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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Interferometereinrichtung und ein Verfahren zum Herstellen einer Interferometereinrichtung.
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Stand der Technik
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Miniaturisierte Spektrometer mit Fabry-Perot-Interferometern (FPI) können als kompaktes Bauteil hergestellt sein und ein Gehäuse mit einem optischen Fenster umfassen, wobei üblicherweise ein Filter auf einer Innenseite mit einem Kleber fixiert sein kann. Im Inneren des Gehäuses kann ein Unterdruck oder sogar ein Vakuum vorherrschen und eine definierte Atmosphäre ausgeprägt sein, so dass im Betrieb möglichst keine Gasdämpfung auftritt und ein schnelles Verändern der Spiegelabstände im FPI (Durchstimmen über die Wellenlängen des zu transmittierenden oder zu filternden Lichts) möglich ist, um kurze Messzeiten zu erzielen. Bei Unterdruck kann allerdings eine Zugkraft auf die Klebeverbindung wirken und die Robustheit des Spektrometers dadurch verringert sein.
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In der
WO 17057372 A1 wird ein Detektoraufbau für ein miniaturisiertes Spektrometer mit einem Fabry-Perot-Interferometer beschrieben, wobei ein Gehäuse ein optisches Fenster (light transmission unit) umfasst.
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Offenbarung der Erfindung
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Die vorliegende Erfindung schafft eine Interferometereinrichtung nach Anspruch 1 und ein Verfahren zum Herstellen einer Interferometereinrichtung nach Anspruch 12.
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Bevorzugte Weiterbildungen sind Gegenstand der Unteransprüche.
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Vorteile der Erfindung
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Die der vorliegenden Erfindung zugrunde liegende Idee besteht darin, eine Interferometereinrichtung anzugeben, welche mittels weniger Komponenten ein kleinskaliges Bauelement, insbesondere ein Filterelement, mit geringer Bauhöhe und einer gegen Streulicht und Umwelteinflüsse abgeschirmten Detektoreinrichtung ermöglicht. Durch ein robustes optisches Fenster kann ein Einfallslicht gefiltert und/oder der Einfallswinkel eingeschränkt werden.
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Erfindungsgemäß umfasst die Interferometereinrichtung ein Basissubstrat, welches zumindest einen elektrischen Leiteranschluss umfasst; eine Interferometereinheit, welche auf dem Basissubstrat angeordnet ist und eine erste Kavität über dem Basissubstrat bildet; eine Detektoreinrichtung, welche auf dem Basissubstrat angeordnet ist und in der ersten Kavität zwischen dem Basissubstrat und der Interferometereinheit angeordnet ist; eine Deckelstruktur, welche auf dem Basissubstrat angeordnet ist und eine zweite Kavität über der Interferometereinheit bildet, wobei die Deckelstruktur eine Öffnung über der Interferometereinheit umfasst; und zumindest eine Filtereinrichtung, welche an der Deckelstruktur angeordnet ist und die Öffnung überspannt.
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Das Basissubstrat kann vorteilhaft als Verdrahtungssubstrat ausgeformt werden.
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Die erste Kavität unterhalb der Interferometereinheit kann von den lateralen Seiten her gegen Außenlicht abgeschirmt sein und nur das von der Interferometereinheit, welche als Filter für das Außenlicht wirken kann, transmittierte Licht in die erste Kavität durchlassen werden.
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Durch die erfindungsgemäße Interferometereinrichtung kann ein möglichst kostengünstiges, aber dennoch leistungsfähiges Spektrometer (Interferometereinrichtung) mit einer möglichst geringen Komponentenzahl sowie einer minimalen Anzahl an einfach/kostengünstig auszuführenden Herstellungsschritten und einer dabei möglichst geringen Baugröße erzielt werden, welches sich noch durch einen verringerten oder vollständig unterdrückten Einfall von ungefiltertem Streulicht, insbesondere von den lateralen Seiten her, auf den Detektor auszeichnen kann. Übliche Aufbauten nach dem Stand der Technik benötigen entweder sehr viele (teure) Komponenten oder (teure) Verfahrensschritte oder benötigen große Bauvolumina oder können Streulicht zulassen. Die Interferometereinrichtung kann als eine kleinskalige kompakte (Package) Detektoranordnung mit wenigen Komponenten hergestellt werden. Des Weiteren kann eine mechanisch robuste und hermetische Abdichtung der Kavitäten über eine Deckelstruktur und ein Fensterelement als Filtereinrichtung zum Verschluss einer optischen Öffnung erzielt werden.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung umfasst die Filtereinrichtung einen Spektralfilter für eine einfallende Strahlung und/oder ein winkelselektives Element.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung ist der Spektralfilter auf einer Außenseite der Deckelstruktur angeordnet und das winkelselektive Element ist auf einer Innenseite der Deckelstruktur angeordnet und beide überspannen die Öffnung.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung umfasst das Basissubstrat eine dritte Kavität, über welcher die Interferometereinheit angeordnet ist und diese überspannt, und wobei die Detektoreinrichtung in der dritten Kavität angeordnet ist.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung umfasst die Interferometereinheit ein Fabry-Perot-Interferometer.
