DE102019218499A1 - OPTOELECTRONIC COMPONENT - Google Patents
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Abstract
Es wird ein optoelektronisches Bauelement (10) angegeben, umfassend mindestens einen zur Emission von Strahlung geeigneten aktiven Bereich, wobei der aktive Bereich durch einen Heteroübergang zwischen einer p-dotierten III-V-Halbleiterschicht (3) und einer transparenten aktiven Schicht (4) gebildet ist, und wobei der aktive Bereich einen lumineszenten Dotierstoff aufweist.An optoelectronic component (10) is specified, comprising at least one active area suitable for emitting radiation, the active area being formed by a heterojunction between a p-doped III-V semiconductor layer (3) and a transparent active layer (4) and wherein the active area comprises a luminescent dopant.
Description
Die Erfindung betrifft ein optoelektronisches Bauelement mit mindestens einem zur Emission von Strahlung geeigneten aktiven Bereich. Das optoelektronische Bauelement kann insbesondere ein mehrfarbiges LED-Display sein.The invention relates to an optoelectronic component having at least one active region suitable for emitting radiation. The optoelectronic component can in particular be a multicolored LED display.
Eine zu lösende Aufgabe besteht darin, ein optoelektronisches Bauelement anzugeben, bei dem der mindestens eine zur Emission von Strahlung geeignete aktive Bereich mit einem vergleichsweise geringen Herstellungsaufwand herstellbar und insbesondere für ein mehrfarbiges Display geeignet ist.One problem to be solved consists in specifying an optoelectronic component in which the at least one active region suitable for emitting radiation can be produced with comparatively little manufacturing effort and is particularly suitable for a multicolored display.
Diese Aufgabe wird durch ein optoelektronisches Bauelement gemäß dem unabhängigen Patentanspruch gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.This object is achieved by an optoelectronic component according to the independent patent claim. Advantageous refinements and developments of the invention are the subject matter of the dependent claims.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform umfasst das optoelektronische Bauelement mindestens einen zur Emission von Strahlung geeigneten aktiven Bereich, wobei der aktive Bereich durch einen Heteroübergang zwischen einer p-dotierten III-V-Halbleiterschicht und einer transparenten aktiven Schicht gebildet ist. Der aktive Bereich des optoelektronischen Bauelements weist einen lumineszenten Dotierstoff auf.In accordance with at least one embodiment, the optoelectronic component comprises at least one active region suitable for emitting radiation, the active region being formed by a heterojunction between a p-doped III-V semiconductor layer and a transparent active layer. The active area of the optoelectronic component has a luminescent dopant.
Im Unterschied zu herkömmlichen Leuchtdioden, die auf III-V-Halbleitermaterialien basieren, ist der aktive Bereich bei dem hierin beschriebenen optoelektronischen Bauelement nicht als pn-Übergang oder Heteroübergang zwischen benachbarten III-V-Halbleiterschichten, sondern als Heteroübergang zwischen einer p-dotierten III-V-Halbleiterschicht und einer transparenten aktiven Schicht mit einem lumineszenten Dotierstoff ausgebildet. Insbesondere grenzt die p-dotierte III-V-Halbleiterschicht in dem aktiven Bereich nicht an eine weitere III-V-Halbleiterschicht an. Die transparente aktive Schicht kann insbesondere eine transparente leitfähige Oxidschicht sein, die mit dem lumineszenten Dotierstoff dotiert ist. Das optoelektronische Bauelement macht unter anderem von der Idee Gebrauch, dass in dem aktiven Bereich mit dem lumineszenten Dotierstoff die Lichtemission des unter anderem ionisiert vorliegenden lumineszenten Dotierstoffes durch eine Rekombination mit Ladungsträgern erzeugt oder verbessert werden kann. Diese Strahlung kann vorteilhaft eine Wellenlänge aufweisen, die mit dem III-V-Halbleitermaterial der p-dotierten III-V-Halbleiterschicht nicht ohne weiteres erzeugt werden kann.In contrast to conventional light-emitting diodes based on III-V semiconductor materials, the active area in the optoelectronic component described here is not a pn junction or heterojunction between adjacent III-V semiconductor layers, but rather as a heterojunction between a p-doped III- V-semiconductor layer and a transparent active layer formed with a luminescent dopant. In particular, the p-doped III-V semiconductor layer does not adjoin a further III-V semiconductor layer in the active region. The transparent active layer can in particular be a transparent conductive oxide layer which is doped with the luminescent dopant. The optoelectronic component makes use, inter alia, of the idea that, in the active area with the luminescent dopant, the light emission of the luminescent dopant present, inter alia, in ionized form can be generated or improved by recombination with charge carriers. This radiation can advantageously have a wavelength which cannot easily be generated with the III-V semiconductor material of the p-doped III-V semiconductor layer.
