DE102021209098A1

DE102021209098A1 - PROTECTIVE HOSE AND PROJECTION EXPOSURE SYSTEM

Info

Publication number: DE102021209098A1
Application number: DE102021209098.2A
Authority: DE
Inventors: Mark Baerwinkel
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2021-08-19
Filing date: 2021-08-19
Publication date: 2022-05-25

Abstract

Ein Schutzschlauch (110) für einen Lichtwellenleiter (108) einer Projektionsbelichtungsanlage (1), aufweisend einen ersten Schutzschlauchabschnitt (112) zum Aufnehmen des Lichtwellenleiters (108), einen zweiten Schutzschlauchabschnitt (114) zum Aufnehmen des Lichtwellenleiters (108), und eine mit den Schutzschlauchabschnitten (112, 114) verbundene Verbindungseinrichtung (118) zum formschlüssigen Verbinden des ersten Schutzschlauchabschnitts (112) mit dem zweiten Schutzschlauchabschnitt (114).A protective tube (110) for an optical fiber (108) of a projection exposure system (1), having a first protective tube section (112) for accommodating the optical fiber (108), a second protective tube section (114) for accommodating the optical fiber (108), and one with the Protective tube sections (112, 114) connected connecting device (118) for positively connecting the first protective tube section (112) to the second protective tube section (114).

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Schutzschlauch für einen Lichtwellenleiter einer Projektionsbelichtungsanlage und eine Projektionsbelichtungsanlage mit einem derartigen Schutzschlauch.The present invention relates to a protective tube for an optical waveguide of a projection exposure system and a projection exposure system with such a protective tube.

Die Mikrolithographie wird zur Herstellung mikrostrukturierter Bauelemente, wie beispielsweise integrierter Schaltkreise, angewendet. Der Mikrolithographieprozess wird mit einer Lithographieanlage durchgeführt, welche ein Beleuchtungssystem und ein Projektionssystem aufweist. Das Bild einer mittels des Beleuchtungssystems beleuchteten Maske (Retikel) wird hierbei mittels des Projektionssystems auf ein mit einer lichtempfindlichen Schicht (Photoresist) beschichtetes und in der Bildebene des Projektionssystems angeordnetes Substrat, beispielsweise einen Siliziumwafer, projiziert, um die Maskenstruktur auf die lichtempfindliche Beschichtung des Substrats zu übertragen.Microlithography is used to produce microstructured components such as integrated circuits. The microlithography process is carried out using a lithography system which has an illumination system and a projection system. The image of a mask (reticle) illuminated by the illumination system is projected by the projection system onto a substrate coated with a light-sensitive layer (photoresist) and arranged in the image plane of the projection system, for example a silicon wafer, in order to place the mask structure on the light-sensitive coating of the substrate transferred to.

Getrieben durch das Streben nach immer kleineren Strukturen bei der Herstellung integrierter Schaltungen werden derzeit EUV-Lithographieanlagen entwickelt, welche Licht mit einer Wellenlänge im Bereich von 0,1 nm bis 30 nm, insbesondere 13,5 nm, verwenden. Bei solchen EUV-Lithographieanlagen müssen wegen der hohen Absorption der meisten Materialien von Licht dieser Wellenlänge reflektierende Optiken, das heißt Spiegel, anstelle von - wie bisher - brechenden Optiken, das heißt, Linsen, eingesetzt werden.Driven by the striving for ever smaller structures in the manufacture of integrated circuits, EUV lithography systems are currently being developed which use light with a wavelength in the range from 0.1 nm to 30 nm, in particular 13.5 nm. In such EUV lithography systems, because of the high absorption of light of this wavelength by most materials, reflective optics, ie mirrors, must be used instead of—as hitherto—refractive optics, ie lenses.

Ein wie zuvor erwähntes Projektionssystem kann eine Spiegelvorheizeinrichtung (Engl.: Mirror Preheater, MPH) zum Temperieren der Spiegel aufweisen. Die Spiegelvorheizeinrichtung ist beispielsweise geeignet, den jeweiligen Spiegel mit Hilfe von Infrarotstrahlung zu erwärmen. Dabei kann die Infrarotstrahlung mit Hilfe eines Lichtwellenleiters zu der jeweiligen Spiegelvorheizeinrichtung befördert werden. Der Lichtwellenleiter wird von einer Verbauposition der Spiegelvorheizeinrichtung bis zu einer sogenannten Splicebox innerhalb des Projektionssystems verlegt.A projection system as mentioned above may have a mirror preheater (MPH) for tempering the mirrors. The mirror preheating device is suitable, for example, for heating the respective mirror with the aid of infrared radiation. In this case, the infrared radiation can be conveyed to the respective mirror preheating device with the aid of an optical waveguide. The optical waveguide is routed from a mounting position of the mirror preheating device to a so-called splice box within the projection system.

Um den Lichtwellenleiter vor mechanischer Beschädigung zu schützen, kann dieser in einem Metallschutzschlauch verlegt werden. In der Splicebox wird der blanke Lichtwellenleiter ohne Metallschutzschlauch eingelegt, um zu einem späteren Zeitpunkt einen anderen Lichtwellenleiter über einen sogenannten Splice mit dem Lichtwellenleiter der Spiegelvorheizeinrichtung zu verbinden.In order to protect the fiber optic cable from mechanical damage, it can be laid in a metal protective tube. In the splice box, the bare fiber optic cable is inserted without a protective metal tube so that another fiber optic cable can be connected to the fiber optic cable of the mirror preheating device at a later point in time using a so-called splice.

Für die Integration der Spiegelvorheizeinrichtung und des zugehörigen Lichtwellenleiters ist es prozessbedingt erforderlich, dass der gesamte Lichtwellenleiter während des Einbaus mit Hilfe mehrerer Metallschutzschläuche geschützt wird. Daher ist eine Verbindungseinrichtung erforderlich, die es ermöglicht, mehrere Metallschutzschläuche miteinander zu verbinden. Hierdurch ist es möglich, einen Teil der Metallschutzschläuche nach der Integration wieder zu entfernen, so dass der blanke Lichtwellenleiter in die Splicebox eingelegt werden kann.For the integration of the mirror preheating device and the associated fiber optic cable, the process requires that the entire fiber optic cable is protected during installation with the help of several metal protective hoses. Therefore, a connection device is required that makes it possible to connect several metal protective hoses to one another. This makes it possible to remove part of the metal protective hoses after integration so that the bare fiber optic cable can be inserted into the splice box.

Vor diesem Hintergrund besteht eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, einen verbesserten Schutzschlauch für einen Lichtwellenleiter bereitzustellen.Against this background, an object of the present invention is to provide an improved protective tube for an optical waveguide.

Demgemäß wird ein Schutzschlauch für einen Lichtwellenleiter einer Projektionsbelichtungsanlage vorgeschlagen. Der Schutzschlauch umfasst einen ersten Schutzschlauchabschnitt zum Aufnehmen des Lichtwellenleiters, einen zweiten Schutzschlauchabschnitt zum Aufnehmen des Lichtwellenleiters, und eine mit den Schutzschlauchabschnitten verbundene Verbindungseinrichtung zum formschlüssigen Verbinden des ersten Schutzschlauchabschnitts mit dem zweiten Schutzschlauchabschnitt.Accordingly, a protective tube for an optical waveguide of a projection exposure system is proposed. The protective tube comprises a first protective tube section for accommodating the optical waveguide, a second protective tube section for accommodating the optical waveguide, and a connecting device connected to the protective tube sections for positively connecting the first protective tube section to the second protective tube section.

Dadurch, dass die Verbindungseinrichtung vorgesehen ist, ist es möglich, die Schutzschlauchabschnitte voneinander zu trennen und so den Lichtwellenleiter zumindest abschnittsweise freizulegen. Ferner ist die Verbindungseinrichtung aufgrund der formschlüssigen Verbindung geeignet, auf den Schutzschlauch wirkende Zugkräfte zu übertragen.Because the connecting device is provided, it is possible to separate the protective tube sections from one another and thus expose the optical waveguide at least in sections. Furthermore, due to the form-fitting connection, the connecting device is suitable for transferring tensile forces acting on the protective hose.

Der Schutzschlauch ist vorzugsweise aus einem metallischen Werkstoff gefertigt. Daher kann der Schutzschlauch auch als Metallschutzschlauch bezeichnet werden. Der Schutzschlauch und der Lichtwellenleiter können Teil eines Beheizungssystems eines Spiegels einer Projektionsoptik der Projektionsbelichtungsanlage sein. Das Beheizungssystem kann eine Spiegelvorheizeinrichtung aufweisen, zu der mit Hilfe des von dem Schutzschlauch geschützten Lichtwellenleiters Infrarotstrahlung zum Temperieren des Spiegels zuführbar ist.The protective tube is preferably made of a metallic material. The protective hose can therefore also be referred to as a metal protective hose. The protective tube and the optical waveguide can be part of a heating system of a mirror of a projection optics of the projection exposure system. The heating system can have a mirror pre-heating device, to which infrared radiation can be fed with the aid of the optical waveguide protected by the protective tube, in order to temper the mirror.

