DE102021134291A1 - SENSOR WINDING CONFIGURATION FOR INDUCTIVE POSITION ENCODER - Google Patents

SENSOR WINDING CONFIGURATION FOR INDUCTIVE POSITION ENCODER Download PDF

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Abstract

Ein induktiver Positionscodierer umfasst eine Skala, einen Detektor und einen Signalprozessor. Die Skala umfasst ein periodisches Muster von Signalmodulationselementen (SME), die entlang einer Messachse (MA) mit einer räumlichen Wellenlänge W1 angeordnet sind. Der Detektor umfasst Sensorelemente und eine felderzeugende Spule, die einen sich ändernden Magnetfluss erzeugt. Die Sensorelemente umfassen leitfähige Schleifen, die Detektorsignale bereitstellen, die auf einen lokalen Effekt auf den sich ändernden Magnetfluss reagieren, der von benachbarten SME bereitgestellt wird. Einige oder alle der leitfähigen Schleifen sind gemäß einer schleifeninternen Verschiebungsbeziehung konfiguriert, wobei gleiche „verschobene Anteile“ einer Schleife um W1/4K in entgegengesetzte Richtungen verschoben sind. K ist eine ungerade ganze Zahl. Die schleifeninterne Verschiebungsbeziehung kann dazu verwendet werden, K-te Komponenten für die K-te räumliche Harmonische in den Detektorsignalen zu unterdrücken und gleichzeitig seit langem bestehende schädliche Layoutprobleme zu überwinden. Sie lässt sich leicht mit räumlichen Filtertechniken in „Schleifenbreite“ kombinieren, die andere Signalkomponenten der räumlichen Harmonischen filtern.An inductive position encoder includes a scale, a detector, and a signal processor. The scale comprises a periodic pattern of signal modulation elements (SME) arranged along a measurement axis (MA) with a spatial wavelength W1. The detector includes sensing elements and a field generating coil that creates a changing magnetic flux. The sensor elements include conductive loops that provide detector signals responsive to a local effect on the changing magnetic flux provided by neighboring SMEs. Some or all of the conductive loops are configured according to an intra-loop shifting relationship, where equal "shifted portions" of a loop are shifted W1/4K in opposite directions. K is an odd integer. The in-loop shifting relationship can be used to suppress Kth spatial harmonic components in the detector signals while overcoming long-standing deleterious layout problems. It is easily combined with "loop width" spatial filtering techniques that filter other signal components of the spatial harmonics.

Description

ALLGEMEINER STAND DER TECHNIKBACKGROUND ART

Technisches Gebiettechnical field

Diese Offenbarung betrifft Messinstrumente und insbesondere induktive Positionscodierer, die in Präzisionsmessinstrumenten verwendet werden können.This disclosure relates to measuring instruments, and more particularly to inductive position encoders that can be used in precision measuring instruments.

Beschreibung der verwandten TechnikDescription of related art

Verschiedene Codiererkonfigurationen können verschiedene Typen von optischen, kapazitiven, magnetischen, induktiven, Bewegungs- und/oder Positionswandlern umfassen. Diese Wandler verwenden verschiedene geometrische Konfigurationen eines Senders und eines Empfängers in einem Lesekopf, um die Bewegung zwischen dem Lesekopf und einer Skala zu messen.Different encoder configurations can include different types of optical, capacitive, magnetic, inductive, motion, and/or position transducers. These transducers use various geometric configurations of a transmitter and a receiver in a readhead to measure movement between the readhead and a scale.

Die US-Patente Nr. 6,011,389 (das '389-Patent), 7,239,130 (das '130-Patent) und 6,124,708 (das '708-Patent) beschreiben Induktionsstrom-Positionswandler, die in hochgenauen Anwendungen verwendbar sind; die US-Patente Nr. 5,973,494 (das '494-Patent) und 6,002,250 (das '250-Patent) beschreiben induktive Inkrementalpositionsmessschieber und lineare Skalen, einschließlich Signalerzeugungs- und -verarbeitungsschaltungen; und die US-Patente Nr. 5,886,519 (das '519-Patent), 5,841,274 (das '274-Patent) und 5,894,678 (das '678-Patent) beschreiben induktive Absolutpositionsmessschieber und elektronische Bandmaße, die einen Induktionsstromwandler verwenden. Die US-Patente Nr. 10,520,335 (das '335-Patent), 10,612,943 (das '943-Patent) und 10,775,199 (das '199-Patent) offenbaren Verfeinerungen der Wicklungskonfiguration, die zum Verbessern der Genauigkeit, Robustheit und Leichtigkeit der Ausrichtung von induktiven Positionscodierern nützlich sind. Alle vorstehenden Patentschriften werden hiermit durch Bezugnahme in ihrer Gesamtheit hierin aufgenommen. Wie in diesen Patenten und Anmeldungen beschrieben, kann ein Induktionsstromwandler unter Verwendung von Leiterplattentechnologie hergestellt werden und ist weitgehend immun gegen Kontamination. Allerdings kann die Fähigkeit derartiger Systeme eingeschränkt sein, bestimmte Kombinationen von von Benutzern gewünschten Merkmalen bereitzustellen, wie z. B. Kombinationen von kompakter Größe, hoher Auflösung, Genauigkeit, geringen Kosten, Robustheit gegen Kontamination, Robustheit gegenüber Fehlausrichtungen usw. Konfigurationen von Codierern, die verbesserte Kombinationen derartiger Merkmale bereitstellen, wären wünschenswert.the U.S. Patent Nos. 6,011,389 (the '389 patent), 7,239,130 (the '130 patent), and 6,124,708 (the '708 patent) describe induced current position transducers useful in high precision applications; the U.S. Patent Nos. 5,973,494 (the '494 patent) and 6,002,250 (the '250 patent) describe inductive position calipers and linear scales including signal generation and processing circuits; and the U.S. Patent Nos. 5,886,519 (the '519 patent), 5,841,274 (the '274 patent), and 5,894,678 (the '678 patent) describe inductive absolute position calipers and electronic tape measures that use an inductive current transformer. the U.S. Patent Nos. 10,520,335 (the '335 patent), 10,612,943 (the '943 patent), and 10,775,199 (the '199 patent) disclose refinements in winding configuration useful for improving the accuracy, robustness, and ease of alignment of inductive position encoders. All of the foregoing patents are hereby incorporated herein by reference in their entirety. As described in these patents and applications, an induction current transformer can be manufactured using printed circuit board technology and is largely immune to contamination. However, such systems may be limited in their ability to provide certain combinations of features desired by users, such as: B. combinations of compact size, high resolution, accuracy, low cost, robustness to contamination, robustness to misalignment, etc. Configurations of encoders that provide improved combinations of such features would be desirable.

KURZDARSTELLUNGEXECUTIVE SUMMARY

Diese Kurzdarstellung wird bereitgestellt, um eine Auswahl von Konzepten in einer vereinfachten Form einzuführen, die nachstehend in der detaillierten Beschreibung weiter beschrieben werden. Diese Kurzdarstellung soll weder Schlüsselmerkmale des beanspruchten Gegenstands identifizieren noch als Hilfe beim Bestimmen des Umfangs des beanspruchten Gegenstands dienen.This summary is provided to introduce a selection of concepts in a simplified form that are further described below in the detailed description. This summary is not intended to identify key features of the claimed subject matter, nor is it intended to be used as an aid in determining the scope of the claimed subject matter.

Es wird ein elektronischer Positionscodierer bereitgestellt, der zum Messen einer relativen Position zwischen zwei Elementen entlang einer Messachsenrichtung verwendbar ist. Bei verschiedenen Implementierungen umfasst der elektronische Positionscodierer eine Skala, einen Detektorabschnitt und eine Signalverarbeitungskonfiguration.An electronic position encoder is provided that can be used to measure a relative position between two elements along a measurement axis direction. In various implementations, the electronic position encoder includes a scale, a detector section, and a signal processing configuration.

Die Skala erstreckt sich entlang der Messachsenrichtung und umfasst ein periodisches Skalenmuster, das mindestens einen ersten Typ von Signalmodulationselementen umfasst. Das periodische Skalenmuster weist eine räumliche Wellenlänge W1 auf. Die Signalmodulationselemente vom ersten Typ umfassen ähnliche leitfähige Platten oder ähnliche leitfähige Schleifen, die sich entlang der Messachsenrichtung entsprechend der räumlichen Wellenlänge W1 befinden. Der Detektorabschnitt ist dazu konfiguriert, nahe dem periodischen Skalenmuster montiert zu werden und sich entlang der Messachsenrichtung relativ zu dem periodischen Skalenmuster zu bewegen. Bei verschiedenen Implementierungen umfasst der Detektorabschnitt eine felderzeugende Spule und mindestens einen jeweiligen Satz von Sensorelementen entsprechend einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase (z. B. zwei jeweilige Sätze, deren räumliche Phase sich um 90 Grad unterscheidet, um Quadratursignale bereitzustellen, oder drei jeweilige Sätze, deren räumliche Phase sich um 120 Grad unterscheidet, um Dreiphasensignale bereitzustellen). Die felderzeugende Spule ist auf einem Substrat befestigt und umgibt einen Innenraum, der während des Betriebs mit einer effektiven Region des periodischen Skalenmusters von Signalmodulationselementen ausgerichtet ist. Wie hierin verwendet, kann der Begriff „umgibt“ in verschiedenen Implementierungen „umgibt vollständig“ oder „umgibt teilweise“ bedeuten. Die einzige Einschränkung besteht darin, dass die felderzeugende Spule dazu konfiguriert ist, als Reaktion auf ein Spulenansteuerungssignal einen sich ändernden Magnetfluss in dem Innenraum auf eine Weise zu erzeugen, die den Betrieb gemäß den hier offenbarten und beanspruchten Prinzipien unterstützt. Jeder jeweilige Satz von Sensorelementen ist entlang der Messachsenrichtung angeordnet und auf dem Substrat befestigt. Die Elemente des Satzes von Sensorelementen umfassen leitfähige Schleifen oder leitfähige Schleifenabschnitte, die einen effektiven Sensorelementraum EffASEN entsprechend dem Abschnitt ihres Sensorelements definieren, der mit dem von der felderzeugenden Spule umgebenen Innenraum ausgerichtet ist oder diesen überlappt.The scale extends along the measurement axis direction and comprises a periodic scale pattern comprising at least a first type of signal modulation elements. The periodic scale pattern has a spatial wavelength W1. The first type signal modulation elements comprise similar conductive plates or similar conductive loops located along the measurement axis direction corresponding to the spatial wavelength W1. The detector section is configured to be mounted near the periodic scale pattern and to move along the measurement axis direction relative to the periodic scale pattern. In various implementations, the detector section includes a field-generating coil and at least one respective set of sensor elements corresponding to a respective nominal spatial phase (e.g., two respective sets whose spatial phase differs by 90 degrees to provide quadrature signals, or three respective sets whose spatial phase differs by 120 degrees to provide three-phase signals). The field generating coil is mounted on a substrate and encloses an interior space which, during operation, is aligned with an effective region of the periodic dial pattern of signal modulating elements. As used herein, the term "surrounds" can mean "completely surrounds" or "partially surrounds" in various implementations. The only limitation is that the field generating coil is configured to generate changing magnetic flux in the interior space in response to a coil drive signal in a manner that supports operation in accordance with the principles disclosed and claimed herein. Each respective set of sensor elements is arranged along the measurement axis direction and fixed on the substrate. The elements of the set of sensor elements comprise conductive loops or conductive loop sections that define an effective sensing element space EffASEN corresponding to the portion of their sensing element that aligns with or overlaps the interior space surrounded by the field generating coil.

Jeder jeweilige Satz von Sensorelementen ist dazu konfiguriert, Detektorsignale bereitzustellen, die auf einen lokalen Effekt auf dem sich ändernden Magnetfluss reagieren, der von benachbarten Signalmodulationselementen des Skalenmusters bereitgestellt wird, und der dessen jeweiliger nominaler räumlicher Phase entspricht. Die Signalverarbeitungskonfiguration ist funktional mit dem Detektorabschnitt verbunden, um das Spulenansteuerungssignal bereitzustellen und die relative Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster basierend auf Detektorsignalen zu bestimmen, die von dem Detektorabschnitt eingegeben werden.Each respective set of sensor elements is configured to provide detector signals responsive to a local effect on the changing magnetic flux provided by adjacent signal modulating elements of the dial pattern and corresponding to their respective nominal spatial phase. The signal processing configuration is operatively connected to the detector section to provide the coil drive signal and to determine the relative position between the detector section and the dial pattern based on detector signals input from the detector section.

Bei verschiedenen Implementierungen eines ersten Typs gemäß hierin offenbarten Prinzipien (wie z. B. in 9-13 gezeigt) umfasst mindestens ein jeweiliger Satz von Sensorelementen, die einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase entsprechen, die kombinierten Merkmale A1, B1 und C1 und kombiniert ferner mindestens eines der Merkmale D1 oder E1, die wie folgt definiert sind:

  • A1) Eine Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität, die einer ersten Wicklungsrichtung oder Polarität entsprechen, und die gleiche Anzahl von Schleifen mit negativer Polarität, die einer zweiten Wicklungsrichtung oder Polarität entgegengesetzt zur ersten entsprechen;
  • B1) Jede der Schleifen mit positiver und negativer Polarität weist einen effektiven Sensorelementgesamtraum EffASEN auf, der mit einem oder mehreren Innenräumen ausgerichtet ist oder diese(n) überlappt und derart definiert ist, dass er eine effektive y-Achsendimension EffYSEN entlang einer y-Achsenrichtung aufweist, die die Summe der Dimensionen des einen oder der mehreren Innenräume senkrecht zur Messachsenrichtung ist, und mindestens ein Großteil der Schleifen mit positiver und negativer Polarität sind derart konfiguriert, dass sie eine durchschnittliche Sensorelementdimension DSENavg=(EffASEN/EffYSEN) entlang der Messachsenrichtung bereitstellen, die innerhalb des Bereichs 0,33*W1 +/- 15 % liegt;
  • C1) Die Schleifen mit positiver Polarität sind derart konfiguriert, dass ihre effektiven Sensorelementräume in einer für Schleifen mit positiver Polarität vorgeschriebenen Beziehung (oder kurz: in einer vorgeschriebenen positiven Schleifenbeziehung) relativ zu der jeweiligen nominalen räumlichen Phase des jeweiligen Satzes von Sensorelementen angeordnet sind, und die Schleifen mit negativer Polarität sind derart konfiguriert, dass ihre effektiven Sensorelementräume in einer für Schleifen mit negativer Polarität vorgeschriebenen Beziehung (oder kurz: in einer vorgeschriebenen negativen Schleifenbeziehung) relativ zu der jeweiligen nominalen räumlichen Phase des jeweiligen Satzes von Sensorelementen angeordnet sind. Die vorgeschriebene positive Schleifenbeziehung umfasst eine Konfiguration, in der ein verschobener Anteil bis zur Hälfte eines effektiven Sensorelementgesamtraums der Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität entlang der Messachsenrichtung in einer ersten Richtung um einen Betrag (W1)/4K in Bezug auf die jeweilige nominale räumliche Phase verschoben ist und ein nominal gleich großer Anteil des effektiven Sensorelementgesamtraums der Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität entlang der Messachsenrichtung in einer Richtung entgegengesetzt zur ersten Richtung um einen Betrag (W1)/4K in Bezug auf die jeweilige nominale räumliche Phase verschoben ist, derart, dass die beiden verschobenen Anteile des effektiven Sensorelementgesamtraums der Schleifen mit positiver Polarität um (W1)/2K relativ zueinander verschoben sind, wobei K 3, 5, 7 oder 9 ist. Die vorgeschriebene negative Schleifenbeziehung umfasst eine Konfiguration, in der ein verschobener Anteil bis zur Hälfte eines effektiven Sensorelementgesamtraums der Anzahl von Schleifen mit negativer Polarität entlang der Messachsenrichtung in einer ersten Richtung um einen Betrag (W1)/4K in Bezug auf die jeweilige nominale räumliche Phase verschoben ist und der nominal gleich große verschobene Anteil des effektiven Sensorelementgesamtraums der Anzahl von Schleifen mit negativer Polarität entlang der Messachsenrichtung in einer Richtung entgegengesetzt zur ersten Richtung um einen Betrag (W1)/4K in Bezug auf die jeweilige nominale räumliche Phase verschoben ist, derart, dass die ersten beiden verschobenen Anteile des effektiven Sensorelementgesamtraums der Schleifen mit negativer Polarität um (W1)/2K relativ zueinander verschoben sind;
  • D1) Jede der Schleifen mit positiver und negativer Polarität umfasst einen effektiven Sensorelementraum EffASEN, der eine maximale Dimension DSENmax entlang der Messachsenrichtung aufweist, die höchstens 0,45*W1 beträgt; und
  • E1) Der jeweilige Satz von Sensorelementen, der einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase (SETSENPh0) entspricht, ist in einer Konfiguration mit zwei Abschnitten konfiguriert, die umfassen: einen ersten getrennten Abschnitt, der die gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität umfasst; und einen zweiten getrennten Abschnitt, der nominal entlang der Messachsenrichtung mit dem ersten Abschnitt ausgerichtet ist und der die gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität wie der erste getrennte Abschnitt umfasst; wobei der erste und der zweite getrennte Abschnitt durch einen Spalt getrennt sind, der sich entlang der Messachsenrichtung zwischen dem ersten Abschnitt und dem zweiten Abschnitt befindet, wobei der Spalt entlang der Messachsenrichtung mindestens so breit ist wie eine der Schleifen mit positiver oder negativer Polarität und sich kein effektiver Schleifenraum mit positiver Polarität oder effektiver Schleifenraum mit negativer Polarität des jeweiligen Satzes von Sensorelementen in dem Spalt befindet;
wobei der jeweilige Satz von Sensorelementen, der der jeweiligen nominalen räumlichen Phase (SETSENPh0) entspricht, in einer praktischen Konfiguration dazu konfiguriert ist, die ein oder mehrere räumlich gefilterte Detektorsignale bereitstellt, die dazu verwendet werden können, sowohl eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer 3. räumlichen Harmonischen als auch eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer K-ten räumlichen Harmonischen, die ansonsten möglicherweise zu Fehlern in der bestimmten relativen Position zwischen Detektorabschnitt und Skalenmuster beitragen, zu reduzieren oder zu unterdrücken.In various implementations of a first type according to principles disclosed herein (e.g. in 9-13 shown) comprises at least a respective set of sensor elements corresponding to a respective nominal spatial phase, the combined features A1, B1 and C1 and further combines at least one of the features D1 or E1, which are defined as follows:
  • A1) A number of positive polarity loops corresponding to a first winding direction or polarity and the same number of negative polarity loops corresponding to a second winding direction or polarity opposite to the first;
  • B1) Each of the positive and negative polarity loops has an effective sensor element total space EffASEN that is aligned with or overlaps one or more interior spaces and is defined such that it has an effective y-axis dimension EffYSEN along a y-axis direction , which is the sum of the dimensions of the one or more interior spaces perpendicular to the sense axis direction, and at least a majority of the positive and negative polarity loops are configured to provide an average sensor element dimension DSENavg=(EffASEN/EffYSEN) along the sense axis direction that is within the range 0.33*W1 +/- 15%;
  • C1) The positive polarity loops are configured such that their effective sensor element spaces are arranged in a positive polarity loop prescribed relationship (or in short: in a prescribed positive loop relationship) relative to the respective nominal spatial phase of the respective set of sensor elements, and the negative polarity loops are configured such that their effective sensor element spaces are arranged in a negative polarity loop prescribed relationship (or in short: in a prescribed negative loop relationship) relative to the respective nominal spatial phase of the respective set of sensor elements. The prescribed positive loop relationship includes a configuration in which a shifted portion shifted up to half of an effective sensor element total space of the number of loops with positive polarity along the measurement axis direction in a first direction by an amount (W1)/4K with respect to the respective nominal spatial phase and a nominally equal proportion of the total effective sensor element space of the plurality of positive polarity loops is shifted along the measurement axis direction in a direction opposite to the first direction by an amount (W1)/4K with respect to the respective nominal spatial phase such that the both shifted portions of the effective sensor element total space of the positive polarity loops are shifted by (W1)/2K relative to each other, where K is 3, 5, 7 or 9. The prescribed negative loop relationship includes a configuration in which a shifted portion up to half of an effective sensor element total space of the number of negative polarity loops along the measurement axis direction is shifted in a first direction by an amount (W1)/4K with respect to the respective nominal spatial phase and the nominally equal shifted portion of the total effective sensor element space of the number of negative polarity loops along the measurement axis direction in a direction opposite to the first direction is shifted by an amount (W1)/4K with respect to the respective nominal spatial phase such that the first two shifted portions of the total effective sensor element space of the negative polarity loops are shifted by (W1)/2K relative to each other;
  • D1) Each of the positive and negative polarity loops comprises an effective sensor element space EffASEN having a maximum dimension DSENmax along the measurement axis direction that is at most 0.45*W1; and
  • E1) The respective set of sensor elements corresponding to a respective nominal spatial phase (SETSENPh0) is configured in a two-section configuration comprising: a first separate section having the same number of positive polarity loops and negative polarity loops ver polarity includes; and a second discrete portion nominally aligned with the first portion along the measurement axis direction and including the same number of positive polarity loops and negative polarity loops as the first discrete portion; wherein the first and second separated sections are separated by a gap located along the measurement axis direction between the first section and the second section, the gap along the measurement axis direction being at least as wide as one of the positive or negative polarity loops and itself no positive polarity effective loop space or negative polarity effective loop space of the respective set of sensor elements is in the gap;
wherein the respective set of sensor elements corresponding to the respective nominal spatial phase (SETSENPh0) is configured in a practical configuration to provide one or more spatially filtered detector signals that can be used to detect both a potentially unwanted detector signal component of a 3rd spatial harmonics as well as a potential undesired detector signal component of a Kth spatial harmonic that might otherwise contribute to errors in the determined relative position between detector section and scale pattern.

Als Folge der Implementierung der Merkmale A1, B1, C1 zusammen mit mindestens einem der vorstehend beschriebenen Merkmale D1 und/oder E1 ist der jeweilige Satz von Sensorelementen, der der jeweiligen nominalen räumlichen Phase entspricht, dadurch dazu konfiguriert, ein oder mehrere räumlich gefilterte Detektorsignale bereitzustellen, die dazu verwendet werden können, sowohl eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer 3. räumlichen Harmonischen als auch eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer K-ten räumlichen Harmonischen, die ansonsten möglicherweise zu Fehlern in der bestimmten relativen Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster beitragen, zu reduzieren oder zu unterdrücken. Darüber hinaus bietet die Konfiguration die vorstehend beschriebene räumliche Filterung, während sie auch eine neuartige „layoutfreundliche“ Schleifenanordnung zur Lösung von seit langem bestehenden schädlichen Layoutproblemen, wie nachstehend ausführlicher beschrieben, bereitstellt. Bei einigen Implementierungen vom ersten Typ kann es besonders vorteilhaft sein, wenn K=5 ist. In bestimmten Implementierungen vom ersten Typ kann es vorteilhaft sein, wenn mindestens ein Großteil der Schleifen mit positiver und negativer Polarität dazu konfiguriert sind, eine durchschnittliche Sensorelementdimension DSENavg bereitzustellen, die mindestens 0,29*W1 und höchstens 0,31*W1 beträgt, wie nachstehend ausführlicher in Bezug auf verschiedene Figuren beschrieben ist.As a result of implementing features A1, B1, C1 together with at least one of features D1 and/or E1 described above, the respective set of sensor elements corresponding to the respective nominal spatial phase is thereby configured to provide one or more spatially filtered detector signals that can be used to reduce both a potential unwanted detector signal component of a 3rd spatial harmonic and a potential unwanted detector signal component of a Kth spatial harmonic that might otherwise contribute to errors in the determined relative position between the detector section and the scale pattern or to suppress. In addition, the configuration provides the spatial filtering described above while also providing a novel "layout-friendly" loop arrangement to solve long-standing detrimental layout problems, as described in more detail below. In some implementations of the first type it can be particularly advantageous if K=5. In certain implementations of the first type, it may be advantageous if at least a majority of the positive and negative polarity loops are configured to provide an average sensor element dimension DSENavg that is at least 0.29*W1 and at most 0.31*W1, as follows is described in more detail with respect to various figures.

Bei verschiedenen Implementierungen vom ersten Typ kann jede jeweilige Schleife mit positiver oder negativer Polarität, die in einem jeweiligen Satz von Sensorelementen enthalten ist, der die Merkmale A1, B1, C1 und mindestens eines der Merkmale D1 und/oder E1 umfasst, dazu konfiguriert sein, einen jeweiligen effektiven Sensorelementraum EffASEN bereitzustellen, der einen effektiven Sensorelementraum EffASEN einer anderen jeweiligen Schleife mit positiver oder negativer Polarität, die in diesem jeweiligen Satz von Sensorelementen enthalten ist, nicht überlappt. Dies kann ein Layout mit geringeren Herstellungskosten erleichtern und/oder kann die Beseitigung von schädlichen Schleifenformunregelmäßigkeiten ermöglichen, die sich aus Layoutproblemen ergeben, die bei Verfahren des Standes der Technik zum Bereitstellen von Merkmalen der räumlichen Filterung und/oder der Reduzierung von Ausrichtungsfehlern auftreten. Im Stand der Technik gibt es keine Konfiguration, die eine vergleichbare Kombination von räumlicher Filterleistung, Robustheit gegenüber Fehlausrichtung und relativ idealen Schleifenformen über einen Satz von Sensorelementen zusammen mit einem wirtschaftlichen Herstellungslayout bietet.In various implementations of the first type, each respective positive or negative polarity loop included in a respective set of sensor elements comprising features A1, B1, C1 and at least one of features D1 and/or E1 may be configured to: to provide a respective effective sensor element space EffASEN that does not overlap an effective sensor element space EffASEN of another respective positive or negative polarity loop included in that respective set of sensor elements. This may facilitate a lower manufacturing cost layout and/or may allow for the elimination of detrimental loop shape irregularities resulting from layout problems encountered in prior art methods of providing spatial filtering and/or alignment error reduction features. There is no configuration in the prior art that offers a comparable combination of spatial filter performance, robustness to misalignment, and relatively ideal loop shapes across a set of sensor elements, together with an economical manufacturing layout.

Bei einigen Implementierungen vom ersten Typ umfasst mindestens ein erster jeweiliger Satz von Sensorelementen entsprechend einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase die Merkmale A1, B1, C1 und D1 und nicht das Merkmal E1. Bei einigen derartigen Implementierungen kann der erste jeweilige Satz von Sensorelementen umfassen: einen ersten benachbarten Abschnitt, der die gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität umfasst; und einen zweiten benachbarten Abschnitt, der nominal entlang der Messachsenrichtung mit dem ersten benachbarten Abschnitt ausgerichtet ist und der die gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität wie der erste benachbarte Abschnitt umfasst. Der erste und der zweite benachbarte Abschnitt können entlang der Messachsenrichtung näher beieinander liegen als eine Breite einer der Schleifen mit positiver oder negativer Polarität (weshalb sie hierin als „benachbarte“ Abschnitte bezeichnet werden), und die jeweiligen Schleifen des ersten und zweiten benachbarten Abschnitts, die einander am nächsten sind, können entgegengesetzte Schleifenpolaritäten aufweisen. Bei einigen derartigen Implementierungen kann der elektronische Positionscodierer mindestens einen zweiten jeweiligen Satz von Sensorelementen entsprechend einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase umfassen, die sich um 90 Grad von der nominalen räumlichen Phase des ersten jeweiligen Satzes von Sensorelementen unterscheidet, wobei: der zweite jeweilige Satz von Sensorelementen die Merkmale A1, B1, C1, D1 und E1 umfasst; der zweite jeweilige Satz von Sensorelementen derart konfiguriert ist, dass die jeweiligen Schleifen seines ersten und zweiten getrennten Abschnitts, die einander am nächsten sind, die gleichen Schleifenpolaritäten aufweisen; der erste jeweilige Satz von Sensorelementen einen ersten Raumschwerpunkt seines effektiven Sensorelementgesamtraums aufweist, der sich entlang der Messachse zwischen seinem ersten und zweiten benachbarten Abschnitt befindet; der zweite jeweilige Satz von Sensorelementen einen zweiten Raumschwerpunkt seines effektiven Sensorelementgesamtraums aufweist, der sich entlang der Messachse zwischen seinem ersten und zweiten getrennten Abschnitt befindet; und der erste und der zweite jeweilige Satz von Sensorelementen derart angeordnet sind, dass ihr jeweiliger erster und zweiter Raumschwerpunkt an demselben Ort entlang der Messachsenrichtung ausgerichtet ist. Derartige Implementierungen mit ausgerichteten Schwerpunkten können bestimmte Vorteile hinsichtlich des Abweisens bestimmter Fehler aufgrund einer „Neigungs“-Fehlausrichtung zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster bieten, während gleichzeitig ein wirtschaftliches Layout und eine wirtschaftliche Herstellung erleichtert werden, wie nachstehend in Bezug auf verschiedene Figuren ausführlicher beschrieben ist. Bei einigen derartigen Implementierungen ist jede jeweilige Schleife mit positiver oder negativer Polarität, die in einem des jeweiligen ersten oder zweiten Satzes von Sensorelementen enthalten ist, dazu konfiguriert, einen jeweiligen effektiven Sensorelementraum EffASEN bereitzustellen, der einen effektiven Sensorelementraum EffASEN einer anderen jeweiligen Schleife mit positiver oder negativer Polarität, die in demselben des ersten oder zweiten jeweiligen Satzes von Sensorelementen enthalten ist, nicht überlappt.In some first-type implementations, at least a first respective set of sensor elements corresponding to a respective nominal spatial phase includes features A1, B1, C1, and D1 and not feature E1. In some such implementations, the first respective set of sensor elements may include: a first adjacent section including the same number of positive polarity loops and negative polarity loops; and a second adjacent section nominally aligned with the first adjacent section along the measurement axis direction and including the same number of positive polarity loops and negative polarity loops as the first adjacent section. The first and second adjacent sections may be closer together along the measurement axis direction than a width of one of the positive or negative polarity loops (which is why they are referred to herein as "adjacent" sections), and the respective loops of the first and second adjacent sections that are closest to each other may have opposite loop polarities. In some such implementations, the electronic position encoder may include at least a second respective set of sensor elements corresponding to a respective nominal spatial phase sen that differs by 90 degrees from the nominal spatial phase of the first respective set of sensor elements, wherein: the second respective set of sensor elements comprises features A1, B1, C1, D1 and E1; the second respective set of sensor elements is configured such that the respective loops of its first and second separated portions that are closest to each other have the same loop polarities; the first respective set of sensor elements has a first centroid of its total effective sensor element space located along the measurement axis between its first and second adjacent portions; the second respective set of sensor elements has a second centroid of its total effective sensor element space located along the measurement axis between its first and second discrete portions; and the first and second respective sets of sensor elements are arranged such that their respective first and second centroids are aligned at the same location along the measurement axis direction. Such implementations with aligned centroids can provide certain advantages in repelling certain errors due to "tilt" misalignment between the detector section and the dial pattern, while facilitating economical layout and manufacture, as described in more detail below with respect to various figures . In some such implementations, each respective positive or negative polarity loop included in one of the respective first or second set of sensing elements is configured to provide a respective effective sensing element space EffASEN that is an effective sensing element space EffASEN of another respective positive or negative polarity loop of negative polarity contained in the same of the first or second respective set of sensor elements does not overlap.

Bei verschiedenen Implementierungen, die zwei benachbarte Abschnitte oder zwei getrennte Abschnitte umfassen, wie vorstehend beschrieben, kann der elektronische Positionscodierer gemäß M1 oder M2 konfiguriert sein, wobei: M1) der erste benachbarte (oder getrennte) Abschnitt dazu konfiguriert ist, ein erstes Detektorsignal auszugeben, und der zweite benachbarte (oder getrennte) Abschnitt dazu konfiguriert ist, ein zweites Detektorsignal auszugeben, und der Signalprozessor dazu konfiguriert ist, die relative Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster mindestens teilweise basierend auf einer Kombination des ersten und zweiten Signals zu bestimmen; oder M2) der erste benachbarte (oder getrennte) Abschnitt mit dem zweiten benachbarten (oder getrennten) Abschnitt in Reihe geschaltet ist, um ein kombiniertes Signal zu bilden, und die Reihenschaltung derart konfiguriert ist, dass die jeweiligen Signalbeiträge des ersten und zweiten Abschnitts in dem kombinierten Signal additiv sind; und der Signalprozessor dazu konfiguriert ist, die relative Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster mindestens teilweise basierend auf dem kombinierten Signal zu bestimmen. Im Fall benachbarter Abschnitte, die in Reihe geschaltet sind, können der erste und der zweite benachbarte Abschnitt in einigen Implementierungen als Teile eines kontinuierlichen, ununterbrochenen Satzes von Sensorelementen interpretiert werden.In various implementations that include two adjacent sections or two separate sections as described above, the electronic position encoder may be configured according to M1 or M2, wherein: M1) the first adjacent (or separate) section is configured to output a first detector signal, and the second adjacent (or separate) portion is configured to output a second detector signal and the signal processor is configured to determine the relative position between the detector portion and the dial pattern based at least in part on a combination of the first and second signals; or M2) the first adjacent (or separate) section is connected in series with the second adjacent (or separate) section to form a combined signal, and the series connection is configured such that the respective signal contributions of the first and second sections in the combined signal are additive; and the signal processor is configured to determine the relative position between the detector portion and the dial pattern based at least in part on the combined signal. In the case of adjacent sections connected in series, in some implementations the first and second adjacent sections may be interpreted as parts of a continuous, uninterrupted set of sensor elements.

Bei einigen Implementierungen vom ersten Typ umfasst mindestens ein erster jeweiliger Satz von Sensorelementen entsprechend einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase die Merkmale A1, B1, C1 und das Merkmal E1. Bei einigen derartigen Implementierungen kann der erste jeweilige Satz von Sensorelementen derart konfiguriert sein, dass die jeweiligen Schleifen seines ersten und zweiten getrennten Abschnitts, die einander am nächsten sind, die gleiche Schleifenpolarität aufweisen. Einige dieser Implementierungen können mindestens einen zweiten jeweiligen Satz von Sensorelementen entsprechend einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase umfassen, die sich um 90 Grad von der nominalen räumlichen Phase des ersten jeweiligen Satzes von Sensorelementen unterscheidet, wobei: der zweite jeweilige Satz von Sensorelementen die Merkmale A1, B1, C1 und E1 umfasst; der zweite jeweilige Satz von Sensorelementen derart konfiguriert ist, dass die jeweiligen Schleifen seines ersten und zweiten getrennten Abschnitts, die einander am nächsten sind, entgegengesetzte Schleifenpolaritäten aufweisen; der erste jeweilige Satz von Sensorelementen einen ersten Raumschwerpunkt seines effektiven Sensorelementgesamtraums aufweist, der sich entlang der Messachse zwischen seinem ersten und zweiten getrennten Abschnitt befindet; der zweite jeweilige Satz von Sensorelementen einen zweiten Raumschwerpunkt seines effektiven Sensorelementgesamtraums aufweist, der sich entlang der Messachse zwischen seinem ersten und zweiten getrennten Abschnitt befindet; und der erste und der zweite jeweilige Satz von Sensorelementen derart angeordnet sind, dass ihr jeweiliger erster und zweiter Raumschwerpunkt an demselben Ort entlang der Messachsenrichtung ausgerichtet ist. Bei einigen derartigen Implementierungen ist jede jeweilige Schleife mit positiver oder negativer Polarität, die in einem des jeweiligen ersten oder zweiten Satzes von Sensorelementen enthalten ist, dazu konfiguriert, einen jeweiligen effektiven Sensorelementraum EffASEN bereitzustellen, der einen effektiven Sensorelementraum EffASEN einer anderen jeweiligen Schleife mit positiver oder negativer Polarität, der in demselben des ersten oder zweiten jeweiligen Satzes von Sensorelementen enthalten ist, nicht überlappt. Bei einigen derartigen Implementierungen umfassen sowohl der erste als auch der zweite jeweilige Satz von Sensorelementen sowohl die Merkmale D1 als auch E1.In some first-type implementations, at least a first respective set of sensor elements corresponding to a respective nominal spatial phase includes features A1, B1, C1 and feature E1. In some such implementations, the first respective set of sensor elements may be configured such that the respective loops of its first and second separate portions that are closest to each other have the same loop polarity. Some of these implementations may include at least a second respective set of sensor elements corresponding to a respective nominal spatial phase that differs by 90 degrees from the nominal spatial phase of the first respective set of sensor elements, where: the second respective set of sensor elements have features A1, B1 , C1 and E1; the second respective set of sensor elements is configured such that the respective loops of its first and second separated sections that are closest to each other have opposite loop polarities; the first respective set of sensor elements has a first centroid of its total effective sensor element space located along the measurement axis between its first and second discrete portions; the second respective set of sensor elements has a second centroid of its total effective sensor element space located along the measurement axis between its first and second discrete portions; and the first and second respective sets of sensor elements are arranged such that their respective first and second centroids are aligned at the same location along the measurement axis direction. In some such implementations, each respective positive or negative polarity loop included in one of the respective first or second set of sensing elements is configured to provide a respective effective sensing element space EffASEN that is an effective sensing element space EffASEN of another respective positive or negative polarity loop negative polarity contained in the same of the first or second respective set of sensor elements, not overlapped. In some such implementations, both the first and second respective sets of sensor elements include both features D1 and E1.

Bei einigen Implementierungen vom ersten Typ umfasst mindestens ein jeweiliger erster Satz von Sensorelementen, die einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase entsprechen, die Merkmale A1, B1, C1 und mindestens das Merkmal D1 und ist gemäß dem Merkmal C1 konfiguriert, wobei er mit einer Anzahl von Paaren benachbarter effektiver Sensorelementräume der Schleife mit positiver Polarität und der Schleife mit negativer Polarität, die entlang der Messachsenrichtung in der ersten Richtung um den Betrag (W1)/4K verschoben sind, und der gleichen Anzahl von Paaren benachbarter effektiver Sensorelementräume der Schleife mit positiver Polarität und der Schleife mit negativer Polarität konfiguriert ist, die entlang der Messachse in der der ersten Richtung entgegengesetzten Richtung um den Betrag (W1)/4K verschoben sind. Eine derartige Konfiguration, in der die Sensorschleifen mit positiver und negativer Polarität „paarweise“ verschoben werden, kann eine verbesserte Genauigkeit und/oder Robustheit gegenüber Fehlausrichtung (zum Beispiel im Vergleich zum Verschieben von Schleifen mit positiver Polarität in eine erste Richtung und Schleifen mit negativer Polarität in die entgegengesetzte Richtung) bieten. Bei einigen derartigen Implementierungen kann es vorteilhaft sein, wenn zwei jeweilige Paare benachbarter Schleifen, die sich an gegenüberliegenden Enden des ersten jeweiligen Satzes von Sensorelementen befinden, effektive Sensorelementräume von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität aufweisen, die entlang der Messachse in der gleichen Richtung in diesen beiden jeweiligen Paaren verschoben sind (z. B. wie unter Bezugnahme auf 12 aufgezeigt).In some first-type implementations, at least a respective first set of sensor elements corresponding to a respective nominal spatial phase includes features A1, B1, C1 and at least feature D1 and is configured according to feature C1, having a number of pairs adjacent effective sensing element spaces of the positive polarity loop and the negative polarity loop, which are shifted along the measurement axis direction in the first direction by the amount (W1)/4K, and the same number of pairs of adjacent effective sensing element spaces of the positive polarity loop and the loop is configured with negative polarity shifted along the measurement axis in the direction opposite to the first direction by the amount (W1)/4K. Such a configuration, in which the positive and negative polarity sensor loops are shifted "in pairs" may provide improved accuracy and/or robustness to misalignment (for example, compared to shifting positive polarity loops in a first direction and negative polarity loops in the opposite direction). In some such implementations, it may be advantageous if two respective pairs of adjacent loops located at opposite ends of the first respective set of sensor elements have effective sensor element spaces of positive polarity loops and negative polarity loops lying along the measurement axis in the same Direction are shifted in these two respective pairs (e.g. as referred to in FIG 12 shown).

Die verschiedenen vorstehend aufgezeigten Implementierungen vom ersten Typ können für den Betrieb mit einer „einspurigen“ Skala mit einer einzelnen Skalenmusterspur (z. B. wie nachstehend unter Bezugnahme auf 9, 10, 11 und 12 aufgezeigt), oder für den Betrieb mit einer „zweispurigen“ Skala mit zwei Skalenmusterspuren (z. B. wie nachstehend unter Bezugnahme auf 13 aufgezeigt) konfiguriert sein. In verschiedenen „zweispurigen“ Implementierungen umfasst das Skalenmuster Signalmodulationselemente, die in einer ersten und zweiten Spur angeordnet sind, die sich entlang der Messachsenrichtung erstreckt, und die felderzeugende Spule ist dazu konfiguriert, einen ersten Innenraumabschnitt zu umgeben, der mit der ersten Spur ausgerichtet ist, und einen zweiten Innenraum, der mit der zweiten Spur ausgerichtet ist. Bei derartigen Implementierungen kann ein jeweiliger Satz von Sensorelementen die Merkmale A1, B1, C1 und mindestens eines der Merkmale D1 und/oder E1 umfassen und umfasst er leitfähige Schleifen, die sich jeweils quer zur Messachsenrichtung über den ersten und zweiten Innenraumabschnitt erstrecken, um einen ersten und zweiten effektiven Sensorelementraumabschnitt zu definieren, die denjenigen Abschnitten des Sensorelements entsprechen, die mit dem ersten und zweiten Innenraumabschnitt ausgerichtet sind bzw. diese überlappen, wodurch ein Detektorsignalbeitrag, der in jeder leitfähigen Schleife entsteht, die jeweiligen Detektorsignalbeiträge von seinem ersten und zweiten effektiven Sensorelementraumabschnitt kombiniert.The various implementations of the first type outlined above can be designed to operate with a "single track" scale with a single scale pattern track (e.g. as described below with reference to 9 , 10 , 11 and 12 shown), or for operation with a "two track" scale with two scale pattern tracks (e.g. as below with reference to 13 shown) must be configured. In various "two-track" implementations, the dial pattern includes signal modulation elements arranged in first and second tracks that extend along the measurement axis direction, and the field-generating coil is configured to surround a first interior portion that is aligned with the first track. and a second interior space aligned with the second lane. In such implementations, a respective set of sensor elements can include the features A1, B1, C1 and at least one of the features D1 and/or E1 and includes conductive loops, each of which extends transversely to the measurement axis direction across the first and second interior sections, around a first and to define second effective sensor element space portions that correspond to those portions of the sensor element that are aligned with and overlap the first and second interior space portions, whereby a detector signal contribution arising in each conductive loop combines the respective detector signal contributions from its first and second effective sensor element space portions .

Bei einigen derartigen zweispurigen Implementierungen kann es vorteilhaft sein, eine Konfiguration wie folgt zu verwenden: Das Skalenmuster kann Signalmodulationselemente oder Signalmodulationselementabschnitte umfassen, die periodisch in der ersten Spur gemäß der Wellenlänge W1 angeordnet sind, und Signalmodulationselemente oder Signalmodulationselementabschnitte, die periodisch in der zweiten Spur gemäß der Wellenlänge W1 angeordnet sind, wobei die periodischen Anordnungen in der ersten und zweiten Spur gegeneinander um (W1)/2 versetzt sind. Die felderzeugende Spule ist dazu konfiguriert, eine erste Polarität eines sich ändernden Magnetflusses in dem ersten Innenraumabschnitt und eine entgegengesetzte zweite Polarität eines sich ändernden Magnetflusses in dem zweiten Innenraumabschnitt zu erzeugen.In some such two-lane implementations, it may be advantageous to use a configuration as follows: The scale pattern may include signal modulation elements or signal modulation element sections, which are periodically arranged in the first lane according to wavelength W1, and signal modulation elements or signal modulation element sections, which are periodically arranged in the second lane according to of wavelength W1, the periodic arrays in the first and second tracks being offset from each other by (W1)/2. The field generating coil is configured to generate a first polarity of changing magnetic flux in the first interior portion and an opposite second polarity of changing magnetic flux in the second interior portion.

Natürlich können die verschiedenen vorstehend aufgezeigten vorteilhaften Merkmale in jedem Codierer für mehrere von jeweiligen Sätzen von Sensorelementen verwendet werden, die mehreren jeweiligen räumlichen Phasen entsprechen (z. B. um Quadratursignale oder 3-Phasen-Signale bereitzustellen, wie vorstehend beschrieben). Zum Beispiel können in einigen derartigen Implementierungen die mehreren von jeweiligen Sätzen von Sensorelementen, die mehreren jeweiligen räumlichen Phasen entsprechen, jeweils mindestens die Merkmale A1, B1, C1 umfassen und kann mindestens einer der mehreren jeweiligen Sätze von Sensorelementen ferner mindestens das Merkmal E1 umfassen. Derartige Implementierungen können dadurch dazu konfiguriert sein, mehrere räumlich gefilterte Detektorsignale bereitzustellen, die dazu verwendbar sind, potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponenten der 3. räumlichen Harmonischen und Detektorsignalkomponenten der potenziellen unerwünschten K-ten räumlichen Harmonischen, die ansonsten möglicherweise zu Fehlern in der bestimmten relativen Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster beitragen, zu reduzieren oder zu unterdrücken. Bei einigen derartigen Implementierungen weist jeder der mehreren jeweiligen Sätze von Sensorelementen einen Raumschwerpunkt seines effektiven Sensorelementgesamtraums auf, der sich innerhalb seiner Spanne entlang der Messachse befindet, und können die mehreren jeweiligen Sätze von Sensorelementen derart konfiguriert sein, dass sich ihre jeweiligen Raumschwerpunkte an nominal demselben Ort entlang der Messachsenrichtung befinden. Derartige Konfigurationen können eine robuste Abweisung bestimmter Ausrichtungsfehler bereitstellen, wie nachstehend ausführlicher beschrieben ist. Bei einigen derartigen Implementierungen ist jede jeweilige Schleife mit positiver oder negativer Polarität, die in einem der mehreren jeweiligen Sätze von Sensorelementen enthalten ist, dazu konfiguriert, einen jeweiligen effektiven Sensorelementraum EffASEN bereitzustellen, der einen effektiven Sensorelementraum EffASEN einer anderen jeweiligen Schleife mit positiver oder negativer Polarität, die in demselben der mehreren jeweiligen Sätze von Sensorelementen enthalten ist, nicht überlappt.Of course, the various advantageous features outlined above can be used in each encoder for multiple respective sets of sensor elements corresponding to multiple respective spatial phases (e.g. to provide quadrature signals or 3-phase signals as described above). For example, in some such implementations, the plurality of respective sets of sensor elements corresponding to several respective spatial phases may each include at least features A1, B1, C1, and at least one of the plurality of respective sets of sensor elements may further include at least feature E1. Such implementations may thereby be configured to provide multiple spatially filtered detector signals that can be used to remove potential unwanted 3rd spatial harmonic detector signal components and potential unwanted Kth spatial harmonic detector signal components that might otherwise result in errors in the determined relative position between the Detector section and the scale pattern contribute to reduce or suppress. In some such implementations, each of the plurality of respective sets of sensor elements has a centroid of its effective sensor element total space located within its span along the measurement axis, and the plurality of respective sets of sensor elements may be configured such that their respective centroids are at nominally the same location along the measurement axis direction. Such configurations can provide robust rejection of certain alignment errors, as described in more detail below. In some such implementations, each respective positive or negative polarity loop included in one of the plurality of respective sets of sensor elements is configured to provide a respective effective sensor element space EffASEN that is an effective sensor element space EffASEN of another respective positive or negative polarity loop included in the same one of the plurality of respective sets of sensor elements does not overlap.

Bei verschiedenen Implementierungen eines zweiten Typs gemäß hierin offenbarten Prinzipien (z. B. wie in 14-17 gezeigt) umfasst mindestens ein jeweiliger Satz von Sensorelementen, die einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase entsprechen, die Merkmale A2 und B2, die wie folgt definiert sind:

  • A2) eine Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität, die einer ersten Wicklungsrichtung oder Polarität entsprechen, und die gleiche Anzahl von Schleifen mit negativer Polarität, die einer zweiten Wicklungsrichtung oder Polarität entgegengesetzt zur ersten entsprechen; und
  • B2) mindestens ein Großteil der Schleifen mit positiver Polarität und mindestens ein Großteil der Schleifen mit negativer Polarität sind derart konfiguriert, dass ihre effektiven Sensorelementräume in einer vorgeschriebenen schleifeninternen Verschiebungsbeziehung relativ zu der jeweiligen nominalen räumlichen Phase des jeweiligen Satzes von Sensorelementen angeordnet sind, wobei die schleifeninterne Verschiebungsbeziehung eine Konfiguration umfasst, bei der innerhalb jeder solchen Schleife ein schleifenintern verschobener Anteil von bis zu der Hälfte ihres effektiven Sensorelementraums entlang der Messachsenrichtung in einer ersten Richtung um einen Betrag (W1)/4K in Bezug auf die jeweilige nominale räumliche Phase verschoben ist, und der nominal gleich große schleifenintern verschobene Anteil ihres effektiven Sensorelementraums entlang der Messachsenrichtung in einer Richtung entgegengesetzt zur ersten Richtung um einen Betrag (W1)/4K in Bezug auf die jeweilige nominale räumliche Phase verschoben ist, wobei die beiden schleifenintern verschobenen Anteile um (W1)/2K relativ zueinander verschoben sind, wobei K 3, 5, 7 oder 9 ist.
In various implementations of a second type according to principles disclosed herein (e.g. as in 14-17 shown), at least a respective set of sensor elements corresponding to a respective nominal spatial phase includes features A2 and B2 defined as follows:
  • A2) a number of positive polarity loops corresponding to a first winding direction or polarity and the same number of negative polarity loops corresponding to a second winding direction or polarity opposite to the first; and
  • B2) at least a majority of the positive polarity loops and at least a majority of the negative polarity loops are configured such that their effective sensor element spaces are located in a prescribed in-loop shifting relationship relative to the respective nominal spatial phase of the respective set of sensor elements, the in-loop Displacement relationship includes a configuration in which within each such loop an intra-loop shifted portion of up to half of its effective sensor element space is shifted along the measurement axis direction in a first direction by an amount (W1)/4K with respect to the respective nominal spatial phase, and the nominally equal in-loop shifted portion of their effective sensor element space along the measurement axis direction in a direction opposite to the first direction by an amount (W1)/4K with respect to the respective nominal spatial pha se is shifted, the two in-loop shifted portions being shifted by (W1)/2K relative to each other, where K is 3, 5, 7 or 9.

Als Folge der Implementierung der Merkmale (A2 und B2), wie vorstehend aufgezeigt, wird der jeweilige Satz von Sensorelementen entsprechend der jeweiligen nominalen räumlichen Phase dadurch in einer praktischen Konfiguration konfiguriert, die ein oder mehrere räumlich gefilterte Detektorsignale bereitstellt, die dazu verwendet werden können, eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer K-ten räumlichen Harmonischen, die ansonsten möglicherweise zu Fehlern in der bestimmten relativen Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster beiträgt, zu reduzieren oder zu unterdrücken.As a result of implementing features (A2 and B2) as indicated above, the respective set of sensor elements corresponding to the respective nominal spatial phase is thereby configured in a practical configuration that provides one or more spatially filtered detector signals that can be used to to reduce or cancel a potentially unwanted detector signal component of a Kth spatial harmonic that might otherwise contribute to errors in the determined relative position between the detector section and the dial pattern.

Bei einigen Implementierungen vom zweiten Typ kann in den Schleifen mit positiver und negativer Polarität, die derart konfiguriert sind, dass ihre effektiven Sensorelementräume in der vorgeschriebenen schleifeninternen Verschiebungsbeziehung angeordnet sind, der schleifenintern verschobene Anteil nominal die Hälfte ihres effektiven Sensorelementraums betragen. Bei einigen Implementierungen vom zweiten Typ kann es besonders vorteilhaft sein, wenn alle Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität derart konfiguriert sind, dass ihre effektiven Sensorelementräume in der vorgeschriebenen schleifeninternen Verschiebungsbeziehung angeordnet sind.In some implementations of the second type, in the positive and negative polarity loops configured such that their effective sensing element spaces are arranged in the prescribed in-loop shifting relationship, the in-loop shifted fraction may be nominally half their effective sensing element space. In some implementations of the second type, it may be particularly advantageous if all positive polarity loops and negative polarity loops are configured such that their effective sensor element spaces are located in the prescribed in-loop shifting relationship.

Bei einigen Implementierungen vom zweiten Typ ist mindestens ein jeweiliger erster Satz von Sensorelementen gemäß den Merkmalen A2 und B2 konfiguriert, wobei er mindestens ein erstes Paar von Schleifen mit positiver und negativer Polarität, die dazu konfiguriert sind, nominal kongruente Formen für ihre effektiven Sensorelementräume aufweisen, und mindestens ein zweites Paar von Schleifen mit positiver und negativer Polarität umfasst, die dazu konfiguriert sind, nominal kongruente Formen für ihre effektiven Sensorelementräume aufweisen, wobei die kongruenten Formen des ersten und zweiten Paares nominal Spiegelbilder voneinander sind und das erste und das zweite Paar von Schleifen mit positiver und negativer Polarität sich nebeneinander befinden. Eine derartige Konfiguration mit „spiegelbildlichen Paaren“ kann in einigen Implementierungen eine verbesserte Genauigkeit und/oder Robustheit gegenüber bestimmten Fehlausrichtungen bereitstellen. Bei einigen derartigen Implementierungen kann es vorteilhaft sein, wenn der erste jeweilige Satz von Sensorelementen ferner dazu konfiguriert ist, dass er mindestens ein erstes Endpaar von Schleifen mit positiver und negativer Polarität, die dazu konfiguriert sind, nominal kongruente Formen für ihre effektiven Sensorelementräume innerhalb des ersten Endpaares aufzuweisen, und mindestens ein zweites Endpaar von Schleifen mit positiver und negativer Polarität umfasst, die dazu konfiguriert sind, nominal kongruente Formen für ihre effektiven Sensorelementräume innerhalb des zweiten Endpaares aufzuweisen, und die kongruenten Formen des ersten und zweiten Endpaares auch nominal kongruent zwischen dem ersten und zweiten Endpaar sind. Es versteht sich, dass sich das erste und das zweite Endpaar an dem ersten und zweiten Ende des ersten jeweiligen Satzes von Sensorelementen befinden.In some implementations of the second type, at least a respective first set of sensor elements is configured according to features A2 and B2, having at least a first pair of positive and negative polarity loops configured to have nominally congruent shapes for their effective sensor element spaces, and at least a second pair of positive and negative polarity loops configured to have nominally congruent shapes for their effective sensing element spaces, the congruent shapes of the first and second pairs being nominally mirror images of each other and the first and second pairs of loops with positive and negative polarity are next to each other. Such a “mirror-image pairs” configuration may provide improved accuracy and/or robustness to certain misalignments in some implementations. In some such implementations, it may be advantageous if the first respective set of sensor elements is further configured to have at least a first end pair of positive and negative polarity loops configured to have nominally congruent shapes for their effective sensor element spaces within the first Having end pair, and having at least a second end pair of loops of positive and negative polarity configured to have nominally congruent shapes for their effective sensing element spaces within the second end pair, and the congruent shapes of the first and second end pairs are also nominally congruent between the first and second end pairs. It is understood that the first and second end pairs are located at the first and second ends of the first respective set of sensor elements.

