erhöht wird. Die Analog-Digital-Umsetzer 24a, 24b tasten die sinuswellenförmigen Detektionssignale ab, die jeweils einen relativen Wert einer Eingangssinuswelle der Skala darstellen, für jedes vorgegebene Phasenintervall und gibt sie dann als digitale Werfe aus.
  • In diesem Fall tastet der Analog-Digital-Umsetzer 24a ein A-Phasendetektionssignal ab und gibt dann das abgetastete Signal als digitales Signal aus. Der Analog-Digital-Umsetzer 24b tastet ein B-Phasendetektionssignal ab und gibt dann das gemessene Signal als digitales Signal ab. Wie noch beschrieben wird, werden die Phasenteilungsdaten eines Sinuswellensignals auf der Basis von beiden Meßwerten berechnet. Die Phasenteilungsdaten, die durch eine weitere Unterteilung der Hauptdaten erhalten werden, werden dann mit hoher Genauigkeit ausgegeben. Dazu wird eine ROM-Tabelle 27, die vorher die Nebendaten gespeichert hat, ausgelesen, wobei die Ausgänge der Analog-Digital-Umsetzer 24a und 24b als Adreßsignale dienen. Auf diese Weise werden die Nebendaten n, die durch Multiplizieren von einem Skalenabstand der Skala durch eine Phasenteilungszahl erhalten werden, ausgegeben.
  • Ein Addierer 28 addiert die gemessenen Längen-Unterdaten n, die von der ROM-Tabelle ausgelesen wurden, und die Oberdaten N, bei denen eine Teilungsabstandseinheit der Skala ein Längenmeßwert ist, und dann wird das Ausgangssignal an eine Anzeigeeinrichtung für die gemessene Länge (nicht gezeigt) gegeben. Die Anzeigeeinrichtung für die gemessene Länge speichert und manifestiert den Wert eines Anfragesignals.
  • 5 zeigt ein sinuswellenförmiges A-Phasensignal ia und ein sinuswellenförmiges B-Phasensignal ib, die von den Moire-Rändern erzeugt werden, wenn eine lineare Skala mit einer festen Geschwindigkeit relativ zu einer anderen bewegt wird. Ad zeigt eine Haupt- oder Obersignalwellenform, die von dem Vergleicher 25 ausgegeben wird und die jeweils bei einem Nullniveau eines A-Phasensignals ia invertiert wird. Bd zeigt eine Obersignalwellenform, die von dem Vergleicher 25 ausgegeben wird und bei einem Nullniveau des B-Phasensignals ib invertiert wird. In diesem Beispiel erzeugt, wenn die Skala sich in einer Richtung bewegt, der Oberzähler 26 einen Additionsausgang von Oberbits N zu dem Zeitpunkt, an dem das B-Phasensignal von dem Vergleicher 25 ansteigt. Wenn die Skala sich in der entgegengesetzten Richtung bewegt, wird ein Subtraktionsausgang von dem Oberzähler 26 zu dem Zeitpunkt ausgegeben, wenn das B-Phasensignal abfällt.
  • Sowohl die sinuswellenförmige Lissajou-Figur A, die von dem Analog-Digital-Umsetzer 23a geliefert wird, als auch die sinuswellenförmige Lissajou-Figur B, die von dem Analog-Digital-Umsetzer 23b geliefert wird, werden bei vorgegebenen Phasenlagen abgetastet oder gemessen, wie in 5 gezeigt ist. So können die Unterbitdaten (n) von der ROM-Tabelle ausgelesen werden, wobei die Meßdaten als Adreßsignale dienen. Wie in 5 gezeigt ist, nehmen die Unterdaten n Werte an, die sich stufenweise und linear für jeden Skalenabstand erhöhen. Durch Addition der Oberdaten N wird die Auflösung der Skala in Bezug auf eine relative Bewegungsdistanz verbessert.