Der Schutzschlauch kann eine beliebige Anzahl von Schutzschlauchabschnitten und Verbindungseinrichtungen umfassen. Dabei ist jedoch zwischen zwei Schutzschlauchabschnitten jeweils eine Verbindungseinrichtung und zwischen zwei Verbindungseinrichtungen jeweils ein Schutzschlauchabschnitt angeordnet. Eine formschlüssige Verbindung entsteht durch das Ineinander- oder Hintergreifen von zwei Verbindungspartnern. Die formschlüssige Verbindung kann zerstörungsfrei wieder gelöst werden. Dass die Verbindungseinrichtung mit den Schutzschlauchabschnitten „verbunden“ ist, bedeutet vorliegend insbesondere, dass die Verbindungseinrichtung und die Schutzschlauchabschnitte nicht zerstörungsfrei voneinander trennbar sind.The protective hose can comprise any number of protective hose sections and connection devices. In this case, however, a connecting device is arranged between two protective tube sections and a protective tube section is arranged between two connecting devices. A form-fitting connection is created by two connection partners engaging or engaging behind one another. The form-fitting connection can be released again without destroying it. In the present case, the fact that the connecting device is “connected” to the protective tube sections means in particular that the connection device and the protective hose sections cannot be separated from one another without being destroyed.

Gemäß einer Ausführungsform weist die Verbindungseinrichtung ein erstes Verbindungselement und ein formschlüssig mit dem ersten Verbindungselement verbindbares zweites Verbindungselement auf.According to one embodiment, the connecting device has a first connecting element and a second connecting element that can be positively connected to the first connecting element.

Die beiden Verbindungselemente können formschlüssig miteinander verbunden und zerstörungsfrei voneinander getrennt werden. Die Verbindungselemente können beliebig oft verwendet werden. Beispielsweise sind die Verbindungselemente aus einem metallischen Werkstoff, insbesondere aus Edelstahl, gefertigt.The two connecting elements can be positively connected to one another and separated from one another in a non-destructive manner. The connecting elements can be used as often as you like. For example, the connecting elements are made of a metallic material, in particular stainless steel.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist das erste Verbindungselement fest mit dem ersten Schutzschlauchabschnitt verbunden, wobei das zweite Verbindungselement fest mit dem zweiten Schutzschlauchabschnitt verbunden ist.According to a further embodiment, the first connecting element is firmly connected to the first protective hose section, the second connecting element being firmly connected to the second protective hose section.

„Fest“ kann vorliegend insbesondere eine nicht lösbare Verbindung sein. Beispielsweise ist das erste Verbindungselement mit dem ersten Schutzschlauchabschnitt verklebt und/oder vercrimpt. Auch jede andere beliebige Verbindungsart kann vorgesehen sein. Dementsprechend ist auch das zweite Verbindungselement mit dem zweiten Schutzschlauchabschnitt verklebt und/oder vercrimpt.In the present case, “fixed” can in particular be a non-detachable connection. For example, the first connecting element is glued and/or crimped to the first protective hose section. Any other type of connection can also be provided. Accordingly, the second connecting element is also glued and/or crimped to the second protective hose section.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist das erste Verbindungselement mit Hilfe eines ersten Befestigungsabschnitts fest mit dem ersten Schutzschlauchabschnitt verbunden, wobei das zweite Verbindungselement mit Hilfe eines zweiten Befestigungsabschnitts fest mit dem zweiten Schutzschlauchabschnitt verbunden ist.According to a further embodiment, the first connecting element is firmly connected to the first protective hose section with the aid of a first fastening section, the second connecting element being firmly connected to the second protective hose section with the aid of a second fastening section.

Der erste Befestigungsabschnitt und der zweite Befestigungsabschnitt sind vorzugsweise zylinderförmig. Die Befestigungsabschnitte sind geeignet, jeweilige Endabschnitte der Schutzschlauchabschnitte in sich aufzunehmen. Beispielsweise sind die Schutzschlauchabschnitte mit dem jeweiligen Befestigungsabschnitt verklebt und/oder vercrimpt.The first attachment section and the second attachment section are preferably cylindrical. The fastening sections are suitable for accommodating respective end sections of the protective hose sections. For example, the protective tube sections are glued and/or crimped to the respective fastening section.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist das erste Verbindungselement einen ersten Verbindungsabschnitt auf, wobei das zweite Verbindungselement einen zweiten Verbindungsabschnitt aufweist, und wobei der erste Verbindungsabschnitt formschlüssig mit dem zweiten Verbindungsabschnitt verbindbar ist.According to a further embodiment, the first connecting element has a first connecting section, the second connecting element has a second connecting section, and the first connecting section can be connected in a form-fitting manner to the second connecting section.

Die formschlüssige Verbindung zwischen dem ersten Verbindungsabschnitt und dem zweiten Verbindungsabschnitt kann beliebig oft hergestellt und wieder gelöst werden. Beispielsweise weist der erste Verbindungsabschnitt eine bolzenförmige Geometrie auf. Der zweite Verbindungsabschnitt kann beispielsweise eine hutmutterförmige Geometrie aufweisen.The form-fitting connection between the first connecting section and the second connecting section can be established and released again as often as desired. For example, the first connection section has a bolt-shaped geometry. The second connection section can have a cap nut-shaped geometry, for example.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist der erste Verbindungsabschnitt einen Eingriffsbereich und der zweite Verbindungsabschnitt einen Gegeneingriffsbereich auf, wobei der Eingriffsbereich und der Gegeneingriffsbereich dazu eingerichtet sind, formschlüssig ineinanderzugreifen, um das erste Verbindungselement formschlüssig mit dem zweiten Verbindungselement zu verbinden.According to a further embodiment, the first connection section has an engagement area and the second connection section has a counter-engagement area, wherein the engagement area and the counter-engagement area are designed to positively engage in one another in order to positively connect the first connection element to the second connection element.

Der Eingriffsbereich kann beispielsweise ein an dem ersten Verbindungsabschnitt des ersten Verbindungselements vorgesehenes Gewinde, insbesondere ein Außengewinde, sein. Der Gegeneingriffsbereich kann insbesondere ein an dem zweiten Verbindungsabschnitt des zweiten Verbindungselements vorgesehenes korrespondierendes Gewinde, insbesondere ein Innengewinde, sein. Beispielsweise ist der zweite Verbindungsabschnitt eine relativ zu dem zweiten Befestigungsabschnitt drehbare Hutmutter.The engagement area can be, for example, a thread provided on the first connection section of the first connection element, in particular an external thread. The counter-engagement area can in particular be a corresponding thread provided on the second connection section of the second connection element, in particular an internal thread. For example, the second connection section is a cap nut that can be rotated relative to the second fastening section.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform bilden der Eingriffsbereich und der Gegeneingriffsbereich einen Schraubverschluss oder einen Bajonettverschluss.According to a further embodiment, the engagement area and the counter-engagement area form a screw connection or a bayonet connection.

Insbesondere bilden der Eingriffsbereich und der Gegeneingriffsbereich eine beliebige formschlüssige Verbindung zwischen dem ersten Verbindungselement und dem zweiten Verbindungselement. Beispielsweise kann das erste Verbindungselement alternativ auch mit Hilfe einer linearen Bewegung mit dem zweiten Verbindungselement verrastet oder verschnappt werden.In particular, the engagement area and the counter-engagement area form any positive connection between the first connecting element and the second connecting element. For example, the first connecting element can alternatively also be latched or snapped to the second connecting element with the aid of a linear movement.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist eines der Verbindungselemente einen Kopplungsbereich auf.According to a further embodiment, one of the connecting elements has a coupling area.

Vorzugsweise weist das erste Verbindungselement den Kopplungsbereich auf. Der Kopplungsbereich ist dabei als um den ersten Verbindungsabschnitt des ersten Verbindungselements umlaufende Rippe vorgesehen. Mit Hilfe des Kopplungsbereichs kann das jeweilige Verbindungselement, insbesondere das erste Verbindungselement, mit einer wie zuvor erwähnten Splicebox gekoppelt werden.The first connecting element preferably has the coupling region. The coupling area is provided as a rib surrounding the first connecting section of the first connecting element. With the help of the coupling area, the respective connection element, in particular the first connection element, can be coupled to a splice box as mentioned above.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist der Kopplungsbereich einen Außensechskant auf.According to a further embodiment, the coupling area has an external hexagon.

Alternativ kann der Außenbereich auch einen Außenvierkant, einen Außenachtkant oder eine beliebige andere Außengeometrie aufweisen.Alternatively, the outer area can also have an outer square, an outer octagon or any other outer geometry.

Ferner wird eine Projektionsbelichtungsanlage mit einem derartigen Schutzschlauch vorgeschlagen.Furthermore, a projection exposure system with such a protective tube is proposed.

Wie zuvor erwähnt, kann der Schutzschlauch Teil eines Beheizungssystems der Projektionsbelichtungsanlage sein. Der Schutzschlauch mit den Schutzschlauchabschnitten und den Verbindungseinrichtungen bildet zusammen mit dem Lichtwellenleiter eine Lichtwellenleiteranordnung, die geeignet ist, einer Spiegelvorheizeinrichtung Infrarotstrahlung zuzuführen. Die Projektionsbelichtungsanlage kann eine EUV-Lithographieanlage sein. EUV steht für „Extreme Ultraviolet“ und bezeichnet eine Wellenlänge des Arbeitslichts zwischen 0,1 nm und 30 nm. Die Projektionsbelichtungsanlage kann auch eine DUV-Lithographieanlage sein. DUV steht für „Deep Ultraviolet“ und bezeichnet eine Wellenlänge des Arbeitslichts zwischen 30 nm und 250 nm.As previously mentioned, the protective tube can be part of a heating system of the projection exposure system. The protective hose with the protective hose sections and the connecting devices forms, together with the optical waveguide, an optical waveguide arrangement which is suitable for supplying infrared radiation to a mirror preheating device. The projection exposure system can be an EUV lithography system. EUV stands for "Extreme Ultraviolet" and designates a working light wavelength between 0.1 nm and 30 nm. The projection exposure system can also be a DUV lithography system. DUV stands for "Deep Ultraviolet" and describes a working light wavelength between 30 nm and 250 nm.

