DE10205233B4 - Method and device for lapping a surface - Google Patents

Method and device for lapping a surface Download PDF

Info

Publication number
DE10205233B4
DE10205233B4 DE2002105233 DE10205233A DE10205233B4 DE 10205233 B4 DE10205233 B4 DE 10205233B4 DE 2002105233 DE2002105233 DE 2002105233 DE 10205233 A DE10205233 A DE 10205233A DE 10205233 B4 DE10205233 B4 DE 10205233B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
lapping
grooves
suspension
workpiece
distance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE2002105233
Other languages
German (de)
Other versions
DE10205233A1 (en
Inventor
Jörg KEGELER
Falk Friemel
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Schott AG
Original Assignee
Schott AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Schott AG filed Critical Schott AG
Priority to DE2002105233 priority Critical patent/DE10205233B4/en
Publication of DE10205233A1 publication Critical patent/DE10205233A1/en
Application granted granted Critical
Publication of DE10205233B4 publication Critical patent/DE10205233B4/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
    • B24B37/08—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for double side lapping
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/042—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces operating processes therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/11—Lapping tools
    • B24B37/12—Lapping plates for working plane surfaces
    • B24B37/16—Lapping plates for working plane surfaces characterised by the shape of the lapping plate surface, e.g. grooved

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

Verfahren zum Läppen einer Oberfläche (2) eines Werkstücks (1) unter Verwendung mindestens einer in ihrer Läppfläche (6) Nuten (4) aufweisenden Läppscheibe (3a, 3b), insbesondere aus Grauguß, die insbesondere in ihren Nuten (4) sowie gegebenenfalls an ihrer Seite und Rückseite mit einem Korrosionsschutz versehen ist, bei dem über die Nuten (4) während des Läppens auf die Oberfläche (2) des Werkstücks (1) eine Suspension aufgegeben wird, die ein Läppmittel mit einer mittleren Korngröße < 1 μm enthält und auf einem pH-Wert < 7 eingestellt ist und bei dem mindestens eine der Läppscheiben (3a, 3b) relativ zum Werksktück (1) bewegt wird, wobei die Dichte der Suspension und ein Abstand (5) der Nuten (4) derart gewählt ist, daß die Läppfläche (6) vollständig benetzt bleibt.method for lapping a surface (2) a workpiece (1) using at least one lapping disk having grooves (4) in its lapping surface (6) (3a, 3b), in particular from gray cast iron, which in particular in their Grooves (4) and possibly on their side and back is provided with a corrosion protection, in which the Grooves (4) during of lapping to the surface (2) the workpiece (1) a suspension is applied which contains a lapping agent with an average grain size <1 μm and on a pH value <7 is set and at least one of the lapping disks (3a, 3b) relative to the work piece (1) is moved, the density of the suspension and a distance (5) of the grooves (4) selected in this way is that the Lapping surface (6) Completely remains wetted.

Figure 00000001
Figure 00000001

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Läppen einer Oberfläche eines Werkstücks unter Verwendung mindestens einer in ihrer Läppfläche Nuten aufweisenden Läppscheibe sowie eine Vorrichtung, mit welcher das vorstehend beschriebene Verfahren durchgeführt werden kann.The The invention relates to a method for lapping a surface of a workpiece using at least one lapping disk with grooves in its lapping surface and a device with which the above described Procedure carried out can be.

