DE102022209438A1 - Arrangement and method for calibrating a mirror array - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung (100) zur Kalibrierung eines Spiegelarrays (30) mit mehreren Spiegelelementen (34). Die Anordnung (100) umfasst dabei eine Detektionslichteinrichtung (40) und eine Detektionseinrichtung (60). Dabei umfasst die Detektionslichteinrichtung (40) mindestens eine Detektionslichtquelle (41, 42, 43, 44, 45, 46), die dazu eingerichtet ist, einen Detektionslichtstrahl (50) zu erzeugen, welcher auf eine Reflexionsfläche (36) der Spiegelelemente (34) des Spiegelarrays (30) gerichtet wird. Die Detektionseinrichtung (60) umfasst dabei ein erstes Detektorarray (62) mit mehreren Detektoren, die dazu eingerichtet sind, anhand von durch einen von den Spiegelelementen (34) des Spiegelarrays (30) reflektierten Detektionslichtstrahl (52) erzeugten Temperaturänderungen und/oder elektrischen Strömen die Winkelpositionen der einzelnen Spiegelelemente (34) des Spiegelarrays (30) zu detektieren.The invention relates to an arrangement (100) for calibrating a mirror array (30) with several mirror elements (34). The arrangement (100) comprises a detection light device (40) and a detection device (60). The detection light device (40) comprises at least one detection light source (41, 42, 43, 44, 45, 46), which is designed to generate a detection light beam (50) which is directed onto a reflection surface (36) of the mirror elements (34). Mirror arrays (30) is directed. The detection device (60) comprises a first detector array (62) with a plurality of detectors which are set up to detect temperature changes and/or electrical currents generated by a detection light beam (52) reflected by the mirror elements (34) of the mirror array (30). To detect angular positions of the individual mirror elements (34) of the mirror array (30).
Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung und ein Verfahren zur Kalibrierung eines Spiegelarrays mit mehreren Spiegelelementen.The invention relates to an arrangement and a method for calibrating a mirror array with several mirror elements.
Stand der TechnikState of the art
Mikrospiegel können je nach Anwendungsfall in unterschiedliche Applikationen eingesetzt werden, wie z. B. Projektoren eines Smartphones, Headup-Displays, Barcodeleser usw.Depending on the application, micromirrors can be used in different applications, such as: B. Projectors on a smartphone, head-up displays, barcode readers, etc.
Für EUV-Lithographie-Anlagen sind verstellbare optische Pfade bis zum Retikel (engl.: Reticle), das auch als Maske bezeichnet wird, vorteilhaft, die durch ein Mikrospiegelarray im optischen Pfad verwirklicht werden können.For EUV lithography systems, adjustable optical paths up to the reticle, also known as a mask, are advantageous, which can be implemented by a micromirror array in the optical path.
Die Mikrospiegel können mit einer Bragg-Beschichtung versehen sein, die die Zentralwellenlängen gut reflektiert. Wellenlängen außerhalb des Reflexionsbereiches werden absorbiert und erzeugen Wärme im Mikrospiegel, die gezielt mit einem möglichst geringen Temperaturwiderstand abgeführt werden muss.The micromirrors can be provided with a Bragg coating that reflects the central wavelengths well. Wavelengths outside the reflection range are absorbed and generate heat in the micromirror, which must be specifically dissipated with the lowest possible temperature resistance.
Die Positionsgenauigkeit von dem Mikrospiegel hängt davon ab, wie gut das Mikrospiegel-Positionssensorsystem funktioniert. Das Mikrospiegel-Positionssensorsystem ist abhängig von den Fertigungstoleranzen, der Temperaturstabilität in Zusammenspiel mit der Temperaturvarianz und der Langzeitstabilität in Zusammenspiel mit der Produktlebenszeit bzw. den Zeitpunkten, wann das Gerät neu kalibriert werden muss.The positioning accuracy of the micromirror depends on how well the micromirror position sensor system works. The micromirror position sensor system depends on the manufacturing tolerances, the temperature stability in conjunction with the temperature variance and the long-term stability in conjunction with the product lifespan or the times when the device needs to be recalibrated.
Das Dokument
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Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention
Es wird eine Anordnung zur Kalibrierung eines Spiegelarrays mit mehreren Spiegelelementen. Zur Ansteuerung der Spiegelelemente kann das Spiegelarray eine Steuereinrichtung aufweisen. Die Spiegelelemente können dabei separat voneinander angesteuert werden. Die Anordnung umfasst dabei eine Detektionslichteinrichtung und eine Detektionseinrichtung. Unter Licht im Sinne dieser Erfindung ist jede Form elektromagnetischer Strahlung zu verstehen.It is an arrangement for calibrating a mirror array with several mirror elements. The mirror array can have a control device to control the mirror elements. The mirror elements can be controlled separately from each other. The arrangement includes a detection light device and a detection device. For the purposes of this invention, light is understood to mean any form of electromagnetic radiation.