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Das Fabry-Perot-Interferometer kann für bestimmte Spiegelabstände der Spiegel im Fabry-Perot-Interferometer nur Licht einer bestimmten Wellenlänge transmittieren. Durch die direkte Anordnung des Fabry-Perot-Interferometers und/oder der Detektoreinrichtung oder zumindest des Fabry-Perot-Interferometers auf dem Basissubstrat kann die Bauhöhe der Interferometereinrichtung vorteilhaft verringert werden, da auch die elektrische Verdrahtung über das Basissubstrat erfolgen kann, beispielsweise mit einem leitenden Kleber und /oder mit Bonddrähten.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung umfasst diese eine Auswerteeinheit, welche auf dem Basissubstrat angeordnet ist, wobei die Detektoreinrichtung und die Interferometereinheit auf der Auswerteeinheit angeordnet sind.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung sind die Detektoreinrichtung und die Interferometereinheit mit einem elektrischen Leiteranschluss des Basissubstrats verbunden und elektrisch kontaktiert.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung sind die Detektoreinrichtung und/oder die Interferometereinheit mit einem Kontaktdraht mit dem elektrischen Leiteranschluss verbunden.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung umfasst die Deckelstruktur laterale Seitenwände und ein Metall.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung weist der Spektralfilter in lateraler Richtung Bereiche mit unterschiedlicher (spektraler) Filterwirkung und/oder das winkelselektive Element in lateraler Richtung Bereiche mit unterschiedlicher winkelselektiver Wirkung auf.
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Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung umfasst die Detektoreinrichtung mehrere Detektorkanäle, welche jeweils nach den Bereichen unterschiedlicher Filterwirkung ausgerichtet sind und getrennt auslesbar sind.
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Erfindungsgemäß erfolgt bei dem Verfahren zum Herstellen einer Interferometereinrichtung ein Bereitstellen eines Basissubstrats, welches zumindest einen elektrischen Leiteranschluss umfasst; ein Anordnen einer Detektoreinrichtung auf dem Basissubstrat; ein Anordnen einer Interferometereinheit auf dem Basissubstrat derart, dass eine erste Kavität über dem Basissubstrat gebildet wird und sich die Detektoreinrichtung in der ersten Kavität zwischen dem Basissubstrat und der Interferometereinheit befindet; ein Anordnen einer Deckelstruktur auf dem Basissubstrat, wobei eine zweite Kavität über der Interferometereinheit gebildet wird, wobei die Deckelstruktur eine Öffnung über der Interferometereinheit umfasst; und ein Anordnen zumindest einer Filtereinrichtung an der Deckelstruktur derart, dass die Öffnung von der Filtereinrichtung überspannt wird.
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Das Verfahren kann sich auch durch die bereits in Verbindung mit der Interferometereinrichtung genannten Merkmale und deren Vorteile auszeichnen und umgekehrt.
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Weitere Merkmale und Vorteile von Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen.
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Figurenliste
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Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend anhand der in den schematischen Figuren der Zeichnung angegebenen Ausführungsbeispiele näher erläutert.
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Es zeigen:
- 1 einen schematischen Querschnitt einer Interferometereinrichtung gemäß eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung;
- 2 einen schematischen Querschnitt einer Interferometereinrichtung gemäß eines weiteren Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung; und
- 3 eine Blockdarstellung von Verfahrensschritten eines Verfahrens zum Herstellen einer Interferometereinrichtung gemäß eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung.
