DE10224057A1 - Ceramic electronics device, of multiple layer construction, has internal electrical connections provided by external conductor grooves, transverse to the layer edges - Google Patents

Ceramic electronics device, of multiple layer construction, has internal electrical connections provided by external conductor grooves, transverse to the layer edges Download PDF

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Lothar Diehl
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Abstract

Electrical connections between conductive layers (111, 112; 11,12) within a laminated pack of solid electrolyte layers (118; 18) are made by conductive contact tracks (119; 19) extending across all edges of the pack, in surface grooves (120; 20), and which may be insulated from some of the layers e.g. of zirconium oxide ceramic. Independent claims are also included for the following: (i) providing inter-layer connections; (ii) solid electrolyte devices with resistance heater tracks utilizing such electrical connection; and (iii) a lambda probe of above construction.

Description

Stand der TechnikState of the art

Die Erfindung geht aus von einer Kontaktverbindung zwischen zwei in verschiedenen Ebenen eines Schichtenverbundes angeordneten, elektrisch leitenden Flächen. nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The invention is based on one Contact connection between two layers in different layers arranged, electrically conductive surfaces. according to the generic term of claim 1.

Schichtstrukturen, die durch das Bedrucken, Stapeln oder Laminieren von keramischen Folien erzeugt werden, finden außer bei elektronischen Schaltungen auch Anwendung in der Sensorik, beispielsweise bei Gassensoren und Temperaturfühlern. In einer solchen Laminatstruktur ist es oft notwendig, daß elektrisch leitende Flächen, z. B. Leiterbahnen, durch eine nicht leitende, keramische Folie hindurch auf eine mit einer leitenden Schicht belegte, nächstfolgende Folie geführt werden müssen.Layered structures created by the Printing, stacking or laminating ceramic foils will find except in electronic circuits also used in sensors, for example for gas sensors and temperature sensors. In such a laminate structure it is often necessary that electrical conductive surfaces, z. B. traces, by a not conductive, ceramic foil through to one with a conductive Layer occupied, next one Slide out Need to become.

Um Leiterbahnen durch eine keramische Folie durchzukontaktieren, werden üblicherweise Duchkontaktierungslöcher, sog. Vias, die entweder gestanzt, gebohrt oder durch einen Laser erzeugt werden, vollständig oder teilweise mit einer elektrisch leitfähigen Paste gefüllt, so daß sich in dem Durchkontaktierungsloch ein elektrisch leitfähiger Kontaktmantel oder Kontaktzylinder bildet. Wird auf der nächstfolgenden Folie an dieser Stelle eine Leiterbahn geführt, entsteht eine durchgehende elektrische Verbindung, wenn beide Folien paßgenau mit gleichmäßigem Flächendruck laminiert werden. Da die Keramikfolien jedoch plastisch verformbar sind, weicht das Material der Keramikfolien im Bereich der Kanten und der Durchkontaktierung aus, wodurch sich in diesem Bereich der Laminatdruck reduziert. Dies führt schließlich dazu, daß nach dem Sintern an der Stelle der Durchkontaktierung sowohl der Laminatverbund zwischen den beiden keramischen Folien als auch die elektrische Verbindung unterbrochen sind oder aber durch thermische Wechselbeanspruchung unterbrochen werden kann.To trace through a ceramic Through-contacting foil are usually via holes, so-called Vias that are either punched, drilled or created by a laser become, completely or partially filled with an electrically conductive paste, so that itself an electrically conductive contact jacket in the via hole or contact cylinder forms. Will be on the next slide on this Place a conductor track, A continuous electrical connection is created when both foils snugly with even surface pressure be laminated. However, since the ceramic foils are plastically deformable the material of the ceramic foils in the area of the edges and the through-plating, which means that the Laminate printing reduced. this leads to finally to the fact that after the sintering at the point of the via both the laminate composite between the two ceramic foils as well as the electrical Connection is interrupted or due to alternating thermal stress can be interrupted.

Um diesem Problem zu begegnen und eine dauerhafte elektrische Kontaktierung auch während des Sinterns und des Betriebs mit thermischer Wechselbelastung sicherzustellen, ist bei einer bekannten Kontaktverbindung ( DE 43 12 976 A1 ) in mindestens einer Schichtebene eine Kontaktstelle vorgesehen, die außerhalb der Durchkontaktierung liegt und die von einem von einer elektrisch leitenden Fläche sich beim Laminieren ausbildenden Druckkontakt gebildet wird.In order to counter this problem and to ensure permanent electrical contacting even during sintering and operation with alternating thermal loads, a known contact connection ( DE 43 12 976 A1 ) a contact point is provided in at least one layer plane, which lies outside the plated-through hole and is formed by a pressure contact formed by an electrically conductive surface during lamination.

Die erfindungsgemäße Kontaktverbindung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 hat den Vorteil, daß durch die endseitige, nutförmige, vorzugsweise halblochartige Ausbildung der Durchkontaktierung eine gute elektrische Kontaktierung mit geringer Ausschußquote erreicht wird. Die elektrische Kontaktierung läßt sich visuell oder optisch prüfen, und festgestellte Fehler in der Durchkontaktierung können durch nachträgliches, zusätzliches Beschichten des Kontaktpfads behoben werden. Die erfindungsgemäße Kontaktverbindung erlaubt eine Durchkontaktierung über mehrere dazwischenliegende Schichten und ist fertigungstechnisch einfach und mit gegenüber den bekannten Kontaktverbindungen wesentlich niedrigeren Gestehungskosten herzustellen.The contact connection according to the invention with the Features of claim 1 has the advantage that the end-side, groove-shaped, preferably half-hole Formation of the plated-through hole a good electrical connection with a low reject rate is achieved. The electrical contact can be made visually or optically check, and detected faults in the via can be caused by subsequent, additional Coating the contact path can be fixed. The contact connection according to the invention allows via connection several intermediate layers and is manufacturing technology simple and with opposite the known contact connections much lower production costs manufacture.

