DE102022131780A1 - Inductive angle sensor - Google Patents

Inductive angle sensor Download PDF

Info

Publication number
DE102022131780A1
DE102022131780A1 DE102022131780.3A DE102022131780A DE102022131780A1 DE 102022131780 A1 DE102022131780 A1 DE 102022131780A1 DE 102022131780 A DE102022131780 A DE 102022131780A DE 102022131780 A1 DE102022131780 A1 DE 102022131780A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
coil
receiving
conductor loop
angle
receiving coil
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE102022131780.3A
Other languages
German (de)
Inventor
Carsten Kügeler
Andreas Stumpf
Harry Weber
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hella GmbH and Co KGaA
Original Assignee
Hella GmbH and Co KGaA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hella GmbH and Co KGaA filed Critical Hella GmbH and Co KGaA
Priority to DE102022131780.3A priority Critical patent/DE102022131780A1/en
Publication of DE102022131780A1 publication Critical patent/DE102022131780A1/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/30—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

Induktiver Drehwinkelsensor- mit einem Stator (100), der eine Erregerschaltung, eine Erregerspule (101.1), wenigstens eine erste Empfangsspule (101.11) und eine Auswerteschaltung aufweist, und- mit einem Rotor (200), der eine erste geschlossene Leiterschleife (200.1) aufweist,- wobei mit der Erregerschaltung ein Erregersignal erzeugt werden kann, um ein elektromagnetisches Feld zu erzeugen,- wobei eine Drehung des Rotors (200) das von der Erregerspule (101.1) erzeugte elektromagnetische Feld ändert,- wobei das elektromagnetische Feld ein erstes Empfangssignal in der ersten Empfangsspule (101.11) induziert,- wobei der Stator (100) wenigstens eine zweite Empfangsspule aufweist, die eine Form hat, die sich von einer Form der ersten Empfangsspule (101.11) unterscheidet,- wobei der Rotor (200) eine zweite geschlossene Leiterschleife (200.3) aufweist, die eine Form hat, die sich von einer Form der ersten geschlossenen Leiterschleife (200.1) unterscheidet,- wobei das elektromagnetische Feld ein zweites Empfangssignal in der zweiten Empfangsspule induziert.Inductive angle of rotation sensor - with a stator (100) which has an excitation circuit, an excitation coil (101.1), at least one first receiving coil (101.11) and an evaluation circuit, and - with a rotor (200) which has a first closed conductor loop (200.1), - wherein an excitation signal can be generated with the excitation circuit in order to generate an electromagnetic field, - wherein a rotation of the rotor (200) changes the electromagnetic field generated by the excitation coil (101.1), - wherein the electromagnetic field induces a first receiving signal in the first receiving coil (101.11), - wherein the stator (100) has at least one second receiving coil which has a shape which differs from a shape of the first receiving coil (101.11), - wherein the rotor (200) has a second closed conductor loop (200.3) which has a shape which differs from a Shape of the first closed conductor loop (200.1), wherein the electromagnetic field induces a second reception signal in the second reception coil.

Description

Die Erfindung betrifft einen induktiven Drehwinkelsensor

  • - mit einem Stator, der eine Erregerschaltung, eine Erregerspule, wenigstens eine erste Empfangsspule und eine Auswerteschaltung aufweist, und
  • - mit einem Rotor, der eine erste geschlossene Leiterschleife aufweist,
  • - wobei mit der Erregerschaltung ein Erregersignal erzeugt werden kann,
  • - wobei die Erregerspule an die Erregerschaltung angeschlossen ist und in die Erregerspule das Erregersignal eingekoppelt werden kann, um ein elektromagnetisches Feld zu erzeugen,
  • - wobei eine Drehung des Rotors das von der Erregerspule erzeugte elektromagnetische Feld ändert,
  • - wobei das elektromagnetische Feld, insbesondere die Änderung des elektromagnetischen Felds ein erstes Empfangssignal in der ersten Empfangsspule induziert,
  • - und wobei die Auswerteschaltung an die erste Empfangsspule angeschlossen ist und mit der Auswerteschaltung das in der ersten Empfangsspule induzierte Empfangssignal ausgewertet werden kann.
The invention relates to an inductive angle of rotation sensor
  • - with a stator having an excitation circuit, an excitation coil, at least one first receiving coil and an evaluation circuit, and
  • - with a rotor having a first closed conductor loop,
  • - whereby an excitation signal can be generated with the excitation circuit,
  • - wherein the excitation coil is connected to the excitation circuit and the excitation signal can be coupled into the excitation coil to generate an electromagnetic field,
  • - whereby a rotation of the rotor changes the electromagnetic field generated by the excitation coil,
  • - wherein the electromagnetic field, in particular the change in the electromagnetic field, induces a first reception signal in the first reception coil,
  • - and wherein the evaluation circuit is connected to the first receiving coil and the received signal induced in the first receiving coil can be evaluated with the evaluation circuit.

Ein induktiver Drehwinkelsensor mit diesen Merkmalen ist zum Beispiel aus dem Dokument EP 2 180 296 A1 bekannt. Der induktive Drehwinkelsensor ist Teil einer Drehwinkelbestimmungsvorrichtung, die neben dem induktiven Drehwinkelsensor einen Hallsensor als zweiten Drehwinkelsensor aufweist.An inductive angle sensor with these features is known, for example, from the document EP 2 180 296 A1 The inductive angle of rotation sensor is part of a rotation angle determination device which, in addition to the inductive angle of rotation sensor, has a Hall sensor as a second angle of rotation sensor.

Auch aus anderen Dokumenten sind Drehwinkelsensoren bekannt.Angle of rotation sensors are also known from other documents.