Die Detektionslichteinrichtung umfasst dabei mindestens eine Detektionslichtquelle, die dazu eingerichtet ist, einen Detektionslichtstrahl zu erzeugen, welcher auf eine Reflexionsfläche der Spiegelelemente des Spiegelarrays gerichtet wird. Dadurch kann die Reflexionsfläche jedes Spiegelelements angestrahlt werden. Die Detektionslichtquelle erzeugt dabei den Detektionslichtstahl mit geeigneter Wellenlänge mit einem Absorptionsanteil von z. B. 30 % und einem Reflexionsanteil von z. B. 70 %. Vorzugsweise ist die Detektionslichteinrichtung als eine Lasereinrichtung mit mindestens einer Laserstrahlquelle ausgebildet, die dazu eingerichtet ist, einen Laserstrahl zu erzeugen.The detection light device comprises at least one detection light source, which is set up to generate a detection light beam which is directed onto a reflection surface of the mirror elements of the mirror array. This allows the reflection surface of each mirror element to be illuminated. The detection light source generates the detection light beam with a suitable wavelength with an absorption component of e.g. B. 30% and a reflection proportion of z. B. 70%. The detection light device is preferably designed as a laser device with at least one laser beam source which is set up to generate a laser beam.
Dabei umfasst die Detektionseinrichtung ein erstes Detektorarray. Das erste Detektorarray weist dabei mehrere Detektoren auf, die dazu eingerichtet sind, anhand von durch einen von den Spiegelelementen des Spiegelarrays reflektierten Detektionslichtstrahl erzeugten Temperaturänderungen und/oder elektrischen Strömen, die durch photoelektrischen Effekt oder andere physikalische Effekte entstehen, die Winkelpositionen der einzelnen Spiegelelemente des Spiegelarrays zu detektieren und zu berechnen. Der Detektor im Sinne dieser Erfindung kann als Temperatursensor oder Lichtsensor ausgebildet werden. Zu dem Temperatursensor gehören beispielsweise Kaltleiter, Heißleiter, Thermoelement usw. Zu den anderen physikalischen Effekten, durch die elektrische Ströme entstehen, gehört beispielsweise der thermoelektrische Effekt. Das Detektorarray kann dabei unterschiedliche Detektoren aufweisen. Beispielsweise kann das Detektorarray sowohl Temperatursensoren als auch Lichtsensoren aufweisen, die beispielsweise als Redundanz zueinander dienen können. Unter dem Begriff „Winkelposition der einzelnen Spiegelelemente“ wird der Kippwinkel der einzelnen Spiegelelemente verstanden. Der Kippwinkel der einzelnen Spiegelelemente kann dabei azimutabhängig sein.The detection device includes a first detector array. The first detector array has a plurality of detectors which are set up to determine the angular positions of the individual mirror elements of the mirror array based on temperature changes and/or electrical currents generated by a detection light beam reflected by the mirror elements of the mirror array, which arise from the photoelectric effect or other physical effects to detect and calculate. The detector in the sense of this invention can be designed as a temperature sensor or light sensor. The temperature sensor includes, for example, thermistor, thermistor, thermocouple, etc. The other physical effects through which electrical currents arise include, for example, the thermoelectric effect. The detector array can have different detectors. For example, the detector array can have both temperature sensors and light sensors, which can, for example, serve as redundancy to one another. The term “angular position of the individual mirror elements” is understood to mean the tilt angle of the individual mirror elements. The tilt angle of the individual mirror elements can be azimuth-dependent.
Das Spiegelarray kann auch Detektoren, wie z. B. Temperatursensoren und/oder Lichtsensoren, aufweisen, die jeweils einem Spiegelelement zugeordnet sind. Diese Detektoren können verwendet werden, um zu erkennen, welches Spiegelelement des Spiegelarrays angestrahlt wird. Die Detektoren können dabei ein Teil des Spiegelarrays sein.The mirror array can also include detectors such as B. temperature sensors and / or light sensors, each of which is assigned to a mirror element. These detectors can be used to detect which mirror element of the mirror array is illuminated. The detectors can be part of the mirror array.