Eine Polierflüssigkeit zum Polieren metallischer Filmschichten wird in der US 59 22 091 A beschrieben. Die bekannte Polierflüssigkeit umfaßt 2,5 bis 10 Gew.-% feste Abrasivteilchen, assoziiert mit einem passenden Oxidationsmittel, eine Protonensäure, wie beispielsweise Phosphor-, Essig- oder Weinsäure, sowie eine Base, umfassend ein Hydroxid, wie z.B. ein- oder zweiwertiges Alkali- oder Erdalkali Metall. Während des Poliervorganges soll sich eine elektrische Doppelschicht an der Oberfläche der Abrasivteilchen durch eine Dissoziation von Anionen aus der Protonensäure und Kationen aus den Hydroxiden ausbilden, so daß die Suspension mit den Abrasivteilchen in der wässrigen Polierflüssigkeit stabilisiert würde und dadurch die Ausbildung von Kratzern, hervorgerufen durch die Abrasivteilchen, verhindert würde.A polishing liquid for polishing metallic film layers is used in the US 59 22 091 A described. The known polishing liquid comprises 2.5 to 10% by weight of solid abrasive particles, associated with a suitable oxidizing agent, a protonic acid, such as, for example, phosphoric, acetic or tartaric acid, and a base, comprising a hydroxide, such as, for example, mono- or dihydric alkali - or alkaline earth metal. During the polishing process, an electrical double layer should form on the surface of the abrasive particles through a dissociation of anions from the protonic acid and cations from the hydroxides, so that the suspension with the abrasive particles in the aqueous polishing liquid would be stabilized and thereby the formation of scratches caused by the abrasive particles would be prevented.

Ein weiteres Verfahren zur Politur der Oberfläche von Wafern offenbart die US 63 75 545 B1 . Die Qualität der Oberfläche soll dadurch verbessert werden, daß eine wässrige Dispersion verwendet wird, die vernetzte Polymerpartikel mit einer mittleren Partikelgröße von 0,13 bis 0,8 mm enthält.Another method for polishing the surface of wafers discloses the US 63 75 545 B1 , The quality of the surface should be improved by using an aqueous dispersion which contains crosslinked polymer particles with an average particle size of 0.13 to 0.8 mm.

Die zur Zeit bekannten Verfahren zum Läppen von Oberflächen, beispielsweise von Wafern, können hinsichtlich der Oberflächenrauhigkeit des zu bearbeitenden Werkstückes in zunehmendem Maße kaum den gestellten Anforderungen der Abnehmer genügen.The currently known methods for lapping surfaces, for example of wafers, can in terms of surface roughness of the workpiece to be machined increasingly hardly meet the requirements of the customers.

Aus diesem Grund besteht die Aufgabe der Erfindung darin, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Optimierung der Qualität von Werkstückoberflächen zu entwickeln.Out for this reason, the object of the invention is a method and a device for optimizing the quality of workpiece surfaces develop.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein Verfahren mit den im Patentanspruch 1 angegebenen Merkmalen sowie durch eine Vorrichtung mit den im Patentanspruch 6 angegebenen Merkmalen.The The object is achieved by a method with the features specified in claim 1 and by a device with those specified in claim 6 Features.

Dabei ermöglicht das sehr feine Läppmittel in der Suspension mit dem darauf abgestimmten Abstand der Nuten eine äußerst geringe Oberflächenrauheit. Das feine Läppmittel ist jedoch nicht in der Lage, eine sich auf der Oberfläche der mindestens einen Läppscheibe ausbildende Graphitschicht zu durchbrechen und abzutragen. Das Ausbilden der Graphitschicht resultiert aus dem Kohlenstoffanteil des Gußwerkstoffs der Läppscheibe. Zur Entfernung der Graphitschicht dient erfindungsgemäß daher nicht das Läppmittel sondern eine der Suspension zugesetzte Säure. Um dem korrosiven Verschleiß an der Läppscheibe entgegenzuwirken, ist die mindestens eine Läppscheibe mit einem Korrosionsschutz versehen. Dieses ist insbesondere deshalb notwendig, da beim Läppvorgang abgelöster Rost zwischen Läppscheibe und Oberfläche des zu bearbeitenden Werkstücks gelangen kann und daß Läppergebnis dadurch negativ beeinflußt wird. Neben der Oberflächenrauheit wirkt sich auf die Oberflächenqualität des zu bearbeitenden Werkstücks noch die Formgenauigkeit aus. Eine hohe Formgenauigkeit bedingt eine vollständige Benetzung der Läppfläche mit Suspension, d.h. ein Ausfüllen des Wirkspaltes zwischen Oberfläche des zu bearbeitenden Werkstücks und der Läppfläche mit Suspension. Dabei stehen die Dichte der Suspension und der Abstand der Nuten dahingehend in einem Abhängigkeitsverhältnis, daß mit geringerem Abstand der Nuten auch eine geringere Dichte der Suspension gewählt werden kann.there allows the very fine lapping agent in suspension with the matching spacing of the grooves an extremely low one Surface roughness. The fine lapping agent however, is unable to get one on the surface of the at least one lapping wheel forming graphite layer to break through and remove. Training the graphite layer results from the carbon content of the cast material the lapping wheel. According to the invention, therefore, does not serve to remove the graphite layer the lapping agent but an acid added to the suspension. To prevent the corrosive wear on the lapping To counteract this, the at least one lapping disk is provided with corrosion protection. This is particularly necessary because the lapping process detached Rust between lapping disks and surface of the workpiece to be machined can get and that lapping result negatively influenced becomes. In addition to the surface roughness affects the surface quality of the machining workpiece shape accuracy. A high degree of dimensional accuracy requires one full Wetting the lapping surface with Suspension, i.e. a filling out the effective gap between the surface of the workpiece to be machined and the lapping surface with Suspension. The density of the suspension and the distance of the grooves in a dependency ratio in that with less Distance of the grooves also a lower density of the suspension can be selected can.