  • Bei dem oben beschriebenen Verfahren zum Ablesen von einer Linearskala kann, weil die Oberdaten N und die Unterdaten I nicht synchron ausgegeben werden, ein Fehler in der Nachbarschaft der Stellen auftreten, an denen die Oberdaten um einen Zähler aufwärts oder abwärts verändert werden. Dies wird anhand von 6 beschrieben.
  • In 6 stellt n die Unterpositionsdaten dar, die ausgegeben werden, wenn eine lineare Skala sich mit einer konstanten Geschwindigkeit bewegt. N stellt die Oberzählerdaten dar. Die Anzeigeeinrichtung für die gemessene Länge zeigt einen Wert (N + n) an. Wenn die Unterdaten zu 99 gelangen, was normalerweise bei der Abtastzeit Sy auftritt, wird Sx mit der Zeitvorgabe ausgelesen, mit der die Oberdaten um ein Inkrement weitergeschaltet werden.
  • Der Zeitpunkt, an dem die Oberdaten um einen Zähler nach oben gehen, entspricht dem Zeitpunkt, an dem bei dem Nullniveau des B-Phasensignals die Inversion auftritt. Der Punkt, an dem das A-Phasensignal oder das B-Phasensignal und der Nullniveaudurchgang sich ändert, ändert sich jedoch beispielsweise aufgrund von induzierten Rauschsignalen geringfügig. Des weiteren kann der Kreu zungspunkt sich aufgrund von Staub ändern, der während der Bewegung der Skala daran haftet. Eine Änderung in dem Nulldurchgangspunkt macht jedoch das Timing unstabil, bei dem der Oberzählerwert N erhöht wird, wie in 6 gezeigt ist.
  • Es wird nun angenommen, daß die gemessenen Unterlängendaten gleich n sind, und daß die Auflösung 1/100 beträgt. Im Falle von n = 100 wird ein Skalenabstand, beispielsweise 0,1 mm, erhalten. In diesem Fall ist zu dem Meßzeitpunkt S1, weil die Oberdaten N = 0 und die Unterdaten n = 90μm betragen, der relative Bewegungsabstand 90μm. Weil jedoch das Weiterschalten der Oberdaten irrtümlicherweise bei dem Meßzeitpunkt S2 schneller wird, springt der Bewegungsabstand, der angezeigt werden soll, auf 290 μm, wenn die Unterdaten n = 90 sind. Da der Bewegungsabstand tatsächlich 190 μm beträgt, ist der Fehler sehr groß. Zu dem Meßzeitpunkt S3 sind die Oberzählerdaten N = 2 und die Unterdaten n = 10. Daher ist der relative Bewegungsabstand der Skala gleich 210 μm. Der genaue Längenmeßwert ist jedoch 310 μm an dem Meßzeitpunkt S3.
  • Die herkömmliche Einrichtung zum Ablesen einer linearen Skala hat folglich den oben beschriebenen, erheblichen Nachteil. Weil unterschiedliche Schaltungen die Unterdaten n und die Oberdaten N erzeugen, springen die Meßwerte um +1 oder –1, wenn Rauschsignale induziert werden, insbesondere in der Schaltung, die die Oberdaten erzeugt. Wenn solch eine Einrichtung zum Ablesen einer linearen Skala eine Rückkopplungsinformation für ein Maschinenwerkzeug liefert, kann das Maschinenwerkzeug nicht fehlerfrei angetrieben werden.
  • Die JP 2000 161 992 A und JP 2000 161 993 A zeigen die automatische Erzeugung eines Ursprungssignals, das mit einem A/B-Phasen-Pulssignal synchronisiert ist, worin digitalisierte A- und B-Phasensignale über einen digitalen Filter einer Einrichtung zur Berechnung der B/A-Verhältnisses zugeführt werden, um über die berechneten Werte die binären Ausgabewerte aus einer A/B-Phasentabelle auszulesen.
