DE102022100875A1 - silver alloy wire - Google Patents
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Abstract
Es wird ein Legierungsdraht geschaffen. Der Legierungsdraht umfasst eine Ag-Pt-Ge-Legierung, wobei der Legierungsdraht 0,1∼3 Gew.-% Pt, 1 ppm~2 Gew.-% Ge umfasst. Der Legierungsdraht kann auch 1 ppm∼0,1 Gew.-% von mindestens einem der folgenden Additivelemente enthalten: Ca, Cu, In, Mg, Si, Ti und Sc. Der Legierungsdraht kann auch eine Oberflächenüberzugsschicht umfassen, die Au, Pd oder Pt umfasst, wobei die Oberflächenüberzugsschicht eine Dicke von 0,01 µm bis 10 µm aufweist. Die Form des Legierungsdrahts kann rund oder ein Flachband sein.An alloy wire is created. The alloy wire comprises an Ag-Pt-Ge alloy, the alloy wire comprising 0.1˜3 wt% Pt, 1 ppm˜2 wt% Ge. The alloy wire may also contain 1ppm∼0.1wt% of at least one of the following additive elements: Ca, Cu, In, Mg, Si, Ti and Sc. The alloy wire may also include a surface plating layer comprising Au, Pd or Pt, the surface plating layer having a thickness of 0.01 µm to 10 µm. Alloy wire shape can be round or flat ribbon.
Description
Die vorliegende Anmeldung beansprucht die Priorität der taiwanesischen Anmeldung Nr.
HINTERGRUNDBACKGROUND
Technisches Gebiettechnical field
Die Offenbarung bezieht sich auf Legierungsdrähte und insbesondere auf die Legierungsdrähte, die für das Drahtbonden bei der elektronischen Kapselung verwendet werden.The disclosure relates to alloy wires and more particularly to the alloy wires used for wire bonding in electronic packaging.
Beschreibung des Standes der TechnikDescription of the prior art
Drahtbonden ist das Hauptverbindungsverfahren in Kapselungsprozessen von integrierten Schaltungen (ICs) und Leuchtdioden (LEDs). Bonddrähte stellen nicht nur die Signalübertragung und die Leistungsübertragung zwischen Chips und Chipträgern (Substraten), sondern auch eine Wärmeableitungsleistung bereit. Daher ist es erforderlich, dass ein Bonddraht eine ausgezeichnete elektrische Leitfähigkeit, Wärmeleitfähigkeit, ausreichende Festigkeit und Formbarkeit aufweist. Um zu verhindern, dass die Chips aufgrund des Heißpressprozesses des Drahtbondens reißen, und den guten Kontakt und die guten Bondeigenschaften zwischen den Drähten und den Bondkontaktstellen sicherzustellen, sollte jedoch die Härte des Drahts nicht zu hoch sein. Da die Polymereinkapselungsmaterialien zum Kapseln gewöhnlich korrosive Chloridionen enthalten und hygroskopische Eigenschaften besitzen, die Feuchtigkeit von der Umgebung absorbieren, ist es erforderlich, dass die Drähte eine gute Beständigkeit gegen Oxidation und Korrosion aufweisen.Wire bonding is the primary connection method in integrated circuit (IC) and light emitting diode (LED) packaging processes. Bond wires provide not only signal transmission and power transmission between chips and chip carriers (substrates), but also heat dissipation performance. Therefore, a bonding wire is required to have excellent electrical conductivity, thermal conductivity, sufficient strength and formability. However, in order to prevent the chips from cracking due to the hot press process of wire bonding and to ensure the good contact and bonding properties between the wires and the bonding pads, the hardness of the wire should not be too high. Since the polymer encapsulating materials for encapsulation usually contain corrosive chloride ions and have hygroscopic properties that absorb moisture from the environment, the wires are required to have good resistance to oxidation and corrosion.
Im Drahtbondprozess wird zuerst der Anschluss des Drahts durch elektrisches Abflammen (EFO) geschmolzen und durch die Oberflächenspannung wird eine Freiluftkugel (FAB) gebildet. Dann wird die FAB durch die keramische Kapillare nach unten gepresst und mit einer Bondkontaktstelle gebondet, um eine erste Lötverbindung zu bilden, und der andere Anschluss des Drahts wird zu einer anderen Bondkontaktstelle gezogen, um ihn damit zu bonden und eine zweite Lötverbindung zu bilden, wodurch eine Schaltung ausgebildet wird. Die Form der FAB bestimmt die Qualität der anschließenden ersten Kugelbondstelle. Daneben werden intermetallische Verbindungen an der Bondgrenzfläche zwischen der ersten Kugelbondstelle und der Bondkontaktstelle des Halbleiterchips gebildet. Diese intermetallischen Verbindungen können die Bondeigenschaften der Grenzflächen sicherstellen, aber übermäßige intermetallische Verbindungen können eine Grenzflächenversprödung und Kirkendall-Leerstellen verursachen. Außerdem ist die Beständigkeit des Drahts selbst gegen Oxidation und Korrosion auch ein wichtiger Faktor, der die Zuverlässigkeit von elektronischen Produkten bestimmt.In the wire bonding process, the terminal of the wire is first melted by electrical flaming (EFO) and a free air sphere (FAB) is formed by surface tension. Then the FAB is pressed down through the ceramic capillary and bonded to a bond pad to form a first solder joint, and the other terminal of the wire is pulled to another bond pad to bond to it and form a second solder joint, thereby a circuit is formed. The shape of the FAB determines the quality of the subsequent first ball bond. Besides, intermetallics are formed at the bonding interface between the first ball bond and the bonding pad of the semiconductor chip. These intermetallics can ensure the bonding properties of the interfaces, but excessive intermetallics can cause interface embrittlement and Kirkendall voids. Besides, the resistance of the wire itself to oxidation and corrosion is also an important factor that determines the reliability of electronic products.
