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Die Erfindung betrifft einen Drucksensor zur statischen und/oder
dynamischen Druckmessung, mit einem Gehäuse und mit einer Druckmeßzelle, die
einen Grundkörper und eine mit dem Grundkörper verbundene Membran
aufweist, wobei eine Seite der Membran direkt oder indirekt mit dem zu
überwachenden Medium in Berührung steht und die Membran im Betrieb eine
dem Druck des Mediums proportionale Auslenkung erfährt, die mittels eines
auf der anderen Seite der Membran angeordneten elektromechanischen
Wandlers, insbesondere mittels mindestens eines DMS-Widerstandes,
erfaßbar ist.
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Drucksensoren werden zur Überwachung und Messung des Systemdrucks in
hydraulischen und pneumatischen Applikationen eingesetzt. Ein
Einsatzbereich solcher Drucksensoren ist beispielsweise die Lebensmittelindustrie, in
der der Druck verschiedener Medien, insbesondere verschiedener
Flüssigkeiten überwacht oder gemessen wird. Dabei gibt es je nach Anwendungsgebiet
eine Vielzahl unterschiedlicher Ausführungsvarianten, wobei sich der Aufbau
und die Auslegung der Drucksensoren in Abhängigkeit des erwarteten
maximalen Nenndrucks des zu überwachenden Mediums unterscheiden. Neben der
"normalen" Beanspruchung des Drucksensors, insbesondere der
Druckmeßzelle, durch den Nenndruck des zu überwachenden Mediums treten in vielen
Einsatzbereichen häufig auch kurzzeitige Überdrücke auf, die wesentlich
größer als der maximale Nenndruck des Mediums sind. Ein solcher Überdruck
kann in der Lebensmittelindustrie beispielsweise dann auftreten, wenn ein
Behälter, in dem normalerweise Milch gelagert wird, mit einer Flüssigkeit mit
hohem Druck gereinigt wird.
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Bekannte Drucksensoren weisen üblicherweise eine kapazitive, zylindrische
Druckmeßzelle auf, die aus einem Grundkörper und einer Membran besteht,
die durch ein Verbindungsmaterial, z. B. ein Hartlot, in einem definierten
Abstand voneinander gehalten und miteinander hermetisch dicht verbunden sind.
Die mit Elektroden beschichteten Innenflächen der Membran und des
Grundkörpers bilden einen Meßkondensator, dessen Kapazität von der
Durchbiegung der Membran abhängt und somit ein Maß für den an der Membran
anliegenden Druck ist. In der Praxis werden meist Druckmeßzellen aus Keramik
eingesetzt, da keramische Druckmeßzellen eine hohe Meßgenauigkeit
aufweisen, die über sehr lange Zeit stabil bleibt. Auf der dem Medium
abgewandten Seite weist die Druckmeßzelle eine elektronische Schaltung auf, die
die Kapazität des Meßkondensators in ein druckabhängiges elektrisches
Signal umwandelt und über elektrische Anschlußleitungen einer weiteren
Verarbeitung oder einer Anzeige zugänglich macht.
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Neben diesen Drucksensoren, die ein kapazitives Meßprinzip aufweisen, bei
denen als elektromechanischer Wandler also zwei Elektroden verwendet
werden, gibt es auch Drucksensoren, die Dehnmeßstreifen (DMS) oder
druckempfindliche Widerstände bzw. DMS-Widerstände aufweisen. Bei diesen
Drucksensoren sind die DMS-Widerstände auf der dem Medium abgewandten
Seite der Membran aufgebracht, wobei der Widerstandswert der DMS-
Widerstände von der Durchbiegung der Membran abhängt und somit ebenfalls
ein Maß für den an der Membran anliegenden Druck ist. Bei derartigen
Drucksensoren bzw. Druckmeßzellen ist somit ein separater, der Membran
gegenüberliegender Grundkörper meßtechnisch nicht erforderlich.
Drucksensoren bzw. Druckmeßzellen mit DMS-Widerständen gibt es daher auch in
monolithischer Ausführungsform, bei der der Grundkörper und die Membran
einstückig ausgeführt sind. Dabei befindet sich dann die Membran in der
Regel auf der dem Medium abgewandten Seite des Grundkörpers, der im Bereich
der Membran eine sacklochartige Bohrung aufweist. Der Grundkörper hat
somit eine topfförmige Gestalt, wobei der Boden des Topfes von der
Membran gebildet wird und die offene Seite des Topfes dem Medium zugewandt
ist.