So ist es zum Beispiel aus den Dokumenten EP 0 389 699 A1 und DE 10 2004 011 125 A1 bekannt, Rotoren von Drehwinkelsensoren miteinander zu koppeln. Dazu ist dann ein Getriebe vorgesehen. Der eine Rotor hat durch das Getriebe eine andere Rotation als der andere Rotor. Die Drehung jedes der Rotoren wird erfasst und in ein Signal umgewandelt, das von einer Auswerteschaltung ausgewertet wird, um die Drehstellung des Rotors zu bestimmen. In dem Dokument EP 2 180 296 A1 ist beschrieben, Rotoren der beiden Sensoren über ein Getriebe zu koppeln, so dass der Vernier-(Nonius)-Algorithmus genutzt werden kann, um eine sehr genaue Bestimmung des Drehwinkels zu erreichen. Das Vernier-(Nonius)-Prinzip beruht darauf, zwei verschiedene Messskalen zur Längenmessung so miteinander zu kombinieren, dass ein genauerer Messwert abgelesen werden kann. Dieses Prinzip kann auf die Drehwinkelmessung übertragen werden.This is evident, for example, from the documents EP 0 389 699 A1 and EN 10 2004 011 125 A1 It is known to couple rotors of angle sensors to each other. A gear is then provided for this purpose. One rotor has a different rotation than the other rotor due to the gear. The rotation of each of the rotors is recorded and converted into a signal that is evaluated by an evaluation circuit in order to determine the rotational position of the rotor. In the document EP 2 180 296 A1 It is described how to couple the rotors of the two sensors via a gear so that the Vernier (nonius) algorithm can be used to achieve a very precise determination of the angle of rotation. The Vernier (nonius) principle is based on combining two different measuring scales for length measurement in such a way that a more precise measurement value can be read. This principle can be transferred to the angle of rotation measurement.

Jede mechanische Kopplung von Rotoren von zwei Sensoren hat Toleranzen zur Folge, die zu Messfehlern führen können.Any mechanical coupling of rotors of two sensors results in tolerances that can lead to measurement errors.

Hier setzt die vorliegende Erfindung an.This is where the present invention comes in.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, einen induktiven Drehsensor vorzuschlagen, der zwei Messbereiche nutzt, um eine genauere Erfassung des Drehwinkels zu ermöglichen.The present invention is based on the object of proposing an inductive rotation sensor which uses two measuring ranges to enable a more precise detection of the angle of rotation.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass

  • - der Stator wenigstens eine zweite Empfangsspule aufweist, die eine Form hat, die sich von einer Form der ersten Empfangsspule unterscheidet,
  • - der Rotor eine zweite geschlossene Leiterschleife aufweist, die eine Form hat, die sich von einer Form der ersten geschlossenen Leiterschleife unterscheidet,
  • - wobei das elektromagnetische Feld, insbesondere die Änderung des elektromagnetischen Felds ein zweites Empfangssignal in der zweiten Empfangsspule induziert,
  • - und wobei die Auswerteschaltung an die zweite Empfangsspule angeschlossen ist und mit der Auswerteschaltung das in der zweiten Empfangsspule induzierte Empfangssignal ausgewertet werden kann.
This object is achieved according to the invention in that
  • - the stator has at least a second receiving coil having a shape that differs from a shape of the first receiving coil,
  • - the rotor has a second closed conductor loop which has a shape that differs from a shape of the first closed conductor loop,
  • - wherein the electromagnetic field, in particular the change in the electromagnetic field, induces a second reception signal in the second reception coil,
  • - and wherein the evaluation circuit is connected to the second receiving coil and the evaluation circuit can evaluate the received signal induced in the second receiving coil.

Der erfindungsgemäße Sensor weist zwei Messsysteme mit verschiedenen Messbereichen auf. Zum ersten Messsystem gehören die Erregerschaltung, die Erregerspule, die erste geschlossene Leiterschleife des Rotors, die wenigstens eine erste Empfangsspule und die Auswerteschaltung. Zum zweiten Messsystem gehören die Erregerschaltung, die Erregerspule, die zweite geschlossene Leiterschleife des Rotors, die wenigstens eine zweite Empfangsspule und die Auswerteschaltung. Dadurch, dass die erste und die zweite geschlossene Leiterschleife und die wenigstens eine erste Empfangsspule und die wenigstens eine zweite Empfangsspule verschiedene Formen haben, ergeben sich verschiedene Messbereiche der beiden Messsysteme. In den Empfangsspulen der beiden Messsysteme werden Empfangssignale induziert, die sich voneinander unterscheiden. Die Auswerteschaltung wertet die Empfangssignale aus und ermittelt aus beiden Empfangssignalen die Drehstellung des Rotors.The sensor according to the invention has two measuring systems with different measuring ranges. The first measuring system includes the excitation circuit, the excitation coil, the first closed conductor loop of the rotor, the at least one first receiving coil and the evaluation circuit. The second measuring system includes the excitation circuit, the excitation coil, the second closed conductor loop of the rotor, the at least one second receiving coil and the evaluation circuit. Because the first and second closed conductor loops and the at least one first receiving coil and the at least one second receiving coil have different shapes, different measuring ranges are obtained for the two measuring systems. Received signals that differ from one another are induced in the receiving coils of the two measuring systems. The evaluation circuit evaluates the received signals and determines the rotational position of the rotor from both received signals.

Eine Möglichkeit ist es, dass die Leiterschleifen des Rotors und auch Leiterschleifen der Empfangsspulen regelmäßig, insbesondere sternartig geformt sind. Dabei kann dann die sternartige Form der Leiterschleife des Rotors und der Leiterschleifen der wenigstens einen Empfangsspule des einen Messsystems fünf Zacken oder Ausbuchtungen und die sternartige Form der Leiterschleife des Rotors und der Leiterschleifen der wenigstens einen Empfangsspule des einen Messsystems sechs Zacken oder Ausbuchtungen aufweisen.One possibility is that the conductor loops of the rotor and also the conductor loops of the receiving coils are regularly shaped, in particular star-shaped. The star-shaped shape of the conductor loop of the rotor and the conductor loops of the at least one receiving coil of the one measuring system can then have five points or bulges and the star-shaped shape of the conductor loop of the rotor and the conductor loops of the at least one receiving coil of the one measuring system can have six points or bulges.