„Ein“ ist vorliegend nicht zwingend als beschränkend auf genau ein Element zu verstehen. Vielmehr können auch mehrere Elemente, wie beispielsweise zwei, drei oder mehr, vorgesehen sein. Auch jedes andere hier verwendete Zählwort ist nicht dahingehend zu verstehen, dass eine Beschränkung auf genau die genannte Anzahl von Elementen gegeben ist. Vielmehr sind zahlenmäßige Abweichungen nach oben und nach unten möglich, soweit nichts Gegenteiliges angegeben ist."A" is not necessarily to be understood as being limited to exactly one element. Rather, a plurality of elements, such as two, three or more, can also be provided. Any other count word used here should also not be understood to mean that there is a restriction to precisely the stated number of elements. Rather, numerical deviations upwards and downwards are possible, unless otherwise stated.

Die für den Schutzschlauch beschriebenen Ausführungsformen und Merkmale gelten für die vorgeschlagene Projektionsbelichtungsanlage entsprechend und umgekehrt.The embodiments and features described for the protective tube apply correspondingly to the proposed projection exposure system and vice versa.

Weitere mögliche Implementierungen der Erfindung umfassen auch nicht explizit genannte Kombinationen von zuvor oder im Folgenden bezüglich der Ausführungsbeispiele beschriebenen Merkmalen oder Ausführungsformen. Dabei wird der Fachmann auch Einzelaspekte als Verbesserungen oder Ergänzungen zu der jeweiligen Grundform der Erfindung hinzufügen.Further possible implementations of the invention also include combinations of features or embodiments described above or below with regard to the exemplary embodiments that are not explicitly mentioned. The person skilled in the art will also add individual aspects as improvements or additions to the respective basic form of the invention.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Aspekte der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche sowie der im Folgenden beschriebenen Ausführungsbeispiele der Erfindung. Im Weiteren wird die Erfindung anhand von bevorzugten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigelegten Figuren näher erläutert.

1 zeigt einen schematischen Meridionalschnitt einer Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Projektionslithographie;
2 zeigt eine schematische Ansicht einer Ausführungsform eines Beheizungssystems für die Projektionsbelichtungsanlage gemäß 1; und
3 zeigt eine schematische Ansicht einer Ausführungsform einer Verbindungseinrichtung für das Beheizungssystem gemäß 2.

Further advantageous refinements and aspects of the invention are the subject matter of the dependent claims and of the exemplary embodiments of the invention described below. The invention is explained in more detail below on the basis of preferred embodiments with reference to the enclosed figures.

1 shows a schematic meridional section of a projection exposure system for EUV projection lithography;
2 shows a schematic view of an embodiment of a heating system for the projection exposure apparatus according to FIG 1 ; and
3 shows a schematic view of an embodiment of a connection device for the heating system according to FIG 2 .

In den Figuren sind gleiche oder funktionsgleiche Elemente mit denselben Bezugszeichen versehen worden, soweit nichts Gegenteiliges angegeben ist. Ferner sollte beachtet werden, dass die Darstellungen in den Figuren nicht notwendigerweise maßstabsgerecht sind.Elements that are the same or have the same function have been provided with the same reference symbols in the figures, unless otherwise stated. Furthermore, it should be noted that the representations in the figures are not necessarily to scale.

1 zeigt eine Ausführungsform einer Projektionsbelichtungsanlage 1 (Lithographieanlage), insbesondere einer EUV-Lithographieanlage. Eine Ausführung eines Beleuchtungssystems 2 der Projektionsbelichtungsanlage 1 hat neben einer Lichtbeziehungsweise Strahlungsquelle 3 eine Beleuchtungsoptik 4 zur Beleuchtung eines Objektfeldes 5 in einer Objektebene 6. Bei einer alternativen Ausführung kann die Lichtquelle 3 auch als ein zum sonstigen Beleuchtungssystem 2 separates Modul bereitgestellt sein. In diesem Fall umfasst das Beleuchtungssystem 2 die Lichtquelle 3 nicht. 1 shows an embodiment of a projection exposure system 1 (lithography system), in particular an EUV lithography system. One embodiment of an illumination system 2 of the projection exposure system 1 has, in addition to a light or radiation source 3, illumination optics 4 for illuminating an object field 5 in an object plane 6. In an alternative embodiment, the light source 3 can also be provided as a separate module from the rest of the illumination system 2. In this case, the lighting system 2 does not include the light source 3 .

Belichtet wird ein im Objektfeld 5 angeordnetes Retikel 7. Das Retikel 7 ist von einem Retikelhalter 8 gehalten. Der Retikelhalter 8 ist über einen Retikelverlagerungsantrieb 9, insbesondere in einer Scanrichtung, verlagerbar.A reticle 7 arranged in the object field 5 is exposed. The reticle 7 is held by a reticle holder 8 . The reticle holder 8 can be displaced via a reticle displacement drive 9, in particular in a scanning direction.

In der 1 ist zur Erläuterung ein kartesisches Koordinatensystem mit einer x-Richtung x, einer y-Richtung y und einer z-Richtung z eingezeichnet. Die x-Richtung x verläuft senkrecht in die Zeichenebene hinein. Die y-Richtung y verläuft horizontal und die z-Richtung z verläuft vertikal. Die Scanrichtung verläuft in der 1 längs der y-Richtung y. Die z-Richtung z verläuft senkrecht zur Objektebene 6.In the 1 a Cartesian coordinate system with an x-direction x, a y-direction y and a z-direction z is drawn in for explanation. The x-direction x runs perpendicularly into the plane of the drawing. The y-direction y runs horizontally and the z-direction z runs vertically. The scanning direction is in the 1 along the y-direction y. The z-direction z runs perpendicular to the object plane 6.

Die Projektionsbelichtungsanlage 1 umfasst eine Projektionsoptik 10. Die Projektionsoptik 10 dient zur Abbildung des Objektfeldes 5 in ein Bildfeld 11 in einer Bildebene 12. Die Bildebene 12 verläuft parallel zur Objektebene 6. Alternativ ist auch ein von 0° verschiedener Winkel zwischen der Objektebene 6 und der Bildebene 12 möglich.The projection exposure system 1 comprises projection optics 10. The projection optics 10 are used to image the object field 5 in an image field 11 in an image plane 12. The image plane 12 runs parallel to the object plane 6. Alternatively, there is also an angle other than 0° between the object plane 6 and the Image plane 12 possible.

Abgebildet wird eine Struktur auf dem Retikel 7 auf eine lichtempfindliche Schicht eines im Bereich des Bildfeldes 11 in der Bildebene 12 angeordneten Wafers 13. Der Wafer 13 wird von einem Waferhalter 14 gehalten. Der Waferhalter 14 ist über einen Waferverlagerungsantrieb 15 insbesondere längs der y-Richtung y verlagerbar. Die Verlagerung einerseits des Retikels 7 über den Retikelverlagerungsantrieb 9 und andererseits des Wafers 13 über den Waferverlagerungsantrieb 15 kann synchronisiert zueinander erfolgen.A structure on the reticle 7 is imaged onto a light-sensitive layer of a wafer 13 arranged in the region of the image field 11 in the image plane 12 . The wafer 13 is held by a wafer holder 14 . The wafer holder 14 can be displaced in particular along the y-direction y via a wafer displacement drive 15 . The displacement of the reticle 7 on the one hand via the reticle displacement drive 9 and on the other hand the wafer 13 via the wafer displacement drive 15 can be synchronized with each other.

Bei der Lichtquelle 3 handelt es sich um eine EUV-Strahlungsquelle. Die Lichtquelle 3 emittiert insbesondere EUV-Strahlung 16, welche im Folgenden auch als Nutzstrahlung, Beleuchtungsstrahlung oder Beleuchtungslicht bezeichnet wird. Die Nutzstrahlung 16 hat insbesondere eine Wellenlänge im Bereich zwischen 5 nm und 30 nm. Bei der Lichtquelle 3 kann es sich um eine Plasmaquelle handeln, zum Beispiel um eine LPP-Quelle (Engl.: Laser Produced Plasma, mit Hilfe eines Lasers erzeugtes Plasma) oder um eine DPP-Quelle (Engl.: Gas Discharged Produced Plasma, mittels Gasentladung erzeugtes Plasma). Es kann sich auch um eine synchrotronbasierte Strahlungsquelle handeln. Bei der Lichtquelle 3 kann es sich um einen Freie-Elektronen-Laser (Engl.: Free-Electron-Laser, FEL) handeln.The light source 3 is an EUV radiation source. The light source 3 emits in particular EUV radiation 16, which is also referred to below as useful radiation, illumination radiation or illumination light. The useful radiation 16 has in particular a wavelength in the range between 5 nm and 30 nm. The light source 3 can be a plasma source, for example an LPP source (Engl .: Laser Produced Plasma, plasma generated with the help of a laser). or a DPP (Gas Discharged Produced Plasma) source. It can also be a synchrotron-based radiation source. The light source 3 can be a free-electron laser (FEL).