Bei einigen Implementierungen vom zweiten Typ kann jedes Sensorelement, das in einem jeweiligen Satz von Sensorelementen enthalten ist, die dazu konfiguriert sind, die Merkmale A2 und B2 zu umfassen, einen effektiven Sensorelementgesamtraum EffASEN aufweisen, der mit einem oder mehreren Innenräumen ausgerichtet ist oder diese(n) überlappt, derart definiert sein, dass es eine effektive y-Achsendimension EffYSEN entlang einer y-Achsenrichtung aufweist, die die Summe der Dimensionen des einen oder der mehreren Innenräume senkrecht zur Messachsenrichtung ist. Es kann bei verschiedenen Implementierungen von Vorteil sein, wenn mindestens ein Großteil solcher Sensorelemente dazu konfiguriert sind, eine durchschnittliche Sensorelementdimension DSENavg=(EffASEN/EffYSEN) entlang der Messachsenrichtung bereitzustellen, die innerhalb des Bereichs 0,33*W1 +/-15% liegt, wie im Folgenden anhand verschiedener Figuren näher beschrieben wird. In verschiedenen derartigen Implementierungen kann K 5, 7 oder 9 sein. Bei derartigen Implementierungen ist der jeweilige Satz von Sensorelementen, der dazu konfiguriert ist, die Merkmale A2 und B2 zu umfassen, dadurch dazu konfiguriert, ein oder mehrere räumlich gefilterte Detektorsignale bereitzustellen, die dazu verwendet werden können, eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer 3. räumlichen Harmonischen und eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer K-ten räumlichen Harmonischen, die ansonsten möglicherweise zu Fehlern in der bestimmten relativen Position zwischen Detektorabschnitt und Skalenmuster beitragen, zu reduzieren. Bei einigen derartigen Implementierungen kann es besonders vorteilhaft sein, wenn K=5 ist. Bei einigen derartigen Implementierungen kann jede jeweilige Schleife mit positiver oder negativer Polarität, die in dem jeweiligen Satz von Sensorelementen enthalten ist, der dazu konfiguriert ist, die Merkmale A2 und B2 zu umfassen, dazu konfiguriert sein, einen jeweiligen effektiven Sensorelementraum EffASEN bereitzustellen, die einen effektiven Sensorelementraum EffASEN einer anderen jeweiligen Schleife mit positiver oder negativer Polarität, die in diesem jeweiligen Satz von Sensorelementen enthalten ist, nicht überlappt.In some implementations of the second type, each sensor element included in a respective set of sensor elements configured to include features A2 and B2 may have an effective sensor element total space EffASEN aligned with one or more interior spaces or these( n) overlapped, defined as having an effective y-axis dimension EffYSEN along a y-axis direction that is the sum of the dimensions of the one or more interior spaces perpendicular to the measurement axis direction. It may be advantageous in various implementations if at least a majority of such sensor elements are configured to provide an average sensor element dimension DSENavg=(EffASEN/EffYSEN) along the measurement axis direction that is within the range 0.33*W1 +/-15%, as is described in more detail below with reference to various figures. In various such implementations, K can be 5, 7, or 9. In such implementations, the respective set of sensor elements configured to include features A2 and B2 is thereby configured to provide one or more spatially filtered detector signals that can be used to reduce a potential unwanted detector signal component of a 3rd spatial harmonic and to reduce a potential unwanted detector signal component of a Kth spatial harmonic that might otherwise contribute to errors in the determined relative position between detector section and scale pattern. In some such implementations it may be particularly advantageous if K=5. In some such implementations, each respective positive or negative polarity loop included in the respective set of sensor elements configured to include features A2 and B2 may be configured to provide a respective effective sensor element space EffASEN, the one effective sensor element space EffASEN of another respective positive or negative polarity loop included in that respective set of sensor elements.

In einigen Implementierungen vom zweiten Typ ist mindestens ein jeweiliger erster Satz von Sensorelementen, die einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase entsprechen, gemäß den Merkmalen A2 und B2 konfiguriert, wobei er eine Konfiguration mit zwei Abschnitten umfasst, die umfassen: einen ersten getrennten Abschnitt, der die gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität umfasst; und einen zweiten getrennten Abschnitt, der nominal entlang der Messachsenrichtung mit dem ersten Abschnitt ausgerichtet ist und der die gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität wie der erste getrennte Abschnitt umfasst; wobei der erste und der zweite getrennte Abschnitt durch einen Spalt getrennt sind, der sich entlang der Messachsenrichtung zwischen dem ersten Abschnitt und dem zweiten Abschnitt befindet, und der Spalt entlang der Messachsenrichtung mindestens so breit ist wie eine der Schleifen mit positiver oder negativer Polarität und sich kein effektiver Schleifenraum mit positiver Polarität oder effektiver Schleifenraum mit negativer Polarität des jeweiligen Satzes von Sensorelementen in dem Spalt befindet. Bei einigen derartigen Implementierungen ist der erste jeweilige Satz von Sensorelementen derart konfiguriert, dass die jeweiligen Schleifen seiner ersten und zweiten getrennten Abschnitte, die einander am nächsten sind, die gleiche Schleifenpolarität aufweisen. Bei einigen derartigen Implementierungen umfasst der elektronische Positionscodierer ferner mindestens einen zweiten jeweiligen Satz von Sensorelementen, die einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase entsprechen, die sich um 90 Grad von der nominalen räumlichen Phase des ersten jeweiligen Satzes von Sensorelementen unterscheidet, und ist der zweite jeweilige Satz von Sensorelementen gemäß den Merkmalen A2 und B2 konfiguriert, wobei er in einer Konfiguration mit zwei Abschnitten konfiguriert ist. Diese Konfiguration mit zwei Abschnitten kann in einigen Implementierungen entweder zwei „benachbarte Abschnitte“ oder in anderen Implementierungen zwei „getrennte Abschnitte“ umfassen. Die folgende Beschreibung beschreibt beide Fälle unter Bezugnahme auf die alternativen Eigenschaften in Bezug auf „getrennte Abschnitte“ in Klammern. Diese Konfiguration mit zwei Abschnitten kann umfassen: einen ersten benachbarten (getrennten) Abschnitt, der die gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität umfasst; und einen zweiten benachbarten (getrennten) Abschnitt, der nominal entlang der Messachsenrichtung mit dem ersten benachbarten (getrennten) Abschnitt ausgerichtet ist und der die gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität wie der erste benachbarte (getrennte) Abschnitt umfasst. Der erste und der zweite benachbarte (getrennte) Abschnitt liegen entlang der Messachsenrichtung näher beieinander (weiter voneinander entfernt) als eine Breite einer der Schleifen mit positiver oder negativer Polarität, und die jeweiligen Schleifen der ersten und zweiten benachbarten (getrennte) Abschnitte, die einander am nächsten sind, weisen entgegengesetzte Schleifenpolaritäten auf. Der erste jeweilige Satz von Sensorelementen weist einen ersten Raumschwerpunkt seines effektiven Sensorelementgesamtraums auf, der sich entlang der Messachse zwischen seinem ersten und zweiten getrennten Abschnitt befindet, und der zweite jeweilige Satz von Sensorelementen weist einen zweiten Raumschwerpunkt seines effektiven Sensorelementgesamtraums auf, der sich entlang der Messachse zwischen seinem ersten und zweiten benachbarten (getrennten) Abschnitt befindet. Bei einigen derartigen Implementierungen können der erste und der zweite jeweilige Satz von Sensorelementen derart angeordnet sein, dass ihr jeweiliger erster und zweiter Raumschwerpunkt an demselben Ort entlang der Messachsenrichtung ausgerichtet ist. Derartige Implementierungen mit ausgerichteten Schwerpunkten können bestimmte Vorteile hinsichtlich des Abweisens bestimmter Fehler aufgrund einer „Neigungs“-Fehlausrichtung zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster bieten, während gleichzeitig ein wirtschaftliches Layout und eine wirtschaftliche Herstellung erleichtert werden, wie nachstehend in Bezug auf verschiedene Figuren ausführlicher beschrieben. Bei einigen derartigen Implementierungen ist jede jeweilige Schleife mit positiver oder negativer Polarität, die in einem des jeweiligen ersten oder zweiten Satzes von Sensorelementen enthalten ist, dazu konfiguriert, einen jeweiligen effektiven Sensorelementraum EffASEN bereitzustellen, der einen effektiven Sensorelementraum EffASEN einer anderen jeweiligen Schleife mit positiver oder negativer Polarität, die in demselben des ersten oder zweiten jeweiligen Satzes von Sensorelementen enthalten ist, nicht überlappt.In some implementations of the second type, at least a respective first set of sensor elements, corresponding to a respective nominal spatial phase, is configured according to features A2 and B2, comprising a two-section configuration comprising: a first separate section representing the includes equal number of positive polarity loops and negative polarity loops; and a second discrete portion nominally aligned with the first portion along the measurement axis direction and including the same number of positive polarity loops and negative polarity loops as the first discrete portion; wherein the first and second separated sections are separated by a gap located along the measurement axis direction between the first section and the second section, and the gap along the measurement axis direction is at least as wide as one of the positive or negative polarity loops and itself no effective positive polarity loop space or effective negative polarity loop space of the respective set of sensor elements is in the gap. In some such implementations, the first respective set of sensor elements is configured such that the respective loops of its first and second separate sections that are closest to each other have the same loop polarity. In some such implementations, the electronic position encoder further comprises at least a second respective set of sensor elements corresponding to a respective nominal spatial phase that differs by 90 degrees from the nominal spatial phase of the first respective set of sensor elements, and the second respective set of Sensor elements configured according to features A2 and B2 configured in a two section configuration. This two-section configuration may include either two "adjacent sections" in some implementations or two "separate sections" in other implementations. The following description describes both cases with reference to the alternative properties related to "separate sections" in parentheses. This two-section configuration may include: a first adjacent (separate) section that includes an equal number of positive polarity loops and negative polarity loops; and a second adjacent (disconnected) section nominally aligned along the measurement axis direction with the first adjacent (disconnected) section and comprising the same number of positive polarity loops and negative polarity loops as the first adjacent (disconnected) section. The first and second adjacent (separated) portions are closer to each other (farther apart) along the measurement axis direction than a width of one of the positive and negative polarity loops, and the respective ones Loops of the first and second adjacent (disconnected) sections that are closest to each other have opposite loop polarities. The first respective set of sensor elements has a first centroid of its total effective sensor element space located along the measurement axis between its first and second discrete portions, and the second respective set of sensor elements has a second centroid of its total effective sensor element space located along the measurement axis located between its first and second adjacent (separate) sections. In some such implementations, the first and second respective sets of sensor elements may be arranged such that their respective first and second centroids are aligned at the same location along the measurement axis direction. Such implementations with aligned centroids can provide certain advantages in repelling certain errors due to "tilt" misalignment between the detector section and the dial pattern, while facilitating economical layout and manufacture, as described in more detail below with respect to various figures. In some such implementations, each respective positive or negative polarity loop included in one of the respective first or second set of sensing elements is configured to provide a respective effective sensing element space EffASEN that is an effective sensing element space EffASEN of another respective positive or negative polarity loop of negative polarity contained in the same of the first or second respective set of sensor elements does not overlap.

Bei verschiedenen Implementierungen vom zweiten Typ, die zwei benachbarte Abschnitte oder zwei getrennte Abschnitte umfassen, wie vorstehend beschrieben, kann der elektronische Positionscodierer gemäß M1 oder M2 konfiguriert sein, wobei: M1) der erste benachbarte (oder getrennte) Abschnitt dazu konfiguriert ist, ein erstes Detektorsignal auszugeben, und der zweite benachbarte (oder getrennte) Abschnitt dazu konfiguriert ist, ein zweites Detektorsignal auszugeben, und der Signalprozessor dazu konfiguriert ist, die relative Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster mindestens teilweise basierend auf einer Kombination des ersten und des zweiten Signals zu bestimmen; oder M2) der erste benachbarte (oder getrennte) Abschnitt mit dem zweiten benachbarten (oder getrennten) Abschnitt in Reihe geschaltet ist, um ein kombiniertes Signal zu bilden, und die Reihenschaltung derart konfiguriert ist, dass die jeweiligen Signalbeiträge des ersten und des zweiten Abschnitts in dem kombinierten Signal additiv sind; und der Signalprozessor dazu konfiguriert ist, die relative Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster mindestens teilweise basierend auf dem kombinierten Signal zu bestimmen. Im Fall benachbarter Abschnitte, die in Reihe geschaltet sind, können der erste und der zweite benachbarte Abschnitt in einigen Implementierungen als Teile eines kontinuierlichen, ununterbrochenen Satzes von Sensorelementen interpretiert werden.In various implementations of the second type, including two adjacent sections or two separate sections as described above, the electronic position encoder may be configured according to M1 or M2, wherein: M1) the first adjacent (or separate) section is configured to a first output detector signal, and the second adjacent (or separate) portion is configured to output a second detector signal, and the signal processor is configured to determine the relative position between the detector portion and the scale pattern based at least in part on a combination of the first and second signals determine; or M2) the first adjacent (or separate) section is connected in series with the second adjacent (or separate) section to form a combined signal, and the series connection is configured such that the respective signal contributions of the first and second sections in are additive to the combined signal; and the signal processor is configured to determine the relative position between the detector portion and the dial pattern based at least in part on the combined signal. In the case of adjacent sections connected in series, in some implementations the first and second adjacent sections may be interpreted as parts of a continuous, uninterrupted set of sensor elements.

Die verschiedenen vorstehend aufgezeigten Implementierungen vom zweiten Typ können für den Betrieb mit einer „einspurigen“ Skala mit einer einzelnen Skalenmusterspur (z. B. wie nachstehend unter Bezugnahme auf 14, 15 und 16 aufgezeigt) für den Betrieb mit einer „zweispurigen“ Skala mit zwei Skalenmusterspuren (z. B. wie nachstehend unter Bezugnahme auf 17 aufgezeigt) konfiguriert sein. In verschiedenen „zweispurigen“ Implementierungen vom zweiten Typ umfasst das Skalenmuster Signalmodulationselemente, die in ersten und zweiten Spuren angeordnet sind, die sich entlang der Messachsenrichtung erstrecken, und ist die felderzeugende Spule dazu konfiguriert, einen ersten Innenraumabschnitt, der mit der ersten Spur ausgerichtet ist, und einen zweiten Innenraum zu umgeben, der mit der zweiten Spur ausgerichtet ist. Bei derartigen Implementierungen kann ein jeweiliger Satz von Sensorelementen die Merkmale A2 und B2 umfassen und kann er leitfähige Schleifen umfassen, die sich jeweils quer zur Messachsenrichtung über den ersten und zweiten Innenraumabschnitt erstrecken, um einen ersten und einen zweiten effektiven Sensorelementraumabschnitt zu definieren, die denjenigen Abschnitten des Sensorelements entsprechen, die mit dem ersten und dem zweiten Innenraumabschnitt ausgerichtet sind bzw. diese überlappen, wodurch ein Detektorsignalbeitrag, der in jeder leitfähigen Schleife entsteht, die jeweiligen Detektorsignalbeiträge von seinem ersten und zweiten effektiven Sensorelementraumabschnitt kombiniert.The various implementations of the second type outlined above can be designed to operate with a "single track" scale with a single scale pattern track (e.g. as described below with reference to 14 , 15 and 16 shown) for operation with a "dual track" scale with two scale pattern tracks (e.g. as below with reference to 17 shown) must be configured. In various "two-lane" implementations of the second type, the scale pattern includes signal modulation elements arranged in first and second lanes that extend along the sense axis direction, and the field-generating coil is configured to have a first interior portion aligned with the first lane and surround a second interior space aligned with the second lane. In such implementations, a respective set of sensor elements may include features A2 and B2 and may include conductive loops each extending across the first and second interior space portions transverse to the measurement axis direction to define first and second effective sensor element space portions corresponding to those portions of the sensor element aligned with or overlapping the first and second interior space portions, whereby a detector signal contribution arising in each conductive loop combines the respective detector signal contributions from its first and second effective sensor element space portions.

Bei einigen derartigen zweispurigen Implementierungen vom zweiten Typ kann es vorteilhaft sein, eine Konfiguration wie folgt zu verwenden: Das Skalenmuster kann Signalmodulationselemente oder Signalmodulationselementabschnitte, die periodisch in der ersten Spur gemäß der Wellenlänge W1 angeordnet sind, und Signalmodulationselemente oder Signalmodulationselementabschnitte umfassen, die periodisch in der zweiten Spur gemäß der Wellenlänge W1 angeordnet sind, wobei die periodischen Anordnungen in der ersten und zweiten Spur gegeneinander um (W1)/2 versetzt sind. Die felderzeugende Spule ist dazu konfiguriert, eine erste Polarität eines sich ändernden Magnetflusses in dem ersten Innenraumabschnitt und eine entgegengesetzte zweite Polarität eines sich ändernden Magnetflusses in dem zweiten Innenraumabschnitt zu erzeugen.In some such two-lane implementations of the second type, it may be advantageous to use a configuration as follows: The scale pattern may comprise signal modulation elements or signal modulation element sections periodically arranged in the first lane according to the wavelength W1, and signal modulation elements or signal modulation element sections periodically arranged in the second trace are arranged according to wavelength W1, the periodic arrays in the first and second traces being offset from each other by (W1)/2. The field generating coil is configured to generate a first polarity of changing magnetic flux in the first interior portion and an opposite second polarity of changing magnetic flux in the second interior portion.

Wie vorstehend angemerkt und nachstehend ausführlicher in Bezug auf verschiedene Figuren beschrieben, können viele verschiedene Implementierungen vom zweiten Typ derart konfiguriert sein, dass jede leitfähige Schleife oder jeder leitfähige Schleifenabschnitt, die/der in einem jeweiligen Satz von Sensorelementen enthalten ist, der die Merkmale A2 und B2 umfasst, einen jeweiligen effektiven Sensorelementraum EffASEN umfassen kann, der keinen anderen jeweiligen effektiven Sensorelementraum EffASEN einer anderen leitfähigen Schleife oder eines anderen leitfähigen Schleifenabschnitts überlappt, der in demselben jeweiligen Satz von Sensorelementen enthalten ist. Dies kann bei einigen Implementierungen vom zweiten Typ besonders vorteilhaft sein, um ein wirtschaftliches Layout und eine wirtschaftliche Herstellung zu erleichtern, während gleichzeitig relativ ideale Kombinationen von räumlich gefilterten Detektorsignalen und eine Unterdrückung von Ausrichtungsfehlern bereitgestellt werden, wie vorstehend aufgezeigt und nachstehend ausführlicher beschrieben ist. Im Stand der Technik gibt es keine Konfiguration, die eine vergleichbare Kombination von Merkmalen und Leistungsvorteilen bietet.As noted above and described in more detail below with respect to various figures, many different implementations of the second type can be configured such that each conductive loop or conductive loop portion included in a respective set of sensor elements having features A2 and B2, may comprise a respective effective sensor element space EffASEN that does not overlap another respective effective sensor element space EffASEN of another conductive loop or another conductive loop portion included in the same respective set of sensor elements. This can be particularly advantageous in some implementations of the second type, to facilitate economical layout and manufacture, while at the same time providing relatively ideal combinations of spatially filtered detector signals and alignment error rejection, as indicated above and described in more detail below. There is no configuration in the prior art that offers a comparable combination of features and performance benefits.

Natürlich kann jede der vorstehend aufgezeigten Implementierungen vom zweiten Typ in jedem Codierer für mehrere jeweilige Sätze von Sensorelementen verwendet werden, die mehreren jeweiligen räumlichen Phasen entsprechen (z. B. um Quadratursignale oder 3-Phasen-Signale bereitzustellen, wie vorstehend beschrieben). Bei derartigen Implementierungen ist jeder der mehreren jeweiligen Sätze von Sensorelementen, die den mehreren jeweiligen räumlichen Phasen entsprechen, dazu konfiguriert, die Merkmale A2) und B2) zu umfassen, und ist er dadurch dazu konfiguriert, räumlich gefilterte Detektorsignale bereitzustellen, die dazu verwendet werden können, eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer K-ten räumlichen Harmonischen, die ansonsten möglicherweise zu Fehlern in der bestimmten relativen Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster beiträgt, zu reduzieren oder zu unterdrücken. Bei einigen derartigen Implementierungen weist jeder der mehreren jeweiligen Sätze von Sensorelementen einen Raumschwerpunkt seines effektiven Sensorelementgesamtraums auf, der sich innerhalb seiner Spanne entlang der Messachse befindet, und sind die mehreren jeweiligen Sätze von Sensorelementen derart konfiguriert, dass ihre jeweiligen Raumschwerpunkte an demselben Ort entlang der Messachsenrichtung ausgerichtet sind. Dies kann vorteilhaft sein, um bestimmte Ausrichtungsfehler zu reduzieren, die ansonsten auftreten können, wie zuvor aufgezeigt und nachstehend ausführlicher beschrieben. Wie vorstehend angegeben, kann in einigen derartigen Implementierungen jede leitfähige Schleife oder jeder leitfähige Schleifenabschnitt, der in einem jeweiligen Satz von Sensorelementen enthalten ist, der die Merkmale A2 und B2 umfasst, einen jeweiligen effektiven Sensorelementraum EffASEN umfassen, der keinen anderen jeweiligen effektiven Sensorelementraum EffASEN einer anderen leitfähigen Schleife oder eines anderen leitfähigen Schleifenabschnitts überlappt, die/der in demselben jeweiligen Satz von Sensorelementen enthalten ist. Bei einigen derartigen Implementierungen weist jedes Sensorelement, das in den mehreren jeweiligen Sätzen von Sensorelementen enthalten ist, einen effektiven Sensorelementgesamtraum EffASEN auf, der mit einem oder mehreren Innenräumen ausgerichtet ist oder diese(n) überlappt und derart definiert ist, dass er eine effektive y-Achsendimension EffYSEN entlang einer y-Achsenrichtung aufweist, die die Summe der Dimensionen des einen oder der mehreren Innenräume senkrecht zur Messachsenrichtung ist, und ist mindestens ein Großteil der Sensorelemente, die in den mehreren jeweiligen Sätzen von Sensorelementen enthalten sind, dazu konfiguriert, eine durchschnittliche Sensorelementdimension DSENavg=(EffASEN/EffYSEN) entlang der Messachsenrichtung, die innerhalb des Bereichs 0,33*W1 +/- 15 % liegt, bereitzustellen, wobei der elektronische Positionscodierer dadurch dazu konfiguriert ist, mehrere räumlich gefilterte Detektorsignale bereitzustellen, die dazu verwendet werden können, eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer 3. räumlichen Harmonischen und eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer K-ten räumlichen Harmonischen, die ansonsten möglicherweise zu Fehlern in der bestimmten relativen Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster beitragen, zu reduzieren oder zu unterdrücken.Of course, each of the second-type implementations outlined above can be used in each encoder for multiple respective sets of sensor elements corresponding to multiple respective spatial phases (e.g., to provide quadrature signals or 3-phase signals as described above). In such implementations, each of the plurality of respective sets of sensor elements corresponding to the plurality of respective spatial phases is configured to include features A2) and B2) and is thereby configured to provide spatially filtered detector signals that can be used to do so , to reduce or suppress a potentially unwanted detector signal component of a Kth spatial harmonic that might otherwise contribute to errors in the determined relative position between the detector section and the scale pattern. In some such implementations, each of the plurality of respective sets of sensor elements has a centroid of its total effective sensor element space that is within its span along the measurement axis, and the plurality of respective sets of sensor elements are configured such that their respective centroids are at the same location along the measurement axis direction are aligned. This can be beneficial to reduce certain alignment errors that may otherwise occur, as indicated previously and described in more detail below. As indicated above, in some such implementations, each conductive loop or conductive loop portion included in a respective set of sensor elements comprising features A2 and B2 may comprise a respective effective sensor element space EffASEN that does not have another respective effective sensor element space EffASEN one overlaps another conductive loop or conductive loop portion included in the same respective set of sensor elements. In some such implementations, each sensor element included in the plurality of respective sets of sensor elements has an effective total sensor element space EffASEN that is aligned with or overlaps one or more interior spaces and is defined to have an effective y- Axis dimension EffYSEN along a y-axis direction that is the sum of the dimensions of the one or more interior spaces perpendicular to the measurement axis direction, and at least a majority of the sensor elements included in the plurality of respective sets of sensor elements are configured to have an average sensor element dimension DSENavg=(EffASEN/EffYSEN) along the measurement axis direction that is within the range 0.33*W1 +/- 15%, the electronic position encoder being thereby configured to provide multiple spatially filtered detector signals that can be used to a potential to reduce or suppress undesired detector signal component of a 3rd spatial harmonic and a potential undesired detector signal component of a Kth spatial harmonic, which might otherwise contribute to errors in the determined relative position between the detector section and the dial pattern.

Figurenlistecharacter list

  • 1 ist ein isometrisches Explosionsansichtsdiagramm eines Messschiebers vom Handwerkzeugtyp, der einen induktiven elektronischen Positionscodierer verwendet, der einen Detektorabschnitt und eine Skala umfasst. 1 13 is an exploded isometric diagram of a hand tool-type vernier caliper using an inductive electronic position encoder that includes a detector portion and a scale.
  • 2 ist ein Draufsichtdiagramm, das schematisch bestimmte Merkmale eines repräsentativen induktiven elektronischen Positionscodierers nach dem Stand der Technik veranschaulicht, dargestellt als Hintergrundinformationen, die für verschiedene hier offenbarte Prinzipien relevant sind. 2 12 is a top view diagram that schematically illustrates certain features of a representative prior art inductive electronic position encoder, presented as background information relevant to various principles disclosed herein.
  • 3 ist ein Draufsichtdiagramm einer Implementierung eines Detektorabschnitts und Skalenmusters, das in einem elektronischen Positionscodierer, wie er in 1 gezeigt ist, verwendbar ist, wobei Signalmodulationselemente gemäß hierin offenbarten Prinzipien in Kombination mit „weniger wünschenswerten“ zuvor bekannten Sensorelementen gezeigt werden, zusammen mit verschiedenen Dimensionen, die ihre Merkmale gemäß hierin offenbarten Prinzipien charakterisieren können. 3 12 is a top view diagram of an implementation of a detector section and scale pattern used in an electronic position encoder such as that shown in FIG 1 as shown, showing signal modulation elements according to principles disclosed herein in combination with "less desirable" previously known sensor elements den, along with various dimensions that may characterize their features according to principles disclosed herein.
  • 4 ist eine vergrößerte isometrische Ansicht eines Abschnitts des in 3 gezeigten Detektorabschnitts und Skalenmusters, einschließlich einer qualitativen Darstellung eines Magnetflusses und Flusskopplungseigenschaften, die dem Betrieb eines Signalmodulationselements in einem derartigen Positionscodierer zugeordnet sein können. 4 is an enlarged isometric view of a portion of the in 3 Detector section and scale pattern shown, including a qualitative representation of magnetic flux and flux coupling properties that may be associated with the operation of a signal modulating element in such a position encoder.
  • 5A und 5B sind Draufsichtdiagramme, die schematisch bestimmte Aspekte des jeweiligen Signalmodulationselements und Implementierungen des Sensorelements analog zu den in 3 gezeigten veranschaulichen, einschließlich zusätzlicher Beispiele bestimmter beispielhafter Dimensionen, die ihre Merkmale gemäß hierin offenbarten Prinzipien charakterisieren können. 5A and 5B are plan view diagrams schematically showing certain aspects of the respective signal modulation element and implementations of the sensor element analogous to those in FIG 3 illustrated, including additional examples of certain exemplary dimensions that may characterize their features according to principles disclosed herein.
  • Die 6, 7 und 8 sind Draufsichtdiagramme, die verschiedene Implementierungen von Sensorelementen und Skalenmustern veranschaulichen, die mit den hierin unter Bezugnahme auf die 9-12 offenbarten Sensorelementkonfigurationsprinzipien kompatibel und zur Verwendung in einem Detektorabschnitt und Skalenmuster in einem elektronischen Positionscodierer wie beispielsweise dem in 1 gezeigten geeignet sind, zusammen mit Beispielen für verschiedene Dimensionen, die ihre Merkmale charakterisieren können.the 6 , 7 and 8th 12 are top-view diagrams illustrating various implementations of sensor elements and dial patterns compatible with the designs herein with reference to FIGS 9-12 disclosed sensor element configuration principles compatible and for use in a detector section and scale pattern in an electronic position encoder such as the in 1 shown are suitable, together with examples of different dimensions that can characterize their characteristics.
  • 9 ist ein Draufsichtdiagramm, das bestimmte Aspekte eines ersten Satzes von Sensorelementen entsprechend einer ersten räumlichen Phase, die ein erstes Konfigurationsbeispiel eines Satzes von Sensorelementen ist, die gemäß dem ersten Typ von hierin offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien dazu konfiguriert sind, räumlich gefilterte Signale zur Verwendung in einem Detektorabschnitt in einem elektronischen Positionscodierer, wie dem in 1 gezeigten, bereitzustellen, zusammen mit einer ersten kompatiblen felderzeugenden Spulenkonfiguration und einem Skalenmuster, und einschließlich verschiedener Dimensionen, die die Sensorelementkonfiguration gemäß den hierin offenbarten Prinzipien charakterisieren können. 9 is a top view diagram showing certain aspects of a first set of sensor elements according to a first spatial phase, which is a first configuration example of a set of sensor elements configured according to the first type of prescribed relationship principles disclosed herein to generate spatially filtered signals for use in a detector section in an electronic position encoder such as that in 1 as shown, along with a first compatible field generating coil configuration and scale pattern, and including various dimensions that may characterize the sensor element configuration according to the principles disclosed herein.
  • 10 ist ein Draufsichtdiagramm, das bestimmte Aspekte eines zweiten Satzes von Sensorelementen entsprechend einer zweiten räumlichen Phase veranschaulicht, der ähnlich konfiguriert ist wie der in 9 gezeigte erste Satz von Sensorelementen, der einer in 9 veranschaulichten Geisterbilddarstellung des ersten Satzes von Sensorelementen überlagert ist, um eine funktionale Quadraturkonfiguration zu veranschaulichen, bei der sich die räumlichen Phasen des ersten und zweiten Satzes von Sensorelementen um 90 Grad unterscheiden. 10 Figure 12 is a top view diagram illustrating certain aspects of a second set of sensor elements configured similarly to that of Figure 1, corresponding to a second spatial phase 9 shown first set of sensor elements, one in 9 superimposed on the illustrated sprite representation of the first set of sensor elements to illustrate a functional quadrature configuration in which the spatial phases of the first and second sets of sensor elements differ by 90 degrees.
  • 11A ist ein Draufsichtdiagramm, das bestimmte Aspekte eines zweiten Satzes von Sensorelementen veranschaulicht, die einer zweiten räumlichen Phase entsprechen, die ein zweites Konfigurationsbeispiel eines Satzes von Sensorelementen ist, die gemäß dem ersten Typ von hierin offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien konfiguriert sind, zusammen mit dem ersten Satz von Sensorelementen, die in 9 veranschaulicht sind. Der erste und der zweite Satz sind zu Veranschaulichungszwecken entlang der vertikalen Richtung in 11A gegeneinander versetzt, um ihre individuellen Eigenschaften und Ausrichtung entlang der Messachsenrichtung relativ zueinander in einer funktionalen Quadraturkonfiguration besser zu zeigen, wobei sich die räumlichen Phasen des ersten und zweiten Satzes von Sensorelementen um 90 Grad unterscheiden. 11A is a top view diagram illustrating certain aspects of a second set of sensor elements corresponding to a second spatial phase, which is a second configuration example of a set of sensor elements configured according to the first type of prescribed relationship principles disclosed herein, along with the first set of Sensor elements that are in 9 are illustrated. The first and second sets are along the vertical direction in for illustration purposes 11A offset from each other to better show their individual properties and orientation along the measurement axis direction relative to each other in a functional quadrature configuration, where the spatial phases of the first and second sets of sensor elements differ by 90 degrees.
  • 11B ist ein Draufsichtdiagramm, das bestimmte Aspekte von einem ersten Satz von Sensorelementen veranschaulicht, die einer ersten räumlichen Phase entsprechen, die ein drittes Konfigurationsbeispiel eines Satzes von Sensorelementen ist, die gemäß dem ersten Typ von hierin offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien konfiguriert sind, zusammen mit dem zweiten Satz von Sensorelementen, die in 11A veranschaulicht sind. Der erste und der zweite Satz sind zu Veranschaulichungszwecken entlang der vertikalen Richtung in 11B gegeneinander versetzt, um ihre individuellen Eigenschaften und Ausrichtung entlang der Messachsenrichtung relativ zueinander in einer funktionalen Quadraturkonfiguration besser zu zeigen, wobei sich die räumlichen Phasen des ersten und zweiten Satzes von Sensorelementen um 90 Grad unterscheiden. 11B is a top view diagram illustrating certain aspects of a first set of sensor elements corresponding to a first spatial phase, which is a third configuration example of a set of sensor elements configured according to the first type of prescribed relationship principles disclosed herein, along with the second set of sensor elements that are in 11A are illustrated. The first and second sets are along the vertical direction in for illustration purposes 11B offset from each other to better show their individual properties and orientation along the measurement axis direction relative to each other in a functional quadrature configuration, where the spatial phases of the first and second sets of sensor elements differ by 90 degrees.
  • 12 ist ein Draufsichtdiagramm, das bestimmte Aspekte von ersten und zweiten Sätzen von Sensorelementen veranschaulicht, die jeweiligen räumlichen Phasen entsprechen, die vierte und fünfte Konfigurationsbeispiele eines Satzes von Sensorelementen sind, die gemäß dem ersten Typ von hierin offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien konfiguriert sind. Der erste und der zweite Satz sind zu Veranschaulichungszwecken entlang der vertikalen Richtung in 12 gegeneinander versetzt, um ihre individuellen Eigenschaften und Ausrichtung entlang der Messachsenrichtung relativ zueinander in einer funktionalen Quadraturkonfiguration besser zu zeigen, wobei sich die räumlichen Phasen des ersten und zweiten Satzes von Sensorelementen um 90 Grad unterscheiden. 12 12 is a top view diagram illustrating certain aspects of first and second sets of sensor elements corresponding to respective spatial phases, which are fourth and fifth configuration examples of a set of sensor elements configured according to the first type of prescribed relationship principles disclosed herein. The first and second sets are along the vertical direction in for illustration purposes 12 offset from each other to better show their individual properties and orientation along the measurement axis direction relative to each other in a functional quadrature configuration, where the spatial phases of the first and second sat zes of sensor elements differ by 90 degrees.
  • 13 ist ein Draufsichtdiagramm, das bestimmte Aspekte eines ersten Satzes von Sensorelementen entsprechend einer ersten räumlichen Phase, die ein erstes Konfigurationsbeispiel eines Satzes von Sensorelementen ist, die gemäß dem sechsten Typ von hierin offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien dazu konfiguriert sind, räumlich gefilterte Signale zur Verwendung in einem Detektorabschnitt in einem elektronischen Positionscodierer wie dem in 1 gezeigten bereitzustellen, zusammen mit einer zweiten kompatiblen felderzeugenden Spulenkonfiguration und einem Skalenmuster, und einschließlich verschiedener Dimensionen, die die Sensorelementkonfiguration gemäß den hierin offenbarten Prinzipien charakterisieren können. 13 is a top view diagram showing certain aspects of a first set of sensor elements according to a first spatial phase, which is a first configuration example of a set of sensor elements configured according to the sixth type of prescribed relationship principles disclosed herein to spatially filtered signals for use in a detector section in an electronic position encoder such as that in 1 as shown, along with a second compatible field generating coil configuration and scale pattern, and including various dimensions that may characterize the sensor element configuration according to the principles disclosed herein.
  • 14 ist ein Draufsichtdiagramm, das bestimmte Aspekte eines ersten Satzes von Sensorelementen entsprechend einer ersten räumlichen Phase veranschaulicht, die ein zweites Konfigurationsbeispiel eines Satzes von Sensorelementen ist, die gemäß dem ersten Typ von hierin offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien dazu konfiguriert sind, räumlich gefilterte Signale zur Verwendung in einem Detektorabschnitt in einem elektronischen Positionscodierer wie dem in 1 gezeigten bereitzustellen, zusammen mit der ersten kompatiblen felderzeugenden Spulenkonfiguration und einem in 9 gezeigten Skalenmuster, und einschließlich verschiedener Dimensionen, die die Sensorelementkonfiguration gemäß den hierin offenbarten Prinzipien charakterisieren können. 14 is a top view diagram illustrating certain aspects of a first set of sensor elements according to a first spatial phase, which is a second configuration example of a set of sensor elements configured according to the first type of prescribed relationship principles disclosed herein to provide spatially filtered signals for use in a Detector section in an electronic position encoder such as that in 1 shown, along with the first compatible field generating coil configuration and an in 9 scale patterns shown, and including various dimensions that can characterize the sensor element configuration according to the principles disclosed herein.
  • 15 ist ein Draufsichtdiagramm, das bestimmte Aspekte eines ersten Satzes von Sensorelementen entsprechend einer ersten räumlichen Phase veranschaulicht, die ein zweites Konfigurationsbeispiel eines Satzes von Sensorelementen ist, die gemäß dem zweiten Typ von hierin offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien dazu konfiguriert sind, räumlich gefilterte Signale zur Verwendung in einem Detektorabschnitt in einem elektronischen Positionscodierer wie dem in 1 gezeigten bereitzustellen, zusammen mit der ersten kompatiblen felderzeugenden Spulenkonfiguration und einem in 9 und 14 gezeigten Skalenmuster, und einschließlich verschiedener Dimensionen, die die Sensorelementkonfiguration gemäß den hierin offenbarten Prinzipien charakterisieren können. 15 is a top view diagram illustrating certain aspects of a first set of sensor elements according to a first spatial phase, which is a second configuration example of a set of sensor elements configured according to the second type of prescribed relationship principles disclosed herein to provide spatially filtered signals for use in a Detector section in an electronic position encoder such as that in 1 shown, along with the first compatible field generating coil configuration and an in 9 and 14 scale patterns shown, and including various dimensions that can characterize the sensor element configuration according to the principles disclosed herein.
  • 16 ist ein Draufsichtdiagramm, das bestimmte Aspekte von einem zweiten Satz von Sensorelementen veranschaulicht, die einer zweiten räumlichen Phase entsprechen, die ein drittes Konfigurationsbeispiel eines Satzes von Sensorelementen ist, die gemäß dem zweiten Typ von hierin offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien konfiguriert sind, zusammen mit dem ersten Satz von Sensorelementen, die in 15 veranschaulicht sind. Der erste und der zweite Satz sind zu Veranschaulichungszwecken entlang der vertikalen Richtung in 16 gegeneinander versetzt, um ihre individuellen Eigenschaften und Ausrichtung entlang der Messachsenrichtung relativ zueinander in einer funktionalen Quadraturkonfiguration besser zu zeigen, wobei sich die räumlichen Phasen des ersten und zweiten Satzes von Sensorelementen um 90 Grad unterscheiden. 16 12 is a top view diagram illustrating certain aspects of a second set of sensor elements corresponding to a second spatial phase that is a third configuration example of a set of sensor elements configured according to the second type of prescribed relationship principles disclosed herein, along with the first set of sensor elements that are in 15 are illustrated. The first and second sets are along the vertical direction in for illustration purposes 16 offset from each other to better show their individual properties and orientation along the measurement axis direction relative to each other in a functional quadrature configuration, where the spatial phases of the first and second sets of sensor elements differ by 90 degrees.
  • 17 ist ein Draufsichtdiagramm, das bestimmte Aspekte eines ersten Satzes von Sensorelementen entsprechend einer ersten räumlichen Phase veranschaulicht, die ein zweites Konfigurationsbeispiel eines Satzes von Sensorelementen ist, die gemäß dem vierten Typ von hierin offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien dazu konfiguriert sind, räumlich gefilterte Signale zur Verwendung in einem Detektorabschnitt in einem elektronischen Positionscodierer, wie dem in 1 gezeigten, bereitzustellen, zusammen mit der zweiten kompatiblen felderzeugenden Spulenkonfiguration und einem in 13 gezeigten Skalenmuster und einschließlich verschiedener Dimensionen, die die Sensorelementkonfiguration gemäß hierin offenbarten Prinzipien charakterisieren können. 17 is a top view diagram illustrating certain aspects of a first set of sensor elements according to a first spatial phase, which is a second configuration example of a set of sensor elements configured according to the fourth type of prescribed relationship principles disclosed herein to provide spatially filtered signals for use in a Detector section in an electronic position encoder such as that in 1 shown, along with the second compatible field generating coil configuration and an in 13 scale pattern shown and including various dimensions that can characterize the sensor element configuration according to principles disclosed herein.

AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNGDETAILED DESCRIPTION

1 ist eine isometrische Explosionsansicht eines Messschiebers 100 vom Handwerkzeugtyp, der ein Skalenelement 172 und eine Schieberanordnung 120 umfasst. Das Skalenelement 172 kann einen Holm mit ungefähr rechteckigem Querschnitt umfassen, der eine in einer Nut darin positionierte Skala 170 umfasst. Die Schieberanordnung 120 kann eine Basis 140, eine elektronische Anordnung 160 und eine Abdeckung 150 umfassen, die nachstehend ausführlicher beschrieben sind. Die elektronische Anordnung 160 kann einen Detektorabschnitt 167 und eine Signalverarbeitungskonfiguration 166 umfassen, die auf einem Substrat 162 angeordnet sind. Eine elastische Dichtung (nicht gezeigt) kann zwischen der Abdeckung 150 und dem Substrat 162 zusammengedrückt werden, um Kontamination durch die Schaltung und die Verbindungen auszuschließen. Die Skala 170, der Detektorabschnitt 167 und die Signalverarbeitungskonfiguration 166 arbeiten zusammen, um einen induktiven elektronischen Positionscodierer bereitzustellen, der dazu verwendbar ist, eine relative Position zwischen zwei Elementen (z. B. zwischen dem Skalenelement 172 und der Schieberanordnung 120) entlang einer Messachsenrichtung MA zu messen. 1 14 is an exploded isometric view of a hand tool-type vernier caliper 100 including a dial member 172 and a slide assembly 120. FIG. The scale member 172 may comprise a pillar of approximately rectangular cross-section that includes a scale 170 positioned in a groove therein. The slider assembly 120 may include a base 140, an electronic assembly 160, and a cover 150, which are described in more detail below. The electronic assembly 160 may include a detector portion 167 and a signal processing configuration 166 disposed on a substrate 162 . A resilient gasket (not shown) may be compressed between cover 150 and substrate 162 to preclude contamination through the circuitry and interconnects. The scale 170, detector section 167 and signal processing configuration 166 work together to provide an inductive electronic position encoder which can be used to determine relative position between two elements ten (z. B. between the scale element 172 and the slider assembly 120) to measure along a measurement axis direction MA.

In verschiedenen Ausführungen erstreckt sich die Skala 170 entlang der Messachsenrichtung MA (z. B. entsprechend einer x-Achsenrichtung) und umfasst ein Signalmodulationsskalenmuster 180, das Signalmodulationselemente SME umfasst, die auf einem Skalensubstrat (z. B. unter Verwendung bekannter Herstellungsverfahren für gedruckte Schaltungen) hergestellt sind. Bei verschiedenen hierin veranschaulichten Implementierungen kann das Signalmodulationsskalenmuster 180 alternativ dazu als ein periodisches Skalenmuster 180 bezeichnet werden, das in 1 mit einer räumlichen Wellenlänge W1 gezeigt ist. Bei der dargestellten Implementierung bedeckt eine Deckschicht 174 (z. B. 100 µm dick) eines bekannten Typs die Skala 170 (wie durch einen weggeschnittenen Abschnitt in 1 gezeigt).In various embodiments, the scale 170 extends along the measurement axis direction MA (e.g., corresponding to an x-axis direction) and includes a signal modulation scale pattern 180 that includes signal modulation elements SME that are formed on a scale substrate (e.g., using known printed circuit board fabrication methods ) are manufactured. In various implementations illustrated herein, the signal modulation scale pattern 180 may alternatively be referred to as a periodic scale pattern 180, shown in FIG 1 with a spatial wavelength W1. In the illustrated implementation, a cover layer 174 (e.g., 100 µm thick) of a known type covers scale 170 (as indicated by a cut-away portion in 1 shown).

Bei verschiedenen Implementierungen können der mechanische Aufbau und der Betrieb des Messschiebers 100 ähnlich denen bestimmter früherer elektronischer Messschieber sein wie dem der gemeinsam erteilten US-Patente Nr. 5,901,458 ; und/oder 6,400,138 und/oder RE37490, von denen jedes hiermit in seiner Gesamtheit durch Bezugnahme hierin aufgenommen ist. Die Backen 176 und 178 in der Nähe eines ersten Endes des Skalenelements 172 und die beweglichen Backen 146 und 148 an der Schieberanordnung 120 werden dazu verwendet, Dimensionen von Objekten in bekannter Weise zu messen. Die gemessene Dimension kann auf einer digitalen Anzeige 158 angezeigt werden, die innerhalb der Abdeckung 150 der elektronischen Anordnung 160 montiert ist. Die Abdeckung 150 kann auch einen Ein-/AusSchalter 154 und andere optionale Steuerschaltflächen umfassen, falls gewünscht, die Schaltkreise oder Elemente betätigen, die in der elektronischen Anordnung 160 enthalten sind. Die Basis 140 der Schieberanordnung 120 kann verschiedene bekannte Elemente umfassen, die dazu konfiguriert sind, sie entlang einer Gegenkante des Skalenelements 172 zu führen, um eine einwandfreie Ausrichtung zum Messen sicherzustellen, während sie die Schieberanordnung 120 relativ zur Skala 170 bewegt.In various implementations, the mechanical construction and operation of caliper 100 may be similar to certain prior electronic calipers such as commonly assigned U.S. Patent Nos. 5,901,458 ; and or 6,400,138 and/or RE37490, each of which is hereby incorporated herein by reference in its entirety. Jaws 176 and 178 near a first end of scale member 172 and movable jaws 146 and 148 on slider assembly 120 are used to measure dimensions of objects in a known manner. The measured dimension can be displayed on a digital display 158 mounted within cover 150 of electronic assembly 160 . The cover 150 may also include an on/off switch 154 and other optional control buttons that operate circuits or elements included in the electronic assembly 160, if desired. The base 140 of the slide assembly 120 may include various known elements configured to guide it along a mating edge of the scale member 172 to ensure proper alignment for measurement while moving the slide assembly 120 relative to the scale 170 .

Wie in 1 gezeigt, kann der Detektorabschnitt 167 eine felderzeugende Spule (Field Generating Coil, FGC) und einen Satz von Sensorelementen SETSEN umfassen, die entlang der Messachsenrichtung MA angeordnet sind. In einem spezifischen veranschaulichenden Beispiel kann der Detektorabschnitt 167 parallel zur Skala 170 und dieser zugewandt angeordnet sein und kann eine der Skala 170 zugewandte Vorderseite des Detektorabschnitts 167 von der Skala 170 (und/oder dem Skalenmuster 180) um einen Spalt in der Größenordnung von 0,5 mm entlang der Z-Achsenrichtung getrennt sein. Die Vorderseite des Detektors 167 (z. B. die Leiter, aus denen er besteht) kann mit einer isolierenden Beschichtung bedeckt sein. Der Aufbau und der Betrieb der felderzeugenden Spule FGC und des Satzes von Sensorelementen SETSEN werden nachstehend ausführlicher beschrieben.As in 1 As shown, the detector section 167 may include a field generating coil (FGC) and a set of sensor elements SETSEN arranged along the measurement axis direction MA. In a specific illustrative example, detector portion 167 may be disposed parallel to and facing scale 170, and a scale 170 facing front surface of detector portion 167 may be separated from scale 170 (and/or scale pattern 180) by a gap of the order of 0, 5mm apart along the Z-axis direction. The front of the detector 167 (e.g. the conductors that make it up) may be covered with an insulating coating. The construction and operation of the field generating coil FGC and the set of sensor elements SETSEN are described in more detail below.

Es versteht sich, dass der in 1 gezeigte Messschieber 100 eine von verschiedenen Anwendungen ist, die typischerweise einen elektronischen Positionscodierer implementieren, der sich über eine Anzahl von Jahren entwickelt hat, um eine relativ optimierte Kombination von kompakter Größe, Betrieb bei geringem Stromverbrauch (z. B. für lange Batterielebensdauer), hoher Auflösung und hoher Messgenauigkeit, geringen Kosten, Robustheit gegen Kontamination usw., bereitzustellen. Zum Beispiel schließen andere Anwendungen, die im Hinblick auf die Verbesserung der weiterentwickelten Genauigkeit, des wirtschaftliche Designs und der wirtschaftlichen Herstellung möglicherweise noch anspruchsvoller sind, digitale „Ziffernblatt“-Anzeigen mit mittlerer und hoher Genauigkeit (z. B. einer Genauigkeit in der Größenordnung von 10 Mikrometern bzw. 1 Mikrometer) ein. Selbst kleine Verbesserungen bei einem dieser Faktoren bei einer dieser Anwendungen sind sehr wünschenswert, aber schwierig zu erreichen, insbesondere angesichts der Designbeschränkungen, die auferlegt werden, um bei den verschiedenen Anwendungen kommerziellen Erfolg zu erzielen. Die hierin offenbarten und beanspruchten Prinzipien stellen Verbesserungen bei einer Anzahl dieser Faktoren für verschiedene Anwendungen bereit.It is understood that the in 1 Vernier caliper 100 shown is one of several applications that typically implement an electronic position encoder that has evolved over a number of years to provide a relatively optimized combination of compact size, low power operation (eg, for long battery life), high Resolution and high measurement accuracy, low cost, robustness against contamination, etc. to provide. For example, other applications that may be even more challenging in terms of improving advanced accuracy, economical design, and economical manufacture include medium and high accuracy digital "dial" displays (e.g., accuracy on the order of 10 microns and 1 micron respectively). Even small improvements in one of these factors in one of these applications are highly desirable but difficult to achieve, particularly given the design constraints imposed to achieve commercial success in the various applications. The principles disclosed and claimed herein provide improvements in a number of these factors for various applications.

2 ist ein Draufsichtdiagramm, das schematisch bestimmte Merkmale eines repräsentativen induktiven elektronischen Positionscodierers, der in dem zuvor aufgenommenen '389-Patent gezeigt ist, nach dem Stand der Technik veranschaulicht, dargestellt als Hintergrundinformationen, die für verschiedene an anderer Stelle hier offenbarte Prinzipien relevant sind. 2 umfasst ferner Anmerkungen zu Bezugszeichen, um die vergleichbaren Bezugszeichen oder Symbole zu zeigen, die dazu verwendet werden, vergleichbare Elemente in anderen hier enthaltenen Figuren zu bezeichnen. In der folgenden Kurzbeschreibung, die auf der Offenbarung des '389-Patents basiert, sind die vergleichbaren Bezugszeichen in anderen Figuren der vorliegenden Offenbarung nach den ursprünglichen Bezugszeichen aus dem '389-Patent in Klammern gezeigt. Eine vollständige Beschreibung, die sich auf 2 des Standes der Technik bezieht, befindet sich in dem '389-Patent. Daher ist hier nur eine Kurzbeschreibung enthalten, die Lehren aus dem '389-Patent umfasst, die für die vorliegende Offenbarung relevant sind. Soweit der Erfinder feststellen konnte, repräsentieren die nachstehend unter Bezugnahme auf 2 aufgezeigten Lehren die herkömmliche Argumentation und die herkömmliche Designpraxis, die im Stand der Technik bekannt ist und/oder in kommerziellen induktiven elektronischen Positionscodierern verwendet wird. 2 Figure 12 is a top view diagram schematically illustrating certain features of a representative prior art inductive electronic position encoder shown in the previously incorporated '389 patent, presented as background information relevant to various principles disclosed elsewhere herein. 2 also includes notes on reference numbers to show the comparable reference numbers or symbols used to identify similar elements in other figures contained herein. In the following summary, which is based on the disclosure of the '389 patent, the comparable reference numbers in other figures of the present disclosure are shown in parentheses after the original reference numbers from the '389 patent. A full description pertaining to 2 of the prior art is in the '389 patent. Therefore, only a brief summary is included herein, incorporating teachings from the '389 patent that are relevant to the present disclosure. As far as the inventor could determine, represent ren the below with reference to 2 The teachings presented follow conventional reasoning and design practice known in the art and/or used in commercial inductive electronic position encoders.