Die Leiterschleifen des Rotors können als Leiterbahnen auf zwei verschiedenen Seiten einer Leiterplatte angeordnet sein. Die Leiterschleifen können auch als Blechstanzteile ausgeführt sein, die an einer isolierenden Platte, zum Beispiel einer Leiterplatte befestigt sind. Die Leiterschleifen und die isolierende Platte bilden den Rotor, der an einem Gegenstand befestigt werden kann, dessen Drehung gegenüber dem Stator des Sensors ermittelt werden soll.The conductor loops of the rotor can be arranged as conductor tracks on two different sides of a circuit board. The conductor loops can also be designed as stamped sheet metal parts that are attached to an insulating plate, for example a circuit board. The conductor loops and the insulating plate form the rotor, which can be attached to an object whose rotation relative to the stator of the sensor is to be determined.

Anstelle einer Erregerspule können auch zwei Erregerspulen vorgesehen sein, von denen eine erste Erregerspule der ersten Leiterschleife des Rotors und der wenigstens einen ersten Empfangsspule und eine zweite Erregerspule der zweiten Leiterschleife des Rotors und der wenigstens einen zweiten Empfangsspule zugeordnet ist. Die Erregerspulen können so angeordnet sein, dass ein Abstand zwischen der ersten Erregerspule und der ersten Leiterschleife des Rotors und der Abstand zwischen der zweiten Erregerspule und der zweiten Leiterschleife des Rotors gleich ist.Instead of one excitation coil, two excitation coils can also be provided, of which a first excitation coil is assigned to the first conductor loop of the rotor and the at least one first receiving coil and a second excitation coil is assigned to the second conductor loop of the rotor and the at least one second receiving coil. The excitation coils can be arranged such that a distance between the first excitation coil and the first conductor loop of the rotor and the distance between the second excitation coil and the second conductor loop of the rotor are the same.

Die erste Erregerspule und die wenigstens eine erste Empfangsspule können in einer Ebene angeordnet sein. Auch die zweite Erregerspule und die zweite Empfangsspule können in einer Ebene angeordnet sein.The first excitation coil and the at least one first receiving coil can be arranged in one plane. The second excitation coil and the second receiving coil can also be arranged in one plane.

Die Erregerspule bzw. die Erregerspulen können als Leiterbahnen auf einer Leiterplatte realisiert sein. Die Leiterplatte kann aus FR4 hergestellt sein. Sie kann mehrlagig ausgeführt sein.The excitation coil or coils can be implemented as conductor tracks on a circuit board. The circuit board can be made of FR4. It can be multi-layered.

Die Erregerspule bzw. die Erregerspulen können im Wesentlichen kreisförmig ausgeführt sein und sie kann bzw. können eine oder mehrere Windungen in einer oder mehreren Ebenen der Leiterplatte aufweisen.The excitation coil or coils may be substantially circular and may have one or more turns in one or more levels of the circuit board.

Die wenigstens eine erste oder zweite Empfangsspule kann innerhalb der (zugeordneten) Erregerspule, außerhalb der (zugeordneten) Erregerspule oder auch sowohl innerhalb als auch außerhalb der (zugeordneten) Erregerspule angeordnet sein.The at least one first or second receiving coil can be arranged inside the (assigned) excitation coil, outside the (assigned) excitation coil or both inside and outside the (assigned) excitation coil.

Der Stator eines erfindungsgemäßen Drehwinkelsensors kann neben der ersten Empfangsspule, nachfolgend als erste erste Empfangsspule bezeichnet, wenigstens eine weitere erste Empfangsspule aufweisen, vorzugsweise eine zweite erste Empfangsspule und eine dritte erste Empfangsspule. Die ersten Empfangsspulen können eine gleiche Form haben wie die erste Leiterschleife des Rotors, wobei die ersten Empfangsspulen und die erste Leiterschleife sich lediglich dadurch unterscheiden, dass die ersten Empfangsspulen offene Leiterschleifen sind, während die erste Leiterschleife eine geschlossene Leiterschleife ist. Aus der Form der ersten Leiterschleife und der ersten Empfangsspulen kann sich ein erster Messbereich ergeben, der sich über einen ersten Winkel erstreckt. Dann sind vorzugsweise die ersten Empfangsspulen um einen ersten Verschiebungswinkel gegeneinander gedreht, der dem Quotienten aus dem ersten Winkel durch die Anzahl der ersten Empfangsspulen entspricht.The stator of a rotation angle sensor according to the invention can have at least one further first receiving coil, preferably a second first receiving coil and a third first receiving coil, in addition to the first receiving coil, hereinafter referred to as the first first receiving coil. The first receiving coils can have the same shape as the first conductor loop of the rotor, the first receiving coils and the first conductor loop differing only in that the first receiving coils are open conductor loops, while the first conductor loop is a closed conductor loop. The shape of the first conductor loop and the first receiving coils can result in a first measuring range that extends over a first angle. The first receiving coils are then preferably rotated relative to one another by a first displacement angle that corresponds to the quotient of the first angle divided by the number of first receiving coils.

Der Stator eines erfindungsgemäßen Drehwinkelsensors kann neben der zweiten Empfangsspule, nachfolgend als erste zweite Empfangsspule bezeichnet, wenigstens eine weitere zweite Empfangsspule aufweisen, vorzugsweise eine zweite zweite Empfangsspule und eine dritte zweite Empfangsspule. Die zweiten Empfangsspulen können eine gleiche Form haben wie die zweite Leiterschleife des Rotors, wobei die zweiten Empfangsspulen und die zweite Leiterschleife sich lediglich dadurch unterscheiden können, dass die zweiten Empfangsspulen offene Leiterschleifen sind, während die zweite Leiterschleife eine geschlossene Leiterschleife ist. Aus der Form der zweiten Leiterschleife und der zweiten Empfangsspulen kann sich ein zweiter Messbereich ergeben, der sich über einen zweiten Winkel erstreckt. Die zweiten Empfangsspulen können um einen ersten Verschiebungswinkel gegeneinander gedreht sein, der dem Quotienten aus dem zweiten Winkel durch die Anzahl der zweiten Empfangsspulen entspricht.The stator of a rotation angle sensor according to the invention can have at least one further second receiving coil, preferably a second second receiving coil and a third second receiving coil, in addition to the second receiving coil, hereinafter referred to as the first second receiving coil. The second receiving coils can have the same shape as the second conductor loop of the rotor, wherein the second receiving coils and the second conductor loop can only differ in that the second receiving coils are open conductor loops, while the second conductor loop is a closed conductor loop. The shape of the second conductor loop and the second receiving coils can result in a second measuring range that extends over a second angle. The second receiving coils can be rotated relative to one another by a first displacement angle that corresponds to the quotient of the second angle divided by the number of second receiving coils.