  • Die JP 2000 121 390 A zeigt eine Vorrichtung, in der ein A- und ein B-Phasen-Pulssignal entsprechend der Bewegungsrichtung einer Skala moduliert und als gemeinsames A/B-Phasen-Pulssignal ausgegeben werden.
  • Die US 4 785 181 zeigt eine Messvorrichtung mit erhöhter Auflösung, bei dem der von zwei Skalen erzeugte Moire-Rand durch zwei um 90° phasenverschobene A- und B-Phasensignale detektiert wird und jedes der beiden Signale in ein frequenzmoduliertes Signal umgewandelt wird, um digital die durch die Bewegung zwischen den beiden Skalen verursachte Phasenverschiebung auszulesen.
  • Die DE 196 05 472 A1 zeigt eine Interpolationsschaltung für eine Meßeinrichtung, die in der Lage ist, die Auflösung zu erhöhen und ein zur Geschwindigkeit proportionales Ausgangssignal zu liefern. Sowohl ein sin θ-Signal als auch ein cos θ-Signal, die beide von einem Sensor abgegeben werden, werden an eine Additionsschaltung mit Gegentaktmodulation gegeben, so daß ein sin(ωt – θ)-Signal erzeugt wird, weiches dann in einer Wellenformerschaltung in eine Pulsform gebracht wird. Dann wird die höhere harmonische Komponente von einem Bandpaßfilter abgeleitet und dann mit cos nθ und sin nθ-Signalen in Mischstufen gemischt, so daß cos nθ und sin nθ-Signale von Tiefpaßfiltern abgegeben werden. Die Signale werden einer Interpolation in einer Spannungsvergleicher-Interpolationsschaltung unterworfen, bei der die Teilungszahl m ist. So wird eine Interpolationsschaltung geliefert, in der die Gesamtzahl der Teilung m·n ist. Die interpolierten Ausgangssignale der A-Phase und B-Phase sind jeweils Ausgangssignale, die zur Geschwindigkeit proportional sind.
  • Die DE 197 12 622 A1 zeigt eine Anordnung sowie ein Verfahren zur automatischen Korrektur felerbehafteter Abtastsignale inkrementaler Positionsmeßeinrichtungen, die mit bestimmten Abweichungen von der idealen Signalform behaftet sind, wobei von einer nachgeordneten Auswerteeinheit eine ideale Signalform vorausgesetzt wird. Hierbei werden einer Prozessoreinheit die Abtastsignale zugeführt und mittels eines Korrekturalgorithmus Korrekturgrößen bestimmt, die wiederum in entsprechende Stellsignale umgesetzt werden. Einer Korrektureinheit werden die analogen Abtastsignale sowie die Stellsignale übergeben; diese umfaßt mehrere Abgleichmöglichkeiten, um durch die Beaufschlagung mit den Stellsignalen die fehlerbehafteten Abtastsignale zu korrigieren. Die Prozessoreinheit sowie die Korrektureinheit sind so angeordnet, daß an der Prozessoreinheit eingangsseitig Abtastsignale anliegen, welche bereits die Korrektureinheit passiert haben.
  • Die DE 199 13 139 A1 zeigt eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Ursprungssignales einer optischen Linearskala, mit einer Hauptskala mit einer ersten Gitterlinie, die zumindest eine Ursprungsposition darstellt, und einer zweiten Gitterlinie, die in Längsrichtung bei gleichen Intervallen abgestuft sind, einer Indexskala mit einer Gitterlinie quer zu der ersten und zweiten Gitterlinie, die bezüglich der Hauptskala beweglich angeordnet ist, einem photoelektrischen Wandlerteil zum Erfassen von Moire-Mustern, die durch die Gitterlinien zwischen beiden Skalen erzeugt werden, und zur Erzeugung eines Signales mit sinusartiger Wellenform, die sich um eine Periode bei jeder Relativbewegung um eine Längeneinheit verändern, sowie eines Ursprungerfassungssignales, und mit einer Absolutinterpolationseinrichtung zum Ausgeben von Interpolationsdaten entsprechend der vorgeschriebenen Phasenab weichung von dem oben erwähnten Signal mit sinusartiger Wellenform; wobei die Vorrichtung in solch einer Weise ausgebildet ist, daß ein Ursprungssignal mittels eines logischen Produktes aus einem interpolierten Zählwert, der eine spezifische Interpolationspositionsinformation anzeigt und von der oben erwähnten Absolutinterpolationseinrichtung ausgegeben wird, und dem Ursprungerfassungssignal, welches die oben erwähnte Ursprungsposition darstellt, erzeugt wird.
