DE102022203299A1 - Procedure for checking the quality of a screw connection - Google Patents
Procedure for checking the quality of a screw connection Download PDFInfo
- Publication number
- DE102022203299A1 DE102022203299A1 DE102022203299.3A DE102022203299A DE102022203299A1 DE 102022203299 A1 DE102022203299 A1 DE 102022203299A1 DE 102022203299 A DE102022203299 A DE 102022203299A DE 102022203299 A1 DE102022203299 A1 DE 102022203299A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- rotation
- torque
- angle
- screw connection
- force
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 52
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims abstract description 42
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 29
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 25
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 24
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 4
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 238000009304 pastoral farming Methods 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N (2r,3r,4s,5r)-2-[6-[[2-(3,5-dimethoxyphenyl)-2-(2-methylphenyl)ethyl]amino]purin-9-yl]-5-(hydroxymethyl)oxolane-3,4-diol Chemical compound COC1=CC(OC)=CC(C(CNC=2C=3N=CN(C=3N=CN=2)[C@H]2[C@@H]([C@H](O)[C@@H](CO)O2)O)C=2C(=CC=CC=2)C)=C1 BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 210000003746 feather Anatomy 0.000 description 1
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 1
- 210000003128 head Anatomy 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000001393 microlithography Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000012549 training Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B23/00—Details of, or accessories for, spanners, wrenches, screwdrivers
- B25B23/14—Arrangement of torque limiters or torque indicators in wrenches or screwdrivers
- B25B23/147—Arrangement of torque limiters or torque indicators in wrenches or screwdrivers specially adapted for electrically operated wrenches or screwdrivers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
- G01L5/24—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for determining value of torque or twisting moment for tightening a nut or other member which is similarly stressed
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70975—Assembly, maintenance, transport or storage of apparatus
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Public Health (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
Verfahren zur Überprüfung der Qualität einer Verschraubung von mindestens zwei Bauteilen (42, 45, 49) mit einem vorbestimmten Zieldrehmoment durch Auswertung von während des Verschraubens erfassten Drehmomentsignalen, Vorspannkraftsignalen und Drehwinkelsignalen, wobei die Qualitätskriterien umfassen, dass- ein tatsächlich anliegendes Drehmoment beim Erreichen des Zieldrehmoments in einem ersten Korridor (60) liegt,- ein für einen vorbestimmten Drehwinkel erfasstes Startdrehmoment in einem zweiten Korridor (62) liegt,- eine Vorspannkraft für den Drehwinkel des tatsächlich anliegenden Drehmoments in einem dritten Korridor (61) liegt.Method for checking the quality of a screw connection of at least two components (42, 45, 49) with a predetermined target torque by evaluating torque signals, preload force signals and angle of rotation signals detected during screwing, the quality criteria including that an actually applied torque when the target torque is reached lies in a first corridor (60), - a starting torque detected for a predetermined angle of rotation lies in a second corridor (62), - a preload force for the angle of rotation of the actually applied torque lies in a third corridor (61).
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Überprüfung der Qualität einer Verschraubung, insbesondere einer Verschraubung in einer Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithografie.The invention relates to a method for checking the quality of a screw connection, in particular a screw connection in a projection exposure system for semiconductor lithography.
In der modernen Montagetechnik ist die Schraubverbindung nach wie vor eine der wichtigsten Verbindungsarten. Die Vielfalt der Schrauben in der Schraubtechnik hat sich im Vergleich zur Vergangenheit deutlich geändert. Methoden zur Berechnung von Schraubverbindungen und neu entwickelte Schraubverfahren bieten die Möglichkeit, die Schrauben in ihren Abmessungen wesentlich zu verkleinern. Das Resultat sind kleinere und leichtere Schrauben, was zu einer deutlichen Rohstoff- bzw. Gewichtsersparnis führt und den Platzbedarf für Verschraubungen stark reduziert.In modern assembly technology, screw connections are still one of the most important types of connections. The variety of screws in screwdriving technology has changed significantly compared to the past. Methods for calculating screw connections and newly developed screwing processes offer the possibility of significantly reducing the dimensions of the screws. The result is smaller and lighter screws, which leads to significant raw material and weight savings and greatly reduces the space required for screw connections.
Verschraubungen spielen auch im Bereich der Projektionsbelichtungsanlagen für die Halbleiterlithografie, insbesondere bei EUV-Projektionsbelichtungsanlagen, eine wichtige Rolle. Aufgrund des hier typischerweise geringen zur Verfügung stehenden Bauraums und der drastischen Folgen des Versagens einer Verschraubung bestehen hier erhöhte Anforderungen.Screw connections also play an important role in the area of projection exposure systems for semiconductor lithography, especially in EUV projection exposure systems. Due to the typically limited installation space available here and the drastic consequences of a screw connection failure, there are increased requirements here.
Eine Schraubverbindung ist eine lösbare Verbindung, die zwei oder mehrere Teile derart zusammenfügt, dass sie sich unter allen vorkommenden Betriebskräften wie ein Teil verhalten. Von entscheidender Bedeutung für die Betriebssicherheit ist das Erhalten einer ausreichenden Restvorspannkraft (Restklemmkraft). Wird die Betriebskraft während des Betriebs derart groß, dass sie die Vorspannkraft aufhebt, kann sich die Schraube je nach Betriebsbelastung lösen oder sogar brechen. Die Vorspannkraft kann durch eine Erhöhung des Spannungsquerschnitts durch Verwendung von mehreren oder größeren Schrauben, einer Erhöhung der Schraubengüte, die es möglich macht, bei gleicher Schraubenabmessung die Montagevorspannkraft zu erhöhen oder durch den Einsatz von genaueren Schraubverfahren, so dass die elastischen Eigenschaften der Schraube besser ausgenützt werden können, erhöht werden.A screw connection is a detachable connection that joins two or more parts together in such a way that they behave as one part under all operating forces. Maintaining sufficient residual preload force (residual clamping force) is crucial for operational safety. If the operating force becomes so great during operation that it cancels out the preload force, the screw can loosen or even break, depending on the operating load. The preload force can be increased by increasing the stress cross section by using several or larger screws, by increasing the screw quality, which makes it possible to increase the assembly preload force with the same screw dimensions, or by using more precise screwing processes so that the elastic properties of the screw are better utilized can be increased.