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Unabhängig von der Art des Meßprinzips des Drucksensors besteht bei den
bekannten Drucksensoren das Problem, daß die Membran bei den eingangs
beschriebenen Überdrücken mechanisch beschädigt werden kann. Dieses
Problem wird in der Praxis bisher dadurch gelöst, daß die Dicke der Membran
entsprechend vergrößert wird. Da der Berstdruck, d. h. der Druck, bei dem die
Membran mechanisch zerstört wird, u. a. von der Dicke der Membran abhängt,
kann durch eine Erhöhung der Dicke der Membran der maximale Berstdruck
auf einfache Art und Weise ebenfalls erhöht werden. Nachteilig ist hierbei
jedoch, daß mit der Erhöhung der Dicke der Membran gleichzeitig die
Auslenkung der Membran bei Nenndruck, d. h. bei dem von dem Drucksensor zu
messenden Druck des Mediums, verringert wird. Somit wird im Stand der
Technik die Erhöhung des Berstdrucks der Membran bisher durch eine
Verringerung der Meßgenauigkeit, d. h. der maximalen Auflösung des
Drucksensors, erkauft.
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Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen eingangs
beschriebenen Drucksensor zur Verfügung zu stellen, der einerseits eine große Überlast-
bzw. Berstfestigkeit aufweist, andererseits auch ein möglichst großes
Meßsignal zur Verfügung stellt und damit eine möglichst große Auflösung
ermöglicht.
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Diese Aufgabe ist bei dem eingangs beschriebenen Drucksensor zunächst und
im wesentlichen dadurch gelöst, daß die Dicke der Membran verringert ist und
auf der dem Medium abgewandten Seite der Membran mindestens ein
Abstützelement angeordnet ist, wobei das Abstützelement mit einem Abstand
von der Membran angeordnet bzw. so ausgebildet ist, daß die Membran bei
Überlast an dem Abstützelement oder an Teilen des Abstützelements
zumindest teilweise anliegt.
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Die Erfindung geht somit im Vergleich zum Stand der Technik einen völlig
anderen Weg. Anstelle die Dicke der Membran zur Erhöhung der
Berstfestigkeit zu vergrößern, wird bei dem erfindungsgemäßen Drucksensor die Dicke
der Membran bewußt verringert. Anstelle einer Membrandicke von
typischerweise 0,5 mm bei einem Nenndruck von 25 bar wird nun
erfindungsgemäß die Dicke der Membran beispielsweise auf 0,3 mm reduziert. Die
Reduzierung der Dicke der Membran führt zunächst - gewollt - zu einer größeren
Durchbiegung der Membran bei gleichem Druck des Mediums und damit zu
einem größeren Meßsignal. Gleichzeitig verringert sich jedoch die
Berstfestigkeit der Membran, d. h. der Druck, bei dem die Membran irreparabel
beschädigt wird. Dieser eigentliche Nachteil wird nun erfindungsgemäß dadurch
kompensiert, daß auf der dem Medium abgewandten Seite der Membran ein
Abstützelement angeordnet ist. Dabei weist das Abstützelement einen solchen
Abstand von der Membran auf bzw. ist so ausgebildet, daß die Membran bei
Überlast an dem Abstützelement oder an Teilen des Abstützelements
zumindest teilweise anliegt. Es wird also die aufgrund der geringeren Dicke der
Membran bei Überlast normalerweise auftretende - zur Zerstörung der
Membran führende - Durchbiegung dadurch verhindert, daß sich die Membran
vorher an dem Abstützelement abstützt, wodurch die maximale Durchbiegung
der Membran auf einen Wert begrenzt wird, bei dem es noch nicht zu einer
Zerstörung der Membran kommt. Gleichzeitig wird jedoch dadurch, daß das
Abstützelement so angeordnet bzw. ausgebildet ist, daß die Membran erst bei
Überlast an dem Abstützelement anliegt verhindert, daß durch das
Abstützelement der Meßwert im Nenndruckbereich verfälscht wird.