Beispielsweise kann die p-dotierte III-V-Halbleiterschicht ein Nitridverbindungshalbleitermaterial, insbesondere GaN, aufweisen. Nitridverbindungshalbleitermaterialien sind aufgrund ihrer elektronischen Bandlücke zur Erzeugung von UV-Strahlung, blauem oder grünen Licht geeignet. Der lumineszente Dotierstoff kann in diesem Fall vorteilhaft zur Erzeugung von rotem Licht geeignet sein. Der aktive Bereich mit dem Heteroübergang zwischen der p-dotierten III-V-Halbleiterschicht und der transparenten aktiven Schicht kann vorteilhaft auf dem gleichen Substrat hergestellt werden wie ein herkömmliches Nitridverbindungshalbleiterbauelement. Dies reduziert vorteilhaft den Herstellungsaufwand, wenn das optoelektronische Bauelement ein mehrfarbiges LED-Display wie insbesondere einem RGB-Display ist. Beispielsweise ist es bei dem hierin beschriebenen optoelektronischen Bauelement möglich, Pixel der Farben Rot, Grün und Blau auf dem gleichen Substrat zu erzeugen.For example, the p-doped III-V semiconductor layer can have a nitride compound semiconductor material, in particular GaN. Due to their electronic band gap, nitride compound semiconductor materials are suitable for generating UV radiation, blue or green light. In this case, the luminescent dopant can advantageously be suitable for generating red light. The active region with the heterojunction between the p-doped III-V semiconductor layer and the transparent active layer can advantageously be produced on the same substrate as a conventional nitride compound semiconductor component. This advantageously reduces the manufacturing outlay if the optoelectronic component is a multicolor LED display such as, in particular, an RGB display. For example, in the case of the optoelectronic component described herein, it is possible to produce pixels of the colors red, green and blue on the same substrate.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist der lumineszente Dotierstoff Europium (Eu). Der Dotierstoff Europium ist vorteilhaft zur Ausbildung von Lumineszenzzentren geeignet, die rotes Licht emittieren.According to at least one embodiment, the luminescent dopant is europium (Eu). The dopium europium is advantageously suitable for the formation of luminescence centers that emit red light.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist der aktive Bereich ein Grenzflächenbereich der transparenten aktiven Schicht. Der lumineszente Dotierstoff kann insbesondere im Grenzflächenbereich oder in der gesamten transparenten aktiven Schicht enthalten sein. Die transparente aktive Schicht kann beispielsweise direkt an die p-dotierte III-V-Halbleiterschicht angrenzen. An einer der p-dotierten III-V-Halbleiterschicht abgweandten Seite kann die transparente aktive Schicht an eine transparente leitfähige Oxidschicht angrenzen. In diesem Fall ist es möglich, dass der lumineszente Dotierstoff auch in der transparenten leitfähigen Oxidschicht enthalten ist.In accordance with at least one embodiment, the active region is an interface region of the transparent active layer. The luminescent dopant can in particular be contained in the interface region or in the entire transparent active layer. The transparent active layer can, for example, directly adjoin the p-doped III-V semiconductor layer. On a side facing away from the p-doped III-V semiconductor layer, the transparent active layer can adjoin a transparent conductive oxide layer. In this case it is possible that the luminescent dopant is also contained in the transparent conductive oxide layer.