Bei Schraubverfahren können an Hand der beim Verschrauben überwachten Parameter, wie dem Drehmoment, der Steigung des Drehmoments und/oder dem Drehwinkel, eine genauere Aussage über die beziehungsweise auch eine geringere Streuung der erreichten Vorspannkraft erreicht werden. Das gemessene Drehmoment beim Anziehen der Schraubverbindung setzt sich aus der Gewindereibung, der Unterkopfreibung, beispielsweise zwischen einer Mutter und einer Auflage und der Vorspannkraft zusammen, wobei die hohe Streuung der Gewindereibung und der Unterkopfreibung die Ermittlung der Vorspannkraft erschwert.In screwing processes, a more precise statement about the or even a smaller spread of the preload force achieved can be achieved using the parameters monitored during screwing, such as the torque, the slope of the torque and/or the angle of rotation. The measured torque when tightening the screw connection consists of the thread friction, the under-head friction, for example between a nut and a support, and the preload force, whereby the high spread of thread friction and the under-head friction makes it difficult to determine the preload force.
Bekannte Anziehverfahren werden beispielsweise in den Schulungsunterlagen der Firma IBES Elektronik GmbH, die unter http://www.ibeselectronic.de/Schulungsunterlagen_Neutral.pdf veröffentlicht sind, offenbart.Known tightening procedures are disclosed, for example, in the training documents from IBES Elektronik GmbH, which are published at http://www.ibeselectronic.de/Schulungsmodelle_Neutral.pdf.
Ein dort beschriebenes Verfahren zur Verbesserung der Verschraubung ist ein drehmomentgesteuerte Anziehverfahren, bei dem das Drehmoment D [Nm] überwacht wird und ein minimales Dmin [Nm] und maximales Drehmoment Dmax [Nm] definiert wird, welche einen Bereich beschreiben, in dem die Schraube angezogen wird. Dadurch ist das verwendete Drehmoment im Vergleich zu einem rein subjektiven Anziehen der Verschraubung reproduzierbarer. Zusätzlich wird auch ein Bereich für den überschrittenen Drehwinkel W [Grad] durch einen minimalen Wmin [Grad] und maximalen Drehwinkel Wmax [Grad] definiert, um beispielsweise ein Fressen des Gewindes oder eine plastische Verformung des Schraubenkopfes zu detektieren. Die Güte der Verschraubung wird durch das Erreichen des Prozessfensters, welches durch die minimalen und maximalen Werte der Bereiche für das Drehmoment und den Drehwinkel definiert ist, also zweidimensional ist, definiert. Das beschriebene Verfahren hat den Nachteil, dass es immer noch die hohe Streuung der Gewindereibung und der Unterkopfreibung beinhaltet.A method described there for improving screwing is a torque-controlled tightening method in which the torque D [Nm] is monitored and a minimum D min [Nm] and maximum torque D max [Nm] are defined, which describe a range in which the Screw is tightened. This means that the torque used is more reproducible compared to purely subjective tightening of the screw connection. In addition, a range for the exceeded rotation angle W [degrees] is also defined by a minimum W min [degrees] and maximum rotation angle W max [degrees], for example to detect seizing of the thread or plastic deformation of the screw head. The quality of the screw connection is defined by reaching the process window, which is defined by the minimum and maximum values of the areas for the torque and the angle of rotation, i.e. is two-dimensional. The method described has the disadvantage that it still involves a high degree of variation in thread friction and underhead friction.
Ein weiteres bekanntes Verfahren überwacht den Drehwinkel, wobei dieser erst ab einem definierten Schwellwert des Drehmoments DSchwell [N], bei dem die Setzeffekte im Gewinde und unter dem Kopf der Verschraubung, abgeschlossen sind, bestimmt wird. Dieses Verfahren kann unabhängig vom Dreh-moment die Schraube bis in den plastischen Bereich bringen, so dass die Gewindereibung und die Unterkopfreibung keinen Einfluss auf die Bestimmung der Vor-spannkraft mehr haben. Dennoch wird auch bei diesem Verfahren aus den gleichen Gründen wie oben auch ein minimales und maximales Drehmoment definiert. Die Güte der Verschraubung wird ebenfalls über das Erreichen des zweidimensionalen Prozessfensters mit einem unterem und oberem Drehmoment und einem unterem und oberen Drehwinkel, definiert.Another known method monitors the angle of rotation, whereby this is only determined from a defined threshold value of the torque D threshold [N], at which the setting effects in the thread and under the head of the screw connection are complete. This process can bring the screw into the plastic range, regardless of the torque, so that the thread friction and the under-head friction no longer have any influence on the determination of the preload force. Nevertheless, a minimum and maximum torque is also defined in this method for the same reasons as above. The quality of the screw connection is also defined by reaching the two-dimensional process window with a lower and upper torque and a lower and upper rotation angle.
Die oben beschriebenen Verfahren haben den Nachteil, dass die von ihnen als tolerierbar bewerteten Verschraubungen nicht immer den Anforderungen entsprechen.The methods described above have the disadvantage that the screw connections they rate as tolerable do not always meet the requirements.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren anzugeben, welche die oben beschriebenen Nachteile des Standes der Technik löst.The object of the present invention is to provide a method which solves the disadvantages of the prior art described above.
Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs. Die Unteransprüche betreffen vorteilhafte Weiterbildungen und Varianten der Erfindung.This task is solved by a method with the features of the independent claim. The subclaims relate to advantageous developments and variants of the invention.
Ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Überprüfung der Qualität einer Verschraubung von zwei Bauteilen mit einem vorbestimmten Zieldrehmoment durch Auswertung von während des Verschraubens erfassten Drehmomentsignalen, Vorspannkraftsignalen und Drehwinkelsignalen zeichnet sich dadurch aus, dass die Qualitätskriterien umfassen, dass
- - ein tatsächlich anliegendes Drehmoment beim Erreichen des Zieldrehmoments in einem ersten Korridor liegt,
- - ein für einen vorbestimmten Drehwinkel erfasstes Startdrehmoment in einem zweiten Korridor liegt,
- - eine Vorspannkraft für den Drehwinkel des tatsächlich anliegenden Drehmoments in einem dritten Korridor liegt.
- - an actually applied torque lies in a first corridor when the target torque is reached,
- - a starting torque recorded for a predetermined angle of rotation lies in a second corridor,
- - a preload force for the angle of rotation of the torque actually applied lies in a third corridor.