Die Leiterschleifen und Empfangsspulen können nach außen und innen verlaufende Leiterbahnbereiche haben, die einander abwechseln und über auf einer inneren oder äußeren Kreisbahn verlaufende Leiterbahnbereiche verbunden sind.The conductor loops and receiving coils can have outward and inward conductor track areas that alternate with each other and are connected via conductor track areas that run on an inner or outer circular path.

Gemäß der Erfindung kann mit der Erregerschaltung als Erregersignal ein Wechselstrom mit einer Frequenz zwischen 3 bis 4 MHz, vorzugsweise 3,5 MHz erzeugt werden.According to the invention, the excitation circuit can generate an alternating current with a frequency between 3 and 4 MHz, preferably 3.5 MHz, as the excitation signal.

Es ist möglich, dass die Empfangssignale in der Auswerteschaltung oder in den Auswerteschaltungen zum Zweck der Auswertung mit den Erregersignalen gemischt werden.It is possible that the received signals in the evaluation circuit or in the evaluation circuits are mixed with the excitation signals for the purpose of evaluation.

Ein erfindungsgemäßer Drehwinkelsensor ist anhand der Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigt

  • 1 eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Drehwinkelsensors von der Seite,
  • 2 eine schematische Draufsicht auf eine erste Erregerspule und erste Empfangsspulen eines Stators des Drehwinkelsensors aus 1,
  • 3 eine schematische Draufsicht auf eine erste Leiterschleife eines Rotors des Drehwinkelsensors aus 1 und
  • 4 Verläufe eines ersten Empfangssignals einer der ersten Empfangsspulen und eines zweiten Empfangssignals einer der zweiten Empfangsspulen eines erfindungsgemäßen Drehwinkelsensors.
A rotation angle sensor according to the invention is described in more detail with reference to the drawings. It shows
  • 1 a schematic representation of a rotation angle sensor according to the invention from the side,
  • 2 a schematic plan view of a first excitation coil and first receiving coils of a stator of the rotation angle sensor from 1 ,
  • 3 a schematic plan view of a first conductor loop of a rotor of the rotation angle sensor from 1 and
  • 4 Courses of a first received signal of one of the first receiving coils and a second received signal of one of the second receiving coils of a rotation angle sensor according to the invention.

Der erfindungsgemäße Drehwinkelsensor weist einen ortsfest angenommenen Stator 100 mit einer mehrlagigen Leiterplatte 100.1, welche bevorzugt aus FR4 und mehrlagig ausgeführt ist, und einen an einem drehbaren Gegenstand angeordneten Rotor 200 mit geschlossenen Leiterschleifen 200.1 und 200.3 auf.The rotation angle sensor according to the invention has a stationary stator 100 with a multilayer circuit board 100.1, which is preferably made of FR4 and has multiple layers, and a rotor 200 arranged on a rotatable object with closed conductor loops 200.1 and 200.3.

Auf der Leiterplatte 100.1 sind zwei Sensorstrukturen 101 und 102 mit jeweils unterschiedlichen Messbereichen vorgesehen. In der dargestellten Ausführung sind die Sensorstrukturen 101 und 102 als auf einer Leiterplatte 100.1 angeordnete Spulen ausgeführt, mit denen der Drehwinkel induktiv bestimmt wird. Die Sensorstrukturen 101 und 102 sind auf unterschiedlichen Lagen angeordnet. Diesen Sensorstrukturen 101 und 102 ist jeweils eine geschlossene Leiterschleife des Rotors 200 zugeordnet.Two sensor structures 101 and 102, each with different measuring ranges, are provided on the circuit board 100.1. In the embodiment shown, the sensor structures 101 and 102 are designed as coils arranged on a circuit board 100.1, with which the angle of rotation is determined inductively. The sensor structures 101 and 102 are arranged in different layers. A closed conductor loop of the rotor 200 is assigned to each of these sensor structures 101 and 102.

Die Sensorstruktur 101 ist auf der Leiterplatte 100.1 realisiert, welche bevorzugt aus FR4 und mehrlagig ausgeführt ist. Die Leiterplatte trägt eine erste Erregerspule 101.1 und eine zweite Erregerspule. Die Erregerspulen sind im Wesentlichen kreisförmig ausgeführt und in einer Windung angeordnet. Es ist aber auch möglich, dass die Erregerspulen mehrere Windungen aufweisen und in einer oder mehreren Ebenen der Leiterplatte angeordnet sind. Darüber hinaus trägt die Leiterplatte drei erste Empfangsspulen 101.11, 101.12, 101.13 und drei zweite Empfangsspulen, welche innerhalb der Erregerspulen angeordnet sind. Sie können aber auch außerhalb der Erregerspulen oder auch sowohl innerhalb als auch außerhalb der Erregerspulen angeordnet sein.The sensor structure 101 is implemented on the circuit board 100.1, which is preferably made of FR4 and has multiple layers. The circuit board carries a first excitation coil 101.1 and a second excitation coil. The excitation coils are essentially circular and arranged in one turn. However, it is also possible for the excitation coils to have multiple turns and to be arranged in one or more levels of the circuit board. In addition, the circuit board carries three first receiving coils 101.11, 101.12, 101.13 and three second receiving coils, which are arranged inside the excitation coils. However, they can also be arranged outside the excitation coils or both inside and outside the excitation coils.

