DE10216340A1

DE10216340A1 - Impulse or shock compensation device, especially for an interferometer mirror that is moving in a linear or quasi-linear fashion, comprises a compensation lever and mass arrangement that provides an inertial compensation force

Info

Publication number: DE10216340A1
Application number: DE10216340A
Authority: DE
Inventors: Frank Herrmann
Original assignee: BRAN and LUEBBE; Bran und Luebbe GmbH
Current assignee: BRAN and LUEBBE; SPX Flow Technology Germany GmbH
Priority date: 2002-04-13
Filing date: 2002-04-13
Publication date: 2003-10-23

Abstract

Impulse compensation device (1) for a mass (2) that is being moved in a linear or quasi-linear manner, especially the mirror (3) of an interferometer (4). The device comprises a lever (5) that is mounted in a pivoting manner between its ends. The first end (6) is connected to the mass, while the other end (7), acting as a compensation lever (8), is connected to a compensation mass (9) to provide an inertial compensation force. The invention also relates to a corresponding method.

Description

Die Erfindung betrifft eine Stoßkompensationsvorrichtung für linear oder quasilinear geführte Massen, insbesondere für Spiegel eines Interferometers, die linear oder quasilinear geführt sind, sowie ein Verfahren zur Kompensation von Stößen, insbesondere bei linear oder quasilinear geführten Massen, im wesentlichen von Spiegeln in Interferometern. The invention relates to a shock compensation device for linear or Quasilinear guided masses, especially for mirrors Interferometers, which are linear or quasilinear, and a Method of compensating for shocks, especially in the case of linear or quasilinear guided masses, essentially of mirrors in Interferometers.

Die Erfindung beschränkt sich auf nicht im strengen Sinne linear geführte Massen, sondern auch auf solche Massen, die auf einem Kreisbogenabschnitt mittels eines Hebels geführt sind. Eine solche Führung wird auch als quasilinear im Rahmen dieser Erfindung bezeichnet. The invention is limited to those that are not linear in the strict sense Masses, but also to those masses based on one Arc section are guided by a lever. Such Leadership is also considered quasi-linear in the context of this invention designated.

Bei Interferometern werden Phasenänderungen zwischen zwei oder mehr optischen Strahlen zur Messung physikalischer Größen, beispielsweise Längen, Winkel und zur Spektroskopie, eingesetzt. Die bekannteste Grundform ist das Michelson-Interferometer, bei der die Strahlen einer Lichtquelle durch einen halbdurchlässigen Spiegel (Strahlteiler) im Winkel von 45 Grad auf zwei zueinander orthogonale Spiegel geleitet werden, wobei mindestens einer der beiden Spiegel linear verstellbar ist. With interferometers there are phase changes between two or more optical rays for measuring physical quantities, for example Lengths, angles and for spectroscopy. The best known The basic form is the Michelson interferometer, in which the rays of a Light source through a semi-transparent mirror (beam splitter) at an angle from 45 degrees to two orthogonal mirrors, at least one of the two mirrors being linearly adjustable.

Das so erzeugte Interferenzsignal schwankt in seiner Intensität periodisch und zeitabhängig in Abhängigkeit der linearen Verstellung des Spiegels und wird durch einen geeigneten Detektor, beispielsweise eine Photodiode, abgetastet. The intensity of the interference signal generated in this way fluctuates periodically and time-dependent depending on the linear adjustment of the mirror and is detected by a suitable detector, for example a Photodiode, scanned.

Eine besondere Ausführungsform eines Interferometers ist das sogenannte "Double-Cat's Eye-Interferometer" (Yezhevskaya T. B. and Shepilov A. F.; Fourier spectrometr s podvizhnym svetodelitelem, Pribori i tekhnika eksperimenta, N 6 (1981), p. 166.), bei dem der Lichtstrahl zwischen zwei Hohlspiegeln reflektiert wird, in deren Mitte sich ein ringförmiger Strahlteiler befindet. Dieser wird mit einer elektrischen Tauchspule linear bewegt. Es wird damit ein Verstellweg von insgesamt 5 mm und eine Genauigkeit der Führung im Bereich von einigen Nanometern erreicht. A special embodiment of an interferometer is the so-called "double cat's eye interferometer" (Yezhevskaya TB and Shepilov AF; Fourier spectrometr s podvizhnym svetodelitelem, Pribori i tekhnika eksperimenta, N 6 ( 1981 ), p. 166.), in which the light beam is reflected between two concave mirrors, in the middle of which there is an annular beam splitter. This is moved linearly with an electric plunger. An adjustment range of 5 mm and an accuracy of the guidance in the range of a few nanometers are achieved.