Vorzugsweise ist das erste Detektorarray als ein Teil eines weiteren Spiegelarrays mit mehreren Spiegelelementen ausgebildet. Zur Ansteuerung der Spiegelelemente des weiteren Spiegelarrays kann das weiteren Spiegelarray eine Steuereinrichtung aufweisen. Die Spiegelelemente können dabei separat voneinander angesteuert werden. Dabei ist das weitere Spiegelarray optisch mit dem Spiegelarray koppelbar. Die Detektoren des ersten Detektorarrays sind dabei jeweils für ein Spiegelelement des weiteren Spiegelarrays vorgesehen. Beispielsweise kann jedes Spiegelelement mit einem Temperatursensor und/oder einem Lichtsensor versehen sein. Das weitere Spiegelarray ist mit dem Spiegelarray optisch koppelbar, wenn ein Lichtstrahl von dem Spiegelarray mindestens teilweise reflektiert und auf dem weiteren Spiegelarray abgebildet wird, oder umgekehrt, wenn ein Lichtstrahl von dem weiteren Spiegelarray mindestens teilweise reflektiert und auf dem Spiegelarray abgebildet wird.The first detector array is preferably designed as part of a further mirror array with a plurality of mirror elements. To control the mirror elements of the further mirror array, the further mirror array can have a control device. The mirror elements can be controlled separately from each other. The additional mirror array can be optically coupled to the mirror array. The detectors of the first detector array are each provided for a mirror element of the further mirror array. For example, each mirror element can have a temperature sensor and/or a light sensor. The further mirror array can be optically coupled to the mirror array when a light beam is at least partially reflected by the mirror array and imaged on the further mirror array, or vice versa, when a light beam is at least partially reflected by the further mirror array and imaged on the mirror array.
Vorzugsweise umfasst die erfindungsgemäße Anordnung ferner ein zweites Detektorarray. Das zweite Detektorarray ist dabei als ein Teil des Spiegelarrays ausgebildet und umfasst mehrere Detektoren, die jeweils für ein Spiegelelement vorgesehen und dazu eingerichtet sind, anhand von Temperaturänderungen der einzelnen Spiegelelemente und/oder elektrischen Strömen, die durch photoelektrischen Effekt oder andere physikalische Effekte entstehen, zu erkennen, welches Spiegelelement angestrahlt wird.Preferably, the arrangement according to the invention further comprises a second detector array. The second detector array is designed as a part of the mirror array and includes several detectors, each of which is provided for a mirror element and is set up to detect temperature changes in the individual mirror elements and/or electrical currents that arise from the photoelectric effect or other physical effects recognize which mirror element is illuminated.
Vorzugsweise weist die Detektionseinrichtung ferner ein drittes Detektorarray mit mehreren Detektoren auf, die dazu eingerichtet sind, anhand eines von den Spiegelelementen des weiteren Spiegelarrays reflektierten Detektionslichtstrahls die Winkelpositionen der einzelnen Spiegelelemente des weiteren Spiegelarrays zu detektieren und zu berechnen.The detection device preferably also has a third detector array with a plurality of detectors, which are set up to detect and calculate the angular positions of the individual mirror elements of the further mirror array based on a detection light beam reflected by the mirror elements of the further mirror array.
Ein weiterer Aspekt der Erfindung ist die Bereitstellung eines Verfahren zur Kalibrierung eines Spiegelarrays mit mehreren Spiegelelementen. Das erfindungsgemäße Verfahren wird bevorzugt unter Verwendung der erfindungsgemäß vorgeschlagenen Anordnung ausgeführt. Entsprechend gelten im Rahmen der Anordnung beschriebene Merkmale für das Verfahren und umgekehrt gelten im Rahmen des Verfahrens beschriebene Merkmale für die Anordnung.A further aspect of the invention is the provision of a method for calibrating a mirror array with multiple mirror elements. The method according to the invention is preferably carried out using the arrangement proposed according to the invention. Accordingly, features described in the order apply to the procedure and, conversely, features described in the procedure apply to the order.
Bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird zunächst ein Detektionslichtstrahl auf die Reflexionsfläche der jeweiligen Spiegelelemente des Spiegelarrays gerichtet. Vorzugsweise werden die Spiegelelemente des Spiegelarrays zu einer vorbestimmten Winkelposition angefahren, so dass der Detektionslichtstrahl auf das Detektorarray reflektiert wird.When carrying out the method according to the invention, a detection light beam is first directed onto the reflection surface of the respective mirror elements of the mirror array. Preferably, the mirror elements of the mirror array are moved to a predetermined angular position so that the detection light beam is reflected onto the detector array.