Wie in dem '389-Patent offenbart, umfasst ein Wandler, wie der in 2 gezeigte, mindestens zwei im Wesentlichen koplanare Draht- oder Wicklungspfade. Eine Senderwicklung 102 (FGC) bildet eine große planare Schleife. Eine Empfängerwicklung 104 (SETSEN) in im Wesentlichen der gleichen Ebene wie die Senderwicklung 102 ist in einer Richtung, wie durch die Pfeile in einem Zick-Zack- oder Sinusmuster angegeben, und dann in einer umgekehrten Richtung, wie durch die Pfeile angegeben, derart ausgelegt, dass die Wicklung sich selbst kreuzt, um alternierende Schleifen 106 (SEN+) und 108 (SEN-) zu bilden, die, wie gezeigt, zwischen einander eingefügt sind. Als Folge weist jede der alternierenden Schleifen 106 (SEN+) und 108 (SEN-) der Empfängerwicklung 104 (SETSEN) im Vergleich zu benachbarten Schleifen eine andere Wicklungsrichtung oder -polarität auf. Durch Anlegen eines (sich ändernden) Wechselstroms an die Senderwicklung 102 (FGC) erstellt die Senderwicklung ein zeitlich variierendes Magnetfeld, das sich durch die Schleifen 106 (SEN+) und 108 (SEN-) der Empfängerwicklung 104 (SETSEN) erstreckt.As disclosed in the '389 patent, a converter such as that in 2 shown, at least two substantially coplanar wire or winding paths. A transmitter winding 102 (FGC) forms a large planar loop. A receiver winding 104 (SETSEN) in substantially the same plane as the transmitter winding 102 is so laid out in a direction as indicated by the arrows in a zigzag or sinusoidal pattern and then in a reverse direction as indicated by the arrows that the winding crosses itself to form alternating loops 106 (SEN+) and 108 (SEN-) which are interleaved as shown. As a result, each of the alternating loops 106 (SEN+) and 108 (SEN-) of the receiver winding 104 (SETSEN) has a different winding direction or polarity compared to adjacent loops. By applying an alternating current (varying) to the transmitter winding 102 (FGC), the transmitter winding creates a time varying magnetic field that extends through the loops 106 (SEN+) and 108 (SEN-) of the receiver winding 104 (SETSEN).

Wenn eine Skala oder ein Skalenmuster 112 (180) (wovon ein Segment durch Kanten konturiert ist, die in 2 abwechselnde langgestrichelte Linien und kurzgestrichelte Linien angeben), einschließlich eines leitfähigen Objekts (z. B. einer leitfähigen Platte 114 (SME), von dem mehrere auf dem Skalenmuster 112 in 2 mit kurzgestrichelten Linien konturiert sind), nahe dem Wandler bewegt wird, induziert das variierende Magnetfeld, das von der Senderwicklung 102 (FGC) erzeugt wird, Wirbelströme im leitfähigen Objekt, wodurch wiederum ein Magnetfeld von dem Objekt aufgebaut wird, das dem variierenden Magnetfeld des Senders entgegenwirkt. Als Folge wird der Magnetfluss, den die Empfängerwicklung 104 (SETSEN) empfängt, verändert oder gestört, wodurch bewirkt wird, dass die Empfängerwicklung ein von Null verschiedenes EMF-Signal (eine Spannung) an den Ausgangsanschlüssen V+ und V- der Empfängerwicklung 104 ausgibt, das die Polarität ändert, wenn sich das leitfähige Objekt zwischen den Schleifen mit positiver Polarität „+“ 106 (SEN+) und den Schleifen mit negativer Polarität „-“ 108 (SEN-) bewegt.If a scale or scale pattern 112 (180) (a segment of which is contoured by edges that appear in 2 indicate alternating long-dashed lines and short-dashed lines), including a conductive object (e.g., a conductive plate 114 (SME), a plurality of which is present on the scale pattern 112 in FIG 2 are outlined with short dashed lines) is moved near the transducer, the varying magnetic field generated by the transmitter winding 102 (FGC) induces eddy currents in the conductive object, which in turn sets up a magnetic field from the object that corresponds to the varying magnetic field of the transmitter counteracts. As a result, the magnetic flux that the receiver winding 104 (SETSEN) receives is altered or disturbed, causing the receiver winding to output a non-zero EMF signal (a voltage) at the output terminals V+ and V- of the receiver winding 104 that the polarity changes as the conductive object moves between the positive polarity “+” loops 106 (SEN+) and the negative polarity “-” loops 108 (SEN-).

In diesem Beispiel aus dem Stand der Technik ist die Entfernung zwischen dem Ort zweier Schleifen mit der gleichen Polarität (z. B. zwischen dem Ort einer Schleife 106 (SEN+) und dem Ort der nächsten Schleife 106 (SEN+)) als eine Neigung oder Wellenlänge 110 (W1) des Wandlers definiert. Es ist zu erkennen, dass jede Schleife 106 (SEN+) und/oder 108 (SEN-) daher eine Länge oder maximale Dimension von 0,5*W1 entlang der Messachsenrichtung 300 aufweist. Wenn sich das vorstehend beschriebene leitfähige Objekt (z. B. eine leitfähige Platte 114 (SME)) in der Nähe der Empfängerwicklung 104 (SETSEN) befindet und seine Position entlang einer Messachse 300 (MA) kontinuierlich variiert wird, variiert die Wechselstromamplitude des Signalausgangs von der Empfängerwicklung (SETSEN) kontinuierlich und periodisch mit der Wellenlänge 110 (W1) aufgrund der periodischen Polaritätsänderung der Schleifen 106 (SEN) und 108 (SEN) und der durch das leitfähige Objekt (z. B. eine leitfähige Platte 114 (SME)) verursachten lokalen Störung des übertragenen Magnetfelds .In this prior art example, the distance between the location of two loops with the same polarity (eg, between the location of one loop 106 (SEN+) and the location of the next loop 106 (SEN+)) is a slope or wavelength 110 (W1) of the converter. It can be seen that each loop 106 (SEN+) and/or 108 (SEN-) therefore has a length or maximum dimension of 0.5*W1 along the measurement axis direction 300. When the conductive object described above (e.g. a conductive plate 114 (SME)) is in the vicinity of the receiver winding 104 (SETSEN) and its position along a measurement axis 300 (MA) is continuously varied, the AC amplitude of the signal output varies from of the receiver winding (SETSEN) continuously and periodically with the wavelength 110 (W1) due to the periodic polarity change of the loops 106 (SEN) and 108 (SEN) and that caused by the conductive object (e.g. a conductive plate 114 (SME)). local disturbance of the transmitted magnetic field.

Das '389-Patent betont, dass, wenn das leitfähige Objekt (z. B. eine leitfähige Platte 114 (SME)) viel kleiner oder größer als die Schleifen 106 und/oder 108 (SEN+, SEN-) ist, die Amplitude des Signalausgangs schwach wird und eine hohe Genauigkeit schwierig zu erreichen sein wird. Der Signalausgang wird eine große Amplitude aufweisen und daher am empfindlichsten gegenüber der Position des leitfähigen Objekts (z. B. einer leitfähigen Platte 114 (SME)) sein, wenn seine Länge ungefähr gleich der halben Wellenlänge 110 (W1) ist (d. h. wenn es möglich ist, das Objekt genau deckungsgleich mit den Schleifen 106 oder 108 (SEN+ oder SEN-) zu positionieren). Folglich verwendet die Offenbarung (des '389-Patents) vorzugsweise leitfähige Gegenstände (z. B. leitfähige Platten 114 (SME)), die eine Länge (entlang der x-Achsenrichtung) gleich einer halben Wellenlänge 110 (W1) aufweisen.The '389 patent emphasizes that when the conductive object (e.g., a conductive plate 114 (SME)) is much smaller or larger than the loops 106 and/or 108 (SEN+, SEN-), the amplitude of the signal output becomes weak and high accuracy will be difficult to achieve. The signal output will have a large amplitude and will therefore be most sensitive to the position of the conductive object (e.g. a conductive plate 114 (SME)) when its length is approximately equal to half the wavelength 110 (W1) (i.e. if it is possible is to position the object exactly coincident with loops 106 or 108 (SEN+ or SEN-)). Accordingly, the disclosure (of the '389 patent) preferably uses conductive objects (e.g., conductive plates 114 (SME)) that have a length (along the x-axis direction) equal to half a wavelength 110 (W1).

Es versteht sich, dass die in 2 gezeigte und vorstehend beschriebene Senderwicklung 102 (FGC) und die Empfängerwicklung 104 (SETSEN) ein Beispiel für eine Implementierung von Elementen nach dem Stand der Technik sind, die hier als Detektorabschnitt bezeichnet werden (z. B. der in 1 gezeigte Abschnitt 167). Die Skala oder das Skalenmuster 112 (180) ist ein Beispiel für eine Implementierung des Standes der Technik, die hierin als Skalenmuster bezeichnet wird (z. B. das in 1 gezeigte Skalenmuster 180).It is understood that the in 2 The transmitter winding 102 (FGC) shown and described above and the receiver winding 104 (SETSEN) are an example of a prior art implementation of elements referred to herein as the detector section (e.g. the in 1 section 167 shown). The scale or scale pattern 112 (180) is an example of a prior art implementation referred to herein as a scale pattern (e.g., the in 1 scale pattern shown 180).

3 ist ein Draufsichtdiagramm einer Implementierung eines Detektorabschnitts 367 und eines Skalenmusters 380, die in einem elektronischen Positionscodierer verwendet werden können, wie er in 1 gezeigt ist, wobei Signalmodulationselemente SME gemäß hierin offenbarten Prinzipien der Klarheit der Beschreibung halber in Kombination mit zuvor bekannten „weniger wünschenswerten“ Sensorelementen SEN gezeigt sind. 3 führt auch verschiedene Dimensionen ein, die Merkmale der Signalmodulationselemente SME und der Sensorelemente SEN gemäß hierin offenbarten Prinzipien charakterisieren können. Wünschenswertere Größen und Formen der Sensorelemente SEN gemäß hierin offenbarten Prinzipien werden weiter unten unter Bezugnahme auf 6, 7 und 8 beschrieben. Wünschenswerte alternative Konfigurationen und/oder vorgeschriebene Beziehungen zum Anordnen der Orte und/oder der Form der Sensorelemente SEN gemäß den hierin offenbarten Prinzipien werden weiter unten unter Bezugnahme auf 9-13 und 14-17 beschrieben. 3 12 is a top view diagram of an implementation of a detector section 367 and a scale pattern 380 that can be used in an electronic position encoder as shown in FIG 1 is shown, wherein signal modulation elements SME according to principles disclosed herein are shown in combination with previously known "less desirable" sensor elements SEN for clarity of description. 3 also introduces different dimensions, the characteristics of the signal modulation elements SME and the Sen can characterize sensor elements SEN according to principles disclosed herein. More desirable sizes and shapes of the sensor elements SEN according to principles disclosed herein are discussed below with reference to FIG 6 , 7 and 8th described. Desirable alternative configurations and/or prescribed relationships for arranging the locations and/or shape of the sensor elements SEN according to the principles disclosed herein are discussed further below with reference to FIG 9-13 and 14-17 described.

Verschiedene Merkmale des Detektorabschnitts 367 und des Skalenmusters 380 sind dazu konfiguriert, verschiedene hierin offenbarte und beanspruchte Designprinzipien zu erfüllen, insbesondere in Bezug auf die Signalmodulationselemente SME. Es versteht sich, dass bestimmte nummerierte Komponenten 3XX von 3 den ähnlich nummerierten Komponenten 1XX von 1 und/oder 2 entsprechen und/oder ähnliche Operationen oder Funktionen bereitstellen können (z. B. stellt der Detektorabschnitt 367 ähnliche Operationen oder Funktionen für den Detektorabschnitt 167 bereit) und ähnlich verstanden werden können, sofern nicht anders angegeben.Various features of the detector portion 367 and the scale pattern 380 are configured to meet various design principles disclosed and claimed herein, particularly with respect to the signal modulation elements SME. It is understood that certain numbered components 3XX from 3 the similarly numbered components 1XX of 1 and or 2 and/or provide similar operations or functions (e.g., detector portion 367 provides similar operations or functions for detector portion 167) and can be understood similarly unless otherwise noted.

3 kann als teilweise gegenständlich, teilweise schematisch angesehen werden. Ein vergrößerter Teilabschnitt des Detektorabschnitts 367 und des Skalenmusters 380 ist im unteren Abschnitt von 3 dargestellt. In 3 werden die verschiedenen nachstehend beschriebenen Elemente durch ihre Form oder ihren Umriss dargestellt und sind übereinandergelegt dargestellt, um bestimmte geometrische Beziehungen hervorzuheben. Es versteht sich, dass verschiedene Elemente auf verschiedenen Fertigungsschichten liegen können, die sich auf verschiedenen Ebenen entlang der z-Achsenrichtung befinden, je nachdem, was erforderlich ist, um verschiedene Betriebsspalte und/oder Isolierschichten bereitzustellen, wie es für den Durchschnittsfachmann auf dem Gebiet basierend auf der folgenden Beschreibung und den aufgenommenen Referenzen ersichtlich ist. In den Figuren dieser Offenbarung ist zu beachten, dass die dargestellten x-Achsen-, y-Achsen- und/oder z-Achsendimensionen eines oder mehrerer Elemente der Klarheit halber übertrieben dargestellt sein können, aber es versteht sich, dass sie nicht den verschiedenen hierin offenbarten und beanspruchten dimensionalen Designprinzipien und -beziehungen widersprechen sollen. 3 can be viewed as partly representational, partly schematic. An enlarged portion of the detector section 367 and the scale pattern 380 is shown in the lower portion of FIG 3 shown. In 3 the various elements described below are represented by their shape or outline and are superimposed to emphasize certain geometric relationships. It should be understood that different elements may reside on different fabrication layers located at different levels along the z-axis direction as required to provide different operational gaps and/or insulating layers, as would be appreciated by those of ordinary skill in the art can be seen on the following description and the included references. In the figures of this disclosure, it should be noted that the illustrated x-axis, y-axis, and/or z-axis dimensions of one or more elements may be exaggerated for clarity, but it should be understood that they do not correspond to the various figures herein to contradict disclosed and claimed dimensional design principles and relationships.

Der dargestellte Abschnitt des Skalenmusters 380 umfasst einen ersten Typ von Signalmodulationselementen SME, die in gestrichelten Konturen mit einer punktierten Füllung gezeigt sind. Das periodische Skalenmuster 380 weist eine räumliche Wellenlänge W1 auf. Bei dieser Implementierung umfassen die Signalmodulationselemente SME vom ersten Typ ähnliche leitfähige Platten (wie sie z. B. durch Regionen gebildet werden, die auf einer gedruckten Leiterplatte hergestellt sind, oder wie sie durch erhabene Regionen gebildet werden, die von einem leitfähigen Substrat ausgehen). In anderen Implementierungen können sie jedoch ähnliche leitfähige Schleifen umfassen (wie sie z. B. durch Leiterbahnen auf einer Leiterplatte gebildet werden), wie nachstehend ausführlicher beschrieben wird. In jedem Fall befinden sie sich entlang der Messachsenrichtung MA entsprechend der räumlichen Wellenlänge W1. Das Skalenmuster 380 wird im Allgemeinen auf einer Skala implementiert (z. B. der in 1 gezeigten Skala 170). Die y-Richtungsextreme der meisten Signalmodulationselemente SME sind unter den ersten und zweiten verlängerten Abschnitten EP1 und EP2 der Felderzeugungsspule FGC in der in 3 veranschaulichten Implementierung verborgen (z. B. wie in den '335-, '943- und '199-Patenten beschrieben). Es versteht sich, dass sich das Skalenmuster 380 während des Betriebs relativ zum Detektorabschnitt 367 bewegt, wie in 1 zu sehen ist.The illustrated portion of the dial pattern 380 includes a first type of signal modulation elements SME, shown in dashed outlines with a dotted fill. The periodic scale pattern 380 has a spatial wavelength W1. In this implementation, the first type signal modulation elements SME comprise similar conductive plates (e.g. as formed by regions fabricated on a printed circuit board or as formed by raised regions emanating from a conductive substrate). However, in other implementations, they may include similar conductive loops (e.g., such as are formed by conductive traces on a circuit board), as described in more detail below. In any case, they are located along the measurement axis direction MA, corresponding to the spatial wavelength W1. The scale pattern 380 is generally implemented on a scale (e.g. the one in 1 shown scale 170). The y-direction extremes of most of the signal modulation elements SME are under the first and second extended sections EP1 and EP2 of the field generating coil FGC in FIG 3 implementation illustrated (e.g., as described in the '335, '943 and '199 patents). It is understood that the scale pattern 380 moves relative to the detector section 367 during operation, as shown in FIG 1 you can see.

In dem Beispiel von 3 weist das Skalenmuster 380 eine nominale Skalenmusterbreitendimension NSPWD entlang der y-Achsenrichtung auf und umfasst im Allgemeinen rechteckige Signalmodulationselemente SME, die periodisch entlang der Messachsenrichtung MA (z. B. entsprechend der x-Achsenrichtung) angeordnet sind. Allgemeiner kann das Skalenmuster 380 jedoch verschiedene alternative räumlich modulierte Muster umfassen, die alternative Signalmodulationselementkonfigurationen umfassen, vorausgesetzt, dass das Muster eine räumliche Charakteristik aufweist, die sich in Abhängigkeit von der Position entlang der x-Achsenrichtung ändert, um positionsabhängige Detektorsignale (in einigen Implementierungen auch als Detektorsignalkomponenten bezeichnet) bereitzustellen, die in den Sensorelementen SEN (z. B. SEN14) des Satzes von Sensorelementen SETSEN in dem Detektorabschnitt 367 entstehen.In the example of 3 the scale pattern 380 has a nominal scale pattern width dimension NSPWD along the y-axis direction and comprises generally rectangular signal modulation elements SME periodically arranged along the measurement axis direction MA (e.g. corresponding to the x-axis direction). More generally, however, the scale pattern 380 can include various alternative spatially modulated patterns that include alternative signal modulation element configurations, provided that the pattern has a spatial characteristic that varies with position along the x-axis direction to provide position dependent detector signals (also in some implementations referred to as detector signal components) arising in the sensor elements SEN (e.g. SEN14) of the set of sensor elements SETSEN in the detector section 367.

Bei verschiedenen Implementierungen ist der Detektorabschnitt 367 dazu konfiguriert, in der Nähe des Skalenmusters 380 montiert zu werden und sich entlang der Messachsenrichtung MA relativ zum Skalenmuster 380 zu bewegen. Der Detektorabschnitt umfasst eine felderzeugende Spule FGC und einen Satz von Sensorelementen SETSEN, die mehrere alternative Konfigurationen annehmen können, die in Kombination mit mehreren entsprechenden Signalverarbeitungsschemata in verschiedenen Implementierungen verwendet werden können, wie für den Fachmann auf dem Gebiet verständlich ist. 3 zeigt einen einzelnen repräsentativen Satz von Sensorelementen SEN1-SEN24, die in dieser Implementierung Sensorschleifenelemente (alternativ als Sensorspulenelemente oder Sensorwicklungselemente bezeichnet) umfassen, die in Reihe geschaltet sind. Bei dieser Implementierung sind benachbarte Schleifenelemente durch eine Konfiguration von Leitern auf verschiedenen Schichten von PCB (Printed Circuit Boards - Leiterplatten) (z. B. durch Durchführungen verbunden) gemäß bekannter Verfahren (wie z. B. in 4 veranschaulicht) verbunden, derart, dass sie entgegengesetzte Wicklungspolaritäten aufweisen. Das heißt, wenn eine erste Schleife auf ein sich änderndes Magnetfeld mit einem Detektorsignalbeitrag mit positiver Polarität reagiert, dann reagieren die benachbarten Schleifen mit einem Detektorsignalbeitrag mit negativer Polarität. Schleifen mit einem Detektorsignalbeitrag mit positiver Polarität können hierin als Sensorelemente „SEN+“ bezeichnet werden, und Schleifen mit einem Detektorsignalbeitrag mit negativer Polarität können hierin in verschiedenen Zusammenhängen als Sensorelemente „SEN-“ bezeichnet werden. Bei dieser Implementierung sind die Sensorelemente in Reihe geschaltet, derart, dass ihre Detektorsignale oder Signalbeiträge summiert werden, und ein „summiertes“ Detektorsignal an den Detektorsignalausgangsanschlüssen SDS1 und SDS2 an eine Signalverarbeitungskonfiguration (nicht gezeigt) ausgegeben wird.In various implementations, the detector portion 367 is configured to be mounted near the scale pattern 380 and to move relative to the scale pattern 380 along the measurement axis direction MA. The detector section comprises a field generating coil FGC and a set of sensor elements SETSEN, which can take on several alternative configurations that can be used in combination with several corresponding signal processing schemes in different implementations, as will be understood by those skilled in the art. 3 Figure 12 shows a single representative set of sensor elements SEN1-SEN24, which in this implementation comprise sensor loop elements (alternatively referred to as sensor coil elements or sensor winding elements) connected in series are switched. In this implementation, adjacent loop elements are connected by a configuration of conductors on different layers of PCB (Printed Circuit Boards) (e.g. connected by feed-throughs) according to known methods (as e.g. in 4 illustrated) connected such that they have opposite winding polarities. That is, if a first loop responds to a changing magnetic field with a positive polarity detector signal contribution, then the adjacent loops will respond with a negative polarity detector signal contribution. Loops with a positive polarity detector signal contribution may be referred to herein as sensor elements "SEN+" and loops with a negative polarity detector signal contribution may be referred to herein as sensor elements "SEN-" in various contexts. In this implementation, the sensor elements are connected in series such that their detector signals or signal contributions are summed, and a "summed" detector signal is output at the detector signal output terminals SDS1 and SDS2 to a signal processing configuration (not shown).

Obwohl 3 einen einzelnen Satz von Sensorelementen zeigt, um optische Verwirrung zu vermeiden, versteht sich, dass es in verschiedenen Implementierungen vorteilhaft ist, den Detektor derart zu konfigurieren, dass er einen oder mehrere zusätzliche Sätze von Sensorelementen (z. B. ähnlich SETSEN) in einer unterschiedlichen räumlichen Phasenposition bereitstellt (z. B. um Quadratursignale bereitzustellen), wie für den Durchschnittsfachmann verständlich ist. Es versteht sich jedoch, dass die hierin beschriebenen Konfigurationen von Sensorelementen nur beispielhaft und nicht einschränkend sind. Als ein Beispiel können einzelne Sensorelementschleifen in einigen Implementierungen individuelle Signale an eine entsprechende Signalverarbeitungskonfiguration ausgeben, wie zum Beispiel im US-Patent Nr. 9,958,294 offenbart, das hiermit in seiner Gesamtheit durch Bezugnahme aufgenommen wird. Allgemeiner können verschiedene bekannte Sensorelementkonfigurationen in Kombination mit den hier offenbarten und beanspruchten Prinzipien zur Verwendung in Kombination mit verschiedenen bekannten Skalenmuster- und Signalverarbeitungsschemata bei verschiedenen Implementierungen verwendet werden.Even though 3 shows a single set of sensor elements to avoid optical confusion, it will be appreciated that in various implementations it is advantageous to configure the detector to have one or more additional sets of sensor elements (e.g. similar to SETSEN) in a different spatial phase position (e.g. to provide quadrature signals) as will be understood by those of ordinary skill in the art. However, it should be understood that the sensor element configurations described herein are exemplary only and not limiting. As an example, in some implementations, individual sensor element loops may output individual signals to a corresponding signal processing configuration, such as im U.S. Patent No. 9,958,294 which is hereby incorporated by reference in its entirety. More generally, various known sensor element configurations may be used in combination with the principles disclosed and claimed herein for use in combination with various known dial pattern and signal processing schemes in various implementations.

Die verschiedenen Elemente des Satzes von Sensorelementen SETSEN und der felderzeugenden Spule FGC können auf einem Substrat (z. B. dem Substrat 162 von 1) befestigt sein. Die felderzeugende Spule FGC kann als einen Innenraum INTA umgebend, der eine nominale Spulenraumlängendimension NCALD entlang der x-Achsenrichtung und eine nominale Spulenraumbreitendimension von ungefähr YSEP entlang der y-Achsenrichtung aufweist, beschrieben werden. Der Innenraum INTA ist während des Betriebs auf das periodische Skalenmuster 380 der Signalmodulationselemente SME ausgerichtet, ungefähr wie veranschaulicht. In der dargestellten Implementierung umfasst die felderzeugende Spule FGC eine einzelne Windung, die den Innenraum INTA umgibt. Es versteht sich jedoch, dass in verschiedenen anderen Implementierungen die felderzeugende Spule FGC mehrere Windungen umfassen kann und/oder mäanderförmig verlaufen kann, um den Innenraum INTA, der mit dem Skalenmuster 380 ausgerichtet ist, funktional zu umgeben (z. B. funktional teilweise zu umgeben), sowie um andere Innenräume, die mit Skalierungsspuren ausgerichtet sind, die andere Skalenmuster enthalten, funktional zu umgeben (z. B. funktional teilweise zu umgeben), wie in den eingeschlossenen Referenzen offenbart ist. The various elements of the set of sensor elements SETSEN and the field generating coil FGC can be formed on a substrate (e.g. the substrate 162 of 1 ) to be attached. The field generating coil FGC can be described as surrounding an interior space INTA having a nominal coil space length dimension NCALD along the x-axis direction and a nominal coil space width dimension of approximately YSEP along the y-axis direction. The interior INTA is aligned with the periodic scale pattern 380 of the signal modulation elements SME during operation, approximately as illustrated. In the illustrated implementation, field generating coil FGC comprises a single turn surrounding interior space INTA. It should be understood, however, that in various other implementations, field generating coil FGC may include multiple turns and/or meander to functionally surround (e.g., functionally partially surround) interior space INTA aligned with scale pattern 380 ), as well as to functionally surround (e.g., functionally partially surround) other interior spaces aligned with scale lanes containing other scale patterns, as disclosed in the included references.

In jedem Fall erzeugt die felderzeugende Spule FGC im Betrieb einen sich ändernden Magnetfluss im Innenraum INTA als Reaktion auf ein Spulenansteuerungssignal. Bei der veranschaulichten Implementierung können der erste und der zweite Verbindungsabschnitt CP1 und CP2 dazu verwendet werden, ein Spulenansteuerungssignal von einer Signalverarbeitungskonfiguration (z. B. der Signalverarbeitungskonfiguration 166 von 1) mit der felderzeugenden Spule FGC zu verbinden.In either case, the field generating coil FGC operates to generate a changing magnetic flux in the interior INTA in response to a coil drive signal. In the illustrated implementation, the first and second connection portions CP1 and CP2 may be used to receive a coil drive signal from a signal processing configuration (e.g., signal processing configuration 166 of FIG 1 ) to be connected to the field-generating coil FGC.

Der Satz von Sensorelementen SETSEN (z. B. die Sensorelemente SEN1-SEN24) ist entlang der x-Achsenrichtung (z. B. entsprechend der Messachsenrichtung MA) angeordnet und auf dem Substrat (z. B. dem Substrat 162 von 1) befestigt. Wie in 3 gezeigt, umfassen die Elemente des Satzes von Sensorelementen leitfähige Schleifen oder leitfähige Schleifenabschnitte (z. B. SEN1-SEN24), die einen effektiven Sensorelementraum EffASEN definieren, entsprechend dem Abschnitt ihres Sensorelements, das mit dem Innenraum INTA ausgerichtet ist oder diesen überlappt, der von der Felderzeugungsspule FGC umgeben ist (d. h. dem Abschnitt des Sensorelements, der mit der Dimension YSEP von INTA ausgerichtet ist oder diese überlappt). Bei verschiedenen Implementierungen kann der effektive Sensorelementraum EffASEN, der mit dem Innenraum INTA ausgerichtet ist oder diesen überlappt, als eine effektive y-Achsendimension EffYSEN entlang einer y-Achsenrichtung, die senkrecht zur Messachsenrichtung ist, und eine maximale Dimension DSENmax entlang der Messachsenrichtung (der x-Achsenrichtung) aufweisend, beschrieben werden. In der in 3 gezeigten speziellen Implementierung ist die effektive y-Achsendimension EffYSEN gleich YSEP, weil jedes der Sensorelemente SEN eine maximale Sensorelementdimension YSENMAX entlang der y-Achsenrichtung aufweist, die YSEP überschreitet, und sein effektiver Raum EffASEN sich daher über die gesamte Dimension YSEP erstreckt. Die maximale Dimension DSENmax in Messachsenrichtung beträgt nominal 0,5*W1. Diese Eigenschaften sind jedoch für diese Implementierung spezifisch und nicht einschränkend und können in verschiedenen Implementierungen optional (oder unerwünscht) sein, wie nachstehend unter Bezugnahme auf 5B, 6, 7 und 8 ausführlicher beschrieben wird.The set of sensor elements SETSEN (e.g. the sensor elements SEN1-SEN24) are arranged along the x-axis direction (e.g. corresponding to the measurement axis direction MA) and on the substrate (e.g. the substrate 162 of 1 ) attached. As in 3 shown, the elements of the set of sensing elements include conductive loops or conductive loop portions (e.g., SEN1-SEN24) that define an effective sensing element space EffASEN, corresponding to the portion of their sensing element that aligns with or overlaps the interior space INTA, that of of the field generating coil FGC (ie the portion of the sensor element which is aligned with or overlaps the dimension YSEP of INTA). In various implementations, the effective sensor element space EffASEN aligned with or overlapping the interior space INTA can be defined as an effective y-axis dimension EffYSEN along a y-axis direction that is perpendicular to the sense axis direction and a maximum dimension DSENmax along the sense axis direction (the x -Axis direction) having described. in the in 3 The particular implementation shown, the effective y-axis dimension EffYSEN is equal to YSEP because each of the sensor elements SEN has a maximum sensor element dimension YSENMAX along the y-axis direction that exceeds YSEP and its effective space EffASEN therefore extends over the entire YSEP dimension. The maximum dimension DSENmax in the direction of the measuring axis is nominally 0.5*W1. However, these properties are specific to, and not limiting of, this implementation, and may be optional (or undesirable) in various implementations, as referred to below with reference to FIG 5B , 6 , 7 and 8th is described in more detail.

Es ist sinnvoll, den effektiven Sensorelementraum EffASEN ferner durch seine durchschnittliche Sensorelementdimension DSENavg=(EffASEN/EffYSEN) entlang der Messachsenrichtung zu charakterisieren. Für die in 3 gezeigte spezielle Implementierung ist DSENavg gleich DSENmax, da der effektive Elementraum EffASEN parallele Seiten aufweist, die senkrecht zur x-Achsenrichtung sind. Dies muss jedoch nicht bei allen Implementierungen der Fall sein, wie nachstehend mit Bezug auf 5B, 6, 7 und 8 ausführlicher beschrieben wird.It is useful to further characterize the effective sensor element space EffASEN by its average sensor element dimension DSENavg=(EffASEN/EffYSEN) along the measurement axis direction. for the inside 3 In the particular implementation shown, DSENavg equals DSENmax because the effective element space EffASEN has parallel sides that are perpendicular to the x-axis direction. However, this need not be the case in all implementations, as discussed below with reference to FIG 5B , 6 , 7 and 8th is described in more detail.

Die Elemente des Satzes von Sensorelementen SETSEN sind dazu konfiguriert, Detektorsignale bereitzustellen, die auf einen lokalen Effekt auf den sich ändernden Magnetfluss reagieren, der durch ein benachbartes Signalmodulationselement SME des Skalenmusters 380 (z. B. ein oder mehrere Signalmodulationselemente SME) bereitgestellt wird. Eine Signalverarbeitungskonfiguration (z. B. die Signalverarbeitungskonfiguration 166 von 1 usw.) kann dazu konfiguriert sein, eine Position des Satzes von Sensorelementen SETSEN relativ zu dem Skalenmuster 380 basierend auf den Detektorsignalen zu bestimmen, die von dem Detektorabschnitt 367 eingegeben werden. Im Allgemeinen können die felderzeugende Spule FGC und der Satz von Sensorelementen SETSEN oder dergleichen nach bekannten Prinzipien (z. B. für induktive Codierer) arbeiten, wie beispielsweise denjenigen, die in den aufgenommenen Referenzen beschrieben sind.The elements of the set of sensor elements SETSEN are configured to provide detector signals responsive to a local effect on the changing magnetic flux provided by an adjacent signal modulation element SME of scale pattern 380 (e.g., one or more signal modulation elements SME). A signal processing configuration (e.g. the signal processing configuration 166 of 1 etc.) may be configured to determine a position of the set of sensor elements SETSEN relative to the scale pattern 380 based on the detector signals input from the detector section 367 . In general, the field generating coil FGC and the set of sensor elements SETSEN or the like can operate according to known principles (e.g. for inductive encoders), such as those described in the incorporated references.

Bei verschiedenen Implementierungen sind die felderzeugende Spule FGC und die Sensorelemente SEN voneinander isoliert (befinden sich z. B. in unterschiedlichen Schichten einer gedruckten Leiterplatte usw.). In einer derartigen Implementierung ist die maximale Sensorelement-y-Achsendimension YSENmax der Sensorelemente SEN vorteilhafterweise größer als die nominale Spulenraumbreitendimension YSEP und erstreckt sich über die Innenkanten der länglichen Abschnitte EP1 oder EP2 hinaus um einen Betrag, der als Überlappungsdimension definiert ist. Außerdem kann die felderzeugende Spule FGC vorteilhafterweise derart konfiguriert sein, dass die Leiterbahnbreite der länglichen Abschnitte EP1 und EP2 entlang der y-Achsenrichtung größer als die entsprechende Überlappungsdimension ist. Bei verschiedenen Implementierungen können die länglichen Abschnitte EP1 und EP2 auf einer ersten Schicht einer Leiterplatte hergestellt sein und können die Sensorelemente SEN leitfähige Schleifen umfassen, die in einer oder mehreren Schichten der Leiterplatte hergestellt sind, die eine Schicht umfassen, die sich von der ersten Schicht unterscheidet, mindestens in der Nähe der Überlappungsdimension. Derartige Implementierungen sind jedoch nur beispielhaft und nicht einschränkend, wie weiter unten beschrieben.In various implementations, the field generating coil FGC and the sensor elements SEN are isolated from each other (e.g. are in different layers of a printed circuit board, etc.). In such an implementation, the maximum sensor element y-axis dimension YSENmax of the sensor elements SEN is advantageously greater than the nominal coil space width dimension YSEP and extends beyond the inner edges of the elongate sections EP1 or EP2 by an amount defined as the overlap dimension. In addition, the field-generating coil FGC can advantageously be configured such that the trace width of the elongate sections EP1 and EP2 along the y-axis direction is larger than the corresponding overlap dimension. In various implementations, the elongate portions EP1 and EP2 may be fabricated on a first layer of a printed circuit board and the sensor elements SEN may comprise conductive loops fabricated in one or more layers of the printed circuit board that include a layer different from the first layer , at least close to the overlap dimension. However, such implementations are exemplary only and not limiting as described further below.

Wie zuvor angegeben, kann die felderzeugende Spule FGC in einigen Implementierungen eine oder mehrere Leiterbahnen umfassen, die auf der Leiterplatte hergestellt sind, und können die Elemente SEN des Satzes von SETSEN-Sensorelementen Magnetfluss-Sensorschleifen oder Schleifenabschnitte umfassen, die durch auf der Leiterplatte hergestellte Leiterbahnen gebildet werden. Wie vorstehend in Bezug auf 1 beschrieben, kann der Detektorabschnitt 367 in verschiedenen Implementierungen in verschiedenen Typen von Messinstrumenten (z. B. Messschiebern, Mikrometern, Messgeräten, linearen Skalen usw.) enthalten sein. Zum Beispiel kann der Detektorabschnitt 367 an einem Schiebeelement befestigt sein und kann das Skalenmuster 380 an einem Balken- oder Holmelement mit einer Messachse befestigt sein, die mit einer x-Achsenrichtung zusammenfällt. In einer derartigen Konfiguration kann das Schiebeelement beweglich an dem Balken- oder Holmelement montiert und entlang der Messachsenrichtung MA in einer Ebene beweglich sein, die sich entlang der x-Achsenrichtung und der y-Achsenrichtung erstreckt, wobei die z-Achsenrichtung zur Ebene orthogonal ist.As previously indicated, in some implementations, the field-generating coil FGC may comprise one or more conductive traces fabricated on the printed circuit board, and the elements SEN of the set of SETSEN sensor elements may comprise magnetic flux sensor loops or loop portions formed by conductive traces fabricated on the printed circuit board are formed. As above in relation to 1 described, the detector portion 367 may be included in various implementations in various types of measuring instruments (e.g., calipers, micrometers, gauges, linear scales, etc.). For example, the detector portion 367 may be attached to a slide member and the scale pattern 380 may be attached to a beam or spar member having a measurement axis coinciding with an x-axis direction. In such a configuration, the slide member may be movably mounted on the beam or spar member and movable along the measurement axis direction MA in a plane extending along the x-axis direction and the y-axis direction, with the z-axis direction being orthogonal to the plane.

Bezüglich des vergrößerten Teilabschnitts des Detektorabschnitts 367 und des Skalenmusters 380, der im unteren Abschnitt von 3 veranschaulicht ist, zeigt dieser drei beispielhafte Elemente SEN14, SEN15 und SEN16 des Satzes von Sensorelementen SETSEN und zwei beispielhafte Signalmodulationselemente SME, die von Abschnitten der felderzeugenden Spule FGC begrenzt werden. Bei dieser Implementierung können die Sensorelemente durch Leiterbahnen gebildet werden, die auf einer ersten und einer zweiten Schicht einer Leiterplatte mit einer Isolatorschicht dazwischen hergestellt sind. Die Leiterbahnen der „ersten Schicht“ sind als durchgezogene Linien und die Leiterbahnen der „zweiten Schicht“ als gestrichelte Linien gezeigt. Kleine Pfeile zeigen eine Richtung des Stromflusses, der in den Leiterbahnen durch ein sich änderndes Magnetfeld induziert wird, das von der felderzeugenden Spule FGC herrührt. Es kann sich erweisen, dass das Sensorelement SEN14 aufgrund seiner zugeordneten Stromrichtung als Schleife mit positiver Polarität „SEN+“ charakterisiert werden kann und das benachbarte Sensorelement SEN15 aufgrund seiner zugeordneten Stromrichtung „entgegengesetzter Polarität“ als Schleife mit negativer Polarität „SEN-“ charakterisiert werden kann. Das nächste benachbarte Sensorelement SEN16 kann wiederum als Schleife mit positiver Polarität „SEN+“ charakterisiert werden, usw.Regarding the enlarged portion of the detector section 367 and the scale pattern 380 shown in the lower portion of FIG 3 1, this shows three exemplary elements SEN14, SEN15 and SEN16 of the set of sensor elements SETSEN and two exemplary signal modulation elements SME bounded by sections of the field generating coil FGC. In this implementation, the sensor elements may be formed by conductive traces fabricated on first and second layers of a printed circuit board with an insulator layer in between. The "first layer" traces are shown as solid lines and the "second layer" traces are shown as dashed lines. Small arrows indicate a direction of current flow induced in the conductor tracks by a changing magnetic field originating from the field generating coil FGC. It may turn out that the sensor element SEN14 can be characterized as a loop with positive polarity "SEN+" due to its associated current direction and the adjacent sensor element SEN15 can be characterized as a loop with negative polarity "SEN-" due to its associated "opposite polarity" current direction. The next neighboring sensor element SEN16 can in turn be characterized as a loop with positive polarity "SEN+", and so on.

DSME ist die durchschnittliche Dimension entlang der Messachsenrichtung MA der „effektiven Region“ EffRSME eines Signalmodulationselements SME (des ersten Typs). Die effektive Region EffRSME eines Signalmodulationselements SME ist hier als der Abschnitt definiert, der mit der y-Achsendimension des Innenraums INTA ausgerichtet ist oder diese überlappt. Die effektive Region EffRSME erstellt den primären Signalmodulationseffekt in den Sensorelementen SEN. Für das in 3 gezeigte Beispiel ist ersichtlich, dass dies der Abschnitt des Signalmodulationselements SME ist, der mit der Spanne der Dimension YSEP entlang der y-Achsenrichtung für die in 3 gezeigte Implementierung zusammenfällt. In verschiedenen Ausführungen kann die durchschnittliche Dimension DSME eines Signalmodulationselements SME als der Raum der effektiven Region EffRSME eines Signalmodulationselements SME, dividiert durch die y-Achsenrichtungsdimension der effektiven Region EffRSME, genommen werden. Weitere Beispiele der Dimension DSME für andere Konfigurationen von Signalmodulationselementen SME sind in den 5A, 5B, 6, 7 und 8 gezeigt.DSME is the average dimension along the measurement axis direction MA of the "effective region" EffRSME of a signal modulation element SME (of the first type). The effective region EffRSME of a signal modulation element SME is defined here as the portion that aligns with or overlaps the y-axis dimension of the interior INTA. The effective region EffRSME creates the primary signal modulation effect in the sensor elements SEN. for the inside 3 In the example shown, it can be seen that this is the portion of the signal modulation element SME associated with the span of dimension YSEP along the y-axis direction for the in 3 implementation shown coincides. In various implementations, the average dimension DSME of a signal modulation element SME can be taken as the space of the effective region EffRSME of a signal modulation element SME divided by the y-axis direction dimension of the effective region EffRSME. More examples of the dimension DSME for other configurations of signal modulation elements SME are in the 5A , 5B , 6 , 7 and 8th shown.

Wie zuvor unter Bezugnahme auf 2 aufgezeigt, weisen Sensorelemente, z. B. die Sensorelemente SEN, herkömmlicherweise eine maximale Dimension DSENmax entlang der Messachsenrichtung auf, die 0,5*W1 beträgt. Eine derartige Dimension kann in verschiedenen Implementierungen vorteilhaft sein. Darüber hinaus weisen, wie zuvor unter Bezugnahme auf 2 aufgezeigt, auch Signalmodulationselemente wie die Signalmodulationselemente SME, herkömmlicherweise eine durchschnittliche Breitendimension DSME von 0,5*W1 auf. Im Gegensatz zu der unmittelbar vorstehend aufgezeigten herkömmlichen Designpraxis aus dem Stand der Technik hat der Erfinder entdeckt, dass bestimmte Leistungseigenschaften verbessert werden können, wenn die Signalmodulationselemente SME derart konfiguriert sind, dass sie eine durchschnittliche Breitendimension DSME aufweisen, die signifikant größer als 0,5*W1 ist, wie in 3 veranschaulicht. Zum Beispiel kann es in verschiedenen Implementierungen von Vorteil sein, wenn DSME mindestens 0,55*W1 und höchstens 0,8*W1 beträgt. Bei einigen dieser Implementierungen kann es am vorteilhaftesten sein, wenn DMSE mindestens 0,66*W1, oder 0,7*W1, oder mehr beträgt. Einige Gründe dafür werden im Folgenden unter Bezugnahme auf 4 beschrieben.As previously with reference to 2 shown, have sensor elements such. B. the sensor elements SEN, conventionally a maximum dimension DSENmax along the measurement axis direction, which is 0.5 * W1. Such a dimension can be advantageous in various implementations. In addition, as previously referred to 2 shown, also signal modulation elements such as the signal modulation elements SME, conventionally have an average width dimension DSME of 0.5*W1. Contrary to the conventional prior art design practice outlined immediately above, the inventor has discovered that certain performance characteristics can be improved if the signal modulation elements SME are configured to have an average width dimension DSME that is significantly greater than 0.5* W1 is as in 3 illustrated. For example, in various implementations it may be beneficial if DSME is at least 0.55*W1 and at most 0.8*W1. In some of these implementations it may be most advantageous if DMSE is at least 0.66*W1, or 0.7*W1, or more. Some reasons for this are given below with reference to 4 described.

Darüber hinaus hat der Erfinder außerdem festgestellt, dass es zur Abschwächung bestimmter Fehler, die andernfalls auftreten würden, zum Erreichen der besten Genauigkeit in verschiedenen Anwendungen am wünschenswertesten ist, sie in Kombination mit unkonventionellen Sensorelementen SEN zu verwenden, die derart konfiguriert sind, dass ihre durchschnittliche Sensorelementdimension DSENavg in einen Bereich fällt, der deutlich unter 0,5*W1 liegt. Zum Beispiel kann es in verschiedenen Implementierungen wünschenswert sein, wenn die durchschnittliche Dimension des Sensorelements DSENavg mindestens 0,285*W1 und höchstens 0,315*W1 beträgt. Dieser Aspekt der Offenbarung ist nachstehend unter Bezugnahme auf 6, 7 und 8 ausführlicher beschrieben. Die vorstehend aufgezeigte unkonventionelle Kombination von Eigenschaften stellt vorteilhafte Detektorsignaleigenschaften (z. B. Bereitstellen eines besseren Signal-Rausch-(S/N)-Verhältnisses und/oder reduzierter Fehlerkomponenten in den Detektorsignalen) im Vergleich zu Konfigurationen gemäß den Designprinzipien aus dem Stand der Technik bereit.In addition, the inventor has also found that in order to mitigate certain errors that would otherwise occur and achieve the best accuracy in various applications, it is most desirable to use them in combination with unconventional sensor elements SEN configured such that their average Sensor element dimension DSENavg falls in a range that is well below 0.5 * W1. For example, in various implementations it may be desirable if the average dimension of the sensor element DSENavg is at least 0.285*W1 and at most 0.315*W1. This aspect of the disclosure is below with reference to 6 , 7 and 8th described in more detail. The unconventional combination of properties presented above provides advantageous detector signal properties (e.g. providing a better signal-to-noise (S/N) ratio and/or reduced error components in the detector signals) compared to configurations according to prior art design principles ready.

4 ist eine vergrößerte isometrische Ansicht eines Abschnitts des Detektorabschnitts 367 und Skalenmusters 380, die in 3 gezeigt sind, einschließlich einer qualitativen Darstellung eines Magnetflusses und von Flusskopplungseigenschaften, die dem Betrieb eines Signalmodulationselements SME in einem derartigen Positionscodierer zugeordnet sein können. 4 zeigt verschiedene Überlegungen, die sich darauf beziehen, warum Signalmodulationselemente SME vorteilhafterweise dazu konfiguriert sein können, eine durchschnittliche Breitendimension DSME aufzuweisen, die in verschiedenen Implementierungen mindestens 0,55*W1 und höchstens 0,8*W1 beträgt. 4 FIG. 3 is an enlarged isometric view of a portion of detector portion 367 and dial pattern 380 shown in FIG 3 are shown, including a qualitative representation of magnetic flux and flux coupling properties that may be associated with the operation of a signal modulation element SME in such a position encoder. 4 Figure 12 shows various considerations related to why signal modulation elements SME can advantageously be configured to have an average width dimension DSME that is at least 0.55*W1 and at most 0.8*W1 in different implementations.

4 zeigt die Reaktion eines Signalmodulationselements SME auf ein erzeugtes sich änderndes Magnetfeld (Generated Changing Magnetic Field - GCMF), das von der felderzeugenden Spule FGC bereitgestellt wird, wie zuvor aufgezeigt. Wie in 4 gezeigt, erzeugt ein angelegter Spulenansteuerungssignalstrom Igen in der felderzeugenden Spule FGC das sich ändernde Magnetfeld GCMF, das induktiv mit dem Signalmodulationselement SME gekoppelt ist. Das Signalmodulationselement SME ist in 4 schematisch als leitfähige Schleife veranschaulicht. Als Reaktion auf das gekoppelte sich ändernde Magnetfeld GCMF wird im Signalmodulationselement SME ein Induktionsstrom lind erstellt, der ein induziertes Magnetfeld erstellt, das durch Flusslinien (den Flusslinien mit Pfeilspitzen in 4) dargestellt wird. Die dargestellten Flusslinien stellen einen zentralen Magnetfluss CF, dargestellt durch die zentralen Magnetflusslinien CFL, und einen magnetischen Randfluss MF dar, der durch die geschlossenen magnetischen Randflusslinien MFL1-MFL3 dargestellt wird, die die leitfähige Schleife des Signalmodulationselements SME umgebend gezeigt sind. 4 Figure 12 shows the response of a signal modulation element SME to a Generated Changing Magnetic Field (GCMF) provided by the field generating coil FGC as previously indicated. As in 4 As shown, an applied coil drive signal current Igen generates the changing magnetic field GCMF in the field generating coil FGC, which is inductively coupled to the signal modulation element SME. The signal modulation element SME is in 4 schematically illustrated as a conductive loop. In response to the coupled changing magnetic field GCMF, an induction current lind is created in the signal modulation element SME, creating an induced magnetic field defined by flux lines (the flux lines with arrowheads in Fig 4 ) is pictured. The flux lines shown represent a central magnetic flux CF, represented by the central magnetic flux lines CFL, and a peripheral magnetic flux MF, represented by the closed peripheral magnetic flux lines MFL1-MFL3 shown surrounding the conductive loop of the signal modulation element SME.

Im Allgemeinen versteht sich, dass die Elemente des Satzes von Sensorelementen SETSEN Signale (oder Signalbeiträge) erstellen, die auf den induzierten sich ändernden Magnetfluss reagieren, der wie vorstehend aufgezeigt dargestellt ist. Insbesondere reagieren die erstellten Signale auf den Betrag des Magnetflusses, der effektiv durch deren inneren Schleifenraum gekoppelt wird, um einen Signalbeitrag oder eine Signalkomponente zu erstellen, die als Strom Isense in dem Sensorelement SEN14 in 4 dargestellt ist. Wie in 4 gezeigt, können in verschiedenen Implementierungen der Detektorabschnitt 367 und das Skalenmuster 380 ungefähr planar sein (z. B. können sie ungefähr planare Substrate umfassen oder auf diesen ausgebildet sein) und kann der Detektorabschnitt 367 dazu konfiguriert sein, ungefähr parallel zu dem periodischen Skalenmuster 380 mit einem nominalen Betriebsspalt GapZ zwischen ihren jeweiligen Leitern montiert zu werden. Zum Beispiel kann in verschiedenen Implementierungen der nominale Betriebsspalt GapZ mindestens 0,075*W1 betragen, um praktische Anordnungs- und Ausrichtungstoleranzen zu ermöglichen. Bei einigen derartigen Implementierungen kann der nominale Betriebsspalt mindestens 0,15*W1 betragen. Wie in 4 gezeigt, wird der zentrale Magnetfluss CF im Allgemeinen über einen praktischen Bereich von Betriebsspalten effektiv durch das Sensorelement SEN14 gekoppelt. Aufgrund des Betriebsspalts wird jedoch unter Umständen mindestens ein Teil des Randmagnetflusses MF nicht effektiv durch das Sensorelement SEN14 gekoppelt. Zum Beispiel wird bei einer relativ größeren Dimension für den Betriebsspalt GapZ, wie in 4 übertrieben dargestellt, keine der Randmagnetflusslinien MFL1-MFL3 durch das Sensorelement SEN14 gekoppelt und trägt nicht zum Strom Isense bei. Als Folge entspricht für die in 4 qualitativ dargestellte Konfiguration die effektive Breite Weff (dargestellt durch eine gestrichelte Linie in 4) des von dem Sensorelement SEN14 erfassten Signalmodulationselements SME nur den gekoppelten zentralen Magnetflusslinien CFL. In 4 ist zu sehen, dass, selbst wenn der Betriebsspalt GapZ verringert wird, um beispielsweise die magnetische Randflusslinie MFL3 durch das Sensorelement SEN14 zu koppeln, die effektive Breite Weff immer noch kleiner als die durchschnittliche Dimension DSME des Signalmodulationselements SME wäre.In general, it is understood that the elements of the set of sensor elements SETSEN produce signals (or signal contributions) that are responsive to the induced changing magnetic flux, illustrated as indicated above. In particular, the signals produced are responsive to the amount of magnetic flux effectively coupled through their internal loop space to produce a signal contribution or component known as current Isense in sensor element SEN14 in 4 is shown. As in 4 As shown, in various implementations, the detector portion 367 and the scale pattern 380 can be approximately planar (e.g., they can include or be formed on approximately planar substrates) and the detector portion 367 can be configured to run approximately parallel to the periodic scale pattern 380 with to be assembled with a nominal operating gap GapZ between their respective conductors. For example, in various implementations, the nominal operating gap GapZ can be at least 0.075*W1 to allow for practical placement and alignment tolerances. In some such implementations, the nominal operating gap can be at least 0.15*W1. As in 4 As shown, the central magnetic flux CF is generally effectively coupled through the sensor element SEN14 over a practical range of operating gaps. However, due to the operating gap, at least a portion of the fringe magnetic flux MF may not be effectively coupled through the sensor element SEN14. For example, with a relatively larger dimension for the operating gap GapZ, as in 4 shown exaggeratedly, none of the fringing magnetic flux lines MFL1-MFL3 are coupled through the sensor element SEN14 and do not contribute to the current Isense. As a result, for the in 4 qualitatively represented configuration, the effective width Weff (represented by a dashed line in 4 ) of the signal modulation element SME detected by the sensor element SEN14 only the coupled central magnetic flux lines CFL. In 4 it can be seen that even if the operating gap GapZ is reduced, for example to couple the fringing magnetic flux line MFL3 through the sensor element SEN14, the effective width Weff would still be smaller than the average dimension DSME of the signal modulation element SME.

Im Gegensatz zu herkömmlichen Lehren des Standes der Technik, die vorstehend unter Bezugnahme auf 2 aufgezeigt wurden, weist ein Signalmodulationselement SME somit vorteilhafterweise eine durchschnittliche Dimension DSME auf, die größer als die gewünschte effektive Breite Weff ist, um eine effektive Breite Weff aufzuweisen, die die gewünschte maximale Signalvariation und/oder das gewünschte Signalprofil gegenüber der Verschiebung erstellt, während es entlang der Messachsenrichtung an den Sensorelementen SEN vorbei bewegt wird. Zum Beispiel kann es bei einigen Implementierungen wünschenswert sein, dass die Dimension Weff ungefähr 0,5*W1 beträgt, was gemäß der vorstehenden Erörterung bedeutet, dass bei Verwendung eines praktischen Betriebsspalts GapZ, die durchschnittliche Dimension DSME eines Signalmodulationselements SME wünschenswerterweise in einigen derartigen Implementierungen mindestens 0,6*W1 oder 0,66*W1 oder 0,7*W1 oder mehr betragen kann.Contrary to conventional prior art teachings discussed above with reference to FIG 2 have been pointed out, a signal modulation element SME thus advantageously has an average dimension DSME greater than the desired effective width Weff in order to have an effective width Weff that establishes the desired maximum signal variation and/or signal profile versus displacement while it is moved past the sensor elements SEN along the measurement axis direction. For example, in some implementations it may be desirable for the dimension Weff to be approximately 0.5*W1, which according to the discussion above means that when using a practical operating gap GapZ, the average dimension DSME of a signal modulation element SME is desirably in some such implementations at least 0.6*W1 or 0.66*W1 or 0.7*W1 or more.