Die Beleuchtungsstrahlung 16, die von der Lichtquelle 3 ausgeht, wird von einem Kollektor 17 gebündelt. Bei dem Kollektor 17 kann es sich um einen Kollektor mit einer oder mit mehreren ellipsoidalen und/oder hyperboloiden Reflexionsflächen handeln. Die mindestens eine Reflexionsfläche des Kollektors 17 kann im streifenden Einfall (Engl.: Grazing Incidence, GI), also mit Einfallswinkeln größer als 45°, oder im normalen Einfall (Engl.: Normal Incidence, NI), also mit Einfallwinkeln kleiner als 45°, mit der Beleuchtungsstrahlung 16 beaufschlagt werden. Der Kollektor 17 kann einerseits zur Optimierung seiner Reflektivität für die Nutzstrahlung und andererseits zur Unterdrückung von Falschlicht strukturiert und/oder beschichtet sein.The illumination radiation 16 emanating from the light source 3 is bundled by a collector 17 . The collector 17 can be a collector with one or more ellipsoidal and/or hyperboloidal reflection surfaces. The at least one reflection surface of the collector 17 can be in grazing incidence (Engl.: Grazing Incidence, GI), i.e. with angles of incidence greater than 45°, or in normal incidence (Engl.: Normal Incidence, NI), i.e. with incidence angles smaller than 45° , are acted upon by the illumination radiation 16 . The collector 17 can be structured and/or coated on the one hand to optimize its reflectivity for the useful radiation and on the other hand to suppress stray light.

Nach dem Kollektor 17 propagiert die Beleuchtungsstrahlung 16 durch einen Zwischenfokus in einer Zwischenfokusebene 18. Die Zwischenfokusebene 18 kann eine Trennung zwischen einem Strahlungsquellenmodul, aufweisend die Lichtquelle 3 und den Kollektor 17, und der Beleuchtungsoptik 4 darstellen.After the collector 17, the illumination radiation 16 propagates through an intermediate focus in an intermediate focal plane 18. The intermediate focal plane 18 can represent a separation between a radiation source module, comprising the light source 3 and the collector 17, and the illumination optics 4.

Die Beleuchtungsoptik 4 umfasst einen Umlenkspiegel 19 und diesem im Strahlengang nachgeordnet einen ersten Facettenspiegel 20. Bei dem Umlenkspiegel 19 kann es sich um einen planen Umlenkspiegel oder alternativ um einen Spiegel mit einer über die reine Umlenkungswirkung hinaus bündelbeeinflussenden Wirkung handeln. Alternativ oder zusätzlich kann der Umlenkspiegel 19 als Spektralfilter ausgeführt sein, der eine Nutzlichtwellenlänge der Beleuchtungsstrahlung 16 von Falschlicht einer hiervon abweichenden Wellenlänge trennt. Sofern der erste Facettenspiegel 20 in einer Ebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet ist, die zur Objektebene 6 als Feldebene optisch konjugiert ist, wird dieser auch als Feldfacettenspiegel bezeichnet. Der erste Facettenspiegel 20 umfasst eine Vielzahl von einzelnen ersten Facetten 21, welche auch als Feldfacetten bezeichnet werden können. Von diesen ersten Facetten 21 sind in der 1 nur beispielhaft einige dargestellt.The illumination optics 4 comprises a deflection mirror 19 and a first facet mirror 20 downstream of this in the beam path. The deflection mirror 19 can be a plane deflection mirror or alternatively a mirror with an effect that influences the bundle beyond the pure deflection effect. Alternatively or additionally, the deflection mirror 19 can be designed as a spectral filter, which separates a useful light wavelength of the illumination radiation 16 from stray light of a different wavelength. If the first facet mirror 20 is arranged in a plane of the illumination optics 4 which is optically conjugate to the object plane 6 as the field plane, it is also referred to as a field facet mirror. The first facet mirror 20 includes a multiplicity of individual first facets 21, which can also be referred to as field facets. Of these first facets 21 are in the 1 only a few shown as examples.

Die ersten Facetten 21 können als makroskopische Facetten ausgeführt sein, insbesondere als rechteckige Facetten oder als Facetten mit bogenförmiger oder teilkreisförmiger Randkontur. Die ersten Facetten 21 können als plane Facetten oder alternativ als konvex oder konkav gekrümmte Facetten ausgeführt sein.The first facets 21 can be embodied as macroscopic facets, in particular as rectangular facets or as facets with an arcuate or part-circular edge contour. The first facets 21 can be embodied as planar facets or alternatively as convexly or concavely curved facets.

Wie beispielsweise aus der DE 10 2008 009 600 A1 bekannt ist, können die ersten Facetten 21 selbst jeweils auch aus einer Vielzahl von Einzelspiegeln, insbesondere einer Vielzahl von Mikrospiegeln, zusammengesetzt sein. Der erste Facettenspiegel 20 kann insbesondere als mikroelektromechanisches System (MEMS-System) ausgebildet sein. Für Details wird auf die DE 10 2008 009 600 A1 verwiesen.For example from the DE 10 2008 009 600 A1 is known, the first facets 21 themselves can each also be composed of a large number of individual mirrors, in particular a large number of micromirrors. The first facet mirror 20 can be embodied in particular as a microelectromechanical system (MEMS system). For details refer to the DE 10 2008 009 600 A1 referred.

Zwischen dem Kollektor 17 und dem Umlenkspiegel 19 verläuft die Beleuchtungsstrahlung 16 horizontal, also längs der y-Richtung y.The illumination radiation 16 runs horizontally between the collector 17 and the deflection mirror 19, ie along the y-direction y.

Im Strahlengang der Beleuchtungsoptik 4 ist dem ersten Facettenspiegel 20 nachgeordnet ein zweiter Facettenspiegel 22. Sofern der zweite Facettenspiegel 22 in einer Pupillenebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet ist, wird dieser auch als Pupillenfacettenspiegel bezeichnet. Der zweite Facettenspiegel 22 kann auch beabstandet zu einer Pupillenebene der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet sein. In diesem Fall wird die Kombination aus dem ersten Facettenspiegel 20 und dem zweiten Facettenspiegel 22 auch als spekularer Reflektor bezeichnet. Spekulare Reflektoren sind bekannt aus der US 2006/0132747 A1 , der EP 1 614 008 B1 und der US 6,573,978 .A second facet mirror 22 is arranged downstream of the first facet mirror 20 in the beam path of the illumination optics 4. If the second facet mirror 22 is arranged in a pupil plane of the illumination optics 4, it is also referred to as a pupil facet mirror. The second facet mirror 22 can also be arranged at a distance from a pupil plane of the illumination optics 4 . In this case, the combination of the first facet mirror 20 and the second facet mirror 22 is also referred to as a specular reflector. Specular reflectors are known from US 2006/0132747 A1 , the EP 1 614 008 B1 and the U.S. 6,573,978 .

Der zweite Facettenspiegel 22 umfasst eine Mehrzahl von zweiten Facetten 23. Die zweiten Facetten 23 werden im Falle eines Pupillenfacettenspiegels auch als Pupillenfacetten bezeichnet.The second facet mirror 22 includes a plurality of second facets 23. In the case of a pupil facet mirror, the second facets 23 are also referred to as pupil facets.

Bei den zweiten Facetten 23 kann es sich ebenfalls um makroskopische Facetten, die beispielsweise rund, rechteckig oder auch hexagonal berandet sein können, oder alternativ um aus Mikrospiegeln zusammengesetzte Facetten handeln. Diesbezüglich wird ebenfalls auf die DE 10 2008 009 600 A1 verwiesen.The second facets 23 can also be macroscopic facets, which can have round, rectangular or hexagonal borders, for example, or alternatively facets composed of micromirrors. In this regard, also on the DE 10 2008 009 600 A1 referred.

Die zweiten Facetten 23 können plane oder alternativ konvex oder konkav gekrümmte Reflexionsflächen aufweisen.The second facets 23 can have plane or alternatively convexly or concavely curved reflection surfaces.

Die Beleuchtungsoptik 4 bildet somit ein doppelt facettiertes System. Dieses grundlegende Prinzip wird auch als Wabenkondensor (Engl.: Fly's Eye Integrator) bezeichnet.The illumination optics 4 thus forms a double-faceted system. This basic principle is also known as a honeycomb condenser (English: Fly's Eye Integrator).

Es kann vorteilhaft sein, den zweiten Facettenspiegel 22 nicht exakt in einer Ebene, welche zu einer Pupillenebene der Projektionsoptik 10 optisch konjugiert ist, anzuordnen. Insbesondere kann der zweite Facettenspiegel 22 gegenüber einer Pupillenebene der Projektionsoptik 10 verkippt angeordnet sein, wie es zum Beispiel in der DE 10 2017 220 586 A1 beschrieben ist.It can be advantageous not to arrange the second facet mirror 22 exactly in a plane which is optically conjugate to a pupil plane of the projection optics 10 . In particular, the second facet mirror 22 can be arranged tilted relative to a pupil plane of the projection optics 10, as is the case, for example, in FIG DE 10 2017 220 586 A1 is described.

Mit Hilfe des zweiten Facettenspiegels 22 werden die einzelnen ersten Facetten 21 in das Objektfeld 5 abgebildet. Der zweite Facettenspiegel 22 ist der letzte bündelformende oder auch tatsächlich der letzte Spiegel für die Beleuchtungsstrahlung 16 im Strahlengang vor dem Objektfeld 5.The individual first facets 21 are imaged in the object field 5 with the aid of the second facet mirror 22 . The second facet mirror 22 is the last beam-forming mirror or actually the last mirror for the illumination radiation 16 in the beam path in front of the object field 5.