Anschließend werden Temperaturänderungen und/oder elektrische Ströme, welche durch den Detektionslichtstrahl und/oder den reflektierten Detektionslichtstrahl verursacht werden, erfasst. Durch die Detektoren des ersten Detektorarrays können die Temperaturänderungen erkannt werden oder die elektrischen Ströme, die durch photoelektrische oder andere physikalische Effekte erzeugt werden, detektiert werden. Somit wird erkannt, welches Spiegelelement des Spiegelarrays angestrahlt wird. Wenn das erste Detektorarray ein Teil eines weiteren Spiegelarrays ist, welches mit dem Spiegelarray optisch koppelbar ist, kann gemäß dem gleichen Prinzip ebenfalls erkannt werden, welches Spiegelelement des weiteren Spiegelarrays angestrahlt wird. Ebenfalls kann mittels des dritten Detektorarrays erkannt werden, welches Spiegelelement des weiteren Spiegelarrays angestrahlt wird.Temperature changes and/or electrical currents caused by the detection light beam and/or the reflected detection light beam are then detected. The detectors of the first detector array can be used to detect the temperature changes or to detect the electrical currents generated by photoelectric or other physical effects. This detects which mirror element of the mirror array is illuminated. If the first detector array is part of a further mirror array, which can be optically coupled to the mirror array, it can also be recognized according to the same principle which mirror element of the further mirror array is illuminated. The third detector array can also be used to identify which mirror element of the further mirror array is illuminated.
Danach wird die Winkelposition der jeweiligen Spiegelelemente mittels des Detektorarrays bestimmt. Da ein gesamtes Detektorarray, nämlich das erste, zweite oder dritte Detektorarray, vorliegt, kann durch eine sogenannte „Vier-Quadranten-Methode“, bei der eine x-Richtung und eine y-Richtung vordefiniert sind, die Winkelpositionen der Spiegelelemente der jeweiligen Spiegelarrays sehr genau bestimmt werden, wenn der Schwerpunkt der reflektierten relevanten Strahlung an dem Spiegelarray im Mittelpunkt der Vier-Quadranten-Methode liegt beziehungsweise auf ausgewählten Pixeln des Detektorarrays liegt.The angular position of the respective mirror elements is then determined using the detector array. Since there is an entire detector array, namely the first, second or third detector array, the angular positions of the mirror elements of the respective mirror arrays can be very adjusted using a so-called “four-quadrant method” in which an x-direction and a y-direction are predefined can be determined precisely if the center of gravity of the reflected relevant radiation on the mirror array is at the center of the four-quadrant method or is on selected pixels of the detector array.
Vorzugsweise wird mindestens ein Positionierkennfeld für das Spiegelarray und/oder das weitere Spiegelarray erzeugt, wenn das Spiegelarray unterschiedliche Vier-Quadranten-Mittelpunkt auf dem ersten Detektorarray anfährt und/oder wenn das weitere Spiegelarray unterschiedliche Vier-Quadranten-Mittelpunkt auf dem zweiten oder dem dritten Detektorarray anfährt. Dabei wird eine geeignete Vier-Quadranten-Position erkannt, bei der die Positionsgenauigkeit genauer erkannt werden kann. Vorzugsweise werden verschiedene Positionierkennfelder auf dem Detektorarray durch geeignetes Anfahren von dem Spiegelarray und/oder dem weiteren Spiegelarray erzeugt.Preferably, at least one positioning map is generated for the mirror array and/or the further mirror array when the mirror array approaches different four-quadrant centers on the first detector array and/or when the further mirror array approaches different four-quadrant centers on the second or the third detector array arrives. A suitable four-quadrant position is recognized, at which the position accuracy can be recognized more precisely. Preferably, different positioning maps are generated on the detector array by appropriately moving the mirror array and/or the further mirror array.
Nachdem das mindestens einen Positionierkennfeld erzeugt wird, werden Abweichungen des mindestens einen Positionierkennfeldes von einem anfänglichen Positionierkennfeld erkannt. Die Abweichungen des Positionierkennfeldes über Lebenszeit kann bei der Kalibrierung berücksichtigt werden, so dass Lebensdauereffekte kompensiert werden. Das anfänglichen Positionierkennfeld kann beispielsweise nach dem Einbau des Spiegelarrays in die Applikation durch Kalibrierung erzeugt werden. Durch diese Kalibrierung werden am Anfang der Lebenszeit die relevanten Toleranzen eliminiert.After the at least one positioning map is generated, deviations of the at least one positioning map from an initial positioning map are detected. The deviations of the positioning map over the lifetime can be taken into account during calibration so that lifetime effects are compensated for. The initial positioning map can, for example, be generated by calibration after the mirror array has been installed in the application. This calibration eliminates the relevant tolerances at the beginning of the service life.