Es sollte beachtet werden, dass, wenn die Signalmodulationselemente SME leitfähige Platten anstatt leitfähiger Schleifen sind, wie in 4 gezeigt, eine Verteilung von „konzentrischen“ Wirbelströmen in derartigen leitfähigen Platten als Reaktion auf das erzeugte sich ändernde Magnetfeld GCMF erstellt werden kann. Diese Wirbelströme sind funktional vergleichbar mit dem in 4 gezeigten Induktionsstrom Iind. Wenn die leitfähige Platte jedoch eine durchschnittliche Dimension DSME aufweist, die gleich der in 4 gezeigten leitfähigen Schleife SME ist, dann liegt ihr „Äquivalentstromort“ aufgrund ihres verteilten „konzentrischen“ Musters ihrer Wirbelströme irgendwo innerhalb der Kanten der leitfähigen Platte, was zu einer noch kleineren effektiven Breite Weff als derjenigen führt, die einer leitfähigen Schleife ähnlicher Größe zugeordnet ist. Folglich kann es zusätzlich zur Verwendung eines relativ größeren Wertes der durchschnittlichen Dimension DSME bei Verwendung eines relativ größeren Betriebsspalts zwischen dem Detektorabschnitt 367 und dem Skalenmuster 380 besonders wünschenswert sein, dass ein Signalmodulationselement SME vom leitfähigen Plattentyp eine durchschnittliche Dimension DSME aufweist, die in Richtung des größeren Endes der vorstehend aufgezeigten wünschenswerten Bereiche liegt. Zum Beispiel hat der Erfinder festgestellt, dass die durchschnittliche Dimension DSME zwischen 0,7*W1 und 0,8*W1 bei einigen dieser Implementierungen vorteilhaft ist.It should be noted that when the signal modulation elements SME are conductive plates instead of conductive loops as in 4 shown that a distribution of "concentric" eddy currents can be created in such conductive plates in response to the generated changing magnetic field GCMF. These eddy currents are functionally comparable to the in 4 shown induction current Iind. However, if the conductive plate has an average dimension DSME equal to that in 4 If the conductive loop shown is SME, then its "equivalent current locus" due to its distributed "concentric" pattern of its eddy currents lies somewhere within the edges of the conductive plate, resulting in an even smaller effective width Weff than that associated with a similarly sized conductive loop. Consequently, in addition to using a relatively larger value of the average dimension DSME when using a relatively larger operating gap between the detector section 367 and the scale pattern 380, it may be particularly desirable for a conductive plate-type signal modulation element SME to have an average dimension DSME that is in the direction of the larger end of the desirable ranges outlined above. For example, the inventor has found that the average dimension DSME between 0.7*W1 and 0.8*W1 is advantageous in some of these implementations.

Als weitere Überlegung bezüglich des gewünschten Signalprofils gegenüber der Verschiebung sollte beachtet werden, dass die im Signalprofil enthaltenen unerwünschten räumlichen Harmonischen allgemein gesprochen von der Form der Signalmodulationselemente SME und deren effektiver Breite Weff und der Form und Breite der Sensorelemente SEN, sowie dem Betriebsspalt zwischen ihnen abhängig sind. Zum Beispiel werden in Detektor- und Skalenkonfigurationen, die analog zu den vorstehend aufgezeigten sind, wenn die effektive Breite Weff ungefähr 0,5*W1 beträgt, die geradzahligen räumlichen Harmonischen weitgehend aus den Detektorsignalen eliminiert. Jedoch können die ungeraden räumlichen Harmonischen entsprechend 0,33*W1 usw. verbleiben. In der US-Patentanmeldung Nr. 16/021,528 , veröffentlicht als US 2020/0003581 , wurde vorgeschlagen, dass das Konfigurieren des Signalmodulationselements SME, um eine effektive Breite Weff von 0,66*W1 bereitzustellen, die Tendenz aufweisen kann, die ungeraden räumlichen Harmonischen entsprechend 0,33*W1 zu unterdrücken. Alternativ dazu hat der Erfinder kürzlich erfahren, dass in dem zuvor aufgenommenen '708-Patent vorgeschlagen wurde, dass das Konfigurieren der Signalmodulationselemente mit einer tatsächlichen Breite von 5/6*W1 (ungefähr 0,83*W1) mit oder ohne einen Schlitz der Breite 1/6*W1 in ihrer Mitte die Tendenz beinhalten kann, die ungeraden räumlichen Harmonischen entsprechend 0,33*W1 zu unterdrücken. Es ist anzumerken, dass dies die vorstehend aufgezeigte Erläuterung der effektiven Breite Weff nicht berücksichtigt und daher wahrscheinlich nicht wie im '708-Patent beschrieben funktioniert. Auf jeden Fall haben diese Konfigurationen in der Praxis nicht das erwartete oder gewünschte Ausmaß an räumlicher Filterung bereitgestellt. Aufgrund der hohen Genauigkeiten, die bereits durch zuvor bekannte induktive Positionscodierer aus dem Stand der Technik erreicht wurden, haben diese Konfigurationen keine räumliche Filterung auf dem erwarteten oder vorhergesagten Niveau bereitgestellt und haben den Stand der Technik in dieser Hinsicht nicht auf wünschenswerte Weise verbessert oder weiterentwickelt.As a further consideration regarding the desired signal profile versus shift, it should be noted that the unwanted spatial harmonics contained in the signal profile depend, generally speaking, on the shape of the signal modulation elements SME and their effective width Weff and the shape and width of the sensor elements SEN, as well as the operating gap between them are. For example, in detector and scale configurations analogous to those outlined above, when the effective width Weff is approximately 0.5*W1, the even spatial harmonics are largely derived from the Detector signals eliminated. However, the odd spatial harmonics corresponding to 0.33*W1 and so on may remain. In US patent application no. 16/021,528 , published as US2020/0003581 , it has been suggested that configuring the signal modulation element SME to provide an effective width Weff of 0.66*W1 may tend to suppress the odd spatial harmonics corresponding to 0.33*W1. Alternatively, the inventor has recently learned that the previously incorporated '708 patent suggested that configuring the signal modulation elements to have an actual width of 5/6*W1 (approximately 0.83*W1) with or without a slot of width 1/6*W1 at its center may tend to suppress the odd spatial harmonics corresponding to 0.33*W1. It should be noted that this does not take into account the effective width Weff explanation presented above and therefore is not likely to work as described in the '708 patent. In any event, in practice these configurations have not provided the expected or desired degree of spatial filtering. Because of the high accuracies already achieved by previously known prior art inductive position encoders, these configurations have not provided spatial filtering at the expected or predicted level and have not improved or advanced the state of the art in a desirable manner in this regard.

Wie hierin offenbart, hat der Erfinder bestimmte Konfigurationen der Sensorelemente SEN entdeckt, die in Kombination mit Konfigurationen des vorstehend aufgezeigten Signalmodulationselements SME dazu verwendet werden können, die vorstehend aufgezeigten Unzulänglichkeiten der räumlichen Filterung zu beheben. Verschiedene wünschenswerte Konfigurationen für die Form der Sensorelemente SEN werden nachstehend unter Bezugnahme auf 6, 7 und 8 ausführlich beschrieben, und verschiedene wünschenswerte Konfigurationen gemäß vorgeschriebenen Beziehungen für den Ort und/oder die Form der Sensorelemente SEN werden nachstehend unter Bezugnahme auf 9-13 und 14-17 ausführlich beschrieben. Zuvor wird jedoch die Definition oder Interpretation bestimmter Dimensionen und Begriffe, die in dieser Beschreibung verwendet werden, unter Bezugnahme auf die in 5A und 5B gezeigten Beispiele geklärt. 5A und 5B sind Draufsichtdiagramme, die bestimmte Aspekte des jeweiligen Signalmodulationselements und Implementierungen des Sensorelements analog zu den in 3 gezeigten schematisch veranschaulichen, einschließlich zusätzlicher Beispiele bestimmter beispielhafter Dimensionen, die ihre Merkmale gemäß hierin offenbarter Prinzipien charakterisieren können.As disclosed herein, the inventor has discovered certain configurations of the sensor elements SEN which, in combination with configurations of the signal modulation element SME identified above, can be used to overcome the spatial filtering deficiencies identified above. Various desirable configurations for the shape of the sensor elements SEN are discussed below with reference to FIG 6 , 7 and 8th described in detail, and various desirable configurations according to prescribed relationships for the location and/or shape of the sensor elements SEN are described below with reference to FIG 9-13 and 14-17 described in detail. Before doing so, however, the definition or interpretation of certain dimensions and terms used in this description is given with reference to the in 5A and 5B shown examples clarified. 5A and 5B are plan view diagrams showing certain aspects of the respective signal modulation element and implementations of the sensor element analogous to those in 3 schematically illustrate those shown, including additional examples of certain exemplary dimensions that may characterize their features according to principles disclosed herein.

5A und 5B sind Draufsichtdiagramme, die schematisch jeweilige Implementierungen von induktiven elektronischen Positionscodierern veranschaulichen, die weitere Beispiele der Dimensionen und Begriffe DSENmax, DSENavg, DSME, EffRSME, EffASEN und EffYSEN veranschaulichen, die zuvor unter Bezugnahme auf 3 aufgezeigt wurden. Auch die Dimension YSEG wird vorgestellt und erläutert. Bestimmte nummerierte Komponenten 5XX von 5A und 5B können ähnlichen Operationen oder Funktionen wie die nummerierten Komponenten 3XX von 3 entsprechen und/oder diese bereitstellen und können, sofern nicht anders angegeben, ähnlich zu verstehen sein. 5A and 5B 12 are top-view diagrams that schematically illustrate respective implementations of inductive electronic position encoders that illustrate further examples of the dimensions and terms DSENmax, DSENavg, DSME, EffRSME, EffASEN, and EffYSEN previously described with reference to FIG 3 were shown. The YSEG dimension is also presented and explained. Certain numbered components 5XX from 5A and 5B may have similar operations or functions as the numbered components 3XX of 3 correspond to and/or provide the same and may be construed in a similar way unless otherwise indicated.

5A und 5B zeigen die räumliche Wellenlänge W1 und die zuvor aufgezeigten Dimensionen und Begriffe, wie sie auf ein nicht gerades Grenzprofil für die Signalmodulationselemente SME in 5A und für ein nicht gerades Grenzprofil für ein Sensorelement in 5B angewendet werden. Die zuvor aufgezeigte effektive Region EffRSME der Signalmodulationselemente SME wird durch eine punktierte Füllung innerhalb der Region oder des Raums der Signalmodulationselemente SME angegeben, die innerhalb von deren mit gestrichelten Konturen gezeigten Grenzen liegt und die mit dem Innenraum INTA ausgerichtet ist oder diesen überlappt. DSME ist die durchschnittliche Dimension entlang der Messachsenrichtung MA der effektiven Region EffRSME eines Signalmodulationselements SME. Bei verschiedenen Implementierungen kann die durchschnittliche Dimension DSME als der Raum der effektiven Region EffRSME eines Signalmodulationselements SME, dividiert durch die y-Achsenrichtungsdimension dieser effektiven Region EffRSME, genommen werden. Der Einfachheit und Konsistenz der Definition halber können für Signalmodulationselemente SME vom leitfähigen Plattentyp die relevanten Dimensionen der Kante des SME entsprechen und können für Signalmodulationselemente SME vom leitfähigen Schleifentyp die relevanten Dimensionen der Mittellinie der Leiter entsprechen. Für die in den 5A und 5B gezeigten Implementierungen ist die y-Achsenrichtungsdimension dieser effektiven Region EffRSME die gleiche wie die Dimension YSEP, da die Dimension YSEP des Innenraums INTA der felderzeugenden Spule FGC kleiner ist als die -y-Achsendimension der Signalmodulationselemente SME und darin enthalten ist. Dies muss jedoch nicht bei allen Implementierungen der Fall sein (z. B. wie in 7 gezeigt), und die vorherige Definition der effektiven Region EffRSME ist allgemeiner, einschließlich der Fälle, in denen die y-Achsenrichtungsdimension dieser effektiven Region EffRSME kleiner ist als die Dimension YSEP. 5A and 5B show the spatial wavelength W1 and the previously identified dimensions and terms as applied to a non-straight boundary profile for the signal modulation elements SME in 5A and for a non-straight limit profile for a sensor element in 5B be applied. The previously indicated effective region EffRSME of the signal modulation elements SME is indicated by a punctured fill within the region or space of the signal modulation elements SME that lies within their boundaries shown with dashed contours and that is aligned with or overlaps the interior space INTA. DSME is the average dimension along the measurement axis direction MA of the effective region EffRSME of a signal modulation element SME. In various implementations, the average dimension DSME can be taken as the space of the effective region EffRSME of a signal modulation element SME divided by the y-axis direction dimension of that effective region EffRSME. For simplicity and consistency of definition, for conductive plate type signal modulation elements SME the relevant dimensions may correspond to the edge of the SME and for conductive loop type signal modulation elements SME the relevant dimensions may correspond to the center line of the conductors. For those in the 5A and 5B In the implementations shown, the y-axis direction dimension of this effective region EffRSME is the same as the dimension YSEP, since the dimension YSEP of the interior INTA of the field generating coil FGC is smaller than and contained in the -y-axis dimension of the signal modulation elements SME. However, this may not be the case in all implementations (e.g. as in 7 shown), and the previous definition of the effective region EffRSME is more general, including cases where the y-axis direction dimension of this effective region EffRSME is smaller than the dimension YSEP.

Der zuvor aufgezeigte effektive Raum EffASEN der Sensorelemente SEN wird durch eine schräge Linienfüllung innerhalb des Raums eines Sensorelements SEN angegeben, der innerhalb seiner mit durchgezogenen Linien gezeigten Grenzen liegt und der mit dem Innenraum INTA ausgerichtet ist oder diesen überlappt. Wie zuvor aufgezeigt, ist DSENmax die maximale Breitendimension des Sensorelements entlang der x-Achse oder Messachsenrichtung MA für den effektiven Raum EffASEN des Sensorelements SEN. DSENavg ist die durchschnittliche Breitendimension des Sensorelements, definiert als DSENavg= EffASEN/EffYSEN. Wie bereits aufgezeigt, ist EffYSEN die y-Achsendimension des effektiven Sensorelementraums EffASEN. Bei den in den 5A und 5B gezeigten speziellen Implementierungen ist die effektive y-Achsendimension EffYSEN gleich YSEP, da jedes der Sensorelemente SEN eine maximale Sensorelementdimension entlang der y-Achsenrichtung aufweist, die YSEP überschreitet und deren effektiver Raum EffASEN sich daher über die gesamte Dimension YSEP erstreckt. Für die spezielle Implementierung, die in 5A gezeigt ist, weist der effektive Raum EffASEN parallele Seiten auf, die senkrecht zur x-Achsenrichtung sind und eine Dimension YSEG aufweisen, die YSEP überspannt; daher ist DSENavg gleich DSENmax. YSEG ist der Einfachheit halber als die y-Richtung der Dimension von Segmenten der Leiter definiert, die Sensorelemente SEN definieren, die sich mit der maximalen Dimension DSENmax voneinander beabstandet befinden und die sich gerade entlang der y-Achsenrichtung erstrecken. Für die in 5B gezeigte spezielle Implementierung weist der effektive Raum EffASEN eine Konfiguration auf, die die Dimension DSENmax in ihrer Mitte entlang der y-Achsenrichtung aufweist, aber deren Seiten sich derart verjüngen oder krümmen, dass sie in Richtung ihres oberen und unteren Teils ihres effektiven Raums EffASEN schmaler werden. Daher ist DSENavg, wie gezeigt, etwas kleiner als DSENmax. Zur Vereinfachung und Konsistenz der Definition können bei der Bestimmung von DSENavg=EffASEN/EffYSEN eines Sensorelements SEN die relevanten Dimensionen der Mittellinie seiner definierenden Leiter entsprechen. Bei den in 5A und 5B gezeigten Implementierungen beträgt DSENmax nominal 0,5*W1. Dieser Wert ist jedoch nicht einschränkend (z. B. wie nachstehend in 8 gezeigt). Die Dimensionen DSENavg der in 5A und 5B gezeigten Konfigurationen der Sensorelemente SEN werden gemäß den nachstehend unter Bezugnahme auf 6, 7 und 8 aufgezeigten Prinzipien nicht bevorzugt und werden nur dargestellt, um die Definition oder Bestimmung von DSENavg zu verdeutlichen. Die in 5B gezeigte Dimension CCSEN ist der Mittenabstand der Sensorelemente SEN entlang der x-Achsenrichtung. In verschiedenen Ausführungsformen kann es vorteilhaft sein, wenn CCSEN 0,5*W1 beträgt, ungeachtet der Form oder Dimension DSENavg der Sensorelemente SEN.The previously indicated effective space EffASEN of the sensor elements SEN is indicated by oblique line filling within the space of a sensor element SEN, which lies within its boundaries shown in solid lines and which is aligned with or overlaps the inner space INTA. As previously indicated, DSENmax is the maximum width dimension of the sensor element along the x-axis or measurement axis direction MA for the effective space EffASEN of the sensor element SEN. DSENavg is the average width dimension of the sensor element, defined as DSENavg= EffASEN/EffYSEN. As previously indicated, EffYSEN is the y-axis dimension of the effective sensor element space, EffASEN. At the in the 5A and 5B In the particular implementations shown, the effective y-axis dimension EffYSEN is equal to YSEP because each of the sensor elements SEN has a maximum sensor element dimension along the y-axis direction that exceeds YSEP and whose effective space EffASEN therefore spans the entire dimension YSEP. For the specific implementation included in 5A As shown, the effective space EffASEN has parallel sides perpendicular to the x-axis direction and has a dimension YSEG spanning YSEP; therefore DSENavg equals DSENmax. YSEG is defined for simplicity as the y-direction of dimension of segments of the conductors defining sensor elements SEN that are spaced from each other by the maximum dimension DSENmax and that extend straight along the y-axis direction. for the inside 5B In the particular implementation shown, the effective space EffASEN has a configuration that has dimension DSENmax at its center along the y-axis direction, but whose sides are tapered or curved such that they narrow towards their top and bottom of their effective space EffASEN . Therefore, as shown, DSENavg is slightly less than DSENmax. For simplicity and consistency of definition, when determining DSENavg=EffASEN/EffYSEN of a sensor element SEN, the relevant dimensions may correspond to the centerline of its defining conductors. At the in 5A and 5B implementations shown, DSENmax is nominally 0.5*W1. However, this value is not restrictive (e.g. as described below in 8th shown). The dimensions of the DSENavg in 5A and 5B Configurations of the sensor elements SEN shown are according to the following with reference to FIG 6 , 7 and 8th principles outlined are not preferred and are presented only to clarify the definition or determination of DSENavg. In the 5B The dimension CCSEN shown is the center-to-center spacing of the sensor elements SEN along the x-axis direction. In various embodiments it may be advantageous if CCSEN is 0.5*W1, regardless of the shape or dimension DSENavg of the sensor elements SEN.

5A und 5B veranschaulichen auch eine Dimension DSPC, die gleich W1 minus DSME ist. In einer ersten Beschreibung kann die Dimension DSPC als einem „Nicht-Signalmodulationszwischenraum“ zwischen den Signalmodulationselementen SME vom ersten Typ entsprechend beschrieben werden. In einer zweiten, allgemeineren Beschreibung, die für verschiedene andere Implementierungen eines periodischen Skalenmusters gilt, kann die Dimension DSPC jedoch als Signalmodulationselementen eines zweiten Typs entsprechend beschrieben werden, die sich zwischen den Signalmodulationselementen SME vom ersten Typ entlang der Messachsenrichtung befinden. Die Signalmodulationselemente vom zweiten Typ sind dazu konfiguriert, im Vergleich zu den Signalmodulationselementen SME vom ersten Typ einen relativ geringeren Effekt auf den sich ändernden Magnetfluss auszuüben. Zum Beispiel umfassen in einigen Implementierungen die Signalmodulationselemente vom zweiten Typ Regionen von nicht leitfähigem Material. Bei einigen derartigen Implementierungen umfassen die Signalmodulationselemente vom zweiten Typ Regionen eines nicht leitfähigen Skalensubstrats, wobei die Signalmodulationselemente SME vom ersten Typ Leiter umfassen, die auf dem nicht leitfähigen Skalensubstrat hergestellt und/oder befestigt sind. Als weiteres Beispiel können in einigen Implementierungen die Signalmodulationselemente vom zweiten Typ „tiefer versenkte“ Regionen eines leitfähigen Materials umfassen, das dazu verwendet wird, das Skalenmuster zu bilden, und können die Signalmodulationselemente SME vom ersten Typ „nicht versenkte“ Regionen des leitfähigen Materials umfassen. 5A and 5B also illustrate a dimension DSPC equal to W1 minus DSME. In a first description, the dimension DSPC can be described as corresponding to a “non-signal modulation gap” between the first type signal modulation elements SME. However, in a second, more general description, applicable to various other implementations of a periodic scale pattern, the dimension DSPC can be described as corresponding to signal modulation elements of a second type located between the signal modulation elements of the first type SME along the measurement axis direction. The second type signal modulation elements are configured to have a relatively smaller effect on the changing magnetic flux compared to the first type signal modulation elements SME. For example, in some implementations, the second type signal modulation elements include regions of non-conductive material. In some such implementations, the second type signal modulation elements comprise regions of a non-conductive dial substrate, wherein the first type signal modulation elements SME comprise conductors fabricated and/or mounted on the non-conductive dial substrate. As another example, in some implementations, the second type signal modulation elements may include "deeper buried" regions of a conductive material used to form the dial pattern and the first type signal modulation elements SME may include "unburied" regions of the conductive material.

Um auf die Erörterung des Filterns der Fehlerkomponente der 3. räumlichen Harmonischen (die bei 0,33*W1 periodisch ist) aus den Sensorelementsignalen zurückzukommen, hat der Erfinder, wie bereits angemerkt, bestimmte Konfigurationen der Sensorelemente SEN entdeckt, die in Kombination mit Konfigurationen des vorstehend aufgezeigten Signalmodulationselements SME dazu verwendet werden können, die vorstehend aufgezeigten Unzulänglichkeiten der räumlichen Filterung zu beheben. Es ist im Stand der Technik bekannt, dass versucht wird, die Fehlerkomponente der 3. räumlichen Harmonischen aus den Sensorelementsignalen durch verschiedene Mittel zu filtern. Ein Ansatz bestand darin, die Sensorelemente in einer Sinusform zu konfigurieren, die theoretisch nur die räumliche Grundfrequenz entsprechend W1 umfasst. Aufgrund verschiedener praktischer Überlegungen und/oder Herstellungsbeschränkungen und/oder Anordnungs- oder Spaltvariationen hat diese jedoch die Fehlerkomponente der 3. räumlichen Harmonischen nicht vollständig unterdrückt. Ein weiterer Ansatz bestand darin, Sätze von Sensorelementen SETSEN an räumlichen Phasen anzuordnen, die um 0,33*W1 voneinander entfernt sind, und die resultierenden Signale zu verarbeiten, um die Fehlerkomponente der 3. räumlichen Harmonischen zu entfernen. Dieser Ansatz ist relativ effektiv, aber in vielen Anwendungen ist es aus praktischen Gründen wünschenswert, Quadratursignale (d. h. bei räumlichen Phasen, die 0,25*W1 voneinander entfernt sind) von den Sätzen von Sensorelementen SETSEN bereitzustellen, wodurch es schwierig oder unzweckmäßig sein kann, Sätze von Sensorelementen SETSEN bei räumlichen Phasen, die 0,33*W1 voneinander entfernt sind (z. B. aufgrund von Layoutbeschränkungen oder Interferenzen), anzuordnen.Returning to the discussion of filtering the 3rd spatial harmonic error component (which is periodic at 0.33*W1) from the sensor element signals, as previously noted, the inventor has discovered certain configurations of the sensor elements SEN which, in combination with configurations of the The signal modulation element SME shown above can be used to remedy the shortcomings of the spatial filtering shown above. It is known in the art to attempt to filter the 3rd spatial harmonic error component from sensor element signals by various means. One approach has been to configure the sensor elements in a sinusoidal shape, which theoretically includes only the fundamental spatial frequency corresponding to W1. However, due to various practical considerations and/or manufacturing constraints and/or layout or gap variations, it does not have the 3rd spatial harmonic error component completely suppressed. Another approach was to place sets of sensor elements SETSEN at spatial phases separated by 0.33*W1 and process the resulting signals to remove the 3rd spatial harmonic error component. This approach is relatively effective, but in many applications it is desirable for practical reasons to provide quadrature signals (ie at spatial phases 0.25*W1 apart) from the sets of sensor elements SETSEN, which can make it difficult or inconvenient to Place sets of sensor elements SETSEN at spatial phases that are 0.33*W1 apart (e.g., due to layout constraints or interference).

Um die dem vorstehend aufgezeigten Ansatz inhärenten Probleme und Mängel zu lösen, hat der Erfinder entdeckt, dass Konfigurationen der Sensorelemente SEN, die eine durchschnittliche Sensorelementdimension DSENavg in einem besonders vorteilhaften Bereich bereitstellen, in Kombination mit Konfigurationen des vorstehend aufgezeigten Signalmodulationselements SME dazu verwendet werden können, die Fehlerkomponente der 3. räumlichen Harmonischen im Wesentlichen zu filtern und/oder zu unterdrücken. Überraschenderweise beinhaltet der besonders vorteilhafte Bereich für einige Detektorabschnitts- und/oder Sensorelementkonfigurationen in einigen Codierern nicht 0,33*W1, was ansonsten basierend auf naheliegenden theoretischen Überlegungen erwartet werden könnte. Zum Beispiel ist es, wie hierin offenbart, für einige Detektorabschnitts- und/oder Sensorelementkonfigurationen besonders vorteilhaft, wenn die Sensorelemente SEN dazu konfiguriert sind, eine durchschnittliche Sensorelementdimension DSENavg bereitzustellen, die mindestens 0,285*W1 und höchstens 0,315*W1 beträgt, in Kombination mit Signalmodulationselementen SME verwendet wird, die eine durchschnittliche Dimension DSME von mindestens 0,55*W1 und höchstens 0,8*W1 für einen praktischen Wellenlängenbereich W1 und Betriebsspalte aufweisen. Verschiedene wünschenswerte Konfigurationen für derartige Sensorelemente SEN sind nachstehend ausführlich unter Bezugnahme auf 6, 7 und 8 beschrieben.In order to solve the problems and shortcomings inherent in the approach outlined above, the inventor has discovered that configurations of the sensor elements SEN that provide an average sensor element dimension DSENavg in a particularly advantageous range can be used in combination with configurations of the signal modulation element SME outlined above to to substantially filter and/or reject the 3rd spatial harmonic error component. Surprisingly, for some detector section and/or sensor element configurations in some encoders, the particularly advantageous range does not include 0.33*W1, which might otherwise be expected based on obvious theoretical considerations. For example, as disclosed herein, for some detector section and/or sensor element configurations, it is particularly advantageous if the sensor elements SEN are configured to provide an average sensor element dimension DSENavg that is at least 0.285*W1 and at most 0.315*W1, in combination with signal modulation elements SME is used which have an average dimension DSME of at least 0.55*W1 and at most 0.8*W1 for a practical wavelength range W1 and operating column. Various desirable configurations for such sensor elements SEN are detailed below with reference to FIG 6 , 7 and 8th described.

Die 6, 7 und 8 sind Draufsichtdiagramme, die verschiedene Implementierungen von Sensorelementen SEN und Skalenmustern 680 veranschaulichen, die Signalmodulationselemente SME umfassen. Die offenbarten Implementierungen sind mit den hierin unter Bezugnahme auf die 9-12 offenbarten Sensorelementkonfigurationsprinzipien kompatibel oder können unabhängig verwendet werden. Auf jeden Fall sind die offenbarten Implementierungen zur Verwendung in einem Detektorabschnitt 667 (und/oder 767 oder 867) und Skalenmuster 680 in einem elektronischen Positionscodierer, wie beispielsweise dem in 1 gezeigten, geeignet. Die 6, 7 und 8 umfassen auch Beispiele für verschiedene Dimensionen, die wichtige Merkmale der Sensorelemente SEN charakterisieren können. Um das Verständnis des Layouts der Leiter in den Sensorelementen SEN zu erleichtern, werden ihre Schleifenpolaritäten gemäß einer in den folgenden Figuren verwendeten Konvention durch Stromflusspfeile in deren Leitersegmenten und/oder durch Vorzeichen „+“ und/oder „-“ im Inneren ihrer Schleifen und/oder als Suffixe (+) oder (-) in ihren Markierungen angegeben. Es versteht sich, dass bestimmte nummerierte und/oder benannte Komponenten in den 6, 7 und 8 ähnlich nummerierten oder benannten Komponenten der 5A und 5B entsprechen und/oder ähnlich wie diese arbeiten können sowie ähnlich verstanden werden können, sofern nicht anders angegeben. Daher werden in der folgenden Beschreibung nur bestimmte Unterschiede in den Sensorelementen SEN und Signalmodulationselementen SME hervorgehoben.the 6 , 7 and 8th 12 are top-view diagrams illustrating different implementations of sensor elements SEN and dial patterns 680 that include signal modulation elements SME. The disclosed implementations are consistent with those described herein with reference to FIG 9-12 disclosed sensor element configuration principles compatible or can be used independently. In any event, the disclosed implementations are for use in a detector section 667 (and/or 767 or 867) and scale pattern 680 in an electronic position encoder such as that in 1 shown, suitable. the 6 , 7 and 8th also include examples of different dimensions that can characterize important features of the sensor elements SEN. In order to facilitate understanding of the layout of the conductors in the sensor elements SEN, according to a convention used in the following figures, their loop polarities are indicated by current flow arrows in their conductor segments and/or by signs "+" and/or "-" inside their loops and/or or given as suffixes (+) or (-) in their markings. It is understood that certain numbered and/or named components in the 6 , 7 and 8th similarly numbered or named components of the 5A and 5B may correspond to and/or operate similarly to and be construed as similar unless otherwise noted. Therefore, only certain differences in the sensor elements SEN and signal modulation elements SME are highlighted in the following description.

Die in 6 gezeigte Implementierung umfasst ein Signalmodulationselement SME analog zu den in 5A und 5B gezeigten mit einer effektiven Region EffRSME, die eine durchschnittliche Dimension DSME aufweist, die (in dieser speziellen Implementierung) ungefähr 0,75*W1 beträgt.In the 6 The implementation shown includes a signal modulation element SME analogous to that in 5A and 5B shown with an effective region EffRSME having an average dimension DSME that is (in this particular implementation) approximately 0.75*W1.

Die Sensorelemente SEN umfassen Leiter auf einer ersten Fertigungsschicht (mit durchgehender Linie gezeigt) und Leiter auf einer zweiten Fertigungsschicht (mit gestrichelter Linie gezeigt), die durch Durchführungen FT gemäß bekannten Verfahren verbunden sind (wie z. B. in den aufgenommenen Referenzen beschrieben ist). Die felderzeugende Spule FGC wird bei dieser Implementierung auf einer dritten Fertigungsschicht hergestellt, um sie von den Durchführungen FT zu isolieren. Wie in 6 gezeigt, umfassen die Leiter eines Sensorelements SEN die y-Achsenrichtungssegmente, die die kurze y-Achsendimension YSEG aufweisen und die entlang der x-Achsenrichtung bei DSENmax=0,5*W1 beabstandet sind, und Segmente, die sich von den y-Achsenrichtungssegmenten zu den Durchführungen FT hin verjüngen. Der zugeordnete trapezförmige effektive Raum EffASEN (durch eine schräge Linienfüllung in 6 angegeben) weist die y-Achsendimension EffySEN auf, die in dieser Implementierung gleich YSEP ist. In verschiedenen Ausführungen unter Verwendung von dazu ähnlichen Sensorelementformen und Signalmodulationselementen SME wurde unerwartet festgestellt, dass es vorteilhaft sein kann, wenn das Sensorelement SEN derart konfiguriert ist, dass DSENavg=EffASEN/EffYSEN mindestens 0,285*W1 und höchstens 0,315*W1 beträgt. Bei einigen Implementierungen kann es besonders wünschenswert sein, wenn DSENavg mindestens 0,29*W1 und höchstens 0,31*W1 beträgt. Für eine gegebene Wahl von DSENmax können verschiedene Werte von DSENavg bereitgestellt werden, indem die Dimension YEG und der Ort der Durchführungen und der angrenzenden Leiter entsprechend konfiguriert werden. Bei einigen derartigen Implementierungen kann die y-Achsendimension YSEG null sein. Obwohl DSENmax in der veranschaulichten speziellen Implementierung nominal 0,5*W1 beträgt, ist es möglich, die Leiter verschiedener Schichten derart zu konfigurieren, dass sie überlappende x-Achsenrichtungssegmente in der Nähe der Dimension YSEG und zwischen den benachbarten Sensorelementen SEN enthalten, derart, dass DSENmax auf Wunsch kleiner als 0,5*W1 sein kann.The sensor elements SEN comprise conductors on a first fabrication layer (shown in solid line) and conductors on a second fabrication layer (shown in dashed line) connected by feedthroughs FT according to known methods (e.g. as described in the incorporated references) . The field generating coil FGC is fabricated on a third fabrication layer in this implementation to isolate it from the feedthroughs FT. As in 6 1, the conductors of a sensor element SEN include the y-axis direction segments having the y-axis short dimension YSEG and spaced along the x-axis direction at DSENmax=0.5*W1, and segments diverging from the y-axis direction segments to taper towards the bushings FT. The associated trapezoidal effective space EffASEN (by an oblique line filling in 6 specified) has the y-axis dimension EffySEN, which is equal to YSEP in this implementation. In various embodiments using sensor element shapes and signal modulation elements SME similar thereto, it was unexpectedly found that it can be advantageous if the sensor element SEN is configured in such a way that DSENavg=EffASEN/EffYSEN is at least 0.285*W1 and at most 0.315*W1. In some implementations, it may be particularly desirable for DSENavg to be at least 0.29*W1 and at most 0.31*W1 amounts to. For a given choice of DSENmax, different values of DSENavg can be provided by appropriately configuring the dimension YEG and the location of the feedthroughs and adjacent conductors. In some such implementations, the y-axis dimension YSEG may be zero. Although DSENmax is nominally 0.5*W1 in the particular implementation illustrated, it is possible to configure the conductors of different layers such that they contain overlapping x-axis direction segments near dimension YSEG and between adjacent sensor elements SEN such that DSENmax can be less than 0.5*W1 if desired.

7 umfasst bestimmte nummerierte und/oder benannte Komponenten, die nummerierten oder benannten Komponenten der 6 (und 5A und 5B) entsprechen und/oder ähnlich wie diese arbeiten und ähnlich verstanden werden können, sofern nicht anders angegeben. Daher werden in der folgenden Beschreibung nur bestimmte Unterschiede in den Sensorelementen SEN und Signalmodulationselementen SME hervorgehoben. Die in 7 gezeigte Implementierung umfasst Signalmodulationselemente SME analog zu den in den 6 gezeigten mit einer effektiven Region EffRSME, die eine durchschnittliche Dimension DSME von ungefähr 0,75*W1 (bei dieser speziellen Implementierung) aufweist. 7 includes certain numbered and/or named components, the numbered or named components of the 6 (and 5A and 5B) correspond to and/or operate similarly and can be construed in a similar manner unless otherwise noted. Therefore, only certain differences in the sensor elements SEN and signal modulation elements SME are highlighted in the following description. In the 7 The implementation shown includes signal modulation elements SME analogous to those in FIGS 6 shown with an effective region EffRSME having an average dimension DSME of about 0.75*W1 (in this particular implementation).

Die Sensorelemente SEN sind analog zu den in 6 gezeigten und umfassen Leiter auf einer ersten Fertigungsschicht (mit durchgehender Linie gezeigt) und Leiter auf einer zweiten Fertigungsschicht (mit gestrichelter Linie gezeigt), die durch Durchführungen FT gemäß bekannten Verfahren verbunden sind (wie z. B. in den aufgenommenen Referenzen beschrieben ist). Die Durchführungen FT befinden sich jedoch innerhalb des Innenraums INTA. Dies hat den Vorteil, dass die felderzeugende Spule FGC in dieser Implementierung auf der ersten und/oder zweiten Fertigungsschicht hergestellt werden kann, was die Herstellungskosten des Detektorabschnitts 767 reduziert. Es hat den Nachteil, dass der effektive Raum EffASEN der Sensorelemente SEN kleiner sein kann als die in 6 gezeigte Implementierung, was die Signalstärke reduzieren kann. Dies kann jedoch bei einigen Anwendungen ein wünschenswerter Kompromiss sein. Der effektive Raum EffASEN in dieser Implementierung (durch die schräge Linienfüllung in 7 angegeben) weist die y-Achsendimension EffySEN auf, die in dieser Implementierung kleiner als YSEP ist. Bei verschiedenen Implementierungen unter Verwendung von Sensorelementformen und Signalmodulationselementen SME ähnlich diesen wurde unerwartet festgestellt, dass es vorteilhaft sein kann, wenn das Sensorelement SEN derart konfiguriert ist, dass DSENavg=EffASEN/EffYSEN 0,285*W1 und höchstens 0,315*W1 beträgt. Bei einigen Implementierungen kann es besonders wünschenswert sein, wenn DSENavg mindestens 0,29*W1 und höchstens 0,31*W1 beträgt. Für eine gegebene Wahl von DSENmax können verschiedene Werte von DESNavg bereitgestellt werden, indem die Dimension YEG und der Ort der Durchführungen und der angrenzenden Leiter entsprechend konfiguriert werden. Obwohl DSENmax in der veranschaulichten speziellen Implementierung nominal 0,5*W1 beträgt, ist es möglich, die Leiter verschiedener Schichten derart zu konfigurieren, dass sie überlappende x-Achsenrichtungssegmente in der Nähe der Dimension YSEG und zwischen den benachbarten Sensorelementen SEN umfassen, derart, dass DSENmax auf Wunsch kleiner als 0,5*W1 sein kann. Für ähnlich geformte Implementierungen, wenn DSENmax 0,5*W1 oder weniger beträgt, muss die Dimension YSEG möglicherweise mindestens 0,14*EffYSEN oder mehr betragen, damit DESNavg mindestens 0,285*W1 beträgt.The sensor elements SEN are analogous to those in 6 and comprise conductors on a first fabrication layer (shown in solid line) and conductors on a second fabrication layer (shown in dashed line) connected by feedthroughs FT according to known methods (e.g. as described in the incorporated references). However, the bushings FT are inside the interior INTA. This has the advantage that the field generating coil FGC can be manufactured on the first and/or second manufacturing layer in this implementation, which reduces the manufacturing costs of the detector section 767 . It has the disadvantage that the effective space EffASEN of the sensor elements SEN can be smaller than that in 6 implementation shown, which may reduce signal strength. However, this can be a desirable compromise in some applications. The effective space EffASEN in this implementation (due to the oblique line fill in 7 specified) has the y-axis dimension EffySEN, which is less than YSEP in this implementation. In various implementations using sensor element shapes and signal modulation elements SME similar to these, it was unexpectedly found that it can be advantageous if the sensor element SEN is configured such that DSENavg=EffASEN/EffYSEN is 0.285*W1 and at most 0.315*W1. In some implementations, it may be particularly desirable for DSENavg to be at least 0.29*W1 and at most 0.31*W1. For a given choice of DSENmax, different values of DESNavg can be provided by appropriately configuring the dimension YEG and the location of the feedthroughs and adjacent conductors. Although DSENmax is nominally 0.5*W1 in the particular implementation illustrated, it is possible to configure the conductors of different layers such that they include overlapping x-axis direction segments near dimension YSEG and between adjacent sensor elements SEN such that DSENmax can be less than 0.5*W1 if desired. For similarly shaped implementations, if DSENmax is 0.5*W1 or less, the YSEG dimension may need to be at least 0.14*EffYSEN or more for DESNavg to be at least 0.285*W1.

8 umfasst bestimmte nummerierte und/oder benannte Komponenten, die nummerierten oder benannten Komponenten der 6 (und 5A und 5B) entsprechen und/oder ähnlich wie diese arbeiten und ähnlich verstanden werden können, sofern nicht anders angegeben. Daher werden in der folgenden Beschreibung nur bestimmte Unterschiede in den Sensorelementen SEN und Signalmodulationselementen SME hervorgehoben. Die in 8 gezeigte Implementierung umfasst Signalmodulationselemente SME analog zu den in den 6 gezeigten, mit einer effektiven Region EffRSME, die eine durchschnittliche Dimension DSME von ungefähr 0,75*W1 (in dieser speziellen Implementierung) aufweist. 8th includes certain numbered and/or named components, the numbered or named components of the 6 (and 5A and 5B) correspond to and/or operate similarly and can be construed in a similar manner unless otherwise noted. Therefore, only certain differences in the sensor elements SEN and signal modulation elements SME are highlighted in the following description. In the 8th The implementation shown includes signal modulation elements SME analogous to those in FIGS 6 as shown, with an effective region EffRSME having an average dimension DSME of about 0.75*W1 (in this particular implementation).

Die Sensorelemente SEN sind analog zu den in 6 gezeigten und umfassen Leiter auf einer ersten Fertigungsschicht (mit durchgehender Linie gezeigt) und Leiter auf einer zweiten Fertigungsschicht (mit gestrichelter Linie gezeigt), die durch Durchführungen FT gemäß bekannten Verfahren verbunden sind (wie z. B. in den aufgenommenen Referenzen beschrieben ist). Die felderzeugende Spule FGC wird bei dieser Implementierung auf einer dritten Fertigungsschicht hergestellt, um sie von den Durchführungen FT zu isolieren. Wie in 8 gezeigt, umfassen die Leiter eines Sensorelements SEN die y-Achsenrichtungssegmente, die die lange y-Achsendimension YSEG aufweisen (länger als die Dimension YSEP des Innenraums INTA und diese überspannend) und die entlang der x-Achsenrichtung bei DSENmax voneinander beabstandet sind, und Segmente, die diese Segmente mit den Durchführungen FT verbinden. Der zugeordnete rechteckig geformte effektive Raum EffASEN (durch eine schräge Linienfüllung in 8 angegeben) weist die y-Achsendimension EffySEN auf, die in dieser Implementierung gleich YSEP ist. In dieser Implementierung ist DSENavg=DESNmax. Bei verschiedenen Implementierungen unter Verwendung von Sensorelementformen und Signalmodulationselementen SME ähnlich diesen wurde unerwartet festgestellt, dass es vorteilhaft sein kann, wenn das Sensorelement SEN derart konfiguriert ist, dass DSENmax und DSENavg mindestens mindestens 0,285*W1 und höchstens 0,315*W1 betragen. Bei einigen Implementierungen kann es besonders wünschenswert sein, wenn DSENmax und DSENavg mindestens 0,29*W1 und höchstens 0,31*W1 betragen. Die in 8 gezeigte Implementierung kann weniger empfindlich gegenüber unerwünschten Signaländerungen sein, die ansonsten aufgrund verschiedener Ausrichtungsfehler auftreten könnten.The sensor elements SEN are analogous to those in 6 and comprise conductors on a first fabrication layer (shown in solid line) and conductors on a second fabrication layer (shown in dashed line) connected by feedthroughs FT according to known methods (e.g. as described in the incorporated references). The field generating coil FGC is fabricated on a third fabrication layer in this implementation to isolate it from the feedthroughs FT. As in 8th As shown, the conductors of a sensor element SEN comprise the y-axis direction segments having the long y-axis dimension YSEG (longer than and spanning the interior space INTA dimension YSEP) and spaced apart along the x-axis direction at DSENmax, and segments connecting these segments to the bushings FT. The associated rectangular shaped effective space EffASEN (by an oblique line fill in 8th specified) has the y-axis dimension EffySEN, which is included in the this implementation is equal to YSEP. In this implementation, DSENavg=DESNmax. In various implementations using sensor element shapes and signal modulation elements SME similar to these, it was unexpectedly found that it can be advantageous if the sensor element SEN is configured such that DSENmax and DSENavg are at least at least 0.285*W1 and at most 0.315*W1. In some implementations, it may be particularly desirable for DSENmax and DSENavg to be at least 0.29*W1 and at most 0.31*W1. In the 8th The implementation shown may be less sensitive to unwanted signal changes that might otherwise occur due to various misalignments.

Hinsichtlich des vorteilhaften Bereichs für die Dimension DSME des vorstehend offenbarten Signalmodulationselements SME kann/können für viele praktische Anwendungen, die den größten praktischen Spalt verwenden, der unter Signalstärkebetrachtungen zulässig ist, der/die vorteilhafteste(n) Wert(e) für DSME mindestens 0,66*W1 oder 0,7*W1 oder mehr betragen. Zum Beispiel hat sich in verschiedenen Implementierungen ein Wert von 0,75*W1 für DSME als besonders vorteilhaft erwiesen. Dies kann jedoch, wie aus der vorherigen Erörterung impliziert, bis zu einem gewissen Grad von der speziellen Wellenlänge W1 und dem speziellen Betriebsspalt und der speziellen Betriebsfrequenz, und der speziellen Form und Konstruktion des/der Signalmodulationselemente(s) SME abhängig sein.Regarding the advantageous range for the dimension DSME of the signal modulation element SME disclosed above, for many practical applications using the largest practical gap allowable under signal strength considerations, the most advantageous value(s) for DSME can be at least 0, 66*W1 or 0.7*W1 or more. For example, in various implementations, a value of 0.75*W1 for DSME has proven particularly advantageous. However, as implied from the previous discussion, this may depend to some extent on the specific wavelength W1 and the specific operating gap and frequency, and the specific shape and construction of the signal modulation element(s) SME.

Hinsichtlich des vorteilhaften Bereichs für die Dimension DSENavg des vorstehend offenbarten Sensorelements SEN kann für viele praktische Anwendungen, die den größten praktischen Spalt verwenden, der unter Signalstärkeüberlegungen zulässig ist, und den/die vorteilhaftesten Wert(e) für DSME, der/die vorstehend aufgezeigt ist/sind (z. B. DSME = 0,75*W1), der Wert von DSENavg, der am vorteilhaftesten kombiniert ist, im Bereich von 0,29*W1 bis 0,31*W1 liegen, mindestens für Implementierungen unter Verwendung von Sensorelementformen und Signalmodulationselementen SME ähnlich den vorstehend unter Bezugnahme auf 6-9 beschriebenen. Bei einigen dieser Implementierungen hat sich DSENavg=0,30*W1 als besonders vorteilhaft erwiesen. Dies ist jedoch, wie durch die vorherige Erörterung impliziert, in gewissem Umfang von der speziellen Wellenlänge W1 und dem speziellen Betriebsspalt und der speziellen Dimension DSME und der Form und Konstruktion des/der Signalmodulationselemente(s) SME abhängig.Regarding the advantageous range for the dimension DSENavg of the sensor element SEN disclosed above, for many practical applications using the largest practical gap allowable under signal strength considerations and the most advantageous value(s) for DSME indicated above /are (e.g. DSME=0.75*W1), the value of DSENavg that is most advantageously combined is in the range 0.29*W1 to 0.31*W1, at least for implementations using sensor element shapes and signal modulation elements SME similar to those referred to above with reference to FIG 6-9 described. In some of these implementations, DSENavg=0.30*W1 has proven particularly advantageous. However, as implied by the previous discussion, this is to some extent dependent on the specific wavelength W1 and the specific operating gap and dimension DSME and the shape and construction of the signal modulation element(s) SME.

Es sollte sich auch verstehen, dass der Fehlerinhalt der 3. räumlichen Harmonischen in dem Signal von einem Satz von Signalmodulationselementen SETSEN äußerst empfindlich gegenüber der Auswahl von Dimensionen innerhalb der vorstehend offenbarten Bereiche ist. Zum Beispiel ist es wünschenswert, dass die Dimension DESNavg derart gewählt wird, dass sie den Fehlerinhalt der 3. räumlichen Harmonischen in einem Signal für die praktischen Variationen in den hergestellten Dimensionen und/oder Variationen im Betriebsspalt, der einem Satz von Signalmodulationselementen SETSEN zugeordnet ist, abweist. Überraschenderweise hat der Erfinder bei Verwendung von Sensorelementformen und Signalmodulationselementen SME ähnlich den vorstehend aufgezeigten entdeckt, dass in einer Implementierung, die dazu konfiguriert ist, einen Wert von 0,3*W1 für DSENavg bereitzustellen, Fehlerkomponenten, die dem Fehlerinhalt der 3. räumlichen Harmonischen zugeordnet sind, unterschiedslos unempfindlich gegenüber Variationen der Dimension DSME der Signalmodulationselemente SEN über einen Bereich von DSME=0,72*W1 bis DSME=0,79*W1 sind. Im Gegensatz dazu nehmen dann, wenn der Wert DSENavg um nur 10 % von seinem Wert geändert wird (z. B. auf 0,27*W1 oder 0.33*W1), Fehlerkomponenten, die dem Fehlerinhalt der 3. räumlichen Harmonischen zugeordnet sind, um einen Faktor von 10 oder mehr für Variationen in den Sensorelementen SEN über den Bereich von DSME=0,72*W1 bis DSME=0,79*W1 inakzeptabel zu.It should also be understood that the error content of the 3rd spatial harmonic in the signal from a set of signal modulation elements SETSEN is extremely sensitive to the selection of dimensions within the ranges disclosed above. For example, it is desirable that the dimension DESNavg is chosen such that it takes into account the error content of the 3rd spatial harmonic in a signal for the practical variations in the manufactured dimensions and/or variations in the operating gap associated with a set of signal modulation elements SETSEN. rejects. Surprisingly, using sensor element shapes and signal modulation elements SME similar to those outlined above, the inventor has discovered that in an implementation configured to provide a value of 0.3*W1 for DSENavg, error components associated with the 3rd spatial harmonic error content are indiscriminately insensitive to variations in the dimension DSME of the signal modulation elements SEN over a range from DSME=0.72*W1 to DSME=0.79*W1. In contrast, if the DSENavg value is changed by only 10% of its value (e.g., to 0.27*W1 or 0.33*W1), error components associated with the 3rd spatial harmonic error content decrease a factor of 10 or more unacceptable for variations in the sensor elements SEN over the range from DSME=0.72*W1 to DSME=0.79*W1.

Bezüglich der Frage, warum sich der vorteilhafte Bereich für die offenbarte Dimension DSENavg signifikant von dem „naiv“ erwarteten Wert von 0,33* unterscheidet, ist eine mögliche Erklärung, dass Fehlerkomponenten, die aus skalenpositionsabhängigen Impedanzvariationen im Detektor resultieren, durch DSENavg beeinflusst werden. Derartige positionsabhängige Impedanzvariationen können in der Größenordnung von 1 % liegen und waren im Stand der Technik unbekannt oder wurden nicht berücksichtigt. Es kann möglich sein, dass der hierin offenbarte vorteilhafte Bereich für DSENavg diese Impedanzvariationen „einstellt“ oder abstimmt, derart, dass - wenn ihre Signalkomponentenbeiträge „aliased“ werden, um mit anderen Fehlerquellen der 3. räumlichen Harmonischen kombiniert zu werden - die Summe der Effekte darin besteht, den Fehlerinhalt der 3. räumlichen Harmonischen zu negieren. Derartige subtile Effekte und zugeordnete Designeigenschaften wurden im Stand der Technik nicht berücksichtigt. Es sollte sich verstehen, dass, obwohl besonders vorteilhafte Werte von DSENavg vorstehend für Implementierungen von Detektorabschnitten und/oder Signalmodulationselementen ähnlich den vorstehend unter Bezugnahme auf die 6-8 aufgezeigten verifiziert und identifiziert wurden, solche Werte nur beispielhaft und nicht einschränkend sind. Zum Beispiel können andere Implementierungen von Detektorabschnitten und/oder Signalmodulationselementen zu einem anderen vorteilhaften Bereich von Werten von DSENavg führen, zum Beispiel möglicherweise aufgrund unterschiedlicher Fehlerkomponenten, die aus skalenpositionsabhängigen Impedanzvariationen in dem Detektorabschnitt resultieren, wie vorstehend aufgezeigt ist. Somit sollte sich verstehen, dass ein bestimmter Detektorabschnitt, der gemäß dem ersten Typ oder dem zweiten Typ von vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien konfiguriert ist, die nachstehend unter Bezugnahme auf die 9-17 offenbart sind, von der Verwendung eines bestimmten Werts von DSENavg profitieren kann, der außerhalb des Bereichs 0,285*W1 bis 0,315*W1 liegt. Zum Beispiel kann ein Wert von DSENavg irgendwo im größeren Bereich von 0,33*W1 +/- 15 % nützlich sein, um unerwünschte Detektorsignalkomponenten der 3. räumlichen Harmonischen in verschiedenen Detektorabschnitten, die gemäß dem ersten Typ oder zweiten Typ von nachstehend offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien konfiguriert sind, ausreichend zu reduzieren oder zu unterdrücken. Insbesondere wenn solche Detektorabschnitte dazu konfiguriert sind, unerwünschte Detektorsignalkomponenten der 3. räumlichen Harmonischen unter Verwendung eines Wertes von DSENavg irgendwo im Bereich von 0,33*W1 +/- 15 % ausreichend zu reduzieren oder zu unterdrücken, und zusätzlich dazu konfiguriert sind, unerwünschte Detektorsignalkomponenten der 5. (oder 7. oder 9.) räumlichen Harmonischen entsprechend dem ersten Typ oder dem zweiten Typ von vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien, wie nachstehend beschrieben, zu reduzieren oder zu unterdrücken, wirdein beispielloses Maß an räumlicher Filterung bereitgestellt, um unerwünschte räumliche Harmonische zu unterdrücken. Darüber hinaus wird dieses beispiellose Maß an räumlicher Filterung unter Verwendung eines Layouts für den Detektorabschnitt bereitgestellt, das weniger kompliziert, leistungsfähiger und wirtschaftlicher in der Herstellung ist.Regarding the question why the advantageous range for the disclosed dimension DSENavg differs significantly from the "naively" expected value of 0.33*, a possible explanation is that error components resulting from scale position dependent impedance variations in the detector are influenced by DSENavg. Such position-dependent impedance variations can be of the order of 1% and were unknown or not taken into account in the prior art. It may be possible that the advantageous range for DSENavg disclosed herein "tunes" or tunes these impedance variations such that - when their signal component contributions are "aliased" to be combined with other sources of 3rd spatial harmonic error - the sum of the effects is to negate the error content of the 3rd spatial harmonic. Such subtle effects and associated design features have not been considered in the prior art. It should be understood that although particularly advantageous values of DSENavg are given above for implementations of detector sections and/or signal modulation elements similar to those referred to above with reference to FIGS 6-8 identified have been verified and identified, such values are exemplary only and not limiting. For example, other implementations of detector sections and/or signal modulation elements may vary advantageous range of values of DSENavg, for example possibly due to different error components resulting from scale position dependent impedance variations in the detector section, as indicated above. Thus, it should be understood that a particular detector section configured in accordance with the first type or the second type of prescribed relationship principles described below with reference to FIG 9-17 may benefit from using a particular value of DSENavg that is outside the range 0.285*W1 to 0.315*W1. For example, a value of DSENavg anywhere in the greater range of 0.33*W1 +/- 15% may be useful to detect unwanted 3rd spatial harmonic detector signal components in various detector sections, determined according to the first type or second type of prescribed relationship principles disclosed below are configured to sufficiently reduce or suppress. In particular, when such detector sections are configured to sufficiently reduce or reject undesired detector signal components of the 3rd spatial harmonic using a value of DSENavg somewhere in the range of 0.33*W1 +/- 15%, and additionally configured to remove undesired detector signal components To reduce or suppress the 5th (or 7th or 9th) spatial harmonics according to the first type or the second type of prescribed relationship principles as described below, an unprecedented level of spatial filtering is provided to suppress unwanted spatial harmonics. In addition, this unprecedented level of spatial filtering is provided using a layout for the detector section that is less complicated, more efficient, and more economical to manufacture.