Kritisch ist dabei die lineare Führung des beweglichen Spiegels, weil mechanische Störungen, wie Erschütterungen und Stöße, die Meßgenauigkeit und die Qualität der Messungen vermindern. Es wird deshalb versucht, oben genannte mechanische Einwirkungen durch einen Laser zu messen und mittels einer elektromagnetisch erzeugten Gegenkraft, die durch die Spule elektrisch bewirkt wird, zu kompensieren. Die dadurch erreichbare Kompensation ist aber zu gering und für einen störungsfreien Betrieb nicht ausreichend. The linear guidance of the movable mirror is critical because mechanical disturbances, such as vibrations and shocks, the Reduce measurement accuracy and the quality of the measurements. It will therefore tried the mechanical effects mentioned above by a Measure laser and by means of an electromagnetically generated one To compensate counterforce that is caused electrically by the coil. The compensation that can be achieved in this way is too low and for one trouble-free operation is not sufficient.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung für linear geführte Massen, insbesondere für Spiegel oder Strahlteiler eines Interferometers wie beispielsweise eines Double-Cat's Eye-Interferometer, anzugeben, die eine effektivere und zuverlässigere Stoßkompensation aufweist. The object of the invention is to provide a device for linearly guided masses, especially for mirrors or beam splitters of an interferometer such as for example, a double-cat's eye interferometer, to specify the has more effective and reliable shock compensation.

Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe für den gattungsgemäßen Gegenstand sieht vor, dass ein Hebel zwischen seinen Enden drehbar gelagert ist, wobei ein Ende mit der linear oder quasilinear bewegten Masse und dessen anderes Ende als Kompensationshebel mit einer Kompensationsmasse verbunden ist, so dass die Kompensationskraft eine Trägheitskraft der Kompensationsmasse ist. Dadurch wird die Empfindlichkeit der linear oder quasilinear geführten Masse gegen äußere mechanische Störungen vermindert, indem durch die Kompensationsmasse und die Kompensationshebel ein Kraftvektor gleichen Betrages wie die störende Kraft aber mit umgekehrter Richtung erzeugt wird, so dass die resultierende Wirkung gerade null ist. Hierdurch wird die Genauigkeit und Qualität der Messung vorteilhaft gesteigert. The inventive solution to this problem for the generic The object provides that a lever is rotatable between its ends is supported, with one end moving linearly or quasi-linearly Mass and its other end as a compensation lever with one Compensation mass is connected, so that the compensation force a The inertia of the compensation mass is. This will make the Sensitivity of the linear or quasi-linear mass to external mechanical interference reduced by the Compensation mass and the compensation lever a force vector same amount as the disturbing force but in the opposite direction is generated so that the resulting effect is just zero. hereby the accuracy and quality of the measurement is advantageously increased.

Wenn die Schwerpunkte der linear oder quasilinear geführten Masse und der Kompensationsmasse mit der Drehachse fluchtend ausgerichtet ist, werden die auf die Masse wirkenden Kräfte vorteilhaft auf die Kompensationsmasse übertragen. If the focus of the linear or quasilinear mass and the compensation mass is aligned with the axis of rotation, the forces acting on the mass are advantageous on the Transfer compensation mass.

Dadurch dass die Hebelenden gerade in den Schwerpunktachsen mindestens einer Masse angreifend angeordnet sind, werden Kippmomente der Masse vermieden. Because the lever ends just in the center of gravity are arranged to attack at least one mass Tipping moments of the mass avoided.