Vorzugsweise wird der Detektionslichtstrahl gepulst erzeugt. Dadurch können z. B. die Photoströme aus dem Grundrauschen besser ausgewertet werden.The detection light beam is preferably generated in a pulsed manner. This allows e.g. B. the photocurrents can be better evaluated from the background noise.
Es wird auch ein Beleuchtungssystem für eine Projektionsbelichtungsanlage vorgeschlagen. Das Beleuchtungssystem umfasst dabei mindestens ein Spiegelarray mit mehreren Spiegelelementen, eine Strahlungsquelle, deren Strahl direkt auf die Reflexionsfläche der Spiegelelemente des mindestens einen Spiegelarrays oder nach mindestens einer Reflexion auf die Reflexionsfläche der Spiegelelemente des mindestens einen Spiegelarrays gerichtet ist, und mindestens eine erfindungsgemäß vorgeschlagene Anordnung und/oder ist dazu eingerichtet, das erfindungsgemäße Verfahren durchzuführen.A lighting system for a projection exposure system is also proposed. The lighting system includes at least one mirror array with several mirror elements, a radiation source whose beam is directed directly onto the reflection surface of the mirror elements of the at least one mirror array or after at least one reflection onto the reflection surface of the mirror elements of the at least one mirror array, and at least one arrangement proposed according to the invention and / or is set up to carry out the method according to the invention.
Vorzugsweise ist die Detektionslichtstrahlrichtung des Detektionslichtstrahls entgegengesetzt der Beleuchtungsstrahlrichtung des Beleuchtungsstrahls der Strahlungsquelle, so dass es zu keiner Störung der Belichtung vom Retikel kommt. Die Detektionslichteinrichtung kann z. B. auch nur zwischen den Belichtungspausen der Strahlungsquelle, Waferwechsel oder Lotwechsel zum Einsatz kommen.Preferably, the detection light beam direction of the detection light beam is opposite to the illumination beam direction of the illumination beam of the radiation source, so that there is no interference with the exposure from the reticle. The detection light device can z. B. can only be used between the exposure breaks of the radiation source, wafer changes or solder changes.
Vorzugsweise ist die Strahlungsquelle eine EUV-Strahlungsquelle.Preferably the radiation source is an EUV radiation source.
Vorzugsweise ist das dritte Detektorarray an einer für die Strahlungsquelle vorgesehenen Beleuchtungsblende um eine Blendenöffnung der Beleuchtungsblende angeordnet.Preferably, the third detector array is arranged on an illumination aperture provided for the radiation source around an aperture of the illumination aperture.
Ferner wird eine Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie, die ein erfindungsgemäßes Beleuchtungssystem umfasst und/oder die dazu eingerichtet ist, das erfindungsgemäße Verfahren durchzuführen.Furthermore, a projection exposure system for microlithography, which comprises an illumination system according to the invention and/or which is set up to carry out the method according to the invention.
Vorteile der ErfindungAdvantages of the invention
Mittels der erfindungsgemäßen Anordnung und des erfindungsgemäßen Verfahrens kann der Lebensdauereffekt des Spiegelelements sowie des Spiegelarrays reduziert werden und somit kann eine verbesserte Positioniergenauigkeit erreicht werden.By means of the arrangement according to the invention and the method according to the invention, the service life effect of the mirror element and the mirror array can be reduced and thus improved positioning accuracy can be achieved.
Außerdem ermöglicht es eine Fehlererkennung während der Fertigung des Spiegelarrays, welche zur Diagnose des Spiegelarrays dienen kann.It also enables error detection during the production of the mirror array, which can be used to diagnose the mirror array.
Darüber hinaus kann eine automatische Kalibrierung des Spiegelarrays mittels der erfindungsgemäßen Anordnung und des erfindungsgemäßen Verfahrens erreicht werden.In addition, an automatic calibration of the mirror array can be achieved using the arrangement according to the invention and the method according to the invention.
Ferner sind Linearitätsmessungen der Kippwinkel des Spiegelelements über den Azimutwinkel unter Verwendung der erfindungsgemäßen Anordnung und des erfindungsgemäßen Verfahrens möglich.Furthermore, linearity measurements of the tilt angle of the mirror element over the azimuth angle are possible using the arrangement according to the invention and the method according to the invention.
Kurze Beschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings
Ausführungsformen der Erfindung werden anhand der Zeichnungen und der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.Embodiments of the invention are explained in more detail with reference to the drawings and the following description.
