DE102021119369A1 - LEVEL SHIFT CIRCUIT AND METHOD - Google Patents
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Abstract
Ein Schaltkreis umfasst einen Vorspannungsschaltkreis und einen Pegelverschieber. Der Vorspannungsschaltkreis weist einen ersten und einen zweiten Eingangsanschluss auf, die dafür eingerichtet sind, eine erste und eine zweite Versorgungsspannung zu empfangen, und ist dafür eingerichtet, eine Vorspannung zu generieren, die den größeren eines ersten Spannungspegels der ersten Versorgungsspannung und eines zweiten Spannungspegels der zweiten Versorgungsspannung aufweist. Der Pegelverschieber umfasst einen ersten PMOS-Transistor, der dafür eingerichtet ist, die erste Versorgungsspannung zu empfangen, und einen zweiten PMOS-Transistor, der dafür eingerichtet ist, die zweite Versorgungsspannung zu empfangen, und jeder des ersten und des zweiten PMOS-Transistors weist einen Volumenanschluss auf, der dafür eingerichtet ist, die Vorspannung zu empfangen.A switching circuit includes a bias circuit and a level shifter. The bias circuit has first and second input terminals configured to receive first and second supply voltages and configured to generate a bias voltage that is the greater of a first voltage level of the first supply voltage and a second voltage level of the second has supply voltage. The level shifter includes a first PMOS transistor configured to receive the first supply voltage and a second PMOS transistor configured to receive the second supply voltage, and each of the first and second PMOS transistors has a Volume port configured to receive the bias.
Description
HINTERGRUNDBACKGROUND
Integrierte Schaltkreise (Integrated Circuits, ICs) weisen mitunter mehrere Abschnitte auf, die unabhängig gesteuerten Stromversorgungsbereichen entsprechen. In einigen Fällen hat ein erster Stromversorgungsbereich einen ersten Versorgungsspannungspegel, und ein zweiter Stromversorgungsbereich hat einen zweiten Versorgungsspannungspegel, der sich von dem ersten Versorgungsspannungspegel unterscheidet. Signale werden zwischen diesen Abschnitten oft unter Verwendung von Pegelverschiebern ausgebreitet, die logische Pegel zwischen dem ersten und dem zweiten Versorgungsspannungspegel verschieben.Integrated circuits (ICs) sometimes have multiple sections that correspond to independently controlled power supply regions. In some cases, a first power supply range has a first supply voltage level and a second power supply range has a second supply voltage level that is different than the first supply voltage level. Signals are often propagated between these sections using level shifters that shift logic levels between the first and second supply voltage levels.
Um die logischen Pegel verschieben zu können, weisen Pegelverschieber in der Regel sowohl n-Metalloxid-Halbleiter-Transistoren (NMOS-Transistoren) als auch p-Metalloxid-Halbleiter-Transistoren (PMOS-Transistoren) auf, die sowohl im ersten als auch im zweiten Stromversorgungsbereich arbeiten.In order to be able to shift the logic levels, level shifters usually have both n-metal-oxide-semiconductor (NMOS) transistors and p-metal-oxide-semiconductor (PMOS) transistors, which are used in both the first and second power supply area work.
Figurenlistecharacter list
Aspekte der vorliegenden Offenbarung werden am besten anhand der folgenden detaillierten Beschreibung verstanden, wenn sie in Verbindung mit den beiliegenden Figuren gelesen wird. Es ist anzumerken, dass gemäß der gängigen Praxis in der Industrie verschiedene Strukturelemente nicht maßstabsgetreu gezeichnet sind. Die Abmessungen der verschiedenen Strukturelemente können vielmehr im Interesse der Übersichtlichkeit der Besprechung nach Bedarf vergrößert oder verkleinert werden.
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1A und1B sind Schaubilder eines Pegelverschiebungsschaltkreises gemäß einigen Ausführungsformen. -
2 ist ein Schaubild eines Pegelverschiebers gemäß einigen Ausführungsformen. -
3A ist eine schematische Darstellung eines Vorspannungsschaltkreises gemäß einigen Ausführungsformen. -
3B ist ein Schaubild eines IC-Layoutschaubildes und eines Pegelverschiebungsschaltkreises gemäß einigen Ausführungsformen. -
4A ist eine schematische Darstellung eines Vorspannungsschaltkreises gemäß einigen Ausführungsformen. -
4B ist ein Schaubild eines IC-Layoutschaubildes und eines Pegelverschiebungsschaltkreises gemäß einigen Ausführungsformen. -
5 ist ein Schaubild eines Verfahrens zum Betreiben eines Pegelverschiebungsschaltkreises gemäß einigen Ausführungsformen. -
6 ist ein Schaubild eines Verfahrens zum Generieren eines IC-Layoutschaubildes gemäß einigen Ausführungsformen. -
7 ist ein Schaubild eines Verfahrens zum Herstellen eines Pegelverschiebungsschaltkreises gemäß einigen Ausführungsformen. -
8 ist ein Blockschaubild eines IC-Layoutschaubild-Generierungssystems gemäß einigen Ausführungsformen. -
9 ist ein Blockdiagramm eines IC-Herstellungssystems und eines damit verbundenen IC-Herstellungsflusses gemäß einigen Ausführungsformen.
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1A and1B 10 are diagrams of a level shift circuit according to some embodiments. -
2 12 is a diagram of a level shifter according to some embodiments. -
3A 1 is a schematic diagram of a biasing circuit according to some embodiments. -
3B 12 is a diagram of an IC layout diagram and a level shift circuit according to some embodiments. -
4A 1 is a schematic diagram of a biasing circuit according to some embodiments. -
4B 12 is a diagram of an IC layout diagram and a level shift circuit according to some embodiments. -
5 10 is a diagram of a method of operating a level shift circuit according to some embodiments. -
6 12 is a diagram of a method for generating an IC layout diagram, according to some embodiments. -
7 10 is a diagram of a method for fabricating a level shift circuit according to some embodiments. -
8th 12 is a block diagram of an IC layout diagram generation system according to some embodiments. -
9 12 is a block diagram of an IC manufacturing system and an associated IC manufacturing flow, according to some embodiments.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNGDETAILED DESCRIPTION
Die folgende Offenbarung stellt viele verschiedene Ausführungsformen oder Beispiele zum Implementieren verschiedener Merkmale des hier besprochenen Gegenstandes bereit. Im Folgenden werden konkrete Beispiele für Komponenten, Werte, Operationen, Materialien, Anordnungen, oder dergleichen beschrieben, um die vorliegende Offenlegung zu vereinfachen. Diese sind natürlich nur Beispiele und dienen nicht der Einschränkung. Andere Komponenten, Werte, Operationen, Materialien, Anordnungen, oder dergleichen werden ebenfalls in Betracht gezogen. Zum Beispiel kann das Bilden eines ersten Strukturelements über oder auf einem zweiten Strukturelement in der folgenden Beschreibung Ausführungsformen umfassen, bei denen das erste und das zweite Strukturelement in direktem Kontakt gebildet sind, und kann auch Ausführungsformen umfassen, bei denen zusätzliche Strukturelemente zwischen dem ersten und dem zweiten Strukturelement gebildet sein können, dergestalt, dass das erste und das zweite Strukturelement nicht unbedingt in direktem Kontakt stehen. Darüber hinaus kann die vorliegende Offenbarung Bezugszahlen und/oder -buchstaben in den verschiedenen Beispielen wiederholen. Diese Wiederholung dient dem Zweck der Einfachheit und Klarheit und schafft nicht automatisch eine Beziehung zwischen den verschiedenen besprochenen Ausführungsformen und/oder Einrichtungen.The following disclosure provides many different embodiments or examples for implementing various features of the subject matter discussed herein. In the following, specific examples of components, values, operations, materials, configurations, or the like are described in order to simplify the present disclosure. Of course, these are only examples and are not intended to be limiting. Other components, values, operations, materials, configurations, or the like are also contemplated. For example, forming a first feature over or on a second feature in the following description may include embodiments in which the first and second features are formed in face-to-face contact, and may also include embodiments in which additional features are formed between the first and the second structural element can be formed in such a way that the first and the second structural element are not necessarily in direct contact. In addition, the present disclosure may repeat reference numbers and/or letters in the various examples. This repetition is for the purpose of simplicity and clarity and does not automatically create a relationship between the various embodiments and/or devices discussed.
Des Weiteren können räumlich relative Begriffe, wie zum Beispiel „unterhalb“, „unter“, „unterer“, „oberhalb“, „oberer“ und dergleichen, im vorliegenden Text zur Vereinfachung der Beschreibung verwendet werden, um die Beziehung eines Elements oder Merkmals zu einem oder mehreren anderen Elementen oder Merkmalen, wie in den Figuren veranschaulicht, zu beschreiben. Die räumlich relativen Begriffe sollen auch andere Ausrichtungen der Vorrichtung im Gebrauch oder Betrieb neben der in den Figuren gezeigten Ausrichtung umfassen. Die Vorrichtung kann auch anders ausgerichtet sein (um 90 Grad gedreht, oder sonstige Ausrichtungen), und die im vorliegenden Text verwendeten räumlich relativen Deskriptoren können gleichermaßen entsprechend interpretiert werden.Furthermore, spatially relative terms, such as "below,""below,""lower,""above,""upper," and the like, may be used herein for ease of description to indicate the relationship of an element or feature one or more other elements or features as illustrated in the figures. The spatially relative terms are intended to include other orientations of the Apparatus in use or operation other than in the orientation shown in the figures. The device may be otherwise oriented (rotated 90 degrees, or other orientations) and the spatially relative descriptors used herein may similarly be interpreted accordingly.
Ein Pegelverschiebungsschaltkreis weist einen Vorspannungsschaltkreis und einen Pegelverschieber auf, der einen ersten und einen zweiten PMOS-Transistor aufweist. Der erste und der zweite PMOS-Transistor sind in einer gemeinsamen n-Mulde angeordnet und dafür eingerichtet, in einem ersten bzw. einem zweiten Stromversorgungsbereich zu arbeiten. Der Vorspannungsschaltkreis ist dafür eingerichtet, die gemeinsame n-Mulde auf der Grundlage des größeren eines ersten Spannungspegels des ersten Stromversorgungsbereichs und eines zweiten Spannungspegels des zweiten Stromversorgungsbereichs vorzuspannen. Durch das Integrieren des Vorspannungsschaltkreises, der dafür eingerichtet ist, die gemeinsame n-Mulde vorzuspannen, ist der Pegelverschiebungsschaltkreis in der Lage, Latch-up-Risiken zu vermeiden, während er im Vergleich zu Ansätzen, bei denen Pegelverschieber PMOS-Transistoren aufweisen, die dafür eingerichtet sind, in separaten Stromversorgungsbereichen zu arbeiten und in separat vorgespannten n-Mulden positioniert sind, einen geringeren Platzbedarf hat.A level shift circuit includes a bias circuit and a level shifter including first and second PMOS transistors. The first and second PMOS transistors are arranged in a common n-well and are configured to operate in first and second power supply ranges, respectively. The bias circuit is configured to bias the common n-well based on the larger of a first voltage level of the first power supply region and a second voltage level of the second power supply region. By integrating the biasing circuitry designed to bias the common n-well, the level shifter circuit is able to avoid latch-up risks while compared to approaches where level shifters have PMOS transistors responsible for it configured to operate in separate power supply regions and positioned in separately biased n-wells has a smaller footprint.
Der Pegelverschiebungsschaltkreis 100, der in einigen Ausführungsformen auch als Schaltkreis 100 oder IC 100 bezeichnet wird, ist ein IC, der dafür eingerichtet ist, in einem ersten und einem zweiten Stromversorgungsbereich (nicht bezeichnet) zu arbeiten. Der erste Stromversorgungsbereich weist eine erste Stromverteilungsstruktur auf, die einen Stromversorgungsknoten NVDD1 aufweist, der dafür eingerichtet ist, eine Versorgungsspannung VDD1 zu haben, und weist einen Referenzknoten NVSS auf, der dafür eingerichtet ist, eine Referenzspannung VSS zu haben. Der zweite Stromversorgungsbereich weist eine zweite Stromverteilungsstruktur auf, die den Referenzknoten NVSS und einen Stromversorgungsknoten NVDD2 aufweist, der dafür eingerichtet ist, eine von der Versorgungsspannung VDD1 getrennte Versorgungsspannung VDD2 zu haben.
Jeder des ersten und des zweiten Stromversorgungsbereichs kann in einem Einschaltmodus oder in einem Ausschaltmodus betrieben werden. Im Einschaltmodus hat die Versorgungsspannung VDD1 am Stromversorgungsknoten NVDD1 einen ersten Versorgungsspannungspegel des ersten Stromversorgungsbereichs, und die Versorgungsspannung VDD2 am Stromversorgungsknoten NVDD2 hat einen zweiten Versorgungsspannungspegel des zweiten Stromversorgungsbereichs. Im Abschaltmodus haben sowohl die Versorgungsspannung VDD1 am Stromversorgungsknoten NVDD1 als auch die Versorgungsspannung VDD2 am Stromversorgungsknoten NVDD2 einen Referenzspannungspegel, zum Beispiel einen Erdungsspannungspegel, der Referenzspannung VSS am Referenzknoten NVSS. Es wird davon ausgegangen, dass eine Spannung, zum Beispiel die Versorgungsspannung VDD1, einen bestimmten Spannungspegel, zum Beispiel den ersten Versorgungsspannungspegel, hat, indem sie einen Spannungspegel auf oder nahe dem gegebenen Spannungspegel aufweist.Each of the first and second power supply sections can be operated in an on-mode or in an off-mode. In power-on mode, supply voltage VDD1 at power supply node NVDD1 has a first supply voltage level of the first power supply range and supply voltage VDD2 at power supply node NVDD2 has a second supply voltage level of the second power supply range. In power-down mode, both supply voltage VDD1 at power supply node NVDD1 and supply voltage VDD2 at power supply node NVDD2 have a reference voltage level, for example a ground voltage level, of reference voltage VSS at reference node NVSS. A voltage, for example the supply voltage VDD1, is assumed to have a certain voltage level, for example the first supply voltage level, by having a voltage level at or close to the given voltage level.
In verschiedenen Ausführungsformen ist der erste Versorgungsspannungspegel kleiner als, gleich dem, oder größer als der zweite Versorgungsspannungspegel.In various embodiments, the first supply voltage level is less than, equal to, or greater than the second supply voltage level.
Wie in
Wie in
Der Pegelverschieber 120 hat einen Eingangsanschluss 121, der mit n-Mulde NW gekoppelt ist, einen Eingangsanschluss 123, einen Ausgangsanschluss 122, und ist mit jedem der Stromversorgungsknoten NVDD1 und NVDD2 und dem Referenzknoten NVSS gekoppelt.The
Zwei oder mehr Schaltkreiselemente gelten als gekoppelt, wenn eine oder mehrere direkte elektrische Verbindungen und/oder eine oder mehrere indirekte elektrische Verbindungen, die eine oder mehrere Logikvorrichtungen, zum Beispiel einen Inverter oder ein Logikgatter, zwischen den zwei oder mehr Schaltkreiselementen enthalten, bestehen. In einigen Ausführungsformen kann eine elektrische Kommunikation zwischen den zwei oder mehr gekoppelten Schaltkreiselementen durch die eine oder die mehreren Logikvorrichtungen modifiziert, zum Beispiel invertiert oder abhängig gemacht, werden.Two or more circuit elements are said to be coupled when there are one or more direct electrical connections and/or one or more indirect electrical connections involving one or more logic devices, such as an inverter or a logic gate, between the two or more circuit elements. In some embodiments, electrical communication between the two or more coupled circuit elements may be modified, eg, inverted or made dependent, by the one or more logic devices.
Der Vorspannungsschaltkreis 110 ist auf diese Weise dafür eingerichtet, an dem Eingangsanschluss 111 die Versorgungsspannung VDD1, an dem Eingangsanschluss 113 die Versorgungsspannung VDD2, und an dem Eingangsanschluss 115, falls vorhanden, die Referenzspannung VSS zu empfangen.The biasing
Der Vorspannungsschaltkreis 110 ist ein elektronischer Schaltkreis, der zwei oder mehr Transistoren (in den
In einigen Ausführungsformen ist der Vorspannungsschaltkreis 110 dafür eingerichtet, eine Vorspannung VNW zu generieren, die einen Vorspannungspegel aufweist, der gleich dem größeren des Spannungspegels der Versorgungsspannung VDD1 und des Spannungspegels der Versorgungsspannung VDD2 ist. In einigen Ausführungsformen ist der Vorspannungsschaltkreis 110 dafür eingerichtet, eine Vorspannung VNW zu generieren, die einen Vorspannungspegel aufweist, der gleich einem Bruchteil des größeren des Spannungspegels der Versorgungsspannung VDD1 und des Spannungspegels der Versorgungsspannung VDD2 ist, zum Beispiel einem Bruchteil, der dem größeren Spannungspegel, durch einen Spannungsteiler (nicht gezeigt) geteilt, entspricht.In some embodiments, the
In verschiedenen Ausführungsformen weist der Vorspannungsschaltkreis 110 einen Vorspannungsschaltkreis 300 auf, der unten mit Bezug auf die
Der Pegelverschieber 120 ist, wie oben beschrieben, dafür eingerichtet, die Versorgungsspannungen VDD1 und VDD2, die Referenzspannung VSS und die Vorspannung VNW am Eingangsanschluss 121 und ein Eingangssignal IN am Eingangsanschluss 123 zu empfangen und ein Ausgangssignal OUT am Ausgangsanschluss 122 in Reaktion auf das Eingangssignal IN zu generieren.As described above, the
Das Eingangssignal IN ist ein elektronisches Signal, das dafür eingerichtet ist, zwischen einem logisch hohen Zustand, der dem Spannungspegel der Versorgungsspannung VDD1 entspricht, und einem logisch niedrigen Zustand, der dem Referenzspannungspegel der Referenzspannung VSS entspricht, zu variieren.The input signal IN is an electronic signal arranged to vary between a logic high state corresponding to the voltage level of the supply voltage VDD1 and a logic low state corresponding to the reference voltage level of the reference voltage VSS.
Der Pegelverschieber 120 ist ein elektronischer Schaltkreis, der mindestens einen PMOS-Transistor (in den
Ein Volumenanschluss ist ein Transistorstrukturelement, das der Substratregion oder der n-Mulde entspricht, in der der Transistor positioniert ist. Ein S/D-Anschluss ist eines von zwei Strukturelementen eines gegebenen Transistors, das Abschnitte der Substratregion oder n-Mulde aufweist, deren Dotierungstyp dem der Substratregion oder n-Mulde entgegengesetzt ist, zum Beispiel ein p-S/D-Anschluss eines PMOS-Transistors, der in einer n-Mulde positioniert ist.A bulk lead is a transistor feature that corresponds to the body region or n-well in which the transistor is located. An S/D terminal is one of two structural elements of a given transistor having portions of the body region or n-well whose doping type is opposite to that of the body region or n-well, for example a p-type S/D terminal of a PMOS transistor, which is positioned in an n-well.
Der Pegelverschieber 120 weist zwei oder mehr zusätzliche PMOS-Transistoren (in den
In einigen Ausführungsformen weist der Pegelverschieber 120 auch einen oder mehrere NMOS-Transistoren (in den
Der Pegelverschieber 120, der den mindestens einen PMOS-Transistor, die zwei oder mehr zusätzlichen PMOS-Transistoren und den einen oder die mehreren NMOS-Transistoren (falls vorhanden) aufweist, ist dafür eingerichtet, in Reaktion auf das Eingangssignal IN ein Ausgangssignal OUT zu generieren und zwischen dem logisch hohen Zustand, der dem Spannungspegel der Versorgungsspannung VDD2 entspricht, und dem logisch niedrigen Zustand, der dem Referenzspannungspegel der Referenzspannung VSS entspricht, zu variieren. In einigen Ausführungsformen weist der Ausgangsanschluss 122 zwei Signalpfade auf, und der Pegelverschieber 120 ist dafür eingerichtet, das Ausgangssignal OUT als ein Differenzsignal zu generieren, das komplementäre Komponenten auf den Signalpfaden aufweist, wobei jede Komponente zwischen dem logisch hohen Zustand, der dem Spannungspegel der Versorgungsspannung VDD2 entspricht, und dem logisch niedrigen Zustand, der dem Referenzspannungspegel der Referenzspannung VSS entspricht, zu variieren.The
In einigen Ausführungsformen weist der Pegelverschieber 120 einen Pegelverschieber 200 auf, der unten in Bezug auf die
Wie in
Durch die oben besprochene Einrichtung weisen die PMOS-Transistoren des Pegelverschiebungsschaltkreises 100 Diodenübergänge auf, die auf p-S/D-Anschlüssen und n-Volumenanschlüssen basieren, die der n-Mulde NW entsprechen. Der Pegelverschiebungsschaltkreis 100 weist einen Vorspannungsschaltkreis 110 auf, der dafür eingerichtet ist, die n-Mulde NW vorzuspannen, indem er kontinuierlich eine Vorspannung VNW generiert, die einen oder mehrere Vorspannungspegel aufweist, die ausreichend groß sind, um eine Vorwärtsvorspannung der Diodenübergänge der PMOS-Transistoren des Pegelverschiebers 120 zu vermeiden.By the arrangement discussed above, the PMOS transistors of the
Während des Betriebes, wenn sowohl der erste als auch der zweite Stromversorgungsbereich im Einschaltmodus arbeitet, generiert der Vorspannungsschaltkreis 110 eine Vorspannung VNW, die den Vorspannungspegel aufweist, auf der Grundlage der größeren der Versorgungsspannung VDD1, die den ersten Versorgungsspannungspegel aufweist, und der Versorgungsspannung VDD2, die den zweiten Versorgungsspannungspegel aufweist. Wenn der erste Stromversorgungsbereich im Einschaltmodus arbeitet und der zweite Stromversorgungsbereich im Ausschaltmodus arbeitet, so generiert der Vorspannungsschaltkreis 110 eine Vorspannung VNW, deren Vorspannungspegel gleich dem gesamten oder einem Bruchteil des ersten Versorgungsspannungspegels ist. Wenn der erste Stromversorgungsbereich im Ausschaltmodus arbeitet und der zweite Stromversorgungsbereich im Einschaltmodus arbeitet, so generiert der Vorspannungsschaltkreis 110 eine Vorspannung VNW, die den Vorspannungspegel aufweist, deren Vorspannungspegel gleich dem gesamten oder einem Bruchteil des zweiten Versorgungsspannungspegels ist.During operation, when both the first and second power supply regions operate in the on-mode, the
Wenn sowohl der erste als auch der zweite Stromversorgungsbereich im Energiesparmodus arbeitet, so generiert der Vorspannungsschaltkreis 110 eine Vorspannung VNW, deren Vorspannungspegel gleich dem Referenzspannungspegel ist, auf der Grundlage jeder der Versorgungsspannungen VDD1 und VDD2, die den Referenzspannungspegel haben. Weil die S/D-Anschlüsse jedes der PMOS-Transistoren des Pegelverschiebers 120 ebenfalls den Referenzspannungspegel haben, wenn jede der Versorgungsspannungen VDD1 und VDD2 den Referenzspannungspegel haben, wird eine Vorwärtsvorspannung der Flächendioden der PMOS-Transistoren vermieden.When both the first and second power supply sections operate in the power saving mode, the
In einigen Ausführungsformen ist die n-Mulde NW eine n-Mulde aus mehreren n-Mulden NW, die PMOS-Transistoren des Pegelverschiebungsschaltkreises 100 sind innerhalb der mehreren n-Mulden NW positioniert, und der Vorspannungsschaltkreis 110 ist dafür eingerichtet, jede n-Mulde NW der mehreren n-Mulden NW vorzuspannen, indem er, wie oben beschrieben, eine Vorspannung VNW so generiert, dass eine Vorwärtsvorspannung der Diodenübergänge der PMOS-Transistoren des Pegelverschiebers 120 vermieden wird.In some embodiments, the n-well NW is an n-well of multiple n-wells NW, the PMOS transistors of the
In verschiedenen Ausführungsformen wird jede der einzelnen n-Mulde NW und der mehreren n-Mulden NW, die dafür eingerichtet sind, durch die durch den Vorspannungsschaltkreis 110 generierte Vorspannung VNW vorgespannt werden, als eine gemeinsame n-Mulde des Pegelverschiebungsschaltkreises 100 bezeichnet.In various embodiments, each of the single n-well NW and the plurality of n-wells NW configured to be biased by the bias voltage VNW generated by the biasing
In anderen Ansätzen, bei denen Pegelverschieber PMOS-Transistoren aufweisen, die dafür eingerichtet sind, in separaten Stromversorgungsbereichen zu arbeiten, und in separat vorgespannten n-Mulden positioniert sind, sind die separat vorgespannten n-Mulden auf der Grundlage der separaten Stromversorgungsbereichs-Vorspannungspegel um Mindestdistanzen voneinander beabstandet, um Latch-up-Risiken zu verringern. In Ausführungsformen, in denen die gemeinsame n-Mulde die einzelne n-Mulde NW aufweist, wird ein n-Mulden-Abstand vermieden. In Ausführungsformen, in denen die gemeinsame n-Mulde mehrere n-Mulden NW aufweist, kann der n-Mulden-Abstand im Vergleich zu den n-Mulden-Abständen in solchen anderen Ansätzen verringert werden, weil jede n-Mulde der mehreren n-Mulden NW durch dieselbe Vorspannung VNW vorgespannt wird.In other approaches where level shifters have PMOS transistors configured to operate in separate power supply domains and are positioned in separately biased n-wells, the separately biased n-wells are spaced around minimum distances based on the separate power supply domain bias levels spaced apart to reduce latch-up risks. In embodiments where the common n-well comprises the single n-well NW, n-well spacing is avoided. In embodiments where the common n-well has multiple n-wells NW, the n-well spacing may be reduced compared to the n-well spacings in such other approaches because each n-well of the multiple n-wells NW is biased by the same bias voltage VNW.
Durch die oben beschriebene Einrichtung zum Zweck des Vermeidens der Vorwärtsvorspannung von PMOS-Diodenübergängen des Pegelverschiebers 120 ist der Pegelverschiebungsschaltkreis 100, der den Vorspannungsschaltkreis 110 aufweist, in der Lage, Latch-up-Risiken zu vermeiden und gleichzeitig den Platzbedarf im Vergleich zu Ansätzen zu verringern, bei denen die Pegelverschieber PMOS-Transistoren aufweisen, die dafür eingerichtet sind, in separaten Stromversorgungsbereichen zu arbeiten und in separat vorgespannten n-Mulden positioniert zu sein.By providing the above-described arrangement for the purpose of avoiding the forward biasing of PMOS diode transitions of the
Der Pegelverschieber 200 hat die Stromversorgungsknoten NVDD1 und NVDD2, den Referenzknoten NVSS, die Eingangsanschlüsse 121 und 123 und den Ausgangsanschluss 122, die als Signalpfade 122A und 122B dargestellt sind, wie oben in Bezug auf die
Der Pegelverschieber 200 weist auch PMOS-Transistoren P1-P3, NMOS-Transistoren N1-N3 und einen Knoten ND1 auf. Der PMOS-Transistor P1, der Knoten ND1 und der NMOS-Transistor N1 sind zwischen den Stromversorgungsknoten NVDD1 und den Referenzknoten NVSS in Reihe geschaltet, und die Gates des PMOS-Transistors P1 und des NMOS-Transistors N1 sind miteinander und mit dem Eingangsanschluss 123 gekoppelt. Der PMOS-Transistor P1 und der NMOS-Transistor N1 sind dadurch als ein Inverter ausgelegt, die dafür eingerichtet sind, während des Betriebes das am Eingangsanschluss 123 empfangene Signal IN zu invertieren und das invertierte Signal IN am Knoten ND1 ausgeben.
Der PMOS-Transistor P2, der Signalpfad 122A und der NMOS-Transistor N2 sind zwischen dem Stromversorgungsknoten NVDD2 und dem Referenzknoten NVSS in Reihe geschaltet, ein Gate des PMOS-Transistors P2 ist mit dem Signalpfad 122B gekoppelt, und ein Gate des NMOS-Transistors N2 ist mit dem Knoten ND1 gekoppelt. Der PMOS-Transistor P3, der Signalpfad 122B und der NMOS-Transistor N3 sind zwischen dem Stromversorgungsknoten NVDD2 und dem Referenzknoten NVSS in Reihe geschaltet, ein Gate des PMOS-Transistors P3 ist mit dem Signalpfad 122A gekoppelt, und ein Gate des NMOS-Transistors N3 ist mit dem Eingangsanschluss 123 gekoppelt.PMOS transistor P2,
Die PMOS-Transistoren P2 und P3 und die NMOS-Transistoren N2 und N3 sind dadurch dafür eingerichtet, während des Betriebes das Eingangssignal IN am Eingangsanschluss 123 und das invertierte Eingangssignal IN am Knoten ND1 zu empfangen und das Ausgangssignal OUT als komplementäre Komponenten OUTA auf dem Signalpfad 122A und OUTB auf dem Signalpfad 122B zu generieren, wie oben mit Bezug auf die
Ein Volumenanschluss jedes der PMOS-Transistoren P1-P3 ist mit dem Eingangsanschluss 121 gekoppelt und dadurch dafür eingerichtet, eine Vorspannung VNW zu empfangen. In verschiedenen Ausführungsformen sind die Volumenanschlüsse der PMOS-Transistoren P1-P3 mit einem selben Eingangsanschluss 121 gekoppelt, der mit einer einzelnen n-Mulde NW gekoppelt ist, und sind dadurch dafür eingerichtet, die Vorspannung VNW zu empfangen, oder sie sind mit mehreren Eingangsanschlüssen 121 gekoppelt, die mit mehreren n-Mulden NW gekoppelt sind, und sind dadurch dafür eingerichtet, die Vorspannung VNW zu empfangen.A bulk terminal of each of the PMOS transistors P1-P3 is coupled to the
Ein Volumenanschluss jedes der NMOS-Transistoren N1-N3 ist mit dem Referenzknoten NVSS gekoppelt und ist dadurch dafür eingerichtet, die Referenzspannung VSS zu empfangen.A bulk terminal of each of the NMOS transistors N1-N3 is coupled to the reference node NVSS and is thereby configured to receive the reference voltage VSS.
Durch die oben besprochene Einrichtung hat der Pegelverschieber 200 Eigenschaften gemäß denen, die oben in Bezug auf den Pegelverschieber 120 besprochen wurden, dergestalt, dass der Schaltkreis 100, der den Pegelverschieber 200 aufweist, in der Lage ist, die oben in Bezug auf die
Jedes der IC-Layoutschaubilder 100A und 100B ist ein nicht-einschränkendes Beispiel eines IC-Layoutschaubildes, das durch Ausführen eines Teils oder der Gesamtheit eines Verfahrens 600 generiert wird, das unten in Bezug auf
Die Schaubilder der
Der Vorspannungsschaltkreis 300 weist die Stromversorgungsknoten NVDD1 und NVDD2 und dem Ausgangsanschluss 112 auf und ist dadurch dafür eingerichtet, die Versorgungsspannung VDD1 am Stromversorgungsknoten NVDD1 und die Versorgungsspannung VDD2 am Stromversorgungsknoten NVDD2 zu empfangen, die jeweils oben in Bezug auf die
Der Vorspannungsschaltkreis 300 weist außerdem PMOS-Transistoren P4 und P5 auf. Der PMOS-Transistor P4 ist zwischen dem Stromversorgungsknoten NVDD1 und dem Ausgangsanschluss 112 gekoppelt, ein Gate des Transistors P4 ist mit dem Stromversorgungsknoten NVDD2 gekoppelt, und ein Volumenanschluss des Transistors P4 ist mit dem Ausgangsanschluss 112 gekoppelt. Der PMOS-Transistor P5 ist zwischen dem Stromversorgungsknoten NVDD2 und dem Ausgangsanschluss 112 gekoppelt, ein Gate des Transistors P5 ist mit dem Stromversorgungsknoten NVDD1 gekoppelt, und ein Volumenanschluss des Transistors P5 ist mit dem Ausgangsanschluss 112 gekoppelt.The
Die PMOS-Transistoren P4 und P5 sind dadurch als kreuzgekoppelte PMOS-Transistoren ausgelegt, bei denen sowohl ein erster S/D-Anschluss des PMOS-Transistors P4 als auch das Gate des PMOS-Transistors P5 dafür eingerichtet sind, eine Versorgungsspannung VDD1 zu empfangen, und sowohl ein erster S/D-Anschluss des PMOS-Transistors P5 als auch das Gate des PMOS-Transistors P4 dafür eingerichtet sind, eine Versorgungsspannung VDD2 zu empfangen.The PMOS transistors P4 and P5 are thus designed as cross-coupled PMOS transistors in which both a first S/D connection of the PMOS transistor P4 and the gate of the PMOS transistor P5 are set up to receive a supply voltage VDD1, and both a first S/D terminal of the PMOS transistor P5 and the gate of the PMOS transistor P4 are arranged to receive a supply voltage VDD2.