Durch die in den weiteren Ansprüchen 2–9 aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im Anspruch 1 angegebenen Kontaktverbindung möglich.By the measures listed in the further claims 2-9 are advantageous developments and improvements in the claim 1 specified contact connection possible.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist zwischen der Nutwand und dem Kontaktpfad eine vorzugsweise als Film ausgeführte Isolierung aus elektrisch isolierendem Material angeordnet. Diese Isolierung verhindert, daß in dem zwischen den elektrisch leitenden Flächen liegenden Teil des Schichtenverbunds vorhandene, elektrisch leitfähige Schichten oder Flächen an den Kontaktpfad angeschlossen werden. Dies ist auch in dem Fall von Bedeutung, in dem die Schichten als keramische Folien aus einem ionenleitenden Festelektrolyten ausgebildet sind, wie dies bei Gassensoren zur Messung der Sauerstoffkonzentration im Abgas von Brennkraftmaschinen der Fall ist.According to an advantageous embodiment of the Invention is preferred between the groove wall and the contact path insulation made as a film arranged from electrically insulating material. This isolation prevents in the part of the layer composite lying between the electrically conductive surfaces existing, electrically conductive Layers or surfaces be connected to the contact path. This is also the case important in which the layers as ceramic films from a ion-conducting solid electrolytes are formed, as is the case with gas sensors for measuring the oxygen concentration in the exhaust gas of internal combustion engines the case is.

Gerade im Falle einer erforderlichen elektrischen Isolation des Kontaktpfads gegenüber dem Schichtenverbund kommt der Vorteil der erfindungsgemäßen Kontaktverbindung gegenüber den herkömmlichen, durch eine Bohrung im Schichtverbund herbeigeführten Durchkontaktierung zum Tragen. Da sowohl das Isolationsmaterial als auch das elektrisch leitfähige Material des vorzugsweise als Kontaktfilm ausgeführten Kontaktpfads gleiche Farbe aufweisen, läßt sich im Bohrloch der bekannten Kontaktverbindung nicht erkennen, ob die Isolationsschicht überall mit einem elektrisch leitenden Material überzogen ist. Dagegen ist dies durch die erfindungsgemäße Anordnung des Kontaktpfads in einer nach außen offenen Nut ohne weiteres zu sehen und kann ggf. nachgearbeitet werden.Especially in the case of a necessary electrical insulation of the contact path from the layer composite comes the advantage of the contact connection according to the invention across from the conventional, through-hole brought about by a hole in the layer composite Wear. Because both the insulation material and the electrically conductive material the same as the contact path, preferably implemented as a contact film Can have color in the well of the known contact connection does not recognize whether the Insulation layer with everywhere is coated with an electrically conductive material. This is against it by the arrangement according to the invention of the contact path in an outwardly open groove without further notice to see and can be reworked if necessary.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung erstreckt sich die Nut im Schichtenverbund ausschließlich zwischen den beiden elektrisch leitenden Flächen. Dabei ist vorzugsweise jede elektrische leitenden Fläche auf einer Schicht des Schichtenverbunds aufgebracht und die Schichten durch Laminieren zum Schichtenverbund zusammengesetzt. Sind die Schichten als plastisch verformbare Keramikfolien ausgebildet, so kann es u. U. beim Laminieren vorkommen, daß das Material der Keramikfolien im Bereich der Durchkontaktierung ausweicht, wobei der Laminierdruck reduziert wird. Dies führt dazu, daß in einem nachfolgenden Sinterprozeß des Schichtenverbundes an der Stelle der Durchkontaktierung die elektrische Verbindung zwischen Kontaktpfad und der auf der zweiten Schicht angeordneten elektrisch leitenden Fläche unterbrochen sein kann. Bei der erfindungsgemäßen Ausbildung der Kontaktverbindung kann diese Unterbrechung gut erkannt werden und läßt eine Nachbearbeitung der Durchkontaktierung zur Behebung dieser Unterbrechung zu.According to an advantageous embodiment of the invention, the groove in the layer composite extends exclusively between the two electrically conductive surfaces. Each electrically conductive surface is preferably applied to a layer of the layer composite and the layers are assembled by lamination to form the layer composite. If the layers are designed as plastically deformable ceramic films, it can u. U. occur during lamination that the material of the ceramic foils dodges in the area of the plated-through hole, the lamination pressure being reduced. This leads to the fact that in a subsequent sintering process of the layer composite at the location of the Through-contacting the electrical connection between the contact path and the electrically conductive surface arranged on the second layer can be interrupted. In the embodiment of the contact connection according to the invention, this interruption can be easily recognized and allows the through-contact to be reworked to remedy this interruption.

Um jedoch die Nachbearbeitungsaufwand infolge dieses Effekts zu vermeiden, weist gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung die Nut zusätzlich zu ihrem Erstreckungsbereich zwischen den beiden elektrisch leitenden Flächen einen sich daran anschließenden, im Nutquerschnitt reduzierten, weiteren Erstreckungsbereich auf. Dieser weitere Erstreckungsbereich ist durch die die zweite elektrisch leitende Fläche tragende Schicht hindurchgeführt. Durch diese konstruktive Maßnahme steht die von den beiden Schichten eingeschlossene, zweite elektrisch leitende Fläche mit einem Vorstehrand in die Nut vor und wird damit großflächig von dem durch den weiteren Erstreckungsbereich der Nut hindurchgeführten Kontaktpfad überzogen. Ein Ablösen des Kontaktpfads von der zweiten elektrisch leitenden Fläche beim Laminieren und Sintern wird durch diese größflächige Anbindung vermieden, zumal auch der Kontaktpfad erst nach dem Laminieren der beiden Schichten aufgebracht wird.However, due to the post-processing effort Avoiding this effect, according to an advantageous embodiment the invention the groove in addition to their area of extension between the two electrically conductive surfaces a subsequent reduced extension area in the groove cross section. This further range is electrical by the second conductive surface carrying layer. Through this constructive measure the second enclosed by the two layers is electrical conductive surface with a protruding edge in the groove and is thus large area of the covered through the further extension area of the groove through the contact path. A releasing the contact path from the second electrically conductive surface at This extensive connection avoids laminating and sintering, especially since the contact path only after the two layers have been laminated is applied.

Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung der Kontaktverbindung mit den Merkmalen des Anspruchs 10 oder 11 hat den Vorteil einer rationellen Fertigung, die problemlos der Automatisierung zugänglich ist. Durch das erfindungsgemäße Herstellen des Kontaktpfads in einem geschlossenen Durchgangskanal, vorzugsweise in einem Bohrloch im Schichtenverbund, können die herkömmlichen Verfahren zur Herstellung der bekannten Durchkontaktierungen und deren Isolation gegenüber dem Schichtenverbund, z. B. das Stapelansaugverfahren, das nachträgliche Eintropfen (Dispensen), Stempeln u. ä., angewandt werden. Durch das Trennen des Schichtenverbunds längs des Kontaktpfads und das Vereinzeln der beiden Trennhälften können zwei der erfindungsgemäßen Kontaktverbindungen in einem Arbeitsgang hergestellt werden.The manufacturing method according to the invention the contact connection with the features of claim 10 or 11 has the advantage of a rational production, which is easy Automation accessible is. By manufacturing according to the invention the contact path in a closed through channel, preferably in a borehole in the layer composite, the conventional Process for producing the known vias and their isolation from each other the layered composite, e.g. B. the stack suction process that subsequent Dripping (dispensing), stamping u. Ä., applied become. By separating the layers along the Contact paths and separating the two halves can be two of the contact compounds according to the invention can be produced in one operation.

Die Erfindung ist anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:The invention is based on a the drawing shown embodiment explained in more detail in the following description. Show it:

1 verschiedene Stadien A–E der Herstellung einer Kontaktverbindung zwischen zwei in verschiedenen Ebenen eines Schichtenverbunds angeordneten, elektrisch leitenden Flächen, 1 different stages A-E of establishing a contact connection between two electrically conductive surfaces arranged in different levels of a layer composite,

2 verschiedene Stadien A–D der Herstellung einer modifizierten Kontaktverbindung, 2 different stages AD of the production of a modified contact connection,

3 ausschnittweise eine perspektivische Unteransicht des Endbereichs eines Sensorelements einer Lambdasonde mit nach dem in 1 illustrierten Verfahren hergestellten Kontaktverbindungen, 3 excerpts a perspective bottom view of the end region of a sensor element of a lambda probe according to the in 1 illustrated method produced contact connections,

4 ausschnittweise eine perspektivische Unteransicht des Endbereichs eines Sensorelements einer Lambdasonde mit einer nach dem in 3 illustrierten Verfahren hergestellten Kontaktverbindung. 4 Detail a perspective bottom view of the end region of a sensor element of a lambda probe with one according to the in 3 illustrated method produced contact connection.

Beschreibung des Ausführungsbeispielsdescription of the embodiment

Mit dem in 1 in fünf Fertigungsstufen A–E illustrierten Verfahren wird eine Kontaktverbindung zwischen zwei in verschiedenen Ebenen eines Schichtenverbunds angeordneten, elektrisch leitenden Flächen wie folgt durchgeführt:
In eine mit einer elektrisch leitenden Flächen 111 versehene Schicht 113, die beispielsweise als dünne Keramikfolie ausgebildet sein kann, wird eine durchgehende Bohrung 115 eingebracht. Ist die Schicht 113 elektrisch leitend, wie z. B. dann, wenn sie als Folie aus Zirkoniumoxid, das bei ca. 350°C ionenleitend wird, ausgebildet ist, wird in die Bohrung 115 eine elektrische Isolierung 117 in Form eines das Bohrloch auskleidenden Mantels aus elektrisch nichtleitendem Material eingebracht (1B). Das Einbringen der elektrischen Isolierung 117 kann mittels bekannter Verfahren durchgeführt werden, z. B. mit dem Stapelsaugverfahren oder einem nachträglichen Eintropfen (Dispensen), Stempeln, etc. In die Bohrung 115 wird nunmehr der Kontaktpfad in Form eines Kontaktfilms 119 aus elektrisch leitfähigem Material eingebracht(1C). Dies ist mit den gleichen Methoden wie vorstehend für die Isolierung 117 genannt möglich. Mit der so vorbereiteten Schicht 111 wird eine mit einer elektrisch leitenden Fläche 112 versehene zweite Schicht 114, die wiederum als dünne Keramikfolie ausgeführt sein kann, zu einem Schichtenverbund 118, z. B. durch Laminieren, so zusammengebunden, daß die zweite elektrisch leitende Fläche 112 zwischen den beiden Schichten 113 und 114 liegt. Im Schichtenverbund 118 stößt dann der Kontaktfilm stumpf auf die zweite elektrisch leitende Fläche 112 auf, so daß die elektrische Verbindung hergestellt ist (1D). Nunmehr wird der Schichtenverbund 118 im Bereich der Bohrung 115 quer durchtrennt, wobei vorzugsweise die Trennlinie durch die Bohrungsachse verläuft. Mit dem Vereinzeln der beiden Trennhälften oder Trennteilen werden zwei Schichtenverbunde 118, 118' erhalten, in deren freien Stirnenden jeweils eine von zwei identisch ausgebildeten Kontaktverbindungen enthalten sind (1E). Wie dort zu sehen ist, verläuft der den Kortaktpfad zwischen den beiden elektrisch leitenden Flächen 111, 112 bildende Kontaktfilm 119 in einer im Querschnitt halbkreisförmigen Nut 120, die sich auf der Stirnseite der ersten Schicht 113 von der elektrisch leitenden Fläche 111 zur elektrisch leitenden Fläche 114 erstreckt und diese miteinander elektrisch leitend verbindet. Die erste elektrisch leitende Fläche 111 wird dabei von dem Kontaktfilm 119 randseitig übergriffen, wobei der eine gute elektrische Verbindung zu der ersten elektrisch leitenden Fläche 111 herstellende Übergreifungsrand beim Einbringen des Kontaktfilms 119 in die Bohrung 115 mit angeformt wird.With the in 1 In five production stages A – E illustrated methods, a contact connection between two electrically conductive surfaces arranged in different levels of a layer composite is carried out as follows:
In one with an electrically conductive surface 111 provided layer 113 , which can be formed, for example, as a thin ceramic film, becomes a continuous bore 115 brought in. Is the layer 113 electrically conductive, such as B. if it is formed as a film made of zirconium oxide, which becomes ion conductive at about 350 ° C, is in the hole 115 electrical insulation 117 in the form of a casing lining the borehole made of electrically non-conductive material ( 1B ). The introduction of electrical insulation 117 can be carried out by known methods, e.g. B. with the stack suction process or a subsequent dripping (dispensing), stamping, etc. In the hole 115 is now the contact path in the form of a contact film 119 made of electrically conductive material ( 1C ). This is with the same methods as above for isolation 117 called possible. With the shift prepared in this way 111 becomes one with an electrically conductive surface 112 provided second layer 114 , which in turn can be designed as a thin ceramic film, to form a layered composite 118 , e.g. B. by lamination, tied together so that the second electrically conductive surface 112 between the two layers 113 and 114 lies. In layers 118 the contact film then abuts the second electrically conductive surface 112 so that the electrical connection is established ( 1D ). Now the layered composite 118 in the area of the bore 115 transversely severed, the dividing line preferably running through the bore axis. When the two separating halves or separating parts are separated, two layers are combined 118 . 118 ' obtained, in the free ends of which each contain one of two identically designed contact connections ( 1E ). As can be seen there, the contact path runs between the two electrically conductive surfaces 111 . 112 forming contact film 119 in a semicircular groove in cross section 120 that are on the face of the first layer 113 from the electrically conductive surface 111 to the electrically conductive surface 114 extends and connects them electrically conductive. The first electrically conductive surface 111 is from the contact film 119 overlapped on the edge, with a good electrical connection extension to the first electrically conductive surface 111 Manufacturing overlap when inserting the contact film 119 in the hole 115 is molded with.