Wenn das Produkt nach dem Vollenden der Kapselungsprozesse der Halbleitervorrichtungen oder der Leuchtdioden verwendet wird, kann die hohe Stromdichte durch die Metalldrähte auch interne Atome aktivieren, so dass eine Elektronenwanderung erzeugt wird, was zu den Leerstellen führt, die am Anschluss der Drähte gebildet werden, was eine Verringerung der elektrischen und Wärmeleitfähigkeit oder sogar das Auftreten von Drahtbruch und Produktausfall verursacht. Ein Durchgangsstrom kann auch eine teilweise Schmelzung des Kapselungsdrahts ergeben, was zu einem schnellen Anstieg der Spannung führt, was auch zu Drahtbruch und Produktausfall führt. Dieses Problem ist für die Kapselung der elektronischen Produkte mit hoher Spannung und hohem Strom besonders ernst und es ist der Hauptfaktor, der sich auf die Zuverlässigkeit dieser elektronischen Produkte auswirkt.When the product is used after completing the encapsulation processes of the semiconductor devices or the light emitting diodes, the high current density through the metal wires can also activate internal atoms, so that electron migration is generated, resulting in the voids being formed at the terminal of the wires, what a reduction in electrical and thermal conductivity or even the occurrence of wire breakage and product failure. A through current can also result in partial melting of the encapsulation wire, causing a rapid increase in voltage, which also leads to wire breakage and product failure. This problem is particularly serious for the packaging of the high voltage and high current electronic products, and it is the main factor affecting the reliability of these electronic products.
Üblicherweise verwendete Kapselungsdrähte umfassen beispielsweise die folgenden Optionen:
- (1) Golddrähte: Golddrähte können einen geringen spezifischen Widerstand aufweisen, aber es besteht eine große Anzahl von spröden intermetallischen Verbindungen (einschließlich Au2Al, AuAl4, Au5Al2 usw.), die an der Drahtbondgrenzfläche zwischen den Golddrähten und den Aluminiumkontaktstellen gebildet werden, was die elektrische Leitfähigkeit verringert. Außerdem wird die intermetallische Reaktion an der Gold/Aluminium-Grenzfläche durch die Bildung von vielen Kirkendall-Leerstellen begleitet, was auch den spezifischen Widerstand der Bondgrenzfläche erhöht und zu einer Abnahme der Zuverlässigkeit der Verbindung führt.
- (2) Kupferdrähte: In den letzten Jahren hat die Kapselungsindustrie begonnen, Kupferdrähte als Bonddrähte für die Halbleiter und die Leuchtdioden zu verwenden. Obwohl Kupferdrähte eine bessere elektrische Leitfähigkeit aufweisen, sind sie für Korrosion anfällig. Daher müssen Kupferdrähte während der Lagerung und des Transports abgedichtet und geschützt werden und ihr Drahtbondprozess erfordert ferner die Unterstützung von teurem Stickstoff und Wasserstoff. Im anschließenden Zuverlässigkeitstest der Kapselung von elektronischen Produkten treffen außerdem Kupferdrähte immer noch auf die Probleme von Oxidation und Korrosion. Weiterhin sind Kupferdrähte zu hart und ihr Drahtbonden kann leicht Probleme wie z. B. Chipbruch verursachen. Obwohl einige Untersuchungen die Verfahren zum Beschichten von Kupferdrähten mit anderen Metallen vorgeschlagen haben, um die Probleme von Oxidation und Korrosion zu lösen (siehe beispielsweise US-Patent Nr.
7645522B2 2003/0173659A1 7820913B2 - (3) Silberdrähte: Silber ist das Element mit dem geringsten spezifischen Widerstand unter allen Materialien, aber reines Silber hat das Problem der Sulfidierungskorrosion in der Umgebung, die Schwefel enthält, und reine Silberdrähte erzeugen auch spröde intermetallische Verbindungen (Ag2Al oder Ag4Al), wenn sie an Aluminiumkontaktstellen gebondet werden. Außerdem sind reine Silberdrähte für eine Ionenwanderung innerhalb des Kapselungsmaterials, das Wasserdampf enthält, anfällig. Mit anderen Worten, reines Silber wird durch einen elektrischen Strom hydrolysiert, so dass Silberionen gelöst werden und dann mit Sauerstoff reagieren, so dass instabiles Silberoxid (AgO) gebildet wird. Das AgO wird dann desoxidiert, so dass Silberatome gebildet werden und blattaderartige Silberwhisker zur positiven Elektrode wachsen, was schließlich einen Kurzschluss zwischen der positiven und der negativen Elektrode verursacht. (Bitte siehe H. Tsutomu, Metal Migration on Electric Circuit Boards, Three Bond Technical News, 1. Dez. 1986). Außerdem wurde bei einigen Forschungen die Beschichtung von anderem Metall auf die Oberfläche eines Silberdrahts vorgeschlagen, um die Probleme von Sulfidierungskorrosion und Silberionenwanderung zu lösen (Siehe beispielsweise US-Patent
US 6696756 - (4) Legierungsdrähte: Legierungsdrähte umfassen beispielsweise Legierungen auf Goldbasis und Legierungen auf Silberbasis. Diese Legierungen umfassen ferner beispielsweise Kupfer, Platin, Mangan, Chrom, Kalzium, Indium usw., aber sie können immer noch nicht sowohl eine niedrige Impedanz als auch hohe Zuverlässigkeit gleichzeitig erreichen.