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Gemäß einer ersten vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung weist das
Abstützelement Aussparungen für den elektromechanischen Wandler auf und
bevorzugt darüber hinaus weitere Aussparungen für auf der dem Medium
abgewandten Seite der Membran angeordnete Leiterbahnen auf. Dadurch wird
verhindert, daß es zu einer Beschädigung der elektromechanischen Wandler,
bei denen es sich insbesondere um DMS-Widerstände handelt, sowie der
Leiterbahnen kommt, wenn die Membran bei Überdruck an dem Abstützelement
anliegt. Weist das Abstützelement Aussparungen auf, so führt dies dazu, daß
nur einzelne Bereiche der Membran - an denen sich keine DMS-Widerstände
oder Leiterbahnen befinden - an Teilen des Abstützelements bei Überlast
anliegen.
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Es gibt nun grundsätzlich verschiedene Möglichkeiten - die für sich im Stand
der Technik bereits bekannt sind - die Druckmeßzelle auszubilden. Bei der
ersten Alternative sind der Grundkörper und die Membran zwei an sich separate
Bauteile, die über ein zwischen dem Grundkörper und der Membran
angeordnetes Verbindungsmittel miteinander verbunden sind. Bei der zweiten
Alternative ist die Druckmeßzelle monolithisch ausgebildet, d. h. der Grundkörper
und die Membran sind einstückig ausgeführt. Dabei befindet sich dann die
Membran auf der dem Medium abgewandten Seite des Grundkörpers, wobei
der Grundkörper im Bereich der Membran eine sacklochartige Bohrung
aufweist, wodurch die Membran direkt oder indirekt mit dem zu überwachenden
Medium in Berührung steht.
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Bei der ersten Alternative der Ausgestaltung der Druckmeßzelle, bei der also
der Grundkörper und die Membran an sich zwei separate Bauteile sind, wird
vorteilhafterweise das Abstützelement durch den Grundkörper selber gebildet,
nämlich durch die der Membran zugewandten Seite des Grundkörpers. Um
nun zu ermöglichen, daß sich die Membran bei Überlast an dem Grundkörper
bzw. an Teilen des Grundkörpers abstützt, ist die Dicke des
Verbindungsmaterials, bei dem es sich insbesondere um ein Glaslot handelt, verringert. Durch
die Verringerung der Dicke des Glaslot wird also dafür gesorgt, daß die zuvor
beschriebene Bedingung erfüllt wird, daß sich nämlich die Membran bei
einem bestimmten Druck, der größer als der Nenndruck jedoch kleiner als der
Berstdruck ist, an der als Abstützelement dienenden Seite des Grundkörpers
abstützt.
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Bei der zweiten Alternative der Ausgestaltung der Druckmeßzelle, bei der es
sich also um eine monolithische Druckmeßzelle handelt, ist das
Abstützelement als zusätzliches Bauteil ausgebildet, daß auf der dem Medium
abgewandten Seite des Grundkörpers bzw. auf der dem Medium abgewandten
Seite der Membran angeordnet ist. Bei der Realisierung der Erfindung mit
einer monolithischen Druckmeßzelle wird also ein zusätzliches Bauteil als
Abstützelement verwendet, wobei das Abstützelement mit dem Medium nicht in
Berührung kommt, so daß das Abstützelement aus einem Material hergestellt
werden kann, daß zwar eine ausreichende Härte zur Gewährleistung der
Funktionen der Abstützung aufweist, jedoch nicht beständig gegenüber
aggressiven Medien sein muß, mit denen die Membran in Berührung kommen
kann.
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Vorteilhafter Weise weist das Abstützelement ein insbesondere
kreisringförmige Kontaktfläche auf, an der sich der Rand der Druckmeßzelle bzw. des
Grundkörpers abstützt. Dadurch wird auf einfache Art und Weise
gewährleistet, daß die Druckmeßzelle zumindest bei Nenndruck nicht vollflächig an
dem Abstützelement anliegt, so daß es zu der gewollten Durchbiegung der
Membran bei Nenndruck kommen kann.