Unter einem Korridor ist in diesem Zusammenhang im Unterschied zu den im Stand der Technik bekannten Fenstern einer Hüllkurvenüberwachung ein eindimensionaler Bereich zu verstehen. Es gibt also für einen definierten Drehwinkel einen Bereich für das Drehmoment, in welchem das erfasste Drehmoment liegen darf, um das Qualitätskriterium zu erfüllen. Dies entspricht einer im Vergleich zum Fenster, welche eine Variation des Drehwinkels und des Drehmoments zulässt engeren Überwachung des Zieldrehmoments. Die Differenz zwischen dem tatsächlich anliegenden Drehmoment und dem Zieldrehmoment hängt dabei von der Regelgüte der zur Verschraubung verwendeten Regelung ab, welche als Eingabe das zu erreichende Zieldrehmoment für die Verschraubung erhält. Dieses wird durch verschiedene Einflüsse wie beispielsweise Reibung im Gewinde und Unterkopfreibung an den Kontaktflächen der Bauteile, wie beispielsweise zwischen einer Mutter und einer Auflage, sowie Toleranzen der Sensorik und Regelparametern nicht immer exakt erreicht. Das Startdrehmoment ist durch das Drehmoment definiert, an welchem die Kontaktflächen der Bauteile während der und durch die Verschraubung miteinander in Kontakt kommen.In this context, in contrast to the windows of envelope monitoring known in the prior art, a corridor is to be understood as a one-dimensional area. For a defined angle of rotation, there is a torque range in which the recorded torque may lie in order to meet the quality criterion. This corresponds to a closer monitoring of the target torque compared to the window, which allows a variation of the angle of rotation and the torque. The difference between the actual torque applied and the target torque depends on the control quality of the control system used for the screw connection, which receives the target torque to be achieved for the screw connection as input. This is not always achieved exactly due to various influences such as friction in the thread and under-head friction on the contact surfaces of the components, such as between a nut and a support, as well as tolerances of the sensors and control parameters. The starting torque is defined by the torque at which the contact surfaces of the components come into contact with one another during and through the screw connection.
Dazu kann der vorbestimmte Drehwinkel zur Bestimmung des Startdrehmoments einem Drehwinkel entsprechen, welcher durch das durch den Drehwinkel bewirkte Drehmoment die für die Verschraubung vorbestimmte Vorspannkraft bewirkt. Dieser Drehwinkel kann über Versuche im Vorfeld ermittelt werden und hängt von der zu bewirkenden Vorspannkraft, der Geometrie der Schraube und weiteren Randbedingungen wie der Güte der verwendeten Schraube und Setzeffekten beim Verschrauben ab.For this purpose, the predetermined angle of rotation for determining the starting torque can correspond to a rotation angle which causes the predetermined preload force for the screw connection due to the torque caused by the angle of rotation. This angle of rotation can be determined in advance through tests and depends on the preload force to be applied, the geometry of the screw and other boundary conditions such as the quality of the screw used and setting effects when screwing.
Zusätzlich oder alternativ kann die Vorspannkraft auf Basis einer auf die Verschraubung wirkenden Gewichtskraft und eines Motorstroms eines auf die Verschraubung eine Kraft ausübenden Motors bestimmt werden. Die Gewichtskraft kann beispielsweise von einem mit der Verschraubung fest verbundenen Portal bewirkt werden, welches mit dem vorzuspannenden Bauteil verbunden ist und mit seinem gesamten Gewicht auf das Bauteil wirkt. Das Portal kann über einen Motor zusätzlich bewegt werden, so dass zusätzlich zu der Gewichtskraft eine in Richtung der Gewichtskraft wirkende Kraft auf die Verschraubung ausgeübt werden kann. Zur Einstellung der Vorspannkraft wird zunächst der Motor über den Motorstrom geregelt, bis die Summe aus Gewichtskraft des Portals und der über den Motorstrom bewirkten zusätzlichen Kraft der vorbestimmten Vorspannkraft entspricht. Daraufhin wird die Motorregelung auf eine Positionsregelung umgeschaltet und der Motorstrom kontinuierlich erfasst. Wird beim Verschrauben die Vorspannkraft durch die Verschraubung selbst, also durch das beim Festziehen der Verschraubung erzeugte Drehmoment bewirkt, verringert sich der Motorstrom und dadurch die erfasste Vorspannkraft. Die erfasste Vorspannkraft muss zur Erfüllung des Qualitätskriteriums, wie weiter oben beschrieben, beim Erreichen des Zieldrehmoments in einem bestimmten Korridor liegen. Dieser hängt von der in der Verschraubung benötigten Vorspannung ab.Additionally or alternatively, the preload force can be determined based on a weight force acting on the screw connection and a motor current of a motor exerting a force on the screw connection. The weight force can be caused, for example, by a portal firmly connected to the screw connection, which is connected to the component to be prestressed and acts on the component with its entire weight. The portal can also be moved via a motor, so that in addition to the weight force, a force acting in the direction of the weight force can be exerted on the screw connection. To adjust the preload force, the motor is first regulated via the motor current until the sum of the weight of the portal and the additional force caused by the motor current corresponds to the predetermined preload force. The motor control is then switched to position control and the motor current is continuously recorded. If, when screwing, the preload force is caused by the screw connection itself, i.e. by the torque generated when the screw connection is tightened, the motor current and thus the recorded preload force are reduced. In order to fulfill the quality criterion, as described above, the recorded preload force must be within a certain corridor when the target torque is reached. This depends on the preload required in the screw connection.
Weiterhin kann ein weiteres Qualitätskriterium ein Gesamtdrehwinkel der Verschraubung sein. Dieser soll ein zufälliges, fehlerhaftes Erfüllen der anderen Qualitätskriterien, beispielsweise durch ein Fressen des Gewindes, überprüfen und somit ausschließen.Furthermore, another quality criterion can be a total angle of rotation of the screw connection. This is intended to check and thus rule out accidental, incorrect fulfillment of the other quality criteria, for example due to seizing of the thread.