Mit dem in 2 in vier Fertigungsstufen A–D illustrierten Verfahren wird eine etwas modifizierte Kontaktverbindung zwischen zwei in verschiedenen Ebenen eines Schichtenverbunds 18 angeordneten, elektrisch leitenden Flächen 11, 12 hergestellt. Diese Kontaktverbindung zeichnet sich durch eine zuverlässige elektrische Kontaktierung der im Innern des Schichtenverbunds 18 liegenden Kontaktfläche 12 durch den Kontaktpfad aus, so daß evtl. Nachbearbeitungen der Kontaktierung weniger häufig erforderlich sind. Dieses Verfahren wird wie folgt durchgeführt:
In zwei jeweils mit einer elektrisch leitenden Fläche 11 bzw. 12 belegten Schichten 13 bzw. 14, die beispielsweise als keramische Folien ausgebildet sind, wird jeweils eine durchgehende Bohrung 15 bzw. 16 eingebracht, wobei die Bohrung 15 in der Schicht 13 einen größeren Durchmesser aufweist als die Bohrung 16 in der Schicht 14 (2A). Für bestimmte Anwendungsfälle, z. B. bei Ausbildung der Schichten 13, 14 als Keramikfolien aus Zirkoniumoxid (ZrO3), werden die Bohrungswände 15, 16 mit einem elektrisch isolierenden Material überzogen. Die solchermaßen mit einer Isolierung 17 ausgekleideten Bohrungen 15, 16 sind in 2B dargestellt. Nunmehr werden die beiden Schichten 13, 14 zu einem Schichtenverbund 18, z. B. durch Laminieren, so zusammengefaßt, daß die zweite elektrisch leitende Fläche 12 auf der unteren, zweiten Schicht 14 mit der den kleineren Bohrungsdurchmesser aufweisenden Bohrung 16 im Innern des Schichtenverbunds 18 liegt und die Bohrungen 15, 16 annähernd koaxial ausgerichtet sind (2B). Durch die unterschiedlichen Bohrungsdurchmesser ragt die auf der unteren, zweiten Schicht 14 angeordnete, zweite elektrisch leitende Fläche 12 mit einem keisringförmigen Vorstehrand 12a in die Bohrung 15 in der oberen, ersten Schicht 13 hinein. In die so entstehende Stufenbohrung 15, 16, die auf ihren Bohrungswänden die Isolierung 17 trägt, wird wiederum der Kontaktpfad, z. B. durch Durchsaugen von elektrisch leitendem Material durch die Stufenbohrung 15, 16 hindurch, eingebracht, wobei das elektrisch leitende Material die Isolierung 17 und den Vorstehrand 12a der zweiten, elektrisch leitenden Fläche 12 filmartig überzieht. Der sich dabei bildende Kontaktfilm 19 ist in 2C im Schnitt zu sehen. Er übergreift an seinem oberen Stirnrand die äußere, erste elektrisch leitende Fläche 11 und kontaktiert den Vorstehrand 12a der inneren, zweiten elektrisch leitenden Fläche 12, so daß die elektrisch leitenden Flächen 11 und 12 miteinander elektrisch leitend verbunden sind. Der untere, in der Bohrung 16 befindliche Teil des Kontaktfilms 19 ist für die elektrische Kontaktierung ohne Bedeutung und ergibt sich durch den Herstellungsprozeß. Nunmehr wird der Schichtenverbund 18 im Bereich der Stufenbohrung 15, 16 durchtrennt, wobei die Trennlinie vorzugsweise längs der Achse der Stufenbohrung 15, 16 verläuft. Mit dem Auseinandernehmen der beiden Trennhälften erhält man zwei Schichtenverbunde 18, 18', in deren freien Stirnende jeweils eine von zwei identisch ausgebildeten Kontaktverbindungen enthalten ist. Wie 2D zeigt, ist nach Vereinzelung der beiden Trennhälften in jedem Schichtenverbunde 18, 18' die Kontaktverbindung zwischen den beiden elektrisch leitenden Flächen 11, 12 durch einen in einer stirnseitig offenen Nut 20 verlaufenden Kontaktpfad in Form eines gestuften Kontaktfilms 19 hergestellt. Anders als bei dem zu 1 beschriebenen Ausführungsbeispiel verläuft die im Querschnitt halbkreisförmige Nut 20 nicht nur in der ersten Schicht 13, sondern erstreckt sich über die zweite elektrisch leitende Fläche 12 hinaus und durchdringt auch die zweite Schicht 14. Der Kontaktfilm 19 übergreift wiederum endseitig die außenliegende, erste elektrisch leitende Schicht 11 randseitig und kontaktiert mit einer Übergangsschulter 19a den Vorstehrand 12a der zwischen den Schichten 13, 14 einliegenden, zweiten elektrischen leitenden Fläche 12.With the in 2 In four manufacturing stages A – D, a slightly modified contact connection between two layers of different layers is made 18 arranged, electrically conductive surfaces 11 . 12 manufactured. This contact connection is characterized by reliable electrical contacting of the inside of the layer composite 18 lying contact surface 12 through the contact path, so that post-processing of the contact is less often required. This procedure is carried out as follows:
In two each with an electrically conductive surface 11 respectively. 12 occupied layers 13 respectively. 14 , which are designed, for example, as ceramic foils, each have a through hole 15 respectively. 16 introduced, the bore 15 in the shift 13 has a larger diameter than the bore 16 in the shift 14 ( 2A ). For certain applications, e.g. B. in the formation of the layers 13 . 14 as ceramic foils made of zirconium oxide (ZrO 3 ), the bore walls 15 . 16 covered with an electrically insulating material. That way with insulation 17 lined holes 15 . 16 are in 2 B shown. Now the two layers 13 . 14 to form a layered network 18 , e.g. B. by lamination, summarized so that the second electrically conductive surface 12 on the lower, second layer 14 with the bore with the smaller bore diameter 16 inside the layered composite 18 lies and the holes 15 . 16 are aligned approximately coaxially ( 2 B ). Due to the different bore diameters, it protrudes on the lower, second layer 14 arranged, second electrically conductive surface 12 with an ice ring-shaped projection edge 12a in the hole 15 in the top, first layer 13 into it. In the stepped bore thus created 15 . 16 insulation on their bore walls 17 carries, in turn, the contact path, for. B. by sucking through electrically conductive material through the stepped bore 15 . 16 through, introduced, the electrically conductive material the insulation 17 and the board of directors 12a the second, electrically conductive surface 12 covers like a film. The contact film that forms 19 is in 2C to see in the cut. It overlaps the outer, first electrically conductive surface on its upper front edge 11 and contacted the board member 12a the inner, second electrically conductive surface 12 so that the electrically conductive surfaces 11 and 12 are electrically connected to each other. The lower one, in the hole 16 part of the contact film 19 is of no importance for electrical contacting and results from the manufacturing process. Now the layered composite 18 in the area of the stepped bore 15 . 16 severed, the dividing line preferably along the axis of the stepped bore 15 . 16 runs. When the two separating halves are taken apart, two layers are obtained 18 . 18 ' , in the free end of which one of two identically designed contact connections is contained. How 2D shows, is after separation of the two halves in each layer composite 18 . 18 ' the contact connection between the two electrically conductive surfaces 11 . 12 through a groove open in the face 20 running contact path in the form of a stepped contact film 19 manufactured. Different from that too 1 The embodiment described runs the groove which is semicircular in cross section 20 not just in the first shift 13 , but extends over the second electrically conductive surface 12 and also penetrates the second layer 14 , The contact film 19 In turn overlaps the outer, first electrically conductive layer 11 marginal and contacted with a transition shoulder 19a the board of directors 12a the between the layers 13 . 14 inserted, second electrically conductive surface 12 ,