Bei einer weiteren, nicht dargestellten Ausführung der Beleuchtungsoptik 4 kann im Strahlengang zwischen dem zweiten Facettenspiegel 22 und dem Objektfeld 5 eine Übertragungsoptik angeordnet sein, die insbesondere zur Abbildung der ersten Facetten 21 in das Objektfeld 5 beiträgt. Die Übertragungsoptik kann genau einen Spiegel, alternativ aber auch zwei oder mehr Spiegel aufweisen, welche hintereinander im Strahlengang der Beleuchtungsoptik 4 angeordnet sind. Die Übertragungsoptik kann insbesondere einen oder zwei Spiegel für senkrechten Einfall (NI-Spiegel, Normal Incidence Spiegel) und/oder einen oder zwei Spiegel für streifenden Einfall (GI-Spiegel, Gracing Incidence Spiegel) umfassen.In another embodiment of the illumination optics 4 that is not shown, transmission optics can be arranged in the beam path between the second facet mirror 22 and the object field 5 , which particularly contributes to the imaging of the first facets 21 in the object field 5 . The transmission optics can have exactly one mirror, but alternatively also have two or more mirrors, which are arranged one behind the other in the beam path of the illumination optics 4 . The transmission optics can in particular comprise one or two mirrors for normal incidence (NI mirror, normal incidence mirror) and/or one or two mirrors for grazing incidence (GI mirror, gracing incidence mirror).

Die Beleuchtungsoptik 4 hat bei der Ausführung, die in der 1 gezeigt ist, nach dem Kollektor 17 genau drei Spiegel, nämlich den Umlenkspiegel 19, den ersten Facettenspiegel 20 und den zweiten Facettenspiegel 22.The illumination optics 4 has the version in which 1 shown, exactly three mirrors after the collector 17, namely the deflection mirror 19, the first facet mirror 20 and the second facet mirror 22.

Bei einer weiteren Ausführung der Beleuchtungsoptik 4 kann der Umlenkspiegel 19 auch entfallen, so dass die Beleuchtungsoptik 4 nach dem Kollektor 17 dann genau zwei Spiegel aufweisen kann, nämlich den ersten Facettenspiegel 20 und den zweiten Facettenspiegel 22.In a further embodiment of the illumination optics 4, the deflection mirror 19 can also be omitted, so that the illumination optics 4 can then have exactly two mirrors after the collector 17, namely the first facet mirror 20 and the second facet mirror 22.

Die Abbildung der ersten Facetten 21 mittels der zweiten Facetten 23 beziehungsweise mit den zweiten Facetten 23 und einer Übertragungsoptik in die Objektebene 6 ist regelmäßig nur eine näherungsweise Abbildung.The imaging of the first facets 21 by means of the second facets 23 or with the second facets 23 and transmission optics in the object plane 6 is generally only an approximate imaging.

Die Projektionsoptik 10 umfasst eine Mehrzahl von Spiegeln Mi, welche gemäß ihrer Anordnung im Strahlengang der Projektionsbelichtungsanlage 1 durchnummeriert sind.The projection optics 10 includes a plurality of mirrors Mi, which are numbered consecutively according to their arrangement in the beam path of the projection exposure system 1 .

Bei dem in der 1 dargestellten Beispiel umfasst die Projektionsoptik 10 sechs Spiegel M1 bis M6. Alternativen mit vier, acht, zehn, zwölf oder einer anderen Anzahl an Spiegeln Mi sind ebenso möglich. Bei der Projektionsoptik 10 handelt es sich um eine doppelt obskurierte Optik. Der vorletzte Spiegel M5 und der letzte Spiegel M6 haben jeweils eine Durchtrittsöffnung für die Beleuchtungsstrahlung 16. Die Projektionsoptik 10 hat eine bildseitige numerische Apertur, die größer ist als 0,5 und die auch größer sein kann als 0,6 und die beispielsweise 0,7 oder 0,75 betragen kann.At the in the 1 example shown, the projection optics 10 includes six mirrors M1 to M6. Alternatives with four, eight, ten, twelve or another number of mirrors Mi are also possible. The projection optics 10 are doubly obscured optics. The penultimate mirror M5 and the last mirror M6 each have a passage opening for the illumination radiation 16. The projection optics 10 has an image-side numerical aperture which is greater than 0.5 and which can also be greater than 0.6 and which, for example, is 0.7 or 0.75.

Reflexionsflächen der Spiegel Mi können als Freiformflächen ohne Rotationssymmetrieachse ausgeführt sein. Alternativ können die Reflexionsflächen der Spiegel Mi als asphärische Flächen mit genau einer Rotationssymmetrieachse der Reflexionsflächenform gestaltet sein. Die Spiegel Mi können, genauso wie die Spiegel der Beleuchtungsoptik 4, hochreflektierende Beschichtungen für die Beleuchtungsstrahlung 16 aufweisen. Diese Beschichtungen können als Multilayer-Beschichtungen, insbesondere mit alternierenden Lagen aus Molybdän und Silizium, gestaltet sein.Reflection surfaces of the mirrors Mi can be designed as free-form surfaces without an axis of rotational symmetry. Alternatively, the reflection surfaces of the mirrors Mi can be designed as aspherical surfaces with exactly one axis of rotational symmetry of the reflection surface shape. Just like the mirrors of the illumination optics 4, the mirrors Mi can have highly reflective coatings for the illumination radiation 16. These coatings can be designed as multilayer coatings, in particular with alternating layers of molybdenum and silicon.

Die Projektionsoptik 10 hat einen großen Objekt-Bildversatz in der y-Richtung y zwischen einer y-Koordinate eines Zentrums des Objektfeldes 5 und einer y-Koordinate des Zentrums des Bildfeldes 11. Dieser Objekt-Bild-Versatz in der y-Richtung y kann in etwa so groß sein wie ein z-Abstand zwischen der Objektebene 6 und der Bildebene 12.The projection optics 10 has a large object-image offset in the y-direction y between a y-coordinate of a center of the object field 5 and a y-coordinate of the center of the image field 11. This object-image offset in the y-direction y can be about as large as a z-distance between the object plane 6 and the image plane 12.

Die Projektionsoptik 10 kann insbesondere anamorphotisch ausgebildet sein. Sie weist insbesondere unterschiedliche Abbildungsmaßstäbe βx, βy in x- und y-Richtung x, y auf. Die beiden Abbildungsmaßstäbe βx, βy der Projektionsoptik 10 liegen bevorzugt bei (βx, βy) = (+/- 0,25, /+- 0,125). Ein positiver Abbildungsmaßstab β bedeutet eine Abbildung ohne Bildumkehr. Ein negatives Vorzeichen für den Abbildungsmaßstab β bedeutet eine Abbildung mit Bildumkehr.The projection optics 10 can in particular be anamorphic. In particular, it has different image scales βx, βy in the x and y directions x, y. The two image scales βx, βy of the projection optics 10 are preferably at (βx, βy)=(+/−0.25, /+−0.125). A positive image scale β means an image without image reversal. A negative sign for the imaging scale β means imaging with image inversion.

Die Projektionsoptik 10 führt somit in x-Richtung x, das heißt in Richtung senkrecht zur Scanrichtung, zu einer Verkleinerung im Verhältnis 4:1.The projection optics 10 thus leads to a reduction in the ratio 4:1 in the x-direction x, ie in the direction perpendicular to the scanning direction.

Die Projektionsoptik 10 führt in y-Richtung y, das heißt in Scanrichtung, zu einer Verkleinerung von 8:1.The projection optics 10 lead to a reduction of 8:1 in the y-direction y, ie in the scanning direction.

Andere Abbildungsmaßstäbe sind ebenso möglich. Auch vorzeichengleiche und absolut gleiche Abbildungsmaßstäbe in x- und y-Richtung x, y, zum Beispiel mit Absolutwerten von 0,125 oder von 0,25, sind möglich.Other imaging scales are also possible. Image scales with the same sign and absolutely the same in the x and y directions x, y, for example with absolute values of 0.125 or 0.25, are also possible.

Die Anzahl von Zwischenbildebenen in der x- und in der y-Richtung x, y im Strahlengang zwischen dem Objektfeld 5 und dem Bildfeld 11 kann gleich sein oder kann, je nach Ausführung der Projektionsoptik 10, unterschiedlich sein. Beispiele für Projektionsoptiken mit unterschiedlichen Anzahlen derartiger Zwischenbilder in x- und y-Richtung x, y sind bekannt aus der US 2018/0074303 A1 .The number of intermediate image planes in the x and y directions x, y in the beam path between the object field 5 and the image field 11 can be the same or, depending on the design of the projection optics 10, can be different. Examples of projection optics with different numbers of such intermediate images in the x and y directions x, y are known from U.S. 2018/0074303 A1 .

Jeweils eine der zweiten Facetten 23 ist genau einer der ersten Facetten 21 zur Ausbildung jeweils eines Beleuchtungskanals zur Ausleuchtung des Objektfeldes 5 zugeordnet. Es kann sich hierdurch insbesondere eine Beleuchtung nach dem Köhlerschen Prinzip ergeben. Das Fernfeld wird mit Hilfe der ersten Facetten 21 in eine Vielzahl an Objektfeldern 5 zerlegt. Die ersten Facetten 21 erzeugen eine Mehrzahl von Bildern des Zwischenfokus auf den diesen jeweils zugeordneten zweiten Facetten 23.In each case one of the second facets 23 is assigned to precisely one of the first facets 21 in order to form a respective illumination channel for illuminating the object field 5 . In this way, in particular, lighting can result according to Köhler's principle. The far field is broken down into a large number of object fields 5 with the aid of the first facets 21 . The first facets 21 generate a plurality of images of the intermediate focus on the second facets 23 assigned to them.