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform weist die transparente aktive Schicht ZnO oder Ga2O3 auf. ZnO oder Ga2O3 bilden in diesem Fall das Grundmaterial, das zusätzlich einen oder mehrere Dotierstoffe aufweisen kann. Ein geeigneter lumineszenter Dotierstoff ist insbesondere Eu. Andere Elemente aus der Gruppe der seltenen Erden können insbesondere als Ko-Dotierstoff verwendet werden. Geeignete Materialien sind beispielsweise ZnO:Eu; ZnO:Eu, Ga; ZnO: Eu, Al; ZnO:Eu, X oder Ga2O3:Eu, X; wobei X ein Element aus der Gruppe der seltenen Erden oder ein anderer geeigneter Ko-Dotierstoff ist. Elemente aus der Gruppe der seltenen Erden sind beispielsweise Er, Tb oder Ce.In accordance with at least one embodiment, the transparent active layer has ZnO or Ga 2 O 3 . In this case, ZnO or Ga 2 O 3 form the base material, which can additionally have one or more dopants. A suitable luminescent dopant is in particular Eu. Other elements from the group of rare earths can in particular be used as co-dopants. Suitable materials are, for example, ZnO: Eu; ZnO: Eu, Ga; ZnO: Eu, Al; ZnO: Eu, X or Ga 2 O 3 : Eu, X; where X is an element from the group of rare earths or another suitable co-dopant. Elements from the group of rare earths are, for example, Er, Tb or Ce.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist die transparente aktive Schicht n-dotiert. Geeignete n-Dotierstoffe für beispielsweise ZnO sind insbesondere Ga und Al.In accordance with at least one embodiment, the transparent active layer is n-doped. Suitable n-dopants for, for example, ZnO are, in particular, Ga and Al.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist an einer der p-dotierten III-V-Halbleiterschicht zugewandten Grenzfläche der transparenten aktiven Schicht eine Elektronenbarriereschicht angeordnet und/oder an einer von der p-dotierten III-V-Halbleiterschicht abgewandten Grenzfläche der transparenten aktiven Schicht eine Löcherbarriereschicht angeordnet. Durch die Elektronenbarriereschicht und/oder die Löcherbarriereschicht wird ein möglicherweise verbesserter Einschluss (Confinement) von Ladungsträgern in der transparenten aktiven Schicht erreicht. Die Rekombination von Ladungsträgern mit dem lumineszenten Dotierstoff und die daraus resultierende Erzeugung von Strahlung durch den lumineszenten Dotierstoff werden auf diese Weise verbessert. Die Löcherbarriereschicht kann zum Beispiel In2O3:SnO2, d.h. mit SnO2 dotiertes In2O3, aufweisen. Die Elektronenbarriereschicht kann zum Beispiel Ga2O3, i-ZnO, IGZO, AlGaN (insbesondere als Gradientenschicht), MgO oder ZnS aufweisen. Es ist möglich, dass die Elektronenbarriereschicht mit dem lumineszenten Dotierstoff dotiert ist.In accordance with at least one embodiment, the p-doped III-V semiconductor layer is on one of the An electron barrier layer is arranged facing the interface of the transparent active layer and / or a hole barrier layer is arranged on an interface of the transparent active layer facing away from the p-doped III-V semiconductor layer. A possibly improved confinement of charge carriers in the transparent active layer is achieved by the electron barrier layer and / or the hole barrier layer. The recombination of charge carriers with the luminescent dopant and the resulting generation of radiation by the luminescent dopant are improved in this way. The hole barrier layer can, for example, have In 2 O 3 : SnO 2 , ie In 2 O 3 doped with SnO 2 . The electron barrier layer can have, for example, Ga 2 O 3 , i-ZnO, IGZO, AlGaN (in particular as a gradient layer), MgO or ZnS. It is possible for the electron barrier layer to be doped with the luminescent dopant.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform weist die p-dotierte III-V-Halbleiterschicht ein Nitridverbindungshalbleitermaterial auf, insbesondere InxAlyGa1-x-yN mit 0 ≤ x ≤ 1, 0 ≤ y ≤ 1 und x + y ≤ 1. Bevorzugt weist die p-dotierte III-V-Halbleiterschicht p-GaN auf. Der p-Dotierstoff kann beispielsweise Mg sein.In accordance with at least one embodiment, the p-doped III-V semiconductor layer has a nitride compound semiconductor material, in particular In x Al y Ga 1-xy N with 0 x 1, 0