Vorzugsweise wird als Korrosionsschutz, insbesondere in den Nuten, eine Verzinkung verwendet. Dabei kann zunächst die gesamte Läppscheibe verzinkt und nachfolgend im eingebauten Zustand die Verzinkung auf der Läppfläche durch Bearbeitung der Läppscheibe mit Abrichtringen, welche anstelle des zu bearbeitenden Werkstücks eingelegt werden, abgetragen werden, so daß der auf der Läppfläche unerwünschte Korrosionsschutz entfernt wird.Preferably is used as a protection against corrosion, especially in the grooves, a galvanizing used. This can be done first the entire lapping disk is galvanized and then, when installed, galvanize on the lapping surface Machining the lapping wheel with dressing rings, which are inserted instead of the workpiece to be machined are removed, so that the undesirable corrosion protection on the lapping surface Will get removed.

In einer besonderen Ausgestaltung des Verfahrens wird der pH-Wert < 7 durch Zugabe einer Phosphorsäure eingestellt. Die Phosphorsäure ermöglicht eine sehr effektive Reinigung der Läppfläche und verhindert die Ausbildung einer Graphitschicht.In In a special embodiment of the method, the pH is <7 by addition a phosphoric acid set. The phosphoric acid allows a very effective cleaning of the lapping surface and prevents training a graphite layer.

Günstigerweise wird der maximale Abstand der Nuten mit 15 mm gewählt, wobei ein Optimum bei ca. 5 mm liegen kann. Der Nutenabstand ist abhängig von der Korngröße des Läppmittels, wobei feinere Läppmittel einen geringeren Nutenabstand bedingen. Bei einem gewählten Nutenabstand von beispielsweise 15 mm sollte die Dichte der Suspension mindestens 1,40 g/cm3 betragen, bei einem geringeren Nutenabstand von z. B. 5 mm dagegen mindestens 1,25 g/cm3.The maximum spacing of the grooves is advantageously chosen to be 15 mm, an optimum being approximately 5 mm. The groove spacing depends on the grain size of the lapping agent, whereby finer lapping agents require a smaller groove spacing. With a selected groove spacing of, for example, 15 mm, the density of the suspension should be at least 1.40 g / cm 3 , with a smaller groove spacing of e.g. B. 5 mm, however, at least 1.25 g / cm 3 .

In einer bevorzugten Ausführungsform der Vorrichtung beträgt der Abstand der Nuten in der Läppscheibe 5 mm.In a preferred embodiment the device the distance of the grooves in the lapping wheel 5 mm.

Der Korrosionsschutz der mindestens einen Läppscheibe kann eine Verzinkung umfassen.The corrosion protection of at least one Lapping wheel can include galvanizing.