Die ersten Facetten 21 werden jeweils von einer zugeordneten zweiten Facette 23 einander überlagernd zur Ausleuchtung des Objektfeldes 5 auf das Retikel 7 abgebildet. Die Ausleuchtung des Objektfeldes 5 ist insbesondere möglichst homogen. Sie weist vorzugsweise einen Uniformitätsfehler von weniger als 2 % auf. Die Felduniformität kann über die Überlagerung unterschiedlicher Beleuchtungskanäle erreicht werden.The first facets 21 are each imaged onto the reticle 7 by an associated second facet 23 in a superimposed manner in order to illuminate the object field 5 . In particular, the illumination of the object field 5 is as homogeneous as possible. It preferably has a uniformity error of less than 2%. Field uniformity can be achieved by superimposing different illumination channels.

Durch eine Anordnung der zweiten Facetten 23 kann geometrisch die Ausleuchtung der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 definiert werden. Durch Auswahl der Beleuchtungskanäle, insbesondere der Teilmenge der zweiten Facetten 23, die Licht führen, kann die Intensitätsverteilung in der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 eingestellt werden. Diese Intensitätsverteilung wird auch als Beleuchtungssetting oder Beleuchtungspupillenfüllung bezeichnet.The illumination of the entrance pupil of the projection optics 10 can be defined geometrically by arranging the second facets 23 . The intensity distribution in the entrance pupil of the projection optics 10 can be set by selecting the illumination channels, in particular the subset of the second facets 23 that guide light. This intensity distribution is also referred to as illumination setting or illumination pupil filling.

Eine ebenfalls bevorzugte Pupillenuniformität im Bereich definiert ausgeleuchteter Abschnitte einer Beleuchtungspupille der Beleuchtungsoptik 4 kann durch eine Umverteilung der Beleuchtungskanäle erreicht werden.A likewise preferred pupil uniformity in the area of defined illuminated sections of an illumination pupil of the illumination optics 4 can be achieved by redistributing the illumination channels.

Im Folgenden werden weitere Aspekte und Details der Ausleuchtung des Objektfeldes 5 sowie insbesondere der Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 beschrieben.Further aspects and details of the illumination of the object field 5 and in particular the entrance pupil of the projection optics 10 are described below.

Die Projektionsoptik 10 kann insbesondere eine homozentrische Eintrittspupille aufweisen. Diese kann zugänglich sein. Sie kann auch unzugänglich sein.The projection optics 10 can in particular have a homocentric entrance pupil. This can be accessible. It can also be inaccessible.

Die Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 lässt sich regelmäßig mit dem zweiten Facettenspiegel 22 nicht exakt ausleuchten. Bei einer Abbildung der Projektionsoptik 10, welche das Zentrum des zweiten Facettenspiegels 22 telezentrisch auf den Wafer 13 abbildet, schneiden sich die Aperturstrahlen oftmals nicht in einem einzigen Punkt. Es lässt sich jedoch eine Fläche finden, in welcher der paarweise bestimmte Abstand der Aperturstrahlen minimal wird. Diese Fläche stellt die Eintrittspupille oder eine zu ihr konjugierte Fläche im Ortsraum dar. Insbesondere zeigt diese Fläche eine endliche Krümmung.The entrance pupil of the projection optics 10 cannot regularly be illuminated exactly with the second facet mirror 22 . When imaging the projection optics 10, which telecentrically images the center of the second facet mirror 22 onto the wafer 13, the aperture rays often do not intersect at a single point. However, a surface can be found in which the distance between the aperture rays, which is determined in pairs, is minimal. This surface represents the entrance pupil or a surface conjugate to it in position space. In particular, this surface shows a finite curvature.

Es kann sein, dass die Projektionsoptik 10 unterschiedliche Lagen der Eintrittspupille für den tangentialen und für den sagittalen Strahlengang aufweist. In diesem Fall sollte ein abbildendes Element, insbesondere ein optisches Bauelement der Übertragungsoptik, zwischen dem zweiten Facettenspiegel 22 und dem Retikel 7 bereitgestellt werden. Mit Hilfe dieses optischen Elements kann die unterschiedliche Lage der tangentialen Eintrittspupille und der sagittalen Eintrittspupille berücksichtigt werden.The projection optics 10 may have different positions of the entrance pupil for the tangential and for the sagittal beam path. In this case, an imaging element, in particular an optical component of the transmission optics, should be provided between the second facet mirror 22 and the reticle 7 . With the help of this optical element, the different positions of the tangential entrance pupil and the sagittal entrance pupil can be taken into account.

Bei der in der 1 dargestellten Anordnung der Komponenten der Beleuchtungsoptik 4 ist der zweite Facettenspiegel 22 in einer zur Eintrittspupille der Projektionsoptik 10 konjugierten Fläche angeordnet. Der erste Facettenspiegel 20 ist verkippt zur Objektebene 6 angeordnet. Der erste Facettenspiegel 20 ist verkippt zu einer Anordnungsebene angeordnet, die vom Umlenkspiegel 19 definiert ist. Der erste Facettenspiegel 20 ist verkippt zu einer Anordnungsebene angeordnet, die vom zweiten Facettenspiegel 22 definiert ist.At the in the 1 shown arrangement of the components of the illumination optics 4, the second facet mirror 22 is arranged in a conjugate to the entrance pupil of the projection optics 10 surface. The first facet mirror 20 is arranged tilted to the object plane 6 . The first facet mirror 20 is tilted relative to an arrangement plane that is defined by the deflection mirror 19 . The first facet mirror 20 is tilted relative to an arrangement plane that is defined by the second facet mirror 22 .

Eine wie zuvor erwähnte Projektionsoptik 10 kann eine Spiegelvorheizeinrichtung (Engl.: Mirror Preheater, MPH) zum Temperieren der Spiegel M1 bis M6 aufweisen. Dabei kann jedem Spiegel M1 bis M6 eine derartige Spiegelvorheizeinrichtung zugeordnet sein. Nachfolgend wird auf nur eine Spiegelvorheizeinrichtung Bezug genommen. Die Spiegelvorheizeinrichtung ist geeignet, den jeweiligen Spiegel M1 bis M6 mit Hilfe von Infrarotstrahlung (IR-Strahlung) zu erwärmen. Die Spiegelvorheizeinrichtung ist daher eine IR-Beleuchtungsoptik oder kann als solche bezeichnet werden.A projection optics 10 as mentioned above can have a mirror preheater (MPH) for tempering the mirrors M1 to M6. Such a mirror preheating device can be assigned to each mirror M1 to M6. In the following, only one mirror pre-heater is referred to. The mirror preheating device is suitable for heating the respective mirrors M1 to M6 with the aid of infrared radiation (IR radiation). The mirror preheater is therefore, or may be referred to as, IR illuminating optics.

Dabei wird die IR Strahlung mit Hilfe eines Lichtwellenleiters zu der jeweiligen Spiegelvorheizeinrichtung befördert. Der Lichtwellenleiter wird von einer Verbauposition der Spiegelvorheizeinrichtung bis zu einer sogenannten Splicebox innerhalb der Projektionsoptik 10 verlegt. Um den Lichtwellenleiter vor mechanischer Beschädigung zu schützen, kann dieser in einem Metallschutzschlauch verlegt werden. In der Splicebox wird der blanke Lichtwellenleiter ohne Metallschutzschlauch eingelegt, um zu einem späteren Zeitpunkt einen anderen Lichtwellenleiter über einen sogenannten Splice mit dem Lichtwellenleiter der Spiegelvorheizeinrichtung zu verbinden.The IR radiation is conveyed to the respective mirror preheating device with the aid of an optical waveguide. The optical waveguide is routed from an installation position of the mirror preheating device to what is known as a splice box within the projection optics 10 . In order to protect the fiber optic cable from mechanical damage, it can be laid in a metal protective tube. In the splice box, the bare fiber optic cable is inserted without a protective metal tube, so that another fiber optic cable can be connected to the fiber optic cable at a later point in time using a so-called splice To connect fiber optics of the mirror preheating device.

Diese vorgenannte Verbindungseinrichtung muss mehrfach gelöst und wieder verbunden werden können. Ferner muss die Verbindung Zugbelastungen standhalten können. Ferner ist bei der Materialwahl auf die speziellen EUV Umgebungsbedingungen Rücksicht zu nehmen.This aforementioned connecting device must be able to be released and reconnected several times. Furthermore, the connection must be able to withstand tensile loads. Furthermore, the special EUV environmental conditions must be taken into account when selecting the material.

2 zeigt ein Beheizungssystem 100 umfassend eine wie zuvor erwähnte Spiegelvorheizeinrichtung 102, die geeignet ist, Infrarotstrahlung 104 zu emittieren. Mit Hilfe eines Fasersteckers 106 ist ein Lichtwellenleiter 108 mit der Spiegelvorheizeinrichtung 102 gekoppelt. Der Faserstecker 106 bildet eine Schnittstelle oder ein Interface zu der Spiegelvorheizeinrichtung 102. 2 Fig. 1 shows a heating system 100 comprising a mirror pre-heater 102 as previously mentioned, which is suitable for emitting infrared radiation 104. An optical waveguide 108 is coupled to the mirror preheating device 102 with the aid of a fiber connector 106 . The fiber connector 106 interfaces with the mirror preheater 102.