Die. 9-13 sind teils repräsentative, teils schematische Draufsichtdiagramme, die bestimmte Aspekte verschiedener beispielhafter Konfigurationen eines Satzes von Sensorelementen SETSEN veranschaulichen, die gemäß einem ersten Typ von hierin offenbarten, vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien konfiguriert oder angeordnet sind, derart, dass die Sensorelemente SETSEN derart liegen, dass sie räumlich gefilterte Signale zur Verwendung in einem Detektorabschnitt X67 (z. B. 967, 1367 usw.) in einem elektronischen Positionscodierer wie dem in 1 gezeigten zusammen mit jeweiligen kompatiblen felderzeugenden Spulenkonfigurationen FGC und Skalenmustern X80 (z. B. 980, 1380 usw.) und einschließlich verschiedener Dimensionen, die den ersten Typ von vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien charakterisieren, die zum Anordnen ihrer Sensorelemente SETSEN verwendet werden, bereitstellen. Gemäß einer hierin verwendeten Konvention kann eine Implementierung, die dem ersten Typ von vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien (nachstehend ausführlicher beschrieben) entspricht, kurz als eine Implementierung vom ersten Typ bezeichnet werden.The. 9-13 are partly representative, partly schematic plan view diagrams illustrating certain aspects of various exemplary configurations of a set of sensor elements SETSEN configured or arranged according to a first type of prescribed relationship principles disclosed herein, such that the sensor elements SETSEN are located such that they are spatially filtered Signals for use in a detector section X67 (e.g. 967, 1367 etc.) in an electronic position encoder such as that in 1 along with respective compatible field generating coil configurations FGC and scale patterns X80 (e.g. 980, 1380 etc.) and including various dimensions characterizing the first type of prescribed relationship principles used to arrange their sensor elements SETSEN. According to a convention used herein, an implementation that conforms to the first type of prescribed relationship principles (described in more detail below) may be referred to as a first-type implementation for short.

Die nachstehend unter Bezugnahme auf die 9-13 aufgezeigten Prinzipien sind vorteilhaft zum Anordnen der Sensorelemente SEN zum räumlichen Filtern von potenziellen Komponenten der 5. (oder 7. oder 9.) Harmonischen in den Detektorsignalen und besonders vorteilhaft bei Verwendung in Kombination mit Sensorelementen SEN, die dazu geformt sind, potenzielle Komponenten der 3. Harmonischen in den Detektorsignalen gemäß den vorstehend aufgezeigten Prinzipien räumlich zu filtern. Es sollte sich jedoch verstehen, dass die Prinzipien, die nachstehend in Bezug auf die 9-13 zum Anordnen der Sensorelemente SEN zum räumlichen Filtern einer potenziellen harmonischen Fehlerkomponente aufgezeigt werden, nicht darauf beschränkt sind. Allgemeiner gesagt können diese Prinzipien in Kombination mit verschiedenen anderen Sensorelementen SEN und Signalmodulationselementen SME (z. B. wie im Stand der Technik bekannt) verwendet werden und können immer noch signifikante Vorteile bieten.The below with reference to the 9-13 The principles outlined are advantageous for arranging the sensor elements SEN to spatially filter potential 5th (or 7th or 9th) harmonic components in the detector signals and are particularly advantageous when used in combination with sensor elements SEN shaped to detect potential 3rd harmonic components Spatially filter harmonics in the detector signals according to the principles outlined above. However, it should be understood that the principles set out below in relation to the 9-13 for arranging the sensor elements SEN for spatial filtering of a potential harmonic error component, are not limited thereto. More generally, these principles can be used in combination with various other sensor elements SEN and signal modulation elements SME (e.g. as known in the art) and still offer significant advantages.

Üblicherweise liegen die Sensorelemente SEN periodisch entlang der Messung gemäß der Wellenlänge W1, wie zuvor beschrieben. Insbesondere sind Schleifen mit positiver Polarität der Sensorelemente SEN typischerweise gleichmäßig in einem Mittenabstand von W1 oder Vielfachen von W1 angeordnet und Schleifen mit negativer Polarität der Sensorelemente SEN sind typischerweise gleichmäßig in dem Mittenabstand von W1 oder Vielfachen von W1 angeordnet. Darüber hinaus sind die Orte der Schleifen mit positiver Polarität und der Schleifen mit negativer Polarität im Allgemeinen gleichmäßig um (W1 )/2 entlang der Messachsenrichtung gegeneinander versetzt. Derartige Orte und Abstände wurden für eine optimale Signalstärke und zur räumlichen Filterung von potenziellen geradzahligen (z. B. der 2., 4. usw.) räumlichen Harmonischen in den Detektorsignalen in Betracht gezogen. Der Erfinder hat jedoch festgestellt, dass es für die beste Genauigkeit bei verschiedenen Anwendungen wünschenswert sein kann, unterschiedliche Orte und/oder Abstände für die Sensorelemente SEN zu verwenden, um eine räumliche Filterung bereitzustellen, um bestimmte zusätzliche Fehlerkomponenten abzumildern, die ansonsten auftreten können, wie weiter unten näher beschrieben ist.Usually the sensor elements SEN are located periodically along the measurement according to the wavelength W1, as previously described. In particular, positive polarity loops of sensor elements SEN are typically evenly spaced at a pitch of W1 or multiples of W1, and negative polarity loops of sensor elements SEN are typically evenly spaced at a pitch of W1 or multiples of W1. In addition, the locations of the positive polarity loops and the negative polarity loops are generally equally offset from each other by (W1)/2 along the measurement axis direction. Such locations and distances were considered for optimal signal strength and for spatial filtering of potential even (e.g., 2nd, 4th, etc.) spatial harmonics in the detector signals. However, the inventor has found that for best accuracy in different applications it may be desirable to use different locations and/or spacings for the sensor elements SEN to provide spatial filtering to mitigate certain additional error components that may otherwise occur, such as is described in more detail below.

9 ist ein Draufsichtdiagramm, das bestimmte Aspekte eines ersten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 (auch kurz als SETSEN bezeichnet) entsprechend einer ersten räumlichen Phase Ph0 veranschaulicht, die ein erstes Konfigurationsbeispiel eines Satzes von Sensorelementen ist, die gemäß dem ersten Typ von hierin offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien dazu konfiguriert sind, räumlich gefilterte Signale zur Verwendung in einem Detektorabschnitt in einem elektronischen Positionscodierer, wie dem in 1 gezeigten, bereitzustellen, zusammen mit einer ersten kompatiblen felderzeugenden Spulenkonfiguration FGC und einem Skalenmuster 980, und einschließlich verschiedener Dimensionen, die die Sensorelementkonfiguration gemäß den hierin offenbarten Prinzipien charakterisieren können. 9 umfasst bestimmte nummerierte und/oder benannte Komponenten, die nummerierten oder benannten Komponenten der 2, 3 und 8 entsprechen und/oder ähnlich wie diese arbeiten und ähnlich verstanden werden können, sofern nicht anders angegeben. Daher werden in der folgenden Beschreibung nur bestimmte Unterschiede bezüglich des Ortes der Sensorelemente SEN des Detektorabschnitts 967 hervorgehoben. 9 Figure 12 is a top view diagram illustrating certain aspects of a first set of sensor elements SETSEN-Ph0 (also referred to as SETSEN for short) corresponding to a first spatial phase Ph0 having a first configura 1 is an example of a set of sensor elements configured in accordance with the first type of prescribed relationship principles disclosed herein to generate spatially filtered signals for use in a detector section in an electronic position encoder such as that in FIG 1 as shown, along with a first compatible field generating coil configuration FGC and a scale pattern 980, and including various dimensions that can characterize the sensor element configuration according to the principles disclosed herein. 9 includes certain numbered and/or named components, the numbered or named components of the 2 , 3 and 8th correspond and/or work similarly to them and can be understood in a similar way, unless otherwise indicated. Therefore, only certain differences in the location of the sensor elements SEN of the detector section 967 will be highlighted in the following description.

Kurz gesagt sind die Sensorelemente SEN hinsichtlich ihrer allgemeinen Form und ihres effektiven Raums EffASEN und ihrer Dimension DSENavg analog zu den in 8 gezeigten. In der speziellen in 9 veranschaulichten Implementierung beträgt DSENavg ungefähr 0,3*W1, jedoch ist dies, wie zuvor erläutert, nur beispielhaft und in verschiedenen Implementierungen vom ersten Typ nicht einschränkend. Die Sensorelemente SEN umfassen Leiter auf einer ersten Fertigungsschicht (mit durchgehender Linie gezeigt) und Leiter auf einer zweiten Fertigungsschicht (mit gestrichelter Linie gezeigt), die durch Durchführungen FT (z. B. Innenschichtdurchführungen, die von der felderzeugenden Spulenkonfiguration FGC isoliert sind) gemäß bekannten Verfahren verbunden sind (wie z. B. in den aufgenommenen Referenzen beschrieben ist). An einigen Stellen in 9 sind „Nichtschleifen“-Abschnitte der Leiter auf unterschiedlichen Schichten miteinander ausgerichtet und ist nur eine einzelne Leiterschicht gezeigt. Das Vorhandensein eines verborgenen „ausgerichteten“ Leiters kann von einem Durchschnittsfachmann hergeleitet werden. Die felderzeugende Spule FGC wird in dieser Implementierung auf einer dritten Fertigungsschicht hergestellt, um sie von den Durchführungen FT und ihren verbundenen Leitern zu isolieren. Um das Verständnis des Layouts der Leiter in den Sensorelementen SEN zu erleichtern, werden ihre Schleifenpolaritäten gemäß einer in den folgenden Figuren verwendeten Konvention durch Stromflusspfeile in deren Leitersegmenten und/oder durch Vorzeichen „+“ und/oder „-“ im Inneren ihrer Schleifen und/oder als Suffixe (+) oder (-) in ihren Markierungen angegeben.In short, the sensor elements SEN are analogous to those in FIG 8th shown. In the special in 9 In the illustrated implementation, DSENavg is approximately 0.3*W1, however, as previously discussed, this is exemplary only and not limiting in various first-type implementations. The sensor elements SEN comprise conductors on a first fabrication layer (shown with a solid line) and conductors on a second fabrication layer (shown with a dashed line) through feedthroughs FT (e.g. inner-layer feedthroughs insulated from the field-generating coil configuration FGC) according to known Methods are connected (e.g. as described in the incorporated references). In some places in 9 "Non-loop" portions of the conductors on different layers are aligned with each other and only a single conductor layer is shown. The presence of a hidden "aligned" conductor can be deduced by one of ordinary skill in the art. The field generating coil FGC is fabricated on a third layer of fabrication in this implementation to insulate it from the feedthroughs FT and their associated conductors. In order to facilitate understanding of the layout of the conductors in the sensor elements SEN, according to a convention used in the following figures, their loop polarities are indicated by current flow arrows in their conductor segments and/or by signs "+" and/or "-" inside their loops and/or or given as suffixes (+) or (-) in their markings.

Wie in 9 impliziert, erstreckt sich die Skala entlang der Messachsenrichtung (MA) und beinhaltet ein periodisches Skalenmuster 980, das die Signalmodulationselemente SME umfasst und eine räumliche Wellenlänge W1 aufweist. Der Detektorabschnitt 967 ist dazu konfiguriert, nahe dem periodischen Skalenmuster 980 mit einer Relativbewegung dazwischen entlang der Messachsenrichtung MA montiert zu werden. Der Detektorabschnitt 967 umfasst die felderzeugende Spule FGC und mindestens einen jeweiligen Satz Sensorelemente SETSEN entsprechend einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase. Bei der in 9 gezeigten speziellen Implementierung umfasst der jeweilige Satz von Sensorelementen SETSEN zwei Teilsätze oder Abschnitte SETSEN-Ph0sub1 und SETSENPh0sub2 und entspricht der jeweiligen nominalen räumlichen Phase Ph0, wie nachstehend ausführlicher beschrieben wird. Die felderzeugende Spule umgibt einen Innenraum INTA, der während des Betriebs mit einer effektiven Region EffRSME der Signalmodulationselemente SME ausgerichtet ist. Der jeweilige Satz von Sensorelementen SETSEN ist entlang der Messachsenrichtung angeordnet und auf dem Substrat befestigt. Die Elemente des Satzes von Sensorelementen umfassen leitfähige Schleifen oder leitfähige Schleifenabschnitte, die einen effektiven Raum EffASEN des Sensorelements definieren, entsprechend dem Abschnitt ihres Sensorelements, der mit dem Innenraum INTA ausgerichtet ist oder diesen überlappt. Der Satz von Sensorelementen SETSEN ist dazu konfiguriert, Detektorsignale bereitzustellen, die auf einen lokalen Effekt auf den sich ändernden Magnetfluss reagieren, der von benachbarten Signalmodulationselementen SME des Skalenmusters 980 bereitgestellt wird und die dessen jeweiliger nominaler räumlicher Phase Ph0 entsprechen. Die Signalverarbeitungskonfiguration ist betriebsfähig mit dem Detektorabschnitt verbunden, um das Spulenansteuerungssignal bereitzustellen und die relative Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster basierend auf Detektorsignalen zu bestimmen, die von dem Detektorabschnitt eingegeben werden, wie hierin zuvor aufgezeigt wurde.As in 9 implied, the scale extends along the measurement axis direction (MA) and includes a periodic scale pattern 980 comprising the signal modulation elements SME and having a spatial wavelength W1. The detector section 967 is configured to be mounted near the periodic scale pattern 980 with relative movement therebetween along the measurement axis direction MA. The detector section 967 comprises the field generating coil FGC and at least one respective set of sensor elements SETSEN corresponding to a respective nominal spatial phase. At the in 9 In the particular implementation shown, the respective set of sensor elements SETSEN comprises two subsets or sections SETSEN-Ph0sub1 and SETSENPh0sub2 and corresponds to the respective nominal spatial phase Ph0, as will be described in more detail below. The field-generating coil surrounds an interior space INTA which, during operation, is aligned with an effective region EffRSME of the signal modulation elements SME. The respective set of sensor elements SETSEN is arranged along the measurement axis direction and fixed on the substrate. The elements of the set of sensing elements comprise conductive loops or conductive loop portions that define an effective space EffASEN of the sensing element, corresponding to the portion of their sensing element that aligns with or overlaps the interior space INTA. The set of sensor elements SETSEN is configured to provide detector signals responsive to a local effect on the changing magnetic flux provided by adjacent signal modulation elements SME of scale pattern 980 and corresponding to their respective nominal spatial phase Ph0. The signal processing configuration is operably connected to the detector section to provide the coil drive signal and to determine the relative position between the detector section and the dial pattern based on detector signals input from the detector section, as previously indicated herein.

Bei den verschiedenen Implementierungen vom ersten Typ, die dazu konfiguriert sind, räumlich gefilterte Detektorsignale bereitzustellen, wie nachstehend unter Bezugnahme auf die 9-13 offenbart ist, umfasst mindestens ein erster jeweiliger Satz von Sensorelementen SETSEN entsprechend einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase die kombinierten Merkmale A1, B1 und C1 und kombiniert ferner mindestens eines der Merkmale D1 oder E1, wie wie folgt definiert:

  • A1) Eine Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität, die einer ersten Wicklungsrichtung oder Polarität entsprechen, und die gleiche Anzahl von Schleifen mit negativer Polarität, die einer zweiten Wicklungsrichtung oder Polarität entgegengesetzt zur ersten entsprechen.
  • B1) Jede der Schleifen mit positiver und negativer Polarität weist einen effektiven Sensorelementgesamtraum EffASEN auf, der mit einem oder mehreren Innenräumen ausgerichtet ist oder diese(n) überlappt und derart definiert ist, dass er eine effektive y-Achsendimension EffYSEN entlang einer y-Achsenrichtung aufweist, die die Summe der Dimensionen des einen oder der mehreren Innenräume senkrecht zur Messachsenrichtung ist, und mindestens ein Großteil der Schleifen mit positiver und negativer Polarität sind derart konfiguriert, dass sie eine durchschnittliche Sensorelementdimension DSENavg=(EffASEN/EffYSEN) entlang der Messachsenrichtung bereitstellen, die innerhalb des Bereichs 0,33*W1 +/- 15 % liegt.
  • C1) Die Schleifen mit positiver Polarität sind derart konfiguriert, dass ihre effektiven Sensorelementräume in einer für Schleifen mit positiver Polarität vorgeschriebenen Beziehung (oder kurz: in einer vorgeschriebenen positiven Schleifenbeziehung) relativ zu der jeweiligen nominalen räumlichen Phase des jeweiligen Satzes von Sensorelementen angeordnet sind, und die Schleifen mit negativer Polarität sind derart konfiguriert, dass ihre effektiven Sensorelementräume in einer für Schleifen mit negativer Polarität vorgeschriebenen Beziehung (oder kurz: in einer vorgeschriebenen negativen Schleifenbeziehung) relativ zu der jeweiligen nominalen räumlichen Phase des jeweiligen Satzes von Sensorelementen angeordnet sind. Die vorgeschriebene positive Schleifenbeziehung umfasst eine Konfiguration, in der ein verschobener Anteil bis zur Hälfte eines effektiven Sensorelementgesamtraums der Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität entlang der Messachsenrichtung in einer ersten Richtung um einen Betrag (W1)/4K in Bezug auf die jeweilige nominale räumliche Phase verschoben ist und ein nominal gleich großer verschobener Anteil des effektiven Sensorelementgesamtraums der Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität entlang der Messachsenrichtung in einer Richtung entgegengesetzt zur ersten Richtung um einen Betrag (W1)/4K in Bezug auf die jeweilige nominale räumliche Phase verschoben ist, derart, dass die beiden verschobenen Anteile des effektive Raums der Schleifen mit positiver Polarität um (W1)/2K relativ zueinander verschoben sind, wobei K 3, 5, 7 oder 9 ist. Die vorgeschriebene negative Schleifenbeziehung umfasst eine Konfiguration, in der ein verschobener Anteil bis zur Hälfte eines effektiven Sensorelementgesamtraums der Anzahl von Schleifen mit negativer Polarität entlang der Messachsenrichtung in einer ersten Richtung um einen Betrag (W1)/4K in Bezug auf die jeweilige nominale räumliche Phase verschoben ist und der nominal gleich große verschobene Anteil des effektiven Sensorelementgesamtraums der Anzahl von Schleifen mit negativer Polarität entlang der Messachsenrichtung in einer Richtung entgegengesetzt zur ersten Richtung um einen Betrag (W1)/4K in Bezug auf die jeweilige nominale räumliche Phase verschoben ist, derart, dass die ersten beiden verschobenen Anteile des effektiven Raums der Schleifen mit negativer Polarität um (W1)/2K relativ zueinander verschoben sind.
  • D1) Jede der Schleifen mit positiver und negativer Polarität umfasst einen effektiven Sensorelementraum EffASEN, der eine maximale Dimension DSENmax entlang der Messachsenrichtung aufweist, die höchstens 0,45*W1 beträgt.
  • E1) der jeweilige Satz von Sensorelementen, der einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase (SETSENPh0) entspricht, ist in einer Konfiguration mit zwei Abschnitten konfiguriert, die umfassen: einen ersten getrennten Abschnitt, der die gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität umfasst; und einen zweiten getrennten Abschnitt, der nominal entlang der Messachsenrichtung mit dem ersten Abschnitt ausgerichtet ist und der die gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität wie der erste getrennte Abschnitt umfasst; wobei der erste und der zweite getrennte Abschnitt durch einen Spalt getrennt sind, der sich entlang der Messachsenrichtung zwischen dem ersten Abschnitt und dem zweiten Abschnitt befindet, wobei der Spalt entlang der Messachsenrichtung mindestens so breit ist wie eine der Schleifen mit positiver oder negativer Polarität und sich kein effektiver Schleifenraum mit positiver Polarität oder effektiver Schleifenraum mit negativer Polarität des jeweiligen Satzes von Sensorelementen in dem Spalt befindet.
In the various implementations of the first type configured to provide spatially filtered detector signals, as described below with reference to FIGS 9-13 is disclosed, at least a first respective set of sensor elements SETSEN corresponding to a respective nominal spatial phase comprises the combined features A1, B1 and C1 and further combines at least one of the features D1 or E1, as defined as follows:
  • A1) A number of positive polarity loops corresponding to a first winding direction or polarity and the same number of negative polarity loops corresponding to a second winding direction or polarity opposite to the first.
  • B1) Each of the positive and negative polarity loops has an effective sensor element total space EffASEN that is aligned with or overlaps one or more interior spaces and is defined such that it has an effective y-axis dimension EffYSEN along a y-axis direction , which is the sum of the dimensions of the one or more interior spaces perpendicular to the sense axis direction, and at least a majority of the positive and negative polarity loops are configured to provide an average sensor element dimension DSENavg=(EffASEN/EffYSEN) along the sense axis direction that is within the range 0.33*W1 +/- 15%.
  • C1) The positive polarity loops are configured such that their effective sensor element spaces are arranged in a positive polarity loop prescribed relationship (or in short: in a prescribed positive loop relationship) relative to the respective nominal spatial phase of the respective set of sensor elements, and the negative polarity loops are configured such that their effective sensor element spaces are arranged in a negative polarity loop prescribed relationship (or in short: in a prescribed negative loop relationship) relative to the respective nominal spatial phase of the respective set of sensor elements. The prescribed positive loop relationship includes a configuration in which a shifted portion shifted up to half of an effective sensor element total space of the number of loops with positive polarity along the measurement axis direction in a first direction by an amount (W1)/4K with respect to the respective nominal spatial phase and a nominally equal shifted proportion of the total effective sensor element space of the number of positive polarity loops along the measurement axis direction in a direction opposite to the first direction by an amount (W1)/4K with respect to the respective nominal spatial phase such that the two shifted portions of the effective space of the positive polarity loops are shifted by (W1)/2K relative to each other, where K is 3, 5, 7, or 9. The prescribed negative loop relationship includes a configuration in which a shifted portion up to half of an effective sensor element total space of the number of negative polarity loops along the measurement axis direction is shifted in a first direction by an amount (W1)/4K with respect to the respective nominal spatial phase and the nominally equal shifted portion of the total effective sensor element space of the number of negative polarity loops along the measurement axis direction in a direction opposite to the first direction is shifted by an amount (W1)/4K with respect to the respective nominal spatial phase such that the first two shifted portions of the effective space of the negative polarity loops are shifted by (W1)/2K relative to each other.
  • D1) Each of the positive and negative polarity loops comprises an effective sensor element space EffASEN that has a maximum dimension DSENmax along the measurement axis direction that is at most 0.45*W1.
  • E1) the respective set of sensor elements corresponding to a respective nominal spatial phase (SETSENPh0) is configured in a two-section configuration comprising: a first separate section having the same number of positive polarity loops and negative polarity loops includes; and a second discrete portion nominally aligned with the first portion along the measurement axis direction and including the same number of positive polarity loops and negative polarity loops as the first discrete portion; wherein the first and second separated sections are separated by a gap located along the measurement axis direction between the first section and the second section, the gap along the measurement axis direction being at least as wide as one of the positive or negative polarity loops and itself no effective positive polarity loop space or effective negative polarity loop space of the respective set of sensor elements is in the gap.

Als Folge der Implementierung der kombinierten Merkmale A1, B1 und C1 und mindestens eines der vorstehend beschriebenen Merkmale D1 oder E1 ist der jeweilige Satz von Sensorelementen SETSEN, der der jeweiligen nominalen räumlichen Phase entspricht, dadurch in einer praktischen Konfiguration konfiguriert, die ein oder mehrere räumlich gefilterte Detektorsignale bereitstellt, die dazu verwendet werden können, sowohl eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer 3. räumlichen Harmonischen als auch eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer K-ten räumlichen Harmonischen, die ansonsten möglicherweise zu Fehlern in der bestimmten relativen Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster beitragen können, zu reduzieren oder zu unterdrücken. In einigen Implementierungen vom ersten Typ kann es besonders vorteilhaft sein, wenn K=5 ist, wie nachstehend anhand verschiedener Figuren näher beschrieben ist. Bei bestimmten Implementierungen vom ersten Typ kann es vorteilhaft sein, wenn mindestens ein Großteil der Schleifen SEN mit positiver und negativer Polarität dazu konfiguriert sind, eine durchschnittliche Sensorelementdimension DSENavg bereitzustellen, die mindestens 0,29*W1 und höchstens 0,31*W1 beträgt, obwohl dieser Bereich für bestimmte Implementierungen nur beispielhaft und nicht einschränkend ist.As a consequence of the implementation of the combined features A1, B1 and C1 and at least one of the features D1 or E1 described above, the respective set of sensor elements SETSEN corresponding to the respective nominal spatial phase is thereby configured in a practical configuration comprising one or more spatial provides filtered detector signals that can be used to detect both a potential unwanted detector signal component of a 3rd spatial harmonic and a potential unwanted detector signal component of a Kth spatial harmonic that might otherwise contribute to errors in the determined relative position between the detector section and the scale pattern able to reduce or suppress. In some implementations from first type, it can be particularly advantageous if K=5, as is described in more detail below with reference to various figures. In certain implementations of the first type, it may be advantageous if at least a majority of the positive and negative polarity loops SEN are configured to provide an average sensor element dimension DSENavg that is at least 0.29*W1 and at most 0.31*W1, although this range is exemplary only and not limiting for particular implementations.

Die 9-13 (und 14-17 weiter unten) enthalten jeweils ein „Referenzraster“, das die Orte mehrerer Instanzen der jeweiligen räumlichen Phase Ph0 (auch referenziert und/oder bezeichnet als die nominale räumliche Phase PhOnom) angibt, die durch die Wellenlänge W1 getrennt sind, um deutlicher zu veranschaulichen, wie jeder Satz von Sensorelementen SETSEN gemäß den vorstehend aufgezeigten Prinzipien konfiguriert ist. Der zentrale Ort der effektiven Räume EffASEN jedes Sensorelements SEN wird zu demselben Zweck durch die Orte der gestrichelten Mittellinien CLSEN angegeben.the 9-13 (and 14-17 below) each contain a "reference grid" that indicates the locations of multiple instances of each spatial phase Ph0 (also referenced and/or referred to as the nominal spatial phase PhOnom) separated by wavelength W1 to more clearly illustrate how each set of sensor elements SETSEN is configured according to the principles outlined above. The central location of the effective spaces EffASEN of each sensor element SEN is indicated by the locations of the dashed center lines CLSEN for the same purpose.

Um zur weiteren Erörterung der in 9 gezeigten Implementierung zurückzukehren, wird basierend auf den in 9 gezeigten Referenzgitter- und Mittellinienindikatoren durch Betrachtung von 9 verständlich, dass der in 9 gezeigte Satz von Sensorelementen SETSEN die Merkmale A1, B1, C1 und D1 implementiert, wie vorstehend beschrieben ist. Es folgt eine kurze Beschreibung.In order to further discuss the in 9 implementation shown is based on the in 9 reference grid and centerline indicators shown by viewing 9 understandable that the in 9 The set of sensor elements SETSEN shown implements the features A1, B1, C1 and D1 as described above. A brief description follows.

Bei der in 9 gezeigten Implementierung umfasst der jeweilige Satz von Sensorelementen SETSEN zwei Teilsätze oder Abschnitte SETSEN-Ph0sub1 und SETSENPh0sub2 entsprechend der jeweiligen nominalen räumlichen Phase Ph0. Der jeweilige Satz von Sensorelementen SETSEN umfasst eine Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität (angegeben durch „+“ im Schleifeninnenraum) entsprechend einer ersten Wicklungsrichtung oder Polarität und die gleiche Anzahl von Schleifen mit negativer Polarität (angegeben durch „-“ im Schleifeninnenraum) entsprechend einer zweiten Wicklungsrichtung oder Polarität, die der ersten entgegengesetzt ist. Bei der speziellen in 9 gezeigten Implementierung enthalten die beiden Teilsätze oder Abschnitte SETSEN-Ph0sub1 und SETSEN-Ph0sub2 einzeln auch eine gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver und negativer Polarität.At the in 9 In the implementation shown, the respective set of sensor elements SETSEN comprises two subsets or sections SETSEN-Ph0sub1 and SETSENPh0sub2 corresponding to the respective nominal spatial phase Ph0. The respective set of sensor elements SETSEN comprises a number of loops with positive polarity (indicated by "+" in the loop interior) corresponding to a first winding direction or polarity and the same number of loops with negative polarity (indicated by "-" in the loop interior) corresponding to a second Winding direction or polarity opposite to the first. At the special in 9 In the implementation shown, the two subsets or sections SETSEN-Ph0sub1 and SETSEN-Ph0sub2 individually also contain an equal number of positive and negative polarity loops.

Eine erste Hälfte eines effektiven Sensorelementgesamtraums der Schleifen mit positiver Polarität der Sensorelemente SETSEN (d. h. eine erste Hälfte der Summe ihrer effektiven Sensorelementräume EffASEN), die sich in den Schleifen SEN2 und SEN4 mit positiver Polarität befindet, wird entlang der Messachsenrichtung MA in einer ersten Richtung um den Betrag (W1)/4K in Bezug auf die nominale räumliche Phase Ph0 verschoben, und eine zweite Hälfte des effektiven Sensorelementgesamtraums EffASEN der Schleifen mit positiver Polarität, die in den Schleifen SEN5 und SEN7 mit positiver Polarität angeordnet ist, wird entlang der Messachsenrichtung MA in einer Richtung entgegengesetzt zur ersten Richtung um einen Betrag (W1)/4K in Bezug auf die nominale räumliche Phase PhOnom verschoben. Als Folge werden die erste und die zweite Hälfte des effektiven Sensorelementgesamtraums des Raums von Schleifen mit positiver Polarität um (W1)/2K relativ zueinander entlang der Messachsenrichtung verschoben.A first half of a total effective sensor element space of the positive polarity loops of the sensor elements SETSEN (i.e. a first half of the sum of their effective sensor element spaces EffASEN) located in the positive polarity loops SEN2 and SEN4 is converted along the measurement axis direction MA in a first direction shifted by the amount (W1)/4K with respect to the nominal spatial phase Ph0, and a second half of the effective sensor element total space EffASEN of the positive polarity loops, which is arranged in the positive polarity loops SEN5 and SEN7, is along the measurement axis direction MA in shifted in a direction opposite to the first direction by an amount (W1)/4K with respect to the nominal spatial phase PhOnom. As a result, the first and second halves of the effective sensor element total space of the positive polarity loop space are shifted by (W1)/2K relative to each other along the measurement axis direction.

Eine erste Hälfte eines effektiven Sensorelementgesamtraums EffASEN der Schleifen mit negativer Polarität, die sich in den Schleifen SEN1 und SEN3 mit negativer Polarität befindet, wird entlang der Messachsenrichtung MA in einer ersten Richtung um den Betrag (W1)/4K in Bezug auf einen Versatz von (W1)/2 gegenüber der nominalen räumlichen Phase PhOnom verschoben, und eine zweite Hälfte des effektiven Sensorelementgesamtraums EffASEN der Schleifen mit negativer Polarität, die sich in den Schleifen SEN6 und SEN8 mit negativer Polarität befindet, wird entlang der Messachsenrichtung MA in eine Richtung entgegengesetzt zur ersten Richtung um einen Betrag (W1)/4K in Bezug auf einen Versatz von (W1)/2 gegenüber der nominalen räumlichen Phase PhOnom verschoben. Als Folge werden die erste und die zweite Hälfte des effektiven Sensorelementgesamtraums des Raums von Schleifen mit negativer Polarität um (W1)/2K relativ zueinander entlang der Messachsenrichtung verschoben. Bei der in 9 gezeigten speziellen Implementierung entsprechen die veranschaulichten Verschiebungen K=5, was nur beispielhaft und nicht einschränkend ist, wie zuvor in der Beschreibung des Merkmals C1 angegeben.A first half of an effective sensor element total space EffASEN of the negative polarity loops located in the negative polarity loops SEN1 and SEN3 is displaced along the measurement axis direction MA in a first direction by the amount (W1)/4K with respect to an offset of ( W1)/2 shifted from the nominal spatial phase PhOnom, and a second half of the effective sensor element total space EffASEN of the negative polarity loops, located in the negative polarity loops SEN6 and SEN8, is along the measurement axis direction MA in a direction opposite to the first Shifted in direction by an amount (W1)/4K with respect to an offset of (W1)/2 from the nominal spatial phase PhOnom. As a result, the first and second halves of the total effective sensor element space of the space of negative polarity loops are shifted by (W1)/2K relative to each other along the measurement axis direction. At the in 9 The specific implementation shown corresponds to the illustrated shifts K=5, given by way of non-limiting example, as previously indicated in the description of feature C1.

In der speziellen Implementierung, die in 9 gezeigt ist, ist die durchschnittliche Sensorelementdimension DSENavg (=EffASEN/EffYSEN) als in den Bereich 0,33*W1 +/- 15 % fallend veranschaulicht, was der vorherigen Beschreibung des Prinzips oder Merkmals B1 entspricht.In the particular implementation included in 9 is shown, the average sensor element dimension DSENavg (=EffASEN/EffYSEN) is illustrated as falling within the range 0.33*W1 +/- 15%, which corresponds to the previous description of principle or feature B1.

Als Folge der Implementierung der Merkmale A1, B1 und C1, wie vorstehend aufgezeigt, ist der jeweilige Satz von Sensorelementen SETSEN, der in 9 gezeigt ist, der der jeweiligen nominalen räumlichen Phase Ph0 entspricht, dadurch dazu konfiguriert, ein oder mehrere räumlich gefilterte Detektorsignale bereitzustellen, die dazu verwendet werden können, eine potenzielle unerwünschte Signalkomponente der 3. räumlichen Harmonischen (bezogen auf B1, vorstehend) zu reduzieren oder zu unterdrücken, und auch dazu, eine potenzielle unerwünschte Signalkomponente der K-ten räumlichen Harmonischen (basierend auf C1, vorstehend), die ansonsten möglicherweise zu Fehlern in der bestimmten relativen Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster beitragen, zu reduzieren oder zu unterdrücken.As a consequence of the implementation of features A1, B1 and C1 as indicated above, the respective set of sensor elements SETSEN shown in 9 corresponding to the respective nominal spatial phase Ph0, thereby configured to provide one or more spatially filtered detector signals that can be used to reduce or eliminate a potential unwanted signal component of the 3rd spatial harmonic (related to B1, above). suppress, and also contribute to, a potential unwanted signal component of the Kth spatial to reduce or suppress harmonics (based on C1, above) which might otherwise contribute to errors in the determined relative position between the detector section and the dial pattern.

Hinsichtlich der Implementierung des Merkmals D1 ist bei der in 9 gezeigten Implementierung die maximale Dimension DSENmax des Sensorelements die gleiche wie die durchschnittliche Sensorelementdimension DSENavg, die ungefähr 0,33*W1 beträgt. Das ist weniger als die Anforderung des Merkmals D1, die 0,45*W1 beträgt. Ein Aspekt der Nützlichkeit des Merkmals D1 in der in 9 gezeigten Implementierung wird durch das Layout der Sensorelemente SEN4 und SEN5 veranschaulicht, die in der veranschaulichten Implementierung um einen Gesamtbetrag von (W1/10) zueinander verschoben sind. Es versteht sich, dass, wenn die Sensorelemente SEN4 und SEN5 eine breitere maximale Dimension DESNmax aufwiesen, sich die Anordnung ihrer Leiter überlappen würde und/oder zwischen ihnen Interferenzen entstehen würden, was Layoutanpassungen und/oder Unregelmäßigkeiten oder Verzerrungen des Sensorraums (z. B. wie die im '130-Patent dargestellten) erfordern würde, um die Anordnung von Durchführungen zu erleichtern und/oder um eine Isolierung zwischen verschiedenen Leitern bereitzustellen, und so weiter. Das '130-Patent zielt darauf ab, ausgerichtete Schwerpunkte bereitzustellen, um Fehler aufgrund einer „Neigungs“-Fehlausrichtung (das heißt Drehung des Detektorabschnitts oder der Skala um die Z-Achse) abzuweisen. Seine Lösungen erfordern zahlreiche problematische Layoutanpassungen und Unregelmäßigkeiten des Sensorraums (z. B. wie in 8 darin dargestellt), da es seine Lehren unter Verwendung von Sensorelementen implementiert, die eine nominale maximale Dimension von W/2 aufweisen. Selbst bei hoher Sorgfalt verbleiben typischerweise einige schädliche Auswirkungen auf die Herstellungskosten, die Genauigkeit und/oder die Anfälligkeit für Fehlausrichtung aufgrund derartiger Unregelmäßigkeiten in Bezug auf Layout und Sensorraum. Im Gegensatz dazu weist durch Implementieren des Merkmals D1 in der in 9 gezeigten Konfiguration keines der Sensorelemente SEN des Satzes von Sensorelementen SETSEN einen effektiven Sensorelementraum EffASEN auf, der mit dem eines anderen Sensorelements SEN überlappt oder zu Interferenzen führt, und werden trotz des Verschiebens der Sensorelemente SEN gemäß den hierin offenbarten Prinzipien Layout-Unregelmäßigkeiten, Sensorelement-Unregelmäßigkeiten und ihre damit verbundenen schädlichen Auswirkungen vermieden.With regard to the implementation of feature D1, in 9 In the implementation shown, the maximum dimension DSENmax of the sensor element is the same as the average sensor element dimension DSENavg, which is approximately 0.33*W1. This is less than the D1 feature requirement, which is 0.45*W1. One aspect of the usefulness of feature D1 in the in 9 The implementation shown is illustrated by the layout of sensor elements SEN4 and SEN5, which are offset from each other by a total amount of (W1/10) in the illustrated implementation. It is understood that if the sensor elements SEN4 and SEN5 had a wider maximum dimension DESNmax, the arrangement of their conductors would overlap and/or interference would arise between them, causing layout adjustments and/or irregularities or distortions of the sensor space (e.g. such as those illustrated in the '130 patent) to facilitate placement of feedthroughs and/or to provide insulation between different conductors, and so forth. The '130 patent aims to provide aligned centroids to reject errors due to "tilt" misalignment (i.e., rotation of the detector section or scale about the Z-axis). His solutions require numerous problematic layout adjustments and sensor space irregularities (e.g. as in 8th illustrated therein) since it implements its teachings using sensor elements that have a nominal maximum dimension of W/2. Even with great care, there typically remain some deleterious effects on manufacturing costs, accuracy, and/or susceptibility to misalignment due to such irregularities in layout and sensor space. In contrast, by implementing feature D1 in the in 9 configuration shown, none of the sensor elements SEN of the set of sensor elements SETSEN has an effective sensor element space EffASEN that overlaps with that of another sensor element SEN or leads to interference, and despite the displacement of the sensor elements SEN according to the principles disclosed herein, layout irregularities, sensor element irregularities and avoid their associated harmful effects.

In der in 9 gezeigten speziellen Implementierung ist der Satz von Sensorelementen SETSEN in einer Konfiguration mit zwei Abschnitten konfiguriert, wobei der Satz von Sensorelementen SETSEN einen ersten benachbarten Abschnitt SETSEN-Ph0sub1, der eine Anzahl (2) von Schleifen (SEN1 und SEN3) mit positiver Polarität und die gleiche Anzahl von (2) Schleifen (SEN2 und SEN4) mit negativer Polarität umfasst, und einem zweiten benachbarten Abschnitt SETSEN-Ph0sub2 umfasst, der eine Anzahl (2) von Schleifen (SEN5 und SEN 7) mit positiver Polarität und die gleiche Anzahl (2) von Schleifen (SEN6 und SEN8) mit negativer Polarität umfasst. Der erste und der zweite benachbarte Abschnitt liegen entlang der Messachsenrichtung näher beieinander als eine Breite einer der Schleifen mit positiver oder negativer Polarität (weshalb sie hierin als „benachbarte“ Abschnitte bezeichnet werden) und die jeweiligen Schleifen des ersten und zweiten benachbarten Abschnitts, die einander am nächsten sind (d. h. SEN4 und SEN5), weisen entgegengesetzte Schleifenpolaritäten auf. Eine derartige Implementierung ist jedoch nur beispielhaft und nicht einschränkend. Alternative Konfigurationen mit zwei Abschnitten werden weiter unten offenbart. Der Raumschwerpunkt CEN-SETSEN-Ph0 des Satzes von Sensorelementen SETSEN wird nachstehend in Bezug auf 10 und 11 erörtert.in the in 9 The particular implementation shown, the set of sensor elements SETSEN is configured in a two-section configuration, where the set of sensor elements SETSEN has a first adjacent section SETSEN-Ph0sub1, which has a number (2) of loops (SEN1 and SEN3) with positive polarity and the same number of (2) negative polarity loops (SEN2 and SEN4), and a second adjacent section SETSEN-Ph0sub2 comprising a number (2) of positive polarity loops (SEN5 and SEN7) and the same number (2) of loops (SEN6 and SEN8) with negative polarity. The first and second adjacent sections are closer together along the measurement axis direction than a width of one of the positive or negative polarity loops (hence they are referred to herein as "adjacent" sections) and the respective loops of the first and second adjacent sections adjacent to each other at the next (ie, SEN4 and SEN5) have opposite loop polarities. However, such an implementation is only exemplary and not limiting. Alternative two-section configurations are disclosed below. The center of gravity CEN-SETSEN-Ph0 of the set of sensor elements SETSEN is described below with reference to 10 and 11 discussed.

In Bezug auf die Signalverarbeitung in Verbindung mit verschiedenen Konfigurationen mit zwei Abschnitten kann in verschiedenen Implementierungen, die erste und zweite Abschnitte beinhalten (z. B. zwei benachbarte Abschnitte oder zwei getrennte Abschnitte, wie weiter unten aufgezeigt), der elektronische Positionscodierer gemäß einem der Verfahren M1 oder M2 konfiguriert sein, die wie folgt beschrieben werden:

  • Verfahren M1): Der erste Abschnitt ist dazu konfiguriert, ein erstes Detektorsignal auszugeben (z. B. das Spannungssignal V0 über die Detektorsignalausgangsanschlüsse SDS1 und SDS2), und der zweite Abschnitt ist dazu konfiguriert, ein zweites Detektorsignal auszugeben (z. B. das Spannungssignal V0' über die Detektorsignalausgangsanschlüsse SDS1' und SDS2'), und der Signalprozessor ist dazu konfiguriert, die relative Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster mindestens teilweise basierend auf einer Kombination des ersten und des zweiten Signals zu bestimmen; oder
  • Verfahren M2): der erste Abschnitt ist mit dem zweiten Abschnitt in Reihe geschaltet, um ein kombiniertes Signal zu bilden, und die Reihenschaltung ist derart konfiguriert, dass die jeweiligen Signalbeiträge des ersten und zweiten Abschnitts in dem kombinierten Signal additiv sind; und der Signalprozessor ist dazu konfiguriert, die relative Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster mindestens teilweise basierend auf dem kombinierten Signal zu bestimmen.
With respect to the signal processing associated with various two-section configurations, in various implementations that include first and second sections (e.g., two adjacent sections or two separate sections, as outlined below), the electronic position encoder may use any of the methods M1 or M2 configured as follows:
  • Method M1): The first section is configured to output a first detector signal (e.g. the voltage signal V0 via the detector signal output terminals SDS1 and SDS2), and the second section is configured to output a second detector signal (e.g. the voltage signal V0' via the detector signal output terminals SDS1' and SDS2'), and the signal processor is configured to determine the relative position between the detector portion and the dial pattern based at least in part on a combination of the first and second signals; or
  • Method M2): the first section is connected in series with the second section to form a combined signal, and the series connection is configured such that the respective signal contributions of the first and second sections are additive in the combined signal; and the signal processor is configured to determine the relative position between the detector section and the scale pattern at least based in part on the combined signal.

Ein Implementierungsbeispiel einer Reihenschaltung nach M2 kann in Bezug auf die in 9 gezeigte, ausgerichtete Leiterbahnzone ATZ erläutert werden. Insbesondere können die in der ausgerichteten Leiterbahnzone ATZ veranschaulichten Durchführungen entfallen und können die „durchgezogenen“ Leiterbahnen der Sensorelemente SEN4 und SEN5, die die ausgerichtete Leiterbahnzone ATZ berühren, auf ihrer gemeinsamen Metallschicht durch eine Leiterbahn über die ausgerichtete Leiterbahnzone ATZ verbunden sein. Ebenso können die „gestrichelten“ Leiterbahnen der Sensorelemente SEN4 und SEN5, die die ausgerichtete Leiterbahnzone ATZ berühren, auf ihrer gemeinsamen Metallschicht durch eine Leiterbahn über die ausgerichtete Leiterbahnzone ATZ verbunden sein. Wenn die beiden Verbindungsleiterbahnen, die sich in den beiden Schichten befinden, miteinander ausgerichtet sind, entsteht kein Schleifenraum und verursachen sie keine signifikanten Signalstörungen. Wenn eine derartige Reihenschaltung verwendet wird, kann eines der Paare von Detektorsignalausgangsanschlüssen SDS1 und SDS2 oder SDS1' und SDS2' (wie z. B. in 9 und/oder anderen Figuren hierin gezeigt) weggelassen werden und können die zugeordneten Verbindungspunkte an deren zugeordneter Sensorelementschleife auf die gleiche Weise wie andere in den Figuren gezeigte „verbindungslose“ Sensorelementschleifen auf Leiterkontinuität umkonfiguriert werden. Eine Reihenschaltung dieses Typs ist in 16 gezeigt, die eine Reihenschaltung zwischen ihren benachbarten Abschnitten SETSEN-Ph90sub1 und SETSEN-Ph90sub2 (d. h. zwischen ihren jeweiligen Sensorelementen SEN4 und SEN5) zeigt. Bei in Reihe geschalteten benachbarten Abschnitten kann in einigen Implementierungen der resultierende Satz von Sensorelementen SETSEN visuell als ein kontinuierlicher, ununterbrochener Satz von Sensorelementen erscheinen (wie z. B. in 16 veranschaulicht ist). In einem derartigen Fall versteht es sich, dass ein solcher Satz von Sensorelementen SETSEN in einigen Zusammenhängen als ein einzelner kontinuierlicher Satz interpretiert werden kann oder alternativ dazu in einigen Zusammenhängen als erster und zweiter benachbarter Abschnitt interpretiert werden kann, die verbunden sind, um das Erscheinungsbild eines kontinuierlichen ununterbrochenen Satzes von Sensorelementen zu ergeben. Bei einigen Implementierungen kann eine Reihenschaltung zwischen einem geeigneten der Meldersignalausgangsanschlüsse SDS1 oder SDS2 und einem geeigneten der Detektorsignalausgangsanschlüsse SDS1' oder SDS2' hergestellt werden. Andere alternative Konfigurationen für Reihenschaltungen werden für den Durchschnittsfachmann offensichtlich sein. Es versteht sich, dass die vorstehend aufgezeigten Signalverarbeitungs- und/oder Reihenschaltungsalternativen mit zwei Abschnitten im Allgemeinen auf jede der kompatiblen Konfigurationen mit zwei Abschnitten anwendbar sind, die in einer der 9-17 gezeigt sind. Es versteht sich, dass, wenn eine Reihenschaltung in einer ausgerichteten Leiterbahnzone ATZ zwischen SEN4 und SEN5 in jedem der in 10 gezeigten Sätze von Sensorelementen vorgesehen wäre, diese jeweils visuell erscheinen und/oder als kontinuierliche ununterbrochene Sätze von Sensorelementen betrachtet werden können, wie vorstehend beschrieben ist. In einem derartigen Fall versteht es sich, dass jeder Satz von Sensorelementen in 10 als die Merkmale A1, B1, C1 und D1 und nicht das Merkmal E1 umfassend betrachtet werden könnte.An implementation example of a series circuit according to M2 can be found with reference to 9 shown, aligned conductor track zone ATZ are explained. In particular, the feedthroughs illustrated in the aligned conductive track zone ATZ can be omitted and the "solid" conductive tracks of the sensor elements SEN4 and SEN5, which touch the aligned conductive track zone ATZ, can be connected on their common metal layer by a conductive track via the aligned conductive track zone ATZ. Likewise, the "dashed" conductor tracks of the sensor elements SEN4 and SEN5, which touch the aligned conductor track zone ATZ, can be connected on their common metal layer by a conductor track via the aligned conductor track zone ATZ. When the two connecting traces that are in the two layers are aligned with each other, there is no loop space and they do not cause significant signal interference. If such a series connection is used, one of the pairs of detector signal output terminals SDS1 and SDS2 or SDS1' and SDS2' (as e.g. in 9 and/or other figures shown herein) may be omitted and the associated connection points on its associated sensor element loop may be reconfigured for conductor continuity in the same manner as other "connectionless" sensor element loops shown in the figures. A series connection of this type is in 16 10 showing a series connection between their adjacent sections SETSEN-Ph90sub1 and SETSEN-Ph90sub2 (ie between their respective sensor elements SEN4 and SEN5). With adjacent sections connected in series, in some implementations the resulting set of sensor elements SETSEN may appear visually as a continuous, uninterrupted set of sensor elements (as e.g. in 16 illustrated). In such a case, it is to be understood that such a set of sensor elements SETSEN can be interpreted in some contexts as a single continuous set, or alternatively can be interpreted in some contexts as first and second adjacent sections connected to give the appearance of a continuous uninterrupted set of sensor elements. In some implementations, a series connection may be made between an appropriate one of the detector signal output terminals SDS1 or SDS2 and an appropriate one of the detector signal output terminals SDS1' or SDS2'. Other alternative configurations for series connections will be apparent to those of ordinary skill in the art. It should be understood that the two-section signal processing and/or cascading alternatives set forth above are generally applicable to any of the compatible two-section configurations set forth in any of 9-17 are shown. It will be understood that if a series connection is made in an aligned trace zone ATZ between SEN4 and SEN5 in each of the in 10 sets of sensor elements as shown would be provided, they each appear visually and/or can be viewed as continuous uninterrupted sets of sensor elements, as described above. In such a case, it is understood that each set of sensor elements in 10 could be considered to include features A1, B1, C1 and D1 and not feature E1.

10 ist ein Draufsichtdiagramm, das bestimmte Aspekte eines zweiten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph90 (nachstehend in einigen Zusammenhängen kurz als SETSEN bezeichnet) entsprechend einer zweiten räumlichen Phase Ph90 (in 10 als Ph90nom bezeichnet) veranschaulicht. Es ist ähnlich oder identisch wie der erste in 9 gezeigte Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 konfiguriert (mit Ausnahme seiner räumlichen Phase) und wird daher hier nicht im Detail beschrieben. Die in 10 gezeigten Sensorelement-SEN-Markierungen sind auf den Sensorelementen des zweiten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph90 zentriert. Er ist überlagert auf einer abgeschwächten Darstellung des ersten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 gezeigt, die der in 9 veranschaulichten ersten räumlichen Phase Ph0 entspricht, um eine funktionale Quadraturkonfiguration zu veranschaulichen, wobei sich die räumlichen Phasen des ersten und des zweiten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 um 90 Grad unterscheiden. 10 umfasst bestimmte nummerierte und/oder benannte Komponenten, die nummerierten oder benannten Komponenten von 9 entsprechen und/oder ähnlich oder gleich wie diese arbeiten und ähnlich verstanden werden können, sofern nicht anders angegeben. Daher werden nur bestimmte Beziehungen zwischen dem ersten und dem zweiten Satz der Sensorelemente SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 in der folgenden Beschreibung hervorgehoben. 10 Fig. 12 is a plan view diagram showing certain aspects of a second set of sensor elements SETSEN-Ph90 (hereinafter referred to as SETSEN for short in some contexts) corresponding to a second spatial phase Ph90 (in 10 referred to as Ph90nom) is illustrated. It is similar or identical to the first in 9 shown set of sensor elements SETSEN-Ph0 (except for its spatial phase) and is therefore not described in detail here. In the 10 The sensor element SEN markings shown are centered on the sensor elements of the second set of sensor elements SETSEN-Ph90. It is shown superimposed on an attenuated representation of the first set of sensor elements SETSEN-Ph0, which corresponds to that in FIG 9 illustrated first spatial phase Ph0 to illustrate a functional quadrature configuration where the spatial phases of the first and second sets of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 differ by 90 degrees. 10 includes certain numbered and/or named components, the numbered or named components of 9 conform and/or operate similarly or the same as and can be construed as similar unless otherwise noted. Therefore, only certain relationships between the first and second sets of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 will be emphasized in the following description.

Wie in 10 gezeigt, weist der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 eine entsprechende räumliche Phase auf, die sich gegenüber der räumlichen Phase des ersten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 um 90 Grad unterscheidet (d. h. um 90 Grad nach rechts verschoben ist). Es versteht sich, dass der erste und der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 jeweils Detektorsignalausgangsanschlüsse SDS1 und SDS2 und SDS1' und SDS2', analog zu den in 9 gezeigten, umfassen, obwohl sie in 10 und anderen folgenden Figuren weggelassen sind, um visuelle Unübersichtlichkeit zu vermeiden. Wenn der erste und der zweite Satz der Sensorelemente SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 zusammenarbeiten, geben sie Quadratursignale aus, die ein hohes Maß an räumlicher Filterung gemäß den vorstehend aufgezeigten Prinzipien beinhalten, um Positionsmessungen mit sehr hoher Genauigkeit bereitzustellen. Sowohl der erste als auch der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 umfassen die Merkmale A1, B, C1 und D1 und bieten daher die verschiedenen Vorteile, die vorstehend in Bezug auf 9 aufgezeigt wurden. Durch Betrachtung von 10 wird ersichtlich, dass die die mit der Implementierung dieser Merkmale verbundenen Layout- und Leistungsvorteile sich auf das überlagerte „Quadratur-Layout“ des ersten und zweiten Satzes der Sensorelemente SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 erstrecken. Das heißt, es versteht sich, dass der erste und der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 leicht in der gewünschten Phasenbeziehung angeordnet werden können, ohne dass zwischen ihren Leitern gegenseitige Interferenzen auftreten und ohne dass Unregelmäßigkeiten oder Unterschiede in der Form der Sensorelemente SEN erforderlich sind. Daher werden die zuvor aufgezeigten Layout- und Leistungsvorteile in einem voll funktionsfähigen Quadraturcodierer-Layout bereitgestellt, wie in 10 gezeigt.As in 10 As shown, the second set of sensor elements SETSEN-Ph90 has a corresponding spatial phase that is 90 degrees different (ie, shifted 90 degrees to the right) from the spatial phase of the first set of sensor elements SETSEN-Ph0. It is understood that the first and the second set of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 have respective detector signal output terminals SDS1 and SDS2 and SDS1' and SDS2', analogous to the ones shown in FIG 9 shown, although they are in 10 and other following figures omitted are to avoid visual confusion. When the first and second sets of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 work together, they output quadrature signals that include a high degree of spatial filtering according to the principles outlined above to provide very high accuracy position measurements. Both the first and the second set of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 comprise the features A1, B, C1 and D1 and therefore offer the various advantages mentioned above in relation to 9 were shown. By contemplating 10 It can be seen that the layout and performance benefits associated with the implementation of these features extend to the superimposed "quadrature layout" of the first and second sets of SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 sensor elements. That is, it is understood that the first and second sets of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 can be easily arranged in the desired phase relationship without mutual interference occurring between their conductors and without irregularities or differences in the shape of the Sensor elements SEN are required. Therefore, the layout and performance advantages outlined previously are provided in a fully functional quadrature encoder layout, as in 10 shown.