In 2 ist die erste Sensorstruktur 101 schematisch dargestellt. Dargestellt ist insbesondere die Form der ersten Empfangsspulen 101.11, 101.12, 101.13. Die Form der zweiten Sensorstruktur 102 und insbesondere die Form der zweiten Empfangsspulen der zweiten Sensorstruktur 102 sind ähnlich. Die Form der ersten Empfangsspulen 101.11, 101.12, 101.13 der ersten Sensorstruktur 101 ist sternartig und hat beispielsweise sechs Zacken. Die Form der zweiten Empfangsspulen der zweiten Sensorstruktur ist ebenfalls sternartig. Sie hat aber beispielsweise nur fünf Zacken.In 2 the first sensor structure 101 is shown schematically. In particular, the shape of the first receiving coils 101.11, 101.12, 101.13 is shown. The shape of the second sensor structure 102 and in particular the shape of the second receiving coils of the second sensor structure 102 are similar. The shape of the first receiving coils 101.11, 101.12, 101.13 of the first sensor structure 101 is star-shaped and has, for example, six points. The shape of the second receiving coils of the second sensor structure is also star-shaped. However, it only has, for example, five points.

Die Form der ersten Leiterschleife 200.1 entspricht der Form der ersten Empfangsspulen 101.11, 101.12, 101.13 und die Form der zweiten Leiterschleife 200.3 entspricht der Form der zweiten Empfangsspulen.The shape of the first conductor loop 200.1 corresponds to the shape of the first receiving coils 101.11, 101.12, 101.13 and the shape of the second conductor loop 200.3 corresponds to the shape of the second receiving coils.

Durch die Unterschiede in der Form ergeben sich unterschiedliche Messbereiche.The differences in shape result in different measuring ranges.

Bei einem mehrphasigen System, wie dem dargestellten, werden die ersten Empfängerspulen 101.11, 101.12, 101.13 und die zweiten Empfangsspulen in Abhängigkeit der Größe des Messbereichs und der Anzahl der Empfangsspulen zueinander platziert. Der Winkelunterschied zwischen den ersten Empfangsspulen 101.11, 101.12, 101.13 bzw. den zweiten Empfangsspulen beträgt im dargestellten dreiphasigen System 1/3 des Messbereichs.In a multi-phase system such as the one shown, the first receiver coils 101.11, 101.12, 101.13 and the second receiver coils are positioned relative to one another depending on the size of the measuring range and the number of receiver coils. The angle difference between the first receiver coils 101.11, 101.12, 101.13 and the second receiver coils in the three-phase system shown is 1/3 of the measuring range.

Die Leiterschleifen 200.1 und 200.3 sind vorzugsweise durch ein elektrisch isolierendes Element 200.2 voneinander getrennt. Ein Beispiel für solch eine Leiterschleife ist in 3 als Element 200.3 dargestellt. In einer besonders bevorzugten Ausführungsform sind die beiden Leiterschleifen 200.1 und 200.3 auf jeweils einer Seite einer zweilagigen Leiterplatte ausgeführt. Die Leiterschleifen 200.1, 200.3 können aber Stanzteile sein. Sie bestehen aus elektrisch leitfähigem Material z.B. Kupfer, Aluminium, Stahl.The conductor loops 200.1 and 200.3 are preferably separated from each other by an electrically insulating element 200.2. An example of such a conductor loop is shown in 3 as element 200.3. In a particularly preferred embodiment, the two conductor loops 200.1 and 200.3 are each formed on one side of a two-layer printed circuit board. The conductor loops 200.1, 200.3 can, however, be stamped parts. They consist of electrically conductive material, eg copper, aluminum, steel.

Erfolgt nun eine Rotation des Rotors 200 um die Drehachse, drehen sich beide Leiterschleifen 200.1 und 200.3. Der Drehwinkel wird mit den zwei Sensorstrukturen 101 und 102 in Kombination der jeweils zugeordneten Leiterschleife 200.1 bzw. 200.3 des Rotors 200 gemessen. Dabei können zum Beispiel in einer ersten Empfangsspule und in einer zweiten Empfangsspule Ströme induzierte werden, wie sie in der 4 dargestellt sind. Dadurch, dass die Empfangsspulen der beiden Sensorstrukturen 101, 102 verschiedene Anzahl von Zacken aufweisen, werden in den beiden Empfangsspulen Spannungen mit unterschiedlicher Periodizität induziert. Für jede Rotorstellung ergibt sich daraus ein Spannungswertepaar, das charakteristisch für einen Drehwinkel ist. Sind mehrere Empfangsspulen pro Sensorstruktur vorgesehen, verbessert das die Genauigkeit des Sensors.If the rotor 200 now rotates around the axis of rotation, both conductor loops 200.1 and 200.3 rotate. The angle of rotation is measured with the two sensor structures 101 and 102 in combination with the respective associated conductor loops 200.1 and 200.3 of the rotor 200. For example, currents can be induced in a first receiving coil and in a second receiving coil, as in the 4 are shown. Because the receiving coils of the two sensor structures 101, 102 have different numbers of spikes, voltages with different periodicity are induced in the two receiving coils. For each rotor position, this results in a pair of voltage values that is characteristic of an angle of rotation. If several receiving coils are provided per sensor structure, this improves the accuracy of the sensor.

Dazu werden die erste Erregerspule 101.1 und die zweite Erregerspule mit einer Wechselspannung beaufschlagt, die eine Frequenz zwischen 3 MHz und 4 MHz, bevorzugt 3.5 MHz hat und Amplituden im Bereich weniger Volt aufweist. Dazu werden die Erregerspulen bevorzugt als frequenzbestimmendes Element in LC-Schwingkreisen verschaltet. In den ersten bzw. zweiten Empfangsspulen werden Spannungen induziert, deren Verlauf durch die Position des Rotors 200.1 beeinflusst wird. Durch Messung der an den Empfangsspulen anliegenden Spannungen und insbesondere durch Bestimmung der Amplituden kann dann der Drehwinkel des elektrisch leitfähigen Rotors berechnet werden.For this purpose, the first excitation coil 101.1 and the second excitation coil are supplied with an alternating voltage that has a frequency between 3 MHz and 4 MHz, preferably 3.5 MHz, and amplitudes in the range of a few volts. For this purpose, the excitation coils are preferably connected as a frequency-determining element in LC resonant circuits. Voltages are induced in the first and second receiving coils, the course of which is influenced by the position of the rotor 200.1. By measuring the voltages applied to the receiving coils and in particular by determining the amplitudes, the angle of rotation of the electrically conductive rotor can then be calculated.

