DE102022115591A1 - Modular vibronic multisensor - Google Patents

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Mohammad Sadegh Ebrahimi
Sergey Lopatin
Harald Bauer
Laura Mignanelli
Tobias Brengartner
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    • G01F23/28Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring the variations of parameters of electromagnetic or acoustic waves applied directly to the liquid or fluent solid material
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    • G01F23/2966Acoustic waves making use of acoustical resonance or standing waves
    • G01F23/2967Acoustic waves making use of acoustical resonance or standing waves for discrete levels

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft einen modularen vibronischen Sensor (1) zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer Prozessgröße eines Mediums (M) mit einer Sensoreinheit (2), welche Sensoreinheit (2) einen, insbesondere elektrisch isolierenden, ersten Grundkörper (7), ein erstes Schwingelement (8), welches ein erstes (9a) und zweites (9b) piezoelektrisches Element aufweist, und ein zweites Schwingelement (10), welches ein drittes (11a) und viertes (11b) piezoelektrisches Element aufweist, umfasst. Erfindungsgemäß sind das erste (8) und zweite Schwingelement (10) jeweils in einem ersten Endbereich (E1) an oder in dem ersten Grundkörper (7) befestigt, wobei das erste (9a) und zweite (9b) bzw. das dritte (11a) und vierte (11b) piezoelektrische Element des ersten (8) bzw. zweiten Schwingelements (10) jeweils über eine Verbindungs-Fläche (V) aneinander befestigt sind, wobei die Verbindungs-Flächen (V) des ersten (9a) und zweiten (9b) bzw. dritten (11a) und vierten (11b) piezoelektrischen Elements jeweils die gleiche Polarisation aufweisen. Die Erfindung betrifft ferner eine Messzelle (15) mit einem erfindungsgemäßen Sensor (1), ein tragbares Messgerät (16) mit einer erfindungsgemäßen Messzelle (15) und ein Verfahren zum Betreiben eines erfindungsgemäßen Sensors (1).The present invention relates to a modular vibronic sensor (1) for determining and/or monitoring at least one process variable of a medium (M) with a sensor unit (2), which sensor unit (2) has a, in particular electrically insulating, first base body (7). first oscillating element (8), which has a first (9a) and second (9b) piezoelectric element, and a second oscillating element (10), which has a third (11a) and fourth (11b) piezoelectric element. According to the invention, the first (8) and second oscillating element (10) are each fastened in a first end region (E1) on or in the first base body (7), the first (9a) and second (9b) or the third (11a) and fourth (11b) piezoelectric element of the first (8) or second oscillating element (10) are each fastened to one another via a connecting surface (V), the connecting surfaces (V) of the first (9a) and second (9b) or third (11a) and fourth (11b) piezoelectric elements each have the same polarization. The invention further relates to a measuring cell (15) with a sensor (1) according to the invention, a portable measuring device (16) with a measuring cell (15) according to the invention and a method for operating a sensor (1) according to the invention.

Description

Die Erfindung betrifft einen modularen vibronischen Sensor zur Bestimmung und/oder Überwachung von zumindest einer Prozessgröße eines Mediums. Ferner betrifft die vorliegende Erfindung eine Messzelle umfassend einen erfindungsgemäßen Sensor, ein tragbares Messgerät zur Analyse eines Mediums mit einer erfindungsgemäßen Messzelle und ein Verfahren zum Betreiben eines erfindungsgemäßen Sensors. Das Medium befindet sich beispielsweise in einem Behältnis, beispielsweise in einem Behälter oder in einer Rohrleitung, oder in der Messzelle.The invention relates to a modular vibronic sensor for determining and/or monitoring at least one process variable of a medium. The present invention further relates to a measuring cell comprising a sensor according to the invention, a portable measuring device for analyzing a medium with a measuring cell according to the invention and a method for operating a sensor according to the invention. The medium is located, for example, in a container, for example in a container or in a pipeline, or in the measuring cell.

Vibronische Sensoren finden vielfach Anwendung in der Prozess- und/oder Automatisierungstechnik. Im Falle von Füllstandsmessgeräten weisen sie zumindest eine mechanisch schwingfähige Einheit, wie beispielsweise eine Schwinggabel, einen Einstab oder eine Membran auf. Diese wird im Betrieb mittels einer Antriebs-/Empfangseinheit, häufig in Form einer elektromechanischen Wandlereinheit, zu mechanischen Schwingungen angeregt, welche wiederum beispielsweise ein piezoelektrischer Antrieb oder ein elektromagnetischer Antrieb sein kann. Entsprechende Feldgeräte werden von der Anmelderin in großer Vielfalt hergestellt und beispielsweise unter der Bezeichnung LIQUIPHANT oder SOLIPHANT vertrieben. Die zugrundeliegenden Messprinzipien sind im Prinzip aus einer Vielzahl von Veröffentlichungen bekannt. Die Antriebs-/Empfangseinheit regt die mechanisch schwingfähige Einheit mittels eines elektrischen Anregesignals zu mechanischen Schwingungen an. Umgekehrt kann die Antriebs-/Empfangseinheit die mechanischen Schwingungen der mechanisch schwingfähigen Einheit empfangen und in ein elektrisches Empfangssignal umwandeln. Bei der Antriebs-/Empfangseinheit handelt es sich entsprechend entweder um eine separate Antriebseinheit und eine separate Empfangseinheit oder um eine kombinierte Antriebs-/Empfangseinheit.Vibronic sensors are often used in process and/or automation technology. In the case of level measuring devices, they have at least one mechanically oscillatable unit, such as a tuning fork, a single rod or a membrane. During operation, this is excited to mechanical vibrations by means of a drive/receiver unit, often in the form of an electromechanical converter unit, which in turn can be, for example, a piezoelectric drive or an electromagnetic drive. The applicant produces a wide variety of corresponding field devices and sells them, for example, under the names LIQUIPHANT or SOLIPHANT. The underlying measurement principles are in principle known from a large number of publications. The drive/receiver unit stimulates the mechanically oscillatable unit to mechanical oscillations by means of an electrical excitation signal. Conversely, the drive/receiver unit can receive the mechanical vibrations of the mechanically oscillatable unit and convert them into an electrical received signal. The drive/receiver unit is accordingly either a separate drive unit and a separate receiver unit or a combined drive/receiver unit.

Dabei ist die Antriebs-/Empfangseinheit in vielen Fällen Teil eines rückgekoppelten elektrischen Schwingkreises, mittels welchem die Anregung der mechanisch schwingfähigen Einheit zu mechanischen Schwingungen erfolgt. Beispielsweise muss für eine resonante Schwingung die Schwingkreisbedingung, gemäß welcher der Verstärkungsfaktor ≥1 ist und alle im Schwingkreis auftretenden Phasen ein Vielfaches von 360° ergeben, erfüllt sein. Zur Anregung und Erfüllung der Schwingkreisbedingung muss eine bestimmte Phasenverschiebung zwischen dem Anregesignal und dem Empfangssignal gewährleistet sein. Deshalb wird häufig ein vorgebbarer Wert für die Phasenverschiebung, also ein Sollwert für die Phasenverschiebung zwischen dem Anregesignal und dem Empfangssignal eingestellt. Hierfür sind aus dem Stand der Technik unterschiedlichste Lösungen, sowohl analoge als auch digitale Verfahren, bekannt geworden, wie beispielsweise in den Dokumenten DE102006034105A1 , DE102007013557A1 , DE102005015547A1 , DE102009026685A1 , DE102009028022A1 , DE102010030982A1 oder DE102010030982A1 beschrieben.In many cases, the drive/receiver unit is part of a feedback electrical oscillating circuit, by means of which the mechanically oscillatable unit is excited to produce mechanical oscillations. For example, for a resonant oscillation, the resonant circuit condition, according to which the amplification factor is ≥1 and all phases occurring in the resonant circuit result in a multiple of 360°, must be fulfilled. In order to excite and fulfill the resonant circuit condition, a certain phase shift between the excitation signal and the received signal must be guaranteed. Therefore, a predeterminable value for the phase shift, i.e. a setpoint for the phase shift between the excitation signal and the received signal, is often set. For this purpose, a wide variety of solutions, both analog and digital methods, have become known from the prior art, such as those in the documents DE102006034105A1 , DE102007013557A1 , DE102005015547A1 , DE102009026685A1 , DE102009028022A1 , DE102010030982A1 or DE102010030982A1 described.