Es gibt einen Aspekt der in 10 gezeigten Implementierung, der bei einigen Anwendungen möglicherweise nicht ideal ist. Insbesondere, wie in 10 gezeigt, da der erste und der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 im Wesentlichen ähnlich oder identisch sind und weder der erste noch der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 das Merkmal E1 umfasst, ist der Raumschwerpunkt CEN-SETSEN-Ph90 des zweiten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph90 um 90 Grad räumlicher Phasenverschiebung (d. h. um W1/4) relativ zum Raumschwerpunkt CEN-SETSEN-Ph0 des ersten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 fehlausgerichtet. Wie in dem '130-Patent gelehrt, führt dann, wenn die Raumschwerpunkte von zwei verschiedenen Sätzen von Sensorelementen, die zwei verschiedenen räumlichen Phasen entsprechen, fehlausgerichtet sind, eine Neigungsfehlausrichtung ihres zugeordneten Detektors (z. B. des Detektorabschnitts 967) oder einer Skala (z. B. Skalenmuster 980) zu einer Differenz in ihren jeweiligen Betriebsspalten und der Signalstärke. Eine derartige Neigungsfehlausrichtung kann bei verschiedenen Anwendungen statisch oder dynamisch sein. In jedem Fall erfordern statische oder dynamische Signalstärkedifferenzen zwischen zwei Quadratursignalen (oder drei Dreiphasensignalen) entweder eine aufwendigere Signalverarbeitung (z. B. unerwünscht teure und/oder langsame Signalverarbeitung) oder tragen zu unerwünschten Messfehlern bei. Die in 11A gezeigte Implementierung geht auf diese potenziellen Bedenken ein.There is an aspect of the in 10 implementation shown, which may not be ideal in some applications. In particular, as in 10 shown, since the first and second sets of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 are substantially similar or identical and neither the first nor the second set of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 includes the feature E1, the spatial centroid is CEN -SETSEN-Ph90 of the second set of sensor elements SETSEN-Ph90 misaligned by 90 degrees of spatial phase shift (ie by W1/4) relative to the spatial centroid CEN-SETSEN-Ph0 of the first set of sensor elements SETSEN-Ph0. As taught in the '130 patent, if the centroids of two different sets of sensor elements corresponding to two different spatial phases are misaligned, tilt misalignment of their associated detector (e.g., detector section 967) or scale ( e.g., dial pattern 980) to a difference in their respective operating columns and signal strength. Such pitch misalignment can be static or dynamic in various applications. In any case, static or dynamic signal strength differences between two quadrature signals (or three three-phase signals) either require more expensive signal processing (e.g., undesirably expensive and/or slow signal processing) or contribute to undesirable measurement errors. In the 11A The implementation shown addresses these potential concerns.

11A ist ein Draufsichtdiagramm, das bestimmte Aspekte eines zweiten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph90 (nachstehend in einigen Zusammenhängen kurz als SETSEN bezeichnet) entsprechend einer zweiten räumlichen Phase Ph90 (in 11A als Ph90nom bezeichnet) veranschaulicht. Es ist ein zweites Konfigurationsbeispiel eines Satzes von Sensorelementen, die gemäß dem ersten Typ von hierin offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien konfiguriert sind. Es ist in 11A zusammen mit dem ersten Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 gezeigt, der der in 9 veranschaulichten ersten räumlichen Phase Ph0 entspricht. Der erste und der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 sind in 11A zu Veranschaulichungszwecken vertikal gegeneinander versetzt, um ihre individuelle(n) Eigenschaften und Ausrichtung entlang der Messachsenrichtung relativ zueinander besser zu zeigen. Sie sind entlang der Messachsenrichtung in einer funktionalen Quadraturkonfiguration angeordnet gezeigt, wobei sich die räumlichen Phasen des ersten und zweiten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 um 90 Grad unterscheiden. Es versteht sich, dass sie in einem tatsächlichen Codierer entlang der Richtung der „y-Achse“ nicht gegeneinander versetzt sind. 11A Fig. 12 is a plan view diagram showing certain aspects of a second set of sensor elements SETSEN-Ph90 (hereinafter referred to as SETSEN for short in some contexts) corresponding to a second spatial phase Ph90 (in 11A referred to as Ph90nom) is illustrated. It is a second configuration example of a set of sensor elements configured according to the first type of prescribed relationship principles disclosed herein. It is in 11A shown together with the first set of sensor elements SETSEN-Ph0, which corresponds to the in 9 illustrated first spatial phase Ph0. The first and the second set of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 are in 11A staggered vertically for illustrative purposes to better show their individual properties and orientation along the measurement axis direction relative to each other. They are shown arranged along the measurement axis direction in a functional quadrature configuration, with the spatial phases of the first and second sets of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 differing by 90 degrees. It should be understood that in an actual encoder they are not offset from each other along the "y-axis" direction.

Stattdessen überlagern sie sich, ähnlich wie der erste und der zweite Satz von Sensorelementen, die in 10 gezeigt sind.Instead, they overlap, much like the first and second sets of sensing elements shown in 10 are shown.

11A umfasst bestimmte nummerierte und/oder benannte Komponenten, die nummerierten oder benannten Komponenten der 9 und/oder 10 entsprechen und/oder ähnlich oder gleich wie diese arbeiten und ähnlich verstanden werden können, sofern nicht anders angegeben. Daher werden in der folgenden Beschreibung von 11A nur bestimmte Unterschiede in der Konfiguration der zweiten Sätze von Sensorelementen SETSEN-Ph90 hervorgehoben. 11A includes certain numbered and/or named components, the numbered or named components of the 9 and/or 10 and/or operate similarly or the same as and may be construed as similar unless otherwise noted. Therefore, in the following description of 11A highlighted only certain differences in the configuration of the second sets of sensor elements SETSEN-Ph90.

Die Unterschiede zwischen der Implementierung des in 11A gezeigten zweiten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph90 und der in 10 gezeigten Implementierung können wie folgt kurz beschrieben werden. Der erste Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 kann in Bezug auf seine Beschreibung in den 9 und 10 als unverändert betrachtet werden. Die Sensorelemente SEN5-SEN8 des zweiten Abschnitts SETSEN-Ph90sub2 können in Bezug auf ihre Beschreibung in 10 als unverändert betrachtet werden. Die Sensorelemente SEN1-SEN4 des ersten Abschnitts SETSEN-Ph90sub1 sind gegenüber ihrer Beschreibung in 10 verändert. Insbesondere wurde ihr Layout in Bezug auf ihren Ort in 10 in der in 11A gezeigten Implementierung um (W1)/2 nach links verschoben und sind die Ausgangssignalverbindungen jetzt am äußersten rechten Sensorelement SEN4 bereitgestellt, damit sie mit den Leiterbahnen der Schleife mit positiver Polarität verbunden bleiben, um eine konzeptionelle Kontinuität zwischen den 10 und 11 zu gewährleisten. Gemäß der vorstehenden Beschreibung gibt es hinsichtlich des Signalausgangs gegenüber der Position keinen Unterschied zwischen dem Betrieb der ersten Abschnitte SETSEN-Ph90sub1, wie in 10 und 11 gezeigt. Darüber hinaus umfassen der erste und der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90, die in 11A gezeigt sind, die Merkmale A1, B, C1 und D1 und stellen daher die verschiedenen Vorteile bereit, die vorstehend in Bezug auf 10 aufgezeigt wurden.The differences between the implementation of the in 11A shown second set of sensor elements SETSEN-Ph90 and in 10 implementation shown can be briefly described as follows. The first set of sensor elements SETSEN-Ph0 can be related to its description in FIGS 9 and 10 be considered unchanged. The sensor elements SEN5-SEN8 of the second section SETSEN-Ph90sub2 can, with reference to their description in 10 be considered unchanged. The sensor elements SEN1-SEN4 of the first section SETSEN-Ph90sub1 are different from their description in 10 changes. In particular, their layout in relation to their place in 10 in the in 11A Shifted left by (W1)/2 in the implementation shown and the output signal connections are now provided at the rightmost sensor element SEN4 to remain connected to the positive polarity loop traces to provide conceptual continuity between the 10 and 11 to guarantee. According to the above description, in terms of signal output versus position, there is no difference between the operation of the first sections SETSEN-Ph90sub1 as in FIG 10 and 11 shown. In addition, the first and second sets of sensor elements include SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90, which are shown in 11A are shown have features A1, B, C1 and D1 and therefore provide the various advantages discussed above with respect to FIG 10 were shown.

Wichtig ist, dass es einen Aspekt der in 11 A gezeigten Implementierung gibt, der idealer ist als die in 10 gezeigte Implementierung für Anwendungen, die eine Neigungsfehlausrichtung beinhalten können. Da insbesondere, wie in 11A gezeigt, der erste Abschnitt SETSEN-Ph90sub1 relativ zu seiner Position in 10 um (W1)/2 nach links verschoben ist, wird der Gesamtraumschwerpunkt CEN-SETSEN-Ph90 des zweiten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph90 um (W1)/4 nach links verschoben, derart, dass er mit dem Raumschwerpunkt CEN-SETSEN-Ph0 des ersten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 ausgerichtet ist. Wie im '130-Patent gelehrt, werden, wenn die Raumschwerpunkte von zwei verschiedenen Sätzen von Sensorelementen, die zwei verschiedenen räumlichen Phasen entsprechen, ausgerichtet werden, ihre jeweilige(n) Betriebsspalte und Signalstärke in ähnlicher Weise durch jegliche statische oder dynamische Neigungsfehlausrichtung beeinflusst, wodurch die Mehrheit der Fehlerbeiträge, die ansonsten aufgrund einer Neigungsfehlausrichtung auftreten können, entfällt.Importantly, there is an aspect of the in 11A implementation shown that is more ideal than the one in 10 implementation shown for applications that may involve tilt misalignment. Since in particular, as in 11A shown, the first section SETSEN-Ph90sub1 relative to its position in 10 is shifted to the left by (W1)/2, the total center of space CEN-SETSEN-Ph90 of the second set of sensor elements SETSEN-Ph90 is shifted to the left by (W1)/4 in such a way that it coincides with the center of space CEN-SETSEN-Ph0 of the first set of sensor elements SETSEN-Ph0 is aligned. As taught in the '130 patent, when the centroids of two different sets of sensor elements corresponding to two different spatial phases are aligned, their respective operating gaps and signal strengths are similarly affected by any static or dynamic tilt misalignment, thereby the majority of the error contributions that might otherwise occur due to pitch misalignment are eliminated.

Die Implementierung des ersten und zweiten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90, die in 11A gezeigt sind, kann umfassend ohne Bezug auf 10 wie folgt beschrieben werden. Der erste Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 entspricht der ersten räumlichen Phase Ph0 und umfasst die Merkmale A1, B1, C1 und D1 (und nicht E1). Er ist in einer Konfiguration mit zwei Abschnitten konfiguriert, wobei er einen ersten benachbarten Abschnitt SETSEN-Ph0sub1, der eine Anzahl (2) von Schleifen (SEN1 und SEN3) mit positiver Polarität und die gleiche Anzahl von (2) Schleifen (SEN2 und SEN4) mit negativer Polarität umfasst, und einen zweiten benachbarten Abschnitt SETSEN-Ph0sub2 umfasst, der eine Anzahl (2) von Schleifen (SEN5 und SEN 7) mit positiver Polarität und die gleiche Anzahl (2) von Schleifen (SEN6 und SEN8) mit negativer Polarität umfasst. Der erste und der zweite benachbarte Abschnitt liegen entlang der Messachsenrichtung näher beieinander als eine Breite einer der Schleifen mit positiver oder negativer Polarität (weshalb sie hierin als „benachbarte“ Abschnitte bezeichnet werden), und die jeweiligen Schleifen des ersten und des zweiten benachbarten Abschnitts, die einander am nächsten sind (d. h. SEN4 und SEN5), weisen entgegengesetzte Schleifenpolaritäten auf. Der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 entspricht der zweiten nominalen räumlichen Phase Ph90 und umfasst die Merkmale A1, B1, C1, D1 und E1. Er ist dazu konfiguriert, das Merkmal E1 wie folgt zu umfassen: Es ist eine Konfiguration mit zwei Abschnitten, die umfassen: einen ersten getrennten Abschnitt SETSEN-Ph90sub1, der die gleiche Anzahl (2) von Schleifen (SEN2 und SEN4) mit positiver Polarität und Schleifen (SEN1 und SEN3) mit negativer Polarität umfasst; und einen zweiten getrennten Abschnitt SETSEN-Ph90sub2, der nominal entlang der Messachsenrichtung mit dem ersten Abschnitt SETSEN-Ph90sub1 ausgerichtet ist, und der die gleiche Anzahl (2) von Schleifen (SEN5 und SEN7) mit positiver Polarität und Schleifen (SEN6 und SEN8) mit negativer Polarität wie der erste getrennte Abschnitt SETSEN-Ph90sub1 umfasst. Der erste und der zweite getrennte Abschnitt SETSEN-Ph90sub1 und SETSEN-Ph90sub2 sind durch einen Spalt getrennt, der sich entlang der Messachsenrichtung zwischen dem ersten Abschnitt und dem zweiten Abschnitt befindet, wobei der Spalt entlang der Messachsenrichtung mindestens so breit ist wie eine der Schleifen SEN mit positiver oder negativer Polarität. In dem Spalt befindet sich kein effektiver Schleifenraum mit positiver Polarität EffASEN oder negativer Schleifenraum mit negativer Polarität EffASEN des zweiten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph90.The implementation of the first and second set of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 presented in 11A are shown may be comprehensive without reference to 10 be described as follows. The first set of sensor elements SETSEN-Ph0 corresponds to the first spatial phase Ph0 and includes features A1, B1, C1 and D1 (and not E1). It is configured in a two-section configuration, with a first adjacent section SETSEN-Ph0sub1 having a number (2) of positive polarity loops (SEN1 and SEN3) and the same number of (2) loops (SEN2 and SEN4) with negative polarity, and a second adjacent section SETSEN-Ph0sub2 comprising a number (2) of loops (SEN5 and SEN7) with positive polarity and the same number (2) of loops (SEN6 and SEN8) with negative polarity . The first and second adjacent sections are closer together along the measurement axis direction than a width of one of the positive or negative polarity loops (hence they are referred to herein as "adjacent" sections), and the respective loops of the first and second adjacent sections that are closest to each other (ie, SEN4 and SEN5) have opposite loop polarities. The second set of sensor elements SETSEN-Ph90 corresponds to the second nominal spatial phase Ph90 and includes features A1, B1, C1, D1 and E1. It is configured to include feature E1 as follows: It is a two-section configuration comprising: a first separate section SETSEN-Ph90sub1 having the same number (2) of positive polarity loops (SEN2 and SEN4) and negative polarity loops (SEN1 and SEN3); and a second separate section SETSEN-Ph90sub2, nominally aligned along the measurement axis direction with the first section SETSEN-Ph90sub1, and having the same number (2) of positive polarity loops (SEN5 and SEN7) and loops (SEN6 and SEN8) with negative polarity as the first separated section SETSEN-Ph90sub1. The first and second separated sections SETSEN-Ph90sub1 and SETSEN-Ph90sub2 are separated by a gap located along the measurement axis direction between the first section and the second section, the gap along the measurement axis direction being at least as wide as one of the loops SEN with positive or negative polarity. In the gap there is no effective loop space with positive polarity EffASEN or negative loop space with negative polarity EffASEN of the second set of sensor elements SETSEN-Ph90.

Der erste und der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 können wie folgt weiter beschrieben werden. Der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 entspricht der nominalen räumlichen Phase Ph90, die sich um 90 Grad von der nominalen räumlichen Phase Ph0 des ersten jeweiligen Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 unterscheidet. Der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 ist derart konfiguriert, dass die jeweiligen Schleifen seiner ersten und zweiten getrennten Abschnitte SETSEN-Ph90sub1 und SETSEN-Ph90sub2, die einander am nächsten sind (z. B. SEN4 und SEN5), die gleichen Schleifenpolaritäten aufweisen. Der erste Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 weist einen ersten Raumschwerpunkt CEN-SETSEN-Ph0 seines effektiven Sensorelementgesamtraums auf, der sich entlang der Messachse zwischen seinem ersten und zweiten benachbarten Abschnitt SETSEN-Ph0sub1 und SETSEN-Ph0sub2 befindet. Der zweite jeweilige Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 weist einen zweiten Raumschwerpunkt CEN-SETSEN-Ph90 seines effektiven Sensorelementgesamtraums auf, der sich entlang der Messachse zwischen seinem ersten und zweiten getrennten Abschnitt SETSEN-Ph90sub1 und SETSEN-Ph90sub2 befindet. Der erste und der zweite Satz von Sensorelementen sind derart angeordnet, dass ihr jeweiliger erster und zweiter Raumschwerpunkt CEN-SETSEN-Ph0 und CEN-SETSEN-Ph90 an demselben Ort entlang der Messachsenrichtung ausgerichtet ist.The first and second sets of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 can be further described as follows. The second set of sensor elements SETSEN-Ph90 corresponds to the nominal spatial phase Ph90 that differs by 90 degrees from the nominal spatial phase Ph0 of the first respective set of sensor elements SETSEN-Ph0. The second set of sensor elements SETSEN-Ph90 is configured such that the respective loops of its first and second separate sections SETSEN-Ph90sub1 and SETSEN-Ph90sub2 that are closest to each other (e.g. SEN4 and SEN5) have the same loop polarities. The first set of sensor elements SETSEN-Ph0 has a first centroid CEN-SETSEN-Ph0 of its total effective sensor element space located along the measurement axis between its first and second adjacent sections SETSEN-Ph0sub1 and SETSEN-Ph0sub2. The second respective Set of sensor elements SETSEN-Ph90 has a second centroid CEN-SETSEN-Ph90 of its total effective sensor element space located along the measurement axis between its first and second separated sections SETSEN-Ph90sub1 and SETSEN-Ph90sub2. The first and second sets of sensor elements are arranged such that their respective first and second centroids CEN-SETSEN-Ph0 and CEN-SETSEN-Ph90 are aligned at the same location along the measurement axis direction.

Wie bereits aufgezeigt, werden, wenn die Raumschwerpunkte von zwei verschiedenen Sätzen von Sensorelementen, die zwei verschiedenen räumlichen Phasen entsprechen, ausgerichtet werden, ihre jeweilige(n) Betriebsspalte und Signalstärke in ähnlicher Weise durch jegliche statische oder dynamische Neigungsfehlausrichtung beeinflusst, wodurch die Mehrheit der Fehlerbeiträge, die ansonsten aufgrund einer Neigungsfehlausrichtung auftreten können, entfällt. Gemäß einer nützlichen Perspektive sollte erkannt werden, dass der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90, da er das Merkmal E1 umfasst, einen Spalt (d. h. den zwischen SEN4 und SEN5 dargestellten Spalt) beinhaltet, der das Umordnen und/oder Neuanordnen bestimmter Schleifen oder Sensorelemente SEN erleichtert (oder ein Nebenprodukt davon ist), um den Raumschwerpunkt eines Satzes von Sensorelementen SETSEN in eine gewünschte Beziehung relativ zu ihrer nominalen räumlichen Phase neu anzuordnen, derart, dass die Raumschwerpunkte von mehreren Sätzen von Sensorelementen SETSEN in einer Betriebskonfiguration ausgerichtet werden können.As previously pointed out, when the centroids of two different sets of sensor elements corresponding to two different spatial phases are aligned, their respective operating gap(s) and signal strength are similarly affected by any static or dynamic tilt misalignment, thereby accounting for the majority of the error contributions that can otherwise occur due to tilt misalignment is eliminated. From a useful perspective, it should be recognized that the second set of sensor elements SETSEN-Ph90, since it includes feature E1, includes a gap (i.e. the gap shown between SEN4 and SEN5) that requires rearranging and/or rearranging certain loops or sensor elements SEN facilitates (or is a byproduct thereof) to rearrange the centroid of a set of SETSEN sensor elements into a desired relationship relative to their nominal spatial phase, such that the centroids of multiple sets of SETSEN sensor elements can be aligned in an operational configuration.

Durch Betrachtung von 11A wird ersichtlich, dass im Gegensatz zu den im '130-Patent offenbarten Raumschwerpunkt-Ausrichtungstechniken der erste und der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 die in 11A gezeigt sind, leicht in der gewünschten Phasenbeziehung und mit ihren ausgerichteten Raumschwerpunkten ausgelegt werden, ohne dass zwischen ihren Leitern gegenseitige Interferenzen auftreten und ohne dass irgendwelche Unregelmäßigkeiten oder Unterschiede in der Form irgendeines ihrer Sensorelemente SEN erforderlich sind. Daher werden durch die Verwendung der Kombination der Merkmale A1, B1, C1, D1 und E1, wie in Bezug auf 11A gezeigt und offenbart, die zuvor in Bezug auf die 9 und 10 aufgezeigten Layout- und Leistungsvorteile in einem voll funktionalen Quadraturcodierer-Layout bereitgestellt, das zusätzlich die Vorteile bietet, die mit ausgerichteten Raumschwerpunkten verbunden sind.By contemplating 11A it can be seen that in contrast to the centroid alignment techniques disclosed in the '130 patent, the first and second sets of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 use the in 11A can be easily laid out in the desired phase relationship and with their centroids aligned, without mutual interference between their conductors and without requiring any irregularities or differences in the shape of any of their sensor elements SEN. Therefore, by using the combination of features A1, B1, C1, D1 and E1 as in relation to 11A shown and disclosed previously with respect to the 9 and 10 demonstrated layout and performance advantages are provided in a fully functional quadrature encoder layout that additionally offers the advantages associated with aligned centroids.

Es versteht sich, dass in den in 11 A gezeigten Implementierungen jede jeweilige Schleife mit positiver oder negativer Polarität (z. B. jedes Sensorelement SEN), die in einem des ersten oder zweiten jeweiligen Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 oder SETSEN-Ph90 enthalten ist, dazu konfiguriert ist, einen jeweiligen effektiven Sensorelementraum EffASEN bereitzustellen, der einen effektiven Sensorelementraum EffASEN einer anderen jeweiligen Schleife mit positiver oder negativer Polarität, die in demselben vom ersten oder zweiten jeweiligen Satz von Sensorelementen enthalten ist, nicht überlappt. Es versteht sich, dass die Implementierungen vom ersten Typ, die vorstehend unter Bezugnahme auf die 9, 10 und 11A aufgezeigt wurden, ein beispielloses Maß an räumlicher Filterung bereitstellen können, um mehrere unerwünschte Signalkomponenten einer räumlichen Harmonischen unter Verwendung eines Layouts, das weniger kompliziert, leistungsstärker und wirtschaftlicher herzustellen ist als Detektoren für räumliche Filterung aus dem Standes der Technik (z. B. die in dem '130-Patent offenbarten), zu unterdrücken.It is understood that in the 11A In the implementations shown, each respective positive or negative polarity loop (e.g. each sensor element SEN) included in one of the first or second respective set of sensor elements SETSEN-Ph0 or SETSEN-Ph90 is configured to have a respective effective sensor element space EffASEN that does not overlap an effective sensor element space EffASEN of another respective positive or negative polarity loop contained in the same one of the first or second respective set of sensor elements. It will be appreciated that the first type implementations described above with reference to 9 , 10 and 11A have been shown can provide an unprecedented level of spatial filtering to detect multiple unwanted signal components of a spatial harmonic using a layout that is less complicated, more powerful and more economical to manufacture than prior art spatial filtering detectors (e.g. those in disclosed in the '130 patent).

11B ist ein Draufsichtdiagramm, das bestimmte Aspekte eines ersten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 (nachstehend in einigen Zusammenhängen kurz als SETSEN bezeichnet) entsprechend einer ersten räumlichen Phase Ph0 (in 11B als PhOnom bezeichnet) veranschaulicht. Es ist ein drittes Konfigurationsbeispiel eines Satzes von Sensorelementen, die gemäß dem ersten Typ von hierin offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien konfiguriert sind. Es ist in 11B zusammen mit dem zweiten Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 gezeigt, der der in 11A dargestellten zweiten räumlichen Phase Ph90 entspricht. Der erste und zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 sind in 11B zu Veranschaulichungszwecken vertikal gegeneinander versetzt, um ihre individuelle(n) Eigenschaften und Ausrichtung entlang der Messachsenrichtung relativ zueinander besser zu zeigen. Sie sind entlang der Messachsenrichtung in einer funktionalen Quadraturkonfiguration angeordnet gezeigt, wobei sich die räumlichen Phasen des ersten und zweiten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 um 90 Grad unterscheiden. Es versteht sich, dass sie in einem tatsächlichen Codierer entlang der Richtung der „y-Achse“ nicht gegeneinander versetzt sind. Stattdessen überlagern sie sich, ähnlich wie der erste und der zweite Satz von Sensorelementen, die in 10 gezeigt sind. 11B umfasst nummerierte und/oder benannte Komponenten, die nummerierten oder benannten Komponenten der 11A entsprechen und/oder ähnlich oder gleich wie diese arbeiten und ähnlich verstanden werden können, sofern nicht anders angegeben. Der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 in 11B kann relativ zu seiner Beschreibung in 11A als unverändert betrachtet werden. Daher werden in der folgenden Beschreibung von 11B nur bestimmte Unterschiede in der Konfiguration des ersten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 hervorgehoben. 11B Fig. 12 is a plan view diagram showing certain aspects of a first set of sensor elements SETSEN-Ph0 (hereinafter referred to as SETSEN for short in some contexts) corresponding to a first spatial phase Ph0 (in 11B referred to as PhOnom) illustrated. It is a third configuration example of a set of sensor elements configured according to the first type of prescribed relationship principles disclosed herein. It is in 11B shown together with the second set of sensor elements SETSEN-Ph90, which corresponds to the in 11A illustrated second spatial phase corresponds to Ph90. The first and second set of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 are in 11B staggered vertically for illustrative purposes to better show their individual properties and orientation along the measurement axis direction relative to each other. They are shown arranged along the measurement axis direction in a functional quadrature configuration, with the spatial phases of the first and second sets of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 differing by 90 degrees. It should be understood that in an actual encoder they are not offset from each other along the "y-axis" direction. Instead, they overlap, much like the first and second sets of sensing elements shown in 10 are shown. 11B includes numbered and/or named components, the numbered or named components of the 11A conform and/or operate similarly or the same as and can be construed as similar unless otherwise noted. The second set of sensor elements SETSEN-Ph90 in 11B can be relative to its description in 11A be considered unchanged. Therefore, in the following description of 11B only certain differences in the configuration of the first set of sensor elements SETSEN-Ph0 are highlighted.

Die Unterschiede zwischen der Implementierung des ersten Satzes der in 11B gezeigten Sensorelemente SETSEN-Ph0 und der in 11B gezeigten Implementierung können kurz wie folgt beschrieben werden: Relativ zu ihrem Ort in 11A wurde der erste Abschnitt SETSEN-Ph0sub1 um (W1 )/2 nach links verschoben und wurde der zweite Abschnitt SETSEN-Ph0sub2 in der in 11B gezeigten Implementierung um (W1)/2 nach rechts verschoben. Die Ausgangssignalverbindungen werden nun an den Sensorelementen SEN4 und SEN6 bereitgestellt, derart, dass sie zur konzeptionellen Kontinuität mit 11A den Leiterbahnen einer Schleife mit positiver Polarität zugeordnet bleiben. Basierend auf der vorstehenden Beschreibung gibt es in Bezug auf den Signalausgang gegenüber der Position keinen Unterschied zwischen den ersten Sätzen von Sensorelementen SETSEN-Ph0, wie in 11B und 11A gezeigt.The differences between the implementation of the first sentence of the in 11B shown sensor elements SETSEN-Ph0 and in 11B implementation shown can be briefly described as follows: Relative to their place in 11A the first section SETSEN-Ph0sub1 was shifted to the left by (W1 )/2 and the second section SETSEN-Ph0sub2 in the in 11B implementation shown shifted to the right by (W1)/2. The output signal connections are now provided at the sensor elements SEN4 and SEN6 in such a way that for conceptual continuity with 11A remain assigned to the traces of a loop with positive polarity. Based on the above description, in terms of signal output versus position, there is no difference between the first sets of sensor elements SETSEN-Ph0, as in 11B and 11A shown.

Die Implementierung des ersten und zweiten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90, die in 11B gezeigt sind, kann umfassend wie folgt beschrieben werden. Der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 entspricht der zweiten räumlichen Phase Ph90 und umfasst die Merkmale A1, B1, C1, D1 und E1, und die Schleifen seiner ersten und zweiten getrennten Abschnitte SETSEN-Ph90sub1 und SETSEN-Ph90sub2, die einander am nächsten sind (z. B. SEN4 und SEN5), weisen die gleichen Schleifenpolaritäten auf. Dies alles ist gegenüber seiner Beschreibung in 11A unverändert. Im Gegensatz dazu umfasst der erste Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0, der der ersten nominalen räumlichen Phase Ph0 entspricht, nun zusätzlich zu den in 11A enthaltenen Merkmalen A1, B1, C1, D1 das Merkmal E1. Es ist offensichtlich, dass er das Merkmal E1 umfasst, weil er die ersten und zweiten getrennten Abschnitte SETSEN-Ph90sub1 und SETSEN-Ph90sub2 umfasste, die durch einen Spalt getrennt sind, der mindestens so breit ist wie eine der Schleifen SEN mit positiver oder negativer Polarität. In dem Spalt befindet sich kein effektiver Schleifenraum mit positiver Polarität EffASEN oder effektiver Schleifenraum mit negativer Polarität EffASEN des zweiten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph90.The implementation of the first and second set of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 presented in 11B are shown can be described comprehensively as follows. The second set of sensor elements SETSEN-Ph90 corresponds to the second spatial phase Ph90 and comprises the features A1, B1, C1, D1 and E1, and the loops of its first and second separated sections SETSEN-Ph90sub1 and SETSEN-Ph90sub2 which are closest to each other (e.g. SEN4 and SEN5) have the same loop polarities. This is all opposite of its description in 11A unchanged. In contrast, the first set of sensor elements SETSEN-Ph0, which corresponds to the first nominal spatial phase Ph0, now includes in addition to those in 11A contained characteristics A1, B1, C1, D1 the characteristic E1. It is evident that it includes feature E1 because it includes first and second separate sections SETSEN-Ph90sub1 and SETSEN-Ph90sub2, separated by a gap at least as wide as one of the positive or negative polarity loops SEN . In the gap there is no effective loop space with positive polarity EffASEN or effective loop space with negative polarity EffASEN of the second set of sensor elements SETSEN-Ph90.

Der erste und der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 können weiter wie folgt beschrieben werden: Der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 entspricht der nominalen räumlichen Phase Ph90, die sich um 90 Grad von der nominalen räumlichen Phase Ph0 des ersten jeweiligen Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 unterscheidet. Der erste Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 ist derart konfiguriert, dass die jeweiligen Schleifen seiner ersten und zweiten getrennten Abschnitte SETSEN-Ph0sub1 und SETSEN-Ph0sub2, die einander am nächsten sind (z. B. SEN4 und SEN5), die entgegengesetzten Schleifenpolaritäten aufweisen. Der erste Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 weist einen ersten Raumschwerpunkt CEN-SETSEN-Ph0 seines effektiven Sensorelementgesamtraums auf, der sich entlang der Messachse zwischen seinem ersten und zweiten benachbarten Abschnitt SETSEN-Ph0sub1 und SETSEN-Ph0sub2 befindet. Der zweite jeweilige Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 weist einen zweiten Raumschwerpunkt CEN-SETSEN-Ph90 seines effektiven Sensorelementgesamtraums auf, der sich entlang der Messachse zwischen seinem ersten und zweiten getrennten Abschnitt SETSEN-Ph90sub1 und SETSEN-Ph90sub2 befindet. Der erste und der zweite Satz von Sensorelementen sind derart angeordnet, dass ihr jeweiliger erster und zweiter Raumschwerpunkt CEN-SETSEN-Ph0 und CEN-SETSEN-Ph90 an demselben Ort entlang der Messachsenrichtung ausgerichtet ist.The first and second sets of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 can be further described as follows: The second set of sensor elements SETSEN-Ph90 corresponds to the nominal spatial phase Ph90 which is 90 degrees from the nominal spatial phase Ph0 of the first respective set of sensor elements SETSEN-Ph0 differs. The first set of sensor elements SETSEN-Ph0 is configured such that the respective loops of its first and second separate sections SETSEN-Ph0sub1 and SETSEN-Ph0sub2 that are closest to each other (e.g., SEN4 and SEN5) have the opposite loop polarities. The first set of sensor elements SETSEN-Ph0 has a first centroid CEN-SETSEN-Ph0 of its total effective sensor element space located along the measurement axis between its first and second adjacent sections SETSEN-Ph0sub1 and SETSEN-Ph0sub2. The second respective set of sensor elements SETSEN-Ph90 has a second centroid CEN-SETSEN-Ph90 of its total effective sensor element space located along the measurement axis between its first and second separated sections SETSEN-Ph90sub1 and SETSEN-Ph90sub2. The first and second sets of sensor elements are arranged such that their respective first and second centroids CEN-SETSEN-Ph0 and CEN-SETSEN-Ph90 are aligned at the same location along the measurement axis direction.

Die vorstehende Beschreibung zeigt, dass die Ausrichtung von Raumschwerpunkten für zwei jeweilige Sätze von Sensorelementen erleichtert wird, indem das Merkmal E1 in einen (wie in 11A) oder beide (wie in 11B) der zwei jeweiligen Sätze von Sensorelementen eingeschlossen wird. Basierend auf der vorhergehenden Beschreibung ist zu erkennen, dass die in 11B gezeigte Implementierung alle die verschiedenen Vorteile bereitstellt, die vorstehend in Bezug auf 11A aufgezeigt wurden.The above description shows that the alignment of centroids for two respective sets of sensor elements is facilitated by dividing the feature E1 into one (as in 11A) or both (as in 11B) of the two respective sets of sensor elements. Based on the previous description, it can be seen that the 11B implementation shown provides all of the various advantages discussed above with respect to 11A were shown.

12 ist ein Draufsichtdiagramm, das bestimmte Aspekte von ersten und zweiten Sätzen von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 darstellt, die ersten und zweiten räumlichen Phasen Ph0 und Ph90 entsprechen, die vierte und fünfte Konfigurationsbeispiele eines Satzes von Sensorelementen sind, die gemäß dem ersten Typ von hierin offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien konfiguriert sind. Der erste und der zweite Satz SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 sind zu Veranschaulichungszwecken entlang der vertikalen Richtung in 12 gegeneinander versetzt, um ihre individuellen Eigenschaften und ihre Ausrichtung entlang der Messachsenrichtung relativ zueinander in einer funktionalen Quadraturkonfiguration besser zu zeigen, wobei sich die räumlichen Phasen Ph0 und Ph90 des ersten und zweiten Satzes von Sensorelementen um 90 Grad unterscheiden. Es versteht sich, dass sie in einem tatsächlichen Codierer entlang der Richtung der „y-Achse“ nicht gegeneinander versetzt sind. Stattdessen überlagern sie sich, ähnlich wie der erste und der zweite Satz von Sensorelementen, die in 10 gezeigt sind. 12 umfasst bestimmte nummerierte und/oder benannte Komponenten, die nummerierten oder benannten Komponenten von 11A entsprechen und/oder ähnlich oder gleich wie diese arbeiten und ähnlich verstanden werden können, sofern nicht anders angegeben. Daher werden in der folgenden Beschreibung von 12 nur bestimmte Unterschiedein der Konfiguration des ersten und zweiten Satzes SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 hervorgehoben. 12 12 is a top view diagram illustrating certain aspects of first and second sets of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 corresponding to first and second spatial phases Ph0 and Ph90, which are fourth and fifth configuration examples of a set of sensor elements corresponding to the first type configured by prescribed relationship principles disclosed herein. The first and second sets SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 are along the vertical direction in FIG 12 offset to better show their individual properties and their orientation along the measurement axis direction relative to each other in a functional quadrature configuration, where the spatial phases Ph0 and Ph90 of the first and second sets of sensor elements differ by 90 degrees. It should be understood that in an actual encoder they are not offset from each other along the "y-axis" direction. Instead, they overlap, much like the first and second sets of sensing elements shown in 10 are shown. 12 includes certain numbered and/or named components, the numbered or named components of 11A conform and/or operate similarly or the same as and can be construed as similar unless otherwise noted. Therefore, in the following description of 12 only certain differences in the configuration of the first and second set SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 are highlighted.

Die Unterschiede zwischen der Implementierung des ersten und zweiten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90, die in 12 gezeigt sind, und die in 11A gezeigte Implementierung können wie folgt kurz beschrieben werden. In jedem Satz von in 12 gezeigten Sensorelementen ist das Paar von Sensorelementen SEN1 und SEN2 ihrer ersten Abschnitte SETSEN-Ph0sub1 und SETSEN-Ph90sub1 relativ zu ihrer nominalen räumlichen Phase um (W1)/4K nach links verschoben, anstatt nach rechts wie in 11A. Umgekehrt wurde in jedem in 12 gezeigten Satz von Sensorelementen das Paar von Sensorelementen SEN5 und SEN6 ihrer zweiten Abschnitte SETSEN-Ph0sub2 und SETSEN-Ph90sub2 relativ zu ihrer nominalen räumlichen Phase um (W1)/4K nach rechts verschoben, anstatt nach links wie in 11A.The differences between the implementation of the first and second sets of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 presented in 12 are shown, and those in 11A implementation shown can be briefly described as follows. In each set of in 12 In the sensor elements shown, the pair of sensor elements SEN1 and SEN2 have their first sections SETSEN-Ph0sub1 and SETSEN-Ph90sub1 shifted to the left by (W1)/4K relative to their nominal spatial phase, rather than to the right as in FIG 11A . Conversely, in each in 12 In the set of sensor elements shown, the pair of sensor elements SEN5 and SEN6 of their second sections SETSEN-Ph0sub2 and SETSEN-Ph90sub2 are shifted to the right by (W1)/4K relative to their nominal spatial phase, instead of to the left as in FIG 11A .

Die Implementierung der „verschobenen Paare“ von Sensorelementen SEN, wie vorstehend aufgezeigt und in 11B entweder im ersten oder zweiten Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 gezeigt, kann in jedem Satz von Sensorelementen wie folgt umfassend beschrieben werden. Gemäß einem ersten Aspekt der Implementierung umfasst der erste (zweite) Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 (SETSEN-Ph90), der der jeweiligen nominalen räumlichen Phase Ph0 (Ph90) entspricht, die Merkmale A1, B1, C1 und D1 und ist gemäß dem Merkmal C1 konfiguriert, wobei er mit einer Anzahl von Paaren benachbarter effektiver Sensorelementräume der Schleife mit positiver Polarität und der Schleife mit negativer Polarität, die entlang der Messachsenrichtung in der ersten Richtung um den Betrag (W1)/4K verschoben sind, und der gleichen Anzahl von Paaren benachbarter effektiver Sensorelementräume der Schleife mit positiver Polarität und der Schleife mit negativer Polarität, die entlang der Messachse in der der ersten Richtung entgegengesetzten Richtung um den Betrag (W1)/4K verschoben sind, konfiguriert ist.The implementation of the "shifted pairs" of sensor elements SEN, as indicated above and in 11B Shown in either the first or second set of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 can be broadly described in each set of sensor elements as follows. According to a first aspect of the implementation, the first (second) set of sensor elements SETSEN-Ph0 (SETSEN-Ph90) corresponding to the respective nominal spatial phase Ph0 (Ph90) comprises the features A1, B1, C1 and D1 and is according to the feature C1 configured with a number of pairs of adjacent effective sensor element spaces of the positive polarity loop and the negative polarity loop, which are shifted along the measurement axis direction in the first direction by the amount (W1)/4K, and the same number of pairs of adjacent effective sensor element spaces of the positive polarity loop and the negative polarity loop that are shifted along the measurement axis in the direction opposite to the first direction by the amount (W1)/4K.

Der erste oder zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 kann weiter wie folgt beschrieben werden. Gemäß einem zweiten Aspekt der Implementierung weisen die zwei jeweiligen Paare benachbarter Schleifen (z. B. das Paar SEN1 und SEN2 und das Paar SEN7 und SEN8), die sich an gegenüberliegenden Enden des ersten jeweiligen Satzes von Sensorelementen befinden, effektive Sensorelementräume der Schleife mit positiver Polarität und der Schleife mit negativer Polarität auf, die entlang der Messachse in diesen beiden jeweiligen Paaren in die gleiche Richtung verschoben sind.The first or second set of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 can be further described as follows. According to a second aspect of implementation, the two respective pairs of adjacent loops (e.g. pair SEN1 and SEN2 and pair SEN7 and SEN8) located at opposite ends of the first respective set of sensor elements have effective sensor element spaces of the positive loop polarity and the negative polarity loop shifted along the measurement axis in the same direction in these two respective pairs.

Darüber hinaus umfasst der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90, der in 12 gezeigt ist, das Merkmal E1 zusätzlich zu den Merkmalen A1, B, C1 und D1 und sind die Raumschwerpunkte CEN-SETSEN-Ph0 und CEN-SETSEN-Ph90 ausgerichtet.In addition, the second set of sensor elements includes SETSEN-Ph90, which in 12 is shown, the feature E1 in addition to the features A1, B, C1 and D1 and the centroids CEN-SETSEN-Ph0 and CEN-SETSEN-Ph90 are aligned.

Anhand der vorhergehenden Beschreibung ist zu erkennen, dass die in 12 gezeigte Implementierung alle die verschiedenen Vorteile bereitstellt, die vorstehend in Bezug auf 11A aufgezeigt wurden. Sie kann einen zusätzlichen Vorteil wie folgt bieten. Wie bereits angegeben, stellen die ausgerichteten Raumschwerpunkte der in 11A gezeigten Implementierung den Vorteil bereit, dass die jeweiligen Betriebsspalte und die Signalstärke des ersten und zweiten Satzes von Sensorelementen in ähnlicher Weise durch jegliche statische oder dynamische Neigungsfehlausrichtung beeinflusst werden, wodurch die Mehrheit von Fehlerbeiträgen, die andernfalls durch Neigungsfehlausrichtung entstehen können, beseitigt wird. Es versteht sich jedoch, dass alle Sensorelemente SEN in der linken Hälfte der Implementierung um eine räumliche Phasenverschiebung von (W1)/4K in eine jeweilige erste Richtung verschoben sind und alle Sensorelemente SEN in der rechten Hälfte der Implementierung um eine räumliche Phasenverschiebung von (W1)/4K in die jeweils entgegengesetzte Richtung verschoben sind. Die Signalbeiträge der rechten und linken Hälfte werden durch eine statische oder dynamische Neigungsfehlausrichtung asymmetrisch. Als Folge werden die Signalbeiträge von den entgegengesetzten räumlichen Phasenverschiebungen in der rechten und linken Hälfte bis zu einem gewissen Grad asymmetrisch, was zu einer geringen Empfindlichkeit gegen Positionsfehler gegenüber einer Neigungsfehlausrichtung führt. Im Gegensatz dazu werden in der in 12 gezeigten Implementierung Paare von Sensorelementen SEN sowohl in der rechten als auch in der linken Hälfte der Implementierung in beide Richtungen verschoben, derart, dass räumliche Phasenfehler aufgrund einer statischen oder dynamischen Neigungsfehlausrichtung reduziert oder eliminiert werden. Als ein aufschlussreiches Beispiel versteht es sich, dass, da die Sensorelemente SEN1 und SEN8 an gegenüberliegenden Enden der rechten und linken Hälfte in der in 12 gezeigten Implementierung um (W1)/4K in die gleiche Richtung verschoben sind, sowohl die Amplitude als auch die räumliche Phase ihrer summierten Signalbeiträge durch die Neigungsfehlausrichtung nominal unverändert sind.From the preceding description it can be seen that the 12 implementation shown provides all of the various advantages discussed above with respect to 11A were shown. It can provide an additional benefit as follows. As already indicated, the aligned centroids of the in 11A implementation shown provides the advantage that the respective operating columns and signal strength of the first and second sets of sensor elements are similarly affected by any static or dynamic tilt misalignment, thereby eliminating the majority of error contributions that may otherwise result from tilt misalignment. However, it should be understood that all sensor elements SEN in the left half of the implementation are shifted by a spatial phase shift of (W1)/4K in a respective first direction and all sensor elements SEN in the right half of the implementation are shifted by a spatial phase shift of (W1) /4K are shifted in opposite directions. The right and left half signal contributions become asymmetric due to static or dynamic tilt misalignment. As a result, the signal contributions from the opposite spatial phase shifts in the right and left halves become asymmetric to some extent, resulting in low sensitivity to positional errors versus tilt misalignment. In contrast, in the in 12 In the implementation shown, pairs of sensor elements SEN are shifted in both directions in both the right and left halves of the implementation such that spatial phase errors due to static or dynamic tilt misalignment are reduced or eliminated. As an instructive example, it is understood that since the sensor elements SEN1 and SEN8 are located at opposite ends of the right and left halves in the FIG 12 implementation shown are shifted by (W1)/4K in the same direction, both the amplitude and spatial phase of their summed signal contributions are nominally unchanged by the tilt misalignment.

Es sollte sich verstehen, dass der vorstehend aufgezeigte erste Aspekt einige Vorteile wie vorstehend aufgezeigt in bestimmten Implementierungen bereitstellen kann, selbst wenn der zweite Aspekt nicht verwendet wird. Bei verschiedenen Implementierungen kann es jedoch am vorteilhaftesten sein, den ersten und den zweiten Aspekt in Verbindung miteinander zu verwenden, wie in 12 gezeigt.It should be understood that the first aspect outlined above may provide some advantages as outlined above in certain implementations even if the second aspect is not used. However, in various implementations it may be most advantageous to use the first and second aspects in conjunction with each other, as in 12 shown.

13 ist ein Draufsichtdiagramm, das bestimmte Aspekte eines jeweiligen Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph90 entsprechend einer jeweiligen räumlichen Phase Ph90 veranschaulicht, die ein sechstes Konfigurationsbeispiel eines Satzes von Sensorelementen ist, die gemäß dem ersten Typ von hierin offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien dazu konfiguriert sind, räumlich gefilterte Signale zur Verwendung in einem Detektorabschnitt in einem elektronischen Positionscodierer bereitzustellen, wie z. B. dem in 1 gezeigten, zusammen mit einer zweiten kompatiblen felderzeugenden Spulenkonfiguration FGC und einem Skalenmuster 1380 und einschließlich verschiedener Dimensionen, die die Sensorelementkonfiguration gemäß den hierin offenbarten Prinzipien charakterisieren können. 13 umfasst bestimmte nummerierte und/oder benannte Komponenten, die nummerierten oder benannten Komponenten der 9 und 12 entsprechen und/oder ähnlich wie diese arbeiten und ähnlich verstanden werden können, sofern nicht anders angegeben. Insbesondere ist die Konfiguration der in 13 und 12 gezeigten Sätze von Sensorelementen SETSEN-Ph90 insofern ähnlich, als beide die Merkmale A1, B1, C1, D1 und E1 auf ähnliche Weise implementieren und beide die ersten und zweiten Aspekte der „verschobenen Paar“-Konfiguration implementieren, die vorstehend unter Bezugnahme auf 12 auf ähnliche Weise aufgezeigt wurden. Daher werden in dem Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 in Bezug auf deren Anpassung zum Betrieb im Detektorabschnitt 1367 in Verbindung mit der „zweispurigen“ Felderzeugungsspule FGC und dem Skalenmuster 1380 nur bestimmte Unterschiede in der folgenden Beschreibung hervorgehoben. 13 is a plan view diagram illustrating certain aspects of a respective set of sensor elements SETSEN-Ph90 corresponding to a respective spatial phase Ph90, which is a sixth configuration example of a set of sensor elements configured according to the first type of prescribed relationship principles disclosed herein to spatially filtered signals for use in a detector section in an electronic position encoder, such as e.g. B. the in 1 shown, along with a second compatible field generating coil configuration FGC and a scale pattern 1380 and including various dimensions that can characterize the sensor element configuration according to the principles disclosed herein. 13 includes certain numbered and/or named components, the numbered or named components of the 9 and 12 correspond and/or work similarly to them and can be understood in a similar way, unless otherwise indicated. In particular, the configuration of the in 13 and 12 SETSEN-Ph90 sets of sensor elements shown are similar in that both implement features A1, B1, C1, D1 and E1 in a similar manner and both implement the first and second aspects of the "shifted pair" configuration discussed above with reference to 12 were shown in a similar way. Therefore, in the SETSEN-Ph90 set of sensor elements, with respect to their adaptation for operation in the detector section 1367 in conjunction with the "two-track" field generating coil FGC and the scale pattern 1380, only certain differences will be highlighted in the following description.

Der Detektorabschnitt 1367 ist in einer „zweispurigen“ Konfiguration angeordnet, die auf der Basis der nachstehenden Kurzbeschreibung verstanden werden kann, und auch auf der Basis einer ähnlichen Implementierung, die im US-Patent Nr. 10,775,199 (das '199-Patent) offenbart ist, das hiermit durch Bezugnahme in seiner Gesamtheit aufgenommen wird, verstanden werden kann. Kurz gesagt umfasst das Skalenmuster 1380 Signalmodulationselemente SME, die in ersten und zweiten Spuren FPT bzw. SPT angeordnet sind, die sich wie gezeigt entlang der Messachsenrichtung MA erstrecken. Die Felderzeugungsspule FGC ist derart konfiguriert, dass sie einen ersten Abschnitt, der einen ersten Innenraumabschnitt FINTA, ausgerichtet mit der ersten Spur FPT, umgibt, und einen zweiten Abschnitt aufweist, der einen zweiten Innenraum SINTA, ausgerichtet mit der zweiten Spur SPT, umgibt. Die Verbindungen und der Stromfluss zwischen den Abschnitten der felderzeugenden Spule FGC verstehen sich basierend auf den darin in 13 gezeigten beispielhaften Stromflusspfeilen.The detector section 1367 is arranged in a "two-lane" configuration, which can be understood based on the brief description below, and also based on a similar implementation described in U.S. Patent No. 10,775,199 (the '199 patent), which is hereby incorporated by reference in its entirety. Briefly, the scale pattern 1380 includes signal modulation elements SME arranged in first and second traces FPT and SPT, respectively, extending along the measurement axis direction MA as shown. The field generating coil FGC is configured to have a first section surrounding a first interior section FINTA aligned with the first track FPT and a second section surrounding a second interior section SINTA aligned with the second track SPT. The connections and current flow between the sections of the field generating coil FGC are understood based on the in 13 shown exemplary current flow arrows.

Bei dieser Implementierung umfasst der erste Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 zwei getrennte Abschnitte SETSEN-Ph90sub1 und SETSEN-Ph90sub2 gemäß zuvor offenbarten Prinzipien. Ihr Layout umfasst kleinere Anpassungen für eine bessere Kompatibilität mit einer zweispurigen Implementierung, wie für den Durchschnittsfachmann verständlich ist. Der erste Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0, der der nominalen räumlichen Phase PhOnom entspricht, umfasst Sensorelemente SEN, die leitfähige Schleifen umfassen, die sich jeweils quer zur Messachsenrichtung MA über den ersten und zweiten Innenraumabschnitt FINTA und SINTA erstrecken, um einen ersten und einen zweiten effektiven Sensorelementraumabschnitt FEffASEN und SEffASEN zu definieren, die jenen Abschnitten des Sensorelements SEN entsprechen, die mit dem ersten und dem zweiten Innenraumabschnitt FINTA bzw. SINTA ausgerichtet sind oder diese überlappen. Dementsprechend kombiniert ein in jeder leitfähigen Schleife entstehender Detektorsignalbeitrag die jeweiligen Detektorsignalbeiträge von seinem ersten und seinem zweiten effektiven Sensorelementraumabschnitt, FEffASEN und SEffASEN. Im Vergleich zu der vorherigen Beschreibung von 9 kann die Summe des ersten und deszweiten effektiven Sensorelementraumabschnitts FEffASEN und SEffASEN eines Sensorelements SEN als der effektive Sensorelementraum EffASen interpretiert werden.In this implementation, the first set of sensor elements SETSEN-Ph0 comprises two separate sections SETSEN-Ph90sub1 and SETSEN-Ph90sub2 according to previously disclosed principles. Their layout includes minor adjustments for better compatibility with a two-lane implementation, as will be understood by those of ordinary skill in the art. The first set of sensor elements SETSEN-Ph0, which corresponds to the nominal spatial phase PhOnom, comprises sensor elements SEN, which comprise conductive loops, each extending transversely to the measurement axis direction MA across the first and second interior sections FINTA and SINTA, around a first and a second to define effective sensor element space portion FEffASEN and SEffASEN corresponding to those portions of the sensor element SEN that are aligned with or overlap the first and second interior space portions FINTA and SINTA, respectively. Accordingly, a detector signal contribution arising in each conductive loop combines the respective detector signal contributions from its first and second effective sensing element space portions, FEffASEN and SEffASEN. Compared to the previous description of 9 the sum of the first and second effective sensor element space sections FEffASEN and SEffASEN of a sensor element SEN can be interpreted as the effective sensor element space EffASen.