  • Der Erfindung liegt demgegenüber die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zum Ablesen einer linearen Skala bereitzustellen, bei der Fehler bei der Ablesung der Skala vermieden werden. Insbesondere soll eine Einrichtung zum Ablesen einer linearen Skala bereit gestellt werden, bei der die Intervalle zwischen Teilungsmarkierungen auf der Basis von Oberdaten und Unterdaten abgelesen werden, die durch eine weitere Unterteilung der Oberdaten erhalten werden, um die Genauigkeit der Längenmessung mit Hilfe der Skala zu verbessern.
  • Diese Aufgabe wird durch die in Anspruch 1 angegebene Einrichtung gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nun anhand der beiliegenden Zeichnungen beschrieben. Es zeigen:
  • 1 ein Blockdiagramm, das den Aufbau einer Einrichtung zum Ablesen einer linearen Skala nach einem Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt;
  • 2 Wellenformendiagramme des Zeitablaufs, in denen die Beziehungen zwischen einem Analog-Digital-Bereich, der Unterdaten, einen Oberbereich, der Oberdaten bildet, und einem Oberzählewert gezeigt werden;
  • 3 ein Flußdiagramm, das die Kompensation eines Oberzählerwertes zeigt;
  • 4 ein Blockdiagramm, welches den Aufbau einer Längenmeßeinrichtung mit einer linearen Skala zeigt;
  • 5 ein Wellenformdiagramm, welches die Oberbitdaten und Unterbitdaten erläutert, die durch eine lineare Skala erzeugt werden; und
  • 6 ein Wellenformdiagramm, welches einen Längenmeßfehler in Kombination mit Oberdaten und Unterdaten erläutert.
  • 1 ist ein Blockdiagramm, welches eine Einrichtung zum Ablesen einer linearen Skala zeigt. Jedes der Licht empfangenden Elemente 31a und 31b entspricht dem Licht empfangenden Element, das ein Meßlängensignal empfängt und in 4 gezeigt ist. Das Licht empfangende Element 31a erzeugt ein A-Phasensignal aus den Moire-Rändern. Das Licht empfangende Element 31b erzeugt ein B-Phasensignal von den Moire-Rändern. Verstärker 32a und 32b verstärken jeweils das detektierte Meßlängensignal.
  • Eine Meßschaltung 33a nimmt Meßwerte von dem Niveau des A-Phasensignals, und eine Meßschaltung 33b nimmt Meßwerte von dem Niveau des B-Phasensignals. Wenn die Meßperiode fortschreitet, können Unterdaten, die die Auflösung eines Meßlängenspeichers erhöhen, erhalten werden.
  • Ein Vergleicher 34a gibt ein Rechteckwellensignal ab, welches an dem Nullniveau des A-Phasensignals invertiert wird. Ein Vergleich 34b gibt ein Rechteckwellensignal ab, welches an dem Nullniveau des B-Phasensignals invertiert wird. Eine Speicherschaltung 35 hält das A-Phasensignal (ein Rechteckwellensignal) und das B-Phasensignal (ein Rechteckwellensignal), bis jeder der Niveauwerte sich ändert. Ein Zählerstandsdaten-Prozessor 41 empfängt einen Ausgang, nämlich das B-Phasensignal, und erzeugt dann die Oberdaten N der Skala.