- (1) Gold Wires: Gold wires may have low resistivity, but there are a large number of brittle intermetallic compounds (including Au 2 Al, AuAl 4 , Au 5 Al 2 , etc.) that form at the wire bonding interface between the gold wires and the aluminum pads are formed, which reduces the electrical conductivity. In addition, the intermetallic reaction at the gold/aluminum interface is accompanied by the formation of many Kirkendall voids, which also increases the resistivity of the bonding interface and leads to a decrease in the reliability of the connection.
- (2) Copper Wires: In recent years, the packaging industry has started to use copper wires as bonding wires for the semiconductors and the light emitting diodes. Although copper wires have better electrical conductivity, they are prone to corrosion. Therefore, copper wires need to be sealed and protected during storage and transportation, and their wire bonding process further requires the support of expensive nitrogen and hydrogen. In addition, in the subsequent reliability test of the encapsulation of electronic products, copper wires still encounter the problems of oxidation and corrosion. Furthermore, copper wires are too hard, and their wire bonding can easily cause problems such as cracking. B. cause chip breakage. Although some sub Research that has suggested methods of coating copper wires with other metals to solve the problems of oxidation and corrosion (see, for example, U.S. Patent No.
7645522B2 2003/0173659A1 7820913B2 - (3) Silver Wires: Silver is the element with the lowest resistivity among all materials, but pure silver has the problem of sulfidation corrosion in the environment containing sulfur, and pure silver wires also produce brittle intermetallic compounds (Ag 2 Al or Ag 4 Al ) when bonded to aluminum pads. In addition, pure silver wires are susceptible to ion migration within the encapsulation material, which contains water vapor. In other words, pure silver is hydrolyzed by an electric current so that silver ions are dissolved and then react with oxygen to form unstable silver oxide (AgO). The AgO is then deoxidized to form silver atoms and leaf vein-like silver whiskers grow toward the positive electrode, eventually causing a short circuit between the positive and negative electrodes. (Please see H. Tsutomu, Metal Migration on Electric Circuit Boards, Three Bond Technical News, 1 Dec 1986). Also, some researches have suggested coating other metal on the surface of a silver wire to solve the problems of sulfidation corrosion and silver ion migration (See, for example, U.S. Patent
U.S.6696756 - (4) Alloy Wires: Alloy wires include, for example, gold-based alloys and silver-based alloys. These alloys also include, for example, copper, platinum, manganese, chromium, calcium, indium, etc., but they still cannot achieve both low impedance and high reliability at the same time.
Schlussfolgernd können die existierenden reinen Metalldrähte, mit Metall plattierten Verbunddrähte und Legierungsdrähte mit hinzugefügtem Element nicht alle Anforderungen für die Kapselung erfüllen. Daher besteht immer noch ein Bedarf an einem Draht mit hoher Zuverlässigkeit.In conclusion, the existing pure metal wires, metal-clad composite wires and element-added alloy wires cannot meet all the requirements for the encapsulation. Therefore, there is still a need for a high reliability wire.
ZUSAMMENFASSUNGSUMMARY
Einige Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung schaffen einen Legierungsdraht mit einer Ag-Pt-Ge-Legierung mit 0,1-3 Gew.-% Pt, 1 ppm-2 Gew.-% Ge und der Rest ist Ag.Some embodiments of the present disclosure provide an alloy wire having an Ag-Pt-Ge alloy with 0.1-3 wt% Pt, 1 ppm-2 wt% Ge and the balance is Ag.
In einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Legierungsdraht ferner mindestens eines von Additivelementen umfassen, die aus der Gruppe ausgewählt sind, die aus Ca, Cu, In, Mg, Si, Ti und Sc besteht.In one or more embodiments, the alloy wire may further include at least one of additive elements selected from the group consisting of Ca, Cu, In, Mg, Si, Ti, and Sc.
In einer oder mehreren Ausführungsformen kann eine Gesamtmenge der Additivelemente im Bereich von 1 ppm bis 0,1 Gew.-% liegen und jedes der Additivelemente kann in einer Menge von weniger als jener von Pt oder Ge vorliegen.In one or more embodiments, a total amount of the additive elements can range from 1 ppm to 0.1 wt%, and each of the additive elements can be present in an amount less than that of Pt or Ge.
In einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Legierungsdraht ein runder Draht sein.In one or more embodiments, the alloy wire can be a round wire.
In einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Legierungsdraht einen Durchmesser von 10 µm bis 300 µm aufweisen.In one or more embodiments, the alloy wire can have a diameter of 10 μm to 300 μm.
In einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Legierungsdraht einen Flachbanddraht aufweisen.In one or more embodiments, the alloy wire may comprise a ribbon wire.
In einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Legierungsdraht eine Dicke von 20 µm bis 300 µm aufweisen.In one or more embodiments, the alloy wire may have a thickness of 20 μm to 300 μm.
In einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Legierungsdraht eine Breite von 100 µm bis 2000 µm aufweisen.In one or more embodiments, the alloy wire may have a width of 100 μm to 2000 μm.
In einer oder mehreren Ausführungsformen kann der Legierungsdraht ferner eine Oberflächenüberzugsschicht umfassen.In one or more embodiments, the alloy wire may further include a surface coating layer.
In einer oder mehreren Ausführungsformen kann die Oberflächenüberzugsschicht Au, Pd, Pt, eine Legierung davon oder eine Kombination davon umfassen.In one or more embodiments, the surface plating layer may comprise Au, Pd, Pt, an alloy thereof, or a combination thereof.
In einer oder mehreren Ausführungsformen kann die Oberflächenüberzugsschicht eine Dicke von 0,01 µm bis 10 µm aufweisen.In one or more embodiments, the surface coating layer may have a thickness of 0.01 µm to 10 µm.
Figurenlistecharacter list
Aspekte dieser Offenbarung werden am besten aus der folgenden ausführlichen Beschreibung verstanden, wenn sie mit den begleitenden Figuren gelesen wird. Es sollte beachtet werden, dass gemäß der üblichen Praxis in der Industrie verschiedene Merkmale nicht maßstäblich gezeichnet sind. Tatsächlich können die Abmessungen der verschiedenen Merkmale für die Deutlichkeit der Erörterung beliebig vergrößert oder verkleinert sein.
-
1 stellt ein Segment eines runden Legierungsdrahts von einigen Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung dar. -
2A stellt ein Segment des runden Legierungsdrahts mit der Oberflächenüberzugsschicht gemäß einigen Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung dar. -
2B stellt eine Schnittansicht in der zur Länge des runden Legierungsdrahts mit der Oberflächenüberzugsschicht in2A parallelen Richtung gemäß einigen Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung dar. -
3 stellt ein Segment des Flachbandlegierungsdrahts von einigen Ausführungsformen der Offenbarung dar. -
4A stellt ein Segment des Flachbandlegierungsdrahts mit der Oberflächenüberzugsschicht von einigen Ausführungsformen der Offenbarung dar. -
4B stellt einen Schnitt in der zur Länge des Segments des Flachbandlegierungsdrahts mit der Oberflächenüberzugsschicht in4A parallelen Richtung von einigen Ausführungsformen der Offenbarung dar.
-
1 12 illustrates a segment of round alloy wire of some embodiments of the present disclosure. -
2A 12 illustrates a segment of the alloy round wire with the surface coating layer according to some embodiments of the present disclosure. -
2 B FIG. 12 is a sectional view along the length of the alloy round wire with the surface coating layer in FIG2A parallel direction according to some embodiments of the present disclosure. -
3 12 illustrates a segment of the flat ribbon alloy wire of some embodiments of the disclosure. -
4A 12 depicts a segment of the flat strip alloy wire with the surface coating layer of some embodiments of the disclosure. -
4B provides a cut in to the length of the segment of flat strip alloy wire with the surface coating layer in4A parallel direction of some embodiments of the disclosure.
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNGDETAILED DESCRIPTION
Die folgende Offenbarung schafft viele verschiedene Ausführungsformen oder Beispiele zum Implementieren von unterschiedlichen Merkmalen des geschaffenen Gegenstandes. Diese sind selbstverständlich nur Beispiele und sollen nicht begrenzend sein. Die Ausbildung eines ersten Merkmals über oder auf einem zweiten Merkmal in der Beschreibung, die folgt, kann beispielsweise Ausführungsformen umfassen, in denen das erste und das zweite Merkmal in direktem Kontakt ausgebildet sind, und kann auch Ausführungsformen umfassen, in denen zusätzliche Merkmale zwischen dem ersten und dem zweiten Merkmal ausgebildet sein können. Außerdem kann die vorliegende Offenbarung Bezugsziffern und/oder Bezugsbuchstaben in den verschiedenen Beispielen wiederholen. Diese Wiederholung dient für den Zweck der Einfachheit und Klarheit und gibt an sich keine Beziehung zwischen den verschiedenen erörterten Ausführungsformen und/oder Konfigurationen vor.The following disclosure provides many different embodiments or examples for implementing different features of the created subject matter. These are of course examples only and are not intended to be limiting. For example, the formation of a first feature over or on top of a second feature in the description that follows may include embodiments in which the first and second features are formed in direct contact, and may also include embodiments in which additional features are formed between the first and the second feature can be formed. Additionally, the present disclosure may repeat reference numbers and/or reference letters in the various examples. This repetition is for the purpose of simplicity and clarity and does not in itself dictate a relationship between the various embodiments and/or configurations discussed.