In 3 ist ein bevorzugtes Anwendungsbeispiel für Kontaktverbindungen zwischen jeweils zwei in verschiedenen Ebenen eines Schichtenverbunds angeordneten, elektrisch leitenden Flächen dargestellt, die nach dem in Verbindung mit 1 beschriebenen Verfahren hergestellt sind.In 3 is a preferred application example for contact connections between two respectively arranged in different levels of a layer composite, electrically conductive surfaces, which after the in connection with 1 described methods are made.

In 3 ist das anschlußseitige Ende eines Sensorelements für eine Breitband-Lambdasonde, wie sie allgemein bekannt und beispielsweise in der DE 198 38 466 A1 beschrieben ist, in Unteransicht dargestellt. Dieses in planerer Schichttechnik aufgebaute Sensorelement weist mehrere zu einem Schichtenverbund zusammenlaminierte Festelektrolytschichten aus yttriumstabilisiertem Zirkoniumoxid (ZrO2), sowie einen Widerstandsheizer und zusammen mit den Festelektrolytschichten eine Pump- und eine Nernstzelle bildende, hier nicht dargestellte Elektroden auf. Von den als dünne Keramikfolien ausgebildeten Festelektrolytschichten trägt die Heizerfolie 21 den hier nicht dargestellten Widerstandsheizer, der als Heizmäander mit zwei parallelen Zuleitungen zum Anlegen einer Heizspannung in einer Isolierung angeordnet ist. Auf die Zwischenfolie 22 ist ein Referenzgaskanal 24 aufgedruckt, der bis zum freien Stirnende des Sensorelements reicht und an dem davon abgekehrten Ende eine hier nicht dargestellte Referenzelektrode aufnimmt. Auf der Zwischenfolie 22 ist weiter eine Nernstelektrode mit Zuleitung aufgedruckt, die mit einer Referenzelektrode die Nernstzelle bildet. Auf voneinander abgekehrten Seiten der Sensorfolie 23 ist eine Innenelektrode und eine Außenelektrode der Pumpzelle mit entsprechenden Zuleitungen aufgedruckt. Während die genannten Elektroden von der Oberseite des Sensorelements her durchkontaktiert sind, ist der Widerstandsheizer von der Unterseite des Sensorelements aus kontaktiert, wozu auf der außenliegenden Oberfläche der Heizerfolie 21 unter Zwischenlage einer hier nicht dargestellten Isolationsschicht zwei Anschlußkontaktflächen 25, 26 vorgesehen sind. Die Anschlußkontaktflächen 25, 26 sind mit den auf der abgekehrten Seite der Heizerfolie 21 verlaufenden beiden Zuleitungen 27, 28 zu dem Heizmäander des Widerstandsheizers durch wie zu 1 beschrieben hergestellte Kontaktverbindungen elektrisch leitend verbunden. Wie auf der Stirnseite des Sensorelements in 3 zu sehen ist, verläuft ein Kontaktfilm 119 zwischen der Anschlußkontaktfläche 25 und der einen Zuleitung 27 sowie zwischen der Anschlußkontaktfläche 26 und der anderen Zuleitung 28 in einer im Querschnitt halbkreisförmingen Nut 120 und ist der visuellen oder optischen Prüfung komplett zugänglich.In 3 is the connection-side end of a sensor element for a broadband lambda probe, as is generally known and for example in the DE 198 38 466 A1 is shown in bottom view. This sensor element, which is constructed using a planar layer technique, has a plurality of solid electrolyte layers of yttrium-stabilized zirconium oxide (ZrO 2 ) laminated together to form a layer composite, as well as a resistance heater and electrodes, not shown here, which form a pump and a Nernst cell together with the solid electrolyte layers. The heater foil carries the solid electrolyte layers formed as thin ceramic foils 21 the resistance heater, not shown here, which is arranged as a heating meander with two parallel leads for applying a heating voltage in an insulation. On the intermediate film 22 is a reference gas channel 24 printed, which extends to the free end of the sensor element and receives a reference electrode, not shown here, at the end remote from it. On the intermediate film 22 a Nernst electrode with supply line is also printed, which forms the Nernst cell with a reference electrode. On opposite sides of the sensor film 23 an inner electrode and an outer electrode of the pump cell are printed with corresponding leads. While the electrodes mentioned are plated through from the top of the sensor element, the resistance heater is contacted from the bottom of the sensor element, for which purpose on the outer top surface of the heater foil 21 with the interposition of an insulation layer, not shown here, two connection contact surfaces 25 . 26 are provided. The connection contact surfaces 25 . 26 are on the opposite side of the heater foil 21 extending two leads 27 . 28 to the heating meander of the resistance heater through how to 1 Contact connections produced described electrically connected. As on the front of the sensor element in 3 you can see a contact film 119 between the contact pad 25 and the one supply line 27 as well as between the connection contact surface 26 and the other supply line 28 in a semicircular groove in cross section 120 and is completely accessible for visual or visual inspection.