  • Ein Analog-Digital-Umsetzer 36 setzt die Daten, die von der Meßschaltung 33a gemessen wurden, und die Daten, die von der Meßschaltung 33b gemessen wurden, in zweiwertige Signale um und liefert sie an eine Operationsschaltung 37, die ein B/A-Verhältnis berechnet. Die zweiwertigen Signale entsprechen dem Phasenmeßsignal des A-Phasensignals und dem Phasenmeßsignal des B-Phasensignals respektive. Die Operationsschaltung 37 setzt den relativen Bewegungsabstand der Skala, der sich in einer Sinuswellenform ändert, in Niveausignale um, die eine Phasendifferenz von 90° haben, und sie berechnet das Verhältnis der Niveaus der Niveausignale.
  • Wenn beispielsweise das Niveau des B-Phasensignals allmählich in Form von sin θ ansteigt, ändert sich das Niveau des A-Phasensignals dahin gehend, daß es wie sin (π/2) + θ abfällt. Auf diese Weise wird das Niveaudifferenzverhältnis A/B berechnet. Die Niveauwerte (relative Abstände) werden an beliebigen Meßpunkten berechnet, wenn eine Sinuswellenperiode ausgewertet wird.
  • Ein Quadrantenmeßkreis 38 in einem Analog-Digital-Meßbereich (im folgenden einfach als Analog-Digital-Bereich bezeichnet) liegt zwischen der Operationsschaltung 37 und dem Vergleicher 39. Wie in 3b gezeigt ist, stellt der Bereich 0 den Quadrantenbereich dar, wo das A-Phasensignal einen positiven Wert und das B-Phasensignal einen positiven Wert hat. Der Bereich 1 stellt den Quadrantenbereich dar, wo das A-Phasensignal einen negativen Wert und das B-Phasensignal einen positiven Wert hat. Der Bereich 2 stellt den Quadrantenbereich dar, wo das A-Phasensignal einen negativen Wert und das B-Phasensignal einen negativen Wert hat. Der Bereich 3 stellt den Quadrantenbereich dar, wo das A-Phasensignal einen positiven Wert und das B-Phasensignal einen negativen Wert hat.
  • Der Vergleicher 39 entscheidet, ob der Ausgang der Quadrantenmeßschaltung 38, der den Unterdatenquadranten bestimmt, zu dem Ausgang der Speicherschaltung 35 paßt oder nicht. Daher wird ein Korrektur-(Kompensations-)Ausgang von dem Vergleicher 39 erhalten, um die oben beschriebenen Probleme zu beheben. Der Zählerstandsdaten-Prozessor 41 umfaßt einen Zählerprozessor, der die Oberdaten N zählt und +1 oder –1 zu dem Zählerstandswert mit Hilfe der Entscheidung des Ausgangs von dem Vergleicher hinzu addiert. Eine ROM-Tabelle 42 liest unter Bitdaten, die durch Unterteilung von einem Skalenabstand der Skala erhalten werden, in dem der numerische Wert der Operationsschaltung für das B/A-Verhältnis als ein Adreßsignal dient. Der Vergleicher 43 addiert die Unterbitdaten n zu den Oberbitdaten N, die durch den Zählerstandsdaten-Prozessor 41 korrigiert wurden. Dadurch ermöglicht die Addition der Unterdaten, daß ein relativer Bewegungsabstand der linearen Skala mit hoher Auflösung ausgegeben werden kann.