Es zeigen:
-
1 eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Anordnung gemäß einer ersten Ausführungsform und -
2 eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Anordnung gemäß einer zweiten Ausführungsform.
-
1 a schematic representation of the arrangement according to the invention according to a first embodiment and -
2 a schematic representation of the arrangement according to the invention according to a second embodiment.
Ausführungsformen der ErfindungEmbodiments of the invention
In der nachfolgenden Beschreibung der Ausführungsformen der Erfindung werden gleiche oder ähnliche Elemente mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet, wobei auf eine wiederholte Beschreibung dieser Elemente in Einzelfällen verzichtet wird. Die Figuren stellen den Gegenstand der Erfindung nur schematisch dar.In the following description of the embodiments of the invention, the same or similar elements are referred to with the same reference numerals, with a repeated description of these elements being omitted in individual cases. The figures represent the subject matter of the invention only schematically.
Die erfindungsgemäße Anordnung 100 zur Kalibrierung eines Spiegelarrays 30 umfasst dabei eine Detektionslichteinrichtung 40 mit einer ersten Detektionslichtquelle 41 und eine Detektionseinrichtung 60 mit einem ersten Detektorarray 62. Das Spiegelarray 30 umfasst dabei mehrere Spiegelelemente 34, die jeweils eine Reflexionsfläche 36 aufweisen. Die Reflexionsfläche 36 der einzelnen Spiegelelemente 34 bilden dabei eine Gesamtflexionsfläche 38 des Spiegelarrays 30. Zur Ansteuerung der Spiegelelemente 34 kann das Spiegelarray 30 eine Steuereinrichtung (nicht dargestellt) aufweisen. Die Spiegelelemente 34 können dabei separat voneinander angesteuert werden. Die Detektionslichteinrichtung 40 kann dabei auch weitere Detektionslichtquellen aufweisen (vgl.
Die erste Detektionslichtquelle 41 ist dazu eingerichtet, einen Detektionslichtstrahl 50 zu erzeugen, welcher in einer Detektionslichtstrahlrichtung 56 auf die Reflexionsfläche 36 der Spiegelelemente 34 des Spiegelarrays 30 gerichtet wird. Dadurch kann die Reflexionsfläche 36 jedes Spiegelelements 34 angestrahlt werden.The first detection light source 41 is set up to generate a
Das erste Detektorarray 62 weist dabei mehrere Detektoren (nicht dargestellt) wie beispielsweise Temperatursensoren und/oder Lichtsensoren auf, die dazu eingerichtet sind, anhand von durch einen von den Spiegelelementen 34 des Spiegelarrays 30 reflektierten Detektionslichtstrahl 52 erzeugten Temperaturänderungen und/oder elektrischen Strömen die Winkelpositionen der einzelnen Spiegelelemente 34 des Spiegelarrays 30 zu detektieren.The first detector array 62 has a plurality of detectors (not shown), such as temperature sensors and/or light sensors, which are set up to determine the angular positions of the detectors based on temperature changes and/or electrical currents generated by a
Vorliegend sind das Spiegelarray 30 als ein ebener Spiegel ausgebildet. Das heißt, die Gesamtreflexionsfläche 38 des Spiegelarrays 30 bilde im Wesentliche eine Ebene, wenn die Spiegelelemente 34 des Spiegelarrays 30 jeweils in einem unverschwenkten Zustand sind. Die Gesamtreflexionsfläche 38 des Spiegelarrays 30 kann jedoch gekrümmt geformt werden und Wok-förmig (vgl.
Bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird das Spiegelelement 34 des Spiegelarrays 30 so angesteuert, dass das erste Detektorarray 62 von dem vom Spiegelelement 34 reflektierte Detektionslichtstrahl 52 gescannt wird.When carrying out the method according to the invention, the
Das erste Detektorarray 62 kann dabei als ein Teil eines weiteren Spiegelarrays 32 (vgl.