In 4 ist das anschlußseitige Ende eines Sensorelements für eine modifizierte Breitband-Lambdasonde in Unteransicht dargestellt. Dieses Sensorelement entspricht im wesentlichen im Aufbau dem Sensorelement in 3 mit dem Unterschied, daß die Referenzelektrode nicht auf die Oberseite des Sensorelements durchkontaktiert ist, sondern auf die Unterseite des Sensorelements, also auf die Außenfläche der Heizerfolie 21. Hierzu ist auf der Oberfläche der Heizerfolie 21 eine auf einer nicht dargestellten Isolierschicht liegende Anschlußkontaktfläche 29 aufgebracht, die mittig zwischen den beiden Anschlußkontaktflächen 25, 26 für den Widerstandsheizer plaziert ist. Die Kontaktierung des Widerstandsheizers mit den Anschlußkontaktflächen 25, 26 ist in herkömmlicher Weise, wie eingangs zum Stand der Technik beschrieben worden ist, vorgenommen. Die Kontaktverbindung zwischen der Anschlußkontaktfläche 29 und der Zuleitung 30 zu der hier nicht zu sehenden Referenzelektrode ist dagegen nach dem in Verbindung mit 2 beschriebenen Verfahren hergestellt. Ein Blick auf das stirnseitige Ende des Sensorelements zeigt die im Querschnitt halbkreisförmige Nut 20, die sich mit einem Nutabschnitt mit größerem halbkreisförmigen Querschnitt durch die Heizerfolie 2i und die Zwischenfolie 22 und mit einem Nutabschnitt mit demgegenüber kleinerem halbkreisförmigen Nutquerschnitt nur durch die Sensorfolie 23 hindurch erstreckt. In dem Übergangsbereich zwischen den beiden Nutabschnitten, also in der Trennebene zwischen Sensorfolie 23 und Zwischenfolie 22, ragt die Zuleitung 30 in die Nut 20 hinein und wird hier von dem über die beiden Nutabschnitte sich erstreckenden Kontaktfilm 19 überzogen und damit sehr gut elektrisch kontaktiert. Auf der Außenfläche der Heizerfolie 21 übergreift der Kontaktfilm 19 randseitig die Nut 20 und kommt damit in sehr guten Kontakt zur Anschlußkontaktfläche 29. Auch hier liegt zwischen den Nutwänden im unteren und oberen Nutabschnitt und dem Kontaktfilm 19 die Isolierung 17 ein, wie dies in 2D zu sehen ist.In 4 the connection-side end of a sensor element for a modified broadband lambda probe is shown in a bottom view. This sensor element essentially corresponds in structure to the sensor element in FIG 3 with the difference that the reference electrode is not plated through on the top of the sensor element, but on the bottom of the sensor element, that is, on the outer surface of the heater foil 21 , For this is on the surface of the heater foil 21 a connection contact surface lying on an insulating layer, not shown 29 applied, the middle between the two connection contact surfaces 25 . 26 is placed for the resistance heater. The contacting of the resistance heater with the connection contact surfaces 25 . 26 is carried out in a conventional manner, as described at the beginning of the prior art. The contact connection between the connection contact surface 29 and the supply line 30 on the other hand, the reference electrode, which cannot be seen here, is in connection with 2 described method produced. A look at the end of the sensor element shows the groove, which is semicircular in cross section 20 with a groove section with a larger semicircular cross section through the heater foil 2i and the intermediate film 22 and with a groove section with a smaller semicircular groove cross section by comparison only through the sensor film 23 extends through. In the transition area between the two groove sections, that is, in the parting plane between the sensor film 23 and intermediate film 22 , the supply line protrudes 30 in the groove 20 and is here from the contact film extending over the two groove sections 19 coated and thus very well contacted electrically. On the outer surface of the heater foil 21 overlaps the contact film 19 the groove on the edge 20 and comes in very good contact with the connection contact surface 29 , Here, too, lies between the groove walls in the lower and upper groove section and the contact film 19 the insulation 17 a like this in 2D you can see.

Die Erfindung ist nicht auf die beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt, so kann die Nut 120 bzw. 20 mit einem anderen als halbkreisförmigen Querschnitt ausgeführt werden, z. B. mit einem halbovalen oder rechteckigen oder quadratischen Nutquerschnitt. In diesem Fall wird zur Herstellung der Kontaktverbindung in die Schicht 113 bzw. in die Schichten 13, 14 ein entsprechender Durchgangskanal mit ovalem oder rechteckigem Querschnitt eingearbeitet, z. B. durch Stanzen oder Laserausschneiden.The invention is not limited to the exemplary embodiments described, so the groove 120 respectively. 20 with a cross-section other than semicircular, e.g. B. with a semi-oval or rectangular or square groove cross section. In this case, the contact connection is made into the layer 113 or in the layers 13 . 14 a corresponding through-channel with an oval or rectangular cross-section, z. B. by punching or laser cutting.