Vorteilhaft ist, dass sich die Normalen auf der Bewegungsebene der Schwerpunkte der linear oder quasilinear bewegten Masse und der Kompensationsmasse mindestens in einem Punkt ihres Verschiebungsweges decken. Hierdurch werden neben der translatorischen Impulsenkompensation zusätzlich auch Drehimpulse, deren Vektoren senkrecht zur Bewegensebene der linear oder quasilinear bewegten Masse stehen, kompensiert. It is advantageous that the normals on the movement level of the Main focus of the linear or quasilinear moving mass and the Compensation mass at least in one point of your Cover displacement path. As a result, in addition to translatory pulse compensation additionally also angular momentum, whose vectors are perpendicular to the plane of motion of the linear or quasilinear standing moving mass, compensated.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die zu kompensierende Masse ein linear oder quasilinear geführter Strahlteiler eines Interferometers, insbesondere Michelson-Interferometer oder sogenanntes "Double Cats Eye-Interferometer", ist. Derartige Interferometer sind sehr empfindlich gegen kleinste mechanische Störungen, weil der Spiegel während der Messung auf einige Nanometer genau verstellt wird. Durch die Erfindung kann das Interferometer auch unter Bedingungen eingesetzt werden, wo die linear geführten Spiegel stärkeren mechanischen Einflüssen ausgesetzt ist, beispielsweise in Prozessumgebungen. Hieraus ergibt sich ein größeres Einsatzgebiet als bei herkömmlichen Meßeinrichtungen. In a further embodiment of the invention it is provided that the compensating mass a linear or quasilinear beam splitter an interferometer, in particular a Michelson interferometer or so-called "Double Cats Eye Interferometer". such Interferometers are very sensitive to the smallest mechanical Interference because of the mirror during the measurement to a few nanometers is precisely adjusted. With the invention, the interferometer can also be used under conditions where the linearly guided mirrors is exposed to stronger mechanical influences, for example in Process environments. This results in a larger area of application than with conventional measuring devices.

Wenn zur Führung der Masse parallele Führungshebel vorgesehen sind, von denen mindestens einer als Kompensationshebel eine Verlängerung aufweist, an dessen Ende die Kompensationsmasse angeordnet ist, erhöht sich vorteilhaft die mechanische Stabilität der Vorrichtung. If parallel guide levers are provided for guiding the mass, at least one of which is an extension as a compensation lever has, at the end of which the compensation mass is arranged, the mechanical stability of the device advantageously increases.

In einer alternativen Ausgestaltung kann auch die Bewegungsebene, in der der Kompensationshebel schwenkt, außerhalb einer Bewegungsebene angeordnet sein, in der sich der Führungshebel bewegt. Dies kann insbesondere bei beengten Platzverhältnissen vorteilhaft sein. In an alternative embodiment, the movement plane, in which the compensation lever pivots outside of Plane be arranged in which the guide lever moves. This can be particularly advantageous when space is limited.

Die auf die Masse einwirkenden Kräfte werden dann optimal kompensiert, wenn ein Produkt aus Masse und Führungshebellänge gleich dem Produkt aus Kompensationsmasse und Kompensationshebellänge ausgebildet ist. Dadurch kann die Stoßkompensationsvorrichtung den jeweiligen baulichen Erfordernissen, beispielsweise eines Meßgerätes, angepaßt werden, indem die Länge der Kompensationshebel veränderbar ist. The forces acting on the mass are then optimally compensated, if a product of mass and guide lever length is equal to the product is formed from compensation mass and compensation lever length. This allows the shock compensation device to the respective structural requirements, such as a measuring device, adapted by changing the length of the compensation lever.

In einer anderen vorteilhaften Ausführungsform ist eine weitere, zur ersten Richtung orthogonal angeordnete Kompensationsvorrichtung vorgesehen. Dadurch wird zusätzlich die Kompensation von Stößen, deren Richtung senkrecht zur linearen oder quasilinearen Bewegungsrichtung der Masse ist, erreicht und ermöglicht eine weitere Erhöhung der Meßgenauigkeit und Verbesserung der Qualität der Messungen. In another advantageous embodiment, there is a further one, to the first Compensation device arranged orthogonally. This additionally compensates for shocks and their direction perpendicular to the linear or quasilinear direction of movement of the mass is reached and enables a further increase in measuring accuracy and improve the quality of the measurements.

Die Aufgabe wird bei einem Verfahren zur Kompensation von Stößen auch dadurch gelöst, dass eine der Trägheitskraft der linear oder quasilinear geführten Masse entgegengesetzte Kompensationskraft erzeugt wird, die auf die linear oder quasilinear geführten Masse bei einem Stoß einwirkt, wobei sie in gleicher Größe, aber in entgegengesetzter Richtung wirkt. Es wird also genau jene Gegenkraft erzeugt, die zur Kompensation notwendig ist. Durch das allein mechanische Verfahren entfällt ein aufwendiger, meßtechnisch rückgekoppelter elektronischer Regelungskreis. The task is in a method of compensating for shocks also solved in that one of the inertia of the linear or quasilinearly guided mass opposite compensation force is generated, the linear or quasi-linear mass a shock, being of the same size but in works in the opposite direction. So it becomes exactly that counterforce generated, which is necessary for compensation. By that alone Mechanical processes are no longer necessary, technically feedback electronic control loop.