Sowohl das Anregesignal als auch das Empfangssignal sind charakterisiert durch ihre Frequenz ω, Amplitude A und/oder Phase Φ. Entsprechend werden Änderungen in diesen Größen üblicherweise zur Bestimmung der jeweiligen Prozessgröße herangezogen. Bei der Prozessgröße kann es sich beispielsweise um einen Füllstand, einen vorgegebenen Füllstand, oder auch um die Dichte oder die Viskosität des Mediums, sowie um den Durchfluss handeln. Bei einem vibronischen Grenzstandschalters für Flüssigkeiten wird beispielsweise unterschieden, ob die schwingfähige Einheit von der Flüssigkeit bedeckt ist oder frei schwingt. Diese beiden Zustände, der Freizustand und der Bedecktzustand, werden dabei beispielsweise anhand unterschiedlicher Resonanzfrequenzen, also anhand einer Frequenzverschiebung, unterschieden.Both the excitation signal and the received signal are characterized by their frequency ω, amplitude A and/or phase Φ. Accordingly, changes in these variables are usually used to determine the respective process variable. The process variable can be, for example, a fill level, a predetermined fill level, or the density or viscosity of the medium, as well as the flow. With a vibronic level switch for liquids, for example, a distinction is made as to whether the oscillatable unit is covered by the liquid or vibrates freely. These two states, the free state and the covered state, are distinguished, for example, based on different resonance frequencies, i.e. based on a frequency shift.

Die Dichte und/oder Viskosität wiederum lassen sich mit einem derartigen Messgerät nur ermitteln, wenn die schwingfähige Einheit vollständig vom Medium bedeckt ist. Im Zusammenhang mit der Bestimmung der Dichte und/oder Viskosität sind ebenfalls unterschiedliche Möglichkeiten aus dem Stand der Technik bekannt geworden, wie beispielswiese die in den Dokumenten DE10050299A1 , DE102007043811A1 , DE10057974A1 , DE102006033819A1 , DE102015102834A1 oder DE102016112743A1 offenbarten.The density and/or viscosity can only be determined with such a measuring device if the oscillatable unit is completely covered by the medium. In connection with the determination of the density and/or viscosity, various options have also become known from the prior art, such as those in the documents DE10050299A1 , DE102007043811A1 , DE10057974A1 , DE102006033819A1 , DE102015102834A1 or DE102016112743A1 revealed.

Mit einem vibronischen Sensor lassen sich entsprechend mehrere Prozessgrößen bestimmen und für eine Charakterisierung des jeweiligen Prozesses heranziehen. In vielen Fällen werden für eine umfassende Prozessüberwachung und/oder -kontrolle allerdings weitere Informationen über den Prozess, insbesondere Kenntnis über weitere physikalische und/oder chemische Prozessgrößen und/oder -parameter benötigt. Dies kann beispielsweise durch die Integration weiterer Feldgeräte in den jeweiligen Prozess erreicht werden. Dann können die von den verschiedenen Messgeräten zur Verfügung gestellten Messwerte in einer den Geräten übergeordneten Einheit geeignet weiterverarbeitet werden.With a vibronic sensor, several process variables can be determined and used to characterize the respective process. In many cases, however, further information about the process, in particular knowledge of other physical and/or chemical process variables and/or parameters, is required for comprehensive process monitoring and/or control. This can be achieved, for example, by integrating additional field devices into the respective process. The measured values provided by the various measuring devices can then be appropriately processed further in a unit that is higher-level to the devices.

Zudem sind verschiedene vibronische Multisensoren bekannte geworden, mit welchen sich weitere Prozessgrößen ermitteln lassen. Beispielsweise sind solche Sensoren offenbart worden, bei welchem neben dem vibronischen Messprinzip das Ultraschall-Messprinzip zum Einsatz kommt, wie beispielsweise die Sensoren aus DE102018127526A1 , DE102019116150A1 , DE102019116151A1 , DE102019116152 , DE102019110821A1 , DE102020105214A1 , DE102020116278A1 , oder auch der bisher unveröffentlichten, deutschen Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen 102021122534.5.In addition, various vibronic multisensors have become known with which other process variables can be determined. For example, such sensors have been disclosed in which, in addition to the vibronic measuring principle, the Ultra sound measuring principle is used, such as the sensors DE102018127526A1 , DE102019116150A1 , DE102019116151A1 , DE102019116152 , DE102019110821A1 , DE102020105214A1 , DE102020116278A1 , or the previously unpublished German patent application with the file number 102021122534.5.

Ausgehend vom genannten Stand der Technik liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, die Funktionalität eines vibronischen Sensors weiter zu vergrößern.Based on the stated prior art, the present invention is based on the object of further increasing the functionality of a vibronic sensor.

Diese Aufgabe wird gelöst durch den modularen, vibronischen Sensor nach Anspruch 1, durch die Messzelle nach Anspruch 11, das tragbare Messgerät nach Anspruch 12, das Verfahren nach Anspruch 13, sowie durch die Verwendung eines erfindungsgemäßen Sensors nach Anspruch 18.This object is achieved by the modular, vibronic sensor according to claim 1, by the measuring cell according to claim 11, the portable measuring device according to claim 12, the method according to claim 13, and by the use of a sensor according to the invention according to claim 18.

Bei dem erfindungsgemäßen Sensor handelt es sich um einen modularen, vibronischen Sensor zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer Prozessgröße eines Mediums mit einer Sensoreinheit. Die Sensoreinheit umfasst einen, insbesondere elektrisch isolierenden, ersten Grundkörper sowie ein erstes Schwingelement, welches ein erstes und zweite piezoelektrisches Element aufweist, und ein zweites Schwingelement, welches ein drittes und viertes piezoelektrisches Element aufweist.The sensor according to the invention is a modular, vibronic sensor for determining and/or monitoring at least one process variable of a medium with a sensor unit. The sensor unit comprises a, in particular electrically insulating, first base body and a first oscillating element, which has a first and second piezoelectric element, and a second oscillating element, which has a third and fourth piezoelectric element.

Erfindungsgemäß sind das erste und zweite Schwingelement jeweils in einem ersten Endbereich an oder in dem ersten Grundkörper befestigt. Zudem sind das erste und zweite bzw. das dritte und vierte piezoelektrische Element jeweils über eine Verbindungs-Fläche aneinander befestigt, insbesondere aneinander geklebt. Dabei weisen die Verbindungs-Flächen des ersten und zweiten bzw. dritten und vierten piezoelektrischen Elements jeweils die gleiche Polarisation auf. Es sind also bezogen auf das erste und zweite bzw. dritte und vierte piezoelektrische Element jeweils gleich polarisierte Flächen einander zugewandt.According to the invention, the first and second oscillating elements are each fastened in a first end region on or in the first base body. In addition, the first and second and the third and fourth piezoelectric elements are each fastened to one another via a connecting surface, in particular glued to one another. The connecting surfaces of the first and second or third and fourth piezoelectric elements each have the same polarization. So there are equally polarized surfaces facing each other in relation to the first and second or third and fourth piezoelectric elements.

Die beiden Schwingelemente bilden eine mechanisch schwingfähige Einheit, beispielsweise in der Form einer Schwinggabel. Das erste und zweite bzw. das dritte und vierte piezoelektrische Element bilden jeweils eine Antriebs-/Empfangseinheit zur Erzeugung von mechanischen Schwingungen der Schwingelemente mittels eines geeigneten Anregesignals. Die mechanischen Schwingungen werden im Falle, dass die Schwingelemente zumindest teilweise von Medium bedeckt sind, von den Eigenschaften des Mediums beeinflusst, so dass anhand zumindest eines von den Schwingelementen empfangenen Empfangssignals, welches die Schwingungen der Schwingelemente repräsentiert, eine Aussage über die zumindest eine Prozessgröße generierbar ist.The two oscillating elements form a mechanically oscillatable unit, for example in the form of a tuning fork. The first and second and the third and fourth piezoelectric elements each form a drive/reception unit for generating mechanical vibrations of the oscillating elements by means of a suitable excitation signal. In the event that the oscillating elements are at least partially covered by medium, the mechanical vibrations are influenced by the properties of the medium, so that a statement about the at least one process variable can be generated based on at least one reception signal received by the oscillating elements, which represents the oscillations of the oscillating elements is.