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In den Figuren bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche bzw. funktionsgleiche Elemente.
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1 zeigt einen schematischen Querschnitt einer Interferometereinrichtung gemäß eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung.
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Die Interferometereinrichtung 10 umfasst ein Basissubstrat 2, welches zumindest einen elektrischen Leiteranschluss umfasst; eine Interferometereinheit 1, welche auf dem Basissubstrat 2 angeordnet ist und eine erste Kavität K1 über dem Basissubstrat 2 bildet; eine Detektoreinrichtung 3, welche auf dem Basissubstrat 2 angeordnet ist und in der ersten Kavität K1 zwischen dem Basissubstrat 2 und der Interferometereinheit 1 angeordnet ist; eine Deckelstruktur 4, welche auf dem Basissubstrat 2 angeordnet ist und eine zweite Kavität K2 über der Interferometereinheit 1 bildet, wobei die Deckelstruktur 4 eine Öffnung 5 über der Interferometereinheit 1 umfasst; und zumindest eine Filtereinrichtung 6, welche an der Deckelstruktur 4 angeordnet ist und die Öffnung 5 überspannt.
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Die Detektoreinrichtung 3 kann einen oder mehrere Detektoren, welche aufeinander oder nebeneinander angeordnet sein können, umfassen, beispielsweise solche, die in unterschiedlichen Wellenlängenbereichen sensibel sein können. Das Basissubstrat 2 kann eine dritte Kavität K3 umfassen, über welcher die Interferometereinheit 1 angeordnet sein kann und die Interferometereinheit 1 kann diese dritte Kavität überspannen, wobei die Detektoreinrichtung 3 in der dritten Kavität K3 angeordnet sein kann.
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Die Filtereinrichtung 6 kann einen Spektralfilter 6a für eine einfallende Strahlung und/oder ein winkelselektives Element 6b umfassen.
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Wenn gleichzeitig Lichtstrahlen aus unterschiedlichen Einfallswinkeln auf das Fabry-Perot-Interferometer treffen, kann dies eine mögliche Wellenlängenauflösung verringern. Das winkelselektive Element kann vorteilhaft den Einfallswinkel des einfallenden Lichts einschränken. Wenn die Verteilung der Einfallswinkel noch um einen bestimmten Winkel gegen eine Normale auf die Spiegeloberfläche der Interferometereinheit zentriert ist, kann dies zu einer Verschiebung des kompletten von der Interferometereinheit erzeugten Spektrums führen, also einen Wellenlängen-Offsetfehler erzeugen. Durch das winkelselektive Element 6b kann auch dieser Effekt verringert oder vermieden werden.
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Der Spektralfilter 6a kann auf einer Außenseite der Deckelstruktur 4 angeordnet sein und das winkelselektive Element 6b kann auf einer Innenseite der Deckelstruktur 4 angeordnet sein und beide können die Öffnung 5 überspannen, vorzugsweise vollständig. Alternativ können der Spektralfilter 6a und das winkelselektive Element 6b auch umgekehrt an der Deckelstruktur 4 angeordnet sein, beide vorhanden sein oder nur eines von beiden. Der Spektralfilter 6a und/oder das winkelselektive Element 6b können mit einem Kleber KL, beispielsweise elektrisch nichtleitend, an der Deckelstruktur 4 im lateralen Randbereich um die Öffnung 5 herum befestigt sein. Anstatt des Klebers kann die Verbindung KL eine Lotverbindung, etwa eine metallische Lotverbindung umfassen, welche eine bessere Langzeitstabilität hinsichtlich der Hermetizität aufweisen kann als Klebeverbindungen.
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Der Spektralfilter 6a kann dazu dienen, das durch die Öffnung 5 zu transmittierende Licht betreffend unterschiedlicher Ordnungen (Oberwellen) zu filtern. Somit kann der Spektralfilter 6a dazu eingerichtet sein, nur bestimmte Ordnungen oder Wellenlängenbereiche des Außenlichts AL in das Innere der ersten Kavität K1 (und zweiter und dritter Kavität) durchzulassen. Bei mehreren Öffnungen 5 können die entsprechenden Spektralfilter auf unterschiedliche Wellenlängen ausgelegt sein.
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Da der Spektralfilter 6a vorteilhaft an der Außenseite der Deckelstruktur 4 angeordnet sein kann, kann ein Bereich des Spektralfilters 6a im optischen Pfad über der Öffnung 5 ohne Kanten (Ränder) des Spektralfilters ausgeformt sein, wodurch vorteilhaft ein Verfangen von Schmutz an, über oder unter diesen Kanten und somit im optisch transmissiven Bereich verringert oder verhindert werden kann, wobei sich das Fensterelement über der Öffnung einfacher reinigen lässt, was die praktische Nutzbarkeit des Spektrometers erhöhen kann. Der Spektralfilter 6a wie auch das winkelselektive Element 6b können jeweils ein Fensterelement über der Öffnung bilden. Alternativ kann anstatt der winkelselektiven Elements auch ein zweiter (in Wellenlängen verschieden filternder) zweiter Spektralfilter an der Innenseite der Deckelstruktur angeordnet werden. Auf diese Weise lassen sich winkelselektive Eigenschaften und Filtereigenschaften in der Deckelstruktur 4 realisieren und auf weitere derartige Komponenten innerhalb der Kavitäten kann verzichtet werden.
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Die Deckelstruktur 4 kann laterale Seitenwände 4a und ein Metall umfassen, wobei die Seitenwände 4a mit einem Kleber KL, vorzugsweise einem elektrisch nicht leitenden, auf dem Basissubstrat 2 befestigt sein können. Alternativ zum Kleber KL kann auch eine andere Verbindungsart, etwa ein Lot, gewählt werden.
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Das Basissubstrat 2 kann ein Verdrahtungssubstrat, etwa eine Leiterplatte (oder LTCC - low temperature cofired ceramic) umfassen. Der elektrische Leiteranschluss La kann vorteilhaft eine oder mehrere Leiterbahnen, beispielsweise jeweils als eine Metallisierung, umfassen und auf dem Basissubstrat 2 auf dessen Vorder- und/oder Rückseite aufgebracht sein und/oder in das Basissubstrat 2 integriert (eingebettet) sein. Von der Leiterbahn La kann mittels eines Drahtkontakts DB eine direkte elektrische Kontaktierung zur Detektoreinrichtung 3 und/oder zur Interferometereinheit 1 hergestellt sein. Die Leiterbahn La kann in dem Basissubstrat 2 in einer Ebene zum Boden der dritten Kavität K3 geführt sein und beispielsweise in einem Randbereich des Basissubstrats mit einem Durchkontakt 7 elektrisch mit einem Kontaktbereich KP verbunden sein, welcher auf einer der Deckelstruktur 4 abgewandten Rückseite R des Basissubstrats 2 angeordnet sein kann. Es können so auch weitere Kontaktbereiche KP auf der Rückseite R vorhanden sein, welche mit Durchkontakten 7 eine elektrische Verbindung bis an eine Vorderseite V in der ersten Kavität K1 verbunden sein können und dort weiter über etwa einen Drahtkontakt DB mit der Interferometereinheit 1, vorzugsweise an deren dem Basissubstrat 2 abgewandten Oberseite, kontaktiert sein können.
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Die Interferometereinheitl kann zumindest zwei Spiegeleinrichtungen SP1 und SP2 umfassen, welche parallel ausgerichtet sein können und wobei deren Abstand variabel sein kann. Je nach Abstand zwischen den Spiegeleinrichtungen kann eine bestimmte Wellenlänge des Lichts, welches durch die Öffnung 5 einfällt und durch den Spektralfilter gefiltert und vorteilhaft durch das winkelselektive Element selektiert wurde, auf die Detektoreinrichtung 3 einfallen.
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Die Spiegeleinrichtungen SP1 und/oder SP2 können jeweils einen dielektrischen Spiegel mit zwei hochbrechenden Schichten (etwa aus Silizium oder einer Verbindung mit Silizium) und einer dazwischen befindlichen niedrigbrechenden Schicht (etwa Luft oder Vakuum) umfassen.
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Je nach Einstellung (Abstand der Spiegeleinrichtungen, wobei der Abstand und somit die transmittierte Wellenlänge variabel sein kann) der Interferometereinheit 1 kann Außenlicht AL nur in einer bestimmten Wellenlänge in die erste Kavität K1 hinein transmittiert werden. Das Fabry-Perot-Interferometer kann mehrere Wellenlängen verschiedener Ordnungen (Moden) gleichzeitig transmittieren.
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Die Interferometereinheit 1 kann Seitenwände 1a umfassen, welche die erste Kavität K1 lateral vollständig einschließen können und direkt auf dem Basissubtrat 2 angeordnet sein können. Die Seitenwände 1a können die zwei hochbrechenden und die niedrigbrechende Schicht tragen und seitlich stützen. Die Seitenwände 1a können so eine freigestellte untere hochbrechende Schicht umlaufen und einen optischen Bereich OB lateral umgeben, in welchem die Interferometereinheit 1 Licht L in die erste Kavität K1 transmittieren kann. Das Basissubstrat 2 kann selbst undurchlässig sein sowohl für das Außenlicht AL als auch für das transmittierte Licht L. Auf diese Weise kann ungefilterte Strahlung größtenteils oder vollständig von der ersten Kavität K1 ferngehalten werden, was sich vorteilhaft auf ein Signal-zu-Rausch-Verhältnis an der Detektoreinrichtung 3 auswirken kann.
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Die Interferometereinrichtung 10 kann mehrere Ausnehmungen im Basissubstrat umfassen, darin mehrere Detektoreinrichtungen und darüber mehrere Interferometereinheiten mit jeweils einer eigenen Kavität über der entsprechenden Ausnehmung (nicht gezeigt). Des Weiteren können in der Deckelstruktur 4 mehrere Öffnungen 5 vorhanden sein, welche Filtereinrichtungen 6 mit Spektralfiltern und/oder winkelselektiven Elementen umfassen können (nicht gezeigt). Die Öffnungen 5 können lateral nebeneinander und beabstandet zueinander sein und für unterschiedliche Wellenlängen (zum Filtern dieser) ausgelegt sein. Unter jeder solcher Öffnung kann eine Interferometereinheit, etwa mit eigener Detektoreinrichtung, auf dem Basissubstrat angeordnet sein, und unterschiedliche Spektren (Wellenlängen) können so gleichzeitig gemessen werden.
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Die Interferometereinrichtung 10 kann als ein Modul (mit Modulgehäuse) für ein größeres Bauelement ausgeformt sein, beispielsweise als ein mikroelektromechanisches Spektrometermodul (MEMS) mit einem Fabry-Perot-Interferometer 1.
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Da sowohl die Detektoreinrichtung 3 als auch die Interferometereinheit 1 auf dem Basissubstrat 2 aufgebracht werden können, vorteilhaft direkt, kann eine Bauhöhe vertikal über und unter dem Basissubstrat 2 verringert werden. Die Interferometereinrichtung 10 kann somit in wenigen Schritten (wenige kostenaufwändige Schritte) und mit verringerten Kosten als kleinskaliges Bauelement realisiert werden, welches selbst mit einer verringerten Zahl von Komponenten herstellbar sein kann. Die Interferometereinrichtung 10, und/oder insbesondere die Interferometereinheit 1 kann als mikromechanisches Bauelement ausgeformt sein.
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Der Spektralfilter 6a kann in lateraler Richtung Bereiche (6a1, 6a2, ..., 6b1, 6b2, ..., 6bn) mit unterschiedlicher Filterwirkung und/oder das winkelselektive Element 6b kann in lateraler Richtung Bereiche mit unterschiedlicher winkelselektiver Wirkung (6a1, 6a2, ..., 6b1, 6b2, ..., 6bn) aufweisen. Dementsprechend kann die Detektoreinrichtung 3 relativ zu diesen Bereichen des Spektralfilters und/oder des winkelselektiven Elements ausgerichtete oder angeordnete (mehrere) Detektorkanäle 3a umfassen, welche jeweils nach den Bereichen (6a1, 6a2, ..., 6b1, 6b2, ..., 6bn) unterschiedlicher Filterwirkung ausgerichtet sind und getrennt auslesbar sind, etwa durch eine Auswerteeinrichtung (nicht gezeigt).
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Ist sowohl auf der Innenseite wie auch auf der Außenseite eine Filtereinrichtung 6 angeordnet, so kann zumindest eine dieser die Öffnung 5 auch nur teilweise überdecken und über Teilbereichen filtern.