Insbesondere kann der Gesamtdrehwinkel in einem vierten Korridor liegen. Der Gesamtdrehwinkel kann durch den theoretischen Drehwinkel der Verschraubung, einer Bauteiltoleranz, dem zum Aufbringen der Vorspannkraft benötigten Drehwinkel und einem bis zum Ineinandergreifen der Gewinde benötigten Drehwinkel bestimmt werden. Der Gesamtdrehwinkel setzt sich also aus der Länge des Gewindes, also dem theoretischen Drehwinkel Wth, dem Drehwinkel W0 bis zum Ineinandergreifen der Gewinde, den Bauteiltoleranzen WTo und dem zum Aufbringen der Vorspannung durch die Verschraubung benötigten Drehwinkels Wvs zusammen. Daraus ergibt sich bei einem theoretischen Drehwinkel von sechs Umdrehungen und einem Drehwinkel WVs von 12° folgender minimaler und maximaler Wert:
Der Gesamtdrehwinkel muss also innerhalb des vierten Korridors, welcher durch den Drehwinkelmin und Drehwinkelmax definiert wird, liegen.The total angle of rotation must therefore lie within the fourth corridor, which is defined by the angle of rotation min and angle of rotation max .
Weiterhin kann eine Aufnahme eines Bauteils derart ausgebildet sein, dass eine Verkippung der Längsachsen der beiden Bauteile zueinander durch ein Verkippen mindestens eines Bauteils um zwei zur Verschraubungsrichtung senkrechten Achsen ausgeglichen werden kann. Dadurch wird ein Verkanten beim in Kontakt kommen der beiden Bauteile und somit ein unvollständiger Kontakt der Kontaktflächen beim Erreichen des Zieldrehmoments vermieden. In dem Fall, dass durch die beiden Bauteile ein Wärmestrom fließen soll, ist der Kontakt der Kontaktflächen ein wichtiger Faktor für den maximalen Wärmestrom. Diese Variante kann auch unabhängig von dem oben geschilderten Verfahren zur Überprüfung der Qualität der Verschraubung zur Anwendung kommen.Furthermore, a receptacle of a component can be designed in such a way that a tilting of the longitudinal axes of the two components relative to one another can be compensated for by tilting at least one component about two axes perpendicular to the screwing direction. This prevents tilting when the two components come into contact and thus prevents incomplete contact between the contact surfaces when the target torque is reached. In the event that a heat flow is to flow through the two components, the contact of the contact surfaces is an important factor for the maximum heat flow. This variant can also be used independently of the method described above to check the quality of the screw connection.
Insbesondere kann die Verkippung des Bauteils lediglich in einem Teilbereich der Verschraubung möglich sein. Dies hat den Vorteil, dass zu Beginn der Verschraubung, durch ein Anpressen der beiden Bauteile ein sicheres Finden des Gewindes gewährleistet werden kann. Erst nachdem das Gewinde ein oder mehrere Gewindegänge miteinander verschraubt ist, wird die Verkippung der beiden Bauteile zueinander ermöglicht.In particular, tilting of the component may only be possible in a partial area of the screw connection. This has the advantage that at the beginning of the screw connection, a secure finding of the thread can be ensured by pressing the two components together. Only after one or more threads have been screwed together is the two components tilted relative to one another.
Weiterhin kann eine Feder die Halterung während des Verschraubens mit einer Kraft in Richtung der Verschraubung beaufschlagen. Dadurch wird neben dem weiter oben bereits erläuterten sicheren Finden des Gewindes das Gewinde auch vorgespannt, so dass der Kontakt der Gewindeflächen immer definiert ist, wodurch das Spiel im Gewinde beim Verschrauben verringert wird.Furthermore, a spring can apply a force to the holder in the direction of the screw connection during screwing. In addition to the secure finding of the thread as already explained above, this also preloads the thread so that the contact of the thread surfaces is always defined, which reduces the play in the thread when screwing.
Insbesondere kann die Kraft der Feder die Verkippung des Bauteils in der Aufnahme verhindern. Dadurch wird ein Verkippen, wie weiter oben bereits erläutert, erst in einem Teilbereich gegen Ende der Verschraubung kurz bevor oder zu dem Zeitpunkt bei dem es zum Kontakt der beiden Bauteile kommt, möglich.In particular, the force of the spring can prevent the component from tilting in the receptacle. As a result, tilting, as already explained above, is only possible in a partial area towards the end of the screw connection shortly before or at the time when the two components come into contact.
Daneben kann die Halterung das durch die Verschraubung bewirkte Drehmoment aufnehmen. Die Halterung kann dabei derart ausgebildet sein, dass die Aufnahme des Drehmoments und ein Verkippen des Bauteils in der Aufnahme um zwei zur Verschraubungsrichtung senkrechte Achsen möglich ist.In addition, the holder can absorb the torque caused by the screw connection. The holder can be designed in such a way that it is possible to absorb the torque and tilt the component in the holder about two axes perpendicular to the screwing direction.
Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele und Varianten der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen
-
1 schematisch im Meridionalschnitt eine Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Projektionslithografie, -
2 eine Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens, -
3 einen Ausschnitt eines auf im erfindungsgemäßen Verfahren erfassten Daten basierenden Diagramms, -
4 ein weiteres auf im erfindungsgemäßen Verfahren erfassten Daten basierenden Diagramm, -
5 eine Komponente, und -
6a-e ein Verfahren zum Ausgleich einer Verkippung zweier Bauteile zueinander beim Verschrauben.
-
1 schematically in meridional section a projection exposure system for EUV projection lithography, -
2 a device for carrying out the method according to the invention, -
3 a section of a diagram based on data recorded in the method according to the invention, -
4 a further diagram based on data recorded in the method according to the invention, -
5 a component, and -
6a-e a method for compensating for tilting of two components relative to one another when screwing together.