Der Lichtwellenleiter 108 ist mit Hilfe eines Schutzschlauchs 110, insbesondere eines Metallschutzschlauchs, geschützt. Der Schutzschlauch 110 ist in mehrere Schutzschlauchabschnitte 112, 114, 116 unterteilt, die mit Hilfe von Verbindungseinrichtungen 118 lösbar miteinander verbunden sind. Die Anzahl der Schutzschlauchabschnitte 112, 114, 116 und der Verbindungseinrichtungen 118 ist grundsätzlich beliebig. Nach der Integration der Spiegelvorheizeinrichtung 102 in die Projektionsoptik 10 können die Schutzschlauchabschnitte 114, 116 entfernt werden, um den Lichtwellenleiter 108 zumindest teilweise freizulegen.The optical waveguide 108 is protected with the aid of a protective tube 110, in particular a metal protective tube. The protective tube 110 is divided into several protective tube sections 112, 114, 116, which are detachably connected to one another with the aid of connecting devices 118. The number of protective tube sections 112, 114, 116 and the connecting devices 118 is basically arbitrary. After the mirror preheating device 102 has been integrated into the projection optics 10, the protective tube sections 114, 116 can be removed in order to expose the optical waveguide 108 at least partially.

Der Faserstecker 106, der Lichtwellenleiter 108, der Schutzschlauch 110 und die Verbindungseinrichtungen 118 bilden eine fertig konfektionierte Lichtwellenleiteranordnung 120 des Beheizungssystems 100. Mit Hilfe der Verbindungseinrichtungen 118 ist der Schutzschlauch 110 modular aufgebaut.The fiber connector 106, the optical waveguide 108, the protective hose 110 and the connecting devices 118 form a ready-made optical waveguide arrangement 120 of the heating system 100. With the aid of the connecting devices 118, the protective hose 110 has a modular structure.

3 zeigt eine schematische Ansicht einer Ausführungsform einer wie zuvor erwähnten Verbindungseinrichtung 118. Die Verbindungseinrichtung 118 weist ein erstes Verbindungselement 122, das beispielsweise mit dem Schutzschlauchabschnitt 112 fest verbunden ist, und ein zweites Verbindungselement 124 auf, das beispielsweise fest mit dem Schutzschlauchabschnitt 114 verbunden ist. Beispielsweise sind die Verbindungselemente 122, 124 mit dem jeweiligen Schutzschlauchabschnitt 112, 114 verklebt und/oder vercrimpt oder auf sonstige beliebige Art und Weise fest verbunden. 3 shows a schematic view of an embodiment of a connecting device 118 as mentioned above. The connecting device 118 has a first connecting element 122, which is fixedly connected to the protective hose section 112, for example, and a second connecting element 124, which is fixedly connected to the protective hose section 114, for example. For example, the connecting elements 122, 124 are glued to the respective protective hose section 112, 114 and/or crimped or firmly connected in any other way.

Die Verbindungselemente 122, 124 sind formschlüssig miteinander verbindbar. Eine formschlüssige Verbindung entsteht durch das Ineinander- oder Hintergreifen von zwei Verbindungspartnern. Eine formschlüssige Verbindung ist zerstörungsfrei wieder lösbar. Das heißt, dass die Verbindungselemente 122, 124 beliebig miteinander verbunden und wieder voneinander gelöst werden können. Beispielsweise sind die Verbindungselemente 122, 124 mit Hilfe einer Schraubverbindung, eines Bajonettverschlusses oder dergleichen lösbar miteinander verbunden.The connecting elements 122, 124 can be connected to one another in a form-fitting manner. A form-fitting connection is created by two connection partners engaging or engaging behind one another. A form-fitting connection can be released again without being destroyed. This means that the connecting elements 122, 124 can be connected to one another and detached from one another again as desired. For example, the connecting elements 122, 124 are detachably connected to one another with the aid of a screw connection, a bayonet catch or the like.

Der Lichtwellenleiter 108 ist mittig durch das erste Verbindungselement 122 hindurchgeführt. Hierzu weist das erste Verbindungselement 122 eine durch das gesamte erste Verbindungselement 122 führende Bohrung oder dergleichen auf. Das erste Verbindungselement 122 weist einen zylinderförmigen Befestigungsabschnitt 126 auf, der fest mit dem Schutzschlauchabschnitt 112 verbunden ist und durch den der Lichtwellenleiter 108 hindurchgeführt ist.The optical waveguide 108 is passed centrally through the first connecting element 122 . For this purpose, the first connecting element 122 has a bore or the like leading through the entire first connecting element 122 . The first connecting element 122 has a cylindrical fastening section 126 which is firmly connected to the protective tube section 112 and through which the optical waveguide 108 is passed.

An den Befestigungsabschnitt 126 schließt sich ein zylinderförmiger Verbindungsabschnitt 128 an. Auch durch den Verbindungsabschnitt 128 ist der Lichtwellenleiter 108 hindurchgeführt. Der Verbindungsabschnitt 128 kann einen kleineren Durchmesser als der Befestigungsabschnitt 126 aufweisen.A cylindrical connecting section 128 adjoins the fastening section 126 . The optical waveguide 108 is also routed through the connecting section 128 . The connection portion 128 may have a smaller diameter than the attachment portion 126 .

Der Verbindungsabschnitt 128 dient der formschlüssigen Verbindung des ersten Verbindungselements 122 mit dem zweiten Verbindungselement 124. Hierzu kann der Verbindungsabschnitt 128 ein Eingriffsbereich 130 aufweisen, der geeignet ist, in das zweite Verbindungselement 124 formschlüssig einzugreifen. Der Eingriffsbereich 130 kann Teil eines Bajonettverschlusses oder, wie in der 2 dargestellt, ein Gewinde, insbesondere ein Außengewinde, sein.The connecting section 128 is used for the form-fitting connection of the first connecting element 122 to the second connecting element 124. For this purpose, the connecting section 128 can have an engagement area 130 which is suitable for engaging in the second connecting element 124 in a form-fitting manner. The engagement area 130 can be part of a bayonet catch or, as in FIG 2 shown, be a thread, in particular an external thread.

Zwischen dem Eingriffsbereich 130 und dem Befestigungsabschnitt 126 ist an dem Verbindungsabschnitt 128 ein umlaufender Kopplungsbereich 132 vorgesehen. Der Kopplungsbereich 132 kann die Form einer Sechskantmutter aufweisen. Das heißt, dass der Kopplungsbereich 132 einen Außensechskant aufweisen kann. Der Kopplungsbereich 132 dient der Kopplung des ersten Verbindungselements 122 mit der Splicebox (nicht gezeigt).A circumferential coupling area 132 is provided on the connecting section 128 between the engagement area 130 and the fastening section 126 . The coupling portion 132 may be in the form of a hex nut. This means that the coupling area 132 can have an external hexagon. The coupling area 132 serves to couple the first connecting element 122 to the splice box (not shown).

Das erste Verbindungselement 122 ist ein einstückiges, insbesondere ein materialeinstückiges, Bauteil. „Einstückig“ oder „einteilig“ bedeutet vorliegend, dass das erste Verbindungselement 122 nicht aus unterschiedlichen Bauteilen zusammengesetzt ist, sondern als ein Bauteil oder eine Komponente gefertigt wird. Der Befestigungsabschnitt 126 und der Verbindungsabschnitt 128 mit dem Eingriffsbereich 130 und dem Kopplungsbereich 132 bildet somit ein durchgehendes einteiliges Bauteil. „Materialeinstückig“ bedeutet vorliegend, dass das erste Verbindungselement 122 durchgehend aus demselben Material gefertigt ist. Als geeignetes Material kommt beispielsweise ein metallischer Werkstoff, insbesondere Edelstahl, zur Anwendung. Das erste Verbindungselement 122 kann jedoch auch ein mehrteiliges Bauteil sein.The first connecting element 122 is a one-piece, in particular a one-piece material, component. In the present case, “in one piece” or “in one piece” means that the first connecting element 122 is not composed of different components, but is manufactured as one component or component. The fastening section 126 and the connecting section 128 with the engagement area 130 and the coupling area 132 thus form a continuous one-piece component. In the present case, “in one piece” means that the first connecting element 122 is made of the same material throughout. For example, a metallic material, in particular stainless steel, is used as a suitable material. However, the first connecting element 122 can also be a multi-part component.

Das zweite Verbindungselement 124 umfasst ebenfalls einen zylinderförmigen Befestigungsabschnitt 134, der fest mit dem Schutzschlauchabschnitt 114 verbunden ist. Der Befestigungsabschnitt 134 kann mit dem Schutzschlauchabschnitt 114 verklebt und/oder vercrimpt sein. An den Befestigungsabschnitt 134 schließt sich ein Verbindungsabschnitt 136 an, der geeignet ist, mit dem Verbindungsabschnitt 128 des ersten Verbindungselements 122 zusammenzuwirken, um die Verbindungselemente 122, 124 formschlüssig miteinander zu verbinden.The second connecting element 124 also includes a cylindrical fastening section 134 which is firmly connected to the protective hose section 114 . The fastening section 134 can be glued and/or crimped to the protective tube section 114 . The attachment section 134 is followed by a connection section 136 which is suitable for interacting with the connection section 128 of the first connection element 122 in order to connect the connection elements 122, 124 to one another in a form-fitting manner.