Die piezoelektrischen Elemente können aber auch der Erzeugung eines Sendesignals, welches in Form eines Antwortsignals empfangen wird, dienen. Wenn das Sendesignal auf seinem Weg zumindest zeitweise und abschnittsweise das Medium durchläuft, wird es ebenfalls durch die physikalischen und/oder chemischen Eigenschaften des Mediums beeinflusst und kann entsprechend zur Bestimmung einer Prozessgröße des Mediums herangezogen werden.The piezoelectric elements can also serve to generate a transmission signal, which is received in the form of a response signal. If the transmission signal passes through the medium at least temporarily and in sections on its path, it is also influenced by the physical and/or chemical properties of the medium and can accordingly be used to determine a process variable of the medium.

Somit ist es auch möglich, zumindest zwei Messprinzipien in einer einzigen Vorrichtung zu realisieren, nämlich das vibronische Messprinzip und das Ultraschall-Messprinzip. Dies erlaubt insbesondere auch die simultane Bestimmung und/oder Überwachung mehrerer, insbesondere auch verschiedener, Prozessgrößen. Dabei können das Empfangssignal und das Antwortsignal vorteilhaft unabhängig voneinander ausgewertet und die Anzahl ermittelbarer Prozessgrößen deutlich erhöht werden, was zu einer höheren Funktionalität des jeweiligen Sensors bzw. in einem erweiterten Anwendungsbereich resultiert.It is therefore also possible to implement at least two measuring principles in a single device, namely the vibronic measuring principle and the ultrasonic measuring principle. In particular, this also allows the simultaneous determination and/or monitoring of several, in particular different, process variables. The received signal and the response signal can advantageously be evaluated independently of one another and the number of process variables that can be determined can be significantly increased, which results in a higher functionality of the respective sensor or in an expanded area of application.

Das erfindungsgemäße, modulare Sensorkonzept ermöglicht dabei eine besonders einfache Anpassbarkeit auf verschiedene Geometrien. Die Dimensionierung der Schwingelemente und des Grundkörpers können adaptiv gewählt werden. Im Prinzip können unterschiedlich ausgestaltete Schwingelemente mit demselben Grundkörper verwendet werden. Die Gestaltungsfreiheit betrifft nicht nur die Dimensionierung und Geometriewahl, sondern auch die jeweils verwendeten Materialien. Dies erlaubt besonders vorteilhaft eine Miniaturisierung entsprechender vibronischer Sensoren.The modular sensor concept according to the invention enables particularly easy adaptability to different geometries. The dimensions of the oscillating elements and the base body can be selected adaptively. In principle, differently designed oscillating elements can be used with the same base body. The freedom of design not only affects the dimensions and choice of geometry, but also the materials used. This particularly advantageously allows miniaturization of corresponding vibronic sensors.

Darüber hinaus ist ein erfindungsgemäßer Sensor besonders einfach und kostengünstig herstellbar. Beispielsweise ist keine Fertigung einer separaten Antriebs-/Empfangseinheit notwendig. Die Herstellung von Schwingelementen und Antriebs-/Empfangseinheit erfolgt vielmehr gemeinsam in einem Schritt. Zudem kann der Grundkörper in einem Teilbereich zur Aufnahme einer Elektronik aufweisen, so dass auch in diesem Zusammenhang eine Vereinfachung des Sensoraufbaus erreichbar ist.In addition, a sensor according to the invention can be produced particularly easily and inexpensively. For example, no production of a separate drive/receiver unit is necessary. Rather, the production of oscillating elements and drive/receiver unit takes place together in one step. In addition, the base body can have a partial area for accommodating electronics, so that a simplification of the sensor structure can also be achieved in this context.

In einer Ausgestaltung handelt es sich bei jedem der piezoelektrischen Elemente um einen länglichen, flachen Körper, insbesondere um einen Körper mit im Wesentlichen rechteckiger Querschnittsfläche. Aber auch andere Formen für die Querschnittsfläche sind denkbar und fallen unter die vorliegende Erfindung. Ecken der piezoelektrischen Elemente können in manchen Ausgestaltungen zudem abgerundet sein.In one embodiment, each of the piezoelectric elements is an elongated, flat body, in particular a body with a substantially rectangular cross-sectional area. But other shapes for the cross-sectional area are also conceivable and fall within the scope of the present invention. corners of the piezoelectric In some designs, elements can also be rounded.

In einer weiteren Ausgestaltung ist jedes piezoelektrische Element eines jeden Schwingelements einzeln elektrisch kontaktiert. Insbesondere sind die piezoelektrischen Elemente jeweils über eine Kontakt-Fläche elektrisch kontaktiert, welche Kontakt-Fläche jeweils gegenüber der jeweiligen Verbindungs-Fläche angeordnet ist. Die jeweils aneinander befestigten piezoelektrischen Elemente sind also jeweils auf voneinander abgewandten Seiten elektrisch kontaktiert.In a further embodiment, each piezoelectric element of each oscillating element is individually electrically contacted. In particular, the piezoelectric elements are each electrically contacted via a contact surface, which contact surface is arranged opposite the respective connection surface. The piezoelectric elements that are fastened to one another are therefore each electrically contacted on sides facing away from one another.

Es ist von Vorteil, wenn die piezoelektrischen Elemente im ersten Endbereich elektrisch kontaktiert sind, also in dem Bereich, in dem die Schwingelemente an oder in dem Grundkörper befestigt sind.It is advantageous if the piezoelectric elements are electrically contacted in the first end region, i.e. in the region in which the oscillating elements are attached to or in the base body.

Es ist ferner von Vorteil, wenn die beiden Schwingelemente entlang einer gedachten Linie durch einen Mittelpunkt einer Querschnittsfläche des Grundkörpers und im gleichen Abstand zu dem Mittelpunkt angeordnet und parallel zueinander ausgerichtet sind. Vorteilhaft sind dabei jeweils die Kontakt-Flächen des ersten und zweiten Schwingelements parallel zueinander ausgerichtet. Auf diese Weise wird eine mechanische Schwingungsentkopplung erreicht.It is also advantageous if the two oscillating elements are arranged along an imaginary line through a center of a cross-sectional area of the base body and at the same distance from the center and are aligned parallel to one another. The contact surfaces of the first and second oscillating elements are advantageously aligned parallel to one another. In this way, mechanical vibration decoupling is achieved.

In einer vorteilhaften Ausgestaltung sind die Schwingelemente zumindest teilweise mit einer Beschichtung versehen. Vorteilhaft sind die Schwingelemente zumindest in einem medienberührenden Bereich mit der Beschichtung versehen. Dabei können unterschiedlichste Beschichtungsmaterialien verwendet werden. Beispielsweise kann es sich um eine isolierende Beschichtung handeln. Es kann sich aber ebenso um eine wasseraufnehmende Beschichtung handeln.In an advantageous embodiment, the oscillating elements are at least partially provided with a coating. The oscillating elements are advantageously provided with the coating at least in an area in contact with the media. A wide variety of coating materials can be used. For example, it can be an insulating coating. But it can also be a water-absorbing coating.

In noch einer vorteilhaften Ausgestaltung umfasst der erfindungsgemäße Sensor einen, insbesondere elektrisch isolierenden, zweiten Grundkörper, wobei das erste und zweite Schwingelement jeweils in einem zweiten Endbereich an oder in dem zweiten Grundkörper befestigt sind. In dieser Ausgestaltung sind die beiden Schwingelemente demnach in beiden Endbereichen befestigt.In another advantageous embodiment, the sensor according to the invention comprises a second base body, in particular an electrically insulating one, wherein the first and second oscillating elements are each fastened in a second end region on or in the second base body. In this embodiment, the two oscillating elements are therefore attached in both end regions.