  • 2 ist ein Wellenformdiagramm, um das Ableseverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung zu erläutern. Der Analog-Digital-Bereich enthält numerische Daten, die den Quadranten des A-Phasensignals und den Quadranten des B-Phasensignals darstellen, wie oben beschrieben wurde. Der Bereich A stellt die Periode des Quadranten dar, wo das A-Phasensignal einen positiven Wert und das B-Phasensignal einen negativen Wert hat. Der Bereich 1 stellt den Bereich des Quadranten dar, wo das A-Phasensignal einen negativen Wert und das B-Phasensignal einen positiven Wert hat. Der Bereich 2 stellt die Periode des Quadranten dar, wo das A-Phasensignal einen negativen Wert und das B-Phasensignal einen negativen Wert hat. Der Bereich 3 stellt die Periode des Quadranten dar, wo das A-Phasensignal einen positiven Wert und das B-Phasensignal einen negativen Wert hat.
  • Wenn die Skala mit einer nahezu konstanten Geschwindigkeit bewegt wird, gibt die Quadrantenbestimmungsschaltung 38 als Analog-Digital-Bereichssignal das A-Phasensignal und das B-Phasen signal ab, die, wie oben beschrieben wurde, jeweils nahezu eine sinusförmige Wellenform haben ( 2). Der Vergleicher 34a gibt ein Ausgangssignal Ad ab, und der Vergleicher 34b gibt ein Ausgangssignal Bd ab. An dem Anstiegspunkt des Ausgangssignals Bd wird der Oberzähler 41 um ein Inkrement weitergeschaltet, so daß sich der Zählerstandswert N des Oberbereichs ändert.
  • Wenn der Vergleicher 34 ein Übertragssignal (oder ein Zählerweiterschaltsignal)erzeugt, können Rauschsignale oder -impulse nahe bei dem Nullniveau auftreten. In solch einem Fall wird der Oberbereich (0, 1, 2, 3) mit einer Taktgabe (Timing) erzeugt, die sich von der in dem Quadranten unterscheidet, der in dem Analog-Digital-Bereich an dem Punkt Q1 oder Q2 invertiert wird. Danach wird, wenn ein Anfragesignal von dem Zähler kommt, beispielsweise an dem Punkt R1 der Quadrant des Analog-Digital-Bereichs irrtümlich als 3 identifiziert, während der Quadrant des Hochbereichs tatsächlich 0 ist. Mit anderen Worten wird zu dem Zeitpunkt unmittelbar bevor die Unterdaten einen Übertrag erzeugen, der Oberzählerstandswert N auf 1 gesetzt, obwohl er auf 0 gesetzt werden muß. Folglich wird, wenn der in dem Analog-Digital-Bereich gemessene Wert 0,90 beträgt, irrtümlicherweise 1,90 ausgegeben.
  • Wenn der Oberbereich nicht zu einem Quadranten in dem Analog-Digital-Bereich paßt, kompensiert demgegenüber bei der Erfindung der Zählerstandsdaten-Prozessor 41 (1) den Wert oder addiert –1 zu den Oberdaten. Bei einem Zählerabfragesignal bei R2 passen der Oberbereich und der Analog-Digital-Bereich zueinander, weil sie beide bei 0 sind. Die Meßlängendaten (M + n), die von dem Addieren 43 (1) ausgegeben werden, werden nicht normal ausgegeben.
  • Zu dem Zeitpunkt R4, an dem die Inversion des Bd-Signals verzögert ist und der Ausgang der Oberdaten verzögert ist, wie an dem Punkt Q2 in 2 dargestellt ist, ist jedoch, wenn ein Zähleranfragesignal kommt, der Oberbereich gleich 3, während der Analog-Digital-Bereich gleich 0 ist. Folglich wird der Oberzählerstandswert zu 2. Dies bedeutet, daß die Meßlängendaten nicht zueinander passen. In solch einem Fall wird +1 zu dem Oberzählerstandswert addiert, so daß die Zählerstandsdaten an einer Abfragezeit beispielsweise zu 3.10 korrigiert werden. Da sowohl der Oberbereich als auch der Analog-Digital-Bereich an dem Abfragezeitpunkt R3 gleich 3 sind, werden die Meßlängendaten (N + n) von dem Addierer 43 (1) normal ausgegeben.