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Im einzelnen gibt es nun eine Vielzahl von Möglichkeiten, den
erfindungsgemäßen Drucksensor auszugestalten und weiterzubilden. Dazu wird verwiesen
einerseits auf die dem Patentanspruch 1 nachgeordneten Patentansprüche,
andererseits auf die Beschreibung bevorzugte Ausführungsbeispiele in
Verbindung mit der Zeichnung. In der Zeichnung zeigen
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Fig. 1 eine vereinfachte Darstellung einer ersten Ausführung des erfindungsgemäßen Drucksensors, im Schnitt,
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Fig. 2 eine perspektivische Darstellung einer Druckmeßzelle gemäß der
ersten Ausführung, im noch nicht montierten Zustand,
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Fig. 3 eine weitere perspektivische Darstellung einer Druckmeßzelle
gemäß der ersten Ausführung, im noch nicht montierten Zustand,
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Fig. 4 eine Seitenansicht der Druckmeßzelle gemäß Fig. 2, im noch
nicht montierten Zustand,
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Fig. 5 eine vereinfachte Darstellung einer zweiten Ausführung des
erfindungsgemäßen Drucksensors, im Schnitt,
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Fig. 6 eine perspektivische Darstellung einer Druckmeßzelle gemäß der
zweiten Ausführung, im noch nicht montierten Zustand,
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Fig. 7 eine andere perspektivische Darstellung einer Druckmeßzelle
gemäß der zweiten Ausführung, im noch nicht montierten
Zustand und
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Fig. 8 eine Seitenansicht der Druckmeßzelle gemäß den Fig. 6 und 7,
im noch nicht montierten Zustand.
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Die Fig. 1 und 5 zeigen zwei verschiedene Ausführungsformen eines
Drucksensors 1 mit einem Gehäuse 2 und einer Druckmeßzelle 3, wobei in den Fig.
2 bis 4 bzw. 6 bis 8 verschiedene Ausführungsformen der Druckmeßzelle 3
dargestellt sind. Bei der ersten Ausführung der Druckmeßzelle 3, die in den
Fig. 1 bis 4 dargestellt ist, weist die Druckmeßzelle 3 einen Grundkörper 4
und eine separate Membran 5 auf, die jedoch im montierten Zustand der
Druckmeßzelle 3 durch ein Verbindungsmaterial mit dem Grundkörper 4
verbunden ist. Die Fig. 5 bis 8 zeigen eine monolithische Druckmeßzelle 3, bei
der der Grundkörper 4 und die Membran 5 einstückig ausgeführt sind.
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Allen Ausführungsformen ist jedoch gemeinsam, daß die Membran 5 so in
dem Drucksensor 1 angeordnet ist, daß sie mit einer Seite 6 direkt oder
indirekt mit dem zu überwachenden - hier nicht dargestellten - Medium in
Berührung kommt. Dadurch erfährt die Membran 5 eine dem Druck des Mediums
proportionale Auslenkung, die mittels auf der anderen - dem Medium
abgewandten - Seite 7 der Membran 5 angeordneter DMS-Widerstände 8 erfaßt
wird und mit Hilfe einer - hier nicht dargestellten - elektronischen Schaltung
in ein proportionales Ausgangsignal umgewandelt wird. Anstelle der hier nur
dargestellten DMS-Widerstände 8 können auch andere elektromechanische
Wandler eingesetzt werden, insbesondere Dehnmeßstreifen, wobei
grundsätzlich auch eine Auswertung der Auslenkung der Membran 5 mit Hilfe eines
kapazitiven Meßprinzips erfolgen kann, wobei als elektromechanischer
Wandler dann mindestens zwei Elektroden verwendet werden.
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Erfindungsgemäß ist nun die Dicke 9 der Membran 5 verringert und auf der
dem Medium abgewandten Seite 7 der Membran 5 mindestens ein
Abstützelement 10 bzw. 10' angeordnet. Bei der in den Fig. 1 bis 4 dargestellten
Ausführungsform der Druckmeßzelle 3 wird das Abstützelement 10 durch den
Grundkörper 4 gebildet, während bei der in den Fig. 5 bis 8 dargestellten
Ausführungsform der monolithischen Druckmeßzelle 3 das Abstützelement 10'
ein zusätzliches Bauteil ist.