In der in 13 gezeigten Implementierung umfasst das Skalenmuster 1380 Signalmodulationselemente SME (oder Signalmodulationselementabschnitte SME), die periodisch in der ersten Spur FPT gemäß der Wellenlänge W1 angeordnet sind, und Signalmodulationselemente SME (oder Signalmodulationselementabschnitte SME), die periodisch in der zweiten Spur SPT gemäß der Wellenlänge W1 angeordnet sind, wobei die periodischen Anordnungen in der ersten und zweiten Spur FPT und SPT um (W1 )/2 gegeneinander versetzt sind. Außerdem ist die Felderzeugungsspule FGC dazu konfiguriert, eine erste Polarität des sich ändernden Magnetflusses in dem ersten Innenraumabschnitt FINTA und eine entgegengesetzte zweite Polarität des sich ändernden Magnetflusses in dem zweiten Innenraum SINTA zu erzeugen.in the in 13 The implementation shown comprises the scale pattern 1380 signal modulation elements SME (or signal modulation element sections SME) arranged periodically in the first track FPT according to the wavelength W1 and signal modulation elements SME (or signal modulation element sections SME) arranged periodically in the second track SPT according to the wavelength W1 , wherein the periodic arrangements in the first and second traces FPT and SPT are offset from each other by (W1 )/2. In addition, the field generating coil FGC is configured to generate a first polarity of the changing magnetic flux in the first inner space portion FINTA and an opposite second polarity of the changing magnetic flux in the second inner space SINTA.

Die Art der kombinierten Detektorsignalbeiträge wird durch die paarweisen Vorzeichen „+,+“ oder „+,-“ oder „-,-“ oder „-,+“ im Inneren jedes Sensorelements SEN in 13 verdeutlicht, die in Kombination mit jedem überlappenden Signalmodulationselement SME herangezogen werden. Das erste Vorzeichen in einem Paar gibt die Schleifenpolarität eines Sensorelements an, und das zweite Vorzeichen in einem Paar gibt die erzeugte Flusspolarität in dem entsprechenden Innenraumabschnitt an. Als ein Beispiel ist in dem Sensorelement SEN2 der Signalbeitrag von dem ersten effektiven Sensorelementraumabschnitt FEffASEN ein nominaler positiver Polaritätsbeitrag, der nicht durch ein überlappendes Signalmodulationselement SME reduziert wird. Der Signalbeitrag des zweiten effektiven Sensorelementraumabschnitts FEffASEN wäre ein nominaler negativer Polaritätsbeitrag (aufgrund des Flusses negativer Polarität), jedoch wird dieser Beitrag durch das überlappende Signalmodulationselement SME reduziert oder im Wesentlichen eliminiert. Als Folge ist der Nettosignalbeitrag des Sensorelements SEN2 für die veranschaulichte Skalenposition ein positiver Nettosignalbeitrag. Die Signalbeiträge anderer Sensorelemente SEN und/oder für andere Skalenpositionen können analog zu der vorhergehenden Erläuterung und/oder wie im '199-Patent ausführlich beschrieben verstanden werden.The nature of the combined detector signal contributions is indicated by the paired signs "+,+" or "+,-" or "-,-" or "-,+" inside each sensor element SEN in 13 clarifies that are used in combination with each overlapping signal modulation element SME. The first sign in a pair indicates the loop polarity of a sensor element and the second sign in a pair indicates the generated flux polarity in the corresponding interior portion. As an example, in the sensor element SEN2 the signal contribution from the first effective sensor element space portion FEffASEN is a nominal positive polarity contribution that is not reduced by an overlapping signal modulation element SME. The signal contribution of the second effective sensor element space section FEffASEN would be a nominal negative polarity contribution (due to negative polarity flux), however this contribution is reduced or substantially eliminated by the overlapping signal modulation element SME. As a result, the net signal contribution of sensor element SEN2 is a positive net signal contribution for the illustrated dial position. The signal contributions of other sensor elements SEN and/or for other scale positions can be understood analogously to the previous discussion and/or as detailed in the '199 patent.

Wie zuvor angegeben, kann die Summe des ersten und des zweiten effektiven Sensorelementraumabschnitts, FEffASEN und SEffASEN, eines Sensorelements SEN im Hinblick auf eine zweispurige Implementierung als sein effektiver Sensorelementraum EffASen interpretiert werden. Diese Interpretation wird in geeigneter Weise beim Bestimmen der durchschnittlichen Sensorelementdimension DSENavg, die im Prinzip oder Merkmal B1 aufgezeigt ist, für eine zweispurige Konfiguration angewendet.As previously indicated, the sum of the first and second effective sensor element space portions, FEffASEN and SEffASEN, of a sensor element SEN in terms of a two-lane implementation can be interpreted as its effective sensor element space EffASen. This interpretation is suitably applied in determining the average sensor element dimension DSENavg shown in principle or feature B1 for a two-lane configuration.

Hinsichtlich eines weiteren Aspekts der Interpretation der im Prinzip oder Merkmal B1 beschriebenen durchschnittlichen Sensorelementdimension DSENavg für eine zweispurige Konfiguration kann für jedes Sensorelement dessen effektiver Sensorelementraum EffASEN, der mit zwei Innenräumen (z. B. FINTA und SINTA) ausgerichtet ist oder diese(n) überlappt, derart definiert sein, dass er eine effektive y-Achsendimension EffYSEN entlang einer y-Achsenrichtung aufweist, die die Summe der Dimensionen des einen oder der mehreren Innenräume (z. B. FINTA und SINTA) senkrecht zur Messachsenrichtung ist. Bei der speziellen Implementierung, die in 13 gezeigt ist, ist die durchschnittliche Sensorelementdimension DSENavg (=EffASEN/EffYSEN) gemäß der Interpretation als in den Bereich 0,33*W1 +/- 15 % fallend veranschaulicht, was der vorherigen Beschreibung des Prinzips oder Merkmals B1 entspricht.With regard to a further aspect of the interpretation of the average sensor element dimension DSENavg described in principle or feature B1 for a two-lane configuration, for each sensor element its effective sensor element space EffASEN, which is aligned with two interior spaces (e.g. FINTA and SINTA) or overlaps them , be defined as having an effective y-axis dimension EffYSEN along a y-axis direction that is the sum of the dimensions of the one or more interior spaces (e.g., FINTA and SINTA) perpendicular to the measurement axis direction. In the particular implementation included in 13 is shown, the average sensor element dimension DSENavg (=EffASEN/EffYSEN) is illustrated according to the interpretation as falling within the range 0.33*W1 +/- 15%, which corresponds to the previous description of the principle or feature B1.

Es versteht sich, dass die Implementierungen vom ersten Typ oder zweiten Typ, die hierin unter Bezugnahme auf die in 13 gezeigte zweispurige Konfiguration und weiter unten in 17 offenbart sind, nur beispielhaft und nicht einschränkend sind. Allgemeiner kann ein Durchschnittsfachmann, der den Vorteil dieser Offenbarung und der hierin enthaltenen Lehren hat, verschiedene räumliche Filterkonfigurationen gemäß dem ersten Typ oder dem zweiten Typ von vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien oder -merkmalen, die hierin offenbart und beansprucht werden, zur Verwendung in verschiedenen anderen zweispurigen Implementierungen wie den im '199-Patent offenbarten anpassen.It is understood that the first type or second type implementations described herein with reference to the in 13 shown two-lane configuration and further below in 17 are disclosed are by way of example only and are not limiting. More generally, one of ordinary skill in the art, having the benefit of this disclosure and the teachings contained herein, can design various spatial filter configurations according to the first type or the second type of prescribed relationship principles or features disclosed and claimed herein for use in various other two-lane implementations such as adapt that disclosed in the '199 patent.

Es versteht sich, dass die Sätze von Sensorelementen SETSEN, die in den verschiedenen Implementierungen vom ersten Typ offenbart sind, die vorstehend unter Bezugnahme auf 9 bis 13 veranschaulicht und beschrieben sind, nur beispielhaft und nicht einschränkend sind. Zum Beispiel könnte jeder der Sätze von Sensorelementen SETSEN derart abgeändert werden, dass er zusätzliche Sensorelemente SEN (oder weniger, in bestimmten offenbarten Implementierungen) umfasst, vorausgesetzt, dass sie derart geformt und angeordnet sind, dass die resultierenden Sätze von Sensorelementen SETSEN die vorgeschriebenen Beziehungsmerkmale A1, B1, C1 und mindestens eines der Merkmale D1 und E1 umfassen, wie vorstehend aufgezeigt ist.It is understood that the sets of sensor elements SETSEN disclosed in the various implementations of the first type described above with reference to FIG 9 until 13 illustrated and described are by way of example only and are not limiting. For example, each of the sets of sensor elements SETSEN could be modified to include additional sensor elements SEN (or fewer, in certain disclosed implementations), provided they are shaped and arranged such that the resulting sets of sensor elements SETSEN have the prescribed relationship characteristics A1 , B1, C1 and at least one of features D1 and E1, as indicated above.

Obwohl darüber hinaus das Merkmal D1 in jeder der in den 9-13 gezeigten Implementierungen enthalten ist, ist es nicht in allen Implementierungen erforderlich, vorausgesetzt, dass das Merkmal E1 in mindestens einem jeweiligen Satz von Sensorelementen enthalten ist. Als ein spezielles Beispiel in Bezug auf 11A gilt, dass, wenn die Verschiebungsrichtungen aller Sensorelemente SEN in dem Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 umgekehrt werden und alle in 11A gezeigten Sensorelemente SEN durch die in 6 gezeigten Sensorelemente SEN ersetzt werden (die eine maximale Dimension DSENmax von ungefähr 0,5*W1 haben), der resultierende Codierer wie folgt beschrieben werden kann: umfassend mehrere jeweilige Sätze von Sensorelementen (z. B. SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90) entsprechend mehreren jeweiligen räumlichen Phasen (z. B. Ph0 und Ph90), wobei jede die Merkmale A1, B1, C1 umfasst (z. B. würde SETSEN-Ph0 weder Merkmal D1 noch E1 umfassen) und mindestens einer der mehreren jeweiligen Sätze von Sensorelementen ferner mindestens das Merkmal E1 (z. B. SETSEN-Ph90) umfasst, und der elektronische Positionscodierer dadurch dazu konfiguriert ist, mehrere räumlich gefilterte Detektorsignale bereitzustellen, die dazu verwendet werden können, potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponenten der 3. räumlichen Harmonischen und potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponenten der K-ten (5.) räumlichen Harmonischen, die ansonsten möglicherweise zu Fehlern in der bestimmten relativen Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster beitragen, zu reduzieren oder zu unterdrücken. Der resultierende Codierer kann weiter wie folgt beschrieben werden: Jeder der mehreren jeweiligen Sätze von Sensorelementen (z. B. SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90) weist einen Raumschwerpunkt seines effektiven Sensorelementgesamtraums auf, der sich innerhalb seiner Spanne entlang der Messachse befindet; und die mehreren jeweiligen Sätze von Sensorelementen sind derart konfiguriert, dass sich ihre jeweiligen Raumschwerpunkte an nominal demselben Ort entlang der Messachsenrichtung befinden. Außerdem kann der resultierende Codierer derart konfiguriert sein, dass jede jeweilige Schleife mit positiver oder negativer Polarität, die in einem der mehreren jeweiligen Sätze von Sensorelementen enthalten ist, dazu konfiguriert ist, einen jeweiligen effektiven Sensorelementraum EffASEN bereitzustellen, der einen effektiven Sensorelementraum EffASEN einer anderen jeweiligen Schleife mit positiver oder negativer Polarität, die in demselben der mehreren jeweiligen Sätze von Sensorelementen enthalten ist, nicht überlappt.In addition, although the feature D1 in each of the 9-13 is included in the implementations shown, it is not required in all implementations, provided that the feature E1 is included in at least one respective set of sensor elements. As a specific example regarding 11A it holds that if the displacement directions of all sensor elements SEN in the set of sensor elements SETSEN-Ph0 are reversed and all in 11A shown sensor elements SEN by the in 6 sensor elements SEN shown are replaced (having a maximum dimension DSENmax of about 0.5*W1), the resulting encoder can be described as: comprising several respective sets of sensor elements (e.g. SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90) respectively a plurality of respective spatial phases (e.g., Ph0 and Ph90), each including features A1, B1, C1 (e.g., SETSEN-Ph0 would include neither feature D1 nor E1), and further at least one of the plurality of respective sets of sensor elements comprises at least feature E1 (e.g. SETSEN-Ph90), and the electronic position encoder is thereby configured to provide multiple spatially filtered detector signals that can be used to identify potential unwanted detector signals 3rd spatial harmonic components and potential unwanted detector signal components of the Kth (5th) spatial harmonics that might otherwise contribute to errors in the determined relative position between the detector section and the dial pattern. The resulting encoder can be further described as follows: each of the multiple respective sets of sensor elements (e.g., SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90) has a centroid of its total effective sensor element space that is within its span along the measurement axis; and the plurality of respective sets of sensor elements are configured such that their respective centroids are at nominally the same location along the measurement axis direction. In addition, the resulting encoder may be configured such that each respective positive or negative polarity loop included in one of the plurality of respective sets of sensor elements is configured to provide a respective effective sensor element space EffASEN that has an effective sensor element space EffASEN of another respective Loop of positive or negative polarity contained in the same one of the plurality of respective sets of sensor elements does not overlap.

Es ist auch möglich, einen analogen Dreiphasencodierer derart zu konfigurieren, dass er drei Sätze von Sensorelementen umfasst, die die Merkmale A1, B1, C1 umfassen, wobei, falls gewünscht, mindestens zwei der Sätze von Sensorelementen das Merkmal E1 umfassen.It is also possible to configure a three-phase analog encoder to include three sets of sensor elements comprising features A1, B1, C1, with at least two of the sets of sensor elements comprising feature E1 if desired.

Während somit bevorzugte Implementierungen vom ersten Typ veranschaulicht und beschrieben wurden, werden für den Fachmann basierend auf dieser Offenbarung zahlreiche Variationen in den veranschaulichten und beschriebenen Anordnungen von Merkmalen offensichtlich sein.Thus, while preferred implementations of the first type have been illustrated and described, numerous variations in the illustrated and described arrangements of features will be apparent to those skilled in the art based on this disclosure.

Die 14-17 sind teilweise repräsentative, teilweise schematische Draufsichtdiagramme, die bestimmte Aspekte verschiedener Konfigurationsbeispiele eines Satzes von Sensorelementen SETSEN veranschaulichen, die gemäß eines zweiten Typs von hierin offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien konfiguriert oder angeordnet sind, derart, dass die Sensorelemente SEN derart geformt sind, dass sie räumlich gefilterte Signale zur Verwendung in einem Detektorabschnitt (z. B. 1467, 1567, 1767) in einem elektronischen Positionscodierer wie dem in 1 gezeigten bereitstellen. Kompatible felderzeugende Spulenkonfigurationen FGC und Skalenmuster (z. B. 980, 1380) sind ebenfalls veranschaulicht. Gemäß einer hierin verwendeten Konvention kann eine Implementierung, die dem zweiten Typ von vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien (nachstehend ausführlicher beschrieben) entspricht, kurz als eine Implementierung vom zweiten Typ bezeichnet werden.the 14-17 are partially representative, partially schematic plan view diagrams illustrating certain aspects of various configuration examples of a set of sensor elements SETSEN configured or arranged according to a second type of prescribed relationship principles disclosed herein, such that the sensor elements SEN are shaped such that they spatially filtered signals for use in a detector section (e.g. 1467, 1567, 1767) in an electronic position encoder such as that in 1 provide shown. Compatible field generating coil configurations FGC and dial pattern (e.g. 980, 1380) are also illustrated. According to a convention used herein, an implementation that conforms to the second type of prescribed relationship principles (described in more detail below) may be referred to as a second-type implementation for short.

Die nachstehend unter Bezugnahme auf due 14-17 aufgezeigten Prinzipien sind vorteilhaft für Formen und Anordnen der Sensorelemente SEN, um potenzielle Komponenten der 3., 5., 7. oder 9. räumlichen Harmonischen in den Detektorsignalen in verschiedenen alternativen Implementierungen räumlich zu filtern, und besonders vorteilhaft zum Formen der Sensorelemente SEN zum räumlichen Filtern von potenziellen Komponenten der 5. räumlichen Harmonischen, wenn sie in Kombination mit der Dimensionierung der Sensorelemente SEN gemäß den vorstehend aufgezeigten Prinzipien verwendet werden, derart, dass ihre Dimension DSENavg dazu konfiguriert ist, potenzielle Komponenten der 3. räumlichen Harmonischen in den Detektorsignalen räumlich zu filtern. Ihre Anwendung ist jedoch nicht auf die nachstehend offenbarten Implementierungen beschränkt. Allgemeiner gesagt können diese Prinzipien in Kombination mit verschiedenen anderen Konfigurationen von Sätzen von Sensorelementen SETSEN und Signalmodulationselementen SME zusätzlich zu den hierin offenbarten (wie z. B. im Stand der Technik bekannt) verwendet werden und immer noch erhebliche Vorteile bieten.The below with reference to due 14-17 The principles outlined are advantageous for shaping and arranging the sensor elements SEN to spatially filter potential 3rd, 5th, 7th or 9th spatial harmonic components in the detector signals in various alternative implementations, and particularly advantageous for shaping the sensor elements SEN to the spatial Filtering potential 5th spatial harmonic components when used in combination with dimensioning the sensor elements SEN according to the principles outlined above such that their dimension DSENavg is configured to spatially eliminate potential 3rd spatial harmonic components in the detector signals filter. However, their application is not limited to the implementations disclosed below. More generally, these principles can be used in combination with various other configurations of sets of sensor elements SETSEN and signal modulation elements SME in addition to those disclosed herein (e.g. as known in the art) and still provide significant advantages.

14 ist ein Draufsichtdiagramm, das bestimmte Aspekte eines ersten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph90 (in einigen Zusammenhängen nachstehend kurz als SETSEN bezeichnet) entsprechend einer ersten räumlichen Phase Ph90 veranschaulicht, die ein erstes Konfigurationsbeispiel eines Satzes von Sensorelementen ist, die gemäß dem zweiten Typ von hierin offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien dazu konfiguriert sind, räumlich gefilterte Signale zur Verwendung in einem Detektorabschnitt in einem elektronischen Positionscodierer wie dem in 1 gezeigten bereitzustellen, zusammen mit der ersten kompatiblen felderzeugenden Spulenkonfiguration FGC und einem in 9 gezeigten Skalenmuster 980, und einschließlich verschiedener Dimensionen, die die Sensorelementkonfiguration gemäß den hierin offenbarten Prinzipien charakterisieren können. 14 umfasst bestimmte nummerierte und/oder benannte Komponenten, die nummerierten oder benannten Komponenten von vorherigen Figuren und insbesondere von den 9 und/oder 11A entsprechen und/oder ähnlich oder gleich wie diese arbeiten und ähnlich verstanden werden können, sofern nicht anders angegeben. Kurz gesagt können der Gesamtbetrieb der in 13 gezeigten Implementierung und die verschiedenen Elemente darin analog zu der vorstehenden Beschreibung von 9 und 11A (und anderer, falls zutreffend) verstanden werden. Der bedeutendste Unterschied zwischen den in 14 und 11A dargestellten Sätzen von Sensorelementen SETSEN-Ph90 besteht darin, dass die Form jedes der in 14 gezeigten Sensorelemente SEN zwei „schleifenintern“ verschobene Anteile umfasst, die in entgegengesetzte Richtungen um einen vorgeschriebenen Betrag zu dem Zweck verschoben sind, eine gewünschte räumliche Filterung innerhalb jedes Sensorelements SEN bereitzustellen. Wenn dieses Merkmal in Implementierungen vom zweiten Typ implementiert wird, wird eine wünschenswerte räumliche Filterung erreicht, ohne dass das Prinzip oder Merkmal C1 implementiert werden muss, das bei Implementierungen vom ersten Typ erforderlich war. Da die gesamten Erfassungsoperationen der in 14 und 11A gezeigten Sätze von Sensorelementen SETSEN-Ph90 ansonsten analog sind, werden nur bestimmte Aspekte der Konfiguration des in 14 und 11A gezeigten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph90, die sich auf die Form der Sensorelemente SEN und deren enthaltene schleifenintern verschobene Anteile beziehen, in der folgenden Beschreibung hervorgehoben. 14 is a plan view diagram illustrating certain aspects of a first set of sensor elements SETSEN-Ph90 (hereinafter referred to as SETSEN for short in some contexts) corresponding to a first spatial phase Ph90, which is a first configuration example of a set of sensor elements that is according to the second type herein disclosed prescribed relationship principles are configured to generate spatially filtered signals for use in a detector section in an electronic position encoder such as that in 1 shown, along with the first compatible field generating coil configuration FGC and an in 9 scale pattern 980 shown, and including various dimensions that can characterize the sensor element configuration according to the principles disclosed herein. 14 includes certain numbered and/or named components, the numbered or named components of previous figures and particularly of the 9 and/or 11A and/or operate similarly or the same as and may be construed as similar unless otherwise noted. In short, the overall operation of the in 13 The implementation shown and the various elements therein are analogous to the description of FIG 9 and 11A (and others, if applicable) are understood. The most significant difference between the 14 and 11A shown sets of sensor elements SETSEN-Ph90 is that the shape of each of the in 14 sensor elements SEN shown comprises two "in-loop" shifted portions shifted in opposite directions by a prescribed amount for the purpose of providing a desired spatial filtering within each sensor element SEN. When this feature is implemented in second-type implementations, desirable spatial filtering is achieved without having to implement the principle or feature C1 that was required in first-type implementations. Since the entire capture operations of the in 14 and 11A SETSEN-Ph90 sets of sensor elements shown are otherwise analogous, only certain aspects of the configuration of the in 14 and 11A shown set of sensor elements SETSEN-Ph90, which relate to the shape of the sensor elements SEN and their contained loop-internally shifted components, highlighted in the following description.

Bei verschiedenen Implementierungen vom zweiten Typ, die dazu konfiguriert sind, räumlich gefilterte Detektorsignale bereitzustellen, wie nachstehend unter Bezugnahme auf die 14-17 offenbart, umfasst mindestens ein erster jeweiliger Satz von Sensorelementen entsprechend einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase die Merkmale A2 und B2, wie wie folgt definiert ist.In various implementations of the second type configured to provide spatially filtered detector signals, as described below with reference to FIGS 14-17 discloses, at least a first respective set of sensor elements corresponding to a respective nominal spatial phase comprises features A2 and B2 as defined as follows.

A2) Eine Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität, die einer ersten Wicklungsrichtung oder Polarität entsprechen, und die gleiche Anzahl von Schleifen mit negativer Polarität, die einer zweiten Wicklungsrichtung oder Polarität entgegengesetzt zur ersten Wicklungsrichtung oder Polarität entsprechen.A2) A number of positive polarity loops corresponding to a first winding direction or polarity and the same number of negative polarity loops corresponding to a second winding direction or polarity opposite to the first winding direction or polarity.

B2) Mindestens ein Großteil der Schleifen mit positiver Polarität und mindestens ein Großteil der Schleifen mit negativer Polarität sind derart konfiguriert, dass ihre effektiven Sensorelementräume in einer vorgeschriebenen schleifeninternen Verschiebungsbeziehung relativ zu der jeweiligen nominalen räumlichen Phase des jeweiligen Satzes von Sensorelementen angeordnet sind, wobei:

  • die schleifeninterne Verschiebungsbeziehung eine Konfiguration umfasst, in der innerhalb jeder derartigen Schleife ein schleifenintern verschobener Anteil von bis zu der Hälfte ihres effektiven Sensorelementraums entlang der Messachsenrichtung in einer ersten Richtung um einen Betrag (W1)/4K in Bezug auf die jeweilige nominale räumliche Phase verschoben ist und der nominal gleich große schleifenintern verschobene Anteil ihres effektiven Sensorelementraums entlang der Messachsenrichtung in einer Richtung entgegengesetzt zur ersten Richtung um einen Betrag (W1)/4K in Bezug auf die jeweilige nominale räumliche Phase verschoben ist, wobei die beiden schleifenintern verschobenen Anteile um (W1)/2K relativ zueinander verschoben sind, wobei K 3, 5, 7 oder 9 ist;
  • wobei der jeweilige Satz von Sensorelementen, der der jeweiligen nominalen räumlichen Phase (SETSENPh0) entspricht, dadurch in einer praktischen Konfiguration konfiguriert ist, die ein oder mehrere räumlich gefilterte Detektorsignale bereitstellt, die dazu verwendet werden können, eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer K-ten räumlichen Harmonischen, die ansonsten möglicherweise zu Fehlern in der bestimmten relativen Position zwischen Detektorabschnitt und Skalenmuster beiträgt, zu reduzieren oder zu unterdrücken.
B2) At least a majority of the positive polarity loops and at least a majority of the negative polarity loops are configured such that their effective sensor element spaces are arranged in a prescribed in-loop shifting relationship relative to the respective nominal spatial phase of the respective set of sensor elements, where:
  • the in-loop shifting relationship includes a configuration in which within each such loop an in-loop shifted portion of up to half of its effective sensor element space is shifted along the measurement axis direction in a first direction by an amount (W1)/4K with respect to the respective nominal spatial phase and the nominally equal in-loop shifted portion of their effective sensor element space is shifted along the measurement axis direction in a direction opposite to the first direction by an amount (W1)/4K with respect to the respective nominal spatial phase, the two in-loop shifted portions by (W1) /2K are shifted relative to each other, where K is 3, 5, 7 or 9;
  • wherein the respective set of sensor elements corresponding to the respective nominal spatial phase (SETSENPh0) is thereby configured in a practical configuration that provides one or more spatially filtered detector signals that can be used to detect a potential unwanted detector signal component of a Kth spatial to reduce or suppress harmonics that might otherwise contribute to errors in the determined relative position between detector section and dial pattern.

Als Folge der Implementierung der Merkmale A2 und B2, wie vorstehend aufgezeigt, wird ein jeweiliger Satz von Sensorelementen SETSEN entsprechend einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase dadurch in einer praktischen Konfiguration konfiguriert, die ein oder mehrere räumlich gefilterte Detektorsignale bereitstellt, die dazu verwendet werden können, eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer K-ten räumlichen Harmonischen, die ansonsten möglicherweise zu Fehlern in der bestimmten relativen Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster beiträgt, zu reduzieren oder zu unterdrücken.As a result of implementing features A2 and B2 as indicated above, a respective set of sensor elements SETSEN corresponding to a respective nominal spatial phase is thereby configured in a practical configuration that provides one or more spatially filtered detector signals that can be used to generate a to reduce or suppress potential unwanted detector signal component of a Kth spatial harmonic that might otherwise contribute to errors in the determined relative position between the detector section and the dial pattern.

Die 14-17 umfassen jeweils ein „Referenzgitter“, wie es zuvor hierin beschrieben wurde. Der zentrale Ort der effektiven Räume FEffASEN der ersten Spur und der effektiven Räume SEffASEN jedes Sensorelements SEN sind durch die Orte der gestrichelten Mittellinien CLSEN angegeben, um zu veranschaulichen, wie jedes Sensorelement SEN gemäß dem Merkmal B2 konfiguriert ist, wie nachstehend ausführlicher beschrieben wird.the 14-17 each include a “reference grid” as previously described herein. The central location of the effective spaces FEffASEN of the first trace and the effective spaces SEffASEN of each sensor element SEN are indicated by the locations of the dashed center lines CLSEN to illustrate how each sensor element SEN is configured according to feature B2, as described in more detail below.

Um zur weiteren Erörterung der in 14 gezeigten Implementierung zurückzukehren, wird basierend auf den in 14 gezeigten Referenzgitter- und Mittellinienindikatoren verständlich, dass der in 14 gezeigte Satz von Sensorelementen SETSEN die Konfigurationsprinzipien oder Merkmale A2 und B2 implementiert, wie vorstehend aufgezeigt ist. In der in 14 gezeigten Implementierung umfasst der jeweilige Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90, der der jeweiligen nominalen räumlichen Phase Ph90 entspricht, eine Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität (angegeben durch „+“ im Schleifeninnenraum) entsprechend einer ersten Wicklungsrichtung oder Polarität, und die gleiche Anzahl von Schleifen mit negativer Polarität (angegeben durch „-“ im Schleifeninnenraum) entsprechend einer zweiten Wicklungsrichtung oder Polarität, die der ersten entgegengesetzt ist. In der in 14 gezeigten Implementierung sind alle Schleifen mit positiver Polarität und alle Schleifen mit negativer Polarität derart konfiguriert, dass ihre effektiven Sensorelementräume EffASEN in einer vorgeschriebenen schleifeninternen Verschiebungsbeziehung relativ zu der jeweiligen nominalen räumlichen Phase Ph90nom des jeweiligen Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph90 angeordnet sind. Die schleifeninterne Verschiebungsbeziehung umfasst eine Konfiguration, in der innerhalb jeder solchen Schleife SEN ein schleifenintern verschobener Anteil ILSP von bis zu der Hälfte ihres effektiven Sensorelementraums entlang der Messachsenrichtung MA in einer ersten Richtung um einen Betrag (W1)/4K in Bezug auf die jeweilige nominale räumliche Phase Ph90nom verschoben ist und der nominal gleich große schleifenintern verschobene Anteil ILSP ihres effektiven Sensorelementraums (z. B. SEffASEN) entlang der Messachsenrichtung in einer Richtung entgegengesetzt zur ersten Richtung um einen Betrag (W1)/4K in Bezug auf die jeweilige nominale räumliche Phase Ph90nom verschoben ist, wobei die beiden schleifenintern verschobenen Anteile ILSP (z. B., FEffASEN und SEffASEN) um (W1)/2K relativ zueinander verschoben sind, wobei K 3, 5, 7 oder 9 ist. Derartige Sensorelemente SEN sind jeweils dazu konfiguriert, zwei räumlich gefilterte Detektorsignalkomponenten für die K-te räumliche Harmonische zu kombinieren, die zueinander um 180 Grad phasenverschoben sind (z. B. aus den beiden schleifenintern verschobenen Anteilen ILSP (d. h. FEffASEN und SEffASEN entstehen), wodurch nominal derartige Signalkomponenten der K-ten räumlichen Harmonischen in ihren kombinierten Signalbeiträgen aufgehoben oder unterdrückt werden.In order to further discuss the in 14 implementation shown is based on the in 14 From the reference grid and centerline indicators shown, understand that the in 14 The set of sensor elements SETSEN shown implements the configuration principles or features A2 and B2 as indicated above. in the in 14 implementation shown, the respective set of sensor elements SETSEN-Ph90 corresponding to the respective nominal spatial phase Ph90 comprises a number of loops with positive polarity (indicated by "+" in the loop interior) corresponding to a first winding direction or polarity, and the same number of loops with negative polarity (indicated by "-" inside the loop) corresponding to a second winding direction or polari action opposite to the first. in the in 14 In the implementation shown, all positive polarity loops and all negative polarity loops are configured such that their effective sensor element spaces EffASEN are arranged in a prescribed in-loop shifting relationship relative to the respective nominal spatial phase Ph90nom of the respective set of sensor elements SETSEN-Ph90. The in-loop shifting relationship includes a configuration in which, within each such loop SEN, an in-loop shifted portion ILSP of up to half of its effective sensor element space along the measurement axis direction MA in a first direction by an amount (W1)/4K with respect to the respective nominal spatial Phase Ph90nom is shifted and the nominally equal in-loop shifted portion ILSP of its effective sensor element space (e.g. SEffASEN) along the measurement axis direction in a direction opposite to the first direction by an amount (W1)/4K with respect to the respective nominal spatial phase Ph90nom is shifted, where the two in-loop shifted components ILSP (e.g., FEffASEN and SEffASEN) are shifted by (W1)/2K relative to each other, where K is 3, 5, 7 or 9. Such sensor elements SEN are each configured to combine two spatially filtered detector signal components for the Kth spatial harmonic that are 180 degrees out of phase with each other (e.g., arise from the two in-loop shifted components ILSP (ie FEffASEN and SEffASEN), whereby nominally, such Kth spatial harmonic signal components are canceled or suppressed in their combined signal contributions.

Bei der in 14 gezeigten speziellen Implementierung beträgt der schleifenintern verschobene Anteil ILSP (z. B. FEffASEN und/oder SEffASEN) der Sensorelemente SEN) nominal die Hälfte ihres effektiven Sensorelementraums EffASEN, was die beste räumliche Filterung bereitstellen kann. Allerdings kann, wie in der Definition des Merkmals B2 impliziert ist, seine bereitgestellte räumliche Filterung in einigen Implementierungen immer noch ausreichend sein, bei denen der schleifenintern verschobene Anteil ILSP kleiner als die Hälfte des effektiven Sensorelementraums EffASEN ist.At the in 14 The particular implementation shown, the in-loop shifted portion ILSP (e.g., FEffASEN and/or SEffASEN) of the sensor elements SEN) is nominally half their effective sensor element space EffASEN, which can provide the best spatial filtering. However, as implied in the definition of feature B2, its provided spatial filtering may still be sufficient in some implementations where the in-loop shifted fraction ILSP is less than half the effective sensor element space EffASEN.

In der in 14 gezeigten speziellen Implementierung sind alle Schleifen SEN mit positiver Polarität und Schleifen SEN mit negativer Polarität derart konfiguriert, dass ihre effektiven Sensorelementräume (z. B. EffASEN =FEffASEN+SEffASEN) in der vorgeschriebenen schleifeninternen Verschiebungsbeziehung angeordnet sind, die die beste räumliche Filterung bereitstellen kann. Jedoch kann, wie in der Definition des Merkmals B2 impliziert, seine bereitgestellte räumliche Filterung in einigen Implementierungen immer noch ausreichend sein, bei denen nur ein Großteil der Schleifen mit positiver und negativer Polarität derart konfiguriert sind, dass ihre effektiven Sensorelementräume in der vorgeschriebenen schleifeninternen Verschiebungsbeziehung angeordnet sind.in the in 14 In the particular implementation shown, all positive polarity SEN loops and negative polarity SEN loops are configured such that their effective sensor element spaces (e.g., EffASEN = FEffASEN + SEffASEN) are arranged in the prescribed in-loop shifting relationship that can provide the best spatial filtering. However, as implied in the definition of feature B2, its provided spatial filtering may still be sufficient in some implementations where only a majority of the positive and negative polarity loops are configured such that their effective sensor element spaces are arranged in the prescribed in-loop shifting relationship are.

Der effektive Sensorelementgesamtraum EffASEN für ein Sensorelement SEN, das in 14 gezeigt ist, ist definiert wie zuvor hierin aufgezeigt. Er bezieht sich auf den Raum innerhalb eines Sensorelements SEN, der mit einem oder mehreren Innenräumen ausgerichtet ist oder diese(n) überlappt (z. B. INTA in 14), und er kann derart definiert werden, dass er eine effektive y-Achsendimension EffYSEN entlang einer y-Achsenrichtung aufweist, die die Summe der Dimensionen des einen oder der mehreren Innenräume (z. B. INTA in 14) senkrecht zur Messachsenrichtung MA ist. In der speziellen Implementierung vom zweiten Typ, die in 14 gezeigt ist, ist K=5 und sind die Sensorelemente SEN dazu konfiguriert, eine durchschnittliche Sensorelementdimension DSENavg entlang der Messachsenrichtung bereitzustellen, die innerhalb des Bereichs 0,33*W1 +/-15 % liegt, wobei der jeweilige Satz von Sensorelementen, der der jeweiligen nominalen räumlichen Phase (SETSENPh0) entspricht, dadurch dazu konfiguriert ist, ein oder mehrere räumlich gefilterte Detektorsignale bereitzustellen, die dazu verwendet werden können, eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer 3. räumlichen Harmonischen und eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer 5. räumlichen Harmonischen zu reduzieren. Wie zuvor angegeben, ist diese Implementierung jedoch nur beispielhaft und nicht einschränkend. In verschiedenen anderen Implementierungen kann K 5, 7 oder 9 sein. Bei derartigen Implementierungen ist der jeweilige Satz von Sensorelementen, der dazu konfiguriert ist, die Merkmale A2 und B2 zu umfassen, dadurch dazu konfiguriert, ein oder mehrere räumlich gefilterte Detektorsignale bereitzustellen, die dazu verwendet werden können, eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer 3. räumlichen Harmonischen und eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer K-ten räumlichen Harmonischen, die ansonsten möglicherweise zu Fehlern in der bestimmten relativen Position zwischen Detektorabschnitt und Skalenmuster beitragen, zu reduzieren.The total effective sensor element space EffASEN for a sensor element SEN that is in 14 is defined as previously indicated herein. It refers to the space within a sensor element SEN that aligns with or overlaps one or more interior spaces (e.g. INTA in 14 ), and can be defined as having an effective y-axis dimension EffYSEN along a y-axis direction that is the sum of the dimensions of the one or more interior spaces (e.g., INTA in 14 ) is perpendicular to the measurement axis direction MA. In the special implementation of the second type provided in 14 is shown, K=5 and the sensor elements SEN are configured to provide an average sensor element dimension DSENavg along the measurement axis direction that is within the range 0.33*W1 +/-15%, with the respective set of sensor elements corresponding to the respective nominal spatial phase (SETSENPh0), thereby being configured to provide one or more spatially filtered detector signals that can be used to reduce a potential undesired detector signal component of a 3rd spatial harmonic and a potential undesired detector signal component of a 5th spatial harmonic. However, as previously indicated, this implementation is exemplary only and not limiting. In various other implementations, K can be 5, 7, or 9. In such implementations, the respective set of sensor elements configured to include features A2 and B2 is thereby configured to provide one or more spatially filtered detector signals that can be used to reduce a potential unwanted detector signal component of a 3rd spatial harmonic and to reduce a potential unwanted detector signal component of a Kth spatial harmonic that might otherwise contribute to errors in the determined relative position between detector section and scale pattern.

In der in 14 gezeigten speziellen Implementierung umfasst der Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 zwei ähnliche Teilsätze oder Abschnitte SETSEN-Ph0sub1 und SETSENPh0sub2, die relativ zueinander spiegelsymmetrisch angeordnet sind. Ein Vorteil dieser Konfiguration im Vergleich zur alleinigen Verwendung eines der Abschnitte SETSEN-Ph0sub1 und SETSENPh0sub2 besteht darin, dass sie eine Positionsfehlerempfindlichkeit gegenüber Seitenversatz-Fehlausrichtungen (d. h. Fehlausrichtung des Detektorabschnitts 1667 und/oder des Skalenmusters 980 durch Translation entlang der y-Achsenrichtung) verringern oder beseitigen. Eine derartige Konfiguration mit zwei Abschnitten ist jedoch nur beispielhaft und nicht einschränkend. Zum Beispiel umfasst einer der Abschnitte SETSEN-Ph0sub1 und SETSENPh0sub2 einzeln die Merkmale A2 und B2 und könnte für sich allein verwendet werden (z. B. im vorliegenden Zustand, oder durch Replizieren des Musters seiner Sensorelemente SEN, um diese zu verlängern) und werden die vorstehend aufgezeigten Filtervorteilenach wie vor bei verschiedenen Implementierungen erhalten.in the in 14 In the particular implementation shown, the set of sensor elements SETSEN-Ph90 comprises two similar subsets or sections SETSEN-Ph0sub1 and SETSENPh0sub2 arranged mirror-symmetrically relative to each other. An advantage of this configuration compared to using only one of the SETSEN-Ph0sub1 and SETSENPh0sub2 sections is that it introduces a position error reduce or eliminate sensitivity to lateral offset misalignments (ie, misalignment of detector portion 1667 and/or scale pattern 980 by translation along the y-axis direction). However, such a two-section configuration is exemplary only and not limiting. For example, one of the sections SETSEN-Ph0sub1 and SETSENPh0sub2 individually comprises features A2 and B2 and could be used on its own (e.g. as is, or by replicating the pattern of its sensor elements SEN to lengthen them) and become the Filtering benefits outlined above are still obtained in various implementations.

15 ist ein Draufsichtdiagramm, das bestimmte Aspekte eines ersten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph90 (in einigen Zusammenhängen nachstehend kurz als SETSEN bezeichnet) entsprechend einer ersten räumlichen Phase Ph90 veranschaulicht, die ein zweites Konfigurationsbeispiel eines Satzes von Sensorelementen ist,die gemäß dem zweiten Typ von hierin offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien dazu konfiguriert sind, räumlich gefilterte Signale zur Verwendung in einem Detektorabschnitt in einem elektronischen Positionscodierer, wie dem in 1 gezeigten, zusammen mit der ersten kompatiblen felderzeugenden Spulenkonfiguration FGC und dem in 14 gezeigten Skalenmuster 980 bereitzustellen. 15 umfasst bestimmte nummerierte und/oder benannte Komponenten, die nummerierten oder benannten Komponenten von 14 entsprechen und/oder ähnlich oder gleich wie diese arbeiten und ähnlich verstanden werden können, sofern nicht anders angegeben. Daher werden in der folgenden Beschreibung nur bestimmte Unterschiede in den in den 15 und 14 gezeigten Konfigurationen hervorgehoben. 15 Fig. 12 is a top view diagram illustrating certain aspects of a first set of sensor elements SETSEN-Ph90 (hereinafter referred to as SETSEN for short in some contexts) corresponding to a first spatial phase Ph90, which is a second configuration example of a set of sensor elements used according to the second type herein disclosed prescribed relationship principles are configured to generate spatially filtered signals for use in a detector section in an electronic position encoder such as that in 1 shown, along with the first compatible field generating coil configuration FGC and the in 14 to provide the scale pattern 980 shown. 15 includes certain numbered and/or named components, the numbered or named components of 14 conform and/or operate similarly or the same as and can be construed as similar unless otherwise noted. Therefore, only certain differences in the in the following description 15 and 14 configurations shown are highlighted.

Kurz gesagt können der Gesamtbetrieb der in 15 gezeigten Implementierung und die verschiedenen Elemente darin analog zu der vorstehenden Beschreibung von 14 (und anderer, falls zutreffend) verstanden werden. Der einzige wesentliche Unterschied zwischen den in 15 und 14 gezeigten Sätzen von Sensorelementen SETSEN-Ph90 besteht darin, dass die Orientierung einiger der in 15 gezeigten Sensorelemente SEN im Vergleich zu ihrer Orientierung, wie sie in 14 gezeigt ist, umgekehrt oder „umgedreht“ ist. Insbesondere sind das Paar von Sensorelementen SEN1 und SEN2 und das Paar von Sensorelementen SEN5 und SEN6 im Vergleich zu ihrer Orientierung wie in 14 gezeigt umgekehrt oder umgedreht.In short, the overall operation of the in 15 The implementation shown and the various elements therein are analogous to the description of FIG 14 (and others, if applicable) are understood. The only significant difference between the in 15 and 14 shown sets of sensor elements SETSEN-Ph90 is that the orientation of some of the in 15 shown sensor elements SEN compared to their orientation as shown in 14 shown is reversed or "upside down". Specifically, the pair of sensor elements SEN1 and SEN2 and the pair of sensor elements SEN5 and SEN6 are as compared to their orientation as in FIG 14 shown upside down or upside down.

Die Implementierung des in 15 gezeigten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph90 kann ohne Bezugnahme auf 14 wie folgt umfassend beschrieben werden. Ein erster jeweiliger Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 ist gemäß den Merkmalen A2 und B2 konfiguriert, wobei er mindestens ein erstes Paar Schleifen mit positiver und negativer Polarität (z. B. das Paar SEN1-SEN2 oder das Paar SEN7-SEN8), die dazu konfiguriert sind, nominal kongruente Formen für ihre effektiven Sensorelementräume EffASEN aufzuweisen, und mindestens ein zweites Paar von Schleifen mit positiver und negativer Polarität (z. B. das Paar SEN3-SEN4 oder das Paar SEN5-SEN6) umfasst, die dazu konfiguriert sind, nominal kongruente Formen für ihre effektiven Sensorelementräume aufzuweisen, wobei die kongruenten Formen des ersten und zweiten Paares nominal Spiegelbilder voneinander sind und das erste und das zweite Paar von Schleifen mit positiver und negativer Polarität nebeneinander angeordnet sind (z. B. die Paare SEN1-SEN2 und SEN3-SEN4 der Paare SEN5-SEN6 und SEN7-SEN8).The implementation of the in 15 shown set of sensor elements SETSEN-Ph90 without reference to 14 are fully described as follows. A first respective set of sensor elements SETSEN-Ph90 is configured according to features A2 and B2, having at least a first pair of positive and negative polarity loops (e.g. the pair SEN1-SEN2 or the pair SEN7-SEN8) associated thereto are configured to have nominally congruent shapes for their effective sensor element spaces EffASEN, and includes at least a second pair of positive and negative polarity loops (e.g., the pair SEN3-SEN4 or the pair SEN5-SEN6) configured to, nominally having congruent shapes for their effective sensing element spaces, the congruent shapes of the first and second pairs being nominally mirror images of each other, and the first and second pairs of positive and negative polarity loops being juxtaposed (e.g. pairs SEN1-SEN2 and SEN3 -SEN4 of pairs SEN5-SEN6 and SEN7-SEN8).

Eine derartige Konfiguration, die „spiegelbildliche Paare“ umfasst, kann im Vergleich zu der in 14 gezeigten Konfiguration eine verbesserte Genauigkeit und/oder Robustheit gegenüber bestimmten Fehlausrichtungen und/oder Kombinationen von Fehlausrichtungen bereitstellen. Zum Beispiel kann sie eine verringerte Positionsfehlererfassung gegenüber Neigungsfehlausrichtung in Kombination mit seitlichem Versatz oder bei einer Neigungsfehlausrichtung in Kombination mit Gierfehlausrichtung (d. h. Drehung des Detektors 1767 oder des Skalenmusters 980 um die Z-Achse) aufweisen.Such a configuration, which includes "mirror-image pairs", can be compared to that in 14 configuration shown provide improved accuracy and/or robustness to certain misalignments and/or combinations of misalignments. For example, it may have reduced position error detection versus pitch misalignment combined with lateral offset, or pitch misalignment combined with yaw misalignment (ie, rotation of detector 1767 or dial pattern 980 about the Z-axis).

Die Implementierung des in 15 gezeigten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph90 kann wie folgt weiter beschrieben werden. Der erste jeweilige Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 umfasst ein erstes Endpaar von Schleifen mit positiver und negativer Polarität (z. B. das Paar SEN1-SEN2), die dazu konfiguriert sind, nominal kongruente Formen für ihre effektiven Sensorelementräume EffASEN innerhalb des ersten Endpaares aufzuweisen, und mindestens ein zweites Endpaar von Schleifen mit positiver und negativer Polarität (z. B. das Paar SEN7-SEN8), die dazu konfiguriert sind, nominal kongruente Formen für ihre effektiven Sensorelementräume EffASEN innerhalb des zweiten Endpaares aufzuweisen, und die kongruenten Formen des ersten und des zweiten Endpaares sind auch nominal kongruent zwischen dem ersten und zweiten Endpaar. Es versteht sich, dass sich das erste und das zweite Endpaar an dem ersten und dem zweiten Ende des ersten jeweiligen Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph90 befinden.The implementation of the in 15 The set of sensor elements SETSEN-Ph90 shown can be further described as follows. The first respective set of sensor elements SETSEN-Ph90 includes a first end pair of positive and negative polarity loops (eg, pair SEN1-SEN2) configured to have nominally congruent shapes for their effective sensor element spaces EffASEN within the first end pair , and at least a second end pair of positive and negative polarity loops (e.g., the pair SEN7-SEN8) configured to have nominally congruent shapes for their effective sensor element spaces EffASEN within the second end pair, and the congruent shapes of the first and the second end pair are also nominally congruent between the first and second end pair. It will be appreciated that the first and second end pairs are located at the first and second ends of the first respective set of SETSEN-Ph90 sensor elements.

Die Vorteile einer Konfiguration bestehend aus „spiegelbildlichen Paaren“ kann in einigen Implementierungen verbessert werden, wenn sie ferner kongruente Endpaare umfasst, wie vorstehend aufgezeigt und in 15 veranschaulicht ist. Es sollte jedoch beachtet werden, dass eine Konfiguration, die „spiegelbildliche Paare“ umfasst, die keine kongruenten Endpaare umfasst (z. B. mit und zusätzlichen Sensorelementen und mehr spiegelbildlichen Paaren als in 15 dargestellt), immer noch erhebliche Vorteile bieten kann, wie vorstehend aufgezeigt ist.The benefits of a "mirror-image pairs" configuration may be enhanced in some implementations if it further includes congruent end pairs, as noted above shown and in 15 is illustrated. However, it should be noted that a configuration that includes "mirror-image pairs" that does not include congruent end-pairs (e.g., with and additional sensor elements and more mirror-image pairs than in 15 shown), can still offer significant advantages, as indicated above.

16 ist ein Draufsichtdiagramm, das bestimmte Aspekte eines zweiten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 darstellt, die einer zweiten räumlichen Phase Ph0 (in 16 als PhOnom bezeichnet) entsprechen. Es ist ein drittes Konfigurationsbeispiel eines Satzes von Sensorelementen, die gemäß dem ersten Typ von hierin offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien konfiguriert sind. Es ist in 16 zusammen mit dem ersten Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 gezeigt, der der in 15 veranschaulichten ersten räumlichen Phase Ph90 entspricht. Der erste und der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 und SETSEN-Ph0 sind in 16 zum Zweck der Veranschaulichung vertikal gegeneinander versetzt. Sie sind entlang der Messachsenrichtung in einer funktionalen Quadraturbeziehung angeordnet gezeigt, wobei sich die räumlichen Phasen des ersten und zweiten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 um 90 Grad unterscheiden. Es versteht sich, dass sie in einem tatsächlichen Codierer entlang der Richtung der „y-Achse“ nicht gegeneinander versetzt sind. 16 Figure 12 is a top view diagram illustrating certain aspects of a second set of SETSEN-Ph0 sensor elements corresponding to a second spatial phase Ph0 (in 16 referred to as PhOnom). It is a third configuration example of a set of sensor elements configured according to the first type of prescribed relationship principles disclosed herein. It is in 16 shown together with the first set of sensor elements SETSEN-Ph90, which is the in 15 illustrated first spatial phase corresponds to Ph90. The first and the second set of sensor elements SETSEN-Ph90 and SETSEN-Ph0 are in 16 offset vertically from each other for purposes of illustration. They are shown arranged in a functional quadrature relationship along the measurement axis direction, with the spatial phases of the first and second sets of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 differing by 90 degrees. It should be understood that in an actual encoder they are not offset from each other along the "y-axis" direction.

Stattdessen überlagern sie sich, ähnlich wie der erste und der zweite Satz von Sensorelementen, die in 10 gezeigt sind. 16 umfasst nummerierte und/oder benannte Komponenten, die nummerierten oder benannten Komponenten von 15 entsprechen und/oder ähnlich oder gleich wie diese arbeiten und ähnlich verstanden werden können, sofern nicht anders angegeben. Der erste Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 in 16 kann relativ zu seiner Beschreibung in 15 als unverändert betrachtet werden. Daher werden in der folgenden Beschreibung von 16 nur bestimmte Aspekte der Konfiguration des zweiten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 hervorgehoben.Instead, they overlap, much like the first and second sets of sensing elements shown in 10 are shown. 16 includes numbered and/or named components, the numbered or named components of 15 conform and/or operate similarly or the same as and can be construed as similar unless otherwise noted. The first set of sensor elements SETSEN-Ph90 in 16 can be relative to its description in 15 be considered unchanged. Therefore, in the following description of 16 only certain aspects of the configuration of the second set of sensor elements SETSEN-Ph0 are highlighted.

Die Unterschiede zwischen der Implementierung des zweiten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und des ersten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph90, die in 16 gezeigt sind, können wie folgt kurz beschrieben werden: Der erste Abschnitt SETSEN-Ph0sub1 wurde im Vergleich zum ersten Abschnitt SETSEN-Ph90sub1 um (W1)/4 nach rechts verschoben, und der zweite Abschnitt SETSEN-Ph0sub2 wurde im Vergleich zum ersten Abschnitt SETSEN-Ph90sub1 um (W1)/4 4 nach links verschoben. Die resultierenden effektiven Schleifenpolaritäten ihrer Sensorelemente SEN sind dann wie in 16 gezeigt. Die Ausgangssignalverbindung wird am Sensorelement SEN5 bereitgestellt, derart, dass sie zur konzeptionellen Kontinuität mit 15 den Leiterbahnen einer Schleife mit positiver Polarität zugeordnet bleibt. Es ist nur ein Ort für die Ausgangssignalverbindung erforderlich, da in der in 16 gezeigten speziellen Implementierung der erste Abschnitt SETSEN-Ph0sub1 und der zweite Abschnitt SETSEN-Ph0sub2 durch eine Reihenschaltung in der ausgerichteten Leiterbahnzone ATZ in einer zuvor unter Bezugnahme auf 9 aufgezeigten Weise verbunden sind.The differences between the implementation of the second set of sensor elements SETSEN-Ph0 and the first set of sensor elements SETSEN-Ph90 presented in 16 can be briefly described as follows: the first section SETSEN-Ph0sub1 has been shifted to the right by (W1)/4 compared to the first section SETSEN-Ph90sub1, and the second section SETSEN-Ph0sub2 has been shifted to the right compared to the first section SETSEN- Ph90sub1 shifted left by (W1)/4 4 . The resulting effective loop polarities of their sensor elements SEN are then as in 16 shown. The output signal connection is provided at the sensor element SEN5 such that it is for conceptual continuity with 15 remains associated with the traces of a positive polarity loop. Only one place for the output signal connection is required because in the in 16 shown particular implementation, the first section SETSEN-Ph0sub1 and the second section SETSEN-Ph0sub2 by a series connection in the aligned trace zone ATZ in a previously referred to FIG 9 are connected in the manner shown.