Gemäß zumindest einer Ausführungsform ist der aktive Bereich in einem Schichtstapel angeordnet, der eine Leuchtdiodenschichtenfolge umfasst. In diesem Fall ist es möglich, dass die Lichtemission des aktiven Bereichs durch die Leuchtdiodenschichtenfolge hindurch erfolgt. Die Leuchtdiodenschichtenfolge kann vorteilhaft auf dem gleichen Aufwachssubstrat aufgewachsen sein wie die p-dotierte IIV-V-Halbleiterschicht, die den Heteroübergang mit der transparenten aktiven Schicht ausbildet. Ein separates Aufwachsen verschiedener Materialsysteme auf verschiedenen Aufwachssubstraten und ein anschließender Transfer auf ein gemeinsames Trägersubstrat können vorteilhaft vermieden werden.In accordance with at least one embodiment, the active region is arranged in a layer stack which comprises a light-emitting diode layer sequence. In this case it is possible that the light emission of the active area takes place through the light-emitting diode layer sequence. The light-emitting diode layer sequence can advantageously be grown on the same growth substrate as the p-doped IIV-V semiconductor layer which forms the heterojunction with the transparent active layer. A separate growth of different material systems on different growth substrates and a subsequent transfer to a common carrier substrate can advantageously be avoided.
Die Leuchtdiodenschichtenfolge weist zum Beispiel einen p-Typ Halbleiterbereich, einen n-Typ Halbleiterbereich und eine zwischen dem p-Typ Halbleiterbereich und dem n-Typ Halbleiterbereich angeordnete aktive Schicht auf. Der p-Typ Halbleiterbereich, der n-Typ Halbleiterbereich und die aktive Schicht können jeweils eine oder mehrere Halbleiterschichten umfassen. Der p-Typ Halbleiterbereich enthält eine oder mehrere p-dotierte Halbleiterschichten und der n-dotierte Halbleiterbereich eine oder mehrere n-dotierte Halbleiterschichten. Es ist auch möglich, dass der p-Typ Halbleiterbereich und/oder der n-Typ Halbleiterbereich eine oder mehrere undotierte Halbleiterschichten enthalten. Die Leuchtdiodenschichtenfolge basiert vorzugsweise auf einem III-V-Verbindungshalbleitermaterial, insbesondere auf einem Nitrid-, Phosphid- oder Arsenidverbindungshalbleitermaterial. Beispielsweise kann die Leuchtdiodenschichtenfolge InxAlyGa1-x-yN, InxAlyGa1-x-yP oder InxAlyGa1-x-yAs, jeweils mit 0 ≤ x ≤ 1, 0 ≤ y ≤ 1 und x + y ≤ 1, enthalten. Dabei muss das III-V-Verbindungshalbleitermaterial nicht zwingend eine mathematisch exakte Zusammensetzung nach einer der obigen Formeln aufweisen. Vielmehr kann es einen oder mehrere Dotierstoffe sowie zusätzliche Bestandteile aufweisen. Der Einfachheit halber beinhalten obige Formeln jedoch nur die wesentlichen Bestandteile des Kristallgitters, auch wenn diese teilweise durch geringe Mengen weiterer Stoffe ersetzt sein können.The light-emitting diode layer sequence has, for example, a p-type semiconductor region, an n-type semiconductor region and an active layer arranged between the p-type semiconductor region and the n-type semiconductor region. The p-type semiconductor region, the n-type semiconductor region and the active layer can each comprise one or more semiconductor layers. The p-type semiconductor region contains one or more p-doped semiconductor layers and the n-doped semiconductor region one or more n-doped semiconductor layers. It is also possible for the p-type semiconductor region and / or the n-type semiconductor region to contain one or more undoped semiconductor layers. The light-emitting diode layer sequence is preferably based on a III-V compound semiconductor material, in particular on a nitride, phosphide or arsenide compound semiconductor material. For example, the light-emitting diode layer sequence In x Al y Ga 1-xy N, In x Al y Ga 1-xy P or In x Al y Ga 1-xy As, in each case with 0 x 1, 0 y und 1 and x + y ≤ 1. The III-V compound semiconductor material does not necessarily have to have a mathematically exact composition according to one of the above formulas. Rather, it can have one or more dopants and additional components. For the sake of simplicity, however, the above formulas only contain the essential components of the crystal lattice, even if these can be partially replaced by small amounts of other substances.