Ferner können räumlich relative Begriffe wie z. B. „unterhalb“, „unter“, „untere“, „überlappt“, „obere“ und dergleichen hier für eine leichte Beschreibung verwendet werden, um die Beziehung eines Elements oder Merkmals zu (einem) anderen Element(en) oder Merkmal(en) zu beschreiben, wie in den Figuren dargestellt. Die räumlich relativen Begriffe sollen verschiedene Orientierungen der Vorrichtung bei der Verwendung oder im Betrieb zusätzlich zu der in den Figuren dargestellten Orientierung umfassen. Die Einrichtung kann anders orientiert sein (um 90 Grad gedreht oder in anderen Orientierungen) und die räumlich relativen Deskriptoren, die hier verwendet werden, können ebenso dementsprechend interpretiert werden.Furthermore, spatially relative terms such as B. "beneath", "below", "lower", "overlapped", "upper" and the like may be used herein for ease of description to indicate the relationship of one element or feature to another element(s) or feature(s). en) as shown in the figures. The spatially relative terms are intended to encompass different orientations of the device in use or operation in addition to the orientation depicted in the figures. The device may be otherwise oriented (rotated 90 degrees or at other orientations) and the spatially relative descriptors used herein interpreted accordingly as well.
Wenn eine Zahl oder ein Bereich von Zahlen mit „etwa“, „ungefähr“ und dergleichen beschrieben wird, soll ferner der Begriff Zahlen umfassen, die innerhalb eines angemessenen Bereichs, einschließlich der beschriebenen Zahl, liegen, wie z. B. innerhalb ±1 0 % der beschriebenen Zahl oder von anderen Werten, wie vom Fachmann auf dem Gebiet verstanden. Der Begriff „etwa 5 nm“ umfasst beispielsweise den Abmessungsbereich von 4,5 nm bis 5,5 nm.Further, when a number or range of numbers is described as "about," "approximately," and the like, the term is intended to include numbers that are within a reasonable range, inclusive of the number being described, such as, e.g. B. within ±10% of the number described or other values as understood by those skilled in the art. The term "about 5 nm" includes, for example, the dimension range from 4.5 nm to 5.5 nm.
Die hier verwendeten Begriffe sollen nur spezielle Ausführungsformen darstellen und sollen das Konzept der Erfindung nicht begrenzen. In der Singularform verwendete Ausdrücke decken auch Ausdrücke in der Pluralform ab, wenn der Ausdruck nicht eine deutlich unterschiedliche Bedeutung im Zusammenhang hat. In dieser Patentbeschreibung ist selbstverständlich, dass Begriffe wie z. B. „enthält“, „weist auf“ und „umfasst“ die Anwesenheit der Merkmale, Zahlen, Schritte, Handlungen, Komponenten, Teile oder Kombinationen davon, die hier offenbart sind, angeben sollen und nicht die Möglichkeit ausschließen sollen, dass ein oder mehrere andere Merkmale, Zahlen, Schritte, Handlungen, Komponenten, Teile oder Kombinationen davon vorhanden sein können oder hinzugefügt werden können.The terms used herein are intended to represent specific embodiments only and are not intended to limit the concept of the invention. Expressions used in the singular form also cover expressions in the plural form, unless the expression has a significantly different meaning in the context. In this patent specification it is understood that terms such as B. "Includes," "has," and "comprises" are intended to indicate the presence of the features, numbers, steps, acts, components, parts, or combinations thereof disclosed herein and are not intended to exclude the possibility that one or more other features, numbers, steps, acts, components, parts, or combinations thereof may be present or added.
Die vorliegende Offenbarung schafft einen Legierungsdraht mit Ag-Pt-Ge, der die Beständigkeit gegen Sulfidierungskorrosion und Hochtemperaturkriechen des Drahts und die Kugelbildungseigenschaft während des Drahtbondprozesses verbessert, so dass die Drahtbondausbeute verbessert wird.The present disclosure provides an Ag-Pt-Ge alloy wire that improves resistance to sulfidation corrosion and high-temperature creep of the wire and balling property during the wire bonding process, so that the wire bonding yield is improved.
Das
Zu dem Silberlegierungsdraht in der vorliegenden Offenbarung wird Ge zugegeben, was die Sulfidierungskorrosionsbeständigkeit des Drahts und die Bondfestigkeit der Lötverbindung verbessern kann. Wenn jedoch die Menge an Germanium zu hoch ist, nimmt die Formbarkeit des Drahts ab. Außerdem kann eine geeignete Menge an Platin (Pt) die Beständigkeit gegen Oxidations-, Sulfidierungs- und Chloridionenkorrosion des Drahts verbessern. Es weist auch eine signifikante Hemmwirkung auf die Wanderung von Silberionen auf und es kann die Bildung von intermetallischen Verbindungen zwischen dem Silberlegierungsdraht und der Aluminiumkontaktstelle ebenso verringern. Wenn jedoch die Menge an Platin zu hoch ist, nimmt der spezifische elektrische Widerstand des Drahts signifikant zu. Durch Experimente wurde bestätigt, dass durch Zugeben nur einer kleinen Menge an Ge die Hochtemperaturkriechbeständigkeit des ternären Ag-Pt-Ge-Silberlegierungsdrahts im Vergleich zum binären Ag-Pt-Silberlegierungsdraht signifikant verbessert wird. Während des EFO-Prozesses kann daneben der ternäre Ag-Pt-Ge-Silberlegierungsdraht eine perfekte FAB ausbilden, die gegenüber irgendwelchen herkömmlichen Silberlegierungsdrähten überlegen ist, und folglich sind die Form und die Qualität der ersten Kugelverbindung, die durch das Drahtbonden ausgebildet wird, auch ausgezeichnet. Ferner wurde durch Experimente bestätigt, dass das intermetallische Grenzflächenwachstum des ternären Ag-Pt-Ge-Silberlegierungsdrahts nach dem Drahtbonden und anschließenden Zuverlässigkeitstests langsamer ist als jenes des herkömmlichen Golddrahts. Im Vergleich zu einem Kupferdraht oder mit Palladium plattierten