In diesem Zusammenhang ist es von Vorteil, wenn für jedes Schwingelement eine erste elektrische Kontaktierung im ersten Endbereich und vermittels der beiden Kontakt-Flächen und eine zweite elektrische Kontaktierung im zweiten Endbereich und im Bereich der sich zugewandten Verbindungs-Flächen der jeweiligen beiden piezoelektrischen Elemente erfolgt. Ein derartiges Kontaktierungskonzept ist vorteilhaft ohne zusätzliche Maßnahmen zur Verwendung mit leitfähigen Medien.In this context, it is advantageous if for each oscillating element there is a first electrical contact in the first end region and by means of the two contact surfaces and a second electrical contact in the second end region and in the region of the connecting surfaces facing each other of the respective two piezoelectric elements. Such a contacting concept is advantageous for use with conductive media without additional measures.

In einer weiteren Ausgestaltung umfasst der erfindungsgemäße Sensor ein Filterelement, welches derart ausgestaltet und/oder angeordnet ist, dass es die beiden Schwingelemente zumindest teilweise umgibt. Das Filterelement umfasst beispielsweise eine, vorzugsweise poröse, Membran oder eine selektive Membran. Das Filterelement ist insbesondere im Bereich zumindest des ersten und/oder zweiten Grundkörpers befestigbar.In a further embodiment, the sensor according to the invention comprises a filter element which is designed and/or arranged in such a way that it at least partially surrounds the two oscillating elements. The filter element comprises, for example, a, preferably porous, membrane or a selective membrane. The filter element can be fastened in particular in the area of at least the first and/or second base body.

Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe wird ferner gelöst durch eine Messzelle zur Analyse eines Mediums umfassend einen erfindungsgemäßen modularen vibronischen Sensor. Unter einer Messzelle wird erfindungsgemäß im Prinzip ein abgeschlossenes Volumen mit einem, beispielsweise universellen Anschluss zum Anschließen eines Sensors verstanden. Der erfindungsgemäße modulare vibronische Sensor ist beispielsweise vermittels des ersten Grundkörpers in die Messzelle einbringbar. Dazu kann der Grundkörper mit einem zu dem Anschlusselement der Messzelle komplementär ausgestalten Anschlusselement versehen ist.The object on which the invention is based is further achieved by a measuring cell for analyzing a medium comprising a modular vibronic sensor according to the invention. According to the invention, a measuring cell is in principle understood to mean a closed volume with a, for example, universal connection for connecting a sensor. The modular vibronic sensor according to the invention can be introduced into the measuring cell, for example, by means of the first base body. For this purpose, the base body can be provided with a connecting element that is complementary to the connecting element of the measuring cell.

Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe wird außerdem gelöst durch ein tragbares Messgerät zur Analyse eines Mediums, umfassend eine erfindungsgemäße Messzelle, eine Elektronik und eine Vorrichtung zur Probennahme. Die Elektronik kann beispielsweise über eine Anzeigeeinheit verfügen. Das tragbare Messgerät dient beispielsweise zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße eines Mediums wie beispielsweise, aber nicht ausschließlich, der Dichte, Viskosität oder Schallgeschwindigkeit eines Mediums oder um eine Konzentration einer Substanz, welche in dem Medium enthalten ist.The object on which the invention is based is also achieved by a portable measuring device for analyzing a medium, comprising a measuring cell according to the invention, electronics and a device for sampling. The electronics can, for example, have a display unit. The portable measuring device is used, for example, to determine and/or monitor a process variable of a medium such as, but not exclusively, the density, viscosity or speed of sound of a medium or a concentration of a substance contained in the medium.

Ferner wird die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe gelöst durch ein Verfahren zum Betreiben eines erfindungsgemäßen modularen vibronischen Sensors zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer ersten Prozessgröße eines Mediums, wobei die Sensoreinheit mittels eines Anregesignals zu mechanischen Schwingungen angeregt wird, wobei die mechanischen Schwingungen der Sensoreinheit empfangen und in ein Empfangssignal umgewandelt werden, und wobei anhand des Empfangssignals die zumindest eine erste Prozessgröße ermittelt wird. Bei der Prozessgröße handelt es sich beispielsweise um den Füllstand, die Dichte oder die Viskosität des Mediums. Die Sensoreinheit umfasst das erste und zweite Schwingelement.Furthermore, the object on which the invention is based is achieved by a method for operating a modular vibronic sensor according to the invention for determining and/or monitoring at least a first process variable of a medium, the sensor unit being excited to mechanical vibrations by means of an excitation signal, the mechanical vibrations of the sensor unit are received and converted into a received signal, and the at least one first process variable is determined based on the received signal. The process variable is, for example, the fill level, the density or the viscosity of the medium. The sensor unit includes the first and second oscillating elements.

Bei dem Anregesignal handelt es sich beispielsweise um ein elektrisches Signal mit zumindest einer vorgebbaren Frequenz, insbesondere um ein sinusförmiges oder um ein rechteckförmiges Signal. Vorzugsweise wird die Sensoreinheit zumindest zeitweise zu Resonanzschwingungen angeregt. Die mechanischen Schwingungen werden durch das die Schwingstäbe umgebende Medium beeinflusst, so dass anhand eines die Schwingungen repräsentierenden Empfangssignals Rückschlüsse auf verschiedene Eigenschaften des Mediums möglich sind.The excitation signal is, for example, an electrical signal with at least one predeterminable frequency, in particular a sinusoidal or a rectangular signal. Preferably, the sensor unit is stimulated to resonate at least temporarily. The mechanical vibrations are influenced by the medium surrounding the vibrating rods, so that conclusions can be drawn about various properties of the medium based on a received signal representing the vibrations.

Bei dem Sendesignal handelt es sich bevorzugt um ein, insbesondere gepulstes, Ultraschallsignal, insbesondere um zumindest einen Ultraschallpuls. Als zweites angewendetes Messverfahren wird demnach im Rahmen der vorliegenden Erfindung eine Ultraschall-basierte Messung durchgeführt. Das jeweils ausgesendete Sendesignal durchläuft zumindest teilweise das Medium und wird von diesem in seinen Eigenschaften beeinflusst. Entsprechend können anhand des jeweils empfangenen Antwortsignals ebenfalls Rückschlüsse auf verschiedene Medien gezogen werden.The transmission signal is preferably an ultrasonic signal, in particular a pulsed one, in particular at least one ultrasonic pulse. The second measurement method used in the context of the present invention is therefore an ultrasound-based measurement. The transmission signal emitted at least partially passes through the medium and its properties are influenced by it. Accordingly, conclusions about different media can also be drawn based on the response signal received.

Es ist hinsichtlich des erfindungsgemäßen Verfahrens von Vorteil, wenn das erste piezoelektrische Element des ersten Schwingelements und das vierte piezoelektrische Element des zweiten Schwingelements mit dem Anregesignal beaufschlagt werden, und wenn das Empfangssignal von dem zweiten piezoelektrischen Element des ersten Schwingelements und dem dritten piezoelektrischen Element des zweiten Schwingelements empfangen wird. In dieser Ausgestaltung werden also insbesondere einander zugewandte und voneinander abgewandte piezoelektrische Elemente eines jeden Schwingelements gemeinsam angesteuert. Daraus resultieren gegenphasige Schwingungen der Sensoreinheit.With regard to the method according to the invention, it is advantageous if the first piezoelectric element of the first oscillating element and the fourth piezoelectric element of the second oscillating element are acted upon by the excitation signal, and if the received signal comes from the second piezoelectric element of the first oscillating element and the third piezoelectric element of the second Vibrating element is received. In this embodiment, in particular, piezoelectric elements of each oscillating element that face and face away from one another are controlled together. This results in anti-phase oscillations of the sensor unit.