Insbesondere ist von Vorteil, dass die entgegengesetzte Richtung der Kompensationskraft durch ein Hebelgetriebe erzeugt wird, weil diese Art der Kraftübertragung zuverlässig und verlustarm ist. Außerdem ist ein Hebelgetriebe einfach und kostengünstig herzustellen. It is particularly advantageous that the opposite direction of the Compensating force is generated by a lever mechanism because this type the power transmission is reliable and low loss. In addition, is a Lever gearboxes easy and inexpensive to manufacture.

Die Erfindung wird in einer bevorzugte Ausführungsform unter Bezugnahme auf eine Zeichnung beispielhaft beschrieben, wobei weitere vorteilhafte Einzelheiten der Figur der Zeichnung zu entnehmen sind. Funktionsmäßig gleiche Teile sind dabei mit denselben Bezugszeichen versehen. The invention is described in a preferred embodiment Described by way of example with reference to a drawing, with others advantageous details of the figure can be seen in the drawing. Functionally identical parts have the same reference numerals Mistake.

Die Fig. 1 zeigt schematisch einen Vertikalschnitt einer Stoßkompensationsvorrichtung für linear oder quasilinear geführte Massen, insbesondere für Spiegel eines Double- Cat's Eye-Interferometers. Fig. 1 shows schematically a vertical section of an impact compensation device for linearly or quasi-linearly guided masses, in particular for levels of a double- cat's eye interferometer.

Das Double-Cat's Eye-Interferometers 4 besteht im wesentlichen aus zwei Hohlspiegeln 14, die in einem festen Abstand mittig mit ihren konkaven Innenseiten sich gegenüber in einem Gehäuse angeordnet und auf einem gemeinsamen nicht dargestellten Fundament befestigt sind. Zwischen den beiden Hohlspiegeln 14 ist eine Masse 2, bevorzugt als teilweise durchlässiger Spiegel 3, so angeordnet, dass alle drei Spiegel eine gemeinsame Mittelpunktsachse haben und die Spiegelebenen zueinander parallel sind. Der mittlere Spiegel 3 kann dabei mittels einer geeigneten Führung linear oder quasilinear, d. h. orthogonal zur Spiegelebene, bewegt werden. Die lineare Bewegung 1 wird in einer Tauchspule 13 elektrisch erzeugt und durch eine Vorrichtung auf den Spiegel übertragen. Am oberen Ende des Spiegels 2 ist eine Führungsstange 12 fest mit dem Spiegel verbunden, so dass es sich bei der linearen oder quasilinearen Bewegung des Spiegels mitbewegt. Die Führungsstange ist außerhalb des Strahlengangs und parallel zur Bewegungsrichtung 1 des Spiegels angeordnet. Am Ende der Führungsstange 12 ist über ein Gelenk jeweils das obere Ende 6 eines Hebels 5 angelenkt, wobei Hebel 5 und Führungsstange 12 einen rechten Winkel bilden. Eine Tangente am Weg des Hebelendes 6 ist mit der Führungsrichtung des linear oder quasilinear geführten Spiegels sich deckend ausgerichtet. In der Fig. 1 ist die obere Hälfte des Hebels als Führungshebel 5 und die untere Hälfte des gerade verlängerten Hebels als Kompensationshebel 8 bezeichnet. Beide Hälften sind starr verbunden und in der Mitte 11 gelagert. Am unteren Ende 7 des Kompensationshebels 8 ist eine Führungsstange 15 angelenkt, wobei Hebel und Führungsstangen 12, 15 ein Parallelogramm bilden. An der Führungsstange 15 ist eine Kompensationsmasse 9 fest angebracht. Die Hebel 5, 8, 5', 8' sind mittels Schwenklager 11, 11' schwenkbar aber raumfest mit dem Fundament des Interferometers verbunden. Um die Stabilität zu erhöhen, kann die Vorrichtung derart ausgeführt werden, dass zusätzlich ein paralleler Führungs- und Kompensationshebel vorgesehen ist. Wie in Fig. 1 gezeigt ergibt sich ein Parallelogramm aus den parallelen Führungs- 5, 5, und Kompensationshebeln 8, 8' und der Führungsstange 12 und Führungsstange 15. Es sind jedoch auch andere Ausführungsformen möglich, bei denen beispielsweise nur ein Hebelpaar genutzt wird und kein vollständiges Parallelogramm vorliegt oder in der die Stoßkompensationsvorrichtung in einer anderen Ebene als die Führung angeordnet ist. The Double-Cat's Eye Interferometer 4 consists essentially of two concave mirrors 14 , which are arranged at a fixed distance in the middle with their concave inner sides opposite each other in a housing and are fastened on a common foundation, not shown. A mass 2 , preferably as a partially transparent mirror 3 , is arranged between the two concave mirrors 14 such that all three mirrors have a common center axis and the mirror planes are parallel to one another. The middle mirror 3 can be moved linearly or quasi-linearly, ie orthogonally to the mirror plane, by means of a suitable guide. The linear movement 1 is generated electrically in a moving coil 13 and transmitted to the mirror by a device. At the upper end of the mirror 2 , a guide rod 12 is firmly connected to the mirror, so that it moves with the linear or quasilinear movement of the mirror. The guide rod is arranged outside the beam path and parallel to the direction of movement 1 of the mirror. At the end of the guide rod 12 , the upper end 6 of a lever 5 is articulated via a joint, the lever 5 and the guide rod 12 forming a right angle. A tangent to the path of the lever end 6 is aligned with the guide direction of the linear or quasi-linear mirror. In Fig. 1, the upper half of the lever is referred to as the guide lever 5 and the lower half of the currently extended lever as the compensation lever 8 . Both halves are rigidly connected and supported in the middle 11 . At the lower end 7 of the compensation lever 8 , a guide rod 15 is articulated, the lever and guide rods 12 , 15 forming a parallelogram. A compensation mass 9 is fixedly attached to the guide rod 15 . The levers 5 , 8 , 5 ', 8 ' are pivotally but spatially connected to the foundation of the interferometer by means of pivot bearings 11 , 11 '. To increase the stability, the device can be designed such that a parallel guide and compensation lever is additionally provided. As shown in FIG. 1, a parallelogram results from the parallel guide 5 , 5 , and compensation levers 8 , 8 'and the guide rod 12 and guide rod 15 . However, other embodiments are also possible in which, for example, only one pair of levers is used and there is no complete parallelogram, or in which the shock compensation device is arranged on a different plane than the guide.