Durch Integration der beiden Leiterschleifen 200.1, 200.3 in einem Rotor und der beiden Sensorstrukturen 101, 102 auf einer Leiterplatte 100.1 ist kein Getriebe notwendig und der notwendige Platz für den induktiven Drehwinkelsensor lässt sich reduzieren. Dadurch kann der induktive Drehwinkelsensor in einem geringeren Bauraum realisiert und die Fehlertoleranzen können aufgrund der geringeren Anzahl von mechanischen Bauelemente reduziert werden.By integrating the two conductor loops 200.1, 200.3 in a rotor and the two sensor structures 101, 102 on a circuit board 100.1, no gear is necessary and the space required for the inductive angle of rotation sensor can be reduced. This means that the inductive angle of rotation sensor can be implemented in a smaller installation space and the error tolerances can be reduced due to the smaller number of mechanical components.

BezugszeichenlisteList of reference symbols

100100
Statorstator
100.1100.1
mehrlagige Leiterplattemultilayer circuit board
101101
erste Sensorstrukturfirst sensor structure
101.1101.1
erste Erregerspulefirst excitation coil
101.11101.11
erste erste Empfangsspulefirst first receiving coil
101.12101.12
zweite erste Empfangsspulesecond first receiving coil
101.13101.13
dritte erste Empfangsspulethird first receiving coil
102102
zweite Sensorstruktursecond sensor structure
200200
Rotorrotor
200.1200.1
LeiterschleifeConductor loop
200.2200.2
LeiterplatteCircuit board
200.3200.3
LeiterschleifeConductor loop

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN THE DESCRIPTION

Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list of documents listed by the applicant was generated automatically and is included solely for the better information of the reader. The list is not part of the German patent or utility model application. The DPMA accepts no liability for any errors or omissions.

Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • EP 2180296 A1 [0002, 0004]EP 2180296 A1 [0002, 0004]
  • EP 0389699 A1 [0004]EP 0389699 A1 [0004]
  • DE 102004011125 A1 [0004]DE 102004011125 A1 [0004]

Claims (9)