In einer alternativen Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens werden das erste piezoelektrische Element des ersten Schwingelements und das dritte piezoelektrische Element des zweiten Schwingelements mit dem Anregesignal beaufschlagt, wobei das Empfangssignal von dem zweiten piezoelektrischen Element des ersten Schwingelements und dem vierten piezoelektrischen Element des zweiten Schwingelements empfangen wird. Auf diese Art und Weise kann die zweiten Grundmode der Sensoreinheit angeregt werden, bei welchem das erste und zweite Schwingelement parallele Schwingungen ausführen.In an alternative embodiment of the method according to the invention, the first piezoelectric element of the first oscillating element and the third piezoelectric element of the second oscillating element are subjected to the excitation signal, the received signal being received by the second piezoelectric element of the first oscillating element and the fourth piezoelectric element of the second oscillating element. In this way, the second basic mode of the sensor unit can be excited, in which the first and second oscillating elements carry out parallel oscillations.

Eine Anregung der Sensoreinheit in unterschiedlichen Moden ist besonders vorteilhaft in dem Falle, dass mit dem erfindungsgemäßen Verfahren zusätzlich eine Zustandsüberwachung, vorzugsweise eine vorausschauende Wartung, durchgeführt werden soll. Die unterschiedlichen Schwingungsmoden können dabei abwechselnd angeregt werden. Es ist aber auch denkbar, die zusätzliche Mode nur auf Bedarf anzuregen.Excitation of the sensor unit in different modes is particularly advantageous in the event that additional condition monitoring, preferably predictive maintenance, is to be carried out using the method according to the invention. The different vibration modes can be excited alternately. However, it is also conceivable to only activate the additional mode when necessary.

In noch einer Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird zumindest eine zweite Prozessgröße des Mediums bestimmt oder überwacht. Dazu wird ein Sendesignal ausgesendet, ein Antwortsignal empfangen, wobei anhand des Antwortsignals die zumindest eine zweite Prozessgröße bestimmt wird. Bei der zweiten Prozessgröße handelt es sich beispielsweise um die Schallgeschwindigkeit des Mediums.In another embodiment of the method according to the invention, at least a second process variable of the medium is determined or monitored. For this purpose, a transmission signal is sent out and a response signal is received, with the at least one second process variable being determined based on the response signal. The second process variable is, for example, the speed of sound of the medium.

In diesem Zusammenhang ist es von Vorteil, wenn das erste Schwingelement mit dem Sendesignal beaufschlagt wird, wobei das Antwortsignal von dem zweiten Schwingelement empfangen wird.In this context, it is advantageous if the first oscillating element is acted upon by the transmission signal, with the response signal being received by the second oscillating element.

Es ist ferner von Vorteil, wenn die zumindest eine erste und zweite Prozessgröße abwechselnd bestimmt werden. Es ist aber ebenfalls möglich, dass die Sensoreinheit gleichzeitig mittels des Anregesignals und mittels des Sendesignals beaufschlagt wird, wobei das Anregesignal und das Sendesignal einander überlagert werden.It is also advantageous if the at least one first and second process variable are determined alternately. However, it is also possible for the sensor unit to be acted upon simultaneously by means of the excitation signal and by means of the transmission signal, with the excitation signal and the transmission signal being superimposed on one another.

Die erfindungsgemäß ermittelbaren Prozessgrößen sind beispielsweise gegeben durch einen vorgebbaren Füllstand, die Dichte, die Viskosität, die Schallgeschwindigkeit oder eine aus zumindest einer dieser Größen abgeleitete Größe. Auch die Konzentration/Konzentrationen von einer oder zwei unterschiedlichen Substanzen in dem Medium kann/können ermittelt werden. Besonders bevorzugt wird anhand des Empfangssignals die Dichte und/oder Viskosität des Mediums und anhand des Antwortsignals die Schallgeschwindigkeit innerhalb des Mediums bestimmt. Es versteht sich jedoch von selbst, dass neben den hier explizit genannten Prozessgrößen auch weitere Prozessgrößen und/oder -parameter, welche mittels der beiden durchgeführten Messungen zugänglich sind, ebenfalls bestimmt und für eine Charakterisierung des jeweiligen Mediums herangezogen werden können.The process variables that can be determined according to the invention are, for example, given by a predeterminable fill level, the density, the viscosity, the speed of sound or a variable derived from at least one of these variables. The concentration(s) of one or two different substances in the medium can also be determined. Particularly preferably, the density and/or viscosity of the medium is determined based on the received signal and the speed of sound within the medium is determined based on the response signal. However, it goes without saying that in addition to the process variables explicitly mentioned here, other process variables and/or parameters that are accessible by means of the two measurements carried out can also be determined and used to characterize the respective medium.

Ein erfindungsgemäßer Sensor, eine Messzelle, ein tragbares Messgerät sowie das Verfahren können beispielsweise verwendet werden zur Überwachung eines Gärprozesses. Bei einer Gärung wird Zucker in Ethanol umgewandelt. Um eine qualitative Überwachung gewährleisten zu können, ist es deshalb erforderlich, sowohl die Konzentration von Zucker als auch von Ethanol zu bestimmen.A sensor according to the invention, a measuring cell, a portable measuring device and the method can be used, for example, to monitor a fermentation process. During fermentation, sugar is converted into ethanol. In order to ensure qualitative monitoring, it is therefore necessary to determine both the concentration of sugar and ethanol.

Zudem kann der erfindungsgemäße Sensor vorteilhaft auch als Single-Use Sensor verwendet werden. Dabei kann der Sensor jeweils spezifisch an die jeweilige Aufgabe angepasst werden. Vorteilhaft ist ferner auch eine Verwendung in einem Labor, insbesondere zur Ermittlung der jeweiligen Prozessgröße anhand eines vergleichsweise geringen Flüssigkeitsvolumens bzw. einer kleinen Probenmenge. Eine weitere vorteilhafte Verwendung betrifft die Validierung von Sensoren, und zwar aufgrund der einfachen und kostengünstigen Herstellbarkeit des erfindungsgemäßen Sensors. Schließlich betrifft eine vorteilhafte Verwendung die Verwendung eines erfindungsgemäßen Sensors als Gassensor zur Bestimmung und/oder Überwachung eines gasförmigen Mediums. Insbesondere kann eine Resonanzfrequenz eines erfindungsgemäßen Sensors jeweils individuell an die jeweilige Applikation angepasst werden.In addition, the sensor according to the invention can also advantageously be used as a single-use sensor. The sensor can be specifically adapted to the respective task. It is also advantageous to use it in a laboratory, in particular to determine the respective process size based on a comparatively small volume of liquid or a small sample amount. Another advantageous use relates to the validation of sensors, due to the simple and inexpensive manufacturability of the sensor according to the invention. Finally, an advantageous use relates to the use of a sensor according to the invention as a gas sensor for determining and/or monitoring a gaseous medium. In particular, a resonance frequency of a sensor according to the invention can be individually adapted to the respective application.

Es sei darauf verwiesen, dass die im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Sensor beschriebenen Ausgestaltungen sich mutatis mutandis auch auf die erfindungsgemäße Messzelle, das erfindungsgemäße tragbare Messgerät und das erfindungsgemäße Verfahren anwenden lassen und umgekehrt.It should be noted that the configurations described in connection with the sensor according to the invention can also be applied mutatis mutandis to the measuring cell according to the invention, the portable measuring device according to the invention and the method according to the invention and vice versa.

Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Figuren näher erläutert. Es zeigt:

  • 1: eine schematische Skizze eines vibronischen Sensors gemäß Stand der Technik,
  • 2 eine erste mögliche Ausgestaltung eines modularen vibronischen Sensors mit einem Grundkörper;
  • 3 eine zweite mögliche Ausgestaltung eines modularen vibronischen Sensor mit einem ersten und einem zweiten Grundkörper;
  • 4 eine bevorzugte Möglichkeit zur Kontaktierung der piezoelektrischen Elemente eines Schwingelements;
  • 5 eine schematische Darstellung einer bevorzugten Anordnung der Schwingstäbe auf dem Grundkörper,
  • 6 eine erfindungsgemäße Messzelle, und
  • 7 ein tragbares Messgerät.
The invention is explained in more detail using the following figures. It shows:
  • 1 : a schematic sketch of a vibronic sensor according to the prior art,
  • 2 a first possible embodiment of a modular vibronic sensor with a base body;
  • 3 a second possible embodiment of a modular vibronic sensor with a first and a second base body;
  • 4 a preferred option for contacting the piezoelectric elements of a vibrating element;
  • 5 a schematic representation of a preferred arrangement of the vibrating rods on the base body,
  • 6 a measuring cell according to the invention, and
  • 7 a portable measuring device.