Gemäß zumindest einer Ausgestaltung des optoelektronischen Bauelements emittiert die Leuchtdiodenschichtenfolge UV-Strahlung, blaues Licht und/oder grünes Licht und der durch den Heteroübergang gebildete aktive Bereich rotes Licht. Die transparente aktive Schicht kann bei dieser Ausgestaltung insbesondere ZnO:Eu oder ZnO:Eu, X aufweisen, d.h. mit Europium dotiertes Zinkoxid, das gegebenenfalls mit einem oder mehreren weiteren Dotierstoffen X dotiert ist. Der weitere Dotierstoff X kann zum Beispiel Ga oder Al sein.In accordance with at least one configuration of the optoelectronic component, the light-emitting diode layer sequence emits UV radiation, blue light and / or green light and the active region formed by the heterojunction emits red light. In this embodiment, the transparent active layer can in particular have ZnO: Eu or ZnO: Eu, X, i.e. zinc oxide doped with europium, which is optionally doped with one or more further dopants X. The further dopant X can be, for example, Ga or Al.
Gemäß zumindest einer Ausgestaltung grenzt die p-dotierte III-V-Halbleiterschicht an die Leuchtdiodenschichtenfolge an, wobei die p-dotierte III-V-Halbleiterschicht indirekt über eine an die Leuchtdiodenschichtenfolge angrenzende erste Elektrode kontaktiert ist.In accordance with at least one configuration, the p-doped III-V semiconductor layer adjoins the light-emitting diode layer sequence, the p-doped III-V semiconductor layer being contacted indirectly via a first electrode adjoining the light-emitting diode layer sequence.