Claims (17)

Kontaktverbindung zwischen in verschiedenen Ebenen eines Schichtenverbunds (118; 18) angeordneten, elektrisch leitenden Flächen (111, 112; 11, 12), mit einen Kontaktpfad aus elektrisch leitendem Material, der einen zwischen zwei elektrisch leitenden Flächen (111, 112; 11, 12) liegenden Teil des Schichtenverbunds (118; 18) durchdringt und die beiden elektrisch leitenden Flächen (111, 112; 11, 12) kontaktiert, dadurch gekennzeichnet, daß der Kontaktpfad in einer in der freien Stirnfläche des Schichtenverbunds (118; 18) angeordneten Nut (120; 20) verläuft.Contact connection between in different levels of a layer composite ( 118 ; 18 ) arranged, electrically conductive surfaces ( 111 . 112 ; 11 . 12 ), with a contact path made of electrically conductive material, which connects one between two electrically conductive surfaces ( 111 . 112 ; 11 . 12 ) lying part of the layer composite ( 118 ; 18 ) penetrates and the two electrically conductive surfaces ( 111 . 112 ; 11 . 12 ) contacted, characterized in that the contact path in a in the free end face of the layer composite ( 118 ; 18 ) arranged groove ( 120 ; 20 ) runs. Kontaktverbindung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Kontaktpfad eine auf einer der beiden Oberflächen des Schichtenverbunds (118; 18) angeordnete, elektrisch leitende Fläche (111; 11) randseitig übergreift.Contact connection according to Claim 1, characterized in that the contact path is on one of the two surfaces of the layer composite ( 118 ; 18 ) arranged, electrically conductive surface ( 111 ; 11 ) overlaps on the edge. Kontaktverbindung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Nut (120; 20) einen halbkreisförmigen, halbovalen oder rechteckigen Nutquerschnitt aufweist.Contact connection according to claim 1 or 2, characterized in that the groove ( 120 ; 20 ) has a semicircular, semi-oval or rectangular groove cross section. Kontaktverbindung nach einem der Ansprüche 1–3, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Nutwand und dem Kontaktpfad eine elektrische Isolierung (117; 17) angeordnet ist.Contact connection according to one of claims 1-3, characterized in that between the groove wall and the contact path an electrical insulation ( 117 ; 17 ) is arranged. Kontaktverbindung nach einem der Ansprüche 1–4, dadurch gekennzeichnet, daß der Kontaktpfad als Kontaktfilm (19) aus elektrisch leitendem Material ausgebildet ist.Contact connection according to one of claims 1-4, characterized in that the contact path as a contact film ( 19 ) is made of electrically conductive material. Kontaktverbindung nach einem der Ansprüche 1–5, dadurch gekennzeichnet, daß die Nut (120) sich ausschließlich zwischen den beiden elektrisch leitenden Flächen (111, 112) erstreckt.Contact connection according to one of claims 1-5, characterized in that the groove ( 120 ) only between the two electrically conductive surfaces ( 111 . 112 ) extends. Kontaktverbindung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß jede elektrisch leitende Fläche (111, 112) auf einer Schicht (113, 114) angeordnet ist und daß die Nut (120) durch die zwischen den beiden Flächen (111, 112) liegende Schicht (113) hindurchgeführt ist.Contact connection according to claim 6, characterized in that each electrically conductive surface ( 111 . 112 ) on one layer ( 113 . 114 ) is arranged and that the groove ( 120 ) by the between the two surfaces ( 111 . 112 ) lying layer ( 113 ) is passed through. Kontaktverbindung nach einem der Ansprüche 1–5, dadurch gekennzeichnet, daß die Nut (20) sich zwischen den beiden elektrisch leitenden Flächen (11, 12) und weiter über die zwischen den Schichten 13, 14) liegende, elektrisch leitende Fläche (12) hinaus erstreckt und in diesem weiteren Erstreckungsbereich einen kleineren Nutquerschnitt aufweist als ihrem sich zwischen den beiden elektrisch leitenden Fläche (11, 12) liegenden Erstreckungsbereich.Contact connection according to one of claims 1-5, characterized in that the groove ( 20 ) between the two electrically conductive surfaces ( 11 . 12 ) and further on between layers 13 . 14 ) lying, electrically conductive surface ( 12 ) extends beyond and has a smaller groove cross section in this further extension area than its between the two electrically conductive surface ( 11 . 12 ) lying range. Kontaktverbindung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß jede elektrisch leitende Fläche (11, 12) auf einer Schicht (13, 14) angeordnet ist und der Erstreckungsbereich mit dem größeren Nutquerschnitt der Nut (20) durch die zwischen den beiden elektrisch leitenden Flächen (11, 12) liegende erste Schicht (13) und der Erstreckungsbereich mit dem kleineren Nutquerschnitt der Nut (20) durch die zweite Schicht (14) hindurchgeführt ist.Contact connection according to claim 8, characterized in that each electrically conductive surface ( 11 . 12 ) on one layer ( 13 . 14 ) is arranged and the extension area with the larger groove cross section of the groove ( 20 ) due to the between the two electrically conductive surfaces ( 11 . 12 ) lying first layer ( 13 ) and the extension area with the smaller groove cross section of the groove ( 20 ) through the second layer ( 14 ) is passed through. Verfahren zur Herstellung der Kontaktverbindung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß in einer mit einer ersten elektrisch leitenden Fläche (111) versehenen ersten Schicht (113) ein die erste elektrisch leitende Fläche (111) durchstoßender Durchgangskanal (115) erzeugt wird, daß in dem Durchgangskanal (115) der Kontaktpfad eingebracht wird, daß die erste Schicht (113) mit einer mit einer zweiten elektrisch leitenden Fläche (12) versehenen zweiten Schicht (114) so zu einem Schichtenverbund (118) zusammengefaßt wird, daß die zweite elektrisch leitende Fläche (112) zwischen den beiden Schichten (113, 114) liegt, und daß der Schichtenverbund (118) längs einer, vorzugsweise mittig, durch den Durchgangskanal (115) verlaufenden Trennebene durchtrennt wird und die Trennteile vereinzelt werden.Method for producing the contact connection according to claim 7, characterized in that in a with a first electrically conductive surface ( 111 ) provided first layer ( 113 ) the first electrically conductive surface ( 111 ) penetrating through channel ( 115 ) is generated that in the through channel ( 115 ) the contact path is introduced that the first layer ( 113 ) with a second electrically conductive surface ( 12 ) provided second layer ( 114 ) so to a layer composite ( 118 ) is summarized that the second electrically conductive surface ( 112 ) between the two layers ( 113 . 