Induktiver Drehwinkelsensor - mit einem Stator (100), der eine Erregerschaltung, eine Erregerspule (101.1), wenigstens eine erste Empfangsspule (101.11) und eine Auswerteschaltung aufweist, und - mit einem Rotor (200), der eine erste geschlossene Leiterschleife (200.1) aufweist, - wobei mit der Erregerschaltung ein Erregersignal erzeugt werden kann, - wobei die Erregerspule (101.1) an die Erregerschaltung angeschlossen ist und in die Erregerspule (101.1) das Erregersignal eingekoppelt werden kann, um ein elektromagnetisches Feld zu erzeugen, - wobei eine Drehung des Rotors (200) das von der Erregerspule (101.1) erzeugte elektromagnetische Feld ändert, - wobei das elektromagnetische Feld, insbesondere die Änderung des elektromagnetischen Felds ein erstes Empfangssignal in der ersten Empfangsspule (101.11) induziert, - und wobei die Auswerteschaltung an die erste Empfangsspule (101.11) angeschlossen ist und mit der Auswerteschaltung das in der ersten Empfangsspule (101.11) induzierte Empfangssignal ausgewertet werden kann, dadurch gekennzeichnet, dass - der Stator (100) wenigstens eine zweite Empfangsspule aufweist, die eine Form hat, die sich von einer Form der ersten Empfangsspule (101.11) unterscheidet, - der Rotor (200) eine zweite geschlossene Leiterschleife (200.3) aufweist, die eine Form hat, die sich von einer Form der ersten geschlossenen Leiterschleife (200.1) unterscheidet, - wobei das elektromagnetische Feld, insbesondere die Änderung des elektromagnetischen Felds ein zweites Empfangssignal in der zweiten Empfangsspule induziert, - und wobei die Auswerteschaltung an die zweite Empfangsspule angeschlossen ist und mit der Auswerteschaltung das in der zweiten Empfangsspule induzierte Empfangssignal ausgewertet werden kann.Inductive angle of rotation sensor - with a stator (100) which has an excitation circuit, an excitation coil (101.1), at least one first receiving coil (101.11) and an evaluation circuit, and - with a rotor (200) which has a first closed conductor loop (200.1), - wherein an excitation signal can be generated with the excitation circuit, - wherein the excitation coil (101.1) is connected to the excitation circuit and the excitation signal can be coupled into the excitation coil (101.1) in order to generate an electromagnetic field, - wherein a rotation of the rotor (200) changes the electromagnetic field generated by the excitation coil (101.1), - wherein the electromagnetic field, in particular the change in the electromagnetic field, induces a first reception signal in the first receiving coil (101.11), - and wherein the evaluation circuit is connected to the first receiving coil (101.11) is connected and the reception signal induced in the first reception coil (101.11) can be evaluated with the evaluation circuit, characterized in that - the stator (100) has at least one second reception coil which has a shape that differs from a shape of the first reception coil (101.11), - the rotor (200) has a second closed conductor loop (200.3) which has a shape that differs from a shape of the first closed conductor loop (200.1), - wherein the electromagnetic field, in particular the change in the electromagnetic field, induces a second reception signal in the second reception coil, - and wherein the evaluation circuit is connected to the second reception coil and the reception signal induced in the second reception coil can be evaluated with the evaluation circuit. Drehwinkelsensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Stator (100) neben der ersten Empfangsspule (101.11), nachfolgend als erste erste Empfangsspule (101.11) bezeichnet, wenigstens eine weitere erste Empfangsspule aufweist, vorzugsweise eine zweite erste Empfangsspule (101.12) und eine dritte erste Empfangsspule (101.13).Angle sensor according to Claim 1 , characterized in that the stator (100) has, in addition to the first receiving coil (101.11), hereinafter referred to as the first receiving coil (101.11), at least one further first receiving coil, preferably a second first receiving coil (101.12) and a third first receiving coil (101.13). Drehwinkelsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Empfangsspule (101.11) eine gleiche Form hat bzw. die ersten Empfangsspulen (101.11, 101.12, 101.13) eine gleiche Form haben wie die erste Leiterschleife (200.1) des Rotors (200), wobei die erste Empfangsspule (101.11) bzw. die ersten Empfangsspulen (101.11, 101.12, 101.13) und die erste Leiterschleife (200.1) sich lediglich dadurch unterscheiden, dass die erste Empfangsspule (101.11) eine offene Leiterschleife (200.1) ist bzw. die ersten Empfangsspulen (101.11, 101.12, 101.13) offene Leiterschleifen sind während die erste Leiterschleife (200.1) eine geschlossene Leiterschleife ist.Angle of rotation sensor according to one of the Claims 1 until 2 , characterized in that the first receiving coil (101.11) has the same shape or the first receiving coils (101.11, 101.12, 101.13) have the same shape as the first conductor loop (200.1) of the rotor (200), wherein the first receiving coil (101.11) or the first receiving coils (101.11, 101.12, 101.13) and the first conductor loop (200.1) differ only in that the first receiving coil (101.11) is an open conductor loop (200.1) or the first receiving coils (101.11, 101.12, 101.13) are open conductor loops while the first conductor loop (200.1) is a closed conductor loop. Drehwinkelsensor nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass sich aus der Form der ersten Leiterschleife (200.1) und der ersten Empfangsspulen (101.11, 101.12, 101.13) ein erster Messbereich ergibt, der sich über einen ersten Winkel erstreckt, und dass die ersten Empfangsspulen (101.11, 101.12, 101.13) um einen ersten Verschiebungswinkel gegeneinander gedreht sind, der dem Quotienten aus dem ersten Winkel durch die Anzahl der ersten Empfangsspulen (101.11, 101.12, 101.13) entspricht.Angle sensor according to Claim 2 or 3 , characterized in that the shape of the first conductor loop (200.1) and the first receiving coils (101.11, 101.12, 101.13) results in a first measuring range which extends over a first angle, and that the first receiving coils (101.11, 101.12, 101.13) are rotated relative to one another by a first displacement angle which corresponds to the quotient of the first angle divided by the number of first receiving coils (101.11, 101.12, 101.13). Drehwinkelsensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Stator (100) neben der zweiten Empfangsspule, nachfolgend als erste zweite Empfangsspule bezeichnet, wenigstens eine weitere zweite Empfangsspule aufweist, vorzugsweise eine zweite zweite Empfangsspule und eine dritte zweite Empfangsspule.Angle sensor according to Claim 1 or 2 , characterized in that the stator (100) has, in addition to the second receiving coil, hereinafter referred to as the first second receiving coil, at least one further second receiving coil, preferably a second second receiving coil and a third second receiving coil. Drehwinkelsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Empfangsspule eine gleiche Form hat bzw. die zweiten Empfangsspulen eine gleiche Form haben wie die zweite Leiterschleife (200.3) des Rotors (200), wobei die zweite Empfangsspule bzw. die zweiten Empfangsspulen und die zweite Leiterschleife (200.3) sich lediglich dadurch unterscheiden, dass die zweite Empfangsspule eine offene Leiterschleife ist bzw. die zweiten Empfangsspulen offene Leiterschleifen sind während die zweite Leiterschleife (200.3) eine geschlossene Leiterschleife ist.Angle of rotation sensor according to one of the Claims 1 until 5 , characterized in that the second receiving coil has the same shape or the second receiving coils have the same shape as the second conductor loop (200.3) of the rotor (200), wherein the second receiving coil or the second receiving coils and the second conductor loop (200.3) differ only in that the second receiving coil is an open conductor loop or the second receiving coils are open conductor loops while the second conductor loop (200.3) is a closed conductor loop. Drehwinkelsensor nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass sich aus der Form der zweiten Leiterschleife (200.3) und der zweiten Empfangsspulen ein zweiter Messbereich ergibt, der sich über einen zweiten Winkel erstreckt, und dass die zweiten Empfangsspulen um einen ersten Verschiebungswinkel gegeneinander gedreht sind, der dem Quotienten aus dem zweiten Winkel durch die Anzahl der zweiten Empfangsspulen entspricht.Angle sensor according to Claim 5 or 6 , characterized in that the shape of the second conductor loop (200.3) and the second receiving coils results in a second measuring range which extends over a second angle, and that the second receiving coils are rotated relative to one another by a first displacement angle which corresponds to the quotient of the second angle divided by the number of second receiving coils. Drehwinkelsensor nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterschleifen (200.1, 200.3) und Empfangsspulen (101.11, 101.12, 101.13) nach außen und innen verlaufende Leiterbahnbereich haben, die einander abwechseln und über auf einer inneren oder äußeren Kreisbahn verlaufende Leiterbahnbereiche verbunden sind.Angle of rotation sensor according to one of the Claims 2 until 7 , characterized in that the conductor loops (200.1, 200.3) and receiving coils (101.11, 101.12, 101.13) have conductor track areas running outwards and inwards, which alternate with one another and are connected via an inner or outer conductor track areas running along a circular path are connected. Drehwinkelsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass mit der Erregerschaltung als Erregersignal ein Wechselstrom mit einer Frequenz zwischen 3 bis 4 MHz, vorzugsweise 3,5 MHz erzeugt.Angle of rotation sensor according to one of the Claims 1 until 3 , characterized in that the excitation circuit generates an alternating current with a frequency between 3 and 4 MHz, preferably 3.5 MHz, as the excitation signal.
DE102022131780.3A 2022-11-30 2022-11-30 Inductive angle sensor Pending DE102022131780A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102022131780.3A DE102022131780A1 (en) 2022-11-30 2022-11-30 Inductive angle sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102022131780.3A DE102022131780A1 (en) 2022-11-30 2022-11-30 Inductive angle sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102022131780A1 true DE102022131780A1 (en) 2024-06-06