Kupferdraht weist er weniger wahrscheinlich unzureichende intermetallische Verbindungen auf und fällt weniger wahrscheinlich durch den Metallrückstandstest durch. Der Legierungsdraht der Offenbarung weist auch eine ausgezeichnete Leistung in der Kugelscherfestigkeit und Drahtzugfestigkeit auf und mit der Zugabe des vierten Spurenelements kann der vorstehend erwähnte vorteilhafte Effekt weiter verbessert werden.Ge is added to the silver alloy wire in the present disclosure, which can improve the sulfidation corrosion resistance of the wire and the bonding strength of the solder joint. However, if the amount of germanium is too high, wire formability decreases. In addition, an appropriate amount of platinum (Pt) can improve the wire's resistance to oxidation, sulfidation and chloride ion corrosion. It also has a significant inhibitory effect on the migration of silver ions, and it can reduce the formation of intermetallic compounds between the silver alloy wire and the aluminum pad as well. However, if the amount of platinum is too high, the resistivity of the wire increases significantly. It was confirmed through experiments that by adding only a small amount of Ge, the high-temperature creep resistance of the Ag—Pt—Ge ternary silver alloy wire is significantly improved compared to the Ag—Pt binary silver alloy wire. Besides, during the EFO process, the Ag-Pt-Ge ternary silver alloy wire can form a perfect FAB superior to any conventional silver alloy wires, and consequently the shape and quality of the first ball joint formed by the wire bonding are also excellent . Furthermore, it was confirmed by experiments that the intermetallic interface growth of the Ag-Pt-Ge silver ternary alloy wire after wire bonding and subsequent reliability tests is slower than that of the conventional gold wire. Compared to a copper wire or palladium plated copper wire, it is less likely to have deficient intermetallics and less likely to fail the metal residue test. The alloy wire of the disclosure also exhibits excellent performance in ball shear strength and wire tensile strength, and with the addition of the fourth trace element, the above-mentioned advantageous effect can be further enhanced.
Gemäß einigen Ausführungsformen zeigt
Gemäß einigen Ausführungsformen zeigt
Hinsichtlich des in der Patentbeschreibung beschriebenen im Wesentlichen reinen Metalls, wobei reines Silber als Beispiel genommen wird, wird erwartet, dass reines Silber vollständig frei von Verunreinigungen wie z. B. anderen Elementen und Verbindungen im Entwurf ist, aber im tatsächlichen Prozess von Schmelzen, Veredeln, Beschichten usw. ist es schwierig, die obigen Verunreinigungen vollständig zu entfernen, um mathematisch oder theoretisch 100 % reines Silber zu erreichen. In anderen Ausführungsformen können daher der Legierungsdraht und/oder seine Überzugsschicht ferner andere Metalle, Nicht-Metall-Elemente oder andere Verunreinigungskomponenten umfassen. Wenn die Menge der vorstehend erwähnten Verunreinigungen in den zulässigen Bereich fällt, der durch die entsprechende Norm oder Spezifikation festgelegt ist, wird das Silber als „im Wesentlichen reines Silber“ betrachtet. Der übliche Fachmann auf dem technischen Gebiet, zu dem die vorliegende Erfindung gehört, sollte verstehen, dass die vorstehend erwähnten entsprechenden Normen oder Spezifikationen gemäß verschiedenen Eigenschaften, Bedingungen, Anforderungen usw. unterschiedlich sind, so dass keine spezifischen Normen oder Spezifikationen im Text aufgelistet sind.Regarding the substantially pure metal described in the specification, taking pure silver as an example, pure silver is expected to be completely free of impurities such as e.g. B. other elements and compounds is in design, but in the actual process of smelting, refining, plating, etc., it is difficult to completely remove the above impurities to achieve 100% pure silver mathematically or theoretically. Therefore, in other embodiments, the alloy wire and/or its coating layer may further comprise other metals, non-metal elements, or other impurity components. If the amount of the aforementioned impurities falls within the allowable range set by the relevant standard or specification, the silver is considered "substantially pure silver". Those of ordinary skill in the technical field to which the present invention belongs should understand that the above-mentioned respective standards or specifications differ according to different properties, conditions, requirements, etc., so no specific standards or specifications are listed in the text.
Außerdem muss die Zugabe von anderen Metallelementen gemäß den Bedürfnissen der Anwendung eingestellt werden, um eine Beeinträchtigung der Eigenschaften des Legierungsdrahts zu vermeiden. Wenn beispielsweise Kupfer zum vorstehend erwähnten Legierungsdraht zugegeben wird, erzeugt es einen Materialverstärkungseffekt, aber es verringert unterdessen stark die Beständigkeit gegen Oxidation und Sulfidierungskorrosion des Legierungsdrahts. Außerdem erhöht Kupfer die Härte der Legierung und verursacht, dass die Legierung spröde wird, was den Drahtziehprozess schwierig macht und gleichzeitig leicht ein Chipzusammenbruch während des Drahtbondprozesses verursacht wird.In addition, the addition of other metal elements must be adjusted according to the needs of the application in order to avoid deteriorating the properties of the alloy wire. For example, when copper is added to the above-mentioned alloy wire, it produces a material strengthening effect, but meanwhile it greatly lowers the resistance to oxidation and sulfidation corrosion of the alloy wire. In addition, copper increases the hardness of the alloy and causes the alloy to become brittle, making the wire drawing process difficult and at the same time easily causing chip breakdown during the wire bonding process.