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Wie in Fig. 2 zu erkennen ist, weist das Abstützelement 10 und damit der
Grundkörper 4 mehrere Aussparungen 11 auf, die so ausgebildet sind, daß
beim Anliegen der Membran 5 an dem Abstützelement 10 bzw. an dem
Grundkörper 4 die DMS-Widerstände 8 in die Aussparungen 11 eintauchen,
so daß es nicht zu einer Beschädigung der DMS-Widerstände 8 bei Überdruck
kommt. Neben diesen Aussparungen 11 können auch weitere - hier nicht
dargestellte - Aussparungen für Leiterbahnen 12 vorgesehen sein, die auf der
dem Medium abgewandten Seite 7 der Membran 5 aufgebracht sind. Solche
weiteren Aussparungen sind insbesondere dann vorteilhaft, wenn die
Leiterbahnen 12 als Dickschicht-Leiterbahnen ausgebildet sind, die in der Regel
eine Dicke von ca. 10 bis 30 µm aufweisen. Werden dagegen Gold-Resinat-
Leiterbahnen verwendet, die nur eine Dicke von ca. 1 µm aufweisen, so sind
die zuvor genannten zusätzlichen Aussparungen nicht erforderlich.
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Wie den Fig. 1 bis 4 zu entnehmen ist, dient als Abstützelement 10
insbesondere die der Membran 5 zugewandte Seite 13 des Grundkörpers 4. Der
richtige Abstand zwischen der Membran 5 und dem Abstützelement 10, d. h. der
Seite 13 des Grundkörpers 4, wird durch ein Lot 14 realisiert, das darüber
hinaus die feste Verbindung von Grundkörper 4 und Membran 5 gewährleistet.
Als Lot 14 wird dabei insbesondere ein Glaslot verwendet, wobei das Lot 14
kreisringförmig ausgebildet ist, so daß über das Lot 14 der Rand des
Grundkörpers 4 bzw. die äußere Fläche der Seite 13 des Grundkörpers 4 mit dem
Rand bzw. der äußeren Fläche der Seite 7 der Membran 5 verbunden wird,
während die mittlere Fläche der Membran 5, die als Meßfläche 15 dient, einen
definierten Abstand zum Grundkörper 4 aufweist. Dadurch ist eine dem Druck
des zu messenden Mediums proportionale Auslenkung der Membran 5 bzw.
der Meßfläche 15 der Membran 5 gewährleistet.
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Der Abstand zwischen der Membran 5 und dem Grundkörper 4 bzw. der Seite
13 des Grundkörpers 4 und damit dem Abstützelement 10 ist nun so gewählt,
daß einerseits bei maximalem Nenndruck eine entsprechende Auslenkung der
Membran 5 möglich ist, ohne daß die Membran 5 an dem Abstützelement 10
anlegt, andererseits es bei einem Überdruck, der geringer als der Berstdruck
ist, zu einer gewollten Anlage der Membran 5 an dem Abstützelement 10
kommt. Vorteilhafterweise ist der Abstand so gewählt, daß es etwa bei dem
1,2 bis 1,5-fachen des maximalen Nenndrucks zu einem Anliegen der
Membran 5 an dem Abstützelement 10 kommt. Dadurch ist gewährleistet, daß es
zum einen nicht zu einer Beeinflussung der Auslenkung der Membran 5 und
damit des Meßwertes des Drucksensors 1 innerhalb des Nenndruckbereichs
kommt, andererseits eine so große Durchbiegung der Membran 5, die zu einer
Zerstörung der Membran 5 führen würde, verhindert wird.
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Der zuvor ausführlich beschriebene Abstand zwischen der Membran 5 und
dem Abstützelement 10 wird bei der Ausführungsform gemäß dem Fig. 1 bis
4 durch eine Verringerung der Dicke 16 des Lots 14 realisiert. Bei aus dem
Stand der Technik bekannten Drucksensoren 1 weist das Lot 14 eine so große
Dicke 16 auf, daß ein Anliegen der Membran 5 an dem Grundkörper 4 bewußt
verhindert wird. Während im Stand der Technik das Lot 14 meist eine Dicke
von ca. 30 bis 50 µm aufweist wird bei dem erfindungsgemäßen Drucksensor
1 die Dicke 16 des Lots 14 auf ca. 10 bis 20 µm verringert. Dadurch und
durch die Verringerung der Dicke 9 der Membran 5 ist gewährleistet, daß es
bei Überdruck überhaupt zu einem Anliegen der Membran 5 an dem
Abstützelement 10 kommen kann.