Die zweiten S/D-Anschlüsse der PMOS-Transistoren P4 und P5 sind miteinander und mit dem Ausgangsanschluss 112 gekoppelt. In einigen Ausführungsformen sind die zweiten S/D-Anschlüsse der PMOS-Transistoren P4 und P5 ein selber S/D-Anschluss, der durch die PMOS-Transistoren P4 und P5 gemeinsam genutzt wird. In einigen Ausführungsformen entspricht der Ausgangsanschluss 112 der n-Mulde NW, in der die PMOS-Transistoren P4 und P5 positioniert sind.The second S/D terminals of the PMOS transistors P4 and P5 are coupled to each other and to the
In einigen Ausführungsformen ist, wenn sowohl der erste als auch der zweite Stromversorgungsbereich im Einschaltmodus arbeiten, der erste Versorgungsspannungspegel der Versorgungsspannung VDD1 um eine Größenordnung, die größer als eine Schwellenspannung des PMOS-Transistors P4 ist, größer als der zweite Versorgungsspannungspegel der Versorgungsspannung VDD2. Wenn der erste Stromversorgungsbereich im Einschaltmodus arbeitet und der zweite Stromversorgungsbereich im Ausschaltmodus arbeitet, so ist der erste Versorgungsspannungspegel der Versorgungsspannung VDD1 um eine Größenordnung, die größer als die Schwellenspannung des PMOS-Transistors P4 ist, größer als der Referenzspannungspegel der Versorgungsspannung VDD2. In solchen Ausführungsformen ist, wenn der erste Stromversorgungsbereich im Einschaltmodus arbeitet, der Vorspannungsschaltkreis 300 dadurch so eingerichtet, dass - unabhängig vom Einschalt- oder Ausschaltmodus des zweiten Stromversorgungsbereichs - der PMOS-Transistor P4 eingeschaltet wird und der PMOS-Transistor P5 ausgeschaltet wird.In some embodiments, when both the first and second power supply regions operate in on-mode, the first supply voltage level of supply voltage VDD1 is greater than the second supply voltage level of supply voltage VDD2 by an order of magnitude greater than a threshold voltage of PMOS transistor P4. When the first power supply region operates in the on mode and the second power supply region operates in the off mode, the first supply voltage level of the supply voltage VDD1 is greater than the reference voltage level of the supply voltage VDD2 by an order of magnitude greater than the threshold voltage of the PMOS transistor P4. In such embodiments, when the first power supply region is operating in the on-mode, the
In einigen Ausführungsformen ist, wenn sowohl der erste als auch der zweite Stromversorgungsbereich im Einschaltmodus arbeiten, der zweite Versorgungsspannungspegel der Versorgungsspannung VDD2 um eine Größenordnung, die größer als eine Schwellenspannung des PMOS-Transistors P5 ist, größer als der erste Versorgungsspannungspegel der Versorgungsspannung VDD1. Wenn der zweite Stromversorgungsbereich im Einschaltmodus arbeitet und der erste Stromversorgungsbereich im Ausschaltmodus arbeitet, so ist der zweite Versorgungsspannungspegel der Versorgungsspannung VDD2 um eine Größenordnung, die größer als die Schwellenspannung des PMOS-Transistors P5 ist, größer als der Referenzspannungspegel der Versorgungsspannung VDD1. In solchen Ausführungsformen ist, wenn der zweite Stromversorgungsbereich im Einschaltmodus arbeitet, der Vorspannungsschaltkreis 300 dadurch so eingerichtet, dass - unabhängig vom Einschalt- oder Ausschaltmodus des ersten Stromversorgungsbereichs - der PMOS-Transistor P5 eingeschaltet wird und der PMOS-Transistor P4 ausgeschaltet wird.In some embodiments, when both the first and second power supply regions operate in on-mode, the second supply voltage level of supply voltage VDD2 is greater than the first supply voltage level of supply voltage VDD1 by an order of magnitude greater than a threshold voltage of PMOS transistor P5. When the second power supply region operates in the on mode and the first power supply region operates in the off mode, the second supply voltage level of the supply voltage VDD2 is greater than the reference voltage level of the supply voltage VDD1 by an order of magnitude greater than the threshold voltage of the PMOS transistor P5. In such embodiments, when the second power supply region operates in the on-mode, the
Weil ein S/D-Anschluss des PMOS-Transistors P4 mit dem Ausgangsanschluss 112 gekoppelt ist, koppelt die Kombination aus dem Einschalten des PMOS-Transistors P4 und dem Ausschalten des PMOS-Transistors P5 den Ausgangsanschluss 112 mit dem Stromversorgungsknoten NVDD1, wodurch eine Vorspannung VNW am Ausgangsanschluss 112 generiert wird, die den ersten Versorgungsspannungspegel der Versorgungsspannung VDD1 hat. Weil ein S/D-Anschluss des PMOS-Transistors P5 mit dem Ausgangsanschluss 112 gekoppelt ist, koppelt die Kombination aus dem Einschalten des PMOS-Transistors P5 und dem Ausschalten des PMOS-Transistors P4 den Ausgangsanschluss 112 mit dem Stromversorgungsknoten NVDD2, wodurch eine Vorspannung VNW am Ausgangsanschluss 112 generiert wird, die den zweiten Versorgungsspannungspegel der Versorgungsspannung VDD2 hat.Because an S/D terminal of PMOS transistor P4 is coupled to
In jeder der oben besprochenen Ausführungsformen ist der Vorspannungsschaltkreis 300 dadurch so eingerichtet, dass, wenn der erste Stromversorgungsbereich im Ausschaltmodus arbeitet, der Vorspannungsschaltkreis 300 eine Vorspannung VNW am Ausgangsanschluss 112 generiert, die den Spannungspegel der Versorgungsspannung VDD2 aufweist, und wenn der zweite Stromversorgungsbereich im Ausschaltmodus arbeitet, der Vorspannungsschaltkreis 300 eine Vorspannung VNW am Ausgangsanschluss 112 generiert, die den Spannungspegel der Versorgungsspannung VDD1 aufweist. Wenn sowohl der erste als auch der zweite Stromversorgungsbereich im Ausschaltmodus arbeiten, so ist der Vorspannungsschaltkreis 300 dadurch dafür eingerichtet, eine Vorspannung VNW am Ausgangsanschluss 112 zu generieren, die den Referenzspannungspegel jeder der Versorgungsspannungen VDD1 und VDD2 aufweist.In each of the embodiments discussed above, the biasing
In der in
Ein n-Mulde, zum Beispiel die n-Mulde NW, bezieht sich sowohl auf eine Region in einem IC-Layoutschaubild, zum Beispiel dem IC-Layoutschaubild 100A, als auch auf den Abschnitt des Halbleiterwafers, der innerhalb der Substratregion positioniert ist, die oben in Bezug auf
Ein Transistor, zum Beispiel ein PMOS-Transistor P1-P5 oder ein NMOS-Transistor N1-N3, bezieht sich sowohl auf mehrere Bereiche in dem IC-Layoutschaubild als auch auf ein IC-Bauteil, das mindestens teilweise durch die mehreren IC-Layout-Regionen definiert wird, die in dem Herstellungsprozess enthalten sind. In der in
Eine aktive Region, zum Beispiel eine aktive Region AR, bezieht sich sowohl auf eine Region in dem IC-Layoutschaubild als auch auf eine resultierende Struktur, die mindestens teilweise durch die Region definiert wird, die in dem Herstellungsprozess enthalten ist. Die Struktur ist ein zusammenhängendes Volumen aus einer oder mehreren Schichten aus einem oder mehreren Halbleitermaterialien, die entweder eine n- oder eine p-Dotierung haben. In verschiedenen Ausführungsformen enthält eine Struktur einer aktiven Region eines oder mehrere von Si, Silizium-Germanium (SiGe), Siliziumcarbid (SiC), B, P, As, Al, Gallium (Ga) oder ein anderes geeignetes Material. In einigen Ausführungsformen weist eine Struktur einer aktiven Region eine einzelne Monoschicht oder mehrere Monoschichten aus einem gegebenen Material auf.An active region, for example an active region AR, refers both to a region in the IC layout diagram and to a resulting structure defined at least in part by the region involved in the manufacturing process. The structure is a contiguous volume of one or more layers of one or more semiconductor materials that are either n- or p-doped. In various embodiments, an active region structure includes one or more of Si, silicon germanium (SiGe), silicon carbide (SiC), B, P, As, Al, gallium (Ga), or other suitable material. In some embodiments, an active region structure comprises a single monolayer or multiple monolayers of a given material.
In verschiedenen Ausführungsformen weist eine Struktur einer aktiven Region einen oder mehrere Abschnitte auf, die in einem oder mehreren von einem Planartransistor, einem Finnen-Feldeffekt-Transistor (FinFET) oder einem Gate-All-Around-Transistor (GAA-Transistor) enthalten sind, und/oder weist eine oder mehrere S/D-Strukturen (nicht gezeigt) auf. In einigen Ausführungsformen ist eine Struktur einer aktiven Region von anderen Elementen in einer Halbleitersubstratregion durch eine oder mehrere Isolationsstrukturen (nicht gezeigt), zum Beispiel eine oder mehrere Flachgrabenisolationsstrukturen (Shallow Trench Isolation, STI) elektrisch isoliert.In various embodiments, an active region structure includes one or more sections comprised in one or more of a planar transistor, a fin field effect transistor (FinFET), or a gate all-around transistor (GAA transistor). and/or has one or more S/D structures (not shown). In some embodiments, an active region structure is electrically isolated from other elements in a semiconductor substrate region by one or more isolation structures (not shown), for example one or more Shallow Trench Isolation (STI) structures.
Ein Gate-Region, zum Beispiel eine Gate-Region GR, bezieht sich sowohl auf eine Region in dem IC-Layoutschaubild als auch auf eine resultierende Struktur, die mindestens teilweise durch die Region definiert wird, die in dem Herstellungsprozess enthalten ist. Eine Gate-Regionsstruktur ist ein Volumen, das über dem Halbleitersubstrat und der aktiven Region liegt und ein oder mehrere leitfähige Materialien enthält, die im Wesentlichen von einer oder mehreren dielektrischen Schichten (nicht gezeigt) umgeben sind, die ein oder mehrere dielektrische Materialien enthalten, die dafür eingerichtet sind, das eine oder die mehreren leitfähigen Materialien von darüber liegenden, darunter liegenden und/oder benachbarten Strukturen, zum Beispiel der aktiven Region AR, elektrisch zu isolieren.A gate region, for example a gate region GR, refers both to a region in the IC layout diagram and to a resulting structure defined at least in part by the region involved in the manufacturing process. A gate region structure is a volume overlying the semiconductor substrate and the active region and containing one or more conductive materials substantially surrounded by one or more dielectric layers (not shown) containing one or more dielectric materials that configured to electrically isolate the one or more conductive materials from overlying, underlying, and/or adjacent structures, for example, the active region AR.
Zu leitfähigen Materialien gehören eines oder mehrere von Polysilizium, Al, Kupfer (Cu), Wolfram (W), Kobalt (Co), Ruthenium (Ru) oder ein oder mehrere andere Metalle und/oder ein oder mehrere andere geeignete Materialien. Zu dielektrischen Materialien gehören eines oder mehrere von Siliziumdioxid (SiO2), Siliziumnitrid (Si3N4) und/oder einem dielektrischen Material, zum Beispiel einem dielektrischen Material, das einen hohem k-Wert von mehr als 3,8 oder 7,0 aufweist, wie zum Beispiel Aluminiumoxid (Al2O3), Hafniumoxid (HfO2), Tantalpentoxid (Ta2O5) oder Titanoxid (TiO2), oder ein anderes geeignetes Material.Conductive materials include one or more of polysilicon, Al, copper (Cu), tungsten (W), cobalt (Co), ruthenium (Ru), or one or more other metals, and/or one or more other suitable materials. Dielectric materials include one or more of silicon dioxide (SiO 2 ), silicon nitride (Si 3 N 4 ), and/or a dielectric material, for example a dielectric material having a high k greater than 3.8 or 7.0 such as aluminum oxide (Al 2 O 3 ), hafnium oxide (HfO 2 ), tantalum pentoxide (Ta 2 O 5 ) or titanium oxide (TiO 2 ), or other suitable material.
In einigen Fällen entspricht eine Stelle, an der eine Gate-Region eine aktive Region in dem IC-Layoutschaubild schneidet, einem Transistor in der IC-Struktur, die einige oder alle von Abschnitten der entsprechenden Gate-Struktur, einen Teil oder die Gesamtheit der entsprechenden aktiven Region, die teilweise von der entsprechenden Gate-Struktur umgeben ist und/oder an die entsprechende Gate-Struktur grenzt, sowie S/D-Strukturen in und/oder auf der entsprechenden aktiven Region und neben der entsprechenden Gate-Struktur aufweist. In anderen Fällen schneidet eine Gate-Region eine aktive Region an einer Stelle, die keinem Transistor entspricht, und die entsprechende Gate-Struktur oder ein Abschnitt davon wird in einigen Ausführungsformen als eine Dummy-Gate-Struktur bezeichnet.In some cases, a location where a gate region intersects an active region in the IC layout diagram corresponds to a transistor in the IC structure that some or all of portions of the corresponding gate structure, part or all of the corresponding active region partially surrounded by and/or bordering the respective gate structure, as well as S/D structures in and/or on the respective active region and adjacent to the respective gate structure. In other cases, a gate region intersects an active region at a location that does not correspond to a transistor, and the corresponding gate structure or a portion thereof is referred to as a dummy gate structure in some embodiments.
Eine leitfähige Region, zum Beispiel eine leitfähige Region CR, bezieht sich sowohl auf eine Region in dem IC-Layoutschaubild als auch auf eine resultierende Struktur, die mindestens teilweise durch die Region definiert wird, die in dem Herstellungsprozess enthalten ist. Eine Struktur einer leitfähigen Region, die in einigen Ausführungsformen auch als ein leitfähiges Segment, eine Leitung oder eine Durchkontaktierung bezeichnet wird, ist ein oder mehrere Abschnitte einer oder mehrerer entsprechender Schichten, die ein oder mehrere leitfähige Materialien enthalten, die geeignet sind, eine elektrische Verbindung mit geringem Widerstand zwischen Elementen einer IC-Struktur herzustellen, das heißt, ein Widerstandspegel unterhalb einer zuvor festgelegten Schwelle, die einem oder mehreren Toleranzpegeln einer widerstandsbedingten Auswirkung auf die Schaltkreisleistung entspricht. In einigen Ausführungsformen bezieht sich eine leitfähige Region auf mehrere leitfähige Regionen in dem IC-Layoutschaubild und entsprechende mehrere resultierende Strukturen, zum Beispiel ein leitfähiges Segment und eine Durchkontaktierung.A conductive region, for example a conductive region CR, refers both to a region in the IC layout diagram and to a resulting structure defined at least in part by the region involved in the manufacturing process. A conductive region structure, also referred to as a conductive segment, line, or via in some embodiments, is one or more portions of one or more corresponding layers that include one or more conductive materials suitable for electrical connection to establish a low resistance between elements of an IC structure, that is, a resistance level below a predetermined threshold corresponding to one or more tolerance levels of a resistance-related effect on circuit performance. In some embodiments, a conductive region refers to multiple conductive regions in the IC layout diagram and corresponding multiple resulting structures, for example, a conductive segment and a via.
In einigen Ausführungsformen entsprechen eine oder mehrere leitfähige Regionen einem Knoten, zum Beispiel einem oder mehreren des Referenzknotens NVSS und der Stromversorgungsknoten NVDD1 oder NVDD2, die oben in Bezug auf die
In der in
Durch die oben besprochene Einrichtung ist der Vorspannungsschaltkreis 300 in der Lage, eine Vorspannung VNW zu generieren, die den oben in Bezug auf den Vorspannungsschaltkreis 110 besprochenen Spannungspegel aufweist, dergestalt, dass der Schaltkreis 100, der den Vorspannungsschaltkreis 300 aufweist, in der Lage ist, die oben in Bezug auf die
Der Vorspannungsschaltkreis 400 weist den Referenzknoten NVSS und den Ausgangsanschluss 112 auf und ist dadurch dafür eingerichtet, die Referenzspannung VSS am Referenzknoten NVSS zu empfangen, die jeweils oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen entsprechen die Stromversorgungsknoten NVDDA und NVDDB jeweiligen Stromversorgungsknoten NVDD1 und NVDD2, die oben in Bezug auf die
Wenn sowohl der erste als auch der zweite Stromversorgungsbereich im Einschaltmodus betrieben werden, so hat die Versorgungsspannung VDDB einen höheren Spannungspegel als die Versorgungsspannung VDDA.When both the first and second power supply sections are operated in the on-mode, the supply voltage VDDB has a higher voltage level than the supply voltage VDDA.
Der Vorspannungsschaltkreis 400 weist außerdem PMOS-Transistoren P6-P8, den NMOS-Transistor N4 und einen Knoten ND2 auf. Der PMOS-Transistor P6, der Knoten ND2 und der NMOS-Transistor N4 sind zwischen dem Stromversorgungsknoten NVDDA und dem Referenzknoten NVSS in Reihe geschaltet, und Gates des PMOS-Transistors P6 und des NMOS-Transistors N4 sind miteinander und mit dem Stromversorgungsknoten NVDDB gekoppelt; der PMOS-Transistor P6, der Knoten ND2 und der NMOS-Transistor N4 sind dadurch als ein Inverter ausgebildet, der dafür eingerichtet ist, die Versorgungsspannung VDDB zu empfangen. Ein Volumenanschluss des PMOS-Transistors P6 ist mit dem Ausgangsanschluss 112 gekoppelt, und ein Volumenanschluss des NMOS-Transistors N4 ist mit dem Referenzknoten NVSS gekoppelt.
Der PMOS-Transistor P7 ist zwischen dem Stromversorgungsknoten NVDDB und dem Ausgangsanschluss 112 gekoppelt, ein Gate des Transistors P7 ist mit dem Knoten ND2 gekoppelt, und ein Volumenanschluss des Transistors P7 ist mit dem Ausgangsanschluss 112 gekoppelt. Der PMOS-Transistor P8 ist zwischen dem Stromversorgungsknoten NVDDA und dem Ausgangsanschluss 112 gekoppelt, ein Gate des Transistors P8 ist mit dem Stromversorgungsknoten NVDDB gekoppelt, und ein Volumenanschluss des Transistors P8 ist mit dem Ausgangsanschluss 112 gekoppelt.PMOS transistor P7 is coupled between power supply node NVDDB and
Die S/D-Anschlüsse der PMOS-Transistoren P7 und P8 sind miteinander und mit dem Ausgangsanschluss 112 gekoppelt. In einigen Ausführungsformen sind die S/D-Anschlüsse der PMOS-Transistoren P7 und P8 ein selber S/D-Anschluss, der durch die PMOS-Transistoren P7 und P8 gemeinsam genutzt wird. In einigen Ausführungsformen entspricht der Ausgangsanschluss 112 der n-Mulde NW, in der die PMOS-Transistoren P7 und P8 positioniert sind.The S/D terminals of the PMOS transistors P7 and P8 are coupled together and to the
Wenn der Stromversorgungsbereich, der der Versorgungsspannung VDDB (Versorgungsspannung-VDDB-Bereich) entspricht, im Einschaltmodus arbeitet, so ist der Spannungspegel der Versorgungsspannung VDDB um eine Größenordnung, die größer als eine Schwellenspannung des NMOS-Transistors N4 ist, größer als der Referenzspannungspegel der Referenzspannung VSS, wodurch veranlasst wird, dass der NMOS-Transistor N4 unabhängig vom Einschalt- oder Ausschaltmodus des Stromversorgungsbereichs, der der Versorgungsspannung VDDA (Versorgungsspannung-VDDA-Bereich) entspricht, eingeschaltet wird. Weil die Versorgungsspannung VDDB unabhängig vom Einschalt- oder Ausschaltmodus des Versorgungsspannung-VDDA-Bereichs einen höheren Spannungspegel als die Versorgungsspannung VDDA hat, veranlasst die im Einschaltmodus arbeitende Versorgungsspannung VDDB, dass jeder der PMOS-Transistoren P6 und P8 unabhängig vom Einschalt- oder Ausschaltmodus des Versorgungsspannung-VDDA-Bereichs ausgeschaltet wird.When the power supply range corresponding to the power supply voltage VDDB (supply voltage VDDB range) operates in the on mode, the voltage level of the power supply voltage VDDB is greater than the reference voltage level of the reference voltage by an order of magnitude greater than a threshold voltage of the NMOS transistor N4 VSS, causing the NMOS transistor N4 to turn on regardless of the on or off mode of the power supply range corresponding to the supply voltage VDDA (supply voltage VDDA range). Because the supply voltage VDDB has a higher voltage level than the supply voltage VDDA regardless of the on or off mode of the supply voltage VDDA section, the supply voltage VDDB operating in the on mode causes each of the PMOS transistors P6 and P8 to turn on regardless of the on or off mode of the supply voltage -VDDA area is switched off.
Das Einschalten des NMOS-Transistors N4 und das Ausschalten des PMOS-Transistors P6 koppeln den Knoten ND2 mit dem Referenzknoten NVSS und entkoppeln den Knoten ND2 vom Stromversorgungsknoten NVDDA, dergestalt, dass die Spannung VND2 am Knoten ND2 den Referenzspannungspegel aufweist. Dass der Spannungspegel der Versorgungsspannung VDDB um eine Größenordnung, die größer als eine Schwellenspannung des PMOS-Transistors P7 ist, größer ist als der Referenzspannungspegel, veranlasst, dass der PMOS-Transistor P7 eingeschaltet wird. Wenn der Versorgungsspannung-VDDB-Bereich im Einschaltmodus arbeitet, so wird dadurch - unabhängig vom Einschalt- oder Ausschaltmodus des Versorgungsspannung-VDDA-Bereichs - der PMOS-Transistor P7 eingeschaltet und der PMOS-Transistor P8 ausgeschaltet.Turning on NMOS transistor N4 and turning off PMOS transistor P6 couples node ND2 to reference node NVSS and decouples node ND2 from power supply node NVDDA such that voltage VND2 at node ND2 has the reference voltage level. The voltage level of supply voltage VDDB being greater than the reference voltage level by an order of magnitude greater than a threshold voltage of PMOS transistor P7 causes PMOS transistor P7 to turn on. When the supply voltage VDDB section operates in the on mode, this turns on the PMOS transistor P7 and turns off the PMOS transistor P8, regardless of the on or off mode of the supply voltage VDDA section.
Weil ein S/D-Anschluss des PMOS-Transistors P7 mit dem Ausgangsanschluss 112 gekoppelt ist, koppelt die Kombination aus dem Einschalten des PMOS-Transistors P7 und dem Ausschalten des PMOS-Transistors P8 den Ausgangsanschluss 112 mit dem Stromversorgungsknoten NVDDB, und der Vorspannungsschaltkreis 400 wird dadurch dafür eingerichtet, am Ausgangsanschluss 112 eine Vorspannung VNW zu generieren, die den Spannungspegel der Versorgungsspannung VDDB unabhängig vom Einschalt- oder Ausschaltmodus des Versorgungsspannung-VDDA-Bereichs hat.Because an S/D terminal of PMOS transistor P7 is coupled to
Wenn der Versorgungsspannung-VDDA-Bereich im Einschaltmodus arbeitet und der Versorgungsspannung-VDDB-Bereich im Ausschaltmodus arbeitet, so veranlasst die Versorgungsspannung VDDB, die den Referenzspannungspegel aufweist, dass der NMOS-Transistor N4 ausgeschaltet wird. Wenn der Spannungspegel der Versorgungsspannung VDDA um eine Größenordnung, die größer als eine Schwellenspannung der PMOS-Transistoren P6 und P8 ist, größer als der Referenzspannungspegel der Versorgungsspannung VDDB ist, so veranlasst dies, dass jeder der PMOS-Transistoren P6 und P8 eingeschaltet wird.When the supply voltage VDDA section operates in the on mode and the supply voltage VDDB section operates in the off mode, the supply voltage VDDB having the reference voltage level causes the NMOS transistor N4 to turn off. When the voltage level of power supply voltage VDDA is greater than the reference voltage level of power supply voltage VDDB by an order of magnitude greater than a threshold voltage of PMOS transistors P6 and P8, this causes each of PMOS transistors P6 and P8 to turn on.
Das Ausschalten des NMOS-Transistors N4 und das Einschalten des PMOS-Transistors P6 koppeln den Knoten ND2 mit dem Stromversorgungsknoten NVDDA und entkoppeln den Knoten ND2 vom Referenzknoten NVSS, dergestalt, dass die Spannung VND2 am Knoten ND2 den Spannungspegel der Versorgungsspannung VDDA hat. Wenn der Spannungspegel der Versorgungsspannung VDDA größer ist als der Referenzspannungspegel der Versorgungsspannung VDDB, so veranlasst dies ein Abschalten des PMOS-Transistors P7. Wenn der Versorgungsspannung-VDDA-Bereich im Einschaltmodus arbeitet und der Versorgungsspannung-VDDB-Bereich im Ausschaltmodus arbeitet, so wird der PMOS-Transistor P8 dadurch eingeschaltet, und der PMOS-Transistor P7 wird dadurch ausgeschaltet.Turning off NMOS transistor N4 and turning on PMOS transistor P6 couple node ND2 to power supply node NVDDA and decouple node ND2 from reference node NVSS such that voltage VND2 at node ND2 has the voltage level of supply voltage VDDA. If the voltage level of the supply voltage VDDA is greater than the reference voltage level of the supply voltage VDDB, this causes the PMOS transistor P7 to turn off. When the supply voltage VDDA section operates in the on mode and the supply voltage VDDB section operates in the off mode, the PMOS transistor P8 is thereby turned on and the PMOS transistor P7 is thereby turned off.
Weil ein S/D-Anschluss des PMOS-Transistors P8 mit dem Ausgangsanschluss 112 gekoppelt ist, koppelt die Kombination aus dem Einschalten des PMOS-Transistors P8 und dem Ausschalten des PMOS-Transistors P7 den Ausgangsanschluss 112 mit dem Stromversorgungsknoten NVDDA, und der Vorspannungsschaltkreis 400 wird dadurch dafür eingerichtet, am Ausgangsanschluss 112 eine Vorspannung VNW zu generieren, die den Spannungspegel der Versorgungsspannung VDDA hat, wenn der Versorgungsspannung-VDDA-Bereich im Einschaltmodus arbeitet und der Versorgungsspannung-VDDB-Bereich im Ausschaltmodus arbeitet..Because an S/D terminal of PMOS transistor P8 is coupled to
Wenn sowohl der Versorgungsspannung-VDDA-Bereich als auch der Versorgungsspannung-VDDB-Bereich im Ausschaltmodus arbeiten, so wird der Vorspannungsschaltkreis 400 dadurch dafür eingerichtet, am Ausgangsanschluss 112 eine Vorspannung VNW zu generieren, die den Referenzspannungspegel aufweist.When both the supply voltage VDDA domain and the supply voltage VDDB domain are operating in the off mode, the
In der in
In der in
Durch die oben besprochene Einrichtung ist der Vorspannungsschaltkreis 400 in der Lage, eine Vorspannung VNW zu generieren, die den oben in Bezug auf den Vorspannungsschaltkreis 110 besprochenen Spannungspegel aufweist, dergestalt, dass der Schaltkreis 100, der den Vorspannungsschaltkreis 400 aufweist, in der Lage ist, die oben in Bezug auf die
Im Vergleich zu dem Vorspannungsschaltkreis 300 weist der Vorspannungsschaltkreis 400 zusätzliche Strukturelemente auf und ist dadurch des Weiteren in der Lage, eine Vorspannung VNW, die die oben in Bezug auf den Vorspannungsschaltkreis 110 besprochenen Spannungspegel aufweist, in Ausführungsformen zu generieren, in denen die Versorgungsspannung VDDB, die einer der Versorgungsspannungen VDD1 und VDD2 entspricht, einen Spannungspegel aufweist, der um eine Größenordnung, die kleiner ist als eine Schwellenspannung eines entsprechenden PMOS-Transistors, zum Beispiel des PMOS-Transistors P4 oder P5, größer ist als der der Versorgungsspannung VDDA, die der anderen der Versorgungsspannungen VDD1 und VDD2 entspricht.Compared to the
Die Reihenfolge, in der die Operationen des Verfahrens 500 in
In einigen Ausführungsformen sind einige oder alle Operationen des Verfahrens 500 eine Teilmenge eines Verfahrens zum Betreiben eines Schaltkreises, der einen Pegelverschiebungsschaltkreis, zum Beispiel einen Eingabe-Ausgabe-Schaltkreis oder einen Stromversorgungs- oder Ruhemodus-Steuerschaltkreis, aufweist.In some embodiments, some or all of the operations of
Bei Operation 510 werden eine erste und eine zweite Versorgungsspannung in einem Vorspannungsschaltkreis empfangen. Das Empfangen der ersten Versorgungsspannung umfasst das Empfangen der ersten Versorgungsspannung, die einen ersten Spannungspegel aufweist, der gleich einem ersten Versorgungsspannungspegel eines ersten Stromversorgungsbereichs oder einem Referenzspannungspegel ist. In einigen Ausführungsformen umfasst das Empfangen der ersten Versorgungsspannung, die den ersten Spannungspegel aufweist, der gleich dem ersten Versorgungsspannungspegel ist, das Betreiben des ersten Stromversorgungsbereichs in einen Einschaltmodus, und das Empfangen der ersten Versorgungsspannung, die den ersten Spannungspegel aufweist, der gleich dem Referenzspannungspegel ist, umfasst das Betreiben des ersten Stromversorgungsbereichs in einen Ausschaltmodus.At
Das Empfangen der zweiten Versorgungsspannung umfasst das Empfangen der zweiten Versorgungsspannung, die einen zweiten Spannungspegel aufweist, der gleich einem zweiten Versorgungsspannungspegel eines zweiten Stromversorgungsbereichs oder dem Referenzspannungspegel ist. In einigen Ausführungsformen umfasst das Empfangen der zweiten Versorgungsspannung, die den zweiten Spannungspegel aufweist, der gleich dem zweiten Versorgungsspannungspegel ist, das Betreiben des zweiten Stromversorgungsbereichs im Einschaltmodus, und das Empfangen der zweiten Versorgungsspannung, die den zweiten Spannungspegel aufweist, der gleich dem Referenzspannungspegel ist, umfasst das Betreiben des zweiten Stromversorgungsbereichs im Ausschaltmodus.Receiving the second supply voltage includes receiving the second supply voltage having a second voltage level equal to a second supply voltage level of a second power supply range or the reference voltage level. In some embodiments, receiving the second supply voltage having the second voltage level equal to the second supply voltage level comprises operating the second power supply section in power-on mode, and receiving the second supply voltage having the second voltage level equal to the reference voltage level. includes operating the second power supply domain in the off mode.
Das Empfangen der ersten und der zweiten Versorgungsspannung, die den ersten Spannungspegel aufweisen, der gleich dem ersten Versorgungsspannungspegel ist, und/oder den zweiten Spannungspegel aufweisen, der gleich dem zweiten Versorgungsspannungspegel ist, umfasst, dass sich der erste Versorgungsspannungspegel von dem zweiten Versorgungsspannungspegel unterscheidet.Receiving the first and second supply voltages having the first voltage level equal to the first supply voltage level and/or having the second voltage level equal to the second supply voltage level includes the first supply voltage level being different than the second supply voltage level.
In einigen Ausführungsformen umfasst das Empfangen der ersten und der zweiten Versorgungsspannung in dem Vorspannungsschaltkreis das Empfangen der Versorgungsspannungen VDD1 und VDD2 in einem des Vorspannungsschaltkreises 110, wie oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Empfangen der ersten und der zweiten Versorgungsspannung in dem Vorspannungsschaltkreis das Empfangen der ersten und der zweiten Versorgungsspannung an S/D-Anschlüssen der PMOS-Transistoren des Vorspannungsschaltkreises. In einigen Ausführungsformen umfasst das Empfangen der ersten und der zweiten Versorgungsspannung in dem Vorspannungsschaltkreis das Empfangen der Versorgungsspannungen VDD1 und VDD2 an S/D-Anschlüssen der PMOS-Transistoren P4 und P5 des Vorspannungsschaltkreises 300, der oben mit Bezug auf die
Bei Operation 520 wird der Vorspannungsschaltkreis verwendet, um eine Vorspannung auf der Grundlage des größeren des ersten Spannungspegels der ersten Versorgungsspannung und des zweiten Spannungspegels der zweiten Versorgungsspannung zu generieren. In verschiedenen Ausführungsformen umfasst das Generieren der Vorspannung das Generieren der Vorspannung, die einen Vorspannungspegel aufweist, der gleich dem größeren des ersten und des zweiten Spannungspegels ist, oder einen Vorspannungspegel aufweist, der gleich einem Bruchteil des größeren des ersten und des zweiten Spannungspegels ist.At
In einigen Ausführungsformen umfasst das Generieren der Vorspannung das Betreiben sowohl des ersten als auch des zweiten Stromversorgungsbereichs im Einschaltmodus und das Generieren der Vorspannung, die den ersten Spannungspegel aufweist, auf der Grundlage, dass der erste Spannungspegel größer ist als der zweite Spannungspegel, oder das Generieren der Vorspannung, die den zweiten Spannungspegel aufweist, auf der Grundlage, dass der zweite Spannungspegel größer als der erste Spannungspegel ist.In some embodiments, generating the bias includes operating both the first and second power supply domains in on-mode and generating the bias having the first voltage level based on the first voltage level being greater than the second voltage level, or generating the bias voltage having the second voltage level based on the second voltage level being greater than the first voltage level.
In einigen Ausführungsformen umfasst das Generieren der Vorspannung das Betreiben des ersten Stromversorgungsbereichs im Einschaltmodus und das Betreiben des zweiten Stromversorgungsbereichs im Ausschaltmodus und das Generieren der Vorspannung, die den ersten Spannungspegel aufweist, auf der Grundlage, dass der erste Spannungspegel größer als der Referenzspannungspegel ist.In some embodiments, generating the bias includes operating the first power supply domain in on-mode and operating the second power supply domain in off-mode and generating the bias voltage having the first voltage level based on the first voltage level being greater than the reference voltage level.
In einigen Ausführungsformen umfasst das Generieren der Vorspannung das Betreiben des ersten Stromversorgungsbereichs im Ausschaltmodus und das Betreiben des zweiten Stromversorgungsbereichs im Einschaltmodus und das Generieren der Vorspannung, die den zweiten Spannungspegel aufweist, auf der Grundlage, dass der zweiten Spannungspegel größer als der Referenzspannungspegel ist.In some embodiments, generating the bias voltage includes operating the first power supply region in the off mode and operating the second power supply region in the on mode and generating the bias voltage having the second voltage level based on the second voltage level being greater than the reference voltage level.
In einigen Ausführungsformen umfasst das Generieren der Vorspannung das Betreiben sowohl des ersten als auch des zweiten Stromversorgungsbereichs im Ausschaltmodus und das Generieren der Vorspannung, die den Referenzspannungspegel aufweist, auf der Grundlage, dass jede der ersten und der zweiten Versorgungsspannung den Referenzspannungspegel aufweist.In some embodiments, generating the bias includes operating both the first and second power supply domains in the off mode and generating the bias having the reference voltage level based on each of the first and second supply voltages having the reference voltage level.
In einigen Ausführungsformen umfasst das Generieren der Vorspannung unter Verwendung des Vorspannungsschaltkreises das Generieren der Vorspannung VNW unter Verwendung eines des Vorspannungsschaltkreises 110, der oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Generieren der Vorspannung unter Verwendung des Vorspannungsschaltkreises das Verwenden von zwei PMOS-Transistoren des Vorspannungsschaltkreises, wobei die beiden PMOS-Transistoren in einer gemeinsamen n-Mulde positioniert sind und S/D-Anschlüsse aufweisen, die miteinander gekoppelt sind. In einigen Ausführungsformen umfasst das Verwenden der PMOS-Transistoren, die in der gemeinsamen n-Mulde positioniert sind und miteinander gekoppelte S/D-Anschlüsse aufweisen, das Verwenden eines S/D-Anschlusses, den die beiden PMOS-Transistoren gemeinsam nutzen. In einigen Ausführungsformen umfasst das Verwenden der beiden PMOS-Transistoren, die in der gemeinsamen n-Mulde positioniert sind, das Verwenden der beiden PMOS-Transistoren, die in der n-Mulde NW oder den mehreren n-Mulden NW positioniert sind, die oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Generieren der Vorspannung unter Verwendung der beiden PMOS-Transistoren, der miteinander gekoppelte S/D-Anschlüsse aufweisen, das Generieren der Vorspannung, die den ersten Spannungspegel aufweist, durch Einschalten eines der beiden PMOS-Transistoren, und das Generieren der Vorspannung, die den zweiten Spannungspegel aufweist, durch Einschalten des anderen der beiden PMOS-Transistoren.In some embodiments, generating the bias voltage using the two PMOS transistors having S/D terminals coupled together includes generating the bias voltage having the first voltage level by turning on one of the two PMOS transistors, and generating the Biasing having the second voltage level by turning on the other of the two PMOS transistors.
In einigen Ausführungsformen umfasst das Generieren der Vorspannung unter Verwendung der beiden PMOS-Transistoren, die miteinander gekoppelte S/D-Anschlüsse aufweisen, das Verwenden der PMOS-Transistoren P4 und P5 des Vorspannungsschaltkreises 300, der oben in Bezug auf die
Bei Operation 530 wird die erste Versorgungsspannung an einem ersten S/D-Anschluss eines ersten PMOS-Transistors eines Pegelverschiebers empfangen. Das Empfangen der ersten Versorgungsspannung am ersten S/D-Anschluss des ersten PMOS-Transistors des Pegelverschiebers umfasst, dass der erste PMOS-Transistor in der gemeinsamen n-Mulde, zum Beispiel der n-Mulde NW oder den mehreren n-Mulden NW, positioniert ist, die oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Empfangen der ersten Versorgungsspannung am ersten S/D-Anschluss des ersten PMOS-Transistors des Pegelverschiebers das Empfangen der Versorgungsspannung VDD1 am Pegelverschieber 120, der oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Empfangen der ersten Versorgungsspannung am ersten S/D-Anschluss des ersten PMOS-Transistors das Empfangen der ersten Versorgungsspannung in einem Inverter, der den ersten PMOS-Transistor aufweist. In einigen Ausführungsformen umfasst das Empfangen der ersten Versorgungsspannung in dem Inverter das Empfangen der Versorgungsspannung VDD1 an dem S/D-Anschluss des PMOS-Transistors P1, der mit dem NMOS-Transistor N1 in Reihe geschaltet ist, wie oben in Bezug auf
Bei Operation 540 wird die zweite Versorgungsspannung an einem zweiten S/D-Anschluss eines zweiten PMOS-Transistors des Pegelverschiebers empfangen. Das Empfangen der zweiten Versorgungsspannung an dem zweiten S/D-Anschluss des zweiten PMOS-Transistors des Pegelverschiebers umfasst, dass der zweite PMOS-Transistor in der gemeinsamen n-Mulde, zum Beispiel der n-Mulde NW oder den mehreren n-Mulden NW, positioniert ist, die oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Empfangen der zweiten Versorgungsspannung am zweiten S/D-Anschluss des ersten PMOS-Transistors des Pegelverschiebers das Empfangen der Versorgungsspannung VDD2 am Pegelverschieber 120, der oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Empfangen der zweiten Versorgungsspannung am zweiten S/D-Anschluss des zweiten PMOS-Transistors das Empfangen der zweiten Versorgungsspannung an einem kreuzgekoppelten Transistorpaar, das den zweiten PMOS-Transistor aufweist. In einigen Ausführungsformen umfasst das Empfangen der zweiten Versorgungsspannung an dem kreuzgekoppelten Transistorpaar das Empfangen der Versorgungsspannung VDD2 am S/D-Anschluss eines der kreuzgekoppelten PMOS-Transistoren P2 und P3, wie oben in Bezug auf
Bei Operation 550 wird die Vorspannung verwendet, um die gemeinsame n-Mulde, die den ersten und den zweiten PMOS-Transistor aufweist, vorzuspannen. In einigen Ausführungsformen umfasst das Verwenden der Vorspannung zum Vorspannen der gemeinsamen n-Mulde das Verwenden der Vorspannung VNW zum Vorspannen der n-Mulde NW, wie oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Verwenden der Vorspannung zum Vorspannen der gemeinsamen n-Mulde das Betreiben sowohl des ersten als auch des zweiten Stromversorgungsbereichs im Einschaltmodus und das Verwenden der Vorspannung, die den ersten Spannungspegel aufweist, auf der Grundlage, dass der erste Spannungspegel größer ist als der zweite Spannungspegel, oder das Verwenden der Vorspannung, die den zweiten Spannungspegel aufweist, auf der Grundlage, dass der zweite Spannungspegel größer als der erste Spannungspegel ist.In some embodiments, using the bias voltage to bias the common n-well includes operating both the first and second power supply regions in on-mode and using the bias voltage having the first voltage level based on the first voltage level being greater than the second voltage level, or using the bias voltage having the second voltage level based on the second voltage level being greater than the first voltage level.
In einigen Ausführungsformen umfasst das Betreiben sowohl des ersten als auch des zweiten Stromversorgungsbereichs im Einschaltmodus das Empfangen eines Eingangssignals an einem Eingangsanschluss des Pegelverschiebers und, in Reaktion auf das Eingangssignal, das Generieren eines Ausgangssignals an einem Ausgangsanschluss des Pegelverschiebers. In einigen Ausführungsformen umfasst das Empfangen des Eingangssignals das Empfangen des Eingangssignals IN, das oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Verwenden der Vorspannung zum Vorspannen der gemeinsamen n-Mulde das Betreiben des ersten Stromversorgungsbereichs im Einschaltmodus und das Betreiben des zweiten Stromversorgungsbereichs im Ausschaltmodus und das Verwenden der Vorspannung, die den ersten Spannungspegel aufweist, auf der Grundlage, dass der erste Spannungspegel größer als der Referenzspannungspegel ist.In some embodiments, using the bias voltage to bias the common n-well includes operating the first power supply region in on-mode and operating the second power supply region in off-mode and using the bias voltage having the first voltage level based on the first voltage level is greater than the reference voltage level.
In einigen Ausführungsformen umfasst das Verwenden der Vorspannung zum Vorspannen der gemeinsamen n-Mulde das Betreiben des ersten Stromversorgungsbereichs im Ausschaltmodus und das Betreiben des zweiten Stromversorgungsbereichs im Einschaltmodus und das Verwenden der Vorspannung, die den zweiten Spannungspegel aufweist, auf der Grundlage, dass der zweite Spannungspegel größer als der Referenzspannungspegel ist.In some embodiments, using the bias voltage to bias the common n-well includes operating the first power supply region in the off mode and operating the second power supply region in the on mode and using the bias voltage having the second voltage level based on the second voltage level is greater than the reference voltage level.
In einigen Ausführungsformen umfasst das Verwenden der Vorspannung zum Vorspannen der gemeinsamen n-Mulde das Betreiben sowohl des ersten als auch des zweiten Stromversorgungsbereichs im Ausschaltmodus und das Verwenden der Vorspannung, die den Referenzspannungspegel aufweist, auf der Grundlage, dass jede der ersten und der zweiten Versorgungsspannung den Referenzspannungspegel aufweist,In some embodiments, using the bias voltage to bias the common n-well includes operating both the first and second power supply regions in the off mode and using the bias voltage having the reference voltage level based on each of the first and second supply voltages has the reference voltage level,
In einigen Ausführungsformen umfasst das Verwenden der Vorspannung zum Vorspannen der gemeinsamen n-Mulde in Sperrrichtung vorspannende Diodenübergänge des ersten und des zweiten PMOS-Transistors. In einigen Ausführungsformen umfassen die in Sperrrichtung vorgespannten Diodenübergänge des ersten und des zweiten PMOS-Transistors die in Sperrrichtung vorgespannten Diodenübergänge der PMOS-Transistoren P1-P3 des Pegelverschiebers 200, der oben in Bezug auf
Durch Ausführen einiger oder aller Operationen des Verfahrens 500 wird eine Vorspannung durch einen Vorspannungsschaltkreis generiert und verwendet, um eine gemeinsame n-Mulde vorzuspannen, in der PMOS-Transistoren eines Pegelverschiebers arbeiten, wodurch wie oben in Bezug auf den Pegelverschiebungsschaltkreis 100 besprochenen Vorteile realisiert werden.By performing some or all of the operations of the
In einigen Ausführungsformen wird ein Teil oder die Gesamtheit des Verfahrens 600 durch einen Prozessor eines Computers ausgeführt. In einigen Ausführungsformen wird ein Teil oder die Gesamtheit des Verfahrens 600 durch einen Prozessor 802 eines IC-Layoutschaubild-Generierungssystems 800 ausgeführt, das unten in Bezug auf
Einige oder alle Operationen des Verfahrens 600 können als Teil eines Designprozesses durchgeführt werden, der in einem Designhaus durchgeführt wird, zum Beispiel in einem Designhaus 920, das unten in Bezug auf
In einigen Ausführungsformen werden die Operationen des Verfahrens 600 in der in
Bei Operation 610 werden in einigen Ausführungsformen erste bis vierte PMOS-Transistoren in einer n-Mulden-Region definiert. Das Definieren der ersten bis vierten PMOS-Transistoren umfasst mindestens teilweise das Definieren jedes der ersten bis vierten PMOS-Transistoren durch Anordnen mehrerer IC-Layoutschaubildregionen in dem IC-Layoutschaubild. In einigen Ausführungsformen umfasst das Anordnen der mehreren IC-Layoutschaubildregionen das Anordnen aktiver Regionen AR in der n-Mulde NW und das Schneiden aktiver Regionen AR mit Gate-Regionen GR, die jeweils oben mit Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Definieren der ersten bis vierten PMOS-Transistoren in der n-Mulden-Region das Definieren der ersten bis vierten PMOS-Transistoren in der n-Mulden-Region NW, die oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Definieren des ersten und des zweiten der ersten bis vierten PMOS-Transistoren das Definieren der PMOS-Transistoren P4 und P5, die oben in Bezug auf den Vorspannungsschaltkreis 300 und die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Definieren des dritten und des vierten der ersten bis vierten PMOS-Transistoren das Definieren der PMOS-Transistoren P1-P3, der oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Definieren der ersten bis vierten PMOS-Transistoren in der n-Mulden-Region das Definieren eines oder mehrerer NMOS-Transistoren außerhalb der n-Mulden-Region, zum Beispiel der NMOS-Transistoren N1-N3, der oben in Bezug auf die
Bei Operation 620 werden mehrere leitfähige Regionen angeordnet, wodurch ein Vorspannungsschaltkreis dafür eingerichtet ist, den ersten und den zweiten PMOS-Transistor aufzuweisen, und ein Pegelverschieber dafür eingerichtet ist, den dritten und den vierten PMOS-Transistor aufzuweisen. In einigen Ausführungsformen umfasst das Einrichten des Vorspannungsschaltkreises dergestalt, dass der erste und der zweite PMOS-Transistor enthalten sind, das Einrichten des Vorspannungsschaltkreises 110, der oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Einrichten des Pegelverschiebers dergestalt, dass der dritte und der vierte PMOS-Transistor enthalten sind, das Einrichten des Pegelverschiebers 120, der oben in Bezug auf die
Das Anordnen der mehreren leitfähigen Regionen umfasst mindestens teilweise das Definieren leitfähiger Strukturen durch Anordnen der mehreren leitfähigen Regionen in dem IC-Layoutschaubild. In einigen Ausführungsformen umfasst das Anordnen der mehreren leitfähigen Regionen das Anordnen leitfähiger Regionen CR, die oben in Bezug auf die
Bei Operation 630 werden mehrere leitfähige Elemente angeordnet, wodurch ein erster Stromversorgungsbereich elektrische Verbindungen zu jedem des ersten und des dritten PMOS-Transistors aufweist und ein zweiter Stromversorgungsbereich elektrische Verbindungen zu jedem des zweiten und des vierten PMOS-Transistors aufweist. Das Anordnen der mehreren leitfähigen Elemente umfasst das Anordnen leitfähiger Regionen, die jedem des ersten und des zweiten Stromversorgungsbereichs entsprechen, wodurch mindestens teilweise elektrische Verbindungen zu S/D-Strukturen jedes der ersten bis vierten PMOS-Transistoren definiert werden.At
In einigen Ausführungsformen umfasst das Anordnen der mehreren leitfähigen Elemente das Einrichten einer Stromverteilungsstruktur des ersten Stromversorgungsbereichs dergestalt, dass der Stromversorgungsknoten NVDD1 enthalten ist, sowie einer Stromverteilungsstruktur des zweiten Stromversorgungsbereichs, dergestalt, dass der Stromversorgungsknoten NVDD2 enthalten ist, die jeweils oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Anordnen der mehreren leitfähigen Elemente das Einrichten einer oder mehrerer Stromverteilungsstrukturen dergestalt, dass der Referenzknoten NVSS enthalten ist, der oben in Bezug auf die
Bei Operation 640 wird in einigen Ausführungsformen das IC-Layoutschaubild, das die n-Mulde enthält, generiert. In einigen Ausführungsformen umfasst das Generieren des IC-Layoutschaubildes das Generieren des IC-Layoutschaubildes 100A oder 100B, die oben in Bezug auf die
Bei Operation 650 wird in einigen Ausführungsformen das IC-Layoutschaubild in einer Speichervorrichtung gespeichert. Das Generieren des IC-Layoutschaubildes wird durch einen Prozessor ausgeführt, zum Beispiel den Prozessor 802 des IC-Layoutschaubild-Generierungssystems 800, das unten in Bezug auf
In verschiedenen Ausführungsformen umfasst das Speichern des IC-Layoutschaubildes in der Speichervorrichtung das Speichern des IC-Layoutschaubildes in einem nicht-flüchtigen, computerlesbaren Speicher oder einer Layout-Bibliothek, zum Beispiel einer Datenbank, und/oder umfasst das Speichern des IC-Layoutschaubildes über ein Netzwerk. In verschiedenen Ausführungsformen umfasst das Speichern des IC-Layoutschaubildes in der Speichervorrichtung das Speichern des IC-Layoutschaubildes in der Layout-Bibliothek 807 und/oder über das Netzwerk 814 des IC-Layoutschaubild-Generierungssystems 800, das unten in Bezug auf
In einigen Ausführungsformen umfasst das Speichern des IC-Layoutschaubildes das Speichern des IC-Layoutschaubildes 100A oder 100B, die oben in Bezug auf die
Bei Operation 660 wird in einigen Ausführungsformen mindestens eine von einer oder mehreren Halbleitermasken oder mindestens eine Komponente in einer Schicht eines Halbleiter-IC auf der Grundlage des IC-Layoutschaubildes gefertigt. Das Fertigen einer oder mehrerer Halbleitermasken oder mindestens einer Komponente in einer Schicht eines Halbleiter-IC wird unten in Bezug auf das IC-Herstellungssystem 900 und
In einigen Ausführungsformen basiert das Fertigen einer oder mehrerer Halbleitermasken oder mindestens einer Komponente in der Schicht des Halbleiter-IC auf dem IC-Layoutschaubild 100A oder 100B, die oben in Bezug auf die