Im folgenden wird die Erfindung anhand zweier Figuren näher erläutert. Es zeigen diein the The invention is explained in more detail below with the aid of two figures. It show the

1 eine schematische Seitenansicht der Vorrichtung; und 1 a schematic side view of the device; and

2 eine Draufsicht auf eine Läppscheibe mit einer Ausschnittsvergrößerung der Läppflächen. 2 a plan view of a lapping disk with an enlarged detail of the lapping surfaces.

Die 1 zeigt eine schematische Seitenansicht der Vorrichtung mit einem zwischen einer oberen Läppscheibe 3a und einer unteren Läppscheibe 3b eingelegten, zu bearbeitenden Werkstück 1, welches zwei zu bearbeitende Oberflächen 2 aufweist. Zur Bearbeitung drehen sich die Läppscheiben 3a, 3b in ihrer vorgegebenen Drehrichtung 8, wobei über die Läppflächen 6 eine im Läppmittel enthaltene Suspension in Bewegung versetzt wird und mittels des Läppmittels die zu bearbeitende Oberfläche 2 des Werkstücks 1 geglättet wird.The 1 shows a schematic side view of the device with a between an upper lapping disk 3a and a lower lapping wheel 3b inserted workpiece to be machined 1 which has two surfaces to be machined 2 having. The lapping disks rotate for processing 3a . 3b in their specified direction of rotation 8th , taking over the lapping surfaces 6 a suspension contained in the lapping agent is set in motion and by means of the lapping agent the surface to be processed 2 of the workpiece 1 is smoothed.

Die Läppflächen 6 der Läppscheiben 3a, 3b sind durch die Nuten 4 unterbrochen, über welche die Suspension (nicht eingezeichnet) in den Bearbeitungsspalt 7 aufgegeben wird. Auf den Läppflächen 6 bildet sich während des Läppvorganges eine Graphitschicht aus, die erfindungsgemäß durch Verwendung einer Suspension mit einem niedrigen pH-Wert bereits in der Entstehungsphase beseitigt wird. Dies ist notwendig, da das feine Läppmittel keinen Abtrag der Graphitschicht ermöglicht.The lapping surfaces 6 the lapping disks 3a . 3b are through the grooves 4 interrupted, via which the suspension (not shown) in the processing gap 7 is abandoned. On the lapping surfaces 6 During the lapping process, a graphite layer forms, which according to the invention is eliminated in the development phase by using a suspension with a low pH. This is necessary because the fine lapping agent does not allow the graphite layer to be removed.

Aufgrund der Verwendung einer sauren Suspension sind die Läppscheiben 3a, 3b allseitig mit einer Verzinkung gegen Korrosion geschützt, d.h. auch die Rückseiten 10 und Seitenflächen 9 der Läppscheiben 3a, 3b weisen eine Verzinkung auf.Due to the use of an acid suspension, the lapping disks are 3a . 3b Protected against corrosion on all sides by galvanizing, ie also on the back 10 and side surfaces 9 the lapping disks 3a . 3b are galvanized.

Die 2 stellt eine Draufsicht auf eine Läppscheibe 3a, 3b dar mit einer Ausschnittsvergrößerung der Läppfläche 6 und den darin eingebrachten Nuten 4 die im Abstand 5 die Läppfläche 6 durchsetzen.The 2 represents a top view of a lapping wheel 3a . 3b with an enlarged section of the lapping surface 6 and the grooves made in it 4 the at a distance 5 the lapping surface 6 push through.

11
Werkstückworkpiece
22
Oberflächesurface
3a3a
obere Läppscheibeupper lapping
3b3b
untere Läppscheibelower lapping
44
Nutengroove
55
Abstanddistance
66
Läppflächelapping surface
77
Bearbeitungsspaltmachining gap
88th
Drehrichtungdirection of rotation
99
Seitenflächeside surface
1010
Rückseiteback

Claims (9)