Im Folgenden werden zunächst unter Bezugnahme auf die
Eine Ausführung eines Beleuchtungssystems 2 der Projektionsbelichtungsanlage 1 hat neben einer Strahlungsquelle 3 eine Beleuchtungsoptik 4 zur Beleuchtung eines Objektfeldes 5 in einer Objektebene 6. Bei einer alternativen Ausführung kann die Lichtquelle 3 auch als ein zum sonstigen Beleuchtungssystem separates Modul bereitgestellt sein. In diesem Fall umfasst das Beleuchtungssystem die Lichtquelle 3 nicht.One embodiment of a
Belichtet wird ein im Objektfeld 5 angeordnetes Retikel 7. Das Retikel 7 ist von einem Retikelhalter 8 gehalten. Der Retikelhalter 8 ist über einen Retikelverlagerungsantrieb 9 insbesondere in einer Scanrichtung verlagerbar.A reticle 7 arranged in the
In der
Die Projektionsbelichtungsanlage 1 umfasst eine Projektionsoptik 10. Die Projektionsoptik 10 dient zur Abbildung des Objektfeldes 5 in ein Bildfeld 11 in einer Bildebene 12. Die Bildebene 12 verläuft parallel zur Objektebene 6. Alternativ ist auch ein von 0° verschiedener Winkel zwischen der Objektebene 6 und der Bildebene 12 möglich.The projection exposure system 1 includes
Abgebildet wird eine Struktur auf dem Retikel 7 auf eine lichtempfindliche Schicht eines im Bereich des Bildfeldes 11 in der Bildebene 12 angeordneten Wafers 13. Der Wafer 13 wird von einem Waferhalter 14 gehalten. Der Waferhalter 14 ist über einen Waferverlagerungsantrieb 15 insbesondere längs der y-Richtung verlagerbar. Die Verlagerung einerseits des Retikels 7 über den Retikelverlagerungsantrieb 9 und andererseits des Wafers 13 über den Waferverlagerungsantrieb 15 kann synchronisiert zueinander erfolgen.A structure on the reticle 7 is imaged on a light-sensitive layer of a
Bei der Strahlungsquelle 3 handelt es sich um eine EUV-Strahlungsquelle. Die Strahlungsquelle 3 emittiert insbesondere EUV-Strahlung 16, welche im Folgenden auch als Nutzstrahlung, Beleuchtungsstrahlung oder Beleuchtungslicht bezeichnet wird. Die Nutzstrahlung hat insbesondere eine Wellenlänge im Bereich zwischen 5 nm und 30 nm. Bei der Strahlungsquelle 3 kann es sich um eine Plasmaquelle handeln, zum Beispiel um eine LPP-Quelle (Laser Produced Plasma, mithilfe eines Lasers erzeugtes Plasma) oder um eine DPP-Quelle (Gas Discharged Produced Plasma, mittels Gasentladung erzeugtes Plasma). Es kann sich auch um eine synchrotronbasierte Strahlungsquelle handeln. Bei der Strahlungsquelle 3 kann es sich um einen Freie-Elektronen-Laser (Free-Electron-Laser, FEL) handeln.The
Die Beleuchtungsstrahlung 16, die von der Strahlungsquelle 3 ausgeht, wird von einem Kollektor 17 gebündelt. Bei dem Kollektor 17 kann es sich um einen Kollektor mit einer oder mit mehreren ellipsoidalen und/oder hyperboloiden Reflexionsflächen handeln. Die mindestens eine Reflexionsfläche des Kollektors 17 kann im streifenden Einfall (Grazing Incidence, GI), also mit Einfallswinkeln größer als 45°, oder im normalen Einfall (Normal Incidence, NI), also mit Einfallwinkeln kleiner als 45°, mit der Beleuchtungsstrahlung 16 beaufschlagt werden. Der Kollektor 17 kann einerseits zur Optimierung seiner Reflektivität für die Nutzstrahlung und andererseits zur Unterdrückung von Falschlicht strukturiert und/oder beschichtet sein.The
Nach dem Kollektor 17 propagiert die Beleuchtungsstrahlung 16 durch einen Zwischenfokus in einer Zwischenfokusebene 18. Die Zwischenfokusebene 18 kann eine Trennung zwischen einem Strahlungsquellenmodul, aufweisend die Strahlungsquelle 3 und den Kollektor 17, und der Beleuchtungsoptik 4 darstellen.After the
Die Beleuchtungsoptik 4 umfasst einen Umlenkspiegel 19 und diesem im Strahlengang nachgeordnet einen ersten Facettenspiegel 20. Bei dem Umlenkspiegel 19 kann es sich um einen planen Umlenkspiegel oder alternativ um einen Spiegel mit einer über die reine Umlenkungswirkung hinaus bündelbeeinflussenden Wirkung handeln. Alternativ oder zusätzlich kann der Umlenkspiegel 19 als Spektralfilter ausgeführt sein, der eine Nutzlichtwellenlänge der Beleuchtungsstrahlung 16 von Falschlicht einer hiervon abweichenden Wellenlänge trennt. Sofern der erste Facettenspiegel 20 in einer Ebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet ist, die zur Objektebene 6 als Feldebene optisch konjugiert ist, wird dieser auch als Feldfacettenspiegel bezeichnet. Der erste Facettenspiegel 20 umfasst eine Vielzahl von einzelnen ersten Facetten 21, welche im Folgenden auch als Feldfacetten bezeichnet werden. Von diesen Facetten 21 sind in der
Die ersten Facetten 21 können als makroskopische Facetten ausgeführt sein, insbesondere als rechteckige Facetten oder als Facetten mit bogenförmiger oder teilkreisförmiger Randkontur. Die ersten Facetten 21 können als plane Facetten oder alternativ als konvex oder konkav gekrümmte Facetten ausgeführt sein.The
Wie beispielsweise aus der
Zwischen dem Kollektor 17 und dem Umlenkspiegel 19 verläuft die Beleuchtungsstrahlung 16 horizontal, also längs der y-Richtung.Between the
Im Strahlengang der Beleuchtungsoptik 4 ist dem ersten Facettenspiegel 20 nachgeordnet ein zweiter Facettenspiegel 22. Sofern der zweite Facettenspiegel 22 in einer Pupillenebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet ist, wird dieser auch als Pupillenfacettenspiegel bezeichnet. Der zweite Facettenspiegel 22 kann auch beabstandet zu einer Pupillenebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet sein. In diesem Fall wird die Kombination aus dem ersten Facettenspiegel 20 und dem zweiten Facettenspiegel 22 auch als spekularer Reflektor bezeichnet. Spekulare Reflektoren sind bekannt aus der
Der zweite Facettenspiegel 22 umfasst eine Mehrzahl von zweiten Facetten 23. Die zweiten Facetten 23 werden im Falle eines Pupillenfacettenspiegels auch als Pupillenfacetten bezeichnet.The
Bei den zweiten Facetten 23 kann es sich ebenfalls um makroskopische Facetten, die beispielsweise rund, rechteckig oder auch hexagonal berandet sein können, oder alternativ um aus Mikrospiegeln zusammengesetzte Facetten handeln. Diesbezüglich wird ebenfalls auf die
Die zweiten Facetten 23 können plane oder alternativ konvex oder konkav gekrümmte Reflexionsflächen aufweisen.The
Die Beleuchtungsoptik 4 bildet somit ein doppelt facettiertes System. Dieses grundlegende Prinzip wird auch als Wabenkondensor (Fly's Eye Integrator) bezeichnet.The lighting optics 4 thus forms a double faceted system. This basic principle is also known as the honeycomb condenser (fly's eye integrator).