  • Der Fall, bei dem die Oberdaten einen Übertrag erzeugen zum Zeitpunkt, wenn das B-Phasensignal ansteigt, wurde oben beschrieben. Wenn jedoch das A-Phasensignal einen Übertrag erzeugt, kann eine modifizierte Schaltung den Quadranten der Unterbitdaten n mit dem Quadranten der Oberdaten abstimmen.
  • Die 3a und 3(b) sind Diagramme, um jeweils einen Korrekturablauf des Zählerprozessors zu erläutern. Die Dagramme zeigen, wie der Zählerprozessor eine Korrektur bei einer Übereinstimmung oder fehlender Übereinstimmung eines Quadranten durchführt, wenn der Analog-Digital-Bereich und der Oberbereich bestimmt wird, wie in den 2 und 3(b) gezeigt ist, wobei das B-Phasensignal gegenüber dem A-Phasensignal um 90° verzögert ist. Dieser Ablauf wirkt als Ablaufprogramm, wenn die Schaltung von 1 digital unter Verwendung eines Mikroprozessors ausgeführt ist.
  • In dem Schritt S1 werden die Meßlängenwerte der Skala in konstanten Zeitintervallen oder an Abfragezeitpunkten gemessen. Wenn der Zähler an den ansteigenden Flanken des B-Phasensignals nach oben oder nach unten weiter geschaltet wird, können die entsprechenden Quadranten eingestellt werden, wie es beispielsweise in 3(b) gezeigt ist.
  • In dem Schritt S2 wird zunächst der Oberquadrantenbereich festgestellt. Wenn der Oberquadrantenbereich 0 ist, werden die Unterbitdaten als nächstes in dem Schritt S3 festgestellt. Wenn sowohl der Oberquadrantenbereich als auch der Unterquadrantenbereich zueinander passen, gibt der Oberzähler einen Korrekturwert von 0 aus (R2 in 2).
  • Wenn der Oberquadrantenbereich in dem Schritt S1 nicht 0 ist, beispielsweise 3 ist, wird der untere Analog-Digital-Quadrantenbereich in dem Schritt S4 festgestellt. Wenn der Oberquadrantenbereich in dem Schritt S1 nicht 0 ist, wenn er beispielsweise 3 ist, gibt der Oberzähler einen Korrekturwert von 0 ab (R3 in 2).
  • Wenn der Oberdatenquadrant und der Unterdatenquadrant zueinander passen, wird der Ausgangskorrekturwert des Oberzählers gleich 0. Wenn jedoch in den Schritten S3 und S4 der Quadrant für die Oberdaten nicht zu dem Quadranten für die Unterdaten paßt, wird +1 oder –1 zu dem Ausgang des Oberzählers hinzu addiert. Auf diese Weise wird der Skalenablesungsfehler eliminiert.
  • Wenn beispielsweise der Quadrantenbereich der Oberdaten in dem Schritt S2 0 ist, und wenn der Quadrantenbereich der Unterdaten in dem Schritt S3 3 ist, wird ein genauer Kombinationswert erzeugt (R1 in 2), in dem –1 zu dem Oberzähler hinzu addiert wird. Wenn die Oberdaten in dem Schritt S2 gleich 3 sind, und wenn der Quadrant für den Unterdatenbereich in dem Schritt S4 gleich 0 ist, wird +1 zu dem Oberzähler hinzu addiert (R4 in 2).
  • In diesem Ausführungsbeispiel wurde der Fall, bei dem der Zähler an dem Punkt weiter hochgeschaltet wird, wenn das A-Phasensignal ansteigt, oben bschrieben. Wenn der Zähler jedoch an dem Punkt, wenn das A-Phasensignal ansteigt, nach oben geschaltet wird, wird der Ausgang des Oberzählers nahe bei den Quadrantensignalen 2 und 3 korrigiert, wie aus dem Quadranten in 3(b) zu ersehen ist.