Verfahren zum Läppen einer Oberfläche (2) eines Werkstücks (1) unter Verwendung mindestens einer in ihrer Läppfläche (6) Nuten (4) aufweisenden Läppscheibe (3a, 3b), insbesondere aus Grauguß, die insbesondere in ihren Nuten (4) sowie gegebenenfalls an ihrer Seite und Rückseite mit einem Korrosionsschutz versehen ist, bei dem über die Nuten (4) während des Läppens auf die Oberfläche (2) des Werkstücks (1) eine Suspension aufgegeben wird, die ein Läppmittel mit einer mittleren Korngröße < 1 μm enthält und auf einem pH-Wert < 7 eingestellt ist und bei dem mindestens eine der Läppscheiben (3a, 3b) relativ zum Werksktück (1) bewegt wird, wobei die Dichte der Suspension und ein Abstand (5) der Nuten (4) derart gewählt ist, daß die Läppfläche (6) vollständig benetzt bleibt.Surface lapping process ( 2 ) of a workpiece ( 1 ) using at least one in their lapping surface ( 6 ) Grooves ( 4 ) lapping disc ( 3a . 3b ), in particular from gray cast iron, which in particular in their grooves ( 4 ) and, if necessary, is provided with a corrosion protection on its side and back, in which the grooves ( 4 ) while lapping onto the surface ( 2 ) of the workpiece ( 1 ) a suspension is applied which contains a lapping agent with an average grain size <1 μm and is set to a pH value <7 and in which at least one of the lapping disks ( 3a . 3b ) relative to the work piece ( 1 ) is moved, the density of the suspension and a distance ( 5 ) of the grooves ( 4 ) is selected such that the lapping surface ( 6 ) remains completely wetted. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem als Korrosionsschutz eine Verzinkung verwendet wird.A method according to claim 1, in which as corrosion protection galvanizing is used. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei dem der pH-Wert < 7 durch Zugabe einer Phosphorsäure eingestellt wird.The method of claim 1 or 2, wherein the pH <7 by addition a phosphoric acid adjusted becomes. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem der maximale Abstand (5) der Nuten (4) der mindestens einen Läppscheibe (3a, 3b) 15 mm und die Dichte der Suspension ≥ 1,4 g/cm3 beträgt.Method according to one of Claims 1 to 3, in which the maximum distance ( 5 ) of the grooves ( 4 ) the at least one lapping wheel ( 3a . 3b ) 15 mm and the density of the suspension is ≥ 1.4 g / cm 3 . Verfahren nach Anspruch 4, bei dem der Abstand (5) der Nuten (4) 5 mm und die Dichte der Suspension ≥ 1,25 g/cm3 beträgt.The method of claim 4, wherein the distance ( 5 ) of the grooves ( 4 ) 5 mm and the density of the suspension is ≥ 1.25 g / cm 3 . Vorrichtung, insbesondere zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 5, mit mindestens einer Nuten (4) in ihrer Arbeitsfäche aufweisenden Läppscheibe (3a, 3b), insbesondere aus Grauguß, und mit Mitteln für die Zugabe einer ein feines Läppmittel enthaltenden, insbesondere sauren Suspension in die Nuten (4), bei der der maximale Abstand (5) der Nuten (4) 15 mm beträgt und bei der die mindestens eine Läppscheibe (3a, 3b), insbesondere in den Nuten (4) sowie gegebenenfalls an ihrer Seitenfläche (9) und Rückseite (10) mit einem Korrosionsschutz versehen ist.Device, in particular for performing the method according to one of claims 1 to 5, with at least one groove ( 4 ) in their lapping disc ( 3a . 3b ), in particular made of gray cast iron, and with means for adding a, in particular acidic, suspension containing a fine lapping agent into the grooves ( 4 ) where the maximum distance ( 5 ) of the grooves ( 4 ) Is 15 mm and the at least one lapping disc ( 3a . 3b ), especially in the grooves ( 4 ) and, if applicable, on its side surface ( 9 ) and back ( 10 ) is provided with corrosion protection. Vorrichtung nach Anspruch 6, bei der der Abstand (5) der Nuten (4) 5 mm beträgt.Apparatus according to claim 6, wherein the distance ( 5 ) of the grooves ( 4 ) Is 5 mm. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, bei der der Korrosionsschutz eine Verzinkung umfaßt.Apparatus according to claim 6 or 7, wherein the corrosion protection includes galvanizing. Vorrichtung nach Anspruch 8, bei der mindestens eine der Läppscheiben (3a, 3b) mit Ausnahme der Arbeitsfläche verzinkt ist.Apparatus according to claim 8, wherein at least one of the lapping disks ( 3a . 3b ) is galvanized with the exception of the work surface.
DE2002105233 2002-02-08 2002-02-08 Method and device for lapping a surface Expired - Fee Related DE10205233B4 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2002105233 DE10205233B4 (en) 2002-02-08 2002-02-08 Method and device for lapping a surface