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Bei dem in Fig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen
Drucksensors 1 beträgt die Dicke 17 des Grundkörpers 4 beispielsweise 6 mm,
die Dicke 9 der Membran 5 beispielsweise 0,25 mm, die Dicke des Lots
14 ca. 0,01 mm, die Höhe 18 der DMS-Widerstände 8 ca. 0,02 mm und die
Tiefe 19 der Aussparungen 11 ca. 0,4 mm.
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Bei dem zweiten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Drucksensors 1
gemäß den Fig. 5 bis 8, bei dem die Druckmeßzelle 3 als monolithische
Druckmeßzelle 3 ausgebildet ist, der Grundkörper 4 und die Membran 5 also
einstückig ausgeführt sind, weist der Grundkörper 4 im Bereich der Membran
5 eine sacklochartige Bohrung 20 auf, durch die die Membran 5, die auf der
dem Medium abgewandten Seite 21 des Grundkörpers 4 angeordnet ist, mit
dem Medium in Berührung steht. Bei dieser Ausgestaltung der Druckmeßzelle
3 ist nun auf der dem Medium abgewandten Seite 21 des Grundkörpers 4 das
Abstützelement 10' angeordnet, das als zusätzliches Bauteil ausgebildet ist.
Damit ist gleichzeitig auch das Abstützelement 10' auf der dem Medium
abgewandten Seite 7 der Membran 5 angeordnet, so daß sich die Membran 5 bei
Überlast an dem Abstützelement 10' abstützen kann.
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Der erforderliche Abstand zwischen der Membran 5 bzw. der Meßfläche 15
der Membran 5 und dem Abstützelement 10' ist hierbei zum einen dadurch
realisiert, daß das Abstützelement 10' eine kreisringförmige Kontaktfläche 22
aufweist, an der sich der Rand der Druckmeßzelle 3 bzw. des Grundkörpers 4
abstützt und innerhalb dieser kreisringförmigen Kontaktfläche 22 eine
großflächige Aussparung 11 vorgesehen ist, die die gewollte Durchbiegung der
Membran 5 ermöglicht. Die Abstützung der Membran 5 bzw. der Meßfläche
15 der Membran 5 bei Überlast erfolgt nun durch Abstützsegmente 23, die
innerhalb der Kontaktfläche 22 so angeordnet sind, daß die Abstützsegmente 23
auch bei Überlast nicht mit den DMS-Widerständen 8 oder mit Leiterbahnen
12 in Berührung kommen, so daß es nicht zu einer Zerstörung der DMS-
Widerstände 8 bzw. der Leiterbahnen 12 kommen kann.
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Wie in den Fig. 6 und 7 zu erkennen ist, sind innerhalb der Kontaktfläche 22
des Abstützelements 10' durchgehende Bohrungen 24 vorgesehen, so daß
auch in montiertem Zustand der Druckmeßzelle 3 im Gehäuse 2 des
Drucksensors 1 die Seite 7 bzw. einzelne Bereiche der Seite 7 der Membran 5 von
der dem Meßmedium abgewandten Seite 25 des Drucksensors 1 zugänglich
sind, so daß im eingebauten Zustand der Druckmeßzelle 3 beispielsweise ein
Laserabgleich an einem auf der Seite 7 der Membran 5 angebrachten
Widerstand möglich ist.
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Bei der in Fig. 8 dargestellten Ausführungsform der Druckmeßzelle 3 bzw.
des Abstützelements 10' beträgt die Dicke 17 des Grundkörpers 4 ebenfalls
ca. 6 mm, die Dicke 9 der Membran 5 beispielsweise 0,25 mm, die Höhe 18
der DMS-Widerstände 8 ca. 0,02 mm, die Tiefe 19 der Aussparung 11 ca. 0,2 mm
und die Höhe 26 der Abstützsegmente 23 beispielsweise 0,012 mm.
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Der Grundkörper 4 und die Membran 5 bestehen vorzugsweise aus einer
Keramik, insbesondere aus Aluminiumoxid, können jedoch auch aus einem Glas,
einem Quarz oder einem Saphir hergestellt werden. Für das Abstützelement
10' wird vorzugsweise ein Kunststoff, insbesondere PES oder PEEK oder eine
Keramik verwendet wobei das Abstützelement 10' auch als Isolierung
zwischen den elektrischen Anschlüssen der Druckmeßzelle 3, beispielsweise den
Leiterbahnen 12, und dem Gehäuse 2 dient.