Der Verbindungsabschnitt 136 weist einen größeren Durchmesser als der Befestigungsabschnitt 134 auf. Der Verbindungsabschnitt 136 kann eine Hutmutter sein. Der Verbindungsabschnitt 136 kann gegenüber dem Befestigungsabschnitt 134 drehbar sein. An dem Verbindungsabschnitt 136 ist ein Gegeneingriffsbereich 138 vorgesehen, der dazu eingerichtet ist, formschlüssig in den Eingriffsbereich 130 des ersten Verbindungselements 122 einzugreifen. Der Gegeneingriffsbereich 138 kann ein Gewinde, insbesondere ein Außengewinde, sein. Der Gegeneingriffsbereich 138 kann auch Teil eines Bajonettverschlusses sein.The connecting section 136 has a larger diameter than the fastening section 134 . The connecting portion 136 may be an acorn nut. The connection portion 136 may be rotatable relative to the attachment portion 134 . A counter-engagement area 138 is provided on the connection section 136 and is set up to engage in an interlocking manner in the engagement area 130 of the first connection element 122 . The counter-engagement area 138 can be a thread, in particular an external thread. The counter-engagement area 138 can also be part of a bayonet lock.

In der 3 ist zwischen dem Eingriffsbereich 130 und dem Gegeneingriffsbereich 138 ein umlaufender radialer Spalt dargestellt. Tatsächlich greifen der Eingriffsbereich 130 und der Gegeneingriffsbereich 138, beispielsweise in Form einer Schraubverbindung, ineinander, um die Verbindungselemente 122, 124 formschlüssig miteinander zu verbinden. Der Spalt ist lediglich zur besseren Darstellung des Eingriffsbereichs 130 und des Gegeneingriffsbereichs 138 dargestellt.In the 3 a circumferential radial gap is shown between the engagement area 130 and the counter-engagement area 138 . In fact, the engagement area 130 and the counter-engagement area 138 interlock, for example in the form of a screw connection, in order to positively connect the connecting elements 122, 124 to one another. The gap is only shown to better illustrate the engagement area 130 and the counter-engagement area 138 .

Zum Verbinden der Schutzschlauchabschnitte 112, 114, 116 miteinander, können die Verbindungselemente 122, 124 durch ein Ineinanderschrauben der Verbindungsabschnitte 128, 136 formschlüssig miteinander verbunden werden. Soll der Lichtwellenleiter 108 zumindest teilweise freigelegt werden, ist es möglich, durch ein Trennen der Verbindungselemente 122, 124, den Schutzschlauchabschnitt 116 oder beide Schutzschlauchabschnitte 114, 116 von dem Lichtwellenleiter 108 abzuziehen.To connect the protective tube sections 112, 114, 116 to one another, the connecting elements 122, 124 can be positively connected to one another by screwing the connecting sections 128, 136 together. If the optical waveguide 108 is to be at least partially uncovered, it is possible to pull the protective tube section 116 or both protective tube sections 114, 116 off the optical waveguide 108 by separating the connecting elements 122, 124.

Die Verbindungseinrichtung 118 erfüllt die nachfolgend aufgeführten Anforderungen. Es ist ein mehrfaches Lösen und Verbinden der Schutzschlauchabschnitte 112, 114, 116 möglich. Die Verbindungseinrichtung 118 kann Zuglasten aufnehmen und Zuglasten übertragen. Durch den Einsatz von geeigneten Materialpaarungen ist die Verbindungseinrichtung 118 für EUV Umgebungsbedingungen geeignet.The connection device 118 meets the requirements listed below. Multiple detachment and connection of the protective hose sections 112, 114, 116 is possible. The connecting device 118 can absorb tensile loads and transmit tensile loads. Through the use of suitable material pairings, the connecting device 118 is suitable for EUV environmental conditions.

Das mehrfache Lösen der Verbindungseinrichtung 118 ist durch den Einsatz einer Schraubverbindung umsetzbar. Hierzu ist an dem ersten Verbindungselement 122 der Verbindungseinrichtung 118 der Eingriffsbereich 130 in Form eines Außengewindes vorgesehen. An dem zweiten Verbindungselement 124 kann der Verbindungsabschnitt 136 in Form einer Überwurfmutter eingesetzt werden. Die Verbindung zwischen den Verbindungselementen 122, 124 kann aber auch durch einen Bajonettverschluss oder ähnliches umgesetzt werden.The multiple loosening of the connecting device 118 can be implemented by using a screw connection. For this purpose, the engagement area 130 in the form of an external thread is provided on the first connecting element 122 of the connecting device 118 . The connecting section 136 in the form of a union nut can be used on the second connecting element 124 . However, the connection between the connecting elements 122, 124 can also be implemented by a bayonet catch or the like.

Durch die Schraub- oder Bajonettverbindung zwischen den Verbindungselementen 122, 124 können Zuglasten, die während des Integrationsprozesses auf den konfektionierten Schutzschlauch 110 einwirken von einem auf den anderen Schutzschlauchabschnitt 112, 114, 116 weitergeleitet werden, ohne dass sich die Verbindung zwischen den Verbindungselementen 122, 124 löst. Bei der Materialpaarung der Verbindungselemente 122, 124 wird aufgrund der hohen Sauberkeitsanforderungen für Produkte im EUV Umfeld auf eine geeignete Materialpaarung geachtet.Due to the screw or bayonet connection between the connecting elements 122, 124, tensile loads that act on the assembled protective hose 110 during the integration process can be passed on from one protective hose section 112, 114, 116 to the other without the connection between the connecting elements 122, 124 solves. When pairing the materials of the connecting elements 122, 124, due to the high cleanliness requirements for products in the EUV environment, attention is paid to a suitable material pairing.

Obwohl die vorliegende Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen beschrieben wurde, ist sie vielfältig modifizierbar.Although the present invention has been described using exemplary embodiments, it can be modified in many ways.

BezugszeichenlisteReference List

11: Projektionsbelichtungsanlageprojection exposure system
22: Beleuchtungssystemlighting system
33: Lichtquellelight source
44: Beleuchtungsoptiklighting optics
55: Objektfeldobject field
66: Objektebeneobject level
77: Retikelreticle
88th: Retikelhalterreticle holder
99: Retikelverlagerungsantriebreticle displacement drive
1010: Projektionsoptikprojection optics
1111: Bildfeldimage field
1212: Bildebenepicture plane
1313: Waferwafers
1414: Waferhalterwafer holder
1515: WaferverlagerungsantriebWafer displacement drive
1616: Beleuchtungsstrahlungillumination radiation
1717: Kollektorcollector
1818: Zwischenfokusebeneintermediate focal plane
1919: Umlenkspiegeldeflection mirror
2020: erster Facettenspiegelfirst facet mirror
2121: erste Facettefirst facet
2222: zweiter Facettenspiegelsecond facet mirror
2323: zweite Facettesecond facet
100100: Beheizungssystemheating system
102102: Spiegelvorheizeinrichtungmirror pre-heating device
104104: Infrarotstrahlunginfrared radiation
106106: Fasersteckerfiber connector
108108: Lichtwellenleiteroptical fiber
110110: Schutzschlauchprotective hose
112112: Schutzschlauchabschnittprotective hose section
114114: Schutzschlauchabschnittprotective hose section
116116: Schutzschlauchabschnittprotective hose section
118118: Verbindungseinrichtungconnecting device
120120: Lichtwellenleiteranordnungoptical fiber arrangement
122122: Verbindungselementfastener
124124: Verbindungselementfastener
126126: Befestigungsabschnittattachment section
128128: Verbindungsabschnittconnection section
130130: Eingriffsbereichintervention area
132132: Kopplungsbereichcoupling area
134134: Befestigungsabschnittattachment section
136136: Verbindungsabschnittconnection section
138138: Gegeneingriffsbereich counter intervention area
M1M1: Spiegelmirror
M2M2: Spiegelmirror
M3M3: Spiegelmirror
M4M4: Spiegelmirror
M5M5: Spiegelmirror
M6M6: Spiegelmirror
xx: x-Richtungx direction
yy: y-Richtungy direction
ze.g: z-Richtungz direction

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturPatent Literature Cited

DE 102008009600 A1 [0045, 0049]
US 2006/0132747 A1 [0047]
EP 1614008 B1 [0047]
US6573978 [0047]
DE 102017220586 A1 [0052]
US 2018/0074303 A1 [0066]

Claims

Protective tube (110) for an optical waveguide (108) of a projection exposure system (1), having a first protective tube section (112) for receiving the optical waveguide (108), a second protective tube section (114) for receiving the optical fiber (108), and a connecting device (118) connected to the protective tube sections (112, 114) for positively connecting the first protective tube section (112) to the second protective tube section (114).

protective hose claim 1 , The connecting device (118) having a first connecting element (122) and a second connecting element (124) which can be positively connected to the first connecting element (122).

protective hose claim 2 , wherein the first connecting element (122) is firmly connected to the first protective tube section (112), and wherein the second connecting element (124) is firmly connected to the second protective tube section (114).

protective hose claim 3 , wherein the first connecting element (122) is firmly connected to the first protective tube section (112) with the aid of a first fastening section (126), and wherein the second connecting element (124) is firmly connected to the second protective tube section (114 ) connected is.

Protective hose according to one of claims 2 - 4 , wherein the first connecting element (122) has a first connecting section (128), wherein the second connecting element (124) has a second connecting section (136), and wherein the first connecting section (128) can be positively connected to the second connecting section (136).

protective hose claim 5 , wherein the first connection section (128) has an engagement area (130) and the second connection section (136) has a counter-engagement area (138), and wherein the engagement area (130) and the counter-engagement area (138) are designed to positively engage in one another in order to Connecting element (122) to be positively connected to the second connecting element (124).

protective hose claim 6 , wherein the engagement area (130) and the counter-engagement area (138) form a screw cap or a bayonet cap.

Protective hose according to one of claims 2 - 7 , wherein one of the connecting elements (122, 124) has a coupling region (132).

protective hose claim 8 , wherein the coupling area (132) has an external hexagon.

Projection exposure system (1) with a protective tube (110) according to one of Claims 1 - 9 .