Die Implementierung des ersten und zweiten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90, die in 16 gezeigt sind, kann umfassend wie folgt beschrieben werden. Der erste Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 entsprechend der nominalen räumlichen Phase Ph90 ist gemäß den Merkmalen A2 und B2 konfiguriert, wobei er eine Konfiguration mit zwei Abschnitten umfasst, die umfassen: einen ersten getrennten Abschnitt SETSEN-Ph90sub1, der die gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität umfasst; und einen zweiten getrennten Abschnitt SETSEN-Ph90sub2, der nominal entlang der Messachsenrichtung mit dem ersten Abschnitt SETSEN-Ph90sub1 ausgerichtet ist und die gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität wie der erste getrennte Abschnitt umfasst. Der erste und der zweite getrennte Abschnitt SETSEN-Ph90sub1 und SETSEN-Ph90sub2 sind durch einen Spalt getrennt, der sich entlang der Messachsenrichtung dazwischen befindet, und der Spalt ist entlang der Messachsenrichtung MA mindestens so breit wie eine der Schleifen mit positiver oder negativer Polarität, und in dem Spalt befindet sich kein effektiver Schleifenraum mit positiver Polarität EffASEN oder effektiver Schleifenraum mit negativer Polarität EffASEN des ersten jeweiligen Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph90. Der erste jeweilige Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 ist derart konfiguriert, dass die jeweiligen Schleifen seines ersten und zweiten getrennten Abschnitts, die einander am nächsten sind (d. h. SEN4 und SEN5), die gleiche Schleifenpolarität aufweisen.The implementation of the first and second set of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 presented in 16 are shown can be described comprehensively as follows. The first set of sensor elements SETSEN-Ph90 corresponding to the nominal spatial phase Ph90 is configured according to features A2 and B2, comprising a two-section configuration comprising: a first separate section SETSEN-Ph90sub1 having the same number of loops positive polarity and negative polarity loops; and a second discrete section SETSEN-Ph90sub2 nominally aligned along the measurement axis direction with the first portion SETSEN-Ph90sub1 and including the same number of positive polarity loops and negative polarity loops as the first discrete section. The first and second separated sections SETSEN-Ph90sub1 and SETSEN-Ph90sub2 are separated by a gap located therebetween along the measurement axis direction, and the gap is at least as wide along the measurement axis direction MA as one of the positive or negative polarity loops, and in the gap there is no effective loop space with positive polarity EffASEN or effective loop space with negative polarity EffASEN of the first respective set of sensor elements SETSEN-Ph90. The first respective set of sensor elements SETSEN-Ph90 is configured such that the respective loops of its first and second separate sections that are closest to each other (ie, SEN4 and SEN5) have the same loop polarity.

Die in 16 gezeigte Implementierung umfasst ferner den zweiten Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0, der der nominalen räumlichen Phase Ph0 entspricht, die sich um 90 Grad von der nominalen räumlichen Phase Ph90 unterscheidet. Der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 ist gemäß den Merkmalen A2 und B2 konfiguriert, wobei er ebenfalls in einer Konfiguration mit zwei Abschnitten konfiguriert ist. Diese Konfiguration mit zwei Abschnitten umfasst einen ersten benachbarten Abschnitt SETSEN-Ph0sub1, der die gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität umfasst; und einen zweiten benachbarten Abschnitt SETSEN-Ph0sub2, der nominal entlang der Messachsenrichtung mit dem ersten benachbarten Abschnitt SETSEN-Ph0sub1 ausgerichtet ist, und der die gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität wie der erste benachbarte Abschnitt SETSEN-Ph0sub1 umfasst. Der erste und der zweite benachbarte Abschnitt SETSEN-Ph0sub1 und SETSEN-Ph0sub2 liegen entlang der Messachsenrichtung MA näher beieinander als eine Breite einer der Schleifen mit positiver oder negativer Polarität. Die jeweiligen Schleifen des ersten und des zweiten benachbarten Abschnitts, die einander am nächsten sind (d. h. SEN4 und SEN5), weisen entgegengesetzte Schleifenpolaritäten auf.In the 16 The implementation shown further includes the second set of sensor elements SETSEN-Ph0 corresponding to the nominal spatial phase Ph0 that differs by 90 degrees from the nominal spatial phase Ph90. The second set of sensor elements SETSEN-Ph0 is configured according to features A2 and B2, also being configured in a two-section configuration. This two-section configuration includes a first adjacent section SETSEN-Ph0sub1, which is the same includes a number of positive polarity loops and negative polarity loops; and a second adjacent section SETSEN-Ph0sub2 that is nominally aligned along the measurement axis direction with the first adjacent section SETSEN-Ph0sub1 and that includes the same number of positive polarity loops and negative polarity loops as the first adjacent section SETSEN-Ph0sub1. The first and second adjacent portions SETSEN-Ph0sub1 and SETSEN-Ph0sub2 are closer to each other along the measurement axis direction MA than a width of one of the positive and negative polarity loops. The respective loops of the first and second adjacent sections that are closest to each other (ie, SEN4 and SEN5) have opposite loop polarities.

Wie in 16 gezeigt, weist der erste Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 einen ersten Raumschwerpunkt CEN-SETSEN-Ph90 seines effektiven Sensorelementgesamtraums auf, der sich entlang der Messachse MA zwischen seinem ersten und zweiten getrennten Abschnitt SETSEN-Ph90sub1 und SETSEN-Ph90sub2 befindet, und weist der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 einen zweiten Raumschwerpunkt CEN-SETSEN-Ph0 des effektiven Sensorelementgesamtraums auf, der sich entlang der Messachse MA zwischen seinem ersten und zweiten benachbarten Abschnitt SETSEN-Ph0sub1 und SETSEN-Ph0sub2 befindet. Der erste und der zweite Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 und SETSEN-Ph0 sind derart angeordnet, dass ihr jeweiliger erster und zweiter Raumschwerpunkt CEN-SETSEN-Ph90 und CEN-SETSEN-Ph0 an demselben Ort entlang der Messachsenrichtung ausgerichtet ist, wie in 16 gezeigt.As in 16 shown, the first set of sensor elements SETSEN-Ph90 has a first spatial centroid CEN-SETSEN-Ph90 of its total effective sensor element space located along the measurement axis MA between its first and second separated sections SETSEN-Ph90sub1 and SETSEN-Ph90sub2, and has the second Set of sensor elements SETSEN-Ph0 has a second centroid CEN-SETSEN-Ph0 of the total effective sensor element space, which is located along the measurement axis MA between its first and second adjacent sections SETSEN-Ph0sub1 and SETSEN-Ph0sub2. The first and the second set of sensor elements SETSEN-Ph90 and SETSEN-Ph0 are arranged in such a way that their respective first and second centroids CEN-SETSEN-Ph90 and CEN-SETSEN-Ph0 are aligned at the same location along the measurement axis direction, as in 16 shown.

Basierend auf der vorhergehenden Beschreibung wird verstanden werden, dass die in 16 gezeigte Implementierung dazu konfiguriert ist, ein oder mehrere räumlich gefilterte Detektorsignale bereitzustellen, die dazu verwendet werden können, eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer 3. räumlichen Harmonischen und eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer K-ten räumlichen Harmonischen, die ansonsten möglicherweise zu Fehlern in der bestimmten relativen Position zwischen Detektorabschnitt und Skalenmuster beitragen, zu reduzieren. Darüber hinaus umfasst sie ausgerichtete Raumschwerpunkte und andere Merkmale, die das Abweisen von Positionsmessfehlern im Zusammenhang mit verschiedenen Typen von Fehlausrichtung ermöglichen. Darüber hinaus ist jede jeweilige Schleife mit positiver oder negativer Polarität (z. B. jedes Sensorelement SEN), die in dem ersten oder zweiten jeweiligen Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90 oder SETSEN-Ph9 enthalten ist, dazu konfiguriert, einen jeweiligen effektiven Sensorelementraum EffASEN bereitzustellen, der einen effektiven Sensorelementraum EffASEN einer anderen jeweiligen Schleife mit positiver oder negativer Polarität, die in demselben ersten oder zweiten jeweiligen Satz von Sensorelementen enthalten ist, nicht überlappt.Based on the foregoing description, it will be understood that the 16 implementation shown is configured to provide one or more spatially filtered detector signals that can be used to eliminate a potential unwanted detector signal component of a 3rd spatial harmonic and a potential unwanted detector signal component of a Kth spatial harmonic that might otherwise result in errors in the determined relative Position between detector section and scale pattern help to reduce. In addition, it includes aligned centroids and other features that enable rejection of position measurement errors associated with various types of misalignment. Furthermore, each respective positive or negative polarity loop (e.g. each sensor element SEN) included in the first or second respective set of sensor elements SETSEN-Ph90 or SETSEN-Ph9 is configured to provide a respective effective sensor element space EffASEN , which does not overlap an effective sensor element space EffASEN of another respective positive or negative polarity loop included in the same first or second respective set of sensor elements.

Im Allgemeinen versteht es sich, dass die Implementierungen vom zweiten Typ, die vorstehend unter Bezugnahme auf die 14, 15 und 16 aufgezeigt wurden, ein beispielloses Maß an räumlicher Filterung bereitstellen können, um mehrere unerwünschte Signalkomponenten einer räumlichen Harmonischen unter Verwendung eines Layouts für den Detektorabschnitt, das weniger kompliziert, leistungsstärker und wirtschaftlicher herzustellen ist als Detektoren für räumliche Filterung des Standes der Technik, zu unterdrücken.In general, it will be appreciated that the second type implementations described above with reference to 14 , 15 and 16 have been shown to provide an unprecedented level of spatial filtering to reject multiple unwanted spatial harmonic signal components using a detector section layout that is less complicated, more powerful, and more economical to manufacture than prior art spatial filtering detectors.

17 ist ein Draufsichtdiagramm, das bestimmte Aspekte eines ersten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph90 entsprechend einer jeweiligen räumlichen Phase Ph90 darstellt, die ein viertes Konfigurationsbeispiel eines Satzes von Sensorelementen ist, die gemäß dem zweiten Typ von hierin offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsprinzipien dazu konfiguriert sind, räumlich gefilterte Signale zur Verwendung in einem Detektorabschnitt in einem elektronischen Positionscodierer wie dem in 1 gezeigten zusammen mit der zweiten kompatiblen felderzeugenden Spulenkonfiguration FGC und dem in 13 gezeigten Skalenmuster 1380 bereitzustellen. 17 ist eine „zweispurige“ Konfiguration, die bestimmte nummerierte und/oder benannte Komponenten umfasst, die nummerierten oder benannten Komponenten der in 13 gezeigten zweispurigen Konfiguration entsprechen und/oder ähnlich wie diese arbeiten und ähnlich verstanden werden können, sofern nicht anders angegeben. Die Konfiguration des in 17 gezeigten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph90 ist analog zu dem Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph90, der unter Bezugnahme auf 15 und 16 veranschaulicht und beschrieben wurde, insofern, als beide die Merkmale A2 und B2 implementieren und die Sensorelemente SETSEN in ähnlicher Weise anordnen. Das Layout der Leiter des Sensorelements SEN in 17 wurde für das Zusammenwirken mit der zweispurigen Felderzeugungsspulenkonfiguration FGC und dem Skalenmuster 1380 angepasst, wie analog zu der vorstehenden Beschreibung von 13 verstanden werden kann. 17 is a plan view diagram depicting certain aspects of a first set of sensor elements SETSEN-Ph90 corresponding to a respective spatial phase Ph90, which is a fourth configuration example of a set of sensor elements configured according to the second type of prescribed relationship principles disclosed herein to provide spatially filtered signals for use in a detector section in an electronic position encoder such as that in 1 shown together with the second compatible field generating coil configuration FGC and the in 13 to provide the scale pattern 1380 shown. 17 is a "two-lane" configuration that includes certain numbered and/or named components, the numbered or named components of the in 13 conform to and/or operate and be construed in a similar manner to the dual lane configuration shown, unless otherwise noted. The configuration of the in 17 The set of sensor elements SETSEN-Ph90 shown is analogous to the set of sensor elements SETSEN-Ph90 described with reference to FIG 15 and 16 illustrated and described in that both implement features A2 and B2 and arrange the sensor elements SETSEN in a similar manner. The layout of the conductors of the sensor element SEN in 17 was adapted to work with the dual track field generating coil configuration FGC and the dial pattern 1380, as analogous to the description of FIG 13 can be understood.

Anhand der vorstehenden Beschreibung von Ähnlichkeiten zu vorherigen Figuren können die in 17 gezeigte Implementierung sowie ihre verschiedenen Vorteile analog zu den vorherigen Beschreibungen der 13, 14, 15 und 16 verstanden werden. Daher braucht sie hier nicht näher beschrieben zu werden.Based on the above description of similarities to previous figures, the 17 Implementation shown and its various advantages analogous to the previous descriptions of 13 , 14 , 15 and 16 be understood. It therefore does not need to be described in detail here.

Es versteht sich, dass die Sätze von Sensorelementen SETSEN in den verschiedenen Implementierungen vom zweiten Typ, die vorstehend unter Bezugnahme auf 13-17 veranschaulicht und beschrieben sind, nur beispielhaft und nicht einschränkend sind. Zum Beispiel könnte jeder der Sätze oder Teilsätze oder Abschnitte der Sensorelemente SETSEN derart erweitert werden, dass er zusätzliche Sensorelemente SEN umfasst, vorausgesetzt, dass sie derart geformt und konfiguriert sind, dass die resultierenden Sätze von Sensorelementen SETSEN den vorgeschriebenen Beziehungsmerkmalen A2 und B2 entsprechen, wie vorstehend aufgezeigt ist.It is understood that the sets of sensor elements SETSEN in the different implementations of the second type described above with reference to 13-17 illustrated and described are by way of example only and are not limiting. For example, each of the sets or subsets or sections of sensor elements SETSEN could be expanded to include additional sensor elements SEN provided they are shaped and configured such that the resulting sets of sensor elements SETSEN correspond to the prescribed relationship features A2 and B2, such as is shown above.

Obwohl darüber hinaus die verschiedenen vorstehend offenbarten Implementierungen Sensorelemente umfassen, die effektive Sensorelementräume umfassen, keine anderen effektiven Sensorelementräume einer anderen leitfähigen Schleife oder eines anderen leitfähigen Schleifenabschnitts überlappen, die in ihrem jeweiligen Satz von Sensorelementen enthalten sind, sind solche Implementierungen nur beispielhaft und nicht einschränkend. Allgemein gesagt können die Merkmale A2 und B2 in jeder gewünschten Anordnung von Sensorelementen implementiert werden, einschließlich überlappender Anordnungen, die üblicherweise im Stand der Technik verwendet werden. Bei derartigen Implementierungen können Sensorelemente, die die Merkmale A2 und B2 umfassen, eine zusätzliche räumliche Filterung der K-ten räumlichen Harmonischen bereitstellen, wie vorstehend aufgezeigt, um solche Implementierungen zu verbessern.Furthermore, although the various implementations disclosed above include sensor elements that include effective sensor element spaces do not overlap other effective sensor element spaces of any other conductive loop or conductive loop portion included in their respective set of sensor elements, such implementations are exemplary only and not limiting. Generally speaking, features A2 and B2 can be implemented in any desired arrangement of sensor elements, including overlapping arrangements commonly used in the art. In such implementations, sensor elements comprising features A2 and B2 may provide additional spatial filtering of the Kth spatial harmonic, as indicated above, to enhance such implementations.

Als ein Beispiel, obwohl die verschiedenen vorstehend offenbarten Implementierungen entsprechend K=5 dargestellt sind und Sensorelemente umfassen, die die durchschnittliche Sensorelementdimension DSENavg innerhalb des Bereichs 0,33*W1 +/- 15 % umfassen, sind solche Kombinationen nur beispielhaft und nicht einschränkend, wie für den Durchschnittsfachmann ersichtlich ist.As an example, although the various implementations disclosed above are illustrated according to K=5 and include sensor elements having the average sensor element dimension DSENavg within the range 0.33*W1 +/- 15%, such combinations are exemplary only and not limiting, such as is apparent to those of ordinary skill in the art.

Als weiteres Beispiel kann bei dem in 16 gezeigten Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 der Spalt zwischen seinen Abschnitten auf eine Weise modifiziert sein, die analog zu der in Bezug auf den in 16 gezeigten Satz von Sensorelementen SETSEN-Ph0 beschriebenen ist, derart, dass sie zwei „getrennte“ Abschnitte umfassen, die eine Quadraturcodiererkonfiguration bereitstellen. Somit ist die in 16 gezeigte allgemeine Konfiguration des ersten und zweiten Satzes von Sensorelementen SETSEN-Ph0 und SETSEN-Ph90 nur beispielhaft und nicht einschränkend.As a further example, in the in 16 shown set of sensor elements SETSEN-Ph0 the gap between its sections may be modified in a manner analogous to that referred to in Fig 16 set of sensor elements SETSEN-Ph0 shown is such that they comprise two "separate" sections providing a quadrature encoder configuration. Thus the in 16 shown general configuration of the first and second set of sensor elements SETSEN-Ph0 and SETSEN-Ph90 only by way of example and not by way of limitation.

Als weiteres Beispiel ist es möglich, jedes des Satzes von Sensorelementen in einem 3-Phasen-Codierer auf eine Weise analog zu einer der verschiedenen Implementierungen des vorstehend aufgezeigten zweiten Typs zu konfigurieren. Bei derartigen Implementierungen ist jeder der mehreren jeweiligen Sätze von Sensorelementen, die den mehreren jeweiligen räumlichen Phasen entsprechen, dazu konfiguriert, dass er die Merkmale A2) und B2) umfasst, und ist dadurch dazu konfiguriert, räumlich gefilterte Detektorsignale bereitzustellen, die dazu verwendet werden können, eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer K-ten räumlichen Harmonischen, die ansonsten möglicherweise zu Fehlern in der bestimmten relativen Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster beiträgt, zu reduzieren oder zu unterdrücken.As another example, it is possible to configure each of the set of sensor elements in a 3-phase encoder in a manner analogous to any of the various implementations of the second type outlined above. In such implementations, each of the plurality of respective sets of sensor elements corresponding to the plurality of respective spatial phases is configured to include features A2) and B2) and is thereby configured to provide spatially filtered detector signals that can be used to do so , to reduce or suppress a potentially unwanted detector signal component of a Kth spatial harmonic that might otherwise contribute to errors in the determined relative position between the detector section and the scale pattern.

Während bevorzugte Implementierungen vom zweiten Typ veranschaulicht und beschrieben wurden, werden für den Fachmann basierend auf dieser Offenbarung zahlreiche Variationen in den veranschaulichten und beschriebenen Anordnungen von Merkmalen ersichtlich sein. Verschiedene alternative Formen können dazu verwendet werden, die hier offenbarten vorgeschriebenen Beziehungsmerkmale A2 und B2 zu implementieren.While preferred implementations of the second type have been illustrated and described, numerous variations in the illustrated and described feature arrangements will be apparent to those skilled in the art based on this disclosure. Various alternative forms can be used to implement the mandatory relational features A2 and B2 disclosed herein.

Es versteht sich, dass die hier offenbarten und beanspruchten Prinzipien leicht und auf wünschenswerte Weise mit verschiedenen Merkmalen kombiniert werden können, die in den aufgenommenen Referenzen offenbart sind, sowie mit verschiedenen Merkmalen, die in der gleichzeitig anhängigen, gleichzeitig eingereichten US-Patentanmeldung Nr. 16/826,842 mit dem Titel „TRANSMITTER AND RECEIVER CONFIGURATION FOR AN INDUCTIVE POSITION ENCODER“, eingereicht am 23. März 2020, die hiermit durch Bezugnahme in ihrer Gesamtheit aufgenommen wird, offenbart sind. Die verschiedenen vorstehend beschriebenen Implementierungen können kombiniert werden, um weitere Implementierungen bereitzustellen. Alle in dieser Beschreibung genannten US-Patente und US-Patentanmeldungen sind hiermit in ihrer Gesamtheit durch Bezugnahme aufgenommen. Aspekte der Implementierungen können bei Bedarf modifiziert werden, um Konzepte der verschiedenen Patente und Anmeldungen dazu einzusetzen, noch weitere Implementierungen bereitzustellen. Diese und andere Änderungen können an den Implementierungen unter Berücksichtigung der vorstehenden detaillierten Beschreibung vorgenommen werden. Im Allgemeinen sollten in den folgenden Ansprüchen die verwendeten Begriffe nicht derart ausgelegt werden, dass sie die Ansprüche auf die in der Beschreibung und den Ansprüchen offenbarten spezifischen Implementierungen beschränken, sondern sie sollten derart ausgelegt werden, dass sie alle möglichen Implementierungen zusammen mit dem vollen Umfang von Äquivalenten enthalten, zu denen derartige Ansprüche berechtigen.It should be understood that the principles disclosed and claimed herein can be readily and desirably combined with various features disclosed in the incorporated references as well as various features disclosed in the co-pending filed at the same time U.S. Patent Application No. 16/826,842 entitled "TRANSMITTER AND RECEIVER CONFIGURATION FOR AN INDUCTIVE POSITION ENCODER," filed March 23, 2020, which is hereby incorporated by reference in its entirety. The various implementations described above can be combined to provide further implementations. All US patents and US patent applications mentioned in this specification are hereby incorporated by reference in their entirety. Aspects of the implementations may be modified as necessary to employ concepts from the various patents and applications to provide still other implementations. These and other changes can be made to the implementations in light of the detailed description above. In general, in the claims that follow, the terms used should not be construed to limit the claims to the specific implementations disclosed in the specification and claims, but should be construed to mean that: they include all possible implementations, along with the full range of equivalents to which such claims are entitled.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN DESCRIPTION

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Claims (19)

Elektronischer Positionscodierer, der zum Messen einer relativen Position zwischen zwei Elementen entlang einer Messachsenrichtung verwendbar ist, wobei der elektronische Positionscodierer umfasst: eine Skala, die sich entlang der Messachsenrichtung erstreckt, die ein periodisches Skalenmuster umfasst, das mindestens einen ersten Typ von Signalmodulationselementen umfasst, die eine effektive Region umfassen, die mit einem Innenraum einer felderzeugenden Spule ausgerichtet ist oder diesen überlappt, wobei das periodische Skalenmuster eine räumliche Wellenlänge W1 und Signalmodulationselemente vom ersten Typ, die ähnliche leitfähige Platten oder ähnliche leitfähige Schleifen umfassen, die sich entlang der Messachsenrichtung entsprechend der räumlichen Wellenlänge W1 befinden, aufweist; einen Detektorabschnitt, der dazu konfiguriert ist, in der Nähe des periodischen Skalenmusters montiert zu werden und sich entlang der Messachsenrichtung relativ zu dem periodischen Skalenmuster zu bewegen, wobei der Detektorabschnitt umfasst: eine felderzeugende Spule, die auf einem Substrat befestigt ist, wobei die felderzeugende Spule einen Innenraum umgibt, der während des Betriebs mit der effektiven Region des periodischen Skalenmusters von Signalmodulationselementen ausgerichtet ist, wobei die felderzeugende Spule als Reaktion auf ein Spulenansteuerungssignal einen sich ändernden Magnetfluss im Innenraum erzeugt; und mindestens einen jeweiligen Satz von Sensorelementen entsprechend einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase, die entlang der Messachsenrichtung angeordnet und auf dem Substrat befestigt sind, wobei Elemente dieses Satzes von Sensorelementen umfassen: leitfähige Schleifen oder leitfähige Schleifenabschnitte, die einen effektiven Raum EffASEN des Sensorelements definieren, der dem Abschnitt des Sensorelements entspricht, der mit dem Innenraum ausgerichtet ist oder diesen überlappt, wobei dieser Satz von Sensorelementen dazu konfiguriert ist, jeweilige Detektorsignale bereitzustellen, die auf einen lokalen Effekt auf den durch benachbarte Signalmodulationselemente des Skalenmusters bereitgestellten sich ändernden Magnetfluss reagieren und die der jeweiligen nominalen räumlichen Phase entsprechen; und eine Signalverarbeitungskonfiguration, die betriebsfähig mit dem Detektorabschnitt verbunden ist, um das Spulenansteuerungssignal bereitzustellen, und die eine relative Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster basierend auf Detektorsignalen bestimmt, die von dem Detektorabschnitt eingegeben werden, wobei: mindestens ein jeweiliger erster Satz von Sensorelementen entsprechend einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase die Merkmale A2 und B2 umfasst, die wie folgt definiert sind: A2) eine Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität, die einer ersten Wicklungsrichtung oder Polarität entsprechen, und die gleiche Anzahl von Schleifen mit negativer Polarität, die einer zweiten Wicklungsrichtung oder Polarität entgegengesetzt zur ersten Wicklungsrichtung oder Polarität entsprechen; B2) mindestens ein Großteil der Schleifen mit positiver Polarität und mindestens ein Großteil der Schleifen mit negativer Polarität sind derart konfiguriert, dass ihre effektiven Sensorelementräume in einer vorgeschriebenen schleifeninternen Verschiebungsbeziehung relativ zu der jeweiligen nominalen räumlichen Phase des jeweiligen Satzes von Sensorelementen angeordnet sind, wobei: die schleifeninterne Verschiebungsbeziehung eine Konfiguration umfasst, bei der innerhalb jeder derartigen Schleife ein schleifenintern verschobener Anteil von bis zu der Hälfte ihres effektiven Sensorelementraums entlang der Messachsenrichtung in einer ersten Richtung um einen Betrag (W1)/4K in Bezug auf die jeweilige nominale räumliche Phase verschoben ist, und der nominal gleich große schleifenintern verschobene Anteil ihres effektiven Sensorelementraums entlang der Messachsenrichtung in einer Richtung entgegengesetzt zur ersten Richtung um einen Betrag (W1)/4K in Bezug auf die jeweilige nominale räumliche Phase verschoben ist, wobei die beiden schleifenintern verschobenen Anteile um (W1)/2K relativ zueinander verschoben sind, wobei K 3, 5, 7 oder 9 ist; wobei der jeweilige Satz von Sensorelementen, der der jeweiligen nominalen räumlichen Phase entspricht, dadurch in einer praktischen Konfiguration konfiguriert ist, die ein oder mehrere räumlich gefilterte Detektorsignale bereitstellt, die dazu verwendet werden können, eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer K-ten räumlichen Harmonischen, die ansonsten möglicherweise zu Fehlern in der bestimmten relativen Position zwischen Detektorabschnitt und Skalenmuster beiträgt, zu reduzieren oder zu unterdrücken.An electronic position encoder that can be used to measure a relative position between two elements along a measurement axis direction, the electronic position encoder comprising: a scale extending along the measurement axis direction comprising a periodic scale pattern comprising at least a first type of signal modulation elements comprising an effective region aligned with or overlapping an interior of a field generating coil, the periodic scale pattern having a spatial wavelength W1 and first type signal modulation elements comprising similar conductive plates or similar conductive loops located along the measurement axis direction corresponding to the spatial wavelength W1; a detector section configured to be mounted in the vicinity of the periodic scale pattern and to move along the measurement axis direction relative to the periodic scale pattern, the detector section comprising: a field-generating coil mounted on a substrate, the field-generating coil surrounding an interior space that is aligned during operation with the effective region of the periodic dial pattern of signal modulation elements, the field-generating coil generating a changing magnetic flux in the interior space in response to a coil drive signal generated; and at least one respective set of sensor elements corresponding to a respective nominal spatial phase, arranged along the measurement axis direction and fixed on the substrate, elements of this set of sensor elements comprising: conductive loops or conductive loop portions that define an effective space EffASEN of the sensor element corresponding to the Corresponding portion of the sensor element that is aligned with or overlaps the interior space, this set of sensor elements being configured to provide respective detector signals responsive to a local effect on the changing magnetic flux provided by adjacent signal modulating elements of the scale pattern and that of the respective nominal correspond to spatial phase; and a signal processing configuration operably connected to the detector section to provide the coil drive signal and that determines a relative position between the detector section and the dial pattern based on detector signals input from the detector section, whereby: at least a respective first set of sensor elements corresponding to a respective nominal spatial phase comprises features A2 and B2 defined as follows: A2) a number of positive polarity loops corresponding to a first winding direction or polarity and the same number of negative polarity loops corresponding to a second winding direction or polarity opposite to the first winding direction or polarity; B2) at least a majority of the positive polarity loops and at least a majority of the negative polarity loops are configured such that their effective sensor element spaces are arranged in a prescribed in-loop shifting relationship relative to the respective nominal spatial phase of the respective set of sensor elements, where: the in-loop shifting relationship comprises a configuration in which within each such loop an in-loop shifted portion of up to half of its effective sensor element space is shifted along the measurement axis direction in a first direction by an amount (W1)/4K with respect to the respective nominal spatial phase , and the nominally equal in-loop shifted portion of their effective sensor element space is shifted along the measurement axis direction in a direction opposite to the first direction by an amount (W1)/4K with respect to the respective nominal spatial phase, the two in-loop shifted portions being shifted by (W1 )/2K are shifted relative to each other, where K is 3, 5, 7 or 9; wherein the respective set of sensor elements corresponding to the respective nominal spatial phase is thereby configured in a practical configuration that provides one or more spatially filtered detector signals that can be used to detect a potentially unwanted detector signal component of a Kth spatial harmonic that otherwise potentially contributing to errors in the determined relative position between detector section and scale pattern. Elektronischer Positionscodierer nach Anspruch 1, wobei in B2 die Schleifen mit positiver und negativer Polarität, die derart konfiguriert sind, dass ihre effektiven Sensorelementräume in der vorgeschriebenen schleifeninternen Verschiebungsbeziehung angeordnet sind, der schleifenintern verschobene Anteil nominal die Hälfte ihres effektiven Sensorelementraums beträgt.Electronic position encoder according to claim 1 , where in B2 the positive and negative polarity loops configured such that their effective sensing element spaces are arranged in the prescribed intra-loop shifting relationship, the in-loop shifted fraction is nominally half their effective sensing element space. Elektronischer Positionscodierer nach Anspruch 1, wobei in B2 alle Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität derart konfiguriert sind, dass ihre effektiven Sensorelementräume in der vorgeschriebenen schleifeninternen Verschiebungsbeziehung angeordnet sind.Electronic position encoder according to claim 1 , wherein in B2, all positive polarity loops and negative polarity loops are configured such that their effective sensor element spaces are arranged in the prescribed intra-loop displacement relationship. Elektronischer Positionscodierer nach Anspruch 1, wobei mindestens ein jeweiliger erster Satz von Sensorelementen gemäß den Merkmalen A2 und B2 konfiguriert ist, wobei er mindestens ein erstes Paar von Schleifen mit positiver und negativer Polarität, die dazu konfiguriert sind, nominal kongruente Formen für ihre effektiven Sensorelementräume aufzuweisen, und mindestens ein zweites Paar von Schleifen mit positiver und negativer Polarität umfasst, die dazu konfiguriert sind, nominal kongruente Formen für ihre effektiven Sensorelementräume aufzuweisen, wobei die kongruenten Formen des ersten und zweiten Paares nominal Spiegelbilder voneinander sind und das erste und das zweite Paar von Schleifen mit positiver und negativer Polarität sich nebeneinander befinden.Electronic position encoder according to claim 1 , wherein at least a respective first set of sensor elements is configured according to features A2 and B2, having at least a first pair of positive and negative polarity loops configured to have nominally congruent shapes for their effective sensor element spaces, and at least a second Pairs of positive and negative polarity loops configured to have nominally congruent shapes for their effective sensor element spaces, the congruent shapes of the first and second pairs being nominally mirror images of each other and the first and second pairs of positive and negative polarity loops polarity are next to each other. Elektronischer Positionscodierer nach Anspruch 4, wobei der erste jeweilige Satz von Sensorelementen ferner dazu konfiguriert ist, mindestens ein erstes Endpaar von Schleifen mit positiver und negativer Polarität, die dazu konfiguriert sind, nominal kongruente Formen für ihre effektiven Sensorelementräume innerhalb des ersten Endpaares aufzuweisen, und mindestens ein zweites Endpaar von Schleifen mit positiver und negativer Polarität zu umfassen, die dazu konfiguriert sind, nominal kongruente Formen für ihre effektiven Sensorelementräume innerhalb des zweiten Endpaares aufzuweisen, und die kongruenten Formen des ersten und zweiten Endpaares auch nominal kongruent zwischen dem ersten und zweiten Endpaar sind und das erste und das zweite Endpaar sich an dem ersten und zweiten Ende des jeweiligen Satzes von Sensorelementen befinden.Electronic position encoder according to claim 4 , wherein the first respective set of sensor elements is further configured to have at least a first end pair of positive and negative polarity loops configured to have nominally congruent shapes for their effective sensor element spaces within the first end pair, and at least a second end pair of loops with positive and negative polarity configured to have nominally congruent shapes for their effective sensing element spaces within the second end pair, and the congruent shapes of the first and second end pairs are also nominally congruent between the first and second end pairs and the first and the second pair of ends are located at the first and second ends of the respective set of sensor elements. Elektronischer Positionscodierer nach Anspruch 1, wobei K=5 ist.Electronic position encoder according to claim 1 , where K=5. Elektronischer Positionscodierer nach Anspruch 6, wobei jedes Sensorelement, das in einem entsprechenden Satz von Sensorelementen enthalten ist, der dazu konfiguriert ist, die Merkmale A2 und B2 zu umfassen, einen effektiven Sensorelementgesamtraum EffASEN aufweist, der mit einem oder mehreren Innenräumen ausgerichtet ist oder diese(n) überlappt und derart definiert ist, dass er eine effektive y-Achsen-Dimension EffYSEN entlang einer y-Achsen-Richtung aufweist, die die Summe der Dimensionen des einen oder der mehreren Innenräume senkrecht zur Messachsenrichtung ist, und mindestens ein Großteil der Sensorelemente, die in diesem jeweiligen Satz von Sensorelementen enthalten sind, dazu konfiguriert sind, eine durchschnittliche Sensorelementdimension DSENavg=(EffASEN/EffYSEN) entlang der Messachsenrichtung, die innerhalb des Bereichs 0,33*W1 +/- 15 % liegt, bereitzustellen, wobei der jeweilige Satz von Sensorelementen dadurch dazu konfiguriert ist, ein oder mehrere räumlich gefilterte Detektorsignale bereitzustellen, die dazu verwendet werden können, potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponenten der 3. räumlichen Harmonischen und eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente der 5. räumlichen Harmonischen, die ansonsten möglicherweise zu Fehlern in der bestimmten relativen Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster beitragen, zu reduzieren.Electronic position encoder according to claim 6 , wherein each sensor element included in a corresponding set of sensor elements configured to include features A2 and B2 has an effective total sensor element space EffASEN that aligns with or overlaps one or more interior spaces, and such is defined as having an effective y-axis dimension EffYSEN along a y-axis direction that is the sum of the dimensions of the one or more interior spaces perpendicular to the measurement axis direction, and at least a majority of the sensor elements included in that respective set of sensor elements are configured to provide an average sensor element dimension DSENavg=(EffASEN/EffYSEN) along the measurement axis direction that is within the range 0.33*W1 +/- 15%, the respective set of sensor elements being thereby configured to do so is to provide one or more spatially filtered detector signals used for this purpose to reduce potential unwanted 3rd spatial harmonic detector signal components and a potential unwanted 5th spatial harmonic detector signal component that might otherwise contribute to errors in the determined relative position between the detector portion and the dial pattern. Elektronischer Positionscodierer nach Anspruch 7, wobei jede entsprechende Schleife mit positiver oder negativer Polarität, die im jeweiligen Satz von Sensorelementen enthalten ist, der dazu konfiguriert ist, die Merkmale A2 und B2 zu umfassen, dazu konfiguriert ist, einen jeweiligen effektiven Sensorelementraum EffASEN bereitzustellen, der einen effektiven Sensorelementraum EffASEN einer anderen entsprechenden Schleife mit positiver oder negativer Polarität, die in dem ersten jeweiligen Satz von Sensorelementen enthalten ist, nicht überlappt.Electronic position encoder according to claim 7 , wherein each respective positive or negative polarity loop included in the respective set of sensor elements configured to include features A2 and B2 is configured to provide a respective effective sensor element space EffASEN having an effective sensor element space EffASEN a other corresponding positive or negative polarity loop included in the first respective set of sensor elements. Elektronischer Positionscodierer nach Anspruch 1, wobei mindestens ein entsprechender erster Satz von Sensorelementen, die einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase entsprechen, gemäß den Merkmalen A2 und B2 konfiguriert ist, wobei er eine Konfiguration mit zwei Abschnitten umfasst, die umfassen: einen ersten getrennten Abschnitt, der die gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität umfasst; und einen zweiten getrennten Abschnitt, der nominal entlang der Messachsenrichtung mit dem ersten Abschnitt ausgerichtet ist und der die gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität wie der erste getrennte Abschnitt umfasst; wobei der erste und der zweite getrennte Abschnitt durch einen Spalt getrennt sind, der sich entlang der Messachsenrichtung zwischen dem ersten Abschnitt und dem zweiten Abschnitt befindet, und der Spalt entlang der Messachsenrichtung mindestens so breit ist wie eine der Schleifen mit positiver oder negativer Polarität und kein effektiver Raum der Schleife mit positiver Polarität oder effektiver Raum der Schleife mit negativer Polarität des ersten jeweiligen Satzes von Sensorelementen sich in dem Spalt befindet.Electronic position encoder according to claim 1 wherein at least a respective first set of sensor elements corresponding to a respective nominal spatial phase is configured according to features A2 and B2, comprising a two-section configuration comprising: a first separate section having the same number of loops with positive polarity and loops with negative polarity; and a second discrete portion nominally aligned with the first portion along the measurement axis direction and including the same number of positive polarity loops and negative polarity loops as the first discrete portion; wherein the first and second separated sections are separated by a gap located along the measurement axis direction between the first section and the second section, and the gap along the measurement axis direction is at least as wide as one of the positive or negative polarity loops and none effective space of the positive polarity loop or effective space of the negative polarity loop of the first respective set of sensor elements is located in the gap. Elektronischer Positionscodierer nach Anspruch 9, der dazu konfiguriert ist, M1 oder M2 zu umfassen, wobei: M1) der erste getrennte Abschnitt des ersten jeweiligen Satzes von Sensorelementen dazu konfiguriert ist, ein erstes Detektorsignal auszugeben, und der zweite getrennte Abschnitt des ersten jeweiligen Satzes von Sensorelementen dazu konfiguriert ist, ein zweites Detektorsignal auszugeben, und die Signalverarbeitungskonfiguration dazu konfiguriert ist, die relative Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster zumindest teilweise basierend auf einer Kombination des ersten und des zweiten Signals zu bestimmen; oder M2) der erste getrennte Abschnitt des ersten jeweiligen Satzes von Sensorelementen mit dem zweiten getrennten Abschnitt des ersten jeweiligen Satzes von Sensorelementen in Reihe geschaltet ist, um ein kombiniertes Signal zu bilden, und die Reihenschaltung derart konfiguriert ist, dass die jeweiligen Signalbeiträge des ersten und zweiten getrennten Abschnitts in dem kombinierten Signal additiv sind, und die Signalverarbeitungskonfiguration dazu konfiguriert ist, die relative Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster mindestens teilweise auf der Basis des kombinierten Signals zu bestimmen.Electronic position encoder according to claim 9 configured to include M1 or M2, wherein: M1) the first discrete portion of the first respective set of sensor elements is configured to output a first detector signal and the second discrete portion of the first respective set of sensor elements is configured to, to output a second detector signal, and the Sig signal processing configuration configured to determine the relative position between the detector portion and the dial pattern based at least in part on a combination of the first and second signals; or M2) the first separate portion of the first respective set of sensor elements is connected in series with the second separate portion of the first respective set of sensor elements to form a combined signal, and the series connection is configured such that the respective signal contributions of the first and second separate portion are additive in the combined signal, and the signal processing configuration is configured to determine the relative position between the detector portion and the dial pattern based at least in part on the combined signal. Elektronischer Positionscodierer nach Anspruch 9, wobei: der erste jeweilige Satz von Sensorelementen derart konfiguriert ist, dass die jeweiligen Schleifen seines ersten und zweiten getrennten Abschnitts, die einander am nächsten sind, die gleichen Schleifenpolaritäten aufweisen; und der elektronische Positionscodierer ferner mindestens einen zweiten jeweiligen Satz von Sensorelementen umfasst, die einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase entsprechen, die sich um 90 Grad von der nominalen räumlichen Phase des ersten jeweiligen Satzes von Sensorelementen unterscheidet, und der zweite jeweilige Satz von Sensorelementen dazu konfiguriert ist, die Merkmale A2 und B2 zu umfassen, wobei er in einer Konfiguration mit zwei Abschnitten konfiguriert ist, die umfassen: einen ersten benachbarten Abschnitt, der die gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität umfasst; und einen zweiten benachbarten Abschnitt, der nominal entlang der Messachsenrichtung mit dem ersten benachbarten Abschnitt ausgerichtet ist und der die gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität wie der erste benachbarte Abschnitt umfasst; wobei der erste und der zweite benachbarte Abschnitt entlang der Messachsenrichtung näher beieinander angeordnet sind als eine Breite einer der Schleifen mit positiver oder negativer Polarität und die jeweiligen Schleifen des ersten und zweiten benachbarten Abschnitts, die einander am nächsten sind, entgegengesetzte Schleifenpolaritäten aufweisen; der erste jeweilige Satz von Sensorelementen einen ersten Raumschwerpunkt seines effektiven Sensorelementgesamtraums aufweist, der sich entlang der Messachse zwischen seinem ersten und zweiten getrennten Abschnitt befindet; der zweite jeweilige Satz von Sensorelementen einen zweiten Raumschwerpunkt seines effektiven Sensorelementgesamtraums aufweist, der sich entlang der Messachse zwischen seinem ersten und zweiten benachbarten Abschnitt befindet; und der erste und der zweite jeweilige Satz von Sensorelementen derart angeordnet sind, dass sich ihre jeweiligen ersten und zweiten Raumschwerpunkte an derselben Stelle entlang der Messachsenrichtung befinden.Electronic position encoder according to claim 9 wherein: the first respective set of sensor elements is configured such that the respective loops of its first and second separated sections that are closest to each other have the same loop polarities; and the electronic position encoder further comprises at least a second respective set of sensor elements corresponding to a respective nominal spatial phase that differs by 90 degrees from the nominal spatial phase of the first respective set of sensor elements, and the second respective set of sensor elements is configured to do so comprising features A2 and B2, being configured in a two section configuration comprising: a first adjacent section comprising the same number of positive polarity loops and negative polarity loops; and a second adjacent section nominally aligned with the first adjacent section along the measurement axis direction and comprising the same number of positive polarity loops and negative polarity loops as the first adjacent section; wherein the first and second adjacent sections are arranged closer to each other along the measurement axis direction than a width of one of the positive and negative polarity loops, and the respective loops of the first and second adjacent sections that are closest to each other have opposite loop polarities; the first respective set of sensor elements has a first centroid of its total effective sensor element space located along the measurement axis between its first and second discrete portions; the second respective set of sensor elements has a second centroid of its total effective sensor element space located along the measurement axis between its first and second adjacent portions; and the first and second respective sets of sensor elements are arranged such that their respective first and second centroids are at the same location along the measurement axis direction. Elektronischer Positionscodierer nach Anspruch 11, wobei jede jeweilige Schleife mit positiver oder negativer Polarität, die in einem des jeweiligen ersten oder zweiten Satzes von Sensorelementen enthalten ist, dazu konfiguriert ist, einen jeweiligen effektiven Sensorelementraum EffASEN bereitzustellen, der einen effektiven Sensorelementraum EffASEN einer anderen jeweiligen Schleife mit positiver oder negativer Polarität, der in demselben des ersten oder zweiten jeweiligen Satzes von Sensorelementen enthalten ist, nicht überlappt.Electronic position encoder according to claim 11 , wherein each respective positive or negative polarity loop included in one of the respective first or second set of sensor elements is configured to provide a respective effective sensor element space EffASEN that has an effective sensor element space EffASEN of another respective positive or negative polarity loop , contained in the same one of the first or second respective set of sensor elements, does not overlap. Elektronischer Positionscodierer nach Anspruch 9, wobei: der erste jeweilige Satz von Sensorelementen derart konfiguriert ist, dass die jeweiligen Schleifen seines ersten und zweiten getrennten Abschnitts, die einander am nächsten sind, die gleichen Schleifenpolaritäten aufweisen; und der elektronische Positionscodierer ferner mindestens einen zweiten jeweiligen Satz von Sensorelementen umfasst, die einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase entsprechen, die sich um 90 Grad von der nominalen räumlichen Phase des ersten jeweiligen Satzes von Sensorelementen unterscheidet, und der zweite jeweilige Satz von Sensorelementen gemäß den Merkmalen A2 und B2 konfiguriert ist, wobei er in einer Konfiguration mit zwei Abschnitten konfiguriert ist, die umfassen: einen ersten getrennten Abschnitt, der die gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität umfasst; und einen zweiten getrennten Abschnitt, der nominal entlang der Messachsenrichtung mit dem ersten getrennten Abschnitt ausgerichtet ist und der die gleiche Anzahl von Schleifen mit positiver Polarität und Schleifen mit negativer Polarität wie der erste getrennte Abschnitt umfasst; wobei der erste und der zweite getrennte Abschnitt entlang der Messachsenrichtung weiter voneinander entfernt sind als eine Breite einer der Schleifen mit positiver oder negativer Polarität und die jeweiligen Schleifen des ersten und zweiten benachbarten Abschnitts, die einander am nächsten sind, entgegengesetzte Schleifenpolaritäten aufweisen; der erste jeweilige Satz von Sensorelementen einen ersten Raumschwerpunkt seines effektiven Sensorelementgesamtraums aufweist, der sich entlang der Messachse zwischen seinem ersten und zweiten getrennten Abschnitt befindet; der zweite jeweilige Satz von Sensorelementen einen zweiten Raumschwerpunkt seines effektiven Sensorelementgesamtraums aufweist, der sich entlang der Messachse zwischen seinem ersten und zweiten getrennten Abschnitt befindet; und der erste und der zweite jeweilige Satz von Sensorelementen derart angeordnet sind, dass sich ihre jeweiligen ersten und zweiten Raumschwerpunkte an derselben Stelle entlang der Messachsenrichtung befinden.Electronic position encoder according to claim 9 wherein: the first respective set of sensor elements is configured such that the respective loops of its first and second separated sections that are closest to each other have the same loop polarities; and the electronic position encoder further comprises at least a second respective set of sensor elements corresponding to a respective nominal spatial phase that differs by 90 degrees from the nominal spatial phase of the first respective set of sensor elements, and the second respective set of sensor elements according to the characteristics A2 and B2, being configured in a two-section configuration comprising: a first separate section comprising an equal number of positive polarity loops and negative polarity loops; and a second discrete portion nominally aligned with the first discrete portion along the measurement axis direction and including the same number of positive polarity loops and negative polarity loops as the first discrete portion; wherein the first and second divided sections are further apart from each other along the measurement axis direction than a width of one of the positive and negative polarity loops, and the respective loops of the first and second adjacent sections that are closest to each other have opposite loop polarities; the first respective set of sensor elements has a first centroid of its total effective sensor element space located along the measurement axis between its first and second discrete portions; the second respective set of sensor elements has a second centroid of its total effective sensor element space located along the measurement axis between its first and second discrete portions; and the first and second respective sets of sensor elements are arranged such that their respective first and second centroids are at the same location along the measurement axis direction. Elektronischer Positionscodierer nach Anspruch 1, wobei: das Skalenmuster Signalmodulationselemente umfasst, die in ersten und zweiten Spuren angeordnet sind, die sich entlang der Messachsenrichtung erstrecken; die felderzeugende Spule dazu konfiguriert ist, einen ersten Innenraumabschnitt, der mit der ersten Spur ausgerichtet ist, und einen zweiten Innenraum zu umgeben, der mit der zweiten Spur ausgerichtet ist; mindestens ein jeweiliger Satz von Sensorelementen, die einer jeweiligen nominalen räumlichen Phase entsprechen, die Merkmale A2 und B2 umfasst und Sensorelemente umfasst, die leitfähige Schleifen umfassen, die sich jeweils quer zur Messachsenrichtung über den ersten und zweiten Innenraumabschnitt erstrecken, um einen ersten und einen zweiten effektiven Sensorelementraumabschnitt zu definieren, die denjenigen Abschnitten des Sensorelements entsprechen, die mit dem ersten und dem zweiten Innenraumabschnitt ausgerichtet sind bzw. diese überlappen, wodurch ein Detektorsignalbeitrag, der in jeder leitfähigen Schleife entsteht, die jeweiligen Detektorsignalbeiträge von seinem ersten und zweiten effektiven Sensorelementraumabschnitt kombiniert.Electronic position encoder according to claim 1 wherein: the scale pattern includes signal modulation elements arranged in first and second tracks extending along the measurement axis direction; the field generating coil is configured to surround a first interior portion aligned with the first trace and a second interior space aligned with the second trace; at least one respective set of sensor elements corresponding to a respective nominal spatial phase comprising features A2 and B2 and comprising sensor elements comprising conductive loops each extending transversely to the measurement axis direction across the first and second interior portions, around a first and a second effective sensor element space portion corresponding to those portions of the sensor element which are aligned with or overlap the first and second interior space portions, whereby a detector signal contribution arising in each conductive loop combines the respective detector signal contributions from its first and second effective sensor element space portion. Elektronischer Positionscodierer nach Anspruch 14, wobei: das Skalenmuster Signalmodulationselemente oder Signalmodulationselementabschnitte, die periodisch in der ersten Spur gemäß der Wellenlänge W1 angeordnet sind, und Signalmodulationselemente oder Signalmodulationselementabschnitte umfasst, die periodisch in der zweiten Spur gemäß der Wellenlänge W1 angeordnet sind, wobei die periodischen Anordnungen in der ersten und zweiten Spur um (W1)/2 gegeneinander versetzt sind; und die felderzeugende Spule dazu konfiguriert ist, eine erste Polarität eines sich ändernden Magnetflusses in dem ersten Innenraumabschnitt und eine entgegengesetzte zweite Polarität eines sich ändernden Magnetflusses in dem zweiten Innenraumabschnitt zu erzeugen.Electronic position encoder according to Claim 14 , wherein: the scale pattern comprises signal modulation elements or signal modulation element sections arranged periodically in the first track according to the wavelength W1, and signal modulation elements or signal modulation element sections arranged periodically in the second track according to the wavelength W1, the periodic arrangements in the first and second tracks are offset from each other by (W1)/2; and the field generating coil is configured to generate a first polarity of changing magnetic flux in the first interior portion and an opposite second polarity of changing magnetic flux in the second interior portion. Elektronischer Positionscodierer nach Anspruch 1, wobei: mehrere jeweilige Sätze von Sensorelementen mehreren jeweiligen räumlichen Phasen entsprechen, die jeweils die Merkmale A2 und B2 umfassen, und der elektronische Positionscodierer dadurch dazu konfiguriert ist, mehrere räumlich gefilterte Detektorsignale bereitzustellen, die dazu verwendet werden können, eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer K-ten räumlichen Harmonischen, die ansonsten möglicherweise zu Fehlern in der bestimmten relativen Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster beiträgt, zu reduzieren oder zu unterdrücken.Electronic position encoder according to claim 1 , wherein: multiple respective sets of sensor elements correspond to multiple respective spatial phases comprising features A2 and B2, respectively, and the electronic position encoder is thereby configured to provide multiple spatially filtered detector signals that can be used to identify a potential unwanted detector signal component of a K -th spatial harmonics that might otherwise contribute to errors in the determined relative position between the detector section and the dial pattern. Elektronischer Positionscodierer nach Anspruch 16, wobei: jeder der mehreren jeweiligen Sätze von Sensorelementen einen Raumschwerpunkt seines effektiven Sensorelementgesamtraums aufweist, der sich innerhalb seiner Spanne entlang der Messachse befindet; die mehreren jeweiligen Sätze von Sensorelementen derart konfiguriert sind, dass sich ihre jeweiligen Raumschwerpunkte an demselben Ort entlang der Messachsenrichtung befinden.Electronic position encoder according to Claim 16 wherein: each of the plurality of respective sets of sensor elements has a centroid of its total effective sensor element space that is within its span along the measurement axis; the plurality of respective sets of sensor elements are configured such that their respective centroids are at the same location along the measurement axis direction. Elektronischer Positionscodierer nach Anspruch 17, wobei: jede jeweilige Schleife mit positiver oder negativer Polarität, die in einem der mehreren jeweiligen Sätze von Sensorelementen enthalten ist, dazu konfiguriert ist, einen jeweiligen effektiven Sensorelementraum EffASEN bereitzustellen, der einen effektiven Sensorelementraum EffASEN einer anderen jeweiligen Schleife mit positiver oder negativer Polarität, die in demselben der mehreren jeweilige Sätzen von Sensorelementen enthalten ist, nicht überlappt.Electronic position encoder according to Claim 17 , wherein: each respective positive or negative polarity loop included in one of the plurality of respective sets of sensor elements is configured to provide a respective effective sensor element space EffASEN that has an effective sensor element space EffASEN of another respective positive or negative polarity loop, included in the same one of the plurality of respective sets of sensor elements does not overlap. Elektronischer Positionscodierer nach Anspruch 18, wobei: jedes Sensorelement, das in den mehreren jeweiligen Sätzen von Sensorelementen enthalten ist, einen effektiven Sensorelementgesamtraum EffASEN aufweist, der mit einem oder mehreren Innenräumen ausgerichtet ist oder diese(n) überlappt und derart definiert ist, dass er eine effektive y-Achsendimension EffYSEN entlang einer y-Achsenrichtung aufweist, die die Summe der Dimensionen des einen oder der mehreren Innenräume senkrecht zur Messachsenrichtung ist, und mindestens ein Großteil der Sensorelemente, die in den mehreren jeweiligen Sätzen von Sensorelementen enthalten sind, dazu konfiguriert sind, eine durchschnittliche Sensorelementdimension DSENavg=(EffASEN/EffYSEN) entlang der Messachsenrichtung, die innerhalb des Bereichs 0,33*W1 +/- 15 % liegt, bereitzustellen, wobei der elektronische Positionscodierer dadurch dazu konfiguriert ist, mehrere räumlich gefilterte Detektorsignale bereitzustellen, die dazu verwendet werden können, eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer 3. räumlichen Harmonischen und eine potenzielle unerwünschte Detektorsignalkomponente einer K-ten räumlichen Harmonischen, die ansonsten möglicherweise zu Fehlern in der bestimmten relativen Position zwischen dem Detektorabschnitt und dem Skalenmuster beitragen, zu reduzieren oder zu unterdrücken.Electronic position encoder according to Claim 18 , where: each sensor element included in the plurality of respective sets of sensor elements has an effective sensor element total space EffASEN that is aligned with or overlaps one or more interior spaces and is defined to have an effective y-axis dimension EffYSEN along a y-axis direction that is the sum of the dimensions of the one or more interior spaces perpendicular to the measurement axis direction, and at least a majority of the sensor elements included in the plurality of respective sets of sensor elements are configured to have an average sensor element dimension DSENavg= (EffASEN / EffYSEN) along the measurement axis direction, which is within the range 0.33 * W1 +/- 15%, wherein the electronic position encoder is thereby configured to provide multiple spatially filtered detector signals that can be used to provide a potential unwanted detector signal comp onent of a 3rd spatial harmonic and a potential uner desired detector signal components of a Kth spatial harmonic that might otherwise contribute to errors in the determined relative position between the detector section and the dial pattern.
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