114 ) and that the layered composite ( 118 ) along one, preferably in the middle, through the through-channel ( 115 ) running separating plane is cut and the separating parts are separated. Verfahren zur Herstellung der Kontaktverbindung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß in mindestens zwei jeweils mit einer elektrisch leitenden Fläche (11, 12) belegten Schicht (13, 14) jeweils ein die elektrisch leitende Fläche (11, 12) durchstoßender Durchgangskanal (15, 16) mit einem vom Durchgangskanal (16, 15) in der anderen Schicht (19, 13) abweichenden lichten Querschnitt erzeugt wird, daß die beiden Schichten (13, 14) so zu einem Schichtenverbund (18) zusammengesetzt werden, daß die elektrisch leitende Fläche (12) auf der den Durchgangskanal (16) mit dem kleineren Querschnitt aufweisenden Schicht (14) zwischen den Schichten (13, 14) liegt, daß in den sich dadurch ergebenden, im Querschnitt gestuften Durchgangskanal (15, 16) der Kontaktpfad eingebracht wird und daß der Schichtenverbund (18) längs einer, vorzugsweise mittig, durch den Durchgangskanal (15, 16) führenden Trennebene getrennt wird und die Trennteile vereinzelt werden.Method for producing the contact connection according to claim 9, characterized in that in at least two each with an electrically conductive surface ( 11 . 12 ) occupied layer ( 13 . 14 ) each the electrically conductive surface ( 11 . 12 ) penetrating through channel ( 15 . 16 ) with one from the through channel ( 16 . 15 ) in the other layer ( 19 . 13 ) deviating clear cross-section is generated that the two layers ( 13 . 14 ) so to a layer composite ( 18 ) that the electrically conductive surface ( 12 ) on the through channel ( 16 ) with the smaller cross-section layer ( 14 ) between layers ( 13 . 14 ) lies in the resulting through-channel, which is stepped in cross-section ( 15 . 16 ) the contact path is introduced and that the layer composite ( 18 ) along one, preferably in the middle, through the through-channel ( 15 . 16 ) leading parting plane is separated and the partitions are separated. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Durchgangskanal (115; 15, 16) gebohrt, gestanzt oder mittels Laser geschnitten wird.A method according to claim 10 or 11, characterized in that the through channel ( 115 ; 15 . 16 ) is drilled, punched or laser cut. Verfahren nach einem der Ansprüche 10–12, dadurch gekennzeichnet, daß der Kontaktpfad als Kontaktfilm (119; 19) in der Weise in den Durchgangskanal (115; 15, 16) eingebracht wird, daß elektrisch leitendes Material durch den Durchgangskanal (115; 116) hindurchgesaugt wird.Method according to one of claims 10-12, characterized in that the contact path as a contact film ( 119 ; 19 ) in the way in the through channel ( 115 ; 15 . 16 ) is introduced that electrically conductive material through the through channel ( 115 ; 116 ) is sucked through. Verfahren nach einem der Ansprüche 10–13, dadurch gekennzeichnet, daß vor Verbinden der Schichten (113, 114; 13, 14) zu dem Schichtenverbund (118; 18) der Durchgangskanal (115; 15, 16) mit einer Isolierung (117; 17) aus elektrisch nichtleitendem Material ausgekleidet wird.Method according to one of claims 10-13, characterized in that before connecting the layers ( 113 . 114 ; 13 . 14 ) to the layered network ( 118 ; 18 ) the through channel ( 115 ; 15 . 16 ) with insulation ( 117 ; 17 ) is lined with electrically non-conductive material. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Auskleiden in der Weise durchgeführt wird, daß das elektrisch nichtleitende Material durch die Durchgangsbohrung (115; 15, 16) hindurchgesaugt wird.Method according to claim 14 , characterized in that the lining is carried out in such a way that the electrically non-conductive material through the through hole ( 115 ; 15 . 16 ) is sucked through. Kontaktverbindung nach einem der Ansprüche 1–9, gekennzeichnet durch ihre Verwendung im Sensorelement einer Lambdasonde mit einem im Innern eines Schichtenverbunds aus Festelektrolytschichten (21, 22, 23) angeordneten, elektrischen Widerstandsheizer, indem die eine elektrisch leitende Fläche (111) von einer auf der Außenfläche des Schichtenverbunds zugänglichen Anschlußkontaktfläche (25 bzw. 26) und die andere elektrisch leitende Fläche (12) von einer im Innern des Schichtenverbunds zum Widerstandsheizer führenden, inneren Leiterbahn (27 bzw. 28) gebildet ist.Contact connection according to one of claims 1-9, characterized by its use in the sensor element of a lambda probe with an inside of a layer composite of solid electrolyte layers ( 21 . 22 . 23 ) arranged, electrical resistance heater by the one electrically conductive surface ( 111 ) from a connection contact surface accessible on the outer surface of the layer composite ( 25 respectively. 26 ) and the other electrically conductive surface ( 12 ) from an inner conductor track leading to the resistance heater inside the layer composite ( 27 respectively. 28 ) is formed. Kontaktverbindung nach einem der Ansprüche 1–9, gekennzeichnet durch ihre Verwendung in einem Sensorelement einer Lambdasonde mit einer im Innern eines Schichtenverbunds aus Festelektrolytschichten (21, 22, 23) angeordneten Referenzelektrode, indem die eine elektrisch leitende Fläche (11) von einer auf der Außenfläche des Schichtenverbunds zugänglichen Anschlußkontaktfläche (24) und die andere elektrisch leitende Fläche (12) von einer im Innern des Schichtenverbunds zur Referenzelektrode führenden, inneren Leiterbahn (30) gebildet ist.Contact connection according to one of claims 1-9, characterized by its use in a sensor element of a lambda probe with an inside of a layer composite of solid electrolyte layers ( 21 . 22 . 23 ) arranged reference electrode by the one electrically conductive surface ( 11 ) from a connection contact surface accessible on the outer surface of the layer composite ( 24 ) and the other electrically conductive surface ( 12 ) from an inner conductor track leading inside the layer composite to the reference electrode ( 30 ) is formed.
DE2002124057 2002-05-31 2002-05-31 Ceramic electronics device, of multiple layer construction, has internal electrical connections provided by external conductor grooves, transverse to the layer edges Withdrawn DE10224057A1 (en)

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