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2002105233 DE10205233B4 (en) 2002-02-08 2002-02-08 Method and device for lapping a surface

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10205233A1 DE10205233A1 (en) 2003-09-04
DE10205233B4 true DE10205233B4 (en) 2004-12-09

Family

ID=27674588

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2002105233 Expired - Fee Related DE10205233B4 (en) 2002-02-08 2002-02-08 Method and device for lapping a surface

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE10205233B4 (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5922091A (en) * 1997-05-16 1999-07-13 National Science Council Of Republic Of China Chemical mechanical polishing slurry for metallic thin film
US6375545B1 (en) * 1999-01-18 2002-04-23 Kabushiki Kaisha Toshiba Chemical mechanical method of polishing wafer surfaces

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5922091A (en) * 1997-05-16 1999-07-13 National Science Council Of Republic Of China Chemical mechanical polishing slurry for metallic thin film
US6375545B1 (en) * 1999-01-18 2002-04-23 Kabushiki Kaisha Toshiba Chemical mechanical method of polishing wafer surfaces

Also Published As

Publication number Publication date
DE10205233A1 (en) 2003-09-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1893384B1 (en) Method and device for grinding ceramic spheres
DE69924438T2 (en) A method of cutting a sintered rare earth alloy magnet and using this method of making rare earth alloy magnets
DE68928961T2 (en) Grinding wheel with high impact resistance for in-situ grinding of rolls
DE69002975T2 (en) Engraved micro-ceramic coated cylinder and coating process therefor.
DE10062069B4 (en) Method of cutting a rare earth alloy
DE69718847T2 (en) Coated carbide tool
DE3248956C2 (en)
DE102006022089A1 (en) Process for producing a semiconductor wafer with a profiled edge
DE4338077C2 (en) Honing element
DE2642208C2 (en) Polishing foil or polishing plate
EP0881035A1 (en) Method for material removing machining of a wafer edge
DE69519072T2 (en) Blasting with aluminum oxide before forging blocks, such as a scaling resistance treatment
DE10205233B4 (en) Method and device for lapping a surface
DE10131668A1 (en) Process for the abrasive processing of surfaces, in particular semiconductor wafers
DE102005058934A1 (en) Method and apparatus for nozzle type ELID grinding
DE102018110994A1 (en) Apparatus and method for fine machining toothed and hardened work wheels
DE102005006885B4 (en) Pivot pin for a ball joint and method for producing such a
DE3904408C2 (en) Method of making an electrophotographic photoreceptor
EP0662024B1 (en) Tool for working the surfaces of components
DE2651293A1 (en) METHOD FOR FINISHING OPTICAL SURFACES, TOOLS FOR CARRYING OUT THIS METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE MACHINING TOOL
DE10338819B3 (en) Method for finishing hard surfaces, e.g. glass, ceramics and glass-ceramics, especially polishing microstructures, uses polishing agent which is formed as precipitate by chemical or electrochemical reaction in applicator
AT512230B1 (en) POLISH
AT408351B (en) METHOD FOR GALVANICALLY DEPOSITING A DISPERSION LAYER ON A SURFACE OF A WORKPIECE
DE102022209965A1 (en) Method for producing or preparing a brake disc for a vehicle and brake disc
DE3149120A1 (en) Tool for machining the surfaces of cast iron which contains carbon and has been subjected beforehand to electrochemical surface erosion

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: SCHOTT AG, 55122 MAINZ, DE

8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee