DE102021127810A1 - PROCESSING ELEMENT AND ELECTRONIC DEVICE WITH PROCESSING ELEMENT - Google Patents
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Abstract
Offenbart wird eine elektronische Vorrichtung, die in Zeilen und Spalten angeordnete Verarbeitungselemente, mit den Zeilen der Verarbeitungselemente verbundene Wortleitungen, mit den Spalten der Verarbeitungselemente verbundene Bitleitungen, mit den Spalten der Verarbeitungselemente verbundene Bodyleitungen und mit den Zeilen der Verarbeitungselemente verbundene Sourceleitungen enthält. Jedes der Verarbeitungselemente enthält einen ersten Anschluss, der mit einer entsprechenden Bitleitung der Bitleitungen verbunden ist, einen zweiten Anschluss, der mit einer entsprechenden Sourceleitung der Sourceleitungen verbunden ist, ein Steuer-Gate, das mit einer entsprechenden Wortleitung der Wortleitungen verbunden ist, ein Floating-Gate zwischen dem Steuer-Gate und einem Body, einen Bodyanschluss, der mit einer entsprechenden Bodyleitung der Bodyleitungen verbunden ist, und ein kapazitives Element zwischen dem Floating-Gate und der entsprechenden Bitleitung.An electronic device is disclosed that includes processing elements arranged in rows and columns, word lines connected to rows of processing elements, bit lines connected to columns of processing elements, body lines connected to columns of processing elements, and source lines connected to rows of processing elements. Each of the processing elements includes a first terminal connected to a corresponding one of the bit lines, a second terminal connected to a corresponding one of the source lines, a control gate connected to a corresponding one of the word lines, a floating gate between the control gate and a body, a body lead connected to a corresponding one of the body lines, and a capacitive element between the floating gate and the corresponding bit line.
Description
QUERVERWEIS AUF VERWANDTE ANMELDUNGCROSS REFERENCE TO RELATED APPLICATION
Diese Anmeldung beansprucht Priorität der koreanischen Patentanmeldung Nr.
HINTERGRUNDBACKGROUND
Die hierin beschriebenen beispielhaften Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung beziehen sich auf ein Verarbeitungselement basierend auf einer Flash-Speicherzelle und eine elektronische Vorrichtung, die das Verarbeitungselement enthält.The exemplary embodiments of the present disclosure described herein relate to a processing element based on a flash memory cell and an electronic device including the processing element.
Im Zuge der Erforschung des maschinellen Lernens wird auch nach einer Möglichkeit gesucht, das maschinelle Lernen in konkreten Vorrichtungen zu implementieren. Maschinelles Lernen erfordert oft eine große Anzahl von iterativen parallelen Berechnungen. Daher ist es oft nicht effizient, das maschinelle Lernen und/oder eine auf maschinellem Lernen basierende Inferenz in einem herkömmlichen Prozessor auszuführen.In the course of research into machine learning, a way to implement machine learning in concrete devices is also being sought. Machine learning often requires a large number of iterative parallel computations. Therefore, it is often not efficient to run machine learning and/or machine learning-based inference in a conventional processor.
Um das maschinelle Lernen und/oder die auf maschinellem Lernen basierende Inferenz effizient auszuführen, werden daher neue Arten von Prozessoren erforscht, die auf die Ausführung des maschinellen Lernens und/oder der auf maschinellem Lernen basierenden Schlussfolgerungen spezialisiert sind. Ein neuer Typ von Prozessor, der so konfiguriert ist, dass er das maschinelle Lernen und/oder die auf maschinellem Lernen basierende Schlussfolgerung ausführt, kann als neuronaler Prozessor oder neuromorphischer Prozessor bezeichnet werden.Therefore, in order to efficiently execute machine learning and/or machine learning-based inference, new types of processors specialized in executing machine learning and/or machine learning-based inference are being explored. A new type of processor configured to perform machine learning and/or machine learning based reasoning may be referred to as a neural processor or neuromorphic processor.
Beispielhafte Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung stellen ein Verarbeitungselement bereit, das basierend auf einer Flash-Speicherzelle implementiert ist, und eine elektronische Vorrichtung, die das Verarbeitungselement enthält.Exemplary embodiments of the present disclosure provide a processing element implemented based on a flash memory cell and an electronic device including the processing element.
Gemäß einer Ausführungsform enthält eine elektronische Vorrichtung eine Mehrzahl von Verarbeitungselementen, die in Zeilen und Spalten angeordnet sind, eine Mehrzahl von Wortleitungen, die mit den Zeilen der Mehrzahl von Verarbeitungselementen verbunden sind, eine Mehrzahl von Bitleitungen, die mit den Spalten der Mehrzahl von Verarbeitungselementen verbunden sind, eine Mehrzahl von Bodyleitungen, die mit den Spalten der Mehrzahl von Verarbeitungselementen verbunden sind, und eine Mehrzahl von Sourceleitungen, die mit den Zeilen der Mehrzahl von Verarbeitungselementen verbunden sind. Jedes der Mehrzahl von Verarbeitungselementen enthält einen Body einschließlich eines ersten Anschlusses, der mit einer entsprechenden Bitleitung der Mehrzahl von Bitleitungen verbunden ist, einen zweiten Anschluss, der mit einer entsprechenden Sourceleitung der Mehrzahl von Sourceleitungen verbunden ist, und einen Bodyanschluss, der mit einer entsprechenden Bodyleitung der Mehrzahl von Bodyleitungen verbunden ist, ein Steuer-Gate zwischen dem ersten Anschluss und dem zweiten Anschluss, das mit einer entsprechenden Wortleitung der Mehrzahl von Wortleitungen verbunden ist, ein Floating-Gate zwischen dem Steuer-Gate und dem Body und ein kapazitives Element zwischen dem Floating-Gate und der entsprechenden Bitleitung.According to one embodiment, an electronic device includes a plurality of processing elements arranged in rows and columns, a plurality of word lines connected to the rows of the plurality of processing elements, a plurality of bit lines connected to the columns of the plurality of processing elements a plurality of body lines connected to the columns of the plurality of processing elements, and a plurality of source lines connected to the rows of the plurality of processing elements. Each of the plurality of processing elements includes a body including a first terminal connected to a corresponding one of the plurality of bit lines, a second terminal connected to a corresponding source line of the plurality of source lines, and a body terminal connected to a corresponding body line the plurality of body lines, a control gate between the first terminal and the second terminal connected to a corresponding one of the plurality of word lines, a floating gate between the control gate and the body, and a capacitive element between the floating gate and the corresponding bit line.
Gemäß einer Ausführungsform enthält eine elektronische Vorrichtung eine Mehrzahl von Verarbeitungselementen, die in Zeilen und Spalten angeordnet sind, eine Mehrzahl von Wortleitungen, die mit den Zeilen der Mehrzahl von Verarbeitungselementen verbunden sind, eine Mehrzahl von Bitleitungen, die mit den Spalten der Mehrzahl von Verarbeitungselementen verbunden sind, und eine Mehrzahl von Sourceleitungen, die mit den Zeilen der Mehrzahl von Verarbeitungselementen verbunden sind. Jedes der Verarbeitungselemente enthält einen Body einschließlich eines ersten Anschlusses, der mit einer entsprechenden Bitleitung der Mehrzahl von Bitleitungen verbunden ist, und eines zweiten Anschlusses, der mit einer entsprechenden Sourceleitung der Mehrzahl von Sourceleitungen verbunden ist, ein Steuer-Gate zwischen dem ersten Anschluss und dem zweiten Anschluss, das mit einer entsprechenden Wortleitung der Mehrzahl von Wortleitungen verbunden ist, ein Floating-Gate zwischen dem Steuer-Gate und dem Body, und ein kapazitives Element zwischen dem Floating-Gate und der entsprechenden Bitleitung.According to one embodiment, an electronic device includes a plurality of processing elements arranged in rows and columns, a plurality of word lines connected to the rows of the plurality of processing elements, a plurality of bit lines connected to the columns of the plurality of processing elements and a plurality of source lines connected to the rows of the plurality of processing elements. Each of the processing elements includes a body including a first terminal connected to a corresponding one of the plurality of bit lines and a second terminal connected to a corresponding one of the plurality of source lines, a control gate between the first terminal and the a second terminal connected to a corresponding one of the plurality of word lines, a floating gate between the control gate and the body, and a capacitive element between the floating gate and the corresponding bit line.
Gemäß einer Ausführungsform enthält ein Verarbeitungselement einen Body einschließlich eines ersten Anschlusses, der mit einer Bitleitung verbunden ist, eines zweiten Anschlusses, der mit einer Sourceleitung verbunden ist, und eines Bodyanschlusses, der mit einer leitenden Leitung verbunden ist; ein Steuer-Gate, das mit einer Bitleitung verbunden ist; ein Floating-Gate zwischen dem Steuer-Gate und dem Body; und ein kapazitives Element zwischen dem Floating-Gate und der Bitleitung.According to one embodiment, a processing element includes a body including a first terminal connected to a bit line, a second terminal connected to a source line, and a body terminal connected to a conductive line; a control gate connected to a bit line; a floating gate between the control gate and the body; and a capacitive element between the floating gate and the bit line.
Figurenlistecharacter list
Die obigen und andere Gegenstände und Merkmale der vorliegenden Offenbarung werden durch die detaillierte Beschreibung der Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen deutlich.
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1 veranschaulicht eine elektronische Vorrichtung gemäß einigen beispielhaften Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung. -
2 veranschaulicht ein Verarbeitungselementarray gemäß einigen beispielhaften Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung. -
3 veranschaulicht ein Verarbeitungselement gemäß einem ersten Beispiel. -
4 veranschaulicht ein Verarbeitungselement gemäß einem zweiten Beispiel. -
5 veranschaulicht ein Beispiel, bei dem in einer Programmieroperation Spannungen an das Verarbeitungselement von4 angelegt werden. -
6 veranschaulicht ein Beispiel, bei dem in einer Leseoperation Spannungen an das Verarbeitungselement von4 angelegt werden. -
7 zeigt ein Beispiel, in dem eine Leseoperation in einer elektronischen Vorrichtung ausgeführt wird. -
8 veranschaulicht ein Beispiel, in dem eine elektronische Vorrichtung abwechselnd und wiederholt eine Programmieroperation und eine Prüfoperation ausführt. -
9 veranschaulicht ein Beispiel, in dem eine elektronische Vorrichtung eine Programmieroperation und eine Prüfoperation ausführt. -
10 veranschaulicht ein Beispiel, bei dem in einer Löschoperation Spannungen an das Verarbeitungselement von4 angelegt werden. -
11 veranschaulicht ein Verfahren zum Messen integraler Nichtlinearität von Verarbeitungselementen gemäß einigen beispielhaften Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung. -
12 veranschaulicht ein Beispiel zum Ausführen einer Programmieroperation basierend auf der mittleren integralen Nichtlinearität. -
13 veranschaulicht eine elektronische Vorrichtung gemäß einigen beispielhaften Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung. -
14 veranschaulicht ein Verarbeitungselementarray gemäß einigen beispielhaften Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung. -
15 veranschaulicht ein Verarbeitungselement gemäß einem dritten Beispiel. -
16 veranschaulicht ein Verarbeitungselement gemäß einem vierten Beispiel. -
17 veranschaulicht ein Beispiel, bei dem in einer Programmieroperation Spannungen an das Verarbeitungselement von16 angelegt werden. -
18 veranschaulicht ein Beispiel, bei dem in einer Programmieroperation Spannungen an das Verarbeitungselement von16 angelegt werden. -
19 veranschaulicht ein Beispiel, bei dem in einer Leseoperation Spannungen an das Verarbeitungselement von16 angelegt werden. -
20 veranschaulicht ein Beispiel, bei dem in einer Löschoperation Spannungen an das Verarbeitungselement von16 angelegt werden. -
21 ist ein Diagramm, das ein System veranschaulicht, auf das eine elektronische Vorrichtung gemäß einigen beispielhaften Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung angewendet wird.
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1 FIG. 11 illustrates an electronic device according to some example embodiments of the present disclosure. -
2 FIG. 11 illustrates a processing element array, in accordance with some example embodiments of the present disclosure. -
3 Figure 12 illustrates a processing element according to a first example. -
4 Figure 12 illustrates a processing element according to a second example. -
5 illustrates an example where, in a programming operation, voltages are applied to the processing element of4 be created. -
6 illustrates an example where, in a read operation, voltages are applied to the processing element of4 be created. -
7 Fig. 12 shows an example in which a read operation is performed in an electronic device. -
8th 12 illustrates an example in which an electronic device alternately and repeatedly performs a programming operation and a verifying operation. -
9 illustrates an example in which an electronic device performs a programming operation and a verifying operation. -
10 illustrates an example where, in an erase operation, voltages are applied to the processing element of4 be created. -
11 FIG. 11 illustrates a method for measuring integral nonlinearity of processing elements according to some example embodiments of the present disclosure. -
12 illustrates an example of performing a programming operation based on mean integral nonlinearity. -
13 FIG. 11 illustrates an electronic device according to some example embodiments of the present disclosure. -
14 FIG. 11 illustrates a processing element array, in accordance with some example embodiments of the present disclosure. -
15 Figure 12 illustrates a processing element according to a third example. -
16 Figure 12 illustrates a processing element according to a fourth example. -
17 illustrates an example where, in a programming operation, voltages are applied to the processing element of16 be created. -
18 illustrates an example where, in a programming operation, voltages are applied to the processing element of16 be created. -
19 illustrates an example where, in a read operation, voltages are applied to the processing element of16 be created. -
20 illustrates an example where, in an erase operation, voltages are applied to the processing element of16 be created. -
21 FIG. 12 is a diagram illustrating a system to which an electronic device is applied according to some example embodiments of the present disclosure.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMENDETAILED DESCRIPTION OF EMBODIMENTS
Im Folgenden werden beispielhafte Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung so detailliert und klar beschrieben, dass ein normaler Fachmann die vorliegende Offenbarung leicht ausführen kann. Beispielsweise können beispielhafte Ausführungsformen in verschiedenen Ausführungsformen ausgeführt werden und sind nicht so zu verstehen, dass sie nur auf die veranschaulichten Ausführungsformen beschränkt sind. Sofern nicht anders vermerkt, bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche Elemente in den beigefügten Zeichnungen und der schriftlichen Beschreibung, so dass die Beschreibungen nicht wiederholt werden.In the following, exemplary embodiments of the present disclosure are described in such detail and clearly that a person of ordinary skill in the art can easily implement the present disclosure. For example, example embodiments may be embodied in various embodiments and should not be construed as limited only to the illustrated embodiments. Unless otherwise noted, the same reference numbers refer to the same elements in the accompanying drawings and written description so that the descriptions will not be repeated.
Wenn ein Element als „auf‟, „an“, „verbunden mit“, „gekoppelt mit“ oder „benachbart zu“ einem anderen Element bezeichnet wird, kann das Element direkt auf, verbunden mit, gekoppelt mit oder benachbart zu dem anderen Element sein, oder es können ein oder mehrere andere dazwischen liegende Elemente vorhanden sein. Wenn ein Element dagegen als „direkt auf‟, „direkt an“, „direkt verbunden mit“, „direkt gekoppelt mit“ oder „unmittelbar benachbart zu“ ein anderes Element bezeichnet wird, sind keine dazwischenliegenden Elemente vorhanden.When an element is referred to as "on", "at", "connected to", "coupled to" or "adjacent to" another element, the element may be directly on, connected to, coupled to, or adjacent to the other element , or one or more other intervening elements may be present. On the other hand, when an element is referred to as "directly on", "directly on", "directly connected to", "directly coupled to" or "immediately adjacent to" another element, there are no intervening elements present.
Das Verarbeitungselementarray 110 kann eine Mehrzahl von Verarbeitungselementen enthalten. Die Verarbeitungselemente können in Zeilen und Spalten angeordnet sein. Zeilen der Verarbeitungselemente können jeweils mit den ersten bis m-ten Wortleitungen WL1 bis WLm verbunden sein und können jeweils mit den ersten bis m-ten Sourceleitungen SL1 bis SLm verbunden sein. Spalten der Verarbeitungselemente können jeweils mit den ersten bis n-ten Bitleitungen BL1 bis BLn und mit den ersten bis n-ten Bodyleitungen BDL1 bis BDLn verbunden sein.
Jedes der Verarbeitungselemente kann einen Gewichtswert speichern. Jedes der Verarbeitungselemente kann basierend auf Eingabedaten und/oder einem Gewichtswert Berechnungsergebnisse berechnen und/oder ausgeben. Beispielsweise können in den Verarbeitungselementen Gewichtswerte basierend auf den Spannungen der ersten bis m-ten Wortleitungen WL1 bis WLm gespeichert werden. Die Eingabedaten können über die erste bis n-te Bitleitung BL1 bis BLn an die Verarbeitungselemente übertragen werden. Die Berechnungsergebnisse der Verarbeitungselemente können über die erste bis m-te Sourceleitung SL1 bis SLm ausgegeben werden.Each of the processing elements can store a weight value. Each of the processing elements can calculate and/or output calculation results based on input data and/or a weight value. For example, weight values based on the voltages of the first through m-th word lines WL1 through WLm can be stored in the processing elements. The input data can be transmitted to the processing elements via the first to n-th bit lines BL1 to BLn. The calculation results of the processing elements can be output through the first to m-th source lines SL1 to SLm.
Eine Operation zum Speichern eines oder mehrerer Gewichtswerte in einem oder mehreren Verarbeitungselementen kann als Programmieroperation bezeichnet werden. Eine Operation, bei der Eingabedaten in ein oder mehrere Verarbeitungselemente eingegeben und Ausgabedaten als Berechnungsergebnis(e) empfangen werden, kann als Leseoperation bezeichnet werden. Eine Operation zum Löschen von Gewichtswerten, die in einem oder mehreren Verarbeitungselementen gespeichert sind, kann als Löschoperation bezeichnet werden.An operation to store one or more weight values in one or more processing elements may be referred to as a programming operation. An operation in which input data is fed into one or more processing elements and output data is received as calculation result(s) may be referred to as a read operation. An operation to delete weight values stored in one or more processing elements may be referred to as a delete operation.
Der Gewichtspuffer 120 kann unter der Steuerung der Steuerlogik 190 arbeiten. Der Gewichtspuffer 120 kann Gewichtswerte WV speichern. Bei der Programmieroperation kann der Gewichtspuffer 120 dem Zeilentreiber 130 die Gewichtswerte WV bereitstellen.
Der Zeilentreiber 130 kann unter der Steuerung der Steuerlogik 190 arbeiten. Der Zeilentreiber 130 kann mit den ersten bis m-ten Wortleitungen WL1 bis WLm verbunden sein. In der Programmieroperation kann der Zeilentreiber 130 den Gewichtswert WV von dem Gewichtspuffer 120 empfangen. Der Zeilentreiber 130 kann Pegel von Spannungen einstellen, die basierend auf dem Gewichtswert WV an die ersten bis m-ten Wortleitungen WL1 bis WLm anzulegen sind. In der Leseoperation und/oder der Löschoperation kann der Zeilentreiber 130 die an die ersten bis m-ten Wortleitungen WL1 bis WLm anzulegenden Spannungen entsprechend einer vorgegebenen Regel einstellen.
Der Eingabepuffer 140 kann unter der Steuerung der Steuerlogik 190 arbeiten. Der Eingabepuffer 140 kann Eingabedaten ID speichern. In der Leseoperation kann der Eingabepuffer 140 die Eingabedaten ID dem Bitleitungstreiber 150 bereitstellen.The
Der Bitleitungstreiber 150 kann unter der Steuerung der Steuerlogik 190 arbeiten. Der Bitleitungstreiber 150 kann mit den ersten bis n-ten Bitleitungen BL1 bis BLn verbunden sein. In der Leseoperation kann der Bitleitungstreiber 150 die Eingabedaten ID von dem Eingabepuffer 140 empfangen.
In der Leseoperation kann der Bitleitungstreiber 150 Pegel von Spannungen einstellen, die basierend auf der Eingabedaten ID an die erste bis n-te Bitleitung BL1 bis BLn anzulegen sind. Der Bitleitungstreiber 150 kann zum Beispiel als Digital-AnalogWandler (DAC) arbeiten, der die Eingabedaten ID in eine Spannung umwandelt. Bei der Programmieroperation und/oder der Löschoperation kann der Bitleitungstreiber 150 die an die erste bis n-te Bitleitung BL1 bis BLn anzulegenden Spannungen z. B. gemäß einer vorgegebenen Regel einstellen.In the read operation, the
Der Sourceleitungstreiber 160 kann unter der Steuerung der Steuerlogik 190 arbeiten. Der Sourceleitungstreiber 160 kann mit der ersten bis m-ten Sourceleitung SL1 bis SLm verbunden sein. Bei der Programmieroperation, der Leseoperation und/oder der Löschoperation kann der Sourceleitungstreiber 160 die Spannungen der ersten bis m-ten Sourceleitungen SL1 bis SLm z. B. gemäß einer vorgegebenen Regel einstellen. In der Leseoperation kann der Sourceleitungstreiber 160 die Menge des über mindestens eine Sourceleitung unter den ersten bis m-ten Sourceleitungen SL1 bis SLm ausgegebenen Stroms in einen oder mehrere digitale Werte umwandeln. Zum Beispiel kann der Sourceleitungstreiber 160 als Analog-Digital-Wandler (ADC) arbeiten, der eine Strommenge in Ausgabedaten OD umwandelt. Bei den Ausgabedaten OD kann es sich um ein Berechnungsergebnis des Verarbeitungselementarrays 110 handeln. Der Sourceleitungstreiber 160 kann die Ausgabedaten OD an den Ausgabepuffer 170 bereitstellen.
Der Ausgabepuffer 170 kann unter der Steuerung der Steuerlogik 190 arbeiten. Der Ausgabepuffer 170 kann die Ausgabedaten OD von dem Sourceleitungstreiber 160 empfangen. Der Ausgabepuffer 170 kann die Ausgabedaten OD an eine externe Vorrichtung ausgeben und/oder die Ausgabedaten OD an den Eingabepuffer 140 zurückführen.The
Der Bodyleitungstreiber 180 kann unter der Steuerung der Steuerlogik 190 arbeiten. Der Bodyleitungstreiber 180 kann mit den ersten bis n-ten Bodyleitungen BDL1 bis BDLn verbunden sein. Bei der Programmieroperation, der Leseoperation und/oder der Löschoperation kann der Bodyleitungstreiber 180 die an die erste bis n-te Bodyleitung BDL1 bis BDLn anzulegenden Spannungen entsprechend z.B. einer vorgegebenen Regel einstellen.
Die Steuerlogik 190 kann die Komponenten der elektronischen Vorrichtung 100 so steuern, dass sie die Programmieroperation, die Leseoperation und/oder die Löschoperation ausführen. Die Steuerlogik 190 kann die Ausgabedaten OD von dem Sourceleitungstreiber 160 empfangen. Die Steuerlogik 190 kann eine Prüfoperation basierend auf den Ausgabedaten OD ausführen. Die Prüfoperation kann ähnlich wie die Leseoperation sein.The
Alternativ kann die Steuerlogik 190 einen oder mehrere Ströme über die erste bis m-te Sourceleitung SL1 bis SLm empfangen. Die Steuerlogik 190 kann die Prüfoperation basierend auf dem (den) Strom (Strömen) ausführen.Alternatively, the
In einigen Ausführungsformen können der Gewichtspuffer 120, der Eingabepuffer 140 und/oder der Ausgabepuffer 170 einen Bereich des Speichers enthalten und/oder in diesen ausgeben werden und/oder als Cache-Speicher dienen. In einigen Ausführungsformen können der Gewichtspuffer 120, der Eingabepuffer 140 und/oder der Ausgabepuffer 170 mit Puffern implementiert werden, die physisch voneinander getrennt sind. Alternativ dazu können mindestens zwei der Gewichtspuffer 120, der Eingabepuffer 140 und der Ausgabepuffer 170 mit Puffern implementiert werden, die innerhalb eines physischen Puffers logisch voneinander getrennt sind.In some embodiments, the
Das Steuer-Gate jedes der Verarbeitungselemente PE kann mit der entsprechenden Wortleitung der ersten bis m-ten Wortleitung WL1 bis WLm verbunden sein. Der erste Anschluss (z. B. ein Anschluss, an dem das kapazitive Element bereitgestellt wird) jedes der Verarbeitungselemente PE kann mit der entsprechenden Bitleitung der ersten bis n-ten Bitleitungen BL1 bis BLn verbunden werden. Der zweite Anschluss eines jeden Verarbeitungselements PE kann mit der entsprechenden Sourceleitung der ersten bis m-ten Sourceleitung SL1 bis SLm verbunden werden. Der Bodyanschluss eines jeden Verarbeitungselements PE kann mit der entsprechenden Bodyleitung der ersten bis n-ten Bodyleitung BDL1 bis BDLn verbunden werden.The control gate of each of the processing elements PE may be connected to the corresponding word line of the first to m-th word lines WL1 to WLm. The first terminal (e.g. a terminal where the capacitive element is provided) of each of the processing elements PE can be connected to the corresponding bit line of the first to n-th bit lines BL1 to BLn. The second terminal of each processing element PE can be connected to the corresponding source line of the first to m-th source lines SL1 to SLm. The body connection of each processing element PE can be connected to the corresponding body line of the first to nth body lines BDL1 to BDLn.
Ein erster Anschluss T1 des Transistors MN kann mit der entsprechenden B itleitung BL verbunden sein. Ein zweiter Anschluss T2 des Transistors MN kann mit der entsprechenden Sourceleitung SL verbunden sein. Ein Gate des Transistors MN kann dem Floating-Gate des Verarbeitungselements PE1 entsprechen. In einigen beispielhaften Ausführungsformen kann das Floating-Gate durch einen Floating-Gateknoten NFG gekennzeichnet sein. Die Spannung des Floating-Gateknotens NFG kann als Floating-Gatespannung VFG bezeichnet werden.A first terminal T1 of the transistor MN can be connected to the corresponding bit line BL. A second terminal T2 of the transistor MN can be connected to the corresponding source line SL. A gate of transistor MN may correspond to the floating gate of processing element PE1. In some example embodiments, the floating gate may be characterized by a floating gate node NFG. The voltage of the floating gate node NFG can be referred to as the floating gate voltage VFG.
Ein erster parasitärer Kondensator CP1 kann einem parasitären Kondensator zwischen dem Floating-Gate und dem ersten Anschluss T1 entsprechen. Ein zweiter parasitärer Kondensator CP2 kann einem parasitären Kondensator zwischen dem Floating-Gate und dem zweiten Anschluss T2 entsprechen. Ein erster Kondensator C1 kann ein Kondensator zwischen dem Floating-Gate des Verarbeitungselements PE1 und einer Bodyleitung BDL sein.A first parasitic capacitor CP1 may correspond to a parasitic capacitor between the floating gate and the first terminal T1. A second parasitic capacitor CP2 may correspond to a parasitic capacitor between the floating gate and the second terminal T2. A first capacitor C1 may be a capacitor between the floating gate of the processing element PE1 and a body line BDL.
Das Steuer-Gate des Verarbeitungselements PE1 kann durch einen Steuer-Gateknoten NCG gekennzeichnet sein. Ein zweiter Kondensator C2 kann zwischen dem Floating-Gate des Verarbeitungselements PE1 und dem Steuer-Gate liegen. Ein dritter Kondensator C3 kann ein Kondensator zwischen dem Floating-Gate des Verarbeitungselements PE1 und dem ersten Anschluss T1 sein.The control gate of processing element PE1 may be characterized by a control gate node NCG. A second capacitor C2 may be connected between the floating gate of the processing element PE1 and the control gate. A third capacitor C3 may be a capacitor between the floating gate of the processing element PE1 and the first terminal T1.
Ein erster Bereich R1 kann in dem Body „BODY“ gebildet werden. Der erste Bereich R1 kann ein N-Typ-Bereich oder eine Kombination aus einem N-Typ-Bereich und einem P-Typ-Bereich sein. Der erste Bereich R1 kann dem ersten Anschluss T1 entsprechen. Die Bitleitung BL kann mit dem ersten Bereich R1 verbunden sein. Ein zweiter Bereich R2 kann in dem Body „BODY“ gebildet werden. Der zweite Bereich R2 kann ein N-Typ-Bereich oder eine Kombination aus einem N-Typ-Bereich und einem P-Typ-Bereich sein. Der zweite Bereich R2 kann dem zweiten Anschluss T2 entsprechen. Die Sourceleitung SL kann mit dem zweiten Bereich R2 verbunden sein.A first area R1 can be formed in the body "BODY". The first region R1 may be an N-type region or a combination of an N-type region and a P-type region. The first area R1 can correspond to the first terminal T1. The bit line BL may be connected to the first region R1. A second area R2 can be formed in the body "BODY". The second region R2 may be an N-type region or a combination of an N-type region and a P-type region. The second area R2 can correspond to the second terminal T2. The source line SL may be connected to the second region R2.
Ein dritter Bereich R3 kann in dem Body „BODY“ gebildet werden. Bei dem dritten Bereich R3 kann es sich um einen N-Typ-Bereich handeln. Ein vierter Bereich R4 kann in dem dritten Bereich R3 gebildet werden. Der vierte Bereich R4 kann ein N-Typ-Bereich oder eine Kombination aus einem N-Typ-Bereich und einem P-Typ-Bereich sein. Beispielsweise kann der vierte Bereich R4 eine andere Art von Dotierstoff(en) enthalten und/oder eine andere Konzentration als der dritte Bereich R3 haben. Der vierte Bereich R4 kann mit einem Bodyanschluss verbunden sein. Die Bodyleitung BDL kann mit dem vierten Bereich R4 verbunden sein. Der erste Bereich R1, der zweite Bereich R2 und der dritte Bereich R3 können innerhalb des Bodys „BODY“ voneinander getrennt sein.A third area R3 can be formed in the body "BODY". The third region R3 may be an N-type region. A fourth region R4 may be formed in the third region R3. The fourth region R4 may be an N-type region or a combination of an N-type region and a P-type region. For example, the fourth region R4 may contain a different type of dopant(s) and/or have a different concentration than the third region R3. The fourth area R4 can be connected to a body connector. The body line BDL may be connected to the fourth area R4. The first area R1, the second area R2 and the third area R3 can be separated from one another within the body “BODY”.
Ein erstes Floating-Gate FG1 kann an dem Body „BODY“ zwischen dem ersten Bereich R1 und dem zweiten Bereich R2 angeordnet sein. Das erste Floating-Gate FG1 kann elektrisch von dem Body „BODY“ getrennt sein. Beispielsweise kann ein Spalt und/oder ein Isolator (nicht veranschaulicht) das erste Floating-Gate FG1 von dem Body „BODY“ trennen. Das erste Floating-Gate FG1 kann dem Gate des Transistors MN entsprechen. Das erste Floating-Gate FG1, der erste Bereich R1 und der zweite Bereich R2 können den Transistor MN bilden.A first floating gate FG1 can be arranged on the body “BODY” between the first area R1 and the second area R2. The first floating gate FG1 can be electrically separated from the body "BODY". For example, a gap and/or an insulator (not illustrated) may separate the first floating gate FG1 from the body "BODY". The first floating gate FG1 can correspond to the gate of the transistor MN. The first floating gate FG1, the first region R1 and the second region R2 can form the transistor MN.
Der erste parasitäre Kondensator CP1 kann zwischen dem ersten Floating-Gate FG1 und dem ersten Bereich R1 gebildet werden. Der zweite parasitäre Kondensator CP2 kann zwischen dem ersten Floating-Gate FG1 und dem zweiten Bereich R2 gebildet werden.The first parasitic capacitor CP1 may be formed between the first floating gate FG1 and the first region R1. The second parasitic capacitor CP2 may be formed between the first floating gate FG1 and the second region R2.
Ein zweites Floating-Gate FG2 kann an dem dritten Bereich R3 angeordnet sein.A second floating gate FG2 may be arranged on the third region R3.
Das zweite Floating-Gate FG2 kann elektrisch von dem Body „BODY“, dem dritten Bereich R3 und dem vierten Bereich R4 getrennt sein. Beispielsweise kann das zweite Floating-Gate FG1 durch einen Spalt und/oder einen Isolator (nicht veranschaulicht) von dem Body „BODY“ und/oder dem dritten Bereich R3 getrennt sein. Das elektrisch getrennte zweite Floating-Gate FG2 und der dritte Bereich R3 können den ersten Kondensator C1 bilden.The second floating gate FG2 may be electrically isolated from the body "BODY", the third region R3 and the fourth region R4. For example, the second floating gate FG1 may be separated from the body "BODY" and/or the third region R3 by a gap and/or an insulator (not illustrated). The electrically separated second floating gate FG2 and the third region R3 can form the first capacitor C1.
Ein drittes Floating-Gate FG3 kann zusammen mit einem Steuer-Gate CG den zweiten Kondensator C2 bilden. Ein viertes Floating-Gate FG4 kann zusammen mit einem leitenden Material CM, das mit der Bitleitung BL verbunden ist, den dritten Kondensator C3 bilden. Der zweite Kondensator C2 und/oder der dritte Kondensator C3 können beispielsweise mit einem Metall-Isolator-Metall-Kondensator (MIM) und/oder einem Metall-Oxid-Silizium-Kondensator (MOS) realisiert sein.A third floating gate FG3 can form the second capacitor C2 together with a control gate CG. A fourth floating gate FG4 together with a conductive material CM connected to the bit line BL can form the third capacitor C3. The second capacitor C2 and/or the third capacitor C3 can be implemented, for example, with a metal-insulator-metal capacitor (MIM) and/or a metal-oxide-silicon capacitor (MOS).
Das erste Floating-Gate FG1, das zweite Floating-Gate FG2, das dritte Floating-Gate FG3 und/oder das vierte Floating-Gate FG4 können elektrisch miteinander verbunden werden. Das erste Floating-Gate FG1, das zweite Floating-Gate FG2, das dritte Floating-Gate FG3 und das vierte Floating-Gate FG4 können jeweils einem ersten Teil, einem zweiten Teil, einem dritten Teil und einem vierten Teil des Floating-Gates des Verarbeitungselements PE1 entsprechen.The first floating gate FG1, the second floating gate FG2, the third floating gate FG3 and/or the fourth floating gate FG4 can be electrically connected to one another. The first floating gate FG1, the second floating gate FG2, the third floating gate FG3 and the fourth floating gate FG4 may respectively have a first part, a second part, a third part and a fourth part of the floating gate of the processing element correspond to PE1.
In einigen beispielhaften Ausführungsformen kann sich der dritte Bereich R3 z. B. in Richtung einer Spalte erstrecken und von Verarbeitungselementen PE, die zu jeder Spalte gehören, unter den Verarbeitungselementen PE gemeinsam genutzt werden.In some example embodiments, the third region R3 may be e.g. B. extend towards a column and are shared by processing elements PE belonging to each column among the processing elements PE.
In der Programmieroperation kann der Bitleitungstreiber 150 eine Massespannung VSS an die Bitleitung BL anlegen und/oder die Bitleitung BL potenzialfrei machen. Um die Bitleitung BL potenzialfrei zu machen, kann beispielsweise verhindert werden, dass Ladungsträger (z. B. Elektronen) zu oder von der Bitleitung BL fließen. Bei der Massespannung VSS kann es sich um eine Spannung handeln, die von der externen Vorrichtung an die elektronische Vorrichtung 100 geliefert wird. In der Programmieroperation kann der Sourceleitungstreiber 160 die Massespannung VSS an die Sourceleitung SL anlegen und/oder die Sourceleitung SL potenzialfrei machen. Um die Sourceleitung SL potenzialfrei zu machen, kann beispielsweise verhindert werden, dass Ladungsträger (z. B. Elektronen) zu oder von der Sourceleitung SL fließen. In der Programmieroperation kann der Bodyleitungstreiber 180 die Massespannung VSS an die Bodyleitung BDL anlegen.In the programming operation, the
Die erste Programmierspannung VPGM1 kann durch die Kopplung des zweiten Kondensators C2 an das zweite Floating-Gate FG2 übertragen werden. Da die Bodyleitung BDL mit der Massespannung VSS versorgt wird, kann es am ersten Kondensator C1 zum Tunneln kommen. So können beispielsweise Elektronen in das zweite Floating-Gate FG2 injiziert werden. Die in das zweite Floating-Gate FG2 injizierten Elektronen können mit dem ersten Floating-Gate FG1 geteilt werden. So kann beispielsweise eine Schwellenspannung des Verarbeitungselements PE2 erhöht werden.The first programming voltage VPGM1 can be transferred to the second floating gate FG2 by the coupling of the second capacitor C2. Since the body line BDL is supplied with the ground voltage VSS, tunneling can occur at the first capacitor C1. For example, electrons can be injected into the second floating gate FG2. The electrons injected into the second floating gate FG2 can be shared with the first floating gate FG1. For example, a threshold voltage of the processing element PE2 can be increased.
Die Lesespannung VRD kann durch die Kopplung des dritten Kondensators C3 an das vierte Floating-Gate FG4 übertragen werden. Die an das vierte Floating-Gate FG4 übertragene Lesespannung VRD kann an das erste Floating-Gate FG1 übertragen werden. Die an das erste Floating-Gate FG1 übertragene Lesespannung VRD kann einen Kanal in einem Bereich des Bodys „BODY“ zwischen dem ersten Bereich R1 und dem zweiten Bereich R2 bilden.The read voltage VRD can be transferred to the fourth floating gate FG4 by the coupling of the third capacitor C3. The reading voltage VRD transmitted to the fourth floating gate FG4 can be transmitted to the first floating gate FG1. The read voltage VRD transmitted to the first floating gate FG1 may form a channel in an area of the body “BODY” between the first area R1 and the second area R2.
Beispielsweise kann der Transistor MN durch die Lesespannung VRD eingeschaltet werden, und ein Strom (z. B. ein Zellenstrom ICELL) kann durch die Lesespannung VRD von der Bitleitung BL zur Sourceleitung SL fließen. In der Leseoperation kann der Sourceleitungstreiber 160 den Zellstrom ICELL von der Sourceleitung SL empfangen.For example, the transistor MN can be turned on by the read voltage VRD, and a current (e.g., a cell current ICELL) can flow from the bit line BL to the source line SL by the read voltage VRD. In the read operation, the
Gleichung 1 unten zeigt den Zellenstrom ICELL, der modelliert wird, wenn es keinen dritten Kondensator C3 gibt. In einigen beispielhaften Ausführungsformen kann die Gleichung 1 mit einer beliebigen konstanten Zahl multipliziert werden.
In Gleichung 1 zeigt „VFG“ eine initiale Spannung des Floating-Gates des Verarbeitungselements PE2 an, und „VTH“ zeigt eine Schwellenspannung des Verarbeitungselements PE2 an. „VBL“ zeigt eine Spannung der Bitleitung BL an. Wie durch Gleichung 1 ausgedrückt, enthält der Zellenstrom ICELL eine nichtlineare Komponente. Dementsprechend kann ein Bereich der Lesespannung VRD des Verarbeitungselements PE2 (z. B. ein Operationsbereich des Verarbeitungselements PE2) begrenzt sein.In Equation 1, “VFG” indicates an initial voltage of the floating gate of the processing element PE2, and “VTH” indicates a threshold voltage of the processing element PE2. "VBL" indicates a voltage of the bit line BL. As expressed by Equation 1, the cell current ICELL contains a non-linear component. Accordingly, a range of the read voltage VRD of the processing element PE2 (e.g., an operational range of the processing element PE2) may be limited.
Gleichung 2 unten zeigt den Zellenstrom ICELL, der modelliert wird, wenn der dritte Kondensator C3 hinzugefügt wird. In einigen beispielhaften Ausführungsformen kann Gleichung 2 mit einer beliebigen konstanten Zahl multipliziert werden.
In Gleichung 2 können sich C1, C2, CP1 und CP2 jeweils auf die Kapazitäten des ersten Kondensators C1, des zweiten Kondensators C2, des ersten parasitären Kondensators CP1 und des zweiten parasitären Kondensators CP2 beziehen. Als Antwort auf die Erfüllung einer Bedingung der Gleichung 3 kann eine nichtlineare Komponente von dem Zellstrom ICELL entfernt werden.
Als Antwort auf die Entfernung der nichtlinearen Komponente von dem Zellenstrom ICELL kann die Menge des Zellenstroms ICELL die Form eines linearen Produkts einer Bitleitungsspannung haben. Zum Beispiel kann das Verarbeitungselement PE2 als linearer Multiplizierer arbeiten. Da die Linearität des Verarbeitungselements PE2 verbessert wird, kann der Operationsbereich eines Wertes der Eingabedaten des Verarbeitungselements PE2 erweitert werden.In response to removing the non-linear component from cell current ICELL, the amount of cell current ICELL may take the form of a linear product of a bit line voltage. For example, the processing element PE2 can operate as a linear multiplier. Since the linearity of the processing element PE2 is improved, the operational range of a value of the input data of the processing element PE2 can be expanded.
In Operation S120 kann der Zeilentreiber 130 mindestens eine Wortleitung potenzialfrei machen, die von der ersten bis m-ten Wortleitung WL1 bis WLm ausgewählt wird; und/oder der Bodyleitungstreiber 180 kann mindestens eine Bodyleitung potenzialfrei machen, die von der ersten bis n-ten Bodyleitung BDL1 bis BDLn ausgewählt wird.In operation S120,
In Operation S130 kann der Bitleitungstreiber 150 die mindestens eine Lesespannung VRD an mindestens eine Bitleitung, ausgewählt von der ersten bis n-ten Bitleitung BL1 bis BLn, anlegen.In operation S130, the
In Operation S140 kann der Sourceleitungstreiber 160 die Strommenge von mindestens einer Sourceleitung (z. B. unter den ersten bis m-ten Sourceleitungen SL1 bis SLm) messen, die der mindestens einen ausgewählten Wortleitung entspricht.In operation S140, the
In Operation S150 kann der Sourceleitungstreiber 160 die Menge des Stroms der mindestens einen Sourceleitung in mindestens einen digitalen Wert umwandeln. Der mindestens eine digitale Wert kann zum Beispiel als mindestens ein Ausgabedatum bezeichnet werden.In operation S150, the
Eine Prüfoperation kann ähnlich wie die in
Als Antwort auf eine Schwellenspannung des Verarbeitungselements PE2, die kleiner ist als die Prüfspannung VFY, kann das Verarbeitungselement PE2 durch die Prüfspannung VFY eingeschaltet werden. Als Antwort auf das Einschalten des Verarbeitungselements PE2 (z. B. wenn ein Stromausgang durch die entsprechende Sourceleitung von der Steuerlogik 190 erfasst wird) kann der Zeilentreiber 130 einen Pegel der ersten Programmierspannung VPGM1 graduell erhöhen.In response to a threshold voltage of processing element PE2 being less than test voltage VFY, processing element PE2 may be turned on by test voltage VFY. In response to processing element PE2 turning on (e.g., when a current output through the corresponding source line is sensed by control logic 190),
Die Programmieroperation und die Prüfoperation können wiederholt und abwechselnd ausgeführt werden, während ein Pegel der ersten Programmierspannung VPGM1 graduell erhöht wird. Die Programmieroperation und die Prüfoperation können wiederholt ausgeführt werden, bis das Verarbeitungselement PE2 durch die Prüfspannung VFY ausgeschaltet wird. Zum Beispiel können die Programmieroperation und die Prüfoperation wiederholt ausgeführt werden, bis die Schwellenspannung des Verarbeitungselements PE2 größer ist als die Prüfspannung VFY.The programming operation and the verifying operation can be repeatedly and alternately performed while gradually increasing a level of the first programming voltage VPGM1. The programming operation and the verifying operation can be repeatedly performed until the processing element PE2 is turned off by the verifying voltage VFY. For example, the programming operation and the verifying operation may be repeatedly performed until the threshold voltage of the processing element PE2 is greater than the verifying voltage VFY.
In einigen beispielhaften Ausführungsformen kann sich als Antwort auf eine sich ändernde Schwellenspannung des Verarbeitungselements PE2 die Menge des Zellstroms ICELL ändern, obwohl die gleiche Lesespannung VRD daran angelegt wird. So kann sich beispielsweise ein Berechnungskoeffizient des Verarbeitungselements PE2, z. B. ein Gewichtswert, ändern. Die elektronische Vorrichtung 100 kann eine Schwellenspannung des Verarbeitungselements PE2 auf einen Ziel-Pegel einstellen, indem sie einen Pegel der Prüfspannung VFY einstellt.In some exemplary embodiments, the amount of cell current ICELL may change in response to a changing threshold voltage of processing element PE2, even though the same read voltage VRD is applied thereto. For example, a calculation coefficient of the processing element PE2, e.g. B. a weight value change. The
In einigen Ausführungsformen kann die erste Programmierspannung VPGM1 eine Programmierstartspannung und ein Spannungsinkrement enthalten. Bei der Programmierstartspannung kann es sich um die erste Programmierspannung VPGM1 handeln, die zuerst an das Verarbeitungselement PE2 angelegt wird. Das Spannungsinkrement kann den Grad anzeigen, durch den die erste Programmierspannung VPGM1 erhöht wird, wenn die Programmieroperation wiederholt wird.In some embodiments, the first programming voltage VPGM1 may include a program start voltage and a voltage increment. The programming start voltage may be the first programming voltage VPGM1 which is first applied to the processing element PE2. The voltage increment may indicate the degree by which the first programming voltage VPGM1 is increased as the programming operation is repeated.
Die elektronische Vorrichtung 100 kann die Programmierstartspannung basierend auf dem Gewichtswert WV bestimmen. Zum Beispiel kann die elektronische Vorrichtung 100 zunächst die Prüfoperation ausführen, um eine aktuelle Schwellenspannung des Verarbeitungselements PE2 zu erfassen. In einigen Ausführungsformen kann die Prüfoperation zwei oder mehr Prüfoperationen enthalten, einschließlich des Erfassens eines Pegels der Prüfspannung VFY, bei dem die Verarbeitungselemente PE eingeschaltet sind, und/oder eines Pegels der Prüfspannung VFY, bei dem die Verarbeitungselemente PE ausgeschaltet sind.The
Die elektronische Vorrichtung 100 kann die Programmierstartspannung basierend auf einer Differenz zwischen der aktuellen Schwellenspannung des Verarbeitungselements PE2 und der Prüfspannung VFY, die von dem Gewichtswert WV erzeugt wird, bestimmen.The
In der Löschoperation kann der Bitleitungstreiber 150 die Bitleitung BL potenzialfrei machen. In der Löschoperation kann der Sourceleitungstreiber 160 die Sourceleitung SL potenzialfrei machen. In der Löschoperation kann der Bodyleitungstreiber 180 eine Löschspannung VERS an die Bodyleitung BDL anlegen. Bei der Löschspannung VERS kann es sich um eine Hochspannung handeln, die höher ist als die Energieversorgungsspannung.In the erase operation, the
Die an der Wortleitung WL angelegte Massespannung VSS und die an der Bodyleitung BDL angelegte Löschspannung VERS können ein elektrisches Feld über dem ersten Kondensator C1 bilden. Dementsprechend können Elektronen von dem zweiten Floating-Gate FG2 in den dritten Bereich R3 entladen werden. Dadurch kann sich die Schwellenspannung des Verarbeitungselements PE2 verringern.The ground voltage VSS applied to the word line WL and the erase voltage VERS applied to the body line BDL can form an electric field across the first capacitor C1. Accordingly, electrons can be discharged from the second floating gate FG2 to the third region R3. This may lower the threshold voltage of the processing element PE2.
In einigen Ausführungsformen, wie unter Bezugnahme auf
In Operation S330 kann die elektronische Vorrichtung 100 die Lesespannung VRD auswählen. In Operation S340 kann die elektronische Vorrichtung 100 die Leseoperation unter Verwendung der Lesespannung VRD ausführen. Die elektronische Vorrichtung 100 kann die Menge des über eine Sourceleitung ausgegebenen Stroms messen und aufzeichnen.In operation S330, the
Operation S310 bis Operation S340 können einer Abtastung zum Erfassen von Merkmalen der Verarbeitungselemente PE entsprechen. In Operation S350 kann bestimmt werden, ob die Abtastung abgeschlossen ist, und/oder die Operation S310 bis Operation S340 kann wiederholt werden, wenn die Abtastung nicht vollständig ist. Beispielsweise kann die Abtastung bis zu einer bestimmten (und/oder anderweitig bestimmten) Anzahl von Malen ausgeführt werden. Als Antwort auf den Abschluss der Abtastung kann die Operation S360 ausgeführt werden.Operation S310 to operation S340 can correspond to a scan for detecting characteristics of the processing elements PE. In operation S350 it can be determined whether the scan is complete and/or the operation S310 to operation S340 can be repeated if the scan is not complete. For example, the sampling may be performed up to a specified (and/or otherwise specified) number of times. In response to the completion of the scan, operation S360 can be performed.
In Operation S360 kann die elektronische Vorrichtung 100 die mittlere integrale Nichtlinearität (INL) berechnen. Zum Beispiel kann die elektronische Vorrichtung 100 basierend auf den abgetasteten Daten eine Trendlinie erzeugen. Die elektronische Vorrichtung 100 kann eine Differenz zwischen der Trendlinie und den abgetasteten Daten als die integrale Nichtlinearität (INL) berechnen.In operation S360, the
In einigen beispielhaften Ausführungsformen kann die mittlere integrale Nichtlinearität in Form einer Tabelle erzeugt werden. Die mittlere integrale Nichtlinearität kann in Form einer Tabelle der mittleren integralen Nichtlinearität gemäß den Schwellenspannungen der Verarbeitungselemente PE oder der mittleren integralen Nichtlinearität gemäß einem Pegel der Lesespannung VRD erzeugt werden. Die elektronische Vorrichtung 100 kann die Tabelle der mittleren integralen Nichtlinearität speichern (z. B. in einem Bereich des Speichers) und/oder die Programmieroperation basierend auf der gespeicherten Tabelle ausführen.In some example embodiments, the mean integral nonlinearity may be generated in the form of a table. The mean integral non-linearity can be generated in the form of a table of mean integral non-linearity according to the threshold voltages of the processing elements PE or mean integral non-linearity according to a level of the reading voltage VRD. The
In Operation S420 kann die elektronische Vorrichtung 100 eine Ziel-Schwellenspannung Vth basierend auf dem Gewichtswert WV und der mittleren integralen Nichtlinearität (INL) bestimmen. Beispielsweise kann die Ziel-Schwellenspannung Vth basierend auf einer Vorverzerrung zum Anwenden der mittleren integralen Nichtlinearität (INL) vor der Leseoperation (z. B. einer Inferenz-Operation) bestimmt werden.In operation S420, the
In Operation S430 kann die elektronische Vorrichtung 100 basierend auf der aktuellen Schwellenspannung und der Ziel-Schwellenspannung eine Programmierstartspannung VINI bestimmen. Danach kann die Programmieroperation und/oder die Prüfoperation, wie unter Bezugnahme auf
Der Gewichtspuffer 220, der Zeilentreiber 230, der Eingabepuffer 240, der Bitleitungstreiber 250, der Sourceleitungstreiber 260 und der Ausgabepuffer 270 können so konfiguriert werden, dass sie identisch mit dem Gewichtspuffer 120, dem Zeilentreiber 130, dem Eingabepuffer 140, dem Bitleitungstreiber 150, dem Sourceleitungstreiber 160 und dem Ausgabepuffer 170 sind, die unter Bezugnahme auf
In der elektronischen Vorrichtung 200 kann das Verarbeitungselementarray 210 nicht direkt mit den ersten bis n-ten Bodyleitungen BDL1 bis BDLn von
Der Transistor MN, der zweite Kondensator C2, der dritte Kondensator C3, der erste parasitäre Kondensator CP1 und der zweite parasitäre Kondensator CP2 können jeweils dem Transistor MN, dem zweiten Kondensator C2, dem dritten Kondensator C3, dem ersten parasitären Kondensator CP1 und dem zweiten parasitären Kondensator CP2 von
Ein erster Bereich R1 kann in dem gemeinsamen Body CB gebildet werden. Der erste Bereich R1 kann ein N-Typ-Bereich und/oder eine Kombination aus einem N-Typ-Bereich und einem P-Typ-Bereich sein. Der erste Bereich R1 kann dem ersten Anschluss T1 entsprechen. Die Bitleitung BL kann mit dem ersten Bereich R1 verbunden sein. Ein zweiter Bereich R2 kann in dem gemeinsamen Body CB gebildet werden. Der zweite Bereich R2 kann ein N-Typ-Bereich und/oder eine Kombination aus einem N-Typ-Bereich und einem P-Typ-Bereich sein. Der zweite Bereich R2 kann dem zweiten Anschluss T2 entsprechen. Die Sourceleitung SL kann mit dem zweiten Bereich R2 verbunden sein.A first area R1 can be formed in the common body CB. The first region R1 may be an N-type region and/or a combination of an N-type region and a P-type region. The first area R1 can correspond to the first terminal T1. The bit line BL may be connected to the first region R1. A second area R2 can be formed in the common body CB. The second region R2 can be an N type range and/or a combination of an N-type range and a P-type range. The second area R2 can correspond to the second terminal T2. The source line SL may be connected to the second region R2.
Der erste Bereich R1 und der zweite Bereich R2 können innerhalb des gemeinsamen Bodys CB voneinander getrennt sein. Ein Floating-Gate FG kann an dem gemeinsamen Body CB zwischen dem ersten Bereich R1 und dem zweiten Bereich R2 angeordnet sein. Das Floating-Gate FG kann elektrisch von dem gemeinsamen Body CB getrennt sein. Das Floating-Gate FG kann dem Gate des Transistors MN entsprechen. Das Floating-Gate FG, der erste Bereich R1 und der zweite Bereich R2 können den Transistor MN bilden.The first area R1 and the second area R2 can be separated from each other within the common body CB. A floating gate FG can be arranged on the common body CB between the first area R1 and the second area R2. The floating gate FG can be electrically isolated from the common body CB. The floating gate FG can correspond to the gate of the transistor MN. The floating gate FG, the first region R1 and the second region R2 can form the transistor MN.
Das Floating-Gate FG und ein Teil des ersten Bereichs R1 (z. B. der sich nicht unter dem Floating-Gate FG befindet) können den ersten parasitären Kondensator CP1 bilden. Das Floating-Gate FG und der zweite Bereich R2 können den zweiten parasitären Kondensator CP2 bilden.The floating gate FG and a portion of the first region R1 (e.g. not located under the floating gate FG) may form the first parasitic capacitor CP1. The floating gate FG and the second region R2 can form the second parasitic capacitor CP2.
Das Steuer-Gate CG kann an dem Floating-Gate FG angeordnet sein. Das Steuer-Gate CG kann elektrisch von dem Floating-Gate FG getrennt sein. Das Floating-Gate FG und das Steuer-Gate CG können den zweiten Kondensator C2 bilden. Das Floating-Gate FG und ein Teil des ersten Bereichs R1 (der sich z. B. unter dem Floating-Gate FG erstreckt (und/oder sich dort befindet)) können den dritten Kondensator C3 bilden.The control gate CG can be arranged on the floating gate FG. The control gate CG may be electrically isolated from the floating gate FG. The floating gate FG and the control gate CG can form the second capacitor C2. The floating gate FG and a portion of the first region R1 (e.g., extending below (and/or located) the floating gate FG) may form the third capacitor C3.
In der Programmieroperation kann der Bitleitungstreiber 250 eine Massespannung VSS an die Bitleitung BL anlegen und/oder die Bitleitung BL potenzialfrei machen. Bei der Massespannung VSS kann es sich um eine Spannung handeln, die von der externen Vorrichtung an die elektronische Vorrichtung 100 geliefert wird. In der Programmieroperation kann der Sourceleitungstreiber 260 die Massespannung VSS an die Sourceleitung SL anlegen oder die Sourceleitung SL potenzialfrei machen. In der Programmieroperation kann die Steuerlogik 290 die Massespannung VSS an die Bodyleitung BDL anlegen.In the programming operation, the
Ein elektrisches Feld kann durch eine Differenz zwischen der zweiten Programmierspannung VPGM2 und der Massespannung VSS des gemeinsamen Bodys CB erzeugt werden. Das elektrische Feld kann das Tunneln von Ladungen zwischen dem gemeinsamen Body CB und dem Floating-Gate FG aktivieren. So können beispielsweise Elektronen in das Floating-Gate FG injiziert werden, wodurch sich die Schwellenspannung des Verarbeitungselements PE4 erhöht.An electric field can be generated by a difference between the second program voltage VPGM2 and the ground voltage VSS of the common body CB. The electric field can activate tunneling of charges between the common body CB and the floating gate FG. For example, electrons can be injected into the floating gate FG, increasing the threshold voltage of the processing element PE4.
Bei der Programmieroperation kann der Bitleitungstreiber 250 eine dritte Programmierspannung VPGM3 an die Bitleitung BL anlegen. In der Programmieroperation kann der Sourceleitungstreiber 260 die Massespannung VSS an die Sourceleitung SL anlegen. In der Programmieroperation kann die Steuerlogik 290 die Massespannung VSS an die Bodyleitung BDL anlegen.In the programming operation,
Durch eine Differenz zwischen der dritten Programmierspannung VPGM3 und der Massespannung VSS der Sourceleitung SL können heiße Ladungsträger (z. B. Elektronen, die sich mit oder oberhalb einer Sättigungsgeschwindigkeit bewegen) erzeugt werden. Die heißen Ladungsträger (z. B. die Elektronen) können durch eine Differenz zwischen der vierten Programmierspannung VPGM4 der Wortleitung WL und der Massespannung VSS des gemeinsamen Bodys CB in das Floating-Gate FG injiziert werden. Dadurch kann sich eine Schwellenspannung des Verarbeitungselements PE4 erhöhen.A difference between the third programming voltage VPGM3 and the ground voltage VSS of the source line SL can generate hot carriers (eg, electrons moving at or above a saturation speed). The hot charge carriers (e.g. the electrons) can be injected into the floating gate FG by a difference between the fourth programming voltage VPGM4 of the word line WL and the ground voltage VSS of the common body CB. This can increase a threshold voltage of the processing element PE4.
Die Lesespannung VRD kann durch die Kopplung des dritten Kondensators C3 an das Floating-Gate FG übertragen werden. Die an das Floating-Gate FG übertragene Lesespannung VRD kann einen Kanal in einem Bereich des gemeinsamen Bodys CB zwischen dem ersten Bereich R1 und dem zweiten Bereich R2 bilden.The read voltage VRD can be transferred to the floating gate FG by the coupling of the third capacitor C3. The read voltage VRD transmitted to the floating gate FG may form a channel in an area of the common body CB between the first area R1 and the second area R2.
Beispielsweise kann der Transistor MN durch die Lesespannung VRD eingeschaltet werden, und ein Strom (z. B. der Zellstrom ICELL) kann von der Bitleitung BL zur Sourceleitung SL fließen. In der Leseoperation kann der Sourceleitungstreiber 260 den Zellenstrom ICELL von der Sourceleitung SL empfangen.For example, the transistor MN can be turned on by the read voltage VRD and a current (e.g. the cell current ICELL) can flow from the bit line BL to the source line SL. In the read operation, the
Wie oben erläutert, zeigt Gleichung 1 den Zellenstrom ICELL, der modelliert wird, wenn kein dritter Kondensator C3 vorhanden ist. Wie durch Gleichung 1 ausgedrückt, enthält der Zellstrom ICELL eine nichtlineare Komponente. Dementsprechend kann ein Bereich der Lesespannung VRD des Verarbeitungselements PE4 (z. B. ein Operationsbereich des Verarbeitungselements PE4) begrenzt sein.As discussed above, Equation 1 shows the cell current ICELL modeled when no third capacitor C3 is present. As expressed by Equation 1, the cell current ICELL contains a non-linear component. Accordingly, a range of the read voltage VRD of the processing element PE4 (e.g., an operational range of the processing element PE4) may be limited.
Gleichung 4 unten zeigt den Zellenstrom ICELL, der modelliert wird, wenn der dritte Kondensator C3 hinzugefügt wird. In einigen beispielhaften Ausführungsformen kann Gleichung 4 mit einer beliebigen konstanten Zahl multipliziert werden.
Als Antwort auf die Erfüllung einer Bedingung der Gleichung 5 kann eine nichtlineare Komponente von dem Zellstrom ICELL entfernt werden.
Als Antwort auf die Entfernung der nichtlinearen Komponente von dem Zellenstrom ICELL kann die Menge des Zellenstroms ICELL die Form eines linearen Produkts einer Bitleitungsspannung haben. Zum Beispiel kann das Verarbeitungselement PE4 als linearer Multiplizierer arbeiten. Da die Linearität des Verarbeitungselements PE4 verbessert wird, kann der Operationsbereich eines Wertes der Eingabedaten des Verarbeitungselements PE4 erweitert werden.In response to removing the non-linear component from cell current ICELL, the amount of cell current ICELL may take the form of a linear product of a bit line voltage. For example, the processing element PE4 can operate as a linear multiplier. Since the linearity of the processing element PE4 is improved, the operational range of a value of the input data of the processing element PE4 can be expanded.
In einigen beispielhaften Ausführungsformen kann die Leseoperation identisch mit der in
In einigen Ausführungsformen, wie unter Bezugnahme auf
In der Löschoperation kann der Bitleitungstreiber 250 die Bitleitung BL potenzialfrei machen. In der Löschoperation kann der Sourceleitungstreiber 260 die Sourceleitung SL potenzialfrei machen. In der Löschoperation kann die Steuerlogik 290 die Löschspannung VERS an die Bodyleitung BDL anlegen. Bei der Löschspannung VERS kann es sich um eine Hochspannung handeln, die größer ist als die Energieversorgungsspannung.In the erase operation, the
Die an der Wortleitung WL angelegte Massespannung VSS und die an der Bodyleitung BDL angelegte Löschspannung VERS können ein elektrisches Feld bilden. Dementsprechend können Elektronen von dem Floating-Gate FG in den gemeinsamen Body CB entladen werden. Dadurch kann sich eine Schwellenspannung des Verarbeitungselements PE4 verringern.The ground voltage VSS applied to the word line WL and the erase voltage VERS applied to the body line BDL can form an electric field. Accordingly, electrons can be discharged from the floating gate FG into the common body CB. This can reduce a threshold voltage of the processing element PE4.
In einigen Ausführungsformen, wie unter Bezugnahme auf
Gemäß
Der Hauptprozessor 1100 kann alle Operationen des Systems 1000 steuern, insbesondere die Operationen anderer Komponenten, die im System 1000 enthalten sind. Der Hauptprozessor 1100 kann als Allzweckprozessor, als dedizierter Prozessor oder als Anwendungsprozessor implementiert sein.
Der Hauptprozessor 1100 kann mindestens einen CPU-Kern 1110 enthalten und ferner eine Steuerung 1120, die so konfiguriert ist, dass sie die Speicher 1200a und 1200b und/oder die Speichervorrichtungen 1300a und 1300b steuert. In einigen Ausführungsformen kann der Hauptprozessor 1100 ferner einen Beschleuniger 1130 enthalten, bei dem es sich um eine dedizierte Schaltung für eine Hochgeschwindigkeits-Datenoperation handelt, wie etwa eine Datenoperation der künstlichen Intelligenz (KI). Der Beschleuniger 1130 kann eine Grafikverarbeitungseinheit (GPU), eine neuronale Verarbeitungseinheit (NPU) und/oder eine Datenverarbeitungseinheit (DPU) enthalten und kann als Chip implementiert sein, der physisch von den anderen Komponenten des Hauptprozessors 1100 getrennt ist. Der Beschleuniger kann zum Beispiel mit der elektronischen Vorrichtung 100 oder 200 implementiert werden, die in den
Die Speicher 1200a und 1200b können als Hauptspeichervorrichtungen des Systems 1000 verwendet werden. Jeder der Speicher 1200a und 1200b kann einen flüchtigen Speicher, wie z. B. einen statischen Speicher mit wahlfreiem Zugriff (SRAM) und/oder einen dynamischen RAM (DRAM), und/oder einen nichtflüchtigen Speicher, wie z. B. einen Flash-Speicher, einen Phasenwechsel-RAM (PRAM) und/oder einen resistiven RAM (RRAM), enthalten. Die Speicher 1200a und 1200b können im gleichen Gehäuse wie der Hauptprozessor 1100 implementiert sein.The
Der Hauptprozessor 1100 kann in einigen Ausführungsformen einen Teil und/oder die gesamte elektronische Vorrichtung 100 und/oder 200 enthalten. Beispielsweise kann der Hauptprozessor 1100 in einigen Ausführungsformen die Steuerlogik 190 und/oder 290 enthalten. In einigen Ausführungsformen können die CPU-Kerne 1110 mindestens das Verarbeitungselementarray 110 enthalten. In einigen anderen Ausführungsformen kann mindestens einer der Speicher 1200a und/oder 1200b das Verarbeitungselementarray 110, den Gewichtspuffer 120, den Eingabepuffer 140 und/oder den Ausgabepuffer 170 enthalten.