Da ein gesamtes Detektorarray, nämlich das erste Detektorarray 62, vorliegt, können durch eine sogenannte „Vier-Quadranten-Methode“, bei der eine x-Richtung und eine y-Richtung vordefiniert sind, die Winkelpositionen der Spiegelelemente 34 des Spiegelarrays 30 sehr genau bestimmt werden, wenn der Schwerpunkt der reflektierten relevanten Strahlung an dem Spiegelarray 30 vorzugsweise im Mittelpunkt der Vier-Quadranten-Methode liegt beziehungsweise auf ausgewählten Pixeln des Detektorarrays 62, 64 liegt.Since an entire detector array, namely the first detector array 62, is present, the angular positions of the
Das Spiegelarray 30 kann auch Detektoren, wie z. B. Temperatursensoren und/oder Lichtsensoren, aufweisen, die jeweils einem Spiegelelement 34 zugeordnet sind. Diese Detektoren können verwendet werden, um zu erkennen, welches Spiegelelement 34 des Spiegelarrays angestrahlt wird. Die Detektoren können dabei ein Teil des Spiegelarrays 30 sein.The
Das Beleuchtungssystem 200 umfasst dabei eine Strahlungsquelle 20, insbesondere eine EUV-Strahlungsquelle. Das Beleuchtungssystem 200 umfasst ferner ein Spiegelarray 30 und ein weiteres Spiegelarray 32. Die beiden Spiegelarrays 30, 32 sind dabei optisch miteinander gekoppelt und jeweils Wok-förmig ausgebildet. Für die Strahlungsquelle 20 ist eine Beleuchtungsblende 24 mit eine Blendeöffnung 26 vorgesehen. Ein Beleuchtungsstrahl 22 der Strahlungsquelle 20 ist dabei durch die Blendeöffnung 26 in einer Beleuchtungsstrahlrichtung 28 auf das weitere Spiegelarray 32 gerichtet. Da das weitere Spiegelarray 32 mit das Spiegelarray 30 optisch gekoppelt ist, wird dieser Beleuchtungsstrahl 22 von dem weiteren Spiegelarray 32 reflektiert und auf dem Spiegelarray 30 abgebildet, welche in
Die Anordnung 100 umfasst dabei eine Detektionslichteinrichtung 40, die eine erste Detektionslichtquelle 41, eine zweite Detektionslichtquelle 42, eine dritte Detektionslichtquelle 43, eine vierte Detektionslichtquelle 44, eine fünfte Detektionslichtquelle 45 und eine sechste Detektionslichtquelle 46 umfasst. Es können noch mehrere Detektionslichtquellen angeordnet sein, wenn beispielsweise noch mehrere Spiegelarrays angeordnet sind, so dass jedes Spiegelarray beleuchtet werden kann. Dabei sind die erste und die zweite Detektionslichtquelle 41, 42 in der Nähe des weiteren Spiegelarrays 32 angeordnet. Die dritte und die vierte Detektionslichtquelle 43, 44 sind dabei in der Nähe des Spiegelarrays 30 angeordnet. Die fünfte und die sechste Detektionslichtquelle 45, 46 sind dabei an der Beleuchtungsblende 24 angeordnet. Die Detektionslichtquellen 41, 42, 43, 44, 45, 46 sind dazu eingerichtet, Detektionslichtstrahlen 50 von unterschiedlichen Richtungen zu erzeugen und auf die jeweiligen Spiegelarrays 30, 32 zu richten. Somit kann das erfindungsgemäße Verfahren in unterschiedlichen Situationen durchgeführt werden. Die Spiegelarrays 30, 32 können dabei auch separat oder in Abhängigkeit voneinander kalibriert werden.The
Die Anordnung 100 umfasst ferner eine Detektionseinrichtung 60, die ein erstes Detektorarray 62, ein zweites Detektorarray 64 und ein drittens Detektorarray 66. Das erste Detektorarray 62 ist dabei als ein Teil des weiteren Spiegelarrays 32 ausgebildet und umfasst mehrere Detektoren, wie beispielsweise Temperatursensoren und/oder Lichtsensoren, die jeweils für ein Spiegelelement 34 vorgesehen sind. Das zweite Detektorarray 64 ist dabei als ein Teil des Spiegelarrays 30 ausgebildet und umfasst mehrere Detektoren, wie beispielsweise Temperatursensoren und/oder Lichtsensoren, die jeweils für ein Spiegelelement 34 vorgesehen sind. Das dritte Detektorarray 66 ist dabei an der Beleuchtungsblende 24 um die Blendeöffnung 26 angeordnet und umfasst ebenfalls mehrere Detektoren, wie beispielsweise Temperatursensoren und/oder Lichtsensoren.The
Nachfolgend wird anhand von dem in
Bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird zunächst ein Detektionslichtstrahl 50 in eine Detektionslichtstrahlrichtung 56 auf die Reflexionsfläche 36 der jeweiligen Spiegelelemente 34 des Spiegelarrays 30 gerichtet.