In den Figuren sind gleiche Elemente jeweils mit demselben Bezugszeichen versehen.In the figures, the same elements are each provided with the same reference number.

In 1 ist ein vibronischer Sensor 1 mit einer Sensoreinheit 2 gezeigt. Der Sensor verfügt über eine mechanisch schwingfähige Einheit 4 in Form einer Schwinggabel, welche teilweise in ein Medium M eintaucht, welches sich in einem Behälter 3 befindet. Die schwingfähige Einheit 4 wird mittels der Anrege-/Empfangseinheit 5 zu mechanischen Schwingungen angeregt, und kann beispielsweise durch einen piezoelektrischen Stapel- oder Bimorphantrieb sein. Andere vibronische Sensoren verfügen beispielsweise über elektromagnetische Antriebs-/Empfangseinheiten 5. Es ist sowohl möglich, eine einzige Antriebs-/Empfangseinheit 5 zu verwenden, welche zur Anregung der mechanischen Schwingungen sowie zu deren Detektion dient. Ebenso ist es aber denkbar, je eine Antriebseinheit und eine Empfangseinheit zu realisieren. Dargestellt ist in 1 ferner eine Elektronikeinheit 6, mittels welcher die Signalerfassung, -auswertung und/oder -speisung erfolgt.In 1 a vibronic sensor 1 with a sensor unit 2 is shown. The sensor has a mechanically oscillatable unit 4 in the form of a tuning fork, which is partially immersed in a medium M which is located in a container 3. The oscillatable unit 4 is excited to mechanical vibrations by means of the excitation/reception unit 5, and can be, for example, by a piezoelectric stack or bimorph drive. Other vibronic sensors have, for example, electromagnetic drive/receiver units 5. It is possible to use a single drive/receiver unit 5, which serves to excite the mechanical vibrations and to detect them. However, it is also conceivable to implement a drive unit and a receiving unit. Is shown in 1 furthermore an electronic unit 6, by means of which the signal is recorded, evaluated and/or fed.

Eine erste beispielhafte Ausgestaltung eines erfindungsgemäßen, modularen vibronischen Sensors 1 ist in 2 skizziert. Der Sensor 1 verfügt über eine Sensoreinheit 2 umfassend einen, insbesondere isolierenden, ersten Grundkörper 7, ein erstes Schwingelement 8, welches zumindest ein erstes 9a und ein zweites 9b piezoelektrisches Element aufweist, und ein zweites Schwingelement 10, welches zumindest ein drittes 11a und viertes 11b piezoelektrisches Element aufweist.A first exemplary embodiment of a modular vibronic sensor 1 according to the invention is shown in 2 sketched. The sensor 1 has a sensor unit 2 comprising a, in particular insulating, first base body 7, a first oscillating element 8, which has at least a first 9a and a second 9b piezoelectric element, and a second oscillating element 10, which has at least a third 11a and fourth 11b has piezoelectric element.

Die beiden Schwingelemente 8, 10 sind in einem ersten Endbereich E1 in dem Grundkörper 7 befestigt und das erste 9a und zweite 9b bzw. das dritte 11a und vierte 11b piezoelektrische Element des ersten 8 bzw. zweiten Schwingelements 10 sind jeweils vermittels einer Verbindungs-Fläche V aneinander befestigt. Die geometrische Form der piezoelektrischen Elemente 9a, 9b, 11a, 11b weisen jeweils vorzugsweise eine längliche Querschnittsfläche auf. Sie können herkömmlichen Schwingstäben eines vibronischen Sensors nachgebildet sein.The two oscillating elements 8, 10 are fastened in a first end region E 1 in the base body 7 and the first 9a and second 9b or the third 11a and fourth 11b piezoelectric elements of the first 8 and second oscillating element 10 are each by means of a connecting surface V attached to each other. The geometric shape of the piezoelectric elements 9a, 9b, 11a, 11b each preferably has an elongated cross-sectional area. They can be modeled on conventional oscillating rods of a vibronic sensor.

Zudem ist jedes piezoelektrische Element 9a,9b, 11a, 11b einzeln vermittels einer Anschlussleitung 12a-12d über den Verbindungs-Flächen V jeweils gegenüber liegende Kontakt-Flächen K kontaktiert. Sämtliche Kontaktierungen sind somit im ersten Endbereich E1 angeordnet.In addition, each piezoelectric element 9a, 9b, 11a, 11b is contacted individually via a connecting line 12a-12d via the connecting surfaces V to contact surfaces K lying opposite each other. All contacts are thus arranged in the first end region E 1 .

Dann ist es beispielsweise möglich, das erste 9a und vierte 11b piezoelektrische Element mittels der ersten 12a und vierten 12d Anschlussleitung mit einem geeigneten Anregesignal zu beaufschlagen und vom zweiten 9b und dritten 11a piezoelektrischen Element vermittels der zweiten 12b und dritten 12c Anschlussleitung ein Empfangssignal zu empfangen, um das vibronische Messprinzip zu realisieren, oder umgekehrt. Zur Verwirklichung des Ultraschall-Messprinzips ist es wiederum denkbar, ein Sendesignal vom ersten 9a und zweiten 9b piezoelektrischen Element vermittels der ersten 12a und zweiten 12b Anschlussleitung auszusenden und ein Antwortsignal vom dritten 11 a und vierten 11b piezoelektrischen Element vermittels der dritten 12c und vierten 12d Anschlussleitung zu empfangen, oder umgekehrt. Aber auch andere elektrische Kontaktierungsmöglichkeiten für die piezoelektrischen Elemente 9a, 9b, 11a, 11b sind denkbar und fallen ebenfalls unter die vorliegende Erfindung.It is then possible, for example, to apply a suitable excitation signal to the first 9a and fourth 11b piezoelectric element by means of the first 12a and fourth 12d connecting line and to receive a received signal from the second 9b and third 11a piezoelectric element by means of the second 12b and third 12c connecting line, to realize the vibronic measuring principle, or vice versa. To implement the ultrasonic measuring principle, it is again conceivable to send a transmission signal from the first 9a and second 9b piezoelectric element by means of the first 12a and second 12b connecting cable and a response signal from the third 11a and fourth 11b piezoelectric element by means of the third 12c and fourth 12d connecting cable to receive, or vice versa. But other electrical contacting options for the piezoelectric elements 9a, 9b, 11a, 11b are also conceivable and also fall under the present invention.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung für einen erfindungsgemäßen Sensor ist Gegenstand von 3. Im Gegensatz zu der Ausgestaltung aus 2 umfasst die Sensoreinheit 2 zusätzlich einen zweiten Grundkörper 13, wobei die Schwingelemente 8, 10 im zweiten Endbereich E2 im zweiten Grundkörper 13 befestigt sind.A further advantageous embodiment for a sensor according to the invention is the subject of 3 . In contrast to the design 2 The sensor unit 2 additionally comprises a second base body 13, the oscillating elements 8, 10 being fastened in the second end region E 2 in the second base body 13.

Für eine derartige Ausgestaltung, aber nicht nur für eine solche, zeigt 4 eine weitere bevorzugte Möglichkeit zur Kontaktierung der piezoelektrischen Elemente 9a, 9b, 11a, 11b. Die piezoelektrischen Elemente 9a, 9b eines jeden Schwingelements 8,10 (dargestellt ist der Einfachheit halber nur das erste Schwingelement 8) sind über die Verbindungs-Flächen V mittels einer zweiten Anschlussleitung 14b und über die beiden Kontakt-Flächen K mittels einer ersten Anschlussleitung 14a elektrisch kontaktiert, also in beiden Endbereichen E1 und E2. Eine solche Kontaktierung ist insbesondere vorteilhaft für eine Verwendung des Sensors 1 mit leitfähigen Medien M.For such a design, but not only for such, shows 4 another preferred option for contacting the piezoelectric elements 9a, 9b, 11a, 11b. The piezoelectric elements 9a, 9b of each oscillating element 8, 10 (for the sake of simplicity, only the first oscillating element 8 is shown) are electrical via the connecting surfaces V by means of a second connecting line 14b and via the two contact surfaces K by means of a first connecting line 14a contacted, i.e. in both end areas E 1 and E 2 . Such contact is particularly advantageous for using the sensor 1 with conductive media M.