Es kann vorteilhaft sein, den zweiten Facettenspiegel 22 nicht exakt in einer Ebene, welche zu einer Pupillenebene der Projektionsoptik 10 optisch konjugiert ist, anzuordnen. Insbesondere kann der Pupillenfacettenspiegel 22 gegenüber einer Pupillenebene der Projektionsoptik 10 verkippt angeordnet sein, wie es zum Beispiel in der
Mit Hilfe des zweiten Facettenspiegels 22 werden die einzelnen ersten Facetten 21 in das Objektfeld 5 abgebildet. Der zweite Facettenspiegel 22 ist der letzte bündelformende oder auch tatsächlich der letzte Spiegel für die Beleuchtungsstrahlung 16 im Strahlengang vor dem Objektfeld 5.With the help of the
Bei einer weiteren, nicht dargestellten Ausführung der Beleuchtungsoptik 4 kann im Strahlengang zwischen dem zweiten Facettenspiegel 22 und dem Objektfeld 5 eine Übertragungsoptik angeordnet sein, die insbesondere zur Abbildung der ersten Facetten 21 in das Objektfeld 5 beiträgt. Die Übertragungsoptik kann genau einen Spiegel, alternativ aber auch zwei oder mehr Spiegel aufweisen, welche hintereinander im Strahlengang der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet sind. Die Übertragungsoptik kann insbesondere einen oder zwei Spiegel für senkrechten Einfall (NI-Spiegel, Normal Incidence Spiegel) und/oder einen oder zwei Spiegel für streifenden Einfall (GI-Spiegel, Gracing Incidence Spiegel) umfassen.In a further embodiment of the illumination optics 4, not shown, transmission optics can be arranged in the beam path between the
Die Beleuchtungsoptik 4 hat bei der Ausführung, die in der
Bei einer weiteren Ausführung der Beleuchtungsoptik 4 kann der Umlenkspiegel 19 auch entfallen, so dass die Beleuchtungsoptik 4 nach dem Kollektor 17 dann genau zwei Spiegel aufweisen kann, nämlich den ersten Facettenspiegel 20 und den zweiten Facettenspiegel 22.In a further embodiment of the lighting optics 4, the
Die Abbildung der ersten Facetten 21 mittels der zweiten Facetten 23 beziehungsweise mit den zweiten Facetten 23 und einer Übertragungsoptik in die Objektebene 6 ist regelmäßig nur eine näherungsweise Abbildung.The imaging of the
Die Projektionsoptik 10 umfasst eine Mehrzahl von Spiegeln Mi, welche gemäß ihrer Anordnung im Strahlengang der Projektionsbelichtungsanlage 1 durchnummeriert sind.The
Bei dem in der
Reflexionsflächen der Spiegel Mi können als Freiformflächen ohne Rotationssymmetrieachse ausgeführt sein. Alternativ können die Reflexionsflächen der Spiegel Mi als asphärische Flächen mit genau einer Rotationssymmetrieachse der Reflexionsflächenform gestaltet sein. Die Spiegel Mi können, genauso wie die Spiegel der Beleuchtungsoptik 4, hoch reflektierende Beschichtungen für die Beleuchtungsstrahlung 16 aufweisen. Diese Beschichtungen können als Multilayer-Beschichtungen, insbesondere mit alternierenden Lagen aus Molybdän und Silizium, gestaltet sein.Reflection surfaces of the mirrors Mi can be designed as free-form surfaces without an axis of rotational symmetry. Alternatively, the reflection surfaces of the mirrors Mi can be designed as aspherical surfaces with exactly one axis of rotational symmetry of the reflection surface shape. The mirrors Mi, just like the mirrors of the lighting optics 4, can have highly reflective coatings for the
Die Projektionsoptik 10 hat einen großen Objekt-Bildversatz in der y-Richtung zwischen einer y-Koordinate eines Zentrums des Objektfeldes 5 und einer y-Koordinate des Zentrums des Bildfeldes 11. Dieser Objekt-Bild-Versatz in der y-Richtung kann in etwa so groß sein wie ein z-Abstand zwischen der Objektebene 6 und der Bildebene 12.The
Die Projektionsoptik 10 kann insbesondere anamorphotisch ausgebildet sein. Sie weist insbesondere unterschiedliche Abbildungsmaßstäbe βx, βy in x- und y-Richtung auf. Die beiden Abbildungsmaßstäbe βx, βy der Projektionsoptik 10 liegen bevorzugt bei (βx, βy) = (+/- 0,25, +/- 0,125). Ein positiver Abbildungsmaßstab β bedeutet eine Abbildung ohne Bildumkehr. Ein negatives Vorzeichen für den Abbildungsmaßstab β bedeutet eine Abbildung mit Bildumkehr.The
Die Projektionsoptik 10 führt somit in x-Richtung, das heißt in Richtung senkrecht zur Scanrichtung, zu einer Verkleinerung im Verhältnis 4:1.The
Die Projektionsoptik 10 führt in y-Richtung, das heißt in Scanrichtung, zu einer Verkleinerung von 8:1.The
Andere Abbildungsmaßstäbe sind ebenso möglich. Auch vorzeichengleiche und absolut gleiche Abbildungsmaßstäbe in x- und y-Richtung, zum Beispiel mit Absolutwerten von 0,125 oder von 0,25, sind möglich.Other image scales are also possible. Image scales of the same sign and absolutely the same in the x and y directions, for example with absolute values of 0.125 or 0.25, are also possible.