Obwohl die Zugabe von Seltenerdelementen die Körner der Legierung für die Drahtanwendungsanforderungen für das Drahtbonden bei der Kapselung verfeinern kann, weisen daneben die feinen Körner mehr Korngrenzen auf, die die Elektronenübertragung behindern und den spezifischen elektrischen Widerstand der Legierung erhöhen können. Daher ist dies nicht geeignet für die Kapselungsanforderungen von elektronischen Produkten mit integrierter Schaltung mit hoher Geschwindigkeit und hoher Frequenz. Ferner erhöht die chemische Aktivität des Seltenerdelements die Oxidations- und Korrosionsbeschädigung des Drahts, was verursacht, dass der Kapselungsdraht leichter schmilzt, wenn der Strom angelegt wird, was für die Zuverlässigkeit von elektronischen Produkten nicht förderlich ist. Das Zugeben von Kalzium zur Legierung macht überdies die Formbarkeit des Drahts schlechter. Das Zugeben von niedrig schmelzendem Indium oder Zinn zur Legierung bildet eine Niedertemperaturphase, die die Temperaturbeständigkeit des Drahts verringert, und ein kontinuierlicher Strom verursacht leicht, dass der Draht schmilzt. Beryllium (Be) ist ein toxischer entflammbarer Feststoff und trockener Staub oder Rauch von diesem sind alle toxisch. Wenn Ruthenium (Ru), Rhodium (Rh), Osmium (Os) oder Iridium (Ir) zugegeben wird, ist ihr Schmelzpunkt (2310 °C, 1965 °C, 3045 °C bzw. 2410 °C) höher als der Siedepunkt von Silber (2212 °C), so dass ihr Schmelzen äußerst schwierig ist und den spezifischen elektrischen Widerstand erheblich erhöht. Daneben verursachen einige der Additivelemente Ausfällungen der intermetallischen Phase mit Silber im Phasengleichgewichtsdiagramm, was eine Versprödung und höhere Korrosion des Materials verursacht, und es verringert ebenso die Leitfähigkeit des Drahts.Besides, although the addition of rare earth elements can refine the grains of the alloy for wire application requirements for wire bonding in packaging, the fine grains have more grain boundaries, which can impede electron transfer and increase the resistivity of the alloy. Therefore, this is not suitable for the packaging requirements of high-speed, high-frequency integrated circuit electronic products. Further, the chemical activity of the rare earth element increases the oxidation and corrosion damage of the wire, which causes the encapsulation wire to melt more easily when the current is applied, which is not conducive to the reliability of electronic products. Moreover, adding calcium to the alloy makes the formability of the wire worse. Adding low-melting point indium or tin to the alloy forms a low-temperature phase that lowers the temperature resistance of the wire, and a continuous current easily causes the wire to melt. Beryllium (Be) is a toxic flammable solid and dry dust or fumes from this are all toxic. When ruthenium (Ru), rhodium (Rh), osmium (Os), or iridium (Ir) is added, their melting point (2310°C, 1965°C, 3045°C, and 2410°C, respectively) is higher than the boiling point of silver (2212 °C), so their melting is extremely difficult and increases the electrical resistivity significantly. In addition, some of the additive elements cause precipitation of the intermetallic phase with silver in the phase equilibrium diagram, which It causes embrittlement and higher corrosion of the material, and it also reduces the conductivity of the wire.
Der Grund für die Wahl von Ag, Pt und Ge besteht darin, dass diese drei Elemente im Phasengleichgewichtsdiagramm ohne Erzeugung von irgendwelchen spröden Ausfällungen der intermetallischen Phase vollständig eine feste Lösung miteinander bilden können, so dass der gebildete Legierungsdraht eine bessere Formbarkeit aufweisen kann, und die Zugabe von Pt und Ge haben nicht viel Einfluss auf den spezifischen Widerstand von Ag.The reason for choosing Ag, Pt and Ge is that these three elements can completely form a solid solution with each other in the phase balance diagram without generating any brittle precipitates of the intermetallic phase, so that the formed alloy wire can have better formability, and the Addition of Pt and Ge does not have much influence on the resistivity of Ag.
In einigen Ausführungsformen soll das Verfahren zum Ausbilden des vorstehend erwähnten Legierungsdrahts zuerst einen dicken Legierungsdraht ausbilden, und dann abwechselnd mehrere Kaltbearbeitungsschritte und Glühschritte durchführen, um nacheinander den Durchmesser des dicken Drahts zu verringern. Der dicke Draht wird durch Erhitzen und Schmelzen von Ag, Pt und Ge und dann Gießen derselben in einen Barren ausgebildet. Dann wird der Barren kaltbearbeitet, um den vorstehend erwähnten dicken Draht mit mindestens Ag, Pd und Ge auszubilden. In einer anderen Ausführungsform werden Ag, Pt und Ge erhitzt und geschmolzen, dann kontinuierlich gegossen, um den dicken Draht auszubilden. In einigen Ausführungsformen umfasst der vorstehend erwähnte Kaltbearbeitungsschritt Drahtziehen, Extrusion oder eine Kombination davon. Alternativ können der vorstehend erwähnte Kaltbearbeitungsschritt und Glühschritt irgendein bekanntes oder in der Zukunft entwickeltes Kaltbearbeitungs-/Glüh-Verfahren sein.In some embodiments, the method for forming the above alloy wire is to first form a thick alloy wire, and then alternately perform multiple cold working steps and annealing steps to successively reduce the diameter of the thick wire. The thick wire is formed by heating and melting Ag, Pt and Ge and then casting them into an ingot. Then, the ingot is cold-worked to form the above-mentioned thick wire containing at least Ag, Pd, and Ge. In another embodiment, Ag, Pt and Ge are heated and melted, then cast continuously to form the thick wire. In some embodiments, the aforementioned cold working step includes wire drawing, extrusion, or a combination thereof. Alternatively, the aforementioned cold working step and annealing step may be any known or future developed cold working/annealing method.