Bei Operation 670 werden in einigen Ausführungsformen eine oder mehrere Herstellungsoperationen auf der Grundlage des IC-Layoutschaubildes ausgeführt. In einigen Ausführungsformen umfasst das Durchführen einer oder mehrerer Herstellungsoperationen das Durchführen einer oder mehrerer lithografischer Belichtungen auf der Grundlage des IC-Layoutschaubildes. Das Durchführen einer oder mehrerer Herstellungsoperationen, zum Beispiel einer oder mehrerer lithografischer Belichtungen, auf der Grundlage des IC-Layoutschaubildes wird unten in Bezug auf
In einigen Ausführungsformen basiert das Durchführen einer oder mehrerer Herstellungsoperationen auf dem IC-Layoutschaubild 100A oder 100B, die oben in Bezug auf die
Durch Ausführen einiger oder aller Operationen des Verfahrens 600 wird ein IC-Layoutschaubild, zum Beispiel das IC-Layoutschaubild 100A oder 100B, generiert, das in der Lage ist, mindestens teilweise einen Pegelverschiebungsschaltkreis zu definieren, der einen Vorspannungsschaltkreis und einen Pegelverschieber aufweist, die so eingerichtet sind, wie oben in Bezug auf den Pegelverschiebungsschaltkreis 100 besprochen, und dadurch die Fähigkeiten und Vorteile aufweisen, die oben in Bezug auf den Pegelverschiebungsschaltkreis 100 besprochen wurden.Performing some or all of the operations of
Das Verfahren 700 ist dafür ausgelegt eine IC-Struktur zu bilden, zum Beispiel den Pegelverschiebungsschaltkreis 100, die oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen kann das Verfahren 700 durch ein IC-Herstellungssystem als Teil eines IC-Herstellungsflusses verwendet werden, zum Beispiel ein IC-Herstellungssystem 900, das unten in Bezug auf
Die Reihenfolge, in der die Operationen des Verfahrens 700 in
In einigen Ausführungsformen werden eine oder mehrere Operationen des Verfahrens 700 unter Verwendung verschiedener Fertigungswerkzeuge ausgeführt, zum Beispiel eines oder mehrerer von einem Wafer-Stepper, einem Photoresist-Beschichter, einem Ionenimplantierer, einer Prozesskammer, zum Beispiel einer CVD-Kammer oder einem LPCVD-Ofen, einem CMP-System, einem Plasmaätzsystem, einem Wafer-Reinigungssystem oder einer anderen Herstellungsausrüstung, die in der Lage ist, einen oder mehrere geeignete Herstellungsprozesse durchzuführen, wie unten noch besprochen wird.In some embodiments, one or more operations of
Bei Operation 710 wird in einigen Ausführungsformen eine n-Mulde in einem Halbleitersubstrat gebildet. Das Bilden der n-Mulde umfasst das Durchführen eines oder mehrerer geeigneter Herstellungsprozesse, zum Beispiel Photolithographie- und/oder Ionenimplantationsprozesse.At
In einigen Ausführungsformen umfasst das Bilden der n-Mulde das Bilden einer gemeinsamen n-Mulde, die die n-Mulde NW oder mehrere n-Mulden NW aufweist, die oben in Bezug auf die
In Operation 720 werden erste bis vierte PMOS-Transistoren in der n-Mulde gebildet. Das Bilden der ersten bis vierten PMOS-Transistoren umfasst das Durchführen mehrerer geeigneter Herstellungsprozesse, zum Beispiel Photolithographie-, Ätz-, Abscheidungs- und/oder Ionenimplantationsprozesse.In
In einigen Ausführungsformen umfasst das Bilden des ersten und des zweiten der ersten bis vierten PMOS-Transistoren das Bilden der PMOS-Transistoren P4 und P5, die oben in Bezug auf den Vorspannungsschaltkreis 300 und die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Bilden des dritten und des vierten der ersten bis vierten PMOS-Transistoren das Bilden der PMOS-Transistoren P1-P3, die oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Bilden der ersten bis vierten PMOS-Transistoren in der n-Mulden-Region das Bilden eines oder mehrerer NMOS-Transistoren außerhalb der n-Mulde, zum Beispiel der NMOS-Transistoren N1-N3, die oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Bilden der ersten bis vierten rückseitigen Durchkontaktierungsstrukturen das Durchführen einer Ausdünnungsoperation an einem Halbleiterwafer, der die IC-Struktur, zum Beispiel dem Substrat 100S, aufweist, die oben in Bezug auf die
Bei Operation 730 wird ein Vorspannungsschaltkreis, der den ersten und den zweiten PMOS-Transistor aufweist, und ein Pegelverschieber, der den dritten und den vierten PMOS-Transistor aufweist, hergestellt. Das Herstellen des Vorspannungsschaltkreises und des Pegelverschiebers umfasst das Einrichten mehrerer leitfähiger Segmente, die durch eine oder mehrere Isolationsschichten gestützt und elektrisch getrennt werden. In einigen Ausführungsformen umfasst das Einrichten der mehreren leitfähigen Segmente das Durchführen eines oder mehrerer Herstellungsprozesse, zum Beispiel eines oder mehrerer Abscheidungs-, Strukturierungs-, Ätz-, Planarisierungs- und/oder Reinigungsprozesse, die geeignet sind, leitfähige Strukturen zu generieren, die gemäß Schaltkreiseinrichtungsanforderungen angeordnet sind.At
In einigen Ausführungsformen umfasst das Bilden der einen oder der mehreren Isolationsschichten das Abscheiden eines oder mehrerer Isolationsmaterialien, zum Beispiel dielektrischer Materialien, die oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Bilden der leitfähigen Segmente das Bilden der leitfähigen Segmente auf der Grundlage leitfähiger Regionen CR, die oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Bilden des Vorspannungsschaltkreises, der den ersten und den zweiten PMOS-Transistor aufweist, das Bilden des Vorspannungsschaltkreises 110, der oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Bilden des Pegelverschiebers, der den dritten und den vierten PMOS-Transistor aufweist, das Bilden des Pegelverschiebers 120, der oben in Bezug auf die
Bei Operation 740 wird eine erste Stromverteilungsstruktur gebildet, die elektrische Verbindungen zu jedem des ersten und des dritten PMOS-Transistors aufweist, und es wird eine zweite Stromverteilungsstruktur gebildet, die elektrische Verbindungen zu jedem des zweiten und des vierten PMOS-Transistors aufweist. Das Bilden der ersten und der zweiten Stromverteilungsstruktur umfasst das Einrichten mehrerer leitfähiger Segmente, die durch eine oder mehrere Isolationsschichten gestützt und elektrisch getrennt werden, wie oben in Bezug auf die Operation 730 besprochen wurde.At
Das Bilden der ersten und der zweiten Stromverteilungsstruktur umfasst das Einrichten der mehreren leitfähigen Segmente dergestalt, dass jede der Stromverteilungsstrukturen des ersten und des zweiten Stromversorgungsbereich elektrisch mit S/D-Strukturen der ersten bis vierten PMOS-Transistoren gekoppelt ist.Forming the first and second power distribution structures includes establishing the plurality of conductive segments such that each of the first and second power supply region current distribution structures is electrically coupled to S/D structures of the first through fourth PMOS transistors.
In einigen Ausführungsformen umfasst das Einrichten der mehreren leitfähigen Elemente das Einrichten einer Stromverteilungsstruktur des ersten Stromversorgungsbereichs dergestalt, dass der Stromversorgungsknoten NVDD1 enthalten ist, sowie einer Stromverteilungsstruktur des zweiten Stromversorgungsbereichs dergestalt, dass der Stromversorgungsknoten NVDD2 enthalten ist, die jeweils oben in Bezug auf die
In einigen Ausführungsformen umfasst das Einrichten der mehreren leitfähigen Segmente das Einrichten einer oder mehrerer Stromverteilungsstrukturen dergestalt, dass der Referenzknoten NVSS enthalten ist, der oben in Bezug auf die
Die Operationen des Verfahrens 700 können verwendet werden, um eine IC-Struktur, zum Beispiel einen Pegelverschiebungsschaltkreis 100, zu bilden, die einen Vorspannungsschaltkreis und einen Pegelverschieber aufweist, wie oben in Bezug auf den Pegelverschiebungsschaltkreis 100 besprochen, und dadurch die Fähigkeiten und Vorteile aufweist, die oben in Bezug auf den Pegelverschiebungsschaltkreis 100 besprochen wurden.The operations of
In einigen Ausführungsformen ist das IC-Layoutschaubild-Generierungssystem 800 eine Allzweck-Computervorrichtung mit einem Hardwareprozessor 802 und einem nicht-transitorischen, computerlesbaren Speichermedium 804. Das Speichermedium 804 wird unter anderem mit Computerprogrammcode 806, das heißt, einem Satz ausführbarer Instruktionen, codiert, das heißt, es gespeichert ihn. Das Ausführen von Anweisungen 806 durch den HardwareProzessor 802 stellt (mindestens teilweise) ein EDA-Tool dar, das einen Abschnitt oder die Gesamtheit eines Verfahrens, zum Beispiel des Verfahrens 600 zum Generieren eines IC-Layoutschaubildes, das oben in Bezug auf
Der Prozessor 802 ist über einen Bus 808 elektrisch mit dem computerlesbaren Speichermedium 804 gekoppelt. Der Prozessor 802 ist ebenfalls über den Bus 808 elektrisch mit einer E/A-Schnittstelle 810 gekoppelt. Eine Netzwerkschnittstelle 812 ist ebenfalls über den Bus 808 elektrisch mit dem Prozessor 802 verbunden. Die Netzwerkschnittstelle 812 ist mit einem Netzwerk 814 verbunden, so dass der Prozessor 802 und das computerlesbare Speichermedium 804 in der Lage sind, sich über das Netzwerk 814 mit externen Elementen zu verbinden. Der Prozessor 802 ist dafür eingerichtet, den Computerprogrammcode 806, der in dem computerlesbaren Speichermedium 804 codiert ist, auszuführen, um das IC-Layoutschaubild-Generierungssystem 800 zu veranlassen, für das Durchführen eines Abschnitts oder der Gesamtheit der genannten Prozesse und/oder Verfahren verwendbar zu sein. In einer oder mehreren Ausführungsformen ist der Prozessor 802 eine zentrale Verarbeitungseinheit (CPU), ein Multiprozessor, ein verteiltes Verarbeitungssystem, ein anwendungsspezifischer integrierter Schaltkreis (ASIC) und/oder eine geeignete Verarbeitungseinheit.The
In einer oder mehreren Ausführungsformen ist das computerlesbare Speichermedium 804 ein elektronisches, magnetisches, optisches, elektromagnetisches, Infrarot- und/oder Halbleitersystem (oder eine solche Vorrichtung oder ein solches Gerät). Zum Beispiel weist das computerlesbare Speichermedium 804 einen Halbleiter- oder Festkörperspeicher, ein Magnetband, eine wechselfähige Computerdiskette, einen Direktzugriffsspeicher (RAM), einen Nurlesespeicher (ROM), eine starre magnetische Disk und/oder eine optische Disk auf. In einer oder mehreren Ausführungsformen, die mit optischen Disks arbeiten, enthält das computerlesbare Speichermedium 804 ein Compact-Disk-Read-Only-Memory (CD-ROM), eine Compact-Disk-Read/Write (CD-R/W) und/oder eine digitale Video-Disk (DVD).In one or more embodiments, computer-
In einer oder mehreren Ausführungsformen speichert das Speichermedium 804 den Computerprogrammcode 806, der dafür eingerichtet ist, das IC-Layoutschaubild-Generierungssystem 800 (wobei ein solches Ausführen (mindestens teilweise) das EDA-Tool darstellt) zu veranlassen, für das Durchführen eines Abschnitts oder der Gesamtheit der genannten Prozesse und/oder Verfahren verwendbar zu sein. In einer oder mehreren Ausführungsformen speichert das Speichermedium 804 ebenfalls Informationen, die das Durchführen eines Abschnitts oder der Gesamtheit der genannten Prozesse und/oder Verfahren ermöglichen. In einer oder mehreren Ausführungsformen speichert das Speichermedium 804 eine Layout-Bibliothek 807, die solche IC-Layoutschaubilder enthält, wie sie im vorliegenden Text offenbart sind, wie die IC-Layoutschaubilder 100A und 100B, die oben in Bezug auf die
Das IC-Layoutschaubild-Generierungssystem 800 weist eine E/A-Schnittstelle 810 auf. Die E/A-Schnittstelle 810 ist mit einer externen Schaltung gekoppelt. In einer oder mehreren Ausführungsformen umfasst die E/A-Schnittstelle 810 eine Tastatur, ein Tastenfeld, eine Maus, einen Trackball, ein Trackpad, einen Touchscreen und/oder Pfeiltasten zum Übermitteln von Informationen und Befehlen an den Prozessor 802.The IC layout
Das IC-Layoutschaubild-Generierungssystem 800 weist außerdem eine Netzwerkschnittstelle 812 auf, die mit dem Prozessor 802 gekoppelt ist. Die Netzwerkschnittstelle 812 ermöglicht es dem System 800, mit dem Netzwerk 814 zu kommunizieren, an das ein oder mehrere weitere Computersysteme angeschlossen sind. Die Netzwerkschnittstelle 812 enthält drahtlose Netzwerkschnittstellen wie zum Beispiel BLUETOOTH, WIFI, WIMAX, GPRS oder WCDMA, oder drahtgebundene Netzwerkschnittstellen wie zum Beispiel ETHERNET, USB oder IEEE-1364. In einer oder mehreren Ausführungsformen wird ein Abschnitt oder die Gesamtheit der genannten Prozesse und/oder Verfahren in zwei oder mehr IC-Layoutschaubild-Generierungssystemen 800 implementiert.The IC layout
Das IC-Layoutschaubild-Generierungssystem 800 ist dafür eingerichtet, Informationen über die E/A-Schnittstelle 810 zu empfangen. Die über die E/A-Schnittstelle 810 empfangenen Informationen enthalten eines oder mehrere von Instruktionen, Daten, Designregeln, Bibliotheken von Standardzellen und/oder andere Parameter zur Verarbeitung durch den Prozessor 802. Die Informationen werden über den Bus 808 zu dem Prozessor 802 übertragen. Das IC-Layoutschaubild-Generierungssystem 800 ist dafür eingerichtet, über die E/A-Schnittstelle 810 Informationen in Bezug auf eine Benutzerschnittstelle zu empfangen. Die Informationen werden auf dem computerlesbaren Medium 804 als Benutzeroberfläche (User Interface, UI) 842 gespeichert.The IC layout
In einigen Ausführungsformen sind ein Teil oder alle der genannten Prozesse und/oder Verfahren als eigenständige Softwareanwendung zur Ausführung durch einen Prozessor implementiert. In einigen Ausführungsformen sind ein Teil oder alle der genannten Prozesse und/oder Verfahren als Softwareanwendung implementiert, die Teil einer zusätzlichen Softwareanwendung ist. In einigen Ausführungsformen sind ein Teil oder alle der genannten Prozesse und/oder Verfahren als Plug-in für eine Softwareanwendung implementiert. In einigen Ausführungsformen ist mindestens einer bzw. eines der genannten Prozesse und/oder Verfahren als Softwareanwendung implementiert, die Teil eines EDA-Tools ist. In einigen Ausführungsformen wird ein Abschnitt oder die Gesamtheit der genannten Prozesse und/oder Verfahren als eine Softwareanwendung implementiert, die durch das IC-Layoutschaubild-Generierungssystem 800 verwendet wird. In einigen Ausführungsformen wird ein Layoutschaubild, das Standardzellen enthält, mit Hilfe eines Tools wie VIRTUOSO® von CADENCE DESIGN SYSTEMS, Inc. oder eines anderen geeigneten Layoutgenerierungstools erstellt.In some embodiments, some or all of the recited processes and/or methods are implemented as a standalone software application for execution by a processor. In some embodiments, some or all of the recited processes and/or methods are implemented as a software application that is part of an additional software application. In some embodiments, some or all of the recited processes and/or methods are implemented as a plug-in for a software application. In some embodiments, at least one of said processes and/or methods is implemented as a software application that is part of an EDA tool. In some embodiments, some or all of the named processes and/or methods are implemented as a software application used by the IC layout
In einigen Ausführungsformen werden die Prozesse als Funktionen eines Programms realisiert, das auf einem nicht-transitorischen, computerlesbaren Aufzeichnungsmedium gespeichert ist. Zu Beispielen eines nicht-transitorischen, computerlesbaren Aufzeichnungsmediums gehören unter anderem externe/entfernbare und/oder interne/eingebaute Massen- oder Arbeitsspeichereinheiten, zum Beispiel eines oder mehrere von einer optischen Disk, wie zum Beispiel eine DVD, einer Magnetplatte, wie eine Festplatte, einem Halbleiterspeicher, wie zum Beispiel ein ROM, ein RAM, eine Speicherkarte, und dergleichen.In some embodiments, the processes are implemented as functions of a program stored on a non-transitory computer-readable recording medium. Examples of a non-transitory, computer-readable recording medium include, but are not limited to, external/removable and/or internal/built-in mass or memory devices, for example one or more of an optical disk such as a DVD, a magnetic disk such as a hard disk, a Semiconductor memories such as a ROM, a RAM, a memory card, and the like.
In
Das Designhaus (oder Designteam) 920 generiert ein IC-Design-Layoutschaubild 922. Das IC-Design-Layoutschaubild 922 enthält verschiedene geometrische Strukturen, zum Beispiel ein IC-Layoutschaubild 100A oder 100B, die oben in Bezug auf die
Das Maskenhaus 930 umfasst die Datenvorbereitung 932 und die Maskenfertigung 944. Das Maskenhaus 930 verwendet das IC-Design-Layoutschaubild 922 zum Herstellen einer oder mehrerer Masken 945, die beim Herstellen der verschiedenen Schichten des IC-Bauteils 960 gemäß dem IC-Design-Layoutschaubild 922 zu verwenden sind. Das Maskenhaus 930 führt die Maskendatenvorbereitung 932 aus, wobei das IC-Design-Layoutschaubild 922 in eine repräsentative Datei (Representative Data File, RDF) übersetzt wird. Die Maskendatenvorbereitung 932 übermittelt die RDF an die Maskenfertigung 944. Die Maskenfertigung 944 umfasst einen Maskenschreiber. Ein Maskenschreiber konvertiert die RDF zu einem Bild auf einem Substrat, wie zum Beispiel einer Maske (Retikel) 945 oder einen Halbleiterwafer 953. Das Design-Layoutschaubild 922 wird durch die Maskendatenvorbereitung 932 so verarbeitet, dass es mit bestimmten Eigenschaften des Maskenschreibers und/oder Anforderungen des IC-Fab 950 kompatibel ist. In
In einigen Ausführungsformen enthält die Maskendatenvorbereitung 932 eine optische Nähekorrektur (Optical Proximity Correction, OPC), die Lithografieoptimierungstechniken zum Kompensieren von Bildfehlern verwendet, wie zum Beispiel solchen, die durch Beugung, Interferenzen, andere Prozesseffekte und dergleichen entstehen. OPC justiert das IC-Design-Layoutschaubild 922. In einigen Ausführungsformen enthält die Maskendatenvorbereitung 932 weitere Auflösungsoptimierungstechniken (Resolution Enhancement Techniques, RET), wie zum Beispiel außeraxiale Beleuchtung, Sub-Auflösungs-Hilfsmerkmale, Phasenverschiebungsmasken, andere geeignete Techniken und dergleichen oder Kombinationen davon. In einigen Ausführungsformen wird auch inverse Lithografie-Technologie (ILT) verwendet, die OPC als ein inverses Bildgabeproblem behandelt.In some embodiments,
In einigen Ausführungsformen enthält die Maskendatenvorbereitung 932 einen Maskenregelprüfer (Mask Rule Checker, MRC), der das IC-Design-Layoutschaubild 922, das Prozesse in OPC durchlaufen hat, mit einem Satz Maskenerzeugungsregeln überprüft, die bestimmte geometrische und/oder Konnektivitätseinschränkungen enthalten, um ausreichende Margen sicherzustellen, um Schwankungen in Halbleiterherstellungsprozessen zu berücksichtigen, und dergleichen. In einigen Ausführungsformen modifiziert der MRC das IC-Design-Layoutschaubild 922, um Einschränkungen während der Maskenfertigung 944 zu kompensieren, die einen Teil der Modifizierungen rückgängig machen können, die durch OPC vorgenommen wurden, um Maskenerzeugungsregeln zu erfüllen.In some embodiments, the
In einigen Ausführungsformen enthält die Maskendatenvorbereitung 932 eine Lithografieprozessüberprüfung (Lithography Process Checking, LPC), die eine Verarbeitung simuliert, die durch den IC-Fab 950 implementiert wird, um das IC-Bauteil 960 zu fertigen. Die LPC simuliert diese Verarbeitung anhand des IC-Design-Layoutschaubildes 922, um eine simulierte hergestellte Vorrichtung zu erzeugen, wie zum Beispiel ein IC-Bauteil 960. Die Verarbeitungsparameter in der LPC-Simulation können Parameter, die mit verschiedenen Prozessen des IC-Herstellungszyklus verknüpft sind, Parameter, die mit Werkzeugen verknüpft sind, die zur Herstellung des IC verwendet werden, und/oder andere Aspekte des Herstellungsprozesses enthalten. Die LPC berücksichtigt verschiedene Faktoren, wie zum Beispiel Zwischenbildkontrast, Tiefenschärfe (Depth of Focus, DOF), Maskenfehleroptimierungsfaktor (Mask Error Enhancement Factor, MEEF), andere geeignete Faktoren und dergleichen oder Kombinationen davon. In einigen Ausführungsformen werden, nachdem durch die LPC eine simulierte hergestellte Vorrichtung gebildet wurde, wenn die simulierte Vorrichtung nicht genau genug die Form hat, um Designregeln zu erfüllen, OPC und/oder MRC wiederholt, um das IC-Design-Layoutschaubild 922 weiter zu verfeinern.In some embodiments,
Es versteht sich, dass die obige Beschreibung der Maskendatenvorbereitung 932 zum Zweck der Klarheit vereinfacht wurde. In einigen Ausführungsformen enthält die Maskendatenvorbereitung 932 zusätzliche Merkmale, wie zum Beispiel einen Logik-Operation (LOP) zum Modifizieren des IC-Design-Layoutschaubildes 922 gemäß Herstellungsregeln. Außerdem können die Prozesse, die auf das IC-Design-Layoutschaubild 922 während der Maskendatenvorbereitung 932 angewendet werden, in einer Vielzahl verschiedener Reihenfolgen ausgeführt werden.It should be understood that the above description of
Nach der Maskendatenvorbereitung 932 und während der Maskenfertigung 944 werden eine Maske 945 oder eine Gruppe von Masken 945 anhand des modifizierten IC-Designlayouts 922 hergestellt. In einigen Ausführungsformen enthält die Maskenfertigung 944 die Ausführung einer oder mehrerer lithografischer Belichtungen auf der Grundlage des IC-Design-Layoutschaubildes 922. In einigen Ausführungsformen wird ein Elektronenstrahl (E-Strahl) oder ein Mechanismus aus mehreren E-Strahlen verwendet, um eine Struktur auf einer Maske (Fotomaske 945 oder Retikel) 845 anhand des modifizierten IC-Designlayouts 922 zu bilden. Die Maske 945 kann in verschiedenen Technologien gebildet werden. In einigen Ausführungsformen wird die Maske 945 unter Verwendung von Binärtechnologie gebildet. In einigen Ausführungsformen enthält eine Maskenstruktur opake Regionen und transparente Regionen. Ein Strahl, wie zum Beispiel ein ultravioletter Strahl (UV-Strahl) oder ein EUV-Strahl, der verwendet wird, um die bildempfindliche Materialschicht (zum Beispiel den Photoresist) zu belichten, die auf einen Wafer aufbeschichtet wurde, wird durch die opake Region blockiert und wird durch die transparenten Regionen durchgelassen. In einem Beispiel enthält eine Binärmaske 945 ein transparentes Substrat (zum Beispiel Quarzglas) und ein opakes Material (zum Beispiel Chrom), das in den opaken Regionen der Maske aufbeschichtet wird. In einem weiteren Beispiel wird die Maske 945 unter Verwendung einer Phasenverschiebungstechnologie gebildet. In einer Phasenverschiebungsversion (Phase Shift Mask, PSM) der Maske 945 sind verschiedene Elemente in der Struktur, die auf der Phasenverschiebungsmaske gebildet wird, dafür eingerichtet, eine korrekte Phasendifferenz zu haben, um Auflösung und Bildgabequalität zu erhöhen. In verschiedenen Beispielen kann die Phasenverschiebungsmaske eine gedämpfte PSM oder eine alternierende PSM sein. Die eine oder die mehreren Masken, die durch die Maskenfertigung 944 generiert werden, werden in einer Vielzahl verschiedener Prozesse verwendet. Zum Beispiel werden diese eine oder mehreren Masken in einem Ionenimplantierungsprozess, um verschiedene dotierte Regionen in dem Halbleiterwafer 953 zu bilden, in einem Ätzprozess, um verschiedene Ätzregionen in dem Halbleiterwafer 953 zu bilden, und/oder in anderen geeigneten Prozessen verwendet.After the
Der IC-Fab 950 ist ein IC-Fertigungsunternehmen, das eine oder mehrere Produktionsstätten für die Fertigung einer Vielzahl verschiedener verschiedenen IC-Produkte umfasst. In einigen Ausführungsformen ist der IC-Fab 950 eine Halbleitergießerei. Zum Beispiel kann es eine Produktionsstätte für die Frontend-Fertigung mehrerer IC-Produkte (Front-End-of-Line (FEOL)-Fertigung) geben, während eine zweite Produktionsstätte für die Backend-Fertigung der Interconnect-Verbindungen und der Verkapselung der IC-Produkte (Back-End-of-Line (BEOL)-Fertigung) zuständig ist, und einen dritte Produktionsstätte kann andere Dienstleistungen für das Gießereiunternehmen erbringen.The
Der IC-Fab 950 umfasst Waferfertigungswerkzeuge 952, die dafür eingerichtet sind, verschiedene Herstellungsoperationen an dem Halbleiterwafer 953 ausführen, dergestalt, dass das IC-Bauteil 960 gemäß der einen oder den mehreren Masken, zum Beispiel der Maske 945, gefertigt wird. In verschiedenen Ausführungsformen umfassen die Fertigungswerkzeuge 952 eines oder mehrere von einem Wafer-Stepper, einem Ionen-Implantierer, einem Photoresist-Beschichter, einer Prozesskammer, zum Beispiel eine CVD-Kammer oder einen LPCVD-Ofen, einem CMP-System, einem Plasmaätzsystem, einem Waferreinigungssystem oder sonstiger Herstellungsausrüstung, die in der Lage ist, einen oder mehrere geeignete Herstellungsprozesse, wie im vorliegenden Text besprochen, auszuführen.The
Der IC-Fab 950 verwendet die eine oder die mehreren Masken 945, die durch das Maskenhaus 930 hergestellt wurden, um das IC-Bauteil 960 zu fertigen. Somit verwendet der IC-Fab 950 mindestens indirekt das IC-Designlayout-Schaubild 922 zum Fertigen des IC-Bauteils 960. In einigen Ausführungsformen wird ein Halbleiterwafer 953 durch den IC-Fab 950 unter Verwendung der einen oder der mehreren Masken 945 hergestellt, um das IC-Bauteil 960 zu bilden. In einigen Ausführungsformen enthält die IC-Fertigung die Ausführung einer oder mehrerer lithografischer Belichtungen, die mindestens indirekt auf dem IC-Designlayout-Schaubild 922 basieren. Der Halbleiterwafer 953 umfasst ein Siliziumsubstrat oder ein anderes zweckmäßiges Substrat, auf dem Materialschichten ausgebildet sind. Der Halbleiterwafer 953 umfasst des Weiteren eines oder mehrere von verschiedenen dotierten Regionen, dielektrischen Merkmalen, Interconnect-Verbindungen auf mehreren Ebenen und dergleichen (die in anschließenden Herstellungsschritten gebildet werden).The
Details bezüglich eines IC-Herstellungssystems (zum Beispiel des Systems 900 von
In einigen Ausführungsformen umfasst ein Schaltkreis einen Vorspannungsschaltkreis, der einen ersten Eingangsanschluss aufweist, der dafür eingerichtet ist, eine erste Versorgungsspannung zu empfangen, und einen zweiten Eingangsanschluss aufweist, der dafür eingerichtet ist, eine zweite Versorgungsspannung zu empfangen, wobei der Vorspannungsschaltkreis dafür eingerichtet ist, eine Vorspannung zu generieren, die den größeren eines ersten Spannungspegels der ersten Versorgungsspannung und eines zweiten Spannungspegels der zweiten Versorgungsspannung aufweist, und einen Pegelverschieber, der einen ersten PMOS-Transistor aufweist, der dafür eingerichtet ist, die erste Versorgungsspannung zu empfangen, und einen zweiten PMOS-Transistor aufweist, der dafür eingerichtet ist, die zweite Versorgungsspannung zu empfangen, wobei sowohl der erste als auch der zweite PMOS-Transistor einen Volumenanschluss aufweisen, der dafür eingerichtet ist, die Vorspannung zu empfangen. In einigen Ausführungsformen umfasst der Vorspannungsschaltkreis einen dritten PMOS-Transistor, der dafür eingerichtet ist, die erste Versorgungsspannung zu empfangen, und einen vierten PMOS-Transistor, der dafür eingerichtet ist, die zweite Versorgungsspannung zu empfangen, wobei sowohl der dritte als auch der vierte PMOS-Transistor einen Volumenanschluss aufweisen, der dafür eingerichtet ist, die Vorspannung zu empfangen. In einigen Ausführungsformen umfasst der dritte PMOS-Transistor ein Gate, das dafür eingerichtet ist, die zweite Versorgungsspannung zu empfangen, einen ersten S/D-Anschluss, der dafür eingerichtet ist, die erste Versorgungsspannung zu empfangen, und einen zweiten S/D-Anschluss; der vierte PMOS-Transistor umfasst ein Gate, das dafür eingerichtet ist, die erste Versorgungsspannung zu empfangen, einen dritten S/D-Anschluss, der dafür eingerichtet ist, die zweite Versorgungsspannung zu empfangen, und einen vierten S/D-Anschluss; und der zweite und der vierte S/D-Anschluss sind miteinander gekoppelt und dafür eingerichtet, die Vorspannung zu generieren. In einigen Ausführungsformen weist der Vorspannungsschaltkreis einen Inverter auf, der dafür eingerichtet ist, eine der ersten und der zweiten Versorgungsspannung zu empfangen, wobei der Inverter einen fünften PMOS-Transistor aufweist, der einen Volumenanschluss umfasst, der dafür eingerichtet ist, die Vorspannung zu empfangen; der dritte PMOS-Transistor umfasst ein Gate, das dafür eingerichtet ist, die eine der ersten und der zweiten Versorgungsspannung zu empfangen, einen ersten S/D-Anschluss, der dafür eingerichtet ist, die andere der ersten und der zweiten Versorgungsspannung zu empfangen, und einen zweiten S/D-Anschluss; der vierte PMOS-Transistor umfasst ein Gate, das mit einem Knoten des Inverters gekoppelt ist, einen dritten S/D-Anschluss, der dafür eingerichtet ist, die eine der ersten und der zweiten Versorgungsspannung zu empfangen, und einen vierten S/D-Anschluss; und der zweite und der vierte S/D-Anschluss sind miteinander gekoppelt und dafür eingerichtet, die Vorspannung zu generieren. In einigen Ausführungsformen weist der Pegelverschieber einen dritten PMOS-Transistor auf, der dafür eingerichtet ist, die zweite Versorgungsspannung zu empfangen, wobei der dritte PMOS-Transistor einen Volumenanschluss aufweist, der dafür eingerichtet ist, die Vorspannung zu empfangen. In einigen Ausführungsformen umfasst der Pegelverschieber einen ersten NMOS-Transistor, der mit dem ersten PMOS-Transistor in Reihe geschaltet ist, einen zweiten NMOS-Transistor, der mit dem zweiten PMOS-Transistor in Reihe geschaltet ist, und einen dritten NMOS-Transistor, der mit dem dritten PMOS-Transistor in Reihe geschaltet ist, wobei der erste NMOS-Transistor und der erste PMOS-Transistor als ein Inverter angeordnet sind, der dafür eingerichtet ist, ein Eingangssignal zu empfangen, der zweite NMOS-Transistor dafür eingerichtet ist, ein durch den Inverter ausgegebenes Signal zu empfangen, und der dritte NMOS-Transistor dafür eingerichtet ist, das Eingangssignal zu empfangen. In einigen Ausführungsformen sind die Volumenanschlüsse des ersten und des zweiten PMOS-Transistors mit derselben n-Mulde gekoppelt.In some embodiments, a circuit includes a biasing circuit having a first input terminal configured to receive a first supply voltage and a second input terminal configured to receive a second supply voltage, the biasing circuit configured to generate a bias voltage having the greater of a first voltage level of the first supply voltage and a second voltage level of the second supply voltage, and a level shifter having a first PMOS transistor configured to receive the first supply voltage and a second PMOS transistor configured to receive the second supply voltage, each of the first and second PMOS transistors having a bulk terminal configured to receive the bias voltage. In some embodiments, the bias circuit includes a third PMOS transistor configured to receive the first supply voltage and a fourth PMOS transistor configured to receive the first supply voltage tet to receive the second supply voltage, each of the third and fourth PMOS transistors having a bulk terminal configured to receive the bias voltage. In some embodiments, the third PMOS transistor includes a gate configured to receive the second supply voltage, a first S/D terminal configured to receive the first supply voltage, and a second S/D terminal ; the fourth PMOS transistor includes a gate configured to receive the first supply voltage, a third S/D terminal configured to receive the second supply voltage, and a fourth S/D terminal; and the second and fourth S/D ports are coupled together and configured to generate the bias voltage. In some embodiments, the biasing circuit includes an inverter configured to receive one of the first and second supply voltages, the inverter including a fifth PMOS transistor including a bulk terminal configured to receive the bias voltage; the third PMOS transistor includes a gate configured to receive the one of the first and second supply voltages, a first S/D terminal configured to receive the other of the first and second supply voltages, and a second S/D port; the fourth PMOS transistor includes a gate coupled to a node of the inverter, a third S/D terminal configured to receive the one of the first and second supply voltages, and a fourth S/D terminal ; and the second and fourth S/D ports are coupled together and configured to generate the bias voltage. In some embodiments, the level shifter includes a third PMOS transistor configured to receive the second supply voltage, the third PMOS transistor having a bulk terminal configured to receive the bias voltage. In some embodiments, the level shifter includes a first NMOS transistor connected in series with the first PMOS transistor, a second NMOS transistor connected in series with the second PMOS transistor, and a third NMOS transistor connected in series with the second PMOS transistor is connected in series with the third PMOS transistor, the first NMOS transistor and the first PMOS transistor being arranged as an inverter arranged to receive an input signal, the second NMOS transistor being arranged to generate a through receive the signal output from the inverter, and the third NMOS transistor is configured to receive the input signal. In some embodiments, the bulk terminals of the first and second PMOS transistors are coupled to the same n-well.
In einigen Ausführungsformen umfasst ein IC eine n-Mulde, einen ersten Stromversorgungsknoten, der dafür eingerichtet ist, eine erste Versorgungsspannung aufzuweisen, einen zweiten Stromversorgungsknoten, der dafür eingerichtet ist, eine zweite Versorgungsspannung aufzuweisen, einen Vorspannungsschaltkreis, der einen ersten PMOS-Transistor aufweist, der in der n-Mulde positioniert ist und einen ersten S/D-Anschluss aufweist, der mit dem ersten Stromversorgungsknoten gekoppelt ist, und einen zweiten PMOS-Transistor aufweist, der in der n-Mulde positioniert ist und einen zweiten S/D-Anschluss aufweist, der mit dem zweiten Stromversorgungsknoten gekoppelt ist, wobei der Vorspannungsschaltkreis dafür eingerichtet ist, die n-Mulde mit einer Vorspannung, die einen Vorspannungspegel aufweist, auf der Grundlage des größeren eines ersten Spannungspegels der ersten Versorgungsspannung und eines zweiten Spannungspegels der zweiten Versorgungsspannung vorzuspannen, und einen Pegelverschieber, der einen dritten PMOS-Transistor aufweist, der in der n-Mulde positioniert ist und einen dritten S/D-Anschluss aufweist, der mit dem ersten Stromversorgungsknoten gekoppelt ist, und einen vierten PMOS-Transistor aufweist, der in der n-Mulde positioniert ist und einen vierten S/D-Anschluss aufweist, der mit dem zweiten Stromversorgungsknoten gekoppelt ist. In einigen Ausführungsformen ist der Vorspannungsschaltkreis dafür eingerichtet, die n-Mulde mit der Vorspannung vorzuspannen, die den Vorspannungspegel aufweist, der gleich dem größeren des ersten Spannungspegels und des zweiten Spannungspegels ist. In einigen Ausführungsformen weist der erste PMOS-Transistor einen fünften S/D-Anschluss auf, der zweite PMOS-Transistor weist einen sechsten S/D-Anschluss auf, und der fünfte und der sechste S/D-Anschluss sind miteinander gekoppelt und dafür eingerichtet, die Vorspannung zu generieren. In einigen Ausführungsformen weist der erste PMOS-Transistor ein Gate auf, das mit dem zweiten Stromversorgungsknoten gekoppelt ist, und der zweite PMOS-Transistor weist ein Gate auf, das mit dem ersten Stromversorgungsknoten gekoppelt ist. In einigen Ausführungsformen umfasst der Vorspannungsschaltkreis einen fünften PMOS-Transistor, der in der n-Mulde positioniert ist und aufweist: einen siebenten S/D-Anschluss, der mit dem ersten Stromversorgungsknoten gekoppelt ist, ein Gate, das mit dem zweiten Stromversorgungsknoten gekoppelt ist, und einen achten S/D-Anschluss, der mit einem internen Knoten gekoppelt ist, sowie einen NMOS-Transistor, der aufweist: einen neunten S/D-Anschluss, der mit dem internen Knoten gekoppelt ist, ein Gate, das mit dem zweiten Stromversorgungsknoten gekoppelt ist, und einen zehnten S/D-Anschluss, der mit einem Referenzknoten gekoppelt ist, der dafür eingerichtet ist, eine Referenzspannung aufzuweisen, wobei der erste PMOS-Transistor ein Gate aufweist, das mit dem zweiten Stromversorgungsknoten gekoppelt ist, und der zweite PMOS-Transistor ein Gate aufweist, das mit dem internen Knoten gekoppelt ist. In einigen Ausführungsformen umfasst der Vorspannungsschaltkreis einen fünften PMOS-Transistor, der in der n-Mulde positioniert ist und aufweist: ein Gate, das mit dem ersten Stromversorgungsknoten gekoppelt ist, einen siebenten S/D-Anschluss, der mit dem zweiten Stromversorgungsknoten gekoppelt ist, und einen achten S/D-Anschluss, der mit einem internen Knoten gekoppelt ist, sowie einen NMOS-Transistor, der aufweist: einen neunten S/D-Anschluss, der mit dem internen Knoten gekoppelt ist, ein Gate, das mit dem ersten Stromversorgungsknoten gekoppelt ist, und einen zehnten S/D-Anschluss, der mit einem Referenzknoten gekoppelt ist, der dafür eingerichtet ist, eine Referenzspannung aufzuweisen, wobei der erste PMOS-Transistor ein Gate aufweist, das mit dem internen Knoten gekoppelt ist, und der zweite PMOS-Transistor ein Gate aufweist, das mit dem zweiten Stromversorgungsknoten gekoppelt ist. In einigen Ausführungsformen umfasst der Pegelverschieber einen fünften PMOS-Transistor, der in der n-Mulde positioniert ist und einen fünften S/D-Anschluss aufweist, der mit dem zweiten Stromversorgungsknoten gekoppelt ist, einen ersten NMOS-Transistor, der zwischen dem dritten PMOS-Transistor und einem Referenzknoten gekoppelt ist, der dafür eingerichtet ist, eine Referenzspannung aufzuweisen, einen zweiten NMOS-Transistor, der zwischen dem vierten PMOS-Transistor und dem Referenzknoten gekoppelt ist, und einen dritten NMOS-Transistor, der zwischen dem fünften PMOS-Transistor und dem Referenzknoten gekoppelt ist, wobei jeder der ersten bis dritten NMOS-Transistoren einen Volumenanschluss aufweist, der mit dem Referenzknoten gekoppelt ist.In some embodiments, an IC includes an n-well, a first power supply node configured to have a first supply voltage, a second power supply node configured to have a second supply voltage, a bias circuit including a first PMOS transistor, positioned in the n-well and having a first S/D terminal coupled to the first power supply node and a second PMOS transistor positioned in the n-well and a second S/D terminal coupled to the second power supply node, wherein the bias circuit is configured to bias the n-well with a bias voltage having a bias level based on the larger of a first voltage level of the first supply voltage and a second voltage level of the second supply voltage, and a level shifter that a third PMOS transistor positioned in the n-well and having a third S/D terminal coupled to the first power supply node and a fourth PMOS transistor positioned in the n-well and has a fourth S/D port coupled to the second power supply node. In some embodiments, the bias circuit is configured to bias the n-well with the bias voltage having the bias level equal to the greater of the first voltage level and the second voltage level. In some embodiments, the first PMOS transistor has a fifth S/D terminal, the second PMOS transistor has a sixth S/D terminal, and the fifth and sixth S/D terminals are coupled and configured to each other to generate the bias. In some embodiments, the first PMOS transistor has a gate coupled to the second power supply node and the second PMOS transistor has a gate coupled to the first power supply node. In some embodiments, the bias circuit includes a fifth PMOS transistor positioned in the n-well and having: a seventh S/D terminal coupled to the first power supply node, a gate coupled to the second power supply node, and an eighth S/D terminal coupled to an internal node, and an NMOS transistor having: a ninth S/D terminal coupled to the internal node, a gate connected to the second power supply node and a tenth S/D port coupled to a reference node configured to have a reference voltage, the first PMOS transistor having a gate coupled to the second power supply node and the second PMOS transistor having a gate coupled to the internal node. In some embodiments, the bias circuit includes a fifth PMOS transistor positioned in the n-well and having: a gate coupled to the first power supply node, a seventh S/D terminal coupled to the second power supply node, and an eighth S/D terminal coupled to an internal node, and an NMOS transistor having: a ninth S/D terminal coupled to the internal node, a gate coupled to the first power supply node and a tenth S/D terminal coupled to a reference node configured to have a reference voltage, the first PMOS transistor having a gate coupled to the internal node and the second PMOS transistor has a gate coupled to the second power supply node. In some embodiments, the level shifter includes a fifth PMOS transistor positioned in the n-well and having a fifth S/D terminal coupled to the second power supply node, a first NMOS transistor coupled between the third PMOS Transistor and a reference node adapted to have a reference voltage, a second NMOS transistor coupled between the fourth PMOS transistor and the reference node, and a third NMOS transistor coupled between the fifth PMOS transistor and is coupled to the reference node, each of the first through third NMOS transistors having a bulk terminal coupled to the reference node.
In einigen Ausführungsformen umfasst ein Verfahren zum Betreiben eines Pegelverschiebungsschaltkreises das Empfangen einer ersten und einer zweiten Versorgungsspannung in einem Vorspannungsschaltkreis, das Verwenden des Vorspannungsschaltkreises zum Generieren einer Vorspannung auf der Grundlage des größeren eines ersten Spannungspegels der ersten Versorgungsspannung und eines zweiten Spannungspegels der zweiten Versorgungsspannung, das Empfangen der ersten Versorgungsspannung an einem ersten S/D-Anschluss eines ersten PMOS-Transistors eines Pegelverschiebers, das Empfangen der zweiten Versorgungsspannung an einem zweiten S/D-Anschluss eines zweiten PMOS-Transistors des Pegelverschiebers, und das Verwenden der Vorspannung zum Vorspannen einer n-Mulde, die den ersten und den zweiten PMOS-Transistor aufweist. In einigen Ausführungsformen umfasst das Empfangen der ersten und der zweiten Versorgungsspannung in dem Vorspannungsschaltkreis das Empfangen der ersten Versorgungsspannung an einem dritten S/D-Anschluss eines dritten PMOS-Transistors des Vorspannungsschaltkreises und das Empfangen der zweiten Versorgungsspannung an einem vierten S/D-Anschluss eines vierten PMOS-Transistors des Vorspannungsschaltkreises, wobei die n-Mulde der dritten und den vierten PMOS-Transistor aufweist. In einigen Ausführungsformen umfasst das Verwenden des Vorspannungsschaltkreises zum Generieren der Vorspannung das Generieren der Vorspannung unter Verwendung eines fünften S/D-Anschlusses des dritten PMOS-Transistors, der mit einem sechsten S/D-Anschluss des vierten PMOS-Transistors gekoppelt ist. In einigen Ausführungsformen umfasst das Verwenden des Vorspannungsschaltkreises zum Generieren der Vorspannung auf der Grundlage des größeren des ersten Spannungspegels und des zweiten Spannungspegels das Generieren der Vorspannung, die den ersten Spannungspegel aufweist, durch Einschalten des dritten PMOS-Transistors, und das Generieren der Vorspannung, die den zweiten Spannungspegel aufweist, durch Einschalten des vierten PMOS-Transistors. In einigen Ausführungsformen umfasst das Verwenden des Vorspannungsschaltkreises zum Generieren der Vorspannung auf der Grundlage des größeren des ersten Spannungspegels und des zweiten Spannungspegels das Generieren der Vorspannung, die den ersten Spannungspegel aufweist, wenn der zweite Spannungspegel der Situation entspricht, dass ein Stromversorgungsbereich der zweiten Versorgungsspannung in einem Ausschaltmodus arbeitet, und das Generieren der Vorspannung, die den zweiten Spannungspegel aufweist, wenn der erste Spannungspegel der Situation entspricht, dass ein Stromversorgungsbereich der ersten Versorgungsspannung in einem Ausschaltmodus arbeitet. In einigen Ausführungsformen umfasst das Empfangen der ersten Versorgungsspannung an dem ersten S/D-Anschluss des ersten PMOS-Transistors das Empfangen der ersten Versorgungsspannung in einem Inverter, der den ersten PMOS-Transistor aufweist, und das Empfangen der zweiten Versorgungsspannung an dem zweiten S/D-Anschluss des zweiten PMOS-Transistors umfasst das Empfangen der zweiten Versorgungsspannung an einem kreuzgekoppelten Transistorpaar, das den zweiten PMOS-Transistor aufweist.In some embodiments, a method of operating a level shifting circuit includes receiving a first and a second supply voltage in a bias circuit, using the bias circuit to generate a bias voltage based on the greater of a first voltage level of the first supply voltage and a second voltage level of the second supply voltage receiving the first supply voltage at a first S/D terminal of a first PMOS transistor of a level shifter, receiving the second supply voltage at a second S/D terminal of a second PMOS transistor of the level shifter, and using the bias voltage to bias an n -well comprising the first and second PMOS transistors. In some embodiments, receiving the first and second supply voltages in the bias circuit includes receiving the first supply voltage at a third S/D terminal of a third PMOS transistor of the bias circuit and receiving the second supply voltage at a fourth S/D terminal of a fourth PMOS transistor of the bias circuit, the n-well comprising the third and fourth PMOS transistors. In some embodiments, using the bias circuit to generate the bias voltage includes generating the bias voltage using a fifth S/D terminal of the third PMOS transistor coupled to a sixth S/D terminal of the fourth PMOS transistor. In some embodiments, using the bias circuit to generate the bias voltage based on the greater of the first voltage level and the second voltage level includes generating the bias voltage having the first voltage level by turning on the third PMOS transistor, and generating the bias voltage having the has the second voltage level by turning on the fourth PMOS transistor. In some embodiments, using the bias circuit to generate the bias voltage based on the greater of the first voltage level and the second voltage level comprises generating the bias voltage having the first voltage level when the second voltage level corresponds to the situation that a power supply range of the second supply voltage is in operates in an off mode, and generating the bias voltage having the second voltage level when the first voltage level corresponds to the situation that a power supply portion of the first supply voltage operates in an off mode. In some embodiments, receiving the first supply voltage at the first S/D terminal of the first PMOS transistor includes receiving the first supply voltage in an inverter having the first PMOS transistor and receiving the second supply voltage at the second S/ D-connecting the second PMOS transistor includes receiving the second supply voltage at a cross-coupled transistor pair comprising the second PMOS transistor.
Das oben Dargelegte umreißt Merkmale verschiedener Ausführungsformen, so dass der Fachmann die Aspekte der vorliegenden Offenbarung besser verstehen kann. Dem Fachmann ist klar, dass er die vorliegende Offenbarung ohne Weiteres als Grundlage für das Entwerfen oder Modifizieren anderer Prozesse und Strukturen verwenden kann, um die gleichen Zwecke und/oder die gleichen Vorteile wie bei den im vorliegenden Text vorgestellten Ausführungsformen zu erreichen. Dem Fachmann sollte auch klar sein, dass solche äquivalenten Bauformen nicht das Wesen und den Schutzumfang der vorliegenden Offenbarung verlassen, und dass er verschiedene Änderungen, Substituierungen und Modifizierungen an der vorliegenden Erfindung vornehmen kann, ohne vom Wesen und Schutzumfang der vorliegenden Offenbarung abzuweichen.The above outlines features of various embodiments so that those skilled in the art may better understand aspects of the present disclosure. Those skilled in the art will appreciate that they can readily use the present disclosure as a basis for designing or modifying other processes and structures to achieve the same purposes and/or advantages as those presented herein achieve embodiments. It should also be understood by those skilled in the art that such equivalent constructions do not depart from the spirit and scope of the present disclosure and that various changes, substitutions and modifications can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the present disclosure.
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6084476A (en) | 1998-02-23 | 2000-07-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Operational amplifier |
US7260442B2 (en) | 2004-03-03 | 2007-08-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method and system for mask fabrication process control |
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Family Cites Families (14)
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---|---|---|---|---|
JPH09130231A (en) * | 1995-11-06 | 1997-05-16 | Seiko Epson Corp | Semiconductor integrated device |
US5786724A (en) | 1996-12-17 | 1998-07-28 | Texas Instruments Incorporated | Control of body effect in MOS transistors by switching source-to-body bias |
KR100429895B1 (en) * | 2001-11-21 | 2004-05-03 | 한국전자통신연구원 | Level shifter having a plurlity of outputs |
US9608604B2 (en) * | 2006-12-14 | 2017-03-28 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Voltage level shifter with single well voltage |
US7605633B2 (en) * | 2007-03-20 | 2009-10-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Level shift circuit which improved the blake down voltage |
TWI350055B (en) * | 2007-03-31 | 2011-10-01 | Sandisk 3D Llc | Level shifter circuit,method for level shifting and product manufacturing method for incorporating a level shifter circuit |
US9298238B2 (en) | 2012-06-28 | 2016-03-29 | Nxp B.V. | CMOS power backup switching circuit and method for operating a CMOS power backup switching circuit |
US8850366B2 (en) | 2012-08-01 | 2014-09-30 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Method for making a mask by forming a phase bar in an integrated circuit design layout |
CN103812498B (en) * | 2012-11-13 | 2016-10-05 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | Over-driving device |
US9465906B2 (en) | 2014-04-01 | 2016-10-11 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | System and method for integrated circuit manufacturing |
US9762833B1 (en) | 2016-05-24 | 2017-09-12 | Omnivision Technologies, Inc. | Adaptive body biasing circuit for latch-up prevention |
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US11424741B2 (en) * | 2020-09-30 | 2022-08-23 | Nxp B.V. | Active N-well switching circuit for power switches |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6084476A (en) | 1998-02-23 | 2000-07-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Operational amplifier |
US7260442B2 (en) | 2004-03-03 | 2007-08-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method and system for mask fabrication process control |
US9256709B2 (en) | 2014-02-13 | 2016-02-09 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Method for integrated circuit mask patterning |
EP3499720A1 (en) | 2017-12-14 | 2019-06-19 | NXP USA, Inc. | Level shifter having constant duty cycle across process, voltage, and temperature variations |
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