Die Anzahl von Zwischenbildebenen in der x- und in der y-Richtung im Strahlengang zwischen dem Objektfeld 5 und dem Bildfeld 11 kann gleich sein oder kann, je nach Ausführung der Projektionsoptik 10, unterschiedlich sein. Beispiele für Projektionsoptiken mit unterschiedlichen Anzahlen derartiger Zwischenbilder in x- und y-Richtung sind bekannt aus der
Jeweils eine der Pupillenfacetten 23 ist genau einer der Feldfacetten 21 zur Ausbildung jeweils eines Beleuchtungskanals zur Ausleuchtung des Objektfeldes 5 zugeordnet. Es kann sich hierdurch insbesondere eine Beleuchtung nach dem Köhlerschen Prinzip ergeben. Das Fernfeld wird mit Hilfe der Feldfacetten 21 in eine Vielzahl an Objektfeldern 5 zerlegt. Die Feldfacetten 21 erzeugen eine Mehrzahl von Bildern des Zwischenfokus auf den diesen jeweils zugeordneten Pupillenfacetten 23.One of the
Die Feldfacetten 21 werden jeweils von einer zugeordneten Pupillenfacette 23 einander überlagernd zur Ausleuchtung des Objektfeldes 5 auf das Retikel 7 abgebildet. Die Ausleuchtung des Objektfeldes 5 ist insbesondere möglichst homogen. Sie weist vorzugsweise einen Uniformitätsfehler von weniger als 2 % auf. Die Felduniformität kann über die Überlagerung unterschiedlicher Beleuchtungskanäle erreicht werden.The
Durch eine Anordnung der Pupillenfacetten kann geometrisch die Ausleuchtung der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 definiert werden. Durch Auswahl der Beleuchtungskanäle, insbesondere der Teilmenge der Pupillenfacetten, die Licht führen, kann die Intensitätsverteilung in der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 eingestellt werden. Diese Intensitätsverteilung wird auch als Beleuchtungssetting bezeichnet.The illumination of the entrance pupil of the
Eine ebenfalls bevorzugte Pupillenuniformität im Bereich definiert ausgeleuchteter Abschnitte einer Beleuchtungspupille der Beleuchtungsoptik 4 kann durch eine Umverteilung der Beleuchtungskanäle erreicht werden.A likewise preferred pupil uniformity in the area of defined illuminated sections of an illumination pupil of the illumination optics 4 can be achieved by redistributing the illumination channels.
Im Folgenden werden weitere Aspekte und Details der Ausleuchtung des Objektfeldes 5 sowie insbesondere der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 beschrieben.Further aspects and details of the illumination of the
Die Projektionsoptik 10 kann insbesondere eine homozentrische Eintrittspupille aufweisen. Diese kann zugänglich sein. Sie kann auch unzugänglich sein.The
Die Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 lässt sich regelmäßig mit dem Pupillenfacettenspiegel 22 nicht exakt ausleuchten. Bei einer Abbildung der Projektionsoptik 10, welche das Zentrum des Pupillenfacettenspiegels 22 telezentrisch auf den Wafer 13 abbildet, schneiden sich die Aperturstrahlen oftmals nicht in einem einzigen Punkt. Es lässt sich jedoch eine Fläche finden, in welcher der paarweise bestimmte Abstand der Aperturstrahlen minimal wird. Diese Fläche stellt die Eintrittspupille oder eine zu ihr konjugierte Fläche im Ortsraum dar. Insbesondere zeigt diese Fläche eine endliche Krümmung.The entrance pupil of the
Es kann sein, dass die Projektionsoptik 10 unterschiedliche Lagen der Eintrittspupille für den tangentialen und für den sagittalen Strahlengang aufweist. In diesem Fall sollte ein abbildendes Element, insbesondere ein optisches Bauelement der Übertragungsoptik, zwischen dem zweiten Facettenspiegel 22 und dem Retikel 7 bereitgestellt werden. Mit Hilfe dieses optischen Elements kann die unterschiedliche Lage der tangentialen Eintrittspupille und der sagittalen Eintrittspupille berücksichtigt werden.It may be that the projection optics have 10 different positions of the entrance pupil for the tangential and sagittal beam paths. In this case, an imaging element, in particular an optical component of the transmission optics, should be provided between the
Bei der in der
Der erste Facettenspiegel 20 ist verkippt zu einer Anordnungsebene angeordnet, die vom zweiten Facettenspiegel 22 definiert ist.The
Der Gesamtdrehwinkel muss also beim Erreichen des Zieldrehmoments innerhalb eines vierten Korridors 63 von einem Drehwinkelmin 2172° +/- WTo und einem Drehwinkelmax 2532° +/- WTo liegen.When the target torque is reached, the total angle of rotation must therefore lie within a
Liegen alle vier erläuterten Qualitätskriterien innerhalb der vorgegebenen Korridore 60, 61, 62, 63, kann mit sehr hoher Wahrscheinlichkeit von einer erfolgreichen Verschraubung ausgegangen werden.If all four quality criteria explained lie within the specified
Die
In der
Die
BezugszeichenlisteReference symbol list
- 11
- ProjektionsbelichtungsanlageProjection exposure system
- 22
- BeleuchtungssystemLighting system
- 33
- StrahlungsquelleRadiation source
- 44
- BeleuchtungsoptikIllumination optics
- 55
- ObjektfeldObject field
- 66
- ObjektebeneObject level
- 77
- RetikelReticule
- 88th
- RetikelhalterReticle holder
- 99
- RetikelverlagerungsantriebReticle displacement drive
- 1010
- ProjektionsoptikProjection optics
- 1111
- BildfeldImage field
- 1212
- BildebeneImage plane
- 1313
- Waferswafers
- 1414
- Waferhalterwafer holder
- 1515
- WaferverlagerungsantriebWafer displacement drive
- 1616
- EUV-StrahlungEUV radiation
- 1717
- Kollektorcollector
- 1818
- ZwischenfokusebeneIntermediate focal plane
- 1919
- UmlenkspiegelDeflecting mirror
- 2020
- FacettenspiegelFacet mirror
- 2121
- Facettenfacets
- 2222
- FacettenspiegelFacet mirror
- 2323
- Facettenfacets
- 3030
- Portalportal
- 3131
- GehäuseHousing
- 3232
- Motorengine
- 3333
- Verbindungselementconnecting element
- 3434
- Anschlagattack
- 3535
- Schraubeinheitscrew unit
- 3636
- Aussparungrecess
- 4040
- Baugruppemodule
- 4141
- BasisplatteBase plate
- 4242
- GrundkörperBasic body
- 4343
- AbsatzParagraph
- 4444
- Durchgangslochthrough hole
- 4545
- MutterMother
- 4646
- Schnittstelle FacetteInterface facet
- 4747
- Gewindethread
- 4848
- LängsachseLongitudinal axis
- 4949
- Facettefacet
- 5050
- Auflagefläche FacetteSupport surface facet
- 5151
- Auflagefläche GrundkörperSupport surface base body
- 5252
- Innengewinde FacetteInternal thread facet
- 5353
- Außengewinde SchnittstelleExternal thread interface
- 5454
- Aussparung GrundkörperRecess base body
- 5555
- LängsachseLongitudinal axis
- 6060
- Korridor ZieldrehmomentCorridor target torque
- 6161
- Korridor VorspannkraftCorridor preload force
- 6262
- Korridor berechnetes StartdrehmomentCorridor calculated starting torque
- 6363
- Korridor GesamtdrehwinkelCorridor total rotation angle
- 7070
- Vorrichtungcontraption
- 7171
- Schraubvorrichtungscrew device
- 7272
- Adapteradapter
- 7373
- Halterungbracket
- 7474
- FederFeather
- 7575
- Anschlagattack
- αα
- Winkel StartdrehmomentAngle starting torque
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN THE DESCRIPTION
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list of documents listed by the applicant was generated automatically and is included solely for the better information of the reader. The list is not part of the German patent or utility model application. The DPMA assumes no liability for any errors or omissions.