  • Es ist erwünscht, daß der Ausgang des Oberzählers nahe bei dem Quadranten korrigiert wird, wo der Zählerwert weiter geschaltet wird. Selbst wenn die Skala in umgekehrter Richtung verfahren wird, wird der Ausgang des Oberzählers nahe bei dem Quadranten korrigiert, wo ein Zähler nach unten weiter geschaltet wird.
  • Wie oben beschrieben wurde, bezieht sich die Erfindung auf eine Einrichtung, die als Ablesewert für eine Linearskala einen kombinierten Ausgang ausgibt, der aus einer Addition von Oberdaten und Unterdaten zusammen gesetzt ist. Die Einrichtung umfaßt einen Speicher, um die Polaritäten der Zweiphasensignale von der ersten Meßeinheit zu speichern oder festzuhalten, eine Quadrantenbestimmungsschaltung, um den Unterdatenausgang von der zweiten Längenmeßeinheit zu identifizieren auf der Basis eines 90°-Phasenquadranten des Zweiphasensignals und um die Unterdaten in vier Phasenbereiche auszugeben, und einen Vergleicher, um einen Quadrantensignalausgang von der Speicherschaltung mit einem Quadrantensignalausgang von der Quadrantenbestimmungsschaltung zu vergleichen. Da der Zählerausgang der Oberdaten in einem Bereich von +1 bis –1 korrigiert wird, kann die Kontinuität der Meßlängenwerte, die von der linearen Skala abgelesen werden, beibehalten werden. Dadurch ergibt sich ein erheblicher Vorteil, da bei dem Maschinenwerkzeug eine genaue Rückkopplungssteuerung durchgeführt werden kann.

Claims (3)

  1. Einrichtung zum Ablesen einer linearen Skala, umfassend: eine erste Längenmeßeinheit (31a) zur Bestimmung eines Meßlängenwertes, der einer Teilungsmarkierung einer linearen Skala entspricht, als Zweiphasensignale, die um 90° gegeneinander verschoben sind, wobei die Oberdaten der Skalenabstandsperiode der Teilungsmarkierung abgelesen werden; eine zweite Längenmeßeinheit (31b), um zwei Zweiphasensignale mit Hilfe eines Analog-Digital-Umsetzers (36) zu messen und Unterdaten abzulesen, die durch Dividieren der Periode durch eine vorgegebene Zahl erhalten werden; eine Einrichtung zum Ausgeben eines kombinierten Wertes als Lesewert der linearen Skala, wobei der kombinierte Wert durch Addieren der Oberdaten mit den Unterdaten erhalten wird; eine Speicherschaltung (35) zum Speichern der Polaritäten der Zweiphasensignale, die von der ersten Längenmeßeinheit (31a) ausgegeben werden; eine Quadrantenbestimmungsschaltung (38), um die Unterdaten zu identifizieren, die von der zweiten Längenmeßeinheit (31b) abgegeben werden, basierend auf einem 90°-Phasenquadranten der Zweiphasensignale, und um die Unterdaten in vier Phasenbereiche auszugeben; und einen Vergleicher (39), um einen Quadrantensignalausgang von der Speicherschaltung (35) mit einem Quadrantensignalausgang von der Quadrantenbestimmungsschaltung (38) zu vergleichen; wobei ein Zählerausgang der Oberdaten in einem Bereich von +1 bis –1 in der Nähe eines Zeitpunktes, an dem wenigstens die Oberdaten um einen Zähler weiter geschaltet werden, und in Abhängigkeit von dem Ergebnis des von dem Vergleicher (39) durchgeführten Vergleichs korrigiert wird.
  2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Zweiphasensignal ein Signal umfaßt, welches durch Umsetzen von Moire-Rändern der linearen Skala in ein elektrisches Signal erhalten werden.
  3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die lineare Skala eine Hauptskala und eine Unterskala umfaßt.
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