Gemäß zumindest einer Ausgestaltung ist das optoelektronische Bauelement ein mehrfarbiges LED-Display, das eine Vielzahl von Pixeln aufweist. Die Pixel sind zur Erzeugung von Licht einer ersten Farbe und zumindest einer weiteren Farbe vorgesehen, wobei zumindest die Pixel, die das Licht der ersten Farbe erzeugen, jeweils einen aktiven Bereich aufweisen, der durch einen Heteroübergang zwischen einer p-dotierten III-V-Halbleiterschicht und einer transparenten aktiven Schicht mit dem lumineszenten Dotierstoff gebildet ist. Das Licht der mindestens einen weiteren Farbe kann beispielsweise durch eine oder mehrere in dem LED-Display enthaltene Leuchtdiodenschichtenfolgen erzeugt werden.In accordance with at least one configuration, the optoelectronic component is a multicolor LED display that has a multiplicity of pixels. The pixels are provided for generating light of a first color and at least one further color, with at least the pixels that generate the light of the first color each having an active area that is formed by a heterojunction between a p-doped III-V semiconductor layer and a transparent active layer is formed with the luminescent dopant. The light of the at least one further color can be generated, for example, by one or more light-emitting diode layer sequences contained in the LED display.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform weisen die ersten Pixel des LED-Displays jeweils den Heteroübergang zwischen der p-dotierten III-V-Halbleiterschicht und der transparenten aktiven Schicht sowie eine Leuchtdiodenschichtenfolge auf. Bei dieser Ausgestaltung kann die p-dotierte III-V-Halbleiterschicht an die Leuchtdiodenschichtenfolge angrenzen, wobei die p-dotierte III-V-Halbleiterschicht indirekt über eine an die Leuchtdiodenschichtenfolge angrenzende erste Elektrode kontaktiert ist. Die p-dotierte III-V-Halbleiterschicht grenzt in diesem Fall nicht direkt an die erste Elektrode an.In accordance with at least one embodiment, the first pixels of the LED display each have the heterojunction between the p-doped III-V semiconductor layer and the transparent active layer as well as a light-emitting diode layer sequence. In this configuration, the p-doped III-V semiconductor layer can adjoin the light-emitting diode layer sequence, the p-doped III-V semiconductor layer being contacted indirectly via a first electrode adjoining the light-emitting diode layer sequence. The p- In this case, doped III-V semiconductor layer does not directly adjoin the first electrode.
Gemäß zumindest einer Ausgestaltung ist die erste Farbe Rot. Beispielsweise ist das mehrfarbige LED-Display ein RGB-Display, bei dem eine erste Gruppe von Pixeln rotes Licht, eine zweite Gruppe von Pixeln grünes Licht und eine dritte Gruppe von Pixeln blaues Licht emittiert. Je nach Ansteuerung und Verdrahtung können auch gleichzeitig oder abwechselnd mehrere Farben von einem Pixel erzeugt werden, wenn mehrere Leuchtdiodenschichtenfolgen und/oder der aktive Bereich der transparenten aktiven Schicht übereinander statt nebeneinander angeordneten werden. Dies kann unter anderem vorteilhaft für die Bildauflösung und/oder den Herstellungsprozess sein.According to at least one embodiment, the first color is red. For example, the multicolor LED display is an RGB display in which a first group of pixels emits red light, a second group of pixels emits green light and a third group of pixels emits blue light. Depending on the control and wiring, several colors can also be generated by a pixel simultaneously or alternately if several light-emitting diode layer sequences and / or the active area of the transparent active layer are arranged one above the other instead of next to one another. Among other things, this can be advantageous for the image resolution and / or the production process.
Das optoelektronische Bauelement ist insbesondere in LED-Displays einsetzbar oder kann ein LED-Display sein. Das LED-Display ist insbesondere ein mehrfarbiges LED-Display, beispielsweise ein RGB-LED-Display. Insbesondere kann das optoelektronische Bauelement in kleinen Displays wie beispielsweise in Smartphones oder Uhren oder in Head-Up Displays eingesetzt werden.The optoelectronic component can be used in particular in LED displays or can be an LED display. The LED display is in particular a multicolor LED display, for example an RGB LED display. In particular, the optoelectronic component can be used in small displays such as, for example, smartphones or watches or in head-up displays.
Die Erfindung wird im Folgenden anhand von Ausführungsbeispielen im Zusammenhang mit den
Es zeigen:
-
1 eine schematische Darstellung eines Querschnitts durch ein optoelektronisches Bauelement gemäß einem ersten Beispiel, -
2 eine schematische Darstellung eines Querschnitts durch ein optoelektronisches Bauelement gemäß einem weiteren Beispiel, -
3 eine schematische Darstellung eines Querschnitts durch ein optoelektronisches Bauelement gemäß einem weiteren Beispiel, -
4 eine schematische Darstellung eines Querschnitts durch ein optoelektronisches Bauelement gemäß einem weiteren Beispiel, -
5 eine schematische Darstellung eines Querschnitts durch ein optoelektronisches Bauelement gemäß einem weiteren Beispiel, -
6 eine schematische Darstellung eines Querschnitts durch ein optoelektronisches Bauelement gemäß einem weiteren Beispiel, -
7 eine schematische Darstellung eines Querschnitts durch ein optoelektronisches Bauelement gemäß einem weiteren Beispiel, -
8 eine schematische Darstellung eines Querschnitts durch ein optoelektronisches Bauelement gemäß einem weiteren Beispiel, und -
9 eine schematische Darstellung eines Querschnitts durch ein optoelektronisches Bauelement gemäß einem weiteren Beispiel.