Family

ID=91078620

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102022131780.3A Pending DE102022131780A1 (en) 2022-11-30 2022-11-30 Inductive angle sensor

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102022131780A1 (en)

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0389669A1 (en) 1989-03-31 1990-10-03 VDO Adolf Schindling AG Steering angle sensor
EP0389699A1 (en) 1988-03-08 1990-10-03 Pfizer Inc. Thiazolidinedione derivatives as hypoglycemic agents
DE19738836A1 (en) 1997-09-05 1999-03-11 Hella Kg Hueck & Co Inductive angle sensor
EP1081454A1 (en) 1999-09-01 2001-03-07 Hella KG Hueck & Co. Inductive position sensor
EP1312889A2 (en) 2001-11-15 2003-05-21 Hella KG Hueck & Co. Inductive angle sensor in particular for a motor vehicle
DE102004011125A1 (en) 2004-03-08 2005-09-29 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Steering angle sensor
EP2180296A1 (en) 2008-10-21 2010-04-28 Hella KG Hueck & Co. Device to determine the angle of rotation, especially for the steering shaft of a vehicle
US20170166251A1 (en) 2015-12-10 2017-06-15 Ksr Ip Holdings Llc Inductive steering torque and angle sensor
US20190310148A1 (en) 2018-04-10 2019-10-10 Semiconductor Components Industries, Llc Inductive position sensor
DE102020115424A1 (en) 2020-06-10 2021-12-16 HELLA GmbH & Co. KGaA Inductive position sensor
US20220341758A1 (en) 2021-04-09 2022-10-27 Semiconductor Components Industries, Llc Harmonic distortion reduction in inductive position sensors
DE102019213174B9 (en) 2019-08-30 2023-04-06 Infineon Technologies Ag INDUCTIVE ANGLE SENSOR

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0389699A1 (en) 1988-03-08 1990-10-03 Pfizer Inc. Thiazolidinedione derivatives as hypoglycemic agents
EP0389669A1 (en) 1989-03-31 1990-10-03 VDO Adolf Schindling AG Steering angle sensor
DE19738836A1 (en) 1997-09-05 1999-03-11 Hella Kg Hueck & Co Inductive angle sensor
EP1081454A1 (en) 1999-09-01 2001-03-07 Hella KG Hueck & Co. Inductive position sensor
EP1312889A2 (en) 2001-11-15 2003-05-21 Hella KG Hueck & Co. Inductive angle sensor in particular for a motor vehicle
DE102004011125A1 (en) 2004-03-08 2005-09-29 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Steering angle sensor
EP2180296A1 (en) 2008-10-21 2010-04-28 Hella KG Hueck & Co. Device to determine the angle of rotation, especially for the steering shaft of a vehicle
US20170166251A1 (en) 2015-12-10 2017-06-15 Ksr Ip Holdings Llc Inductive steering torque and angle sensor
US20190310148A1 (en) 2018-04-10 2019-10-10 Semiconductor Components Industries, Llc Inductive position sensor
DE102019213174B9 (en) 2019-08-30 2023-04-06 Infineon Technologies Ag INDUCTIVE ANGLE SENSOR
DE102020115424A1 (en) 2020-06-10 2021-12-16 HELLA GmbH & Co. KGaA Inductive position sensor
US20220341758A1 (en) 2021-04-09 2022-10-27 Semiconductor Components Industries, Llc Harmonic distortion reduction in inductive position sensors

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0334854B1 (en) Measurement system for rotation angle and/or rotation speed
EP0845659B1 (en) Sensor for a position measuring device
EP1071928B1 (en) Antenna-transponder arrangement for transporting energy and measuring angles
DE102020114014B4 (en) Position sensor, concentric slave cylinder and clutch device
EP3179214B1 (en) Inductive position measurement device
DE102013218768A1 (en) Inductive position measuring device
DE102016217254B4 (en) Angle of rotation sensor, stator element and rotor element for this
DE102017222063A1 (en) Inductive position measuring device
DE60215414T2 (en) Apparatus for detecting a relative angular position change
DE102007037217A1 (en) Measuring device for use in motor vehicle i.e. motorcycle, for contactless detection of relative rotary position between bodies, has coil pairs with coils arranged with respect to rotational axis in diametrically opposite manner
DE102019207070A1 (en) Rotor position sensor and steering system for a motor vehicle with a rotor position sensor
DE10210372A1 (en) Rotational angle sensor, comprises a pole wheel with coarse and fine magnetic traces and Hall sensor magnetic field detectors, with the coarse trace used for quick position determination and the fine trace used for high resolution
DE102021205036A1 (en) SCANNING ELEMENT AND INDUCTIVE POSITION MEASUREMENT DEVICE WITH THIS SCANNING ELEMENT
WO2017102137A1 (en) Linear displacement sensor
DE102021210910A1 (en) SCANNING ELEMENT AND INDUCTIVE POSITION MEASUREMENT DEVICE WITH THIS SCANNING ELEMENT
DE102018213249A1 (en) Sensor system for determining at least one rotational property of a rotating element
DE202008013715U1 (en) Device for determining the relative position of two mutually movable objects
DE102022131780A1 (en) Inductive angle sensor
DE102013225874A1 (en) Inductive rotation angle sensor
DE102020205398A1 (en) Inductive position measuring device
DE102020209601A1 (en) Detection device for a position sensor and detection system with such a detection device
DE102019124973A1 (en) Sensor arrangement for detecting a steering torque and an absolute angular position and sensor device with this sensor arrangement
DE102020205202A1 (en) Inductive angle measuring device
DE102007011952B4 (en) Motion measuring device, in particular rotary encoder
DE102013225897A1 (en) Inductive sensor with an arbitrarily long measuring path

Legal Events

Date Code Title Description
R163 Identified publications notified