Das Vorangehende hat Merkmale von mehreren Ausführungsformen umrissen, so dass der Fachmann auf dem Gebiet die ausführliche Beschreibung, die folgt, besser verstehen kann. Der Fachmann auf dem Gebiet sollte erkennen, dass er leicht die vorliegende Offenbarung als Basis zum Entwerfen oder Modifizieren von anderen Prozessen und Strukturen zum Ausführen derselben Zwecke und/oder Erreichen derselben Vorteile der hier eingeführten Ausführungsformen verwenden kann. Der Fachmann auf dem Gebiet sollte auch erkennen, dass solche äquivalenten Konstruktionen nicht vom Schutzbereich der vorliegenden Offenbarung abweichen und dass er verschiedene Änderungen, Substitutionen und Veränderungen hier durchführen kann, ohne vom Schutzbereich der vorliegenden Offenbarung abzuweichen.The foregoing has outlined features of several embodiments so that those skilled in the art may better understand the detailed description that follows. Those skilled in the art should appreciate that they can readily use the present disclosure as a basis for designing or modifying other processes and structures to carry out the same purposes and/or achieve the same advantages of the embodiments introduced herein. It should also be appreciated by those skilled in the art that such equivalent constructions do not depart from the scope of the present disclosure and that various changes, substitutions and alterations can be made therein without departing from the scope of the present disclosure.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN DESCRIPTION
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Zitierte PatentliteraturPatent Literature Cited
- TW 110113667 [0001]TW 110113667 [0001]
- US 7645522 B2 [0006]US7645522B2 [0006]
- US 2003/0173659 A1 [0006]US 2003/0173659 A1 [0006]
- US 7820913 B2 [0006]US 7820913 B2 [0006]
- US 6696756 [0006]US6696756 [0006]
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Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09275120A (en) | 1996-04-04 | 1997-10-21 | Nippon Steel Corp | Semiconductor device |
US20030173659A1 (en) | 2002-03-14 | 2003-09-18 | Fairchild Korea Semiconductor Ltd. | Semiconductor package having oxidation-free copper wire |
US6696756B2 (en) | 2001-07-16 | 2004-02-24 | Tao-Kuang Chang | Gold wire for use in semiconductor packaging and high-frequency signal transmission |
US20080240975A1 (en) | 2007-03-30 | 2008-10-02 | Mk Electron Co. Ltd. | Ag-based alloy wire for semiconductor package |
US7645522B2 (en) | 2005-03-08 | 2010-01-12 | W.C. Heraeus Gmbh | Copper bonding or superfine wire with improved bonding and corrosion properties |
US7820913B2 (en) | 2005-01-05 | 2010-10-26 | Nippon Steel Materials Co., Ltd. | Bonding wire for semiconductor device |
US8101123B2 (en) | 2009-03-23 | 2012-01-24 | Lee Jun-Der | Composite alloy bonding wire and manufacturing method thereof |
US20130126934A1 (en) | 2011-11-21 | 2013-05-23 | Heraeus Materials Technology Gmbh & Co. Kg | Bonding wire for semiconductor devices |
US10840208B2 (en) | 2014-12-17 | 2020-11-17 | Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd | Bonding wire for semiconductor device |
Family Cites Families (3)
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2022
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09275120A (en) | 1996-04-04 | 1997-10-21 | Nippon Steel Corp | Semiconductor device |
US6696756B2 (en) | 2001-07-16 | 2004-02-24 | Tao-Kuang Chang | Gold wire for use in semiconductor packaging and high-frequency signal transmission |
US20030173659A1 (en) | 2002-03-14 | 2003-09-18 | Fairchild Korea Semiconductor Ltd. | Semiconductor package having oxidation-free copper wire |
US7820913B2 (en) | 2005-01-05 | 2010-10-26 | Nippon Steel Materials Co., Ltd. | Bonding wire for semiconductor device |
US7645522B2 (en) | 2005-03-08 | 2010-01-12 | W.C. Heraeus Gmbh | Copper bonding or superfine wire with improved bonding and corrosion properties |
US20080240975A1 (en) | 2007-03-30 | 2008-10-02 | Mk Electron Co. Ltd. | Ag-based alloy wire for semiconductor package |
US8101123B2 (en) | 2009-03-23 | 2012-01-24 | Lee Jun-Der | Composite alloy bonding wire and manufacturing method thereof |
US20130126934A1 (en) | 2011-11-21 | 2013-05-23 | Heraeus Materials Technology Gmbh & Co. Kg | Bonding wire for semiconductor devices |
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