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Bei einer Kombination von Bereichen unterschiedlicher winkelselektiver Wirkung oder unterschiedlicher Filterwirkung können verschiedene Informationen zu Winkelverteilung und spektraler Verteilung (über die Wellenlängen) des Streulichts der zu analysierenden Probe gewonnen werden (Zusatzinformationen welche auf der Winkelverteilung basieren) und daraus auf zusätzliche Eigenschaften der Probe rückgeschlossen werden.
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2 zeigt einen schematischen Querschnitt einer Interferometereinrichtung gemäß eines weiteren Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung.
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Das Ausführungsbeispiel der Interferometereinrichtung 10 aus der 2 unterscheidet sich nur darin von jenem der 1, dass auf eine dritte Kavität im Basissubstrat 2 verzichtet werden kann und eine Auswerteeinrichtung AE auf dem Basissubstrat 2, vorzugsweise im optischen Pfad unterhalb der Öffnung 5, angeordnet sein kann. Die Auswerteeinheit AE kann einen Chip umfassen, etwa einen ASIC und mit einer der Leiterbahnen La des Basissubstrats 2, welche wiederum von einer Rückseite über dortige Kontaktstellen KP und Durchkontakte 7 durch das Basissubstrat 2 und schließlich innerhalb der zweiten Kavität K2 über einen Kontaktdraht DB kontaktiert sein können, etwa von mehreren Seiten aus. Die Detektoreinrichtung 3 kann direkt auf der Auswerteeinrichtung AE angeordnet sein, wobei die Auswerteeinrichtung AE selbst Leiterbahnen (nicht gezeigt) umfassen kann, an welche ein Drahtbond DB zur Kontaktierung der Detektoreinrichtung 3, vorteilhaft innerhalb der ersten Kavität K1, geführt werden kann. Die erste Kavität K1 kann durch die Interferometereinheit 1 gebildet werden, welche ebenfalls direkt auf der Auswerteeinrichtung AE angeordnet sein kann, derart dass die Detektoreinrichtung 3 innerhalb der geschlossenen ersten Kavität K1 sein kann. Die Interferometereinheit 1 kann somit einen optischen Bereich OB im Lichtpfad unter der Öffnung 5 über der Detektoreinrichtung 3 und der Auswerteeinrichtung AE bilden, wobei die Auswerteeinrichtung AE ein Ausgangssignal von der Detektoreinrichtung 3 empfangen kann, etwa über den Drahtkontakt DB. Die Auswerteeinrichtung AE, insbesondere der ASIC, kann auch die Interferometereinheit 1 und deren Filterwirkung (Abstand der Spiegeleinrichtungen) steuern.
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In der Ausführungsform der 2 wurde auf ein winkelselektives Element auf der Innenseite der Deckelstruktur 4 verzichtet, dieses oder der Spektralfilter 6a können jedoch in allen bereits zur 1 genannten Möglichkeiten ausgeführt sein.
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3 zeigt eine Blockdarstellung von Verfahrensschritten eines Verfahrens zum Herstellen einer Interferometereinrichtung gemäß eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung.
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Bei dem Verfahren zum Herstellen einer Interferometereinrichtung erfolgt ein Bereitstellen S1 eines Basissubstrats, welches zumindest einen elektrischen Leiteranschluss umfasst; ein Anordnen S2 einer Detektoreinrichtung auf dem Basissubstrat; ein Anordnen S3 einer Interferometereinheit auf dem Basissubstrat derart, dass eine erste Kavität über dem Basissubstrat gebildet wird und sich die Detektoreinrichtung in der ersten Kavität zwischen dem Basissubstrat und der Interferometereinheit befindet; ein Anordnen S4 einer Deckelstruktur auf dem Basissubstrat, wobei eine zweite Kavität über der Interferometereinheit gebildet wird, wobei die Deckelstruktur eine Öffnung über der Interferometereinheit umfasst; und ein Anordnen S5 zumindest einer Filtereinrichtung an der Deckelstruktur derart, dass die Öffnung von der Filtereinrichtung überspannt wird.
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Obwohl die vorliegende Erfindung anhand des bevorzugten Ausführungsbeispiels vorstehend vollständig beschrieben wurde, ist sie darauf nicht beschränkt, sondern auf vielfältige Art und Weise modifizierbar.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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