Bei Erschütterungen wirken diese über das Fundament auf die Schwenklager 11. Die Massen haben dabei aufgrund ihrer Trägheit das Bestreben, da sie gelagert sind, zunächst ihre Position beizubehalten. Dadurch ergibt sich eine Relativbewegung zwischen Fundament und Massen, die auf die linear oder quasilinear geführte Masse wie ein Stoß wirkt, etwa durch eine Erschütterung, d. h. die so erzeugte Kraft wird über die Führungsstange 12 auf den Führungshebel 5 übertragen. Gleichzeitig wirkt derselbe Stoß auch auf die Kompensationsmasse 9. Die Kraft wird über die Führungsstange 15 auf den Kompensationshebel 8 übertragen. Da Kompensationsmasse 9 und Spiegel 3 dieselben Massen haben, werden zwei gleich große Kräfte erzeugt. Die von der Kompensationsmasse 9 erzeugte Kraft wird durch die Hebelübersetzung 5, 8 jeweils um 180 Grad gedreht und weist deshalb die genau entgegengesetzte Richtung auf. Weil in Fig. 1 Führungshebel 5 und Kompensationshebel 8 dieselben Längen aufweisen, kompensieren sich beide Kräfte gerade. In the event of vibrations, these act on the pivot bearings 11 via the foundation. Because of their inertia, the masses endeavor to initially maintain their position. This results in a relative movement between the foundation and the masses, which acts on the linearly or quasilinearly guided mass like an impact, for example due to a vibration, ie the force thus generated is transmitted to the guide lever 5 via the guide rod 12 . At the same time, the same impact also acts on the compensation mass 9 . The force is transmitted to the compensation lever 8 via the guide rod 15 . Since compensation mass 9 and mirror 3 have the same mass, two forces of equal magnitude are generated. The force generated by the compensation mass 9 is rotated by 180 degrees through the lever transmission 5 , 8 and therefore has the exactly opposite direction. Because the guide lever 5 and the compensation lever 8 have the same lengths in FIG. 1, both forces compensate each other straight.