Eine bevorzugte Anordnung der beiden Schwingelemente 8, 10 relativ zueinander und zum Grundkörper 7 ist in 5 dargestellt. Die beiden Schwingelemente 8,10 sind entlang einer gedachten Linie I durch einen Mittelpunkt m einer Querschnittsfläche des Grundkörpers 7 und im gleichen Abstand zu dem Mittelpunkt m angeordnet und parallel zueinander ausgerichtet. Im vorliegenden Fall weist die Querschnittsfläche eine runde Form auf. Eine solche Ausgestaltung der Querschnittsfläche des Grundkörpers 1 ist aber nicht zwingend notwendig. Im Falle, dass zwei Grundkörper 7,13 verwendet werden, können beide Grundkörper mit identischen Querschnittsflächen ausgestaltet sein und ihre Mittelpunkte können übereinander angeordnet sein.A preferred arrangement of the two oscillating elements 8, 10 relative to each other and to the base body 7 is in 5 shown. The two oscillating elements 8, 10 are arranged along an imaginary line I through a center point m of a cross-sectional area of the base body 7 and at the same distance from the center point m and aligned parallel to one another. In the present case, the cross-sectional area has a round shape. However, such a design of the cross-sectional area of the base body 1 is not absolutely necessary. In the event that two base bodies 7, 13 are used, both base bodies can be designed with identical cross-sectional areas and their centers can be arranged one above the other.

In 6 ist eine erfindungsgemäße Messzelle 15 mit einem erfindungsgemäßen Sensor 1 ähnlich wie der aus 2, gezeigt. In dem Grundkörper bei der Sensorvariante aus 6 ist der Grundkörper 7 zudem zur Aufnahme der Elektronik 6. Eine solche Ausführung eines erfindungsgemäßen Sensors 1 ist besonders kompakt und die notwendigen Herstellungsschritte werden weiter reduziert.In 6 is a measuring cell 15 according to the invention with a sensor 1 according to the invention similar to that shown 2 , shown. In the base body of the sensor variant 6 The base body 7 is also designed to accommodate the electronics 6. Such an embodiment of a sensor 1 according to the invention is particularly compact and the necessary manufacturing steps are further reduced.

Ein erfindungsgemäßes, tragbares Messgerät 16 ist schließlich in 7 skizziert. Das Messgerät 16 umfasst ein Gehäuse 17 mit einem optionalen Griff 17a und einer Vorrichtung zur Probennahme 18, eine erfindungsgemäße Messzelle 15 mit einem, hier nicht gezeigten, erfindungsgemäßen Sensor 1, und einer Elektronik 19 mit optionaler Anzeigeeinheit.A portable measuring device 16 according to the invention is finally in 7 sketched. The measuring device 16 comprises a housing 17 with an optional handle 17a and a device for sampling 18, a measuring cell 15 according to the invention with a sensor 1 according to the invention, not shown here, and electronics 19 with an optional display unit.

BezugszeichenlisteReference symbol list

11
Vibronischer SensorVibronic sensor
22
SensoreinheitSensor unit
33
Behältercontainer
44
Schwingfähige EinheitOscillating unit
55
Antriebs-/EmpfangseinheitDrive/receiver unit
66
Elektronikelectronics
77
Erster GrundkörperFirst basic body
88th
erstes Schwingelementefirst oscillating elements
9a, 9b9a, 9b
erstes und zweites piezoelektrisches Elementfirst and second piezoelectric elements
1010
zweites Schwingelementesecond oscillating elements
11a, 11b11a, 11b
drittes und vierts piezoelektrisches Elementthird and fourth piezoelectric elements
12a-12d12a-12d
AnschlussleitungenConnection cables
1313
Zweiter GrundkörperSecond basic body
14a, 14b14a, 14b
AnschlussleitungenConnection cables
1515
Messzellemeasuring cell
1616
tragbares Messgerätportable measuring device
1717
GehäuseHousing
17a17a
GriffHandle
1818
Vorrichtung zur ProbennahmeSampling device
1919
Elektronik mit Anzeigeeinheit Electronics with display unit
MM
Mediummedium
E1, E2E1, E2
erster und zweiter Endbereich der Schwingelementefirst and second end regions of the oscillating elements
KK
Kontakt-FlächeContact surface
Vv
Verbindungs-FlächeConnection surface
mm
MittelpunktFocus
II
gedachte Linieimaginary line

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

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  • DE 102020105214 A1 [0007]DE 102020105214 A1 [0007]
  • DE 102020116278 A1 [0007]DE 102020116278 A1 [0007]

Claims (18)