Zitierte PatentliteraturCited patent literature
- DE 102008009600 A1 [0036, 0040]DE 102008009600 A1 [0036, 0040]
- US 20060132747 A1 [0038]US 20060132747 A1 [0038]
- EP 1614008 B1 [0038]EP 1614008 B1 [0038]
- US 6573978 [0038]US 6573978 [0038]
- DE 102017220586 A1 [0043]DE 102017220586 A1 [0043]
- US 20180074303 A1 [0057]US 20180074303 A1 [0057]
Claims (10)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102022203299.3A DE102022203299A1 (en) | 2022-04-01 | 2022-04-01 | Procedure for checking the quality of a screw connection |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102022203299.3A DE102022203299A1 (en) | 2022-04-01 | 2022-04-01 | Procedure for checking the quality of a screw connection |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102022203299A1 true DE102022203299A1 (en) | 2023-10-05 |
Family
ID=88019339
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102022203299.3A Pending DE102022203299A1 (en) | 2022-04-01 | 2022-04-01 | Procedure for checking the quality of a screw connection |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102022203299A1 (en) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6573978B1 (en) | 1999-01-26 | 2003-06-03 | Mcguire, Jr. James P. | EUV condenser with non-imaging optics |
US20060132747A1 (en) | 2003-04-17 | 2006-06-22 | Carl Zeiss Smt Ag | Optical element for an illumination system |
DE102008009600A1 (en) | 2008-02-15 | 2009-08-20 | Carl Zeiss Smt Ag | Facet mirror e.g. field facet mirror, for use as bundle-guiding optical component in illumination optics of projection exposure apparatus, has single mirror tiltable by actuators, where object field sections are smaller than object field |
US20180074303A1 (en) | 2015-04-14 | 2018-03-15 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Imaging optical unit and projection exposure unit including same |
DE102017220586A1 (en) | 2017-11-17 | 2019-05-23 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Pupil facet mirror, illumination optics and optical system for a projection exposure apparatus |
-
2022
- 2022-04-01 DE DE102022203299.3A patent/DE102022203299A1/en active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6573978B1 (en) | 1999-01-26 | 2003-06-03 | Mcguire, Jr. James P. | EUV condenser with non-imaging optics |
US20060132747A1 (en) | 2003-04-17 | 2006-06-22 | Carl Zeiss Smt Ag | Optical element for an illumination system |
EP1614008B1 (en) | 2003-04-17 | 2009-12-02 | Carl Zeiss SMT AG | Optical element for a lighting system |
DE102008009600A1 (en) | 2008-02-15 | 2009-08-20 | Carl Zeiss Smt Ag | Facet mirror e.g. field facet mirror, for use as bundle-guiding optical component in illumination optics of projection exposure apparatus, has single mirror tiltable by actuators, where object field sections are smaller than object field |
US20180074303A1 (en) | 2015-04-14 | 2018-03-15 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Imaging optical unit and projection exposure unit including same |
DE102017220586A1 (en) | 2017-11-17 | 2019-05-23 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Pupil facet mirror, illumination optics and optical system for a projection exposure apparatus |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102012203950A1 (en) | Illumination optics for a projection exposure machine | |
DE102022200400A1 (en) | CONNECTION OF COMPONENTS OF AN OPTICAL DEVICE | |
EP3295144A1 (en) | Device for measuring an imaging property of an optical system | |
DE102017216703A1 (en) | Method for characterizing at least one optical component of a projection exposure apparatus | |
DE102022203299A1 (en) | Procedure for checking the quality of a screw connection | |
WO2024017836A1 (en) | Optical system and projection exposure apparatus | |
DE102022205815A1 (en) | Component for a projection exposure system for semiconductor lithography and projection exposure system | |
DE102010039965A1 (en) | EUV collector | |
DE102022201007A1 (en) | Device for connecting at least a first and a second module component, module of a lithography system, optical element and lithography system | |
DE102021205809B3 (en) | Method for screwing an actuator-sensor module of a projection exposure system | |
DE102021206427A1 (en) | Projection exposure system for semiconductor lithography | |
DE102021208801B3 (en) | Projection exposure system and method for laying out an adhesive layer | |
DE102023201860A1 (en) | Assembly and method of connecting two components | |
DE102021205149B3 (en) | Method and device for qualifying a faceted mirror | |
DE102023201200A1 (en) | Projection exposure system for semiconductor lithography | |
DE102020212229B3 (en) | Aperture device for delimiting a beam path between a light source and an illumination optics of a projection exposure system for projection lithography | |
DE102023205426A1 (en) | Module with two joining partners for a projection exposure system for semiconductor lithography, projection exposure system and process | |
DE102022208738A1 (en) | Device and method for aligning two components | |
DE102022203393A1 (en) | Device and method for aligning two components | |
DE102021205278B4 (en) | Adjustable spacer, optical system, projection exposure apparatus and method | |
DE102023201137A1 (en) | Arrangement and method for protecting an adhesive connection | |
DE102019201549A1 (en) | Method for monitoring a screw connection | |
DE102023203580A1 (en) | Coolant line for providing a fluid for temperature control of components | |
DE102023116893A1 (en) | Device and method for compensating pendulum forces | |
DE102022206038A1 (en) | Method for compensating actuator effects of actuators |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R012 | Request for examination validly filed | ||
R016 | Response to examination communication |