In anderen Ausführungsformen können beide Massen und Hebellängen unterschiedliche Beträge haben, sofern die Bedingung erfüllt ist, dass Produkt aus Masse 2 und Führungshebellänge 5 gleich dem Produkt aus Kompensationsmasse 9 und Kompensationshebellänge 8 ist. In other embodiments, both masses and lever lengths can have different amounts, provided the condition is met that the product of mass 2 and guide lever length 5 is equal to the product of compensation mass 9 and compensation lever length 8 .

Auf diese Weise ist eine besonders einfache aber überraschend wirksame Kompensation erfolgt, die das Gerät auch für Laien in der Praxis leicht handhabbar werden läßt. BEZUGSZEICHENLISTE 1. Bewegungsrichtung der linear oder quasilinear bewegte Masse
2 linear oder quasilinear bewegte Masse
3 Spiegel
4 Interferometer-Aufbau
5 Führungshebel
6 Oberes Ende des Führungshebels
7 Unteres Ende des Führungshebels
8 Kompensationshebel
9 Kompensationsmasse
10 Bewegungsrichtung der Kompensationsmasse
11 Mittelgelenk von Führungshebel und Kompensationshebel
12 Führungsstange der linear oder quasilinear bewegten Masse
13 Tauchspule
14 Hohlspiegel
15 Führungsstange der Kompensationsmasse
In this way, a particularly simple but surprisingly effective compensation has taken place, which makes the device easy to handle in practice even for laypeople. REFERENCE SIGN LIST 1. Direction of movement of the linearly or quasilinearly moved mass
2 linear or quasilinear moving mass
3 mirrors
4 interferometer setup
5 guide levers
6 Upper end of the guide lever
7 Lower end of the guide lever
8 compensation levers
9 compensation mass
10 Direction of movement of the compensation mass
11 Center joint of the guide lever and compensation lever
12 guide rod of linearly or quasilinearly moved mass
13 plunger
14 concave mirror
15 guide rod of the compensation mass

Claims

1. shock compensation device ( 1 ) for linearly or quasilinearly guided masses ( 2 ), in particular for mirrors ( 3 ) of an interferometer ( 4 ), which are linearly or quasilinearly guided, characterized in that a lever ( 5 ) between its ends ( 6 , 7 ) is rotatably mounted, one end ( 6 ) with the linear or quasilinear mass ( 2 ) and the other end ( 7 ) as a compensation lever ( 8 ) with a compensation mass ( 9 ), so that the compensation force is an inertial force Compensation mass is.

2. Device according to claim 1, characterized in that the centers of gravity of the linearly or quasi-linearly guided mass ( 2 ) and the compensating mass are aligned flush with the axis of rotation.

3. Device according to one or more of the preceding claims, characterized in that the lever ends ( 6 , 7 ) are arranged attacking the center of gravity axes of at least one mass.

4. Device according to one or more of the preceding Claims, characterized in that the normals on the plane of motion of the focal points of linear or quasilinear moving mass and the compensation mass cover at least one point of their displacement.

5. The device according to one or more of the preceding claims, characterized in that the mass to be compensated ( 2 ) is a linear or quasilinear beam splitter of an interferometer ( 4 ), in particular Michelson interferometer or so-called "Double Cats Eye interferometer".

6. Device according to one or more of the preceding claims, characterized in that parallel guide levers ( 5 ', 8 ') are provided for guiding the mass ( 2 ), at least one of which has an extension as a compensation lever ( 8 ) at the end of which ( 7 ) the compensation mass ( 9 ) is arranged.

7. The device according to one or more of the preceding claims, characterized in that a movement plane ( 10 ), in which the compensation lever pivots, is arranged outside a movement plane in which the guide lever ( 5 ) moves.

8. The device according to one or more of the preceding claims, characterized in that a product of mass ( 2 ) and guide lever length is formed equal to the product of the compensation mass ( 9 ) and the compensation lever length.

9. The device according to one or more of the preceding claims, characterized in that a further compensation device arranged orthogonally to the first direction ( 10 ) is provided.

10. A method for compensating shocks, in particular in the case of masses ( 2 ) which are guided linearly or quasilinearly, essentially by mirrors ( 3 ) in interferometers, characterized in that a compensating force which is opposite to the inertial force of the masses ( 2 ) linearly or quasilinearly is generated, which acts on the linearly or quasilinearly guided mass in the event of an impact, whereby it acts in the same size but in the opposite direction.

11. The method according to claim 10, characterized in that the opposite direction of the compensation force is generated by a lever gear ( 5 , 6 , 7 , 8 ,).