-
1 a schematic illustration of a cross section through an optoelectronic component according to a first example, -
2 a schematic illustration of a cross section through an optoelectronic component according to a further example, -
3rd a schematic illustration of a cross section through an optoelectronic component according to a further example, -
4th a schematic illustration of a cross section through an optoelectronic component according to a further example, -
5 a schematic illustration of a cross section through an optoelectronic component according to a further example, -
6th a schematic illustration of a cross section through an optoelectronic component according to a further example, -
7th a schematic illustration of a cross section through an optoelectronic component according to a further example, -
8th a schematic illustration of a cross section through an optoelectronic component according to a further example, and -
9 a schematic illustration of a cross section through an optoelectronic component according to a further example.
Gleiche oder gleich wirkende Bestandteile sind in den Figuren jeweils mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Die dargestellten Bestandteile sowie die Größenverhältnisse der Bestandteile untereinander sind nicht als maßstabsgerecht anzusehen.Identical or identically acting components are each provided with the same reference symbols in the figures. The components shown and the proportions of the components to one another are not to be regarded as true to scale.
In
Zur elektrischen Kontaktierung kann das optoelektronische Bauelement
Zwischen einem Substrat
Die p-dotierte III-V-Halbleiterschicht 3 sowie die Pufferschicht
Es ist möglich, dass das Substrat
In
In
In
In den folgenden
In
Das erste Pixel
Das erste Pixel
Das optoelektronische Bauelement
Das optoelektronische Bauelement
In der
In der
In der
In
Die Erfindung ist nicht durch die Beschreibung anhand der Ausführungsbeispiele beschränkt. Vielmehr umfasst die Erfindung jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von Merkmalen, was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn dieses Merkmal oder diese Kombination selbst nicht explizit in den Patentansprüchen oder Ausführungsbeispielen angegeben ist.The invention is not restricted by the description based on the exemplary embodiments. Rather, the invention encompasses every new feature and every combination of features, which in particular includes every combination of features in the patent claims, even if this feature or this combination itself is not explicitly specified in the patent claims or exemplary embodiments.
BezugszeichenlisteList of reference symbols
- 11
- SubstratSubstrate
- 22
- LeuchtdiodenschichtenfolgeLED layer sequence
- 2A2A
- PufferschichtBuffer layer
- 33
- p-dotierte III-V-Halbleiterschichtp-doped III-V semiconductor layer
- 44th
- transparente aktive Schichttransparent active layer
- 55
- transparente leitfähige Oxidschichttransparent conductive oxide layer
- 66th
- ElektronenbarriereschichtElectron barrier layer
- 77th
- LöcherbarriereschichtHole barrier layer
- 88th
- Reflektorreflector
- 99
- FüllschichtFiller layer
- 1010
- optoelektronisches Bauelementoptoelectronic component
- 1111
- erste Elektrodefirst electrode
- 11b11b
- erste Elektrode an der Leuchtdiodenschichtenfolgefirst electrode on the light-emitting diode layer sequence
- 1212th
- zweite Elektrodesecond electrode
- 1313th
- TrägersubstratCarrier substrate
- 1414th
- lichtundurchlässige Schichtopaque layer
- 1515th
- DeckschichtTop layer
- 2121
- erste Pixelfirst pixel
- 2222nd
- zweite Pixelsecond pixel
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-
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Also Published As
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WO2021104768A1 (en) | 2021-06-03 |
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