Die Speichervorrichtungen 1300a und 1300b können als nichtflüchtige Vorrichtungen dienen, die so konfiguriert sind, dass sie Daten unabhängig von der Energieversorgung speichern und eine größere Speicherkapazität haben als die Speicher 1200a und 1200b. Die Speichervorrichtungen 1300a und 1300b können jeweils Speichersteuerungen (STRG CTRL) 1310a und 1310b sowie nichtflüchtige Speicher (NVMs) 1320a und 1320b enthalten, die so konfiguriert sind, dass sie Daten über die Steuerung der Speichersteuerungen 1310a und 1310b speichern. Obwohl die NVMs 1320a und 1320b Flash-Speicher mit einer zweidimensionalen (2D) Struktur oder einer dreidimensionalen (3D) V-NAND-Struktur enthalten können, können die NVMs 1320a und 1320b auch andere Typen von NVMs enthalten, wie PRAM und/oder RRAM.
Die Speichervorrichtungen 1300a und 1300b können physisch von dem Hauptprozessor 1100 getrennt und/oder in dem System 1000 enthalten und/oder in demselben Gehäuse wie der Hauptprozessor 1100 implementiert sein. Darüber hinaus können die Speichervorrichtungen 1300a und 1300b Typen von Solid-State-Vorrichtungen (SSDs) und/oder Speicherkarten haben und abtrennbar (z.B. herausnehmbar) und/oder mit anderen Komponenten des Systems 1000 über eine Schnittstelle verbunden sein, wie z.B. die Verbindungsschnittstelle 1480, die unten beschrieben wird. Bei den Speichervorrichtungen 1300a und 1300b kann es sich um Vorrichtungen handeln, auf die ein Standardprotokoll angewendet wird, wie z. B. ein universeller Flash-Speicher (UFS), eine eingebettete Multimediakarte (eMMC) oder ein nichtflüchtiger Express-Speicher (NVMe), ohne darauf beschränkt zu sein.
Die Bildaufnahmevorrichtung 1410 kann Standbilder oder bewegte Bilder aufnehmen. Die Bildaufnahmevorrichtung 1410 kann eine Kamera, einen Camcorder und/oder eine Webcam enthalten.The
Die Benutzereingabevorrichtung 1420 kann verschiedene Arten von Daten empfangen, die durch einen Benutzer des Systems 1000 eingegeben werden, und ein Touchpad, ein Tastenfeld, eine Tastatur, eine Maus und/oder ein Mikrofon enthalten.
Der Sensor 1430 kann verschiedene Arten von physikalischen Größen erfassen, die von außerhalb des Systems 1000 erhalten werden können, und die erfassten physikalischen Größen in elektrische Signale umwandeln. Der Sensor 1430 kann einen Temperatursensor, einen Drucksensor, einen Beleuchtungssensor, einen Positionssensor, einen Beschleunigungssensor, eine Kamera, einen Akustiksensor, einen Biosensor und/oder einen Gyroskopsensor enthalten.The
Die Kommunikationsvorrichtung 1440 kann Signale zwischen anderen Vorrichtungen außerhalb des Systems 1000 gemäß verschiedenen Kommunikationsprotokollen senden und empfangen. Die Kommunikationsvorrichtung 1440 kann eine Antenne, einen Sendeempfänger und/oder ein Modem enthalten.
Die Anzeige 1450 und der Lautsprecher 1460 können als Vorrichtungen dienen, die so konfiguriert sind, dass sie dem Benutzer des Systems 1000 visuelle Informationen bzw. akustische Informationen ausgeben.
Die Energieversorgungsvorrichtung 1470 kann Energie, die von einer in das System 1000 eingebetteten Batterie (nicht dargestellt) und/oder einer externen Source geliefert wird, in geeigneter Weise umwandeln und die umgewandelte Energie an jede Komponente des Systems 1000 liefern.The
Die Verbindungsschnittstelle 1480 kann eine Verbindung zwischen dem System 1000 und einer externen Vorrichtung (nicht dargestellt) bereitstellen, die mit dem System 1000 verbunden ist und in der Lage ist, Daten an das System 1000 zu senden und von diesem zu empfangen. Die Verbindungsschnittstelle 1480 kann unter Verwendung verschiedener Schnittstellenschemata implementiert werden, wie Advanced Technology Attachment (ATA), Serial ATA (SATA), External SATA (e-SATA), Small Computer Small Interface (SCSI), Serial Attached SCSI (SAS), Peripheral Component Interconnection (PCI), PCI express (PCIe), NVMe, IEEE 1394, eine Universal Serial Bus (USB)-Schnittstelle, eine Secure Digital (SD)-Kartenschnittstelle, eine Multi-Media-Card (MMC)-Schnittstelle, eine eMMC-Schnittstelle, eine UFS-Schnittstelle, eine Embedded UFS (eUFS)-Schnittstelle und/oder eine Compact Flash (CF)-Kartenschnittstelle.
In den obigen Ausführungsformen werden Komponenten gemäß der vorliegenden Offenbarung unter Verwendung der Begriffe „erste“, „zweite“, „dritte“ usw. beschrieben. Die Begriffe „erste“, „zweite“, „dritte“ usw. werden jedoch zur Unterscheidung der Komponenten voneinander verwendet und schränken die vorliegende Offenbarung in keiner Weise ein. Die Begriffe „erster“, „zweiter“, „dritter“ usw. bedeuten nicht unbedingt eine Reihenfolge oder eine numerische Bedeutung irgendeiner Form.In the above embodiments, components according to the present disclosure are described using the terms “first”, “second”, “third”, and so on. However, the terms "first", "second", "third", etc. are used to distinguish the components from one another and do not limit the present disclosure in any way. The terms "first", "second", "third", etc. do not necessarily imply an order or numerical meaning of any form.
In den obigen Ausführungsformen wird auf Komponenten gemäß den Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung unter Verwendung von Blöcken Bezug genommen. Die Blöcke können mit verschiedenen Verarbeitungsschaltungen wie Hardware einschließlich Logikschaltungen, einer Hardware/Software-Kombination wie einem Prozessor, der Software ausführt, und/oder einer Kombination davon implementiert werden. Beispielsweise kann die Verarbeitungsschaltung insbesondere eine zentrale Verarbeitungseinheit (CPU), eine arithmetische Logikeinheit (ALU), einen digitalen Signalprozessor, einen Mikrocomputer, ein feldprogrammierbares Gate-Array (FPGA), eine programmierbare Logikeinheit, einen Mikroprozessor, eine anwendungsspezifische integrierte Schaltung (ASIC), komplexe programmierbare Logikvorrichtungen (CPLD), in Hardwarevorrichtungen gesteuerte Firmware, integrierte Schaltungen (IC), einen anwendungsspezifischen IC (ASIC) usw. enthalten, ist aber nicht darauf beschränkt. Die Blöcke können auch Schaltungen enthalten, die mit Halbleiterelementen in einer integrierten Schaltung implementiert sind, oder Schaltungen, die als geistiges Eigentum (IP) eingetragen sind.In the above embodiments, components according to the embodiments of the present disclosure are referred to using blocks. The blocks can be implemented with various processing circuits such as hardware including logic circuits, a hardware/software combination such as a processor executing software, and/or a combination thereof. For example, the processing circuitry may specifically include a central processing unit (CPU), an arithmetic logic unit (ALU), a digital signal processor, a microcomputer, a field programmable gate array (FPGA), a programmable logic unit, a microprocessor, an application specific integrated circuit (ASIC), include but are not limited to complex programmable logic devices (CPLD), firmware controlled in hardware devices, integrated circuits (IC), an application specific IC (ASIC), etc. The blocks may also contain circuits implemented with semiconductor elements in an integrated circuit or circuits registered as intellectual property (IP).
Gemäß der vorliegenden Offenbarung werden Verarbeitungselemente bereitgestellt, bei denen ein kapazitives Element zwischen einem Floating-Gate einer Flash-Speicherzelle und einer Bitleitung der Flash-Speicherzelle hinzugefügt wird. Dementsprechend werden ein Verarbeitungselement mit einem verbesserten Operationsbereich und eine elektronische Vorrichtung mit dem Verarbeitungselement bereitgestellt.According to the present disclosure, processing elements are provided in which a capacitive element is added between a floating gate of a flash memory cell and a bit line of the flash memory cell. Accordingly, a processing element with an improved range of operation and an electronic device including the processing element are provided.
Während die vorliegende Offenbarung unter Bezugnahme auf einige beispielhafte Ausführungsformen davon beschrieben wurde, wird es für diejenigen, die über gewöhnliche Fachkenntnisse verfügen, offensichtlich sein, dass verschiedene Änderungen und Modifikationen daran vorgenommen werden können, ohne von dem Geist und dem Umfang der vorliegenden Offenbarung, wie in den folgenden Ansprüchen dargelegt, abzuweichen.While the present disclosure has been described with reference to some exemplary embodiments thereof, it will be apparent to those of ordinary skill in the art that various changes and modifications can be made therein without departing from the spirit and scope of the present disclosure, such as set out in the following claims.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN DESCRIPTION
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Zitierte PatentliteraturPatent Literature Cited
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