Modularer vibronischer Sensor (1) zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer Prozessgröße eines Mediums (M) mit einer Sensoreinheit (2), welche Sensoreinheit (2) einen, insbesondere elektrisch isolierenden, ersten Grundkörper (7), ein erstes Schwingelement (8), welches ein erstes (9a) und zweites (9b) piezoelektrisches Element aufweist, und ein zweites Schwingelement (10), welches ein drittes (11 a) und viertes (11b) piezoelektrisches Element aufweist, umfasst, wobei das erste (8) und zweite Schwingelement (10) jeweils in einem ersten Endbereich (E1) an oder in dem ersten Grundkörper (7) befestigt sind, wobei das erste (9a) und zweite (9b) bzw. das dritte (11a) und vierte (11b) piezoelektrische Element des ersten (8) bzw. zweiten Schwingelements (10) jeweils über eine Verbindungs-Fläche (V) aneinander befestigt sind, wobei die Verbindungs-Flächen (V) des ersten (9a) und zweiten (9b) bzw. dritten (11a) und vierten (11b) piezoelektrischen Elements jeweils die gleiche Polarisation aufweisen.Modular vibronic sensor (1) for determining and/or monitoring at least one process variable of a medium (M) with a sensor unit (2), which sensor unit (2) has a, in particular electrically insulating, first base body (7), a first oscillating element (8) , which has a first (9a) and second (9b) piezoelectric element, and a second oscillating element (10), which has a third (11a) and fourth (11b) piezoelectric element, wherein the first (8) and second Oscillating element (10) are each fastened in a first end region (E 1 ) on or in the first base body (7), the first (9a) and second (9b) or the third (11a) and fourth (11b) being piezoelectric elements of the first (8) or second oscillating element (10) are each fastened to one another via a connecting surface (V), the connecting surfaces (V) of the first (9a) and second (9b) or third (11a) and fourth (11b) piezoelectric element each have the same polarization. Modularer vibronischer Sensor (1) nach Anspruch 1, wobei es sich bei jedem der piezoelektrischen Elemente (9a, 9b, 11a, 11b) um einen länglichen, flachen Körper handelt, insbesondere um einen Körper mit im Wesentlichen rechteckiger Querschnittsfläche.Modular vibronic sensor (1) according to Claim 1 , wherein each of the piezoelectric elements (9a, 9b, 11a, 11b) is an elongated, flat body, in particular a body with a substantially rectangular cross-sectional area. Modularer vibronischer Sensor (1) nach Anspruch 1 oder 2, wobei jedes piezoelektrische Element (9a, 9b, 11a, 11b) eines jeden Schwingkörpers (8,10) einzeln elektrisch kontaktiert ist, insbesondere wobei die piezoelektrischen Elemente (9a, 9b, 11a, 11b) jeweils über eine Kontakt-Fläche (K) elektrisch kontaktiert sind, welche Kontakt-Fläche (K) jeweils gegenüber der jeweiligen Verbindungs-Fläche (V) angeordnet ist.Modular vibronic sensor (1) according to Claim 1 or 2 , wherein each piezoelectric element (9a, 9b, 11a, 11b) of each oscillating body (8, 10) is individually electrically contacted, in particular wherein the piezoelectric elements (9a, 9b, 11a, 11b) each have a contact surface (K) are electrically contacted, which contact surface (K) is arranged opposite the respective connection surface (V). Modularer vibronischer Sensor (1) nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, wobei die piezoelektrischen Elemente (9a, 9b, 11a, 11b) im ersten Endbereich (E1) elektrisch kontaktiert sind.Modular vibronic sensor (1) according to at least one of the preceding claims, wherein the piezoelectric elements (9a, 9b, 11a, 11b) are electrically contacted in the first end region (E 1 ). Modularer vibronischer Sensor (1) nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, wobei die beiden Schwingelemente (8,10) entlang einer gedachten Linie (I) durch einen Mittelpunkt (m) einer Querschnittsfläche des Grundkörpers (7) und im gleichen Abstand zu dem Mittelpunkt (m) angeordnet und parallel zueinander ausgerichtet sind.Modular vibronic sensor (1) according to at least one of the preceding claims, wherein the two oscillating elements (8, 10) along an imaginary line (I) through a center point (m) of a cross-sectional area of the base body (7) and at the same distance from the center point ( m) are arranged and aligned parallel to one another. Modularer vibronischer Sensor (1) nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Schwingelemente (8,10) zumindest teilweise mit einer Beschichtung versehen sind.Modular vibronic sensor (1) according to at least one of the preceding claims, wherein the oscillating elements (8, 10) are at least partially provided with a coating. Modularer vibronischer Sensor (1) nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, umfassend einen, insbesondere elektrisch isolierenden, zweiten Grundkörper (13), wobei das erste und zweite Schwingelement (8,10) jeweils in einem zweiten Endbereich (E2) an oder in dem zweiten Grundkörper (13) befestigt sind.Modular vibronic sensor (1) according to at least one of the preceding claims, comprising a, in particular electrically insulating, second base body (13), the first and second oscillating elements (8, 10) each being in or in a second end region (E 2 ). second base body (13) are attached. Modularer vibronischer Sensor (1) nach Anspruch 7, wobei für jedes Schwingelement (8,10) eine erste elektrische Kontaktierung (14a) im ersten Endbereich (E1) und vermittels der beiden Kontakt-Flächen (K) und eine zweite elektrische Kontaktierung (14b) im zweiten Endbereich (E2) und im Bereich der sich zugewandten Verbindungs-Flächen (V) der jeweiligen beiden piezoelektrischen Elemente (9a,9b, 11a, 11b) erfolgt.Modular vibronic sensor (1) according to Claim 7 , wherein for each oscillating element (8,10) a first electrical contact (14a) in the first end region (E 1 ) and by means of the two contact surfaces (K) and a second electrical contact (14b) in the second end region (E 2 ) and in the area of the facing connecting surfaces (V) of the respective two piezoelectric elements (9a, 9b, 11a, 11b). Modularer vibronischer Sensor (1) nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, umfassend ein Filterelement, welches derart ausgestaltet und/oder angeordnet ist, dass es die beiden Schwingelemente (8,10) zumindest teilweise umgibt, wobei das Filterelement insbesondere im Bereich zumindest des ersten (7) und/oder zweiten Grundkörpers (13) befestigbar ist.Modular vibronic sensor (1) according to at least one of the preceding claims, comprising a filter element which is designed and/or arranged in such a way that it at least partially surrounds the two oscillating elements (8, 10), wherein the filter element can be fastened in particular in the area of at least the first (7) and/or second base body (13). Messzelle (15) zur Analyse eines Mediums (M), umfassend einen modularen vibronischen Sensor (1) nach zumindest einem der Ansprüche 1-9.Measuring cell (15) for analyzing a medium (M), comprising a modular vibronic sensor (1) according to at least one of Claims 1 - 9 . Tragbares Messgerät (16) zur Analyse eines Mediums, umfassend eine Messzelle (15) nach Anspruch 10, eine Elektronik (6) und eine Vorrichtung zur Probennahme (18).Portable measuring device (16) for analyzing a medium, comprising a measuring cell (15). Claim 10 , electronics (6) and a sampling device (18). Verfahren zum Betreiben eines modularen vibronischen Sensors (1) nach zumindest einem der Ansprüche 1-9 zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer ersten Prozessgröße eines Mediums (M), wobei eine Sensoreinheit (2) mittels eines Anregesignals zu mechanischen Schwingungen angeregt wird, wobei die mechanischen Schwingungen der Sensoreinheit (2) empfangen und in ein Empfangssignal umgewandelt werden, und wobei anhand des Empfangssignals die zumindest eine erste Prozessgröße ermittelt wird.Method for operating a modular vibronic sensor (1) according to at least one of Claims 1 - 9 for determining and/or monitoring at least a first process variable of a medium (M), wherein a sensor unit (2) is excited to mechanical vibrations by means of an excitation signal, the mechanical vibrations of the sensor unit (2) being received and converted into a received signal, and where the at least one first process variable is determined based on the received signal. Verfahren nach Anspruch 12, wobei das erste piezoelektrische Element (9a) des ersten Schwingelements (8) und das vierte piezoelektrische Element (11b) des zweiten Schwingelements (10) mit dem Anregesignal beaufschlagt werden, und wobei das Empfangssignal von dem zweiten piezoelektrischen Element (9b) des ersten Schwingelements (8) und dem dritten piezoelektrischen Element (11a) des zweiten Schwingelements (10) empfangen wird.Procedure according to Claim 12 , wherein the first piezoelectric element (9a) of the first oscillating element (8) and the fourth piezoelectric element (11b) of the second oscillating element (10) are acted upon by the excitation signal, and wherein the received signal from the second piezoelectric element (9b) of the first oscillating element (8) and the third piezoelectric element (11a) of the second oscillating element (10). Verfahren nach Anspruch 12, wobei das erste piezoelektrische Element (9a) des ersten Schwingelements (8) und das dritte piezoelektrische Element (11a) des zweiten Schwingelements (10) mit dem Anregesignal beaufschlagt werden, und wobei das Empfangssignal von dem zweiten piezoelektrischen Element (9b) des ersten Schwingelements (8) und dem vierten piezoelektrischen Element (11b) des zweiten Schwingelements (10) empfangen wird.Procedure according to Claim 12 , wherein the first piezoelectric element (9a) of the first oscillating element (8) and the third piezoelectric element (11a) of the second oscillating element (10) are acted upon by the excitation signal, and wherein the received signal from the second piezoelectric element (9b) of the first oscillating element (8) and the fourth piezoelectric element (11b) of the second oscillating element (10). Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 12-14 zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer zweiten Prozessgröße eines Mediums (M), wobei ein Sendesignal ausgesendet wird, wobei ein Antwortsignal empfangen wird, und wobei anhand des Antwortsignals die zumindest eine zweite Prozessgröße bestimmt wird.Method according to at least one of the Claims 12 - 14 for determining and/or monitoring at least a second process variable of a medium (M), wherein a transmission signal is sent out, a response signal is received, and the at least one second process variable is determined based on the response signal. Verfahren nach Anspruch 15, wobei das erste Schwingelement (8) mit dem Sendesignal beaufschlagt wird, und wobei das Antwortsignal von dem zweiten Schwingelement (10) empfangen wird.Procedure according to Claim 15 , wherein the first oscillating element (8) is acted upon by the transmission signal, and wherein the response signal is received by the second oscillating element (10). Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 12-16, wobei die zumindest eine erste und zweite Prozessgröße abwechselnd bestimmt werden.Method according to at least one of the Claims 12 - 16 , whereby the at least one first and second process variable are determined alternately. Verwendung eines modularen vibronischen Sensors (1) nach zumindest einem der Ansprüche 1-9 als Single-Use Sensor, in einem Labor, zur Validierung von Sensoren, als Gassensor zur Bestimmung und/oder Überwachung eines gasförmigen Mediums (M).Use of a modular vibronic sensor (1) according to at least one of Claims 1 - 9 as a single-use sensor, in a laboratory, for validating sensors, as a gas sensor for determining and/or monitoring a gaseous medium (M).
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