Anschließend werden Temperaturänderungen und/oder elektrische Ströme, welche durch den Detektionslichtstrahl 50 verursacht werden, von dem ersten Detektorarray 62 erfasst, um zu erkennen, welches Spiegelelement 34 des Spiegelarrays 30 angestrahlt wird. Durch die Detektoren des ersten Detektorarrays 62, die jeweils für ein Spiegelelement 34 des weiteren Spiegelarrays 32 vorgesehen sind, können die Temperaturänderungen erkannt werden oder die elektrischen Ströme, die durch photoelektrische oder andere physikalische Effekte erzeugt werden, detektiert werden. Somit wird erkannt, welches Spiegelelement 34 des Spiegelarrays 30 angestrahlt wird.Subsequently, temperature changes and/or electrical currents caused by the
Ebenfalls kann durch das zweite Detektorarray 64 erkannt werden, welches Spiegelelement 34 des Spiegelarrays 30 durch von dem Spiegelarray 30 reflektierten Laserstrahl 52 angestrahlt wird, wenn ein Detektionslichtstrahl 50 von z. B der sechsten Detektionslichtquelle 66 erzeugt, auf die Reflexionsfläche 36 der jeweiligen Spiegelelemente 34 des weiteren Spiegelarrays 32 gerichtet und auf das Spiegelarray 30 gerichtet wird. Gemäß dem gleichen Prinzip kann mittels des dritten Detektorarrays 66, der durch von dem weiteren Spiegelarray 34 reflektierten Detektionslichtstrahl 54 bestrahlt wird, erkannt werden, welches Spiegelelement 34 des weiteren Spiegelarrays 32 angestrahlt wird.The second detector array 64 can also be used to detect which mirror
Danach wird die Winkelposition der jeweiligen Spiegelelemente 34 des jeweiligen Spiegelarrays 30, 32 mittels der jeweiligen Detektorarrays 62, 64, 66 bestimmt. Da ein gesamtes Detektorarray, nämlich das erste, zweite oder dritte Detektorarray 62, 64, 66, vorliegt, kann durch eine sogenannte „Vier-Quadranten-Methode“, bei der eine x-Richtung und eine y-Richtung vordefiniert sind, die Winkelpositionen der Spiegelelemente 34 der jeweiligen Spiegelarrays 30, 32 sehr genau bestimmt werden, wenn der Schwerpunkt der reflektierten relevanten Strahlung an dem Spiegelarray 30, 32 vorzugsweise im Mittelpunkt der Vier-Quadranten-Methode liegt beziehungsweise auf ausgewählten Pixeln des Detektorarrays 62, 64, 66 liegt.The angular position of the
Dabei kann mindestens ein Positionierkennfeld das Spiegelarray 30 und/oder das weitere Spiegelarray 32 erzeugt, wenn das Spiegelarray 30 unterschiedliche Vier-Quadranten-Mittelpunkt auf dem ersten Detektorarray 62 anfährt und/oder wenn das weitere Spiegelarray 32 unterschiedliche Vier-Quadranten-Mittelpunkt auf dem zweiten Detektorarray 64 oder dem dritten Detektorarray 66 anfährt. Vorzugsweise werden verschiedene Positionierkennfelder auf dem Detektorarray 62, 64, 66 durch geeignetes Anfahren von dem Spiegelarray 30 und/oder dem weiteren Spiegelarray 32 erzeugt.At least one positioning map can generate the
Nachdem das mindestens einen Positionierkennfeld erzeugt wird, werden Abweichungen des mindestens einen Positionierkennfeldes von einem anfänglichen Positionierkennfeld erkannt. Die Abweichungen des Positionierkennfeldes über Lebenszeit kann bei der Kalibrierung berücksichtigt werden, so dass Lebensdauereffekte kompensiert werden. Das anfänglichen Positionierkennfeld kann beispielsweise nach dem Einbau des Spiegelarrays 30, 32 in die Applikation durch Kalibrierung erzeugt werden. Durch diese Kalibrierung werden am Anfang der Lebenszeit die relevanten Toleranzen eliminiert.After the at least one positioning map is generated, deviations of the at least one positioning map from an initial positioning map are detected. The deviations of the positioning map over the lifetime can be taken into account during calibration so that lifetime effects are compensated for. The initial positioning map can be generated, for example, by calibration after the
Die Erfindung ist nicht auf die hier beschriebenen Ausführungsbeispiele und die darin hervorgehobenen Aspekte beschränkt. Vielmehr ist innerhalb des durch die Ansprüche angegebenen Bereichs eine Vielzahl von Abwandlungen möglich, die im Rahmen fachmännischen Handelns liegen.The invention is not limited to the exemplary embodiments described here and the aspects highlighted therein. Rather, within the range specified by the claims, a large number of modifications are possible, which are within the scope of professional action.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN THE DESCRIPTION
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